WO2019188690A1 - 脆性材料加工液組成物 - Google Patents

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WO2019188690A1
WO2019188690A1 PCT/JP2019/011795 JP2019011795W WO2019188690A1 WO 2019188690 A1 WO2019188690 A1 WO 2019188690A1 JP 2019011795 W JP2019011795 W JP 2019011795W WO 2019188690 A1 WO2019188690 A1 WO 2019188690A1
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mass
component
brittle material
less
working fluid
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PCT/JP2019/011795
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English (en)
French (fr)
Inventor
友彦 北村
Original Assignee
出光興産株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
    • C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
    • C10M173/00—Lubricating compositions containing more than 10% water
    • C10M173/02—Lubricating compositions containing more than 10% water not containing mineral or fatty oils
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
    • C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
    • C10M107/00—Lubricating compositions characterised by the base-material being a macromolecular compound
    • C10M107/20—Lubricating compositions characterised by the base-material being a macromolecular compound containing oxygen
    • C10M107/30—Macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
    • C10M107/32—Condensation polymers of aldehydes or ketones; Polyesters; Polyethers
    • C10M107/34—Polyoxyalkylenes

Definitions

  • the present invention relates to a brittle material working fluid composition.
  • wire saw processing is generally used for cutting silicon ingots from the viewpoint of processing accuracy and productivity.
  • Wire saw processing is also used for processing materials such as ceramics, quartz, sapphire, and glass.
  • a free abrasive grain method that performs processing while supplying free abrasive grains to a sliding portion between the wire and a workpiece, and a wire in which abrasive grains are fixed to the surface of the wire in advance
  • a fixed abrasive method in which processing is performed using
  • the fixed abrasive method is often used for the reason that the yield can be improved.
  • machining fluid is used for the purpose of removing chips.
  • an aqueous processing fluid composition containing water-soluble processing fluid composition composed mainly of mineral oil, animal and vegetable oil, synthetic oil, etc. and a compound having surface active ability is added. And a working fluid composition.
  • water-soluble ones have been used from the viewpoint of safety during work and environmental problems.
  • Patent Document 1 discloses a water-soluble machining liquid composition for a fixed abrasive wire saw that is used for cutting work materials other than rare earth magnets, and contains glycols.
  • a liquid composition is disclosed.
  • Patent Document 2 discloses a water-soluble working fluid composition for fixed abrasive wire saws used for cutting rare earth magnets, which includes glycols, carboxylic acid, a compound that dissolves in water and exhibits basicity, water Are contained in a specific content (however, the total of these components is 100 parts by weight), and a water-soluble working liquid composition for a fixed abrasive wire saw is disclosed.
  • a multi-wire saw apparatus is used to cut out a plurality of silicon wafers from the above-described silicon ingot at a time.
  • the multi-wire saw device one wire is wound around each groove on two or more guide rollers having a plurality of grooves carved at a constant interval, and each wire is held in parallel with a constant tension.
  • each guide roller is rotated, and the wire is run in one direction or both directions while causing the working liquid composition discharged from the nozzle or the like to adhere to the wire.
  • the silicon ingot is pressed to perform cutting.
  • the working fluid composition used for the wire saw processing is put into a tank provided in the wire saw device, supplied from the tank to a processing chamber nozzle by a pump provided in the wire saw device, and discharged from the nozzle.
  • the machining liquid composition discharged from the nozzle is supplied with the aim of the machining gap (gap between the wire and the silicon ingot), used for lubrication of the machining gap, etc., and then returns to the tank again.
  • the working fluid composition circulates in the wire saw device.
  • the processing liquid composition may be violently scattered due to high-speed rotation of the guide roller accompanying the increase in the wire speed, which leads to foaming of the processing liquid composition.
  • the machining liquid composition in the tank may foam violently and overflow from the tank. Furthermore, the problem that the fine chips generated during the cutting process promote foaming of the processing liquid composition, and the wire saw and the cut wafer are significantly contaminated by the chips, and the load for cleaning them. There was a problem that became larger. Further, as described above, it is required that the used working fluid be rendered harmless by waste liquid treatment.
  • the brittle material working fluid composition can be used in addition to the conventional requirement of lubricity, if foaming when using the working fluid composition can be suppressed and the cleanliness of chips can be improved, It also leads to stable production and improved processing accuracy.
  • the processing liquid composition is more excellent in waste liquid processability, for example, if the processing liquid composition has a lower value of the chemical oxygen demand (COD) in the processing liquid composition, it is suitable for the environment. It also leads to improved safety, improved safety during work, and improved economy by reducing the load associated with waste liquid treatment. As described above, in recent years, there has been a demand for a working fluid composition imparted with water solubility.
  • the water-soluble working fluid composition is usually used by diluting the stock solution of the working fluid composition with water. And from the viewpoint of the waste liquid processability described above, even when used in a state where the water content is higher, excellent lubricity and an effect of suppressing foaming during processing (hereinafter also simply referred to as “defoaming”) There is a need for a working fluid composition that yields. That is, there is a need for a working fluid composition that is excellent in the balance of lubricity, antifoaming property, and waste liquid treatability.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a brittle material processing liquid composition that is excellent in lubricity, defoaming property, and waste liquid treatment.
  • Component (B) is (B-1) an alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms, a nonionic surfactant having an HLB value of 4 to 11; and (B-2) including a copolymer of ethylene oxide and an alkylene oxide other than ethylene oxide,
  • the content of component (B-1) is 0.9 mass% or more and 88.0 mass% or less based on 100 mass% of the total amount of component (B)
  • the content of component (B-2) is 0.9% by mass or more and 96.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of component (B)
  • the total content of components (B-1) and (B-2) is 83.0% by mass or more based on 100% by mass of the total amount of component (B).
  • the Brittle material processing fluid composition [2] The brittle material working fluid composition according to [1], wherein the component (B-2) has a number average molecular weight of 500 or more and 6,000 or less. [3] The brittle material working fluid composition according to the above [1] or [2], wherein the surface tension of a 0.1% by mass aqueous solution of the component (B-1) is 31 mN / m or less. [4] The ratio [(B-1) / (B-2)] of the content of component (B-1) to the content of component (B-2) is 0.015 or more and 9.50 in mass ratio.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [1] to [3], which is as follows.
  • a method for producing a brittle material processing fluid composition comprising at least (A) water and (B) an additive mixture, Component (B) is (B-1) an alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms, a nonionic surfactant having an HLB value of 4 to 11; and (B-2) including a copolymer of ethylene oxide and an alkylene oxide other than ethylene oxide,
  • Component (B-1) is 0.9 mass% or more and 88.0 mass% or less based on 100 mass% of the total amount of component (B),
  • the content of component (B-2) is 0.9% by mass or more and 96.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of component (B), [1] to [9] are formulated so that the total content of
  • a brittle material processing liquid composition that is excellent in lubricity, defoaming property, and waste liquid treatment.
  • the brittle material processing fluid composition according to an embodiment of the present invention includes (A) water and (B) an additive mixture, and the component (B) is ( B-1) an alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms and having an HLB value of 4 to 11; and (B-2) other than ethylene oxide and ethylene oxide.
  • a working fluid that satisfies all the above-described requirements is excellent in the balance of lubricity, defoaming property, and waste liquid treatment property.
  • the “alkylene oxide (hereinafter also simply referred to as“ AO ”) adduct” refers to not only a compound to which a single alkylene oxide is added, but also a plurality of alkylene oxides, In addition, a compound to which a polyalkylene oxide is added is also included.
  • the “HLB value” used in the present specification means a value of HLB (Hydrophilic-Lipophilic Balance) calculated by the Griffin method.
  • the lower limit value and upper limit value which were described in steps can be combined independently, respectively.
  • the description of the lower limit value “preferably 10 or more, more preferably 20 or more, more preferably 30 or more” and “preferably 90 or less, more preferably 80 or less, more preferably 60 or less” Therefore, the preferable range can be set to “10 or more and 60 or less” by combining “preferable lower limit value (10)” and “more preferable upper limit value (60)”.
  • the “more preferable lower limit value (30)” and the “preferable upper limit value (90)” can be combined to set the preferable range to “30 or more and 90 or less”.
  • preferably 10 to 90, more preferably 20 to 80, still more preferably 30 to 60 can be used as “10 to 60”.
  • 10 to 90 is simply described as a preferable numerical range, it represents a range of 10 to 90.
  • each component contained in the processing liquid will be described.
  • the water which is the component (A) is not particularly limited, and purified water such as distilled water and ion exchange water (deionized water); tap water; industrial water; etc. can be used, preferably purified water, more preferably. Is ion-exchanged water (deionized water).
  • Content of a component (A) can be suitably adjusted with the condition which uses the said processing liquid.
  • the content of component (A) is 100 parts by weight of component (B).
  • it is 1.0 mass part or more, More preferably, it is 5.0 mass part or more, More preferably, it is 10.0 mass part or more, More preferably, it is 25.0 mass part or more.
  • the content of the component (A) is preferably 1,800 parts by mass or less, more preferably less than 900 parts by mass, still more preferably 550 parts by mass or less, and still more preferably with respect to 100 parts by mass of the component (B). It is 200 parts by mass or less.
  • the processing liquid when used for processing a brittle material, the above-mentioned stock solution is further diluted with the component (A), and the processing liquid is diluted (hereinafter also referred to as “diluted liquid”).
  • the content of the component (A) is 100 masses of the component (B) from the viewpoint of lowering the viscosity of the processing liquid and improving the handling properties and obtaining the effect of the present invention more effectively.
  • Parts preferably 900 parts by weight or more, more preferably 1,900 parts by weight or more, still more preferably 9,900 parts by weight or more, still more preferably 12,000 parts by weight or more, still more preferably 15,000 parts by weight. More than a part.
  • the content of the component (A) is preferably 999,900 parts by mass or less, more preferably 199,900 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (B) from the viewpoint of securing the effective component amount in the working fluid.
  • Part or less more preferably 99,900 parts by weight or less, still more preferably 66,500 parts by weight or less, and still more preferably 49,900 parts by weight or less.
  • active ingredient refers to all the components except the component (A) from the working fluid.
  • the processing liquid for the process of a brittle material, from the viewpoint which can suppress corrosion of each wire, a processing apparatus, etc. which are mentioned later in the column of the use of a processing liquid, Preferably it is 3 or more, More preferably, it is 4 or more, More preferably, it is 5 or more.
  • the pH of the diluted solution is preferably 9 or less, more preferably 8 or less, and even more preferably 7 or less, from the viewpoint of suppressing generation of a large amount of hydrogen from chips when processing silicon or the like. It is.
  • Component (B) is an additive mixture, which will be described in detail below.
  • (B-1) An alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms and having an HLB value of 4 to 10
  • the surfactant and (B-2) a copolymer of ethylene oxide and alkylene oxide are each included in a specific amount. The content and total content of each component will be described later in the explanation column for each component.
  • the component (B) contains both the component (B-1) and the component (B-2), so that the working fluid composition has good lubricity and good antifoaming properties, especially during the cutting process described above. It becomes the processing liquid which is excellent in balance with the defoaming property when the fine chips generated in the processing liquid are contained in the processing liquid.
  • each component contained in the additive mixture will be described.
  • Component (B-1) is an alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms and a nonionic surfactant having an HLB value of 4 to 11.
  • HLB value of component (B-1) is 4 or more, the solubility of component (B-1) in component (A) is improved.
  • HLB value of the component (B-1) is 11 or less, the antifoaming property of the working fluid is improved.
  • the HLB value of component (B-1) is preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and even more preferably 8 from the viewpoint of improving the lubricity of the working fluid.
  • the HLB value of the component (B-1) is preferably 10 or less, more preferably 9 or less, from the viewpoint of improving the defoaming property of the working fluid.
  • the surface tension of the 0.1% by mass aqueous solution of component (B-1) is preferably 31 mN / m or less, more preferably 30 mN / m or less, still more preferably 29 mN / m or less, and even more preferably 28 mN / m. Is less than.
  • the surface tension of the 0.1 mass% aqueous solution of component (B-1) is preferably 1 mN / m or more, more preferably 5 mN / m or more, and further preferably 10 mN / m or more.
  • Examples of the alcohol having 10 to 24 carbon atoms include aliphatic alcohols having 10 to 24 carbon atoms.
  • the carbon number of the alcohol having 10 to 24 carbon atoms is preferably 11 or more, more preferably 12 or more.
  • the carbon number of the alcohol having 10 to 24 carbon atoms is preferably 20 or less, more preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less.
  • the aliphatic alcohol is preferably a primary alcohol or a secondary alcohol, and more preferably a primary alcohol. Further, it may be linear, branched or cyclic.
  • the aliphatic alcohol is preferably a monohydric alcohol. Examples of the aliphatic alcohol include decanol, undecyl alcohol, lauryl alcohol, tridecyl alcohol, isotridecyl alcohol, myristyl alcohol, pentadecyl alcohol, palmityl alcohol, heptadecanol, stearyl alcohol, isostearyl alcohol, nona Saturated aliphatic alcohols such as decyl alcohol and eicosanol; such as decenyl alcohol, dodecenyl alcohol, tridecenyl alcohol, tetradecenyl alcohol, palmitoleyl alcohol, oleyl alcohol, gadrel alcohol, linoleyl alcohol Saturated aliphatic alcohols; cyclic aliphatic alcohols such as
  • alkylene oxide (AO) examples include alkylene oxides having 2 to 4 carbon atoms, such as ethylene oxide (EO), 1,2-propylene oxide, 1,3-propylene oxide, 1,2-butylene oxide, Examples include 2,3-butylene oxide, 1,3-butylene oxide, and tetrahydrofuran.
  • Component (B-1) is preferably a compound in which at least EO is added to the alcohol having 10 to 24 carbon atoms, and more preferably EO and AO other than EO are added to the alcohol having 10 to 24 carbon atoms. It is an added compound.
  • Component (B-1) is more preferably at least one selected from polyoxyethylene alkyl ether and polyoxyethylene alkylene alkyl ether.
  • Component (B-1) can be synthesized by adding EO and / or AO other than EO to the alcohol having 10 to 24 carbon atoms. Addition of EO and / or AO other than EO to the alcohol having 10 to 24 carbon atoms can be carried out by a known method, and in the presence of a non-catalyst or a catalyst, at normal pressure or under pressure, one step or many. It may be done in stages.
  • the component (B-1) may be used alone or in combination of two or more.
  • the content of component (B-1) is 0.9% by mass or more and 88.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of component (B).
  • the content of the component (B-1) is not less than the lower limit value, the lubricity of the working fluid is excellent. Further, when the content of the component (B-1) is not more than the above upper limit value, the processing liquid is excellent in waste liquid treatability.
  • the content of the component (B-1) is preferably 2.5% by mass or more, more preferably 3.5% by mass based on the total amount of the component (B) of 100% by mass from the viewpoint of improving the lubricity of the working fluid.
  • the content of the component (B-1) is preferably 84.0% by mass or less, more preferably 82.0% by mass based on the total amount of the component (B) of 100% by mass, from the viewpoint of improving the waste liquid processability. % Or less, more preferably 80.0% by mass or less, and still more preferably 78.0% by mass or less.
  • Component (B-2) is a copolymer of ethylene oxide and an alkylene oxide other than ethylene oxide.
  • the copolymer of EO and AO other than EO is a copolymer of EO and AO other than EO, which will be described later.
  • the mode of addition of EO and AO other than EO is random addition or block addition. Any of them may be used, and random addition and block addition may be mixed, but a block-added copolymer is preferable, and a pluronic-type copolymer is more preferable.
  • AO other than EO examples include alkylene oxides having 3 or 4 carbon atoms, such as propylene oxide (PO), oxetane, 1,2-butylene oxide, 2,3-butylene oxide, 1,3-butylene oxide. And tetrahydrofuran.
  • the copolymer of EO and AO other than EO is more preferably a copolymer of EO and PO, more preferably a block copolymer of EO and PO (“polyethylene glycol unit and polypropylene glycol unit”).
  • a triblock copolymer of EO and PO also referred to as a “triblock copolymer having a polyethylene glycol unit and a polypropylene glycol unit”. More preferably, it is a pluronic copolymer obtained by adding ethylene oxide to polypropylene glycol.
  • the number average molecular weight (Mn) of the component (B-2) is preferably 500 or more, more preferably 1,000 or more, and still more preferably 1,500 or more.
  • the number average molecular weight (Mn) of the component (B-2) is preferably 6,000 or less, more preferably 5,000 or less, and still more preferably 3,000 or less.
  • the value of the number average molecular weight (Mn) is a value measured using the method described in Examples described later.
  • the number average molecular weight (Mn) of the structural portion derived from AO other than EO is preferably 500 or more, more preferably 1,000 or more, and still more preferably. 1,500 or more.
  • the number average molecular weight (Mn) of the structural portion derived from AO is preferably 5,000 or less, more preferably 3,000 or less, and still more preferably 2,000 or less.
  • Component (B-2) may be used alone or in combination of two or more.
  • the content of component (B-2) is 0.9% by mass or more and 96.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of component (B).
  • the content of the component (B-2) is not less than the above lower limit value, the anti-foaming property of the working fluid, particularly when the fine fluid generated during the above-described cutting processing is contained in the working fluid. Excellent defoaming properties.
  • the processing liquid is excellent in waste liquid treatability.
  • the content of the component (B-2) improves the defoaming property of the processing liquid composition, in particular, the defoaming property when the fine liquid generated during the cutting process described above is contained in the processing liquid.
  • the total amount of the working fluid composition component (B) is preferably based on 100% by mass, preferably 1.8% by mass or more, more preferably 5.0% by mass or more, still more preferably 7.0% by mass or more, and still more. Preferably it is 16.0 mass% or more, More preferably, it is 18.0 mass% or more.
  • the content of the component (B-2) is preferably 94.0% by mass or less, more preferably 92.0% by mass on the basis of 100% by mass of the total amount of the component (B) from the viewpoint of improving the waste liquid processability. % Or less, more preferably 91.0% by mass or less, still more preferably 85.0% by mass or less, and still more preferably 70.0% by mass or less.
  • the total content of the component (B-1) and the component (B-2) in the component (B) is 83.0% by mass or more based on 100% by mass of the total amount of the component (B).
  • the total content of the component (B-1) and the component (B-2) is equal to or higher than the lower limit value, a working fluid having an excellent balance of lubricity, antifoaming property, and waste liquid treatment property is obtained.
  • the total content is preferably 85.0% by mass or more, more preferably 88.0% by mass or more, based on the total amount of component (B) of 100% by mass, More preferably, it is 90.0 mass% or more, More preferably, it is 94.0 mass% or more.
  • the total content of the component (B-1) and the component (B-2) is preferably 99.9% by mass or less, more preferably, based on the total amount of the component (B) of 100% by mass from the same viewpoint. Is 99.0% by mass or less, more preferably 98.0% by mass or less, still more preferably 97.0% by mass or less, and still more preferably 96.0% by mass or less.
  • the ratio ((B-1) / (B-2)) of the content of the component (B-1) and the content of the component (B-2) is determined by the lubricity, the waste liquid treatment property, the antifoaming
  • the mass ratio is preferably 0.00. 015 or more, more preferably 0.020 or more, still more preferably 0.050 or more, still more preferably 0.10 or more, still more preferably 0.50 or more, still more preferably 1.00 or more, and even more preferably. It is 2.00 or more, More preferably, it is 3.00 or more.
  • the ratio [(B-1) / (B-2)] is preferably 9.50 or less, more preferably 8.00 or less, and even more preferably 7.00 or less in terms of mass ratio. More preferably, it is 6.00 or less, More preferably, it is 5.00 or less.
  • Component (B) may further contain other additives in addition to the aforementioned component (B-1) and component (B-2) as long as the object of the present invention is not impaired.
  • Other additives include surfactants other than components (B-1) and (B-2), pH adjusters, water retention improvers, antifoaming agents, metal deactivators, bactericides / preservatives, Examples include rusting agents and antioxidants. These additives may be used alone or in combination of two or more. Among these additives, at least one selected from the group consisting of surfactants other than components (B-1) and (B-2) and a pH adjuster is preferable. In addition, these other additives may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
  • surfactants other than components (B-1) and (B-2) include anionic surfactants, cationic surfactants, nonionic surfactants other than components (B-1) and (B-2), And amphoteric surfactants.
  • anionic surfactant include alkyl benzene sulfonate and alpha olefin sulfonate.
  • cationic surfactant include quaternary ammonium salts such as alkyltrimethylammonium salts, dialkyldimethylammonium salts, and alkyldimethylbenzylammonium salts.
  • nonionic surfactant other than the components (B-1) and (B-2) examples include a nonionic surfactant having a carbon number of less than 10 or more than 24, and a nonionic surfactant having an HLB value of less than 4 or more than 11.
  • ionic surfactants amides such as fatty acid alkanolamides.
  • amphoteric surfactants include alkyl betaines as betaines.
  • nonionic surfactants such as ethers other than the components (B-1) and (B-2) are preferably used.
  • the pH adjuster is mainly used to adjust the pH of the processing liquid.
  • the pH adjuster include various acid components and base components, and the pH of the processing liquid can be appropriately adjusted by adjusting the content ratio of these components.
  • the acid component and the base component can react with each other to form a salt. Therefore, when an acid component and a base component are used as a pH adjuster, when a reaction product of the acid component and the base component exists in the processing liquid, as described above, the reaction product of the acid component and the base component is contained.
  • Each content of the acid component and the base component contributing to the reaction calculated from the amount can also be calculated. Moreover, it can replace with the said reaction material in that case, and can be considered that the said acid component and base component before reaction are contained.
  • Examples of the acid component used as a pH adjuster include various fatty acids such as lauric acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, neodecanoic acid, isononanoic acid, capric acid, and isostearic acid; acetic acid, malic acid, and citric acid.
  • fatty acids such as lauric acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, neodecanoic acid, isononanoic acid, capric acid, and isostearic acid
  • acetic acid malic acid, and citric acid
  • Examples thereof include carboxylic acids such as acids; polymer acids such as polyacrylic acid and salts thereof; and inorganic acids such as phosphoric acid.
  • fatty acids are preferable, fatty acids having 12 or less carbon atoms such as neodecanoic acid, isononanoic acid, capric acid, and dodecanedioic acid are more preferable, and a group consisting of neodecanoic acid, isononanoic acid, capric acid, and dodecanedioic acid. One or more selected are more preferable.
  • Examples of the base component used as a pH adjuster include monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, tri-n-propanolamine, tri-n-butanolamine, Isobutanolamine, tri-tert-butanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, N-butylethanolamine, N-cyclohexylethanolamine, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N-cyclohexyldiethanolamine, Alkanolamines such as N, N-dimethylethanolamine and N, N-diethylethanolamine; methylamine, dimethylamine, ethylamine , Diethylamine, propylamine, alkyl amines such as dipropylamine; and the ammonia.
  • tertiary amines are preferable, and at least one selected from the group consisting of triethanolamine, triisopropanolamine, N-methyldiethanolamine, and N-cyclohexyldiethanolamine is more preferable.
  • water retention improver examples include ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, hexamethylene glycol, neopentyl glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, glycerin, and ester derivatives thereof. , These ether derivatives; polyethylene glycol, polypropylene glycol and the like.
  • At least one selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, diethylene glycol, polyethylene glycol, glycerin, their ester derivatives and their ether derivatives is preferable, and ethylene glycol, diethylene glycol, polyethylene glycol More preferably, one or more selected from the group consisting of glycerin, their ester derivatives and their ether derivatives, and one or more selected from the group consisting of diethylene glycol, glycerin, their ester derivatives, and their ether derivatives are further preferable.
  • Examples of the antifoaming agent include silicone oil, fluorosilicone oil, polyether polysiloxane, and fluoroalkyl ether. Of these, polyether polysiloxane is preferred.
  • Examples of the metal deactivator include imidazoline, pyrimidine derivatives, thiadiazole, and benzotriazole.
  • Examples of the disinfectant / preservative include p-oxybenzoates (parabens), benzoic acid, salicylic acid, sorbic acid, dehydroacetic acid, p-toluenesulfonic acid and salts thereof, and phenoxyethanol.
  • Examples of the rust preventive include alkylbenzene sulfonate, dinonyl naphthalene sulfonate, alkenyl succinate, and polyhydric alcohol ester.
  • Examples of the antioxidant include phenolic antioxidants and amine antioxidants.
  • the content of other additives is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1.0% by mass, based on 100% by mass of the total amount of component (B). More preferably, it is 2.0% by mass or more, still more preferably 3.0% by mass or more, and still more preferably 4.0% by mass or more.
  • the content of the other additives is preferably 17.0% by mass or less, more preferably 15.0% by mass or less, and further preferably 12.0% by mass, based on the total amount of component (B) of 100% by mass.
  • it is more preferably 10.0% by mass or less, and still more preferably 6.0% by mass or less.
  • the ratio of the amount of other additives in component (B) and the total content of components (B-1) and (B-2) [(other additives ) / ((B-1) + (B-2))] is preferably 0.001 or more, more preferably 0.005 or more, still more preferably 0.01 or more, still more preferably 0.00 by mass ratio. 02 or more, more preferably 0.03 or more.
  • the ratio [(other additives) / ((B-1) + (B-2))] is preferably 0.20 or less, more preferably 0.18 or less, and still more preferably 0.8 by mass ratio. It is 14 or less, more preferably 0.11 or less, and still more preferably 0.06 or less.
  • component (B) when component (B) contains other additives, component (B-1), component (B-2) and other additives are added in component (B).
  • the total content of the agent is preferably 100% by mass, based on the total amount of component (B) of 100% by mass.
  • the total content of the component (A) and the component (B) is preferably 100% by mass based on the total amount of the processing fluid of 100% by mass.
  • the total content of “component (A), component (B-1) and component (B-2)” is 100% of the total amount of the brittle material working fluid composition.
  • a mass% basis preferably 95.000 mass% or more, more preferably 98.000 mass% or more, still more preferably 99.800 mass% or more, still more preferably 99.900 mass% or more, and even more preferably 99. 950% by mass or more, particularly preferably 100% by mass, and preferably 100% by mass or less, more preferably 99.9999% by mass or less, still more preferably 99.999% by mass or less, and still more preferably 99.% by mass. It is 995 mass% or less, More preferably, it is 99.990 mass% or less, More preferably, it is 99.985 mass% or less.
  • HLB value of the brittle material working fluid composition according to an embodiment of the present invention
  • a value calculated by the Griffin method can be used.
  • the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the brittle material working fluid composition according to an embodiment of the present invention can be measured using, for example, gel permeation chromatography (GPC).
  • the weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) can be measured, for example, by using GPC under the following conditions.
  • GPC gel permeation chromatography
  • the pH of the brittle material working fluid composition according to an embodiment of the present invention can be measured using, for example, a glass electrode type hydrogen ion concentration indicator (manufactured by Toa DKK Corporation, model: HM-25R).
  • the manufacturing method of the brittle material working fluid composition is: A method for producing a brittle material working fluid composition comprising at least (A) water and (B) an additive mixture, Component (B) is (B-1) an alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms, a nonionic surfactant having an HLB value of 4 to 11; and (B-2) including a copolymer of ethylene oxide and an alkylene oxide other than ethylene oxide,
  • the content of component (B-1) is 0.9 mass% or more and 88.0 mass% or less based on 100 mass% of the total amount of component (B),
  • the content of component (B-2) is 0.9% by mass or more and 96.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of component (B)
  • a brittle material working fluid composition was formulated by blending so that the total content of components (B-1) and (B-2) was 83.0% by mass or more based on 100% by
  • the order of blending component (A), component (B-1) and component (B-2) is not particularly limited, and component (B-1) and component (B-2) are added to component (A).
  • the components (B-1) and (B-2) may be preliminarily blended, and the mixture may be blended with the component (A).
  • component (A), component (B-1) and component (B-2) are blended, and other additives may be blended as necessary.
  • the stock solution of the brittle material working fluid composition described above is prepared in advance, and then the component (A) is further added to the stock solution.
  • the diluting liquid of the brittle material processing liquid composition can be appropriately adjusted depending on the use of the diluting liquid.
  • the stock solution of the brittle material processing liquid composition can be prepared using the component (A). It can be prepared by diluting so that the total amount (volume) is preferably 2 times or more, more preferably 5 times or more, still more preferably 10 times or more, and still more preferably 100 times or more.
  • the diluting liquid of the brittle material processing liquid composition can be appropriately adjusted depending on the use of the diluting liquid.
  • the stock solution of the brittle material processing liquid composition can be prepared using the component (A). It can be prepared by diluting so that the total amount (volume) is preferably 1,000 times or less, more preferably 900 times or less, still more preferably 800 times or less, and still more preferably 700 times or less.
  • Component (A), component (B-1), component (B-2), and other additives are the same as those described above in the section of brittle material processing liquid composition, and preferred embodiments thereof. Since this is the same, detailed description thereof is omitted.
  • the preferred blending amounts of the component (A), the component (B-1), the component (B-2), and other additives and the preferred blending ratios between the components are also shown in the brittle material processing liquid composition. Since it is the same as each content and each content ratio in the said brittle material processing-fluid composition mentioned above in the column of the thing, the detailed description is abbreviate
  • component (A) and the component (B-) of the preferred embodiment of the above-described concentrated brittle material working fluid composition (stock solution) and the preferred embodiment of the diluted brittle material working fluid composition (diluted solution) 1), the component (B-2), and other suitable additives, as well as the preferred compounding ratio between the components, are the same as the respective contents and content ratios described later, Detailed description thereof is omitted.
  • the brittle material working fluid composition can be suitably used when wire sawing a workpiece made of a brittle material such as a silicon ingot using the wire saw described above, preferably a fixed abrasive wire saw. That is, the processing liquid can be suitably used when processing a workpiece made of a brittle material using a wire.
  • the brittle material include crystalline silicon, sapphire, gallium nitride, silicon carbide, neodymium magnet, zirconia, graphite, niobic acid, tantalate, quartz and glass.
  • the processing liquid can be more suitably used when processing crystalline silicon, sapphire, silicon carbide, neodymium magnet, crystal, or glass from the viewpoint of the contamination suppression effect, and processes crystalline silicon, sapphire, or silicon carbide. In this case, it can be used more suitably.
  • a brittle material processing method is a method of processing a workpiece made of the brittle material such as a silicon ingot using the brittle material working fluid composition.
  • the machining fluid is used by supplying the machining fluid to the workpiece and bringing it into contact with the workpiece.
  • the machining fluid lubricates between the workpiece and a processing tool such as the wire saw. Furthermore, it is used for removal of chips (chips), rust prevention of workpieces, cooling of tools and workpieces, and the like.
  • Specific examples of the processing of the brittle material performed using the processing liquid include various processing such as cutting, grinding, punching, polishing, drawing, drawing, rolling, and the like. Among them, cutting and grinding are preferable, and cutting is more preferable.
  • the brittle material as the workpiece include the materials described above. Note that, as described above, the processing liquid is preferably used as one used for cutting a silicon ingot.
  • the wire saw processing method of both the free abrasive grain method and the fixed abrasive grain method cuts a plurality of silicon wafers from the silicon ingot at a time.
  • one wire is wound around each groove on two or more guide rollers having a plurality of grooves carved at a constant interval, and each wire is held in parallel with a constant tension.
  • each guide roller is rotated and the wire is run in one or both directions while the machining liquid discharged from the nozzle or the like is adhered to the wire, and the silicon ingot is pushed onto the wire to which the machining liquid is adhered. Cutting is applied.
  • processing may be performed while applying a processing liquid to a workpiece itself such as a silicon ingot as necessary.
  • the processing liquid used for processing is stored in a tank or the like, and is transported from there to the aforementioned processing chamber nozzle by piping or the like.
  • the machining fluid used at the time of cutting is collected in a used machining fluid receiving tank or the like below the cutting device.
  • the processing liquid is more preferably used as a processing liquid used in such a brittle material processing method.
  • the processing liquid is further used as a processing liquid used in a processing method of cutting a silicon wafer from a silicon ingot with a fixed abrasive wire. It is preferably used and more preferably used by a processing method of cutting a silicon wafer from a silicon ingot using a multi-wire apparatus using a fixed abrasive wire saw.
  • the brittle material processing apparatus is a processing apparatus that uses the brittle material processing liquid composition according to one embodiment of the present invention, preferably a multi-wire cutting apparatus, and more preferably.
  • examples of the brittle material working fluid composition related to one embodiment of the present invention include the following embodiments [2-1] to [2-18]. Note that some of the aspects included in the embodiments described in [2-1] to [2-18] below can be given as examples of the aspects related to the stock solution described above.
  • a brittle material processing fluid composition comprising the following component (A), component (B-1) and component (B-2),
  • the content of the component (B-1) is more than 0.500% by mass and 90.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material working fluid composition
  • the content of the component (B-2) is more than 0.500% by mass and 90.0% by mass or less based on the total amount of 100% by mass of the brittle material working fluid composition
  • the total content of component (B-1) and component (B-2) is more than 1.00% by mass and 98.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition.
  • Brittle material processing fluid composition is more than 1.00% by mass and 98.0% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition.
  • the number average molecular weight of component (B-2) is preferably 500 or more, more preferably 1,000 or more, still more preferably 1,500 or more.
  • the content of the component (A) is preferably 1.00% by mass or more, more preferably 2.00% by mass or more, and still more preferably based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition. 5.00% by mass or more, more preferably 10.0% by mass or more, still more preferably 20.0% by mass or more, and preferably 90.0% by mass or less, more preferably 85.0% by mass.
  • the brittle material working fluid composition according to [2-1] or [2-2] more preferably 80.0% by mass or less, and still more preferably 70.0% by mass or less.
  • the surface tension of the 0.1% by mass aqueous solution of component (B-1) is preferably 31 mN / m or less, more preferably 30 mN / m or less, still more preferably 29 mN / m or less, and even more preferably 28 mN. Any of the above [2-1] to [2-3], which is less than / m, and preferably 1 mN / m or more, more preferably 5 mN / m or more, and even more preferably 10 mN / m or more.
  • a brittle material processing fluid composition is preferably 31 mN / m or less, more preferably 30 mN / m or less, still more preferably 29 mN / m or less, and even more preferably 28 mN. Any of the above [2-1] to [2-3], which is less than / m, and preferably 1 mN / m or more, more preferably 5 mN / m or more, and even more
  • the content of component (B-1) is preferably 0.800% by mass or more, more preferably 1.00% by mass or more, based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing fluid composition, Preferably, it is 1.50% by mass or more, and preferably 90.0% by mass or less, more preferably 80.0% by mass or less, and further preferably 70.0% by mass or less, [2-1] The brittle material working fluid composition according to any one of to [2-4]. [2-6] The content of the component (B-2) is preferably 1.00% by mass based on 100% by mass of the total amount of the brittle material working fluid composition and 100% by mass based on the total amount of the brittle material processing fluid composition.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [2-1] to [2-5], which is 0.0 mass% or less.
  • the ratio [(B-1) / (B-2)] of the content of the component (B-1) to the content of the component (B-2) is preferably 0. 015 or more, more preferably 0.020 or more, still more preferably 0.050 or more, still more preferably 0.10 or more, still more preferably 0.50 or more, still more preferably 1.00 or more, and even more preferably.
  • the brittle material working fluid composition according to [2-1] to [2-6], which is still more preferably 5.00 or less.
  • the total content of the component (B-1) and the component (B-2) is preferably 5.00% by mass or more, more preferably 100% by mass or more based on the total amount of the brittle material processing liquid composition. 10.0% by mass or more, more preferably 20.0% by mass or more, still more preferably 25.0% by mass or more, and preferably 95.0% by mass or less, more preferably 90.0% by mass or less.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [2-1] to [2-7], more preferably 80.0% by mass or less, and still more preferably 70.0% by mass or less. [2-9] Further, other additives are included, and the total content of the other additives is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.00% or more based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [2-1] to [2-8], which is preferably 7.00% by mass or less, and more preferably 6.00% by mass or less.
  • the total content of component (A), component (B-1) and component (B-2) is preferably 90.00% by mass based on 100% by mass of the total amount of the brittle material working fluid composition More preferably, it is 92.00% by mass or more, more preferably 93.00% by mass or less, still more preferably 94.00% by mass or more, and preferably 100% by mass or less, more preferably 99.99%.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of the above.
  • a brittle material working fluid composition in which the total content of component (A), component (B-1), component (B-2), and other additives added as necessary is The brittle material working fluid composition according to the above [2-9] or [2-10], which is 100% by mass based on the total amount of 100% by mass.
  • brittle material working fluid composition according to [2-12] or [2-13] above, wherein the brittle material is crystalline silicon, sapphire, silicon carbide, neodymium magnet, crystal, or glass.
  • brittle material processing according to any one of [2-1] to [2-14], wherein at least the following component (A), component (B-1), and component (B-2) are blended: A method for producing a liquid composition.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [2-10] to [2-14] In terms of the total amount (volume) of the liquid composition, preferably 2 times or more, more preferably 5 times or more, still more preferably 10 times or more, still more preferably 100 times or more, and preferably 1,000 times or less, more A brittle material that is further diluted with the component (A) so as to be 900 times or less, more preferably 800 times or less, and still more preferably 700 times or less, and is used for processing a brittle material.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [2-10] to [2-14] above has a pH of preferably 3 or more, more preferably 4 or more, and even more preferably 5 or more. Yes, preferably 9 or less, more preferably 8 or less, and even more preferably 7 or less, further diluted with the component (A) for use in processing brittle materials. use.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [2-10] to [2-14] above is used in accordance with 17. of JIS K 0102: 2016. The oxygen consumption (COD Mn ) by potassium permanganate at 100 ° C. measured according to the test method described in 1.
  • a brittle material working fluid composition for use in the processing of brittle materials.
  • examples of the brittle material working fluid composition related to one embodiment of the present invention include the following embodiments [3-1] to [3-17]. Note that some of the aspects included in the embodiments described in [3-1] to [3-17] below can be given as examples of the aspects related to the above-described diluent.
  • a brittle material processing fluid composition comprising the following component (A), component (B-1) and component (B-2),
  • the content of the component (B-1) is 0.005% by mass or more and 0.500% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material working fluid composition
  • the content of the component (B-2) is 0.005% by mass or more and 0.500% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material working fluid composition
  • the total content of component (B-1) and component (B-2) is 0.108% by mass or more and 1.000% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition.
  • Brittle material processing fluid composition is 0.108% by mass or more and 1.000% by mass or less based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition.
  • the number average molecular weight of component (B-2) is preferably 500 or more, more preferably 1,000 or more, still more preferably 1,500 or more.
  • the content of the component (A) is preferably 90.00% by mass or more, more preferably 95.00% by mass or more, still more preferably, based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition. 99.00% by mass or more, more preferably 99.20% by mass or more, still more preferably 99.40% by mass or more, and preferably 99.99% by mass or less, more preferably 99.95% by mass. Or less, more preferably 99.90% by mass or less, even more preferably 99.85% by mass or less, and still more preferably 99.80% by mass or less, as described in [3-1] or [3-2] above.
  • a brittle material processing fluid composition is preferably 90.00% by mass or more, more preferably 95.00% by mass or more, still more preferably, based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition. 99.00% by mass or more, more preferably 99.20% by mass or more, still more preferably 99.40% by mass or more, and preferably
  • the surface tension of the 0.1% by mass aqueous solution of component (B-1) is preferably 31 mN / m or less, more preferably 30 mN / m or less, still more preferably 29 mN / m or less, and even more preferably 28 mN. Any of [3-1] to [3-3], preferably less than 1 mN / m, more preferably more than 5 mN / m, and still more preferably more than 10 mN / m.
  • the pH is preferably 3 or more, more preferably 4 or more, still more preferably 5 or more, and preferably 9 or less, more preferably 8 or less, and even more preferably 7 or less.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [3-4].
  • the content of the component (B-1) is preferably 0.007% by mass or more, more preferably 0.010% by mass or more based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing fluid composition, Preferably it is 0.020 mass% or more, More preferably, it is 0.050 mass% or more, More preferably, it is 0.080 mass% or more, More preferably, it is 0.150 mass% or more, Preferably it is 0.00.
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [3-1] to [3-5].
  • the content of the component (B-2) is preferably 0.010 mass based on the total amount of 100% by mass of the brittle material working fluid composition and 100% by mass based on the total amount of the brittle material working fluid composition.
  • % Or more more preferably 0.020% by mass or more, still more preferably 0.030% by mass or more, still more preferably 0.040% by mass or more, still more preferably 0.060% by mass or more, still more preferably 0. 0.080% by mass or more, and preferably 0.480% by mass or less, more preferably 0.450% by mass or less, still more preferably 0.400% by mass or less, still more preferably 0.350% by mass or less,
  • the brittle material working fluid composition according to any one of [3-1] to [3-6], more preferably 0.300% by mass or less, and still more preferably 0.200% by mass or less.
  • the ratio [(B-1) / (B-2)] of the content of component (B-1) to the content of component (B-2) is preferably 0. 015 or more, more preferably 0.020 or more, still more preferably 0.050 or more, still more preferably 0.10 or more, still more preferably 0.50 or more, still more preferably 1.00 or more, and even more preferably. 2.00 or more, more preferably 3.00 or more, and preferably 9.50 or less, more preferably 8.00 or less, still more preferably 7.00 or less, even more preferably 6.00 or less,
  • the total content of component (B-1) and component (B-2) is preferably 0.110% by mass or more, more preferably based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition 0.150% by mass or more, more preferably 0.200% by mass or more, still more preferably 0.300% by mass or more, still more preferably 0.400% by mass or more, and preferably 0.900% by mass. Any one of the above [3-1] to [3-8], more preferably 0.800% by mass or less, still more preferably 0.700% by mass or less, and still more preferably 0.600% by mass or less.
  • the total content of the other additives is preferably 0.0001% by mass or more, more preferably 0.001% by mass or more based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition.
  • a brittle material processing fluid composition is 0.150% by mass or less, more preferably 0.100% by mass or less, and still more preferably 0.050% by mass or less, in any one of [3-1] to [3-9] above.
  • the total content of component (A), component (B-1) and component (B-2) is preferably 95.000% by mass based on 100% by mass of the total amount of the brittle material processing liquid composition. Or more, more preferably 98.000% by mass or more, further preferably 99.800% by mass or more, still more preferably 99.900% by mass or more, still more preferably 99.950% by mass or more, and preferably 100% by mass or less, more preferably 99.9999% by mass or less, still more preferably 99.999% by mass or less, still more preferably 99.995% by mass or less, still more preferably 99.990% by mass or less, and still more preferably The brittle material working fluid composition according to any one of the above [3-1] to [3-10], which is 99.985% by mass or less.
  • a brittle material working fluid composition in which the total content of component (A), component (B-1), component (B-2), and other additives added as necessary is The brittle material working fluid composition according to the above [3-10] or [3-11], which is 100% by mass on the basis of 100% by mass of the total amount.
  • the oxygen consumption (COD Mn ) by potassium permanganate at 100 ° C. measured according to the test method described in 1. is preferably 100 mg / L or more, more preferably 500 mg / L or more, and still more preferably 1,000 mg.
  • the above [3-1] to [3-12] are preferably not more than 10,000 mg / L, more preferably not more than 8,000 mg / L, still more preferably not more than 7,000 mg / L.
  • [3-14] The brittle material working fluid composition according to any one of [3-1] to [3-13], which is used when a workpiece made of a brittle material is processed using a wire.
  • [3-15] The brittle material working fluid composition according to [3-14], wherein the wire is a fixed abrasive wire.
  • brittle material working fluid composition according to [3-14] or [3-15], wherein the brittle material is crystalline silicon, sapphire, silicon carbide, neodymium magnet, crystal, or glass.
  • component (A) Water component (B-1): Non-ionic surfactant component (B-2) which is an alkylene oxide adduct of an alcohol having 10 to 24 carbon atoms and has an HLB value of 4 to 11 : Copolymer of ethylene oxide and alkylene oxide other than ethylene oxide
  • the component (A), the component (B-1), the component (B-2), and Other additives are the same as the corresponding components described above in the section of the brittle material processing liquid composition according to [1], which is an embodiment of the present invention, and the preferred embodiments thereof are also the same. Therefore, detailed description is omitted.
  • the reasons for setting the preferable ranges of the respective contents and mass ratios are also described in the present invention.
  • the amount of other additives and the components (B-1) and (B-2) ) With respect to the total content [(other additives) / (B-1 + B-2)] (mass ratio) is also preferably in each of the above-mentioned [1] according to the embodiment of the present invention. Since it is the same as the range mentioned above in the column of a brittle material processing liquid composition, detailed description is abbreviate
  • the order of blending component (A), component (B-1) and component (B-2) is not particularly limited.
  • the component (B-1) and the component (B-2) may be blended sequentially or simultaneously with the component (A), and the component (B-1) and the component (B-2) are blended in advance.
  • the mixture may be blended with the component (A).
  • component (A), component (B-1) and component (B-2) are blended, and other additives may be blended as necessary.
  • the step of preparing a stock solution of the brittle material working fluid composition in advance using the production method according to [2-15] above And a step of further blending and diluting the component (A) with the stock solution to prepare a brittle material processing liquid composition.
  • a suitable range of the dilution ratio when diluting the stock solution with the component (A) is the same as the range described above in the column of the brittle material processing liquid composition according to [1], which is an embodiment of the present invention. is there.
  • the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) were measured using gel permeation chromatography (GPC).
  • GPC uses two TSKgel SuperMultipore HZ-M manufactured by Tosoh Corporation as a column, performs measurement using tetrahydrofuran as an eluent, and a refractive index detector as a detector, and uses polystyrene as a standard sample as a weight average molecular weight (Mw) and a number.
  • the average molecular weight (Mn) was determined.
  • the circulation rate was adjusted so that the flow rate of the working fluid at this time was 1.3 L / min.
  • the liquid level after 5 minutes from the start of circulation was measured.
  • the liquid level is compared with the unit “mL” using the scale of the graduated cylinder.
  • the liquid level height increases, that is, the value of “mL” increases. Therefore, the smaller the liquid level height value “mL”, the better the defoaming property.
  • Tables 1 and 2 The obtained results are shown in Tables 1 and 2 below.
  • Liquid level: fine powder A blend of fine powder (“graphite powder”, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., special grade) so as to have a concentration of 13 mass% in the evaluation liquid was prepared as an evaluation liquid. Except using the said evaluation liquid, liquid level height was measured by the method similar to the measuring method of the liquid level height "without fine powder", and the defoaming property of the processing liquid at the time of fine powder mixing was evaluated.
  • COD Mn is less than 10,000 mg / L-N: COD Mn is 10,000 mg / L or more
  • the fact that it is a processing liquid with excellent waste liquid treatability means that it is a processing liquid that can sufficiently exhibit performances such as lubricity and defoaming properties required as a processing liquid even with a smaller active ingredient concentration as described above. Also represents.
  • the waste liquid processability in the present invention is not intended to specify that the processing liquid actually satisfies a specific water content, and the evaluation based on the above index can exhibit sufficient performance even with a small concentration of active ingredients. It is also used as an index for judging whether or not it is a machining fluid.
  • Examples 1 to 5 Comparative Examples 1 to 7
  • Each component was blended so as to have the composition shown in Tables 1 and 2 below to prepare a brittle material working fluid composition.
  • the brittle material processing liquid composition of each Example and a comparative example was evaluated. The obtained results are shown in Tables 1 and 2 below.
  • each component shown in following Table 1 and 2 represents the following compounds, respectively.
  • Ingredient (A) ⁇ Additives other than ion-exchanged water component (A) (component (B) in Table 1 or raw material of active ingredients in Table 2)
  • Surfactant 4 EO
  • the brittle material working fluid compositions of Examples 1 to 5 include component (A) and component (B), and component (B) is component (B-1) and component (B-2).
  • component (B) is component (B-1) and component (B-2).
  • Each with a predetermined content, and the total content of the component (B-1) and the component (B-2) in the component (B) is 83.0% by mass or more, Even if the value of COD Mn is low, the lubricity and antifoaming property are excellent, and it was confirmed that the balance of lubricity, defoaming property and waste liquid treatment property is excellent.
  • the brittle material working fluid compositions of Comparative Examples 1 to 7 include the component (A) and the component (B), and the component (B) is the component (B-1) and the component (B -2) each with a predetermined content, and the total content of component (B-1) and component (B-2) in component (B) is 83.0% by mass or more Since all of these were not satisfied, it was confirmed that the properties were inferior in any of lubricity, defoaming properties, and waste liquid treatment properties.
  • the brittle material working fluid composition described in Example 1 was used to cut a silicon ingot using a fixed-abrasive multi-wire saw device. As a result, the brittle material working fluid composition was less foamed during processing. It was confirmed that the antifoaming property was excellent. Moreover, it was also confirmed that the waste liquid processability of the brittle material processing liquid composition is excellent.
  • the brittle material working fluid composition according to an embodiment of the present invention is excellent in the balance of lubricity, antifoaming property, and waste liquid treatment property. Therefore, for example, when cutting a workpiece made of a brittle material such as a silicon ingot, foaming of the processing liquid can be suppressed, and the processing liquid overflows from the tank that receives the processing liquid due to foaming. It is possible to prevent adverse effects such as a soaking (occurrence of overflow) failure or a reduction in processing accuracy caused by foaming.
  • the brittle material working fluid composition according to one embodiment of the present invention has excellent waste liquid treatment properties, it is economically efficient due to improved environmental safety, improved safety during work, and reduced load associated with waste liquid treatment. It leads to improvement.
  • the brittle material working fluid composition according to an embodiment of the present invention is preferably used as a material for cutting brittle materials such as silicon ingots, and more preferably, It is used as a coolant for machining a silicon wafer from a silicon ingot using a fixed abrasive wire.

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Abstract

（Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を含み、成分（Ｂ）が、（Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体を含み、成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上であり、潤滑性、消泡性、及び廃液処理性に優れる脆性材料加工液組成物を提供する。

Description

脆性材料加工液組成物
　本発明は、脆性材料加工液組成物に関する。
　半導体製品の製造では脆性材料であるシリコンインゴットを精度よく切削加工することが重要であり、シリコンインゴットの切削加工では、加工精度及び生産性の観点から、一般にワイヤソー加工が利用されている。
　また、ワイヤソー加工は、セラミックス、石英、サファイア、ガラス等の材料の加工でも利用されている。
　一般に、ワイヤソーを用いた加工方法としては、ワイヤと被加工物との摺動部に遊離砥粒を供給しながら加工を行う遊離砥粒方式と、ワイヤの表面に予め砥粒が固定されたワイヤを用いて加工を行う固定砥粒方式とが挙げられる。
　例えば、近年、前述のシリコンインゴットからシリコンウェハを生産する分野では、更なる生産性の向上が要求されており、遊離砥粒方式より短時間での切断が可能であり、また、より細いワイヤ工具を使用して歩留まりを向上できる等の理由から、固定砥粒方式がよく用いられるようになってきている。
　また、両方式のワイヤソー加工では、切削加工時の加工効率の向上、被加工材と被加工材を加工する工具との摩擦抑制、加工により発生する熱の除去（冷却）、工具の寿命延長効果、切り屑の除去等を目的として加工液（クーラント）が使用されている。
　前述の用途等で用いられる加工液としては、鉱物油、動植物油、合成油などを主成分した油系の加工液組成物と、界面活性能を持つ化合物を配合して水溶性を付与した水系の加工液組成物とが含まれる。
　近年、作業時の安全性や環境問題の観点から水溶性を付与したものが用いられるようになってきている。
　例えば、特許文献１には、希土類磁石以外の加工材料の切断に用いられる固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物であって、グリコール類を含有することを特徴とする固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物が開示されている。
　また、特許文献２には、希土類磁石の切断に用いられる固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物であって、グリコール類と、カルボン酸と、水に溶解して塩基性を示す化合物と、水とを、それぞれ特定の含有量で含有してなる（但し、これらの成分の合計は１００重量部である）ことを特徴とする固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物が開示されている。
特開２００３－８２３３４号公報 特開２００３－８２３３５号公報
　一般に、前述した両方式のワイヤソー加工方法は、前述のシリコンインゴットから、複数のシリコンウェハを一度に切り出すため、マルチワイヤソー装置が用いられている。マルチワイヤソー装置では、一定間隔で複数の溝が彫られた２以上のガイドローラー上の各溝に１本ずつワイヤを巻きつけ、各ワイヤが一定の張力で平行に保持されている。そして、切断加工時には、各ガイドローラーを回転させ、ノズル等から吐出した加工液組成物をワイヤに付着させながら、該ワイヤを一方向又は双方向に走行させ、加工液組成物が付着したワイヤにシリコンインゴットを押し当てて切断を行っている。
　当該ワイヤソー加工に使用される加工液組成物は、ワイヤソー装置が備えるタンクに投入され、当該タンクからワイヤソー装置が備えるポンプによって加工室ノズルに供給され、当該ノズルから吐出される。ノズルから吐出された加工液組成物は、加工間隙（ワイヤとシリコンインゴットとの間隙）を狙って供給されて、加工間隙の潤滑等に使用された後、再び前記タンクに戻る。このようにシリコンインゴットの切断中、加工液組成物はワイヤソー装置内を循環している。
　当該切断加工時、ワイヤ高線速化に伴うガイドローラーの高速回転などにより加工液組成物が激しく飛散する場合があり、加工液組成物の泡立ちに繋がる。また、当該切断加工時、加工液組成物がワイヤソー装置下部にあるタンクに流れ落ちることによって、タンク内の加工液組成物が激しく泡立ち、タンクからオーバーフローする場合がある。更に、当該切断加工中に発生する微細な切粉が加工液組成物の泡立ちを助長してしまう問題、並びにワイヤソー及び切断したウェハ等が当該切粉により著しく汚染され、それらを洗浄するための負荷が大きくなるといった問題があった。
　また、前述のとおり、使用後の加工液は廃液処理により無害化することが要求されている。
　このように、脆性材料加工液組成物には、潤滑性という従来からの要求に加え、加工液組成物を用いた際の泡立ちを抑制し、切粉の清浄性を向上することができれば、より安定した生産や加工精度の向上にも繋がる。また、より廃液処理性に優れた加工液組成物、例えば、加工液組成物中の有機物化学的酸素要求量（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｏｘｙｇｅｎ　Ｄｅｍａｎｄ：ＣＯＤ）の値がより低い加工液組成物であれば、環境に対する安全性の向上、作業時の安全性の向上、廃液処理に伴う負荷の低減による経済性の向上にも繋がる。
　前述のとおり、近年、水溶性を付与した加工液組成物が要求されている。そして、水溶性の加工液組成物は、通常、加工液組成物の原液を水で希釈して使用している。そして、前述した廃液処理性の観点から、より水分含有量が多い状態で使用する場合にも、優れた潤滑性と、加工時の泡立ちを抑制する効果（以下、単に「消泡性」ともいう。）が得られる加工液組成物が求められている。すなわち、潤滑性、消泡性、及び廃液処理性のバランスに優れる加工液組成物が求められている。
　本発明は、以上の問題点を鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、潤滑性、消泡性、及び廃液処理性に優れる脆性材料加工液組成物を提供することである。
　本発明者らは、鋭意検討の結果、水と、特定の化合物を含む添加剤混合物とを含有し、当該添加剤化合物中の各成分の含有量が特定の範囲を満たす脆性材料加工液組成物が、前記課題を解決し得ることを見出した。本発明の各実施形態はかかる知見に基づいて完成したものである。すなわち、本発明の各実施形態によれば、以下の［１］～［１０］が提供される。
［１］　（Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を含み、
成分（Ｂ）が、
（Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、
（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
を含み、
　成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上である、
脆性材料加工液組成物。
［２］　成分（Ｂ－２）の数平均分子量が５００以上６，０００以下である、前記［１］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３］　成分（Ｂ－１）の０．１質量％水溶液の表面張力が３１ｍＮ／ｍ以下である、前記［１］又は［２］に記載の脆性材料加工液組成物。
［４］　成分（Ｂ－１）の含有量と成分（Ｂ－２）の含有量との比〔（Ｂ－１）／（Ｂ－２）〕が、質量比で０．０１５以上９．５０以下である、前記［１］～［３］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［５］　ｐＨが３以上９以下である、前記［１］～［４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［６］　成分（Ｂ）１００質量部に対し、成分（Ａ）を９００質量部以上９９９，９００質量部以下で含有する、前記［１］～［５］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［７］　ワイヤを用いて脆性材料からなる被加工材を加工する時に用いる、前記［１］～［６］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［８］　前記ワイヤが、固定砥粒ワイヤである、前記［７］に記載の脆性材料加工液組成物。
［９］　前記脆性材料が、結晶シリコン、サファイア、炭化ケイ素、ネオジム磁石、水晶、又はガラスである、前記［７］又は［６］に記載の脆性材料加工液組成物。
［１０］　少なくとも（Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を配合する、脆性材料加工液組成物の製造方法であって、
成分（Ｂ）が、
（Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、
（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
を含み、
　成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上、となるように配合して前記［１］～［９］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物を得る、脆性材料加工液組成物の製造方法。
　本発明によれば、潤滑性、消泡性、及び廃液処理性に優れる脆性材料加工液組成物を提供することができる。
［脆性材料加工液組成物］
　本発明の一実施形態に係る脆性材料加工液組成物（以下、単に「加工液」ともいう。）は、（Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を含み、成分（Ｂ）が、（Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
を含み、成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上である。
　前述した全ての要件を満たす加工液は、潤滑性、消泡性、及び廃液処理性のバランスに優れる。
　なお、本明細書中、特に言及しない限り、「アルキレンオキサイド（以下、単に「ＡＯ」ともいう。）付加物」とは、単体のアルキレンオキサイドが付加した化合物だけでなく、複数のアルキレンオキサイド、すなわち、ポリアルキレンオキサイドが付加した化合物も含む。以下、「エチレンオキサイド（以下、単に「ＥＯ」ともいう。）付加物」、「プロピレンオキサイド（以下、単に「ＰＯ」ともいう。）付加物」も同様である。
　また、本明細書中で用いる「ＨＬＢ値」は、グリフィン法により算出されるＨＬＢ（Ｈｙｄｒｏｐｈｉｌｉｃ－Ｌｉｐｏｐｈｉｌｉｃ　Ｂａｌａｎｃｅ）の値を意味する。
　なお、本明細書において、好ましい数値範囲（例えば、含有量等の範囲）について、段階的に記載された下限値及び上限値は、それぞれ独立して組み合わせることができる。例えば、該当する数値範囲について「好ましくは１０以上、より好ましくは２０以上、更に好ましくは３０以上」という下限値の記載と、「好ましくは９０以下、より好ましくは８０以下、更に好ましくは６０以下」という記載から、「好ましい下限値（１０）」と「更に好ましい上限値（６０）」とを組み合わせて、好適範囲を「１０以上、６０以下」とすることもできる。同様に、「更に好ましい下限値（３０）」と「好ましい上限値（９０）」とを組み合わせて好適範囲を「３０以上、９０以下」とすることもできる。
　同様に、例えば、「好ましくは１０～９０、より好ましくは２０～８０、更に好ましくは３０～６０」という記載から、「１０～６０」、とすることもできる。
　なお、特に言及しない限り、好ましい数値範囲として単に「１０～９０」と記載する場合、１０以上９０以下の範囲を表す。
　以下、当該加工液に含有される各成分について説明する。
＜成分（Ａ）＞
　成分（Ａ）である水は、特に限定されず、蒸留水、イオン交換水（脱イオン水）等の精製水；水道水；工業用水；等を用いることができ、好ましくは精製水、より好ましくはイオン交換水（脱イオン水）である。
　成分（Ａ）の含有量は、前記加工液を用いる状況によって、適宜、調整することができる。
　例えば、前記加工液が濃縮状態（以下、「原液」ともいう。）であって、当該原液の保管及び運搬を行う場合、成分（Ａ）の含有量は、成分（Ｂ）１００質量部に対し、好ましくは１．０質量部以上、より好ましくは５．０質量部以上、更に好ましくは１０．０質量部以上、より更に好ましくは２５．０質量部以上である。一方、成分（Ａ）の含有量は、成分（Ｂ）１００質量部に対し、好ましくは１，８００質量部以下、より好ましくは９００質量部未満、更に好ましくは５５０質量部以下、より更に好ましくは２００質量部以下である。
　また、例えば、前記加工液を脆性材料の加工に使用する場合、前述の原液を、更に、成分（Ａ）で希釈し、前記加工液を希釈状態（以下、「希釈液」ともいう。）で使用することが好ましく、例えば、成分（Ａ）の含有量は、加工液を低粘度化してハンドリング性を向上させて、本願発明の効果をより効果的に得る観点から、成分（Ｂ）１００質量部に対し、好ましくは９００質量部以上、より好ましくは１，９００質量部以上、更に好ましくは９，９００質量部以上、より更に好ましくは１２，０００質量部以上、より更に好ましくは１５，０００質量部以上である。一方、成分（Ａ）の含有量は、加工液中の有効成分量を確保する観点から、成分（Ｂ）１００質量部に対し、好ましくは９９９，９００質量部以下、より好ましくは１９９，９００質量部以下、更に好ましくは９９，９００質量部以下、より更に好ましくは６６，５００質量部以下、より更に好ましくは４９，９００質量部以下である。
　ここで、本明細書中、「有効成分」とは、加工液から成分（Ａ）を除いた全成分を指す。
　また、前記加工液を脆性材料の加工に使用する場合、前記希釈液のｐＨは、加工液の用途の欄で後述する各ワイヤや加工装置等の腐食を抑制できる観点から、好ましくは３以上、より好ましくは４以上、更に好ましくは５以上である。一方、前記希釈液のｐＨは、例えば、シリコン等を加工する際に切粉から水素が大量に発生することを抑制できる観点から、好ましくは９以下、より好ましくは８以下、更に好ましくは７以下である。
＜成分（Ｂ）＞
　成分（Ｂ）は、添加剤混合物であり、以下で詳述する（Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１０以下である非イオン界面活性剤、及び、（Ｂ－２）エチレンオキサイドとアルキレンオキサイドとの共重合体を、それぞれ、特定量で含む。各成分の含有量及び合計含有量については、各成分の説明欄で後述する。
　成分（Ｂ）が、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を共に含有することで、加工液組成物の良好な潤滑性と、良好な消泡性、特に、前述した切断加工中に発生する微細な切粉が加工液に含有している際の消泡性とのバランスに優れる加工液となる。
　以下、当該添加剤混合物に含有される各成分について説明する。
〔成分（Ｂ－１）〕
　成分（Ｂ－１）は、炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤である。
　成分（Ｂ－１）のＨＬＢ値が、４以上であると、成分（Ｂ－１）の成分（Ａ）への溶解性が向上する。また、成分（Ｂ－１）のＨＬＢ値が、１１以下であると、加工液の消泡性が向上する。
　成分（Ｂ－１）のＨＬＢ値は、加工液の潤滑性を向上させる観点から、好ましくは６以上、より好ましくは８以上、更に好ましくは８超である。一方、成分（Ｂ－１）のＨＬＢ値は、加工液の消泡性を向上させる観点から、好ましくは１０以下、より好ましくは９以下である。
　また、成分（Ｂ－１）の０．１質量％水溶液の表面張力は、好ましくは３１ｍＮ／ｍ以下、より好ましくは３０ｍＮ／ｍ以下、更に好ましくは２９ｍＮ／ｍ以下、より更に好ましくは２８ｍＮ／ｍ未満である。一方、成分（Ｂ－１）の０．１質量％水溶液の表面張力は、好ましくは１ｍＮ／ｍ以上、より好ましくは５ｍＮ／ｍ以上、更に好ましくは１０ｍＮ／ｍ以上である。
　前記炭素数１０以上２４以下のアルコールとしては、例えば、炭素数１０以上２４以下の脂肪族アルコールが挙げられる。
　炭素数１０以上２４以下のアルコールの炭素数は、好ましくは１１以上、より好ましくは１２以上である。一方、炭素数１０以上２４以下のアルコールの炭素数は、好ましくは２０以下、より好ましくは１８以下、更に好ましくは１６以下である。
　前記脂肪族アルコールとしては、好ましくは１級アルコール又は２級アルコール、より好ましくは１級アルコールである。また、直鎖状でもよく、分岐状でもよく、環状であってもよい。
　また、前記脂肪族アルコールとしては、好ましくは１価のアルコールである。
　当該脂肪族アルコールとしては、例えば、デカノール、ウンデシルアルコール、ラウリルアルコール、トリデシルアルコール、イソトリデシルアルコール、ミリスチルアルコール、ペンタデシルアルコール、パルミチルアルコール、ヘプタデカノール、ステアリルアルコール、イソステアリルアルコール、ノナデシルアルコール、エイコサノール等の飽和脂肪族アルコール；デセニルアルコール、ドデセニルアルコール、トリデセニルアルコール、テトラデセニルアルコール、パルミトレイルアルコール、オレイルアルコール、ガドレイルアルコール、リノレイルアルコール等の不飽和脂肪族アルコール；オクチルシクロヘキシルアルコール、ノニルシクロヘキシルアルコール、アダマンチルアルコール等の環状脂肪族アルコールが挙げられる。
　前記アルキレンオキサイド（ＡＯ）としては、例えば、炭素数２～４のアルキレンオキサイドが挙げられ、エチレンオキサイド（ＥＯ）、１，２－プロピレンオキサイド、１，３－プロピレンオキサイド、１，２－ブチレンオキサイド、２，３－ブチレンオキサイド、１，３－ブチレンオキサイド、テトラヒドロフランが挙げられる。
　成分（Ｂ－１）としては、好ましくは前記炭素数１０以上２４以下のアルコールに少なくともＥＯが付加した化合物であり、より好ましくは前記炭素数１０以上２４以下のアルコールにＥＯ及びＥＯ以外のＡＯが付加した化合物である。
　成分（Ｂ－１）としては、更に好ましくはポリオキシエチレンアルキルエーテル及びポリオキシエチレンアルキレンアルキルエーテルから選ばれる少なくとも１種である。
　なお、成分（Ｂ－１）は、前記炭素数１０以上２４以下のアルコールにＥＯ及び／又はＥＯ以外のＡＯを付加して合成することができる。前記炭素数１０以上２４以下のアルコールへのＥＯ及び／又はＥＯ以外のＡＯの付加は、公知の方法で行うことができ、無触媒又は触媒の存在下、常圧又は加圧下、１段階又は多段階で行ってもよい。
　なお、成分（Ｂ－１）は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
　成分（Ｂ－１）の含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下である。
　成分（Ｂ－１）の含有量が、前記下限値以上であると、加工液の潤滑性に優れる。また、成分（Ｂ－１）の含有量が、前記上限値以下であると、加工液の廃液処理性に優れる。
　成分（Ｂ－１）の含有量は、加工液の潤滑性を向上させる観点から、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは２．５質量％以上、より好ましくは３．５質量％以上、更に好ましくは８．０質量％以上、より更に好ましくは１５．０質量％以上、より更に好ましくは３０．０質量％以上である。一方、成分（Ｂ－１）の含有量は、廃液処理性を向上させる観点から、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは８４．０質量％以下、より好ましくは８２．０質量％以下、更に好ましくは８０．０質量％以下、より更に好ましくは７８．０質量％以下である。
〔成分（Ｂ－２）〕
　成分（Ｂ－２）は、エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体である。
　ＥＯとＥＯ以外のＡＯとの共重合体としては、ＥＯと後述するＥＯ以外のＡＯとの共重合体であり、当該ＥＯとＥＯ以外のＡＯとの付加の態様は、ランダム付加又はブロック付加のいずれでもよく、ランダム付加とブロック付加とが混在していてもよいが、好ましくはブロック付加した共重合体であり、より好ましくはプルロニック型の共重合体である。
　前記ＥＯ以外のＡＯとしては、例えば、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドが挙げられ、プロピレンオキサイド（ＰＯ）、オキセタン、１，２－ブチレンオキサイド、２，３－ブチレンオキサイド、１，３－ブチレンオキサイド、テトラヒドロフランが挙げられる。
　ＥＯとＥＯ以外のＡＯとの共重合体としては、より好ましくはＥＯとＰＯとの共重合体であり、更に好ましくはＥＯとＰＯとのブロック共重合体（「ポリエチレングリコールユニットとポリプロピレングリコールユニットとを有するブロック共重合体」ともいう。）であり、より更に好ましくはＥＯとＰＯとのトリブロック共重合体（「ポリエチレングリコールユニットとポリプロピレングリコールユニットとを有するトリブロック共重合体」ともいう。）であり、より更に好ましくはポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドを付加したプルロニック型共重合体である。
　成分（Ｂ－２）の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは５００以上、より好ましくは１，０００以上、より更に好ましくは１，５００以上である。一方、成分（Ｂ－２）の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは６，０００以下、より好ましくは５，０００以下、より更に好ましくは３，０００以下である。
　また、前記数平均分子量（Ｍｎ）の値は、後述する実施例に記載の方法を用いて測定される値である。
　また、当該ＥＯとＥＯ以外のＡＯとの共重合体中、ＥＯ以外のＡＯに由来する構造部分の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは５００以上、より好ましくは１，０００以上、更に好ましくは１，５００以上である。一方、前記ＡＯに由来する構造部分の数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは５，０００以下、より好ましくは３，０００以下、更に好ましくは２，０００以下である。
　なお、成分（Ｂ－２）は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
　成分（Ｂ－２）の含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下である。
　成分（Ｂ－２）の含有量が、前記下限値以上であると、加工液の消泡性、特に、前述した切断加工中に発生する微細な切粉が加工液に含有している際の消泡性に優れる。また、成分（Ｂ－２）の含有量が、前記上限値以下であると、加工液の廃液処理性に優れる。
　成分（Ｂ－２）の含有量は、加工液組成物の消泡性、特に、前述した切断加工中に発生する微細な切粉が加工液に含有している際の消泡性を向上させる観点から、加工液組成物成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは１．８質量％以上、より好ましくは５．０質量％以上、更に好ましくは７．０質量％以上、より更に好ましくは１６．０質量％以上、より更に好ましくは１８．０質量％以上である。一方、成分（Ｂ－２）の含有量は、廃液処理性を向上させる観点から、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは９４．０質量％以下、より好ましくは９２．０質量％以下、更に好ましくは９１．０質量％以下、より更に好ましくは８５．０質量％以下、より更に好ましくは７０．０質量％以下である。
　また、成分（Ｂ）中、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、８３．０質量％以上である。
　成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、前記下限値以上であると、潤滑性、消泡性、及び廃液処理性のバランスに優れる加工液となる。
　本願発明の効果をより効果的に得る観点から、前記合計含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは８５．０質量％以上、より好ましくは８８．０質量％以上、更に好ましくは９０．０質量％以上、より更に好ましくは９４．０質量％以上である。一方、当該成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量は、同様の観点から、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは９９．９質量％以下、より好ましくは９９．０量％以下、更に好ましくは９８．０質量％以下、より更に好ましくは９７．０質量％以下、より更に好ましくは９６．０質量％以下である。
　また、成分（Ｂ－１）の含有量と成分（Ｂ－２）の含有量との比〔（Ｂ－１）／（Ｂ－２）〕は、潤滑性と、廃液処理性と、消泡性、特に、前述した切断加工中に発生する微細な切粉が加工液に含有している際の消泡性とのバランスに優れた加工液とする観点から、質量比で、好ましくは０．０１５以上、より好ましくは０．０２０以上、更に好ましくは０．０５０以上、より更に好ましくは０．１０以上、より更に好ましくは０．５０以上、より更に好ましくは１．００以上、より更に好ましくは２．００以上、より更に好ましくは３．００以上である。一方、当該比〔（Ｂ－１）／（Ｂ－２）〕は、同様の観点から、質量比で、好ましくは９．５０以下、より好ましくは８．００以下、更に好ましくは７．００以下、より更に好ましくは６．００以下、より更に好ましくは５．００以下である。
〔その他添加剤〕
　成分（Ｂ）は、本発明の目的を阻害しない範囲で、前述の成分（Ｂ－１）、及び成分（Ｂ－２）に加えて、更に、その他添加剤を含有していてもよい。
　その他添加剤としては、成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）以外の界面活性剤、ｐＨ調整剤、保水性向上剤、消泡剤、金属不活性化剤、殺菌剤・防腐剤、防錆剤、酸化防止剤等が挙げられる。これらの添加剤は、単独で用いてもよく、又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。また、これらの添加剤の中では、成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）以外の界面活性剤並びにｐＨ調整剤からなる群より選ばれる１種以上が好ましい。
　なお、これらのその他添加剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）以外の界面活性剤としては、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）以外の非イオン界面活性剤、及び両性界面活性剤等が挙げられる。
　アニオン界面活性剤としては、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルファオレフィンスルホン酸塩等が挙げられる。カチオン界面活性剤としては、アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウム塩、アルキルジメチルベンジルアンモニウム塩などの四級アンモニウム塩等が挙げられる。
　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）以外の非イオン界面活性剤としては、例えば、炭素数１０未満又は２４超である非イオン界面活性剤、ＨＬＢ値が４未満又は１１超えである非イオン界面活性剤（脂肪酸アルカノールアミドのようなアミド等）が挙げられる。
　両性界面活性剤としては、ベタイン系としてアルキルベタインなどが挙げられる。
　界面活性剤の中では、好ましくは成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）以外のエーテル等の非イオン界面活性剤が挙げられる。
　ｐＨ調整剤は、主に加工液のｐＨを調整するために用いられる。当該ｐＨ調整剤としては、各種酸成分や塩基成分が挙げられ、これら成分の含有量比を調整することで、適宜、加工液のｐＨを調整することができる。
　なお、当該酸成分と塩基成分は互いに反応して塩を形成し得る。
　そのため、ｐＨ調整剤として酸成分及び塩基成分を用いる場合、前記加工液中に当該酸成分と塩基成分との反応物が存在する場合、前述のとおり、当該酸成分及び塩基成分の反応物の含有量から算出される当該反応に寄与した当該酸成分及び塩基成分の各含有量を算出することもできる。また、その場合、当該反応物に代えて、反応前の当該酸成分及び塩基成分を含有しているものとみなすことができる。
　ｐＨ調整剤として用いられる酸成分としては、例えば、ラウリン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、ネオデカン酸、イソノナン酸、カプリン酸、イソステアリン酸等の各種脂肪酸；酢酸、リンゴ酸、クエン酸等のカルボン酸；ポリアクリル酸等の高分子酸及びその塩；リン酸等の無機酸；が挙げられる。これらの中では、脂肪酸が好ましく、ネオデカン酸、イソノナン酸、カプリン酸、ドデカン二酸等の炭素数１２以下の脂肪酸がより好ましく、ネオデカン酸、イソノナン酸、カプリン酸、及びドデカン二酸からなる群より選ばれる１種以上が更に好ましい。
　ｐＨ調整剤として用いられる塩基成分としては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ－ｎ－プロパノールアミン、トリ－ｎ－ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ－ｔｅｒｔ－ブタノールアミン、Ｎ－メチルエタノールアミン、Ｎ－エチルエタノールアミン、Ｎ－ブチルエタノールアミン、Ｎ－シクロヘキシルエタノールアミン、Ｎ－メチルジエタノールアミン、Ｎ－エチルジエタノールアミン、Ｎ－シクロヘキシルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエタノールアミン等のアルカノールアミン；メチルアミン、ジメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、プロピルアミン、ジプロピルアミン等のアルキルアミン；アンモニアが挙げられる。これらの中では、３級アミンが好ましく、トリエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ－メチルジエタノールアミン、及びＮ－シクロヘキシルジエタノールアミンからなる群より選ばれる少なくとも１種がより好ましい。
　保水性向上剤としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４－ブタンジオール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、グリセリン、これらのエステル誘導体、これらのエーテル誘導体；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等が挙げられる。これらの中では、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリン、これらのエステル誘導体及びこれらのエーテル誘導体からなる群より選ばれる１種以上が好ましく、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリン、これらのエステル誘導体及びこれらのエーテル誘導体からなる群より選ばれる１種以上がより好ましく、ジエチレングリコール、グリセリン、これらのエステル誘導体、及びこれらのエーテル誘導体からなる群より選ばれる１種以上が更に好ましい。
　消泡剤としては、例えば、シリコーン油、フルオロシリコーン油、ポリエーテルポリシロキサン及びフルオロアルキルエーテルが挙げられる。これらの中では、ポリエーテルポリシロキサンが好ましい。
　金属不活性化剤としては、例えば、イミダゾリン、ピリミジン誘導体、チアジアゾール及びベンゾトリアゾールが挙げられる。
　殺菌剤・防腐剤としては、例えば、パラオキシ安息香酸エステル類（パラベン類）の他、安息香酸、サリチル酸、ソルビン酸、デヒドロ酢酸、ｐ－トルエンスルホン酸及びそれらの塩類、並びにフェノキシエタノールが挙げられる。
　防錆剤としては、例えば、アルキルベンゼンスルフォネート、ジノニルナフタレンスルフォネート、アルケニルコハク酸エステル、多価アルコールエステルが挙げられる。
　酸化防止剤としては、例えば、フェノール系酸化防止剤及びアミン系酸化防止剤が挙げられる。
　成分（Ｂ）がその他添加剤を含有する場合、その他添加剤の含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは１．０質量％以上、更に好ましくは２．０質量％以上、より更に好ましくは３．０質量％以上、より更に好ましくは４．０質量％以上である。一方、当該その他添加剤の含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは１７．０質量％以下、より好ましくは１５．０質量％以下、更に好ましくは１２．０質量％以下、より更に好ましくは１０．０質量％以下、より更に好ましくは６．０質量％以下である。
　成分（Ｂ）がその他添加剤を含有する場合、成分（Ｂ）中、その他添加剤の配合量と成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量との比〔（その他添加剤）／（（Ｂ－１）＋（Ｂ－２））〕は、質量比で好ましくは０．００１以上、より好ましくは０．００５以上、更に好ましくは０．０１以上、より更に好ましくは０．０２以上、より更に好ましくは０．０３以上である。一方、当該比〔（その他添加剤）／（（Ｂ－１）＋（Ｂ－２））〕は、質量比で好ましくは０．２０以下、より好ましくは０．１８以下、更に好ましくは０．１４以下、より更に好ましくは０．１１以下、より更に好ましくは０．０６以下である。
　また、本願発明の効果をより効果的に得る観点から、成分（Ｂ）がその他添加剤を含有する場合、成分（Ｂ）中、成分（Ｂ－１）、成分（Ｂ－２）及びその他添加剤の合計含有量は、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で、好ましくは１００質量％である。
　また、本願発明の効果をより効果的に得る観点から、成分（Ａ）及び成分（Ｂ）の合計含有量は、加工液の全量１００質量％基準で、好ましくは１００質量％である。
　また、成分（Ｂ）がその他添加剤を含有しない場合、「成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）」の合計含有量は、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは９５．０００質量％以上、より好ましくは９８．０００質量％以上、更に好ましくは９９．８００質量％以上、より更に好ましくは９９．９００質量％以上、より更に好ましくは９９．９５０質量％以上、特に好ましくは１００質量％であり、そして、好ましくは１００質量％以下、より好ましくは９９．９９９９質量％以下、更に好ましくは９９．９９９質量％以下、より更に好ましくは９９．９９５質量％以下、より更に好ましくは９９．９９０質量％以下、より更に好ましくは９９．９８５質量％以下である。
－ＨＬＢ値－
　本発明の一実施形態に係る脆性材料加工液組成物のＨＬＢ値は、例えば、グリフィン法により算出される値を用いることができる。
－０．１質量％水溶液の表面張力－
　本発明の一実施形態に係る脆性材料加工液組成物の０．１質量％水溶液の表面張力は、例えば、ＪＩＳ　Ｋ　２２４１：２０１７に記載のウィルヘルミー表面張力計による試験方法に準拠して測定される値を用いることができる。
－重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）－
　本発明の一実施形態に係る脆性材料加工液組成物の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、例えば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）を用いて測定することができる。
　前記重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、例えば、以下の条件でＧＰＣを用いることにより測定することができる。
　　・カラム：東ソー株式会社製、ＴＳＫｇｅｌ　ＳｕｐｅｒＭｕｌｔｉｐｏｒｅＨＺ－Ｍ　２本
　　・溶離液：テトラヒドロフラン
　　・検出器：屈折率検出器
　　・標準試料：ポリスチレン
－ｐＨ－
　本発明の一実施形態に係る脆性材料加工液組成物のｐＨは、例えば、ガラス電極式水素イオン濃度示指計（東亜ディーケーケー株式会社製、型式：ＨＭ－２５Ｒ）を用いて測定することができる。
［脆性材料加工液組成物の製造方法］
　前記脆性材料加工液組成物の製造方法は、
　少なくとも（Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を配合する、脆性材料加工液組成物の製造方法であって、
成分（Ｂ）が、
（Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、
（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
を含み、
　成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上、となるように配合して脆性材料加工液組成物を得る製造方法である。
　成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を配合する順序は特に制限はなく、成分（Ａ）に対して、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を逐次又は同時に配合してもよく、予め成分（Ｂ－１）と成分（Ｂ－２）とを配合して、その混合物を成分（Ａ）に配合してもよい。
　また、当該製造方法では、成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を配合し、更に必要に応じてその他添加剤を配合してもよく、その場合、配合する各成分の配合順、配合方法等は特に限定されない。
　ただし、前記脆性材料加工液組成物を脆性材料の加工に使用する場合には、前述した脆性材料加工液組成物の原液を予め調製した後、当該原液に対して、更に成分（Ａ）を配合して希釈し、脆性材料加工液組成物の希釈液を調製して使用することが好ましい。
　例えば、脆性材料加工液組成物の希釈液としては、希釈液の用途によって、適宜、調整することができるが、脆性材料加工液組成物の原液を、成分（Ａ）を用いて、当該原液の全量（体積）換算で、好ましくは２倍以上、より好ましくは５倍以上、更に好ましくは１０倍以上、より更に好ましくは１００倍以上となるように希釈して調製することができる。一方、脆性材料加工液組成物の希釈液としては、希釈液の用途によって、適宜、調整することができるが、脆性材料加工液組成物の原液を、成分（Ａ）を用いて、当該原液の全量（体積）換算で、好ましくは１，０００倍以下、より好ましくは９００倍以下、更に好ましくは８００倍以下、より更に好ましくは７００倍以下となるように希釈して調製することができる。
　なお、成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）、成分（Ｂ－２）、及びその他添加剤は、それぞれ、脆性材料加工液組成物の欄で前述したものと同様であり、その好適な態様も同様であるため、その詳細な説明は省略する。また、成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）、成分（Ｂ－２）、及びその他添加剤の好適な配合量及び各成分間の好適な配合量比についても、それぞれ、脆性材料加工液組成物の欄で前述した前記脆性材料加工液組成物中の各含有量及び各含有量比と同様であるため、その詳細な説明は省略する。
　また、前述の濃縮状態の脆性材料加工液組成物（原液）の好適な態様、及び、希釈状態の脆性材料加工液組成物（希釈液）の好適な態様の成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）、成分（Ｂ－２）、及びその他添加剤の好適な配合量及び各成分間の好適な配合量比についても、それぞれ、後述する各含有量及び各含有量比と同様であるため、その詳細な説明は省略する。
［脆性材料加工液組成物の用途］
　前記脆性材料加工液組成物は、前述したワイヤソー、好ましくは固定砥粒ワイヤソーを用いてシリコンインゴット等の脆性材料からなる被加工材をワイヤソー加工する際に好適に用いることができる。すなわち、前記加工液は、ワイヤを用いて脆性材料からなる被加工材を加工する時に好適に用いることができる。
　当該脆性材料としては、例えば、結晶シリコン、サファイア、窒化ガリウム、炭化ケイ素、ネオジム磁石、ジルコニア、グラファイト、ニオブ酸、タンタル酸、水晶及びガラスが挙げられる。前記加工液は、汚染抑制効果の観点から、結晶シリコン、サファイア、炭化ケイ素、ネオジム磁石、水晶、又はガラスを加工する際により好適に用いることができ、結晶シリコン、サファイア、又は炭化ケイ素を加工する際に更に好適に用いることができる。
［脆性材料の加工方法］
　本発明の一実施形態に係る脆性材料の加工方法は、前記脆性材料加工液組成物を用いてシリコンインゴット等の前記脆性材料からなる被加工材を加工する方法である。
　ここで、前記加工液は、当該加工液を被加工材に供給して、被加工材に接触させて使用するものである。加工液は、前記被加工材と前記ワイヤソー等の加工具との間を潤滑する。更には、切り屑（切粉）の除去、被加工材の錆止め、工具及び被加工材の冷却等のためにも使用される。
　前記加工液を使用して行う脆性材料の加工は、具体的には、切削加工、研削加工、打抜き加工、研摩、絞り加工、抽伸加工、圧延加工などの各種の加工が挙げられるが、これらの中では、切削加工、研削加工が好ましく、切削加工がより好ましい。
　被加工材としての脆性材料は、前述した材料が挙げられる。
　なお、前述のとおり、前記加工液は、シリコンインゴットの切断加工に用いるものとして好適に使用されるものである。
　ここで、より具体的には、前述したように遊離砥粒方式と固定砥粒方式という両方式のワイヤソー加工方法は、前述のシリコンインゴットから、複数のシリコンウェハを一度に切り出すため、マルチワイヤソー装置が用いられている。マルチワイヤソー装置では、一定間隔で複数の溝が彫られた２以上のガイドローラー上の各溝に１本ずつワイヤを巻きつけ、各ワイヤが一定の張力で平行に保持されている。そして、切断加工時には、各ガイドローラーを回転させ、ノズル等から吐出した加工液をワイヤに付着させながら、該ワイヤを一方向又は双方向に走行させ、加工液が付着したワイヤにシリコンインゴットを押し当てて切断を行っている。また、必要に応じてシリコンインゴット等の被加工物自体に加工液をかけながら加工を行うこともある。
　加工に使用される加工液は、タンク等に貯蔵され、そこから配管等で前述の加工室ノズルまで運ばれる。また、切断時に使用された加工液は、切断装置下部の使用済み加工液受けタンク等で回収される。また、場合によっては、装置内を循環させて再利用されることもある。
　したがって、前記加工液は、このような脆性材料の加工方法で用いる加工液としてより好適に使用され、このうち、固定砥粒ワイヤにより、シリコンインゴットからシリコンウェハを切り出す加工方法に用いる加工液として更に好適に使用され、固定砥粒ワイヤソーを用いたマルチワイヤー装置を用いて、シリコンインゴットからシリコンウェハを切り出す加工方法により更に好適に使用される。
［加工装置］
　本発明の一実施形態に係る脆性材料の加工装置は、前記本発明の一実施形態である脆性材料加工液組成物を用いる加工装置であり、好ましくはマルチワイヤー切断加工装置であり、より好ましくは固定砥粒ワイヤソーを備えたマルチワイヤー切断加工装置であり、更に好ましくはシリコンインゴット切断用の固定砥粒ワイヤソーを備えたマルチワイヤー切断加工装置である。
　また、本発明の一実施形態に関連する脆性材料加工液組成物としては、更に、以下の［２－１］～［２－１８］の各実施形態を挙げることができる。
　なお、下記[２－１]～［２－１８］に記載の実施形態に含まれる態様の一部は、前述した原液に係る態様の例としても挙げることができる。
［２－１］　下記成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を含む、脆性材料加工液組成物であって、
　成分（Ｂ－１）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で０．５００質量％超９０．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－２）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で０．５００質量％超９０．０質量％以下であり、
　成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、１．００質量％超９８．０質量％以下である、
脆性材料加工液組成物。
成分（Ａ）：水
成分（Ｂ－１）：炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤
成分（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
［２－２］　成分（Ｂ－２）の数平均分子量が好ましくは５００以上、より好ましくは１，０００以上、更に好ましくは１，５００以上であり、そして、好ましくは６，０００以下、より好ましくは５，０００以下、更に好ましくは３，０００以下である、前記［２－１］に記載の脆性材料加工液組成物。
［２－３］　成分（Ａ）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは１．００質量％以上、より好ましくは２．００質量％以上、更に好ましくは５．００質量％以上、より更に好ましくは１０．０質量％以上、より更に好ましくは２０．０質量％以上であり、そして、好ましくは９０．０質量％以下、より好ましくは８５．０質量％以下、更に好ましくは８０．０質量％以下、より更に好ましくは７０．０質量％以下である、前記［２－１］又は［２－２］に記載の脆性材料加工液組成物。
［２－４］　成分（Ｂ－１）の０．１質量％水溶液の表面張力が好ましくは３１ｍＮ／ｍ以下、より好ましくは３０ｍＮ／ｍ以下、更に好ましくは２９ｍＮ／ｍ以下、より更に好ましくは２８ｍＮ／ｍ未満であり、そして、好ましくは１ｍＮ／ｍ以上、より好ましくは５ｍＮ／ｍ以上、更に好ましくは１０ｍＮ／ｍ以上である、前記［２－１］～［２－３］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－５］　成分（Ｂ－１）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは０．８００質量％以上、より好ましくは１．００質量％以上、更に好ましくは１．５０質量％以上であり、そして、好ましくは９０．０質量％以下、より好ましくは８０．０質量％以下、更に好ましくは７０．０質量％以下である、前記［２－１］～［２－４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－６］　成分（Ｂ－２）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは１．００質量％以上、より好ましくは５．００質量％以上、更に好ましくは１０．０質量％以上であり、そして、好ましくは８０．０質量％以下、より好ましくは７０．０質量％以下、更に好ましくは６０．０質量％以下である、前記［２－１］～［２－５］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－７］　成分（Ｂ－１）の含有量と成分（Ｂ－２）の含有量との比〔（Ｂ－１）／（Ｂ－２）〕が、質量比で、好ましくは０．０１５以上、より好ましくは０．０２０以上、更に好ましくは０．０５０以上、より更に好ましくは０．１０以上、より更に好ましくは０．５０以上、より更に好ましくは１．００以上、より更に好ましくは２．００以上、より更に好ましくは３．００以上であり、そして、好ましくは９．５０以下、より好ましくは８．００以下、更に好ましくは７．００以下、より更に好ましくは６．００以下、より更に好ましくは５．００以下である、前記［２－１］～［２－６］に記載の脆性材料加工液組成物。
［２－８］　成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは５．００質量％以上、より好ましくは１０．０質量％以上、更に好ましくは２０．０質量％以上、より更に好ましくは２５．０質量％以上であり、そして、好ましくは９５．０質量％以下、より好ましくは９０．０質量％以下、更に好ましくは８０．０質量％以下、より更に好ましくは７０．０質量％以下である、前記［２－１］～［２－７］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－９］　更に、その他添加剤を含み、その他添加剤の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは０．０１質量％以上、より好ましくは０．１０質量％以上、更に好ましくは１．００質量％以上、より更に好ましくは２．００質量％以上であり、そして、好ましくは１０．００質量％以下、より好ましくは８．００質量％以下、更に好ましくは７．００質量％以下、より更に好ましくは６．００質量％以下である、前記［２－１］～［２－８］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－１０］　成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは９０．００質量％以上、より好ましくは９２．００質量％以上、更に好ましくは９３．００質量％以下、より更に好ましくは９４．００質量％以上であり、そして、好ましくは１００質量％以下、より好ましくは９９．９９質量％以下、更に好ましくは９９．９０質量％以下、より更に好ましくは９９．００質量％以下、より更に好ましくは９８．００質量％以下である、前記［２－１］～［２－９］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－１１］　成分（Ａ）と、成分（Ｂ－１）と、成分（Ｂ－２）と、必要に応じて添加されるその他添加剤との合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、１００質量％である、前記［２－９］又は［２－１０］に記載の脆性材料加工液組成物。
［２－１２］　ワイヤを用いて脆性材料からなる被加工材を加工する時に用いる、前記［２－１］～［２－１１］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［２－１３］　前記ワイヤが、固定砥粒ワイヤである、前記［２－１２］に記載の脆性材料加工液組成物。
［２－１４］　前記脆性材料が、結晶シリコン、サファイア、炭化ケイ素、ネオジム磁石、水晶、又はガラスである、前記［２－１２］又は［２－１３］に記載の脆性材料加工液組成物。
［２－１５］　少なくとも下記成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を配合する、前記［２－１］～［２－１４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物の製造方法。
成分（Ａ）：水
成分（Ｂ－１）：炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤
成分（Ｂ－２）：エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
［２－１６］　前記［２－１０］～［２－１４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物を、当該脆性材料加工液組成物の全量（体積）換算で、好ましくは２倍以上、より好ましくは５倍以上、更に好ましくは１０倍以上、より更に好ましくは１００倍以上、そして、好ましくは１，０００倍以下、より好ましくは９００倍以下、更に好ましくは８００倍以下、より更に好ましくは７００倍以下となるように、更に成分（Ａ）で希釈して、脆性材料の加工に用いる、脆性材料加工液組成物の使用。
［２－１７］　前記［２－１０］～［２－１４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物を、ｐＨが好ましくは３以上、より好ましくは４以上、更に好ましくは５以上であり、そして、好ましくは９以下、より好ましくは８以下、更に好ましくは７以下でとなるように、更に成分（Ａ）で希釈して、脆性材料の加工に用いる、脆性材料加工液組成物の使用。
［２－１８］　前記［２－１０］～［２－１４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物を、ＪＩＳ　Ｋ　０１０２：２０１６の１７．に記載の試験方法に準拠して測定される１００℃における過マンガン酸カリウムによる酸素消費量（ＣＯＤＭｎ）が、好ましくは１００ｍｇ／Ｌ以上、より好ましくは５００ｍｇ／Ｌ以上、更に好ましくは１，０００ｍｇ／Ｌ以上であり、そして、好ましくは１０，０００ｍｇ／Ｌ未満、より好ましくは８，０００ｍｇ／Ｌ以下、更に好ましくは７，０００ｍｇ／Ｌ以下となるように、更に成分（Ａ）で希釈して、脆性材料の加工に用いる、脆性材料加工液組成物の使用。
　また、本発明の一実施形態に関連する脆性材料加工液組成物としては、更に、以下の［３－１］～［３－１７］の各実施形態を挙げることができる。
　なお、下記[３－１]～［３－１７］に記載の実施形態に含まれる態様の一部は、前述した希釈液に係る態様の例としても挙げることができる。
［３－１］　下記成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を含む、脆性材料加工液組成物であって、
　成分（Ｂ－１）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で０．００５質量％以上０．５００質量％以下であり、
　成分（Ｂ－２）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で０．００５質量％以上０．５００質量％以下であり、
　成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、０．１０８質量％以上１．０００質量％以下である、
脆性材料加工液組成物。
成分（Ａ）：水
成分（Ｂ－１）：炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤
成分（Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
［３－２］　成分（Ｂ－２）の数平均分子量が好ましくは５００以上、より好ましくは１，０００以上、更に好ましくは１，５００以上であり、そして、好ましくは６，０００以下、より好ましくは５，０００以下、更に好ましくは３，０００以下である、前記［３－１］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３－３］　成分（Ａ）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは９０．００質量％以上、より好ましくは９５．００質量％以上、更に好ましくは９９．００質量％以上、より更に好ましくは９９．２０質量％以上、より更に好ましくは９９．４０質量％以上であり、そして、好ましくは９９．９９質量％以下、より好ましくは９９．９５質量％以下、更に好ましくは９９．９０質量％以下、より更に好ましくは９９．８５質量％以下、より更に好ましくは９９．８０質量％以下である、前記［３－１］又は［３－２］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３－４］　成分（Ｂ－１）の０．１質量％水溶液の表面張力が好ましくは３１ｍＮ／ｍ以下、より好ましくは３０ｍＮ／ｍ以下、更に好ましくは２９ｍＮ／ｍ以下、より更に好ましくは２８ｍＮ／ｍ未満であり、そして、好ましくは１ｍＮ／ｍ以上、より好ましくは５ｍＮ／ｍ以上、更に好ましくは１０ｍＮ／ｍ以上である、前記［３－１］～［３－３］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－５］　ｐＨが好ましくは３以上、より好ましくは４以上、更に好ましくは５以上であり、そして、好ましくは９以下、より好ましくは８以下、更に好ましくは７以下である、前記［３－１］～［３－４］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－６］　成分（Ｂ－１）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは０．００７質量％以上、より好ましくは０．０１０質量％以上、更に好ましくは０．０２０質量％以上、より更に好ましくは０．０５０質量％以上、より更に好ましくは０．０８０質量％以上、より更に好ましくは０．１５０質量％以上であり、そして、好ましくは０．４８０質量％以下、より好ましくは０．４６０質量％以下、更に好ましくは０．４５０質量％以下、より更に好ましくは０．４４０質量％以下、より更に好ましくは０．４３０質量％以下である、前記［３－１］～［３－５］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－７］　成分（Ｂ－２）の含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは０．０１０質量％以上、より好ましくは０．０２０質量％以上、更に好ましくは０．０３０質量％以上、より更に好ましくは０．０４０質量％以上、より更に好ましくは０．０６０質量％以上、より更に好ましくは０．０８０質量％以上であり、そして、好ましくは０．４８０質量％以下、より好ましくは０．４５０質量％以下、更に好ましくは０．４００質量％以下、より更に好ましくは０．３５０質量％以下、より更に好ましくは０．３００質量％以下、より更に好ましくは０．２００質量％以下である、前記［３－１］～［３－６］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－８］　成分（Ｂ－１）の含有量と成分（Ｂ－２）の含有量との比〔（Ｂ－１）／（Ｂ－２）〕が、質量比で、好ましくは０．０１５以上、より好ましくは０．０２０以上、更に好ましくは０．０５０以上、より更に好ましくは０．１０以上、より更に好ましくは０．５０以上、より更に好ましくは１．００以上、より更に好ましくは２．００以上、より更に好ましくは３．００以上であり、そして、好ましくは９．５０以下、より好ましくは８．００以下、更に好ましくは７．００以下、より更に好ましくは６．００以下、より更に好ましくは５．００以下である、前記［３－１］～［３－７］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３－９］　成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは０．１１０質量％以上、より好ましくは０．１５０質量％以上、更に好ましくは０．２００質量％以上、より更に好ましくは０．３００質量％以上、より更に好ましくは０．４００質量％以上であり、そして、好ましくは０．９００質量％以下、更に好ましくは０．８００質量％以下、より更に好ましくは０．７００質量％以下、より更に好ましくは０．６００質量％以下である、前記［３－１］～［３－８］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１０］　更に、その他添加剤を含み、その他添加剤の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは０．０００１質量％以上、より好ましくは０．００１質量％以上、更に好ましくは０．００５質量％以上、より更に好ましくは０．０１０質量％以上、より更に好ましくは０．０１５質量％以上であり、そして、好ましくは０．２００質量％以下、より好ましくは０．１５０質量％以下、更に好ましくは０．１００質量％以下、より更に好ましくは０．０５０質量％以下である、前記［３－１］～［３－９］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１１］　成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、好ましくは９５．０００質量％以上、より好ましくは９８．０００質量％以上、更に好ましくは９９．８００質量％以上、より更に好ましくは９９．９００質量％以上、より更に好ましくは９９．９５０質量％以上であり、そして、好ましくは１００質量％以下、より好ましくは９９．９９９９質量％以下、更に好ましくは９９．９９９質量％以下、より更に好ましくは９９．９９５質量％以下、より更に好ましくは９９．９９０質量％以下、より更に好ましくは９９．９８５質量％以下である、前記［３－１］～［３－１０］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１２］　成分（Ａ）と、成分（Ｂ－１）と、成分（Ｂ－２）と、必要に応じて添加されるその他添加剤との合計含有量が、脆性材料加工液組成物の全量１００質量％基準で、１００質量％である、前記［３－１０］又は［３－１１］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１３］　ＪＩＳ　Ｋ　０１０２：２０１６の１７．に記載の試験方法に準拠して測定される１００℃における過マンガン酸カリウムによる酸素消費量（ＣＯＤＭｎ）が、好ましくは１００ｍｇ／Ｌ以上、より好ましくは５００ｍｇ／Ｌ以上、更に好ましくは１，０００ｍｇ／Ｌ以上であり、そして、好ましくは１０，０００ｍｇ／Ｌ未満、より好ましくは８，０００ｍｇ／Ｌ以下、更に好ましくは７，０００ｍｇ／Ｌ以下である、前記［３－１］～［３－１２］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１４］　ワイヤを用いて脆性材料からなる被加工材を加工する時に用いる、前記［３－１］～［３－１３］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１５］　前記ワイヤが、固定砥粒ワイヤである、前記［３－１４］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１６］　前記脆性材料が、結晶シリコン、サファイア、炭化ケイ素、ネオジム磁石、水晶、又はガラスである、前記［３－１４］又は［３－１５］に記載の脆性材料加工液組成物。
［３－１７］　少なくとも下記成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を配合する、前記［３－１］～［３－１６］のいずれかに記載の脆性材料加工液組成物の製造方法。
成分（Ａ）：水
成分（Ｂ－１）：炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤
成分（Ｂ－２）：エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
　なお、前記［２－１］～［２－１８］及び［３－１］～［３－１７］に記載の、成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）、成分（Ｂ－２）、及びその他添加剤は、それぞれ、本発明の一実施形態である前記［１］に係る前記脆性材料加工液組成物の欄で前述した、対応する各成分と同様であり、その好適な態様も同様であるため、詳細な説明は省略する。
　また、前記［２－１］～［２－１８］及び［３－１］～［３－１７］に記載の態様中、各含有量及び質量比の好適範囲の設定理由も、それぞれ、本発明の一実施形態である前記［１］に係る前記脆性材料加工液組成物の欄で前述した、対応する各成分の含有量の設定理由と同様であるため、詳細な説明は省略する。
　また、前記［２－１］～［２－１８］及び［３－１］～［３－１７］に記載の態様中、その他添加剤の配合量と成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量との比〔（その他添加剤）／（Ｂ－１＋Ｂ－２）〕（質量比）の好適な範囲も、それぞれ、本発明の一実施形態である前記［１］に係る前記脆性材料加工液組成物の欄で前述した範囲と同様であるため、詳細な説明は省略する。
　また、前記［２－１５］に記載の脆性材料加工液組成物の製造方法について、成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を配合する順序は特に制限はなく、成分（Ａ）に対して、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を逐次又は同時に配合してもよく、予め成分（Ｂ－１）と成分（Ｂ－２）とを配合して、その混合物を成分（Ａ）に配合してもよい。
　また、当該製造方法では、成分（Ａ）、成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を配合し、更に必要に応じてその他添加剤を配合してもよく、その場合、配合する各成分の配合順、配合方法等は特に限定されない。
　また、前記［３－１７］に記載の脆性材料加工液組成物の製造方法の場合も同様である。ただし、前記［３－１７］に記載の脆性材料加工液組成物の製造方法の場合、前記［２－１５］に記載の製造方法を用いて脆性材料加工液組成物の原液を予め調製する工程と、当該原液に対して、更に成分（Ａ）を配合して希釈し、脆性材料加工液組成物を調製する工程とを有することが好ましい。前記原液を成分（Ａ）で希釈する際の希釈倍率の好適な範囲は、本発明の一実施形態である前記［１］に係る前記脆性材料加工液組成物の欄で前述した範囲と同様である。
　また、前記［２－１］～［２－１８］及び［３－１］～［３－１７］に記載の脆性材料加工液組成物の用途、当該脆性加工液組成物を用いる脆性材料の加工方法、及び加工装置についても、それぞれ、本発明の一実施形態である前記［１］に係る脆性材料加工液組成物の欄の対応する項目で説明した内容と同様であるため、詳細な説明は省略する。
　以下に、本発明を、実施例により、更に具体的に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。
　なお、各成分及び脆性材料加工液組成物に関する各物性は、以下に示す要領に従って評価した。
［ＨＬＢ値］
　グリフィン法により算出される値を用いた。
［０．１質量％水溶液の表面張力］
　ＪＩＳ　Ｋ　２２４１：２０１７に記載のウィルヘルミー表面張力計による試験方法に準拠して測定される値を用いた。
［分子量］
　重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）を、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）を用いて測定した。ＧＰＣは、カラムとして東ソー株式会社製ＴＳＫｇｅｌ　ＳｕｐｅｒＭｕｌｔｉｐｏｒｅＨＺ－Ｍ２本を用い、テトラヒドロフランを溶離液として、検出器に屈折率検出器を用いて測定を行い、ポリスチレンを標準試料として重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）を求めた。
［ｐＨ値］
　実施例及び比較例で得られた各脆性材料加工液組成物のｐＨを、東亜ディーケーケー株式会社製のガラス電極式水素イオン濃度示指計、型式：ＨＭ－２５Ｒを用いて評価した。
［シリコン（Ｓｉ）摩擦係数］
　実施例及び比較例で得られた各脆性材料加工液組成物を用いて、次の試験条件に従って往復動摩擦試験を行い摩擦係数を測定した。
試験機：株式会社オリエンテック製「Ｆ－２１００」
球：３／１６インチＳＵＪ２
試験温度：室温
試験板：多結晶シリコン
摺動速度：２０ｍｍ／秒
摺動距離：２ｃｍ
荷重：２００ｇ
［消泡性評価］
　実施例及び比較例で得られた各脆性材料加工液組成物を用いて、次の手順に従って評価した。
（液面高さ：微粉なし）
　液循環装置を備えた容量２Ｌのメスシリンダー（全高：４６０ｍｍ、内径φ８５ｍｍ）中に、加工液２００ｍＬを注入し、メスシリンダー底部から循環装置で加工液を抜き出して循環させ、該２Ｌメスシリンダーの底面からの高さが４００ｍｍとなる位置から、抜き出した加工液を内径φ５ｍｍのノズルを用いて該２Ｌメスシリンダー内に吐出させた。この時の加工液の流量が１．３Ｌ／分となるように循環量を調整した。
　循環開始から５分経過後の液面高さを計測した。
　なお、液面高さは、メスシリンダーの目盛りを利用して、単位「ｍＬ」で対比している。
　この時、泡立ちが発生すると当該液面高さが高くなる、すなわち、「ｍＬ」の値が大きくなることから、当該液面高さの値「ｍＬ」が小さいほど、消泡性に優れる。
　得られた結果を下記表１及び２に示す。
（液面高さ：微粉あり）
　前記加工液に対して、微粉（「グラファイト粉末」、和光純薬工業株式会社製、特級）を評価液中の濃度１３質量％となるように配合したものを評価液として準備した。
　当該評価液を用いること以外は、「微粉なし」での液面高さの計測方法と同様の方法で液面高さを計測し、微粉混入時の加工液の消泡性を評価した。
［廃液処理性の評価］
　実施例及び比較例で得られた各脆性材料加工液組成物の１００℃における過マンガン酸カリウムによる酸素消費量（ＣＯＤＭｎ）を、ＪＩＳ　Ｋ　０１０２：２０１６の１７．に記載の試験方法に準拠して測定した。ＣＯＤＭｎの数値から、以下の基準により実施例及び比較例で得られた各脆性材料加工液組成物の廃液処理性を評価した。
 
・Ｙ：ＣＯＤＭｎが１０，０００ｍｇ／Ｌ未満
・Ｎ：ＣＯＤＭｎが１０，０００ｍｇ／Ｌ以上
 
　なお、廃液処理性に優れる加工液であるということは、前述のとおり、加工液として要求される潤滑性や消泡性といった性能を、より少ない有効成分濃度でも十分に発揮できる加工液であるということも表す。
　本発明における廃液処理性も同様に、前記指標による評価は、実際に特定の水分含有量を満たす加工液であることを規定するためのものではなく、少ない有効成分濃度でも十分な性能を発揮できる加工液であるか否かを判断するための指標としても用いられるものである。
［実施例１～５、比較例１～７］
　下記の表１及び２に示す組成となるように各成分を配合し、脆性材料加工液組成物を調製した。前記評価方法に従って、各実施例及び比較例の脆性材料加工液組成物を評価した。得られた結果を下記表１及び２に示す。
　なお、下記表１及び２に示す各成分は、それぞれ以下の化合物を表す。
成分（Ａ）
・イオン交換水
成分（Ａ）以外の添加剤（表１中の成分（Ｂ）又は表２中の有効成分の原料）
・界面活性剤１：炭素数１２のアルコールのＥＯ付加物（主成分：ポリオキシアルキレンアルキルエーテル）、ＨＬＢ＝７．９、０．１質量％水溶液の表面張力＝２７．９ｍＮ／ｍ
・界面活性剤２：炭素数１２のアルコールのＥＯ付加物（主成分：ポリオキシアルキレンアルキルエーテル）、ＨＬＢ＝６．３、０．１質量％水溶液の表面張力＝２６．６ｍＮ／ｍ
・界面活性剤３：炭素数１２のアルコールのＥＯ付加物（主成分：ポリオキシアルキレンアルキルエーテル）、ＨＬＢ＝８．９、０．１質量％水溶液の表面張力＝２７．６ｍＮ／ｍ
・界面活性剤４：炭素数１２のアルコールのＥＯ付加物（主成分：ポリオキシアルキレンアルキルエーテル）、ＨＬＢ＝１２．１、０．１質量％水溶液の表面張力＝２８．３ｍＮ／ｍ
・界面活性剤５：エチレンオキサイド（ＥＯ）とプロピレンオキサイド（ＰＯ）とのブロック共重合体（プルロニック型界面活性剤）、数平均分子量（Ｍｎ）＝２，９５０、ポリオキシプロピレン鎖部分の数平均分子量（Ｍｎ）＝１，７５０、ＥＯ付加モル数＝２７、ＨＬＢ＝８
・消泡剤：ポリエーテルポリシロキサン
・ｐＨ調整剤１：イソノナン酸
・ｐＨ調整剤２：トリイソプロパノールアミン
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表１に示すとおり、実施例１～５の脆性材料加工液組成物は、成分（Ａ）及び成分（Ｂ）を含み、成分（Ｂ）が成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を、それぞれ、所定の含有量で含み、かつ、成分（Ｂ）中の成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が８３．０質量％以上であるため、いずれも、ＣＯＤＭｎの数値が低くても潤滑性、消泡性が優れており、潤滑性、消泡性及び廃液処理性のバランスに優れていることが確認された。
　一方で、表２に示すとおり、比較例１～７の脆性材料加工液組成物は、成分（Ａ）及び成分（Ｂ）を含み、成分（Ｂ）が成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）を、それぞれ、所定の含有量で含み、かつ、成分（Ｂ）中の成分（Ｂ－１）及び成分（Ｂ－２）の合計含有量が８３．０質量％以上であるという要件の全てを満たしていないため、潤滑性、消泡性、又は廃液処理性のいずれかの特性に劣ることが確認された。
　なお、実施例１に記載の脆性材料加工液組成物を用い、固定砥粒方式のマルチワイヤソー装置を用いて、シリコンインゴットを切断加工した結果、加工時に当該脆性材料加工液組成物の泡立ちが少なく、消泡性に優れていることが確認された。また、当該脆性材料加工液組成物の廃液処理性が優れていることも確認された。
　前記本発明の一実施形態である脆性材料加工液組成物は、潤滑性、消泡性、廃液処理性のバランスに優れる。そのため、例えば、シリコンインゴット等の脆性材料からなる被加工材を切断加工する際に、当該加工液の泡立ちを抑制することができ、泡立ちが原因で当該加工液を受けるタンクから当該加工液が溢れだす（オーバーフローの発生）不具合、又は泡立ちが原因で発生する加工精度の低下等の悪影響を防止することができる。
　また、前記本発明の一実施形態である脆性材料加工液組成物は廃液処理性に優れるため、環境に対する安全性の向上、作業時の安全性の向上、廃液処理に伴う負荷の低減による経済性の向上にも繋がる。
　そして、前述のとおり、前記本発明の一実施形態である脆性材料加工液組成物は、シリコンインゴット等の脆性材料の切断加工に用いるものとして好適に使用されるものであり、より好適には、固定砥粒ワイヤを用いて、シリコンインゴットからシリコンウェハを切り出す加工のクーラントとして使用されるものである。

Claims (10)

  1. （Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を含み、
    成分（Ｂ）が、
    （Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、
    （Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
    を含み、
    　成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、
    　成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、
    　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上である、
    脆性材料加工液組成物。
  2. 　成分（Ｂ－２）の数平均分子量が５００以上６，０００以下である、請求項１に記載の脆性材料加工液組成物。
  3. 　成分（Ｂ－１）の０．１質量％水溶液の表面張力が３１ｍＮ／ｍ以下である、請求項１又は２に記載の脆性材料加工液組成物。
  4. 　成分（Ｂ－１）の含有量と成分（Ｂ－２）の含有量との比〔（Ｂ－１）／（Ｂ－２）〕が、質量比で０．０１５以上９．５０以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の脆性材料加工液組成物。
  5. 　ｐＨが３以上９以下である、請求項１～４のいずれか一項に記載の脆性材料加工液組成物。
  6. 　成分（Ｂ）１００質量部に対し、成分（Ａ）を９００質量部以上９９９，９００質量部以下で含有する、請求項１～５のいずれか一項に記載の脆性材料加工液組成物。
  7. 　ワイヤを用いて脆性材料からなる被加工材を加工する時に用いる、請求項１～６のいずれか一項に記載の脆性材料加工液組成物。
  8. 　前記ワイヤが、固定砥粒ワイヤである、請求項７に記載の脆性材料加工液組成物。
  9. 　前記脆性材料が、結晶シリコン、サファイア、炭化ケイ素、ネオジム磁石、水晶、又はガラスである、請求項７又は８に記載の脆性材料加工液組成物。
  10. 　少なくとも（Ａ）水、及び（Ｂ）添加剤混合物を配合する、脆性材料加工液組成物の製造方法であって、
    成分（Ｂ）が、
    （Ｂ－１）炭素数１０以上２４以下のアルコールのアルキレンオキサイド付加物であって、ＨＬＢ値が４以上１１以下である非イオン界面活性剤、及び、
    （Ｂ－２）エチレンオキサイドとエチレンオキサイド以外のアルキレンオキサイドとの共重合体
    を含み、
    　成分（Ｂ－１）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上８８．０質量％以下であり、
    　成分（Ｂ－２）の含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で０．９質量％以上９６．０質量％以下であり、
    　成分（Ｂ－１）及び（Ｂ－２）の合計含有量が、成分（Ｂ）の全量１００質量％基準で８３．０質量％以上、となるように配合して請求項１～９のいずれか一項に記載の脆性材料加工液組成物を得る、脆性材料加工液組成物の製造方法。
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