WO2021118088A1 - 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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강신철
문수미
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삼성디스플레이 주식회사
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Definitions

  • the present invention relates to a display device and a method for manufacturing the same.
  • a display device may display an image by using a light emitting device such as a light emitting diode as a light source of a pixel.
  • a light emitting device such as a light emitting diode as a light source of a pixel.
  • the light emitting diode exhibits relatively good durability even in harsh environmental conditions, and also exhibits excellent performance in terms of lifetime and luminance.
  • a display device using such a light emitting diode as a light emitting device may include a plurality of alignment lines, and may align the light emitting devices between the alignment lines by applying a predetermined voltage to the alignment lines.
  • a noise component is included in the voltage applied to the alignment wirings, a problem in that the light emitting device is not aligned or non-uniformly aligned between the alignment wirings may occur.
  • an object of the present invention is to provide a display device capable of increasing manufacturing efficiency while easily aligning light emitting devices between alignment lines, and a method of manufacturing the same.
  • a display device provides a substrate, a conductive line disposed on the substrate, a first capacitor electrode disposed on the conductive line and connected to the conductive line, and the first a protective layer disposed on the capacitor electrode, a first electrode disposed on the protective layer and at least partially overlapping the first capacitor electrode, spaced apart from the first electrode, and formed on the same layer as the first electrode a second electrode, and light emitting devices disposed between the first electrode and the second electrode.
  • the protective layer may include an insulating material, and the first capacitor electrode and the first electrode may form a first capacitor.
  • the display device may further include a transistor disposed between the substrate and the light emitting devices and electrically connected to the light emitting devices, wherein the transistor includes a semiconductor pattern disposed on the substrate and a semiconductor pattern disposed on the semiconductor pattern. a gate electrode, and first and second transistor electrodes disposed on the gate electrode and coupled to the semiconductor pattern, wherein the conductive line is disposed on the same layer as the gate electrode.
  • the first electrode may be connected to a first power line, and the first electrode may receive a first driving voltage through the first power line.
  • the first transistor electrode may be connected to the second electrode, the second transistor electrode may be connected to a second power line, and a second driving voltage greater than the first driving voltage may be provided through the second power line. .
  • the first capacitor electrode may be disposed on the same layer as the second power line.
  • the protective layer is disposed between the second power line and the second electrode, and the second power line and the second electrode are connected to a second capacitor can form.
  • the first capacitor electrode may be disposed on the same layer as the first transistor electrode.
  • the conductive line may extend in a first direction in plan view, and the first power line may extend in a second direction crossing the first direction in plan view.
  • the display device further includes a first connection electrode connecting the first electrode and the first power line and extending in the first direction, wherein the first electrode extends in the second direction, and At least a portion of the first connection electrode may overlap the first capacitor electrode, and the first electrode, the first connection electrode, and the first power line may be integrally formed.
  • the display device may further include a third electrode disposed on the same layer as the second electrode, wherein the first electrode is disposed between the second electrode and the third electrode in a plan view, and the light emitting devices include the first electrode. It may be further disposed between the electrode and the third electrode.
  • the display device further includes a second connection electrode connecting the second electrode and the third electrode and extending in the first direction, wherein the second electrode, the third electrode, and the second connection electrode may be integrally formed.
  • the display device may further include a third electrode contacting the first electrode and first ends of the light emitting devices, and a fourth electrode contacting the second electrode and second ends of the light emitting devices.
  • the display device may further include an insulating layer disposed on the first electrode and the second electrode, wherein the insulating layer comprises a first opening exposing at least a portion of the first electrode and at least a portion of the second electrode. It may include a second opening to be exposed, the third electrode may contact the first electrode through the first opening, and the fourth electrode may contact the second electrode through the second opening.
  • the display device further includes a fixing layer disposed on the insulating layer and the light emitting devices, wherein the fixing layer is in contact with at least a portion of an outer circumferential surface of each of the light emitting devices, the first end of each of the light emitting devices and The second end may be exposed.
  • the display device includes a first bank disposed between the first electrode and the passivation layer and overlapping the first electrode, and a first bank disposed between the second electrode and the passivation layer and overlapping the second electrode. It may further include 2 banks.
  • a display device in another exemplary embodiment, includes a substrate, a conductive line disposed on the substrate, a first capacitor electrode disposed on the conductive line and connected to the conductive line, and disposed on the conductive line. a second capacitor electrode spaced apart from the first capacitor electrode, a protective layer disposed on the first capacitor electrode and the second capacitor electrode, and a protective layer disposed on the protective layer, wherein at least a portion of the first capacitor electrode and the first capacitor electrode An overlapping first electrode, a second electrode spaced apart from the first electrode, formed on the same layer as the first electrode, and at least partially overlapping with the second capacitor electrode, and the first electrode and the second electrode It includes light emitting devices disposed therebetween.
  • the protective layer may include an insulating material, and the first capacitor electrode and the first electrode may form a first capacitor, and the second capacitor electrode and the second electrode may form a second capacitor.
  • the first capacitor electrode and the second capacitor electrode may be disposed on the same layer.
  • the display device may further include a transistor disposed between the substrate and the light emitting devices and electrically connected to the light emitting devices, wherein the transistor includes a semiconductor pattern disposed on the substrate and a semiconductor pattern disposed on the semiconductor pattern. a gate electrode, and a first transistor electrode and a second transistor electrode disposed on the gate electrode and connected to the semiconductor pattern, wherein the first transistor electrode is connected to the second electrode, and the second transistor electrode is It may be connected to the second capacitor electrode, and the conductive line may be disposed on the same layer as the gate electrode.
  • the conductive line may extend in a first direction in plan view
  • the second capacitor electrode may extend in a second direction crossing the first direction in plan view.
  • the display device further includes a third electrode disposed on the same layer as the second electrode, and a second connection electrode connecting the second electrode and the third electrode and extending in the first direction;
  • the first electrode may be disposed between the second electrode and the third electrode, and the light emitting devices may be further disposed between the first electrode and the third electrode.
  • the display device further includes a third capacitor electrode disposed on the same layer as the second capacitor electrode, and a third connection electrode connecting the second capacitor electrode and the third capacitor electrode and extending in the first direction. wherein at least a portion of the third capacitor electrode overlaps the third electrode, and at least a portion of the third connection electrode overlaps the second connection electrode, the first capacitor electrode, the second capacitor electrode, The third capacitor electrode and the third connection electrode may be formed on the same layer.
  • a method of manufacturing a display device for solving the above problems includes: forming a first power line on a substrate; a first capacitor connected to the first power line on the first power line; Forming an electrode, forming a first electrode at least partially overlapping the first capacitor electrode and a second electrode spaced apart from the first electrode on the first capacitor electrode, and the first power line aligning the light emitting elements between the first electrode and the second electrode by supplying a first voltage to the , supplying a second voltage to the first electrode, and supplying a third voltage to the second electrode
  • the first voltage, the second voltage, and the third voltage are different voltages.
  • the first voltage and the second voltage may be a DC voltage, and the third voltage may be an AC voltage.
  • the first capacitor electrode forms a first capacitor with the first electrode, and the first capacitor applies an alternating voltage component of the voltage supplied to the first electrode to the first power line can be bypassed.
  • the forming of the first capacitor electrode may further include forming a second capacitor electrode spaced apart from the first capacitor electrode, wherein at least a portion of the second capacitor electrode overlaps the second electrode.
  • the second capacitor electrode and the second electrode form a second capacitor, and the second electrode supplies the third voltage from the second capacitor electrode through the second capacitor.
  • the first voltage may be a value between a positive peak voltage and a negative peak voltage of the third voltage, and the second voltage may be a ground voltage.
  • a first capacitor electrode is formed under the first electrode to which a first voltage, which is a ground voltage for aligning light emitting elements, is applied, and is applied to the first electrode. It is possible to remove the AC noise component of the ground voltage. Accordingly, the alignment characteristics of the light emitting devices may be improved.
  • a second capacitor electrode is formed under the second electrode to which a second voltage, which is an alternating voltage for aligning light emitting elements, is applied. It is possible to remove the DC noise component of the AC voltage applied to the Accordingly, the alignment characteristics of the light emitting devices may be improved.
  • a uniform electric field is formed between the alignment wires, so that the light emitting devices can be uniformly aligned for each pixel. . Accordingly, display quality and manufacturing efficiency of the display device may be improved.
  • FIG. 1A and 1B are perspective views of a light emitting device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment.
  • 3A to 3C are circuit diagrams each illustrating a pixel according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 4 is a circuit diagram illustrating a pixel according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 5 is a plan view of a pixel according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 5 .
  • 7 to 11 are cross-sectional views of pixels according to various embodiments of the present disclosure, and are cross-sectional views taken along line A-A' of FIG. 5 .
  • FIG. 12 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 13 to 16 are plan views illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
  • 17 is a circuit diagram illustrating a method of removing noise from voltages supplied to a display device when aligning light emitting devices according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 18 is a waveform diagram of voltages actually supplied to electrodes of a display device according to an exemplary embodiment when a light emitting device is aligned.
  • 19 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 19 .
  • 21 is a cross-sectional view of a pixel according to another exemplary embodiment, and is a cross-sectional view corresponding to line B-B' of FIG. 19 .
  • 22 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment.
  • 23 to 26 are plan views illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 27 is a circuit diagram illustrating a method of removing noise from voltages supplied to a display device according to another exemplary embodiment when aligning light emitting devices.
  • each feature of the various embodiments of the present invention may be partially or wholly combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each of the embodiments may be implemented independently of each other or may be implemented together in a related relationship. may be
  • FIG. 1A and 1B are perspective views of a light emitting device according to an exemplary embodiment.
  • a light emitting device LD includes a first semiconductor layer 11 , a second semiconductor layer 13 , and first and second semiconductor layers 11 . , 13) may include an active layer 12 interposed therebetween.
  • the light emitting device LD may be implemented as a stack in which the first semiconductor layer 11 , the active layer 12 , and the second semiconductor layer 13 are sequentially stacked.
  • the light emitting device LD may be provided in the shape of a rod extending in one direction. If the extending direction of the light emitting device LD is referred to as a longitudinal direction, the light emitting device LD may have one end and the other end along the longitudinal direction.
  • one of the first and second semiconductor layers 11 and 13 may be disposed at one end, and the other one of the first and second semiconductor layers 11 and 13 may be disposed at the other end. .
  • the light emitting device LD may be provided in a rod shape.
  • the term “rod-like” may include a rod-like shape elongated in the longitudinal direction (ie, an aspect ratio greater than 1), or a bar-like shape, such as a cylinder or polygonal pillar. have.
  • the length of the light emitting device LD may be greater than its diameter.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the light emitting device LD may be a light emitting device having a core-shell structure.
  • the light emitting device LD may be manufactured to have, for example, a diameter and/or a length of about a micro scale or a nano scale.
  • the diameter of the light emitting device LD may be 600 nm or less and the length of the light emitting device LD may be 4 ⁇ m or less, but the size of the light emitting device LD is not limited thereto, and the light emitting device LD may be applied.
  • the size of the light emitting element LD may be changed to meet the requirements of a display device.
  • the first semiconductor layer 11 may include, for example, at least one n-type semiconductor layer.
  • the first semiconductor layer 11 may include any one semiconductor material of InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, and InN, and may include a semiconductor layer doped with a first dopant such as Si, Ge, Sn, etc. have.
  • the material constituting the first semiconductor layer 11 is not limited thereto, and in addition to this, the first semiconductor layer 11 may be formed of various materials.
  • the active layer 12 is formed on the first semiconductor layer 11 and may have a single or multiple quantum well structure.
  • the active layer 12 may have a structure in which a plurality of quantum layers and a well layer are alternately stacked.
  • the light emitting device LD When an electric field greater than a predetermined voltage is applied to both ends of the light emitting device LD, the light emitting device LD emits light while electron-hole pairs are combined in the active layer 12 .
  • the light emitting device LD can be used as a light source of various light emitting devices including pixels of a display device.
  • the active layer 12 may emit light having a wavelength of 400 nm to 900 nm.
  • the active layer 12 may include a material such as AlGaN or AlGaInN.
  • the quantum layer may include a material such as AlGaN or AlGaInN
  • the well layer may include a material such as GaN or AlInN.
  • the active layer 12 may include AlGaInN as the quantum layer and AlInN as the well layer, and as described above, the active layer 12 emits blue light having a central wavelength band in the range of 450 nm to 495 nm. can be released
  • the active layer 12 may have a structure in which a type of semiconductor material having a large band gap energy and a semiconductor material having a small band gap energy are alternately stacked with each other, and the wavelength band of the emitted light It may include other group 3 to group 5 semiconductor materials according to the present invention.
  • the light emitted by the active layer 12 is not limited to light in a blue wavelength band, and may be light in a red or green wavelength band in some cases.
  • light emitted from the active layer 12 may be emitted not only from the outer surface in the longitudinal direction of the light emitting device LD, but also from both sides.
  • the directionality of the light emitted from the active layer 12 is not limited to one direction.
  • the second semiconductor layer 13 is provided on the active layer 12 , and may include a semiconductor layer of a different type from that of the first semiconductor layer 11 .
  • the second semiconductor layer 13 may include at least one p-type semiconductor layer.
  • the second semiconductor layer 13 includes at least one semiconductor material of InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, and InN, and is a semiconductor layer doped with a second dopant such as Mg, Zn, Ca, Se, Ba, or the like. may include.
  • the material constituting the second semiconductor layer 13 is not limited thereto, and various other materials may be used to form the second semiconductor layer 13 .
  • the drawing shows that the first semiconductor layer 11 and the second semiconductor layer 13 are configured as one layer, the present invention is not limited thereto.
  • the first semiconductor layer 11 and the second semiconductor layer 13 may include a larger number of layers depending on the material of the active layer 12 .
  • the first semiconductor layer 11 and the second semiconductor layer 13 may further include a clad layer or a TSBR (tensile strain barrier reducing) layer.
  • TSBR tensile strain barrier reducing
  • the light emitting device LD includes other phosphors on the upper and/or lower portions of each layer in addition to the first semiconductor layer 11 , the active layer 12 , and the second semiconductor layer 13 described above. It may further include a layer, an active layer, a semiconductor layer and/or an electrode layer.
  • the light emitting device LD may include one end (eg, the upper surface of the light emitting device LD) side of the second semiconductor layer 13 or one end (eg, the light emitting device) of the first semiconductor layer 11 . At least one electrode layer disposed on the (lower surface of the LD) side may be further included.
  • the light emitting device LD may further include an electrode layer 15 disposed on one end side of the second semiconductor layer 13 .
  • the electrode layer 15 may be an ohmic electrode, but is not limited thereto.
  • the electrode layer 15 may be a Schottky contact electrode.
  • the electrode layer 15 may include a metal or a metal oxide, for example, chromium (Cr), titanium (Ti), aluminum (Al), gold (Au), nickel (Ni), ITO (Indium Tin Oxide), Indium Zinc Oxide (IZO) and Indium Tin-Zinc Oxide (ITZO) and oxides or alloys thereof may be used alone or in combination, but is not limited thereto.
  • the electrode layer 15 may be substantially transparent or translucent. Accordingly, light generated from the light emitting device LD may pass through the electrode layer 15 to be emitted to the outside of the light emitting device LD.
  • the light emitting device LD may further include an insulating film 14 .
  • the insulating film 14 may be omitted, and may be provided to cover only a portion of the first semiconductor layer 11 , the active layer 12 , and the second semiconductor layer 13 . have.
  • the insulating film 14 may be provided on portions other than both ends of the light emitting device LD, so that both ends of the light emitting device LD may be exposed.
  • FIGS. 1A and 1B illustrate a state in which a portion of the insulating film 14 is removed, and all of the side surfaces of the actual light emitting device LD may be surrounded by the insulating film 14 .
  • the insulating film 14 may include a transparent insulating material.
  • the insulating film 14 may include at least one insulating material selected from SiO2, Si3N4, Al2O3, and TiO2, but is not limited thereto, and may include various materials having insulating properties.
  • the insulating film 14 may prevent an electrical short circuit that may occur when the active layer 12 comes into contact with a conductive material other than the first semiconductor layer 11 and the second semiconductor layer 13 .
  • surface defects of the light emitting device LD may be minimized, thereby improving lifespan and efficiency.
  • the insulating film 14 may prevent an undesirable short circuit that may occur between each of the light emitting devices LD.
  • the type, structure, and shape of the light emitting device LD according to the embodiment of the present invention may be variously changed.
  • FIG. 2 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment.
  • the display device 1000 may include a substrate SUB and a plurality of pixels PXL provided on the substrate SUB.
  • the display device 1000 (or the substrate SUB) includes a display area DA in which a plurality of pixels PLX are disposed to display an image, and a non-display area NDA except for the display area DA. may include
  • the display area DA may be an area in which the pixels PXL are provided.
  • the non-display area NDA may be an area in which drivers SDV and DDV for driving the pixels PXL and various wirings connecting the pixels PXL and the drivers are provided.
  • the display area DA may have various shapes.
  • the display area DA may have various shapes, such as a closed polygon including a straight line side, a circle including a curved side, an ellipse, a semicircle including a straight line and a curved side, and a semi-ellipse can be provided as
  • each area may also be provided in various shapes, such as a closed polygon including a straight side, a semicircle including a curved side, or a semi-ellipse.
  • the areas of the plurality of regions may be the same or different from each other.
  • a case in which the display area DA is provided as one area having a quadrangular shape including the side of a straight line will be described as an example.
  • the non-display area NDA may be provided on at least one side of the display area DA. In an exemplary embodiment, the non-display area NDA may surround the display area DA.
  • the pixels PXL may be provided in the display area DA on the substrate SUB.
  • Each of the pixels PXL may include at least one light emitting device (LD of FIG. 1A ) connected to the scan line and the data line and driven by the scan signal and the data signal.
  • LD light emitting device
  • Each of the pixels PXL may emit any one color among red, green, and blue, but is not limited thereto.
  • each of the pixels PXL may emit one color among cyan, magenta, yellow, and white.
  • the pixels PXL include a first pixel emitting light of a first color, a second pixel emitting light of a second color different from the first color, and a third color different from the first color and the second color. It may include a third pixel for emitting light. At least one first pixel, a second pixel, and a third pixel disposed adjacent to each other may constitute one pixel unit capable of emitting light of various colors.
  • the first pixel may be a red pixel emitting red light
  • the second pixel may be a green pixel emitting green light
  • the third pixel may be a blue pixel emitting blue light.
  • each of the pixels PXL includes a light emitting device that emits light of the same color, but includes light conversion layers of different colors disposed on each of the light emitting devices to emit light of different colors can do.
  • each of the pixels PXL may include a light emitting device that emits light of different colors.
  • the color, type, and/or number of each pixel PXL is not particularly limited.
  • a plurality of pixels PXL may be provided and arranged in the first direction DR1 and the second direction DR2 crossing the first direction DR1 .
  • the arrangement form of the pixels PXL is not particularly limited and may be arranged in various forms.
  • the drivers may provide a signal to each pixel PXL through each wiring unit (not shown), and thus may control driving of each pixel PXL.
  • a wiring part is omitted for convenience of description.
  • the driver includes a scan driver SDV that provides a scan signal to the pixels PXL through a scan line, a data driver DDV that provides a data signal to the pixels PXL through a data line, and a timing controller (not shown). ) may be included.
  • the timing controller may control the scan driver SDV and the data driver DDV.
  • the display device 1000 may further include a light emission driver that provides a light emission control signal to the pixels PXL through a light emission control line.
  • the scan driver SDV may be disposed on one side of the substrate SUB and may be disposed along one direction (eg, the second direction DR2 ).
  • the scan driver SDV may be mounted on the substrate SUB as a separate component, but is not limited thereto.
  • the scan driver SDV may be directly formed on the substrate SUB.
  • the scan driver SDV may be positioned outside the substrate SUB and may be connected to each of the pixels PXL through a separate connection member.
  • the scan driver SDV may be disposed on the same side of the substrate SUB, but is not limited thereto, and may be disposed on different sides of the substrate SUB.
  • the data driver DDV may be disposed on one side of the substrate SUB, and may be disposed along a direction crossing the aforementioned scan driver SDV (eg, the first direction DR1 ).
  • the data driver DDV may be mounted on the substrate SUB as a separate component, may be located outside the substrate SUB, and may be connected to each of the pixels PXL through a separate connection member.
  • each of the pixels PXL may be configured as an active pixel.
  • the types, structures, and/or driving methods of the pixels PXL applicable to the present invention are not particularly limited.
  • the display device 1000 may be disposed on the substrate SUB and include alignment lines ACL1 , ACL2 , GNDL1 , and GNDL2 for aligning (or disposing) the light emitting devices LD of each pixel PXL.
  • the alignment lines ACL1 , ACL2 , GNDL1 , and GNDL2 may include AC voltage lines ACL1 and ACL2 and ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 .
  • the AC voltage lines ACL1 and ACL2 and the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 may be alternately disposed with each other.
  • the first AC voltage line ACL1 , the first ground voltage line GNDL1 , the second AC voltage line ACL2 , and the second ground voltage line GNDL2 may be sequentially arranged.
  • the AC voltage lines ACL1 and ACL2 and the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 are a main line extending along the first direction DR1 and a plurality of branches extending along the second direction DR2 from the main line, respectively. may include branch wires of
  • Pixels PXL may be disposed between the plurality of branch lines of the AC voltage lines ACL1 and ACL2 and the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 .
  • an AC voltage and a ground voltage may be applied to the AC voltage lines ACL1 and ACL2 and the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2, respectively.
  • a dipole is induced according to an electric field formed between the AC voltage lines ACL1 and ACL2 and the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2, so that each pixel is generated by an electrophoretic force. (PXL) can be aligned.
  • the alignment lines ACL1 , ACL2 , GNDL1 , and GNDL2 may be connected to each other and extend during the alignment process of the light emitting devices LDs, but at least some of them may be separated after aligning the light emitting devices LDs.
  • the AC voltage lines ACL1 and ACL2 or the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 may be separated from each other by a size (or length) corresponding to each pixel PXL.
  • the alignment process of the light emitting devices LD will be described in detail later with reference to FIGS. 13 to 18 .
  • FIGS. 3A to 3C are circuit diagrams each illustrating a pixel according to an exemplary embodiment.
  • FIGS. 3A to 3C illustrate an example of a pixel constituting an active light emitting display panel.
  • the pixel PXL may include at least one light emitting device LD and a pixel driving circuit DC connected thereto to drive the light emitting device LD.
  • the first electrode (eg, anode electrode) of the light emitting device LD may be connected to the second driving power source VDD via the driving circuit DC, and the second electrode (eg, the cathode electrode) of the light emitting device LD ) may be connected to the first driving power VSS.
  • the light emitting device LD may emit light with a luminance corresponding to the amount of driving current controlled by the driving circuit DC.
  • the actual pixel PXL may include a plurality of light emitting devices LD.
  • the plurality of light emitting devices LD may be connected to each other in parallel and/or in series.
  • the first driving power VSS and the second driving power VDD may have different potentials.
  • the second driving power VDD may have a potential higher than the potential of the first driving power VSS by at least the threshold voltage of the light emitting device LD. That is, the voltage applied through the second driving power VDD may be greater than the voltage applied through the first driving power VSS.
  • the driving circuit DC may include a first transistor M1 , a second transistor M2 , and a storage capacitor Cst.
  • a first electrode of the first transistor M1 may be connected to the second driving power source VDD, and the second electrode may be electrically connected to a first electrode (eg, an anode electrode) of the light emitting device LD. have.
  • the gate electrode of the first transistor M1 may be connected to the first node N1 .
  • the first transistor M1 may control the amount of driving current supplied to the light emitting devices LD in response to the voltage of the first node N1 .
  • a first electrode of the second transistor M2 (switching transistor) may be connected to the data line DL, and a second electrode of the second transistor M2 may be connected to the first node N1 .
  • the first electrode and the second electrode of the second transistor M2 are different from each other.
  • the first electrode is a source electrode
  • the second electrode may be a drain electrode.
  • the gate electrode of the second transistor M2 may be connected to the scan line SL.
  • the second transistor M2 is turned on when a scan signal of a voltage at which the first transistor M1 can be turned on (eg, a gate-on voltage) is supplied from the scan line SL, and the data line DL is turned on. ) and the first node N1 may be electrically connected.
  • the data signal of the corresponding frame may be supplied to the data line DL, and accordingly, the data signal may be transmitted to the first node N1.
  • the data signal transferred to the first node N1 may be stored in the storage capacitor Cst.
  • One electrode of the storage capacitor Cst may be connected to the first driving power VSS, and the other electrode may be connected to the first node N1 .
  • the storage capacitor Cst may be charged with a voltage corresponding to the data signal supplied to the first node N1 , and the charged voltage may be maintained until the data signal of the next frame is supplied.
  • FIG. 3A the second transistor M2 for transferring the data signal to the inside of each pixel PXL, the storage capacitor Cst for storing the data signal, and the driving current corresponding to the data signal are shown in FIG.
  • the driving circuit DC having a relatively simple structure including the first transistor M1 for supplying the light emitting device LD is illustrated.
  • the present invention is not limited thereto, and the structure of the driving circuit DC may be variously changed.
  • the driving circuit DC adjusts the light emission time of the compensation transistor for compensating the threshold voltage of the first transistor M1 , the initialization transistor for initializing the first node N1 , and/or the light emitting device LD.
  • Other circuit elements such as various transistors such as a light emission control transistor for controlling the voltage and a boosting capacitor for boosting the voltage of the first node N1 may be additionally included.
  • transistors included in the driving circuit DC for example, the first and second transistors M1 and M2 are all P-type transistors in FIG. 3A , the present invention is not limited thereto. That is, at least one of the first and second transistors M1 and M2 included in the driving circuit DC may be changed to an N-type transistor.
  • the first and second transistors M1 and M2 of the driving circuit DC may be implemented as N-type transistors.
  • the configuration or operation of the driving circuit DC shown in FIG. 3B may be similar to that of the driving circuit DC of FIG. 3A , except for a change in connection positions of some components due to a change in transistor type. Therefore, a detailed description thereof will be omitted.
  • the pixel PXL may further include a third transistor M3 (a sensing transistor).
  • the gate electrode of the third transistor M3 may be connected to the sensing signal line SSL.
  • One electrode of the third transistor M3 may be connected to the sensing line SENL, and the other electrode of the third transistor M3 may be connected to the anode electrode of the light emitting device LD.
  • the third transistor M3 may transmit a voltage value at the anode electrode of the light emitting device LD to the sensing line SENL according to a sensing signal supplied to the sensing signal line SSL during the sensing period.
  • the voltage value transferred through the sensing line SENL may be provided to an external circuit (eg, a timing controller), which provides characteristic information (eg, the first transistor M1 ) of the pixel PXL based on the provided voltage value. ) threshold voltage, etc.) can be extracted.
  • the extracted characteristic information may be used to convert the image data so that the characteristic deviation of the pixel PXL is compensated.
  • FIG. 4 is a circuit diagram illustrating a pixel according to another exemplary embodiment.
  • a pixel PXL includes a light emitting device LD, first to seventh transistors T1 , T2 , T3 , T4 , T5 , T6 , T7 , and storage.
  • a capacitor Cst may be included.
  • a first electrode (eg, anode electrode) of the light emitting element LD is connected to the first transistor T1 via a sixth transistor T6 , and a second electrode (eg, a cathode electrode) of the light emitting element LD may be connected to the first driving power VSS.
  • the light emitting device LD may emit light with a predetermined luminance corresponding to the amount of driving current supplied from the first transistor T1 .
  • One electrode of the first transistor T1 may be connected to the second driving power source VDD via the fifth transistor T5 , and the other electrode of the first transistor T1 may be connected to the sixth transistor T6 . may be connected to the first electrode of the light emitting device LD via In the first transistor T1 as described above, the amount of current flowing from the second driving power VDD to the first driving power VSS via the light emitting device LD in response to the voltage of the first node N1 serving as the gate electrode. can be controlled.
  • the second transistor T2 (switching transistor) may be connected between the data line DL and one electrode of the first transistor T1 .
  • the gate electrode of the second transistor T2 may be connected to the first scan line SL.
  • the second transistor T2 is turned on when a scan signal of a gate-on voltage is supplied to the first scan line SL to electrically connect the data line DL and one electrode of the first transistor T1. can do it
  • the third transistor T3 may be connected between the other electrode of the first transistor T1 and the first node N1 .
  • the gate electrode of the third transistor T3 may be connected to the first scan line SL.
  • the third transistor T3 is turned on when the scan signal of the gate-on voltage is supplied to the first scan line SL to electrically connect the other electrode of the first transistor T1 and the first node N1. can be connected
  • the fourth transistor T4 may be connected between the first node N1 and the initialization power source Vint.
  • the gate electrode of the fourth transistor T4 may be connected to the second scan line SL-1.
  • the fourth transistor T4 is turned on when the scan signal of the gate-on voltage is supplied to the second scan line SL-1 to supply the voltage of the initialization power Vint to the first node N1. have.
  • the initialization power Vint may be set to a voltage lower than that of the data signal.
  • the scan signal supplied to the second scan line SL-1 may have the same waveform as the scan signal supplied to the first scan line of the previous stage pixel.
  • the fifth transistor T5 may be connected between the second driving power source VDD and one electrode of the first transistor T1 .
  • the gate electrode of the fifth transistor T5 may be connected to the emission control line EL.
  • the fifth transistor T5 may be turned on when the emission control signal of the gate-on voltage is supplied to the emission control line EL, and may be turned off in other cases.
  • the sixth transistor T6 may be connected between the other electrode of the first transistor T1 and the first electrode of the light emitting device LD.
  • the gate electrode of the sixth transistor T6 may be connected to the emission control line EL.
  • the sixth transistor T6 may be turned on when the emission control signal of the gate-on voltage is supplied to the emission control line EL, and may be turned off in other cases.
  • the seventh transistor T7 may be connected between the initialization power source Vint and the first electrode (eg, an anode electrode) of the light emitting device LD.
  • the gate electrode of the seventh transistor T7 may be connected to the third scan line SL+1.
  • the seventh transistor T7 is turned on when the scan signal of the gate-on voltage is supplied to the third scan line SL+1 to apply the voltage of the initialization power Vint to the first electrode of the light emitting device LD. can be supplied with
  • the scan signal supplied to the third scan line SL+1 may have the same waveform as the scan signal supplied to the first scan line of the pixel in the subsequent stage.
  • the gate electrode of the seventh transistor T7 may be connected to the first scan line SL or the second scan line SL-1.
  • the voltage of the initialization power Vint passes through the seventh transistor T7. It may be supplied to the anode electrode of the light emitting device LD.
  • the storage capacitor Cst may be connected between the second driving power VDD and the first node N1 .
  • a data signal and a voltage corresponding to the threshold voltage of the first transistor T1 may be stored in the storage capacitor Cst.
  • transistors included in the driving circuit DC for example, first to seventh transistors T1, T2, T3, T4, T5, T6, and T7 are all P-type transistors.
  • the present invention is not limited thereto.
  • at least one of the first to seventh transistors T1 , T2 , T3 , T4 , T5 , T6 , and T7 may be changed to an N-type transistor.
  • FIG. 5 is a plan view of a pixel according to an exemplary embodiment. 6 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 5 . 7 to 11 are cross-sectional views of pixels according to various embodiments of the present disclosure, and are cross-sectional views taken along line A-A' of FIG. 5 .
  • each of the electrodes is illustrated in a simplified form as a single electrode layer, but the present invention is not limited thereto, and each electrode may be composed of a plurality of electrode layers.
  • “formed and/or disposed on the same layer” may mean formed in the same process and made of the same material.
  • a transistor connected to the light emitting devices and signal lines connected to the transistor are omitted for convenience of description.
  • a display device may include a substrate SUB and a pixel PXL1 provided on the substrate SUB.
  • the substrate SUB may be a rigid substrate or a flexible substrate, and the material or properties thereof are not particularly limited.
  • the substrate SUB may be a rigid substrate made of glass or tempered glass, or a flexible substrate made of a thin film made of plastic or metal.
  • the substrate SUB may be a transparent substrate, but is not limited thereto.
  • the substrate SUB may be a translucent substrate, an opaque substrate, or a reflective substrate.
  • the pixel PXL1 illustrated in FIG. 5 may be any one of the pixels PXL of FIG. 2 .
  • One pixel PXL1 may be a minimum unit emitting light of a predetermined color. As described above, pixels emitting light of different colors may constitute one pixel unit.
  • the pixel PXL1 may mean a pixel or a sub-pixel.
  • the pixel PXL1 may include a pixel circuit layer PCL disposed on the substrate SUB and a display device layer DPL disposed on the pixel circuit layer PCL.
  • the pixel circuit layer PCL may include a plurality of circuit elements constituting the driving circuit (DC of FIG. 3A ) of the pixel PXL.
  • 6 exemplarily illustrates a cross-sectional structure in which the pixel circuit layer PCL includes the transistor TR.
  • the transistor TR may be the first transistor M1 of FIGS. 3A to 3C .
  • the structure of the pixel circuit layer PCL is not limited thereto, and the pixel circuit layer PCL may further include circuit elements positioned in a region different from the transistor TR.
  • Transistors included in the pixel circuit layer PCL may have substantially the same or similar cross-sectional structure.
  • the structure of each transistor is not limited to the structure illustrated in FIG. 6 .
  • the pixel circuit layer PCL may include a plurality of layers.
  • the pixel circuit layer PCL may include a buffer layer BFL, a gate insulating layer GI, an interlayer insulating layer IL, a first passivation layer VIA1, and a second protection layer sequentially stacked on the substrate SUB. layer VIA2.
  • Each of the above-mentioned layers may be insulating layers including an organic insulating material or an inorganic insulating material.
  • the pixel circuit layer PCL may include a transistor TR, a bypass power line BVL, and a first capacitor electrode CE1 .
  • the buffer layer BFL may prevent impurities from diffusing into each circuit element.
  • the buffer layer BFL may be provided as a single layer, or may be provided as a multilayer of at least double layers. When the buffer layer BFL is provided as a multilayer, each layer may be formed of the same material or may be formed of different materials.
  • the buffer layer BFL may be omitted depending on the material and process conditions of the substrate SUB.
  • a transistor TR may be disposed on the buffer layer BFL.
  • the transistor TR may include a semiconductor pattern ACT, a gate electrode GE, a first transistor electrode TET1, and a second transistor electrode TET2.
  • the semiconductor pattern ACT may be disposed between the buffer layer BFL and the gate insulating layer GI.
  • the semiconductor pattern ACT may be disposed between the substrate SUB and the gate insulating layer GI.
  • the semiconductor pattern ACT includes a first region contacting the first transistor electrode TET1 , a second region connected to the second transistor electrode TET2 , and a channel region positioned between the first and second regions. may include One of the first and second regions may be a source region, and the other may be a drain region.
  • the semiconductor pattern ACT may be a semiconductor pattern made of polysilicon, amorphous silicon, oxide semiconductor, or the like.
  • the channel region of the semiconductor pattern ACT is a semiconductor pattern that is not doped with an impurity and may be an intrinsic semiconductor, and the first and second regions of the semiconductor pattern ACT are doped with a predetermined impurity, respectively. ) may be a semiconductor pattern.
  • the gate electrode GE may be disposed between the gate insulating layer GI and the interlayer insulating layer IL, and may overlap at least a portion of the semiconductor pattern ACT.
  • the gate electrode GE may be insulated from the semiconductor pattern ACT by the gate insulating layer GI.
  • the first and second transistor electrodes TET1 and TET2 may be disposed on the interlayer insulating layer IL.
  • the first and second transistor electrodes TET1 and TET2 may be electrically connected to the semiconductor pattern ACT.
  • the first and second transistor electrodes TET1 and TET2 may be connected to the first region and the first region of the semiconductor pattern ACT through contact holes penetrating the gate insulating layer GI and the interlayer insulating layer IL, respectively. 2 areas can be touched.
  • the first transistor electrode TET1 may be connected to the second electrode RFE2 through a contact hole CTA passing through the first passivation layer VIA1 and the second passivation layer VIA2 .
  • a separate connection member may be disposed between the first transistor electrode TET1 and the second electrode RFE2 .
  • the first transistor electrode TET1 may be connected to the connecting member through a contact hole, and the connecting member may be connected to the second electrode RFE2 through another contact hole.
  • a position where the connecting member is disposed may be between the first passivation layer VIA1 and the second passivation layer VIA2 , but is not limited thereto.
  • the second electrode RFE2 may receive a driving current through the first transistor electrode TET1 .
  • the second transistor electrode TET2 may be connected to the second power line PL2 .
  • the second power line PL2 may be a power line connected to the second driving power (VDD of FIG. 2A ). That is, the voltage of the second driving power VDD may be provided to the transistor TR through the second power line PL2 .
  • a passivation layer eg, the second passivation layer VIA2
  • the second power line PL2 may extend along the second direction DR2 in plan view.
  • the second power line PL2 is not limited thereto, and may extend along the first direction DR1 .
  • the pixel circuit layer PCL may include a bypass power line BVL and a first capacitor electrode CE1 spaced apart from the transistor TR.
  • the bypass power line BVL may be a power line formed on the same layer as the gate electrode GE of the transistor TR.
  • the bypass power line BVL may be formed in an area that does not overlap the light emitting area EA in plan view.
  • the light emitting area EA may be an area in which light emitting devices LD are disposed to emit light.
  • the bypass power line BVL may be formed to extend along the first direction DR1 in a plan view in an area that does not overlap the light emitting area EA.
  • bypass power line BVL may not overlap gate electrodes of transistors included in the pixel circuit layer PCL.
  • the bypass power line BVL may not overlap the gate electrode GE of the transistor TR.
  • a first capacitor electrode CE1 may be disposed on the bypass power line BVL.
  • the first capacitor electrode CE1 may overlap the bypass power line BVL.
  • the first capacitor electrode CE1 may be formed to overlap the bypass power line BVL and extend in the first direction DR1 .
  • At least one insulating layer or a protective layer may be disposed between the bypass power line BVL and the first capacitor electrode CE1 .
  • an interlayer insulating layer IL and a first passivation layer VIA1 may be disposed between the bypass power line BNL and the first capacitor electrode CE1 .
  • the first capacitor electrode CE1 may contact the bypass power line BVL through the contact hole CTB. Accordingly, the voltage applied to the bypass power line BVL may be transferred to the first capacitor electrode CE1 .
  • At least a portion of the first capacitor electrode CE1 may overlap the first electrode RFE1 disposed thereon.
  • a region where the first capacitor electrode CE1 and the first electrode RFE1 overlap may be the first capacitor region CA1 .
  • the first capacitor area CA1 may not overlap the light emitting area EA in which the light emitting devices LD are disposed.
  • At least one protective layer or an insulating layer may be disposed between the first capacitor electrode CE1 and the first electrode RFE1 .
  • the second passivation layer VIA2 may be disposed between the first capacitor electrode CE1 and the first electrode RFE1 . That is, in the first capacitor area CA1, the first capacitor electrode CE1 and the first electrode RFE1 together with the second protective layer VIA2 interposed therebetween constitute the first capacitor C1.
  • a predetermined DC voltage may be supplied to the bypass power line BVL and the first electrode RFE1, respectively.
  • the DC voltage supplied to the bypass power line BVL may be transmitted to the first capacitor electrode CE1 .
  • the first capacitor electrode CE1 and the first electrode RFE1 may constitute the first capacitor C1 , and the first capacitor electrode CE1 may be connected to the first capacitor C1 through the first capacitor C1 .
  • a noise component eg, an AC voltage component
  • a noise component (AC voltage component) of the DC voltage supplied to the first electrode RFE1 may be removed. In this regard, it will be described later in detail with reference to FIGS. 13 to 18 .
  • the arrangement of the first capacitor electrode CE1 is not limited to the above description.
  • the pixel PXL1a of FIG. 7 may include the first capacitor electrode CE1a disposed between the interlayer insulating layer IL and the first passivation layer VIA1 .
  • the first capacitor electrode CE1a may be connected to the bypass power line BVL through the contact hole CTB passing through the interlayer insulating layer IL.
  • the first capacitor electrode CE1a and the first electrode RFE1 are connected to the first capacitor together with the first protective layer VIA1 and the second protective layer VIA2 interposed therebetween. (C1a) can be constructed.
  • the pixel PXL1b of FIG. 8 may not include a separate electrode disposed between the bypass power line BVL and the first electrode RFE1 .
  • the bypass power line BVL may function as the first capacitor electrode CE1b in a region overlapping the first electrode RFE1 . That is, in the first capacitor area CA1 , the bypass power line BVL (or the first capacitor electrode CE1b ) and the first electrode RFE1 have an interlayer insulating layer IL interposed therebetween;
  • the first capacitor C1b may be formed together with the first passivation layer VIA1 and the second passivation layer VIA2 .
  • both the first capacitor electrode CE1a described in the embodiment of FIG. 7 and the first capacitor electrode CE1b described in the embodiment of FIG. 8 may be applied to the following embodiments.
  • the pixel circuit layer PCL included in the pixel PXL1 is exemplified as being disposed under the display element layer DPL and overlapping the display element layer DPL when viewed from a cross-sectional view.
  • the invention is not limited thereto.
  • the pixel circuit layer PCL may be disposed under the display device layer DPL but may be provided in a region that does not overlap the display device layer DPL.
  • the display element layer DPL may be disposed on the pixel circuit layer PCL (or the second passivation layer VIA2 ), and may include a plurality of light emitting elements LD.
  • the display device layer DPL includes the first and second banks BNK1 and BNK2, the first and second electrodes RFE1 and RFE2, and a first insulating layer disposed on the pixel circuit layer PCL. It may include an INS1 , a light emitting device LD, a pinned layer INSA, third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 , and a second insulating layer INS2 .
  • the pixel PXL1 may further include a barrier rib disposed at a peripheral portion of the light emitting device LD along a boundary of the pixel.
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may be provided on the pixel circuit layer PCL.
  • a space in which the light emitting device LD is disposed may be provided between the first bank BNK1 and the second bank BNK2 .
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may be spaced apart from each other by more than the length of the light emitting device LD in the first direction DR1 .
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may be disposed on the same layer and may have the same height, but is not limited thereto.
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may extend along a second direction DR2 crossing the first direction DR1 .
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may include an organic insulating film made of an organic material or an inorganic insulating film made of an inorganic material, but the material of the first bank BNK1 and the second bank BNK2 is not thereto. It is not limited.
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may be formed in a single layer, but the present invention is not limited thereto, and may be formed in multiple layers.
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may have a structure in which at least one organic insulating layer and at least one inorganic insulating layer are stacked.
  • Each of the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may have a trapezoidal shape with sides inclined at a predetermined angle, but the shapes of the first bank BNK1 and the second bank BNK2 are not limited thereto. , may have various shapes such as semi-elliptical, circular, and square.
  • the first and second electrodes RFE1 and RFE2 may be disposed on corresponding first and second banks BNK1 and BNK2, respectively.
  • the first electrode RFE1 may be provided on the first bank BNK1
  • the second electrode RFE2 may be provided on the second bank BNK2 , and may be spaced apart from each other.
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may be spaced apart from each other by a predetermined distance in the first direction DR1 .
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may extend along the second direction DR2 .
  • the light emitting devices LD are stably disposed in spaces spaced apart from the first bank BNK1 and the second bank BNK2 . As a result, reliability of the display device and yield in a manufacturing process may be improved.
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may be disposed to have substantially uniform thicknesses along the surfaces of the first bank BNK1 and the second bank BNK2 , and the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may be disposed.
  • the second electrode RFE2 may be provided to correspond to the shapes of the first bank BNK1 and the second bank BNK2 .
  • the first electrode RFE1 may have a shape corresponding to the slope of the first bank BNK1
  • the second electrode RFE2 may have a shape corresponding to the slope of the second bank BNK2 . have.
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may be disposed on the same plane and may have the same height.
  • the light emitting device LD may be more stably connected to the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2, respectively.
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may be formed of a conductive material.
  • the conductive material may include, but is not limited to, metals such as Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Ti, and alloys thereof.
  • first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may be formed of a single layer, but are not limited thereto, and may be formed of a multilayer.
  • first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may further include a capping layer (not shown) made of a transparent conductive material. The capping layer is disposed to cover the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 to prevent damage to the first and second electrodes RFE1 and RFE2 that may occur during a manufacturing process of the display device. .
  • the materials of the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 are not limited to the above-described materials.
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may include a conductive material having a constant reflectance.
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 are made of a conductive material having a constant reflectivity, light emitted from both ends of the light emitting device LD is emitted from the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2. ) and may proceed in the display direction (eg, the third direction DR3 ).
  • the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 may have a shape corresponding to the shape of the first bank BNK1 and the second bank BNK2 , and may have a predetermined angle with respect to the substrate SUB.
  • can have Light emitted from both ends of each of the light emitting devices LD may be reflected by the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 and further proceed in the third direction DR3 . Accordingly, the light output efficiency of the display device may be improved.
  • the first electrode RFE1 may be connected to the first connection line CNL1 through the first connection electrode CNE1 .
  • the first connection line CNL1 may be a line connected to the first power line PL1 .
  • the first power line PL1 is located on a different layer from the first connection line CNL1 and may be connected to the first connection line CNL1 through a separate connection member.
  • the first power line PL1 may be connected to the first driving power (VSS of FIG. 2A ). That is, the voltage of the first driving power VSS may be provided to the first electrode RFE1 through the first power line PL1 (or the first connection line CNL1 ). The voltage of the first driving power VSS may be applied to the first end EP1 of the light emitting device LD through the first electrode RFE1 .
  • the first connection line CNL1 may extend along the second direction DR2 and may be commonly connected to other pixels.
  • the first connection electrode CNE1 may be disposed between the first electrode RFE1 and the first connection line CNL1 in the first direction DR1 . At least a portion of the first connection electrode CNE1 may overlap the first capacitor electrode CE1 disposed under the first connection electrode CNE1 .
  • first electrode RFE1 first connection electrode CNE1 , and first connection wire CNL1 may be integrally formed, and may be simultaneously formed in the same process, but are limited thereto. no.
  • the second electrode RFE2 may be connected to the first transistor electrode TET1 of the transistor TR through the contact hole CTA.
  • the second electrode RFE2 may receive a driving current from the transistor TR and may transmit the driving current to the second end EP2 of the light emitting device LD.
  • the light emitting device LD may emit light having a predetermined luminance in response to a driving current (or a driving voltage) provided from the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • first and second electrodes RFE1 and RFE2 may be an anode electrode, and the other electrode may be a cathode electrode.
  • first electrode RFE1 may be a cathode electrode and the second electrode RFE2 may be an anode electrode, but is not limited thereto.
  • a first insulating layer INS1 may be provided on the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • the first insulating layer INS1 may be entirely provided on the substrate SUB to cover the first and second banks BNK1 and BNK2 and the first and second electrodes RFE1 and RFE2 described above. have.
  • the first insulating layer INS1 may be disposed along the surface of the substrate SUB on which the first and second banks BNK1 and BNK2 and the first and second electrodes RFE1 and RFE2 are not disposed. have.
  • the first insulating layer INS1 may be an inorganic insulating layer made of an inorganic material.
  • the first insulating layer INS1 may be disposed to have a substantially uniform thickness along the surfaces of the substrate SUB and the first and second electrodes RFE1 and RFE2 .
  • the first insulating layer INS1 in the region where the light emitting device LD is disposed may be formed to be substantially flat, thereby providing a space in which the light emitting device LD is stably disposed.
  • at least a part of an empty space may be formed or a step may be generated between the first insulating layer INS1 and the light emitting device LD disposed on the first insulating layer INS1 .
  • the first insulating layer INS1 may include a first opening OP1 and a second opening OP2 .
  • the first opening OP1 and the second opening OP2 may expose at least a portion of the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • the first and second openings OP1 and OP2 may be formed to overlap the corresponding first and second electrodes RFE1 and RFE2, respectively.
  • the first opening OP1 may be formed to overlap the first electrode RFE1
  • the second opening OP2 may be formed to overlap the second electrode RFE2 .
  • the first opening OP1 and the second opening OP2 may have a thickness and/or a depth corresponding to the thickness of the first insulating layer INS1 . That is, the first opening OP1 and the second opening OP2 may completely penetrate the first insulating layer INS1 in the corresponding region. Accordingly, the first and second electrodes RFE1 and RFE2 may be exposed to the outside to contact third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 to be described later.
  • a light emitting device LD may be disposed on the first insulating layer INS1 .
  • the light emitting device LD may be disposed in a space provided by the first bank BNK1 and the second bank BNK2 , and may be electrically connected between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • the first end EP1 of the light emitting element LD is electrically connected to the first electrode RFE1
  • the second end EP2 of the light emitting element LD is electrically connected to the second electrode RFE2 .
  • a fixing layer INSA for stably supporting and fixing the light emitting devices LD may be disposed on the light emitting devices LD.
  • the pinned layer INSA may be an inorganic insulating layer including an inorganic material or an organic insulating layer including an organic material.
  • the pinned layer INSA may be disposed to fill a space between the light emitting device LD and the second passivation layer VIA2 .
  • the pinned layer INSA may cover at least a portion of an outer peripheral surface of each of the light emitting devices LD and may be formed to expose the first end EP1 and the second end EP2 of the light emitting devices LD.
  • the pinned layer INSA may stably support and fix the light emitting devices LD, thereby preventing the light emitting devices LD from being separated from the display device layer DPL.
  • the pinned layer INSA may be omitted depending on process conditions of the display device layer DPL.
  • the pinned layer INSA when the pinned layer INSA includes an organic insulating layer made of an organic material and an empty space is formed between the light emitting device LD and the first insulating layer INS1, as shown in FIG. 9 , The pinned layer INSA′ fills a space between the light emitting device LD and the first insulating layer INS1 and may support the light emitting device LD.
  • the fixing layer INSA when the fixing layer INSA includes an inorganic insulating film made of an inorganic material, as shown in FIG. 10 , the fixing layer INSA " may cover at least a portion of the outer peripheral surface of the light emitting device LD, and emit light. At least a portion of the air layer AIR may be formed between the device LD and the insulating layer INSL.
  • a third electrode CTE1 (or a first contact electrode) and a fourth electrode CTE2 (or a second contact electrode) are formed on the first insulating layer INS1 , the light emitting device LD, and the fixing layer INSA may be provided. Also, an insulating pattern INSP may be provided between the third electrode CTE1 and the fourth electrode CTE2 .
  • the third electrode CTE1 and the fourth electrode CTE2 may contact one end of both ends of each light emitting device LD.
  • the third electrode CTE1 may contact the first end EP1 of each light emitting element LD
  • the fourth electrode CTE2 may contact the second end EP2 of each light emitting element LD. can be contacted with
  • the third electrode CTE1 may cover the first electrode RFE1 and overlap the first electrode RFE1 when viewed in a plan view.
  • the third electrode CTE1 may be electrically connected to the first electrode RFE1 through the first opening OP1 of the first insulating layer INS1 . That is, the third electrode CTE1 may contact the first end EP1 and the first electrode RFE1 of the light emitting device LD.
  • the fourth electrode CTE2 may cover the second electrode RFE2 and overlap the second electrode RFE2 when viewed in a plan view.
  • the fourth electrode CTE2 may be electrically connected to the second electrode RFE2 through the second opening OP2 of the first insulating layer INS1 . That is, the fourth electrode CTE2 may contact the second end EP2 and the second electrode RFE2 of the light emitting device LD.
  • Each of the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 may be formed of a transparent conductive material.
  • the transparent conductive material may include Indium Tin Oxide (ITO), Indium Zinc Oxide (IZO), Indium Tin-Zinc Oxide (ITZO), and the like.
  • ITO Indium Tin Oxide
  • IZO Indium Zinc Oxide
  • ITZO Indium Tin-Zinc Oxide
  • the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 are formed of a transparent conductive material, light loss may be reduced when light emitted from the light emitting device LD travels in the third direction DR3 .
  • Materials of the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 are not limited to the above-described materials.
  • An insulating pattern INSP may be disposed between the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 .
  • the insulating pattern INSP may include an inorganic insulating layer made of an inorganic material.
  • the insulating pattern INSP may be disposed to cover one of the third electrode CTE1 and the fourth electrode CTE2 , and the other electrode may be disposed on the insulating pattern INSP.
  • the insulating pattern INSP may be disposed on the fourth electrode CTE2 to cover the fourth electrode CTE2
  • the third electrode CTE1 may be disposed on the insulating pattern INSP. That is, the third electrode CTE1 and the fourth electrode CTE2 may be electrically separated by the insulating pattern INSP.
  • the arrangement of the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 is not limited thereto, and the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 may be disposed on the same layer.
  • the insulating pattern INSP may not be disposed between the third electrode CTE1 ′ and the fourth electrode CTE2 ′.
  • the third electrode CTE1 ′ and the fourth electrode CTE2 ′ may be formed on the same layer.
  • a second insulating layer INS2 may be disposed on the third and fourth electrodes CTE1 and CTE2 .
  • the second insulating layer INS2 may be formed at the outermost portion of the display device layer DPL to cover other components of the display device layer DPL.
  • the second insulating layer INS2 prevents the first to fourth electrodes RFE1 , RFE2 , CTE1 , and CTE2 and the light emitting element LD from being damaged during the manufacturing process of the display device, and prevents the display element layer DPL from being damaged. It may also serve as an encapsulation layer that prevents oxygen and/or moisture from penetrating therein.
  • the second insulating layer INS2 may be formed of an inorganic insulating layer including an inorganic material.
  • the second insulating layer INS2 may be formed as a single layer, but is not limited thereto and may include a multilayer structure.
  • the second insulating layer INS2 may further include an organic insulating layer including an organic material, and may include a multilayer structure in which an organic insulating layer and an inorganic insulating layer are alternately disposed.
  • a planarization layer (not shown) may be further provided on the second insulating layer INS2 .
  • the planarization layer may alleviate a step difference caused by various components disposed thereunder.
  • the planarization layer may include an organic insulating layer, but is not limited thereto, and may further include an inorganic insulating layer.
  • the pixel PXL1 may further include barrier ribs disposed around the light emitting device LD.
  • the barrier rib may be disposed to surround the pixel PXL1 .
  • the barrier rib may be a pixel defining layer defining the emission area EA of the pixel PXL1 .
  • the barrier rib is configured to include at least one light blocking material and/or a reflective material, so that light leakage defects between adjacent pixels may be prevented from occurring.
  • the barrier rib may prevent a solution including the light emitting device LD from leaking to adjacent pixels in the process of aligning the light emitting devices LD.
  • the barrier rib may be omitted depending on process conditions of the display device.
  • FIG. 12 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment. Compared with the above-described embodiment, the embodiment of FIG. 12 is different in that it further includes a fifth electrode RFE3 connected to the second electrode RFE2, and other configurations are substantially the same or similar. mainly explained.
  • the pixel PXL1c may include a third bank BNK3 , a fifth electrode RFE3 , and a sixth electrode CTE3 .
  • the third bank BNK3 may be positioned between the first electrode RFE1 and the first connection line CNL1 .
  • the third bank BNK3 may be disposed on the same layer as the first bank BNK1 and the second bank BNK2 , and may be formed at the same time.
  • the third bank BNK3 may be formed to have the same shape and height as the first bank BNK1 and the second bank BNK2 .
  • the third bank BNK3 may be formed to be spaced apart from the first bank BNK1 in the first direction DR1 by at least the length of the light emitting device LD, and may extend along the second direction DR2 .
  • the fifth electrode RFE3 may be formed to overlap the third bank BNK3 .
  • the fifth electrode RFE3 may be positioned between the first electrode RFE1 and the first connection line CNL1 .
  • the fifth electrode RFE3 may be formed to be spaced apart from the first electrode RFE1 in the first direction DR1 , and may extend along the second direction DR2 .
  • the fifth electrode RFE3 may be connected to the second electrode RFE2 through the second connection electrode CNE2 .
  • the second connection electrode CNE2 may extend between the first electrode RFE1 and the fifth electrode RFE3 in the first direction DR1 .
  • the second electrode RFE2 , the fifth electrode RFE3 , and the second connection electrode CNE2 are simultaneously formed and may be integrally formed, but are not limited thereto.
  • at least one of the second electrode RFE2 , the fifth electrode RFE3 , and the second connection electrode CNE2 includes the first electrode RFE1 , the first connection line CNL1 , and the first connection electrode CNE1 .
  • the first electrode RFE1, the second electrode RFE2, the fifth electrode RFE3, the first connection electrode CNE1, the second connection electrode CNE2, and the first connection line CNL1 may be formed simultaneously in the same process.
  • Light emitting devices LD may be disposed between the first electrode RFE1 and the fifth electrode RFE3 .
  • the first end EP1 of the light emitting devices LD may be electrically connected to the first electrode RFE1
  • the second end EP2 may be electrically connected to the fifth electrode RFE3 .
  • a sixth electrode CTE3 may be disposed on the fifth electrode RFE3 .
  • the sixth electrode CTE3 may cover the fifth electrode RFE3 in a plan view and overlap the fifth electrode RFE3 .
  • the sixth electrode CTE3 may contact the second end EP2 and the fifth electrode RFE3 of the light emitting device LD.
  • the sixth electrode CTE3 may be formed on the same layer as at least one of the third electrode CTE1 and the fourth electrode CTE2 . Also, the sixth electrode CTE3 may be formed of the same material as the third electrode CTE1 and the fourth electrode CTE2 .
  • Elements LDs may be disposed. That is, since a larger number of light emitting devices LD may be disposed in one pixel PXL1c, the display luminance of the display device including the pixel PXL1c according to the present exemplary embodiment may be improved.
  • the structure in which only the fifth electrode RFE3 is further disposed is exemplarily described in this embodiment, the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 in addition to the fifth electrode RFE3 according to the embodiment.
  • Other electrodes connected thereto may be further formed to further provide a space in which the light emitting devices LD may be disposed.
  • FIGS. 13 to 16 are plan views illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
  • 17 is a circuit diagram illustrating a method of removing noise from voltages supplied to a display device when aligning light emitting devices according to an exemplary embodiment.
  • 18 is a waveform diagram of voltages actually supplied to electrodes of a display device according to an exemplary embodiment when a light emitting device is aligned.
  • FIGS. 13 to 18 are views for explaining a method of aligning light emitting devices in the structures illustrated in FIGS. 5 and 6 .
  • a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be schematically described with reference to the exemplary embodiment described with reference to FIGS. 5 and 6 and FIGS. 13 to 18 .
  • the bypass power line BVL may be formed on the substrate SUB.
  • the bypass power line BVL may be formed in an area that does not overlap the light emitting area EA in which the light emitting devices LD will be disposed later. Also, the bypass power line BVL is formed to extend along the first direction DR1 and may also extend to be connected to other pixels.
  • the first capacitor electrode CE1 may be formed on the substrate SUB on which the bypass power line BVL is formed.
  • the first capacitor electrode CE1 may be formed above the bypass power line BVL (eg, in the third direction DR3 ). At least a portion of the first capacitor electrode CE1 may overlap the bypass power line BVL. The first capacitor electrode CE1 may also be disposed not to overlap the emission area EA.
  • the first capacitor electrode CE1 may be electrically connected to the bypass power line BVL through the contact hole CTB. Accordingly, the bypass power line BVL may transfer the transferred voltage to the first capacitor electrode CE1 through the contact hole CTB.
  • a first bank BNK1 and a second bank BNK2 are formed on the substrate SUB on which the first capacitor electrode CE1 is formed, and a first connection line CNL1 is formed.
  • a first electrode RFE1 connected to the first connection line CNL1 , and a base electrode RFE2 ′ spaced apart from the first electrode RFE1 may be formed.
  • the first bank BNK1 and the second bank BNK2 may be formed in the light emitting area EA, and are spaced apart from each other by a predetermined distance along the first direction DR1 to form a space in which the light emitting devices LD will be disposed later. can be provided
  • the first connection line CNL1 may extend in a direction crossing the bias power line BVL.
  • the first connection line CNL1 may extend in the second direction DR2 .
  • the first electrode RFE1 may be formed to overlap the first bank BNK1 . Also, the first electrode RFE1 may be connected to the first connection line CNL1 through the first connection electrode CNE1 . In this case, the first connection electrode CNE1 may be formed at a position overlapping the first capacitor electrode CE1 . Accordingly, in the first capacitor area CA1 , the first capacitor electrode CE1 and the first connection electrode CNE1 (or the first electrode RFE1 ) may constitute a capacitor.
  • the base electrode RFE2 ′ may be formed to overlap the second bank BNK2 .
  • the base electrode RFE2 ′ may be formed to be spaced apart from the first electrode RFE1 in a direction opposite to the first direction DR1 , and may be formed to extend along the second direction DR2 .
  • the base electrode RFE2 ′ may extend to be connected to other pixels along the second direction DR2 .
  • the base electrode RFE2 ′ may be a base conductive layer before the second electrode RFE2 is formed.
  • the base electrode RFE2 ′ may be separated after an alignment process of the light emitting devices LD to form a second electrode RFE2 .
  • the light emitting devices LD may be aligned between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • An electric field is formed between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 , so that the light emitting devices LDs may be aligned between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • the first electrode RFE1 may be connected to the first connection line CNL1 to receive the first voltage VA1 .
  • the first voltage VA1 may be a ground voltage provided through the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 described with reference to FIG. 2 .
  • the second electrode RFE2 (or the base electrode RFE2 ′) may receive the second voltage VA2 .
  • the second voltage VA2 may be an AC voltage provided through the AC voltage lines ACL1 and ACL2 described with reference to FIG. 2 . That is, as the ground voltage is applied to the first electrode RFE1 and the AC voltage is applied to the second electrode RFE2 , an electric field may be formed between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 . have.
  • the light emitting devices LD may be prepared in a dispersed form in a predetermined solution and supplied to the light emitting area EA of the pixel PXL using an inkjet method or the like.
  • the light emitting devices LD may be mixed with a volatile solvent and dropped onto the light emitting area EA.
  • the light emitting devices LD dropped on the light emitting area EA may be self-aligned by an electric field formed between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 to have a certain directionality.
  • the first end EP1 of the light emitting devices LD may be disposed adjacent to the first electrode RFE1
  • the second end EP2 may be disposed adjacent to the second electrode RFE2 of the light emitting device LD.
  • These light emitting devices LD may be arranged in the second direction DR2 .
  • the alignment line (eg, the ground voltage lines GNDL1 and GNDL2 of FIG. 2 ) connected to the first electrode RFE1 and the alignment line connected to the second electrode RFE2 (eg, the AC voltage lines ACL1 and ACL2 ) )) may overlap each other in at least some areas.
  • the branch line of the first AC voltage line ACL1 extends toward the display area DA and overlaps with the main line of the second ground voltage line GNDL1 in at least some areas.
  • An overlapping region of the ground voltage line and the AC voltage line forms a capacitor, and voltage coupling may occur.
  • a first voltage VA1 that is a DC voltage (or a ground voltage) is applied to the first electrode RFE1
  • a second voltage VA1 that is an AC voltage is applied to the second electrode RFE2 .
  • the voltage VA2 may be applied
  • a noise component may be included in the DC voltage (or ground voltage) provided to the first electrode RFE1 due to the above-described coupling phenomenon between the wires.
  • a first capacitor C1 is formed using a first electrode RFE1 and a first capacitor electrode CE1 , and a first voltage ( By applying a third voltage VA3 different from VA1 , the noise component voltage VN (or AC voltage component) among the voltages supplied to the first electrode RFE1 is transferred to the first capacitor C1 through the first capacitor C1 . It can be bypassed to the electrode CE1 side. Accordingly, the noise component voltage VN of the voltage provided to the first electrode RFE1 may be removed, and a uniform DC voltage (or ground voltage) may be provided as shown in the first waveform 1 of FIG. 18 . can
  • the third voltage VA3 supplied to the bypass power line BVL may be a DC voltage like the first voltage VA1 supplied to the first electrode RFE1 .
  • the voltage level of the third voltage VA3 and the voltage level of the first voltage VA1 may be different from each other.
  • the third voltage VA3 may be a value between the positive peak voltage and the negative peak voltage of the second voltage VA2 .
  • the third voltage VA3 may be 3V or -3V.
  • these voltage values are only examples of the present embodiment, and the voltage values of the first to third voltages VA1 , VA2 , and VA3 are not limited thereto.
  • the noise (eg, the first voltage VA1 ) supplied to the second electrode of the light emitting device LD by the first capacitor C1 .
  • the noise component voltage VN may be removed or minimized. That is, in the alignment process of the light emitting element LD, a constant DC voltage (or ground voltage) is applied to the first electrode RFE1 as shown in the first waveform 1 of FIG. 18 , and the noise component voltage VN is the first It may be bypassed toward the capacitor electrode CE1 (or the bypass power line BVL) (refer to the third waveform 3 of FIG. 18 ).
  • the light emitting devices LD may be easily aligned between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 . That is, the alignment characteristics of the light emitting devices LD may be improved. In addition, as the light emitting devices LDs are uniformly aligned in each pixel, display quality and manufacturing efficiency of the display device may be improved.
  • 19 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment.
  • 20 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 19 .
  • 21 is a cross-sectional view of a pixel according to another exemplary embodiment, and is a cross-sectional view corresponding to line B-B' of FIG. 19 .
  • 22 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment.
  • FIGS. 19 to 22 is different from the embodiment of FIGS. 5 and 6 in that a second capacitor electrode is further formed, and other configurations are substantially the same or similar.
  • a display device may include a substrate SUB and a pixel PXL2 provided on the substrate SUB.
  • the pixel PXL2 may include a pixel circuit layer PCL disposed on the substrate SUB and a display device layer DPL disposed on the pixel circuit layer PCL.
  • the display element layer DPL of the present exemplary embodiment may be substantially the same as or similar to the display element layer DPL described with reference to FIGS. 5 and 6 . Also, all of the embodiments described with reference to FIGS. 9 to 11 may be applied to the display element layer DPL of the present embodiment.
  • the pixel circuit layer PCL may further include a second capacitor electrode CE2 disposed to overlap the second electrode RFE2 .
  • the second capacitor electrode CE2 may extend along the second direction DR2 in plan view. That is, the second capacitor electrode CE2 may be substantially parallel to the first connection line CNL1 .
  • the second capacitor electrode CE2 may be connected to the second power line PL2 or function as the second power line PL2 . That is, the second capacitor electrode CE2 may be connected to the second driving power source (VDD of FIG. 2A ) to provide the voltage of the second driving power source VDD to the transistor TR.
  • VDD second driving power source
  • At least a portion of the second capacitor electrode CE2 may overlap the second electrode RFE2 disposed thereon.
  • a region where the second capacitor electrode CE2 and the second electrode RFE2 overlap may be the second capacitor region CA2 .
  • At least a portion of the second capacitor area CA2 may overlap the light emitting area EA in which the light emitting devices LD are disposed, but is not limited thereto.
  • At least one protective layer or an insulating layer may be disposed between the second capacitor electrode CE2 and the second electrode RFE2 .
  • the second capacitor electrode CE2 may be formed on the same layer as the first capacitor electrode CE1 , and the second protective layer VIA2 is disposed between the second capacitor electrode CE2 and the second electrode RFE2 . ) can be placed. That is, in the second capacitor area CA2, the second capacitor electrode CE2 and the second electrode RFE2 together with the second protective layer VIA2 interposed therebetween constitute the second capacitor C2.
  • a predetermined AC voltage may be supplied to the second electrode RFE2 .
  • the second electrode RFE2 may not be directly connected to the AC voltage line, but may receive the AC voltage indirectly through the second capacitor electrode CE2 .
  • the second electrode RFE2 and the second capacitor electrode CE2 may constitute the second capacitor C2 , and the second electrode RFE2 may be a second capacitor through the second capacitor C2 .
  • the AC voltage provided to the electrode CE2 may be received.
  • the second capacitor C2 may transmit only the AC voltage component voltage to the second electrode RFE2 and not the noise component (eg, DC voltage component). Accordingly, a noise component (DC voltage component) of the AC voltage supplied to the second electrode RFE2 may be removed. In this regard, it will be described later in detail with reference to FIGS. 23 to 27 .
  • the arrangement of the second capacitor electrode CE2 is not limited to the above description.
  • the pixel PXL2a of FIG. 21 may include the second capacitor electrode CE2a disposed between the interlayer insulating layer IL and the first passivation layer VIA1 .
  • the second capacitor electrode CE2a may be formed on the same layer as the second transistor electrode TET2 .
  • the second capacitor electrode CE2a and the second transistor electrode TET2 may be integrally formed, but the present invention is not limited thereto.
  • the second capacitor electrode CE2a and the second electrode RFE2 are a second capacitor together with the first passivation layer VIA1 and the second passivation layer VIA2 interposed therebetween. (C2a) can be constructed.
  • FIG. 22 is a plan view of a pixel according to another exemplary embodiment. Compared to the above-described embodiment, the embodiment of FIG. 22 further includes a fifth electrode RFE3 connected to the second electrode RFE2 and a third capacitor electrode CE3 connected to the second capacitor electrode CE2. There is a difference. Other components are substantially the same or similar, and will be mainly described below with differences.
  • the pixel PXL2b includes a third bank BNK3, a fifth electrode RFE3, a sixth electrode CTE3, and a third capacitor electrode CE3. may include.
  • the pixel PXL2b includes a second connection electrode CNE2 connecting the second electrode RFE2 and the fifth electrode RFE3 and a second connection electrode CE2 connecting the second capacitor electrode CE2 and the third capacitor electrode CE3 .
  • Three connection electrodes CNE3 may be included.
  • the third bank BNK3, the fifth electrode RFE3, the sixth electrode CTE3, and the second connection electrode CNE2 of the embodiment of FIG. 22 are the third bank BNK3 and the fifth electrode of the embodiment of FIG. Since the RFE3, the sixth electrode CTE3, and the second connection electrode CNE2 are substantially the same, a detailed description thereof will be omitted.
  • the third capacitor electrode CE3 may be formed to overlap the third bank BNK3 and the fifth electrode RFE3 . That is, the third capacitor electrode CE3 may be positioned between the first electrode RFE1 and the first connection line CNL1 .
  • the third capacitor electrode CE3 may be formed to be spaced apart from the first electrode RFE1 in the first direction DR1 , and may extend along the second direction DR2 .
  • the third capacitor electrode CE3 may be connected to the second electrode RFE2 through the third connection electrode CNE3 .
  • the second connection electrode CNE2 may extend between the first electrode RFE1 and the fifth electrode RFE3 in the first direction DR1 .
  • the third capacitor electrode CE3 may be formed simultaneously with the second capacitor electrode CE2 in the same process.
  • the third capacitor electrode CE3 may be positioned on the same layer as the second capacitor electrode CE2 .
  • the second capacitor electrode CE2 , the third capacitor electrode CE3 , and the third connection electrode CNE3 may be integrally formed, but is not limited thereto. Also, at least one of the second capacitor electrode CE2 , the third capacitor electrode CE3 , and the third connection electrode CNE3 may be formed simultaneously with the first capacitor electrode CE1 , but is not limited thereto. In an embodiment, all of the first capacitor electrode CE1 , the second capacitor electrode CE2 , the third capacitor electrode CE3 , and the third connection electrode CNE3 may be simultaneously formed in the same process.
  • the third capacitor electrode CE3 and the third connection electrode CNE3 may be disposed to overlap the fifth electrode RFE3 and the second connection electrode CNE2 disposed thereon.
  • the second capacitor electrode CE2, the third capacitor electrode CE3, and the third connection electrode CNE3 electrically connected to each other may constitute one capacitor electrode, and the second electrode RFE2, the fifth electrode ( RFE3) and the second connection electrode CNE2 and a second capacitor may be formed.
  • the second capacitor area CA2b may be a planar area including all of the second capacitor electrode CE2 , the third capacitor electrode CE3 , and the third connection electrode CNE3 .
  • the fifth electrode RFE3 may receive the same alignment voltage as the second electrode RFE2 from the third capacitor electrode CE3 .
  • the alignment voltage provided to the fifth electrode RFE3 may be an AC voltage.
  • the third capacitor electrode CE3 may transmit only the AC voltage component voltage to the fifth electrode RFE3 and not the noise component (eg, a DC voltage component). Accordingly, a noise component (a DC voltage component) of the AC voltage supplied to the fifth electrode RFE3 may be removed.
  • the fifth electrode RFE3 is an alternating current from which noise is removed. voltage can be provided. Accordingly, a uniform electric field is generated between the first electrode RFE1 and the fifth electrode RFE3 , so that the light emitting devices LDs may be uniformly aligned, and manufacturing efficiency of the display device may be improved.
  • capacitor electrodes may be formed under the further formed other electrodes, and when the light emitting device is aligned, An AC voltage from which noise has been removed may be provided to the upper electrodes.
  • FIGS. 23 to 26 are plan views illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
  • 27 is a circuit diagram illustrating a method of removing noise from voltages supplied to a display device according to another exemplary embodiment when aligning light emitting devices.
  • FIGS. 23 to 27 are views for explaining a method of aligning light emitting devices in the structures illustrated in FIGS. 19 and 20 .
  • the method of manufacturing the display device described with reference to FIGS. 23 to 27 is different from the method of manufacturing the display device described with reference to FIGS. 13 to 18 in that a noise component is further removed through the second capacitor electrode.
  • the methods are substantially the same or similar. For convenience of description, overlapping content will be omitted.
  • a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention will be schematically described with reference to the exemplary embodiment described with reference to FIGS. 19 and 20 and FIGS. 23 to 27 .
  • the bypass power line BVL is formed on the substrate SUB, and the first capacitor electrode (BVL) is formed on the substrate SUB on which the bypass power line BVL is formed.
  • CE1 and the second capacitor electrode CE2 may be formed.
  • the second capacitor electrode CE2 may be formed simultaneously with the first capacitor electrode CE1 , but may also be formed at different times. For example, after the first capacitor electrode CE1 is formed, the second capacitor electrode CE2 may be formed.
  • the second capacitor electrode CE2 may extend in the second direction DR2 . At least a portion of the second capacitor electrode CE2 may overlap the emission area EA. Also, at least a portion of the second capacitor electrode CE2 may overlap the bypass power line BVL, but is not limited thereto.
  • a first bank BNK1 and a second bank BNK2 are formed on the substrate SUB on which the first capacitor electrode CE1 and the second capacitor electrode CE2 are formed, , a first connection line CNL1 , a first electrode RFE1 connected to the first connection line CNL1 , and a second electrode RFE2 spaced apart from the first electrode RFE1 may be formed.
  • the second electrode RFE2 may overlap the second capacitor electrode CE2 . As described above, the second electrode RFE2 may extend to overlap the second capacitor electrode CE2 in the second direction DR2 .
  • the second electrode RFE2 and the second capacitor electrode CE2 may be insulated from each other by a second passivation layer VIA2 disposed therebetween, and the second electrode RFE2 and the second capacitor electrode CE2 may be The second capacitor C2 may be formed together with the second passivation layer VIA2 .
  • the light emitting devices LD may be arranged between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 .
  • a DC voltage may be supplied to the first electrode RFE1 , and an AC voltage may be supplied to the second electrode RFE2 .
  • different alignment lines may overlap each other in at least some regions, and such a ground voltage In the overlapping region of the wiring and the AC voltage wiring, they may be coupled and affect each other.
  • the second voltage VA2 which is an alternating voltage
  • the second electrode RFE2 may be applied to the second electrode RFE2
  • the second electrode may include a noise component of the DC voltage
  • the second capacitor C2 is configured using the second electrode RFE2 and the fourth second capacitor electrode CE2 , and an alternating current is indirectly passed through the second capacitor C2 . voltage may be provided.
  • the noise component voltage of the DC voltage among the voltages provided to the second capacitor electrode CE2 is not transmitted through the second capacitor C2 , only the AC voltage from which the noise component of the DC voltage is removed is applied to the second electrode RFE2 . can be transmitted.
  • a noise component (DC voltage) of the AC voltage transmitted to the second electrode RFE2 is removed, so that a more uniform electric field may be formed between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 . Accordingly, the light emitting devices LD may be easily aligned between the first electrode RFE1 and the second electrode RFE2 . That is, the alignment characteristics of the light emitting devices LD may be improved. In addition, as the light emitting devices LDs are uniformly aligned in each pixel, display quality and manufacturing efficiency of the display device may be improved.

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Abstract

표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 일 실시예에 따른 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 배치되는 도전 라인, 상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 도전 라인과 연결되는 제1 커패시터 전극, 상기 제1 커패시터 전극 상에 배치되는 보호층, 상기 보호층 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극, 상기 제1 전극과 이격되고, 상기 제1 전극과 동일 층에 형성되는 제2 전극, 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 발광 소자들을 포함한다.

Description

표시 장치 및 이의 제조 방법
본 발명은 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 발광 다이오드(Light Emitting Diode)와 같은 발광 소자를 화소의 광원으로 이용하여 영상을 표시할 수 있다. 발광 다이오드는 열악한 환경 조건에서도 비교적 양호한 내구성을 나타내며, 수명 및 휘도 측면에서도 우수한 성능을 나타낸다.
신뢰성이 높은 무기 결정 구조의 재료를 이용하여 발광 다이오드를 제조하고, 이를 표시 장치의 표시 패널에 배치하여 화소 광원으로 이용하기 위한 연구가 진행되고 있다. 이러한 연구의 일환으로서, 마이크로 스케일 또는 나노 스케일 정도의 발광 다이오드를 제조하고, 이를 각 화소의 광원으로 이용하는 표시 장치에 대한 개발이 진행되고 있다.
이러한 발광 다이오드를 발광 소자로 이용하는 표시 장치는 복수의 정렬 배선들을 포함할 수 있으며, 정렬 배선들에 소정의 전압을 인가하여 정렬 배선들 사이에 발광 소자를 정렬시킬 수 있다. 정렬 배선들에 인가되는 전압에 노이즈 성분이 포함될 경우, 발광 소자가 정렬 배선들 사이에 정렬되지 않거나, 불균일하게 정렬되는 문제가 발생할 수 있다.
이에, 본 발명이 해결하려는 과제는 정렬 배선들 사이에 발광 소자들을 용이하게 정렬하면서 제조 효율을 높일 수 있도록 한 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 배치되는 도전 라인, 상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 도전 라인과 연결되는 제1 커패시터 전극, 상기 제1 커패시터 전극 상에 배치되는 보호층, 상기 보호층 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극, 상기 제1 전극과 이격되고, 상기 제1 전극과 동일 층에 형성되는 제2 전극, 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 발광 소자들을 포함한다.
상기 보호층은 절연 물질을 포함하고, 상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제1 전극은 제1 커패시터를 형성할 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 기판 및 상기 발광 소자들 사이에 배치되고, 상기 발광 소자들과 전기적으로 연결된 트랜지스터를 더 포함하되, 상기 트랜지스터는, 상기 기판 상에 배치되는 반도체 패턴, 상기 반도체 패턴 상에 배치되는 게이트 전극, 및 상기 게이트 전극 상에 배치되어 상기 반도체 패턴에 결되는 제1 트랜지스터 전극 및 제2 트랜지스터 전극을 포함하고, 상기 도전 라인은 상기 게이트 전극과 동일층에 배치될 수 있다.
상기 제1 전극은 제1 전원 라인과 연결되고, 상기 제1 전극은 상기 제1 전원 라인을 통해 제1 구동 전압을 제공받을 수 있다.
상기 제1 트랜지스터 전극은 상기 제2 전극과 연결되고, 상기 제2 트랜지스터 전극은 제2 전원 라인과 연결되며 상기 제2 전원 라인을 통해 상기 제1 구동 전압보다 큰 제2 구동 전압을 제공받을 수 있다.
상기 제1 커패시터 전극은 상기 제2 전원 라인과 동일 층에 배치될 수 있다.
상기 제2 전원 라인의 적어도 일부는 상기 제2 전극과 중첩하고, 상기 제2 전원 라인 및 상기 제2 전극 사이에 상기 보호층이 배치되며, 상기 제2 전원 라인 및 상기 제2 전극은 제2 커패시터를 형성할 수 있다.
상기 제1 커패시터 전극은 상기 제1 트랜지스터 전극과 동일 층에 배치될 수 있다.
상기 도전 라인은 평면상 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 제1 전원 라인은 평면상 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제1 전극 및 상기 제1 전원 라인을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제1 연결 전극을 더 포함하되, 상기 제1 전극은 상기 제2 방향을 따라 연장되고, 상기 제1 연결 전극의 적어도 일부는 상기 제1 커패시터 전극과 중첩하며, 상기 제1 전극, 상기 제1 연결 전극, 및 상기 제1 전원 라인은 일체로 형성될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제2 전극과 동일 층에 배치되는 제3 전극을 더 포함하되, 평면상 상기 제1 전극은 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 배치되고, 상기 발광 소자들은 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이에 더 배치될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제2 연결 전극을 더 포함하되, 상기 제2 전극, 상기 제3 전극, 및 상기 제2 연결 전극은 일체로 형성될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제1 전극 및 상기 발광 소자들의 제1 단부와 접촉하는 제3 전극, 및 상기 제2 전극 및 상기 발광 소자들의 제2 단부와 접촉하는 제4 전극을 더 포함할 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 상에 배치되는 절연층을 더 포함하되, 상기 절연층은 상기 제1 전극의 적어도 일부를 노출하는 제1 개구부 및 상기 제2 전극의 적어도 일부를 노출하는 제2 개구부를 포함하고, 상기 제3 전극은 상기 제1 개구부를 통해 상기 제1 전극과 접촉하며, 상기 제4 전극은 상기 제2 개구부를 통해 상기 제2 전극과 접촉할 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 절연층 및 상기 발광 소자들 상에 배치되는 고정층을 더 포함하되, 상기 고정층은 상기 발광 소자들 각각의 외주면의 적어도 일부에 접촉되고, 상기 발광 소자들 각각의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부를 노출할 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제1 전극 및 상기 보호층 사이에 배치되고, 상기 제1 전극과 중첩하는 제1 뱅크, 및 상기 제2 전극 및 상기 보호층 사이에 배치되고, 상기 제2 전극과 중첩하는 제2 뱅크를 더 포함할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 다른 실시예에 따른 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 배치되는 도전 라인, 상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 도전 라인과 연결되는 제1 커패시터 전극, 상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 이격되는 제2 커패시터 전극, 상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제2 커패시터 전극 상에 배치되는 보호층, 상기 보호층 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극, 상기 제1 전극과 이격되고, 상기 제1 전극과 동일 층에 형성되며, 상기 제2 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제2 전극, 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 발광 소자들을 포함한다.
상기 보호층은 절연 물질을 포함하되, 상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제1 전극은 제1 커패시터를 형성하고, 상기 제2 커패시터 전극 및 상기 제2 전극은 제2 커패시터를 형성할 수 있다.
상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제2 커패시터 전극은 서로 동일 층에 배치될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 기판 및 상기 발광 소자들 사이에 배치되고, 상기 발광 소자들과 전기적으로 연결된 트랜지스터를 더 포함하되, 상기 트랜지스터는, 상기 기판 상에 배치되는 반도체 패턴, 상기 반도체 패턴 상에 배치되는 게이트 전극, 및 상기 게이트 전극 상에 배치되어 상기 반도체 패턴과 연결되는 제1 트랜지스터 전극 및 제2 트랜지스터 전극을 포함하고, 상기 제1 트랜지스터 전극은 상기 제2 전극과 연결되고, 상기 제2 트랜지스터 전극은 상기 제2 커패시터 전극과 연결되며, 상기 도전 라인은 상기 게이트 전극과 동일층에 배치될 수 있다.
상기 도전 라인은 평면상 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 제2 커패시터 전극은 평면상 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제2 전극과 동일 층에 배치되는 제3 전극, 및 상기 제2 전극과 상기 제3 전극을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제2 연결 전극을 더 포함하고, 평면상 상기 제1 전극은 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 배치되고, 상기 발광 소자들은 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이에 더 배치될 수 있다.
상기 표시 장치는 상기 제2 커패시터 전극과 동일 층에 배치되는 제3 커패시터 전극, 및 상기 제2 커패시터 전극과 상기 제3 커패시터 전극을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제3 연결 전극을 더 포함하되, 상기 제3 커패시터 전극의 적어도 일부는 상기 제3 전극과 중첩하고, 상기 제3 연결 전극의 적어도 일부는 상기 제2 연결 전극과 중첩하며, 상기 제1 커패시터 전극, 상기 제2 커패시터 전극, 상기 제3 커패시터 전극, 및 상기 제3 연결 전극은 동일 층에 형성될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 기판 상에 제1 전원 라인을 형성하는 단계, 상기 제1 전원 라인의 상부에 상기 제1 전원 라인과 연결된 제1 커패시터 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 커패시터 전극의 상부에 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극 및 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극을 형성하는 단계, 및 상기 제1 전원 라인에 제1 전압을 공급하고, 상기 제1 전극에 제2 전압을 공급하며, 상기 제2 전극에 제3 전압을 공급하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 발광 소자들을 정렬하는 단계를 포함하되, 상기 제1 전압, 상기 제2 전압, 및 상기 제3 전압은 서로 다른 전압이다.
상기 제1 전압 및 상기 제2 전압은 직류 전압이고, 상기 제3 전압은 교류 전압일 수 있다.
상기 발광 소자들을 정렬하는 단계에서, 상기 제1 커패시터 전극은 상기 제1 전극과 제1 커패시터를 형성하고, 상기 제1 커패시터는 상기 제1 전극에 공급된 전압 중 교류 전압 성분을 상기 제1 전원 라인으로 바이패스시킬 수 있다.
상기 제1 커패시터 전극을 형성하는 단계는, 상기 제1 커패시터 전극과 이격되는 제2 커패시터 전극을 형성하는 단계를 더 포함하되, 상기 제2 커패시터 전극의 적어도 일부는 상기 제2 전극과 중첩할 수 있다.
상기 발광 소자들을 정렬하는 단계에서, 상기 제2 커패시터 전극과 상기 제2 전극은 제2 커패시터를 형성하고, 상기 제2 전극은 상기 제2 커패시터를 통해 상기 제2 커패시터 전극으로부터 상기 제3 전압을 공급받을 수 있다.
상기 제1 전압은 상기 제3 전압의 양의 피크 전압 및 음의 피크 전압의 사잇값이고, 상기 제2 전압은 그라운드 전압일 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의한 표시 장치 및 이의 제조 방법에 의하면, 발광 소자들의 정렬을 위한 그라운드 전압인 제1 전압이 인가되는 제1 전극의 하부에 제1 커패시터 전극을 형성하여 제1 전극에 인가되는 그라운드 전압의 교류 노이즈 성분을 제거할 수 있다. 이에 따라, 발광 소자들의 정렬 특성이 개선될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의한 표시 장치 및 이의 제조 방법에 의하면, 발광 소자들의 정렬을 위한 교류 전압인 제2 전압이 인가되는 제2 전극의 하부에 제2 커패시터 전극을 형성하여 제2 전극에 인가되는 교류 전압의 직류 노이즈 성분을 제거할 수 있다. 이에 따라, 발광 소자들의 정렬 특성이 개선될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 정렬 전극들에 인가되는 전압들의 노이즈 성분이 제거됨에 따라, 정렬 배선들 사이에 균일한 전기장이 형성되어, 각 화소마다 균일하게 발광 소자들이 정렬될 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 표시 품질 및 제조 효율이 개선될 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1a 및 도 1b는 일 실시예에 따른 발광 소자의 사시도들이다.
도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 각각 일 실시예에 따른 화소를 나타내는 회로도들이다.
도 4는 다른 실시예에 따른 화소를 나타내는 회로도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 화소의 평면도이다.
도 6은 도 5의 A-A' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7 내지 도 11은 다양한 실시예들에 따른 화소의 단면도들로서, 도 5의 A-A' 선에 대응되는 단면도들이다.
도 12는 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다.
도 13 내지 도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 17은 발광 소자 정렬 시 일 실시예에 따른 표시 장치에 공급되는 전압들의 노이즈 제거 방법을 설명하기 위한 회로도이다.
도 18은 발광 소자 정렬 시 일 실시예에 따른 표시 장치의 각 전극들에 실제 공급되는 전압들의 파형도이다.
도 19는 또 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다.
도 20은 도 19의 B-B' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 화소의 단면도로서, 도 19의 B-B' 선에 대응되는 단면도이다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다.
도 23 내지 도 26은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 27은 발광 소자 정렬 시 다른 실시예에 따른 표시 장치에 공급되는 전압들의 노이즈 제거 방법을 설명하기 위한 회로도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 실시예들을 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호를 사용한다.
도 1a 및 도 1b는 일 실시예에 따른 발광 소자의 사시도들이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자(LD)는 제1 반도체층(11)과, 제2 반도체층(13)과, 제1 및 제2 반도체층(11, 13) 사이에 개재된 활성층(12)을 포함할 수 있다. 일 예로, 발광 소자(LD)는 제1 반도체층(11), 활성층(12), 및 제2 반도체층(13)이 순차적으로 적층된 적층체로 구현될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 발광 소자(LD)는 일 방향을 따라 연장된 막대 형상으로 제공될 수 있다. 발광 소자(LD)의 연장 방향을 길이 방향이라고 하면, 발광 소자(LD)는 길이 방향을 따라 일 단부와 타 단부를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 일 단부에는 제1 및 제2 반도체층(11, 13) 중 하나, 타 단부에는 제1 및 제2 반도체층(11, 13) 중 나머지 하나가 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 발광 소자(LD)는 막대형으로 제공될 수 있다. 여기서 "막대형"이라고 함은 원기둥, 다각 기둥 등과 같이, 길이 방향으로 긴(즉, 종횡비가 1보다 큰) 로드 형상(rod-like shape), 혹은 바 형상(bar-like shape)을 포함할 수 있다. 예컨대, 발광 소자(LD)의 길이는 그 직경보다 클 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 또한, 발광 소자(LD)는 코어-쉘 구조의 발광 소자일 수도 있다.
발광 소자(LD)는 일 예로 마이크로 스케일 혹은 나노 스케일 정도의 직경 및/또는 길이를 가질 정도로 제작될 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(LD)의 직경은 600nm 이하이고, 발광 소자(LD)의 길이는 4um 이하일 수 있으나, 발광 소자(LD)의 크기가 이에 한정되는 것은 아니며, 발광 소자(LD)가 적용되는 표시 장치의 요구 조건에 부합되도록 발광 소자(LD)의 크기가 변경될 수도 있다.
제1 반도체층(11)은 일 예로 적어도 하나의 n형 반도체층을 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 반도체층(11)은 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 중 어느 하나의 반도체 재료를 포함하며, Si, Ge, Sn 등과 같은 제1 도펀트가 도핑된 반도체층을 포함할 수 있다. 제1 반도체층(11)을 구성하는 물질이 이에 한정되는 것은 아니며, 이 외에도 다양한 물질로 제1 반도체층(11)을 구성할 수 있다.
활성층(12)은 제1 반도체층(11) 상에 형성되며, 단일 또는 다중 양자 우물 구조로 형성될 수 있다. 활성층(12)이 다중 양자 우물 구조의 물질을 포함하는 경우, 양자층(Quantum layer)과 우물층(Well layer)이 서로 교번적으로 복수 개 적층된 구조일 수도 있다.
발광 소자(LD)의 양 단부에 소정 전압 이상의 전계를 인가하게 되면, 활성층(12)에서 전자-정공 쌍이 결합하면서 발광 소자(LD)가 발광하게 된다. 이러한 원리를 이용하여 발광 소자(LD)의 발광을 제어함으로써, 발광 소자(LD)를 표시 장치의 화소를 비롯한 다양한 발광 장치의 광원으로 이용할 수 있다.
활성층(12)은 400nm 내지 900nm의 파장을 갖는 광을 방출할 수 있다. 일 예로, 활성층(12)이 청색 파장대의 광을 방출하는 경우, AlGaN, AlGaInN 등의 물질을 포함할 수 있다. 특히, 활성층(12)이 다중 양자 우물 구조로 양자층과 우물층이 교번적으로 적층된 구조인 경우, 양자층은 AlGaN 또는 AlGaInN, 우물층은 GaN 또는 AlInN 등과 같은 물질을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 활성층(12)은 양자층으로 AlGaInN를, 우물층으로 AlInN를 포함할 수 있고, 상술한 바와 같이, 활성층(12)은 중심 파장대역이 450nm 내지 495nm의 범위를 갖는 청색광을 방출할 수 있다.
다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 활성층(12)은 밴드갭(Band gap) 에너지가 큰 종류의 반도체 물질과 밴드갭 에너지가 작은 반도체 물질들이 서로 교번적으로 적층된 구조일 수도 있고, 발광하는 광의 파장대에 따라 다른 3족 내지 5족 반도체 물질들을 포함할 수도 있다. 활성층(12)이 방출하는 광은 청색 파장대의 광으로 제한되지 않고, 경우에 따라 적색, 녹색 파장대의 광일 수도 있다.
한편, 활성층(12)에서 방출되는 광은 발광 소자(LD)의 길이 방향의 외부면 뿐만 아니라, 양 측면으로 방출될 수 있다. 활성층(12)에서 방출되는 광의 방향성은 하나의 방향으로 제한되지 않는다.
제2 반도체층(13)은 활성층(12) 상에 제공되며, 제1 반도체층(11)과 상이한 타입의 반도체층을 포함할 수 있다. 일 예로, 제2 반도체층(13)은 적어도 하나의 p형 반도체층을 포함할 수 있다. 예컨대, 제2 반도체층(13)은 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 중 적어도 하나의 반도체 재료를 포함하며, Mg, Zn, Ca, Se, Ba 등과 같은 제2 도펀트가 도핑된 반도체층을 포함할 수 있다. 제2 반도체층(13)을 구성하는 물질이 이에 한정되는 것은 아니며, 이 외에도 다양한 물질이 제2 반도체층(13)을 구성할 수 있다.
한편, 도면에서는 제1 반도체층(11)과 제2 반도체층(13)이 하나의 층으로 구성된 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 반도체층(11) 및 제2 반도체층(13)은 활성층(12)의 물질에 따라 더 많은 수의 층을 포함할 수 있다. 일 예로, 제1 반도체층(11) 및 제2 반도체층(13)은 클래드층(clad layer) 또는 TSBR(Tensile strain barrier reducing)층을 더 포함할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 발광 소자(LD)는 상술한 제1 반도체층(11), 활성층(12), 및 제2 반도체층(13) 외에도 각 층의 상부 및/또는 하부에 다른 형광체층, 활성층, 반도체층 및/또는 전극층을 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 발광 소자(LD)는 제2 반도체층(13)의 일단(일 예로, 발광 소자(LD)의 상부면) 측 또는 제1 반도체층(11)의 일단(일 예로, 발광 소자(LD)의 하부면) 측에 배치되는 적어도 하나의 전극층을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(LD)는 도 1b에 도시된 바와 같이, 제2 반도체층(13)의 일단 측에 배치된 전극층(15)을 더 포함할 수 있다. 전극층(15)은 오믹(Ohmic) 전극일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 전극층(15)은 쇼트키(Schottky) 접촉 전극일 수도 있다. 전극층(15)은 금속 또는 금속 산화물을 포함할 수 있으며, 일 예로, 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 금(Au), 니켈(Ni), ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ITZO(Indium Tin-Zinc Oxide) 및 이들의 산화물 또는 합금 등을 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 실시예에 따라, 전극층(15)은 실질적으로 투명 또는 반투명할 수 있다. 이에 따라, 발광 소자(LD)에서 생성되는 빛이 전극층(15)을 투과하여 발광 소자(LD)의 외부로 방출될 수 있다.
또한, 발광 소자(LD)는 절연 피막(14)을 더 포함할 수 있다. 다만, 본 발명의 일 실시예에 따르면 절연 피막(14)은 생략될 수도 있으며, 제1 반도체층(11), 활성층(12), 및 제2 반도체층(13) 중 일부만을 덮도록 제공될 수도 있다. 예를 들어, 절연 피막(14)은 발광 소자(LD)의 양 단부를 제외한 부분에 제공됨으로써 발광 소자(LD)의 양 단부가 노출될 수도 있다.
설명의 편의를 위해, 도 1a 및 도 1b에서는 절연 피막(14)의 일부를 삭제한 모습을 도시한 것으로서, 실제 발광 소자(LD)의 측면이 모두 절연 피막(14)으로 둘러싸일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 절연 피막(14)은 투명한 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 절연 피막(14)은 SiO2, Si3N4, Al2O3 및 TiO2 중 적어도 하나 이상의 절연 물질을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지는 않으며, 절연성을 갖는 다양한 재료를 포함할 수 있다.
절연 피막(14)은 활성층(12)이 제1 반도체층(11) 및 제2 반도체층(13) 외의 전도성 물질과 접촉하여 발생할 수 있는 전기적 단락을 방지할 수 있다. 또한, 절연 피막(14)을 형성함에 의해 발광 소자(LD)의 표면 결함을 최소화하여 수명과 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 복수의 발광 소자(LD)들이 밀접하게 배치되는 경우, 절연 피막(14)은 각 발광 소자(LD)의 사이에서 발생할 수 있는 원치 않은 단락을 방지할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 의한 발광 소자(LD)의 종류, 구조 및 형상 등은 다양하게 변경될 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 1a 내지 도 2를 참조하면, 표시 장치(1000)는, 기판(SUB)과, 기판(SUB) 상에 제공된 복수의 화소(PXL)들을 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(1000)(또는, 기판(SUB))는 복수의 화소(PLX)들이 배치되어 영상이 표시되는 표시 영역(DA)과, 표시 영역(DA)을 제외한 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다.
표시 영역(DA)은 화소(PXL)들이 제공되는 영역일 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 화소(PXL)들을 구동하기 위한 구동부들(SDV, DDV), 및 화소(PXL)들과 구동부들을 연결하는 각종 배선들이 제공되는 영역일 수 있다.
표시 영역(DA)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 표시 영역(DA)은 직선으로 이루어진 변을 포함하는 닫힌 형태의 다각형, 곡선으로 이루어진 변을 포함하는 원, 타원 등, 직선과 곡선으로 이루어진 변을 포함하는 반원, 반타원 등 다양한 형상으로 제공될 수 있다.
표시 영역(DA)이 복수 개의 영역을 포함하는 경우, 각 영역 또한 직선의 변을 포함하는 닫힌 형태의 다각형, 곡선의 변을 포함하는 반원, 반타원 등 다양한 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 복수의 영역들의 면적은 서로 동일하거나 서로 다를 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는, 표시 영역(DA)이 직선의 변을 포함하는 사각 형상을 가지는 하나의 영역으로 제공된 경우를 예로서 설명한다.
비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)의 적어도 일 측에 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)을 둘러쌀 수 있다.
화소(PXL)들은 기판(SUB) 상의 표시 영역(DA) 내에 제공될 수 있다. 화소(PXL)들 각각은 스캔 라인 및 데이터 라인과 연결되어 해당 스캔 신호 및 데이터 신호에 의해 구동되는 적어도 하나의 발광 소자(도 1a의 LD)를 포함할 수 있다.
화소(PXL)들 각각은 적색, 녹색, 및 청색 중 어느 하나의 색을 출사할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 화소(PXL)들 각각은 시안, 마젠타, 옐로우, 및 백색 중 하나의 색을 출사할 수도 있다.
구체적으로, 화소(PXL)들은 제1 색의 광을 출사하는 제1 화소, 제1 색과 상이한 제2 색의 광을 출사하는 제2 화소, 및 제1 색 및 제2 색과 상이한 제3 색의 광을 출사하는 제3 화소를 포함할 수 있다. 서로 인접하도록 배치된 적어도 하나의 제1 화소, 제2 화소, 및 제3 화소는 다양한 색상의 빛을 방출할 수 있는 하나의 화소 유닛을 구성할 수 있다.
실시예에 따라, 제1 화소는 적색의 빛을 방출하는 적색 화소일 수 있고, 제2 화소는 녹색의 빛을 방출하는 녹색 화소일 수 있으며, 제3 화소는 청색의 빛을 방출하는 청색 화소일 수 있다.
일 실시예에서, 각 화소(PXL)들은 서로 동일한 색의 광을 방출하는 발광 소자를 구비하되, 각 발광 소자들 상에 배치된 서로 다른 색상의 광 변환층을 포함하여 서로 다른 색의 광을 방출할 수 있다. 다른 실시예에서, 각 화소(PXL)들은 서로 다른 색의 광을 방출하는 발광 소자를 구비할 수도 있다. 다만, 각 화소(PXL)들의 색상, 종류 및/또는 개수 등이 특별히 한정되지는 않는다.
화소(PXL)들은 복수 개로 제공되어 제1 방향(DR1) 및 제1 방향(DR1)에 교차하는 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 다만, 화소(PXL)들의 배열 형태는 특별히 한정된 것은 아니며, 다양한 형태로 배열될 수 있다.
구동부들은 각각의 배선부(미도시)를 통해 각 화소(PXL)들에 신호를 제공하며, 이에 따라 각 화소(PXL)들의 구동을 제어할 수 있다. 도 2에는 설명의 편의를 위해 배선부가 생략되었다.
구동부는 스캔 라인을 통해 화소(PXL)들에 스캔 신호를 제공하는 스캔 구동부(SDV), 데이터 라인을 통해 화소(PXL)들에 데이터 신호를 제공하는 데이터 구동부(DDV), 및 타이밍 제어부(미도시)를 포함할 수 있다. 타이밍 제어부는 스캔 구동부(SDV) 및 데이터 구동부(DDV)를 제어할 수 있다. 실시예에 따라, 표시 장치(1000)는 발광 제어 라인을 통해 화소(PXL)들에 발광 제어 신호를 제공하는 발광 구동부를 더 포함할 수 있다.
스캔 구동부(SDV)는 기판(SUB)의 일 측에 배치될 수 있고, 일 방향(예컨대, 제2 방향(DR2))을 따라 배치될 수 있다. 스캔 구동부(SDV)는 별도의 부품으로 기판(SUB) 상에 장착될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 스캔 구동부(SDV)는 기판(SUB) 상에 직접 형성될 수도 있다. 또한, 스캔 구동부(SDV)는 기판(SUB)의 외부에 위치하고, 별도의 연결 부재를 통해 각 화소(PXL)들에 연결될 수도 있다. 스캔 구동부(SDV)는 기판(SUB)의 서로 동일한 측에 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 서로 다른 측에 배치될 수도 있다.
데이터 구동부(DDV)는 기판(SUB)의 일 측에 배치될 수 있고, 상술한 스캔 구동부(SDV)와 교차하는 방향(예컨대, 제1 방향(DR1))을 따라 배치될 수 있다. 데이터 구동부(DDV)는 별도의 부품으로 기판(SUB) 상에 장착되거나, 기판(SUB)의 외부에 위치하고, 별도의 연결 부재를 통해 각 화소(PXL)들에 연결될 수도 있다.
일 실시예에서, 화소(PXL)들 각각은 능동형 화소로 구성될 수 있다. 다만, 본 발명에 적용될 수 있는 화소(PXL)들의 종류, 구조 및/또는 구동 방식이 특별히 한정되지는 않는다.
한편, 표시 장치(1000)는 기판(SUB) 상에 배치되어 각 화소(PXL)들의 발광 소자(LD)들을 정렬(또는 배치)하기 위한 정렬 배선들(ACL1, ACL2, GNDL1, GNDL2)을 포함할 수 있다. 정렬 배선들(ACL1, ACL2, GNDL1, GNDL2)은 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 및 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)을 포함할 수 있다.
교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 및 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)은 서로 교번적으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 교류 전압 배선(ACL1), 제1 접지 전압 배선(GNDL1), 제2 교류 전압 배선(ACL2), 및 제2 접지 전압 배선(GNDL2)이 순차적으로 배열될 수 있다. 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 및 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)은 각각 제1 방향(DR1)을 따라 연장되는 메인 배선 및 메인 배선으로부터 분지되어 제2 방향(DR2)을 따라 연장되는 복수의 가지 배선들을 포함할 수 있다.
교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 및 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)의 복수의 가지 배선들 사이에는 화소(PXL)들이 배치될 수 있다. 기판(SUB) 상에 발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 및 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)에는 각각 교류 전압 및 접지 전압이 인가될 수 있다. 발광 소자(LD)들은 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 및 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2) 사이에 형성된 전기장에 따라 쌍극성(dipole)이 유도되어 전기영동 힘(dielectrophoretic force)에 의해 각 화소(PXL)들에 정렬될 수 있다.
정렬 배선들(ACL1, ACL2, GNDL1, GNDL2)은 발광 소자(LD)들의 정렬 과정에서 서로 연결되어 연장될 수 있으나, 발광 소자(LD)들을 정렬하고 난 뒤, 적어도 일부가 분리될 수 있다. 예를 들어, 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2) 또는 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)은 각 화소(PXL)들에 대응하는 크기(또는 길이)로 서로 분리될 수 있다. 발광 소자(LD)들의 정렬 과정에 대해 도 13 내지 도 18을 참조하여 구체적으로 후술하기로 한다.
도 3a 내지 도 3c는 각각 일 실시예에 따른 화소를 나타내는 회로도들이다. 특히, 도 3a 내지 도 3c는 능동형 발광 표시 패널을 구성하는 화소의 일 예를 도시하였다.
도 1a 내지 도 3a를 참조하면, 화소(PXL)는 적어도 하나의 발광 소자(LD)와, 이에 연결되어 발광 소자(LD)를 구동하는 화소 구동 회로(DC)를 포함할 수 있다.
발광 소자(LD)의 제1 전극(예컨대, 애노드 전극)은 구동 회로(DC)를 경유하여 제2 구동 전원(VDD)에 연결될 수 있고, 발광 소자(LD)의 제2 전극(예컨대, 캐소드 전극)은 제1 구동 전원(VSS)에 연결될 수 있다. 발광 소자(LD)는 구동 회로(DC)에 의해 제어되는 구동 전류 량에 상응하는 휘도로 발광할 수 있다.
도 3a에서는 하나의 발광 소자(LD)만을 도시하고 있으나 이는 예시적인 구성을 나타내는 것이며, 실제 화소(PXL)는 복수의 발광 소자(LD)들을 포함할 수 있다. 복수의 발광 소자(LD)들은 서로 병렬 및/또는 직렬 연결될 수 있다.
제1 구동 전원(VSS) 및 제2 구동 전원(VDD)은 서로 다른 전위를 가질 수 있다. 일 예로, 제2 구동 전원(VDD)은 제1 구동 전원(VSS)의 전위보다 발광 소자(LD)의 문턱전압 이상 높은 전위를 가질 수 있다. 즉 제2 구동 전원(VDD)을 통해 인가되는 전압은 제1 구동 전원(VSS)을 통해 인가되는 전압보다 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 구동 회로(DC)는 제1 트랜지스터(M1), 제2 트랜지스터(M2) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다.
제1 트랜지스터(M1, 구동 트랜지스터)의 제1 전극은 제2 구동 전원(VDD)에 연결될 수 있고, 제2 전극은 발광 소자(LD)의 제1 전극(예컨대, 애노드 전극)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 트랜지스터(M1)의 게이트 전극은 제1 노드(N1)에 연결될 수 있다. 제1 트랜지스터(M1)는 제1 노드(N1)의 전압에 대응하여 발광 소자(LD)들로 공급되는 구동 전류 량을 제어할 수 있다.
제2 트랜지스터(M2, 스위칭 트랜지스터)의 제1 전극은 데이터 라인(DL)에 연결되고, 제2 전극은 제1 노드(N1)에 연결될 수 있다. 여기서, 제2 트랜지스터(M2)의 제1 전극과 제2 전극은 서로 다른 전극으로, 예컨대 제1 전극이 소스 전극이면 제2 전극은 드레인 전극일 수 있다. 제2 트랜지스터(M2)의 게이트 전극은 스캔 라인(SL)에 연결될 수 있다.
제2 트랜지스터(M2)는, 스캔 라인(SL)으로부터 제1 트랜지스터(M1)가 턴-온될 수 있는 전압(예컨대, 게이트 온 전압)의 스캔 신호가 공급될 때 턴-온되어, 데이터 라인(DL)과 제1 노드(N1)를 전기적으로 연결할 수 있다. 이때, 데이터 라인(DL)으로는 해당 프레임의 데이터 신호가 공급되고, 이에 따라 제1 노드(N1)로 데이터 신호가 전달될 수 있다. 제1 노드(N1)로 전달된 데이터 신호는 스토리지 커패시터(Cst)에 저장될 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)의 일 전극은 제1 구동 전원(VSS)에 연결될 수 있고, 다른 전극은 제1 노드(N1)에 연결될 수 있다. 이와 같은 스토리지 커패시터(Cst)는 제1 노드(N1)로 공급되는 데이터 신호에 대응하는 전압으로 충전될 수 있고, 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 충전된 전압을 유지할 수 있다.
설명의 편의상, 도 3a에서는 데이터 신호를 각 화소(PXL)들의 내부로 전달하기 위한 제2 트랜지스터(M2)와, 데이터 신호의 저장을 위한 스토리지 커패시터(Cst)와, 데이터 신호에 대응하는 구동 전류를 발광 소자(LD)로 공급하기 위한 제1 트랜지스터(M1)를 포함한 비교적 단순한 구조의 구동 회로(DC)를 도시하였다.
하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 구동 회로(DC)의 구조는 다양하게 변경 실시될 수 있다. 일 예로, 구동 회로(DC)는 제1 트랜지스터(M1)의 문턱전압을 보상하기 위한 보상 트랜지스터, 제1 노드(N1)를 초기화하기 위한 초기화 트랜지스터, 및/또는 발광 소자(LD)의 발광 시간을 제어하기 위한 발광 제어 트랜지스터 등과 같은 각종 트랜지스터나, 제1 노드(N1)의 전압을 부스팅하기 위한 부스팅 커패시터 등과 같은 다른 회로 소자들을 추가적으로 더 포함할 수도 있다.
또한, 도 3a에서는 구동 회로(DC)에 포함되는 트랜지스터들, 예컨대 제1 및 제2 트랜지스터들(M1, M2)이 모두 P타입의 트랜지스터들인 것으로 도시되었으나, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 즉, 구동 회로(DC)에 포함되는 제1 및 제2 트랜지스터들(M1, M2) 중 적어도 하나는 N타입의 트랜지스터로 변경될 수도 있다.
예를 들어, 도 3b에 도시된 바와 같이, 구동 회로(DC)의 제1 및 제2 트랜지스터들(M1, M2)은 N타입의 트랜지스터로 구현될 수 있다. 도 3b에 도시된 구동 회로(DC)는 트랜지스터 타입 변경으로 인한 일부 구성요소들의 연결 위치 변경을 제외하고는 그 구성이나 동작이 도 3a의 구동 회로(DC)와 유사할 수 있다. 따라서, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 다른 예로, 도 3c를 참조하면, 화소(PXL)는 제3 트랜지스터(M3, 센싱 트랜지스터)를 더 포함할 수 있다.
제3 트랜지스터(M3)의 게이트 전극은 센싱 신호 라인(SSL)에 연결될 수 있다. 제3 트랜지스터(M3)의 일 전극은 센싱 라인(SENL)에 연결되고, 제3 트랜지스터(M3)의 타 전극은 발광 소자(LD)의 애노드 전극과 연결될 수 있다. 제3 트랜지스터(M3)는 센싱 기간에 센싱 신호 라인(SSL)에 공급되는 센싱 신호에 따라 발광 소자(LD)의 애노드 전극에서의 전압 값을 센싱 라인(SENL)으로 전달할 수 있다. 센싱 라인(SENL)을 통해 전달된 전압 값은 외부 회로(예컨대, 타이밍 컨트롤러)에 제공될 수 있고, 외부 회로는 제공된 전압 값을 기초로 화소(PXL)의 특성 정보(예컨대, 제1 트랜지스터(M1)의 문턱 전압 등)를 추출할 수 있다. 추출된 특성 정보는 화소(PXL)의 특성 편차가 보상되도록 영상 데이터를 변환하는 데에 이용될 수 있다.
도 4는 다른 실시예에 따른 화소를 나타내는 회로도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 화소(PXL)는 발광 소자(LD), 제1 내지 제7 트랜지스터들(T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다.
발광 소자(LD)의 제1 전극(예컨대, 애노드 전극)은 제6 트랜지스터(T6)를 경유하여 제1 트랜지스터(T1)에 연결되고, 발광 소자(LD)의 제2 전극(예컨대, 캐소드 전극)은 제1 구동 전원(VSS)에 연결될 수 있다. 발광 소자(LD)는 제1 트랜지스터(T1)로부터 공급되는 구동 전류 량에 대응하여 소정의 휘도로 발광할 수 있다.
제1 트랜지스터(T1, 구동 트랜지스터)의 일 전극은 제5 트랜지스터(T5)를 경유하여 제2 구동 전원(VDD)에 연결될 수 있고, 제1 트랜지스터(T1)의 다른 전극은 제6 트랜지스터(T6)를 경유하여 발광 소자(LD)의 제1 전극에 연결될 수 있다. 이와 같은 제1 트랜지스터(T1)는 게이트 전극인 제1 노드(N1)의 전압에 대응하여 제2 구동 전원(VDD)으로부터 발광 소자(LD)를 경유하여 제1 구동 전원(VSS)으로 흐르는 전류 량을 제어할 수 있다.
제2 트랜지스터(T2, 스위칭 트랜지스터)는 데이터 라인(DL)과 제1 트랜지스터(T1)의 일 전극 사이에 연결될 수 있다. 그리고, 제2 트랜지스터(T2)의 게이트 전극은 제1 스캔 라인(SL)에 연결될 수 있다. 이와 같은 제2 트랜지스터(T2)는 제1 스캔 라인(SL)으로 게이트 온 전압의 스캔 신호가 공급될 때 턴-온되어 데이터 라인(DL)과 제1 트랜지스터(T1)의 일 전극을 전기적으로 연결시킬 수 있다.
제3 트랜지스터(T3)는 제1 트랜지스터(T1)의 다른 전극과 제1 노드(N1) 사이에 연결될 수 있다. 그리고, 제3 트랜지스터(T3)의 게이트 전극은 제1 스캔 라인(SL)에 연결될 수 있다. 이와 같은 제3 트랜지스터(T3)는 제1 스캔 라인(SL)으로 게이트 온 전압의 스캔 신호가 공급될 때 턴-온되어 제1 트랜지스터(T1)의 다른 전극과 제1 노드(N1)를 전기적으로 연결시킬 수 있다.
제4 트랜지스터(T4)는 제1 노드(N1)와 초기화 전원(Vint) 사이에 연결될 수 있다. 그리고, 제4 트랜지스터(T4)의 게이트 전극은 제2 스캔 라인(SL-1)에 연결될 수 있다. 이와 같은 제4 트랜지스터(T4)는 제2 스캔 라인(SL-1)으로 게이트 온 전압의 스캔 신호가 공급될 때 턴-온되어 제1 노드(N1)로 초기화 전원(Vint)의 전압을 공급할 수 있다. 여기서, 초기화 전원(Vint)은 데이터 신호보다 낮은 전압으로 설정될 수 있다. 제2 스캔 라인(SL-1)에 공급되는 스캔 신호는 이전단 화소의 제1 스캔 라인에 공급되는 스캔 신호와 동일한 파형을 가질 수 있다.
제5 트랜지스터(T5)는 제2 구동 전원(VDD)과 제1 트랜지스터(T1)의 일 전극 사이에 연결될 수 있다. 제5 트랜지스터(T5)의 게이트 전극은 발광 제어 라인(EL)에 연결될 수 있다. 이와 같은 제5 트랜지스터(T5)는 발광 제어 라인(EL)으로 게이트 온 전압의 발광 제어 신호가 공급될 때 턴-온될 수 있고, 그 외의 경우에 턴-오프될 수 있다.
제6 트랜지스터(T6)는 제1 트랜지스터(T1)의 다른 전극과 발광 소자(LD)의 제1 전극 사이에 연결될 수 있다. 제6 트랜지스터(T6)의 게이트 전극은 발광 제어 라인(EL)에 연결될 수 있다. 이와 같은 제6 트랜지스터(T6)는 발광 제어 라인(EL)으로 게이트 온 전압의 발광 제어 신호가 공급될 때 턴-온될 수 있고, 그 외의 경우에 턴-오프될 수 있다.
제7 트랜지스터(T7)는 초기화 전원(Vint)과 발광 소자(LD)의 제1 전극(예컨대, 애노드 전극) 사이에 연결될 수 있다. 그리고, 제7 트랜지스터(T7)의 게이트 전극은 제3 스캔 라인(SL+1)에 연결될 수 있다. 이와 같은 제7 트랜지스터(T7)는 제3 스캔 라인(SL+1)으로 게이트 온 전압의 스캔 신호가 공급될 때 턴-온되어 초기화 전원(Vint)의 전압을 발광 소자(LD)의 제1 전극으로 공급할 수 있다. 제3 스캔 라인(SL+1)에 공급되는 스캔 신호는 이후단 화소의 제1 스캔 라인에 공급되는 스캔 신호와 동일한 파형을 가질 수 있다.
도 4에는 제7 트랜지스터(T7)의 게이트 전극이 제3 스캔 라인(SL+1)에 연결된 경우가 도시된다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 다른 실시예에서, 제7 트랜지스터(T7)의 게이트 전극은 제1 스캔 라인(SL) 또는 제2 스캔 라인(SL-1)에 연결될 수도 있다. 이 경우, 초기화 전원(Vint)의 전압은 제1 스캔 라인(SL) 또는 제2 스캔 라인(SL-1)으로 게이트-온 전압의 스캔 신호가 공급될 때, 제7 트랜지스터(T7)를 경유하여 발광 소자(LD)의 애노드 전극으로 공급될 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)는 제2 구동 전원(VDD)과 제1 노드(N1) 사이에 연결될 수 있다. 이와 같은 스토리지 커패시터(Cst)에는 데이터 신호 및 제1 트랜지스터(T1)의 문턱전압에 대응하는 전압이 저장될 수 있다.
한편, 도 4에서는 구동 회로(DC)에 포함되는 트랜지스터들, 일 예로, 제1 내지 제7 트랜지스터들(T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7)을 모두 P타입의 트랜지스터들로 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 제1 내지 제7 트랜지스터들(T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7) 중 적어도 하나는 N타입의 트랜지스터로 변경될 수도 있다.
도 5는 일 실시예에 따른 화소의 평면도이다. 도 6은 도 5의 A-A' 선을 따라 자른 단면도이다. 도 7 내지 도 11은 다양한 실시예들에 따른 화소의 단면도들로서, 도 5의 A-A' 선에 대응되는 단면도들이다.
설명의 편의상, 이하에서는 각각의 전극들을 단일의 전극층으로 단순화하여 도시하였으나 본 발명이 이에 한정되지 않으며, 각각의 전극들은 복수의 전극층으로 구성될 수도 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 있어서, “동일한 층에 형성 및/또는 배치된다" 함은 동일한 공정에서 형성되고, 동일한 물질로 형성됨을 의미할 수 있다.
또한, 도 5에 있어서, 설명의 편의상 발광 소자들에 연결되는 트랜지스터 및 트랜지스터에 연결되는 신호 배선들의 도시를 생략하였다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 기판(SUB) 및 기판(SUB) 상에 제공되는 화소(PXL1)를 포함할 수 있다.
기판(SUB)은 경성(rigid) 기판 또는 가요성(flexible) 기판일 수 있으며, 그 재료나 물성이 특별히 한정되지는 않는다. 일 예로, 기판(SUB)은 유리 또는 강화 유리로 구성된 경성 기판, 또는 플라스틱 또는 금속 재질의 박막 필름으로 구성된 가요성 기판일 수 있다. 또한, 기판(SUB)은 투명 기판일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 일 예로, 기판(SUB)은 반투명 기판, 불투명 기판, 또는 반사성 기판일 수도 있다.
도 5에 예시된 화소(PXL1)는 도 2의 화소(PXL)들 중 어느 하나일 수 있다. 하나의 화소(PXL1)는 소정 색상의 광을 방출하는 최소 단위일 수 있다. 상술한 바와 같이, 서로 다른 색상의 광을 방출하는 화소들이 하나의 화소 유닛을 구성할 수 있다. 이하에서, 화소(PXL1)는 화소 또는 부화소(sub pixel)를 의미할 수 있다.
화소(PXL1)는 기판(SUB) 상에 배치된 화소 회로층(PCL) 및 화소 회로층(PCL) 상에 배치된 표시 소자층(DPL)을 포함할 수 있다.
화소 회로층(PCL)은 화소(PXL)의 구동 회로(도 3a의 DC)를 구성하는 복수의 회로 소자들을 포함할 수 있다. 도 6은 화소 회로층(PCL)이 트랜지스터(TR)를 포함하는 단면 구조를 예시적으로 나타내고 있다. 이 때, 트랜지스터(TR)는 도 3a 내지 도 3c의 제1 트랜지스터(M1)일 수 있다. 다만, 화소 회로층(PCL)의 구조는 이에 한정되는 것은 아니며, 화소 회로층(PCL)은 트랜지스터(TR)와 다른 영역에 위치하는 회로 소자들을 더 포함할 수 있다.
화소 회로층(PCL)이 포함하는 트랜지스터들은 실질적으로 동일 또는 유사한 단면 구조를 가질 수 있다. 또한, 각 트랜지스터들의 구조는 도 6에 예시된 구조에 한정되지 않는다.
화소 회로층(PCL)은 복수의 층들을 포함할 수 있다. 예컨대, 화소 회로층(PCL)은 기판(SUB) 상에 순차적으로 적층된 버퍼층(BFL), 게이트 절연층(GI), 층간 절연층(IL), 제1 보호층(VIA1), 및 제2 보호층(VIA2)을 포함할 수 있다. 상술한 층들은 각각 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질을 포함하는 절연층들일 수 있다. 또한, 화소 회로층(PCL)은 트랜지스터(TR), 바이패스 전원 라인(BVL), 및 제1 커패시터 전극(CE1)을 포함할 수 있다.
버퍼층(BFL)은 각각의 회로 소자에 불순물이 확산되는 것을 방지할 수 있다. 버퍼층(BFL)은 단일막으로 제공될 수 있으나, 적어도 이중층 이상의 다중막으로 제공될 수도 있다. 버퍼층(BFL)이 다중막으로 제공되는 경우, 각 레이어는 동일한 재료로 형성되거나 또는 서로 다른 재료로 형성될 수 있다. 버퍼층(BFL)은 기판(SUB)의 재료 및 공정 조건 등에 따라 생략될 수도 있다.
버퍼층(BFL) 상에는 트랜지스터(TR)가 배치될 수 있다. 트랜지스터(TR)는 반도체 패턴(ACT), 게이트 전극(GE), 제1 트랜지스터 전극(TET1), 및 제2 트랜지스터 전극(TET2)을 포함할 수 있다.
반도체 패턴(ACT)은 버퍼층(BFL) 및 게이트 절연층(GI) 사이에 배치될 수 있다. 화소 회로층(PCL)이 버퍼층(BFL)을 포함하지 않는 경우, 반도체 패턴(ACT)은 기판(SUB) 및 게이트 절연층(GI) 사이에 배치될 수 있다. 반도체 패턴(ACT)은 제1 트랜지스터 전극(TET1)에 접촉되는 제1 영역과, 제2 트랜지스터 전극(TET2)에 연결되는 제2 영역과, 제1 및 제2 영역들 사이에 위치하는 채널 영역을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 영역들 중 하나는 소스 영역이고, 다른 하나는 드레인 영역일 수 있다.
반도체 패턴(ACT)은 폴리 실리콘(Poly silicon), 아몰퍼스 실리콘(Amorphous silicon), 산화물 반도체(Oxide semiconductor) 등으로 이루어진 반도체 패턴일 수 있다. 또한, 반도체 패턴(ACT)의 채널 영역은 불순물이 도핑되지 않은 반도체 패턴으로서 진성(intrinsic) 반도체일 수 있고, 반도체 패턴(ACT)의 제1 및 제2 영역들은 각각 소정의 불순물이 도핑된(doped) 반도체 패턴일 수 있다.
게이트 전극(GE)은 게이트 절연층(GI) 및 층간 절연층(IL) 사이에 배치될 수 있고, 반도체 패턴(ACT)의 적어도 일부와 중첩할 수 있다. 게이트 전극(GE)은 게이트 절연층(GI)에 의해 반도체 패턴(ACT)과 절연될 수 있다.
제1 및 제2 트랜지스터 전극들(TET1, TET2)은 층간 절연층(IL) 상에 배치될 수 있다. 제1 및 제2 트랜지스터 전극들(TET1, TET2)은 반도체 패턴(ACT)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 트랜지스터 전극들(TET1, TET2)은 게이트 절연층(GI) 및 층간 절연층(IL)을 관통하는 컨택홀을 통해 각각 반도체 패턴(ACT)의 제1 영역 및 제2 영역에 접촉할 수 있다.
제1 트랜지스터 전극(TET1)은 제1 보호층(VIA1) 및 제2 보호층(VIA2)을 관통하는 컨택홀(CTA)을 통해 제2 전극(RFE2)과 연결될 수 있다. 다른 실시예로, 제1 트랜지스터 전극(TET1) 및 제2 전극(RFE2) 사이에는 별도의 연결 부재가 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 트랜지스터 전극(TET1)은 컨택홀을 통해 연결 부재에 연결되고, 연결 부재는 다른 컨택홀을 통해 제2 전극(RFE2)에 연결될 수 있다. 이 때, 연결 부재가 배치되는 위치는 제1 보호층(VIA1)과 제2 보호층(VIA2)의 사이일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 전극(RFE2)은 제1 트랜지스터 전극(TET1)을 통해 구동 전류를 제공받을 수 있다.
제2 트랜지스터 전극(TET2)은 제2 전원 라인(PL2)과 연결될 수 있다. 제2 전원 라인(PL2)은 제2 구동 전원(도 2a의 VDD)과 연결된 전원 라인일 수 있다. 즉, 제2 구동 전원(VDD)의 전압은 제2 전원 라인(PL2)을 통해 트랜지스터(TR)에 제공될 수 있다. 제2 전원 라인(PL2)과 제2 전극(RFE2) 사이에는 보호층(예컨대, 제2 보호층(VIA2))이 배치될 수 있다. 도 5에서는 도시되지 않았으나, 제2 전원 라인(PL2)은 평면상 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다. 다만, 제2 전원 라인(PL2)은 이에 한정되지 않으며, 제1 방향(DR1)을 따라 연장될 수도 있다.
또한, 화소 회로층(PCL)은 트랜지스터(TR)와 이격되어 배치된 바이패스 전원 라인(BVL) 및 제1 커패시터 전극(CE1)을 포함할 수 있다.
바이패스 전원 라인(BVL)은 상술한 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GE)과 동일한 층에 형성되는 전원 라인일 수 있다. 바이패스 전원 라인(BVL)은 평면상 발광 영역(EA)과 중첩하지 않는 영역에 형성될 수 있다. 발광 영역(EA)은 발광 소자(LD)들이 배치되어 광을 방출하는 영역일 수 있다. 바이패스 전원 라인(BVL)은 발광 영역(EA)과 중첩하지 않는 영역에서 평면상 제1 방향(DR1)을 따라 연장되어 형성될 수 있다.
또한, 바이패스 전원 라인(BVL)은 화소 회로층(PCL)이 포함하는 트랜지스터들의 게이트 전극들과 중첩하지 않을 수 있다. 예를 들어, 바이패스 전원 라인(BVL)은 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GE)과 중첩하지 않을 수 있다.
바이패스 전원 라인(BVL) 상에는 제1 커패시터 전극(CE1)이 배치될 수 있다. 제1 커패시터 전극(CE1)은 바이패스 전원 라인(BVL)과 중첩할 수 있다. 예를 들어, 제1 커패시터 전극(CE1)은 바이패스 전원 라인(BVL)과 중첩하며 제1 방향(DR1)을 따라 연장되어 형성될 수 있다.
바이패스 전원 라인(BVL)과 제1 커패시터 전극(CE1) 사이에는 적어도 하나의 절연층 또는 보호층이 배치될 수 있다. 예를 들어, 바이패스 전원 라인(BNL)과 제1 커패시터 전극(CE1) 사이에는 층간 절연층(IL) 및 제1 보호층(VIA1)이 배치될 수 있다.
제1 커패시터 전극(CE1)은 컨택홀(CTB)을 통해 바이패스 전원 라인(BVL)과 접촉할 수 있다. 이에 따라, 바이패스 전원 라인(BVL)에 인가된 전압은 제1 커패시터 전극(CE1)에 전달될 수 있다.
제1 커패시터 전극(CE1)의 적어도 일부는 상부에 배치된 제1 전극(RFE1)과 중첩할 수 있다. 제1 커패시터 전극(CE1)과 제1 전극(RFE1)이 중첩하는 영역은 제1 커패시터 영역(CA1)일 수 있다. 제1 커패시터 영역(CA1)은 발광 소자(LD)들이 배치되는 발광 영역(EA)과 서로 중첩하지 않을 수 있다.
제1 커패시터 전극(CE1)과 제1 전극(RFE1) 사이에는 적어도 하나의 보호층 또는 절연층이 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 커패시터 전극(CE1)과 제1 전극(RFE1) 사이에는 제2 보호층(VIA2)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 커패시터 영역(CA1)에서, 제1 커패시터 전극(CE1)과 제1 전극(RFE1)은 이들의 사이에 개재된 제2 보호층(VIA2)과 함께 제1 커패시터(C1)를 구성할 수 있다.
기판(SUB) 상에 발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 바이패스 전원 라인(BVL) 및 제1 전극(RFE1)에는 각각 소정의 직류 전압이 공급될 수 있다. 바이패스 전원 라인(BVL)에 공급된 직류 전압은 제1 커패시터 전극(CE1)에 전달될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 커패시터 전극(CE1)과 제1 전극(RFE1)은 제1 커패시터(C1)를 구성할 수 있고, 제1 커패시터 전극(CE1)은 제1 커패시터(C1)를 통해 제1 전극(RFE1)에 공급된 전압 중 노이즈 성분(예컨대, 교류 전압 성분)을 전달받을 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(RFE1)에 공급된 직류 전압 중 노이즈 성분(교류 전압 성분)이 제거될 수 있다. 이와 관련하여, 도 13 내지 도 18을 참조하여 자세히 후술하기로 한다.
한편, 제1 커패시터 전극(CE1)의 배치는 상술한 바에 한정되지 않는다. 일 예로, 도 7의 화소(PXL1a)는 층간 절연층(IL) 및 제1 보호층(VIA1) 사이에 배치된 제1 커패시터 전극(CE1a)을 포함할 수 있다.
제1 커패시터 전극(CE1a)은 층간 절연층(IL)을 관통하는 컨택홀(CTB)을 통해 바이패스 전원 라인(BVL)과 연결될 수 있다. 제1 커패시터 영역(CA1)에서, 제1 커패시터 전극(CE1a)과 제1 전극(RFE1)은 이들의 사이에 개재된 제1 보호층(VIA1) 및 제2 보호층(VIA2)과 함께 제1 커패시터(C1a)를 구성할 수 있다.
다른 예로, 도 8의 화소(PXL1b)는 바이패스 전원 라인(BVL)과 제1 전극(RFE1) 사이에 배치되는 별도의 전극을 포함하지 않을 수 있다. 이 경우, 바이패스 전원 라인(BVL)은 제1 전극(RFE1)과 중첩하는 영역에서 제1 커패시터 전극(CE1b)으로 기능할 수 있다. 즉, 제1 커패시터 영역(CA1)에서, 바이패스 전원 라인(BVL)(또는, 제1 커패시터 전극(CE1b))과 제1 전극(RFE1)은 이들의 사이에 개재된 층간 절연층(IL), 제1 보호층(VIA1), 및 제2 보호층(VIA2)과 함께 제1 커패시터(C1b)를 구성할 수 있다.
도 7의 실시예에서 설명한 제1 커패시터 전극(CE1a) 및 도 8의 실시예에서 설명한 제1 커패시터 전극(CE1b)은 이하의 실시예들에도 모두 적용될 수 있음은 물론이다.
한편, 상술한 실시예에서는, 화소(PXL1)에 포함된 화소 회로층(PCL)이 단면 상에서 볼 때 표시 소자층(DPL) 하부에 배치되어 표시 소자층(DPL)과 중첩되는 것으로 예시되었으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 실시예에 따라, 화소 회로층(PCL)은 표시 소자층(DPL)의 하부에 배치되되 표시 소자층(DPL)과 중첩되지 않는 영역에 마련될 수도 있다.
다음으로, 표시 소자층(DPL)에 대해 설명한다. 표시 소자층(DPL)은 화소 회로층(PCL)(또는, 제2 보호층(VIA2))의 상부에 배치될 수 있고, 복수의 발광 소자(LD)들을 포함할 수 있다.
구체적으로, 표시 소자층(DPL)은 화소 회로층(PCL) 상에 배치된 제1 및 제2 뱅크들(BNK1, BNK2), 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2), 제1 절연층(INS1), 발광 소자(LD), 고정층(INSA), 제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2), 및 제2 절연층(INS2)을 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 화소(PXL1)는 화소의 경계를 따라 발광 소자(LD)의 주변부에 배치된 격벽을 더 포함할 수 있다.
제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 화소 회로층(PCL) 상에 제공될 수 있다. 제1 뱅크(BNK1)와 제2 뱅크(BNK2)의 사이에는 발광 소자(LD)가 배치되는 공간이 마련될 수 있다. 일 실시예로 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 제1 방향(DR1)을 따라 발광 소자(LD)의 길이 이상으로 이격될 수 있다. 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 서로 동일 층 상에 배치될 수 있으며, 서로 동일한 높이를 가질 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 제1 방향(DR1)에 교차하는 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 유기 재료로 이루어진 유기 절연막 또는 무기 재료로 이루어진 무기 절연막을 포함할 수 있으나, 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)의 재료가 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 단일층으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 다중층으로 형성될 수도 있다. 이 경우, 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 적어도 하나의 유기 절연막 및 적어도 하나의 무기 절연막이 적층된 구조일 수 있다.
제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 각각 측면이 소정 각도로 경사진 사다리꼴 형상을 가질 수 있으나, 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니며, 반타원형, 원형, 사각형 등의 다양한 형상을 가질 수 있다.
제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)은 각각 대응하는 제1 및 제2 뱅크들(BNK1, BNK2) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(RFE1)은 제1 뱅크(BNK1) 상에 제공되고, 제2 전극(RFE2)은 제2 뱅크(BNK2) 상에 제공될 수 있으며, 서로 이격되게 배치될 수 있다. 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 제1 방향(DR1)을 따라 소정 거리만큼 서로 이격될 수 있다. 또한, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
화소(PX1)가 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)를 포함하는 경우, 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)의 이격된 공간에 발광 소자(LD)들이 안정적으로 배치되어 표시 장치의 신뢰성 및 제조 공정상 수율이 향상될 수 있다.
제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)의 표면을 따라 대체적으로 균일한 두께로 배치될 수 있고, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)의 형상에 대응되게 제공될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(RFE1)은 제1 뱅크(BNK1)의 경사도에 대응되는 형상을 가질 수 있고, 제2 전극(RFE2)은 제2 뱅크(BNK2)의 경사도에 대응되는 형상을 가질 수 있다.
제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 서로 동일 평면 상에 배치될 수 있으며, 동일한 높이를 가질 수 있다. 제1 전극(RFE1)과 제2 전극(RFE2)이 동일한 높이를 가지면, 발광 소자(LD)가 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2) 각각에 보다 안정적으로 연결될 수 있다.
제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 도전성 재료로 이루어질 수 있다. 도전성 재료로는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Ti, 이들의 합금과 같은 금속 등이 포함될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 단일막으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다중막으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 투명한 도전성 재료로 이루어진 캡핑층(미도시)을 더 포함할 수도 있다. 캡핑층은 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)을 커버하도록 배치되어, 표시 장치의 제조 공정 중 발생할 수 있는 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)의 손상을 방지할 수 있다.
여기서, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 재료는 상술한 재료들에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 일정한 반사율을 갖는 도전성 재료를 포함할 수 있다. 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)이 일정한 반사율을 갖는 도전성 재료로 이루어질 경우, 발광 소자(LD)의 양 단부들로부터 출사되는 광이 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)에 의해 반사되어 표시 방향(예컨대, 제3 방향(DR3))으로 진행될 수 있다.
특히, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)은 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)의 형상에 대응되는 형상을 가질 수 있고, 기판(SUB)을 기준으로 일정한 각도를 가질 수 있다. 발광 소자(LD)들 각각의 양 단부들로부터 출사된 광은 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)에 의해 반사되어 제3 방향(DR3)으로 더욱 진행될 수 있다. 따라서, 표시 장치의 출광 효율이 개선될 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 전극(RFE1)은 제1 연결 전극(CNE1)을 통해 제1 연결 배선(CNL1)에 연결될 수 있다. 제1 연결 배선(CNL1)은 제1 전원 라인(PL1)과 연결되는 배선일 수 있다. 도면상 도시되진 않았으나, 제1 전원 라인(PL1)은 제1 연결 배선(CNL1)과 다른 층에 위치하여, 별도의 연결 부재를 통해 제1 연결 배선(CNL1)과 서로 연결될 수 있다.
제1 전원 라인(PL1)은 제1 구동 전원(도 2a의 VSS)과 연결될 수 있다. 즉, 제1 구동 전원(VSS)의 전압은 제1 전원 라인(PL1)(또는, 제1 연결 배선(CNL1))을 통해 제1 전극(RFE1)에 제공될 수 있다. 제1 구동 전원(VSS)의 전압은 제1 전극(RFE1)을 통해 발광 소자(LD)의 제1 단부(EP1)에 제공될 수 있다.
한편, 제1 연결 배선(CNL1)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있으며, 다른 화소들에 공통적으로 연결될 수 있다.
제1 연결 전극(CNE1)은 제1 전극(RFE1)과 제1 연결 배선(CNL1)의 사이에서 제1 방향(DR1)을 따라 배치될 수 있다. 제1 연결 전극(CNE1)의 적어도 일부는 제1 연결 전극(CNE1)의 하부에 배치된 제1 커패시터 전극(CE1)과 중첩할 수 있다.
일 실시예로, 상술한 제1 전극(RFE1), 제1 연결 전극(CNE1) 및 제1 연결 배선(CNL1)은 일체로 형성될 수 있으며, 동일 공정에서 동시에 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 전극(RFE2)은 상술한 바와 같이, 컨택홀(CTA)을 통해 트랜지스터(TR)의 제1 트랜지스터 전극(TET1)과 연결될 수 있다. 제2 전극(RFE2)은 트랜지스터(TR)로부터 구동 전류를 제공받을 수 있고, 발광 소자(LD)의 제2 단부(EP2)에 구동 전류를 전달할 수 있다. 발광 소자(LD)는 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)으로부터 제공된 구동 전류(또는, 구동 전압)에 대응하여 소정 휘도의 빛을 방출할 수 있다.
제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2) 중 어느 하나의 전극은 애노드 전극일 수 있으며, 나머지 하나의 전극은 캐소드 전극일 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(RFE1)은 캐소드 전극이고, 제2 전극(RFE2)은 애노드 전극일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2) 상에는 제1 절연층(INS1)이 제공될 수 있다. 제1 절연층(INS1)은 기판(SUB) 상에 전면적으로 제공되어, 상술한 제1 및 제2 뱅크들(BNK1, BNK2)과 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)을 커버할 수 있다. 또한, 제1 절연층(INS1)은 제1 및 제2 뱅크들(BNK1, BNK2)과 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)이 배치되지 않은 기판(SUB)의 표면을 따라 배치될 수 있다.
일 실시예로, 제1 절연층(INS1)은 무기 재료로 이루어진 무기 절연층일 수 있다. 이 경우, 제1 절연층(INS1)은 기판(SUB)과 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)의 표면을 따라 대체적으로 균일한 두께로 배치될 수 있다. 일 실시예로, 발광 소자(LD)가 배치되는 영역의 제1 절연층(INS1)은 대체적으로 평탄하게 형성되어, 발광 소자(LD)가 안정적으로 배치될 공간을 마련할 수 있다. 다른 실시예로, 제1 절연층(INS1)과 제1 절연층(INS1) 상에 배치되는 발광 소자(LD) 사이에는 적어도 일부의 빈 공간이 형성되거나, 단차가 발생할 수 있다.
한편, 제1 절연층(INS1)은 제1 개구부(OP1) 및 제2 개구부(OP2)를 포함할 수 있다. 제1 개구부(OP1) 및 제2 개구부(OP2)는 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
제1 및 제2 개구부들(OP1, OP2)은 대응하는 각각의 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)과 중첩하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 개구부(OP1)는 제1 전극(RFE1)과 중첩하여 형성될 수 있고, 제2 개구부(OP2)는 제2 전극(RFE2)과 중첩하여 형성될 수 있다.
제1 개구부(OP1) 및 제2 개구부(OP2)는 제1 절연층(INS1)의 두께에 상응하는 두께 및/또는 깊이를 가질 수 있다. 즉, 제1 개구부(OP1) 및 제2 개구부(OP2)는 해당 영역에서 제1 절연층(INS1)을 완전히 관통할 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 전극들(RFE1, RFE2)은 외부로 노출되어 후술할 제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2)과 접촉할 수 있다.
제1 절연층(INS1) 상에는 발광 소자(LD)가 배치될 수 있다. 발광 소자(LD)는 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)에 의해 마련된 공간 내에 배치될 수 있고, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2) 사이에 전기적으로 연결될 수 있다. 일 예로, 발광 소자(LD)의 제1 단부(EP1)는 제1 전극(RFE1)에 전기적으로 연결되고, 발광 소자(LD)의 제2 단부(EP2)는 제2 전극(RFE2)에 전기적으로 연결될 수 있다.
발광 소자(LD)들 상에는 발광 소자(LD)들을 안정적으로 지지하며 고정하기 위한 고정층(INSA)이 배치될 수 있다. 고정층(INSA)은 무기 재료를 포함하는 무기 절연막 또는 유기 재료를 포함하는 유기 절연막일 수 있다. 고정층(INSA)은 발광 소자(LD)와 제2 보호층(VIA2) 사이의 공간을 메우도록 배치될 수 있다. 고정층(INSA)은 발광 소자(LD)들 각각의 외주면의 적어도 일부를 덮을 수 있고, 발광 소자(LD)들의 제1 단부(EP1) 및 제2 단부(EP2)를 노출하도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 고정층(INSA)은 발광 소자(LD)들을 안정적으로 지지하고 고정하여, 발광 소자(LD)들이 표시 소자층(DPL)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 고정층(INSA)은 표시 소자층(DPL)의 공정 조건 등에 따라 생략될 수도 있다.
실시예에 따라, 고정층(INSA)이 유기 재료로 이루어진 유기 절연막을 포함하고, 발광 소자(LD)와 제1 절연층(INS1) 사이에 빈 공간이 형성되는 경우, 도 9에 도시된 바와 같이, 고정층(INSA')은 발광 소자(LD)와 제1 절연층(INS1) 사이의 공간을 메우며 발광 소자(LD)를 지지할 수 있다. 이와 달리, 고정층(INSA)이 무기 재료로 이루어진 무기 절연막을 포함하는 경우, 도 10에 도시된 바와 같이, 고정층(INSA")은 발광 소자(LD)의 외주면의 적어도 일 부분을 덮을 수 있으며, 발광 소자(LD)와 절연층(INSL) 사이에는 적어도 일부의 공기층(AIR)이 형성될 수 있다.
제1 절연층(INS1), 발광 소자(LD), 및 고정층(INSA) 상에는 제3 전극(CTE1)(또는, 제1 컨택 전극) 및 제4 전극(CTE2)(또는, 제2 컨택 전극)이 제공될 수 있다. 또한, 제3 전극(CTE1) 및 제4 전극(CTE2) 사이에는 절연 패턴(INSP)이 제공될 수 있다.
제3 전극(CTE1) 및 제4 전극(CTE2)은 각 발광 소자(LD)의 양 단부 중 하나의 단부에 접촉할 수 있다. 예를 들어, 제3 전극(CTE1)은 각 발광 소자(LD)의 제1 단부(EP1)에 접촉할 수 있고, 제4 전극(CTE2)은 각 발광 소자(LD)의 제2 단부(EP2)에 접촉할 수 있다.
제3 전극(CTE1)은, 평면 상에서 볼 때, 제1 전극(RFE1)을 커버하며 제1 전극(RFE1)에 중첩할 수 있다. 제3 전극(CTE1)은 제1 절연층(INS1)의 제1 개구부(OP1)를 통해 제1 전극(RFE1)에 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제3 전극(CTE1)은 발광 소자(LD)의 제1 단부(EP1) 및 제1 전극(RFE1)에 접촉할 수 있다.
제4 전극(CTE2)은, 평면 상에서 볼 때, 제2 전극(RFE2)을 커버하며 제2 전극(RFE2)에 중첩될 수 있다. 제4 전극(CTE2)은 제1 절연층(INS1)의 제2 개구부(OP2)를 통해 제2 전극(RFE2)에 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제4 전극(CTE2)은 발광 소자(LD)의 제2 단부(EP2) 및 제2 전극(RFE2)에 접촉할 수 있다.
제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2) 각각은 투명한 도전성 재료로 구성될 수 있다. 예를 들어, 투명한 도전성 재료로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ITZO(Indium Tin-Zinc Oxide) 등을 포함할 수 있다. 제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2)이 투명한 도전성 재료로 구성될 경우, 발광 소자(LD)로부터 출사된 광이 제3 방향(DR3)으로 진행될 때, 광 손실이 저감될 수 있다. 제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2)의 재료는 상술한 재료들에 한정되는 것은 아니다.
제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2) 사이에는 절연 패턴(INSP)이 배치될 수 있다. 구체적으로, 절연 패턴(INSP)은 무기 재료로 이루어진 무기 절연막을 포함할 수 있다. 절연 패턴(INSP)은 제3 전극(CTE1) 및 제4 전극(CTE2) 중 하나를 커버하도록 배치되고, 절연 패턴(INSP) 상에 다른 전극이 배치될 수 있다. 예컨대, 절연 패턴(INSP)은 제4 전극(CTE2) 상에 배치되어 제4 전극(CTE2)을 커버할 수 있고, 절연 패턴(INSP) 상에는 제3 전극(CTE1)이 배치될 수 있다. 즉, 제3 전극(CTE1) 및 제4 전극(CTE2)은 절연 패턴(INSP)에 의해 전기적으로 분리될 수 있다.
다만, 제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2)의 배치가 이에 한정되는 것은 아니고, 제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2)은 서로 동일층에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 11에 도시된 바와 같이, 제3 전극(CTE1') 및 제4 전극(CTE2') 사이에는 절연 패턴(INSP)이 배치되지 않을 수 있다. 이 경우, 제3 전극(CTE1') 및 제4 전극(CTE2')은 서로 동일 층에 형성될 수 있다. 제3 전극(CTE1') 및 제4 전극(CTE2')을 동시에 형성할 경우, 표시 장치의 제조 공정이 단순화되며, 제조 비용이 절감될 수 있다.
제3 및 제4 전극들(CTE1, CTE2) 상에는 제2 절연층(INS2)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(INS2)은 표시 소자층(DPL)의 최외곽에 형성되어 표시 소자층(DPL)의 다른 구성들을 커버할 수 있다. 제2 절연층(INS2)은 표시 장치의 제조 과정에서 제1 내지 제4 전극들(RFE1, RFE2, CTE1, CTE2) 및 발광 소자(LD)가 손상되는 것을 방지하고, 표시 소자층(DPL)의 내부로 산소 및/또는 수분이 침투하는 것을 방지하는 봉지층의 역할을 수행할 수도 있다.
제2 절연층(INS2)은 무기 재료를 포함하는 무기 절연막으로 형성될 수 있다. 제2 절연층(INS2)은 단일층으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고 다중층 구조를 포함할 수 있다. 제2 절연층(INS2)이 다중층 구조를 포함하는 경우, 유기 재료를 포함하는 유기 절연막을 더 포함할 수 있으며 유기 절연막과 무기 절연막이 교번 배치된 다중층 구조를 포함할 수 있다.
도면상 도시되진 않았으나, 몇몇 실시예에서, 제2 절연층(INS2) 상에는 평탄화층(미도시)이 더 제공될 수 있다. 평탄화층은 그 하부에 배치된 다양한 구성들에 의해 발생된 단차를 완화시킬 수 있다. 평탄화층은 유기 절연막을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고 무기 절연막을 더 포함할 수 있다.
도면상 도시되진 않았으나, 화소(PXL1)는 발광 소자(LD)의 주변에 배치된 격벽을 더 포함할 수 있다. 예컨대, 격벽은 화소(PXL1)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 격벽은 화소(PXL1)의 발광 영역(EA)을 정의하는 화소 정의막일 수 있다. 이러한 격벽은 적어도 하나의 차광 물질 및/또는 반사 물질을 포함하도록 구성되어, 인접한 화소들 사이에서 빛이 새는 빛샘 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 격벽은 발광 소자(LD)를 정렬하는 과정에서, 발광 소자(LD)를 포함하는 용액이 인접 화소에 누설되는 것을 방지할 수 있다. 격벽은 표시 장치의 공정 조건 등에 따라 생략될 수도 있다.
도 12는 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다. 상술한 실시예와 비교하여 도 12의 실시예는 제2 전극(RFE2)에 연결된 제5 전극(RFE3)을 더 포함하는 점에서 차이가 있으며, 이 외의 구성은 실질적으로 동일하거나 유사한 바, 이하 차이점 위주로 설명한다.
도 5, 도 6, 및 도 12를 참조하면, 화소(PXL1c)는 제3 뱅크(BNK3), 제5 전극(RFE3), 및 제6 전극(CTE3)을 포함할 수 있다.
제3 뱅크(BNK3)는 제1 전극(RFE1) 및 제1 연결 배선(CNL1)의 사이에 위치할 수 있다. 제3 뱅크(BNK3)는 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)와 동일한 층에 배치될 수 있으며, 동시에 형성될 수 있다. 또한, 제3 뱅크(BNK3)는 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)와 동일한 형상 및 높이로 형성될 수 있다. 제3 뱅크(BNK3)는 제1 뱅크(BNK1)로부터 발광 소자(LD)의 길이 이상으로 제1 방향(DR1)으로 이격되어 형성되고, 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
제5 전극(RFE3)은 제3 뱅크(BNK3)와 중첩하여 형성될 수 있다. 제5 전극(RFE3)은 제1 전극(RFE1) 및 제1 연결 배선(CNL1) 사이에 위치할 수 있다. 제5 전극(RFE3)은 제1 전극(RFE1)으로부터 제1 방향(DR1)으로 이격되어 형성되고, 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
제5 전극(RFE3)은 제2 연결 전극(CNE2)을 통해 제2 전극(RFE2)과 연결될 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)은 제1 전극(RFE1)과 제5 전극(RFE3)의 사이에서 제1 방향(DR1)을 따라 연장될 수 있다.
제2 전극(RFE2), 제5 전극(RFE3), 및 제2 연결 전극(CNE2)은 동시에 형성되며, 일체로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 제2 전극(RFE2), 제5 전극(RFE3), 및 제2 연결 전극(CNE2) 중 적어도 하나는 제1 전극(RFE1), 제1 연결 배선(CNL1), 및 제1 연결 전극(CNE1) 중 적어도 하나와 동시에 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 일 실시예로, 제1 전극(RFE1), 제2 전극(RFE2), 제5 전극(RFE3), 제1 연결 전극(CNE1), 제2 연결 전극(CNE2), 및 제1 연결 배선(CNL1)은 모두 동일 공정에서 동시에 형성될 수 있다.
제1 전극(RFE1) 및 제5 전극(RFE3)의 사이에는 발광 소자(LD)들이 배치될 수 있다. 발광 소자(LD)들의 제1 단부(EP1)는 제1 전극(RFE1)과 전기적으로 연결되고, 제2 단부(EP2)는 제5 전극(RFE3)과 전기적으로 연결될 수 있다.
제5 전극(RFE3) 상에는 제6 전극(CTE3)이 배치될 수 있다. 제6 전극(CTE3)은 평면상 제5 전극(RFE3)을 커버하며 제5 전극(RFE3)에 중첩할 수 있다. 제6 전극(CTE3)은 발광 소자(LD)의 제2 단부(EP2) 및 제5 전극(RFE3)에 접촉할 수 있다.
제6 전극(CTE3)은 제3 전극(CTE1) 및 제4 전극(CTE2) 중 적어도 하나의 전극과 동일 층에 형성될 수 있다. 또한, 제6 전극(CTE3)은 제3 전극(CTE1) 및 제4 전극(CTE2)과 동일한 물질로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 전극(RFE1) 및 제1 연결 배선(CNL1) 사이에 제5 전극(RFE3)이 더 배치될 경우, 제1 전극(RFE1)과 제5 전극(RFE3)의 사이에도 발광 소자(LD)들이 배치될 수 있다. 즉, 하나의 화소(PXL1c)에 더 많은 수의 발광 소자(LD)들이 배치될 수 있으므로, 본 실시예에 따른 화소(PXL1c)를 포함하는 표시 장치의 표시 휘도가 향상될 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 제5 전극(RFE3)만이 더 배치되는 구조를 예시적으로 설명하고 있으나, 실시예에 따라, 제5 전극(RFE3) 외에 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)에 연결된 다른 전극들이 더 형성되어 발광 소자(LD)들이 배치될 수 있는 공간을 더 마련할 수 있다.
도 13 내지 도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들이다. 도 17은 발광 소자 정렬 시 일 실시예에 따른 표시 장치에 공급되는 전압들의 노이즈 제거 방법을 설명하기 위한 회로도이다. 도 18은 발광 소자 정렬 시 일 실시예에 따른 표시 장치의 각 전극들에 실제 공급되는 전압들의 파형도이다. 특히, 도 13 내지 도 18은 도 5 및 도 6에 예시된 구조에 있어서, 발광 소자들의 정렬 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5 및 도 6에서 설명한 실시예와 도 13 내지 도 18을 결부하여, 본 발명의 일 실시예에 의한 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 설명하기로 한다.
우선, 도 13에 도시된 바와 같이, 기판(SUB) 상에 바이패스 전원 라인(BVL)을 형성할 수 있다.
바이패스 전원 라인(BVL)은 추후 발광 소자(LD)들이 배치될 발광 영역(EA)과 중첩되지 않는 영역에서 형성될 수 있다. 또한, 바이패스 전원 라인(BVL)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장되어 형성되며, 다른 화소들에도 연결되도록 연장될 수 있다.
다음으로, 도 14에 도시된 바와 같이, 바이패스 전원 라인(BVL)이 형성된 기판(SUB) 상에 제1 커패시터 전극(CE1)을 형성할 수 있다.
제1 커패시터 전극(CE1)은 바이패스 전원 라인(BVL)의 상부(예컨대, 제3 방향(DR3))에 형성될 수 있다. 제1 커패시터 전극(CE1)의 적어도 일부는 바이패스 전원 라인(BVL)과 중첩할 수 있다. 제1 커패시터 전극(CE1)도 발광 영역(EA)과 중첩하지 않도록 배치될 수 있다.
또한, 제1 커패시터 전극(CE1)은 컨택홀(CTB)을 통해 바이패스 전원 라인(BVL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 바이패스 전원 라인(BVL)은 전달된 전압을 컨택홀(CTB)을 통해 제1 커패시터 전극(CE1)에 전달할 수 있다.
다음으로, 도 15에 도시된 바와 같이, 제1 커패시터 전극(CE1)이 형성된 기판(SUB) 상에 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)를 형성하고, 제1 연결 배선(CNL1), 제1 연결 배선(CNL1)에 연결되는 제1 전극(RFE1), 및 제1 전극(RFE1)과 이격되는 베이스 전극(RFE2')을 형성할 수 있다.
제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)는 발광 영역(EA) 내에 형성될 수 있고, 제1 방향(DR1)을 따라 소정 거리만큼 서로 이격되어 추후 발광 소자(LD)들이 배치될 공간을 마련할 수 있다.
제1 연결 배선(CNL1)은 바이어스 전원 라인(BVL)과 서로 교차하는 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 제1 연결 배선(CNL1)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
제1 전극(RFE1)은 제1 뱅크(BNK1)와 중첩하여 형성될 수 있다. 또한, 제1 전극(RFE1)은 제1 연결 전극(CNE1)을 통해 제1 연결 배선(CNL1)과 서로 연결될 수 있다. 이 때, 제1 연결 전극(CNE1)은 제1 커패시터 전극(CE1)과 중첩되는 위치에 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 커패시터 영역(CA1)에서, 제1 커패시터 전극(CE1) 및 제1 연결 전극(CNE1)(또는, 제1 전극(RFE1))은 커패시터를 구성할 수 있다.
베이스 전극(RFE2')은 제2 뱅크(BNK2)와 중첩하여 형성될 수 있다. 또한, 베이스 전극(RFE2')은 제1 전극(RFE1)과 제1 방향(DR1)의 반대 방향을 따라 이격되어 형성될 수 있고, 제2 방향(DR2)을 따라 연장되어 형성될 수 있다. 베이스 전극(RFE2')은 제2 방향(DR2)을 따라 다른 화소들에도 연결되도록 연장될 수 있다.
베이스 전극(RFE2')은 제2 전극(RFE2)을 형성하기 전의 베이스 도전층일 수 있다. 베이스 전극(RFE2')은 추후 발광 소자(LD)들의 정렬 과정 후 분리되어 제2 전극(RFE2)으로 형성될 수 있다.
다음으로, 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에 발광 소자(LD)들이 정렬될 수 있다.
제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에는 전기장이 형성되고, 이에 따라 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2) 사이에 발광 소자(LD)들이 정렬될 수 있다.
구체적으로, 제1 전극(RFE1)은 제1 연결 배선(CNL1)과 연결되어, 제1 전압(VA1)을 제공받을 수 있다. 제1 전압(VA1)은 도 2에서 설명한 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2)을 통해 제공되는 그라운드 전압일 수 있다. 제2 전극(RFE2)(또는, 베이스 전극(RFE2'))은 제2 전압(VA2)을 제공받을 수 있다. 제2 전압(VA2)은 도 2에서 설명한 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2)을 통해 제공되는 교류 전압일 수 있다. 즉, 제1 전극(RFE1)에는 그라운드 전압이 인가되고, 제2 전극(RFE2)에는 교류 전압이 인가됨에 따라, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에는 전기장이 형성될 수 있다.
발광 소자(LD)들은 소정의 용액 내에 분산된 형태로 준비되어, 잉크젯 방식 등을 이용해 화소(PXL)의 발광 영역(EA)에 공급될 수 있다. 일 예로, 발광 소자(LD)들은 휘발성 용매에 섞여 발광 영역(EA)에 투하될 수 있다. 발광 영역(EA)에 투하된 발광 소자(LD)들은 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에 형성된 전기장에 의해 자가 정렬되어 일정한 방향성을 갖도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(LD)들의 제1 단부(EP1)는 제1 전극(RFE1)에 인접하고, 제2 단부(EP2)는 제2 전극(RFE2)에 인접하도록 배치되어, 발광 소자(LD)의 길이 방향이 제1 방향(DR1)과 평행하도록 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자(LD)들은 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다.
한편, 제1 전극(RFE1)과 연결된 정렬 배선(예컨대, 도 2의 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2))과 제2 전극(RFE2)과 연결된 정렬 배선(예컨대, 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2))은 적어도 일부 영역에서 서로 중첩될 수 있다.
예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 교류 전압 배선(ACL1)의 가지 배선은 표시 영역(DA) 측으로 연장되면서 제2 접지 전압 배선(GNDL1)의 메인 배선과 적어도 일부 영역에서 중첩될 수 있다. 이러한 접지 전압 배선과 교류 전압 배선의 중첩 영역은 커패시터를 형성하며, 전압 커플링이 발생될 수 있다.
특히, 발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 제1 전극(RFE1)에는 직류 전압(또는 그라운드 전압)인 제1 전압(VA1)이 인가되고, 제2 전극(RFE2)에는 교류 전압인 제2 전압(VA2)이 인가될 수 있으나, 상술한 배선들 간의 커플링 현상으로 인해, 제1 전극(RFE1)에 제공되는 직류 전압(또는, 그라운드 전압)에 노이즈 성분이 포함될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 제1 전극(RFE1)과 제1 커패시터 전극(CE1)을 이용하여 제1 커패시터(C1)를 구성하고, 제1 커패시터 전극(CE1)에 제1 전압(VA1)과 다른 제3 전압(VA3)을 인가하여, 제1 전극(RFE1)에 공급되는 전압 중 노이즈 성분 전압(VN)(또는, 교류 전압 성분)을 제1 커패시터(C1)를 통해 제1 커패시터 전극(CE1) 측으로 바이패스 시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(RFE1)에 제공되는 전압의 노이즈 성분 전압(VN)은 제거될 수 있고, 도 18의 제1 파형(1)과 같이 균일한 직류 전압(또는, 그라운드 전압)이 제공될 수 있다.
여기서, 바이패스 전원 라인(BVL)에 공급되는 제3 전압(VA3)은 제1 전극(RFE1)에 공급되는 제1 전압(VA1)과 같이 직류 전압일 수 있다. 다만, 제3 전압(VA3)의 전압 레벨과 제1 전압(VA1)의 전압 레벨은 서로 상이할 수 있다. 구체적으로, 제3 전압(VA3)은 제2 전압(VA2)의 양의 피크 전압 및 음의 피크 전압의 사잇값일 수 있다. 예를 들어, 제1 전압(VA1)이 그라운드 전압이고, 제2 전압(VA2)의 피크 전압이 -10V 및 10V 인 경우, 제3 전압(VA3)은 3V 또는 -3V 일 수 있다. 다만, 이러한 전압 값들은 본 실시예의 일 예일 뿐이며, 제1 내지 제3 전압들(VA1, VA2, VA3)의 전압 값이 이에 한정되는 것은 아니다.
상술한 바와 같이, 표시 장치의 제조 과정 중 발광 소자(LD)의 정렬 시, 제1 커패시터(C1)에 의해 발광 소자(LD)의 제2 전극으로 공급되는 제1 전압(VA1)의 노이즈(예를 들어, 노이즈 성분 전압(VN))가 제거 또는 최소화될 수 있다. 즉, 발광 소자(LD)의 정렬 과정에서 제1 전극(RFE1)에는 도 18의 제1 파형(1)과 같이 일정한 직류 전압(또는 그라운드 전압)이 인가되고, 노이즈 성분 전압(VN)은 제1 커패시터 전극(CE1)(또는, 바이패스 전원 라인(BVL)) 측으로 바이패스될 수 있다(도 18의 제3 파형(3) 참조)
그러므로, 제1 전극(RFE1)과 제2 전극(RFE2)의 사이에는 균일한 전기장이 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광 소자(LD)들은 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에 용이하게 정렬될 수 있다. 즉, 발광 소자(LD)들의 정렬 특성이 개선될 수 있다. 또한, 각 화소들에 발광 소자(LD)들이 균일하게 정렬됨에 따라, 표시 장치의 표시 품질 및 제조 효율이 개선될 수 있다.
이하, 화소의 다른 실시예들 및 이를 포함하는 표시 장치에 대해 설명한다. 이하의 실시예들에서, 이전에 설명한 실시예와 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호로 지칭하고, 그 설명을 생략하거나 간략화하며, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
도 19는 또 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다. 도 20은 도 19의 B-B' 선을 따라 자른 단면도이다. 도 21은 또 다른 실시예에 따른 화소의 단면도로서, 도 19의 B-B' 선에 대응되는 단면도이다. 도 22는 또 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다.
도 19 내지 도 22의 실시예는 도 5 및 도 6의 실시예와 비교하여 제2 커패시터 전극이 더 형성되는 점에서 차이가 있으며, 이 외의 구성들은 실질적으로 동일하거나 유사하다.
도 19 내지 도 22를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치는 기판(SUB) 및 기판(SUB) 상에 제공되는 화소(PXL2)를 포함할 수 있다.
화소(PXL2)는 기판(SUB) 상에 배치된 화소 회로층(PCL) 및 화소 회로층(PCL) 상에 배치된 표시 소자층(DPL)을 포함할 수 있다.
본 실시예의 표시 소자층(DPL)은 도 5 및 도 6에서 설명한 표시 소자층(DPL)과 실질적으로 동일하거나 유사할 수 있다. 또한, 본 실시예의 표시 소자층(DPL)에는 도 9 내지 도 11에서 설명한 실시예들이 모두 적용될 수 있다.
화소 회로층(PCL)은 제2 전극(RFE2)과 중첩하여 배치된 제2 커패시터 전극(CE2)을 더 포함할 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)은 평면상 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다. 즉, 제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 연결 배선(CNL1)과 서로 대체적으로 평행할 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)은 제2 전원 라인(PL2)과 연결되거나, 제2 전원 라인(PL2)으로 기능할 수 있다. 즉, 제2 커패시터 전극(CE2)은 제2 구동 전원(도 2a의 VDD)과 연결되어 제2 구동 전원(VDD)의 전압을 트랜지스터(TR)에 제공할 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)의 적어도 일부는 상부에 배치된 제2 전극(RFE2)과 중첩할 수 있다. 제2 커패시터 전극(CE2)과 제2 전극(RFE2)이 중첩하는 영역은 제2 커패시터 영역(CA2)일 수 있다. 제2 커패시터 영역(CA2)의 적어도 일부는 발광 소자(LD)들이 배치되는 발광 영역(EA)과 중첩할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 커패시터 전극(CE2)과 제2 전극(RFE2) 사이에는 적어도 하나의 보호층 또는 절연층이 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 커패시터 전극(CE1)과 동일 층에 형성될 수 있고, 제2 커패시터 전극(CE2)과 제2 전극(RFE2) 사이에는 제2 보호층(VIA2)이 배치될 수 있다. 즉, 제2 커패시터 영역(CA2)에서, 제2 커패시터 전극(CE2)과 제2 전극(RFE2)은 이들의 사이에 개재된 제2 보호층(VIA2)과 함께 제2 커패시터(C2)를 구성할 수 있다.
기판(SUB) 상에 발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 제2 전극(RFE2)에는 소정의 교류 전압이 공급될 수 있다. 본 실시예에서, 제2 전극(RFE2)은 교류 전압 배선과 직접 연결되지 않고, 제2 커패시터 전극(CE2)을 통해 간접적으로 교류 전압을 제공받을 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 전극(RFE2)과 제2 커패시터 전극(CE2)은 제2 커패시터(C2)를 구성할 수 있고, 제2 전극(RFE2)은 제2 커패시터(C2)를 통해 제2 커패시터 전극(CE2)에 제공된 교류 전압을 전달받을 수 있다. 이 과정에서, 제2 커패시터(C2)는 교류 전압 성분의 전압만 제2 전극(RFE2)에 전달하고, 노이즈 성분(예컨대, 직류 전압 성분)은 전달하지 않을 수 있다. 이에 따라, 제2 전극(RFE2)에 공급된 교류 전압 중 노이즈 성분(직류 전압 성분)이 제거될 수 있다. 이와 관련하여, 도 23 내지 27을 참조하여 자세히 후술하기로 한다.
한편, 제2 커패시터 전극(CE2)의 배치는 상술한 바에 한정되지 않는다. 일 예로, 도 21의 화소(PXL2a)는 층간 절연층(IL) 및 제1 보호층(VIA1) 사이에 배치된 제2 커패시터 전극(CE2a)을 포함할 수 있다.
즉, 제2 커패시터 전극(CE2a)은 제2 트랜지스터 전극(TET2)과 동일 층에 형성될 수 있다. 실시예에 따라, 제2 커패시터 전극(CE2a) 및 제2 트랜지스터 전극(TET2)은 일체로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 커패시터 영역(CA2)에서, 제2 커패시터 전극(CE2a)과 제2 전극(RFE2)은 이들의 사이에 개재된 제1 보호층(VIA1) 및 제2 보호층(VIA2)과 함께 제2 커패시터(C2a)를 구성할 수 있다.
도 22는 다른 실시예에 따른 화소의 평면도이다. 상술한 실시예와 비교하여 도 22의 실시예는 제2 전극(RFE2)에 연결된 제5 전극(RFE3) 및 제2 커패시터 전극(CE2)에 연결된 제3 커패시터 전극(CE3)을 더 포함하는 점에서 차이가 있다. 이 외의 구성은 실질적으로 동일하거나 유사한 바, 이하 차이점 위주로 설명한다.
도 12, 도 19, 도 20, 및 도 22를 참조하면, 화소(PXL2b)는 제3 뱅크(BNK3), 제5 전극(RFE3), 제6 전극(CTE3), 및 제3 커패시터 전극(CE3)을 포함할 수 있다. 또한, 화소(PXL2b)는 제2 전극(RFE2)과 제5 전극(RFE3)을 연결하는 제2 연결 전극(CNE2) 및 제2 커패시터 전극(CE2)과 제3 커패시터 전극(CE3)을 연결하는 제3 연결 전극(CNE3)을 포함할 수 있다.
도 22의 실시예의 제3 뱅크(BNK3), 제5 전극(RFE3), 제6 전극(CTE3), 및 제2 연결 전극(CNE2)은 도 12의 실시예의 제3 뱅크(BNK3), 제5 전극(RFE3), 제6 전극(CTE3), 및 제2 연결 전극(CNE2)과 실질적으로 동일한 바, 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
제3 커패시터 전극(CE3)은 제3 뱅크(BNK3) 및 제5 전극(RFE3)과 중첩하여 형성될 수 있다. 즉, 제3 커패시터 전극(CE3)은 제1 전극(RFE1) 및 제1 연결 배선(CNL1) 사이에 위치할 수 있다. 제3 커패시터 전극(CE3)은 제1 전극(RFE1)으로부터 제1 방향(DR1)으로 이격되어 형성되고, 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
제3 커패시터 전극(CE3)은 제3 연결 전극(CNE3)을 통해 제2 전극(RFE2)과 연결될 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)은 제1 전극(RFE1)과 제5 전극(RFE3)의 사이에서 제1 방향(DR1)을 따라 연장될 수 있다.
제3 커패시터 전극(CE3)은 제2 커패시터 전극(CE2)과 동일 공정에서 동시에 형성될 수 있다. 제3 커패시터 전극(CE3)은 제2 커패시터 전극(CE2)과 동일 층에 위치할 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2), 제3 커패시터 전극(CE3), 및 제3 연결 전극(CNE3)은 일체로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 제2 커패시터 전극(CE2), 제3 커패시터 전극(CE3), 및 제3 연결 전극(CNE3) 중 적어도 하나는 제1 커패시터 전극(CE1)과 동시에 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 일 실시예로, 제1 커패시터 전극(CE1), 제2 커패시터 전극(CE2), 제3 커패시터 전극(CE3), 및 제3 연결 전극(CNE3)은 모두 동일 공정에서 동시에 형성될 수 있다.
제3 커패시터 전극(CE3) 및 제3 연결 전극(CNE3)은 그 상부에 위치하는 제5 전극(RFE3) 및 제2 연결 전극(CNE2)과 중첩하여 배치될 수 있다. 서로 전기적으로 연결된 제2 커패시터 전극(CE2), 제3 커패시터 전극(CE3), 및 제3 연결 전극(CNE3)은 하나의 커패시터 전극을 구성할 수 있으며, 제2 전극(RFE2), 제5 전극(RFE3), 및 제2 연결 전극(CNE2)과 제2 커패시터를 형성할 수 있다. 이에 따라, 제2 커패시터 영역(CA2b)은 평면상 제2 커패시터 전극(CE2), 제3 커패시터 전극(CE3), 및 제3 연결 전극(CNE3)을 모두 포함하는 영역일 수 있다.
발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 제5 전극(RFE3)은 제3 커패시터 전극(CE3)으로부터 제2 전극(RFE2)과 동일한 정렬 전압을 제공받을 수 있다. 여기서, 제5 전극(RFE3)이 제공받는 정렬 전압은 교류 전압일 수 있다. 제3 커패시터 전극(CE3)은 제5 전극(RFE3)에 교류 전압 성분의 전압만 전달하고, 노이즈 성분(예컨대, 직류 전압 성분)은 전달하지 않을 수 있다. 이에 따라, 제5 전극(RFE3)에 공급된 교류 전압 중 노이즈 성분(직류 전압 성분)이 제거될 수 있다.
상술한 바와 같이, 제3 커패시터 전극(CE3)이 제5 전극(RFE3)의 하부에 더 형성될 경우, 발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 제5 전극(RFE3)에 노이즈가 제거된 교류 전압을 제공할 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(RFE1)과 제5 전극(RFE3) 사이에 균일한 전기장이 발생하여 발광 소자(LD)들이 균일하게 정렬될 수 있으며, 표시 장치의 제조 효율이 개선될 수 있다.
한편, 다른 실시예에서, 제5 전극(RFE3) 외에 제2 전극(RFE2)에 연결된 다른 전극들이 더 형성될 경우, 더 형성된 다른 전극들의 하부에도 커패시터 전극들이 형성될 수 있고, 발광 소자 정렬 시, 노이즈가 제거된 교류 전압을 상부의 전극들에 제공할 수 있다.
도 23 내지 도 26은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들이다. 도 27은 발광 소자 정렬 시 다른 실시예에 따른 표시 장치에 공급되는 전압들의 노이즈 제거 방법을 설명하기 위한 회로도이다. 특히, 도 23 내지 도 27은 도 19 및 도 20에 예시된 구조에 있어서, 발광 소자들의 정렬 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 23 내지 도 27에서 설명하는 표시 장치의 제조 방법은 도 13 내지 도 18에서 설명한 표시 장치의 제조 방법과 비교하여, 제2 커패시터 전극을 통해 노이즈 성분을 더 제거하는 점에서 차이가 있으며, 이 외의 방법들은 실질적으로 동일하거나 유사하다. 설명의 편의상 중복되는 내용은 생략하기로 한다.
도 19 및 도 20에서 설명한 실시예와 도 23 내지 도 27을 결부하여, 본 발명의 다른 실시예에 의한 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 설명하기로 한다.
우선, 도 23 및 도 24에 도시된 바와 같이, 기판(SUB) 상에 바이패스 전원 라인(BVL)을 형성하고, 바이패스 전원 라인(BVL)이 형성된 기판(SUB) 상에 제1 커패시터 전극(CE1) 및 제2 커패시터 전극(CE2)을 형성할 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 커패시터 전극(CE1)과 동시에 형성될 수 있으나, 서로 다른 시기에 형성될 수도 있다. 예컨대, 제1 커패시터 전극(CE1)이 먼저 형성된 뒤, 제2 커패시터 전극(CE2)이 형성될 수도 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다. 제2 커패시터 전극(CE2)의 적어도 일부는 발광 영역(EA)과 중첩할 수 있다. 또한, 제2 커패시터 전극(CE2)의 적어도 일부는 바이패스 전원 라인(BVL)과 중첩할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
다음으로, 도 25에 도시된 바와 같이, 제1 커패시터 전극(CE1) 및 제2 커패시터 전극(CE2)이 형성된 기판(SUB) 상에 제1 뱅크(BNK1) 및 제2 뱅크(BNK2)를 형성하고, 제1 연결 배선(CNL1), 제1 연결 배선(CNL1)에 연결되는 제1 전극(RFE1), 및 제1 전극(RFE1)과 이격되는 제2 전극(RFE2)을 형성할 수 있다.
제2 전극(RFE2)은 제2 커패시터 전극(CE2)과 중첩할 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 전극(RFE2)은 제2 방향(DR2)을 따라 제2 커패시터 전극(CE2)과 중첩하도록 연장될 수 있다. 제2 전극(RFE2)과 제2 커패시터 전극(CE2)은 사이에 배치된 제2 보호층(VIA2)에 의해 서로 절연될 수 있으며, 제2 전극(RFE2)과 제2 커패시터 전극(CE2)은 제2 보호층(VIA2)과 함께 제2 커패시터(C2)를 구성할 수 있다.
다음으로, 도 26 및 도 27에 도시된 바와 같이, 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에 발광 소자(LD)들을 정렬할 수 있다.
제1 전극(RFE1)에는 직류 전압이 공급되고, 제2 전극(RFE2)에는 교류 전압이 공급될 수 있다.
상술한 바와 같이, 서로 다른 정렬 배선들(예컨대, 도 2의 접지 전압 배선들(GNDL1, GNDL2) 및 교류 전압 배선들(ACL1, ACL2))은 적어도 일부 영역에서 서로 중첩될 수 있으며, 이러한 접지 전압 배선과 교류 전압 배선의 중첩 영역에서 서로 커플링되어 영향을 미칠 수 있다.
특히, 발광 소자(LD)들을 정렬하는 과정에서, 제2 전극(RFE2)에는 교류 전압인 제2 전압(VA2)이 인가될 수 있으나, 상술한 배선들 간의 커플링 현상으로 인해, 제2 전극(RFE2)에 제공되는 교류 전압에 직류 전압의 노이즈 성분이 포함될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치는 제2 전극(RFE2)과4 제2 커패시터 전극(CE2)을 이용하여 제2 커패시터(C2)를 구성하고, 제2 커패시터(C2)를 통해 간접적으로 교류 전압을 제공받을 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)에 제공되는 전압 중 직류 전압의 노이즈 성분 전압은 제2 커패시터(C2)를 통해 전달되지 않으므로, 제2 전극(RFE2)에는 직류 전압의 노이즈 성분이 제거된 교류 전압만이 전달될 수 있다.
제2 전극(RFE2)에 전달되는 교류 전압의 노이즈 성분(직류 전압)이 제거되어, 제1 전극(RFE1)과 제2 전극(RFE2)의 사이에는 더욱 균일한 전기장이 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광 소자(LD)들은 제1 전극(RFE1) 및 제2 전극(RFE2)의 사이에 용이하게 정렬될 수 있다. 즉, 발광 소자(LD)들의 정렬 특성이 개선될 수 있다. 또한, 각 화소들에 발광 소자(LD)들이 균일하게 정렬됨에 따라, 표시 장치의 표시 품질 및 제조 효율이 개선될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (29)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 배치되는 도전 라인;
    상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 도전 라인과 연결되는 제1 커패시터 전극;
    상기 제1 커패시터 전극 상에 배치되는 보호층;
    상기 보호층 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극;
    상기 제1 전극과 이격되고, 상기 제1 전극과 동일 층에 형성되는 제2 전극; 및
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 발광 소자들을 포함하는 표시 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 보호층은 절연 물질을 포함하고, 상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제1 전극은 제1 커패시터를 형성하는 표시 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 기판 및 상기 발광 소자들 사이에 배치되고, 상기 발광 소자들과 전기적으로 연결된 트랜지스터를 더 포함하되,
    상기 트랜지스터는,
    상기 기판 상에 배치되는 반도체 패턴;
    상기 반도체 패턴 상에 배치되는 게이트 전극; 및
    상기 게이트 전극 상에 배치되어 상기 반도체 패턴에 연결되는 제1 트랜지스터 전극 및 제2 트랜지스터 전극을 포함하고,
    상기 도전 라인은 상기 게이트 전극과 동일층에 배치되는 표시 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 전극은 제1 전원 라인과 연결되고,
    상기 제1 전극은 상기 제1 전원 라인을 통해 제1 구동 전압을 제공받는 표시 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 트랜지스터 전극은 상기 제2 전극과 연결되고,
    상기 제2 트랜지스터 전극은 제2 전원 라인과 연결되며 상기 제2 전원 라인을 통해 상기 제1 구동 전압보다 큰 제2 구동 전압을 제공받는 표시 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 커패시터 전극은 상기 제2 전원 라인과 동일 층에 배치되는 표시 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 제2 전원 라인의 적어도 일부는 상기 제2 전극과 중첩하고,
    상기 제2 전원 라인 및 상기 제2 전극 사이에 상기 보호층이 배치되며,
    상기 제2 전원 라인 및 상기 제2 전극은 제2 커패시터를 형성하는 표시 장치.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 커패시터 전극은 상기 제1 트랜지스터 전극과 동일 층에 배치되는 표시 장치.
  9. 제4 항에 있어서,
    상기 도전 라인은 평면상 제1 방향을 따라 연장되고,
    상기 제1 전원 라인은 평면상 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장되는 표시 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제1 전원 라인을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제1 연결 전극을 더 포함하되,
    상기 제1 전극은 상기 제2 방향을 따라 연장되고,
    상기 제1 연결 전극의 적어도 일부는 상기 제1 커패시터 전극과 중첩하며,
    상기 제1 전극, 상기 제1 연결 전극, 및 상기 제1 전원 라인은 일체로 형성되는 표시 장치.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 전극과 동일 층에 배치되는 제3 전극을 더 포함하되,
    평면상 상기 제1 전극은 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 배치되고,
    상기 발광 소자들은 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이에 더 배치되는 표시 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제2 전극 및 상기 제3 전극을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제2 연결 전극을 더 포함하되,
    상기 제2 전극, 상기 제3 전극, 및 상기 제2 연결 전극은 일체로 형성되는 표시 장치.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 발광 소자들의 제1 단부와 접촉하는 제3 전극; 및
    상기 제2 전극 및 상기 발광 소자들의 제2 단부와 접촉하는 제4 전극을 더 포함하는 표시 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 상에 배치되는 절연층을 더 포함하되,
    상기 절연층은 상기 제1 전극의 적어도 일부를 노출하는 제1 개구부 및 상기 제2 전극의 적어도 일부를 노출하는 제2 개구부를 포함하고,
    상기 제3 전극은 상기 제1 개구부를 통해 상기 제1 전극과 접촉하며,
    상기 제4 전극은 상기 제2 개구부를 통해 상기 제2 전극과 접촉하는 표시 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 절연층 및 상기 발광 소자들 상에 배치되는 고정층을 더 포함하되,
    상기 고정층은 상기 발광 소자들 각각의 외주면의 적어도 일부에 접촉되고, 상기 발광 소자들 각각의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부를 노출하는 표시 장치.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 보호층 사이에 배치되고, 상기 제1 전극과 중첩하는 제1 뱅크; 및
    상기 제2 전극 및 상기 보호층 사이에 배치되고, 상기 제2 전극과 중첩하는 제2 뱅크를 더 포함하는 표시 장치.
  17. 기판;
    상기 기판 상에 배치되는 도전 라인;
    상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 도전 라인과 연결되는 제1 커패시터 전극;
    상기 도전 라인 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 이격되는 제2 커패시터 전극;
    상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제2 커패시터 전극 상에 배치되는 보호층;
    상기 보호층 상에 배치되고, 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극;
    상기 제1 전극과 이격되고, 상기 제1 전극과 동일 층에 형성되며, 상기 제2 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제2 전극; 및
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 발광 소자들을 포함하는 표시 장치.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 보호층은 절연 물질을 포함하되,
    상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제1 전극은 제1 커패시터를 형성하고,
    상기 제2 커패시터 전극 및 상기 제2 전극은 제2 커패시터를 형성하는 표시 장치.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 커패시터 전극 및 상기 제2 커패시터 전극은 서로 동일 층에 배치되는 표시 장치.
  20. 제17 항에 있어서,
    상기 기판 및 상기 발광 소자들 사이에 배치되고, 상기 발광 소자들과 전기적으로 연결된 트랜지스터를 더 포함하되,
    상기 트랜지스터는,
    상기 기판 상에 배치되는 반도체 패턴;
    상기 반도체 패턴 상에 배치되는 게이트 전극; 및
    상기 게이트 전극 상에 배치되어 상기 반도체 패턴과 연결되는 제1 트랜지스터 전극 및 제2 트랜지스터 전극을 포함하고,
    상기 제1 트랜지스터 전극은 상기 제2 전극과 연결되고,
    상기 제2 트랜지스터 전극은 상기 제2 커패시터 전극과 연결되며,
    상기 도전 라인은 상기 게이트 전극과 동일층에 배치되는 표시 장치.
  21. 제17 항에 있어서,
    상기 도전 라인은 평면상 제1 방향을 따라 연장되고,
    상기 제2 커패시터 전극은 평면상 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장되는 표시 장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 제2 전극과 동일 층에 배치되는 제3 전극; 및
    상기 제2 전극과 상기 제3 전극을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제2 연결 전극을 더 포함하고,
    평면상 상기 제1 전극은 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 배치되고,
    상기 발광 소자들은 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이에 더 배치되는 표시 장치.
  23. 제22 항에 있어서,
    상기 제2 커패시터 전극과 동일 층에 배치되는 제3 커패시터 전극; 및
    상기 제2 커패시터 전극과 상기 제3 커패시터 전극을 연결하고, 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제3 연결 전극을 더 포함하되,
    상기 제3 커패시터 전극의 적어도 일부는 상기 제3 전극과 중첩하고,
    상기 제3 연결 전극의 적어도 일부는 상기 제2 연결 전극과 중첩하며,
    상기 제1 커패시터 전극, 상기 제2 커패시터 전극, 상기 제3 커패시터 전극, 및 상기 제3 연결 전극은 동일 층에 형성되는 표시 장치.
  24. 기판 상에 제1 전원 라인을 형성하는 단계;
    상기 제1 전원 라인의 상부에 상기 제1 전원 라인과 연결된 제1 커패시터 전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 커패시터 전극의 상부에 상기 제1 커패시터 전극과 적어도 일부가 중첩하는 제1 전극 및 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 전원 라인에 제1 전압을 공급하고, 상기 제1 전극에 제2 전압을 공급하며, 상기 제2 전극에 제3 전압을 공급하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 발광 소자들을 정렬하는 단계를 포함하되,
    상기 제1 전압, 상기 제2 전압, 및 상기 제3 전압은 서로 다른 전압인 표시 장치의 제조 방법
  25. 제24 항에 있어서,
    상기 제1 전압 및 상기 제2 전압은 직류 전압이고, 상기 제3 전압은 교류 전압인 표시 장치의 제조 방법.
  26. 제25 항에 있어서,
    상기 발광 소자들을 정렬하는 단계에서,
    상기 제1 커패시터 전극은 상기 제1 전극과 제1 커패시터를 형성하고,
    상기 제1 커패시터는 상기 제1 전극에 공급된 전압 중 교류 전압 성분을 상기 제1 전원 라인으로 바이패스시키는 표시 장치의 제조 방법.
  27. 제25 항에 있어서,
    상기 제1 커패시터 전극을 형성하는 단계는,
    상기 제1 커패시터 전극과 이격되는 제2 커패시터 전극을 형성하는 단계를 더 포함하되,
    상기 제2 커패시터 전극의 적어도 일부는 상기 제2 전극과 중첩하는 표시 장치의 제조 방법.
  28. 제27 항에 있어서,
    상기 발광 소자들을 정렬하는 단계에서,
    상기 제2 커패시터 전극과 상기 제2 전극은 제2 커패시터를 형성하고,
    상기 제2 전극은 상기 제2 커패시터를 통해 상기 제2 커패시터 전극으로부터 상기 제3 전압을 공급받는 표시 장치의 제조 방법.
  29. 제25 항에 있어서,
    상기 제1 전압은 상기 제3 전압의 양의 피크 전압 및 음의 피크 전압의 사잇값이고,
    상기 제2 전압은 그라운드 전압인 표시 장치의 제조 방법.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200105598A (ko) * 2019-02-28 2020-09-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160150199A (ko) * 2015-06-19 2016-12-29 엘지디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 기판 및 이를 이용한 표시장치
KR20180007376A (ko) * 2016-07-12 2018-01-23 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 표시장치의 제조방법
KR20180072909A (ko) * 2016-12-21 2018-07-02 삼성디스플레이 주식회사 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치
US20180358339A1 (en) * 2015-12-01 2018-12-13 Sharp Kabushiki Kaisha Image-forming element
KR20190121894A (ko) * 2018-04-18 2019-10-29 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10361179B2 (en) * 2016-05-20 2019-07-23 Innolux Corporation Display device
US10217678B2 (en) * 2016-06-14 2019-02-26 Innolux Corporation Display device and method of manufacturing the display device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160150199A (ko) * 2015-06-19 2016-12-29 엘지디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 기판 및 이를 이용한 표시장치
US20180358339A1 (en) * 2015-12-01 2018-12-13 Sharp Kabushiki Kaisha Image-forming element
KR20180007376A (ko) * 2016-07-12 2018-01-23 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 표시장치의 제조방법
KR20180072909A (ko) * 2016-12-21 2018-07-02 삼성디스플레이 주식회사 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치
KR20190121894A (ko) * 2018-04-18 2019-10-29 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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