WO2019146671A1 - 逆浸透膜、及び逆浸透膜の製造方法 - Google Patents

逆浸透膜、及び逆浸透膜の製造方法 Download PDF

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山口　晃生
遠藤　守信
オルティス メディナ ホスエ
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北川工業株式会社
国立大学法人信州大学
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    • C02F2103/08—Seawater, e.g. for desalination

Definitions

  • the present invention relates to a reverse osmosis membrane and a method of manufacturing the reverse osmosis membrane.
  • Patent Document 1 describes a reverse osmosis membrane using a hard carbon membrane (diamond-like carbon membrane) as a separation active layer.
  • Patent Document 2 describes a reverse osmosis membrane in which a carbon membrane provided with an amorphous carbon structure containing nitrogen atoms is used as a separation active layer.
  • the hard carbon film of Patent Document 1 has a maximum diameter of a hole of less than 0.86 nm and is referred to as a reverse osmosis membrane
  • the actual situation is that constant holes are formed through the hard carbon film. It can be said that it is a type of filtration membrane that performs sieving according to the size of the substance relative to its pore size. Therefore, in the reverse osmosis membrane of Patent Document 1, the inhibition rate of sodium chloride in an aqueous sodium chloride solution (concentration: 0.01 M) remains at about 80%.
  • the carbon membrane of Patent Document 2 is a filtration membrane using the principle of diffusion, and is presumed to have small holes whose shape constantly changes without providing constant through holes. Therefore, in the reverse osmosis membrane of Patent Document 2, the rejection rate (desalting rate) of sodium chloride in a sodium chloride aqueous solution (concentration: 0.2% by mass) recorded up to 96.8%.
  • the carbon film of Patent Document 2 has room for improvement in durability, and further improvement in rejection rate (demineralization rate) has also been desired.
  • An object of the present invention is to provide a reverse osmosis membrane using a carbon membrane excellent in desalting performance (separation performance) as a separation active layer.
  • a reverse osmosis membrane comprising: a porous support substrate; and a separation active layer formed of a structured carbon-containing carbon film formed on the surface of the porous support substrate.
  • the reverse osmosis membrane as described in said ⁇ 1> whose desalting rate at the time of desalting ⁇ 2> NaCl aqueous solution (concentration: 3.2 mass%) with the filtration pressure of 5.5 Mpa or more is 99% or more.
  • ⁇ 3> The reverse osmosis membrane according to ⁇ 1> or ⁇ 2>, wherein the porous support substrate includes a non-woven backing layer and a porous plastic layer formed on the backing layer.
  • the coating film is formed by a coating film forming step of forming a coating film soluble in a predetermined solvent on the surface of the porous supporting substrate insoluble in the solvent, and physical vapor deposition using carbon as a target material A step of forming a precarbon film on the upper surface, a step of removing the coating film by dissolving and removing the coating film with the solvent after forming the carbon film, and compressing the precarbon film to form an organized structure And (f) forming a separation active layer comprising a carbon membrane containing carbon.
  • Explanatory drawing which represented the cross-sectional structure of a reverse osmosis membrane typically Schematic of filtration device of cross flow filtration system Graph showing evaluation results of water permeability and desalting in each of the membranes of Example 1 and Comparative Example 1 The figure which shows the diffraction pattern of each film
  • FIG. 1 is an explanatory view schematically showing the cross-sectional configuration of the reverse osmosis membrane 1.
  • the reverse osmosis membrane 1 comprises a porous substrate 2 and a separation active layer 3 formed on the surface of the porous support substrate 2 and made of a carbon film containing organized carbon.
  • the reverse osmosis membrane 1 can separate the specific substance contained in the solution from the solution by filtering the solution to be filtered.
  • the solution to be filtered is salt water
  • the reverse osmosis membrane 1 can remove salt water (NaCl) while extracting pure water from the salt water by filtering the salt water (sodium chloride aqueous solution). It is presumed that this is because water molecules in the salt water are incorporated so as to dissolve in the carbon film which is the separation active layer 3 and move diffusively in the carbon film. And, sodium ions and chloride ions in the salt water are in a cluster state accompanied by at least several water molecules, and it is presumed that the entry into the carbon film is blocked.
  • the porous support substrate 2 is a porous member that supports the separation active layer 3 and is in the form of a sheet.
  • a so-called nanofiltration membrane (NF membrane) or an ultrafiltration membrane (UF membrane) can be used.
  • the pure water permeability coefficient Lp of the porous support substrate 2 is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and for example, 200 L / (m 2 ⁇ h ⁇ MPa) to 3500 L / (m 2 ⁇ h ⁇ MPa).
  • porous support substrate 2 for example, a two-layer structure composed of a nonwoven fabric-like backing layer 2A and a porous plastic layer 2B formed on the surface of the backing layer 2A is used.
  • the backing layer 2A is formed of a resin-made fiber in the form of a non-woven fabric, and is in the form of a sheet (layered).
  • resin utilized for 2 A of backing layers what is insoluble in the immersion liquid (solvent) mentioned later is selected.
  • the resin used for the backing layer 2A include polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polybutylene terephthalate (PBT), and polyolefin resins such as ethylene and propylene.
  • PET polyethylene terephthalate
  • PBT polybutylene terephthalate
  • polyolefin resins such as ethylene and propylene.
  • the porous plastic layer 2B consists of a porous plastic layer (sheet) laminated on the surface of the backing layer 2A.
  • the porous plastic layer 2B has a plurality of pores of about 0.001 ⁇ m to 10 ⁇ m penetrating in the thickness direction.
  • plastic material constituting the porous plastic layer 2B
  • a material which is insoluble in an immersion liquid (solvent) to be described later and which retains its shape even in the state in which pores are formed is selected .
  • the plastic material (resin material) used for the porous plastic layer 2B include polysulfone (PSF) and polyacrylonitrile (PAN).
  • PSF polysulfone
  • PAN polyacrylonitrile
  • the thickness of the porous support substrate 2 is not particularly limited and is appropriately set according to the purpose as long as the purpose of the present invention is not impaired.
  • porous supporting substrates examples include UF membranes (trade name: “GR40PP”, manufactured by Alfa Laval Co., Ltd.), UF membranes (trade name: “MW2450F30”, manufactured by General Electric), and the like.
  • the porous support substrate 2 may be laminated with other layers as long as the object of the present invention is not impaired.
  • the porous support substrate 2 may have a shape other than a sheet shape.
  • the separation active layer 3 is composed of a carbon film containing organized carbon, and has a function capable of separating a specific substance contained in the solution from the solution. In the separation active layer 3, no pore having a size as seen in the porous plastic layer 2B of the porous support substrate 2 is formed. It is presumed that the separation active layer 3 does not have a constant through hole but has a hole whose shape changes constantly.
  • the separation active layer 3 is formed on at least the surface of the porous support substrate 2 in contact with the solution to be filtered. In the case of this embodiment, the separation active layer 3 is formed on the surface of one of the sheet-like porous support substrates 2.
  • the separation active layer 3 is made of a carbon film containing partially organized carbon.
  • structured carbon refers to a film structure in which a specific significant periodic distance is formed between carbon atoms in amorphous carbon (diamond-like carbon) having no specific structural periodicity. Means The organization of carbon is a concept different from crystallization, and its presence is inferred from the analysis result of the carbon film by TEM described later.
  • the separated active layer (carbon film) 3 at least a part of carbon may be organized, and it is not necessary for the entire carbon of the carbon film 3 to be organized.
  • carbon (other than carbon atoms) may contain another atom such as a nitrogen atom.
  • the separation active layer 3 is formed, for example, by compressing an amorphous pre-carbon film under high pressure in a structuring step described later.
  • the method of forming the separation active layer 3 is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and for example, separation is performed through steps other than the structuring step described later.
  • Active layer 3 (carbon film containing organized carbon) may be formed.
  • the separation active layer of the other embodiment may be organized by heating the pre-carbon film, or the formation of the organized separation active layer may be performed using a deposition pressure. Good.
  • the thickness of the separation active layer 3 is set, for example, in the range of 5 nm to 100 nm as long as the object of the present invention is not impaired.
  • the method for producing the reverse osmosis membrane of the present embodiment includes a coating membrane forming step, a pre-carbon membrane forming step, a coating membrane removing step, and an organization step.
  • the coating film forming step is a step of forming a coating film which is soluble in a predetermined solvent on the surface of the porous support substrate 2 which is unnecessary for the solvent.
  • the coating film is formed on the surface of the porous support substrate 2 in advance before forming the separation active layer 3.
  • the coating film is formed to cover the surface of the porous plastic layer 2B while closing the pores provided in the porous plastic layer 2B of the porous support substrate 2.
  • the coating film is not particularly limited as long as it can be removed by a predetermined solvent in a coating film removing step described later, and is appropriately selected from known resin materials and known solvents according to the purpose. Ru.
  • a coating film the PVP solution etc. which dissolved the powder of polyvinyl pyrrolidone (PVP) in the mixed solvent of water and ethanol are mentioned, for example.
  • a well-known coating method is applied. For example, by immersing the porous support substrate for a predetermined time in a predetermined container containing a coating solution for forming a coating film, the porous support substrate is then pulled up from the coating solution. The method etc. of forming a coating film in the surface of a base material are mentioned. In addition, the coating film on the porous support base material 2 is suitably dried.
  • the thickness of the coating film, unless impair the object of the present invention is not particularly limited, for example, to the surface of the porous support substrate (per unit area), 1mg / cm 2 ⁇ 20mg / cm 2 In the range of (solid content), a coating solution for forming a coating film is applied.
  • the pre-carbon film forming step is a step of forming a pre-carbon film to be a source of the separation active layer 3 on the coating film by physical vapor deposition using carbon as a target material.
  • the pre-carbon film is an amorphous carbon film which is not compressed (structured) in the structuring step described later.
  • the pre-carbon film is formed in a form of being laminated on the coating film on the porous support substrate 2 using physical vapor deposition with carbon as a target material.
  • physical vapor deposition method as mentioned later, high current pulse magnetron sputtering method (HiPIMS: High Power Impulse Magnetron Sputtering) etc. are mentioned, for example.
  • the carbon used as a target material is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, but for example, high purity graphite is preferable, and one having a purity of 5N or more (purity 99.999% or more) is particularly preferable .
  • pre-carbon film forming step physical vapor deposition such as HiPIMS for forming the pre-carbon film is performed under an atmosphere containing a rare gas. Also, if necessary, it is performed in an atmosphere containing nitrogen gas with a rare gas.
  • noble gas examples include argon (Ar), neon (Ne), krypton (Kr), xenon (Xe) and the like.
  • Nitrogen gas may be used together with a rare gas such as argon when forming the precarbon film.
  • nitrogen gas it is preferable to use nitrogen gas together from a viewpoint of the high demineralization performance of the isolation
  • the thickness of the pre-carbon film is adjusted by appropriately setting the film formation time.
  • the pre-carbon film has an amorphous carbon structure (DLC structure), and in the pre-carbon film, carbon atoms of the sp 3 hybrid orbital (diamond structure in addition to carbon atoms of the sp 2 hybrid orbital (graphite structure) ), And it is presumed that the proportion of carbon atoms in the sp 3 hybrid orbital is high. Then, such a pre-carbon film in an amorphous state is organized while being densified when it is compressed at a high pressure in an organization step to be described later.
  • DLC structure amorphous carbon structure
  • the coating film removing step is a step of dissolving and removing the coating film with a predetermined solvent after forming the pre-carbon film.
  • the coating film is dissolved and removed by a shaking method while using a predetermined solvent in the porous support substrate 2 on which the precarbon films are formed.
  • organic solvents such as ether, ethyl acetate, acetone and dichloromethane may be used in addition to water and alcohol such as ethanol. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the coating film comes in contact with a predetermined solvent, the coating film dissolves in the solvent and is removed from the porous support substrate 2. As a result, a pre-carbon film is formed in a form of being laminated on the porous plastic layer 2B of the porous support substrate 2.
  • the structuring step is a step of compressing the pre-carbon film on the porous support substrate 2 to form on the porous support substrate 2 a separation active layer composed of a structured carbon-containing carbon film.
  • a method of compressing the pre-carbon film for example, there is a method in which a fluid is brought into contact with the pre-carbon film at a high pressure to organize while compressing the pre-carbon film.
  • the fluid to be used is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and examples thereof include gas, liquid and the like.
  • high pressure may be applied to the pre-carbon film using a predetermined press machine or the like to organize the pre-carbon film.
  • the structuring step is performed using, for example, a cross flow filtration type filtration apparatus described later, using a liquid (for example, pure water) capable of transmitting the pre-carbon membrane as a fluid.
  • the pressure applied to the pre-carbon film is preferably 5.5 MPa or more.
  • the upper limit of the pressure to be applied is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired.
  • the time for applying a high pressure to the pre-carbon film is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and is, for example, 1 hour or more, preferably 10 hours or more, more preferably 20 hours or more.
  • a carbon film (separating active layer 3) containing organized carbon directly is formed by physical vapor deposition or the like. You may form.
  • Example 1 As a porous support substrate, an ultrafiltration membrane (trade name "GR40PP", manufactured by Alfa Laval Co., Ltd.) was prepared.
  • the porous support substrate comprises a resinous non-woven backing layer and a porous plastic layer of polysulfone (PSF) laminated on one side of the backing layer.
  • PSF polysulfone
  • the porous support substrate was immersed in a predetermined container containing the coating solution, and then the porous support substrate was pulled out of the coating solution.
  • the polyvinyl pyrrolidone (PVP) solution 10 mass%) was prepared.
  • PVP powder trade name "polyvinylpyrrolidone K30", manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.
  • ethanol ethanol
  • the porous support substrate to which the coating solution is attached is allowed to stand at room temperature for 10 hours to dry the PVP coating (coating film) on the porous support substrate, and the porous support substrate with the PVP coating I got
  • Pre-carbon film formation process A high current pulsed magnetron sputtering method (HiPIMS: High Power Impulse Magnetron Sputtering) was used to form a pre-carbon film in the form of being laminated on the PVP coating on the porous support substrate.
  • HiPIMS High Power Impulse Magnetron Sputtering
  • ⁇ Deposition condition Example 1> Film forming apparatus: Batch type carbon film forming apparatus Duty ratio: 25% ⁇ Frequency: 1.5kHz ⁇ Duty cycle: 180 ⁇ s Process gas (flow rate): Ar (44 sccm), N 2 (44 sccm), CH 4 (4 sccm) Target material: high purity graphite (purity: 99.999%) Peak power density: 1.14 Wcm -2 ⁇ Power density: 0.09 Wcm -2 Deposition pressure: 0.61 Pa Deposition time: 825 seconds
  • the thickness of the pre-carbon film of Example 1 was measured by a spectroscopic ellipsometer. From the measurement results, the thickness of the pre-carbon film of Example 1 was about 30 nm.
  • the porous support substrate on which the pre-carbon film is formed is immersed in an immersion liquid in a predetermined container, and is shaken using a digital shaker (manufactured by Taiyo Corporation) to form a PVP coating film (coating film) Was removed.
  • the porous support base 2 (hereinafter, pre-reverse osmosis membrane 1P) on which the pre-carbon membrane was formed was subjected to a texturing process using a filtration apparatus of the Chris flow filtration system shown in FIG. 2 described later.
  • pre reverse osmosis membrane 1P was set in the above-mentioned filtration apparatus, and the pure reverse osmosis membrane 1P was compressed for 24 hours under a pressure condition of 5.5 MPa using pure water.
  • pre reverse osmosis membrane 1P set to the said filtration apparatus is comprising the circular shape of diameter 25 mm.
  • the separation active layer 3 is obtained by compressing the pre-carbon film and organizing a part of carbon in the pre-carbon film by using a predetermined filtration device.
  • the reverse osmosis membrane 1 of Example 1 was obtained.
  • Example 1 Evaluation of water permeability and desalination
  • the reverse osmosis membrane 1 of Example 1 was subjected to a filtration test using a Kris flow filtration type filtration device shown in FIG.
  • the filtration device 10 will be described with reference to FIG.
  • FIG. 2 is a schematic view of a cross flow filtration type filtration apparatus 10.
  • the filtration apparatus 10 includes a filtration unit 11, a filtrate collection container 12, a pressure gauge 13, a valve 14, a collection container 15, a pump 16, an upstream pipe 17, and a downstream pipe 18. .
  • the filtration unit 11 holds the test sample so that the solution to be filtered flows along the surface layer (carbon membrane) of the test sample (reverse osmosis membrane 1) to be set, while using the test sample in the middle of the flow
  • the liquid to be filtered is filtered.
  • the filtrate collection container 12 is a container for collecting the liquid (permeate) which has permeated the test sample.
  • the filtration target solution (salt water) contained in the recovery container 15 is supplied to the filtration unit 11 through the upstream pipe 17.
  • the filtration unit 11 and the recovery container 15 are connected by an upstream pipe 17. Further, in the middle of the upstream pipe 17, a pump 16 for sending out the solution to be filtered to the filtration unit 11 is set.
  • the filtration unit 11 and the recovery container 15 are connected by the downstream piping 18, and the solution to be filtered (salt water) discharged from the filtration unit 11 passes through the downstream piping 18 and is again collected in the recovery container. It is returned to 15.
  • a pressure gauge 13 and a valve 14 are provided in the middle of the downstream pipe 18, and the flow rate of the solution to be filtered circulating in the downstream pipe 18 or the like is adjusted by opening and closing the valve 14.
  • the pre-reverse osmosis membrane 1P is used as a test sample, and pure water is circulated in the filtration device 10 for 24 hours at a supply pressure of 5.5 MPa.
  • the water permeation and desalting evaluation of the reverse osmosis membrane 1 was continuously performed after the above-mentioned organization process.
  • the evaluation results (5.5 MPa) of water permeability and desalting in the reverse osmosis membrane 1 of Example 1 are shown in the graph of FIG.
  • F L / ST (1)
  • F is a permeation flux (Lm ⁇ 2 h ⁇ 1 )
  • L is a permeation amount (L)
  • S is an effective area (m 2 ) of a test sample
  • T is test time (h).
  • the desalting rate (%) of a test sample is calculated
  • R (1-C2 / C1) x 100 (%) ...
  • R is the desalting rate (%)
  • C1 is the NaCl concentration of the stock solution (the fluid to be filtered)
  • C2 is the NaCl concentration of the liquid (permeate) that has permeated the test sample It is.
  • the water permeability and dewatering of the reverse osmosis membrane 1 of Example 1 are the same as in the case of 5.5 MPa described above except that the pressure condition is changed to 7.0 MPa. Salt ratio evaluation (7.0 MPa) was performed, and the results are shown in the graph of FIG.
  • Comparative Example 1 The reverse osmosis membrane of Comparative Example 1 was used as the produced pre-reverse osmosis membrane (that is, the one provided with the pre-carbon membrane in a state in which the structuring step was not performed) in the same manner as in Example 1. And about this reverse osmosis membrane, using sodium chloride aqueous solution (concentration: 0.2wt%) as filtration object liquid, using the above-mentioned filtration device 10, water permeability and desalting evaluation are performed on 3.0MPa pressure conditions. The The results are shown in the graph of FIG.
  • a pre-reverse osmosis membrane similar to that used in the sample 1 was prepared.
  • the pre-carbon membrane was compressed and organized in the same manner as the sample 1 except that the supply pressure of pure water was changed to 7.0 MPa.
  • the sample obtained in this manner was used as Sample 2.
  • FIG. 4 is a diagram showing the diffraction pattern of each film of samples 1 to 3 obtained using TEM
  • FIG. 5 is the intensity and distance of the diffraction pattern of each film of samples 1 to 3 shown in FIG. Is a graph of the 45 ° diagonal line passing through the center.
  • the vertical axis in FIG. 5 represents the intensity
  • the horizontal axis represents the distance when the total length is 1.
  • SYMBOLS 1 reverse osmosis membrane, 2 ... porous support base material, 2A ... backing layer, 2B ... porous plastic layer, 3 ... separation active layer (carbon membrane), 10 ... filtration apparatus, 11 ... filtration unit, 12 ... filtrate Collection container, 13 ... pressure gauge, 14 ... valve, 15 ... recovery container, 16 ... pump, 17 ... upstream piping, 18 ... downstream piping

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Abstract

本発明の逆浸透膜は、多孔性支持基材２と、多孔性支持基材２の表面に形成され、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層３とを備える。

Description

逆浸透膜、及び逆浸透膜の製造方法
　本発明は、逆浸透膜、及び逆浸透膜の製造方法に関する。
　逆浸透膜（Reverse Osmosis Membrane：ＲＯ膜）における分離活性層として、カーボン膜を利用することが試みられている。例えば、特許文献１には、硬質カーボン膜（ダイヤモンド状カーボン膜）を分離活性層として利用した逆浸透膜が記載されている。
　また、特許文献２には、窒素原子を含むアモルファス状のカーボン構造を備えたカーボン膜を、分離活性層として利用した逆浸透膜が記載されている。
国際公開第２０１５／０８０２５９号 特開２０１７－６４６９２号公報
（発明が解決しようとする課題）
　特許文献１の硬質カーボン膜は、孔の最大径が０．８６ｎｍ未満であり、逆浸透膜と称されているものの、その実態は、硬質カーボン膜を貫通する形で恒常的な孔が形成されており、その孔径に対する物質のサイズによってふるい分けを行うろ過膜の一種と言える。そのため、特許文献１の逆浸透膜では、塩化ナトリウム水溶液（濃度：０．０１Ｍ）中の塩化ナトリウムの阻止率が８０％程度に留まっていた。
　特許文献２のカーボン膜は、拡散の原理を利用したろ過膜であり、恒常的な貫通孔を備えず、形状が絶えず変化する小さな孔を備えているものと推測される。そのため、特許文献２の逆浸透膜では、塩化ナトリウム水溶液（濃度：０．２質量％）中の塩化ナトリウムの阻止率（脱塩率）が、最大９６．８％を記録していた。しかしながら、特許文献２のカーボン膜は、耐久性に改善の余地があり、また、阻止率（脱塩率）の更なる向上も求められていた。
　本発明の目的は、脱塩性能（分離性能）等に優れるカーボン膜を分離活性層として利用した逆浸透膜を提供することである。
（課題を解決するための手段）
　前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。即ち、
　＜１＞　多孔性支持基材と、前記多孔性支持基材の表面に形成され、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層とを備える逆浸透膜。
　＜２＞　ＮａＣｌ水溶液（濃度：３．２質量％）を、５．５ＭＰａ以上のろ過圧力で脱塩した際の脱塩率が、９９％以上である前記＜１＞に記載の逆浸透膜。
　＜３＞　前記多孔性支持基材は、不織布状の裏打ち層と、前記裏打ち層上に形成される多孔性プラスチック層を含む前記＜１＞又は＜２＞に記載の逆浸透膜。
　＜４＞　所定の溶媒に溶解可能なコーティング膜を、前記溶媒に不溶な多孔性支持基材の表面上に形成するコーティング膜形成工程と、カーボンをターゲット材とする物理蒸着法により、前記コーティング膜上にプレカーボン膜を形成するプレカーボン膜形成工程と、前記カーボン膜を形成後、前記コーティング膜を前記溶媒で溶解除去するコーティング膜除去工程と、前記プレカーボン膜を圧縮して、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層を形成する組織化工程とを備える逆浸透膜の製造方法。
（発明の効果）
　本願発明によれば、脱塩性能（分離性能）等に優れるカーボン膜を分離活性層として利用した逆浸透膜を提供することができる。
逆浸透膜の断面構成を模式的に表した説明図 クロスフローろ過方式のろ過装置の概略図 実施例１及び比較例１の各膜における透水・脱塩の評価結果を示すグラフ ＴＥＭを用いて得られたサンプル１～３の各膜の回折パターンを示す図 図４に示されるサンプル１～３の各膜における回折パターンの強度と距離の関係を、中心を通る斜め４５°の線で抜き出したグラフ
〔逆浸透膜〕
　図１は、逆浸透膜１の断面構成を模式的に表した説明図である。逆浸透膜１は、多孔性基材２と、この多孔性支持基材２の表面上に形成される、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層３とを備えている。
　逆浸透膜１は、ろ過対象溶液をろ過することにより、前記溶液に含まれる特定物質を前記溶液から分離することができる。例えば、ろ過対象溶液が塩水の場合、逆浸透膜１は、塩水（塩化ナトリウム水溶液）をろ過することで、塩水の中から純水を取り出しつつ、塩分（ＮａＣｌ）を除去することができる。これは、塩水中の水分子が、分離活性層３であるカーボン膜に対して溶解するように取り込まれ、かつカーボン膜中を拡散的に移動するものと推測される。そして、塩水中のナトリウムイオンや塩化物イオンは、少なくとも数個の水分子を伴ったクラスター状態となっており、カーボン膜中に対する進入が阻止されるものと推測される。
（多孔性支持基材）
　多孔性支持基材２は、分離活性層３を支持する多孔性の部材であり、シート状をなしている。多孔性支持基材２としては、いわゆるナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）やウルトラフィルトレーション膜（ＵＦ膜）を利用することができる。多孔性支持基材２の純水透過係数Ｌｐは、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はないが、例えば、２００Ｌ／（ｍ２・ｈ・ＭＰａ）～３５００Ｌ／（ｍ２・ｈ・ＭＰａ）である。
　多孔性支持基材２としては、例えば、不織布状の裏打ち層２Ａと、この裏打ち層２Ａの表面上に形成される多孔性プラスチック層２Ｂとからなる２層構造のものが利用される。
　裏打ち層２Ａは、樹脂製の繊維が不織布状に形成されたものからなり、シート状（層状）をなしている。裏打ち層２Ａに利用される樹脂としては、後述する浸漬液（溶媒）に対して不溶なものが選択される。裏打ち層２Ａに利用される樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル樹脂、エチレン、プロピレン等のポリオレフィン樹脂等が挙げられる。このような裏打ち層２Ａは、不織布で構成されているため、液体透過性を備えている。
　多孔性プラスチック層２Ｂは、裏打ち層２Ａの表面上に積層される多孔性のプラスチック層（シート）からなる。多孔性プラスチック層２Ｂは、厚み方向に貫通する０．００１μｍ～１０μｍ程度の複数の細孔を備えている。
　多孔性プラスチック層２Ｂを構成するプラスチック材料（樹脂材料）としては、後述する浸漬液（溶媒）に対して不溶であり、かつ細孔が形成された状態でも形状が保持されるものが選択される。多孔性プラスチック層２Ｂに利用されるプラスチック材料（樹脂材料）としては、例えば、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）等が挙げられる。多孔性プラスチック層２Ｂにおいて、細孔を形成する方法としては、特に制限はなく、公知の方法により、適宜、形成される。
　多孔性支持基材２の厚みは、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はなく目的に応じて適宜設定されるが、例えば、２０μｍ～１００μｍの範囲に設定される。
　上市されている多孔性支持基材としては、例えば、ＵＦ膜（品名「ＧＲ４０ＰＰ」、アルファ・ラバル株式会社製）、ＵＦ膜（品名「ＭＷ２４５０Ｆ３０」、General Electric社製）等が挙げられる。
　多孔性支持基材２は、本発明の目的を損なわない限り、他の層が積層されてもよい。なお、本発明の目的を損なわない限り、多孔性支持基材２は、シート状以外の形状であってもよい。
（分離活性層）
　分離活性層３は、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなり、溶液に含まれる特定物質を溶液から分離することができる機能を備える。分離活性層３には、多孔性支持基材２の多孔性プラスチック層２Ｂにみられるような大きさの細孔は形成されていない。分離活性層３は、恒常的な貫通孔を備えず、形状が絶えず変化する孔を備えているものと推測される。
　分離活性層３は、多孔性支持基材２のうち、少なくともろ過対象溶液と接触する面に形成される。本実施形態の場合、分離活性層３は、シート状の多孔性支持基材２において、一方の基材表面上に形成されている。
　分離活性層３は、部分的に組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる。本明細書において、「組織化されたカーボン」とは、特定の構造周期性を有しないアモルファス状のカーボン（ダイヤモンドライクカーボン）において、炭素原子間に特定の有意な周期的距離を形成した膜構造を意味する。カーボンの組織化は、結晶化とは異なる概念であり、後述するＴＥＭによるカーボン膜の解析結果により、その存在が推測される。分離活性層（カーボン膜）３は、少なくともカーボンの一部が組織化されていればよく、カーボン膜３のカーボン全体が組織化されている必要はない。
　分離活性層３中には、カーボン（炭素原子以外）に、窒素原子等の他の原子が含まれていてもよい。
　分離活性層３は、例えば、後述する組織化工程において、アモルファス状のプレカーボン膜が高圧力で圧縮されることにより形成される。なお、分離活性層３（組織化されたカーボンを含むカーボン膜）の形成方法は、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はなく、例えば、後述する組織化工程以外の工程を経て、分離活性層３（組織化されたカーボンを含むカーボン膜）が形成されてもよい。例えば、他の実施形態の分離活性層は、プレカーボン膜が加熱されることで組織化されてもよいし、また、成膜圧力を利用して組織化された分離活性層が形成されてもよい。
　分離活性層３の厚みは、本発明の目的を損なわない限り、例えば、５ｎｍ～１００ｎｍの範囲に設定される。
〔逆浸透膜の製造方法〕
　本実施形態の逆浸透膜の製造方法は、コーティング膜形成工程、プレカーボン膜形成工程、コーティング膜除去工程、及び組織化工程を備えている。
（コーティング膜形成工程）
　コーティング膜形成工程は、所定の溶媒に溶解可能なコーティング膜を、前記溶媒に不要な多孔性支持基材２の表面上に形成する工程である。
　コーティング膜は、分離活性層３を形成する前に予め多孔性支持基材２の表面上に形成するものである。コーティング膜は、多孔性支持基材２の多孔性プラスチック層２Ｂが備える細孔を塞ぎつつ、多孔性プラスチック層２Ｂの表面を覆うように形成される。
　コーティング膜としては、後述するコーティング膜除去工程において、所定の溶媒で除去可能なものであれば、特に制限はなく、目的に応じて、公知の樹脂材料及び公知の溶媒の中から適宜、選択される。このようなコーティング膜としては、例えば、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）の粉末を、水及びエタノールの混合溶媒中に溶解させたＰＶＰ溶液等が挙げられる。
　コーティング膜を多孔性支持基材２の表面（多孔性プラスチック層２Ｂの表面）上に形成する方法としては、特に制限はなく、公知の塗工方法が適用される。例えば、コーティング膜を形成するためのコーティング溶液が入った所定の容器内に、多孔性支持基材を所定時間、浸漬し、その後、多孔性支持基材をコーティング溶液から引き上げることで、多孔性支持基材の表面にコーティング膜を形成する方法等が挙げられる。なお、多孔性支持基材２上のコーティング膜は、適宜、乾燥される。
　なお、コーティング膜の厚みは、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はないが、例えば、多孔性支持基材の表面（単位面積当たり）に対して、１ｍｇ／ｃｍ２～２０ｍｇ／ｃｍ２（固形分）の範囲で、コーティング膜を形成するためのコーティング溶液が付与される。
（プレカーボン膜形成工程）
　プレカーボン膜形成工程は、カーボンをターゲット材とする物理蒸着法により、コーティング膜上に分離活性層３の元となるプレカーボン膜を形成する工程である。プレカーボン膜は、後述する組織化工程で圧縮されていない（組織化されていない）、アモルファス状態のカーボン膜である。
　プレカーボン膜は、カーボンをターゲット材とする物理蒸着法を利用して、多孔性支持基材２上のコーティング膜に積層する形で形成される。物理蒸着法としては、後述するように、例えば、大電流パルスマグネトロンスパッタリング法（ＨｉＰＩＭＳ：High Power Impulse Magnetron Sputtering）等が挙げられる。
　ターゲット材として利用されるカーボンとしては、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はないが、例えば、高純度グラファイトが好ましく、特に純度が５Ｎ以上（純度９９．９９９％以上）のものが好ましい。
　プレカーボン膜形成工程において、プレカーボン膜を形成するためのＨｉＰＩＭＳ等の物理蒸着法は、希ガスを含む雰囲気下で行われる。また、必要に応じて、希ガスと共に窒素ガスを含む雰囲気下で行われる。
　希ガスとしては、アルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）等が挙げられる。
　窒素ガスは、プレカーボン膜を形成する際に、アルゴン等の希ガスと共に、用いてもよい。なお、最終的に得られる分離活性層３の高脱塩性能、高透水性能の向上等の観点より、窒素ガスを併用することが好ましい。
　プレカーボン膜の成膜時におけるプロセスガス中の希ガスと窒素ガスの比率は、例えば、希ガス（Ａｒ）：窒素ガス＝１：０．１～１：１０に設定される。
　なお、プレカーボン膜の厚みは、成膜時間を適宜、設定することにより、調節される。
　プレカーボン膜は、アモルファス状のカーボン構造（ＤＬＣ構造）を備えており、プレカーボン膜中には、ｓｐ２混成軌道の炭素原子（グラファイト構造）以外に、ｓｐ３混成軌道の炭素原子（ダイヤモンド構造）が存在しており、ｓｐ３混成軌道の炭素原子の割合が高くなっていると推測される。そして、このようなアモルファス状態のプレカーボン膜が、後述する組織化工程において高圧力で圧縮されると、高密度化されつつ、組織化される。
（コーティング膜除去工程）
　コーティング膜除去工程は、プレカーボン膜を形成後、コーティング膜を所定の溶媒で溶解除去する工程である。
　コーティング膜上にプレカーボン膜が形成された後、それらが形成された多孔性支持基材２が、所定の溶媒を利用しつつ、振とう法により、コーティング膜が溶解除去される。
　コーティング膜が、例えば、ＰＶＰからなる場合、コーティング膜を溶解除去するための溶媒としては、エタノール水溶液（体積比が、エタノール：水＝８：２）が用いられる。
　なお、コーティング膜の種類によっては、コーティング膜を溶解除去するための溶媒として、水やエタノール等のアルコール以外に、エーテル、酢酸エチル、アセトン、ジクロロメタン等の公知の有機溶媒が用いられてもよい。これらは単独で、又は２種以上を組み合わせて用いられてもよい。
　所定の溶媒に、コーティング膜が接触すると、コーティング膜が溶媒中に溶け出し、多孔性支持基材２から除去される。その結果、多孔性支持基材２の多孔性プラスチック層２Ｂ上に積層する形で、プレカーボン膜が形成される。
（組織化工程）
　組織化工程は、多孔性支持基材２上のプレカーボン膜を圧縮して、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層を多孔性支持基材２上に形成する工程である。プレカーボン膜を圧縮する方法としては、例えば、プレカーボン膜に流体を高圧力で接触させて、プレカーボン膜を圧縮しつつ、組織化する方法が挙げられる。用いる流体としては、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はなく、例えば、気体、液体等が挙げられる。また、流体を使用せずに、例えば、所定のプレス機等を利用してプレカーボン膜に高圧力を加えて、プレカーボン膜の組織化を行ってもよい。
　組織化工程は、例えば、流体としてプレカーボン膜を透過可能な液体（例えば、純水）を利用しつつ、後述するクロスフローろ過方式のろ過装置を用いて行われる。プレカーボン膜に対して加えられる圧力は、５．５ＭＰａ以上が好ましい。なお、加えられる圧力の上限としては、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はないが、例えば、後述するろ過装置の都合上、７ＭＰａ以下に設定される。
　なお、プレカーボン膜に、高圧力をかける時間は、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はないが、例えば、１時間以上、好ましくは１０時間以上、より好ましくは２０時間以上である。
　また、他の実施形態においては、多孔性支持基材２上にプレカーボン膜を形成せずに、直接、組織化されたカーボンを含むカーボン膜（分離活性層３）を物理蒸着法等により、形成してもよい。
　以下、実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。なお、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
〔実施例１〕
（多孔性支持基材）
　多孔性支持基材として、ウルトラフィルトレーション膜（品名「ＧＲ４０ＰＰ」、アルファ・ラバル株式会社製）を用意した。この多孔性支持基材は、樹脂製の不織布状の裏打ち層と、この裏打ち層の一方の面上に積層されるポリサルフォン（ＰＳＦ）製の多孔性プラスチック層とからなる。
（コーティング膜形成工程）
　多孔性支持基材を、コーティング溶液が入った所定の容器内に浸漬し、その後、多孔性支持基材をコーティング溶液から引き上げた。なお、コーティング溶液としては、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）溶液（１０質量％）を用意した。ＰＶＰ溶液中のＰＶＰとしては、ＰＶＰ粉末（品名「ポリビニルピロリドン　Ｋ３０」、和光純薬工業株式会社製）を用いた。また、ＰＶＰ溶液の溶媒としては、エタノールと水の混合溶媒（エタノール：水＝８：２（体積比））を用いた。
　その後、コーティング溶液が付着した多孔性支持基材を、室温で１０時間放置し、多孔性支持基材上のＰＶＰ塗膜（コーティング膜）を乾燥させて、ＰＶＰ塗膜付きの多孔性支持基材を得た。
（プレカーボン膜形成工程）
　大電流パルスマグネトロンスパッタリング法（ＨｉＰＩＭＳ：High Power Impulse Magnetron Sputtering）を利用して、多孔性支持基材上のＰＶＰ塗膜に積層する形で、プレカーボン膜を形成した。プレカーボン膜の成膜条件は、以下の通りである。
＜成膜条件：実施例１＞
　・成膜装置：バッチ型カーボン膜成形装置
　・Ｄｕｔｙ比：２５％
　・周波数：１．５ｋＨｚ
　・Ｄｕｔｙサイクル：１８０μｓ
　・プロセスガス（流量）：Ａｒ（４４ｓｃｃｍ）、Ｎ２（４４ｓｃｃｍ）、ＣＨ４（４ｓｃｃｍ）
　・ターゲット材：高純度グラファイト（純度：９９．９９９％）
　・ピーク電力密度：１．１４Ｗｃｍ－２
　・電力密度：０．０９Ｗｃｍ－２
　・成膜圧力：０．６１Ｐａ
　・成膜時間：８２５秒
〔プレカーボン膜の膜厚〕
　実施例１のプレカーボン膜の厚みを、分光エリプソメーターにより、測定した。測定結果より、実施例１のプレカーボン膜の厚みは、約３０ｎｍであった。
（コーティング膜除去工程）
　プレカーボン膜が形成された多孔性支持基材を、所定容器内の浸漬液に浸漬し、それを、デジタルシェーカー（大洋株式会社製）を用いて振とうさせながら、ＰＶＰ塗膜（コーティング膜）を除去した。なお、前記浸漬液としては、エタノールと純水の混合溶媒（エタノール：水＝８：２（体積比））を用いた。
（組織化工程）
　プレカーボン膜が形成された多孔性支持基材２（以下、プレ逆浸透膜１Ｐ）を、後述する図２に示されるクリスフローろ過方式のろ過装置を用いて、組織化工程を行った。
　組織化工程では、プレ逆浸透膜１Ｐを上記ろ過装置にセットし、純水を利用して、５．５ＭＰａの圧力条件で、プレ逆浸透膜１Ｐを２４時間圧縮した。なお、上記ろ過装置にセットされたプレ逆浸透膜１Ｐは、直径２５ｍｍの円形状をなしている。
　上記のように、所定のろ過装置を利用して、プレカーボン膜を圧縮し、その中の一部のカーボンを組織化することで、分離活性層３が得られる。このようにして、実施例１の逆浸透膜１を得た。
〔透水・脱塩評価〕
　実施例１の逆浸透膜１について、図２に示されるクリスフローろ過方式のろ過装置を用いて、ろ過試験を行った。ここで、図２を参照しつつ、ろ過装置１０について説明する。
　図２は、クロスフローろ過方式のろ過装置１０の概略図である。ろ過装置１０は、ろ過ユニット１１と、ろ過液収集容器１２と、圧力計１３と、バルブ１４と、回収容器１５と、ポンプ１６と、上流側配管１７と、下流側配管１８とを備えている。
　ろ過ユニット１１は、セットされる試験サンプル（逆浸透膜１）の表層（カーボン膜）に沿ってろ過対象溶液が流れるように試験サンプルを保持しつつ、その流れの途中で試験サンプルを利用してろ過対象液をろ過するものである。ろ過液収集容器１２は、試験サンプルを透過した液体（透過液）を回収する容器である。
　ろ過ユニット１１には、回収容器１５内に収容されているろ過対象溶液（塩水）が上流側配管１７を通って供給される。ろ過ユニット１１と回収容器１５との間は、上流側配管１７で接続されている。また、上流側配管１７の途中には、ろ過ユニット１１にろ過対象溶液を送り出すためのポンプ１６が設定されている。また、ろ過ユニット１１と回収容器１５との間は、下流側配管１８で接続されており、ろ過ユニット１１から排出されたろ過対象溶液（塩水）は、下流側配管１８を通って再び、回収容器１５に戻される。なお、下流側配管１８の途中には、圧力計１３とバルブ１４が設けられており、下流側配管１８等を循環するろ過対象溶液の流量がバルブ１４の開閉により調節される。
　このようなろ過装置１０を用いて、塩化ナトリウム水溶液（濃度：３．２ｗｔ％）をろ過対象液としつつ、５．５ＭＰａの圧力条件で、実施例１の逆浸透膜１の透水・脱塩評価を行った。
　上述した組織化工程では、試験サンプルとして、プレ逆浸透膜１Ｐが用いられ、純水を、５．５ＭＰａの供給圧力で、ろ過装置１０内を２４時間、循環させている。逆浸透膜１の透水・脱塩評価は、上述した組織化工程の後、続けて行った。実施例１の逆浸透膜１における透水・脱塩の評価結果（５．５ＭＰａ）は、図３のグラフに示した。
　試験サンプルの透水量（透過流束）は、以下に示される式（１）により求められる。
　　　Ｆ＝Ｌ／ＳＴ　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・・・（１）
　上記式（１）において、Ｆは、透過流束（Ｌｍ－２ｈ－１）であり、Ｌは、透過水量（Ｌ）であり、Ｓは、試験サンプルの有効面積（ｍ２）であり、Ｔは、試験時間（ｈ）である。
　また、試験サンプルの脱塩率（％）は、以下に示される式（２）により求められる。
　　　Ｒ＝（１－Ｃ２／Ｃ１）×１００（％）　　　　　・・・・・（２）
　上記式（２）において、Ｒは、脱塩率（％）であり、Ｃ１は、原液（ろ過対象液）のＮａＣｌ濃度であり、Ｃ２は、試験サンプルを透過した液体（透過水）のＮａＣｌ濃度である。
　また、実施例１の逆浸透膜１について、圧力条件を、７．０ＭＰａに変更したこと以外は、上述した５．５ＭＰａの場合と同様にして、実施例１の逆浸透膜１の透水・脱塩率評価（７．０ＭＰａ）を行った、その結果は、図３のグラフに示した。
〔比較例１〕
　実施例１と同様にして、作製したプレ逆浸透膜（つまり、組織化工程を行っていない状態のプレカーボン膜を備えたもの）を、比較例１の逆浸透膜とした。そして、この逆浸透膜について、上記ろ過装置１０を使用しつつ、塩化ナトリウム水溶液（濃度：０．２ｗｔ％）をろ過対象液としつつ、３．０ＭＰａの圧力条件で、透水・脱塩評価を行った。結果は、図３のグラフに示した。
〔透水・脱塩評価の結果について〕
　図３に示されるように、実施例１の逆浸透膜１において、ろ過圧力が５．５ＭＰａの場合、脱塩率（％）は、９９．２％であり、透過流束（Ｌｍ－２ｈ－１）は、０．１９Ｌｍ－２ｈ－１であった。また、実施例１の逆浸透膜１において、ろ過圧力が７．０ＭＰａの場合、脱塩率（％）は、９９．４％であり、透過流束（Ｌｍ－２ｈ－１）は、１．２Ｌｍ－２ｈ－１であった。このように、組織化された実施例１の逆浸透膜１は、優れた脱塩性能（分離性能）を備えていることが確かめられた。
　なお、比較例１の逆浸透膜の場合（ろ過圧力：３．０ＭＰａ）、脱塩率は、９６．８％であった。
〔耐久性について〕
　実施例１の逆浸透膜１は、上述した透水・脱塩評価を長時間行っても、脱塩性能が安定しており、耐久性に優れることが確かめられた。これは、逆浸透膜１が備えるカーボン膜からなる分離活性層３を構成する一部のカーボンが組織化されたことにより、構造が安定化したためと推測される。
〔ＴＥＭによる解析〕
（サンプルの作製）
　実施例１と同様にして、プレ逆浸透膜を作製した。得られたプレ逆浸透膜を、上述したろ過装置１０内にセットし、純水を５．５ＭＰａの供給圧力で２４時間、循環させることで、プレカーボン膜を圧縮し、組織化したものを、サンプル１とした。
　また、上記サンプル１で使用したものと同様のプレ逆浸透膜を用意した。そのプレ逆浸透膜に対して、純水の供給圧力を７．０ＭＰａに変更したこと以外は、上記サンプル１と同様にして、プレカーボン膜を圧縮し、組織化した。このようにして得られたものを、サンプル２とした。
　また、上記サンプル１で使用したものと同様のプレ逆浸透膜を用意し、それをサンプル３とした。
　透過電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope：TEM）を用いて、上記サンプル１，２のカーボン膜の構造、及びサンプル３のプレカーボン膜の構造を解析した。結果は、図４及び図５に示した。図４は、ＴＥＭを用いて得られたサンプル１～３の各膜の回折パターンを示す図であり、図５は、図４に示されるサンプル１～３の各膜における回折パターンの強度と距離の関係を、中心を通る斜め４５°の線で抜き出したグラフである。なお、図５の縦軸は、強度を表し、横軸は、全長を１とした場合の距離を表す。
　図５に示されるように、圧縮されたサンプル１，２のカーボン膜では、回折パターンの中心を通る線（図５中の破線）を挟んで両側の位置に、対称的な関係の２つの強度のピークが確認された。このようなピークは、プレカーボン膜中の一部のカーボンの構造が変化して、そのカーボンが、規則的に並んで組織化したために、生じたものと推測される。これに対し、未圧縮のサンプル３のプレカーボン膜では、そのようなピークは見られなかった。
〔シミュレーションによる解析〕
　シミュレーションにより、プレカーボン膜と、それより得られる分離活性層（カーボン膜）との間の電荷密度の変化を解析した。分離活性層は、プレカーボン膜に圧力が加えられる等して、組織化されたものであり、このような分離活性層の電荷密度は、プレカーボン膜の電荷密度と比べて高くなることが確認された。分離活性層は、このように電荷密度が高くなっているため、除去対象となる電荷を持つ物質を分離させ易いと推測される。また、分離活性層は、圧力等が加えられることにより、内部の空孔構造等に変化が生じ、その結果、除去対象となる物質を通過させ難くなると推測される。このような理由により、本発明の分離活性層を備えた逆浸透膜では、脱塩率の高い透過水が得られると推測される。
　１…逆浸透膜、２…多孔性支持基材、２Ａ…裏打ち層、２Ｂ…多孔性プラスチック層、３…分離活性層（カーボン膜）、１０…ろ過装置、１１…ろ過ユニット、１２…ろ過液収集容器、１３…圧力計、１４…バルブ、１５…回収容器、１６…ポンプ、１７…上流側配管、１８…下流側配管

Claims (4)

  1. 　多孔性支持基材と、
    　前記多孔性支持基材の表面に形成され、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層とを備える逆浸透膜。
  2. 　ＮａＣｌ水溶液（濃度：３．２質量％）を、５．５ＭＰａ以上のろ過圧力で脱塩した際の脱塩率が、９９％以上である請求項１に記載の逆浸透膜。
  3. 　前記多孔性支持基材は、不織布状の裏打ち層と、前記裏打ち層上に形成される多孔性プラスチック層を含む請求項１又は請求項２に記載の逆浸透膜。
  4. 　所定の溶媒に溶解可能なコーティング膜を、前記溶媒に不溶な多孔性支持基材の表面上に形成するコーティング膜形成工程と、
    　カーボンをターゲット材とする物理蒸着法により、前記コーティング膜上にプレカーボン膜を形成するプレカーボン膜形成工程と、
    　前記カーボン膜を形成後、前記コーティング膜を前記溶媒で溶解除去するコーティング膜除去工程と、
    　前記プレカーボン膜を圧縮して、組織化されたカーボンを含むカーボン膜からなる分離活性層を形成する組織化工程とを備える逆浸透膜の製造方法。
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