JP4591236B2 - フッ化物単結晶の製造方法 - Google Patents
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応用物理、2004年、第73巻、第2号、p.199〜205
粒子状のCaF2と、スカベンジャーとしての粒子状のZnF2とを均一に混合して、ds/dfが1.0である粒子混合物を準備した。
粒子状のCaF2と、スカベンジャーとしての粒子状のZnF2とを均一に混合して、ds/dfが0.5である、実施例1とは別の粒子混合物を準備した。この粒子混合物を原料として、実施例1と同様にしてCaF2単結晶を作製した。
ds/dfが0.004である粒子混合物を準備し、これを原料として用いた他は実施例1と同様にして、CaF2単結晶を作製した。
ds/dfが37である粒子混合物を準備し、これを原料として用いた他は実施例1と同様にして、CaF2単結晶を作製した。
実施例1、2及び比較例1、2で作製したCaF2単結晶について、透過率と波長との関係を測定した結果を図4に示す。ds/dfが0.01〜20の範囲内にある粒子混合物を用いて作製された実施例1、2の単結晶は、130nm以下の短波長域においても十分に高い透過率を示した。
Claims (4)
- 粒子状のフッ化物に粒子状のスカベンジャーを混合した粒子混合物を溶融した溶融物を冷却することによりフッ化物単結晶を育成するフッ化物単結晶の製造方法において、
前記フッ化物の平均粒径df及び前記スカベンジャーの平均粒径dsが下記式:
0.5≦ds/df≦5
を満たす、フッ化物単結晶の製造方法。 - 前記フッ化物及び前記スカベンジャーが粒径1μm以上の粒子からなる、請求項1記載のフッ化物単結晶の製造方法。
- 前記フッ化物がCaF2である、請求項1又は2記載のフッ化物単結晶の製造方法。
- 前記スカベンジャーがZnF2又はPbF2である、請求項1〜3の何れか一項に記載のフッ化物単結晶の製造方法。
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JP2001354494A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-12-25 | Carl Zeiss:Fa | 弗化カルシウムから大容積単結晶を成長させるための方法及びその用途 |
WO2002077676A1 (fr) * | 2001-03-15 | 2002-10-03 | Nikon Corporation | Element optique, procede permettant de produire cet element, et machine de projection |
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