ATE226651T1 - Verfahren zur herstellung grossformiger einkristalle aus calciumfluorid sowie deren verwendung in der fotolitographie - Google Patents

Verfahren zur herstellung grossformiger einkristalle aus calciumfluorid sowie deren verwendung in der fotolitographie

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ATE226651T1 AT01105178T AT01105178T ATE226651T1 AT E226651 T1 ATE226651 T1 AT E226651T1 AT 01105178 T AT01105178 T AT 01105178T AT 01105178 T AT01105178 T AT 01105178T AT E226651 T1 ATE226651 T1 AT E226651T1
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calcium fluoride
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producing large
large single
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Joerg Staeblein
Andreas Weisleder
Gunther Dr Wehrhan
Burkhard Dr Speit
Lutz Dr Parthier
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Schott Glas
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