WO2021053755A1 - システム、基板処理装置及びプログラム - Google Patents

Abstract

システムファイルのデータに影響を与えずに、半導体製造装置に搭載されているソフトウェアのバージョンアップを実行することができる。　複数のモジュールをそれぞれ制御する複数のサブコントローラと、複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルを格納する第１格納部と、複数のモジュールに対するシステムファイルのアップロード又はダウンロードの履歴を履歴情報として格納する第２格納部とを備えた記憶部を有するメインコントローラと、を有するシステムであって、メインコントローラは、複数のサブコントローラとの間でシステムファイルを送受信した際に、送受信したシステムファイルと、第１格納部に格納されているシステムファイルとの比較結果に応じて、送受信したシステムファイルを第１格納部に格納すると共に、システムファイルの履歴情報を第２格納部に格納する技術が提供される。

Description

システム、基板処理装置及びプログラム

　本開示は、システム、基板処理装置及びプログラムに関する。

　基板に所定の処理を施す基板処理装置の一つである半導体製造装置は、流量制御器（流量制御部）であるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）やシーケンサ等の各種モジュールを制御することによって、基板への所定の処理を行っている。半導体製造装置を用いて処理を行った場合に、各種モジュールの設定データの組み合わせによって処理結果が大きく変わることがある。

　特許文献１には、基板を処理するプロセスモジュールと、第１のパラメータファイルにしたがってプロセスモジュール内の温度、圧力、ガス流量を制御する処理コントローラと、第２のパラメータファイルにしたがって基板を搬送するための機構を制御する搬送コントローラと、処理コントローラおよび搬送コントローラに対して基板の処理を実行させるための制御指示を行う操作コントローラとを備え、操作ユニットが、第１パラメータファイル及び第２パラメータファイルと操作コントローラが保持する第３パラメータファイルとの整合性を確認し、整合性がとれている場合は、制御指示を行う技術が開示されている。

　ここで、成膜のために用いられる設定データやテーブルファイルをシステムファイルという。また、半導体製造装置等には、システムファイルの組み合わせを保存するためにバックアップと呼ばれる機能がある。また、その組み合わせを復元（ダウンロード）するためにリストアという機能がある。そして、半導体製造装置に用いられているソフトウェアのバージョンアップを行う際に、各種モジュールの設定データが消去されてしまう可能性があるため、バージョンアップを行う前にバックアップを行なって、バージョンアップを行った後にリストアを行う場合がある。このとき、バックアップを忘れてバージョンアップを行う等、システムファイルを元の状態に復元できないことがある。

特開２００７－５９７６５号公報

　本開示は、システムファイルのデータに影響を与えずに、半導体製造装置に搭載されているソフトウェアのバージョンアップを実行することができる技術を提供することを目的とする。

　本開示の一態様によれば、
　複数のモジュールをそれぞれ制御する複数のサブコントローラと、
　前記複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルを格納する第１格納部と、前記複数のモジュールに対するシステムファイルのアップロード又はダウンロードの履歴を履歴情報として格納する第２格納部とを備えた記憶部を有するメインコントローラと、を有するシステムであって、
　前記メインコントローラは、前記複数のサブコントローラとの間でシステムファイルを送受信した際に、送受信したシステムファイルと、前記第１格納部に格納されているシステムファイルとの比較結果に応じて、送受信したシステムファイルを前記第１格納部に格納すると共に、前記システムファイルの履歴情報を前記第２格納部に格納する技術が提供される。

　本開示によれば、システムファイルのデータに影響を与えずに、半導体製造装置に搭載されているソフトウェアのバージョンアップを実行することができる。

本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置を示す斜視図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置を示す側断面図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置の制御システムの概略構成図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラのハードウェア構成を示す図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの記憶部を説明するためのブロック図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの記憶部に格納されるシステムファイルの履歴情報について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作を示すフロー図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作を示すフロー図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作を示すフロー図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作を示すフロー図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。 本開示の一実施形態に好適に用いられる基板処理装置のメインコントローラの動作について説明するための図である。

　以下、図面を参照しつつ本開示の一実施形態について説明する。先ず、図１、図２に於いて、本開示が実施される基板処理装置１０について説明する。

　基板処理装置１０は筐体１１１を備え、該筐体１１１の正面壁１１１ａの下部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、該正面メンテナンス口１０３は正面メンテナンス扉１０４によって開閉される。

　筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口１１２が筐体１１１の内外を連通する様に開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉され、ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４は載置されたポッド１１０を位置合せする様に構成されている。

　ポッド１１０は密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によってロードポート１１４上に搬入され、又、ロードポート１１４上から搬出される様になっている。

　筐体１１１内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を格納する様に構成されている。

　回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて間欠回転される支柱１１６と、該支柱１１６に上中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１１７とを備えており、棚板１１７はポッド１１０を複数個宛載置した状態で格納する様に構成されている。

　回転式ポッド棚１０５の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１２１が設けられ、ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置し、又ポッド１１０の蓋を開閉可能な構成を有している。

　ロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ１２１との間には、ポッド搬送機構（容器搬送機構）１１８が設置されており、ポッド搬送機構１１８は、ポッド１１０を保持して昇降可能、水平方向に進退可能となっており、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ１２１との間でポッド１１０を搬送する様に構成されている。

　筐体１１１内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１１９が後端に亘って設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ（基板）２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出する為のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０に対してポッドオープナ１２１がそれぞれ設けられている。

　ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２と、ポッド１１０の蓋を開閉する開閉機構１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０の蓋を開閉機構１２３によって開閉することにより、ポッド１１０のウエハ出入口を開閉する様に構成されている。

　サブ筐体１１９はポッド搬送機構１１８や回転式ポッド棚１０５が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を載置する所要枚数（図示では５枚）のウエハ載置プレート１２５ｃを具備し、ウエハ載置プレート１２５ｃは水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又昇降可能となっている。ウエハ移載機構１２５はボート（基板保持体）２１７に対してウエハ２００を装填及び払出しする様に構成されている。

　移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成され、待機部１２６の上方には縦型の処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２は内部に処理室２０１を形成し、処理室２０１の下端部は炉口部となっており、炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉される様になっている。

　筐体１１１の右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６の右側端部との間にはボート２１７を昇降させる為のボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結されたアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ１２９が水平に取付けられており、シールキャップ１２９はボート２１７を垂直に支持し、ボート２１７を処理室２０１に装入した状態で炉口シャッタ１４７を気密に閉塞可能となっている。

　ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚～１２５枚程度）のウエハ２００をその中心に揃えて水平姿勢で多段に保持する様に構成されている。

　ボートエレベータ１１５側と対向した位置にはクリーンユニット１３４が配設され、クリーンユニット１３４は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給する様供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。ウエハ移載機構１２５とクリーンユニット１３４との間には、ウエハ２００の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。

　クリーンユニット１３４から吹出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合せ装置（図示せず）及びウエハ移載機構１２５、ボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、若しくはクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に吹出されるように構成されている。

　次に、図３を参照して、メインコントローラ２４２を中心とした制御システム２４０の構成について説明する。図３に示すように、制御システム２４０は、メインコントローラ２４２と、搬送制御部としての搬送系コントローラ２４４と、処理制御部としてのプロセス系コントローラ２４６と、管理装置２４８と、外部上位コンピュータ２５０と、を備え、それぞれＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ　Ａｒｅａ　Ｎｅｔｗｏｒｋ）により接続されている。

　搬送系コントローラ２４４は、主に回転式ポッド棚１０５、ボートエレベータ１１５、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８、ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５等の搬送モジュールに接続されている。搬送系コントローラ２４４は、回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５、ポッド搬送装置１１８、ウエハ移載機構１２５等の搬送モジュールの搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。

　プロセス系コントローラ２４６は、温度コントローラ２４６ａ、圧力コントローラ２４６ｂ、ガス流量コントローラ２４６ｃ及びシーケンサ２４６ｄを備えている。

　温度コントローラ２４６ａには、主にヒータ及び温度センサ等により構成される加熱機構２４６Ａが接続されている。温度コントローラ２４６ａは、処理炉２０２のヒータの温度を制御することで処理炉２０２内の温度を調節するように構成されている。なお、温度コントローラ２４６ａは、サイリスタのスイッチング（オンオフ）制御を行い、ヒータ素線に供給する電力を制御するように構成されている。

　圧力コントローラ２４６ｂには、主に圧力センサ、圧力バルブとしてのＡＰＣバルブ及び真空ポンプにより構成されるガス排気機構２４６Ｂが接続されている。圧力コントローラ２４６ｂは、圧力センサにより検知された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、ＡＰＣバルブの開度及び真空ポンプのスイッチング(オンオフ)を制御するように構成されている。

　ガス流量コントローラ２４６ｃは、ＭＦＣ等のガス供給機構により構成される。シーケンサ２４６ｄには、バルブ２４６Ｄが接続され、処理ガス供給管，パージガス供給管からのガスの供給や停止を、バルブ２４６Ｄを開閉させることにより制御するように構成されている。また、プロセス系コントローラ２４６は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ガス流量コントローラ２４６ｃ（ＭＦＣ）、シーケンサ２４６ｄ（バルブ２４６Ｄ）を制御するように構成されている。

　すなわち、プロセス系コントローラ２４６（温度コントローラ２４６ａ、圧力コントローラ２４６ｂ、ガス流量コントローラ２４６ｃ及びシーケンサ２４６ｄ）は、主に加熱機構２４６Ａ、ガス排気機構２４６Ｂ、ガス供給機構（ＭＦＣ）、バルブ２４６Ｄ等のプロセスモジュールに接続されている。プロセス系コントローラ２４６は、加熱機構２４６Ａ、ガス排気機構２４６Ｂ、ガス供給機構（ＭＦＣ）、バルブ２４６Ｄ等のプロセスモジュールの基板処理動作をそれぞれ制御するように構成されている。

　搬送系コントローラ２４４とプロセス系コントローラ２４６（温度コントローラ２４６ａ、圧力コントローラ２４６ｂ、ガス流量コントローラ２４６ｃ及びシーケンサ２４６ｄ）は、それぞれサブコントローラを構成する。また、メインコントローラ２４２は、ＬＡＮ２５２により搬送系コントローラ２４４及びプロセス系コントローラ２４６と電気的に接続されているため、それぞれ搬送モジュールやプロセスモジュールを対象とするシステムファイルの送受信を行ったり、システムファイルのダウンロード及びアップロード等が可能な構成となっている。

　尚、本開示の実施の形態にかかるメインコントローラ２４２、搬送系コントローラ２４４、プロセス系コントローラ２４６は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＵＳＢなど）３０８から当該プログラムをインストールすることにより、所定の処理を実行する各コントローラを構成することができる。

　そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、このプログラムをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、所定の処理を実行することができる。

　次に、メインコントローラ２４２の構成を、図４を参照しながら説明する。

　メインコントローラ２４２は、処理部としてのＣＰＵ(中央処理装置)３０１、一時記憶部としてのメモリ(ＲＡＭ、ＲＯＭ等)３０２、ハードディスク(ＨＤＤ)等の記憶部３０３、通信部としての送受信モジュール３０４、表示部としての表示装置３０５、時計機能(図示せず)を備えたコンピュータとして構成されている。記憶部３０３には、詳細には後述するが、処理条件及び処理手順が定義されたレシピ等の各レシピファイル、これら各レシピファイルを実行させるための制御プログラムファイル、処理条件及び処理手順を設定するためのパラメータファイル等の各モジュールのシステムファイル等が格納されている。

　表示装置３０５には基板処理装置１０を操作するための操作画面が表示されるように構成されている。表示装置３０５の操作画面は、例えば液晶表示パネルである。表示装置３０５の操作画面には、搬送モジュールやプロセスモジュール等の各モジュールの状態を確認するための画面を有する。表示装置３０５は、操作画面を介して基板処理装置１０内で生成される情報を操作画面に表示する。また、表示装置３０５は、操作画面に表示された情報をメインコントローラ２４２に挿入されたＵＳＢメモリなどのデバイスに出力させる。表示装置３０５は、操作画面からの作業者の入力データ（入力指示）を受け付け、入力データをＣＰＵ３０１に送信する。また、表示装置３０５は、後述の記憶部３０３等に格納されたシステムファイルのうち任意のシステムファイルをダウンロードさせる指示（制御指示）を受け付け、ＣＰＵ３０１に送信するようになっている。

　なお、メインコントローラ２４２の送受信モジュール３０４には、スイッチングハブ等が接続されており、ＣＰＵ３０１が、ネットワークを介してサブコントローラとしての搬送系コントローラ２４４やプロセス系コントローラ２４６等の外部のコンピュータとシステムファイル等のデータの送信及び受信を行うように構成されている。また、メインコントローラ２４２は、ＣＰＵ３０１及びメモリ３０２などを少なくとも含む主制御部３０６と、ネットワークを介して外部のコンピュータなどとデータの送信及び受信を行う送受信モジュール３０４と、ハードディスクドライブなどの記憶部３０３の他、液晶ディスプレイなどの表示部並びにキーボード及びマウス等のポインティングデバイスを含むユーザインタフェース(ＵＩ)部などを含む構成でも構わない。また、主制御部３０６は、更に送受信モジュール３０４を含む構成としても良い。ここで、本実施形態において、メインコントローラ２４２から処理条件及び処理手順が定義されたレシピ等の各レシピファイルを各サブコントローラにダウンロードする際、処理条件及び処理手順を設定するためのパラメータファイル等の各モジュールを対象とするシステムファイルも付随して（セットで）、サブコントローラにダウンロードするよう構成されている。

　また、メインコントローラ２４２は、ネットワークを介して外部上位コンピュータ２５０や管理装置２４８に対して基板処理装置１０の状態など装置データを送信する。

　次に、基板処理装置１０を用いて実施する所定の処理工程を有する基板処理工程について説明する。ここで、所定の処理工程は、半導体デバイスの製造工程の一工程である基板処理工程を実施する場合を例に挙げる。

　基板処理工程の実施にあたって、実施すべき基板処理に対応する基板処理レシピ(プロセスレシピ)が、例えば、プロセス系コントローラ２４６内や搬送系コントローラ２４４内のＲＡＭ等のメモリに展開される（ダウンロードされる）。そして、必要に応じて、メインコントローラ２４２からプロセス系コントローラ２４６や搬送系コントローラ２４４へ動作指示が与えられる。

（移載工程）
　メインコントローラ２４２からは、搬送系コントローラ２４４に対して、搬送モジュールの駆動指示が発せられる。そして、搬送系コントローラ２４４からの指示に従いつつ、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。ロードポート１１４上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２を通して搬入され、回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へ載置される。ポッド１１０は回転式ポッド棚１０５で一時的に保管された後、ポッド搬送装置１１８により棚板１１７からいずれか一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、若しくはロードポート１１４から直接載置台１２２に移載される。

　この際、ウエハ搬入搬出口１２０は開閉機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満している。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遙かに低く設定されている。

　載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａに於けるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が開閉機構１２３によって取外され、ウエハ出入口が開放される。

　ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載機構１２５によって取出され、授受ステージ１２２上のポッド１１０からボート２１７へのウエハ２００の移載処理を開始する。この移載処理は、予定された全てのウエハ２００のボート２１７への装填(ウエハチャージ)が完了するまで行われる。

（搬入工程）
　指定枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、ボート２１７は、搬送系コントローラ２４４からの指示に従って動作するボートエレベータ１１５によって上昇されて、処理炉２０２内に形成される処理室２０１に装入(ボートロード)される。ボート２１７が完全に装入されると、ボートエレベータ１１５のシールキャップ１２９は、処理炉２０２のマニホールドの下端を気密に閉塞する。

（成膜工程）
　その後は、処理室２０１内は、圧力コントローラ２４６ｂからの指示に従いつつ、所定の成膜圧力(真空度)となるように真空排気装置によって真空排気される。この際、処理室２０１内の圧力は圧力センサで測定され、この測定された圧力情報に基づき圧力調整装置がフィードバック制御される。また、処理室２０１内は、温度コントローラ２４６ａからの指示に従いつつ、所定の温度となるようにヒータによって加熱される。この際、処理室２０１内の温度が所定の温度(成膜温度)となるように、温度検出器としての温度センサが検出した温度情報に基づきヒータへの通電具合がフィードバック制御される。続いて、搬送系コントローラ２４４からの指示に従いつつ、回転機構によるボート２１７及びウエハ２００の回転を開始する。そして、所定の圧力、所定の温度に維持された状態で、ボート２１７に保持された複数枚のウエハ２００に所定のガス(処理ガス)を供給して、ウエハ２００に所定の処理(例えば成膜処理)がなされる。

（搬出工程）
　ボート２１７に載置されたウエハ２００に対する成膜工程が完了すると、搬送系コントローラ２４４からの指示に従いつつ、その後、回転機構によるボート２１７及びウエハ２００の回転を停止させ、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ１２９を下降させてマニホールドの下端を開口させるとともに、処理済のウエハ２００を保持したボート２１７を処理炉２０２の外部に搬出（ボートアンロード）する。

（回収工程）
　そして、処理済のウエハ２００を保持したボート２１７は、クリーンユニット１３４から吹出されるクリーンエア１３３によって極めて効果的に冷却される。そして、例えば１５０℃以下に冷却されると、ボート２１７から処理済のウエハ２００を脱装（ウエハディスチャージ）してポッド１１０に移載した後に、新たな未処理ウエハ２００のボート２１７への移載が行われる。

　プロセスレシピを実行することにより、以上のような各工程を繰り返すことで、本実施形態に係る基板処理装置１０は、例えば、ウエハ２００上へのシリコン膜の形成を、高スループットで行うことができる。

　ここで、メインコントローラ２４２の記憶部３０３には、搬送モジュールやプロセスモジュール等の各種モジュールの動作を実行するための設定データやレシピ等のシステムファイルが格納されている。成膜が実行された際のヒータの温度やガス流量等の各種モジュールのシステムファイルの組み合わせは、その組み合わせによって成膜結果が異なるため、保存しておくことが望ましい。本実施形態によれば、メインコントローラ２４２において、基板処理工程における任意の時点でのシステムファイルの組み合わせを復元できるように、各種モジュールにおいてシステムファイルのアップロードやダウンロードを行った際に、アップロードされたシステムファイル又はダウンロードしたシステムファイルをメインコントローラ２４２の記憶部３０３に格納する。以下、本明細書において、搬送モジュールとプロセスモジュールを総称するときに、単にモジュールということがある。

　次に、メインコントローラ２４２の記憶部３０３について詳細に説明する。以下において、メインコントローラ２４２に、搬送系コントローラ２４４やプロセス系コントローラ２４６等のサブコントローラがそれぞれ制御するモジュールＡとモジュールＢが接続されている場合を用いて説明する。

　記憶部３０３には、図５に示すように、第１格納部としてのカレントフォルダ３０３Ａと、第２格納部としての履歴フォルダ３０３Ｂが備えられている。ここで、図５において、搬送系コントローラ２４４やプロセス系コントローラ２４６等のサブコントローラは省略している。

　カレントフォルダ３０３Ａには、複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルの組み合わせが格納されている。具体的には、カレントフォルダ３０３Ａには、現在接続されている複数のモジュールを示す（モジュール名称の）サブフォルダが格納され、それぞれのサブフォルダに、それぞれのモジュールに対して現在設定されているシステムファイルが格納される。つまり、図５に示すように、カレントフォルダ３０３ＡのモジュールＡのサブフォルダには、モジュールＡに現在設定されているシステムファイルＦｉｌｅ‐Ａが格納され、カレントフォルダ３０３ＡのモジュールＢのサブフォルダには、モジュールＢに現在設定されているシステムファイルＦｉｌｅ‐Ｂが格納される。

　履歴フォルダ３０３Ｂには、各モジュールを対象にアップロード又はダウンロードされたシステムファイルの情報が時系列で格納される。具体的には、モジュールＡ及びモジュールＢを対象にアップロード又はダウンロードが成功したときに、履歴フォルダ３０３Ｂに、アップロード又はダウンロードを行った日付をフォルダ名としたサブフォルダが格納され、このサブフォルダに、アップロード又はダウンロードされたシステムファイルに関する情報と、アップロード又はダウンロードを行った対象のモジュールに関する情報が履歴情報として格納される。つまり、履歴フォルダ３０３Ｂには、モジュールＡ及びモジュールＢを対象とするシステムファイルの変更履歴が分かるような履歴情報が格納される。

　図６は、履歴フォルダ３０３Ｂに格納されるサブフォルダの一例を示す図である。履歴フォルダ３０３Ｂには、履歴フォルダ３０３Ｂへ格納された順番に１ずつ増加させたシリアル番号と、システムファイルのアップロード又はダウンロードを行った日付と時刻（日時）をフォルダ名としたサブフォルダが格納される。このサブフォルダには、アップロード又はダウンロードされたシステムファイルに関する情報と、アップロード又はダウンロードを行った対象のモジュールに関する情報が格納される。フォルダ名は、履歴情報として用いられる。

　次に、対象のモジュールを示すシステムファイルをアップロードする場合のメインコントローラ２４２のシステムファイルの記憶部３０３への格納動作について図７～図９を用いて説明する。ここで、図８および図９において、搬送系コントローラ２４４やプロセス系コントローラ２４６等のサブコントローラは省略している。

　先ず、ステップＳ１０において、メインコントローラ２４２は、各種モジュールとの接続時に、接続されたモジュールを対象とするシステムファイルのアップロード要求を行う。つまり、メインコントローラ２４２は、各種モジュールと通信を開始したときや、新たにモジュールが接続されたときに、アップロード要求を行う。これにより、接続されたモジュールを対象とするシステムファイルをもれなく取得することができる。

　ステップＳ１１において、メインコントローラ２４２は、システムファイルのアップロードが成功したか否かを判定する。ステップＳ１１において、アップロードを失敗した場合には、ステップＳ１０へ戻る。

　次に、ステップＳ１２において、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象にするシステムファイルのアップロードが成功した場合に、アップロードされたシステムファイルと、カレントフォルダ３０３Ａに格納されている対象モジュールのシステムファイルとを比較する。

　そして、上述のようにアップロードされたシステムファイルと、カレントフォルダ３０３Ａに格納されている対象モジュールのシステムファイルとの比較結果に応じて、ステップＳ１３において、各モジュールを対象とするアップロードを行ったシステムファイルを、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダ内に格納（上書き）すると共に、履歴フォルダ３０３Ｂにアップロードを行った日付をフォルダ名としたサブフォルダを作成し、このサブフォルダ内に、このシステムファイルを格納する。すなわち、履歴フォルダ３０３Ｂにシステムファイルの履歴情報を格納する。

　具体的には、図８に示すように、モジュールＡを対象とするアップロードされたシステムファイル（Ｆｉｌｅ‐ＡＡ）が、カレントフォルダ３０３ＡのモジュールＡのサブフォルダに格納されているシステムファイル（Ｆｉｌｅ－Ａ）と異なる場合には、図９に示すように、アップロードされたモジュールＡのシステムファイル（Ｆｉｌｅ‐ＡＡ）をカレントフォルダ３０３ＡのモジュールＡのサブフォルダ内に格納して上書きすると共に（同時に）、履歴フォルダ３０３Ｂに、履歴フォルダ３０３Ｂへ格納されている一番大きいシリアル番号に１増加させたシリアル番号と、システムファイルのアップロードを行った日付と時刻（日時）をフォルダ名としたサブフォルダを作成し、このサブフォルダ内にアップロードを行ったモジュールＡに関する情報と、アップロードされたシステムファイルＦｉｌｅ－ＡＡが格納される。

　また、ステップＳ１２において、アップロードされたシステムファイルが、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダに格納されたシステムファイルと同一である場合（相違がない場合）には、何もしないで処理を終了する。

　次に、モジュール対象のシステムファイルをダウンロードする場合のメインコントローラ２４２のシステムファイルの記憶部３０３への格納動作について図１０～図１２を用いて説明する。ここで、図１１および図１２において、搬送系コントローラ２４４やプロセス系コントローラ２４６等のサブコントローラは省略している。

　先ず、ステップＳ２０において、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象とするシステムファイルのダウンロード要求を受け付けて、ダウンロードを行う。ダウンロード要求については、詳細には後述する。

　ステップＳ２１において、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象とするシステムファイルのダウンロードが成功したか否かを判定する。ステップＳ２１において、ダウンロードを失敗した場合には、ステップＳ２０へ戻る。

　次に、ステップＳ２２において、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象とするシステムファイルのダウンロードが成功した場合に、各モジュール対象のダウンロードしたシステムファイルと、カレントフォルダ３０３Ａに格納されている対象モジュールのシステムファイルとを比較する。

　そして、各モジュール対象のダウンロードしたシステムファイルと、カレントフォルダ３０３Ａに格納されている対象モジュールのシステムファイルとの比較結果に応じて、ステップＳ２３において、各モジュールを対象にダウンロードを行ったシステムファイルを、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダ内に格納（上書き）すると共に、履歴フォルダ３０３Ｂにダウンロードを行った日付をフォルダ名としたサブフォルダを作成し、このサブフォルダ内に、このシステムファイルを格納する。すなわち、履歴フォルダ３０３Ｂにシステムファイルの履歴情報を格納する。

　具体的には、メインコントローラ２４２が、モジュールＢを対象とするシステムファイル（Ｆｉｌｅ－ＢＢ）をダウンロードした場合に、図１１に示すように、モジュールＢを対象とするダウンロードしたシステムファイル（Ｆｉｌｅ‐ＢＢ）が、カレントフォルダ３０３ＡのモジュールＢのサブフォルダに格納されているシステムファイル（Ｆｉｌｅ－Ｂ）と異なる場合には、図１２に示すように、ダウンロードしたモジュールＢのシステムファイル（Ｆｉｌｅ‐ＢＢ）をカレントフォルダ３０３ＡのモジュールＢのサブフォルダ内に格納して上書きすると共に（同時に）、履歴フォルダ３０３Ｂに、履歴フォルダ３０３Ｂへ格納されている一番大きいシリアル番号に１増加させたシリアル番号と、モジュールＢを対象とするシステムファイルのダウンロードを行った日付と時刻（日時）をフォルダ名としたサブフォルダを作成し、このサブフォルダ内にダウンロードを行ったモジュールＢに関する情報と、ダウンロードしたシステムファイルＦｉｌｅ－ＢＢが格納される。

　また、ステップＳ２２において、各モジュールを対象とするダウンロードしたシステムファイルが、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダに格納されたシステムファイルと同一である場合（相違がない場合）には、何もしないで処理を終了する。

　つまり、カレントフォルダ３０３Ａには、各モジュールを対象にアップロード又はダウンロードされたシステムファイルと同じものが格納されるよう構成されている。また、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象にアップロード又はダウンロードされたシステムファイルを、履歴フォルダ３０３Ｂの、履歴フォルダ３０３Ｂへ格納された順番に１ずつ増加させたシリアル番号と、システムファイルに対してアップロード又はダウンロードを行った日時をフォルダ名としたサブフォルダに格納するよう構成されている。

　すなわち、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象にアップロード又はダウンロードされたシステムファイルを時系列順に履歴フォルダ３０３Ｂに格納すると同時にカレントフォルダ３０３Ａの各モジュールのサブフォルダに格納（上書き）するように構成されている。これにより、システムファイルの組み合わせを自動的に格納することができ、バックアップをし忘れてもシステムファイルを復元することができる。

　すなわち、メインコントローラ２４２は、各モジュールを対象とするシステムファイルがアップロードされ、アップロードされたシステムファイルが、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダに格納されたシステムファイルと異なるとき、または、各モジュールを対象とするシステムファイルをダウンロードし、ダウンロードしたシステムファイルが、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダに格納されたシステムファイルと異なるとき、アップロードされ又はダウンロードされたシステムファイルを、カレントフォルダ３０３Ａの対象モジュールのサブフォルダ内に上書きして格納すると共に、対象モジュールの上述したシステムファイルの履歴情報を履歴フォルダ３０３Ｂに格納するよう構成されている。

　次に、ある指定された日時におけるシステムファイル群の復元動作について、図１３～図１５を用いて具体的に説明する。例えば、２０１８年１月２４日の１０時におけるシステムファイル群を復元する場合を用いて説明する。現在のモジュールＡのシステムファイルの設定をＦｉｌｅ‐ＡＡ、モジュールＢのシステムファイルの設定をＦｉｌｅ－ＢＢとする。

　先ず、ステップＳ３０において、メインコントローラ２４２は、表示装置３０５の操作画面からの作業者の入力データにより指定された日時におけるシステムファイル群の問い合わせを受け付ける。具体的には、２０１８／１／２４の１０：００におけるシステムファイル群の検索を受け付ける。

　次に、ステップＳ３１において、メインコントローラ２４２は、対象モジュールを特定する。具体的には、メインコントローラ２４２は、履歴フォルダ３０３Ｂのサブフォルダから２０１８／１／２４の１０：００以降に変更されたシステムファイルを検索する。そして、２０１８／１／２４の１０：００以降にシステムファイルがＦｉｌｅ－ＡＡに変更されたモジュールＡと、システムファイルがＦｉｌｅ－ＢＢに変更されたモジュールＢを特定する。

　次に、ステップＳ３２において、メインコントローラ２４２は、特定された対象モジュールの履歴フォルダ３０３Ｂに格納されているシステムファイルを特定する。具体的には、２０１８／１／２４の１０：００より前であって、モジュールＡに関する最も新しい日付フォルダのシステムファイルと、２０１８／１／２４の１０：００より前であって、モジュールＢに関する最も新しい日付フォルダのシステムファイルを検索する。

　図１４に示すように、指定日時（２０１８／１／２４の１０：００）より前のモジュールＡの最新の２０１８／１／２３の１２：１１：１２　２０３ミリ秒のサブフォルダのシステムファイルＦｉｌｅ‐Ａが特定される。同様に、指定日時（２０１８／１／２４の１０：００）より前のモジュールＢの最新の２０１８／１／２３の０１：１０：１２　５０４ミリ秒のサブフォルダのシステムファイルＦｉｌｅ‐Ｂが特定される。

次に、ステップＳ３３において、メインコントローラ２４２は、特定されたシステムファイルの変更履歴を表示する。具体的には、基板処理装置１０の２０１８／１／２４の１０：００時点におけるモジュールＡのシステムファイルＦｉｌｅ－Ａと、モジュールＢのシステムファイルＦｉｌｅ－Ｂが表示される。

　そして、ステップＳ４０において、メインコントローラ２４２は、表示装置３０５の操作画面からの作業者の入力データによりシステムファイルのダウンロード要求を受け付ける。具体的には、ステップＳ３３において表示された２０１８／１／２４の１０：００時点におけるシステムファイル群のダウンロード要求を受け付ける。

　次に、ステップＳ４１において、メインコントローラ２４２は、システムファイル群をダウンロードする対象のモジュールを特定する。具体的には、ステップＳ３２において特定されたシステムファイルに対応するモジュールを、ダウンロード対象のモジュールとして特定する。

　次に、ステップＳ４２において、ステップＳ３２において特定されたシステムファイルを特定する。具体的には、ステップＳ３２において特定されたモジュールＡのシステムファイルＦｉｌｅ－Ａと、モジュールＢのシステムファイルＦｉｌｅ－Ｂを特定する。

　次に、ステップＳ４３において、特定されたシステムファイルを対象モジュールにダウンロードする。具体的には、基板処理装置１０の２０１８／１／２４の１０：００時点におけるシステムファイルＦｉｌｅ－ＡとシステムファイルＦｉｌｅ－Ｂが、それぞれモジュールＡとモジュールＢを対象にダウンロードされる。これにより、２０１８／１／２４の１０：００時点におけるシステムファイル群を復元することができる。

　そして、上述した図１０におけるステップＳ２０～ステップＳ２３の動作が行なわれる。

　すなわち、指定日時におけるモジュールＡとモジュールＢのシステムファイル群（システムファイルの組み合わせ）を特定し、復元することができる。

　ここで、履歴フォルダ３０３Ｂには、各モジュールにおいてシステムファイルが変更される度に記録が追加されていくが、記憶部３０３の容量には制限があるため、システムファイルを古い日付フォルダの順に削除し、記憶部３０３の容量制限を満たすことが必要である。しかしながら、不用意に古い履歴順に日付フォルダを消去すると正しく復元できない場合がある。

　本実施形態では、ある指定日時より前の各モジュールのシステムファイルを削除検討対象として、ある指定日時以降の各モジュールのシステムファイルを復元できるものとしている。具体的には、ある指定日時２０１８年１月２４日以降の各モジュールのシステムファイルの変更履歴を復元可能に設定する場合を例にして図１６～図１８を用いて説明する。

　先ず、メインコントローラ２４２は、履歴フォルダ３０３Ｂを検索し、指定日時である２０１８／１／２４より前の日付フォルダを削除対象として特定する。そして、削除対象として特定されたシステムファイルの中で、各モジュールの最新のシステムファイルを１つずつだけ残して、各モジュールの残されたシステムファイルより過去のシステムファイルを削除して消去するよう構成されている。すなわち、２０１８／１／２４より前のシステムファイルの中で、モジュールＡの最新の日付フォルダ２０１８／１／２３のシステムファイルＦｉｌｅ－Ａと、モジュールＢの最新の日付フォルダ２０１８／１／２３のシステムファイルＦｉｌｅ－Ｂを残して、それより前のモジュールＡの日付フォルダ２０１８／１／９のシステムファイルＦｉｌｅ－Ｏｌｄを削除して消去する。メインコントローラ２４２は、システムファイルが消去されて中身が空のサブフォルダを消去する。これにより、２０１８／１／２４　０：００時点のシステムファイルの変更履歴を復元することができる。すなわち、記憶部３０３の容量制限を満たしつつ、ある指定日時までの変更履歴を復元することができる。

　このように、本開示の各実施形態(本実施形態)によれば、以下の(ａ)～(ｈ)のうち、少なくとも一つ以上の効果を奏する。
　(ａ)本実施形態によれば、各モジュールに対してアップロード又はダウンロードを行う際にシステムファイルをメインコントローラの記憶部に格納するので、システムファイルの組み合わせを自動的に格納することができる。
　(ｂ)また、本実施形態によれば、各モジュールを対象にアップロード又はダウンロードされるシステムファイルをメインコントローラの記憶部に格納するので、時系列でシステムファイルを格納することができ、時系列でシステムファイルを閲覧することができる。
　（ｃ）また、本実施形態によれば、メインコントローラの記憶部に時系列でシステムファイルを格納するので、過去の指定日時のシステムファイルの組み合わせ（システムファイル群）をユーザに示すことができる。また、過去の指定日時のシステムファイルの組み合わせを各モジュールに復元させることができる。
　（ｄ）また、本実施形態によれば、メインコントローラの記憶部に格納されているシステムファイルの内、指定日時より前のシステムファイルを自動的に消去することができる。
　(ｅ)本実施形態によれば、各モジュールを対象にアップロート又はダウンロードされ、アップロード又はダウンロードされたモジュールを対象とするシステムファイルをメインコントローラの記憶部に格納するので、ユーザがシステムファイルをバックアップせずにソフトウェアのバージョンアップを行なってしまった場合であっても、各モジュールのシステムファイルを復元することができる。
　(ｆ)また、本実施形態によれば、各モジュールの不揮発性メモリが故障した場合であっても、各モジュールを対象とするシステムファイルがメインコントローラ２４２の記憶部に格納されているので、復元することができる。
　(ｇ)また、本実施形態によれば、ユーザの操作ミスにより、不適切なバックアップ済みシステムファイルをリストアしてしまった場合であっても、各モジュールを対象とするシステムファイルがメインコントローラ２４２の記憶部に格納されているので、復元することができる。
　(ｈ)また、本実施形態によれば、過去の障害発生時に、その時点のシステムファイルを復元したい場合に、各モジュールを対象とするシステムファイルが、それぞれアップロード又はダウンロードされた日時フォルダに格納されているため、障害発生時の日時フォルダを検出することで、障害発生時の各モジュールを対象とするシステムファイルを復元することができる。

　尚、本開示の実施形態に於ける基板処理装置１０は、半導体を製造する半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置の様なガラス基板を処理する装置でも適用可能である。又、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、プラズマを利用した処理装置等の各種基板処理装置にも適用可能であるのは言う迄もない。

　以上、本開示の種々の典型的な実施形態を説明してきたが、本開示はそれらの実施形態に限定されず、適宜組み合わせて用いることもできる。

１０　基板処理装置
２００　ウエハ（基板）
２０１　処理室
２４２　メインコントローラ
２４４　搬送系コントローラ（サブコントローラ）
２４６　プロセス系コントローラ（サブコントローラ）
３０３　記憶部
３０３Ａ　カレントフォルダ（第１格納部）
３０３Ｂ　履歴フォルダ（第２格納部）

Claims (17)

1. 　複数のモジュールをそれぞれ制御する複数のサブコントローラと、
   　前記複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルを格納する第１格納部と、前記複数のモジュールに対するシステムファイルのアップロード又はダウンロードの履歴を履歴情報として格納する第２格納部とを備えた記憶部を有するメインコントローラと、を有するシステムであって、
   　前記メインコントローラは、前記複数のサブコントローラとの間でシステムファイルを送受信した際に、送受信したシステムファイルと、前記第１格納部に格納されているシステムファイルとの比較結果に応じて、送受信したシステムファイルを前記第１格納部に格納すると共に、前記システムファイルの履歴情報を前記第２格納部に格納するシステム。
2. 　前記メインコントローラは、前記複数のモジュールにおいて使用されるシステムファイルの変更履歴が分かるような履歴情報を前記第２格納部に格納するように構成されている請求項１記載のシステム。
3. 　前記メインコントローラは、前記複数のモジュールを対象にアップロード又はダウンロードされたシステムファイルを前記第２格納部に格納すると同時に前記第１格納部に格納するように構成されている請求項２記載のシステム。
4. 　前記メインコントローラは、
   　前記複数のモジュールを対象とするシステムファイルがアップロードされ、アップロードされたシステムファイルが前記第１格納部に格納されていたものと異なるとき、または、前記複数のモジュールへシステムファイルをダウンロードし、ダウンロードしたシステムファイルが前記第１格納部に格納されていたものと異なるとき、アップロードされ又はダウンロードされたシステムファイルを前記第１格納部に格納すると共に、前記システムファイルの履歴情報を前記第２格納部に格納するよう構成されている請求項１記載のシステム。
5. 　前記メインコントローラは、前記複数のモジュールとの接続時に、接続されたモジュールを対象とする前記システムファイルのアップロード要求を行うよう構成されている請求項１記載のシステム。
6. 　前記メインコントローラは、前記複数のモジュールを対象にアップロード又はダウンロードされたシステムファイルを、前記第２格納部の、前記システムファイルに対してアップロード又はダウンロードを行った日付をフォルダ名としたフォルダに格納するよう構成されている請求項１記載のシステム。
7. 　前記メインコントローラは、前記フォルダ名に、前記第２格納部へ格納された順番に１ずつ増加させたシリアル番号と、前記システムファイルに対してアップロード又はダウンロードを行った時刻を付加する請求項６記載のシステム。
8. 　前記メインコントローラは、新たにモジュールが接続された場合、新たに接続されたモジュールを対象とするシステムファイルがアップロードされ、前記第１格納部に格納されているシステムファイルと新たに接続されたモジュールを対象とするシステムファイルを比較し相違がない場合には何もしない請求項１記載のシステム。
9. 　前記メインコントローラは、指定された日付に基づき前記第２格納部を検索し、前記フォルダの中で、指定された日付より前のモジュールに関する最新のシステムファイルを１つだけ残すよう構成されている請求項６記載のシステム。
10. 　前記メインコントローラは、指定された日付より前のモジュールに関する最新のシステムファイルより過去の前記モジュールに関するシステムファイルを消去するよう構成されている請求項９記載のシステム。
11. 　前記メインコントローラは、中身が空の前記フォルダを消去するよう構成されている請求項６記載のシステム。
12. 　前記第１格納部には、前記複数のモジュールを対象にダウンロードされたシステムファイルと同じものが格納されるよう構成されている請求項１記載のシステム。
13. 　前記第２格納部には、前記複数のモジュールに対してアップロード又はダウンロードされたシステムファイルの情報が時系列で格納される請求項１記載のシステム。
14. 　前記第２格納部には、前記複数のモジュールを対象にアップロード又はダウンロードを行った日時をフォルダ名としたフォルダが格納され、前記フォルダには、アップロード又はダウンロードされたシステムファイルと、アップロード又はダウンロードを行った対象のモジュールに関する情報が格納される請求項３記載のシステム。
15. 　複数のモジュールをそれぞれ制御する複数のサブコントローラと、
    　前記複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルを格納する第１格納部と、前記複数のモジュールに対するシステムファイルのアップロード又はダウンロードの履歴を履歴情報として格納する第２格納部とを備えた記憶部を有するメインコントローラと、を有する基板処理装置であって、
    　前記メインコントローラは、前記複数のサブコントローラとの間でシステムファイルを送受信した際に、送受信したシステムファイルと、前記第１格納部に格納されているシステムファイルとの比較結果に応じて、送受信したシステムファイルを前記第１格納部に格納すると共に、前記システムファイルの履歴情報を前記第２格納部に格納する基板処理装置。
16. 　複数のモジュールをそれぞれ制御する複数のサブコントローラと、
    　前記複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルを格納する第１格納部と、前記複数のモジュールに対するシステムファイルのアップロード又はダウンロードの履歴を履歴情報として格納する第２格納部とを備えた記憶部を有するメインコントローラとの間でシステムファイルを送受信した際、送受信したシステムファイルと、前記第１格納部に格納されているシステムファイルとの比較結果に応じて、送受信したシステムファイルを前記第１格納部に格納すると共に、前記システムファイルの履歴情報を前記第２格納部に格納する工程と、
    　前記システムファイルを用いてプロセスレシピを実行して基板を処理する工程と、を有する半導体装置の製造方法。
17. 　複数のモジュールをそれぞれ制御する複数のサブコントローラと、前記複数のモジュールに現在設定されているシステムファイルを格納する第１格納部と、前記複数のモジュールに対するシステムファイルのアップロード又はダウンロードの履歴を履歴情報として格納する第２格納部とを備えた記憶部を有するメインコントローラと、を備えた基板処理装置で実行されるプログラムであって、
    　前記メインコントローラと前記サブコントローラ間で前記システムファイルを送受信する手順では、
    　送受信したシステムファイルと、前記第１格納部に格納されているシステムファイルとの比較結果に応じて、送受信したシステムファイルを前記第１格納部に格納すると共に、前記システムファイルの履歴情報を前記第２格納部に格納する手順を前記メインコントローラにより前記基板処理装置に実行させるプログラム。

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