WO2020021654A1 - 表示装置 - Google Patents

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WO2020021654A1
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touch panel
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display device
sealing film
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雅貴 山中
屹 孫
昌彦 三輪
貴翁 斉藤
庸輔 神崎
誠二 金子
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シャープ株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a display device.
  • the light emitting element layer (organic EL layer) provided on the substrate is sealed with the thin film sealing layer to prevent the deterioration of the light emitting element layer.
  • the thin film sealing layer for example, an organic sealing film applied by an inkjet method is used.
  • a frame-shaped bank (dam) is surrounded so as to surround a display area. Wall), and the edge of the organic sealing film is defined by a bank.
  • an object of the present invention is to provide a display device in which a touch panel is installed on-cell, which can prevent a short circuit between adjacent touch panel wirings.
  • a display device is a display device including a display region and a frame region surrounding the display region, wherein the TFT layer, a light-emitting element layer formed above the TFT layer, A first inorganic sealing film, an organic sealing film, and a second inorganic sealing film, which are formed in a layer above the light emitting element layer, and are formed so as to surround the display region; A bank covered with a first inorganic sealing film and the second inorganic sealing film, a touch panel function layer formed above the sealing layer, and a bank formed above the sealing layer; And a plurality of touch panel wirings extended so as to intersect with each other in a plan view and connected to the touch panel functional layer, and wherein the second inorganic sealing film covers a top surface of the bank.
  • Two adjacent touch panels In the gap, a structure in which and a projecting portion that projects on the opposite side of the display region side or the display region from the bank covering portion.
  • FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of a method for manufacturing a display device.
  • 1A is a cross-sectional view illustrating a configuration example of a display device in the process of being formed
  • FIG. 2B is a cross-sectional view illustrating a configuration example of the display device.
  • the schematic structure in the step of (a) forming a sealing layer and the step of forming (b) touch panel wiring near the intersection where the touch panel wiring of the display device according to the comparative example crosses the first bank and the second bank is shown.
  • FIG. FIG. 3A is a sectional view taken along line AA
  • FIG. 3B is a sectional view taken along line BB.
  • FIG. 6A is a cross-sectional view along AA
  • FIG. 5B is a cross-sectional view along BB.
  • FIG. 6 is a cutaway view illustrating some examples of the three-dimensional shape of the bank protrusion illustrated in FIG. 5.
  • FIG. 6 is a plan view showing another arrangement example of the protrusions of the second inorganic sealing film shown in FIG. 5.
  • FIG. 10 is a plan view illustrating another arrangement example of the protrusions of the second inorganic sealing film illustrated in FIG. 9.
  • FIG. 10 is a plan view showing an arrangement example in which the arrangement of the outer protrusions of the second inorganic sealing film shown in FIG. 5 and the arrangement of the inner protrusions of the second inorganic seal film shown in FIG. 9 are combined.
  • FIG. 4 is a plan view showing a schematic configuration in a step of performing the operation.
  • FIG. 13 is a plan view illustrating another arrangement example of the inner protruding portion of the second inorganic sealing film illustrated in FIG. 12.
  • FIG. 4 is a plan view showing a schematic configuration in a step of performing the operation.
  • FIG. 15 is a plan view illustrating another example of the arrangement of the outer protrusions of the second inorganic sealing film illustrated in FIG. 14.
  • the same layer means being formed by the same process (film formation step), and “lower layer” is being formed by a process earlier than the layer to be compared. And “upper layer” means that it is formed in a process subsequent to the layer to be compared.
  • FIG. 1 is a flowchart illustrating an example of a method for manufacturing the display device 2 (display device).
  • FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating a configuration example during the formation of the display device 2
  • FIG. 2B is a cross-sectional view illustrating a configuration example of the display device 2.
  • the resin layer 12 is formed on a translucent support substrate 50 (for example, mother glass) (Step S1).
  • the inorganic barrier layer 3 is formed (Step S2).
  • the TFT layer 4 is formed (Step S3).
  • a top emission type light emitting element layer 5 is formed (Step S4).
  • the sealing layer 6 is formed (Step S5).
  • the touch panel functional layer 30 and the touch panel wiring 32 are formed (Step S6).
  • the upper film 9 is adhered on the sealing layer 6, the touch panel functional layer 30, and the touch panel wiring 32 via the adhesive layer 8 (Step S7).
  • Step S8 the support substrate 50 is separated from the resin layer 12 by laser light irradiation or the like (Step S8).
  • the lower surface film 10 is attached to the lower surface of the resin layer 12 via the adhesive layer 11 (Step S9).
  • the laminate 7 including the lower film 10, the resin layer 12, the inorganic barrier layer 3, the TFT layer 4, the light emitting element layer 5, and the sealing layer 6 is divided to obtain a plurality of pieces (Step S10).
  • the functional film 39 is attached to the obtained individual pieces (step S11).
  • an electronic circuit board for example, an IC chip and an FPC
  • Step S1 to S12 are performed by a display device manufacturing apparatus (including a film forming apparatus that performs each step of steps S1 to S6).
  • the resin layer 12 for example, polyimide or the like can be used.
  • the resin layer 12 may be replaced with a two-layer resin film (for example, a polyimide film) and an inorganic insulating film sandwiched between them.
  • the inorganic barrier layer 3 is a layer that prevents foreign substances such as water and oxygen from entering the TFT layer 4 and the light emitting element layer 5.
  • a silicon oxide film, a silicon nitride film, or an acid It can be composed of a silicon nitride film or a laminated film of these.
  • the TFT layer 4 includes a semiconductor film 15, an inorganic insulating film 16 (gate insulating film) above the semiconductor film 15, a gate electrode G and a gate wiring above the inorganic insulating film 16, a gate electrode G and a gate An inorganic insulating film 18 above the wiring, a wiring 19 above the inorganic insulating film 18, an inorganic insulating film 20 above the wiring 19, a source electrode S and a source wiring above the inorganic insulating film 20; , A source electrode S and a planarization film 21 above the source wiring.
  • the semiconductor film 15 is made of, for example, low-temperature polysilicon (LTPS) or an oxide semiconductor (for example, an In—Ga—Zn—O-based semiconductor), and a transistor (TFT) is formed to include the semiconductor film 15 and the gate electrode G. Is done.
  • the transistor is illustrated as having a top-gate structure, but may have a bottom-gate structure.
  • the gate electrode G, the gate wiring, the wiring 19, the source electrode S, and the source wiring are formed of, for example, a single-layer film or a stacked film of a metal containing at least one of aluminum, tungsten, molybdenum, tantalum, chromium, titanium, and copper. Is done.
  • the TFT layer 4 in FIG. 2 includes one semiconductor layer and three metal layers.
  • the inorganic insulating films 16, 18, and 20 can be composed of, for example, a silicon oxide (SiOx) film, a silicon nitride (SiNx) film, or a stacked film of these films formed by a CVD method.
  • the flattening film 21 can be made of a coatable organic material such as polyimide or acrylic.
  • the light emitting element layer 5 includes an anode 22 above the planarization film 21, an insulating cover film 23 c covering the edge of the anode 22, an EL (electroluminescence) layer 24 above the cover film 23 c, and an EL layer 24 and a cathode 25 above.
  • the cover film 23c is formed, for example, by applying an organic material such as polyimide or acrylic, and then patterning by photolithography.
  • a light emitting element ES for example, OLED: organic light emitting diode, QLED: quantum dot diode
  • a light emitting element ES including an island-shaped anode 22, an EL layer 24, and a cathode 25 is formed in the light emitting element layer 5, and the light emitting element ES Is formed in the TFT layer 4.
  • the EL layer 24 is formed by, for example, stacking a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in this order from the lower layer side.
  • the light emitting layer is formed in an island shape at the opening (for each sub-pixel) of the cover film 23c by a vapor deposition method or an inkjet method.
  • Other layers are formed in an island shape or a solid shape (common layer). Further, a configuration in which one or more of the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer are not formed is also possible.
  • an FMM fine metal mask
  • the FMM is a sheet having a large number of openings (for example, made of Invar material), and an organic material that has passed through one opening forms an island-shaped light-emitting layer (corresponding to one sub-pixel).
  • the light emitting layer of the QLED can form an island-shaped light emitting layer (corresponding to one sub-pixel), for example, by inkjet coating a solvent in which quantum dots are diffused.
  • the anode (anode) 22 is made of, for example, a laminate of ITO (Indium Tin Oxide) and Ag (silver) or an alloy containing Ag, and has light reflectivity.
  • the cathode (cathode) 25 can be made of a light-transmitting conductive material such as an MgAg alloy (extremely thin film), ITO, or IZO (Indium Zinc Oxide).
  • the light emitting element ES is an OLED
  • holes and electrons are recombined in the light emitting layer due to a driving current between the anode 22 and the cathode 25, and light is emitted in a process in which the generated excitons transition to the ground state.
  • the cathode 25 is translucent and the anode 22 is light-reflective, the light emitted from the EL layer 24 is directed upward, resulting in top emission.
  • the light emitting device ES is a QLED
  • holes and electrons are recombined in the light emitting layer due to the driving current between the anode 22 and the cathode 25, and the excitons generated by the recombination generate conduction band levels of the quantum dots.
  • Light (fluorescence) is emitted in the process of transitioning from to the valence band (valence band).
  • a light emitting element (such as an inorganic light emitting diode) other than the OLED and QLED may be formed in the light emitting element layer 5.
  • the sealing layer 6 is translucent, and covers the cathode 25, a first inorganic sealing film 26, an organic sealing film 27 above the first inorganic sealing film 26, and a layer above the organic sealing film 27. And the second inorganic sealing film 28.
  • the sealing layer 6 covering the light emitting element layer 5 prevents foreign substances such as water and oxygen from penetrating into the light emitting element layer 5.
  • Each of the first inorganic sealing film 26 and the second inorganic sealing film 28 is an inorganic insulating film, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or a laminate thereof formed by a CVD method. It can be composed of a membrane.
  • the organic sealing film 27 is a translucent organic film having a flattening effect, and can be made of an applicable organic material such as acrylic.
  • the organic sealing film 27 can be formed by applying a liquid organic material by, for example, ink jet, and requires a first bank 23b and a second bank 23a.
  • the first bank 23b and the second bank 23a are formed in the frame area NA so as to surround the display area DA, and are covered with the first inorganic sealing film 26 and the second inorganic sealing film 28, respectively.
  • the first bank 23b defines an end of the organic sealing film 27.
  • the first bank 23b is preferably formed so as to be higher than the flattening film 21 so that the organic material of the organic sealing film 27 can be blocked.
  • the second bank 23a is provided so as to surround the first bank 23b. It is preferable that the second bank 23a is also formed so as to be higher than the flattening film 21.
  • the first bank 23b and the second bank 23a are formed in the same layer as the cover film 23c, in the same layer as the planarization film 21, or in the same layer as the planarization film 21 and the cover film 23c. It may be formed by lamination with the same layer.
  • the upper surface of the first bank 23b is covered with a first covering portion 26b of the first inorganic sealing film 26 and a first covering portion 28b of the second inorganic sealing film 28.
  • the upper surface of the second bank 23a is covered with the second covering portion 26a of the first inorganic sealing film 26 and the second covering portion 28a of the second inorganic sealing film 28.
  • the lower surface film 10 is, for example, a PET film for realizing a display device having excellent flexibility by peeling off the support substrate and attaching the lower surface film 10 to the lower surface of the resin layer 12.
  • the functional film 39 has, for example, at least one of an optical compensation function and a protection function.
  • the touch panel functional layer 30 may be made of a non-light-transmitting conductive material, or may be made of a light-transmitting conductive material such as an MgAg alloy (extremely thin film), ITO, or IZO (Indium Zinc Oxide).
  • the touch panel functional layer can be configured as a multilayer including a plurality of conductive layers and an insulating layer interposed therebetween. One end of each touch panel wiring 32 is connected to the touch panel function layer 30.
  • the touch panel wiring 32 is, for example, a single-layer wiring of one metal selected from the group consisting of copper, aluminum, molybdenum, titanium, tantalum, and tungsten, and is made of copper, aluminum, molybdenum, titanium, tantalum, and tungsten. It may be a laminated wiring in which two or more metals selected from the group are laminated.
  • the touch panel wiring 32 is preferably any one of titanium / aluminum / titanium, a laminated wiring of titanium / aluminum and aluminum / titanium, and a single-layer wiring of aluminum.
  • the touch panel wiring 32 may be made of, for example, a light-transmitting conductive material such as ITO and IZO (Indium Zinc Oxide).
  • the touch panel wiring 32 is a layer different from the touch panel functional layer 30 even if it is formed in the same layer as the wiring or the electrode used for the touch panel functional layer 30, and an inorganic insulating film is interposed between the touch panel functional layer 30 and the wiring. It may be formed in a layer. When formed in a different layer, specifically, the touch panel wiring 32 is formed further above the inorganic insulating layer above the touch panel functional layer 30, or the inorganic wiring below the touch panel functional layer 30. It is formed further below the insulating layer. The touch panel wiring 32 extends so as to intersect the first bank 23b and the second bank 23a in plan view. For this reason, the touch panel wiring 32 is extended on the second inorganic sealing film 28 so as to intersect the first coating portion 28b and the second coating portion 28a of the second inorganic sealing film 28.
  • the terminal portion 43 is provided in the frame region NA, and the touch panel wiring 32 is preferably connected to the leading wiring formed in the same layer as any of the wirings used for the TFT layer 4 at the terminal portion 43. It is preferable that the lead wiring includes a terminal 41 provided in the terminal portion 43, and the terminal 41 is connected to the touch panel wiring 32 by being directly covered with the touch panel wiring 32. It is preferable that the terminal portion 43 is further located outside the region where the sealing layer 6 is formed in plan view.
  • FIG. 3 shows (a) a step of forming a sealing layer and (b) formation of a touch panel wiring near an intersection where the touch panel wiring 332 of the display device according to the comparative example crosses the first bank 323b and the second bank 323a.
  • FIG. 4 is a plan view showing a schematic configuration in a step of performing the operation.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3 and a cross-sectional view taken along line BB of FIG.
  • reference numerals 303, 312, 316, 318,... In FIGS. 3 and 4 correspond to reference numerals 3, 12, 16, 18,.
  • FIG. 3 shows the outlines of the covering portions 326b and 326a of the first inorganic sealing film and the covering portions 328b and 328a of the second inorganic sealing film. Is indistinguishable. For convenience of illustration, the thicknesses of the first inorganic sealing film 326 and the second inorganic sealing film 328 are ignored in FIG.
  • the first bank 323b and the second bank 323a of the comparative example do not have a protruding portion and are formed to have a substantially constant cross-sectional shape. Therefore, neither the first coating portion 326b and the second coating portion 326a of the first inorganic sealing film 326 nor the first coating portion 328b and the second coating portion 328a of the second inorganic sealing film 328 have a protruding portion. Are formed so that the cross-sectional shape is substantially constant.
  • the touch panel wiring 332 is usually formed by forming a conductive material film so as to cover the entire surface of the sealing layer 306 and etching the conductive material film. With this forming method, residues of the conductive material are likely to be generated around the touch panel wiring 332 and in the concave portion of the sealing layer 306. The residue is particularly likely to be generated in the gap between the touch panel wirings 332 in the boundary portions 398, 396, 394, and 392.
  • the boundaries 398 and 396 are boundaries between a portion where the second inorganic sealing film 328 is raised due to the first bank 323b and other portions.
  • the boundaries 394 and 392 are boundaries between a portion where the second inorganic sealing film 328 is raised due to the second bank 323a and other portions.
  • a problem of the display device according to the comparative example is that the residue electrically connects adjacent two of the plurality of touch panel wirings 332 to short-circuit the two touch panel wirings 332.
  • a flattening layer (not shown) may be provided on the sealing layer 306 and the touch panel wiring 332 may be provided on the flattening layer. Directly hinders
  • FIG. 5 shows (a) steps S5 and (b) of forming the sealing layer 6 near the intersection where the touch panel wiring 32 of the display device according to the present embodiment intersects the first bank 23b and the second bank 23a.
  • FIG. 9 is a plan view showing a schematic configuration in step S6 of forming a wiring 32.
  • FIGS. 6A and 6B are a sectional view taken along line AA and a sectional view taken along line BB of FIG. For the sake of illustration, in FIG.
  • FIG. 5A and subsequent similar plan views the inclination of the side surfaces of the first bank 23b and the second bank 23a and the bank protrusions 68, 66, 64, and 62 is ignored.
  • FIG. 5A and subsequent similar plan views the contours of the coating portions 26b and 26a of the first inorganic sealing film 26 and the coating portions 28b and 28a of the second inorganic sealing film 28 are shown. , But this is an emphasis and is not really recognizable.
  • FIG. 5B and similar plan views thereafter the outlines of the covering portions 28b and 28a of the second inorganic sealing film 28 are shown in FIG. 5B and similar plan views thereafter, but this is emphasized, and actually it is difficult to distinguish them. It does not stick.
  • the thicknesses of the first inorganic sealing film 26 and the second inorganic sealing film 28 are ignored in FIG.
  • the second inorganic sealing film 28 includes a first covering portion 28b (bank covering portion) that covers the upper surface of the first bank 23b, and further includes an adjacent portion.
  • a first inner protruding portion 88 protruding from the first covering portion 28b toward the display region side and a first outer protruding portion protruding from the first covering portion 28b on the opposite side of the display region.
  • the second inorganic sealing film 28 includes a second covering portion 28a (bank covering portion) covering the upper surface of the second bank 23a, and further includes a second covering portion 28a in a gap between two adjacent touch panel wires 32.
  • a second inner protruding portion 84 protrudes from the covering portion 28a to the display region side, and a second outer protruding portion 82 protrudes from the first covering portion 28b to the opposite side of the display region.
  • the first inner protrusion 88, the first outer protrusion 86, the second inner protrusion 84, and the second outer protrusion 82 are collectively referred to as protrusions 88, 86, 84, and 82.
  • the second inorganic sealing film 28 may include a protruding portion only for one of the first covering portion 28b and the second covering portion 28a, and / or the display region It is also possible to provide only one of the inner protrusion protruding to the side and the outer protrusion protruding to the opposite side of the display area.
  • the second inorganic sealing film 28 only the first inner protrusion 88 and the second outer protrusion 82 may be provided.
  • the shape of the projections 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 is not limited to a shape that looks substantially rectangular in plan view, but may be any other shape such as a substantially triangular shape or a substantially semicircular shape in plan view. The shape may be visible.
  • the distance that the projecting portions 88 and 86 of the second inorganic sealing film 28 project from the first bank 23b may be larger or smaller than the width of the first bank 23b.
  • the distance that the protruding portions 84 and 82 of the second inorganic sealing film 28 project from the second bank 23a may be larger or smaller than the width of the second bank 23a.
  • the above-mentioned protrusions 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 respectively overlap the protrusions formed on the first inorganic sealing film 26.
  • the first inorganic sealing film 26 includes a first covering portion 26b (bank covering portion) covering the upper surface of the first bank 23b, and further includes a first covering portion 26b extending from the first covering portion 26b to the display area side.
  • the display device includes an inner protruding portion 78 and a first outer protruding portion 76 protruding from the first covering portion 26b to the opposite side of the display area.
  • the first inorganic sealing film 26 includes a second covering portion 26a (bank covering portion) covering the upper surface of the second bank 23a, and further includes a first covering portion 26a in a gap between two adjacent touch panel wires 32.
  • a first inner protruding portion 78 protrudes from the covering portion 26b toward the display region, and a first outer protruding portion 76 protrudes from the first covering portion 26b to the opposite side of the display region.
  • the first inner protrusion 78, the first outer protrusion 76, the second inner protrusion 74, and the second outer protrusion 72 are collectively referred to as protrusions 78, 76, 74, 72.
  • the protrusions 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 and the protrusions 78, 76, 74, 72 of the first inorganic sealing film 26 are the same as the first bank 23b and the second bank 23a. It is preferable to overlap with the bank protrusions formed in the layer.
  • the first inner bank protrusion 68 is formed on the same layer as the first bank 23b so as to protrude from the first bank 23b to the display area side in a gap between two adjacent touch panel wires 32.
  • the first outer bank protrusion 66 is formed on the same layer as the first bank 23b so as to project from the first bank 23b to the opposite side of the display area in a gap between two adjacent touch panel wires 32.
  • the second inner bank protrusion 64 is formed on the same layer as the second bank 23a so as to project from the second bank 23a to the display area side in a gap between two adjacent touch panel wirings 32.
  • the second outer bank protrusion 62 is formed on the same layer as the second bank 23a so as to project from the second bank 23a to the opposite side of the display area in a gap between two adjacent touch panel wires 32.
  • the first inner bank protrusion 68, the first outer bank protrusion 66, the second inner bank protrusion 64, and the second outer bank protrusion 62 are collectively referred to as bank protrusions 68, 66, 64, and 62. .
  • the bank protrusions 68, 66, 64, 62 are formed in the same layer as the first bank 23b and the second bank 23a, and the first inorganic sealing film is formed on the bank protrusions 68, 66, 64, 62.
  • the configuration in which the protrusions 78, 76, 74, 72 of the 26 and the protrusions 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 are overlapped is achieved without increasing the number of stacked layers. This is preferable because the projections 88, 86, 84, and 82 can be formed.
  • the bank protrusions 68, 66, 64, 62 may be formed below or above the first bank 23b and the second bank 23a.
  • the projections 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 may not be supported by the projections 78, 76, 74, 72 of the first inorganic sealing film 26.
  • the protrusions 78, 76, 74, 72 of the first inorganic sealing film 26 need not be supported by the bank protrusions 68, 66, 64, 62.
  • the protruding portions 88, 86, 84, and 82 of the second inorganic sealing film 28 form a path along the boundaries 98, 96, 94, and 92 in the gap between the two adjacent touch panel wires 32, between the touch panel wires 32. Any configuration and support may be used as long as the length can be longer than the linear distance.
  • FIG. 7 is a cutaway view showing some example portions of the three-dimensional shape of the bank protrusions 68, 66, 64, and 62 shown in FIG.
  • the bank protrusions 112 and 114 formed on the bank 101 are projected so that the upper surfaces of the bank protrusions 112 and 114 project horizontally from the upper surface of the bank 101. I have.
  • the bank protrusions 116 and 118 formed on the bank 102 are formed such that the upper surfaces of the bank protrusions 116 and 118 protrude downward from the upper surface of the bank 102 in a sloped manner. It is overhanging.
  • Each of the bank protrusions 68, 66, 64, and 62 may have the same three-dimensional shape as any of the bank protrusions 112, 114, 116, and 118 shown in FIG. , 114 and the bank protrusions 116, 118, or a three-dimensional shape intermediate between the bank protrusions 112, 114 and the bank protrusions 116, 118, or any other three-dimensional shape.
  • the bank protrusions 68, 66, 64, 62 may have different shapes from each other.
  • the three-dimensional shape of the bank protrusions 68, 66, 64, and 62 is not limited to a shape that looks substantially rectangular in plan view, and may be a shape that can be seen in plan view such as, for example, a substantially triangular or substantially semicircular shape. You may.
  • the first inner protruding portion 88 and the first outer protruding portion 86 of the second inorganic sealing film 28 are arranged symmetrically with respect to the first bank 23b in plan view.
  • the second inner protruding portion 84 and the second outer protruding portion 82 are arranged symmetrically with respect to the second bank 23a in plan view.
  • the range of the present embodiment is not limited to this, and as shown in FIG. 8, the first inner protrusion 88 and the first outer protrusion 86 may be arranged asymmetrically with respect to the first bank 23b in plan view.
  • the second inner protrusion 84 and the second outer protrusion 82 may be arranged asymmetrically with respect to the second bank 23a in plan view.
  • FIG. 5B and FIG. 8 are arranged so as not to intersect with the touch panel wiring 32. For this reason, in order to secure a clearance between the touch panel wiring 32 and the protrusions 88, 86, 84, 82, a symmetric arrangement as shown in FIG. 5B is preferable to an asymmetric arrangement as shown in FIG. .
  • FIG. 8 is a plan view showing a modification of the arrangement of the protrusions 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 according to the present embodiment.
  • the first inner projecting portion 88 of the second inorganic sealing film 28 is provided between the intersections where the two adjacent touch panel wires 32 intersect with the first bank 23b. And the first outer protrusion 86 is interposed. Similarly, a second inner projecting portion 84 and a second outer projecting portion 82 of the second inorganic sealing film 28 are interposed between intersections where each of two adjacent touch panel wirings 32 intersects the second bank 23a. I do. Therefore, the distance between the touch panel wirings 32 along the boundaries 98, 96, 94, 92 is longer than the linear distance between the touch panel wirings 32.
  • the boundary portions 98 and 96 are formed by a portion where the second inorganic sealing film 28 is raised due to the first bank 23b, the first inner bank protrusion 68, and the first outer bank protrusion 66, and other portions. It is the boundary of.
  • the boundary portions 94 and 92 are formed by a portion where the second inorganic sealing film 28 is raised due to the second bank 23a, the second inner bank protrusion 64, and the second outer bank protrusion 62, and other portions. It is the boundary of. The longer the journey, the higher the probability that the residue will be interrupted. Therefore, in the configuration according to the present embodiment illustrated in FIG. 5, the probability of the two adjacent touch panel wires 32 short-circuiting through the residue is lower than the configuration according to the embodiment illustrated in FIG. 3.
  • the display device 2 in the configuration in which the touch panel wiring 32 extends directly on the sealing layer 6, it is possible to prevent a short circuit between the adjacent touch panel wirings 32. That is, with the on-cell structure in which the touch panel function layer 30 is provided directly on the sealing layer 6, the display device 2 can be made thinner and, at the same time, short-circuiting between adjacent touch panel wirings can be prevented.
  • FIG. 9 shows (a) the step S5 of forming the sealing layer 6 and (b) the touch panel in the vicinity of the intersection where the touch panel wiring 32 of the display device according to the present embodiment intersects the first bank 23b and the second bank 23a.
  • FIG. 9 is a plan view showing a schematic configuration in step S6 of forming a wiring 32.
  • the second inorganic sealing film 28 includes a first covering portion 28b, a first inner projecting portion 88, and a first outer projecting portion 86. .
  • the second inorganic sealing film 28 includes a second covering portion 28a, a second inner projecting portion 84, and a second outer projecting portion 82.
  • the first inner protrusion 88 and the first outer protrusion 86 of the second inorganic sealing film 28 are arranged asymmetrically with respect to the first bank 23b in plan view.
  • the second inner protrusion 84 and the second outer protrusion 82 are arranged asymmetrically with respect to the second bank 23a in plan view.
  • the range of the present embodiment is not limited to this, and as shown in FIG. 10, the first inner protruding portion 88 and the first outer protruding portion 86 may be arranged symmetrically with respect to the first bank 23b in plan view.
  • the second inner protrusion 84 and the second outer protrusion 82 may be arranged symmetrically with respect to the second bank 23a in plan view.
  • the protrusions 88, 86, 84, 82 of the second inorganic sealing film 28 according to the present embodiment intersect only one touch panel wiring 32. Be placed.
  • the scope of the present invention is not limited to this.
  • the above-described first embodiment and the second embodiment for example, as shown in FIG. May be arranged so as not to intersect with touch panel wiring 32, and the other may be arranged to intersect only one touch panel wiring.
  • One of the second inner protruding portion 84 and the second outer protruding portion 82 may be arranged so as not to intersect with the touch panel wiring 32 and the other may be arranged so as to intersect only one touch panel wiring.
  • FIG. 11 shows the arrangement of the outer projections 86 and 82 of the second inorganic sealing film 28 shown in FIG. 5 and the arrangement of the inner projections 88 and 84 of the second inorganic sealing film 28 shown in FIG. It is a top view which shows the example of arrangement
  • FIG. 12 shows (a) steps S5 of forming the sealing layer 6 and (b) the touch panel near the intersection where the touch panel wiring 32 of the display device according to the present embodiment crosses the first bank 23b and the second bank 23a.
  • FIG. 9 is a plan view showing a schematic configuration in step S6 of forming a wiring 32.
  • the second inorganic sealing film 28 includes the first covering portion 28b and the first inner projecting portion 88, but does not include the first outer projecting portion 86. .
  • the second inorganic sealing film 28 includes the second covering portion 28a and the second inner protrusion 84, but does not include the second outer protrusion 82.
  • the first inner protrusion 88 and the second inner protrusion 84 of the second inorganic sealing film 28 according to the present embodiment are arranged so as not to intersect with the touch panel wiring 32.
  • the range of the present embodiment is not limited to this, and as shown in FIG. 13, the first inner protrusion 88 and the second inner protrusion 84 may be arranged so as to intersect only one touch panel wiring 32.
  • one of the first inner protruding portion 88 and the second inner protruding portion 84 is arranged so as not to intersect with the touch panel wiring 32, and the other intersects only one touch panel wiring 32. It may be arranged.
  • FIG. 14 shows (a) steps S5 of forming the sealing layer 6 and (b) the touch panel near the intersection where the touch panel wiring 32 of the display device according to the present embodiment crosses the first bank 23b and the second bank 23a.
  • FIG. 9 is a plan view showing a schematic configuration in step S6 of forming a wiring 32.
  • the second inorganic sealing film 28 includes the first covering portion 28b and the first outer protrusion 86, but does not include the first inner protrusion 88. . Similarly, the second inorganic sealing film 28 includes the second covering portion 28a and the second outer protrusion 82, but does not include the second inner protrusion 84.
  • the first outer protrusion 86 and the second outer protrusion 82 of the second inorganic sealing film 28 according to the present embodiment are arranged so as not to intersect with the touch panel wiring 32.
  • the range of the present embodiment is not limited to this, and the first outer protrusion 86 and the second outer protrusion 82 may be arranged so as to intersect only one touch panel wiring 32 as shown in FIG.
  • one of the first inner protruding portion 88 and the second inner protruding portion 84 is arranged so as not to intersect with the touch panel wiring 32, and the other intersects only one touch panel wiring 32. It may be arranged.
  • the display device 2 can be made thinner, as in the display device 2 according to the third embodiment.
  • a short circuit between adjacent touch panel wirings can be prevented.
  • the display device can be used as a flexible display.
  • This flexible display is not particularly limited as long as it has flexibility and a display panel provided with a bendable display element.
  • the types of the light emitting elements ES there are a display element whose luminance and transmittance are controlled by a current and a display element whose luminance and transmittance are controlled by a voltage.
  • an EL display QLED QLED (Quantum) such as an organic EL (Electro Luminescence) display having an OLED (Organic Light Emitting Diode) or an inorganic EL display having an inorganic light emitting diode.
  • QLED display provided with a dot light emitting diode (quantum dot light emitting diode).
  • a display element for voltage control there is a liquid crystal display element or the like.
  • the display device is a display device having a display region and a frame region surrounding the display region, wherein the TFT device includes: a TFT layer; a light emitting element layer formed above the TFT layer; A first inorganic sealing film, an organic sealing film, and a second inorganic sealing film, which are formed in a layer above the light emitting element layer, and are formed so as to surround the display region; A bank covered with a first inorganic sealing film and the second inorganic sealing film, a touch panel function layer formed above the sealing layer, and a bank formed above the sealing layer; And a plurality of touch panel wirings extended so as to intersect with each other in a plan view and connected to the touch panel functional layer, and wherein the second inorganic sealing film covers a top surface of the bank.
  • Two adjacent touch panel wiring In the gap, a structure in which and a projecting portion that projects on the opposite side of the display region side or the display region from the bank covering portion.
  • the display device according to an aspect 2 of the present invention is the display device according to the aspect 1, wherein the first inorganic sealing film is formed with a projection on which the projection of the second inorganic sealing film overlaps. It may be.
  • the first inorganic sealing film may be configured such that the first inorganic sealing film is provided in a gap between a bank covering portion covering an upper surface of the bank and two adjacent touch panel wirings.
  • the first inorganic sealing film may have a configuration in which the first inorganic sealing film protrudes from the bank covering portion to the display region side or the opposite side to the display region.
  • the display device in the second aspect, further includes a bank protrusion formed in the same layer as the bank, wherein the protrusion of the first inorganic sealing film and the second inorganic sealing film are provided.
  • the protrusion of the stop film may be configured to overlap the bank protrusion.
  • the display device is the display device according to the fourth aspect, wherein the bank protrusion extends from the bank to the display area side or the opposite side to the display area in a gap between two adjacent touch panel wirings. It is good also as a structure formed so that it may come out.
  • the number of the banks is plural, and the plurality of banks include a first bank that defines an end of the organic sealing film, A second bank provided so as to surround one bank, wherein in each of the first bank and the second bank, the second inorganic sealing film includes the bank covering portion and the projecting portion.
  • a configuration may be provided.
  • the display device according to aspect 7 of the present invention is the display device according to aspect 1, wherein the plurality of protrusions of the second inorganic sealing film are plural, and the plurality of protrusions of the second inorganic sealing film are A configuration including an inner protruding portion protruding toward the display area and an outer protruding portion protruding on the opposite side of the display area may be adopted.
  • the inner protruding portion and the outer protruding portion may be arranged symmetrically with respect to the bank in plan view.
  • the display device may be configured such that, in the seventh aspect, the inner protruding portion and the outer protruding portion are arranged asymmetrically with respect to the bank in plan view.
  • the display device according to aspect 10 of the present invention may be configured such that, in the above aspect 7, at least one of the inner protruding portion and the outer protruding portion is arranged so as not to intersect with the touch panel wiring.
  • a display device is the display device according to the seventh aspect, wherein at least one of the inner protruding portion and the outer protruding portion is arranged so as to intersect only one touch panel wiring. Is also good.
  • the display device according to aspect 12 of the present invention may be configured such that, in the above aspect 1, the projecting portion of the second inorganic sealing film protrudes toward the display region.
  • the display device according to aspect 13 of the present invention may be configured such that, in the above aspect 1, the projecting portion of the second inorganic sealing film projects on the opposite side of the display region.
  • the projecting portion may be arranged so as not to intersect with the touch panel wiring.
  • the protruding portion may be arranged so as to intersect only one touch panel wiring.
  • the touch panel wiring is formed in the same layer as a wiring or an electrode used for the touch panel functional layer, or different from the touch panel functional layer.
  • a layer may be formed in a layer in which an inorganic insulating film is interposed between the layer and the touch panel functional layer.
  • the display device according to aspect 17 of the present invention is the display device according to any one of aspects 1 to 16, wherein the touch panel wiring is one metal selected from the group consisting of copper, aluminum, molybdenum, titanium, tantalum, and tungsten. Or a stacked wiring in which two or more metals selected from the above group are stacked.
  • the display device according to an aspect 18 of the present invention, according to any one of the aspects 1 to 17, further includes a terminal portion provided in the frame region, wherein the touch panel wiring is a wiring used for the TFT layer.
  • a configuration may be adopted in which the terminal portion is connected to a routing wiring formed in the same layer as the above.
  • the display device may be configured such that in the above aspect 18, the routing wiring includes a terminal provided in the terminal portion, and the terminal is directly covered by the touch panel wiring. Good.
  • the display device according to aspect 20 of the present invention may be configured so that, in the aspect 18, the terminal portion is located outside a region where the sealing layer is formed in a plan view.

Abstract

隣接する2本のタッチパネル配線(32)の間隙において、第2無機封止膜が備える突出部(88,86,84,82)は各々、第1バンクの上面を被覆する第1被覆部(28b)から表示領域側または表示領域の反対側に張り出しているか、あるいは、第2バンクの上面を被覆する第2被覆部(28a)から表示領域側または表示領域の反対側に張り出している。

Description

表示装置
 本発明は、表示装置に関する。
 近年、液晶表示装置に代わる表示装置として、有機EL(electroluminescence)素子を用いた自発光型の有機EL表示装置が注目されている。このような有機EL表示装置では、タッチパネルを備えたものが提案されている(例えば、下記特許文献1)。すなわち、従来の有機EL表示装置には、表示領域上にタッチパネル本体(タッチパネル機能層)を設けるとともに、タッチパネル本体に接続されたタッチパネル配線を表示領域から端子部に引き回して、端子部を介して検出回路に接続することにより、ユーザーによるタッチパネル操作を検出するようになっている。
特開2006-4907号公報
 ところで、上記のような従来の有機EL表示装置では、薄膜封止層により、基板上に設けられた発光素子層(有機EL層)を封止することで当該発光素子層の劣化を防止している。また、上記薄膜封止層には、例えば、インクジェット方式で塗布される有機封止膜が用いられており、従来の有機EL表示装置では、表示領域の囲むように、枠状のバンク(堰き止め壁)を設けて、有機封止膜の端部をバンクにて規定していた。
 ところが、上記のような従来の有機EL表示装置では、薄膜封止層上にタッチパネルを設けた場合、つまりタッチパネルをオンセルで設置した場合、タッチパネル配線がバンクと交差して、この交差部間において、隣接するタッチパネル配線が短絡するという問題を生じることがあった。
 上記の課題に鑑み、本発明は、隣接するタッチパネル配線が短絡するのを防止することができる、タッチパネルがオンセルで設置された表示装置を提供することを目的とする。
 本発明の一態様に係る表示装置は、表示領域と前記表示領域を囲む額縁領域とを有する表示装置であって、TFT層と、前記TFT層よりも上層に形成された発光素子層と、前記発光素子層よりも上層に形成され、第1無機封止膜、有機封止膜および第2無機封止膜がこの順に積層された封止層と、前記表示領域を囲むように形成され、前記第1無機封止膜および前記第2無機封止膜によって被覆されたバンクと、前記封止層よりも上層に形成されたタッチパネル機能層と、前記封止層よりも上層に形成され、前記バンクと平面視で交差するように延設され、前記タッチパネル機能層に接続された複数本のタッチパネル配線と、を含み、前記第2無機封止膜は、前記バンクの上面を被覆するバンク被覆部と、隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記バンク被覆部から前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出した突出部と、を備える構成である。
 本発明の一態様によれば、隣接するタッチパネル配線が短絡するのを防止することができる。
表示装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。 (a)は、表示装置の形成途中の構成例を示す断面図であり、(b)は、表示装置の構成例を示す断面図である。 比較例に係る表示デバイスのタッチパネル配線が第1バンクおよび第2バンクと交差する交差部近傍の、(a)封止層を形成するステップおよび(b)タッチパネル配線を形成するステップにおける概略構成を示すための平面図である。 図3の(a)A-A断面図および(b)B-B断面図である。 本発明の一実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線が第1バンクおよび第2バンクと交差する交差部近傍の、(a)封止層を形成するステップおよび(b)タッチパネル配線を形成するステップにおける概略構成を示すための平面図である。 図5の(a)A-A断面図および(b)B-B断面図である。 図5に示したバンク突出体の立体形状の幾つかの例を示す切り取り図である。 図5に示した第2無機封止膜の突出部の別の配置例を示す平面図である。 本発明の別の一実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線が第1バンクおよび第2バンクと交差する交差部近傍の、(a)封止層を形成するステップおよび(b)タッチパネル配線を形成するステップにおける概略構成を示すための平面図である。 図9に示した第2無機封止膜の突出部の別の配置例を示す平面図である。 図5に示した第2無機封止膜の外側突出部の配置と、図9に示した第2無機封止膜の内側突出部の配置とを組み合わせた配置例を示す平面図である。 本発明のさらに別の一実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線が第1バンクおよび第2バンクと交差する交差部近傍の、(a)封止層を形成するステップおよび(b)タッチパネル配線を形成するステップにおける概略構成を示すための平面図である。 図12に示した第2無機封止膜の内側突出部の別の配置例を示す平面図である。 本発明のさらに別の一実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線が第1バンクおよび第2バンクと交差する交差部近傍の、(a)封止層を形成するステップおよび(b)タッチパネル配線を形成するステップにおける概略構成を示すための平面図である。 図14に示した第2無機封止膜の外側突出部の別の配置例を示す平面図である。
 以下においては、「同層」とは同一のプロセス(成膜工程)にて形成されていることを意味し、「下層」とは、比較対象の層よりも先のプロセスで形成されていることを意味し、「上層」とは比較対象の層よりも後のプロセスで形成されていることを意味する。
 (表示装置)
 図1は表示デバイス2(表示装置)の製造方法の一例を示すフローチャートである。図2の(a)は、表示デバイス2の形成途中の構成例を示す断面図であり、図2の(b)は、表示デバイス2の構成例を示す断面図である。
 フレキシブルな表示デバイスを製造する場合、図1および図2に示すように、まず、透光性の支持基板50(例えば、マザーガラス)上に樹脂層12を形成する(ステップS1)。次いで、無機バリア層3を形成する(ステップS2)。次いで、TFT層4を形成する(ステップS3)。次いで、トップエミッション型の発光素子層5を形成する(ステップS4)。次いで、封止層6を形成する(ステップS5)。次いで、タッチパネル機能層30およびタッチパネル配線32を形成する(ステップS6)。次いで、封止層6およびタッチパネル機能層30およびタッチパネル配線32上に、接着層8を介して上面フィルム9を貼り付ける(ステップS7)。
 次いで、レーザ光の照射等によって支持基板50を樹脂層12から剥離する(ステップS8)。次いで、樹脂層12の下面に接着層11を介して下面フィルム10を貼り付ける(ステップS9)。次いで、下面フィルム10、樹脂層12、無機バリア層3、TFT層4、発光素子層5、封止層6を含む積層体7を分断し、複数の個片を得る(ステップS10)。次いで、得られた個片に機能フィルム39を貼り付ける(ステップS11)。次いで、複数のサブ画素が形成された表示領域DAよりも外側の額縁領域(非表示領域)NAの一部に電子回路基板(例えば、ICチップおよびFPC)をマウントする(ステップS12)。なお、ステップS1~S12は、表示デバイス製造装置(ステップS1~S6の各工程を行う成膜装置を含む)が行う。
 樹脂層12の材料としては、例えばポリイミド等が挙げられる。樹脂層12の部分を、二層の樹脂膜(例えば、ポリイミド膜)およびこれらに挟まれた無機絶縁膜で置き換えることもできる。
 無機バリア層3は、水、酸素等の異物がTFT層4および発光素子層5に侵入することを防ぐ層であり、例えば、CVD法により形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。
 TFT層4は、半導体膜15と、半導体膜15よりも上層の無機絶縁膜16(ゲート絶縁膜)と、無機絶縁膜16よりも上層の、ゲート電極Gおよびゲート配線と、ゲート電極Gおよびゲート配線よりも上層の無機絶縁膜18と、無機絶縁膜18よりも上層の配線19と、配線19よりも上層の無機絶縁膜20と、無機絶縁膜20よりも上層のソース電極Sおよびソース配線と、ソース電極Sおよびソース配線よりも上層の平坦化膜21とを含む。
 半導体膜15は、例えば低温ポリシリコン(LTPS)あるいは酸化物半導体(例えばIn-Ga-Zn-O系の半導体)で構成され、半導体膜15およびゲート電極Gを含むようにトランジスタ(TFT)が構成される。図2では、トランジスタがトップゲート構造で示されているが、ボトムゲート構造でもよい。
 ゲート電極G、ゲート配線、配線19、ソース電極S、およびソース配線は、例えば、アルミニウム、タングステン、モリブデン、タンタル、クロム、チタン、銅の少なくとも1つを含む金属の単層膜あるいは積層膜によって構成される。図2のTFT層4には、一層の半導体層および三層のメタル層が含まれる。
 無機絶縁膜16・18・20は、例えば、CVD法によって形成された、酸化シリコン(SiOx)膜あるいは窒化シリコン(SiNx)膜またはこれらの積層膜によって構成することができる。平坦化膜21は、例えば、ポリイミド、アクリル等の塗布可能な有機材料によって構成することができる。
 発光素子層5は、平坦化膜21よりも上層のアノード22と、アノード22のエッジを覆う絶縁性のカバー膜23cと、カバー膜23cよりも上層のEL(エレクトロルミネッセンス)層24と、EL層24よりも上層のカソード25とを含む。カバー膜23cは、例えば、ポリイミド、アクリル等の有機材料を塗布した後にフォトリソグラフィよってパターニングすることで形成される。
 サブ画素ごとに、島状のアノード22、EL層24、およびカソード25を含む発光素子ES(例えば、OLED:有機発光ダイオード,QLED:量子ドットダイオード)が発光素子層5に形成され、発光素子ESを制御するサブ画素回路がTFT層4に形成される。
 EL層24は、例えば、下層側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層を積層することで構成される。発光層は、蒸着法あるいはインクジェット法によって、カバー膜23cの開口(サブ画素ごと)に、島状に形成される。他の層は、島状あるいはベタ状(共通層)に形成する。また、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のうち1以上の層を形成しない構成も可能である。
 OLEDの発光層を蒸着形成する場合は、FMM(ファインメタルマスク)を用いる。FMMは多数の開口を有するシート(例えば、インバー材製)であり、1つの開口を通過した有機物質によって島状の発光層(1つのサブ画素に対応)が形成される。
 QLEDの発光層は、例えば、量子ドットを拡散させた溶媒をインクジェット塗布することで、島状の発光層(1つのサブ画素に対応)を形成することができる。
 アノード(陽極)22は、例えばITO(Indium Tin Oxide)とAg(銀)あるいはAgを含む合金との積層によって構成され、光反射性を有する。カソード(陰極)25は、MgAg合金(極薄膜)、ITO、IZO(Indium zinc Oxide)等の透光性の導電材で構成することができる。
 発光素子ESがOLEDである場合、アノード22およびカソード25間の駆動電流によって正孔と電子が発光層内で再結合し、これによって生じたエキシトンが基底状態に遷移する過程で光が放出される。カソード25が透光性であり、アノード22が光反射性であるため、EL層24から放出された光は上方に向かい、トップエミッションとなる。
 発光素子ESがQLEDである場合、アノード22およびカソード25間の駆動電流によって正孔と電子が発光層内で再結合し、これによって生じたエキシトンが、量子ドットの伝導帯準位(conduction band)から価電子帯準位(valence band)に遷移する過程で光(蛍光)が放出される。
 発光素子層5には、前記のOLED、QLED以外の発光素子(無機発光ダイオード等)を形成してもよい。
 封止層6は透光性であり、カソード25を覆う第1無機封止膜26と、第1無機封止膜26よりも上層の有機封止膜27と、有機封止膜27よりも上層の第2無機封止膜28とを含む。発光素子層5を覆う封止層6は、水、酸素等の異物の発光素子層5への浸透を防いでいる。
 第1無機封止膜26および第2無機封止膜28はそれぞれ無機絶縁膜であり、例えば、CVD法により形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。有機封止膜27は、平坦化効果のある透光性有機膜であり、アクリル等の塗布可能な有機材料によって構成することができる。有機封止膜27は、例えばインクジェットによって液状の有機材料を塗布することによって形成することができ、第1バンク23bおよび第2バンク23aを必要とする。
 第1バンク23bおよび第2バンク23aは各々、表示領域DAを囲むように額縁領域NAに形成されるとともに、第1無機封止膜26および第2無機封止膜28に被覆される。第1バンク23bは、有機封止膜27の端部を規定する。このため、第1バンク23bは、有機封止膜27の有機材料を堰き止めることができるように、平坦化膜21よりも隆起しているように形成されることが好ましい。第2バンク23aは、第1バンク23bを囲むように設けられる。第2バンク23aも、平坦化膜21よりも隆起しているように形成されることが好ましい。第1バンク23bおよび第2バンク23aは、カバー膜23cと同層に形成されても、平坦化膜21と同層に形成されても、または、平坦化膜21と同層及びカバー膜23cと同層との積層によって形成されてもよい。第1バンク23bの上面は、第1無機封止膜26の第1被覆部26bおよび第2無機封止膜28の第1被覆部28bに被覆されている。第2バンク23aの上面は、第1無機封止膜26の第2被覆部26aおよび第2無機封止膜28の第2被覆部28aに被覆されている。
 下面フィルム10は、支持基板を剥離した後に樹脂層12の下面に貼り付けることで柔軟性に優れた表示デバイスを実現するための、例えばPETフィルムである。機能フィルム39は、例えば、光学補償機能、保護機能の少なくとも1つを有する。
 タッチパネル機能層30は、非透光性の導電材で構成することも、MgAg合金(極薄膜)、ITO、IZO(Indium zinc Oxide)等の透光性の導電材で構成することもできる。また、タッチパネル機能層は、複数の導電層と、その間に挟まれた絶縁層とからなる多層で構成することもできる。タッチパネル機能層30には、各タッチパネル配線32の一端が接続されている。
 タッチパネル配線32は、例えば、銅、アルミニウム、モリブデン、チタン、タンタル、タングステンから成る群から選択された1つの金属の単層配線であっても、銅、アルミニウム、モリブデン、チタン、タンタル、タングステンから成る群から選択された2つ以上の金属を積層した積層配線であってもよい。タッチパネル配線32は、好ましくは、チタン/アルミニウム/チタン、チタン/アルミニウム、およびアルミニウム/チタンの積層配線、ならびに、アルミニウムの単層配線の何れかである。タッチパネル配線32は、例えば、ITO、IZO(Indium zinc Oxide)等の透光性の導電材から構成されてよい。
 タッチパネル配線32は、タッチパネル機能層30に用いられた配線または電極と同層に形成されても、タッチパネル機能層30と異なる層であって、タッチパネル機能層30との間に無機絶縁膜を介在させる層に形成されてもよい。異なる層に形成される場合、具体的には、タッチパネル配線32は、タッチパネル機能層30よりも上層の無機絶縁層よりもさらに上層に形成されるか、または、タッチパネル機能層30よりも下層の無機絶縁層よりもさらに下層に形成される。タッチパネル配線32は、平面視で、第1バンク23bおよび第2バンク23aと交差するように延設されている。このため、タッチパネル配線32は、第2無機封止膜28の上を、第2無機封止膜28の第1被覆部28bおよび第2被覆部28aと交差するように延設される。
 端子部43は額縁領域NAに設けられ、タッチパネル配線32はTFT層4に用いられた配線の何れかと同層に形成された引き回し配線に、端子部43において接続されることがこのましい。前記引き回し配線は端子部43に設けられた端子41を含み、端子41はタッチパネル配線32によって直接被覆されることによって、タッチパネル配線32に接続されていることが好ましい。端子部43は、さらに、平面視で封止層6が形成されている領域の外側に位置することが好ましい。
 以上にフレキシブルな表示デバイスについて説明したが、非フレキシブルな表示デバイスを製造する場合は、一般的に樹脂層の形成、基材の付け替え等が不要であるため、例えば、ガラス基板上にステップS2~S6の積層工程を行い、その後ステップS10に移行する。
 (比較例の表示装置の課題)
 図3は、比較例に係る表示デバイスのタッチパネル配線332が第1バンク323bおよび第2バンク323aと交差する交差部近傍の、(a)封止層を形成するステップおよび(b)タッチパネル配線を形成するステップにおける概略構成を示すための平面図である。図4は、図3の(a)A-A断面図および(b)B-B断面図である。説明の便宜上、図3および図4における符号303,312,316,318,・・・を、図2における符号3,12,16,18,・・・に対応付けている。図示の便宜上、図3において、第1バンク323bおよび第2バンク323aの側面の傾斜を無視する。図示の便宜上、図3において、第1無機封止膜の被覆部326b,326aと、第2無機封止膜の被覆部328b,328aとの輪郭を示すが、これは強調であって、実際には見分けが付くものではない。図示の便宜上、図3の(b)において、第1無機封止膜326および第2無機封止膜328の膜厚を無視する。
 図3および図4に示すように、比較例の第1バンク323bおよび第2バンク323aは、突出部を備えず、断面形状が略一定であるように形成される。このため、第1無機封止膜326の第1被覆部326bおよび第2被覆部326aも、第2無機封止膜328の第1被覆部328bおよび第2被覆部328aも、突出部を備えず、断面形状が略一定であるように形成される。
 タッチパネル配線332は通常、封止層306の全面を覆うように導電材の膜を形成し、その導電材の膜をエッチングすることによって、形成される。この形成方法によって、タッチパネル配線332の周囲および封止層306の凹んでいる処には、当該導電材の残滓が生じやすい。当該残滓は特に、境界部398,396,394,392のうちのタッチパネル配線332の間隙に生じやすい。境界部398,396は、第1バンク323bに起因して第2無機封止膜328が隆起している部分とその他の部分との境界部である。境界部394,392は、第2バンク323aに起因して第2無機封止膜328が隆起している部分とその他の部分と境界である。
 当該残滓が複数のタッチパネル配線332のうち隣接する2本を電気的に接続することによって、これら2本のタッチパネル配線332同士を短絡させることが、比較例に係る表示デバイスの課題として挙げられる。当該短絡を防ぐため、封止層306の上に平坦化層(図示しない)を設け、タッチパネル配線332を当該平坦化層の上に設置することも考えられるが、このことは、表示デバイスの薄型化を直接的に妨げる。
 〔実施形態1〕
 以下本発明の一実施形態について、図5~図8を参照して説明する。図5は、本実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線32が第1バンク23bおよび第2バンク23aと交差する交差部近傍の、(a)封止層6を形成するステップS5および(b)タッチパネル配線32を形成するステップS6における概略構成を示すための平面図である。図6は、図5の(a)A-A断面図および(b)B-B断面図である。図示の便宜上、図5および以降の類似の平面図において、第1バンク23bおよび第2バンク23aと、バンク突出体68,66,64,62との側面の傾斜を無視する。図示の便宜上、図5の(a)および以降の類似の平面図において、第1無機封止膜26の被覆部26b,26aと、第2無機封止膜28の被覆部28b,28aとの輪郭を示すが、これは強調であって、実際には見分けが付くものではない。図示の便宜上、図5の(b)および以降の類似の平面図において、第2無機封止膜28の被覆部28b,28aの輪郭を示すが、これは強調であって、実際には見分けが付くものではない。図示の便宜上、図5の(b)および以降の類似の平面図において、第1無機封止膜26および第2無機封止膜28の膜厚を無視する。
 図5の(a)に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28は、第1バンク23bの上面を被覆する第1被覆部28b(バンク被覆部)を備え、さらに、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において、第1被覆部28bから表示領域側に張り出した第1内側突出部88と、第1被覆部28bから表示領域の反対側に張り出した第1外側突出部86と、を備える。同様に、第2無機封止膜28は、第2バンク23aの上面を被覆する第2被覆部28a(バンク被覆部)を備え、さらに、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において、第2被覆部28aから表示領域側に張り出した第2内側突出部84と、第1被覆部28bから表示領域の反対側に張り出した第2外側突出部82と、を備える。以降、第1内側突出部88、第1外側突出部86、第2内側突出部84、および第2外側突出部82を纏めて、突出部88,86,84,82と称する。本発明の範囲はこれに限らず、第2無機封止膜28は、第1被覆部28bおよび第2被覆部28aの一方に対してのみ突出部を備えても良く、かつ/または、表示領域側に張り出す内側突出部および表示領域の反対側に張り出す外側突出部の一方のみを備えてもよい。例えば、第2無機封止膜28において、第1内側突出部88および第2外側突出部82のみ設ける構成でもよい。
 第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82の形状は、平面視で略矩形に見える形状に限らず、例えば、略三角形または略半円などの他の形状に平面視で見える形状であってもよい。第2無機封止膜28の突出部88,86が第1バンク23bから張り出す距離は、第1バンク23bの幅よりも大きくても小さくてもよい。第2無機封止膜28の突出部84,82が第2バンク23aから張り出す距離は、第2バンク23aの幅よりも大きくても小さくてもよい。
 第2無機封止膜28の上述の突出部88,86,84,82は、各々、第1無機封止膜26に形成された突出部に重畳していることが好ましい。この場合、第1無機封止膜26は、第1バンク23bの上面を被覆する第1被覆部26b(バンク被覆部)を備え、さらに、第1被覆部26bから表示領域側に張り出した第1内側突出部78と、第1被覆部26bから表示領域の反対側に張り出した第1外側突出部76と、を備える。同様に、第1無機封止膜26は、第2バンク23aの上面を被覆する第2被覆部26a(バンク被覆部)を備え、さらに、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において、第1被覆部26bから表示領域側に張り出した第1内側突出部78と、第1被覆部26bから表示領域の反対側に張り出した第1外側突出部76と、を備える。以降、第1内側突出部78、第1外側突出部76、第2内側突出部74、および第2外側突出部72を纏めて、突出部78,76,74,72と称する。
 第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82と、第1無機封止膜26の突出部78,76,74,72とは、第1バンク23bおよび第2バンク23aと同層に形成されたバンク突出体に重畳していることが好ましい。この場合、第1内側バンク突出体68は、第1バンク23bと同層に、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において第1バンク23bから表示領域側に張り出すように形成される。第1外側バンク突出体66は、第1バンク23bと同層に、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において第1バンク23bから表示領域の反対側に張り出すように形成される。第2内側バンク突出体64は、第2バンク23aと同層に、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において第2バンク23aから表示領域側に張り出すように形成される。第2外側バンク突出体62は、第2バンク23aと同層に、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙において第2バンク23aから表示領域の反対側に張り出すように形成される。以降、第1内側バンク突出体68、第1外側バンク突出体66、第2内側バンク突出体64、および第2外側バンク突出体62を纏めて、バンク突出体68,66,64,62と称する。
 以上のように、バンク突出体68,66,64,62を第1バンク23bおよび第2バンク23aと同層に形成すると共に、バンク突出体68,66,64,62に第1無機封止膜26の突出部78,76,74,72と第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82とを、重畳する構成は、積層数を増やさずに第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82を形成可能であるため、好ましい。
 なお、本発明の範囲はこれに限らない。バンク突出体68,66,64,62は、第1バンク23bおよび第2バンク23aよりも下層にまたは上層に形成されてもよい。第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82は、第1無機封止膜26の突出部78,76,74,72に支持されていなくてもよい。第1無機封止膜26の突出部78,76,74,72は、バンク突出体68,66,64,62に支持されていなくてもよい。第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82は、隣接する2本のタッチパネル配線32の間隙における境界部98,96,94,92に沿う道程を、タッチパネル配線32同士の間の直線距離よりも長くすることが可能であれば、どのように構成されても、支持されてもよい。
 (バンク突出体の立体形状)
 図7は、図5に示したバンク突出体68,66,64,62の立体形状の幾つかの例の部分を示す切り取り図である。
 図7の(a)に示すように、バンク101に対して形成されたバンク突出体112,114は、バンク突出体112,114の上面がバンク101の上面から水平に張り出すように、張り出している。また、図7の(b)に示すように、バンク102に対して形成されたバンク突出体116,118は、バンク突出体116,118の上面がバンク102の上面から下り斜面状に張り出すように、張り出している。
 本実施形態に係るバンク突出体68,66,64,62は各々、図7に示したバンク突出体112,114,116,118の何れと同様の立体形状であってもよく、バンク突出体112,114とバンク突出体116,118とを組み合わせた立体形状またはバンク突出体112,114とバンク突出体116,118との中間的な立体形状であってもよく、その他の立体形状であってもよい。また、バンク突出体68,66,64,62は、互いに異なる形状であってもよい。また、バンク突出体68,66,64,62の立体形状は、平面視で略矩形に見える形状に限らず、例えば、略三角形または略半円などの他の形状に平面視で見える形状であってもよい。
 (バンク突出体の平面配置)
 図5の(b)において、第2無機封止膜28の第1内側突出部88と第1外側突出部86とは、平面視で第1バンク23bに対して線対称に配置されている。同様に、第2内側突出部84と第2外側突出部82とが、平面視で第2バンク23aに対して線対称に配置されている。本実施形態の範囲はこれに限らず、図8のように、第1内側突出部88と第1外側突出部86とが平面視で第1バンク23bに対して非対称に配置されても良く、第2内側突出部84と第2外側突出部82とが、平面視で第2バンク23aに対して非対称に配置されてもよい。
 図5の(b)および図8に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82は、タッチパネル配線32と交差しないように配置される。このため、タッチパネル配線32と突出部88,86,84,82との間のクリアランスを確保するために、図8のような非対称配置よりも、図5の(b)のような対称配置が好ましい。図8は、本実施形態に係る第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82の配置の一変形例を示す平面図である。
 (作用効果)
 本実施形態に係る表示デバイス2によれば、隣接する2本のタッチパネル配線32のそれぞれが第1バンク23bと交差する交差部の間に、第2無機封止膜28の第1内側突出部88および第1外側突出部86が介在する。同様に、隣接する2本のタッチパネル配線32のそれぞれが第2バンク23aと交差する交差部の間に、第2無機封止膜28の第2内側突出部84および第2外側突出部82が介在する。このため、境界部98,96,94,92に沿うタッチパネル配線32の間の道程は、タッチパネル配線32の間の直線距離よりも長い。境界部98,96は、第1バンク23bと第1内側バンク突出体68と第1外側バンク突出体66とに起因して第2無機封止膜28が隆起している部分とその他の部分との境界部である。境界部94,92は、第2バンク23aと第2内側バンク突出体64と第2外側バンク突出体62とに起因して第2無機封止膜28が隆起している部分とその他の部分との境界部である。道程が長いほど、残滓が途切れる確率は高い。したがって、図3に示す比較例に係る構成よりも図5に示す本実施形態に係る構成において、隣接する2本のタッチパネル配線32は、残滓を通じて短絡する確率が低い。
 ゆえに、本実施形態に係る表示デバイス2によれば、タッチパネル配線32を封止層6の上に直接延設する構成において、隣接するタッチパネル配線32の短絡を防止することができる。すなわち、タッチパネル機能層30を封止層6の上に直接設けたオンセル構造によって、表示デバイス2の薄型化を図り、それと共に、隣接するタッチパネル配線が短絡するのを防止することができる。
 (実施形態2)
 以下本発明の他の実施形態について、図9~図11を参照しながら説明する。図9は、本実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線32が第1バンク23bおよび第2バンク23aと交差する交差部近傍の、(a)封止層6を形成するステップS5および(b)タッチパネル配線32を形成するステップS6における概略構成を示すための平面図である。
 図9の(a)に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28は、第1被覆部28bと、第1内側突出部88と、第1外側突出部86と、を備える。同様に、第2無機封止膜28は、第2被覆部28aと、第2内側突出部84と、第2外側突出部82と、を備える。
 図9の(b)において、第2無機封止膜28の第1内側突出部88と第1外側突出部86とは、平面視で第1バンク23bに対して非対称に配置されている。同様に、第2内側突出部84と第2外側突出部82とが、平面視で第2バンク23aに対して非対称に配置されている。本実施形態の範囲はこれに限らず、図10のように、第1内側突出部88と第1外側突出部86とが平面視で第1バンク23bに対して対称に配置されても良く、第2内側突出部84と第2外側突出部82とが、平面視で第2バンク23aに対して対称に配置されてもよい。
 図5の(b)および図8に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28の突出部88,86,84,82は、1本のタッチパネル配線32のみと交差するように配置される。本発明の範囲はこれに限らず、例えば、前述の実施形態1と本実施形態2とを組み合わせて、例えば図11のように、第1内側突出部88と第1外側突出部86の一方が、タッチパネル配線32と交差しないように配置され、他方が1本のタッチパネル配線のみと交差するように配置されてもよい。第2内側突出部84と第2外側突出部82の一方が、タッチパネル配線32と交差しないように配置され、他方が1本のタッチパネル配線のみと交差するように配置されてもよい。図11は、図5に示した第2無機封止膜28の外側突出部86,82の配置と、図9に示した第2無機封止膜28の内側突出部88,84の配置とを組み合わせた配置例を示す平面図である。
 (作用効果)
 本実施形態に係る表示デバイス2によっても、前述の実施形態1に係る表示デバイス2と同様に、表示デバイス2の薄型化を図ると共に、隣接するタッチパネル配線が短絡するのを防止することができる。
 (実施形態3)
 以下本発明の他の実施形態について、図12~図13を参照しながら説明する。図12は、本実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線32が第1バンク23bおよび第2バンク23aと交差する交差部近傍の、(a)封止層6を形成するステップS5および(b)タッチパネル配線32を形成するステップS6における概略構成を示すための平面図である。
 図12の(a)に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28は、第1被覆部28bおよび第1内側突出部88を備えるが、第1外側突出部86を備えない。同様に、第2無機封止膜28は、第2被覆部28aおよび第2内側突出部84を備えるが、第2外側突出部82を備えない。
 図12の(b)に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28の第1内側突出部88および第2内側突出部84は、タッチパネル配線32と交差しないように配置されている。本実施形態の範囲はこれに限らず、図13のように、第1内側突出部88および第2内側突出部84が、1本のタッチパネル配線32のみと交差するように配置されてもよい。また、図示を省略するが、第1内側突出部88および第2内側突出部84の一方が、タッチパネル配線32と交差しないように配置され、他方が1本のタッチパネル配線32のみと交差するように配置されてもよい。
 (作用効果)
 本実施形態に係る表示デバイス2によっても、前述の実施形態1,2に係る表示デバイス2と同様に、表示デバイス2の薄型化を図ると共に、隣接するタッチパネル配線が短絡するのを防止することができる。
 (実施形態4)
 以下本発明の他の実施形態について、図14~図15を参照しながら説明する。図14は、本実施形態に係る表示デバイスのタッチパネル配線32が第1バンク23bおよび第2バンク23aと交差する交差部近傍の、(a)封止層6を形成するステップS5および(b)タッチパネル配線32を形成するステップS6における概略構成を示すための平面図である。
 図14の(a)に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28は、第1被覆部28bおよび第1外側突出部86を備えるが、第1内側突出部88を備えない。同様に、第2無機封止膜28は、第2被覆部28aおよび第2外側突出部82を備えるが、第2内側突出部84を備えない。
 図14の(b)に示すように、本実施形態に係る第2無機封止膜28の第1外側突出部86および第2外側突出部82は、タッチパネル配線32と交差しないように配置されている。本実施形態の範囲はこれに限らず、図15のように、第1外側突出部86および第2外側突出部82が、1本のタッチパネル配線32のみと交差するように配置されてもよい。また、図示を省略するが、第1内側突出部88および第2内側突出部84の一方が、タッチパネル配線32と交差しないように配置され、他方が1本のタッチパネル配線32のみと交差するように配置されてもよい。
 (作用効果)
 本実施形態に係る表示デバイス2によっても、前述の実施形態1,2に係る表示デバイス2と同様に、前述の実施形態3に係る表示デバイス2と同様に、表示デバイス2の薄型化を図ると共に、隣接するタッチパネル配線が短絡するのを防止することができる。
 (付記事項)
 各実施の形態に係る表示デバイスは、フレキシブルディスプレイとして利用可能である。このフレキシブルディスプレイは、柔軟性を有し、屈曲可能な表示素子を備えた表示パネルであれば、特に限定されるものではない。前にも説明したが、発光素子ESの種類としては、電流によって輝度や透過率が制御される表示素子と、電圧によって輝度や透過率が制御される表示素子とがある。電流制御の表示素子としては、OLED(Organic Light Emitting Diode:有機発光ダイオード)を備えた有機EL(Electro Luminescence:エレクトロルミネッセンス)ディスプレイ、又は無機発光ダイオードを備えた無機ELディスプレイ等のELディスプレイQLED(Quantum dot Light Emitting Diode:量子ドット発光ダイオード)を備えたQLEDディスプレイ等がある。また、電圧制御の表示素子としては、液晶表示素子等がある。
 〔まとめ〕
 本発明の態様1に係る表示装置は、表示領域と前記表示領域を囲む額縁領域とを有する表示装置であって、TFT層と、前記TFT層よりも上層に形成された発光素子層と、前記発光素子層よりも上層に形成され、第1無機封止膜、有機封止膜および第2無機封止膜がこの順に積層された封止層と、前記表示領域を囲むように形成され、前記第1無機封止膜および前記第2無機封止膜によって被覆されたバンクと、前記封止層よりも上層に形成されたタッチパネル機能層と、前記封止層よりも上層に形成され、前記バンクと平面視で交差するように延設され、前記タッチパネル機能層に接続された複数本のタッチパネル配線と、を含み、前記第2無機封止膜は、前記バンクの上面を被覆するバンク被覆部と、隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記バンク被覆部から前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出した突出部と、を備える構成である。
 本発明の態様2に係る表示装置は、上記の態様1において、前記第1無機封止膜には、前記第2無機封止膜の前記突出部が重畳する突出部が形成されている、構成としてもよい。
 本発明の態様3に係る表示装置は、上記の態様2において、前記第1無機封止膜は、前記バンクの上面を被覆するバンク被覆部と、隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記第1無機封止膜の前記バンク被覆部から前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出した前記突出部と、を備える構成としてもよい。
 本発明の態様4に係る表示装置は、上記の態様2において、前記バンクと同層に形成されたバンク突出体をさらに備え、前記第1無機封止膜の前記突出部および前記第2無機封止膜の前記突出部は、前記バンク突出体に重畳する構成としてもよい。
 本発明の態様5に係る表示装置は、上記の態様4において、前記バンク突出体は、隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記バンクから前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出すように、形成されている構成としてもよい。
 本発明の態様6に係る表示装置は、上記の態様1において、前記バンクは、複数であり、複数の前記バンクには、前記有機封止膜の端部を規定する第1バンクと、前記第1バンクを囲むように設けられた第2バンクとが含まれ、前記第1バンクおよび前記第2バンクの各々において、前記第2無機封止膜は、前記バンク被覆部と、前記突出部とを備える構成としてもよい。
 本発明の態様7に係る表示装置は、上記の態様1において、前記第2無機封止膜の前記突出部は、複数であり、前記第2無機封止膜の複数の前記突出部は、前記表示領域側に張り出した内側突出部と、前記表示領域の反対側に張り出した外側突出部と、を含む構成としてもよい。
 本発明の態様8に係る表示装置は、上記の態様7において、前記内側突出部と前記外側突出部とが、平面視で前記バンクに対して対称に配置されている構成としてもよい。
 本発明の態様9に係る表示装置は、上記の態様7において、前記内側突出部と前記外側突出部とが、平面視で前記バンクに対して非対称に配置されている構成としてもよい。
 本発明の態様10に係る表示装置は、上記の態様7において、前記内側突出部と前記外側突出部との少なくとも一方は、前記タッチパネル配線と交差しないように配置されている構成としてもよい。
 本発明の態様11に係る表示装置は、上記の態様7において、前記内側突出部と前記外側突出部との少なくとも一方は、1本のタッチパネル配線のみと交差するように、配置されている構成としてもよい。
 本発明の態様12に係る表示装置は、上記の態様1において、前記第2無機封止膜の前記突出部は、前記表示領域側に張り出している構成としてもよい。
 本発明の態様13に係る表示装置は、上記の態様1において、前記第2無機封止膜の前記突出部は、前記表示領域の反対側に張り出している構成としてもよい。
 本発明の態様14に係る表示装置は、上記の態様12または13において、前記突出部は、前記タッチパネル配線と交差しないように配置されている構成としてもよい。
 本発明の態様15に係る表示装置は、上記の態様12または13において、前記突出部は、1本のタッチパネル配線のみと交差するように配置されている構成としてもよい。
 本発明の態様16に係る表示装置は、上記の態様1において、前記タッチパネル配線は、前記タッチパネル機能層に用いられた配線または電極と同層に形成されているか、または、前記タッチパネル機能層と異なる層であって、前記タッチパネル機能層との間に無機絶縁膜を介在させる層に形成されている構成としてもよい。
 本発明の態様17に係る表示装置は、上記の態様1から16の何れか1項において、前記タッチパネル配線は、銅、アルミニウム、モリブデン、チタン、タンタル、タングステンから成る群から選択された1つの金属の単層配線、または、前記群から選択された2つ以上の金属を積層した積層配線である構成としてもよい。
 本発明の態様18に係る表示装置は、上記の態様1から17の何れか1項において、前記額縁領域に設けられた端子部をさらに含み、前記タッチパネル配線は、前記TFT層に用いられた配線と同層に形成された引き回し配線に、前記端子部において接続される構成としてもよい。
 本発明の態様19に係る表示装置は、上記の態様18において、前記引き回し配線は、前記端子部に設けられた端子を含み、前記端子は、前記タッチパネル配線によって直接被覆されている、構成としてもよい。
 本発明の態様20に係る表示装置は、上記の態様18において、前記端子部は、平面視で前記封止層が形成されている領域の外側に位置する構成としてもよい。
 本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
2   ELデバイス(表示装置)
3   無機バリア膜
4   TFT層
5   発光素子層
6   封止層
7   積層体
8、11 接着層
9   上面フィルム
10  下面フィルム
12  樹脂層
15  半導体膜
16、18、20 無機絶縁膜
21  平坦化膜
22  アノード
23a 第2バンク
23b 第1バンク
23c カバー膜
24  EL層(発光層)
25  カソード
26  第1無機封止膜
26a 第2被覆部(バンク被覆部)
26b 第1被覆部(バンク被覆部)
27  有機封止膜
28  第2無機封止膜
28a 第2被覆部(バンク被覆部)
28b 第1被覆部(バンク被覆部)
30  タッチパネル機能層
32  タッチパネル配線
39  機能フィルム
41  端子
43  端子部
50  支持基板
62  第2外側バンク突出体(バンク突出体)
64  第2内側バンク突出体(バンク突出体)
66  第1外側バンク突出体(バンク突出体)
68  第1内側バンク突出体(バンク突出体)
72  第1無機封止膜の第2外側突出部(突出部,外側突出部)
74  第1無機封止膜の第2内側突出部(突出部,内側突出部)
76  第1無機封止膜の第1外側突出部(突出部,外側突出部)
78  第1無機封止膜の第1内側突出部(突出部,内側突出部)
82  第2無機封止膜の第2外側突出部(突出部,外側突出部)
84  第2無機封止膜の第2内側突出部(突出部,内側突出部)
86  第2無機封止膜の第1外側突出部(突出部,外側突出部)
88  第2無機封止膜の第1内側突出部(突出部,内側突出部)

Claims (20)

  1.  表示領域と前記表示領域を囲む額縁領域とを有する表示装置であって、
     TFT層と、
     前記TFT層よりも上層に形成された発光素子層と、
     前記発光素子層よりも上層に形成され、第1無機封止膜、有機封止膜および第2無機封止膜がこの順に積層された封止層と、
     前記表示領域を囲むように形成され、前記第1無機封止膜および前記第2無機封止膜によって被覆されたバンクと、
     前記封止層よりも上層に形成されたタッチパネル機能層と、
     前記封止層よりも上層に形成され、前記バンクと平面視で交差するように延設され、前記タッチパネル機能層に接続された複数本のタッチパネル配線と、
    を含み、
     前記第2無機封止膜は、
      前記バンクの上面を被覆するバンク被覆部と、
      隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記バンク被覆部から前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出した突出部と、を備えることを特徴とする表示装置。
  2.  前記第1無機封止膜には、前記第2無機封止膜の前記突出部が重畳する突出部が形成されている、
    ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3.  前記第1無機封止膜は、
      前記バンクの上面を被覆するバンク被覆部と、
      隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記第1無機封止膜の前記バンク被覆部から前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出した前記突出部と、を備えることを特徴とする請求項2に記載の表示装置。
  4.  前記バンクと同層に形成されたバンク突出体をさらに備え、
     前記第1無機封止膜の前記突出部および前記第2無機封止膜の前記突出部は、前記バンク突出体に重畳することを特徴とする請求項2に記載の表示装置。
  5.  前記バンク突出体は、隣接する2本のタッチパネル配線の間隙において、前記バンクから前記表示領域側または前記表示領域の反対側に張り出すように、形成されていることを特徴とする請求項4に記載の表示装置。
  6.  前記バンクは、複数であり、
     複数の前記バンクには、前記有機封止膜の端部を規定する第1バンクと、前記第1バンクを囲むように設けられた第2バンクとが含まれ、
     前記第1バンクおよび前記第2バンクの各々において、前記第2無機封止膜は、前記バンク被覆部と、前記突出部とを備えることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  7.  前記第2無機封止膜の前記突出部は、複数であり、
     前記第2無機封止膜の複数の前記突出部は、
      前記表示領域側に張り出した内側突出部と、
      前記表示領域の反対側に張り出した外側突出部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  8.  前記内側突出部と前記外側突出部とが、平面視で前記バンクに対して対称に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。
  9.  前記内側突出部と前記外側突出部とが、平面視で前記バンクに対して非対称に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。
  10.  前記内側突出部と前記外側突出部との少なくとも一方は、前記タッチパネル配線と交差しないように配置されていることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。
  11.  前記内側突出部と前記外側突出部との少なくとも一方は、1本のタッチパネル配線のみと交差するように、配置されていることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。
  12.  前記第2無機封止膜の前記突出部は、前記表示領域側に張り出していることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  13.  前記第2無機封止膜の前記突出部は、前記表示領域の反対側に張り出していることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  14.  前記突出部は、前記タッチパネル配線と交差しないように配置されていることを特徴とする請求項12または13に記載の表示装置。
  15.  前記突出部は、1本のタッチパネル配線のみと交差するように配置されていることを特徴とする請求項12または13に記載の表示装置。
  16.  前記タッチパネル配線は、
      前記タッチパネル機能層に用いられた配線または電極と同層に形成されているか、または、
      前記タッチパネル機能層と異なる層であって、前記タッチパネル機能層との間に無機絶縁膜を介在させる層に形成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  17.  前記タッチパネル配線は、銅、アルミニウム、モリブデン、チタン、タンタル、タングステンから成る群から選択された1つの金属の単層配線、または、前記群から選択された2つ以上の金属を積層した積層配線であることを特徴とする請求項1から16の何れか1項に記載の表示装置。
  18.  前記額縁領域に設けられた端子部をさらに含み、
     前記タッチパネル配線は、前記TFT層に用いられた配線と同層に形成された引き回し配線に、前記端子部において接続されることを特徴とする請求項1から17の何れか1項に記載の表示装置。
  19.  前記引き回し配線は、前記端子部に設けられた端子を含み、
     前記端子は、前記タッチパネル配線によって直接被覆されている、
    ことを特徴とする請求項18に記載の表示装置。
  20.  前記端子部は、平面視で前記封止層が形成されている領域の外側に位置する
    ことを特徴とする請求項18に記載の表示装置。
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