WO2022249657A1 - 導電接続体及びソケット - Google Patents

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mesh
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fibrous body
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紀雄 濱内
宗治 國岡
英樹 佐藤
巧 大澤
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ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a conductive connector and a socket, and more particularly to a conductive connector and a socket used in connectors for electronic devices, sockets for semiconductors, and the like.
  • Patent Document 1 discloses a contact probe that is arranged between a pair of conductive members facing each other and electrically connects between the conductive members, and has a contact portion that contacts one of the conductive members and a A substantially U-shaped wiring member made of a bundle of copper wires connected to contact points through an intermediate portion, and a block-shaped rubber-like elastic body having a structure in which the wiring member other than the contact points is embedded. a covering member manufactured by molding.
  • the contact probe disclosed in Patent Literature 1 is covered with a block-shaped rubber-like elastic body having a structure in which the wiring member is covered with a portion other than the contact portion. is not easy.
  • the wiring member is less likely to follow the displacement of the block-shaped rubber-like elastic body, so excessive stress is likely to be applied only partially. Therefore, there is a problem that wires are likely to break at those sites as they are used. In addition, there is a problem that the contact portion of the wiring member tends to peel off from the covering member due to its structure.
  • an object of the present invention is to provide a conductive connector that does not have such inconvenience.
  • the conductive connector and socket of the present invention are: a non-conductive elastic body; a mesh-like fibrous body having a coated region whose surface is coated with metal; with The non-conductive elastic body is covered with the mesh-like fibrous body in a ⁇ shape.
  • the semiconductor device in which the connection objects are arranged two-dimensionally or three-dimensionally can be used. It can be used preferably.
  • the mesh-like fibrous body can be a fibrous body in which a non-coated region is formed, which is not coated with metal, in contrast to metal fibers coated with metal.
  • the uncovered region is preferably formed by chemical or mechanical treatment.
  • FIGS. 1A to 1E are schematic configuration diagrams of a conductive connector 1000 according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the conductive connector 1000 is roughly classified into a mesh-like fibrous body 100 and a non-conductive elastic body 200, which will be described below.
  • FIG. 1A shown in the center is a right side view
  • FIG. 1B shown above is a plan view
  • FIG. 1C shown below is a bottom view
  • FIG. 1D shown on the left is a front view
  • FIG. 1E shown on the right is a rear view. It is a diagram.
  • FIG. 1E does not show the non-conductive elastic body 200 for convenience of explanation.
  • the left side view is not shown in FIG. 1, it is symmetrical with the right side view.
  • the mesh-like fibrous body 100 can have a coated region 10 whose surface is coated with a metal containing a noble metal and an uncoated region 20 whose surface is not coated with metal.
  • the covered area 10 would face the central area 10A shown in FIG. 1E, and the uncovered area 20 would face the peripheral area 20A in FIG. 1E.
  • the entire mesh-like fibrous body 100 may be used as the covered area 10 and the uncovered area 20 may not be formed.
  • the formation of the uncovered region 20 prevents the adjacent conductive connectors 1000 from coming into contact with each other and short-circuiting when, for example, the contact objects with the conductive connectors 1000 are arranged with relatively short gaps. It has the advantage of being able to
  • the mesh-like fibrous body 100 has a mesh-like shape, the opposite surface thereof can be in contact with the conductive elastic body 200 entirely. Although it depends on the mesh size of the mesh-like fibrous body 100, it is set to 500 mPa to 100,000 mPa, preferably 5,000 mPa to 50,000 mPa, more preferably 11,000 mPa to 14,000 mPa, and the conductive elastic body 200 is made to enter the mesh. , together with its anchor effect, achieves high adhesion to the conductive elastic body 200 .
  • the mesh fibrous body 100 forms folded portions 110 at the upper and lower ends of the covering region 10 .
  • the folded portion 110 also contributes to the adhesion between the mesh-like fibrous body 100 and the conductive elastic body 200 .
  • FIG. 1 shows a state in which the folded portion 110 is folded back 180 degrees
  • the folded portion 110 is not limited to this and may be folded, for example, about 120 degrees to 150 degrees.
  • the size and number of the folded portions 110 are not limited to those shown in FIG.
  • the mesh-like fibrous body 100 has a general shape of ⁇ , and therefore has springiness.
  • the mesh-like fibrous body 100 has portions in which the upper surface and the lower surface are parallel to each other, the ⁇ shape referred to in this specification is not limited to this aspect in a strict sense. Therefore, referring to FIG. 1A, the mesh-like fibrous body 100 includes, for example, a curved upper side.
  • the mesh-like fibrous body 100 preferably has a shape that can secure a large contact surface according to the shape of the object to be contacted.
  • the conductive connector 1000 can be used for testing semiconductor devices. It is brought into contact with the electrode terminal of the electronic component inspection device. In this state, when a voltage is applied to a normal semiconductor device, a current flows through the covering region 10 of the mesh-like fibrous body 100 toward the inspection device.
  • the non-conductive elastic body 200 is covered on its upper surface, front surface, and lower surface by a mesh-like fibrous body 100 having a general ⁇ shape.
  • the non-conductive elastic body 200 can be made of, for example, a silicone resin material. A resin material can also be used.
  • the mesh-like fibrous body 100 has only one corner portion on the lower side, the stress applied to that portion is limited, and the conductive connecting member 1000 has a ⁇ shape without any corners.
  • the conductive connector 1000 when it is placed on a substrate of a semiconductor device or the like, it may be arranged as shown in the drawing in order to increase the mounting surface and stabilize it.
  • the application of the conductive connector 1000 is mainly described as an inspection apparatus for semiconductor devices. It can also be used for internal wiring.
  • the conductive connector 1000 may be connected to a wiring board or the like provided in a semiconductor device or the like by a conductive adhesive, reflow soldering, or the like.
  • soldering can be done by raising the temperature up to about 260° C., so if the material of the non-conductive elastic body 200 is made of a material having heat resistance of about 280° C., the conductive connector 1000 can be used as the substrate of the semiconductor device. It is also possible to connect to, for example, by soldering.
  • FIG. 2 is a perspective view of a part of the covering region 10 of the mesh-like fibrous body 100 that constitutes the conductive connector 1000 shown in FIG.
  • the mesh fabric 100 can be a woven fabric, a non-woven fabric, or the like, such as an insulating material.
  • the mesh-like fibrous body 100 is manufactured by weaving a plurality of fibers 5 arranged in a grid.
  • the thickness of the mesh fibrous body 100 is, for example, about 5 ⁇ m to 200 ⁇ m, preferably about 10 ⁇ m to 150 ⁇ m, more preferably about 20 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the fiber 5 itself may be an insulating material (non-conductive fiber) having flexibility, and for example, a material appropriately selected from glass fiber, chemical fiber, carbon fiber, and the like can be used.
  • each fiber 5 shown in FIG. 2 is coated with a metal to form a coated region 10.
  • a metal As the metal referred to here, gold, silver, platinum, etc., or alloys containing these as main components, for example, having electrical conductivity can be used.
  • the specifications such as the diameter and strength of the fiber 5 are not particularly limited, but the thickness of the metal itself is about 0.1 ⁇ m to 20 ⁇ m, preferably about 2 ⁇ m to 10 ⁇ m, and the hardness is 1 or more. can be selected.
  • the manufacturing method of the mesh-like fibrous body 100 is irrelevant.
  • the fibers 5 without forming the covering region 10 may be woven in a grid pattern, and then the region where the covering region 10 is to be formed may be brought into contact with a metal plating solution or a metal gas.
  • the fibers 5 coated with a metal in advance may be woven in a grid pattern, and then the regions where the non-coated regions 20 are to be formed may be formed by etching using an etchant suitable for the metal.
  • an etchant suitable for the metal it is necessary to use an etchant that does not dissolve the fiber 5 itself.
  • the mesh-like fibrous body 100 having the covered regions 10 and the uncovered regions 20 can be produced by any method, but in particular, the mesh-like fibrous body 100 does not have the uncovered regions 20 and the covered regions 10 In the case of using only one, the latter method is preferable because the manufacturing efficiency is high.
  • the uncovered region 20 is not necessarily formed by etching, and may be formed by chemical treatment other than etching. Examples of such treatment include mechanical treatments such as sandblasting and ion irradiation.
  • FIG. 3 is a schematic perspective view of part of the conductive connector 1000 of Embodiment 2 of the present invention.
  • the conductive connecting member 1000 has a shape in which the members shown in FIG. 1 are continuously and repeatedly arranged linearly two-dimensionally.
  • the conductive connector 1000 may have a shape in which the members shown in FIG. 1 are continuously and repeatedly arranged two-dimensionally in a plane.
  • the conductive connector 1000 shown in FIG. 1 can also be manufactured by once manufacturing the conductive connector 1000 shown in FIG.
  • the number and size of the covered regions 10 and the non-covered regions 20 may be appropriately selected according to the number, size and dimensions of the electrode terminals to be inspected.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of the mesh-like fibrous body 100 that constitutes the conductive connector 1000 shown in FIG.
  • FIG. 4A shows a rear view corresponding to FIG. 1E
  • FIG. 4B shows a perspective view including the non-conductive elastic body 200.
  • the folded portions 110 can be provided at appropriate intervals.
  • the conductive connector 1000 shown in FIG. 4 does not have corners in the mesh-like fibrous body 100 .
  • the non-conductive elastic body 200 has a rectangular parallelepiped shape, the upper and lower ends thereof are uneven. This irregular shape occurs when the conductive connector 1000 is manufactured using a jig 3000 shown in FIG. 6A, which will be described later, and is not essential to the conductive connector 1000.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the plurality of conductive connectors 1000 shown in FIG. 4 are attached to the socket 2000.
  • the socket 2000 includes a socket body 2100 to which a plurality of conductive connectors 1000 are attached, and positioning pins 2200 provided at four corners of the socket body 2100 .
  • the socket main body 2100 has conductive connectors 1000 each having seven covering regions 10, for example, arranged in 14 rows and 2 columns. It is only an example.
  • FIGS. 6A to 6D are schematic manufacturing process diagrams of the conductive connector 1000 shown in FIG.
  • the manufacturing process of the conductive connector 1000 shown in FIGS. 6A to 6D is merely an example, and is not limited to this.
  • a conductive connector 1000 may be manufactured.
  • the adhesive or the like should enter the mesh of the mesh-like fibrous body 100 .
  • the adhesive also has the above-mentioned heat resistance, it is preferable because the application is not limited.
  • FIG. 6A shows a jig 3000 for manufacturing the conductive connector 1000.
  • the jig 3000 has a substantially rectangular parallelepiped shape. Side walls are formed on the top surface of the jig 3000 along both long sides. These side walls, together with the upper surface of the jig 3000, form a channel 3200 into which the resin that forms the non-conductive elastic body 200 is poured. A comb portion composed of a plurality of protrusions 3100 is formed on each side wall.
  • FIG. 6B shows a mesh fibrous body 100 having covered regions 10 and uncovered regions 20.
  • the mesh-like fibrous body 100 may be manufactured by the method described with reference to FIG. Here, the mesh-like fibrous body 100 is drawn as if it already has a ⁇ shape.
  • the mesh-like fibrous body 100 shown in FIG. 6B is attached to the jig 3000 shown in FIG. , a state in which the non-conductive elastic body 200 is formed.
  • the mesh-like fibrous body 100 is attached to the jig 3000 in such a manner that each non-covered region 20 and each convex portion 3100 correspond to each other.
  • FIG. 6D shows a state in which the completed conductive connector 1000 is removed from the jig 3000.
  • FIG. 6D it can be seen that the non-conductive elastic body 200 is covered with the ⁇ -shaped mesh fiber body 100 .
  • the teeth of a slicer can be inserted between the projections 3100 in the state of FIG.
  • the uncovered region 20 of the conductive connector 1000 removed from the jig 3000 can also be cut into round slices.
  • the covering regions 10 are formed in a matrix, for example, and the jigs 3000 shown in FIG. 6A are continuously arranged in the lateral direction. should be used.
  • the conductive connector 1000 of each embodiment of the present invention is easy to manufacture, has a low risk of disconnection, and can be used semi-permanently.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a conductive connector 1000 according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. FIG. 2 is a perspective view showing a portion of a covering region 10 of a mesh-like fibrous body 100 that constitutes the conductive connector 1000 shown in FIG. 1
  • FIG. 10 is a schematic perspective view of part of a conductive connector 1000 according to Embodiment 2 of the present invention
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of a mesh-like fibrous body 100 that constitutes the conductive connector 1000 shown in FIG. 3
  • 5 is a perspective view showing a state in which the plurality of conductive connectors 1000 shown in FIG. 4 are attached to the socket 2000
  • FIG. 5 is a schematic manufacturing process diagram of the conductive connector 1000 shown in FIG. 4.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of a mesh-like fibrous body 100 that constitutes the conductive connector 1000 shown in FIG. 3
  • 5 is a perspective view showing a state in which the plurality of conductive connectors 1000 shown in FIG

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Abstract

【課題】製造が容易であって、断線リスクが小さい導電接続体を提供する。 【解決手段】非導電弾性体２００と、表面が金属で被覆された被覆領域１０を有する網目状繊維体１００と、を備え、非導電弾性体２００の周囲を網目状繊維体１００が⊂字状となる態様で覆うことによって導電接続体を製造し、網目状繊維体１００は、例えば、金属が被覆されていない非被覆領域２０と被覆領域１０とを交互に配する。

Description

導電接続体及びソケット
　本発明は、導電接続体及びソケットに関し、特に、電子機器用コネクター及び半導体用ソケット等に用いられる導電接続体及びソケットに関する。
　特許文献１には、互いに対向する一対の導電性部材間に配置されて導電性部材間を電気的に接続するコンタクトプローブであって、導電性部材のうちの一方に接触する接点部と他方に接触する接点部とを中間部を介して連結した形状の銅線の束よりなる略コ字型の配線部材と、配線部材における接点部以外の部位を埋設した構造のブロック状ゴム状弾性体をモールド成形によって製造した被覆部材と、を有している。
特開２０１５－０３６６６４号公報の要約書、［００３２］、［００４９］、［００５０］段落
　しかし、特許文献１に開示されたコンタクトプローブは、配線部材における接点部以外の部位を埋設した構造のブロック状ゴム状弾性体よって被覆しているが、そのような構造のコンタクトプローブを製造することは容易でない。
　また、配線部材が、ブロック状ゴム状弾性体の変位に対して追従しにくく、したがって一部分のみに過剰な応力がかかりやすい。したがって、使用するにつれて、それらの部位で断線しやすいという問題がある。また、配線部材における接点部が、構造上、被覆部材から剥離しやすいという問題があった。
　そこで、本発明は、このような不都合のない導電接続体を提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために、本発明の導電接続体及びソケットは、
　非導電弾性体と、
　表面が金属で被覆された被覆領域を有する網目状繊維体と、
　を備え、
　前記非導電弾性体の周囲を前記網目状繊維体が⊂字状となる態様で覆っている。
　なお、前記網目状繊維体は、金属が被覆されていない非被覆領域と前記被覆領域とが交互に配されていると、接続対象が２次元状又は３次元状に配置されている半導体装置に好適に用いることができる。
　前記網目状繊維体は、金属が被覆されていた金属繊維に対して、金属が被覆されていない非被覆領域が形成された繊維体とすることができる。
　前記非被覆領域は、化学的処理又は機械的処理によって形成されているとよい。
発明の実施の形態
　以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、説明の都合上、図面を基に上下左右などという表記を用いて説明することがあるが、それは相対的なものに過ぎず、絶対的なものではない点に留意されたい。また、各図では説明の都合を優先させており、各図間で寸法比を揃えていない点にも留意されたい。
　（実施形態１）
　図１Ａ～図１Ｅは、本発明の実施形態１の導電接続体１０００の模式的な構成図である。導電接続体１０００は、以下説明する、網目状繊維体１００と、非導電弾性体２００と、に大別される。
　なお、中央に示す図１Ａは右側面図、その上に示す図１Ｂは平面図、その下に示す図１Ｃは底面図、その左に示す図１Ｄは正面図、その右に示す図１Ｅは背面図である。図１Ｅには、説明の都合上、非導電弾性体２００は示していない。また、図１には左側面図は示していないが、右側面図と対称的である。
　網目状繊維体１００は、図４を用いて後述するように、表面が貴金属を含む金属で被覆された被覆領域１０と、金属が被覆されていない非被覆領域２０とを有することができる。被覆領域１０は、図１Ｅに示す中央領域１０Ａに対向することになり、非被覆領域２０は図１Ｅの周辺領域２０Ａに対向することになる。
　もっとも、網目状繊維体１００全体を被覆領域１０として、非被覆領域２０を形成しなくてもよい。ただ、非被覆領域２０を形成すると、例えば、導電接続体１０００との接触対象が相対的に短い隙間で配列されているときに、相互に隣接する導電接続体１０００が接して短絡することを回避できるという利点がある。
　網目状繊維体１００は、網目状という形状ゆえに、導電弾性体２００とはその対向面が全面的に接触することができ、さらにそればかりではなく、例えば、硬化前の導電弾性体２００の粘度を、網目状繊維体１００の網目の大きさにもよるが、５００ｍＰａ～１０万ｍＰａ、好ましくは５０００ｍＰａ～５万ｍＰａ、より好ましくは１１０００ｍＰａ～１４０００ｍＰａとして、その網目にも導電弾性体２００が入り込ませて、そのアンカー効果も相俟って導電弾性体２００との高い密着性を実現している。
　加えて、網目状繊維体１００は、被覆領域１０の上下端には折返部１１０を形成している。折返部１１０も網目状繊維体１００と導電弾性体２００との密着性に寄与する。なお、図１には、折返部１１０を１８０度折り返した状態を示しているが、これに限らず、例えば１２０度～１５０度程度であってもよい。また、折返部１１０の大きさ、数量も図１に示すものに限定されない。さらに、そもそも被覆領域１０に折返部１１０を形成することは必須ではない。
　図１Ａに示すように、網目状繊維体１００は、概形が⊂字状をしているので、ばね性がある。また、網目状繊維体１００は、上面及び下面は相互に平行面となる部分を有しているが、本明細書でいう⊂字状は、この態様に厳密な意味で限定されるものではなく、したがって、図１Ａでいうと、網目状繊維体１００は、例えば上側が全て曲面することも含む。網目状繊維体１００の形状は、その接触対象の形状に応じて接触面を多く確保可能な形状とすることが好ましい。
　導電接続体１０００は、半導体装置などの検査に用いることができ、その場合には、網目状繊維体１００の上面と下面との一方を半導体装置などの電子部品の電極端子に接触させ、他方を電子部品検査装置の電極端子に接触させる。この状態で、正常な半導体装置に電圧を印加すると、網目状繊維体１００の被覆領域１０を通じて検査装置に向けて電流が流れる。
　図１Ａに示すように、非導電弾性体２００は、⊂字状の概形の網目状繊維体１００によって、その上面、正面、下面が覆われている。非導電弾性体２００は、例えば、シリコン樹脂素材で構成することができるが、非導電性であること、弾性を有することという条件さえ満たせば、シリコン以外の熱可塑性ポリウレタン（ＴＰＵ）などの他の樹脂素材とすることもできる。
　導電接続体１０００を半導体装置の検査に用いる場合には、上記各端子に接触させた状態で物理的に力が印加される。これにより、非導電弾性体２００は変形することでその力を吸収する。このような動作原理は、特許文献１のコンタクトプローブを用いた場合と同じである。
　ただ、網目状繊維体１００には、角部分が下側に一か所しかないなので、そこにかかる応力は限定的であるし、導電接続体１０００は、角部のない確実に⊂字状としてもよいし、例えば導電接続体１０００を半導体装置の基板などに載置する際に、載置面を大きくして安定させるために図示するとおりにしてもよい。
　なお、本明細書では、導電接続体１０００の用途として、主に半導体装置の検査装置の場合を例に説明したが、導電接続体１０００の用途は、これに限定されず、半導体装置等自体の内部配線にも用いることができる。この場合には、半導体装置等に備える配線基板などに対して、導電性接着剤、リフロー半田付けなどによって導電接続体１０００を接続すればよい。
　この場合、例えば半田付けであれば２６０℃程度までの昇温で済むので、非導電弾性体２００の素材を、２８０℃程度の耐熱性のある素材とすると、導電接続体１０００を半導体装置の基板などに半田付けによって接続することも可能となる。
　図２は、図１に示す導電接続体１０００を構成する網目状繊維体１００の被覆領域１０の一部を抜き出した斜視図である。網目状繊維体１００は、織布、不織布、或いは、これらに類するもの、例えば絶縁素材とすることができる。
　網目状繊維体１００は、格子状に配列された複数の繊維５を編込むことによって製造される。網目状繊維体１００の厚さは、例えば５μｍ～２００μｍ程度、好ましくは１０μｍ～１５０μｍ程度、より好ましくは２０μｍ～１００μｍ程度とすることが考えられる。繊維５自体は、可撓性を有する絶縁素材（非導電繊維）であればよく、例えば、ガラス繊維、化学繊維、炭素繊維などから適宜選択したものを用いることができる。
　図２に示す各繊維５の表面は、金属によって被覆され、被覆領域１０が形成されている。なお、ここでいう金属としては、金、銀、白金など又はこれらを例えば主成分とする合金など導電性を有するものを用いることができる。また、繊維５の直径・強度などのスペックは、特に限定されるものではないが、金属自体の厚さは０．１μｍ～２０μｍ程度、好ましくは２μｍ～１０μｍ程度、硬度は１以上のものを適宜選択することができる。
　網目状繊維体１００の製造方法は不問である。例えば、被覆領域１０を形成していない状態の繊維５を格子状に編み込み、その後に、被覆領域１０を形成したい領域を、金属メッキ液又は金属ガスに接触させてもよい。
　或いは、予め金属で被覆した繊維５を格子状に編み込み、その後に、非被覆領域２０を形成したい領域を、その金属に応じたエッチング液を用いてエッチング等することによって形成してもよい。もっとも、この場合には、繊維５自体が溶解しない条件のエッチング液とすることが必要である。
　いずれの手法によっても被覆領域１０と非被覆領域２０とを有する網目状繊維体１００を製造することができるが、特に、網目状繊維体１００が、非被覆領域２０を有さず、被覆領域１０のみとする場合には、後者の手法を採用すると製造効率が高いので好適である。
　なお、非被覆領域２０は、エッチングによって形成することが必須ではなく、エッチング以外の化学的処理でもよい。このような処理としては、例えば、サンドブラスト、イオン照射など機械的処理が挙げられる。
　（実施形態２）
　図３は、本発明の実施形態２の導電接続体１０００の一部の模式的な斜視図である。導電接続体１０００は、図１に示したものが線状に２次元に連続的に繰り返し配列されたような形状をしている。もっとも、導電接続体１０００は、図１に示したものが面状に２次元に連続的に繰り返し配列されたような形状としてもよい。
　換言すると、図３に示す導電接続体１０００を一度製造し、それを非被覆領域２０で適宜輪切りに切断することによって、図１に示す導電接続体１０００を製造することもできる。なお、被覆領域１０及び非被覆領域２０の数、大きさは、検査対象の電極端子の数、大きさ、寸法などに応じて適宜選択すればよい。
　図４は、図３に示した導電接続体１０００を構成する網目状繊維体１００の説明図である。図４Ａには図１Ｅに相当する背面図を示しており、図４Ｂには非導電弾性体２００も含めた状態の斜視図を示している。本実施形態に係る網目状繊維体１００においても、折返部１１０を適当な間隔で設けることができる。なお、図４に示す導電接続体１０００は、網目状繊維体１００に角部を有していない。
　なお、非導電弾性体２００は直方体状の概形をしているが、上下端部がそれぞれ凹凸形状をしている。この凹凸形状は、後述する図６Ａに示す治具３０００を用いて導電接続体１０００を製造する場合に生じるものであり、導電接続体１０００にとって本質的なことではない。
　図５は、図４に示した複数の導電接続体１０００をソケット２０００に装着した状態を示す斜視図である。ソケット２０００は、複数の導電接続体１０００が装着されるソケット本体２１００と、ソケット本体２１００の四隅に設けられている位置決めピン２２００とを備える。
　図５に示す例では、ソケット本体２１００に、例えば各々が７つの被覆領域１０を有する導電接続体１０００を、１４行２列で配列している状態を示しているが、これらの数はいずれも例示に過ぎない。
　図６Ａ～図６Ｄは、図４に示す導電接続体１０００の模式的な製造工程図である。なお、図６Ａ～図６Ｄに示す導電接続体１０００の製造工程はあくまで一例であり、これに限定されるものではない。例えば、被覆領域１０及び非被覆領域２０を有する網目状繊維体１００を製造し、別途、非導電弾性体２００を製造し、これらを導電性又は非導電性接着剤などを用いて張り合わせることによって導電接続体１０００を製造してもよい。その場合には、網目状繊維体１００の網目には当該接着剤などが入り込むようにするとよい。また、当該接着剤も、既述の耐熱性を有するものとすると、用途が限定的でないので好ましい。
　図６Ａには、導電接続体１０００を製造するための治具３０００を示している。治具３０００は、概形が略直方体状をしている。治具３０００の上面には、両長辺に沿って側壁が形成されている。これらの側壁は、治具３０００の上面とともに、非導電弾性体２００となる樹脂を流し込む流路３２００を構成する。また、当該各側壁には、複数の凸部３１００からなる櫛部が形成されている。
　図６Ｂには、被覆領域１０及び非被覆領域２０を有する網目状繊維体１００を示している。網目状繊維体１００は、図２を用いて説明した手法によって製造すればよい。なお、ここでは、網目状繊維体１００が既に⊂字状をしているように描いているが、これは非導電弾性体２００をイメージしやすいようにしただけである。
　図６Ｃには、図６Ｂに示す網目状繊維体１００を図６Ａに示す治具３０００に取り付け、流路３２００に樹脂を流し込み、網目状繊維体１００の網目にまで樹脂を到達させた後に硬化させて、非導電弾性体２００を形成した状態を示している。なお、網目状繊維体１００は、治具３０００に対して、各非被覆領域２０と各凸部３１００とが対応する態様で取り付けている。
　図６Ｄには、完成した導電接続体１０００を治具３０００から取り外した状態を示している。図６Ｄを見ると、非導電弾性体２００が、⊂字状の網目状繊維体１００が覆われていることがわかる。
　なお、図１に示す導電接続体１０００を製造するには、図６Ｃの状態で凸部３１００間にスライサーの歯を差し込み、非被覆領域２０で輪切りに切断することができる。もちろん、図６Ｄに示すように、治具３０００から取り外した導電接続体１０００の非被覆領域２０で輪切りに切断することもできる。
　また、導電接続体１０００を面状に２次元に配列する場合、被覆領域１０を例えば行列状に形成し、かつ、図６Ａに示す治具３０００を短手方向に連続して配置したようなものを用いればよい。
　以上説明したように、本発明の各実施形態の導電接続体１０００は、製造が容易であって、断線リスクが小さく、半永久的に用いる得るものとなる。
本発明の実施形態１の導電接続体１０００の模式的な構成図である。 図１に示す導電接続体１０００を構成する網目状繊維体１００の被覆領域１０の一部を抜き出した斜視図である。 本発明の実施形態２の導電接続体１０００の一部の模式的な斜視図である。 図３に示した導電接続体１０００を構成する網目状繊維体１００の説明図である。 図４に示した複数の導電接続体１０００をソケット２０００に装着した状態を示す斜視図である。 図４に示す導電接続体１０００の模式的な製造工程図である。
　５　繊維
　１０　被覆領域
　２０　非被覆領域
　１００　網目状繊維体
　２００　非導電弾性体
　１０００　導電接続体
　２０００　ソケット
　２１００　ソケット本体
　２２００　位置決めピン

Claims (4)

  1. 　非導電弾性体と、
    　表面が金属で被覆された被覆領域を有する網目状繊維体と、
    　を備え、
    　前記非導電弾性体の周囲を前記網目状繊維体が⊂字状となる態様で覆っている導電接続体。
  2. 　前記網目状繊維体は、金属が被覆されていない非被覆領域と前記被覆領域とが交互に配されている、請求項１記載の導電接続体。
  3. 　金属が被覆されていない非被覆領域は、化学的処理又は機械的処理によって形成されている、請求項１記載の導電接続体。
  4. 　請求項１～３のいずれか記載の導電接続体が複数装着されたソケット。

     
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