AT287089B - Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Entladungsröhre mit einer Photokathode, deren aktiver Bestandteil aus einer stark p-leitenden A<III>B<V>-Verbindung besteht - Google Patents
Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Entladungsröhre mit einer Photokathode, deren aktiver Bestandteil aus einer stark p-leitenden A<III>B<V>-Verbindung bestehtInfo
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Description
<Desc/Clms Page number 1> Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Entladungsröhre mit einer Photokathode, deren aktiver Bestandteil aus einer stark p-leitenden AIIIBV-Verbindung besteht Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Entladungsröhre mit einer Photokathode, deren aktiver Bestandteil aus einer stark p-leitenden AIII BV-Verbindung besteht, die von einem Alkali- oder Erdalkalimetall aktiviert ist. Wie üblich, wird unter einer AIII BV-Verbindung eine intermetallische Verbindung eines der Ele- mente (AIII) der dritten Gruppe des periodischen Systems (Bor, Aluminium, Gallium, Indium) einerseits mit einem Element (BV) der fünften Gruppe des periodischen Systems (Stickstoff, Phosphor, Arsen, Antimon) anderseits verstanden. Hierunter sind auch Mischkristalle inbegriffen. Derartige Photokathoden wurden von J. J. Scheer und J. van Laar beschrieben in "Solid State Communications 3,189 bis 193, [ 1965] ". Die AIII BV-Kathode wurde dabei aus einem im Vakuum gespaltenen Einkristall gebildet. Die Herstellung von Photokathoden aus Kristallen welche an der Luft gespalten sind, oder aus epitaxial oder durch Aufdampfen bzw. Aufstäuben hergestellten Schichten solcher Verbindungen, führt oft nicht zum Erfolg. Auf Grund von verschiedenen Erscheinungen konnte festgestellt werden, dass eine intensive Reinigung der zur Photoemission zu verwendenden Oberfläche erforderlich ist, dass aber die bisherigen Reinigungsverfahren unbefriedigend sind. Bei einem Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Entladungsröhre mit einer Photokathode, deren aktiver Bestandteil aus einer stark p-leitenden AIII BV-Verbindung besteht, die von einem Alkali- oder Erdalkalimetall aktiviert ist, wird gemäss der Erfindung die noch nicht aktivierte Verbindung in der Röhre bei einer Temperatur von höchstens 3000 C während mindestens zwei Stunden einem Ausheizprozess unterworfen, wonach die Oberfläche der Verbindung einem Beschuss durch langsame Edelgasionen unterworfen wird. Die Temperatur beim Ausheizprozess ist darum so niedrig gewählt, weil sonst Oxydation der Verbindung durch freiwerdende Restgase auftritt. Auch ist die Temperatur genügend niedrig, um das Ausdiffundieren der Dotierungssubstanz aus der Verbindung zu vermeiden. Beim Beschuss mit langsamen Edelgasionen werden mehrere Schichten der Oberfläche abgetragen, wodurch oberflächliche Verunreinigungen wie Oxyde mit abgetragen werden. Vorzugsweise istdabei vorgesehen, dass die Energie der Edelgasionen anfänglich auf einem bestimmten Wert gehalten wird und danach im weiteren Verlauf der Behandlung auf ungefähr die Hälfte verringert wird. Für Argon sind die Energien dann maximal 100 bzw. 50 eV. Die Stromdichte desionenbeschusses kann in der Grössenord. nung von 30uA/cm2 liegen. Die erniedrigte Energie bewirkt eine weitere Abtragung ohne Bildungvon <Desc/Clms Page number 2> EMI2.1
Claims (1)
- <Desc/Clms Page number 3> nen anfänglich auf einem bestimmten Wert gehalten wird und danach im weiteren Verlauf der Behandlung auf ungefähr die Hälfte verringert wird.3. Verfahren nach Anspruch l oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass nach abwechselnder Bedeckung mit Aktivierungsmaterial und Behandlung mit Sauerstoff eine Formierung der Kathode bei einer Temperatur von 150 bis 1700 C während 1/4 bis 1 h stattfindet, wonach noch Aktivierungsmaterial in einer Menge, die geringer ist als jene die für die Bildung einer monoatomaren Schicht benötigt wird, aufgebracht wird.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEN0032295 | 1968-03-15 |
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| AT287089B true AT287089B (de) | 1971-01-11 |
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ID=7346292
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|---|---|---|---|
| AT251669A AT287089B (de) | 1968-03-15 | 1969-03-14 | Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Entladungsröhre mit einer Photokathode, deren aktiver Bestandteil aus einer stark p-leitenden A<III>B<V>-Verbindung besteht |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| AT (1) | AT287089B (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3715924A1 (de) * | 1987-05-13 | 1988-12-01 | Gte Licht Gmbh | Fotozelle, insbesondere zur feststellung von uv-strahlung |
-
1969
- 1969-03-14 AT AT251669A patent/AT287089B/de not_active IP Right Cessation
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