BG64572B1 - Реакционно устройство, излъчващо електронен сноп - Google Patents

Реакционно устройство, излъчващо електронен сноп Download PDF

Info

Publication number
BG64572B1
BG64572B1 BG105694A BG10569401A BG64572B1 BG 64572 B1 BG64572 B1 BG 64572B1 BG 105694 A BG105694 A BG 105694A BG 10569401 A BG10569401 A BG 10569401A BG 64572 B1 BG64572 B1 BG 64572B1
Authority
BG
Bulgaria
Prior art keywords
electron beam
window
cooling gas
gas
reaction device
Prior art date
Application number
BG105694A
Other languages
English (en)
Other versions
BG105694A (bg
Inventor
Yoshitaka Doi
Masao Nomoto
Kazuaki Hayashi
Masahiro Izutsu
Yoshiharu Kageyama
Kyoichi Okamoto
Original Assignee
Ebara Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corporation filed Critical Ebara Corporation
Publication of BG105694A publication Critical patent/BG105694A/bg
Publication of BG64572B1 publication Critical patent/BG64572B1/bg

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00—Irradiation devices
    • G21K5/04—Irradiation devices with beam-forming means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/60—Simultaneously removing sulfur oxides and nitrogen oxides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/80—Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
    • B01D2259/812—Electrons

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

С реакционното устройство се облъчва обект, който трябва да се обработи, например отпадъчен газ, като по този начин се променят физичните му свойства. Устройството съдържа гъвкав уплътняващ елемент (23) между периферията на края на сканиращата тръба (12) и периферната част (18а) на прозореца за приемане на електронния сноп в страничната стена на реакционното устройство с електронен сноп (18), така че да се свържат краят на тръбата (12) и страничната стена и външно да се уплътни реакционното устройство. В резултат на това не се получава пренапрежение в свързващата част, не е необходимо вторично метално прозоречно фолио и обектът, който ще се обработва, не изтича навън. а

Description

(54) РЕАКЦИОННО УСТРОЙСТВО, ИЗЛЪЧВАЩО ЕЛЕКТРОНЕН СНОП
Област на техниката
Изобретението се отнася до реакционно устройство за излъчване на електронен сноп за облъчване на желания обект с електронен сноп и изменение на неговите физични свойства.
Предшестващо състояние на техниката
По принцип в реакционно устройство за излъчване на електронен сноп се генерират термоелектрони при използване на нажежаема нишка, монтирана във вътрешната крайна част на ускоряващата тръба, която осигурява електронен ускорител, при което се създава електронен сноп чрез ускоряване на термоелектроните в ускоряващата тръба, което е последвано от излъчване на електронния сноп към желания обект през сканираща тръба, свързана към ускоряващата тръба. Прозорец за изпускане на електронен сноп, който е формиран в крайната част на сканиращата тръба и от който се изпуска електронният сноп включва метално фолио, което е прикрепено към него за екраниране вътрешността на сканиращата тръба, която е в състояние на вакуум откъм външната страна. При преминаването на електронния лъч през металното фолио на прозореца част от неговата енергия се преобразува в термична енергия, като по този начин се нагрява металното фолио на прозореца. Поради тази причина срещу металното фолио на прозореца се вдухва охлаждащ въздух за охлаждане на фолиото до такава температура, която не позволява повреждане на фолиото. В много случаи като метално фолио за прозорец се използва титаний или негова сплав, при което то има дебелина от няколко до няколко десетки цт. Когато се използва такова фолио, неговата температура в студено състояние трябва да е от 200 до 400°С.
Типичен пример за реакционно устройство, излъчващо електронен сноп, е устройство за обработка на газ посредством електронен сноп, при което електронният сноп, такъв като споменатия по-горе, се излъчва към газ, например отработен газ от парен котел, който съдържа серни окиси или азотни окиси, или отработен газ, освободен от кабина за боядисване, който съдържа летлива органична смес, като по този начин се отстраняват вредните субстанции, такива като азотни окиси или серни окиси, съдържащи се в газа. В това устройство за обработване на газа устройството за излъчване на електронен сноп е така настроено, че прозорецът за освобождаване на електронен сноп от сканиращата тръба е подравнен с прозорец за приемане на електронния сноп, който се намира в страничната стена на реакционното устройство за излъчване на електронен сноп (обикновено част от тръбопровод за отпадъчни газове), който позволява преминаване на отпадъчен газ през него. Електронният сноп се излъчва през прозорец за пропускане на електронен сноп и през прозореца за приемане на електронен сноп към газа, преминаващ през реакционното устройство.
На фигура 1 е показан пример за конвенционално устройство за обработка на газ с електронен сноп, по-специално крайна част на сканираща тръба 12 и намиращата се в близост зона (устройства, подобни на това от фигура 1, са показани на фигура 1 от публикувана японска патентна заявка No. 51-96998, на фигура 2 от японска патентна заявка, публикация No. 52-37553, на фигура 1 от японска патентна заявка, публикация No. 52-149596, на фигури 1 и 2 от японска патентна заявка, публикация No. 53-75163, на фигура 1 от японска заявка за полезен модел, публикация No. 55-107228, на фигури 1 и 4 от японска заявка за полезен модел, публикация No. 63-168899, на фигури 1 и 7 от японска заявка за полезен модел, публикация No. 63-168900 и на фигура 5 от японска патентна заявка, публикация No. 8-166498).
Сканиращата тръба 12 включва прозорец за освобождаване на електронен сноп 13, който е формиран в крайната й част. По външната периферия на крайната част от сканиращата тръба 1 е оформен фланец 36. Метално прозоречно фолио 14 е захванато стабилно между фланеца 36 и фиксираща плоча 16 за поддържане на вътрешен вакуум за сканиращата тръба 12.
От друга страна, устройство за излъчване на електронен сноп (тръбопровод за отработен газ в случая на обработка на отпадъчен газ от парен котел) 18, през което преминава газът, облъчен с електронния сноп, включва прозорец за приемане на електронния лъч
15, като този прозорец е образуван в страничната му стена за приемане на електронния сноп. Метално прозоречно фолио (вторично) 34 е закрепено от фиксиращи плочи 53 и 56, така че да затваря херметически прозореца за приемане на снопа.
Електронен сноп в реакционното устройство за излъчване на електронен сноп се излъчва през металните прозоречни фолиа 14 и 34.
Както беше споменато по-горе, металните прозоречни фолиа абсорбират енергия от електронния сноп и се нагряват, така че е необходимо те да бъдат охладени до температура, при която да се получи понижаване на напрежението във фолиата. Ето защо в това устройство в пространството между металните прозоречни фолиа 14 и 34 са предвидени дюзи за охлаждащ газ 51 и 58, които включват газови процепи (или отвори за издухване) 52 и 58 за издухване на охлаждащ газ срещу съответните метални прозоречни фолиа.
В този случай, обаче, охлаждащият газ, който е бил насочен срещу металните прозоречни фолиа 14 и 34, се разпръсква в околната среда, което поражда следните проблеми. По-точно охлаждащият газ приема облъчването от електронния сноп при преминаването му през зоната, където се разпространява електронният лъч. Когато се използва въздух като охлаждащ агент, озонните и азотни окиси, които са вредни за хората и предизвикват корозия на метални материали, се създават вследствие на излъчването на електронен сноп. Когато като охлаждащ газ се използва инертен газ, такъв като азот, въпреки че производството на азотни и озонни оксиди в охлаждащия газ може да бъде предотвратено, инертният газ след употреба е подложен на отстраняване. Това е голям недостатък от гледна точка на икономичност.
На фигура 2 е показан друг пример за конвенционално устройство за третиране с електронен сноп (устройства, подобни на тези от фигури 2, се разкриват на фигури 3 и 5 от японска патентна заявка, публикация No. 8-166497, и на фигура 5 от японска патентна заявка, публикация No. 9-171098). Конструкцията на устройството от фигура 2 е по същество същата като тази на устройството от фигура 1, с изключение на това, че устройството на дюзата за охлаждащия газ е проме нено. Елементите, които се повтарят с тези от фигура 1, са означени с едни и същи номера и обяснението за тях е изпуснато.
В това устройство, с оглед разрешаване на посочените проблеми, възелът на дюзата за охлаждащия газ се оформя като едно цяло с елемента на газовата дюза за охлаждащия газ 61 за първичното метално фолио 14, като елементът на дюзата за охлаждащия газ 67 за вторичното метално фолио на прозореца 34 и тръбопроводите за отработения газ са разположени така, че да са ориентирани към газовите процепи 62 и 68 на съответните дюзови елементи. Така охлаждащият газ се подава и се освобождава през тръбните канали, които са херметично уплътнени по отношение на атмосферата.
С тази конструкция охлаждащият газ, който е преминал през зоната на разпространение на електронния лъч, не се разпръсква в атмосферата и може да бъде използван отново. Ето защо, когато като охлаждащ газ се използва въздух, е възможно да се вкара охлаждащ газ, възстановен от отвора за освобождаване в устройство, където газът става безвреден. Освен това също така е възможно да се използва инертен газ, такъв като азот като охлаждащ газ по метода на циркулация.
Фигура 3 показва друг пример за конвенционално устройство с електронен сноп за обработка на газ (устройства, подобни на това от фигура 3, са показани на фигура 4 от нерешена японска патентна заявка, публикация No. 52-37553, фигура 2 от нерешена японска патентна заявка, публикация No. 52-149596, фигури 3 и 4 от японска патентна заявка, публикация No. 53-21397, фигура 2 от японска патентна заявка, публикация No. 53-46598, фигури 1 и 3 от японска патентна заявка, публикация No. 5-30800 и фигура 2 от японска патентна заявка, публикация No. 6-51900).
В устройството от фигура 3, както и в устройството от фигура 2, се създава уплътняващо пространство между първичното метално фолио за прозореца 14 и вторичното метално фолио за прозореца 34. Обаче, в устройството от фигура 3 се разполагат в близост един до друг, от едната страна на уплътняваното пространство, единична охлаждаща дюза 71 и единична тръба за отработен газ. От другата страна на уплътняваното пространство се инвертора охлаждащ газ, който се вкарва срещу първичното метално фолио за прозореца през процепа 72 на охлаждащата дюза 71 и се връща към тръбопровода за отработен газ 73, откъдето се освобождава.
При устройствата от фигури 2 и 3 възникват следните проблеми.
Тръбопроводът за отработен газ, както и реакционното устройство с електронен сноп и устройството за излъчване на електронен сноп се базират на различни базови елементи. Сканиращата тръба 12 на устройството за излъчване на електронен сноп е стабилно свързана към страничната стена на тръбопровода за отработен газ посредством възела на дюзата за охлаждащия газ, включващ охлаждащи дюзови елементи 61 и 67 или само един охлаждащ елемент 71. Ето защо е много вероятно да бъде упражнено свръхнапрежение към свързващата част между сканиращата тръба и страничната стена на тръбопровода за отработен газ. Следователно, металното прозоречно фолио не може да бъде фиксирано към фланеца по външната периферия на крайната част от сканиращата тръба посредством фиксиращата плоча, така че вакуумът в сканиращата тръба не може да се поддържа. В краен случай металното фолио за прозореца се измества и се вкарва с усилие в сканиращата тръба, което води до скъсване на фолиото.
По-специално при конвенционално устройство за излъчване на електронен сноп се предпочита да няма вторично метално фолио за прозореца и да се използва само първично метално фолио за прозорец, от гледна точка на намаляване на енергийните загуби на електронния сноп в металното фолио на прозореца, намаляване на необходимата енергия за издухване на охлаждащия газ и за опростяване конструкцията на възела на дюзата за охлаждащия газ. При такова устройство, обаче, когато се получи скъсване на първичното метално фолио за прозореца, отработеният газ навлиза в сканиращата тръба от генератора на електронен сноп, който трябва да се поддържа в състояние на вакуум, като при това е вероятно да се получат сериозни замърсявания или повреди. Ето защо се счита, че е трудно да се направи реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, като се използва само първичното метално фолио за прозорец.
Техническа същност на изобретението
Задачата на изобретението е да се осигури реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, в което да се избегнат посочените проблеми благодарение на твърдата връзка между сканиращата тръба на устройството за излъчване на електронен сноп и реакционното устройство с електронен сноп в конвенционалните устройства за излъчване на електронен сноп и в което да няма изтичане на газ, който ще се обработва, такъв като отработен газ и охлаждащ газ.
Съгласно настоящото изобретение се осигурява реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, което включва: устройство за излъчване на електронен сноп, включващо прозорец за освобождаване на електронен сноп в крайната му част, за освобождаване на електронен сноп в състояние на сканиране, като при това първичното метално прозоречно фолио е разтеглено за поддържане на вътрешен вакуум; реакционно устройство с електронен сноп за приемане на газа, който е бил облъчен с електронен сноп, реакционното устройство за излъчване на електронен сноп има прозорец за приемане на електронния сноп, който е оформен в страничната му стена за приемане на електронния сноп от устройството за излъчване на електронен сноп; възел на дюзата за охлаждащия газ, включващ отвор за издухване на охлаждащия газ срещу металното фолио на прозореца; и гъвкав цилиндричен, херметично уплътняващ елемент, свързан между крайната част на устройството за излъчване на електронен сноп и периферния ръб на прозореца за приемане на електронния сноп в страничната стена на реакционното устройство с електронен сноп, за предотвратяване изтичането на охлаждащия газ между крайната част и страничната стена в посока навън.
В това устройство няма твърда връзка между устройството за излъчване на електронен сноп и реакционното устройство с електронен сноп. Ето защо не се получава свръхнатоварване в свързващия участък между тези две устройства. Освен това тази свързваща част е покрита от гъвкав цилиндричен елемент, така че охлаждащият газ, облъчен с електронния сноп, не се разпръсква навън.
По-специално в крайната част на устройството за излъчване на електронен сноп е предвиден възел на дюзата за охлаждащия газ и между външната периферна част на дюзата и периферната крайна част на приемния прозорец за електронния сноп в страничната стена е свързан гъвкав цилиндричен елемент за херметично уплътняване.
Освен това прозорецът за приемане на електронен сноп е така оразмерен, че да бъде по-широк от размера, който определя периферния ръб на сканиращата траектория на електронния сноп и възелът на дюзата за охлаждащия газ като цяло е пръстеновидно оформен, така че да обхваща сканиращата траектория, която позволява преминаване на електронния сноп, и възелът на дюзата за охлаждащ газ е поставен в положение, при което по същество обхваща прозореца за приемане на електронния сноп.
За предпочитане е да се предвижда защитен елемент, който да предпазва обратно отклонените електрони, които се генерират при излъчване на електронен сноп в реакционното устройство с електронен сноп от сблъсък с гъвкавия цилиндричен херметично уплътняващ елемент. Освен това първичното метално фолио за прозореца е плътно фиксирано по периферния ръб на прозореца за освобождаване на електронен сноп посредством сменяема фиксираща плоча, като при това възелът на дюзата за охлаждане включва сменяема част, която е така поставена, че да образува отвор за издухване на охлаждащия въздух между нея и фиксиращата плоча, и металното прозоречно фолио може да се заменя при преместване на сменяемата част и преместване на фиксиращата плоча.
Освен това се предпочита охлаждащият газ, който се издухва срещу първичното метално фолио за прозореца, да има влагосъдържание, равно или по-голямо от критичната влажност на фините прахове в газа, които се отлагат върху повърхността на първичното метално фолио за прозореца, контактувало с газа. Причината за това е както следва. Когато обектът, който ще се обработва посредством реакционното устройство за излъчване на електронен сноп, е отработен газ, съдържащ серни окиси или азотни окиси, като странични продукти може да се формират фини прахове от амониев сулфат или амониев нитрат, полу чени от серните окиси или азотните окиси вследствие облъчването на електронния сноп в реакционното устройство. Тези прахове е вероятно да бъдат отложени върху металното фолио на прозореца. Ето защо срещу металното фолио на прозореца се издухва охлаждащ газ, с влажност по-голяма или равна на критичната, така че фините прахове, отложени върху фолиото, абсорбират влага от охлаждащия газ и се изстъргват лесно от металното фолио за прозореца.
За същата цел охлаждащият газ може да съдържа капки вода. Обаче, когато капките вода в охлаждащия газ съдържат суспензирано твърдо вещество или водоразтворима субстанция и попаднат върху металното фолио на прозореца, което е било нагрято при облъчване с електронен сноп, суспензираното твърдо вещество или водоразтворимата субстанция се изсушава и втвърдява, вследствие изпаряването на водния компонент и по този начин могат да се залепят за металното фолио на прозореца. За да се избегне този проблем, се предпочита капките вода, съдържащи се в охлаждащия газ, да са от чиста вода, като тези капки се получават например при впръскване на чиста вода в охлаждащия газ.
Освен това в настоящото изобретение може да бъде направено устройство, такова, че възелът на дюзата за охлаждащия газ като цяло да е пръстеновидно оформен, така че да заобикаля сканиращата траектория за преминаване на електронен сноп и да включва вторично метално фолио за прозорец, разположено върху крайната му повърхност, от страната на реакционното устройство с електронен сноп, така че да се разпростира през сканиращата траектория, отвор за издухване, през който охлаждащият газ се насочва към първичното и вторично метално прозоречно фолио и отвор за изпускане, през който се освобождава издуханият охлаждащ газ в посока навън. В този случай е възможно да има такова устройство, при което възелът на дюзата за охлаждащия газ да включва първи и втори отвор за издухване, през които охлаждащият газ да се насочва към първичното и вторично метални прозоречни фолиа, съответно, първи и втори приемни отвори, за приемане на охлаждащия газ, постъпващ отвън и за подаване на газ към първия и втория отвори за издухване, съответно, първи и втори изпускателен отвор за освобождаване на охлаждащия газ, издухан от първия и втория отвор за издухване срещу първото и второто метално прозоречно фолио, съответно, в посока навън.
Пояснения на приложените фигури
Фигура 1 представлява напречен разрез на част от конвенционално реакционно устройство за излъчване на електронен сноп;
фигура 2 - напречен разрез на част от друго конвенционално реакционно устройство за излъчване на електронен сноп;
фигура 3 - напречен разрез на част от друго конвенционално реакционно устройство за излъчване на електронен сноп;
фигура 4 - напречен разрез на част от реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно първо изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 5 - изображение, показващо устройство на гъвкав, цилиндричен, херметично уплътняващ елемент, използван в реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно настоящото изобретение;
фигура 6 - напречен разрез на част от реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно второ изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 7 - напречен разрез на част от реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно трето изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 8 - напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно четвърто изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 9 - напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно пето изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 10 - напречен разрез на охлаждащо устройство с циркулация на вода, използвано в реакционното устройство за излъчване на електронен сноп от фигура 9;
фигура 11 - напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно шесто изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 12 - напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно седмо изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 13 - напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно осмо изпълнение на настоящото изобретение;
фигура 14 - напречен разрез в разглобен вид на дюзата за охлаждащия газ, който се използва в устройството от фигура 13. Фигура 14а показва двуфлуидна дюза и фигура 14Ь показва дюза за охлаждащ газ, свързана към двуфлуидната дюза.
Примери за изпълнение на изобретението
С позоваване на чертежите е описано реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно настоящото изобретение.
Фигура 4 показва сканираща тръба 12 [свързана с електронен ускорител на устройство за излъчване на електронен сноп (не е показано)] и свързваща част между сканиращата тръба 12 и реакционното устройство с електронния сноп (или тръбата за отработения газ) 18 в реакционното устройство 10 за излъчване на електронен сноп съгласно първо изпълнение на настоящото изобретение. Както това е показано на фигура 4, прозорецът за освобождаване на електронния сноп 13 в крайната част на сканиращата тръба 12 е подравнен с прозореца за приемане на електронен сноп 15, оформен в страничната стена на реакционното устройство с електронен сноп 18. Около външната периферия на крайната част от сканиращата тръба 12 е предвиден пръстеновиден фланец 26. Металното прозоречно фолио 14 се разпростира върху прозореца 13 за освобождаване на електронен сноп чрез стабилно захващане на периферния му ръб между пръстеновидния фланец 26 и фиксиращата плоча 16. Възелът на дюзата за охлаждащия газ 27 е фиксиран към пръстеновидния фланец 26 посредством болт, като възелът включва елемент на дюзата за охлаждащия газ, който има процеп за газа (или отвор за издухване) 28, през който се издухва охлаждащият газ срещу металното прозоречно фолио 14. Възелът на дюзата за охлаждащия газ 27 може да бъде фиксиран чрез запояване или чрез адхезия, вместо да се използва болт дотолкова, доколкото може да се поддържа в херметично състояние.
Между външната пръстеновидна част
27а на възела за охлаждащия газ 27, простиращ се навън от периферния ръб на пръстеновидния фланец 26 и периферния ръб 18а на прозореца за приемане на електронния сноп 15 в страничната стена на тръбопровода за отработения газ е свързан гъвкав цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23. Гъвкавият цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23 може да бъде изпълнен от органичен материал, такъв като плат или гума. Гъвкавият цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23 предотвратява изтичане или навлизане на въздух или газ от/или във възела на дюзата за охлаждащия газ и в тръбата за отработения газ. В това устройство няма твърда връзка между сканиращата тръба и тръбата за отработения газ. Ето защо свързващата част между сканиращата тръба и тръбата за отработения газ може да се мести и да поема взаимното изместване между сканиращата тръба и тръбата за отработения газ, като по този начин се предотвратява генерирането на свръхнапрежение в свързващата част, което се получава при гореспоменатите конвенционални устройства, и се предотвратява изтичането на газ или въздух.
При това реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, както това е показано на фигурата, прозорецът за приемане на електронния сноп 15, който е образуван в страничната стена на устройството, е направен по-голям от размера, необходим за определяне траекторията на електронния сноп (това е каналът, през който електронният сноп преминава с цел облъчване). Възелът на дюзата за охлаждащия газ 27 е монтиран по начин, при който по същество обхваща прозореца за приемане на електронния сноп. Освен това при този тип реакционно устройство за излъчване на електронен сноп е предвиден защитен капак 20 покрай периферния ръб 18а на приемния прозорец 15 за електронния сноп. Това предотвратява ситуация, при която електронният сноп, излъчен към отработения газ в тръбата за този газ, се отразява и се разпръсква и се удря върху гъвкавия цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23, като по този начин поврежда същия елемент.
Фигура 5 е напречен разрез на част от представен пример за гъвкав цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23. Именно в този пример гъвкавият цилиндричен, херметич но уплътняващ елемент включва гофрирани мембрани 23а, изпълнени от стъклени влакна, покрити с етиленпропиленова (EPDM) гума. Гъвкавият цилиндричен, херметично уплътняващ елемент е свързан между външната пръстеновидна част 27а на възела за охлаждащата дюза и периферния ръб 18а на прозореца за приемане на електронния сноп. С позиции 23с е обозначена фиксиращата плоча; 23Ь и 23f са уплътнения; 23g е гайка; и 23h е болт. Защитният капак 20 е фиксиран между гъвкавия цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23 и периферния ръб 18а на приемния прозорец за електронния сноп. Фиксиращата плоча 23с е свързана към държач 23d. Посредством възел болт/гайка 23е, простиращ се през държана 23 d, разстоянието между сканиращата тръба 12 и реакционното устройство с електронния сноп 18 се настройва.
Фигура 6 е напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп 30 съгласно второ изпълнение на настоящото изобретение. Елементите, които са еднакви с тези от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп от фигура 4, са означени с едни и същи позиции, както използваните на фигура 4 и поради тази причина обяснението е изпуснато. Устройството от това изпълнение се различава от това на фигура 4 по елементите на възела за охлаждащата дюза (именно охлаждаща глава и съответните й елементи). В тази връзка при устройството от фигура 6 възелът на охлаждащата дюза 32 включва втори дюзов елемент за охлаждащ газ 32 за охлаждане на второто метално прозоречно фолио 34, което уплътнява приемния прозорец 15 за електронния сноп в допълнение към първия елемент от възела за охлаждащ газ дюза 32 за охлаждане на първичното метално фолио за прозорец 14, което уплътнява прозореца за освобождаване на електронния сноп 13 от сканиращата тръба 12, а също така включва канали 32c 32d под формата на тръби за отработения газ, за изпразване на охлаждащия газ, подаван през съответните елементи на дюзата. Вторичното метално прозоречно фолио 34 е захванато стабилно между фиксиращите плочи 31 и 31а и е фиксирано към възела на дюзата за охлаждащия газ. Периферният ръб на приемния прозорец за електронния сноп 15 се определя от фиксиращите плочи 31 и 31а (обединени с възела на охлаж дащата дюза). Именно при това реакционно устройство за излъчване на електронен сноп сканиращата тръба 12, първичното метално прозоречно фолио 14, възелът на дюзата за охлаждащия газ 32 и вторичното метално прозоречно фолио 34 съставляват едно тяло. Както в случая от фигура 4, гъвкавият цилиндричен херметично уплътняващ елемент 23 е свързан между външната пръстеновидна част 32а на възела на дюзата за охлаждащия газ и периферния ръб 18а на приемния прозорец за електронния сноп 15 от тръбата за отработения газ, като по този начин се предотвратява изтичането или навлизането на охлаждащ газ или отработен газ от или в свързващата част между сканиращата тръба и тръбата за отработения газ.
Фигура 7 е напречен разрез на част от реакционното устройство за излъчване на електронен сноп 40, съгласно трето изпълнение на настоящото изобретение.
Както това е показано на фигура 7, конфигурацията на реакционното устройство за излъчване на електронен сноп 40 в основни линии е същата като на устройството от фигура 4, но се различава по това, че отдалечената крайна част 46 на дюзовия елемент за охлаждащ газ 42, който образува газов процеп 44 между него и фиксиращата плоча 16, е разглобяемо закрепен към останалата част о на възела на дюзата за охлаждащия газ. Това устройство позволява лесна замяна на металното прозоречно фолио. Това е операция по заменяне на металното прозоречно фолио 14, включваща етапите на отстраняване на гъвкавия цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23 от реакционното устройство с електронен сноп 18, преместване на устройството за излъчване на електронен сноп и на устройството с електронен сноп, като по този начин се осигурява работно пространство,отстраняване на отдалечената крайна част 46 от възела на дюзата за охлаждащия газ 42, отстраняване на фиксиращата плоча 16 и съпровождаща подмяна на металното прозоречно фолио 14. Ето защо не е необходимо да се отстранява възелът на дюзата за охлаждащия газ 42 и сканиращата тръба 12 и замяната може да бъде осъществена лесно.
В посочените изпълнения се предвижда врата (не е показана), така че приемният прозорец за електронния сноп се покрива херметично, когато се отстрани гъвкавият цилиндри чен, херметично уплътняващ елемент 23. Посредством тази врата е възможно да се предотврати изтичането на газа, който се съдържа в реакционното устройство с електронен сноп 18, когато гъвкавият цилиндричен, херметично уплътняващ елемент 23 се отстрани от реакционното устройство с електронен сноп.
Както беше споменато преди това, устройствата за излъчване на електронен сноп, като тези, които са показани на фигури 4 и 7 и които работят с едно метално прозоречно фолио, превъзхождат устройствата, показани на фигура 6, при които се използват две метални прозоречни фолиа, по отношение на енергийната ефективност. Но единичното метално прозоречно фолио се привежда към директен контакт с отработения газ, който ще бъде обработван. Ето защо фините частици от амониев сулфат или амониев нитрат, съдържащи се в отработения газ, се отлагат върху повърхността на металното прозоречно фолио. (За обработването на отработения газ, съдържащ азотни окиси или серни окиси, в газа може да бъде инжектиран амоняк. Фините частици се формират, когато инжектираният амоняк взаимодейства с тези окиси). В този случай възниква проблем, такъв като скъсване на металното прозоречно фолио, което се дължи на химическото въздействие на отложената субстанция.
Фигури 8 до 14 показват устройство за излъчване на електронен сноп, включващи средство за разрешаване на посочения проблем, като това средство по принцип е настроено, така че да поддържа влажността на охлаждащия газ (или охлаждащ въздух), който е издухан срещу металното прозоречно фолио, на ниво, равно или по-високо от критичната влажност на фините прахове, отложени върху металното прозоречно фолио. Критичната влажност тук означава влажност, при която твърдата субстанция започва да абсорбира влага от обкръжаващия въздух, за да започне да се стопява. Когато охлаждащият газ има влажност, равна или по-голяма от критичната влажност, той се нагнетява срещу повърхността на металното прозоречно фолио, върху което са отложени фините прахове от амониев сулфат или амониев нитрат, като при това тези прахове абсорбират влагата в охлаждащия газ, разтварят се и се съединяват един с друг, като по този начин формират частици с по-голям диаметър, и така намаляват здравината на адхезията. След това частиците се отстраняват лесно от металното прозоречно фо лио посредством охлаждащия газ. Примери за критичните влажности на амониевия сулфат и амониевия нитрат са дадени в следващата таблица.
Температура (°C) Критична влажност на Амониевия сулфат (%) Критична влажност на Амониевия Нитрат (%)
10 79.8 75.3
20 81.0 66.9
30 79.2 59.4
40 78.2 52.5
50 77.2 48.4
В устройствата в примерните изпълнения на настоящото изобретение, когато се нагнетява охлаждащ газ при скорост от 100 до 200 m/s, налягането на охлаждащия газ в елемента на дюзата за охлаждане става 10 до 20 КРа. Когато охлаждащият газ се издуха от 25 отвора за нагнетяване, той бива подложен на адиабатно разширение, при което температурата му се понижава от 10°С до няколко десетки °C. Впоследствие влагата, съдържаща се в охлаждащия газ, кондензира и формира 30 фини капки вода. Когато охлаждащият газ, съдържащ капки вода, попадне върху металното прозоречно фолио, фините прахове, отложени върху фолиото, се разтварят частично и се променят към твърди вещества с голям диаметър 35 на частиците, които лесно се издухват от охлаждащия газ.
Този ефект също така може да се постигне при впръскване на чиста вода в охлаждащия газ, вместо да се използват капките во- 40 да, образувани при адиабатното разширяване.
Поради това, че е охлаждащ газ, то не е необходимо постоянно да се нагнетява влагосъдържащ въздух срещу металното прозоречно фолио. Възможно е например, да се осигу- 45 ри клапан в дюзата за въвеждане на пара в охлаждащия въздух и да се затваря и отваря клапата, така че да се вдухва с редуване на влагосъдържащ въздух и въздух, с влажност помалка от критичната влажност (оттук нататък 50 се нарича “сух въздух”). В този случай, въпреки че фините прахове се отлагат върху ме20 талното прозоречно фолио, когато се вдуха сух въздух, възможно е да се предотврати повреждането на металното фолио чрез преминаване на сухия въздух към влагосъдържащ въздух преди количеството на отложените фини прахове да достигне ниво, което влияе неблагоприятно върху металното прозоречно фолио. Влагосъдържащият въздух може да бъде генериран посредством осигуряване на дюза за разпръскване на вода в реакционното устройство с електронен сноп в близост до отвора за вдухване на охлаждащ въздух и чрез въвеждане на вода, впръскана от дюзата към охлаждащия газ. Предпочита се дюзата за впръскване на вода да бъде разположена колкото се може по-близо до отвора за охлаждащия газ, с оглед по-ефективно навлизане на разпръснатата вода в охлаждащия газ. Също така се предпочита дюзата за разпръскване на вода да бъде предвидена извън зоната, облъчена с електронен сноп, в реакционното устройство с електронен сноп, с оглед предотвратяване на облъчване с електронен сноп на дюзата за разпръскване на вода. Освен това в дюзовия елемент за охлаждащ газ може да се предвиди двуфлуидна (вода/въздух) дюза за подаване на въздух и вода. Съдържанието на влага в охлаждащия въздух се настройва чрез променяне съотношението на скоростта на потока на въздух спрямо скоростта на потока на вода (съотношение газ/течност). Съотношението газ/ течност е за предпочитане да се настройва в обхвата от 50 до 1,000 Nm3/L. Двуфлуидната дюза може да бъде направена компактна чрез изпълнение на елемента от дюзата за охлаждащия газ в двойна тръбна конструкция.
Влагосъдържащият въздух може също така да се произвежда чрез осигуряване на устройство за контакт на течност и газ, за директен контакт между въздуха и капките вода в тръбата за охлаждащия газ или в елемента на дюзата за охлаждащия газ. Като устройство за контакт между газ и течност може да бъде използвано охлаждащо устройство от тип с циркулация на вода, за директен контакт между въздуха и циркулиращата охлаждаща вода. При този тип охлаждащо устройство - с циркулация на вода, съдържанието на влага в охлаждащия газ може да се настройва в съотношение L/G (L/Nm3) за скорост на потока L(L/h) за циркулиращата, охлаждаща вода спрямо скоростта на потока G (Nm3/h) от въздух. Съотношението L/G за предпочитане е да се настройва в обхвата от 0.1 до 5 (L/Nm3). Особено, когато L/G съотношението (L/Nm3) е настроено на 1 или повече, в охлаждащия газ може да се съдържат капки вода, така че може да се постигне забележителен ефект на предотвратяване отлагането на фини прахове. Влагосъдържащият въздух и сухият въздух също така може да бъдат превключвани посредством операцията ON/OFF (включено/изключено) на помпата за циркулация на охлаждаща вода.
От друга страна, даже когато отлагането на фини прахове може да се избегне, ако отработеният газ има висока концентрация на серни окиси или азотни окиси и има силно корозионно действие, то тогава е вероятно да се случи кородиране на металното прозоречно фолио за прозорец. Като контрамярка се предпочита да се проведе антикорозионна обработка на повърхността от металното фолио, която контактува с газа. Антикорозионната обработка може да включва покриване на повърхността на металното прозоречно фолио, която контактува с газа и е направена от титаний или негова сплав, с фин метален слой от тип платина, например паладиум. Като алтернатива, корозията на металното прозоречно фолио може да бъде потисната чрез добавяне на амоняк към охлаждащия газ, като по този начин се създава алкална среда в близост до металното прозоречно фолио и се неутрализират серните окиси или азотни окиси в охлаждащия газ.
Фигури 8, 9, 11, 12 и 13 показват вари анти на устройства за обработва на отпадъчен газ, като тези споменати преди това, за потискане корозията на металното прозоречно фолио. Фигура 10 е увеличен напречен разрез на охлаждащо устройство от типа с водна циркулация, използван при устройството от фигура 9. Фигура 14а показва двуфлуидна дюза, а фигура 14Ь показва елемент от дюзата за охлаждащия газ, свързан с двуфлуидната дюза.
На тези чертежи знакът С означава охлаждащ газ; G - отработен газ; М - впръсканата вода (фигура 11); S - пара; и W - циркулиращата вода. С позиция 12 е означена сканиращата тръба за електронния ускорител; 14 - металното прозоречно фолио; 16 - фиксиращата плоча; 18 - реакционното устройство с електронен сноп (тръбата за отработения газ); 23 - гъвкавият цилиндричен, херметично уплътняващ елемент; 27- възела на дюзата за охлаждащия газ; 28 - газов процеп (отвор за вдухване на охлаждащия газ); 72 - тръба за охлаждащия газ; 74 - отвор за инжектиране на пара; 76 - клапан за пара; 78 - охлаждащо устройство от типа с водна циркулация (фигура
10); 80 - помпа за циркулация на охлаждащата вода (фигура 10); 82 - дюза за разпръскване на вода (фигура 11); 84 - клапан; и 86 помпа за разпръскване на водата.
Оттук нататък се описват експериментите, проведени по отношение на тези реакционни устройства за излъчване на електронен сноп.
При реакционното устройство за излъчване на електронен сноп съгласно фигура 8 електронният сноп, който е бил генериран при ускорително напрежение 500 kV и ток на снопа 15 mA, беше излъчен от сканиращата тръба 12 на електронния ускорител през металното прозоречно фолио 14, което е направено от титаний и има дебелина 50 pm при 1.500 Nm3/h на охлаждащия газ в реакционното устройство с електронен сноп 18. Отработеният газ имаше температура от 60°С и съдържаше 1.500 ppm серни окиси. (Тези условия са същите при експериментите, описани по-надолу по отношение на друго реакционно устройство за излъчване на електронен сноп). За да се охлади металното прозоречно фолио 14, охлаждащият газ беше вдухан при скорост от 400 Nm3/h от прореза за газа 28 във възела на дюзата за охлаждащия газ 27. Температурата на охлаждащия газ беше доведена до 60°С. Скоростта на инжектиране на парата S от отвора за инжектиране на пара 74 беше настроена в обхвата от 10 до 100 Ι/h, при промяна в степента на отваряне на клапана за пара 76. Следователно, влагосъдържащият въздух (въздух, който има влажност по-голяма или равна на критичната влажност) беше генериран и издухан от канала 28 срещу металното фолио за прозореца 14 при скорост от около 100 до 200 m/s. В резултат отлагането на фини прахове беше никакво или незначително. 1,000 h след започване на работата нямаше счупвания, въпреки че когато срещу металното прозоречно фолио беше вдухан само сух въздух, това фолио се скъса 100 h след започване на работата.
При реакционното устройство за излъчване на електронен сноп от фигура 9 устройството за охлаждане от типа с циркулираща вода 78, за довеждане на въздуха до контакт с циркулиращата охлаждаща вода W, е предвидено в тръбата за охлаждащия газ 72. Въздух с температура 60°С беше подаден от входа за въздушния поток в охлаждащото устройство от типа циркулираща вода, през обдухвателя на охлаждащ въздух 70, докато циркулиращата охлаждаща вода W беше подавана от помпата 80 при скорост на потока от 7 до 15 Ι/h. Въздухът беше приведен в контакт с циркулиращата вода за охлаждане в устройството от типа с водна циркулация, като по този начин беше формиран въздух със съдържание на влага, който беше издухан от прореза за газа 28 срещу металното прозоречно фолио 14 със скорост от 100 до 200 m/s. В резултат на това, отлагането на фини прахове беше никакво или незначително. 1,000 h след започване на операцията не се наблюдаваха повреди върху металното прозоречно фолио.
При реакционното устройство от фигура 11 за излъчване на електронен сноп дюзата за разпръскване на вода 82 беше предвидена в тръбата 72 за охлаждащия газ. Водата се подаваше от помпата за разпръскване 86 към дюзата за разпръскване на вода 82 и оттам беше въведена в тръбата за охлаждащия газ 72. При това устройство за разпръскване на вода съдържанието на влага беше настроено чрез настройване количеството на впръскваната вода в охлаждащия газ в обхвата от 10 до 100 1/h. Така въздухът, съдържащ капки вода, беше произведен и издухан през канала за газа 28 срещу металното прозоречно фолио 14 при скорост на потока от около 100 до 200 m/s. В резултат на това отлагането на фини прахове беше никакво или незначително. 1,000 h след започване на работата, не се наблюдаваше повреда в металното прозоречно фолио.
При реакционното устройство за излъчване на електронен сноп от фигура 12 дюзата за разпръскване на вода 82 е предвидена в близост до канала за газа 28. Налягането на разпръснатата вода беше сведено до 0.3 МРа, налягането на въздуха беше сведено до 0.4 МРа и количеството на разпръснатата вода беше сведено от 20 до 200 Ι/h. Разпръснатата вода беше въведена в охлаждащия газ, който беше нагнетен от канала за газа 28 срещу металното прозоречно фолио 14 при скорост от 100 до 200 m/s. В резултат на това отлагането на фини прахове беше никакво или незначително. 1.000 h след започване на работата, в металното фолио не се получи повреда.
При реакционното устройство за излъчване на електронен сноп от фигура 13 вместо нагнетателя 70 за охлаждащия газ, беше използван компресор 92. Освен това елементът на дюзата за охлаждащия газ беше разделен с двойна тръбна конструкция и водата беше подадена от помпа за разпръскване на вода (не е показана) към вътрешна тръба 90 за подаване на вода. Водата беше примесена с охлаждащия газ в камера за смесване от дюзата за разпръскване 82, която е разположена в отдалечения край на елемента от дюзата за охлаждащия газ. След това охлаждащият газ, който съдържа фини капки вода, беше вдухан от отдалечения край на дюзата към металното прозоречно фолио. В двуфлуидната дюза 82 налягането на разпръснатата вода беше сведено до 0.3 МРа, налягането на въздуха беше сведено до 0.4 МРа и количеството на разпръснатата вода беше настроено да бъде в обхвата от 20 до 200 Ι/h или 50 до 1000 Nm’/l при съотношение газ/течност. В резултат на това отлагането на фини прахове беше никакво или незначително. 1.000 h след започване на работата не се наблюдаваха повреди в металното фолио за прозореца.
Фигура 14(a) е напречен разрез на двуфлуидната дюза 82 в устройството от фигура 13 и фигура 14(b) е напречен разрез на дюзата за охлаждащия газ. Дюзата за охлаждащия газ има двойна тръбна конструкция и двуфлуидните дюзи 82 са свързани чрез резбите 24. Водата W и охлаждащият газ С съответно преминават през вътрешната тръба и външната тръба на двойната тръбна конструкция и се смесват в камерата за смесване на газ и течност 96 в двуфлуидната дюза 82, след което сместа се издухва през инжекционния отвор на отдалечения краен връх 98.
Основно при устройствата от Фигури 8 до 11, влажността на охлаждащия газ е сведена до ниво, равно или по-високо от критичната влажност. В действителност, в повечето случаи, охлаждащият газ е подложен на адиабатно разширение при инжектиране от възела на дюзата, при което се формират фини капки вода. При същите устройства влагата може първоначално да се подава към охлаждащия газ в количество, достатъчно за формиране на фини капки вода.
Приложение на изобретението
Както беше описано преди това, в настоящото изобретение реакционното устройство с електронен сноп, което включва обект, подлежащ на облъчване с електронен сноп и електронен ускорител, са свързани посредством гъвкав цилиндричен, херметично уплътняващ елемент. Възможно е да се предотврати изтичането на охлаждащия газ, който е бил вдухан срещу металното фолио за прозореца и отработеният газ да се изложи на външната среда, без да се упражни свръхнапрежение към съединителната част между реакционното устройство с електронен сноп и електронния ускорител.
Възможно е също така да се избегне отлагането на фините прахове, съдържащи се в газа, който ще се обработва, например в отработения газ, върху металното прозоречно фолио чрез вдухването на въздух с високо влагосъдържание, като охлаждащ газ срещу металното прозоречно фолио.
Следователно, в съответствие с настоящото изобретение е възможно да се осигури реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, което може да работи надеждно, даже и когато няма вторично метално фолио, а само първично такова, и което е икономично, както от гледна точка на производство, така и на работа, сравнено с устройството, притежа ващо първично и вторично метално фолио.

Claims (9)

  1. Патентни претенции
    1. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, съдържащо: устройство за излъчване на електронен сноп, включващо крайна част, снабдена с прозорец за изпускане на електронен сноп, през който се изпуска такъв сноп в състояние на сканиране, като при това този прозорец има първично метално фолио, разпростиращо се върху прозореца, за поддържане на вътрешен вакуум; реакционно устройство за излъчване на електронен сноп, за приемане на газа, който ще се облъчва с електронен сноп, като при това реакционното устройство за излъчване на електронен сноп има странична стена, снабдена с прозорец за приемане на електронен сноп от устройството за излъчване на електронен сноп; възел на дюзата за охлаждащ газ, който включва отвор за издухване на охлаждащ газ срещу металното прозоречно фолио, характеризиращо се с това, че съдържа гъвкав цилиндричен, херметично уплътняващ елемент, свързан между крайната част на устройството за излъчване на електронен сноп и периферната крайна част на прозореца за приемане на електронен сноп в страничната стена на реакционното устройство с електронен сноп, за предотвратяване изтичането на охлаждащ газ между крайната част и страничната стена в посока навън.
  2. 2. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно претенция 1, характеризиращо се с това, че е предвиден възел на дюза за охлаждащ газ в крайната част на устройството за излъчване на електронен сноп и гъвкав цилиндричен, херметично уплътняващ елемент, който е свързан между външната периферна част на възела за охлаждащата дюза и периферната крайна част на прозореца за приемане на електронен сноп в страничната стена.
  3. 3. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно претенция 2, характеризиращо се с това, че прозорецът за приемане на електронния сноп е оразмерен така, че да бъде по-широк от размера на периферния ръб на канала за снопа и възелът на дюзата за охлаждане като цяло е пръстеновидно оформен, така че да огражда канала на снопа, като при това възелът на дюзата за охлаж дащия газ по същество огражда прозореца за приемане на електронния сноп.
  4. 4. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно претенция 3, характеризиращо се с това, че е предвиден защитен елемент, който да предотвратява обратно разпръснатите електрони, които са генерирани при излъчването на електронен сноп в реакционното устройство с електронен сноп от удрянето върху гъвкавия цилиндричен, херметично уплътняващ елемент.
  5. 5. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно претенция 4, характеризиращо се с това, че първичното метално прозоречно фолио е плътно фиксирано към периферния ръб на прозореца за освобождаване на електронен сноп посредством сменяема фиксираща плоча, като при това възелът на дюзата за охлаждащия газ включва сменяема част, която е така монтирана, че да формира отвор за нагнетяване на охлаждащия въздух между нея и фиксиращата плоча, при което металното прозоречно фолио може да се заменя чрез отстраняване на сменяемата част и сваляне на фиксиращата плоча.
  6. 6. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно някоя от претенциите от 1 до 5, характеризиращо се с това, че освен това включва средство за подаване на влага към охлаждащия газ, нагнетен посредством възела на дюзата за охлаждащия газ, в такова количество, че влажността на охлаждащия газ да стане равна или по-голяма от критичната влажност на фините прахове в газа, които са отложени по повърхността на първичното метално прозоречно фолио, контактуващо с газа.
  7. 7. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно някоя от претен циите от 1 до 5, характеризиращо се с това, че освен това съдържа средство за осигуряване на нагнетен охлаждащ въздух, който се нагнетява от възела на дюзата за охлаждащия газ с капки вода.
  8. 8. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно претенция 3, характеризиращо се с това, че възелът на дюзата за охлаждащия газ включва вторично метално прозоречно фолио, предвидено в крайната му повърхност от страната на реакционното устройство с електронен сноп, така че да се разпростира по канала на снопа, отвор за нагнетяване, през който се издухва охлаждащият газ срещу първичното и вторичното метално прозоречно фолио и отвор за разреждане, за освобождаване на нагнетения охлаждащ газ във външната среда.
  9. 9. Реакционно устройство за излъчване на електронен сноп съгласно претенция 3, характеризиращо се с това, че възелът на дюзата за охлаждащия газ включва крайна повърхност, предвидена от страната на реакционното устройство с електронен сноп с прозорец, който има вторично метално фолио, простиращо се през прозореца, първи и втори отвор за нагнетяване, през които се издухва охлаждащият газ срещу първичното и вторичното метално прозоречно фолио, съответно първи и втори приемен отвор за приемане на охлаждащия газ отвън и подаване на газа към първия и втория нагнетателен отвор, съответно първи и втори отвор за разреждане, през които се освобождава охлаждащият газ, нагнетен от първия и втория отвор срещу първото и второто метално прозоречно фолио, съответно, в посока навън.
BG105694A 1999-01-11 2001-07-10 Реакционно устройство, излъчващо електронен сноп BG64572B1 (bg)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP426899 1999-01-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
BG105694A BG105694A (bg) 2002-06-28
BG64572B1 true BG64572B1 (bg) 2005-07-29

Family

ID=11579807

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BG105694A BG64572B1 (bg) 1999-01-11 2001-07-10 Реакционно устройство, излъчващо електронен сноп

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6724003B1 (bg)
EP (1) EP1160799A4 (bg)
JP (1) JP3895927B2 (bg)
CN (1) CN1172319C (bg)
AU (1) AU1892400A (bg)
BG (1) BG64572B1 (bg)
BR (1) BR0007813A (bg)
WO (1) WO2000042620A1 (bg)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008025868A1 (de) * 2008-05-30 2009-12-03 Krones Ag Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen mittels Ladungsträgern
DE102012106555A1 (de) * 2012-07-19 2014-05-22 Krones Ag Verfahren und Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen mit Kühlluftentnahme aus dem Sterilraum
AP2015008340A0 (en) 2012-10-10 2015-04-30 Xyleco Inc Treating biomass
DE102012112368A1 (de) * 2012-12-17 2014-06-18 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zum Rinsen
CN103108484A (zh) * 2012-12-26 2013-05-15 江苏达胜加速器制造有限公司 一种高压型加速器
NZ743055A (en) 2013-03-08 2020-03-27 Xyleco Inc Equipment protecting enclosures
WO2018036899A1 (de) * 2016-08-20 2018-03-01 Bühler AG Vorrichtungen und verfahren zum pasteurisieren und/oder sterilisieren von partikelförmigem gut sowie kassette
EP3528273B1 (de) * 2018-02-20 2023-08-23 Bühler AG Vorrichtung und verfahren zum pasteurisieren und/oder sterilisieren von partikelförmigem gut
RU2742712C1 (ru) * 2020-09-25 2021-02-10 Акционерное общество «Газпромнефть - Омский НПЗ» (АО «Газпромнефть - ОНПЗ») Окно для вывода пучка электронов из вакуумной камеры ускорителя в атмосферу и ввода в рабочую камеру радиационно-химического реактора

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2670440A (en) * 1952-11-26 1954-02-23 Carroll M Gordon Accelerator target holder
GB1166053A (en) * 1966-08-08 1969-10-01 Atomic Energy Authority Uk Improvements in or relating to Particle Accelerators
US3486060A (en) * 1967-09-06 1969-12-23 High Voltage Engineering Corp Cooling apparatus with laminar flow for electron permeable windows
US3867637A (en) * 1973-09-04 1975-02-18 Raytheon Co Extended monochromatic x-ray source
JPS5196998A (bg) 1975-02-24 1976-08-25
JPS5237553A (en) 1975-09-20 1977-03-23 Ebara Corp Method for improving the life time of irradiation window of a reactor for treating exhaust gas irradiated with radiation
JPS5839320B2 (ja) 1976-06-07 1983-08-29 日新ハイボルテ−ジ株式会社 照射窓冷却方法
JPS5375163A (en) 1976-12-15 1978-07-04 Ebara Corp Improving method for life of window foil of irradiataion window and incidencewindow in treating apparatus of radiation irradiating type for exhaust gas
DE2904171A1 (de) 1979-02-05 1980-08-14 Siemens Ag Verfahren zum herstellen von aus amorphem silizium bestehenden halbleiterkoerpern durch glimmentladung
WO1981003597A1 (en) * 1980-05-30 1981-12-10 M Fedotov Vacuum chamber of charged particle accelerator
US4631444A (en) * 1982-09-29 1986-12-23 Tetra Pak Developpement Sa Readily attachable and detachable electron-beam permeable window assembly
DE3400776A1 (de) 1984-01-12 1985-07-25 Erich Poehlmann Verfahren und vorrichtung zur verringerung von emissionen gefaehrlicher molekularer stoffe
JPS63168899A (ja) 1987-01-05 1988-07-12 Nec Corp ピ−クホ−ルド回路
JPS63168900A (ja) 1987-01-06 1988-07-12 Toshiba Corp 半導体記憶装置
US5416440A (en) * 1990-08-17 1995-05-16 Raychem Corporation Transmission window for particle accelerator
US5319211A (en) * 1992-09-08 1994-06-07 Schonberg Radiation Corp. Toxic remediation
US5378898A (en) * 1992-09-08 1995-01-03 Zapit Technology, Inc. Electron beam system
DE4327081C2 (de) 1993-08-12 1996-02-15 Univ Schiller Jena Durchflußreaktor für Flüssigkeiten und/oder Gase
JP3488524B2 (ja) 1994-12-12 2004-01-19 日本原子力研究所 電子ビーム照射設備の照射窓装置
JP3569329B2 (ja) 1994-12-12 2004-09-22 日本原子力研究所 電子ビーム照射設備の照射窓装置
JP3291437B2 (ja) 1995-10-17 2002-06-10 株式会社荏原製作所 電子ビーム加速器の窓箔冷却方法および装置
JPH09133799A (ja) 1995-11-07 1997-05-20 Nissin High Voltage Co Ltd 電子線照射装置の窓箔冷却装置
JPH09145900A (ja) 1995-11-25 1997-06-06 Nissin High Voltage Co Ltd 電子線照射装置の窓箔冷却構造

Also Published As

Publication number Publication date
CN1172319C (zh) 2004-10-20
AU1892400A (en) 2000-08-01
BR0007813A (pt) 2001-11-06
CN1340200A (zh) 2002-03-13
US6724003B1 (en) 2004-04-20
JP3895927B2 (ja) 2007-03-22
EP1160799A4 (en) 2003-02-26
WO2000042620A1 (fr) 2000-07-20
EP1160799A1 (en) 2001-12-05
BG105694A (bg) 2002-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BG64572B1 (bg) Реакционно устройство, излъчващо електронен сноп
CN102017065B (zh) 使用在打开与关闭操作模式之间易于转换的处理室设计处理微电子工件的工具和方法
US4638632A (en) Exhaust gas pipe cooled by ambient air
US7926283B2 (en) Gas turbine combustion system cooling arrangement
KR20030015832A (ko) 고온 배기가스의 냉각방법 및 그 장치, 및 연소처리장치
WO2006124688A2 (en) Arc plasma jet and method of use for chemical scrubbing system
KR20050004818A (ko) 노즐 교체용 장치
KR20000035722A (ko) 흡인 분사 펌프
BG62916B1 (bg) Метод и съоръжение за обработване на газ чрез облъчване с електронен лъч
TWI579889B (zh) 用於處理至少一微電子工作件之裝置及清洗一裝置之方法
US6614037B2 (en) Electron beam irradiating apparatus
JP4264792B2 (ja) 排ガス冷却装置
JP4485635B2 (ja) コロナ放電器およびそれを用いたガス処理装置
WO2002002210A1 (fr) Pulverisateur pour melange d'eau et d'ammonium et dispositif de desulfuration de gaz d'echappement
US6940192B2 (en) Air-cooled motor
JP5501803B2 (ja) フランジシート面補修装置およびフランジシート面補修方法
KR880003377Y1 (ko) 방역용 분무겸용 연막 소독기
CN217903082U (zh) 故障芯片去除设备
JP3962949B2 (ja) 電子ビーム照射窓冷却機構
JP2739427B2 (ja) 高温ｐｃｂ排ガスの水中冷却装置
CN110093673B (zh) 一种甩丝机及其风环
JP3536625B2 (ja) 電子線照射装置の照射窓冷却ダクト
KR950030223A (ko) 매엽식 저압 화학 증기 증착장치
JP3872122B2 (ja) エジェクタ
KR930007524Y1 (ko) 음극선관의 제진장치