ATE469533T1 - Verfahren und vorrichtung zum erzeugen von extrem ultravioletter strahlung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum erzeugen von extrem ultravioletter strahlung

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ATE469533T1
ATE469533T1 AT01125762T AT01125762T ATE469533T1 AT E469533 T1 ATE469533 T1 AT E469533T1 AT 01125762 T AT01125762 T AT 01125762T AT 01125762 T AT01125762 T AT 01125762T AT E469533 T1 ATE469533 T1 AT E469533T1
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extreme ultraviolet
electrodes
generating extreme
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AT01125762T
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Juergen Klein
Stefan Seiwert
Willi Neff
Klaus Bergmann
Joseph Pankert
Michael Loeken
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Fraunhofer Ges Forschung
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    • H05G2/001—Production of X-ray radiation generated from plasma
    • H05G2/003—Production of X-ray radiation generated from plasma the plasma being generated from a material in a liquid or gas state
    • G—PHYSICS
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