JP6056073B2 - 表示装置 - Google Patents

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本発明は、表示装置に関し、特に、アクティブマトリクス型の表示装置に関する。
液晶表示装置または有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示装置などのアクティブマトリクス型の表示装置(表示パネル)は、複数の画素が行方向および列方向にマトリクス状に配置された表示領域を備えている。各画素は、薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)で構成されるスイッチング素子や駆動素子、および容量素子などで構成される駆動回路と、液晶素子や有機EL素子などの表示素子とを備える。
アクティブマトリクス型の有機EL表示装置では、一般的に、同一行の複数の画素で構成される画素行毎に、当該画素行に含まれる各画素に電源電圧を供給する電源配線が設けられている。電源配線は、例えば、隣接する画素行間に配置されている。
近年、表示パネルの大画面化に伴い、表示パネル面内の中央部分での電圧降下を防止するために、補助配線(補助電極)を設ける構成が知られている(例えば、特許文献1)。補助配線は、例えば、隣接する画素行間に配置されており、電源配線やソース配線と積層方向に重なるように配置されている。
特開2008−52951号公報
しかしながら、積層方向に重なって配置された2つの配線を有する表示装置において、製造工程中等に導電性の異物が混入すると、この異物によって2つの配線がショートし、歩留まりが低下するという問題がある。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、配線間ショートによる歩留りの低下を抑制できる表示装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る表示装置の一態様は、複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域を有する表示装置であって、第1の基板と、前記第1の基板の上方に設けられ、第1の電位に設定される第1の配線を含む下部配線層と、前記下部配線層の上方に設けられた層間絶縁層と、前記層間絶縁層の上方に設けられ、前記第1の電位とは異なる第2の電位に設定される第2の配線を含む上部配線層と、前記上部配線層の上方に設けられた第2の基板と、を備え、前記表示領域において前記第2の基板を上方から見たときに前記第1の配線と前記第2の配線とが重なる領域を重なり領域とすると、前記重なり領域における前記層間絶縁層の上方には、前記第1の配線と前記第2の配線との短絡を防止するための保護部が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、配線間ショートによる歩留まりの低下を抑制できる。
図1は、本発明の実施の形態1に係る表示装置1の一部切り欠き斜視図である。 図2は、本発明の実施の形態1に係る表示装置の画素における画素回路の構成を示す図である。 図3は、本発明の実施の形態1に係る表示装置の構成を示す断面図である。 図4の(a)は、本発明の実施の形態1に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図4の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図5は、本発明の実施の形態2に係る表示装置の構成を示す断面図である。 図6の(a)は、本発明の実施の形態2に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図6の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図7は、本発明の実施の形態2に係る表示装置の製造方法における一部の工程を示す断面図である。 図8は、本発明の実施の形態3に係る表示装置の構成を示す断面図である。 図9の(a)は、本発明の実施の形態3に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図9の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図10は、本発明の実施の形態4に係る表示装置の構成を示す断面図である。 図11の(a)は、本発明の実施の形態4に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図11の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図12は、本発明の実施の形態5に係る表示装置の画素における画素回路の構成を示す図である。 図13Aは、本発明の実施の形態5に係る表示装置の構成を示す断面図(図14の(a)および(b)のX−X’線断面図)である。 図13Bは、本発明の実施の形態5に係る表示装置の構成を示す断面図(図14の(a)および(b)のY−Y’線断面図)である。 図14の(a)は、本発明の実施の形態5に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図14の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図15の(a)は、図14におけるA−A’線に沿って切断したときの表示装置の断面図であり、図15の(b)は、(a)の拡大断面図である。 図16は、本発明の実施の形態5に係る表示装置の画素における画素回路において、補助配線とカソードとの間における寄生抵抗を示す図である。 図17Aは、本発明の実施の形態6に係る表示装置の構成を示す断面図(図18の(a)および(b)のX−X’線断面図)である。 図17Bは、本発明の実施の形態6に係る表示装置の構成を示す断面図(図18の(a)および(b)のY−Y’線断面図)である。 図18の(a)は、本発明の実施の形態6に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図18の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図19Aは、本発明の実施の形態7に係る表示装置の構成を示す断面図(図20の(a)および(b)のX−X’線断面図)である。 図19Bは、本発明の実施の形態7に係る表示装置の構成を示す断面図(図20の(a)および(b)のY−Y’線断面図)である。 図20の(a)は、本発明の実施の形態7に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図20の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図21Aは、本発明の実施の形態8に係る表示装置の構成を示す断面図(図22の(a)および(b)のX−X’線断面図)である。 図21Bは、本発明の実施の形態8に係る表示装置の構成を示す断面図(図22の(a)および(b)のY−Y’線断面図)である。 図22の(a)は、本発明の実施の形態8に係る表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図22の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図23は、表示装置の一例である有機EL表示パネルの断面図である。 図24の(a)は、図23に示す表示装置における画素(下部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図であり、図24の(b)は、同表示装置における画素(上部配線層)の配線レイアウトを示す上面透視図である。 図25は、図23に示す表示装置の製造工程中に異物が混入したときの様子を示す図である。 図26は、図23に示す表示装置において、電源配線PLと補助配線ALとが短絡したときの様子を模式的に示す図である。
本発明の実施の形態の説明に先立ち、本発明が解決しようとする課題について、図23〜26を用いて、より具体的に説明する。
図23に示すように、表示装置1000は、薄膜トランジスタおよび各種配線等が形成されたアクティブマトリクス基板(表示装置用薄膜半導体アレイ装置)1020と、アクティブマトリクス基板1020上に形成された有機EL素子1010と、対向基板1050とを備える。
アクティブマトリクス基板1020は、基板1100と、当該基板1100上に順次積層して形成された、半導体層1101、ゲート絶縁層1102、GM層1103(ゲート電極、ゲート配線)、パッシベーション層1104、SDメタル層1105(ソース電極/ドレイン電極、ソース配線)および平坦化層1106を有する。
有機EL素子1010は、アクティブマトリクス基板1020上に順次積層して形成された、AM層1111(アノード、補助配線)、発光層を含む有機EL層1112(青色有機EL層1112Bおよび赤色有機EL層1112R)、透明電極層1113(カソード)および封止材料層1114を有する。なお、有機EL層1112は、バンク1115により、サブ画素毎に分離して形成されている。
対向基板1050は、有機EL素子1010側にカラーフィルタ(不図示)が形成されており、アクティブマトリクス基板1020に対向して配置される。
図24の(a)に示すように、アクティブマトリクス基板1020は、GM層1103に形成された行方向に延伸する複数のゲート配線GLと、SDメタル層1105に形成された列方向に延伸する複数のソース配線SLおよび複数の電源配線PLとを備えている。各画素(サブ画素)Pは、直交するゲート配線GLとソース配線SLとによって区画されている。
各画素Pは、RGBの3原色のいずれかに対応しており、青色表示画素、赤色表示が素および緑色表示が素の3つの画素で、一画素が構成されている。図23では、青色表示画素PBと赤色表示画素PRの2つのサブ画素を示している。また、各画素は、有機EL素子を電流駆動する駆動トランジスタ、画素を選択するためのスイッチングトランジスタおよびコンデンサとからなる画素回路と、当該画素回路に対応する有機EL素子とを含んで構成されている。
また、図24の(b)に示すように、AM層1111のアノード1111Aは、画素P毎に分離して形成されている。AM層111の補助配線ALは、画素の列方向に延伸するように形成されている。
このように、表示装置1000では、電源配線PLおよびソース配線SLがSDメタル層1105に形成されており、補助配線ALがAM層1111に形成されている。このため、電源配線PLと補助配線ALとが積層方向に重なっている。
しかしながら、このように、電位の異なる2つの配線が積層方向に配置された表示装置1000では、製造工程中に導電性の異物が混入すると、この異物によって2つの配線をショートさせてしまう場合がある。
例えば、図25の(a)に示すように、バンク1115の開口内に導電性の異物60が混入すると、封止材料層1114を塗布したアクティブマトリクス基板1020に対向基板1050を貼り合わせる工程において、図25の(b)に示すように、当該異物60がアクティブマトリクス基板1020側に押し込まれる。このとき、平坦化層1106は、平坦化という目的のために一般的には粘性が低くて柔らかい材料(例えばアクリル系材料)が用いられ、異物よりも柔らかいことが多いので、図25の(b)に示すように、異物60が補助配線ALを突き破って平坦化層1106を貫通することがある。これにより、積層方向に重なるように配置された補助配線ALと電源配線PLとがショートする。
以上のように、図23に示す表示装置1000では、製造工程中に導電性の異物60が混入すると、AM層1111に形成された配線(補助配線AL)とSDメタル層1105に形成された配線(電源配線PL、ソース配線SL)とがショート(短絡)する場合がある。言い換えると、平坦化層1106に隣接して形成される2つの層間で異物によるショートが発生する可能性がある。この場合、図26に示すように、補助配線ALと電源配線PLとがショートすると、有機EL素子が発光しないという不具合が発生する。また、補助配線ALとソース配線SLとがショートすると、線欠という不具合が発生する。いずれにしても配線間ショートが発生すると、各配線に所望の電位を与えることができず、表示パネルの正常な駆動に支障をきたし、表示パネルの歩留まりの低下を引き起こしていた。
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、配線間ショートによる歩留まりの低下を抑制することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る表示装置は、複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域を有する表示装置であって、第1の基板と、前記第1の基板の上方に設けられ、第1の電位に設定される第1の配線を含む下部配線層と、前記下部配線層の上方に設けられた層間絶縁層と、前記層間絶縁層の上方に設けられ、前記第1の電位とは異なる第2の電位に設定される第2の配線を含む上部配線層と、前記上部配線層の上方に設けられた第2の基板と、を備え、前記表示領域において前記第2の基板を上方から見たときに前記第1の配線と前記第2の配線とが重なる領域を重なり領域とすると、前記重なり領域における前記層間絶縁層の上方には、前記第1の配線と前記第2の配線との短絡を防止するための保護部が設けられていることを特徴とする。
本態様によれば、互いに異なる電位の第1の配線と第2の配線とが重なる重なり領域において、第1の配線と第2の配線との短絡を防止するための保護部が設けられている。すなわち、第1の配線と第2の配線とが積層方向に重なる位置において、層間絶縁層の上方に保護部が設けられている。これにより、異物が混入したとしても第1の配線と第2の配線との配線間ショートの発生を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記重なり領域は、前記第1の配線と前記第2の配線とが交差する交差領域である、としてもよい。
本態様によれば、保護部は、電位が異なる第1の配線と第2の配線とが交差する交差領域に設けられる。これにより、交差領域において、第1の配線と第2の配線との配線間ショートの発生を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記保護部は、前記第2の配線の前記第2の基板側に設けられている、としてもよい。
本態様によれば、第2の配線の第2の基板側に保護部が設けられている。これにより、第2の配線の上方に異物が混入したとしても、第2の配線が保護部によって保護されているので、第1の配線と第2の配線との配線間ショートの発生を抑制することができる。
この場合、前記保護部は、前記第2の基板の貼り合せ時において、前記第2の基板によって押圧された異物が前記第2の配線に貫入するのを阻止するものであるとしてもよい。
本態様によれば、第2の基板の貼り合せ時に第2の配線の上方に異物が存在していたとしても、第2の配線の上方に保護部が形成されているので、異物が第2の配線に貫入することを阻止することができる。つまり、第2の基板の貼り合わせによって異物に押圧が付与されたとしても、保護部によって異物の第2の配線への進入を阻止することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記保護部は、前記層間絶縁層と前記第2の配線との間に設けられている、としてもよい。
本態様によれば、前記層間絶縁層と前記第2の配線との間に保護部が設けられている。これにより、第2の配線が保護部で覆われないので、第2の配線を別の電極(配線)に接続する場合、第2の配線を別の電極とのコンタクト領域を大きく確保することができる。
この場合、前記保護部は、前記第2の基板の貼り合せ時において、前記第2の基板によって押圧された異物が前記層間絶縁層に貫入するのを阻止するものであるとしてもよい。
本態様によれば、第2の基板の貼り合せ時に第2の配線の上方に異物が存在していたとしても、少なくとも層間絶縁層の上に保護部が形成されているので、異物が層間絶縁層に貫入することを阻止することができる。つまり、第2の基板の貼り合わせによって異物に押圧が付与されたとしても、保護部によって異物の層間絶縁層への進入を阻止することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記複数の画素の各々は、2つの電極と当該2つの電極の間に形成された有機発光層とを含む有機発光素子と、前記有機発光素子を電流駆動する駆動トランジスタを含む画素回路とを有し、前記駆動トランジスタのソース/ドレイン電極が、前記第1の配線と電気的に接続され、前記有機発光素子の2つの電極のうちの一方の電極が、前記第2の配線と電気的に接続されている、としてもよい。
本態様によれば、第1の配線が駆動トランジスタのソース/ドレイン電極と接続され、第2の配線が有機発光素子の電極と電気的に接続される。これにより、駆動トランジスタのソース/ドレイン電極と同電位である第1の配線と、有機EL素子の電極と同電位である第2の配線との間の配線間ショートを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、さらに、前記複数の画素を画素毎に区画するための隔壁を備え、前記保護部は、前記隔壁と同一の層に形成されている、としてもよい。
本態様によれば、保護部と隔壁とが同一の層であるので、保護部を隔壁の一部として構成することができる。これにより、隔壁のパターン形状を変更するだけで、保護部を形成することができる。したがって、工程数を増やすことなく、保護部を形成することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記有機発光素子の2つの電極のうちの一方の電極は、前記複数の画素に共通する共通電極であり、前記隔壁は、前記保護部以外の領域に形成された開口部を有し、前記第2の配線は、前記開口部を介して前記共通電極と電気的に接続されている、としてもよい。
本態様によれば、第2の配線が隔壁の開口部を介して有機発光素子の共通電極と電気的に接続される。これにより、有機発光素子の共通電極と同電位である第2の配線と第1の配線との間の配線間ショートを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記駆動トランジスタのゲート電極、またはソース/ドレイン電極は、前記第1の配線と同一の層に形成され、前記有機発光素子の2つの電極のうちの他方の電極は、前記第2の配線と同一の層に形成されている、としてもよい。
本態様によれば、第1の配線を含む下部配線層を駆動トランジスタのゲート電極またはソース/ドレイン電極が形成される層と同一とし、第2の配線を含む上部配線層を有機発光素子の電極が形成される層と同一とすることができる。これにより、駆動トランジスタの電極層に含まれる第1の配線と有機発光素子の電極層に含まれる第2の配線との間の配線間ショートを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記第1の電位は、前記画素回路に印加される高電位側の電位であり、前記第2の電位は、前記画素回路に印加される低電位側の電位である、としてもよい。
本態様によれば、下部配線層に含まれる第1の配線の電位を、上部配線層に含まれる第2の配線の電位よりも高くすることができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記第2の配線は、前記有機発光素子の2つの電極のうちの一方の電極と電気的に接続された補助配線である、としてもよい。
本態様によれば、駆動トランジスタのソース/ドレイン電極と接続された第1の配線と、有機発光素子の電極と接続された補助配線である第2の配線との間の配線間ショートを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記第1の配線は、前記画素回路に電源電圧を供給する電源配線である、としてもよい。
本態様によれば、駆動トランジスタに電源電圧を供給する電源配線である第1の配線と、有機発光素子の電極と接続された第2の配線との間の配線間ショートを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記第1の配線は、前記画素回路に映像信号電圧を供給するソース配線である、としてもよい。
本態様によれば、画素回路に映像信号電圧を供給するソース配線である第1の配線と、有機発光素子の電極と接続された第2の配線との間の配線間ショートを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、前記保護部は、前記層間絶縁層よりも硬い材料からなる、としてもよい。
本態様によれば、保護部が層間絶縁層よりも硬い材料によって構成されているので、第2の配線の上方に異物が混入したとしても、異物が保護部を突き抜けることを抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置において、さらに、前記第2の基板と前記保護部との間に形成された絶縁層を備える、としてもよい。
(実施の形態)
以下、本発明に係る表示装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
各図において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を付している。また、各図は、説明のための模式図であり、膜厚および各部の大きさの比などは、必ずしも厳密に表したものではない。さらに、以下の実施の形態および各図において、行方向および列方向とは、説明のために設定した方向であり、異なる2つの方向に任意に設定可能である。また、行方向および列方向は、以下では、直交する場合を例に説明するが、必ずしも直交している必要はない。
(実施の形態1)
まず、本発明の実施の形態1に係る表示装置(表示パネル)1について、図1〜図4を基に説明する。なお、本実施の形態に係る表示装置は、アクティブマトリクス型の有機EL表示装置(有機EL表示パネル)であり、複数の画素が行方向および列方向にマトリクス状に配置された表示領域(画素部)を備えている。
[1.表示パネルの構成]
本実施の形態における表示装置1の構成について、図1を基に説明する。図1は、本実施の形態に係る表示装置1の一部切り欠き斜視図である。
図1に示すように、表示装置1は、自発光型表示素子である有機EL素子(有機発光素子)10と、薄膜トランジスタおよび各種配線等を含む画素回路30が形成されたアクティブマトリクス基板(表示装置用薄膜半導体アレイ装置)20とを備える。
有機EL素子10は、アノードを含むAM(アノードメタル)層(下部電極層)111と、発光層を含む有機EL層112と、カソードを含む透明電極層(上部電極層)113とを備えている。AM層111、有機EL層112および透明電極層113は、アクティブマトリクス基板20上にこの順に積層されている。
アクティブマトリクス基板20は、画素の行方向に延伸する複数のゲート配線GLと、画素の列方向に延伸する複数のソース配線SLと、画素の列方向に延伸する複数の電源配線PL(不図示)とを備えている。複数のソース配線SLと複数のゲート配線GLとは直交するように構成されている。
各画素Pは、サブ画素であって、直交するゲート配線GLとソース配線SLとによって区画されている。各画素Pは、複数の薄膜トランジスタなどからなる画素回路30と、当該画素回路30に対応する有機EL素子10とを含んで構成されている。本実施の形態において、各画素Pは、RGBの3原色のいずれかに対応しており、青色表示画素、赤色表示が素および緑色表示が素の3つの画素で、一画素PGが構成されている。なお、同じ色の画素Pは、列方向に隣接して配置される。
複数のゲート配線GLの各々は、同一行の複数の画素Pで構成される画素行毎に設けられている。各ゲート配線GLに対応する画素行に属する全ての画素Pは、当該ゲート配線GLによって制御回路(走査線駆動回路)に接続される。
複数のソース配線SLの各々は、同一列の複数の画素Pで構成される画素列毎に設けられている。各ソース配線SLに対応する画素列に属する全ての画素は、当該ソース配線SLによって制御回路(信号線駆動回路)に接続される。
このように、本実施の形態に係る表示装置1は、画素P毎に表示制御を行うアクティブマトリクス方式が採用されている。なお、図1では図示しないが、本実施の形態に係る表示装置1は、画素の列方向に延伸する複数の補助配線ALを備える。
[2.画素の回路構成]
次に、各画素Pの画素回路30の構成について、図2を基に説明する。図2は、本実施の形態に係る表示装置の画素における画素回路の構成を示す図である。
図2に示すように、表示装置1における画素Pは、pチャネル型のTFTである第一薄膜トランジスタ31、pチャネル型のTFTである第二薄膜トランジスタ32、および、コンデンサ(静電保持容量)33を含む画素回路30と、有機EL素子10とを備える。
第一薄膜トランジスタ31は、駆動(発光)させる有機EL素子10を選択的に切り替えるスイッチングトランジスタであり、複数の画素Pの中から映像信号電圧を書き込む画素Pを選択する。第一薄膜トランジスタ31のドレイン電極は、コンデンサ33の一端および第二薄膜トランジスタのゲート電極に接続されている。第一薄膜トランジスタ31のソース電極は、ソース配線SLに接続されている。また、第一薄膜トランジスタ31のゲート電極は、ゲート配線GLに接続されている。
第二薄膜トランジスタ32は、有機EL素子10を電流駆動するための駆動トランジスタである。第二薄膜トランジスタ32のドレイン電極は、有機EL素子10のアノード(陽極)に接続されている。第二薄膜トランジスタ32のソース電極は、コンデンサ33の他端および電源配線PLに接続されている。また、第二薄膜トランジスタ32のゲート電極は、第一薄膜トランジスタ31のドレイン電極およびコンデンサ33の一端に接続されている。
コンデンサ33は、容量素子であって、ソース配線SLから供給された映像信号電圧を保持する。コンデンサ33の一端は、第一薄膜トランジスタ31のドレイン電極および第二薄膜トランジスタ32のゲート電極に接続されており、コンデンサ33の他端は、第二薄膜トランジスタ32のソース電極および電源配線PLに接続されている。
有機EL素子10は、発光層を含む発光素子であって、第二薄膜トランジスタ32を介して映像信号電圧に応じた駆動電流が流れることにより発光する。有機EL素子10のアノードは、第二薄膜トランジスタ32のドレイン電極に接続されており、有機EL素子10のカソード(陰極)は補助配線ALに接続されている。
ゲート配線GLは、画素行に含まれる各画素Pの画素回路30に、映像信号電圧(データ電圧)を書き込むタイミング信号(ゲート電圧)を供給する。
ソース配線SLは、画素列に含まれる各画素Pの画素回路30に、当該画素Pにおける有機EL素子10の発光強度を決定する映像信号電圧(データ電圧)を供給する。
電源配線PLは、画素行に含まれる各画素Pの画素回路30に電源電圧を供給する。例えば、電源配線PLは、各画素Pの駆動トランジスタに電源電圧を供給する。
補助配線(補助電極)ALは、共通電極(カソード)よりも低抵抗の金属で形成されており、ITO等の高抵抗材料からなる共通電極に起因する表示パネル面内の中央部分での電圧降下を低減する。
このように構成される画素Pにおいて、ゲート配線GLにゲート信号が入力され、第一薄膜トランジスタ31をオン状態にすると、ソース配線SLを介して供給された映像信号電圧がコンデンサ33に書き込まれる。そして、コンデンサ33に書き込まれた映像信号電圧は、1フレーム期間を通じて保持される。この保持された映像信号電圧により、第二薄膜トランジスタ32のコンダクタンスがアナログ的に変化し、発光階調に対応した駆動電流が有機EL素子10のアノードからカソードへと流れて有機EL素子10が発光する。これにより、所定の画像を表示することができる。
[3.配線の構成]
次に、本実施の形態に係る表示装置における画素の構成について、図3を用いて説明する。図3は、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図である。なお、図3は、後述する図4の(a)および(b)のX−X’線に沿って切断したときの断面図である。また、本実施の形態における表示装置はトップエミッション型であるが、ボトムエミッション型であってもよい。
図3に示すように、本実施の形態に係る表示装置は、基板100と、基板100側から順に積層された、半導体層101、ゲート絶縁層102、GM(ゲートメタル)層103、パッシベーション層104、SD(ソースドレイン)メタル層105、平坦化層106、AM層111、有機EL層112、透明電極層113、封止材料層114およびバンク115からなる積層構造と、この積層構造に貼り合わされた対向基板50とを備える。さらに、本実施の形態に係る表示装置1は、EL部110に形成された保護膜116を備える。
このように構成された表示装置1において、半導体層101と、ゲート絶縁層102と、GM層103と、パッシベーション層104と、SDメタル層105とによって駆動回路層120が構成される。基板100と駆動回路層120とでアクティブマトリクス基板20が構成される。AM層111と、有機EL層112と、透明電極層113とによって有機EL素子10が構成される。有機EL素子10と封止材料層114とでEL部が構成される。
基板(第1の基板)100は、例えばガラス基板である。なお、基板100としては、樹脂からなるフレキシブル基板を用いることもできる。
半導体層101は、第一薄膜トランジスタ31および第二薄膜トランジスタ32のチャネルを含む層である。チャネルは、例えばシリコン半導体膜や酸化物半導体膜等の半導体膜をパターニングすることによって島状に形成されている。
ゲート絶縁層102は、第一薄膜トランジスタ31および第二薄膜トランジスタ32のゲート絶縁膜であり、半導体層101を覆うように表示領域全体に形成される。
GM層103は、第一薄膜トランジスタ31および第二薄膜トランジスタ32のゲート電極とゲート配線GLとを含む層である。ゲート電極およびゲート配線GLは、同一の金属膜をパターニングすることによって所定形状に形成されている。
パッシベーション層104は、GM層103とSDメタル層105とを絶縁するための層間絶縁層である。
SDメタル層105は、第一薄膜トランジスタ31および第二薄膜トランジスタ32のソース電極/ドレイン電極と、ソース配線SLと、電源配線PLとを含む層である。ソース電極、ドレイン電極、ソース配線SLおよび電源配線PLは、同一の金属膜をパターニングすることによって所定形状に形成されている。
平坦化層(層間絶縁層)106は、基板100上に順次形成されたSDメタル層までの層を平坦化するための層であり、駆動回路層120と有機EL素子10との間に形成される。平坦化層106の材料としては、アクリル系材料等の粘性が低くて柔らかい材料が用いられる。
AM層111は、有機EL素子10のアノード111Aおよび補助配線ALを含む層である。アノード111Aおよび補助配線ALは、同一の金属膜をパターニングすることによって形成される。AM層111は、例えば光反射性を有する反射電極層であり、反射率の高い金属を用いて構成されている。AM層111としては、例えばAl、Ag、またはそれらの合金によって形成することができる。なお、アノード111Aと補助配線ALとは異なる電位に設定されている。
有機EL層112は、発光部であって、正孔輸送層、発光層および電子輸送層等を積層して構成されている。有機EL層112は、バンク115によって囲繞されており、バンク115によって画素P毎に分離して形成されている。
透明電極層113は、カソード113Kを含む層である。透明電極層113は、インジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)又はインジウム亜鉛酸化物(IZO:Indium Zinc Oxide)等からなる透明金属酸化物を用いることができる。本実施の形態において、カソード113Kは、全画素Pを覆うように形成された全画素Pに共通する共通電極である。
封止材料層114は、絶縁材料からなる絶縁層であって、有機EL素子10までが形成された基板100と対向基板50とを貼り合わせるための接着層であるとともに、有機EL素子10への水分や酸素の浸入を防ぐための保護層である。
バンク(隔壁)115は、有機EL層112をサブ画素ごとに分離して区画するための画素開口部115a(第1開口部)を有し、アノード111Aおよび有機EL層112はバンク115の画素開口部115a内に形成されている。
対向基板(第2の基板)50は、基板100に対向する基板であって、例えばガラス基板を用いることができる。なお、対向基板50としては、樹脂からなるフレキシブル基板を用いることもできる。
本実施の形態において、GM層103およびSDメタル層105は、平坦化層106の下方に形成された下部配線層である。また、AM層111および透明電極層113は、平坦化層106の上方に形成された上部配線層である。
保護膜116は、上部配線層に含まれる配線と下部配線層に含まれる配線との短絡(ショート)を防止するための保護部である。また、本実施の形態における保護膜116は、補助配線ALを保護するための保護部でもある。
保護膜116は、補助配線ALと電源配線PLとが重畳する領域において、平坦化層106の上方に形成されている。つまり、表示領域において対向基板50を上方から見たときに(平面視したときに)下部配線層に含まれる配線(第1の配線)と上部配線層に含まれる配線(第2の配線)とが重なる領域を重なり領域(重なり部)とすると、保護膜116は、その重なり領域において平坦化層106の上方に形成されている。
本実施の形態における保護膜116は、図3に示すように、AM層111(上部配線層)に含まれる補助配線ALとSDメタル層105に含まれる電源配線PLとが重なる重なり領域において、上部配線層に含まれる補助配線ALの対向基板50側に設けられている。
なお、保護膜116は、感光性樹脂材料によって構成することができ、露光及び現像により所定形状にパターニングすることができる。また、保護膜116の膜厚は、例えば1μm程度である。
次に、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線のレイアウトについて、図4を用いて説明する。図4は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。また、図4の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図4の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
図4の(a)に示すように、下部配線層において、GM層103に含まれるゲート配線GLは、画素の行方向に延伸するように形成されている。また、SDメタル層105に含まれるソース配線SLおよび電源配線PLは、それぞれ画素の列方向に延伸するように形成されている。
図4の(b)に示すように、AM層111に含まれるアノード111Aは、画素P毎に分離して形成されている。また、AM層111に含まれる補助配線ALは、画素の列方向に延伸するように形成されている。補助配線ALと電源配線PLとは、積層方向において重なるように配置されている。なお、本実施の形態において、補助配線ALは3画素列毎に形成されている。
アノード111Aと補助配線ALとは同一材料で同一の工程で形成されるが、異なる電位に設定される。つまり、アノード111Aは第1の電位に設定され、補助配線ALは第1の電位とは異なる第2の電位に設定される。本実施の形態において、アノード111Aの第1の電位は、各画素P中の有機EL素子10のアノード側の電位であり、補助配線ALの第2の電位は、カソード113Kの設定電位と同じであって、各画素P中の有機EL素子10のカソード側の電位である。
また、本実施の形態に係るバンク115は、図4の(b)に示すように、複数の画素P(サブ画素)を画素P毎に分離して区画するピクセルバンクであり、図示しないが、画素の列方向に延びる凸部と画素の行方向に延びる凸部とが互いに交差するように形成されている。そして、この凸部で囲まれる部分(すなわち、バンク115の画素開口部115a)に有機EL層112(不図示)が形成されている。また、本実施の形態におけるバンク115は、図4(b)に示すように、補助配線ALに沿って補助配線ALを露出するように形成された画素周辺開口部115b(第2開口部)を有する。すなわち、画素周辺開口部115bは、バンク115の凸部の間の領域であって、補助配線ALに沿って凹状に形成された凹部である。なお、本実施の形態において、バンク115は、ピクセルバンクとしたが、ラインバンクとしても構わない。
そして、図4の(a)および(b)に示すように、保護膜116は、補助配線ALと電源配線PLとが重なる重なり領域において、補助配線AL上に形成されている。すなわち、保護膜116は、補助配線ALと電源配線PLとが積層方向に重なる位置に設けられている。
また、本実施の形態における保護膜116は、図4の(b)に示すように、バンク115の画素周辺開口部115bの一部を覆うように形成されるとともに、補助配線ALに沿って(すなわち画素の列方向に沿って)断続的に形成されている。保護膜116は、隣接するバンク115間を埋めるようにして形成されている。なお、バンク115の画素周辺開口部115bのうちの保護膜116が形成された領域以外の領域は、補助電極ALとカソード(共通電極)とのコンタクト領域であり、補助電極ALは、バンク115のコンタクト領域(画素周辺開口部)を介してカソード(共通電極)と電気的に接続される。
以上のようにして、本実施の形態に係る表示装置が構成されている。
このように、互いに電位の異なる電源配線PLと補助配線ALとが積層方向に重なって配置された表示装置では、対向基板50を貼り合わせる際に導電性の異物60が混入していると、図25で説明したように、電源配線PLと補助配線ALとがショートするという問題がある。
これに対して、本発明の実施の形態1に係る表示装置によれば、電源配線PLと補助配線ALとが重なる重なり領域において、補助配線ALの対向基板50側に保護膜116が設けられている。これにより、図3に示すように、補助配線ALが保護膜116によって保護されており、保護膜116の分だけ膜厚を稼ぐことができるので、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が補助配線ALを貫通することを抑制することができる。これにより、例えば、対向基板50を貼り合せる際に異物60が混入している場合、対向基板50の押圧によって異物60が基板100側に押し込まれるが、保護膜116が補助配線ALの上に形成されているので、異物60が平坦化層106を突き抜けて電源配線PLに到達することを阻止することができる。この結果、電源配線PLと補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2に係る表示装置2について説明する。
上述の実施の形態1に係る表示装置1の構成では、図4の(b)に示すように、保護膜116によってカソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域が限られてしまい、補助配線ALによるカソード113Kの電圧降下の抑制効果が小さくなってしまう。つまり、保護膜116を備える実施の形態1の構成は、保護膜116がない構成と比べて、コンタクト抵抗が上昇して良好な画像を表示することができない。
そこで、本発明者は、鋭意検討した結果、カソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域を確保しつつ、保護膜を形成する構成を見出した。
以下、本発明の実施の形態2に係る表示装置2の構成について、図5および図6を用いて説明する。図5は、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、図6の(a)および(b)のX−X’線に沿って切断したときの断面図である。また、図6は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。なお、図6の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図6の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
本実施の形態と実施の形態1とが異なる点は、保護膜の構成である。すなわち、図5および図6に示すように、本実施の形態における保護膜216は、平坦化層106と補助電極ALとの間において、平坦化層106の上に形成されている。また、保護膜216は、隣接するアノード111Aの間に形成されており、補助配線ALと同様に、画素の列方向に沿って延伸するように形成されている。すなわち、保護膜216は画素の列方向において一直線上に連続的に形成されている。
また、本実施の形態における補助配線ALは、実施の形態1と同様に、画素の列方向に延伸するように形成されているとともに電源配線PLと積層方向において重なるように配置されているが、実施の形態1と異なり、保護膜216の上に保護膜216に沿って形成されている。
なお、本実施の形態におけるバンク215は、保護膜216および補助配線ALの幅方向の両端部を覆うように形成されている。また、バンク215の画素周辺開口部215bは、保護膜216に覆われていない。したがって、補助電極ALとカソード113Kとのコンタクト領域を最大限大きく確保することができる。
以上、本実施の形態に係る表示装置2によれば、電源配線PLと補助配線ALとが重なる重なり領域において、補助配線ALと平坦化層106との間に保護膜216が設けられている。これにより、図5に示すように、保護膜216の分だけ膜厚を稼ぐことができるので、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が平坦化層106を突き抜けて電源配線PLに到達することを阻止することができる。この結果、電源配線PLと補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
さらに、本実施の形態では、保護膜216を補助配線ALの下に設けている。これにより、実施の形態1のように保護膜216によってカソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域が狭められることがなくなり、カソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域を最大限大きく確保することができる。これにより、実施の形態1の構成と比べて、コンタクト抵抗を低減することができ、補助配線ALによってカソード113Kの電圧降下を効果的に抑制することができる。したがって、良好な画像を表示することができる。
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3に係る表示装置3について説明する。
上述の実施の形態2に係る表示装置2の構成では、保護膜216をパターン形成する際に、平坦化層106もエッチングされる可能性があり、保護膜216を高精度にパターン形成する工程が難しい。この点について、図7を用いて説明する。図7は、本発明の実施の形態2に係る表示装置の製造方法における一部の工程を示す断面図である。
図7の(a)に示すように、基板100の上方に、半導体層101、ゲート絶縁層102、GM層103、パッシベーション層104、SDメタル層105、平坦化層106を順次形成し、平坦化層106にコンタクトホールを形成する。
次に、図7の(b)に示すように、平坦化層106を覆うように、保護膜216の材料であるポジ型の感光性樹脂組成物層216Mを形成する。
次に、図7の(c)に示すように、露光マスクを用いて感光性樹脂組成物層216Mを露光する。その後、現像することによって、図7の(d)に示すように、所定形状の保護膜216を形成することができる。
しかしながら、図7の(d)に示すように、感光性樹脂組成物層216Mを現像する際に、感光性樹脂組成物層216Mと同時に平坦化層106もエッチングされやすい。つまり、保護膜216は、ある程度の膜厚(例えば1μm程度)が必要であり、厚膜の感光性樹脂組成物層216Mを基板面内で、残渣無く確実にパターニングするには、長いエッチング時間が必要となる。この場合、基板面内の感光性樹脂組成物層216Mの膜厚のばらつきが原因で、感光性樹脂組成物層216Mのエッチング量がばらついて、下層の平坦化層106もエッチングされてしまう箇所が出てくる。その結果、平坦化層106の膜厚がばらついて平坦化度が低下したり、平坦化層106のコンタクトホールから露出するSD層の界面がダメージを受けてコンタクト不良が発生したりする。
そこで、本発明者が鋭意検討した結果、平坦化層106の平坦化度の低下を抑制しつつ、平坦化層106のコンタクトホールにおけるコンタクト不良を抑制することができる構成を見出した。
以下、本発明の実施の形態3に係る表示装置3の構成について、図8および図9を用いて説明する。図8は、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、図9の(a)および(b)のX−X’線に沿って切断したときの断面図である。また、図9は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。なお、図9の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図9の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
本実施の形態では、バンク315の一部が、実施の形態1、2における保護膜116、216に相当する機能を有する保護部316となっている。つまり、保護部316は、バンク315と同一の材料であり、バンク315と同一の層に形成されている。これにより、保護部316は、バンク315をパターニングすると同時に形成することができる。つまり、保護部316とバンク315の隔壁部分(凸部)とを同時に形成することができる。
図8および図9の(b)に示すように、本実施の形態における保護部316は、バンク315が補助配線ALの上にまで延設することで構成されており、バンク315における補助配線AL上の部分が保護部316として機能する。保護部316は、保護膜116と同様の機能を有しており、上部配線層に含まれる配線を保護する。また、保護部316は、下部配線層と上部配線層との配線の重なり領域において、上部配線層に含まれる配線の対向基板50側に設けられている。具体的には、保護部316は、図8に示すように、補助配線ALと電源配線PLとが重なる重なり領域において、補助配線ALの上に形成されている。
なお、図9の(b)に示すように、本実施の形態における保護部316の平面視の形成領域は、図4の(b)に示す実施の形態1における保護膜116の平面視の形成領域と同じである。したがって、保護部316は、保護膜116と同様に、バンク315の画素周辺開口部315bの一部を覆うように形成されるとともに、補助配線ALに沿って(すなわち画素の列方向に沿って)形成されている。
以上、本実施の形態に係る表示装置3によれば、電源配線PLと補助配線ALとの重なり領域に、補助配線ALの対向基板50側に保護部316が設けられている。これにより、図8に示すように、保護部316の分だけ膜厚を稼ぐことができるので、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が平坦化層106を突き抜けて電源配線PLに到達することを阻止することができる。この結果、電源配線PLと補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
さらに、本実施の形態では、保護部316がバンク315の一部として構成されている。これにより、バンク315のパターン形状を変更するだけで、保護部316を形成することができる。したがって、工程数を増やすことなく、保護部316を形成することができる。
(実施の形態4)
次に、本発明の実施の形態4に係る表示装置4について、図10および図11を用いて説明する。図10は、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、図11の(a)および(b)のX−X’線に沿って切断したときの断面図である。また、図11は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。なお、図11の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図11の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
図10および図11に示すように、本実施の形態と実施の形態3とが異なる点は、保護部(バンク)の材料である。すなわち、本実施の形態において、保護部416(バンク415)は、平坦化層106よりも硬い材料によって形成されている。これにより、図10に示すように、対向基板50を貼り合わせる際に、混入した異物60が基板100側に押し込まれたとしても、異物60が保護部416を突き抜けることを抑制することができる。
このような保護部416(バンク415)の材料としては、例えば感光性樹脂組成物を用いることができる。感光性樹脂組成物には、露光されると硬化して現像液に対する溶解性が低くなるネガ型と、露光されると現像液に対する溶解性が高くなるポジ型とがある。ネガ型の感光性樹脂組成物は露光により硬化が進むため、ポジ型の感光性樹脂組成物に比べて高硬度を実現しやすいと考えられる。したがって、保護部416の材料としては、ポジ型でもネガ型でも用いることができるが、ネガ型の感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。具体的には、末端に不飽和結合を有する側鎖を持つアルカリ可溶性アクリル重合体、キノンジアジド化合物、シルセスキオキサンおよび溶剤を含有するポジ型の感光性樹脂組成物を用いることができる。なお、平坦化層106にはポジ型の感光性樹脂組成物を用いることができる。平坦化層106の材料としては、ナフトキノンジアジド化合物を含む感光性樹脂組成物を用いることができる。
以上、本実施の形態に係る表示装置4によれば、電源配線PLと補助配線ALとの重なり領域に、補助配線ALの対向基板50側に保護部416が設けられている。これにより、保護部416の分だけ膜厚を稼ぐことができる。さらに、本実施の形態によれば、保護部416が平坦化層106よりも硬い材料によって構成されている。このように、本実施の形態では補助配線ALの上に硬い保護部416が設けられているので、図10に示すように、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が保護部416を突き抜けることを抑制することができる。これにより、電源配線PLと補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
なお、本実施の形態における保護部416(バンク415)の材料および平坦化層106の材料は、他の実施の形態にも適用することができる。
(実施の形態5)
次に、本発明の実施の形態5に係る表示装置5について説明する。
上記の実施の形態1〜4に係る表示装置では、画素回路30が2Tr1Cで構成されていたが、本実施の形態に係る発明では、画素回路30が4Tr1Cで構成されている。
まず、本実施の形態に係る表示装置の画素Pの画素回路30の構成について、図12を基に説明する。図12は、本実施の形態に係る表示装置の画素における画素回路の構成を示す図である。
図12に示すように、表示装置5における画素Pは、nチャネル型のTFTである第一薄膜トランジスタ41、nチャネル型のTFTである第二薄膜トランジスタ42、nチャネル型のTFTである第三薄膜トランジスタ43、nチャネル型のTFTである第四薄膜トランジスタ44、および、コンデンサ(静電保持容量)45を含む画素回路30と、有機EL素子10とを備える。
第一薄膜トランジスタ41、第三薄膜トランジスタ43および第四薄膜トランジスタ44は、実施の形態1における第一薄膜トランジスタ31と同様に、駆動(発光)させる有機EL素子10を選択的に切り替えるスイッチングトランジスタである。
第二薄膜トランジスタ42は、実施の形態1における第二薄膜トランジスタ32と同様に、有機EL素子10を電流駆動するための駆動トランジスタである。
コンデンサ45は、実施の形態1におけるコンデンサ33と同様に、ソース配線SLから供給された映像信号電圧を保持する容量素子である。
また、本実施の形態では、表示領域には、第1ゲート配線GL1、第2ゲート配線GL2、ソース配線SL、参照電源配線RL、第1電源配線PL1、第2電源配線PL2および補助配線ALが形成されている。
第1ゲート配線GL1は、第一薄膜トランジスタ41のゲート電極に接続されており、第一薄膜トランジスタ41のオンオフを制御するタイミング信号(ゲート電圧)を、第一薄膜トランジスタ41に供給する。
第2ゲート配線GL2は、第四薄膜トランジスタ44のゲート電極に接続されており、第四薄膜トランジスタ44のオンオフを制御するタイミング信号(ゲート電圧)を、第四薄膜トランジスタ44に供給する。
ソース配線SLは、第一薄膜トランジスタ41のソース電極に接続されており、画素列に含まれる各画素Pの画素回路30に、当該画素Pにおける有機EL素子10の発光強度を決定する映像信号電圧(データ電圧)を供給する。
第1電源配線PL1は、第二薄膜トランジスタ42のソース電極に接続されており、画素行に含まれる各画素Pの画素回路30に電源電圧を供給する。
第2電源配線PL2は、第1電源配線PL1と交差する位置において第1電源配線PL1と電気的に接続されている。
補助配線ALは、有機EL素子10のカソード(共通電極)113Kと接続されており、高抵抗の共通電極に起因する表示パネル面内の中央部分での電圧降下を低減する。
次に、本実施の形態に係る表示装置5における画素の構成について、図13A、図13Bおよび図14を用いて説明する。図13Aおよび図13Bは、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、それぞれ、図14の(a)および(b)のX−X’線およびY−Y’に沿って切断したときの断面図である。また、図14は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。また、図14の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図14の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
図13Aおよび図13Bに示すように、本実施の形態に係る表示装置5は、基板100と、基板100側から順に積層された、半導体層101(不図示)、ゲート絶縁層102、GM層103、パッシベーション層104、SDメタル層105、平坦化層106、AM層111、有機EL層112、透明電極層113、封止材料層114およびバンク115(不図示)からなる積層構造と、この積層構造に貼り合わされた対向基板50とを備える。さらに、本実施の形態に係る表示装置5は、保護膜516を備える。
本実施の形態において、GM層103およびSDメタル層105は、平坦化層106の下方に形成された下部配線層である。また、AM層111および透明電極層113は、平坦化層106の上方に形成された上部配線層である。
保護膜516は、実施の形態1と同様に、上部配線層に含まれる配線と下部配線層に含まれる配線との短絡(ショート)を防止するための保護部である。また、本実施の形態における保護膜516は、実施の形態1と同様に、補助配線ALを保護するための保護部でもある。
保護膜516は、実施の形態1と同様に、表示領域における下部配線層に含まれる配線(第1の配線)と上部配線層に含まれる配線(第2の配線)とが重なる重なり領域において、平坦化層106の上方に形成されている。
本実施の形態における保護膜516は、図14の(b)に示すように、AM層111(上部配線層)に含まれる補助配線ALとSDメタル層105に含まれる電源配線PLとが交差する交差領域(交差部)において、補助配線ALの上に形成されている。
なお、保護膜516は、実施の形態1における保護膜116と同様に感光性樹脂材料によって構成することができ、露光及び現像により所定形状にパターニングすることができる。また、本実施の形態では、保護膜516の膜厚は、例えば1μm程度である。
また、図14の(a)に示すように、下部配線層において、GM層103に含まれる、第1ゲート配線GL1、第2ゲート配線GL2、第2電源配線PL2および参照電源配線RLの各配線は、それぞれ画素の行方向に延伸するように形成されている。また、SDメタル層105に含まれるソース配線SLおよび第1電源配線PL1は、それぞれ画素の列方向に延伸するように形成されている。
図14の(b)に示すように、AM層111に含まれるアノード111Aは、画素P毎に分離して形成されている。また、AM層111に含まれる補助配線ALは、画素の行方向に延伸するように形成されている。補助配線ALと第1電源配線PL1とは直交するように配置されている。
なお、実施の形態1と同様に、アノード111Aは、画素回路30に印加される高電位側の第1電位に設定されており、補助配線ALは、カソード113Kの設定電位と同じであって画素回路30に印加される低電位側の第2電位に設定されている。
また、バンク115は、実施の形態1と同様に、画素開口部115aと画素周辺開口部115bとを有する。保護膜516は、バンク115の画素周辺開口部115bの一部を覆うように形成されるとともに、補助配線ALに沿って(すなわち画素の行方向に沿って)断続的に形成されている。保護膜516は、隣接するバンク115間を埋めるようにして形成されている。なお、バンク115の画素周辺開口部115bのうちの保護膜516が形成された領域以外の領域は、補助電極ALとカソード(共通電極)とのコンタクト領域であり、補助電極ALは、バンク115のコンタクト領域(画素周辺開口部)を介してカソード(共通電極)と電気的に接続される。
以上のようにして、本実施の形態に係る表示装置5が構成されている。
そして、本発明の実施の形態5に係る表示装置5によれば、電源配線PLと補助配線ALとが重なる重なり領域において、補助配線ALの対向基板50側に保護膜516が設けられている。これにより、図13Aおよび図13Bに示すように、補助配線ALが保護膜516によって保護されており、保護膜516の分だけ膜厚を稼ぐことができるので、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が平坦化層106を突き抜けて第1電源配線PL1に到達することを阻止することができる。この結果、第1電源配線PL1と補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
(実施の形態6)
次に、本発明の実施の形態6に係る表示装置6について説明する。
上述の実施の形態5に係る表示装置1の構成では、図14の(b)に示すように、保護膜516によってカソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域が小さくなってしまい、補助配線ALによるカソード113Kの電圧降下の抑制効果が小さくなってしまう。
ここで、理想的には補助配線ALとカソード113Kとが直接接触していれば、補助配線ALとカソード113Kとの間のコンタクト抵抗は最も低くなるが、そのためには、有機EL層における正孔注入層や電子輸送層などの成膜時にコンタクト領域をマスクで隠す必要があり、マスクの分だけコストが上昇する。
一方、正孔注入層や電子輸送層などの有機材料を成膜する時に上記マスクを用いない場合、図15に示すように、コンタクト領域に正孔注入層や電子輸送層などの有機材料が形成されてしまう。図15の(a)は、図14におけるA−A’線に沿って切断した断面図であり、図15の(b)は、(a)の拡大断面図である。
このように、コンタクト領域に正孔注入層や電子輸送層などの有機材料が形成されてしまうと、図16に示すように、カソード113Kと補助配線ALとの間に寄生抵抗が発生し、コンタクト抵抗が上昇する。この結果、良好な画像を表示することができなくなる。
つまり、カソード113Kと補助配線ALとの間に正孔注入層や電子輸送層などの有機材料が存在していたとしても有機材料のコンタクト抵抗上昇を抑制するには、コンタクト領域の面積を広げることが好ましい。
そこで、本発明者は、鋭意検討した結果、カソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域を確保しつつ、保護膜を形成する構成を見出した。
以下、本発明の実施の形態6に係る表示装置6の構成について、図17A、図17Bおよび図18を用いて説明する。図17Aおよび図17Bは、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、それぞれ図18の(a)および(b)のX−X’線およびY−Y’線に沿って切断したときの断面図である。また、図18は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。なお、図18の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図18の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
本実施の形態と実施の形態5とが異なる点は、保護膜の構成である。すなわち、図17A、図17Bおよび図18に示すように、本実施の形態における保護膜616は、補助配線ALと第1電源配線PL1とが交差する交差領域において、平坦化層106と補助電極ALとの間において、平坦化層106の上に形成されている。また、保護膜616は、実施の形態5と同様に、画素の行方向に沿って断続的に形成されている。
なお、本実施の形態におけるバンク615は、保護膜616および補助配線ALの幅方向の両端部を覆うように形成されている。また、バンク615の画素周辺開口部615bは、保護膜616に覆われていない。したがって、補助電極ALとカソード113Kとのコンタクト領域を最大限大きく確保することができる。
以上、本実施の形態に係る表示装置6によれば、第1電源配線PL1と補助配線ALとが交差する交差領域において、補助配線ALと平坦化層106との間に保護膜616が設けられている。これにより、図17Aおよび図17Bに示すように、保護膜616の分だけ膜厚を稼ぐことができるので、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が平坦化層106を突き抜けて第1電源配線PL1に到達することを阻止することができる。この結果、第1電源配線PL1と補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
さらに、本実施の形態では、保護膜616を補助配線ALの下に設けている。これにより、実施の形態5のように、保護膜616によってカソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域が狭められることがなく、カソード113Kと補助配線ALとのコンタクト領域を最大限大きく確保することができる。これにより、実施の形態5の構成と比べて、コンタクト抵抗を低減することができ、補助配線ALによってカソード113Kの電圧降下を効果的に抑制することができる。したがって、良好な画像を表示することができる。
(実施の形態7)
次に、本発明の実施の形態7に係る表示装置7について説明する。
上述の実施の形態6に係る表示装置6の構成では、図7で説明したように、保護膜616をパターン形成する際に、平坦化層106もエッチングされる可能性があり、保護膜616を高精度にパターン形成する工程が難しく、平坦化層106の膜厚がばらついて平坦化度が低下したり、平坦化層106のコンタクトホールから露出するSD層の界面がダメージを受けてコンタクト不良が発生したりする。
そこで、本発明者が鋭意検討した結果、平坦化層106の平坦化度の低下を抑制しつつ、平坦化層106のコンタクトホールにおけるコンタクト不良を抑制することができる構成を見出した。
以下、本発明の実施の形態7に係る表示装置7の構成について、図19A、図19Bおよび図20を用いて説明する。図19Aおよび図19Bは、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、それぞれ図20の(a)および(b)のX−X’線およびY−Y’線に沿って切断したときの断面図である。また、図20は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。なお、図20の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図20の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
本実施の形態では、バンク715の一部が、実施の形態5、6における保護膜516、616に相当する機能を有する保護部716となっている。つまり、保護部716は、バンク715と同一の材料であり、バンク715と同一の層に形成されている。保護部716は、バンク715の隔壁部のパターニングと同時にパターン形成することができる。つまり、保護部716とバンク715の隔壁部分(凸部)とを同時に形成することができる。
図19A、図19Bおよび図20に示すように、本実施の形態における保護部716は、バンク715が補助配線ALの上にまで延設することで構成されており、バンク715における補助配線AL上の部分が保護部716として機能する。保護部716は、保護膜516と同様の機能を有しており、上部配線層に含まれる配線を保護する。また、保護部716は、図19Aおよび図19Bに示すように、補助配線ALと第1電源配線PL1とが交差する交差領域において、補助配線ALの上に形成されている。
以上、本実施の形態に係る表示装置7によれば、第1電源配線PL1と補助配線ALとの交差領域に、補助配線ALの対向基板50側に保護部716が設けられている。これにより、図19Aおよび図19Bに示すように、保護部716の分だけ膜厚を稼ぐことができるので、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が平坦化層106を突き抜けて第1電源配線PL1に到達することを阻止することができる。この結果、第1電源配線PL1と補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
さらに、本実施の形態では、保護部716がバンク715の一部として構成されている。これにより、バンク715のパターン形状を変更するだけで、保護部716を形成することができる。したがって、工程数を増やすことなく、保護部716を形成することができる。
(実施の形態8)
次に、本発明の実施の形態8に係る表示装置8について、図21A、図21Bおよび図22を用いて説明する。図21Aおよび図21Bは、本実施の形態に係る表示装置の構成を示す断面図であり、それぞれ図22の(a)および(b)のX−X’線およびY−Y’線に沿って切断したときの断面図である。また、図22は、本実施の形態に係る表示装置における画素の配線レイアウトを示す図であり、対向基板50を貼り付ける側から見たときの構成を示している。なお、図22の(a)は、下部配線層(GM層103、SDメタル層105)の上面透視図であり、図22の(b)は、上部配線層(AM層111)の上面透視図である。
図21A、図21Bおよび図22に示すように、本実施の形態と実施の形態7とが異なる点は、保護部(バンク)の材料である。すなわち、本実施の形態において、保護部816(バンク815)は、平坦化層106よりも硬い材料によって形成されている。これにより、図21Aおよび図21Bに示すように、対向基板50を貼り合わせる際に、混入した異物60が基板100側に押し込まれたとしても、異物60が保護部816(バンク815)を突き抜けることを抑制することができる。
このような保護部816(バンク815)の材料としては、実施の形態4と同様の感光性樹脂組成物を用いることができる。
以上、本実施の形態に係る表示装置8によれば、第1電源配線PL1と補助配線ALとの交差領域に、補助配線ALの対向基板50側に保護部816が設けられている。これにより、保護部816の分だけ膜厚を稼ぐことができる。さらに、本実施の形態によれば、保護部816が平坦化層106よりも硬い材料によって構成されている。このように、本実施の形態では、補助配線ALの上に硬い保護部816が設けられているので、図21Aおよび図21Bに示すように、補助配線ALの上方に導電性の異物60が混入したとしても、異物60が保護部816(バンク815)を突き抜けることを抑制することができる。これにより、第1電源配線PL1と補助配線ALとの配線間ショートの発生を抑制することができるので、表示装置を正常に駆動させることができる。したがって、表示装置の歩留まりの低下を低減することができる。
(変形例)
以上、本発明に係る表示装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではない。
例えば、上記の実施の形態1〜8において、保護膜は、電源配線(第1の配線)と補助配線(第2の配線)とが重なる重なり領域に形成したが、これに限らない。電位が異なる2つの配線が平坦化層106等の絶縁層を介して重なる領域であれば、保護膜はどこに形成しても構わない。この場合、保護膜は、2つの配線のうちの上側の配線の上方に形成することが好ましい。例えば、実施の形態5〜8において、ソース配線SL(第1の配線)と補助配線AL(第2の配線)とが重なる重なり領域(交差領域)に、補助配線ALの上に保護膜(保護部)を形成しても構わない。
また、上記の実施の形態1〜4において、電源配線PLは、画素の列方向に延伸するように構成したが、画素の行方向に延伸するように構成しても構わない。この場合、電源配線PLと補助配線ALとは直交することになるので、保護膜は、電源配線PLと補助配線ALとの交差領域に形成される。
また,上記の実施の形態1〜8において、上部配線層をAM層111とし、下部配線層をGM層103またはSDメタル層105としたが、これに限らない。
また、上記の実施の形態1〜4において、第一薄膜トランジスタ、第二薄膜トランジスタは、pチャネル型のTFTとしたが、nチャネル型のTFTとしても構わない。また、上記の実施の形態5〜8において、第一薄膜トランジスタ、第二薄膜トランジスタ、第三薄膜トランジスタおよび第四薄膜トランジスタは、nチャネル型のTFTとしたが、pチャネル型のTFTとしても構わない。あるいは、pチャネル型のTFTとnチャネル型のTFTとを組み合わせても構わない。
また、上記の実施の形態1〜8において、第一薄膜トランジスタ、第二薄膜トランジスタ、第三薄膜トランジスタおよび第四薄膜トランジスタは、トップゲート型のTFTとしたが、ボトムゲート型のTFTとしても構わない。
また、上記の実施の形態1〜8では、有機EL表示装置に適用する例を示したが、液晶表示装置や無機EL表示装置等の他の表示装置にも適用することができる。
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態及び変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
本発明に係る表示装置は、テレビジョンセット、パーソナルコンピュータ、携帯電話などの表示装置等において広く利用することができる。
10、1010 有機EL素子
20、1020 アクティブマトリクス基板
30 画素回路
31、41 第一薄膜トランジスタ
32、42 第二薄膜トランジスタ
33、45 コンデンサ
43 第三薄膜トランジスタ
44 第四薄膜トランジスタ
50、1050 対向基板
60 異物
100、1100 基板
101、1101 半導体層
102、1102 ゲート絶縁層
103、1103 GM層
104、1104 パッシベーション層
105、1105 SDメタル層
106、1106 平坦化層
110 EL部
120 駆動回路層
111、1111 AM層
111A、1111A アノード
112、1112 有機EL層
113、 透明電極層
113K カソード
114、1114 封止材料層
115、215、315、415、615、715、815、1115 バンク
115a 画素開口部
115b、215b、315b、615b 画素周辺開口部
116、216、516、616 保護膜
216M 感光性樹脂組成物層
316、416、716、816 保護部
1112B 青色有機EL層
1112R 赤色有機EL層
GL ゲート配線
GL1 第1ゲート配線
GL2 第2ゲート配線
SL ソース配線
PL 電源配線
PL1 第1電源配線
PL2 第2電源配線
AL 補助配線
RL 参照電源配線
PB 青色表示画素
PR 赤色表示画素

Claims (12)

  1. 複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域を有する表示装置であって、
    第1の基板と、
    前記第1の基板の上方に設けられ、第1の電位に設定される第1の配線を含む下部配線層と、
    前記下部配線層の上方に設けられた平坦化層である層間絶縁層と、
    前記層間絶縁層の上方に設けられ、前記第1の電位とは異なる第2の電位に設定される第2の配線を含む上部配線層と、
    前記複数の画素を画素毎に区画するための隔壁と、
    前記上部配線層の上方に設けられた第2の基板と、を備え、
    前記表示領域において前記第2の基板を上方から見たときに前記第1の配線と前記第2の配線とが重なる領域を重なり領域とすると、前記重なり領域における前記層間絶縁層の上方には、前記第1の配線と前記第2の配線との短絡を防止するための保護部が設けられており
    前記保護部は、前記隔壁の開口部に設けられている、
    表示装置。
  2. 前記重なり領域は、前記第1の配線と前記第2の配線とが交差する交差領域である、
    請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記保護部は、前記第2の配線の前記第2の基板側に設けられている、
    請求項1または2に記載の表示装置。
  4. 前記保護部は、前記層間絶縁層と前記第2の配線との間に設けられている、
    請求項1または2に記載の表示装置。
  5. 前記複数の画素の各々は、
    2つの電極と当該2つの電極の間に形成された有機発光層とを含む有機発光素子と、
    前記有機発光素子を電流駆動する駆動トランジスタを含む画素回路とを有し、
    前記駆動トランジスタのソース/ドレイン電極が、前記第1の配線と電気的に接続され、
    前記有機発光素子の2つの電極のうちの一方の電極が、前記第2の配線と電気的に接続されている、
    請求項1〜のいずれか1項に記載の表示装置。
  6. 前記駆動トランジスタのゲート電極、またはソース/ドレイン電極は、前記第1の配線と同一の層に形成され、
    前記有機発光素子の2つの電極のうちの他方の電極は、前記第2の配線と同一の層に形成されている、
    請求項5に記載の表示装置。
  7. 前記第1の電位は、前記画素回路に印加される高電位側の電位であり、
    前記第2の電位は、前記画素回路に印加される低電位側の電位である、
    請求項5又は6に記載の表示装置。
  8. 前記第2の配線は、前記有機発光素子の2つの電極のうちの一方の電極と電気的に接続された補助配線である、
    請求項のいずれか1項に記載の表示装置。
  9. 前記第1の配線は、前記画素回路に電源電圧を供給する電源配線である、
    請求項のいずれか1項に記載の表示装置。
  10. 前記第1の配線は、前記画素回路に映像信号電圧を供給するソース配線である、
    請求項のいずれか1項に記載の表示装置。
  11. 前記保護部は、前記層間絶縁層よりも硬い材料からなる、
    請求項1〜10のいずれか1項に記載の表示装置。
  12. さらに、前記第2の基板と前記保護部との間に形成された絶縁層を備える、
    請求項1〜11のいずれか1項に記載の表示装置。
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