WO2017146006A1

WO2017146006A1 - 研磨方法、研磨パッド

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Publication number: WO2017146006A1
Application number: PCT/JP2017/006224
Authority: WO
Inventors: 透鎌田; 片山　浩二; 均森永; 貴史堀部
Original assignee: 株式会社フジミインコーポレーテッド
Priority date: 2016-02-26
Filing date: 2017-02-20
Publication date: 2017-08-31
Also published as: EP3421174B1; CN108698195B; US20190070707A1; EP3421174A4; KR20180113974A; EP3421174A1; CN108698195A; US11498182B2

Abstract

この発明の研磨方法では円板状の研磨パッド（１）を用いる。研磨パッド（１）の円板の軸方向で研磨面（１０）側の周面（１１１）は、研磨面（１０）に向けて縮径するテーパ面である。周面（１１１）と研磨面（１０）とでなす角度が１２５°以上１８０°未満である。研磨パッド（１）は、ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さが４０以上である。砥粒を含むスラリーを研磨面（１０）より大きな被研磨面に供給し、研磨面（１０）を被研磨面に押し当てて研磨パッド（１）を動かすことにより、被研磨面を研磨する。

Description

研磨方法、研磨パッド

　この発明は研磨方法および研磨パッドに関する。

　曲面を有する被研磨物、例えば自動車等の車体塗装面を平滑化する加工方法として、バフ研磨加工が知られている（例えば特許文献１）。バフ研磨加工は、布製またはその他の材料で作られた研磨輪（バフ）の周囲（表面）に種々の研磨剤などを付けて回転させ、研磨対象物を研磨する方法である。
　しかしながら、バフ研磨加工では被研磨物の表面のうねりを取り除くことができず、美しい表面仕上げを実現することが難しかった。
　これに対して、本発明者等は、曲面を有する被研磨物の表面のうねりを取り除くことが可能な研磨方法を提案した（特許文献２参照）。

特開２０１２－２５１０９９号公報特開２０１６－４７５６６号公報

　特許文献２の方法では、硬質の樹脂層で形成される研磨面を有する研磨パッドを用いるため、特に、塗膜等の比較的軟質な凹曲面を研磨する場合には、研磨傷の発生を抑制することが課題となる。
　この発明の第一の課題は、被研磨面が塗膜等の比較的軟質な凹曲面であっても研磨傷の発生が抑制できる研磨方法を提供することである。

　一方、研磨スラリー（砥粒を含むスラリー）による研磨を、発泡ポリウレタン等の連続気泡構造を有する多孔質材からなる研磨パッドを用いて行うと、研磨パッドにスラリーがしみ込み、しみ込んだスラリーが飛散して研磨に使用されないため、スラリーの利用効率が低いという問題点がある。
　この発明の第二の課題は、研磨スラリーによる研磨で使用される研磨パッドとして、従来品よりスラリーの利用効率が高い研磨パッドを提供することである。

　上記第一の課題を解決するために、この発明の第一態様である研磨方法は、以下の構成(1)～(3)を有することを特徴とする。
(1)円板状の研磨パッドであって、円板の軸方向で研磨面側の周面は研磨面に向けて縮径するテーパ面であり、研磨面側の周面と研磨面とでなす角度が１２５°以上１８０°未満である研磨パッドを用いる。
(2)使用する研磨パッドの硬さは、ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さ（以下、「Ｃ硬度」と称する。）で４０以上である。

　この試験方法では、スプリング硬さ試験機として、試験片の表面に試験機の加圧面を密着させたとき、加圧面の中心の孔からばね圧力で突き出ている押針が試験片によって押し戻される距離を、硬さとして目盛に示す構造のものを用いる。試験片の測定面は、少なくとも試験機の加圧面以上の大きさのものとする。
(3)砥粒を含むスラリーを研磨面より大きな被研磨面（被研磨物の表面）に供給し、研磨面を被研磨面に押し当てて、研磨パッドを動かすことにより、被研磨面を研磨する。
　なお、上記構成(3)を有する研磨方法では、被研磨面が研磨面より小さい研磨方法と比較して、被研磨面に研磨傷が生じやすい。

　上記第一の課題を解決するために、この発明の第二態様である研磨方法は、上記構成(2)(3)と下記の構成(4)を有することを特徴とする。
(4)円板状の研磨パッドであって、円板の軸方向で研磨面側の周面は円弧面である。
　上記第一の課題を解決するために、この発明の第三態様である研磨方法は、以下の構成(11)～(13)を有することを特徴とする。
(11)砥粒を含むスラリーを被研磨面（被研磨物の表面）に供給する。
(12)ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さ（以下、「Ｃ硬度」と称する。）が４０以上８０以下である研磨パッドを用いる。

　この試験方法では、スプリング硬さ試験機として、試験片の表面に試験機の加圧面を密着させたとき、加圧面の中心の孔からばね圧力で突き出ている押針が試験片によって押し戻される距離を、硬さとして目盛に示す構造のものを用いる。試験片の測定面は、少なくとも試験機の加圧面以上の大きさのものとする。
(13)研磨面を前記被研磨面に押し当てて前記研磨パッドを動かすことにより、前記被研磨面を研磨する。
　上記第二の課題を解決するために、この発明の第四態様である研磨パッドは、研磨スラリーによる研磨で使用される研磨パッドであって、表面の一部または全部に止水部が形成されていることを特徴とする。

　この発明の第一乃至第三態様の研磨方法によれば、被研磨面が塗膜等の比較的軟質な凹曲面であっても研磨傷の発生が抑制できる。
　この発明の第四態様の研磨パッドによれば、止水部が形成されていない従来品よりスラリーの利用効率が高くなる。

第１実施形態の方法で使用する研磨パッドを示す図であって、研磨面側を示す斜視図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第１実施形態および第２実施形態の研磨方法（ａ）と、従来の研磨方法（ｂ）を説明する概略図である。第２実施形態の方法で使用する研磨パッドを示す図であって、研磨面を示す平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第３実施形態の方法で使用する研磨パッドを示す図であって、研磨面側を示す斜視図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第３実施形態および第四実施形態の研磨方法（ａ）と、従来の研磨方法（ｂ）を説明する概略図である。第４実施形態の方法で使用する研磨パッドを示す図であって、研磨面を示す平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。端部の周面が軸方向で二段に形成されている研磨パッドを説明する図である。実施例１で試験に使用した研磨パッドの形状を説明する概略図である。実施例１で試験に使用した研磨パッドの形状を説明する概略図である。実施例１の試験結果から得られた、端部の周面と研磨面とでなす角度θと傷の本数（平均値）との関係を示すグラフである。第５実施形態の方法で使用する研磨パッドを示す図であって、研磨面を示す平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第５実施形態の方法を説明する概略図である。第６実施形態の方法で使用する研磨パッドを示す図であって、研磨面を示す平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第７実施形態の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第８実施形態の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第９実施形態の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第１０実施形態の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第１１実施形態の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第１２実施形態の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第５および第９実施形態に対する比較例の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第６および第１０実施形態に対する比較例の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第１１実施形態に対する比較例の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。第１２実施形態に対する比較例の研磨パッドを示す図であって、研磨面を下に向けて置いた研磨パッドの平面図（ａ）と、そのＡ－Ａ断面図（ｂ）である。この発明の各態様で使用可能な研磨装置の一例を示す概略構成図である。

　以下、この発明の実施形態について説明するが、この発明は以下に示す実施形態に限定されない。以下に示す実施形態では、この発明を実施するために技術的に好ましい限定がなされているが、この限定はこの発明の必須要件ではない。

〔第一態様、第二態様〕
［第１実施形態］
　第１実施形態の方法を図１および図２を用いて説明する。
　この実施形態の研磨方法では、図１に示す円板状の研磨パッド１を用いる。
　研磨パッド１は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドであって、厚さが０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である。研磨パッド１の硬さはＣ硬度で４０以上９０以下である。
　研磨パッド１は、円板の軸方向で、研磨面１０側の部分（端部）１１と、研磨面１０とは反対側の部分（基部）１２とに分けられる。端部１１の周面１１１は研磨面１０に向けて縮径するテーパ面である。周面１１１と研磨面１０とでなす角度θ（図２参照）が１２５°以上１８０°未満である。つまり、端部１１の角部が斜面状に面取りされている。

　角部を１２５°以上１８０°未満に面取りする方法としては切削法が挙げられる。切削法の例としては、高速回転するサンダーもしくは円形の切刃を、研磨パッドの角部に押し当てながら移動する方法、カッターの刃で切り取る方法、サンドペーパーで削り取る方法が挙げられる。また、ベニヤ板や樹脂板にレーザーで溝加工を施し、その溝と同じ形状に曲げた鋼の刃物を溝に埋め込むことで刃型を作製し、この刃型を研磨パッド表面に押し当てて切削する方法（トムソン加工）も挙げられる。
　この実施形態の研磨方法では、図２（ａ）に示すように、砥粒を含むスラリーを、研磨面１０より大きな被研磨面５０に供給し、研磨パッド１の研磨面１０を被研磨面５０に押し当てて、研磨パッド１を円板の軸を中心に回転することにより、被研磨面５０を研磨する。被研磨面５０は、合成樹脂製の塗膜からなる凹曲面である。

　この実施形態の研磨方法によれば、端部１１の周面１１１と研磨面１０とでなす角度θが１２５°以上１８０°未満のテーパ面となっている研磨パッド１を使用するため、被研磨面５０への研磨傷の発生が抑制できる。これに対して、図２（ｂ）に示すように、円板状で角部１０１が直角の研磨パッド１００を使用すると、研磨面１０２より先に角部１０１が被研磨面５０に接触するため、被研磨面５０に研磨傷が発生し易い。
　凹曲面状の被研磨面の例としては、各種部材や車両など（例えば、合成樹脂製部材、自動車の車体、鉄道車両、航空機、自転車、船舶）の塗膜面が挙げられる。
　また、Ｃ硬度が４０以上９０以下である研磨パッド１を用いているため、被研磨面５０のうねりを取り除くことができる。

［第２実施形態］
　この実施形態の研磨方法では、図３に示す支持層付き研磨パッド３を用いる。
　支持層付き研磨パッド３は、第一実施形態の研磨パッド１と、研磨パッド１より軟らかい発泡ポリウレタン製の支持層２とからなる。支持層２は、研磨パッド１の研磨面１０とは反対側の面１２１に、接着剤または両面テープで固定されている。支持層２の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。
　この実施形態の研磨方法によれば、研磨パッド１の機能により第一実施形態の研磨方法と同じ効果が得られる。これに加えて、軟質の支持層２が固定された二層構造の支持層付き研磨パッド３を使用するため、以下の効果も得られる。

　研磨装置から軟質の支持層２に付与された力が研磨パッド１に伝わって、研磨面１０が被研磨面５０に押し当てられると、軟質の支持層２は、凹曲面状の被研磨面５０に沿って容易に変形する。これに伴い、支持層２に固定された硬質の研磨パッド１も支持層２と同様に変形する。その結果、研磨面１０が凹曲面状の被研磨面に追従し易い。
　よって、第２実施形態の研磨方法は、第１実施形態の研磨方法と比較して、曲面状の被研磨面のうねりを取り除く効果が高い。

［第３実施形態］
　第３実施形態の方法を図４および図５を用いて説明する。
　この実施形態の研磨方法では、図４に示す円板状の研磨パッド６を用いる。
　研磨パッド６は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドであって、厚さが０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である。研磨パッド６の硬さはＣ硬度で４０以上９０以下である。
　研磨パッド６は、円板の軸方向で、研磨面６０側の部分（端部）６１と、研磨面６０とは反対側の部分（基部）６２とに分けられる。端部６１の周面６１１は円弧面である。つまり、端部６１の角部が丸く面取りされている。

　角部を丸く面取りする方法としては切削法が挙げられる。切削の例としては、高速回転するサンダーもしくは円形の切刃を、研磨パッドの角部に押し当てながら移動する方法、カッターの刃で切り取る方法、サンドペーパーで削り取る方法が挙げられる。また、ベニヤ板や樹脂板にレーザーで溝加工を施し、その溝と同じ形状に曲げた鋼の刃物を溝に埋め込むことで刃型を作製し、この刃型を研磨パッド表面に押し当てて切削する方法（トムソン加工）も挙げられる。
　この実施形態の研磨方法では、図５（ａ）に示すように、砥粒を含むスラリーを、研磨面６０より大きな被研磨面５０に供給し、研磨パッド６の研磨面６０を被研磨面５０に押し当てて、研磨パッド６を円板の軸を中心に回転することにより、被研磨面５０を研磨する。被研磨面５０は、合成樹脂製の塗膜からなる凹曲面である。

　この実施形態の研磨方法によれば、端部６１の周面６１１が円弧面となっている研磨パッド６を使用するため、被研磨面５０への研磨傷の発生が抑制できる。これに対して、図５（ｂ）に示すように、円板状で角部１０１が直角の研磨パッド１００を使用すると、研磨面１０２より先に角部１０１が被研磨面５０に接触するため、被研磨面５０に研磨傷が発生し易い。
　凹曲面状の被研磨面の例としては、各種部材や車両など（例えば、合成樹脂製部材、自動車の車体、鉄道車両、航空機、自転車、船舶）の塗膜面が挙げられる。
　また、Ｃ硬度が４０以上９０以下である研磨パッド６を用いているため、被研磨面５０のうねりを取り除くことができる。

［第４実施形態］
　この実施形態の研磨方法では、図６に示す支持層付き研磨パッド８を用いる。
　支持層付き研磨パッド８は、第３実施形態の研磨パッド６と、研磨パッド６より軟らかい発泡ポリウレタン製の支持層７とからなる。支持層７は、研磨パッド６の研磨面６０とは反対側の面６２１に、接着剤または両面テープで固定されている。支持層７の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。
　この実施形態の研磨方法によれば、研磨パッド６の機能により第一実施形態の研磨方法と同じ効果が得られる。これに加えて、軟質の支持層７が固定された二層構造の支持層付き研磨パッド８を使用するため、以下の効果も得られる。

　研磨装置から軟質の支持層７に付与された力が研磨パッド６に伝わって、研磨面６０が被研磨面５０に押し当てられると、軟質の支持層７は、凹曲面状の被研磨面５０に沿って容易に変形する。これに伴い、支持層７に固定された硬質の研磨パッド６も支持層７と同様に変形する。その結果、研磨面６０が凹曲面状の被研磨面に追従し易い。
　よって、第４実施形態の研磨方法は、第３実施形態の研磨方法と比較して、曲面状の被研磨面のうねりを取り除く効果が高い。

＜第一および第二態様の研磨方法で使用する研磨パッドの好ましい形態など＞
　研磨パッドの厚さは０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、研磨パッドがうねりを除去し易く、支持層が固定された研磨パッドが支持層と同様に変形しやすい。
　研磨面の直径は１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、スラリーが研磨面の外縁部から中央部まで行き渡るまでにかかる時間が短くできるとともに、曲面状の被研磨面に研磨面が追従し易い。
　被研磨面は、合成樹脂からなる面だけでなく、金属面、シリコンウェーハ面、ガラス面、サファイア面などであってもよい。

　使用する研磨パッドは、Ｃ硬度が４０以上９０以下のものであればよく、スエードタイプや不織布タイプ以外では、硬質ポリウレタンなどで製造されたものが挙げられる。使用する研磨パッドは、Ｃ硬度が５０以上８０以下のものであることが好ましい。
　支持層の材質としては、発泡ポリウレタン以外に、発泡ポリエチレン、発泡ゴム、発泡メラミン、発泡シリコーンなどが挙げられる。支持層の硬さは、Ｆ硬度（高分子計器株式会社製「アスカーゴム硬度計Ｆ型」で測定した硬度）で３０以上９０以下であることが好ましい。Ｆ硬度９０はＣ硬度１０未満である。
　アスカーゴム硬度計Ｆ型は、特に軟らかい試料の硬さ測定で適切な指示値が得られるよう、大きなインデンタと加圧面を持ったデュロメータであり、押針の形状は高さ２．５４ｍｍ直径２５．２ｍｍの円筒形である。

＜第一および第二態様の研磨方法で使用する研磨パッドの製造方法の例示＞
　スエードタイプ：例えば合成繊維と合成ゴム等からなる不織布や編織布、もしくはポリエステルフィルム等を基材にする。基材の上面に、ポリウレタン系溶液を塗布し、湿式凝固法によりポリウレタン系溶液を凝固することで、連続気孔を有する多孔層の表皮層を形成する。必要に応じてその表皮層の表面を研削、除去する。
　不織布タイプ：例えばポリエステル短繊維よりなるニードルパンチされた不織布に、ポリウレタンエラストマー溶液を含浸させる。この状態の不織布を、水に浸漬して湿式凝固した後、水洗、乾燥し、乾燥後に両表面を研削処理する。あるいは、例えばポリエステル短繊維よりなるニードルパンチされた不織布に、熱硬化性ウレタン樹脂溶液を含浸させる。この状態の不織布を乾燥することで、不織布に熱硬化性ウレタン樹脂を固着させた後、両表面をサンディング加工して、凹凸を除去する。

＜第一および第二態様の研磨方法で使用されるスラリー＞
　この発明の第一および第二態様の研磨方法で使用されるスラリーに含まれる砥粒としては、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、酸化鉄及び酸化マンガン等のケイ素または金属元素の酸化物からなる粒子や、熱可塑性樹脂からなる有機粒子、又は有機無機複合粒子などから選ばれる砥粒が挙げられる。
　例えば、アルミナ粒子を含むアルミナスラリーを用いると、高研磨速度が可能になり、容易に入手が可能であるため好ましい。
　アルミナには、α－アルミナ、β－アルミナ、γ－アルミナ、θ－アルミナなどの結晶形態が異なるものがあり、また水和アルミナと呼ばれるアルミニウム化合物も存在する。研磨速度の観点からは、α－アルミナを主成分とする粒子を砥粒として含むスラリーを使用することがより好ましい。

　砥粒の平均粒子径は０．１μｍ以上１０．０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．３μｍ以上５．０μｍ以下である。平均粒子径が大きくなるにつれて、研磨速度は向上する。平均粒子径が上記の範囲内にある場合、研磨速度を実用上特に好適なレベルにまで向上させることが容易となる。平均粒子径が小さくなるにつれて、砥粒の分散安定性は向上し、研磨面のスクラッチ（傷）発生が抑制される。
　平均粒子径が上記の範囲内にある場合、砥粒の分散安定性と、研磨面の表面精度を実用上特に好適なレベルにまで向上させることが容易となる。

　スラリー中の砥粒の含有量は、０．１質量％以上５０質量％以下であることが好ましく、より好ましくは０．２質量％以上２５質量％以下であり、さらに好ましくは０．５質量％以上２０質量％以下である。砥粒の含有量が多くなるにつれて、研磨速度は向上する。砥粒の含有量が上記の範囲内にある場合、コストを抑えつつ、研磨速度を実用上特に好適なレベルにまで向上させることが容易となる。また、研磨後の研磨対象物の表面に表面欠陥が生じることをより抑えることができる。
　スラリーは、砥粒とその分散剤の他、必要に応じて潤滑油、有機溶剤、界面活性剤、増粘材などの他の成分を適宜含んでもよい。潤滑油は、合成油、鉱物油、植物性油脂又はそれらの組み合わせであってよい。有機溶剤は、炭化水素系溶剤の他、アルコール、エーテル、グリコール類やグリセリン等であってよい。界面活性剤は、いわゆるアニオン、カチオン、ノニオン、両性界面活性剤であってよい。増粘材は、合成系増粘材、セルロース系増粘材、又は天然系増粘材であってよい。

＜端部の周面が軸方向で二段に形成されている研磨パッドについて＞
　図７（ａ）に示す研磨パッド１Ａは円板状であり、円板の軸方向で研磨面１０側の部分（端部）１１と、研磨面１０とは反対側の部分（基部）１２と、その間の部分（中間部）１３に分けられる。端部１１の周面１１１は研磨面１０に向けて縮径するテーパ面である。中間部１３の周面１３１は研磨面１０に向けて縮径するテーパ面である。周面１１１と周面１３１とでなす角度βは周面１１１と研磨面１０とでなす角度θより小さい。
　図７（ｂ）に示す研磨パッド１Ｂは円板状であり、円板の軸方向で研磨面１０側の部分（端部）１１と、研磨面１０とは反対側の部分（基部）１２と、その間の部分（中間部）１４に分けられる。端部１１の周面１１１は研磨面１０に向けて縮径するテーパ面である。中間部１４の周面１４１は円弧面である。
　図７（ｃ）に示す研磨パッド６Ａは円板状であり、円板の軸方向で研磨面６０側の部分（端部）６１と、研磨面６０とは反対側の部分（基部）６２と、その間の部分（中間部）６３に分けられる。端部６１の周面６１１は円弧面である。中間部６３の周面６３１は研磨面６０に向けて縮径するテーパ面である。端部６１と基部６２との境界線（研磨面に平行な線）と、周面６３１とでなす角度γは鈍角である。

＜第一および第二態様の研磨方法についての備考＞
　例えば、研磨パッドの研磨面に溝が形成されている場合、溝の壁面と研磨面との角部が面取りされていてもよいし、円弧面に形成されていてもよい。また、研磨パッドの中央に軸方向に延びる穴が設けられている場合、穴の壁面と研磨面との角部が面取りされていてもよいし、円弧面に形成されていてもよい。

〔第一および第二態様の研磨方法で使用可能な研磨装置について〕
　第一および第二態様の研磨方法は使用する研磨パッドに特徴を有するものであり、この研磨パッドが装着可能であって、その研磨面を研磨面より大きな被研磨面に押し当てて研磨パッドを動かすことができる研磨装置であれば、どのような研磨装置でも使用することができる。図２４に示す自動研磨装置４００は、第一および第二態様の研磨方法で使用可能な研磨装置の一例である。
　図２４に示す自動研磨装置４００は、ロボットアーム４２０と、研磨パッド１と、研磨工具４４０と、押圧力検出部４５０と、コントローラ４７０を備える。ロボットアーム４２０は、土台部４２１と、複数の腕部４２２，４２３と、先端部４２４と、複数の関節４２５，４２６，４２７を有する。複数の関節４２５，４２６，４２７により、先端部４２４が複数方向に移動可能となっている。先端部４２４に、押圧力検出部４５０および研磨工具４４０がこの順に取り付けられている。自動研磨装置４００は、研磨工具４４０の先端に研磨パッド１を取り付けて使用される。

　研磨工具４４０は、内蔵する駆動手段により、研磨パッド１の研磨面１０に垂直な方向を回転軸として研磨パッド１を回転させる。研磨工具４４０の駆動手段は特に限定されないが、一般的にシングルアクション、ダブルアクション、ギアアクション等が用いられ、塗装部材の研磨ではダブルアクションが好まれる。コントローラ４７０は、ロボットアーム４２０の挙動と、研磨工具４４０による研磨パッド１の回転を制御する。
　押圧力検出部４５０は、被研磨面５０に対する研磨パッド１の研磨面１０の押圧力を検出する。コントローラ４７０は、押圧力検出部４５０による押圧力の検出結果に基づいて、例えば、研磨面１０の被研磨面５０に対する押し付け力を調整するか、被研磨面５０に対する研磨面１０の押圧力を一定にしたまま被研磨面５０上を研磨パッド１が移動するように、ロボットアーム４２０を制御する。

　研磨を開始する際には、自動研磨装置４００を駆動すると同時に、図示されない研磨スラリー供給機構から、被研磨面５０に対して研磨スラリーを供給する。自動研磨装置４００を駆動すると、コントローラ４７０の制御により、ロボットアーム４２０が研磨パッド１の研磨面１０を被研磨面５０に押し付け、研磨パッド１が回転する。
　第一および第二態様の研磨方法で使用可能な研磨装置の他の例としては、ハンドポリッシャが挙げられる。この場合には、第一および第二態様の研磨方法で使用する研磨パッドを、ハンドポリッシャの先端に取り付け、研磨作業者が手作業でハンドポリッシャを動かして被研磨面を研磨する。ハンドポリッシャの駆動手段は特に限定されないが、一般的にシングルアクション、ダブルアクション、ギアアクション等が用いられ、塗装部材の研磨ではダブルアクションが好まれる。

〔第三態様〕
　第三態様の研磨方法では、砥粒を含むスラリーを被研磨面に供給し、研磨面を被研磨面に押し当てて研磨パッドを動かすことにより、被研磨面を研磨する研磨方法において、Ｃ硬度が４０以上８０以下である研磨パッドを用いることで、被研磨面のうねりを取り除くことができる。
　前記硬さの研磨パッドの場合、研磨面に溝がないと、研磨面が押し当てられている被研磨面の外側にスラリーを供給する場合、研磨面の中央部までスラリーが行き渡るのに時間がかかり、スラリーの供給不足の状態で研磨パッドを動かす可能性がある。また、研磨面と被研磨面との間に異物が入った場合に、この異物が排出されにくい。なお、異物としては、外部から混入するもの以外に、研磨によって生じるもの（スラリー、被研磨面、および研磨パッドに起因するもの）が挙げられる。

　前記硬さの研磨パッドの場合、上記のような理由で、研磨面に溝がないと被研磨面に研磨傷が発生し易いと推定される。
　これに対して、研磨面に溝を設けることで、研磨面が押し当てられている被研磨面の外側にスラリーを供給する場合、この溝に沿ってスラリーが研磨面の中央部まで行き渡り易くなる。また、研磨面と被研磨面との間に異物が入った場合に、この異物が溝に沿って排出され易い。よって、被研磨面が塗膜等の比較的軟質な面であっても研磨傷の発生が防止できる。
　下記の第５および第６実施形態は第三態様の実施形態に相当する。

［第５実施形態］
　この実施形態の研磨方法では、図１１に示すように、研磨面１０に格子状の溝を有する研磨パッド１を用いる。
　研磨パッド１は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドであって、厚さが０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である。研磨パッド１の硬さはＣ硬度で４０以上８０以下である。研磨パッド１は、例えば、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドを前記硬さで作製した後に、その研磨面に格子状の溝を形成することにより得られる。
　格子状の溝は、互いに直交する複数の第一溝１０３および第二溝１０４からなる。この溝の形成方法としては、例えば、溝となる部分の材料をエッチングや切削によって取り除く方法がある。切削によって取り除く方法としては、高速回転する円形の切刃を、研磨パッドの表面に押し当てながら移動する方法が挙げられる。

　この実施形態の研磨方法では、図１２に示すように、砥粒を含むスラリー１５を被研磨面５０に供給し、研磨パッド１の研磨面を被研磨面５０に押し当てて、研磨パッド１を回転することにより、被研磨面５０を研磨する。図１２のポリッシャー９は、研磨パッド１を取り付ける基部９１と、基部９１に固定された回転軸９２と、回転軸９２の回転機構などを収めた本体９３を有する。スラリー１５は、スラリー供給装置１６から被研磨面５０に向けて供給される。
　被研磨面５０は、合成樹脂製の塗膜５１０の外面であり、塗膜５１０は金属製の車体などの物体５２０の表面に形成されている。

　この実施形態の研磨方法によれば、研磨面１０が押し当てられている被研磨面５０の外側に供給されたスラリー１５が、格子状の溝に沿って研磨面１０の中央部まで行き渡り易い。また、研磨面１０と被研磨面５０との間に異物が入った場合に、この異物が格子状の溝に沿って排出され易い。そのため、溝がない点だけが研磨パッド１と異なる研磨パッドを用いた方法と比較して、合成樹脂製の塗膜５１０の外面である被研磨面５０に研磨傷が発生しにくい。
　また、Ｃ硬度が４０以上８０以下である研磨パッド１を用いているため、被研磨面５０のうねりを取り除くことができる。

［第６実施形態］
　この実施形態の研磨方法では、図１３に示す支持層付き研磨パッド３を用いる。
　支持層付き研磨パッド３は、第一実施形態の研磨パッド１と、研磨パッド１より軟らかい発泡ポリウレタン製の支持層２とからなる。支持層２は、研磨パッド１の研磨面１０とは反対側の面１７に、接着剤または両面テープで固定されている。支持層２の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。
　この実施形態の研磨方法では、図１２に示すポリッシャー９に、研磨パッド１の代わりに支持層付き研磨パッド３を取りつけて、第一実施形態の研磨方法と同様にして、被研磨面５０を研磨する。

　この実施形態の研磨方法によれば、研磨パッド１の機能により第一実施形態の研磨方法と同じ効果が得られる。これに加えて、軟質の支持層２が固定された二層構造の支持層付き研磨パッド３を使用するため、以下の効果も得られる。
　基部９１から軟質の支持層２に付与された力が研磨パッド１に伝わって、研磨面１０が被研磨面５０に押し当てられる。被研磨面５０が曲面の場合、軟質の支持層２は、その曲面に沿って容易に変形する。これに伴い、支持層２に固定された硬質の研磨パッド１も支持層２と同様に変形する。その結果、研磨面１０が曲面状の被研磨面に追従する。
　よって、第６実施形態の研磨方法は、第５実施形態の研磨方法と比較して、曲面状の被研磨面のうねりを取り除く効果が高い。曲面状の被研磨面の例としては、自動車等の車体の塗膜面が挙げられる。

＜第三態様の研磨方法で使用する研磨パッドの好ましい形態など＞
　研磨面の溝の幅は０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、被研磨面に付着した異物等を排出しやすくなる。溝のピッチは３．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、被研磨面のうねりを除去しやすい。溝の深さは、強度の観点から研磨パッドの厚みの９０％以下であることが好ましい。
　研磨面の溝の平面形状としては、格子状以外に、例えば、縞状、放射状、同心円状が挙げられる。また、これらの形状を組み合わせた形状であってもよい。

　研磨パッドの厚さは０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、研磨パッドがうねりを除去し易く、支持層が固定された研磨パッドが支持層と同様に変形しやすい。
　研磨面の直径は１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、スラリーが研磨面の外縁部から中央部まで行き渡るまでにかかる時間が短くできるとともに、曲面状の被研磨面に研磨面が追従し易い。
　この発明の態様の研磨方法は、研磨面が被研磨面より小さい用途に好適である。
　被研磨面は、合成樹脂からなる面だけでなく、金属面、シリコンウェーハ面、ガラス面、サファイア面などであってもよい。

　使用する研磨パッドは、Ｃ硬度が４０以上８０以下のものであればよく、スエードタイプや不織布タイプ以外では、硬質ポリウレタンなどで製造されたものが挙げられる。使用する研磨パッドは、Ｃ硬度が５０以上８０以下のものであることが好ましい。
　支持層の材質としては、発泡ポリウレタン以外に、発泡ポリエチレン、発泡ゴム、発泡メラミン、発泡シリコーンなどが挙げられる。支持層の硬さは、Ｆ硬度（高分子計器株式会社製「アスカーゴム硬度計Ｆ型」で測定した硬度）で３０以上９０以下であることが好ましい。Ｆ硬度９０はＣ硬度１０未満である。
　アスカーゴム硬度計Ｆ型は、特に軟らかい試料の硬さ測定で適切な指示値が得られるよう、大きなインデンタと加圧面を持ったデュロメータであり、押針の形状は高さ２．５４ｍｍ直径２５．２ｍｍの円筒形である。

＜第三態様の研磨方法で使用する研磨パッドの製造方法の例示＞
　スエードタイプ：例えば合成繊維と合成ゴム等からなる不織布や編織布、もしくはポリエステルフィルム等を基材にする。基材の上面に、ポリウレタン系溶液を塗布し、湿式凝固法によりポリウレタン系溶液を凝固することで、連続気孔を有する多孔層の表皮層を形成する。必要に応じてその表皮層の表面を研削、除去する。
　不織布タイプ：例えばポリエステル短繊維よりなるニードルパンチされた不織布に、ポリウレタンエラストマー溶液を含浸させる。この状態の不織布を、水に浸漬して湿式凝固した後、水洗、乾燥し、乾燥後に両表面を研削処理する。あるいは、例えばポリエステル短繊維よりなるニードルパンチされた不織布に、熱硬化性ウレタン樹脂溶液を含浸させる。この状態の不織布を乾燥することで、不織布に熱硬化性ウレタン樹脂を固着させた後、両表面をサンディング加工して、凹凸を除去する。

＜第三態様の研磨方法で使用されるスラリー＞
　この発明の第三態様の研磨方法で使用されるスラリーに含まれる砥粒としては、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、酸化鉄及び酸化マンガン等のケイ素または金属元素の酸化物からなる粒子や、熱可塑性樹脂からなる有機粒子、又は有機無機複合粒子などから選ばれる砥粒が挙げられる。
　例えば、アルミナ粒子を含むアルミナスラリーを用いると、高研磨速度が可能になり、容易に入手が可能であるため好ましい。
　アルミナには、α－アルミナ、β－アルミナ、γ－アルミナ、θ－アルミナなどの結晶形態が異なるものがあり、また水和アルミナと呼ばれるアルミニウム化合物も存在する。研磨速度の観点からは、α－アルミナを主成分とする粒子を砥粒として含むスラリーを使用することがより好ましい。

　砥粒の平均粒子径は０．１μｍ以上１０．０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．３μｍ以上５．０μｍ以下である。平均粒子径が大きくなるにつれて、研磨速度は向上する。平均粒子径が上記の範囲内にある場合、研磨速度を実用上特に好適なレベルにまで向上させることが容易となる。平均粒子径が小さくなるにつれて、砥粒の分散安定性は向上し、研磨面のスクラッチ発生が抑制される。
　平均粒子径が上記の範囲内にある場合、砥粒の分散安定性と、研磨面の表面精度を実用上特に好適なレベルにまで向上させることが容易となる。

〔第三態様の研磨方法で使用可能な研磨装置について〕
　第三態様の研磨方法は使用する研磨パッドに特徴を有するものであり、この研磨パッドが装着可能であって、その研磨面を被研磨面に押し当てて研磨パッドを動かすことができる研磨装置であれば、どのような研磨装置でも使用することができる。例えば、上述した図１２に示すポリッシャー９および図２４に示す自動研磨装置４００や、ハンドポリッシャが挙げられる。

〔第四態様〕
　第四態様の研磨パッドは、研磨スラリーによる研磨で使用される研磨パッドであって、表面の一部または全部に止水部が形成されていることを特徴とする。止水部とは、研磨スラリーが研磨パッドに入ることを妨げる部分である。止水部は、例えば、研磨スラリーを浸透させにくい材料（止水材料）で形成されているか、研磨スラリーを浸透させにくい構造の素材（止水素材）で形成されている。

　第四態様の研磨パッドは、研磨面の一部または全部が止水部となっている構成も含む。この場合には、止水部を、止水部の研磨面となる部分が研磨機能を発揮できるように構成する。
　研磨スラリーによる研磨の一例としては、研磨スラリーを被研磨面に供給し、研磨パッドの研磨面を被研磨面に押し当てた状態で移動する研磨方法が挙げられる。
　第四態様の研磨パッドによれば、表面の一部または全部に止水部が形成されていない研磨パッドと比較して、研磨パッドに研磨スラリーがしみ込みにくい。

　第四態様の研磨パッドには、下記の(22)～(28)の研磨パッドが含まれる。
(22)の研磨パッドは、第四態様の研磨パッドであって、研磨層と、研磨層の研磨面とは反対面に形成された支持層と、を有し、支持層が止水部である。(22)の研磨パッドによれば、支持層が止水部であるため、支持層が発泡ポリウレタンなどの連続気泡構造を有する多孔質材からなる研磨パッドと比較して、研磨中に研磨スラリーが研磨パッドの支持層にしみ込みにくい。
(23)の研磨パッドは、第四態様の研磨パッドであって、連続気泡構造の多孔質材からなる連続気泡層を有し、連続気泡層の研磨面以外の表面に止水部が形成されている。(23)の研磨パッドが単層である場合は研磨層が連続気泡層であり、(23)の研磨パッドが二層構造である場合は支持層が連続気泡層である。

(24)の研磨パッドは、(23)の研磨パッドであって、前記連続気泡層の側面に止水部が形成されている。
(25)の研磨パッドは、(23)の研磨パッドであって、研磨面と交差する方向に延びて前記連続気泡層を貫通する貫通穴を有し、貫通穴の壁面に止水部が形成されている。連続気泡層を貫通する貫通穴は、例えば、研磨パッドの研磨面とは反対側から研磨スラリーを被研磨面に供給する目的で形成されている。
(26)の研磨パッドは、(23)の研磨パッドであって、研磨層と、研磨層の研磨面とは反対面に形成された支持層と、を有し、支持層が前記連続気泡層である。

(27)の研磨パッドは、(26)の研磨パッドであって、研磨面と交差する方向に延びて研磨層を貫通する第一貫通穴と、研磨面と交差する方向に延びて、前記支持層を貫通し、第一貫通穴と連続する第二貫通穴と、を有し、第二貫通穴の壁面に止水部が形成されている。
(28)の研磨パッドは、(22)、(26)、または(27)の研磨パッドであって、研磨層は支持層より硬い材料で形成されている。
　下記の第７乃至第１２実施形態は第四態様の実施形態に相当する。

［第７実施形態］
　図１４に示すように、第７実施形態の研磨パッド１は円板状であり、非連続気泡構造の多孔質材である発泡ゴムで形成されている。研磨パッド１は、非連続気泡構造の多孔質材である発泡ゴムの板状物を、円板状に切り取ることで得られる。円板状に切り取る方法としては、円筒状の刃を有するトムソン型を用いて型抜きする方法が挙げられる。
　研磨パッド１の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。以下に示す方法で測定した研磨パッド１の吸水率は５％以下である。つまり、研磨パッド１は止水素材からなり、表面の全部に止水部が形成されている。

＜吸水率の測定方法＞
　先ず、５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚さ１０ｍｍの板片状のサンプルを用意して、このサンプルの質量を測定する。次に、このサンプルが入る容器を用意し、この容器に純水を入れた後、全体が純水に浸漬するようにサンプルを沈めて、２４時間静置する。次に、容器内からサンプルを取り出して、表面に付着した純水を乾いた布で軽く拭き取った後に、サンプルの質量を測定する。
　純水に浸漬させる前のサンプルの質量（Ｗ１：ｇ）と、浸漬させて乾いた布による処理を行った後のサンプルの質量（Ｗ２：ｇ）を、下記の(1) 式に代入して、吸水率（Ｃ）を算出する。
　吸水率（％）＝（（Ｗ２－Ｗ１）／２５）×１００…(1)式

　(1)式中の「２５」はサンプルの体積（ｃｍ^３）であり、(1)式により、サンプルの１ｃｍ^３当たりの吸水量（ｇ／ｃｍ^３）が「吸水率」として算出される。
　この実施形態の研磨パッド１は、研磨スラリーによる研磨方法で使用される。例えば、研磨パッド１を用いて、研磨面１０より大きな被研磨面を研磨する。具体的には、研磨スラリーを被研磨面に供給し、研磨パッド１の研磨面１０を被研磨面に押し当てて、研磨パッド１を円板の軸を中心に回転する。
　この研磨方法を、発泡ポリウレタン製の研磨パッドを用いて行った場合、スラリーが研磨パッドにしみ込み、このしみ込んだスラリーが外部に飛散する。飛散したスラリーは研磨に使用されない。これに対して、この実施形態の研磨パッド１を用いた場合には、止水素材からなる研磨パッド１にスラリーがしみ込みにくいため、スラリーが外部に飛散する量が減少する。よって、スラリーの利用効率が高くなる。

［第８実施形態］
　図１５に示すように、第８実施形態の研磨パッド１Ａは、研磨面１０を有する円板状の研磨層２０と、円板状の支持層３０とからなる。支持層３０は、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に接着剤または両面テープで固定されている。
　研磨層２０は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドである。支持層３０は非連続気泡構造の発泡ゴムで形成されている。前述の方法で測定された支持層３０の吸水率は５％以下である。つまり、支持層３０は止水素材からなり、研磨パッド１Ａの表面の一部に止水部が形成されている。
　研磨層２０の厚さは０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である。支持層３０の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。

　研磨パッド１Ａは、例えば、以下の方法で得ることができる。
　スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドを円板状に切り取ることで、研磨層２０を得る。非連続気泡構造の多孔質材である発泡ゴムの板状物を円板状に切り取ることで、支持層３０を得る。円板状に切り取る方法としては、円筒状の刃を有するトムソン型を用いて型抜きする方法が挙げられる。研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に、支持層３０を接着剤または両面テープで貼り付ける。

　この実施形態の研磨パッド１Ａは研磨スラリーによる研磨方法で使用される。例えば、研磨パッド１Ａを用いて、研磨面１０より大きな被研磨面を研磨する。具体的には、研磨スラリーを被研磨面に供給し、研磨パッド１Ａの研磨面１０を被研磨面に押し当てて、研磨パッド１を円板の軸を中心に回転する。
　この研磨方法を、研磨パッド１Ａの支持層３０を発泡ポリウレタン製の支持層に代えた研磨パッドを用いて行った場合、スラリーが研磨パッドの支持層にしみ込み、このしみ込んだスラリーが外部に飛散する。飛散したスラリーは研磨に使用されない。これに対して、この実施形態の研磨パッド１Ａを用いた場合には、止水素材からなる支持層３０にスラリーがしみ込みにくいため、スラリーが外部に飛散する量が減少する。よって、スラリーの利用効率が高くなる。

［第９実施形態］
　図１６に示すように、第９実施形態の研磨パッド１Ｂは、円板状の本体部４と、その外周面に形成された止水部５とからなる。本体部４は、発泡ポリウレタン（連続気泡構造の多孔質材）製である。止水部５は、発泡ゴム（非連続気泡構造の多孔質材）製である。前述の方法で測定された止水部５の吸水率は５％以下である。つまり、本体部４が連続気泡層であり、連続気泡層の研磨面１０以外の表面の一部に止水部５が形成されている。
　研磨パッド１Ｂの厚さ、つまり、本体部４の厚さおよび止水部５の軸方向寸法は、２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。

　研磨パッド１Ｂは、例えば、以下の方法で得ることができる。
　本体部４は、円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ポリウレタンの板状物から円板状に型抜きする方法で得る。止水部５は、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ゴムの板状物から円環状に型抜きする方法で得る。外周面に接着剤を付けた本体部４を止水部５の内周面に嵌めて、接着剤を硬化させる。
　この実施形態の研磨パッド１Ｂは研磨スラリーによる研磨方法で使用される。例えば、研磨パッド１Ｂを用いて、研磨面１０より大きな被研磨面を研磨する。具体的には、研磨スラリーを被研磨面に供給し、研磨パッド１Ｂの研磨面１０を被研磨面に押し当てて、研磨パッド１Ｂを円板の軸を中心に回転する。

　この研磨方法を、止水部５のない発泡ポリウレタン製の研磨パッドを用いて行った場合、研磨パッドの外側に存在するスラリーが研磨パッドの外周部から研磨パッドにしみ込み、このしみ込んだスラリーが外部に飛散する。飛散したスラリーは研磨に使用されない。これに対して、この実施形態の研磨パッド１Ｂを用いた場合には、外周面に止水部５が形成されていることで、発泡ポリウレタン製の本体部４に外周部からスラリーがしみ込みにくいため、スラリーが外部に飛散する量が減少する。よって、スラリーの利用効率が高くなる。

［第１０実施形態］
　図１７に示すように、第１０実施形態の研磨パッド１Ｃは、円板状の研磨層２０と、円板状の支持層７と、支持層７の外周面に形成された止水部５と、からなる。
　研磨層２０は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドである。支持層７は、発泡ポリウレタン（連続気泡構造の多孔質材）製である。止水部５は、発泡ゴム（非連続気泡構造の多孔質材）製である。前述の方法で測定された止水部５の吸水率は５％以下である。つまり、支持層７が連続気泡層であり、連続気泡層の研磨面１０以外の表面の一部に止水部５が形成されている。
　研磨層２０の厚さは０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である。支持層７の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。止水部５の軸方向寸法は支持層７の厚さと同じである。

　研磨パッド１Ｃは、例えば、以下の方法で得ることができる。
　研磨層２０は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドを円板状に切り取ることで得る。支持層７は、円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ポリウレタンの板状物から円板状に型抜きする方法で得る。止水部５は、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ゴムの板状物から円環状に型抜きする方法で得る。
　得られた研磨層２０と支持層７と止水部５を用い、先ず、外周面に接着剤を付けた支持層７を止水部５の内周面に嵌めて一体化する。次に、この一体化されたものを、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に接着剤または両面テープで貼り付ける。

　この実施形態の研磨パッド１Ｃは研磨スラリーによる研磨方法で使用される。例えば、研磨パッド１Ｃを用いて、研磨面１０より大きな被研磨面を研磨する。具体的には、研磨スラリーを被研磨面に供給し、研磨パッド１Ｃの研磨面１０を被研磨面に押し当てて、研磨パッド１Ｃを円板の軸を中心に回転する。
　この研磨方法を、発泡ポリウレタン製の支持層７のみが研磨層２０の研磨面とは反対面２１に形成されている研磨パッドを用いて行った場合、スラリーが研磨パッドの支持層にしみ込み、このしみ込んだスラリーが外部に飛散する。飛散したスラリーは研磨に使用されない。これに対して、この実施形態の研磨パッド１Ｃを用いた場合には、発泡ポリウレタン製の支持層７の外周面に止水部５が形成されていることで、支持層７に外周部からスラリーがしみ込みにくいため、スラリーが外部に飛散する量が減少する。よって、スラリーの利用効率が高くなる。

［第１１実施形態］
　図１８に示すように、第１１実施形態の研磨パッド１Ｄは、円板状で中心穴４１を有する本体部４と、中心穴４１の壁面に形成された円環状の止水部５１とからなる。本体部４は、発泡ポリウレタン（連続気泡構造の多孔質材）製である。中心穴４１は、研磨面１０に対して垂直に延びる貫通穴である。止水部５１は、発泡ゴム（非連続気泡構造の多孔質材）製である。前述の方法で測定された止水部５の吸水率は５％以下である。
　止水部５１の中心穴５１ａは、研磨面１０に対して垂直に延びる貫通穴である。止水部５１の中心穴５１ａが研磨パッド１Ｄの中心穴として存在する。つまり、本体部４が連続気泡層であり、連続気泡層の研磨面１０以外の表面の一部に止水部５１が形成されている。また、中心穴４１が、連続気泡層を貫通する貫通穴である。
　研磨パッド１Ｄの厚さ、つまり、本体部４の厚さおよび止水部５１の軸方向寸法は、２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。

　研磨パッド１Ｄは、例えば、以下の方法で得ることができる。
　本体部４は、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ポリウレタンの板状物から、中心穴４１を有する円板状に型抜きする方法で得る。止水部５１は、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ゴムの板状物から円環状に型抜きする方法で得る。外周面に接着剤を付けた止水部５１を本体部４の中心穴４１に嵌めて、接着剤を硬化させる。
　この実施形態の研磨パッド１Ｄは研磨スラリーによる研磨方法で使用される。例えば、研磨パッド１Ｄを用いて、研磨面１０より大きな被研磨面を研磨する。具体的には、被研磨面の上側に研磨パッド１Ｄを配置し、中心穴５１ａから研磨スラリーを被研磨面に滴下しながら、研磨パッド１Ｄの研磨面１０を被研磨面に押し当てて、研磨パッド１Ｄを円板の軸を中心に回転する。

　この研磨方法を、止水部５１がなく、中心穴を有する発泡ポリウレタン製の研磨パッドを用いて行った場合、スラリーが研磨パッドにしみ込み、このしみ込んだスラリーが強い遠心力により外部に飛散するため、多くのスラリーが研磨に使用されない。これに対して、この実施形態の研磨パッド１Ｄを用いた場合には、中心穴４１の壁面に止水部５１が形成されていることで、発泡ウレタン製の本体部４にスラリーがしみ込みにくいため、スラリーが外部に飛散する量が減少する。よって、スラリーの利用効率が高くなる。

［第１２実施形態］
　図１９に示すように、第１２実施形態の研磨パッド１Ｅは、円板状で中心穴（第一貫通穴）２２を有する研磨層２０と、円板状で中心穴（第二貫通穴）７１を有する支持層７と、中心穴７１の壁面に形成された円環状の止水部５１と、からなる。研磨層２０の中心穴２２の中心と支持層７の中心穴７１の中心は同じである。止水部５１の中心穴５１ａおよび研磨層２０の中心穴２２は同じであり、これらの穴が研磨パッド１Ｅの中心穴として存在する。

　研磨層２０は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドである。支持層７は、発泡ポリウレタン（連続気泡構造の多孔質材）製である。止水部５１は、発泡ゴム（非連続気泡構造の多孔質材）製である。前述の方法で測定された止水部５の吸水率は５％以下である。つまり、支持層７が連続気泡層であり、連続気泡層の研磨面１０以外の表面の一部に止水部５１が形成されている。
　研磨層２０の厚さは０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である。支持層７の厚さは２．０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。止水部５１の軸方向寸法は支持層７の厚さと同じである。

　研磨パッド１Ｅは、例えば、以下の方法で得ることができる。
　研磨層２０は、スエードタイプまたは不織布タイプの研磨パッドを、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、中心穴２２を有する円板状に型抜きする方法で得る。支持層７は、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ポリウレタンの板状物から、中心穴７１を有する円板状に型抜きする方法で得る。止水部５１は、直径が異なる二つの円筒状の刃を有するトムソン型を用いて、発泡ゴムの板状物から円環状に型抜きする方法で得る。

　得られた研磨層２０と支持層７と止水部５１を用い、先ず、外周面に接着剤を付けた止水部５１を、支持層７の中心穴７１に嵌めて一体化する。次に、この一体化されたものを、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に接着剤または両面テープで貼り付ける。
　この実施形態の研磨パッド１Ｅは研磨スラリーによる研磨方法で使用される。例えば、研磨パッド１Ｅを用いて、研磨面１０より大きな被研磨面を研磨する。具体的には、被研磨面の上側に研磨パッド１Ｅを配置し、止水部５１の中心穴５１ａから研磨層２０の中心穴２２を介して研磨スラリーを被研磨面に滴下しながら、研磨パッド１Ｅの研磨面１０を被研磨面に押し当てて、研磨パッド１Ｅを円板の軸を中心に回転する。

　この研磨方法を、止水部５１がなく、研磨層２０の中心穴２２と同じ位置に中心穴を有する発泡ポリウレタン製の支持層が、研磨層２０の研磨面とは反対面２１に形成されている研磨パッドを用いて行った場合、スラリーが研磨パッドの支持層にしみ込む。しみ込んだスラリーが強い遠心力により外部に飛散するため、多くのスラリーが研磨に使用されない。これに対して、この実施形態の研磨パッド１Ｅを用いた場合には、中心穴７１の壁面に止水部５１が形成されていることで、発泡ウレタン製の支持層７にスラリーがしみ込みにくいため、スラリーが外部に飛散する量が減少する。よって、スラリーの利用効率が高くなる。

＜止水部について＞
　止水部は、前述の方法で測定された吸水率が５％以下であることが好ましい。また、研磨パッドが単層で、連続気泡構造の多孔質材からなる連続気泡層である場合、止水部は連続気泡層と同じか類似の硬さであることが好ましい。よって、この場合、止水部は非連続気泡構造の多孔質材からなることが好ましい。
　また、研磨パッドが研磨層と支持層とからなる二層構造で、支持層が連続気泡構造の多孔質材からなる連続気泡層である場合、止水部は支持層と同じか類似の硬さであることが好ましい。よって、この場合、止水部は非連続気泡構造の多孔質材からなることが好ましい。また、この場合、研磨層の一部が連続気泡層であっても、研磨層の連続気泡層の厚さは支持層の厚さと比較して極薄いため、研磨層に止水部を設ける必要はない。
　単層の場合の研磨パッドおよび二層構造の場合の支持層を構成する連続気泡構造の多孔質材としては、発泡ポリウレタンまたは発泡ポリエチレンを用いることが好ましい。

　止水部を構成する非連続気泡構造の多孔質材としては、発泡ゴム（クロロプレンゴムフォーム、エチレン・プロピレンゴムフォーム、シリコーンゴムフォーム、フッ素ゴムフォーム、ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム等）が挙げられる。これらのうち、クロロプレンゴムフォームおよびエチレン・プロピレンゴムフォームは、非連続気泡構造が得られやすいため好ましい。
　止水部の形成方法としては、上述の実施形態に記載された方法以外に以下の方法が挙げられる。止水材料を含む液体を塗布して乾燥させる方法、連続気泡層に接着剤などを含浸させて硬化することで連続気泡層の穴を塞ぐ方法、止水材料からなるテープを貼り付ける方法などである。

＜支持層について＞
　研磨パッドが研磨層と支持層とからなる二層構造の場合、つまり、研磨層の研磨面とは反対面に支持層が形成されている場合、研磨層は支持層より硬い材料からなることが好ましい。つまり、支持層は研磨層より軟質であることが好ましく、これにより、被研磨面が曲面の場合に、研磨層の研磨面が被研磨面に追従し易くなる。
　研磨パッドが、研磨層と支持層を有する場合、研磨層の硬さはＣ硬度で４０以上８０以下であり、支持層の硬さは、Ｆ硬度で３０以上９０以下であることが好ましい。Ｆ硬度９０はＣ硬度１０未満である。

　Ｃ硬度とは、ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さである。この試験方法では、スプリング硬さ試験機として、試験片の表面に試験機の加圧面を密着させたとき、加圧面の中心の孔からばね圧力で突き出ている押針が試験片によって押し戻される距離を、硬さとして目盛に示す構造のものを用いる。試験片の測定面は、少なくとも試験機の加圧面以上の大きさのものとする。
　Ｆ硬度とは、高分子計器株式会社製「アスカーゴム硬度計Ｆ型」で測定された硬度である。アスカーゴム硬度計Ｆ型は、特に軟らかい試料の硬さ測定で適切な指示値が得られるよう、大きなインデンタと加圧面を持ったデュロメータであり、押針の形状は高さ２．５４ｍｍ直径２５．２ｍｍの円筒形である。

＜第四態様の研磨パッドの好ましい形態など＞
　研磨パッドが研磨層と支持層とからなる二層構造の場合、つまり、研磨層の研磨面とは反対面に支持層が形成されている場合、研磨層の厚さは０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、研磨層がうねりを除去し易く、研磨層が支持層と同様に変形しやすい。
　研磨面の直径は１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。このような範囲であれば、スラリーが研磨面の外縁部から中央部まで行き渡るまでにかかる時間が短くできるとともに、曲面状の被研磨面に研磨面が追従し易い。
　被研磨面は、合成樹脂からなる面だけでなく、金属面、シリコンウェーハ面、ガラス面、サファイア面などであってもよい。

＜第四態様の研磨パッドの研磨層の製造方法の例示＞
　スエードタイプ：例えば合成繊維と合成ゴム等からなる不織布や編織布、もしくはポリエステルフィルム等を基材にする。基材の上面に、ポリウレタン系溶液を塗布し、湿式凝固法によりポリウレタン系溶液を凝固することで、連続気孔を有する多孔層の表皮層を形成する。必要に応じてその表皮層の表面を研削、除去する。
　不織布タイプ：例えばポリエステル短繊維よりなるニードルパンチされた不織布に、ポリウレタンエラストマー溶液を含浸させる。この状態の不織布を、水に浸漬して湿式凝固した後、水洗、乾燥し、乾燥後に両表面を研削処理する。あるいは、例えばポリエステル短繊維よりなるニードルパンチされた不織布に、熱硬化性ウレタン樹脂溶液を含浸させる。この状態の不織布を乾燥することで、不織布に熱硬化性ウレタン樹脂を固着させた後、両表面をサンディング加工して、凹凸を除去する。

＜第四態様の研磨パッドを用いた研磨方法＞
　この発明の研磨パッドは、研磨スラリーによる研磨方法であって、研磨面より大きな被研磨面を研磨する方法で使用されることが好ましい。また、研磨パッドの研磨面を被研磨面に押し当てて、研磨パッドを移動する研磨方法で使用されることが好ましい。なお、研磨スラリーによる研磨方法であれば、これら以外の方法で使用されてもよい。
　この発明の研磨パッドが研磨面と交差する方向に延びる貫通穴を有する場合、被研磨面の上側に研磨パッドを配置し、この貫通穴から研磨スラリーを被研磨面に滴下しながら、研磨パッドの研磨面を被研磨面に押し当てて、研磨パッドを回転する研磨方法を採用することができる。この研磨方法では、貫通穴から連続気泡層にしみ込んだ研磨スラリーが、研磨パッド回転時の強い遠心力で研磨パッドの外部に飛散し易い。そのため、この発明の止水部を有する研磨パッドを用いることで、スラリーの利用効率を効果的に上げることができる。
　また、研磨スラリーの被研磨面への供給方法としては、上述の貫通穴を介して滴下する方法、研磨パッドの外側に滴下する方法、スラリーを噴霧する方法などが挙げられる。

＜第四態様の研磨パッドを用いた研磨方法で使用する研磨スラリー＞
　研磨スラリーによる研磨方法では、砥粒を含むスラリーを使用する。スラリーに含まれる砥粒としては、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、酸化鉄及び酸化マンガン等のケイ素または金属元素の酸化物からなる粒子や、熱可塑性樹脂からなる有機粒子、又は有機無機複合粒子などから選ばれる砥粒が挙げられる。
　例えば、アルミナ粒子を含むアルミナスラリーを用いると、高研磨速度が可能になり、容易に入手が可能であるため好ましい。
　アルミナには、α－アルミナ、β－アルミナ、γ－アルミナ、θ－アルミナなどの結晶形態が異なるものがあり、また水和アルミナと呼ばれるアルミニウム化合物も存在する。研磨速度の観点からは、α－アルミナを主成分とする粒子を砥粒として含むスラリーを使用することがより好ましい。

〔第四態様の研磨パットを用いた研磨方法で使用可能な研磨装置について〕
　第四態様の研磨パッドは、スラリーによる研磨で使用される研磨パッドであるため、この研磨パッドが装着可能であって、その研磨面を被研磨面に押し当てて研磨パッドを動かすことができる研磨装置であれば、どのような研磨装置でも使用することができる。例えば、上述した図１２に示すポリッシャー９および図２４に示す自動研磨装置４００や、ハンドポリッシャが挙げられる。

　実施例１では、第一態様および第二態様の研磨方法の実施例および比較例について説明する。
　以下に示すサンプルNo.1～No.7の各研磨パッドを用意した。
　サンプルNo.1の研磨パッドは、図６に示す支持層付き研磨パッド８であって、研磨パッド６は、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が５０である。研磨パッド６は端部６１と基部６２とに分けられる。端部６１の周面６１１は円弧面になっている。研磨パッド６の研磨面とは反対側の面６２１に支持層７が接着されている。支持層７は、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板体で、発泡ウレタン製でＦ硬度が７０である。

　図８に示すように、端部６１の軸方向寸法Ｔ６１は０．３ｍｍであり、基部６２の軸方向寸法Ｔ６２は１．０ｍｍである。周面６１１をなす円弧は、端部６１の軸方向寸法Ｔ６１を半径とした円の四分の一円弧である。つまり、周面６１１をなす円弧の中心Ｃは、基部６２の周面からの距離ＨがＴ６１と同じになる点である。また、研磨パッド６の直径に沿った断面において、端部６１と基部６２の境界点と、研磨面６０と周面６１１との境界点と、を結ぶ直線をＬとしたとき、直線Ｌと研磨面６０とでなす角度αは１３５°である。

　サンプルNo.2～No.6の研磨パッドは、図３に示す支持層付き研磨パッド３であって、研磨パッド１は、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が５０である。研磨パッド１は端部１１と基部１２とに分けられる。端部１１の周面１１１は、研磨面１０に向けて縮径するテーパ面であり、周面１１１と研磨面１０とでなす角度θが鈍角である。研磨パッド１の研磨面とは反対側の面１２１に支持層２が接着されている。支持層２は、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板体で、発泡ウレタン製でＦ硬度が７０である。

　図９に示すように、端部１１の軸方向寸法Ｔ１１は０．３ｍｍであり、基部１２の軸方向寸法Ｔ１２は１．３ｍｍである。また、No.2ではθ＝１５０°であり、No.3ではθ＝１３５°（図９のθは１３５°であるため、θ３と括弧書きで表示）であり、No.4ではθ＝１２５°であり、No.5ではθ＝１２０°であり、No.6ではθ＝１０５°（図９のθ６）である。角度θの違いにより、研磨面１０の外径が変化する。
　サンプルNo.7の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が５０である。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に支持層が接着されている。支持層は、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板体で、発泡ウレタン製でＦ硬度が７０である。この研磨パッドでは、研磨面側の周面と研磨面とでなす角部が９０°である。

　各サンプルの研磨パッドを用い、以下の方法で研磨試験を行った。
　研磨対象物は、合成樹脂塗料で塗装された３００×２５０ｍｍの金属板であり、塗膜の厚さは２０μｍである。つまり、被研磨面は合成樹脂からなる塗膜面であり、被研磨面は研磨面より大きい。
　使用した研磨装置は、ファナック（株）製の産業用ロボット「Ｍ－２０ｉ」のアームの先端に、ダブルアクションポリッシャを取り付けた装置である。曲率半径が５０ｍｍの凹曲面の研磨を想定し、被研磨面である塗膜面と研磨面との角度が３０°となるように研磨パッドを配置した。また、アームに付与された押し付け力で各サンプルの研磨パッドを被研磨面に押し付けながら、平均粒径が０．４μｍである砥粒を含むスラリーを、被研磨面の研磨パッドの外側に供給しながら、ポリッシャを回転することで研磨を行った。研磨条件は、全てのサンプルについて同じにした。

　この研磨を、各サンプルで２セット行なった後に、研磨後の被研磨面を目視で観察し、面積１００ｍｍ²に含まれる傷の本数を算出した。面積１００ｍｍ²に含まれる傷の本数は少ないほど好ましく、１０本以上であると問題があると判断される。
　各サンプルの研磨パッドの構成と、評価の結果を表１に示す。評価の結果は、２セットの平均値を示している。また、No.2～No.7の結果を、図１０に、端部の周面と研磨面とでなす角度θと傷の本数（平均値）との関係を示すグラフで示す。

　この結果から以下のことが言える。
　この発明の実施例に相当するNo.1～No.4の研磨パッドを用いた研磨方法は、比較例に相当するNo.5～No.7の研磨パッドを用いた研磨方法と比較して、塗膜からなる凹曲面を研磨した場合の研磨傷の発生が効果的に抑制される。
　また、端部の周面が研磨面に向けて縮径するテーパ面であり、周面と研磨面とでなす角度θが鈍角であるNo.2～No.6の研磨パッドのうち、θが１２５°以上のものを用いた研磨方法を採用することで、θが１２０°以下のものを用いた研磨方法よりも、塗膜からなる凹曲面を研磨した場合の研磨傷の発生を抑制できる効果が著しく大きい。

　実施例２では、第三態様の研磨方法の実施例および比較例について説明する。
　以下に示すサンプルNo.11～No.19の各研磨パッドを用意した。
　サンプルNo.11の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状であり、発泡ウレタン製でＦ硬度が７０である。研磨面に溝は形成されていない。
　サンプルNo.12の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が３０である。研磨面に溝は形成されていない。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に支持層が接着されている。支持層は、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板体で、発泡ウレタン製でＦ硬度が７０である。

　サンプルNo.13の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が３０である。研磨面に格子状の溝が形成されている。溝の形成方法は、溝無しのスエードタイプの研磨パッドから、溝となる部分の材料を切削によって取り除く方法である（以下、「切削法」と称する。）。溝幅は１ｍｍであり、溝ピッチは６ｍｍであり、溝深さは約４００μｍである。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、サンプルNo.2と同じ支持層が接着されている。
　サンプルNo.14の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が５０である。研磨面に溝は形成されていない。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に支持層が接着されている。支持層は、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板体で、発泡ウレタン製でＦ硬度が７０である。

　サンプルNo.15の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、スエードタイプでＣ硬度が５０である。研磨面に格子状の溝が切削法で形成されている。溝幅は１ｍｍであり、溝ピッチは６ｍｍであり、溝深さは約４００μｍである。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、サンプルNo.2と同じ支持層が接着されている。
　サンプルNo.16の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、不織布タイプでＣ硬度が８０である。研磨面に溝は形成されていない。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、サンプルNo.2と同じ支持層が接着されている。

　サンプルNo.17の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、不織布タイプでＣ硬度が８０である。研磨面に格子状の溝が切削法で形成されている。溝幅は１ｍｍであり、溝ピッチは６ｍｍであり、溝深さは約４００μｍである。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、サンプルNo.2と同じ支持層が接着されている。
　サンプルNo.18の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、不織布タイプでＣ硬度が９０である。研磨面に溝は形成されていない。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、サンプルNo.2と同じ支持層が接着されている。

　サンプルNo.19の研磨パッドは、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状であり、不織布タイプでＣ硬度が９０である。研磨面に格子状の溝が切削法で形成されている。溝幅は１ｍｍであり、溝ピッチは６ｍｍであり、溝深さは約４００μｍである。研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、サンプルNo.2と同じ支持層が接着されている。
　各サンプルの研磨パッドを用い、以下の方法で研磨試験を行った。
　研磨対象物は、合成樹脂塗料で塗装された３００×２５０ｍｍの金属板であり、塗膜の厚さは２０μｍである。つまり、被研磨面は合成樹脂からなる塗膜面であり、研磨面は被研磨面より小さい。

　使用した研磨装置は、ファナック（株）製の産業用ロボット「Ｍ－２０ｉ」のアームの先端に、ダブルアクションポリッシャを取り付けた装置である。アームに付与された押し付け力で各サンプルの研磨パッドを被研磨面に押し付けながら、スラリーを被研磨面の研磨パッドの外側に供給しながら、ポリッシャを回転することで研磨を行った。研磨条件は、全てのサンプルについて同じにした。
　使用したスラリーは、平均粒径が０．４μｍであるアルミナ砥粒を含む。使用したスラリーの粘度は２５℃で０．１１Ｐａ・ｓ（１．１ｃＰ）である。砥粒の平均粒径は、（株）堀場製作所製の粒子径分布測定装置「Ｈｏｒｉｂａ　Ｌ－９５０」を用いて測定した。

　この研磨を、各サンプルで２セット行なった後に、被研磨面のうねり除去性と耐スクラッチ性について評価した。
　うねり除去性の評価には、（株）東京精密製の接触式表面粗さ測定器「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ」を使用した。被研磨面である塗膜面の「ろ波中心うねり」を測定して、算術平均うねり（Ｗａ）を得た。研磨前の算出平均うねり（Ｗａ）の値は約０．１μｍであった。研磨後の被研磨面のＷａが０．０３μｍ以下であると、うねりが特に小さい良好な面であると判断される。０．０３μｍを超え０．０６μｍ未満であると、うねりが小さく問題ない範囲であると判断される。０．０６μｍ以上であると、うねりが大きくて問題があると判断される。

　耐スクラッチ性（被研磨面に傷が生じにくいこと）は、研磨後の被研磨面を目視で観察し、面積１００ｍｍ²に含まれる傷の本数で評価した。面積１００ｍｍ²に含まれる傷の本数は少ないほど好ましく、１０本以上であると問題があると判断される。
　各サンプルの研磨パッドの構成と、評価の結果を表２に示す。評価の結果は、２セットの平均値を示している。

　この結果から以下のことが分かる。
　Ｃ硬度が５０以上９０以下であるNo.14～No.19の研磨パッドを用いることで、被研磨面のうねりを効果的に取り除くことができる。
　硬度が同じ研磨パッドを用いた方法（No.12とNo.13、No.14とNo.15、No.16とNo.17、No.18とNo.19）を比較すると、研磨面に溝を有する研磨パッドを用いることで、溝を有さない研磨パッドを用いた場合よりも、耐スクラッチ性が改善される。
　研磨面に同じ溝を有し硬度が異なる研磨パッドを用いた方法（No.13、No.15、No.17、およびNo.19）を比較すると、使用する研磨パッドが軟らかいほど耐スクラッチ性に優れている。

　研磨面に溝を有さず硬度が異なる研磨パッドを用いた方法（No.12、No.14、No.16、およびNo.18）を比較すると、使用する研磨パッドが軟らかいほど耐スクラッチ性に優れている。
　Ｃ硬度が５０以上８０以下であり、研磨面に溝を有するNo.15とNo.17の研磨パッドを用いることで、被研磨面が合成樹脂からなる塗膜面の場合に、被研磨面のうねりが効果的に除去され、研磨傷の発生も低減できる。
　なお、No.12～No.19の各研磨パッドで支持層が接着されていないものを使用して同じ試験を行ったところ、Ｗａと傷の評価は表２のNo.12～No.19と同じ結果が得られた。また、支持層が接着されている研磨パッドは、支持層が接着されていない研磨パッドよりも、曲面への追従性が高かった。

　実施例３では、第四態様の研磨パッドの実施例および比較例について説明する。
　以下に示すサンプルNo.21～No.30の各研磨パッドを用意した。
［サンプルNo.21］
　サンプルNo.21の研磨パッドは、図１４に示す第７実施形態の研磨パッド１に対応し、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状である。前述の方法で測定した吸水率が５％以下のクロロプレンゴムフォーム製板状物から、トムソン型を用いて型抜きされたものである。つまり、研磨パッドの全体が止水素材で形成されている。

［サンプルNo.22］
　サンプルNo.22の研磨パッドは、図１５に示す第８実施形態の研磨パッド１Ａに対応し、研磨層２０と支持層３０とからなる。
　研磨層２０は、不織布タイプの研磨パッドであり、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状である。支持層３０は、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に固定されている。支持層３０は、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状である。
　支持層３０は、前述の方法で測定した吸水率が５％以下のクロロプレンゴムフォーム製板状物から、トムソン型を用いて型抜きされたものである。つまり、支持層３０の全体が止水素材で形成されている。

［サンプルNo.23］
　サンプルNo.23の研磨パッドは、図１６に示す第９実施形態の研磨パッド１Ｂに対応し、本体部４と、本体部４の外周面に固定された止水部５とからなる。つまり、研磨パッドの外周部に止水部５が形成されている。
　本体部４は、発泡ポリウレタン製で直径が８０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状である。止水部５は、内径が８０ｍｍで、外径が９０ｍｍで、軸方向寸法が１０ｍｍの円環状である。止水部５は、前述の方法で測定した吸水率が５％以下のクロロプレンゴムフォーム製板状物から、トムソン型を用いて型抜きされたものである。

［サンプルNo.24］
　サンプルNo.24の研磨パッドは、図１７に示す第１０実施形態の研磨パッド１Ｃに対応し、研磨層２０と支持層７と止水部５からなる。
　研磨層２０は、不織布タイプの研磨パッドであり、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状である。支持層７は、発泡ポリウレタン製で直径が８０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状である。止水部５は、内径が８０ｍｍで、外径が９０ｍｍで、軸方向寸法が１０ｍｍの円環状である。止水部５は、前述の方法で測定した吸水率が５％以下のクロロプレンゴムフォーム製板状物から、トムソン型を用いて型抜きされたものである。
　止水部５の内周面に支持層７が固定されている。つまり、支持層７の外周部に止水部５が形成されている。支持層７と止水部５は、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に固定されている。

［サンプルNo.25］
　サンプルNo.25の研磨パッドは、図１８に示す第１１実施形態の研磨パッド１Ｄに対応し、中心穴４１を有する本体部４と、中心穴４１の壁面に形成された止水部５１とからなる。
　本体部４は、発泡ポリウレタン製で、直径が９０ｍｍで、中心穴が２０ｍｍで、厚さが１０ｍｍである。止水部５１は、内径（中心穴５１ａの直径）が１０ｍｍで、外径が２０ｍｍで、軸方向寸法が１０ｍｍの円環状である。止水部５１は、前述の方法で測定した吸水率が５％以下のクロロプレンゴムフォーム製板状物から、トムソン型を用いて型抜きされたものである。

［サンプルNo.26］
　サンプルNo.26の研磨パッドは、図１９に示す第１２実施形態の研磨パッド１Ｅに対応し、中心穴２２を有する研磨層２０と、中心穴７１を有する支持層７と、中心穴７１の壁面に形成された止水部５１とからなる。
　研磨層２０は、不織布タイプの研磨パッドであり、外径が９０ｍｍで、中心穴２２が１０ｍｍで、厚さが１．３ｍｍである。支持層７は、発泡ポリウレタン製で、直径が９０ｍｍで、中心穴が２０ｍｍで、厚さが１０ｍｍである。止水部５１は、内径（中心穴５１ａの直径）が１０ｍｍで、外径が２０ｍｍで、軸方向寸法が１０ｍｍの円環状である。止水部５１は、前述の方法で測定した吸水率が５％以下のクロロプレンゴムフォーム製板状物から、トムソン型を用いて型抜きされたものである。
　支持層７の内周面に止水部５が固定されている。支持層７と止水部５は、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に固定されている。

［サンプルNo.27］
　図２０に示すように、サンプルNo.27の研磨パッド１００は、発泡ポリウレタン製で、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状である。
［サンプルNo.28］
　図２１に示すように、サンプルNo.28の研磨パッド１００Ａは、研磨層２０と支持層３０とからなる。
　研磨層２０は、不織布タイプの研磨パッドであり、直径が９０ｍｍで厚さが１．３ｍｍの円板状である。支持層３０は、発泡ポリウレタン製で、直径が９０ｍｍで厚さが１０ｍｍの円板状であり、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に固定されている。

［サンプルNo.29］
　図２２に示すように、サンプルNo.29の研磨パッド１００Ｂは、発泡ポリウレタン製で、中心穴１０５を有する円板状である。研磨パッド１００Ｂの直径は９０ｍｍで、中心穴は２０ｍｍで、厚さは１０ｍｍである。
［サンプルNo.30］
　図２３に示すように、サンプルNo.30の研磨パッド１００Ｂは、中心穴２２を有する研磨層２０と、中心穴７１ａを有する支持層７とからなる。
　研磨層２０は、不織布タイプの研磨パッドであり、外径が９０ｍｍで、中心穴２２が１０ｍｍで、厚さが１．３ｍｍである。支持層７は、発泡ポリウレタン製で、直径が９０ｍｍで、中心穴が１０ｍｍで、厚さが１０ｍｍである。支持層７は、研磨層２０の研磨面１０とは反対面２１に固定されている。

［試験方法］
　各サンプルの研磨パッドを用い、以下の方法で研磨試験を行った。
　研磨対象物は、合成樹脂塗料で塗装された３００×２５０ｍｍの金属板であり、塗膜の厚さは２０μｍである。つまり、被研磨面は合成樹脂からなる平面状の塗膜面であり、研磨面は被研磨面より小さい。
　使用した研磨装置は、ファナック（株）製の産業用ロボット「Ｍ－２０ｉ」のアームの先端に、ダブルアクションポリッシャを取り付けた装置である。アームに付与された押し付け力で各サンプルの研磨パッドを、水平に保持された被研磨面に押し付けながら、スラリーを被研磨面に滴下しながら、ポリッシャを回転することで研磨を行った。

　スラリーの滴下は、No.21～No.24およびNo.27，30では研磨パッドの外側（外周面から３０ｍｍ離れた位置）に対し行い、No.25，26，29，30では、研磨パッドの中心穴から行った。これ以外の研磨条件は、全てのサンプルについて同じにした。
　使用したスラリーは、平均粒径が０．４μｍであるアルミナ砥粒を含む。使用したスラリーの粘度は２５℃で０．１１Ｐａ・ｓ（１．１ｃＰ）である。砥粒の平均粒径は、（株）堀場製作所製の粒子径分布測定装置「Ｈｏｒｉｂａ　Ｌ－９５０」を用いて測定した。

　この研磨を、各サンプルで３セット行ない、滴下したスラリーが研磨パッドにしみ込んでいるかと、しみ込んだスラリーが外部に飛散しているかを調べた。その結果、止水部を有するNo.21～No.26の研磨パッドでは、しみ込みが認められなかったため、飛散も認められなかった。これに対して、止水部を有さないNo.27～No.30の研磨パッドでは、しみ込みが認められ、しみ込んだスラリーの飛散も認められた。
　各サンプルの研磨パッドの構成（相違点）と、試験結果を表３に示す。

　この結果から、止水部を有することで、研磨パッドへスラリーがしみ込みにくくなり、スラリーの利用効率が高くなることが分かる。

　１　研磨パッド
　１Ａ　研磨パッド
　１Ｂ　研磨パッド
　１Ｃ　研磨パッド
　１Ｄ　研磨パッド
　１Ｅ　研磨パッド
　１０　研磨面
　１１　研磨パッドの端部
　１１１　端部の周面（軸方向で研磨面側の周面）
　１２　研磨パッドの基部
　１２１　研磨パッドの研磨面とは反対側の面
　２　支持層
　３　支持層付き研磨パッド
　４　研磨パッドの本体部
　４１　本体部の中心穴（連続気泡層を貫通する貫通穴）
　５　止水部
　５１　止水部
　５１ａ　止水部の中心穴
　６　研磨パッド
　６０　研磨面
　６１　研磨パッドの端部
　６１１　端部の周面（軸方向で研磨面側の周面）
　６２　研磨パッドの基部
　６２１　研磨パッドの研磨面とは反対側の面
　７　支持層
　７１　支持層の中心穴（第二貫通穴）
　８　支持層付き研磨パッド
　９　ポリッシャー
　９１　ポリッシャーの基部
　９２　ポリッシャーの回転軸
　９３　ポリッシャーの本体
　１５　スラリー
　１６　スラリー供給装置
　１７　研磨パッドの研磨面とは反対側の面
　２０研磨層
　２１　研磨層の研磨面とは反対面
　２２　研磨層の中心穴（第一貫通穴）
　３０　支持層
　５０　被研磨面
　１０３　第一溝
　１０４　第二溝
　θ　端部の周面と研磨面とでなす角度

Claims

　円板状の研磨パッドであって、前記円板の軸方向で研磨面側の周面は前記研磨面に向けて縮径するテーパ面であり、前記研磨面側の周面と前記研磨面とでなす角度が１２５°以上１８０°未満であり、ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さが４０以上である研磨パッドを用い、
　砥粒を含むスラリーを前記研磨面より大きな被研磨面に供給し、
　前記研磨面を前記被研磨面に押し当てて、前記研磨パッドを動かすことにより、前記被研磨面を研磨する研磨方法。
　円板状の研磨パッドであって、前記円板の軸方向で研磨面側の周面は円弧面であり、ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さが４０以上である研磨パッドを用い、
　砥粒を含むスラリーを前記研磨面より大きな被研磨面に供給し、
　前記研磨面を前記被研磨面に押し当てて前記研磨パッドを動かすことにより、前記被研磨面を研磨する研磨方法。
　前記研磨面の直径は１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下である請求項１または２記載の研磨方法。
　前記被研磨面は凹曲面である請求項１～３のいずれか一項に記載された研磨方法。
　砥粒を含むスラリーを被研磨面に供給し、
　ＪＩＳ　Ｋ７３１２：１９９６の付属書２「スプリング硬さ試験タイプＣ試験方法」で規定された試験方法による加圧面が密着した直後の硬さが４０以上８０以下である研磨パッドを用い、
　研磨面を前記被研磨面に押し当てて前記研磨パッドを動かすことにより、前記被研磨面を研磨する研磨方法。
　前記研磨面に溝を有する請求項５記載の研磨方法。
　前記溝の幅は０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である請求項６記載の研磨方法。
　前記研磨面の直径は１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であり、
　前記研磨面は前記被研磨面より小さい請求項５～７のいずれか一項に記載の研磨方法。
　前記研磨パッドの前記研磨面とは反対側の面に、前記研磨パッドより軟らかい支持層が固定されている請求項１、２、５のいずれか一項に記載の研磨方法。
　前記被研磨面は合成樹脂からなる面である請求項１、２、５のいずれか一項に記載された研磨方法。
　前記被研磨面は塗膜面である請求項１、２、５のいずれか一項に記載された研磨方法。
　研磨スラリーによる研磨で使用される研磨パッドであって、
　表面の一部または全部に止水部が形成されている研磨パッド。
　研磨層と、前記研磨層の研磨面とは反対面に形成された支持層と、を有し、
　前記支持層が前記止水部である請求項１２記載の研磨パッド。
　連続気泡構造の多孔質材からなる連続気泡層を有し、
　前記連続気泡層の研磨面以外の表面に前記止水部が形成されている請求項１２記載の研磨パッド。
　前記連続気泡層の側面に前記止水部が形成されている請求項１４記載の研磨パッド。
　研磨面と交差する方向に延びて前記連続気泡層を貫通する貫通穴を有し、
　前記貫通穴の壁面に前記止水部が形成されている請求項１４記載の研磨パッド。
　研磨層と、前記研磨層の研磨面とは反対面に形成された支持層と、を有し、
　前記支持層が前記連続気泡層である請求項１４記載の研磨パッド。
　前記研磨面と交差する方向に延びて前記研磨層を貫通する第一貫通穴と、
　前記研磨面と交差する方向に延びて、前記支持層を貫通し、前記第一貫通穴と連続する第二貫通穴と、を有し、
　前記第二貫通穴の壁面に前記止水部が形成されている請求項１７記載の研磨パッド。
　前記研磨層は、前記支持層より硬い材料で形成されている請求項１３、１７、１８のいずれか一項に記載の研磨パッド。