WO2019031113A1 - 研磨メディア及びその製造方法、並びに鏡面研磨方法 - Google Patents

研磨メディア及びその製造方法、並びに鏡面研磨方法 Download PDF

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media
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mirror
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直幸 荻原
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新東工業株式会社
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    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B31/00Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B31/00Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
    • B24B31/12Accessories; Protective equipment or safety devices; Installations for exhaustion of dust or for sound absorption specially adapted for machines covered by group B24B31/00
    • B24B31/14Abrading-bodies specially designed for tumbling apparatus, e.g. abrading-balls
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents

Definitions

  • the present disclosure relates to a polishing medium used to mirror-polish a surface of a metal part or the like by barrel polishing, a method of manufacturing the same, and a mirror-polishing method.
  • a barrel polishing method is known as a method of polishing metal parts and the like.
  • a workpiece made of metal parts and polishing media in the case of a wet type, further water and a compound
  • these are caused to flow to contact the polishing media with the workpiece to polish it.
  • the workpiece is placed in an environment which is abraded with the polishing media. Therefore, the unevenness
  • Patent Document 1 discloses a method of mirror-polishing a workpiece with a barrel polishing machine (a so-called rotating barrel) of a type in which a polygonal barrel is rotated about its central axis. Specifically, it is formed of an abrasive by charging an abrasive, which is a walnut chip or a cone chip, an abrasive oil and a work into a tank and rotating the tank at a high speed so that the abrasive adheres to the wall of the tank. The work is polished on the inside of the wall. In this method, since the workpieces are more likely to contact with each other, suppression of the streaks is insufficient.
  • a barrel polishing machine a so-called rotating barrel
  • the polishing media includes a particulate composed of a vegetable material and a coating layer on the surface of the particulate.
  • the coating layer is composed of an oil containing fatty acid and abrasive grains.
  • the thickness of the coating layer may be 1 to 100 ⁇ m. While being able to hold
  • the content of abrasive grains may be 1 to 50% by mass with respect to the total amount of the coating layer. Thereby, good polishing power can be maintained for a long time.
  • the maximum particle size of the abrasive may be 1 to 15 ⁇ m.
  • On the outer surface of the plant material there are a plurality of capillaries (tubules) communicating with the inside.
  • the mirror polishing method includes the following steps (1) and (2).
  • (1) A step of charging the polishing media and the work into a barrel polishing machine.
  • (2) A step of mirror-polishing a workpiece by operating a barrel polishing machine.
  • the mirror polishing step (2) may include the steps (3) to (5).
  • Abrasive media consisting of particles made of vegetable material is softer than abrasive media of the type in which the abrasive grains are bonded by a vitrified binder or abrasive media of the type in which the abrasive grains are bonded by resin.
  • the occurrence of streaks when being abraded by the polishing media is suppressed.
  • polishing media are good slidability.
  • the moving vector of the polishing media is converted in the direction along the surface of the workpiece. This is considered to move the polishing media so as to slide relative to the work, thereby further suppressing the occurrence of streaks. It is considered that the work is polished when the polishing media moves so as to slide relative to the work.
  • the method of manufacturing the polishing media includes the following steps (6) to (9). (6) A step of weighing particles, oil and abrasives which are raw materials of polishing media. (7) A step of charging the raw material of the (weighed) polishing media into a barrel polisher or mixer. (8) A step of operating the barrel polisher or mixer to provide a coating layer on the surface of the particulate matter.
  • a polishing medium for performing mirror polishing of a work such as a metal part by barrel polishing, a method for producing the same, and a mirror polishing method using the polishing media. Since barrel polishing can polish a plurality of workpieces at one time, productivity is superior to conventional buffing.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of a polishing medium according to one embodiment.
  • the polishing medium 10 is composed of a core 11 (particulate matter) and a coating layer 12.
  • the core material 11 is a substance to be a base of the polishing media 10.
  • the workpiece is repeatedly abraded by the polishing media 10.
  • porous granules for example, walnut shells, seeds such as peach and eggplant, and ground products of corn core
  • As the polishing media there is known a type in which abrasive grains are bonded by a vitrified binder, and a type in which abrasive grains are bonded by a resin, but since plant materials are softer than these, It is hard to produce streaks.
  • the coating layer 12 has a configuration in which abrasive grains 12 b are dispersed in an oil agent 12 a.
  • the oil agent 12 a needs to be capable of holding the abrasive grains 12 b and having the ability to be supported by the core material 11. Furthermore, when the core material 11 is covered, it is preferable that the material has the ability to improve the sliding property of the core material 11. From such a point of view, in the present embodiment, a fatty acid is used as a component of the oil agent 12a.
  • a saturated fatty acid can be used, and its structure can be linear, but may have a branched chain.
  • the carbon number of the fatty acid may be at least 10 or more, and may be 12 or more. Although the upper limit of carbon number is not specifically limited, For example, it can be 20.
  • As fatty acids lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid and the like can be mentioned.
  • the oil agent 12a can contain a petroleum hydrocarbon as a component in the range which the intended effect in this indication is not impaired.
  • a petroleum hydrocarbon As petroleum-based hydrocarbons, paraffin-based hydrocarbons, olefin-based hydrocarbons, naphthene-based hydrocarbons, aromatic-based hydrocarbons and the like can be mentioned.
  • the petroleum hydrocarbon may be liquid at 25 ° C.
  • the oil agent 12a may contain other minor components.
  • the main component of the oil may be a fatty acid.
  • the term "main component" means that 50% by mass or more of fatty acid is contained based on the total amount of the oil solution.
  • the oil agent 12 a may be solid or semi-solid at 25 ° C. from the viewpoint that the coating layer 12 is well supported on the core material 11.
  • the constituent material of the abrasive grains 12b is appropriately selected from known materials such as alumina, silicon carbide, zirconia-alumina, diamond and CBN. In the present embodiment, alumina can be suitably used.
  • FIG. 5 is a schematic view of the barrel polishing machine 20.
  • the barrel polishing machine 20 shown in FIG. 5 is a centrifugal barrel polishing apparatus, and includes four barrel tanks 21 in which a mass is loaded, four barrel tank cases 22 in which the barrel tanks 21 are detachably fixed, and barrels.
  • a driven mechanism configured to rotate the barrel case.
  • FIG. 5 only the three barrel tank 21 and the three barrel tank case 22 are illustrated for convenience.
  • the barrel tank 21 is a hollow container in which a space having an octagonal cross-sectional shape is defined, and a cylindrical barrel tank main body whose upper surface is open and which covers the opening to seal the internal space. And can be configured with a barrel tank lid.
  • the barrel case 22 is provided with a rotation shaft 22a at each end.
  • the barrel tank case 22 is configured such that the barrel tank 21 whose inside is sealed can be detachably fixed to the barrel tank case 22.
  • the pair of turrets 23 have a disk shape and are provided to face each other.
  • a first bearing 23 a capable of rotatably fitting the revolving shaft 24 is provided at the center of each turret 23 (the center of the side surface which is a circular plane).
  • Each turret 23 is provided with a plurality of second bearings 23 b at equal intervals along the circumferential direction. These second bearings 23b are individually fitted to the rotation shafts 22a of the plurality of barrel tank cases 22, and rotatably support the rotation shafts 22a.
  • the turret 23 is rotatably fixed to a revolving shaft 24 fixed to the shaft holder 24a via a first bearing 23a.
  • the barrel case 22 is disposed so as to be sandwiched by the turrets 23 via the rotation shaft 22a and the second bearing 23b. With this configuration, the barrel case 22 is disposed between the pair of turrets 23 at equal intervals and relatively rotatable with respect to the turrets 23.
  • the drive mechanism 25 includes a drive motor 25a, a motor pulley 25b fixed to the rotation shaft of the drive motor 25a, a revolving pulley 25c provided on the outer periphery of one of the turrets (left side in FIG. 5), a motor pulley 25b and a revolving shaft. And a drive belt 25d bridged between the pulley 25c and the pulley 25c.
  • the driven mechanism 26 includes a drive pulley 26a fixed to the rotation shaft, a driven pulley 26b fixed to the rotation shaft 22a, and a driven belt 26c bridged between the drive pulley 26a and the driven pulley 26b. Be done.
  • the turret 23 rotates around the revolving shaft 24.
  • the barrel tank 21 fixed to the barrel tank case 22 turns (revolutions) around the revolving shaft 24.
  • the driven mechanism 26 the barrel tank 21 rotates (rotation) in the direction opposite to the rotation direction of the turret 23 with the rotation shaft 22a as an axis.
  • the barrel tank 21 can be rotated by its own rotation and pivoted by the rotation of the turret 23.
  • the mass including the work (workpiece) and the polishing media becomes fluid.
  • the workpiece is polished by the contact with the polishing media, the contact between the workpieces, and the contact with the wall surface of the barrel tank 21.
  • the raw materials of the polishing media 10 are the core material 11, the oil agent 12a, and the abrasive grains 12b.
  • the raw materials are respectively weighed so that the abrasive grains have a predetermined content with respect to the oil and the coating layer 12 has a predetermined thickness with respect to the core material 11. (S11: Weighing of raw materials)
  • the control mechanism After the operating conditions (operating time, rotational speed of the turret 23, etc.) are input in advance to a control mechanism (not shown) for controlling the operation of the barrel polishing machine 20, the control mechanism is operated.
  • the drive motor 25a is operated by the signal output from the control mechanism.
  • the power of the drive motor 25a is transmitted to the turret 23 through the motor pulley 25b, the drive belt 25d and the revolving pulley 25c, and the turret 23 rotates.
  • the rotation of the turret 23 starts agitation of the raw material.
  • the stirring uniformly disperses the abrasive grains 12b with respect to the oil agent 12a and adheres so as to cover the core material 11, whereby the coating layer 12 is formed.
  • the core members 11 rub against each other, so heat is generated due to the rubbing.
  • the temperature at which the oil 12 a softens is relatively low. Since the oil agent 12a is softened by the heat generated by the stirring and its viscosity is reduced, the abrasive grains 12b can be dispersed more uniformly in the oil agent 12a, and the entire core material 11 can be coated more uniformly.
  • the core material 11 of this embodiment is a vegetable material, it is entirely porous.
  • the oil agent 12 a in which the viscosity is lowered and the abrasive grains 12 b are uniformly dispersed penetrates into the core material 11. Thereby, performance can be exhibited over a long time.
  • the coating layer 12 is formed can be confirmed by, for example, spectrum analysis or area analysis (mapping) by TOF-SIMS.
  • polishing media 10 and the work introduced into the barrel tank 21 are generally referred to as a mass.
  • a work, optionally a compound, is further introduced into the barrel tank 21 containing the polishing media 10 obtained above.
  • the control mechanism is operated to operate the barrel polishing machine 20.
  • the barrel tank 21 performs a planetary motion to fluidize the mass.
  • the work is abraded by the polishing media 10 by fluidizing the mass.
  • the workpiece is polished by repeating this rubbing. Specifically, in this step, the polishing media rubs the workpiece, and when the polishing media rubs the workpiece, the polishing media elastically deforms and the vector along which the polishing media moves is a direction along the surface of the workpiece. And the step of polishing the surface of the workpiece when the polishing media moves relative to the surface of the workpiece.
  • the core material 11 is a vegetable material. Therefore, at the time of this abrasion, the core material 11, that is, the polishing medium 10 is elastically deformed, so that the impact force is alleviated. As a result, it is hard to produce a streak on a work.
  • the reflection angle of the polishing media 10 to the work decreases.
  • the polishing medium 10 for rubbing the workpiece W from the upper left is considered to draw a trajectory shown by a solid line when the coating layer 12 is not provided, but the coating layer 12 is provided If it does, it is considered to draw the trajectory shown by the broken line. That is, by providing the coating layer 12, the vector in which the polishing media 10 moves is converted in the direction along the surface of the workpiece W. As a result, the reflection angle of the polishing media 10 with respect to the surface of the work W is reduced, and the impact force at the time of scratching is further alleviated, so that it is further difficult for the work W to have streaks.
  • the coating layer 12 may have a thickness of 1 to 100 ⁇ m, or may be 20 to 30 ⁇ m in order to maintain a better polishing ability for a long time and to further suppress the generation of streaks.
  • the thickness of the coating layer 12 can be calculated, for example, by converting a value measured by XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) to SiO 2 . Specifically, it can be measured as follows. The surface of the polishing medium (or test piece) on which the coating layer 12 is formed is sputtered using argon ions as a light source, and the ejected ions are analyzed by XPS.
  • XPS X-ray photoelectron spectroscopy
  • the coating layer may be 1 to 6 parts by mass, or 2 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the core material from the same viewpoint as above. While the mass ratio of a coating layer is such a range, while being able to hold
  • the polishing media 10 When scraping the work, the polishing media 10 is considered to move so as to slide relative to the work. Since the coating layer 12 contains the abrasive grains 12b, the surface of the workpiece can be polished during this movement.
  • the content of the abrasive grains 12b with respect to the coating layer 12 may be 1 to 50% by mass, or may be 10 to 30% by mass.
  • the maximum particle diameter (d100) of the abrasive grains 12b may be 1 to 15 ⁇ m, 5 to 11 ⁇ m, or 5 to 8 ⁇ m.
  • the average particle size (d50) of the abrasive grains 12b may be 0.5 to 5.0 ⁇ m, 0.8 to 3.4 ⁇ m, or 0.9 to 2.4 ⁇ m.
  • the capillary 11a is stretched in the vertical direction for the sake of convenience, but in practice it is stretched randomly in all directions.
  • fine dusts such as cutting powder of the work and particles generated by breakage of the polishing medium 10.
  • the mass of the polishing medium 10 gradually increases, so the kinetic energy at the time of rubbing the workpiece is increased. As a result, there is a high possibility that streaks will occur on the work.
  • the polishing force is Problems will arise.
  • the thickness of the coating layer 12 described above, the content of the abrasive particles 12 b, and the particle diameter of the abrasive particles 12 b can be determined in consideration of these problems.
  • ⁇ S04 Work collection process> After the barrel polishing machine 20 is operated for a predetermined time, the drive motor 25a is stopped by a signal of the control device. Thereafter, the work and the polishing media 10 are removed from the barrel tank 21 and the work and the polishing media 10 are separated.
  • the component The component of a coating layer, dust (cutting powder etc.)
  • dimensions are measured when assembling a workpiece in a post process, if the workpiece surface is wet due to the components of the coating layer or dust adheres to the workpiece surface, not only can it not be measured accurately, but also to the measuring instrument There is a risk of producing an adverse effect (fault or abnormal measurement value).
  • the mirror polishing is completed through the above steps S01 to S04.
  • the mirror surface polishing method briefly includes a step of charging the polishing media and the work into the barrel polishing machine, and a step of operating the barrel polishing machine to mirror the workpiece. It can be said.
  • the method may further include the step of removing a component derived from polishing from the mirror-polished work.
  • the production of the polishing media and the mirror polishing were performed by the same barrel polishing machine was described as an example, but the production of the polishing media may be performed by another barrel polishing machine or a mixer.
  • the fatty acid used in the oil agent 12a changes in viscosity depending on the molecular weight. Therefore, when the oil agent 12a has high viscosity at normal temperature, or is solidified at normal temperature, etc., since the handling property of the polishing media 10 is good after the coating layer 12 is provided, another production of polishing media is performed. You may carry out with a barrel polisher or a mixer.
  • the barrel polishing machine 20 shown in FIG. 5 was used for mirror polishing.
  • polishing media The following A to E were used as polishing media.
  • Abrasive Media A A surface of walnut shell (Shinto Kogyo Co., Ltd .: KS # 16. Corresponds to core material 11), oil agent 12a containing fatty acid and petroleum hydrocarbon, and abrasive particles 12b (maximum particle diameter is 8 ⁇ m) What was coat
  • the polishing media A corresponds to the polishing media 10 of one embodiment.
  • Abrasive Media B A surface of walnut shell (Shinto Kogyo Co., Ltd .: KS # 16. Corresponds to core material 11), oil agent 12a containing fatty acid and petroleum hydrocarbon, and abrasive particles 12b (maximum particle diameter is 11 ⁇ m) What was coat
  • the polishing media B corresponds to the polishing media 10 of one embodiment.
  • Abrasive Media C A surface of walnut shell (Shinto Kogyo Co., Ltd .: KS # 16, corresponding to core material 11), oil agent 12a containing fatty acid and petroleum hydrocarbon, and abrasive 12b (maximum particle diameter is 8 ⁇ m) What was coat
  • the polishing media C corresponds to the polishing media 10 of one embodiment.
  • Polishing media D Walnut shell (manufactured by Shinto Kogyo Co., Ltd .: KS # 16. Corresponds to the core material 11).
  • Abrasive media E Walnut shell (Shinto Kogyo Co., Ltd .: KS # 16. Corresponds to the core material 11) and abrasive grains 12b (Shinto Kogyo Co., Ltd .: WA # 6000) are separately introduced.
  • Abrasive media F Abrasive 12b bonded with vitrified binder. It has a spherical shape of ⁇ 20 mm. (Manufactured by Shinto Kogyo Co., Ltd .: V-20)
  • Abrasive media G Abrasive particles 12 b bonded with resin. It has a conical shape of ⁇ 20 mm ⁇ 20 mm. (Manufactured by Shinto Kogyo Co., Ltd .: S3-F)
  • Examplementation of mirror polishing Ten abrasive media and workpieces forming a mass were charged into the barrel tank 21 so as to have a volume of 50% of the barrel tank 21, and the barrel polisher 20 was operated for one hour.
  • work surface of Example 1 and Example 2 was non-wet condition after mirror polishing
  • work surface of Example 3 was wet condition.
  • the workpiece of Example 3 was degreased and washed with alcohol to be in a non-wet state.
  • Example 1 to 3 were all ⁇ on the gloss evaluation criteria, but Example 1 was more particularly glossy than Examples 2 and 3. In addition, Example 1 showed the smallest value of surface roughness Ra after mirror polishing.
  • bonded the abrasive grain 12b by the vitrified binder was [evaluation of glossiness] x, and the surface roughness also increased large.
  • This type of lump does not cause elastic deformation when it collides with or abrades the work, and has a large mass compared with the example and the comparative examples 1, 2 and 4. It is presumed that it also led to the occurrence. In addition, the surface roughness is also greatly increased, and it is presumed that both the nicks and the streaks are affecting.
  • mirror polishing of parts of all sizes, shapes, and materials can be performed by appropriately setting the size and physical properties of a polishing medium, a barrel polishing machine, and other polishing conditions. it can. For example, mirror polishing of metal as well as metal coated plastic parts can be performed.
  • SYMBOLS 10 Abrasive media, 11 ... Core material (granular substance) 11a ... Capillary, 12 ... Coating layer, 12a ... Oil agent, 12b ... Abrasive grain, 20 ... Barrel polishing machine, 21 ... Barrel tank, 22 ... Barrel tank case, 22a ... Rotational shaft 23, Turret 23a First bearing 23b Second bearing 24 Revolutionary shaft 24a Shaft holder 25 Drive mechanism 25a Drive motor 25b Motor pulley 25c Revolutionary pulley 25d ... Drive belt, 26 ... Drive mechanism, 26a ... Drive pulley, 26b ... Driven pulley, 26c ... Driven belt, W ... Work.

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Abstract

本開示は、植物性材料から構成される粒状物と、該粒状物の表面にコーティング層とを備え、コーティング層は、脂肪酸を含む油剤及び砥粒により構成されている、バレル研磨によって鏡面研磨を行うための研磨メディアに関する。

Description

研磨メディア及びその製造方法、並びに鏡面研磨方法
 本開示は、金属製部品などの表面をバレル研磨にて鏡面研磨するのに用いる研磨メディア及びその製造方法、並びに鏡面研磨方法に関する。
 金属製部品などの研磨する方法として、バレル研磨方法が知られている。バレル研磨は、ワークである金属製部品と研磨メディアと(湿式の場合は、さらに水とコンパウンド)をバレル槽に投入し、これらを流動させることで研磨メディアをワークに接触させて研磨する。
 ワークは、研磨メディアと擦過する環境下におかれる。そのため、ワークの表面には条痕とよばれる凹凸が生じる。その為、バレル研磨では光沢面を創出することはできるが、鏡面のような滑らかな面を創出するのが困難である。そこで、通常はバレル研磨などによって粗加工工程と中仕上げ工程を行った後、バフ加工による仕上げが行われる。
 バフ仕上げは1個ずつ手作業で行われるため、生産性が悪い。そこで、バレル研磨にて鏡面研磨を行うための研究・開発が種々行われている。
 特許文献1では、多角形状のバレル槽を、中心軸を軸心に回転させるタイプのバレル研磨機(所謂、回転バレル)にて、ワークを鏡面研磨する方法が開示されている。具体的には、クルミチップ又はコーンチップである研磨材と研磨油とワークとを槽に投入し、この研磨材が槽の壁面に張り付くように槽を高速回転させることで、研磨材によって形成された壁面の内側でワークを研磨するものである。この方法では、ワーク同士が接触する機会が増えるので、条痕の抑制は不十分である。
特開平01-264765号公報
 以上を鑑み、本開示はバレル研磨にて金属製部品などのワークの鏡面研磨を行うための研磨メディア及びその製造方法、並びに研磨メディアを用いた鏡面研磨方法を提供することを目的とする。
 本開示の一側面は、バレル研磨によって鏡面研磨を行うための研磨メディアに関する。一態様に係る研磨メディアは、植物性材料から構成される粒状物と、当該粒状物の表面にコーティング層とを備えている。コーティング層は、脂肪酸を含む油剤及び砥粒により構成されている。
 一実施形態において、コーティング層の厚さは1~100μmであってもよい。これにより長時間にわたって良好な研磨力を保持できると共に、条痕の発生を抑制することができる。
 一実施形態において、砥粒の含有量は、コーティング層の全量に対して1~50質量%であってもよい。これにより長時間にわたって良好な研磨力を保持できる。
 一実施形態において、砥粒の最大粒子径は1~15μmであってもよい。植物性材料の外表面には内部に連通した複数のキャピラリ(細管)が存在する。砥粒の最大粒子径をこの範囲とすることで、バレル研磨により発生した切削粉がこのキャピラリ内に入り込むことが抑制され、かつワークの表面の鏡面研磨能を向上することができる。
 本開示の他の側面は、上記研磨メディアを用いた鏡面研磨方法に関する。一態様に係る鏡面研磨方法は、下記(1)及び(2)の工程を含む。
  (1)研磨メディア及びワークをバレル研磨機に投入する工程。
  (2)バレル研磨機を稼働させてワークを鏡面研磨する工程。
 一実施形態において、(2)の鏡面研磨する工程は、(3)~(5)の工程を含んでいてもよい。
  (3)研磨メディアがワークを擦過する工程。
  (4)研磨メディアがワークを擦過したときに研磨メディアが弾性変形すると共に、研磨メディアが移動するベクトルがこのワークの表面に沿う方向に変換される工程。
  (5)研磨メディアがワークの表面に対して相対的に移動するときに、ワークの表面を研磨する工程。
 植物性材料から構成される粒状物をコアとする研磨メディアは、砥粒がビトリファイド結合剤によって結合したタイプの研磨メディアや、砥粒が樹脂によって結合したタイプの研磨メディアより柔らかいので、ワークがこの研磨メディアにより擦過された際の条痕の発生が抑制される。また、当該粒状物上に脂肪酸を含む油剤がコーティングされているため、この研磨メディアは滑り性が良い。その結果、ワークを研磨メディアが擦過した際に、研磨メディアの移動するベクトルはワークの表面に沿う方向に変換されると推察される。これにより研磨メディアがワークに対して相対的に滑るように移動すると考えられ、条痕の発生がさらに抑制される。なお、研磨メディアがワークに対して相対的に滑るように移動する際に、ワークが研磨されると考えられる。
 本開示の他の側面は、上記研磨メディアの製造方法に関する。一態様に係る研磨メディアの製造方法は、下記(6)~(9)の工程を含む。
  (6)研磨メディアの原料である粒状物、油剤及び砥粒を秤量する工程。
  (7)(秤量した)研磨メディアの原料をバレル研磨機又は混合機に投入する工程。
  (8)バレル研磨機又は混合機を稼働させて粒状物の表面にコーティング層を設ける工程。
 脂肪酸を含む油剤は、バレル研磨機又は混合機の作動により粘性が低下するので、粒状物全体を均一にコーティングすることができる。
 本開示によれば、バレル研磨にて金属製部品などのワークの鏡面研磨を行うための研磨メディア及びその製造方法、並びに研磨メディアを用いた鏡面研磨方法を提供することができる。バレル研磨は複数個のワークを一度に研磨できるので、従来のバフ仕上げに比べ生産性に優れている。
一実施形態に係る研磨メディアを説明するための模式図である。 一実施形態に係る研磨メディアによる鏡面研磨方法を説明するためのフロー図である。 一実施形態に係る研磨メディアの製造方法を説明するためのフロー図である。 一実施形態に係る研磨メディアによる鏡面研磨方法を説明するための模式図である。 バレル研磨機を説明するための模式図である。
 本開示の一実施形態について、図を参照しながら説明する。以下の説明において、上下左右方向は特に断りのない限り図中の方向を指す。なお、本開示は以下の実施形態に限られず、均等の範囲において適宜変更を加えてもよい。
<研磨メディア>
 図1は一実施形態に係る研磨メディアの断面を示す模式図である。研磨メディア10はコア材11(粒状物)及びコーティング層12により構成されている。
 コア材11は、研磨メディア10の基体となる物質である。バレル研磨では、ワークが研磨メディア10により繰り返し擦過される。ワークを鏡面研磨するには、擦過の際にワークの表面に条痕が生じることを抑制しなくてはならない。そこで本実施形態では、植物性材料から構成される多孔性の粒状物(例えば、クルミの殻、ピーチや杏子などの種子、コーンの芯の粉砕物)を用いる。研磨メディアとして、砥粒がビトリファイド結合剤によって結合したタイプや、砥粒が樹脂によって結合したタイプのものが知られているが、植物性材料はこれらのものより柔らかいので、ワークを擦過した際に条痕が生じにくい。
 本実施形態のコア材11の表面には凹凸が形成されているものの、研磨力が不足している。そこで、研磨メディア10の表面には研磨力を有するコーティング層12が設けられている。コーティング層12は、油剤12a中に砥粒12bが分散された構成を有している。
 油剤12aは、砥粒12bを保持でき、且つコア材11に担持される能力を有している必要がある。さらに、コア材11を被覆した場合、コア材11のすべり性を向上させる能力を有している材質であることが好ましい。このような観点から、本実施形態では、油剤12aの成分として脂肪酸を用いる。
 脂肪酸としては飽和脂肪酸を用いることができ、その構造は直鎖とすることができるが、分岐鎖を有していてもよい。脂肪酸の炭素数は少なくとも10以上とすることができ、12以上であってもよい。炭素数の上限は特に限定されないが、例えば20とすることができる。脂肪酸としては、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸等が挙げられる。
 油剤12aは、本開示における所期の効果が損なわれない範囲において、成分として石油系炭化水素を含むことができる。石油系炭化水素としては、パラフィン系炭化水素、オレフィン系炭化水素、ナフテン系炭化水素、芳香族系炭化水素等が挙げられる。石油系炭化水素は25℃において液体であってもよい。また、油剤12a中にはその他の微量成分が含まれていてもよい。
 本実施形態において、油剤の主成分が脂肪酸であってもよい。「主成分」とは、油剤の全量を基準として脂肪酸が50質量%以上含まれることを意味する。
 コア材11にコーティング層12が良好に担持されるという観点から、油剤12aは25℃において固形又は半固形であってもよい。
 砥粒12bの構成材料は、アルミナ質、炭化珪素質、ジルコニアアルミナ質、ダイヤモンド、CBN等公知の材料から適宜選択される。本実施形態ではアルミナ質を好適に用いることができる。
<研磨メディアの製造方法及び鏡面研磨方法>
 次に、この研磨メディア10を用いた鏡面研磨方法を、この研磨メディアの製造方法と合わせて、図2乃至図5をさらに参照して説明する。以下では、研磨メディアの製造と鏡面研磨を同一のバレル研磨機にて行った場合を例に説明する。
 本実施形態で用いたバレル研磨機20について説明する。図5はバレル研磨機20の模式図である。図5に示すバレル研磨機20は、遠心バレル研磨装置であり、マスが装入される4つのバレル槽21と、バレル槽21がそれぞれ着脱自在に固定される4つのバレル槽ケース22と、バレル槽ケース22を回転可能に固定する一対のタレット23(公転円盤)と、公転軸24と、前記公転軸24を軸心としてタレット23を回転させる駆動機構25と、タレット23の回転に従動してバレル槽ケース22を回転させる従動機構26と、を備える。なお、図5では、便宜上3つのバレル槽21及び3つのバレル槽ケース22のみを図示している。
 バレル槽21は、その内部に八角形の断面形状を有する空間が画成された中空の容器であり、上面が開口した筒状のバレル槽本体と、この開口部を覆って内部の空間を密封できるバレル槽蓋と、で構成される。
 バレル槽ケース22はそれぞれ両端に自転軸22aを備えている。バレル槽ケース22は、内部が密封されたバレル槽21をバレル槽ケース22に着脱自在に固定できるように構成されている。
 一対のタレット23は、円盤形状を有しており、互いに対面するように設けられている。それぞれのタレット23の中央(円形平面である側面の中央)には公転軸24を回転可能に嵌合できる第一軸受け23aが設けられている。各タレット23には、その周方向に沿って複数の第二軸受け23bが等間隔で設けられている。これらの第二軸受け23bは、複数のバレル槽ケース22の自転軸22aに個別に嵌合し、各自転軸22aを回転可能に支持している。タレット23はシャフトホルダ24aに固定される公転軸24に第一軸受け23aを介してそれぞれ回転可能に固定されている。また、バレル槽ケース22は、自転軸22a及び第二軸受け23bを介してそれぞれのタレット23に挟み込まれるように配置されている。この構成により、バレル槽ケース22が一対のタレット23の間に等間隔で、かつタレット23に対して相対回転可能に配置されている。
 駆動機構25は、駆動モータ25aと、前記駆動モータ25aの回転軸に固定されたモータプーリ25bと、一方の前記タレット(図5では左側)の外周に設けられた公転プーリ25cと、モータプーリ25bと公転プーリ25cとの間に架け渡された駆動ベルト25dと、で構成される。
 従動機構26は、自転軸に固定された駆動プーリ26aと、前記自転軸22aに固定された従動プーリ26bと、前記駆動プーリ26a及び前記従動プーリ26bに架け渡された従動ベルト26cと、で構成される。
 駆動モータ25aを作動させると公転軸24を中心にタレット23が回転する。このタレット23の回転に伴い、バレル槽ケース22に固定されたバレル槽21が公転軸24を軸心として旋回(公転)する。また、従動機構26によって、バレル槽21は自転軸22aを軸心としてタレット23の回転方向と逆方向に回転(自転)する。
 以上の様に、バレル槽21は自身の回転による自転及びタレット23の回転による旋回をすることができる。バレル槽21を自公転(遊星運動)させると、ワーク(被加工物)及び研磨メディアを含むマスが流動状態になる。これにより、被加工物は研磨メディアとの接触、ワーク同士の接触、バレル槽21の壁面との接触、によって研磨される。
<S01:研磨メディアの製造工程>
 以下、図2及び図3を用いて、研磨メディアの製造方法及び鏡面研磨方法についてより詳細に説明する。研磨メディア10の原料はコア材11、油剤12a、砥粒12bである。油剤に対して砥粒が所定の含有量となるよう、また、コーティング層12がコア材11に対して所定の厚みとなるよう、原料をそれぞれ秤量する。(S11:原料の秤量)
 秤量した原料をバレル研磨機20に投入する。(S12:原料の投入工程)
 バレル研磨機20の稼働を制御する制御機構(図示せず)に、予め稼働条件(稼働時間、タレット23の回転速度、等)を入力した後、制御機構を操作する。制御機構から出力された信号により、駆動モータ25aが稼働する。駆動モータ25aの動力はモータプーリ25bと駆動ベルト25dと公転プーリ25cを介してタレット23に伝達され、タレット23が回転する。タレット23の回転により、原料の撹拌が開始される。撹拌により、油剤12aに対して砥粒12bが均等に分散されると共に、それらがコア材11を被覆するように付着し、コーティング層12が形成される。(S13:コーティング工程)
 撹拌の際はコア材11同士が擦過するので、擦過により熱が発生する。油剤12aが軟化する温度は比較的低い。撹拌によって生じた熱により油剤12aが軟化してその粘度が低下するので、油剤12aに対して砥粒12bがより均等に分散でき、且つコア材11の全体を更に均一に被覆できる。
 また、本実施形態のコア材11は植物性材料であるので、全体的に多孔質である。粘性が低下し、砥粒12bが均等に分散された状態となった油剤12aは、コア材11の内部に浸透する。これにより、長時間にわたって性能を発揮することができる。
 バレル研磨機20が所定の時間稼働した後、制御装置の信号により駆動モータ25aが停止する。その後、コア材表面にコーティング層12が均等に形成されていることを作業者が確認する。(S14:終了工程)
 以上のS11~S14の工程を経て、研磨メディアの製造工程(S01)が完了する。
 コーティング層12が形成されているか否かは、例えばTOF-SIMSによるスペクトル分析や面分析(マッピング)にて確認することができる。
<S02:マスの投入工程>
 ここでは、バレル槽21に投入される研磨メディア10およびワークを総じてマスという。上記にて得られた研磨メディア10が含まれるバレル槽21中に、ワーク、必要に応じてコンパウンド、をさらに投入する。
<S03:鏡面研磨工程>
 前述の制御機構に、予め研磨条件(研磨時間、バレル槽21の回転速度、等)を入力した後、制御機構を操作してバレル研磨機20を稼働させる。バレル槽21が遊星運動し、マスが流動化する。マスが流動化することで、ワークが研磨メディア10に擦過される。この擦過を繰り返すことで、ワークが研磨される。具体的には、本工程では、研磨メディアがワークを擦過する工程と、研磨メディアがワークを擦過したときに、研磨メディアが弾性変形すると共に、研磨メディアが移動するベクトルがワークの表面に沿う方向に変換される工程と、研磨メディアがワークの表面に対して相対的に移動するときに、ワークの表面を研磨する工程と、が実施されているものと推察される。
 本実施形態の研磨メディア10は、コア材11が植物性材料である。その為、この擦過の際に、コア材11、即ち研磨メディア10が弾性変形するので衝撃力が緩和される。その結果、ワークに条痕が生じにくい。
 さらに、コア材11の表面には、脂肪酸を含む油剤12aを含むコーティング層12が設けられている。その為、ワークに対する研磨メディア10の反射角度が小さくなる。図4を参照して説明すると、左上方からワークWを擦過する研磨メディア10は、コーティング層12が設けられていない場合は実線で示す軌道を描くと考えられるが、コーティング層12が設けられている場合は破線で示す軌道を描くと考えられる。即ち、コーティング層12が設けられていることで、研磨メディア10が移動するベクトルが、ワークWの表面に沿う方向に変換される。これによりワークWの表面に対する研磨メディア10の反射角度が小さくなり、擦過の際の衝撃力がさらに緩和されるので、さらにワークWに条痕が生じにくくなる。
 コーティング層12は、薄すぎると研磨中に消失して研磨力を維持することが困難になる。また、厚すぎると、研磨メディア10に対してコーティング層12の硬度や弾性が支配的となり、研磨メディア10の弾性変形に影響を及ぼし易くなる。長時間にわたってより良好な研磨力を保持できると共に、条痕の発生をさらに抑制するために、コーティング層12の厚みは1~100μmとしてもよく、20~30μmとしてもよい。
 ここで、コーティング層12の厚みは、例えばXPS(X線光電子分光法)により測定した値をSiO換算して算出することができる。具体的には次のように測定できる。
 アルゴンイオンを光源としてコーティング層12が形成された研磨メディア(またはテストピース)の表面をスパッタリングし、飛び出したイオンをXPSで分析する。被覆成分のスパッタリング率r、被覆成分が検出できなくなった時間或いはワークの物質が検出された時間をスパッタリング時間t、とすると、被覆成分の厚さであるスパッタリング深さdは、d=r×tにより算出される。ここで、スパッタリング率rが既知でない物質を測定する場合、標準試料であるSiOのスパッタリング率を用いてスパッタリング深さdを算出し、これをコーティング層のスパッタリング深さとするのが一般的である。コーティング層12のスパッタリング率は既知でないため、上述のようにSiOのスパッタリング率を用いて算出したスパッタリング深さをコーティング層12の厚さとして換算してもよい。
 なお、質量割合でいうと、上記と同様の観点から、コア材100質量部に対し、コーティング層は1~6質量部としてもよく、2~5質量部としてもよい。コーティング層の質量割合がこのような範囲であることにより、長時間にわたってより良好な研磨力を保持できると共に、研磨後のワーク表面を非湿潤状態にし易い。
 ワークを擦過する際、研磨メディア10は、ワークに対して相対的に滑るように移動すると考えられる。コーティング層12は砥粒12bが含有されているので、この移動の際にワークの表面を研磨できる。
 油剤12aに対して砥粒が少なすぎるとワークに対する切削能力が不足し易い。一方、砥粒が多すぎるとコーティング層12が硬くなり、研磨メディア10自体が硬くなり易い。その結果、研磨メディア10がワークを擦過した際に、ワークの表面に条痕が生じ易くなり、ワークの表面を鏡面とし難くなる。一実施形態では、コーティング層12に対して砥粒12bの含有率を、1~50質量%としてもよく、10~30質量%としてもよい。
 砥粒12bの粒子径が小さすぎるとワークに対する切削能力が不足し易い。一方、粒子径が大きすぎるとワークの表面を過剰に研磨することになり、ワークの表面を鏡面とし難い。一実施形態では、砥粒12bの最大粒子径(d100)を、1~15μmとしてもよく、5~11μmとしてもよく、5~8μmとしてもよい。また、砥粒12bの平均粒子径(d50)を、0.5~5.0μmとしてもよく、0.8~3.4μmとしてもよく、0.9~2.4μmとしてもよい。
 コーティング層12の厚み、砥粒12bの含有量、砥粒12bの粒子径、の決定について、別の側面もある。コア材11の内部には、無数のキャピラリ11aが存在する。なお、図1ではキャピラリ11aは便宜上上下方向に張り巡らされているが、実際は四方八方にランダムに張り巡らされている。ワークの表面が研磨される際に微細な粉塵(ワークの切削粉や研磨メディア10の破損によって生じた粒子等)が発生する。この粉塵がキャピラリ11aに吸着された場合、研磨メディア10の質量が徐々に重くなっていくので、ワークを擦過する際の運動エネルギーが増大する。その結果、ワークに条痕が生じる可能性が高くなる。また、キャピラリ11aに対する粉塵の吸着量が飽和に達すると、研磨メディア10の表面に粉塵が露出する。この場合、研磨メディア10の硬度が高くなるのでワークに条痕が生じる可能性が高くなる、あるいは砥粒12b同士の間を粉塵が埋め尽くした状態(所謂「目詰まり」)になるので研磨力が低下する、などの問題が生じる。上述のコーティング層12の厚み、砥粒12bの含有量、砥粒12bの粒子径、は、これらの問題を踏まえて決定することができる。
<S04:ワークの回収工程>
 バレル研磨機20が所定の時間稼働した後、制御装置の信号により駆動モータ25aが停止する。その後、ワーク及び研磨メディア10をバレル槽21から取り出し、ワークと研磨メディア10とを分別する。なお、ワークの表面には、研磨由来の成分(コーティング層の成分や粉塵(切削粉等))が付着している場合がある。後工程でワークを組み付ける際に寸法測定を行うが、ワーク表面がコーティング層の成分により湿潤状態であったり、ワーク表面に粉塵が付着していたりすると、正確な測定ができないばかりでなく測定器に悪影響(故障や測定値の異常)をきたす虞がある。そのため、必要に応じワーク表面から研磨由来の成分を除去することが好ましい。例えば、ワーク表面が湿潤状態である場合は、アルコール等で脱脂洗浄を行い、ワーク表面を非湿潤状態とすることが好ましい。また、ワーク表面に粉塵が付着している場合は、超音波やエアブロー等でワークの洗浄を行うことが好ましい。
 以上のS01~S04の工程を経て、鏡面研磨が完了する。
 なお、本実施形態の鏡面研磨方法は、簡潔には、研磨メディア及びワークをバレル研磨機に投入する工程と、バレル研磨機を稼働させてワークを鏡面研磨する工程と、を含む方法であると言うことができる。当該方法は、さらに鏡面研磨されたワークから研磨由来の成分を除去する工程を含んでいてもよい。
 上記では、研磨メディアの製造と鏡面研磨を同一のバレル研磨機にて行った場合を例に説明したが、研磨メディアの製造を別のバレル研磨機や混合機にて行ってもよい。例えば、油剤12aで使用する脂肪酸は分子量によって粘性が変わる。そのため、油剤12aが常温で高粘性の場合や、常温で固化している場合などは、コーティング層12を設けた後で研磨メディア10のハンドリング性が良好であるため、研磨メディアの製造を別のバレル研磨機や混合機にて行ってもよい。
 次に、本実施形態の研磨メディア10及び鏡面研磨方法にて、ワークの鏡面研磨を行った結果について説明する。なお、鏡面研磨には図5に示すバレル研磨機20を用いた。
(ワークの準備)
 ワークとして、JIS H3250に規定される快削黄銅(φ22mm×t15mm)を使用した。
(研磨メディアの準備)
 研磨メディアとして、以下のA~Eを使用した。
 研磨メディアA:クルミ殻(新東工業株式会社製:KS#16。コア材11に相当)の表面を、脂肪酸及び石油系炭化水素を含む油剤12a並びに最大粒子径が8μmである砥粒12b(新東工業株式会社製:WA#6000)からなるコーティング層12にて被覆したもの。コーティング層の質量割合はコア材100重量部に対して4質量部とした。研磨メディアAは一実施形態の研磨メディア10に相当する。
 研磨メディアB:クルミ殻(新東工業株式会社製:KS#16。コア材11に相当)の表面を、脂肪酸及び石油系炭化水素を含む油剤12a並びに最大粒子径が11μmである砥粒12b(新東工業株式会社製:WA#6000)からなるコーティング層12にて被覆したもの。コーティング層の質量割合はコア材100重量部に対して4質量部とした。研磨メディアBは一実施形態の研磨メディア10に相当する。
 研磨メディアC:クルミ殻(新東工業株式会社製:KS#16。コア材11に相当)の表面を、脂肪酸及び石油系炭化水素を含む油剤12a並びに最大粒子径が8μmである砥粒12b(新東工業株式会社製:WA#6000)からなるコーティング層12にて被覆したもの。コーティング層の質量割合はコア材100重量部に対して7質量部とした。研磨メディアCは一実施形態の研磨メディア10に相当する。
 研磨メディアD:クルミ殻(新東工業株式会社製:KS#16。コア材11に相当)。
 研磨メディアE:クルミ殻(新東工業株式会社製:KS#16。コア材11に相当)及び砥粒12b(新東工業株式会社製:WA#6000)を別個に投入。
 研磨メディアF:砥粒12bをビトリファイド結合剤で結合させたもの。φ20mmの球形状を有する。(新東工業株式会社製:V-20)
 研磨メディアG:砥粒12bを樹脂で結合させたもの。φ20mm×20mmの円錐形状を有する。(新東工業株式会社製:S3-F)
(鏡面研磨の実施)
 マスを形成する研磨メディア及びワーク10枚を、バレル槽21に対して50%の容積となるようにバレル槽21に投入し、バレル研磨機20を1時間稼働させた。なお、鏡面研磨後、実施例1及び実施例2のワーク表面は非湿潤状態であったが、実施例3のワーク表面は湿潤状態であった。実施例3のワークについてはアルコールで脱脂洗浄を行い、非湿潤状態とした。
(光沢性の評価)
 鏡面研磨後、目視にて光沢性の評価を行った。光沢性の評価は以下の通りとした。結果を表1に示す。
  ○:ワーク全体に光沢感がある。
  △:ワークの一部(およそ1割未満の面積)に光沢感がない。
  ×:ワーク全体に光沢感がない、もしくは大きな条痕が観察される。
(表面粗さ評価)
 また、表面粗さ測定機にてワーク表面粗さ(JIS B0601:2001にて規定されるRa)を測定し、それぞれの条件での平均値を算出した。結果を表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 本開示の一実施形態に係る研磨メディア10で鏡面研磨を行った実施例1~3は、光沢性の評価がいずれも○であり、且つ表面粗さRaが大幅に小さくなっていた。即ち、良好に鏡面研磨が行われたことを示している。
 実施例1~3は、光沢性の評価基準上はいずれも○であったが、特に実施例1は、実施例2及び3に比べてより光沢感が得られていた。また、鏡面研磨後の表面粗さRaも、実施例1が最も小さい値を示していた。
 コア材11のみで研磨を行った比較例1は、光沢性の評価が△であった。これは、コーティング層12が設けられていないので、擦過の際にコア材11が移動するベクトルをワークの表面に沿う方向に変換できなかったためであると推測される。また、表面粗さRaは研磨を行ったにもかかわらずほとんど変化がなかった。これは、コーティング層12が設けられていないので、研磨力が不足していたことを示している。
 コア材11及び砥粒12bをそれぞれ別個に投入して研磨を行った比較例2は、光沢性の評価は×であり、また表面粗さRaは大きくなっていた。これは、砥粒12bが直接ワークを擦過することによりワークの表面に条痕が発生したためであると推測される。
 砥粒12bをビトリファイド結合剤で結合した塊状物で研磨を行った比較例3は、光沢性の評価が×であり、表面粗さも大きく増加していた。このタイプの塊状物はワークに衝突及び擦過した際に弾性変形が起こらず、且つ実施例及び比較例1、2、4と比べて質量が大きいことから、条痕の増加だけでなく打痕の発生にもつながったと推測される。また、表面粗さも大きく増加しており、打痕及び条痕の双方が影響していると推測される。
 砥粒12bを樹脂で結合した塊状物で研磨を行った比較例4は、光沢性の評価が×であった。これは、塊状物がワークに衝突及び擦過した際における弾性変形が不十分であるので、衝撃力が緩和されなかったためであると推測される。また、表面粗さも大きく増加しており、打痕及び条痕の双方が影響していると推測される。
 本開示の一実施形態に係る鏡面研磨方法は、研磨メディアのサイズや物性、バレル研磨機、その他研磨条件、を適宜設定することで、あらゆるサイズ、形状、材質の部品の鏡面研磨を行うことができる。例えば、金属ばかりでなく金属で被覆したプラスチック製部品の鏡面研磨を行うことができる。
 10…研磨メディア、11…コア材(粒状物)、11a…キャピラリ、12…コーティング層、12a…油剤、12b…砥粒、20…バレル研磨機、21…バレル槽、22…バレル槽ケース、22a…自転軸、23…タレット、23a…第一軸受け、23b…第二軸受け、24…公転軸、24a…シャフトホルダ、25…駆動機構、25a…駆動モータ、25b…モータプーリ、25c…公転プーリ、25d…駆動ベルト、26…従動機構、26a…駆動プーリ、26b…従動プーリ、26c…従動ベルト、W…ワーク。
 

Claims (7)

  1.  バレル研磨によって鏡面研磨を行うための研磨メディアであって、
     前記研磨メディアは、植物性材料から構成される粒状物と、該粒状物の表面にコーティング層とを備え、
     前記コーティング層は、脂肪酸を含む油剤及び砥粒により構成されている、研磨メディア。
  2.  前記コーティング層の厚さが1~100μmである、請求項1に記載の研磨メディア。
  3.  前記砥粒の含有量が、前記コーティング層の全量に対して1~50質量%である、請求項1又は2に記載の研磨メディア。
  4.  前記砥粒の最大粒子径が1~15μmである、請求項1~3のいずれか1項に記載の研磨メディア。
  5.  請求項1~4のいずれか一項に記載の研磨メディアの製造方法であって、
     前記研磨メディアの原料である前記粒状物、前記油剤、及び前記砥粒を秤量する工程と、
     前記研磨メディアの原料をバレル研磨機又は混合機に投入する工程と、
     前記バレル研磨機又は前記混合機を稼働させて前記粒状物の表面に前記コーティング層を設ける工程と、
    を含む、研磨メディアの製造方法。
  6.  請求項1~4のいずれか一項に記載の研磨メディアを用いた鏡面研磨方法であって、
     前記研磨メディア及びワークをバレル研磨機に投入する工程と、
     前記バレル研磨機を稼働させて前記ワークを鏡面研磨する工程と、
    を含む、鏡面研磨方法。
  7.  前記鏡面研磨する工程が、前記研磨メディアが前記ワークを擦過する工程と、
     前記研磨メディアが前記ワークを擦過したときに、前記研磨メディアが弾性変形すると共に、前記研磨メディアが移動するベクトルが前記ワークの表面に沿う方向に変換される工程と、
     前記研磨メディアが前記ワークの表面に対して相対的に移動するときに、前記ワークの表面を研磨する工程と、
    を含む、請求項6に記載の鏡面研磨方法。
     
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