AT274073B - A<III>B<V>-Lumineszenzdiode - insbesondere auf GaAs-Basis - Google Patents
A<III>B<V>-Lumineszenzdiode - insbesondere auf GaAs-BasisInfo
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- AT274073B AT274073B AT977867A AT977867A AT274073B AT 274073 B AT274073 B AT 274073B AT 977867 A AT977867 A AT 977867A AT 977867 A AT977867 A AT 977867A AT 274073 B AT274073 B AT 274073B
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Description
<Desc/Clms Page number 1> AIIIBV-Lumineszenzdiode - insbesondere auf GaAs-Basis EMI1.1 <Desc/Clms Page number 2> Man erkennt deutlich, dass die Lumineszenzstrahlung diffundierter Dioden, Kurve --a--, energiereicher ist als die legierter Dioden, Kurven --b--, und nahe der Absorptionskante, Kurve --an--, des zu durchdringenden Materials der n-Zone liegt. Zur Erzeugung gleichmässig ausgebildeter, ebener pn-Übergänge der jeweils gewünschten Orientierung hat sich folgendes Verfahren als optimal erwiesen. Nach dem an sich bekannten Presspulververfahren werden Scheiben einer den Dotierungsstoff enthaltenden Legierung, hier z. B. einer (Zn, Sn)-Legierung, zusammen mit GaAs in Graphitpulver gepresst. Damit gelingt es, das Zusammenlaufen der Scheiben zu Kugeln [die Legierungstemperatur liegt höher als die Schmelztemperatur der (Zn, Sn)-Le- gierung, so dass keine flächenhafte Benetzung entstünde], zu verhindern und p-Zonen mit einem Durchmesser von einigen mm und einer Dicke von einigen bis zu etwa 30 pm herzustellen, die nur am Rand von Flächen anderer Indizierung begrenzt sind. Diese Flächen lassen sich jedoch leicht durch Ätzen beseitigen. Das Einlegieren selbst erfolgt zweckmässig nach dem in Fig. 2 skizzierten Legierungs-Tem- peraturprogramm ; über der Zeit ist die Temperatur --T-- aufgetragen: Zur Erzielung einer gleichmässigen Benetzung werden die Proben vor dem eigentlichen Einlegieren zunächst einige Minuten (zirka 10 min) auf Temperaturen von 350 bis 4000 C gehalten. Die Einlegierung selbst erfolgt dann in einem Temperaturintervall zwischen 520 und 6000 C, bei zu niedrigen Temperaturen ergibt sich oft eine ungleichmässige Auflösung des GaAs, bei höheren Temperaturen entsteht keine p-Dotierung (wahrscheinlich wegen zu starken Abdampfens des p -dotierten Zn). Um gleichmässig dicke Rückkristallisationsschichten und damit gleichmässige und ebene pn-Übergänge zu erhalten, muss die anschliessende Abkühlung langsam und gleichmässig, z. B. innerhalb von zirka 30 min bis auf zirka 4000 C, erfolgen. Danach kann schneller abgekühlt werden. In Fig. 3 ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemässen GaAs-Lumineszenzdiode angegeben und durch die Tabelle erläutert. Die Halbkugelform für den n-Typ-GaAs-Kristall ist deshalb vorteilhaft, weil so die sonst infolge des hohen Brechungsindex von GaAs-hohen-TotaIreflexionsverluste an der Grenzfläche gegen Luft erheblich vermindert werden können. Tabelle EMI2.1 <tb> <tb> Nr. <SEP> Teilbezeichnung <SEP> Material <SEP> Dimensionen/mm <SEP> Bemerkungen <tb> 1 <SEP> Kristall <SEP> GaAs <SEP> n <SEP> -Typ <SEP> Höhe <SEP> : <SEP> 1, <SEP> 0 <SEP> Halbkugelform <tb> Durchmesser <SEP> : <SEP> 2, <SEP> 0 <SEP> <tb> 2 <SEP> Mittelkontakt <SEP> Sn-Zn <SEP> Höhe <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 3 <SEP> Legierung <SEP> zur <SEP> Her- <tb> ( > <SEP> 0, <SEP> 30/0 <SEP> Zn) <SEP> Durchmesser <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 5 <SEP> stellung <SEP> des <tb> p-n-Übergangs <tb> 3 <SEP> Grundplatte <SEP> Mo <SEP> Dicke <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 4 <SEP> vergoldet, <SEP> grosse <tb> Innendurchmesser <SEP> : <SEP> 1, <SEP> 3 <SEP> Wärmeleitfähigkeit <SEP> und <tb> Aussendurchmesser <SEP> : <SEP> 5, <SEP> 0 <SEP> Ausdehnungskoeffizient <tb> an <SEP> GaAs <SEP> angepasst <tb> 4 <SEP> Ringkontakt <SEP> Sn <SEP> - <SEP> Pt <SEP> Dicke <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 05 <SEP> zur <SEP> Herstellung <SEP> der <SEP> Löt- <tb> (1% <SEP> Pt) <SEP> Innendurchmesser: <SEP> 1,2 <SEP> verbindung <SEP> mit <SEP> der <tb> Aussendurchmesser <SEP> : <SEP> 2, <SEP> 0 <SEP> Grundplatte <tb> 5 <SEP> Isolationsring <SEP> Keramik <SEP> mit <SEP> Dicke <SEP> : <SEP> 1, <SEP> 0 <SEP> Hersteller <SEP> : <SEP> <tb> Nickelmetal- <SEP> Innendurchmesser <SEP> : <SEP> 1, <SEP> 2 <SEP> Frenchtown <SEP> Porcelain <tb> lisierung <SEP> Aussendurchmesser <SEP> : <SEP> 2, <SEP> 2 <SEP> <tb> 6 <SEP> Lötring <SEP> Sn <SEP> Dicke <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 05 <SEP> zum <SEP> Verlöten <SEP> der <tb> Innendurchmesser <SEP> : <SEP> 1, <SEP> 2 <SEP> Grundplatte <SEP> mit <SEP> dem <tb> Aussendurchmesser <SEP> : <SEP> 2, <SEP> 2 <SEP> Keramikring <SEP> <tb> (metallisiert) <tb> <Desc/Clms Page number 3> Tabelle (Fortsetzung) EMI3.1 <tb> <tb> Nr. <SEP> Teilbezeichnung <SEP> Material <SEP> Dimensionen/mm <SEP> Bemerkungen <tb> 7 <SEP> Kontaktstreifen <SEP> Cu <SEP> Länge <SEP> : <SEP> 2, <SEP> 5 <SEP> Cu-Netz <SEP> vergoldet <tb> Breite <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 5 <SEP> Maschenweite <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 0 <SEP> 55 <SEP> <tb> Drahtstärke <SEP> : <SEP> 0, <SEP> 035 <SEP> <tb> 8 <SEP> Deckel <SEP> Ni <SEP> Dicke: <SEP> 0,2 <SEP> vergoldet <tb> Durchmesser <SEP> : <SEP> 2, <SEP> 2 <SEP> <tb> 9 <SEP> Ausgleichsring <SEP> Ag <SEP> Dicke <SEP> : <SEP> 0,05 <SEP> Ausgleichsstück <SEP> für <SEP> die <tb> Innendurchmesser <SEP> : <SEP> 1, <SEP> 3 <SEP> Dicke <SEP> des <SEP> KontaktAussendurchmesser <SEP> : <SEP> 2,2 <SEP> streifens <tb> EMI3.2 **WARNUNG** Ende DESC Feld kannt Anfang CLMS uberlappen**.
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