WO2023171309A1 - 遠赤外線透過部材及び遠赤外線透過部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

遠赤外線を適切に透過し、かつ、耐擦傷性を向上させる。遠赤外線透過部材（２０）は、遠赤外線を透過する基材（３０）と、基材（３０）上に形成された第１機能膜（３２）とを含み、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上であり、第１機能膜（３２）の最外層（３６）は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、最外層（３６）の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である。

Description

遠赤外線透過部材及び遠赤外線透過部材の製造方法

　本発明は、遠赤外線透過部材及び遠赤外線透過部材の製造方法に関する。

　例えば車両などに遠赤外線センサを取り付ける際に、遠赤外線センサに遠赤外線が適切に入射するための機能膜を形成した遠赤外線透過部材を設ける場合がある。例えば特許文献１には、酸化亜鉛を主成分として金属酸化物を含む赤外線透過膜を、基材上に形成する旨が記載されている。

特開２０１７－１５１４０８号公報

　このような遠赤外線透過部材は、遠赤外線を適切に透過しつつ、耐擦傷性を向上させることが求められている。

　本発明は、遠赤外線を適切に透過し、かつ、耐擦傷性を向上可能な遠赤外線透過部材及び遠赤外線透過部材の製造方法を提供することを目的とする。

　本開示に係る遠赤外線透過部材は、遠赤外線を透過する基材と、前記基材上に形成された機能膜とを含み、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上であり、前記機能膜の最外層は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、前記最外層の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である。

　本開示に係る遠赤外線透過部材の製造方法は、遠赤外線を透過する基材上に機能膜を形成する遠赤外線透過部材の製造方法であって、前記基材上に、スパッタリングにより前記機能膜の最外層を形成することで前記遠赤外線透過部材を製造するステップを有し、前記遠赤外線透過部材は、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上であり、前記最外層は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、前記最外層の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である。

　本発明によれば、遠赤外線を適切に透過し、かつ、耐擦傷性を向上することができる。

図１は、本実施形態に係る車両用ガラスが車両に搭載された状態を示す模式図である。 図２は、本実施形態に係る車両用ガラスの概略平面図である。 図３は、図２のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図４は、図２のＢ－Ｂ断面に沿った断面図である。 図５は、本実施形態に係る遠赤外線透過部材の模式的な断面図である。 図６は、本実施形態に係る遠赤外線透過部材の製造方法を説明する模式図である。

　以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態により本発明が限定されるものではなく、また、実施形態が複数ある場合には、各実施形態を組み合わせて構成するものも含むものである。また、数値については四捨五入の範囲が含まれる。

　（車両）
　図１は、本実施形態に係る車両用ガラスが車両に搭載された状態を示す模式図である。図１に示すように、本実施形態に係る車両用ガラス１は、車両Ｖに搭載される。車両用ガラス１は、車両Ｖのフロントガラスに適用される窓部材である。すなわち、車両用ガラス１は、車両Ｖのフロントウィンドウ、言い換えれば風防ガラスとして用いられている。車両Ｖの内部（車内）には、遠赤外カメラＣＡ１及び可視光カメラＣＡ２が搭載されている。なお、車両Ｖの内部（車内）とは、例えばドライバーの運転席が設けられる車室内を指す。

　車両用ガラス１、遠赤外カメラＣＡ１及び可視光カメラＣＡ２は、本実施形態に係るカメラユニット１００を構成している。遠赤外カメラＣＡ１は、遠赤外線を検出するカメラであり、車両Ｖの外部からの遠赤外線を検出することで、車両Ｖの外部の熱画像を撮像する。可視光カメラＣＡ２は、可視光を検出するカメラであり、車両Ｖの外部からの可視光を検出することで、車両Ｖの外部の画像を撮像する。なお、カメラユニット１００は、遠赤外カメラＣＡ１及び可視光カメラＣＡ２以外にも、例えばＬｉＤＡＲやミリ波レーダーをさらに備えてもよい。ここでの遠赤外線とは、例えば、波長が８μｍ～１３μｍの波長帯の電磁波であり、可視光とは、例えば、波長が３６０ｎｍ～８３０ｎｍの波長帯の電磁波である。また、ここでの８μｍ～１３μｍ、３６０ｎｍ～８３０ｎｍとは、８μｍ以上１３μｍ以下、３６０ｎｍ以上８３０ｎｍ以下を指し、以降でも同様である。なお、遠赤外線を、波長が８μｍ～１２μｍの波長帯の電磁波としてもよい。

　（車両用ガラス）
　図２は、本実施形態に係る車両用ガラスの概略平面図である。図３は、図２のＡ－Ａ線に沿った断面図である。図４は、図２のＢ－Ｂ断面に沿った断面図である。図２に示すように、以下、車両用ガラス１の上縁を、上縁部１ａとし、下縁を、下縁部１ｂとし、一方の側縁を、側縁部１ｃとし、他方の側縁を、側縁部１ｄとする。上縁部１ａは、車両用ガラス１を車両Ｖに搭載した際に、鉛直方向上側に位置する縁部分である。下縁部１ｂは、車両用ガラス１を車両Ｖに搭載した際に、鉛直方向下側に位置する縁部分である。側縁部１ｃは、車両用ガラス１を車両Ｖに搭載した際に、一方の側方側に位置する縁部分である。側縁部１ｄは、車両用ガラス１を車両Ｖに搭載した際に、他方の側方側に位置する縁部分である。

　以下、車両用ガラス１の表面に平行な方向のうち、上縁部１ａから下縁部１ｂに向かう方向を、Ｙ方向とし、側縁部１ｃから側縁部１ｄに向かう方向を、Ｘ方向とする。本実施形態において、Ｘ方向とＹ方向とは直交している。車両用ガラス１の表面に直交する方向、すなわち車両用ガラス１の厚み方向を、Ｚ方向とする。Ｚ方向は、例えば、車両用ガラス１を車両Ｖに搭載した際に、車両Ｖの車外側から車内側に向かう方向である。Ｘ方向及びＹ方向は、車両用ガラス１の表面に沿っているが、例えば車両用ガラス１の表面が曲面の場合、車両用ガラス１の中心点Ｏにおいて車両用ガラス１の表面に接する方向となっていてもよい。中心点Ｏとは、Ｚ方向から車両用ガラス１を見た場合の、車両用ガラス１の中心位置である。

　車両用ガラス１には、透光領域Ａ１及び遮光領域Ａ２が形成されている。透光領域Ａ１は、Ｚ方向から見て車両用ガラス１の中央部分を占める領域である。透光領域Ａ１は、ドライバーの視野を確保するための領域である。透光領域Ａ１は、可視光を透過する領域である。遮光領域Ａ２は、Ｚ方向から見て透光領域Ａ１の周囲に形成される領域である。遮光領域Ａ２は、可視光を遮蔽する領域である。遮光領域Ａ２のうち、上縁部１ａ側の部分である遮光領域Ａ２ａ内には、遠赤外線透過領域Ｂと可視光透過領域Ｃとが形成されている。

　遠赤外線透過領域Ｂは、遠赤外線を透過する領域であり、遠赤外カメラＣＡ１が設けられる領域である。すなわち、遠赤外カメラＣＡ１は、遠赤外カメラＣＡ１の光軸方向から見た場合に、遠赤外線透過領域Ｂと重なる位置に設けられる。可視光透過領域Ｃは、可視光を透過する領域であり、可視光カメラＣＡ２が設けられる領域である。すなわち、可視光カメラＣＡ２は、可視光カメラＣＡ２の光軸方向から見た場合に、可視光透過領域Ｃと重なる位置に設けられる。

　このように、遮光領域Ａ２には、遠赤外線透過領域Ｂと可視光透過領域Ｃとが形成されているため、遮光領域Ａ２は、遠赤外線透過領域Ｂが形成されている領域以外では遠赤外線を遮蔽し、可視光透過領域Ｃが形成されている領域以外では可視光を遮蔽する。遠赤外線透過領域Ｂ及び可視光透過領域Ｃは、周囲に遮光領域Ａ２ａが形成されている。このように周囲に遮光領域Ａ２ａが設けられることにより各種センサが太陽光から保護されるため好ましい。各種センサの配線が車外から見えなくなるので、意匠性の観点からも好ましい。

　図３に示すように、車両用ガラス１は、ガラス基体１２（第１ガラス基体）と、ガラス基体１４（第２ガラス基体）と、中間層１６と、遮光層１８とを備える。車両用ガラス１は、ガラス基体１２、中間層１６、ガラス基体１４及び遮光層１８が、Ｚ方向に向けてこの順で積層されている。ガラス基体１２とガラス基体１４とは、中間層１６を介して互いに固定（接着）されている。

　ガラス基体１２、１４としては、例えばソーダライムガラス、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス等を用いることができる。中間層１６は、ガラス基体１２とガラス基体１４とを接着する接着層である。中間層１６としては、例えばポリビニルブチラール（以下ＰＶＢともいう）改質材料、エチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）系材料、ウレタン樹脂材料、塩化ビニル樹脂材料等を用いることができる。より詳しくは、ガラス基体１２は、一方の表面１２Ａと他方の表面１２Ｂとを含み、他方の表面１２Ｂが、中間層１６の一方の表面１６Ａに接触して、中間層１６に対して固定（接着）されている。ガラス基体１４は、一方の表面１４Ａと他方の表面１４Ｂとを含み、一方の表面１４Ａが、中間層１６の他方の表面１６Ｂに接触して、中間層１６に対して固定（接着）されている。このように、車両用ガラス１は、ガラス基体１２とガラス基体１４とが積層された合わせガラスである。ただし、車両用ガラス１は、合わせガラスに限られず、例えばガラス基体１２とガラス基体１４とのうち一方のみを含む構成であってよい。この場合、中間層１６も設けられていなくてよい。以下、ガラス基体１２、１４を区別しない場合は、ガラス基体１０と記載する。

　遮光層１８は、一方の表面１８Ａと他方の表面１８Ｂとを含み、一方の表面１８Ａが、ガラス基体１４の他方の表面１４Ｂに接触して固定されている。遮光層１８は、可視光を遮蔽する層である。遮光層１８としては、例えばセラミックス遮光層や遮光フィルムを用いることができる。セラミックス遮光層としては、例えば黒色セラミックス層等の従来公知の材料からなるセラミックス層を用いることができる。遮光フィルムとしては、例えば遮光ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、遮光ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルム、遮光ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等を用いることができる。

　本実施形態においては、車両用ガラス１は、遮光層１８が設けられる側が、車両Ｖの内部側（車内側）となり、ガラス基体１２が設けられる側が車両Ｖの外部側（車外側）となるが、それに限られず、遮光層１８が車両Ｖの外部側であってもよい。ガラス基体１２、１４の合わせガラスで構成されている場合は、遮光層１８が、ガラス基体１２とガラス基体１４との間に形成されてもよい。

　（遮光領域）
　遮光領域Ａ２は、ガラス基体１０に遮光層１８を設けることにより形成される。すなわち、遮光領域Ａ２は、ガラス基体１０が遮光層１８を備える領域である。すなわち、遮光領域Ａ２は、ガラス基体１２と中間層１６とガラス基体１４と遮光層１８が積層された領域である。一方、透光領域Ａ１は、ガラス基体１０が遮光層１８を備えない領域である。すなわち、透光領域Ａ１は、ガラス基体１２と中間層１６とガラス基体１４とが積層されて、遮光層１８が積層されない領域である。

　（遠赤外線透過領域）
　図３に示すように、車両用ガラス１は、Ｚ方向における一方の表面（ここでは表面１２Ａ）から他方の表面（ここでは表面１４Ｂ）までにわたって貫通する開口部１９が形成されている。開口部１９内には、遠赤外線透過部材２０が設けられている。開口部１９が形成されて遠赤外線透過部材２０が設けられている領域が、遠赤外線透過領域Ｂである。すなわち、遠赤外線透過領域Ｂは、開口部１９と、開口部１９内に配置された遠赤外線透過部材２０とが設けられる領域である。遮光層１８は遠赤外線を透過しないため、遠赤外線透過領域Ｂには、遮光層１８が設けられていない。すなわち、遠赤外線透過領域Ｂにおいては、ガラス基体１２、中間層１６、ガラス基体１４、及び遮光層１８が設けられておらず、形成された開口部１９に遠赤外線透過部材２０が設けられている。遠赤外線透過部材２０については後述する。

　（可視光領域）
　図４に示すように、可視光透過領域Ｃは、透光領域Ａ１と同様に、Ｚ方向において、ガラス基体１０が遮光層１８を備えない領域である。すなわち、可視光透過領域Ｃは、ガラス基体１２と中間層１６とガラス基体１４とが積層されて、遮光層１８が積層されない領域である。

　図２に示すように、可視光透過領域Ｃは、遠赤外線透過領域Ｂの近傍に設けられることが好ましい。具体的には、Ｚ方向から見た遠赤外線透過領域Ｂの中心を中心点ＯＢとし、Ｚ方向から見た可視光透過領域Ｃの中心を中心点ＯＣとする。Ｚ方向から見た場合の、遠赤外線透過領域Ｂ（開口部１９）と可視光透過領域Ｃとの間の最短距離を距離Ｌとすると、距離Ｌは、０ｍｍより大きく１００ｍｍ以下であることが好ましく、１０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であることがさらに好ましい。可視光透過領域Ｃを、遠赤外線透過領域Ｂに対してこの範囲の位置とすることによって、遠赤外カメラＣＡ１と可視光カメラＣＡ２とで近い位置の画像を撮像することを可能としつつ、可視光透過領域Ｃでの透視歪み量を抑えて、可視光カメラＣＡ２で適切に画像を撮像できる。遠赤外カメラＣＡ１と可視光カメラＣＡ２とで近い位置の画像を撮像することによって、それぞれのカメラから得られるデータを演算処理する際の負荷が軽減され、電源や信号ケーブルの取り廻しも好適となる。

　図２に示すように、可視光透過領域Ｃと遠赤外線透過領域Ｂとは、Ｘ方向に並んで位置していることが好ましい。すなわち、可視光透過領域Ｃは、遠赤外線透過領域ＢのＹ方向側に位置しておらず、遠赤外線透過領域ＢとＸ方向で並んでいることが好ましい。可視光透過領域Ｃを遠赤外線透過領域ＢにＸ方向に並べて配置することによって、可視光透過領域Ｃを上縁部１ａの近傍に配置することができる。従って、透光領域Ａ１におけるドライバーの視野を適切に確保することができる。

　（遠赤外線透過部材）
　以下、遠赤外線透過領域Ｂに設けられる遠赤外線透過部材２０について、具体的に説明する。図５は、本実施形態に係る遠赤外線透過部材の模式的な断面図である。図５に示すように、遠赤外線透過部材２０は、基材３０と、基材３０上に形成される機能膜としての第１機能膜３２と、基材３０上に形成される第２機能膜３８とを有している。本実施形態において、第１機能膜３２は、基材３０の一方の表面３０ａに形成されている。表面３０ａは、車両用ガラス１に搭載された場合に車外側となる面である。また、第２機能膜３８は、基材３０の他方の表面３０ｂに形成されている。表面３０ｂは、車両用ガラス１に搭載された場合に車内側となる面である。ただし、第２機能膜３８は必須の構成ではなく、表面３０ｂには基材３０以外の層が設けられていなくてもよい。

　本実施形態においては、遠赤外線透過部材２０は、車両Ｖの窓部材である車両用ガラス１の、遮光領域Ａ２に設けられているが、それに限られず、車両Ｖのピラー用外装部材など、車両Ｖの任意の外装部材に設けられてよい。また、遠赤外線透過部材２０は、車両Ｖに設けられることに限られず、任意の用途に用いてもよい。

　（基材）
　基材３０は、遠赤外線を透過可能な部材である。基材３０は、波長１０μｍの光（遠赤外線）に対する内部透過率が、５０％以上であることが好ましく、６０％以上であることがより好ましく、７０％以上であることがさらに好ましい。また、基材３０は、波長８μｍ～１２μｍの光（遠赤外線）に対する平均内部透過率が、５０％以上であることが好ましく、６０％以上であることがより好ましく、７０％以上であることがさらに好ましい。基材３０の１０μｍでの内部透過率や８μｍ～１２μｍでの平均内部透過率がこの数値範囲となることで、遠赤外線を適切に透過して、例えば遠赤外カメラＣＡ１の性能を十分に発揮できる。なお、ここでの平均内部透過率とは、その波長帯域（ここでは８μｍから１２μｍ）の、それぞれの波長の光に対する内部透過率の平均値である。

　基材３０の内部透過率は、入射側および出射側における表面反射損失を除いた透過率であり、当該技術分野において周知のものであり、その測定も通常行われる方法でよい。測定は、例えば、以下のように行う。

　同一組成の基材からなり、厚さの異なる一対の平板状試料（第１の試料および第２の試料）を用意する。平板状試料の両面は互いに平行かつ光学研磨された平面とする。第１の試料の表面反射損失を含む外部透過率をＴ１、第２の試料の表面反射損失を含む外部透過率をＴ２、第１の試料の厚みをＴｄ１（ｍｍ）、第２の試料の厚みをＴｄ２（ｍｍ）、ただしＴｄ１＜Ｔｄ２とすると、厚さＴｄｘ（ｍｍ）での内部透過率τは次式（１）により算出することができる。

　τ　＝　ｅｘｐ［－Ｔｄｘ×（ｌｎＴ１－ｌｎＴ２）／ΔＴｄ］　・・・（１）

　なお、赤外線の外部透過率は、例えばフーリエ変換型赤外分光装置（ＴｈｅｒｍｏＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製、商品名：Ｎｉｃｏｌｅｔ　ｉＳ１０）により測定することが出来る。

　基材３０は、波長１０μｍの光に対する屈折率が、１．５以上４．０以下であることが好ましく、２．０以上４．０以下であることがより好ましく、２．２以上３．５以下であることがさらに好ましい。また、基材３０は、波長８μｍ～１２μｍの光に対する平均屈折率が、１．５以上４．０以下であることが好ましく、２．０以上４．０以下であることがより好ましく、２．２以上３．５以下であることがさらに好ましい。基材３０の屈折率や平均屈折率がこの数値範囲となることで、遠赤外線を適切に透過して、例えば遠赤外カメラＣＡ１の性能を十分に発揮できる。なお、ここでの平均屈折率とは、その波長帯域（ここでは８μｍから１２μｍ）の、それぞれの波長の光に対する屈折率の平均値である。屈折率は、例えば赤外分光エリプソメーター（Ｊ．Ａ．ウーラム社製・ＩＲ－ＶＡＳＥ－ＵＴ）により得られる偏光情報、およびフーリエ変換型赤外分光装置により得られる分光透過スペクトルを用いて、光学モデルのフィッティングを行うことで、決定することが出来る。

　基材３０の厚みＤ１は、０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、１ｍｍ以上４ｍｍ以下であることがより好ましく、１．５ｍｍ以上３ｍｍ以下であることがさらに好ましい。厚みＤ１がこの範囲にあることで、強度を確保しつつ、遠赤外線を適切に透過できる。なお、厚みＤ１は、基材３０の表面３０ａから表面３０ｂまでのＺ方向における長さともいえる。

　基材３０の材料は、特に限定はされないが、例えばＳｉ、Ｇｅ、ＺｎＳ、及びカルコゲナイドガラス等が挙げられる。基材３０は、Ｓｉ、Ｇｅ、ＺｎＳ、及びカルコゲナイドガラスの群より選ばれる少なくとも１種の材料を含むことが好ましいといえる。基材３０にこのような材料を用いることで、遠赤外線を適切に透過できる。
　カルコゲナイドガラスの好ましい組成としては、
　原子％表示で、
　Ｇｅ＋Ｇａ；７％～２５％、
　Ｓｂ；０％～３５％、
　Ｂｉ；０％～２０％、
　Ｚｎ；０％～２０％、
　Ｓｎ；０％～２０％、
　Ｓｉ；０％～２０％、
　Ｌａ；０％～２０％、
　Ｓ＋Ｓｅ＋Ｔｅ；５５％～８０％、
　Ｔｉ；０．００５％～０．３％、
　Ｌｉ＋Ｎａ＋Ｋ＋Ｃｓ；０％～２０％、
　Ｆ＋Ｃｌ＋Ｂｒ＋Ｉ；０％～２０％含有する組成である。そして、このガラスは、１４０℃～５５０℃のガラス転移点（Ｔｇ）を有することが好ましい。

　なお、基材３０の材料としては、ＳｉやＺｎＳを用いることがより好ましい。

　（第１機能膜）
　第１機能膜３２は、基材３０の車外側の表面３０ａ上に形成されている。第１機能膜３２は、中間層３４と最外層３６とを含む。最外層３６は、第１機能膜３２のうちで、基材３０に対して最も離れている箇所に、すなわち本実施形態では最も車外側に、設けられている層である。言い換えれば、最外層３６は、遠赤外線透過部材２０の最も外側（本実施形態では最も車外側）の層であり、外部に露出している。
　中間層３４は、第１機能膜３２において、最外層３６よりも基材３０側（本実施形態では最外層３６よりも車内側）に設けられている層である。すなわち、中間層３４は、基材３０と最外層３６との間に設けられている。ただし、第１機能膜３２は、中間層３４を含んでいなくてもよく、最外層３６のみを含むものであってよい。

　（最外層）
　最外層３６は、ＺｒＯ_２を主成分とする層である。ここでの主成分とは、最外層３６の全体に対する含有率が、５０質量％以上であることを指してよい。最外層３６は、ＺｒＯ_２の含有率が、最外層３６の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、７０質量％以上１００質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上１００質量％以下であることがより好ましい。また、最外層３６は、ＺｒＯ_２単体、すなわち、不可避的不純物を除き、ＺｒＯ_２の含有率が１００質量％であることが好ましい。最外層３６は、ＺｒＯ_２の含有率がこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過し、かつ耐擦傷性を向上することができる。

　最外層３６は、主成分とするＺｒＯ_２以外の成分である副成分を含んでいてもよい。副成分としては、遠赤外線を透過する酸化物が好ましく、ＮｉＯ_ｘ、ＺｎＯ、Ｂｉ_２Ｏ_３、及びＣｕＯ_ｘの少なくとも１種が挙げられる。

　最外層３６の厚みＤ２は、２０ｎｍ以上であることが好ましく、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であることがより好ましく、１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、１５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることが最も好ましい。なお、厚みＤ２は、最外層３６のＺ方向側の表面からＺ方向と反対側の表面までの、Ｚ方向における長さともいえる。
　また、基材３０の厚みＤ１に対する、最外層３６の厚みＤ２の比率は、０．００２％以上０．０３０％以下であることが好ましく、０．００５％以上０．０２０％以下であることがより好ましく、０．００８％以上０．０１３％以下であることが更に好ましい。
　また、第１機能膜３２の厚みＤ３に対する、最外層３６の厚みＤ２の比率は、１％以上２５％以下であることが好ましく、３％以上２５％以下であることがより好ましく、５％以上２５％以下であることが更に好ましく、７％以上２１％以下であることが最も好ましい。なお、第１機能膜３２の厚みＤ３は、第１機能膜３２のＺ方向側の表面からＺ方向と反対側の表面までの、Ｚ方向における長さともいえる。
　厚みＤ２がこの範囲にあることで、遠赤外線を適切に透過し、かつ耐擦傷性を適切に向上させることができる。

　最外層３６の、基材３０と反対側の表面を、表面３６ａとする。表面３６ａは、外部に露出している側の表面であり、本実施形態では車外側の表面といえる。この場合、最外層３６の表面３６ａの算術平均粗さＲａ（表面粗さ）は、７．０ｎｍ以下であることが好ましく、５．０ｎｍ以下であることがより好ましく、４．０ｎｍ以下であることがさらに好ましく、３．０ｎｍ以下であることが最も好ましい。表面３６ａの算術平均粗さＲａがこの範囲となることで、動摩擦係数、及び擦傷前後の表面粗さの変化を低減し、耐擦傷性をより適切に向上させることができる。なお、算術平均粗さＲａとは、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１:２００１規定の算術平均粗さＲａを指す。

　最外層３６は、遠赤外線を透過可能である。最外層３６は、１０μｍの波長の光に対する消衰係数が、０．１０以下であることが好ましく、０．０５以下であることがより好ましく、０．０４以下であることが更に好ましい。消衰係数は、例えば赤外分光エリプソメーター（Ｊ．Ａ．ウーラム社製、ＩＲ－ＶＡＳＥ－ＵＴ）により得られる偏光情報、およびフーリエ変換型赤外分光装置により得られる分光透過スペクトルを用いて、光学モデルのフィッティングを行うことで、決定することが出来る。

　最外層３６は、波長５５０ｎｍの光（可視光）に対する屈折率が、２．０５以上であることが好ましく、２．０５以上２．４０以下であることがより好ましく、２．１０以上２．３０以下であることが更に好ましく、２．１５以上２．２５以下であることが特に好ましい。最外層３６の可視光に対する屈折率がこの数値範囲となることで、最外層３６の膜の緻密度を向上し、耐擦傷性をより適切に向上させることができる。波長５５０ｎｍの光の屈折率は、例えば分光エリプソメーター（Ｊ．Ａ．ウーラム社製、Ｍ－２０００）により得られる偏光情報、ＪＩＳ　Ｒ３１０６に基づき測定される分光透過率を用いて、光学モデルのフィッティングを行うことで、決定することが出来る。

　（中間層）
　中間層３４は、遠赤外線を透過可能である。本実施形態の例では、中間層３４は、反射防止層を含む。以降の説明では、中間層３４が、１層の反射防止層のみで構成されている例を説明するが、それに限られず、中間層３４は、複数の層が積層されて構成されていてもよい。

　（反射防止層）
　中間層３４に含まれる反射防止層は、ＮｉＯ_Ｘを主成分とする層である。ここでの主成分とは、反射防止層の全体に対する含有率が、５０質量％以上であることを指してよい。反射防止層は、ＮｉＯ_Ｘの含有率が、反射防止層の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、７０質量％以上１００質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上１００質量％以下であることがより好ましい。また、反射防止層は、ＮｉＯ_Ｘ単体、すなわち、不可避的不純物を除き、ＮｉＯ_Ｘの含有率が１００質量％であることが好ましい。反射防止層は、ＮｉＯ_Ｘの含有率がこの範囲となることで、遠赤外線の反射を抑制して、遠赤外線を適切に透過できる。
　なお、酸化ニッケルは、ニッケルの価数に応じて複数の組成を取ることが知られており、Ｘは０．５から２の任意の値をとることができる。また価数は単一でなくてもよく、２種以上の価数が混合していても良い。本実施形態では、ＮｉＯ_ｘとして、ＮｉＯを用いることが好ましい。ただし、反射防止層の材料はそれらに限られず任意であり、例えば、ＺｎＳ、Ｇｅ、Ｓｉ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、及びＢｉ_２Ｏ_３の少なくとも１種を含む層であってもよい。

　中間層３４に含まれる反射防止層の厚みは、１０００ｎｍ以上２０００ｎｍ以下であることが好ましく、１０００ｎｍ以上１５００ｎｍ以下であることがより好ましく、１１００ｎｍ以上１３００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。また、最外層３６の厚みＤ２に対する反射防止層の厚みの比率は、７５％以上９９％以下であることが好ましく、７５％以上９７％以下であることがより好ましく、７５％以上９５％以下であることが更に好ましく、７９％以上９３％以下であることが最も好ましい。反射防止層の厚みがこの範囲となることで、遠赤外線の反射を抑制して、遠赤外線を適切に透過できる。なお、反射防止層の厚みは、反射防止層のＺ方向側の表面からＺ方向と反対側の表面までの、Ｚ方向における長さともいえる。

　中間層３４に含まれる反射防止層は、遠赤外線を透過可能である。反射防止層は、１０μｍの波長の光に対する消衰係数が、０．０５以下であることが好ましく、０．０３以下であることがより好ましく、０．０２以下であることが更に好ましく、０．０１以下であることが最も好ましい。消衰係数がこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過することができる。

　中間層３４に含まれる反射防止層は、波長５５０ｎｍの光（可視光）に対する消衰係数が、０．０４以上であることが好ましく、０．０６以上であることがより好ましく、０．０８以上であることが更に好ましく、０．１０以上であることが最も好ましい。反射防止層の可視光に対する消衰係数がこの数値範囲となることで、可視光の反射率分散を適切に抑制し、意匠性を担保した外観とすることができる。

　（色相調整層）
　上述のように、中間層３４は、反射防止層以外の層も設けられていてよい。この場合例えば、中間層３４は、反射防止層よりも最外層３６側に、色相調整層が設けられていてよい。すなわちこの場合、車外側に向けて、基材３０、反射防止層、色相調整層、最外層３６の順で積層されていてよいといえる。以下、色相調整層について具体的に説明する。

　中間層３４に含まれる色相調整層は、異なる波長の可視光に対する反射率の差（反射率分散）を小さくして、遠赤外線透過部材２０の干渉色を抑制することで意匠性を担保するための層である。

　中間層３４に含まれる色相調整層は、遠赤外線を透過可能である。色相調整層は、１０μｍの波長の光に対する消衰係数が、０．４以下であることが好ましく、０．２以下であることがより好ましく、０．１以下であることが更に好ましい。消衰係数がこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過することができる。

　中間層３４に含まれる色相調整層の厚みは、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以上６０ｎｍ以下であることがより好ましく、２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることがさらに好ましい。また、最外層３６の厚みＤ２に対する色相調整層の厚みの比率は、２．５％以上１００％以下であることが好ましく、５％以上５０％以下であることがより好ましく、１０％以上３０％以下であることが更に好ましく、１０％以上２５％以下であることが最も好ましい。色相調整層の厚みがこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過しながら、可視光の反射分散を抑制して、遠赤外線透過部材２０を目立たなくすることが可能となる。なお、色相調整層の厚みは、色相調整層のＺ方向側の表面からＺ方向と反対側の表面までの、Ｚ方向における長さともいえる。

　本実施形態では、中間層３４に含まれる色相調整層は、第１層と、第１層の最外層３６側（車外側）に設けられた第２層と、を含む。

　本実施形態では、第１層は、最外層３６と同じ材料及び特性の層である。ただし、第１層の厚みは、１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下であることが好ましく、１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下であることがより好ましく、２０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることがさらに好ましい。また、最外層３６の厚みＤ２に対する第１層の厚みの比率は、１．５％以上６０％以下であることが好ましく、３％以上３０％以下であることがより好ましく、６％以上２０％以下であることが更に好ましく、６％以上１５％以下であることが最も好ましい。
　本実施形態では、第２層は、中間層３４に含まれる反射防止層と同じ材料及び特性の層である。ただし、第２層の厚みは、５ｎｍ以上４０ｎｍ以下であることが好ましく、５ｎｍ以上２５ｎｍ以下であることがより好ましく、１０ｎｍ以上２０ｎｍ以下であることがさらに好ましい。また、最外層３６の厚みＤ２に対する第２層の厚みの比率は、１％以上４０％以下であることが好ましく、２％以上２０％以下であることがより好ましく、４％以上１２％以下であることが更に好ましく、４％以上１０％以下であることが最も好ましい。
　なお、本例では、色相調整層は、第１層及び第２層の２つの層で構成されるが、それに限られず、第１層及び第２層の積層体が、複数層積層されていてもよい。色相調整層は、第１層と第２層とが、基材３０側から交互に２ｎ（ｎは１以上の自然数）層数積層された層であると好ましい。色調調整層における各層の膜厚比率は、波長５５０ｎｍの光（可視光）に対する屈折率が低い層の方が高いことが好ましい。色相調整層の積層順や層数がこの範囲となることで、可視光の反射分散を抑制して、遠赤外線透過部材２０を目立たなくすることが可能となる。
　ただし、色相調整層の構成は、最外層３６と同じ材料の第１層と、反射防止層と同じ材料の第２層とを含むものに限られず、任意の構成であってよい。すなわち、色相調整層は、波長５５０ｎｍの光（可視光）に対する屈折率が、最外層３６と反射防止層のいずれとも異なる層であっても良い。色相調整層は、波長５５０ｎｍの光（可視光）に対する屈折率が２．２以上２．５以下であることが好ましく、２．３以上２．４以下であることが更に好ましい。色相調整層の可視光に対する屈折率がこの数値範囲となることで、可視光の反射分散を抑制して、遠赤外線透過部材２０を目立たなくすることが可能となる。

　（第２機能膜）
　基材３０の車内側の表面３０ｂ上に設けられる第２機能膜３８は、遠赤外線を透過する層である。第２機能膜３８は、中間層３４と同じ構成であってよい。すなわち例えば、遠赤外線透過部材２０は、基材３０から車内側に向けて、基材３０、反射防止層の順で積層されていてもよい。また例えば、遠赤外線透過部材２０は、基材３０から車内側に向けて、基材３０、反射防止層、色相調整層（第１層、第２層）の順で積層されていてもよい。

　（密着膜）
　また、中間層３４と基材３０との間には、図示しない密着層が形成されていてよい。密着膜は、基材３０と中間層３４とを密着させる膜であり、言い換えれば、基材３０と中間層３４との接着力を向上させる膜である。

　密着膜は、１０μｍの波長の光に対する屈折率が、１．０以上４．３以下であることが好ましく、１．５以上４．３以下であることがより好ましく、１．５以上３．８以下であることがさらに好ましい。屈折率がこの範囲となることで、遠赤外線の反射を適切に抑制できる。

　また、密着膜の厚みは、０．０５μｍ以上０．５μｍ以下であることが好ましく、０．０５μｍ以上０．３μｍ以下であることがより好ましく、０．０５μｍ以上０．１μｍ以下であることがさらに好ましい。密着膜の厚みがこの範囲にあることで、遠赤外線の反射を適切に抑制しつつ、基材３０と中間層３４とを適切に密着できる。なお、密着膜の厚みは、密着膜のＺ方向側の表面から、Ｚ方向と反対側の表面までのＺ方向における長さともいえる。また、密着膜の厚みは、中間層３４の厚み、及び最外層３６の厚みＤ２よりも、薄いことが好ましい。密着膜の厚みがこれらの層の厚みより薄いことで、光学性能への影響を少なくできる。

　密着膜は、遠赤外線を透過可能である。密着膜は、１０μｍの波長の光に対する消衰係数が、０．４以下であることが好ましく、０．２以下であることがより好ましく、０．１以下であることが更に好ましい。消衰係数がこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過することができる。

　密着膜の材料は任意であるが、例えば、Ｓｉ、Ｇｅ、ＭｇＯ、ＮｉＯ_ｘ、ＣｕＯ_ｘ、ＺｎＳ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、ＺｎＯ、及びＢｉ_２Ｏ_３の群より選ばれる少なくとも１種の材料を含むものであることが好ましく、ＺｒＯ_２を含むものがより好ましい。密着膜は、このような材料が用いられることで、基材３０と中間層３４とを適切に密着できる。

　なお、密着膜も、中間層３４と同様に、スパッタリングで形成されてもよいが、それに限られず、例えば蒸着で形成されてもよい。

　（遠赤外線透過部材の特性）
　遠赤外線透過部材２０は、以上のように、基材３０の表面３０ａに、最外層３６を有する第１機能膜３２が形成されたものとなっている。遠赤外線透過部材２０は、最外層３６が形成されることで、遠赤外線を適切に透過しつつ、耐擦傷性を適切に向上させることができる。

　遠赤外線透過部材２０は、１０μｍの光の透過率が、５０％以上であることが好ましく、６５％以上であることがより好ましく、７０％以上であることが更に好ましい。また、遠赤外線透過部材２０は、波長８μｍ～１２μｍの光に対する平均透過率が、５０％以上であることが好ましく、６５％以上であることがより好ましく、７０％以上であることが更に好ましい。透過率や平均透過率がこの範囲となることで、赤外線透過部材としての機能を適切に発揮できる。

　遠赤外線透過部材２０は、１０μｍの光の反射率が、１５％以下であることが好ましく、１０％以下であることがより好ましく、５％以下であることが更に好ましい。また、遠赤外線透過部材２０は、波長８μｍ～１２μｍの光に対する平均反射率が、１５％以下であることが好ましく、１０％以下であることがより好ましく、５％以下であることが更に好ましい。反射率や平均反射率がこの範囲となることで、赤外線透過部材としての機能を適切に発揮できる。なお、平均反射率とは、その波長帯域（ここでは８μｍから１２μｍ）の、それぞれの波長の光に対する反射率の平均値である。反射率は、例えばフーリエ変換型赤外分光装置（ＴｈｅｒｍｏＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製、Ｎｉｃｏｌｅｔ　ｉＳ１０）で測定可能である。

　遠赤外線透過部材２０は、車外側の表面２０Ａ（すなわち最外層３６の表面３６ａ）の押し込み深さ９０以上１１０ｎｍ以下の範囲における押し込み硬さが、９．０ＧＰａ以上であることが好ましく、１０．０ＧＰａ以上であることがより好ましく、１１．０ＧＰａ以上であることが更に好ましく、１２．０ＧＰａ以上であることが特に好ましく、１３．０ＧＰａ以上であることが最も好ましい。表面２０Ａの押し込み硬さがこの範囲となることで、耐擦傷性を適切に向上できる。
　表面２０Ａの押し込み硬さは、ナノインデンターを用いてナノインデンテーション法（連続剛性測定法）により測定された、押し込み深さ９０ｎｍ以上１１０ｎｍ以下の範囲における、押し込み硬さ（インデンテーション硬さ）を指す。より詳しくは、押し込み硬さとは、測定圧子の負荷から除荷までの変位－荷重曲線から求められる値であり、ＩＳＯ　１４５７７に規定されている。
　押し込み硬さは、次のように測定できる。具体的には、ＫＬＡ社製ｉＭｉｃｒｏ型ナノインデンターを用いて、測定箇所における負荷開始から除荷までの全過程にわたって、押し込み荷重Ｐ（ｍＮ）に対応する押し込み深さｈ（ｎｍ）を連続的に測定し、Ｐ－ｈ曲線を作成する。そして、作成されたＰ－ｈ曲線から、次の式（２）のように、押し込み硬さＨ（ＧＰａ）を算出する。

　Ｈ＝Ｐ／Ａ　・・・（２）

　式（２）において、Ｐは、押し込み荷重（ｍＮ）であり、Ａは、圧子の投影面積（μｍ^２）である。
　本実施形態においては、押し込み深さ９０ｎｍ以上１１０ｎｍ以下の区間における押し込み硬さＨを、表面２０Ａの押し込み硬さとする。すなわち本実施形態では、押し込み深さ９０ｎｍ以上１１０ｎｍ以下の全区間において、押し込み硬さＨが、上記範囲を満たすことが好ましいといえる。

　遠赤外線透過部材２０は、Δａ^＊ｂ^＊が、５以下であることが好ましく、４以下であることがより好ましく、３以下であることが更に好ましく、２以下であることが特に好ましく、１以下が最も好ましい。Δａ^＊ｂ^＊とは、５度入射可視光反射スペクトルから得られるＣＩＥ－Ｌａｂ表色系におけるａ^＊ｂ^＊の、原点座標からの距離を指す。すなわち、Δａ^＊ｂ^＊は、次の式（３）で算出される。Δａ^＊ｂ^＊がこの範囲となることで、遠赤外線透過部材２０から反射された可視光がニュートラルな色となり、意匠性を担保した外観とすることができる。

　Δａ^＊ｂ^＊＝（ａ^＊２＋ｂ^＊２）^０．５　・・・（３）

　ａ^＊及びｂ^＊は、照明光に標準イルミナントＤ６５を用いた際のＣＩＥ－Ｌａｂ表色系における反射光の色度座標であり、ＪＩＳ　Ｒ３１０６に基づき測定される分光反射率を用いてＪＩＳ　Ｚ　８７８１―４に基づいて算出することが出来る。

　特に、遠赤外線透過部材２０が、酸化度によって可視域の消衰係数が変化するＮｉＯ_ｘ膜を有する場合は、耐湿試験や耐水試験や耐熱試験におけるＮｉＯ_ｘ膜の酸化度変化に伴うａ^＊及びｂ^＊の変化を抑制することが出来る。

　また、図３に示すように、遠赤外線透過部材２０は、車外側の表面２０Ａが、遮光領域Ａ２の車外側の面と、面一に（連続して）形成されていることが好ましい。言い換えれば、遠赤外線透過部材２０の車外側の表面２０Ａは、ガラス基体１２の表面１２Ａと連続するように取り付けられている。このように遠赤外線透過部材２０の表面２０Ａがガラス基体１２の表面１２Ａと連続することで、ワイパの拭き取り効果が損なわれることを抑制できる。また、段差があることで車両Ｖとしてのデザイン性が損なわれることや、段差に砂埃等が堆積することなどのおそれを抑制できる。さらに、遠赤外線透過部材２０は、適用される車両用ガラス１の曲面形状に合わせて成形されていることが好ましい。遠赤外線透過部材２０の成形方法は特に限定されないが、曲面形状や部材に応じて、研磨もしくはモールド成形が選択される。

　遠赤外線透過部材２０の形状は特に限定されないが、開口部１９の形状にあわせた板状の形状であることが好ましい。すなわち、例えば開口部１９が円形である場合は、遠赤外線透過部材２０は円板状（円柱状）であることが好ましい。また、意匠性の観点から、車外側の遠赤外線透過部材２０の表面形状は、ガラス基体１２の外表面形状の曲率に合うように加工してもよい。さらに、遠赤外カメラＣＡ１の視野角の広角化と、機械的特性の向上との両立を図る等の理由から、遠赤外線透過部材２０を、レンズ形状にしてもよい。このような構成とすると、遠赤外線透過部材２０の面積が小さくても効率的に遠赤外光を集光することができるため好ましい。この場合、レンズ形状の遠赤外線透過部材２０の個数は、１個～３個が好ましく、典型的には２個が好ましい。さらにレンズ形状の遠赤外線透過部材２０は、予め調芯されモジュール化され、遠赤外カメラＣＡ１を車両用ガラス１に接着させる筐体、もしくはブラケットと一体化されていることが特に好ましい。

　本実施形態の車両用ガラス１においては、車内側の面における開口部１９の面積が、車外側の面における開口部１９の面積より小さい構成とし、遠赤外線透過部材２０の形状もこれにあわせて車内側の面における面積が車外側の面における面積より小さくすることが好ましい。このような構成とすることにより、車外側からの衝撃に対する強度が向上する。さらに言えば、本実施形態の車両用ガラス１がガラス基体１２（車外側）とガラス基体１４（車内側）とを備える合わせガラスである場合は、開口部１９は、ガラス基体１２の開口部１２ａとガラス基体１４の開口部１４ａとが重なって形成される。この場合、ガラス基体１２の開口部１２ａの面積を、ガラス基体１４の開口部１４ａの面積より大きくし、ガラス基体１２の開口部１２ａのサイズに合わせた遠赤外線透過部材２０を、ガラス基体１２の開口部１２ａ内に配置すればよい。

　また、図３に示すように、遠赤外線透過部材２０は、車外側の面内の任意の２点を結ぶ直線のうち最長の直線の長さｄ１が、８０ｍｍ以下となることが好ましい。長さｄ１は、７０ｍｍ以下であることがより好ましく、更に好ましくは６５ｍｍ以下である。また、長さｄ１は、６０ｍｍ以上であることが好ましい。また、図３に示すように、遠赤外線透過領域Ｂの開口部１９は、車外側の面内の任意の２点を結ぶ直線のうち最長の直線の長さｄ２が、８０ｍｍ以下であることが好ましい。長さｄ２は、７０ｍｍ以下であることがより好ましく、更に好ましくは６５ｍｍ以下である。また、長さｄ２は、６０ｍｍ以上であることが好ましい。長さｄ２は、車両用ガラス１の車外側の面（表面１２Ａ）での開口部１９の外周における、任意の２点を結ぶ直線のうち最長の直線の長さともいえる。遠赤外線透過部材２０の長さｄ１や開口部１９の長さｄ２をこの範囲とすることで、車両用ガラス１の強度低下を抑制し、開口部１９の周囲の透視歪み量も抑制できる。なお、長さｄ１、ｄ２は、遠赤外線透過部材２０の車外側の面の形状が円形である場合は、車外側の表面の直径にあたる長さである。また、ここでの長さｄ１、ｄ２は、車両用ガラス１を車両Ｖに搭載する状態における長さを指しており、例えばガラスを曲げ加工して車両Ｖに搭載する形状とする場合は、長さｄ１、ｄ２は、曲げ加工した後の状態における長さとなる。長さｄ１、ｄ２以外の寸法や位置の説明についても、特に説明していない場合は、同様である。

　（赤外線透過部材の製造方法）
　次に、遠赤外線透過部材２０の製造方法について説明する。遠赤外線透過部材２０を製造する際には、基材３０を準備して、基材３０の表面上に、第１機能膜３２を形成する。第１機能膜３２の形成方法は任意であるが、本実施形態では、スパッタリングにより、基材３０の表面上に、第１機能膜３２を形成する。すなわち、本実施形態の例では、スパッタリングにより、基材３０の表面上に、中間層３４を形成する。そして、スパッタリングにより、基材３０の表面上に、すなわちここでは中間層３４の表面に、最外層３６を形成する。これにより、遠赤外線透過部材２０が製造される。スパッタリングで第１機能膜３２を形成することで、膜の密着性を向上させることができる。なお、本実施形態では、基材３０の第１機能膜３２側とは反対側の表面上に、スパッタリングにより、第２機能膜３８を形成する。
　なお、スパッタリングの手法は任意であってよく、例えば、反応性スパッタ法や後酸化スパッタ法を用いてよく、後酸化スパッタ法を用いることが好ましい。

　図６は、本実施形態に係る遠赤外線透過部材の製造方法を説明する模式図である。以降においては、基材３０上に、直接、最外層３６を形成する場合を例にするが、中間層３４上に最外層３６を形成する場合には、最外層３６が表面に形成された基材３０を用いること以外は、以降と同様の方法が適用できる。

　図６に示すように、後酸化スパッタ法においては、第１空間ＳＰ１内に、基材３０を配置する（ステップＳ１０）。第１空間ＳＰ１内には、ターゲットＴが設けられており、不活性ガス供給部Ｍ１に接続されている。ターゲットＴは、基材３０上に積層される最外層３６の原料となる部材である。基材３０は、最外層３６を形成する側の表面３０ａが、ターゲットＴと対向するように、第１空間ＳＰ１内に配置される。不活性ガス供給部Ｍ１は、第１空間ＳＰ１内に不活性ガスＧを供給する装置であり、第１空間ＳＰ１を不活性ガスＧ雰囲気とする。不活性ガスＧとしては、アルゴンが用いられるが、それに限られず、例えばアルゴン以外の希ガスが用いられてよい。

　第１空間ＳＰ１内に基材３０を配置したら、ターゲットＴと基材３０とが配置された第１空間ＳＰ１内に、不活性ガスＧを導入することで、スパッタリングを実行して、ターゲットＴに含まれるＺｒを基材３０の表面３０ａ上に積層させる（ステップＳ１２；積層ステップ）。具体的には、本ステップにおいては、第１空間ＳＰ１を真空にした状態で、不活性ガス供給部Ｍ１から第１空間ＳＰ１内に、不活性ガスＧを導入させる。そして、ターゲットＴにマイナス電圧を印加することで、不活性ガスＧをイオン化して、イオン化した不活性ガスＧを基材３０の表面に衝突させる。これにより、ターゲットＴに含まれる成分（原子や分子）が、ここではターゲットＴに含まれるＺｒが、ターゲットＴより弾き出されて、基材３０の表面３０ａ上に積層される。基材３０の表面３０ａ上に積層されたＺｒを含む積層体を、以下、積層体３６Ａと記載する。
　なお、ターゲットＴから弾き出されて積層体３６Ａとして積層される成分は、Ｚｒだけに限られず、ターゲットＴに含まれる他の原子や分子などの成分（例えばＺｒＯ_２）も、ターゲットＴから弾き出されて積層体３６Ａとして積層されてよい。すなわち、積層体３６Ａは、少なくともＺｒを含む層であるといえる。

　積層ステップにおいては、上述のように、第１空間ＳＰ１を真空にした状態で、第１空間ＳＰ１内に不活性ガスＧを導入する。ここでの真空とは、例えば圧力を１０Ｐａ以下とすることを指してよく、以降も同様である。また、積層ステップにおいては、第１空間ＳＰ１内における圧力が、好ましくは０．５Ｐａ未満、より好ましくは０．４Ｐａ以下、更に好ましくは０．３Ｐａ以下となるように、不活性ガスＧを導入することが好ましい。すなわち、本ステップにおいては、不活性ガスＧを含む第１空間ＳＰ１内の気圧が上記範囲となるように設定することが好ましい。第１空間ＳＰをこのような気圧とすることで、高硬度な積層体３６Ａを形成することが可能となり、耐擦傷性を向上できる。

　次に、積層体３６Ａが積層された基材３０を、第２空間ＳＰ２内に配置する（ステップＳ１４）。第２空間ＳＰ２には、酸素供給部Ｍ２が接続されている。酸素供給部Ｍ２は、酸素Ｏを供給する装置である。

　第２空間ＳＰ２内に基材３０を配置したら、第２空間ＳＰ２内で酸素プラズマ（プラズマ状の酸素）を発生させることで、基材３０上に積層された積層体３６Ａを酸化させて、基材３０上に最外層３６を形成する（ステップＳ１６；酸化ステップ）。具体的には、第２空間ＳＰ２を真空にした状態で、酸素供給部Ｍ２から第２空間ＳＰ２内に酸素Ｏを供給し、第２空間ＳＰ２内の酸素Ｏをプラズマ化して酸素プラズマを発生させる。第２空間ＳＰ２内においては、発生した酸素プラズマが、基材３０上に積層された積層体３６Ａに接触して、積層体３６Ａを酸化させて、基材３０上に最外層３６を形成する。すなわち、酸素プラズマにより積層体３６Ａに含まれるＺｒが酸化して、ＺｒＯ_２となる。酸化過程で膜の体積膨張が生じ高密度化されるために高硬度化されると考えられる。これにより、積層体３６Ａが、ＺｒＯ_２を主成分とする最外層３６となり、基材３０上に最外層３６が形成される。なお酸素プラズマだけでなく酸素ラジカル、酸素イオンを発生させて酸化させてもよい。

　ターゲットＴは、Ｚｒを含む。ターゲットＴは、ターゲットＴ全体に対するＺｒの含有量が、５０原子量％以上１００原子量％以下であることが好ましく、６０原子量％以上１００原子量％以下、７０原子量％以上１００原子量％以下、８０原子量％以上１００原子量％以下であることが更に好ましい。ターゲットＴにおけるＺｒの含有量がこの範囲となることで、酸化プロセスにおける膜の体積膨張率を高めることができ、膜密度が高くなるために高硬度な最外層３６を形成することが可能となり、耐擦傷性を向上できる。なお、ターゲットＴは、Ｚｒ以外の成分として、ＺｒＯ_２を含んでいてよい。

　酸化ステップにおいては、任意の方法で酸素プラズマを発生させてよいが、例えば、第２空間ＳＰ２内に電極を設けて、電極に電圧を印加することで第２空間ＳＰ２内の酸素Ｏをプラズマ化して、酸素プラズマを発生させてよい。この場合、電極に印加する電力は、２ｋＷ以上４ｋＷ以下であることが好ましく、３ｋＷ以上４ｋＷ以下であることが更に好ましい。印加電力を上記範囲とすることで、Ｚｒを適切に酸化して、高硬度な最外層３６を形成することが可能となり、耐擦傷性を向上できる。

　本実施形態においては、ステップＳ１０からステップＳ１６の処理を繰り返して、最外層３６を徐々に厚くなるように形成させてもよい。

　なお、本実施形態では、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２とが、隔離された別の空間（部屋）であり、基材３０を第１空間ＳＰ１から第２空間ＳＰ２、又は第２空間ＳＰ２から第１空間ＳＰ１に移動させつつ、上記の積層ステップ及び酸化ステップを行うことで、最外層３６を形成する。基材３０を第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２との間で移動させる方法は任意であってよいが、例えば、回転可能なドラムの表面に基材３０を取り付けて、ドラムの回転方向に並ぶように、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２と形成してよい。この場合、ドラムの回転により、基材３０が第１空間ＳＰ１から第２空間ＳＰ２（又は第２空間ＳＰ２から第１空間ＳＰ１）へ移動する。
　また、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２とは、同じ空間（部屋）であってよい。この場合、その空間内に基材３０を配置した状態で、真空にした後不活性ガスＧを導入しつつターゲットＴに電圧を印加してスパッタリングを行い、その後、その空間内に酸素プラズマを供給して、積層体３６Ａを酸化して最外層３６としてよい。

　本実施形態では、所定圧力及び所定温度の条件下で、基材３０の表面上に、スパッタリングにより最外層３６を形成することが好ましい。ここでの所定圧力は、０．５Ｐａ以下であることが好ましく、０．１Ｐａ以上０．３Ｐａ以下であることがより好ましく、０．１５Ｐａ以上０．２５Ｐａ以下であることが更に好ましい。スパッタリングの条件をこのように設定することで、最外層３６の屈折率を大きくでき、押し込み硬さを向上し、かつ算術平均粗さを低減することが可能となり、耐擦傷性をより適切に向上させることができる。なお、この所定圧力は、最外層３６以外を形成する際にも適用してよい。

　（効果）
　以上説明したように、本実施形態に係る遠赤外線透過部材２０は、遠赤外線を透過する基材３０と、基材３０上に形成された第１機能膜３２（機能膜）とを含む。遠赤外線透過部材２０は、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上である。第１機能膜３２の最外層３６は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、最外層３６の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である。

　ここで、遠赤外線透過部材は、遠赤外線を適切に透過し、かつ、耐擦傷性を向上させることが求められている。本実施形態に係る遠赤外線透過部材２０は、ＺｒＯ_２を主成分とする最外層３６が設けられているため、遠赤外線を適切に透過し、かつ、耐擦傷性を向上させることができる。さらに言えば、例えばダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）なども耐擦傷性を向上させることができるが、ＤＬＣは、成膜プロセスが限られており、弾性率制御などが必要であるため、成膜工程での負荷が高くなる。それに対して、本実施形態のようにＺｒＯ_２を主成分とする最外層３６を用いることで、成膜工程での負荷を低減しつつ、耐擦傷性を向上させることが可能となる。

　最外層３６は、波長１０μｍの光に対する消衰係数が、０．１０以下であることが好ましい。最外層３６の衰係数がこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過することが可能となる。

　最外層３６の厚みＤ２は、２０ｎｍ以上であることが好ましい。最外層３６の厚みＤ２がこの範囲となることで、遠赤外線を適切に透過しつつ、耐擦傷性を向上させることができる。

　最外層３６の表面３６ａの算術平均粗さＲａは、７．０ｎｍ以下であることが好ましい。表面粗さがこの範囲となることで、動摩擦係数、及び擦傷前後の表面粗さの変化を低減し、耐擦傷性をより適切に向上させることができる。

　最外層３６は、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上であることが好ましい。屈折率がこの範囲となることで、最外層３６の膜の緻密度を向上し、耐擦傷性をより適切に向上させることができる。最外層３６の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率を２．０５以上とするには、成膜エネルギーを高めることが効果的であり、具体的には０．５Ｐａ以下の圧力帯域でのスパッタリングや、ターゲットと基材３０間の距離を１００ｍｍ以下とする近距離スパッタリングや、２００℃以上の高温域での成膜や、成膜時のイオンビーム処理などが挙げられる。

　遠赤外線透過部材２０は、Δａ^＊ｂ^＊が５以下であることが好ましい。Δａ^＊ｂ^＊がこの範囲となることで、遠赤外線透過部材２０から反射された可視光がニュートラルな色となり、意匠性を担保した外観とすることができる。

　基材３０の厚みＤ１に対する、最外層３６の厚みＤ２の比率は、０．００２％以上０．０３０％以下であることが好ましい。厚みＤ２がこのような範囲になることで、遠赤外線を適切に透過しつつ、耐擦傷性を向上させることができる。

　第１機能膜３２は、最外層３６と基材３０との間に設けられる中間層３４をさらに含むことが好ましい。中間層３４を設けることで、遠赤外線を適切に透過することができる。

　中間層３４は、反射防止層を含むことが好ましい。この反射防止層は、ＮｉＯ_Ｘを主成分とする層であり、ＮｉＯ_Ｘの含有率が、反射防止層の全体に対して５０質量％以上１００質量％以下となることが好ましい。ＮｉＯ_Ｘを主成分とする反射防止層を含むことで、遠赤外線を適切に透過することができる。

　遠赤外線透過部材２０は、車両に搭載されることが好ましい。遠赤外線透過部材２０は、車両用途に特に適している。

　遠赤外線透過部材２０は、車両の窓部材に配置されることが好ましい。遠赤外線透過部材２０は、車両の窓部材に特に適している。

　遠赤外線透過部材２０は、車両のピラー用外装部材に配置されることが好ましい。遠赤外線透過部材２０は、車両のピラー用外装部材に特に適している。

　遠赤外線透過部材２０は、車両用外装部材の遮光領域内に配置されることが好ましい。遠赤外線透過部材２０は、車両用外装部材に特に適している。

　本実施形態に係る製造方法は、遠赤外線を透過する基材３０上に第１機能膜３２（機能膜）を形成する遠赤外線透過部材２０の製造方法であって、基材３０上に、スパッタリングにより第１機能膜３２の最外層３６を形成することで遠赤外線透過部材２０を製造するステップを有する。遠赤外線透過部材２０は、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上であり、最外層３６は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、最外層３６の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である。本製造方法によると、遠赤外線を適切に透過しつつ耐擦傷性を向上可能な遠赤外線透過部材２０を製造できる。

　最外層３６を形成するステップにおいては、０．３０Ｐａ以下の圧力下でスパッタリングを行うことが好ましい。このような低圧下でスパッタリングを実施することで、耐擦傷性に優れた最外層３６を形成できる。

　スパッタリングが後酸化スパッタ法であることが好ましい。後酸化スパッタを行うことで、耐擦傷性に優れた最外層３６を形成できる。

　（実施例）
　以下に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されない。表１及び表２は、各例の遠赤外線透過部材を示す表である。

　（例１）
　表１に示すように、例１においては、Ｓｉ（ＦＺグレード）製の基材上に、ロードロック式スパッタ装置（ＲＡＳ－１１００ＢII、シンクロン社製）を用いて、後酸化スパッタ法により、中間層としてＮｉＯ_ｘ膜と、ＺｒＯ_２膜と、ＮｉＯ_ｘ膜とをこの順で形成し、最外層としてのＺｒＯ_２膜を基材から最も離れた面上に形成した。基材、ＮｉＯ_ｘ膜、ＺｒＯ_２膜の厚みは、表１に示すものとした。なお、基材厚みは、デジタルノギス（株式会社ミツトヨ社製、ＣＤ－１５ＣＸ）で測定した。また、機能膜の厚みは触針式プロファイリングシステム（Ｄｅｋｔａｋ　ＸＴ－Ｓ、ＢＲＵＫＥＲ社製）により評価した。
　ＮｉＯ_ｘ膜、ＺｒＯ_２膜の成膜条件は、以下の通りである。表１に成膜条件の一部（スパッタリング方式と成膜圧力）を記載する。

　（ＮｉＯ_ｘ成膜条件）
ターゲット：ＮｉＯ（７０質量％）＋Ｎｉ（３０質量％）混合ターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１５０ｓｃｃｍ）
投入電力：６ｋＷ
反応性ガス：Ａｒ（流量７０ｓｃｃｍ）＋Ｏ_２（流量：１０ｓｃｃｍ）
ＲＦ電力：２ｋＷ
基板温度：常温
成膜圧力：０．２０Ｐａ

　（ＺｒＯ_２成膜条件）
ターゲット：Ｚｒターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１５０ｓｃｃｍ）
投入電力：６ｋＷ
反応性ガス：Ｏ_２（流量：１００ｓｃｃｍ）
ＲＦ電力：４ｋＷ
基板温度：室温
成膜圧力：０．２１Ｐａ

　（例２）
　表１に示すように、例２においては、Ｓｉ（ＦＺグレード）製の基材上に、カルーセル型スパッタ装置を用いて、反応性スパッタ法によって、中間層としてのＮｉＯ_ｘ膜と、最外層としてのＺｒＯ_２膜とをこの順で形成した。基材、ＮｉＯ_ｘ膜、ＺｒＯ_２膜の厚みは、表１に示すものとした以外は、例１と同様の方法で遠赤外線透過部材を得た。
　ＮｉＯ_ｘ膜、ＺｒＯ_２膜の成膜条件は、以下の通りである。成膜圧力は、ターボ分子ポンプのＡＰＣバルブ開度により調整した。

　（ＮｉＯ_ｘ膜成膜条件）
ターゲット：ＮｉＯ（７０質量％）＋Ｎｉ（３０質量％）混合ターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１２０ｓｃｃｍ）
反応性ガス：Ｏ_２（流量：３０ｓｃｃｍ）
投入電力：３０００Ｗ
基板温度：室温
成膜圧力：０．３０Ｐａ

　（ＺｒＯ_２膜成膜条件）
ターゲット：Ｚｒターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１００ｓｃｃｍ）
反応性ガス：Ｏ_２（流量：５０ｓｃｃｍ）
投入電力：３ｋＷ
基板温度：室温
成膜圧力：０．２４Ｐａ

　（例３－例１２）
　例３から例１２においては、例２に対して、膜の材質、厚みを表１、２に示すように変更した以外は、例２と同様の方法で遠赤外線透過部材を得た。ＺｎＯ膜、ＳｉＯ_２膜、Ａｌ_２Ｏ_３膜、Ｓｉ膜の成膜条件は以下の通りである。

　（ＺｎＯ膜成膜条件）
ターゲット：Ｚｎターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１００ｓｃｃｍ）
反応性ガス：Ｏ_２（流量：１００ｓｃｃｍ）
投入電力：３０００Ｗ
基板温度：室温
成膜圧力：０．２４Ｐａ

　（ＳｉＯ_２膜成膜条件）
ターゲット：Ｓｉターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１００ｓｃｃｍ）
反応性ガス：Ｏ_２（流量：１００ｓｃｃｍ）
投入電力：３０００Ｗ
基板温度：室温
成膜圧力：０．２８Ｐａ

　（Ａｌ_２Ｏ_３膜成膜条件）
ターゲット：Ａｌターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１００ｓｃｃｍ）
反応性ガス：Ｏ_２（流量：１００ｓｃｃｍ）
投入電力：３０００Ｗ
基板温度：室温
成膜圧力：０．２４Ｐａ

　（Ｓｉ膜成膜条件）
ターゲット：Ｓｉターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：２００ｓｃｃｍ）
反応性ガス：無し
投入電力：３０００Ｗ
基板温度：室温
成膜圧力：０．２７Ｐａ

　（例１３）
　例１３においては、例２に対して、ＮｉＯ_ｘ膜の厚み、ＺｒＯ_２膜の成膜条件を表２に示すように変更した以外は、例２と同様の方法で遠赤外線透過部材を得た。ＺｒＯ_２膜の成膜条件は以下の通りである。

　（ＺｒＯ_２膜成膜条件）
ターゲット：Ｚｒターゲット
スパッタリングガス：Ａｒガス（流量：１００ｓｃｃｍ）
反応性ガス：Ｏ_２（流量：５０ｓｃｃｍ）
投入電力：３０００Ｗ
基板温度：室温
成膜圧力：０．８４Ｐａ

　（例１４）
　例１４においては、例１に対して、中間層の構成を表２に示すように変更した以外は、例１と同様の方法で遠赤外線透過部材を得た。

　（最外層屈折率）
　各例の遠赤外線透過部材の物性値を測定した。
　物性値として、遠赤外線透過部材の基材から最も遠い側（最も外側）の膜の、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率を評価した。屈折率は、分光エリプソメーター（Ｊ．Ａ．ウーラム社製、Ｍ－２０００）により得られる偏光情報、ＪＩＳ　Ｒ３１０６に基づき測定される分光透過率を用いて、光学モデルのフィッティングを行うことで、決定した。
　なお、基材から最も遠い側（最も外側）の膜とは、最外層を指し、例えば例１においては膜４を指し、例２においては膜２を指す。

　（算術平均粗さＲａ）
　物性値として、遠赤外線透過部材の基材から最も遠い側（最も外側）の表面の算術平均粗さＲａをＪＩＳ　Ｂ０６０１に基づいて測定した。なお、基材から最も遠い側（最も外側）の表面とは、例えば例１においては膜４の表面を指し、例２においては膜２の表面を指す。

　（押し込み硬さ）
　物性値として、ｉＭｉｃｒｏ型ナノインデンター（ＫＬＡ社製）を用いて、ナノインデンテーション法により第１機能膜の膜厚方向（深さ方向）での押し込み硬さを測定した。測定条件は以下の通りである。
・圧子：バーコビッチ
・アクチュエーター：ＩＦ５０
・測定方法：連続剛性測定法
・最大押し込み荷重：５０ｍＮ
・ひずみ速度：０．２％／ｓ
・サンプルのポアソン比：０．２５
・測定点数：基板１枚当たり１５～２０点
　押し込み深さ１０８ｎｍにおける、押し込み硬さの平均値を代表値として採用した。基板の影響を最小限とするために、評価膜厚の１／１０以下の押し込み深さで評価することが推奨されている。

　（波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率）
　物性値として、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率（ＦＩＲ－Ｔ）を測定した。測定方法としては、８μｍ～１２μｍのそれぞれの波長の光の透過率を、フーリエ変換型赤外分光装置（ＴｈｅｒｍｏＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製、商品名：Ｎｉｃｏｌｅｔ　ｉＳ１０）を用いて測定し、測定した透過率から、平均透過率を算出した。

　（Δａ^＊ｂ^＊）
　物性値として、Δａ^＊ｂ^＊を測定した。ＪＩＳ　Ｒ３１０６に基づいて、Ｕ４１００（日立社製）を用いて可視域の反射スペクトルを測定し、ＪＩＳ　Ｚ　８７８１―４に基づいて、照明光に標準イルミナントＤ６５を用いた際のＣＩＥ－Ｌａｂ表色系における反射光の色度座標Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊を求め、上記の式（３）に基づいてΔａ^＊ｂ^＊を算出した。

　各例の物性値の測定結果を表１、２に示す。

　（評価）
　各例の遠赤外線透過部材について評価を行った。評価としては、ワイパ試験を実施して、ワイパ試験で形成された傷の本数を計測した。具体的には、基材から最も遠い側（最も外側）の表面に対して、以下の条件でワイパ試験を行った後、ワイパが摺動された摺動箇所について光学顕微鏡ＤＳＸ５００（ＯＬＹＭＰＵＳ社製）を用いて倍率３５０倍で暗視野観察を行った。暗視野観察において、摺動方向と垂直に１．８ｍｍの領域における傷の本数を計測した。
　ワイパ試験では、トラバース式摩耗試験機を用いて、以下に示す試験条件にて、基材から最も遠い側（最も外側）の表面を摩耗することで行った。トラバース式摩耗試験機にワイパーラバー（トヨタ車用純正品、型番８５２１４－４７１７０）を装着し、ワイパと試料との間にダスト溶液を滴下し、ワイパに接触荷重を与えながら往復運動摩擦を行った。ワイパ幅は２０ｍｍ、ストローク幅は４０ｍｍ、ストローク数は２５００往復、荷重は５０ｇ相当とした。ダスト溶液は、ＪＩＳ試験用粉体１の８種と純水を質量比３：１００で混合して作製し、摺動箇所に２ｍｌのダスト溶液を滴下した。５００往復毎に基板を洗浄し、ダスト溶液を再度滴下して、合計２５００往復の往復運動摩擦を行った。
　ワイパ試験における傷の数が５本以下を合格とし、５本より多い場合を不合格とした。表１に示すように、最外層がＺｒＯ_２を主成分とする膜であり、最外層の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である、実施例に相当する例１～４、１１、１２、１４においては、ワイパ試験が合格となり、遠赤外線を適切に透過しつつ耐擦傷性を向上できることが分かる。一方、比較例に相当する例５～１０、１３においては、機械的強度が低いことでワイパ試験が不合格となり、遠赤外線を適切に透過しつつ耐擦傷性を向上できないと推察される。比較例に対応する例５、７、９は押し込み硬さが８．０ＧＰａ以上と高いにもかかわらず、ワイパ擦傷耐性は低いことが分かる。これは水とダストの混合系における凝着摩耗や化学摩耗への耐性の低い膜種であるためと推察される。以上の結果より、化学安定性が高く、押し込み硬さの高いＺｒＯ_２膜が最外層として好適と言える。比較例に対応する例１３はＺｒＯ_２膜の成膜圧力が高く、ＺｒＯ_２膜の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５より低い疎な膜質となっていることで、ワイパ試験が不合格となり、遠赤外線を適切に透過しつつ耐擦傷性を向上できないと推察される。

　（オプションの評価）
　オプションの評価として、色変化の評価と煮沸試験とを行った。
　色変化の評価においては、ワイパ試験後の基材から最も遠い側の表面を目視で観察し、摩耗箇所全体が色変化を起こしているかを確認した。色変化が起こっている場合は、微小な膜の摩耗や、表面粗さの変化が生じていると考えられるため、色変化が起こらない方がより好ましい。表２に示すように、例１１と、例２、１２、１４とを比較することで、表面の算術平均粗さＲａが小さいと、色変化を起こさず、耐擦傷性をより好適に向上できることが分かる。
　また、煮沸試験はＪＩＳ　Ｒ３２１２に則り、各例のサンプルを１００℃±２℃の純水中で２時間保持し行った。煮沸試験後は、膜剥がれが生じたもの、もしくは８μｍから１２μｍの平均透過率変化が５％以上生じたものを不合格とした。実施例に対応する例１、２、１１－１４に示すように、最外層を、ＺｒＯ_２を主成分とする膜とすることで、煮沸試験が合格となり、耐水性能を改善でき、より好ましいといえる。

　以上、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態の内容により実施形態が限定されるものではない。また、前述した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、前述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。さらに、前述した実施形態の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

　１　車両用ガラス
　１０、１２、１４　ガラス基体
　２０　遠赤外線透過部材
　３０　基材
　３２　第１機能膜（機能膜）
　３４　中間層
　３６　最外層
　３８　第２機能膜

Claims (15)

1. 　遠赤外線を透過する基材と、前記基材上に形成された機能膜とを含み、
   　波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上であり、
   　前記機能膜の最外層は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、前記最外層の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である、
   　遠赤外線透過部材。
2. 　前記最外層は、波長１０μｍの光に対する消衰係数が、０．１０以下である、請求項１に記載の遠赤外線透過部材。
3. 　前記最外層の厚みが２０ｎｍ以上である、請求項１又は請求項２に記載の遠赤外線透過部材。
4. 　前記最外層の表面の算術平均粗さＲａが７．０ｎｍ以下である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の遠赤外線透過部材。
5. 　以下の式（３）で定義されるΔａ^＊ｂ^＊の値が５以下である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の遠赤外線透過部材。
   　Δａ^＊ｂ^＊＝（ａ^＊２＋ｂ^＊２）^０．５　・・・（３）
   　ａ^＊、及びｂ^＊は照明光に標準イルミナントＤ６５を用いた際のＣＩＥ－Ｌａｂ表色系における反射光の色度座標であり、ＪＩＳ　Ｒ３１０６に基づき測定される分光反射率を用いてＪＩＳ　Ｚ　８７８１―４に基づいて算出される。
6. 　前記赤外線透過部材の前記基材の厚みに対する、前記最外層の厚みの比率が、０．００２％以上０．０３０％以下である、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の遠赤外線透過部材。
7. 　前記機能膜は、前記最外層と前記基材との間に設けられる中間層をさらに含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の遠赤外線透過部材。
8. 　前記中間層は、ＮｉＯ_Ｘを主成分とする反射防止層を含み、前記反射防止層は、ＮｉＯ_Ｘの含有率が、前記反射防止層の全体に対して５０質量％以上１００質量％以下となる、請求項７に記載の遠赤外線透過部材。
9. 　車両に搭載される、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の遠赤外線透過部材。
10. 　車両の窓部材に配置される、請求項９に記載の遠赤外線透過部材。
11. 　車両のピラー用外装部材に配置される、請求項９又は請求項１０に記載の遠赤外線透過部材。
12. 　車両用外装部材の遮光領域内に配置される、請求項９から請求項１１のいずれか１項に記載の遠赤外線透過部材。
13. 　遠赤外線を透過する基材上に機能膜を形成する遠赤外線透過部材の製造方法であって、
    　前記基材上に、スパッタリングにより前記機能膜の最外層を形成することで前記遠赤外線透過部材を製造するステップを有し、
    　前記遠赤外線透過部材は、波長８μｍ～１２μｍの光の平均透過率が５０％以上であり、
    　前記最外層は、ＺｒＯ_２を主成分とする層であり、ＺｒＯ_２の含有率が、前記最外層の全体に対して、５０質量％以上１００質量％以下であり、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が２．０５以上である、遠赤外線透過部材の製造方法。
14. 　前記最外層を形成するステップにおいては、０．３０Ｐａ以下の圧力下で前記スパッタリングを行う、請求項１３に記載の遠赤外線透過部材の製造方法。
15. 　前記スパッタリングが後酸化スパッタ法である、請求項１３又は請求項１４に記載の遠赤外線透過部材の製造方法。

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