JP5283835B2 - マイクロ波プラズマ処理装置及びマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ - Google Patents
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Description
請求項9のマイクロ波プラズマ処理装置は、請求項1〜8のいずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、前記マイクロ波反射機構の溝の幅が5mm以上10mm未満であることを特徴とする。
請求項13記載のマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブは、請求項10〜12いずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブであって、前記マイクロ波反射機構の溝の幅が5mm以上10mm未満であることを特徴とする。
Claims (13)
- マイクロ波によって発生させたプラズマにより、被処理物に処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記被処理物を搬入搬出するための開口を有する処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内にマイクロ波を導入するためのマイクロ波導入機構と、
前記開口を開閉自在に閉塞する弁体と、
前記処理チャンバーを真空引きする排気装置とを備え、
前記弁体によって前記開口を閉塞した際に、前記処理チャンバーの前記開口周辺部の外側大気部分と前記弁体との間に介在してこれらの間を気密に封止するための気密封止部材と、
前記弁体によって前記開口を閉塞した際に、少なくとも前記開口の周囲を囲み、前記気密封止部材が介在することにより形成された前記弁体と前記処理チャンバーとの間の空隙内に位置し、前記開口から外部へ漏洩するマイクロ波を入射してくるマイクロ波と互いに打ち消し合うように反射する溝状のマイクロ波反射機構と
を具備し、
前記マイクロ波反射機構は、前記気密封止部材の外周部分であって前記開口の端部から5mm以上離れた位置に配設されている
ことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記マイクロ波反射機構が前記弁体に設けられていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記マイクロ波反射機構が、前記処理チャンバーに設けられていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記弁体の周囲を囲むように外側部材が設けられ、当該外側部材と前記弁体との間に、前記マイクロ波反射機構が形成されていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記マイクロ波反射機構が、マイクロ波の波長の1/4の深さを有することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記マイクロ波反射機構の溝状の部分に誘電体が充填されていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記マイクロ波導入機構は、複数のスロットを有する平面アンテナを具備することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項7記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記平面アンテナは、ラジアルラインスロットアンテナ(RLSA)であることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 請求項1〜8のいずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置であって、
前記マイクロ波反射機構の溝の幅が5mm以上10mm未満であることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 被処理物を処理チャンバー内に搬入搬出するための開口部を有し、前記処理チャンバーを真空引きした状態で、前記処理チャンバー内にマイクロ波を導入してプラズマを生成し、当該プラズマにより、前記被処理物に処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置に配置されるマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブであって、
前記開口部を開閉自在に閉塞する弁体と、
前記弁体によって前記開口部を閉塞した際に、前記処理チャンバーの前記開口部周辺部の外側大気部分と前記弁体との間に介在してこれらの間を気密に封止するための気密封止部材と、
前記弁体によって前記開口を閉塞した際に、少なくとも前記開口の周囲を囲み、前記気密封止部材が介在することにより形成された前記弁体と前記処理チャンバーとの間の空隙内に位置し、前記開口から外部へ漏洩するマイクロ波を入射してくるマイクロ波と互いに打ち消し合うように反射する溝状のマイクロ波反射機構と
を具備し、
前記マイクロ波反射機構は、前記気密封止部材の外周部分であって前記開口の端部から5mm以上離れた位置に配設されている
ことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ。 - 請求項10記載のマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブであって、
前記マイクロ波反射機構が、マイクロ波の波長の1/4の深さを有することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ。 - 請求項10又は11記載のマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブであって、
前記マイクロ波反射機構の溝状の部分に誘電体が充填されていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ。 - 請求項10〜12いずれか1項記載のマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブであって、
前記マイクロ波反射機構の溝の幅が5mm以上10mm未満であることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ。
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