JPWO2006087765A1 - 流動バレル研磨装置及び研磨方法 - Google Patents

Abstract

円筒状の固定槽（１）と該固定槽（１）の底部に摺接部隙間（３）を形成して水平回転するようにした回転盤（２）とからなり、前記固定槽（１）内にワークとメディアを装入し回転盤（２）を水平回転させることにより、前記ワークとメディアが旋回流動してマス（Ｍ）を形成してワークが研磨される流動型バレル研磨装置において、前記回転盤（２）の回転中心上部に、固定または回転可能に軸支した内筒（４）を設けることにより、前記マス（Ｍ）の外周面を固定槽（１）の内周面に接触させると共に、マス（Ｍ）の内周面を前記内筒（４）の外周面に接触させてマス（Ｍ）中のワークを研磨する。【選択図】図１

Description

発明の技術分野

本発明は、流動バレル研磨装置の研磨力の増加および研磨能率の向上を図って、研磨時間を短縮し生産性を向上させるとともに、メディアの損耗を抑えてランニングコストを低下させる流動バレル研磨装置及び研磨方法に関する。

図２は、従来の流動バレル研磨装置の断面図である。

従来の流動バレル研磨装置は、図２に示すように、円筒状の固定槽１１と、該固定槽１１の底部に摺接部隙間１３を形成して水平回転するようにした回転盤１２とからなる。

ここで、固定槽１１内に投入されたワークとメディアは、回転盤１２の水平回転によって、回転中心から固定槽１１の側壁に向けて遠心力Ａが付与される。ワークとメディアに付与された前記遠心力Ａは、固定槽１１の側壁に到達して上昇力Ｂに変換される。そして、この上昇力Ｂによりワークとメディアは押し上げられ、頂点Ｃに達した後重力により下降する。このようにして、ワークとメディアは旋回流動するマスＭを形成し、ワークとメディアの接触圧と相対速度によってワークが研磨されることとなる。

しかし、上昇力Ｂによって頂点Ｃに達したワークとメディアからなるマスＭは、前記固定槽１１側から回転盤１２の回転中心に向けて下降の一途をたどることとなり、下記の問題が生じる。

（１）回転盤１２の回転中心上方部に空洞状態となった「開放域」が形成される。

（２）上記（１）の「開放域」に面するマスＭの近傍は、ワークとメディアの接触圧（研磨力、研磨能率）が低下する箇所となる。

流動バレル研磨装置の研磨メカニズムにおいて、その研磨力を左右する要素として、乾式研磨においてはワークとその研磨目的に対するメディアの選定、湿式研磨においてはワークとその研磨目的に対するメディアとコンパウンドの選定がある。さらに、乾式研磨においてはワークとメディア、湿式研磨においてはワークとメディア、コンパウンドとその水の装入割合がある。バレル研磨における研磨力はワークとメディアの接触圧及び相対速度差で決まる。流動バレル研磨においても同様である。

また、装置の構成から、メディアとワークの接触圧と相対速度が強くマスの流動速度が速くなる箇所である研磨槽底部の回転盤上と固定槽の内壁に近いところが研磨力の強い領域となる。一方、回転盤の回転中心上部において、マスの旋回流動が開放されてメディアとワークが存在しない空洞状態の図２に示す「開放域」が形成される。

なお、特許文献「特開２００３−１０３４５０」には、図２に前記の回転盤の回転中心上部にマスの「開放域」が形成された状態が示されている。

本発明は、従来技術の研磨装置を特別の大改造を必要とせずに、前記問題点を解決するために成されたもので、図１に示すように研磨装置の回転盤２の回転中心上部に、中心線が前記回転盤２の回転中心と略同心とした内筒４を立設したものである。

これにより、
（１）内筒４が従来技術の研磨装置に形成されるマスＭの「開放域」を無くし、
（２）マスＭが、その外周面が固定槽１の内周面に接触するとともに、マスＭの内周面が内筒４の外周面に接触した状態で旋回流動をすることとなるから、
マスＭへの押圧力がマスＭの内側面からも作用し、マスＭを構成するワークとメディアの接触圧が増大して研磨力の増加をさせるという効果が得られる。

すなわち、従来の研磨装置においては、固定槽内にワーク及びメディア（湿式研磨においては、コンパウンド、水、を更に添加する）を装入し、回転盤を回転させると前記ワーク及びメディア（湿式研磨においては、コンパウンド、水を含む）が旋回流動してマスを形成し、形成されたマスは、回転盤の回転中心上部（＝固定槽中心部）において、空洞部を形成して、この部分がワーク、メディア（湿式研磨においては、コンパウンド、水、を含む）の接触圧がフリーとなる「開放域」となっていた。

本発明によれば、従来の研磨装置において生じていたこの「開放域」に該当する部分に、固定槽の内径とワークの加工目的、使用するメディアに応じて適切な外径寸法とした内筒を適切な方法で設けることにより、前記マスの空洞部である「開放域」を無くした状態にすることができる。

さらに、
（１）内筒がマスを、マスの内側面から固定槽側に押圧して、押圧力によりワークとメディア（湿式研磨においては、コンパウンド、水、を含む）に強い接触圧を作用させ研磨力を増加させる。

（２）また、前記のように内筒を設けたことにより、固定槽の内径方向のマスの流動領域が狭められるため、開放されている上方にマスの上面が上昇してマスの高さが増大するから、開放されているマスの上部から内部に押圧力が作用し、この押圧力も研磨力を増加させるものである。

以上が、本発明の内筒が研磨力を増大させるメカニズムであるが、以下にメディアの損耗について述べる。

通常の流動バレル研磨装置においては、研磨力を増加させるとメディアの損耗はそれ以上に多くなり、ワークの研磨能率(ワークの研磨量／メディアの損耗量)が減少する。メディアはワークの研磨で損耗をするが、メディア同士の摩擦、すなわちメディア同士の接触圧と相対速度差によって損耗する割合がはるかに多い。

本発明のメディアの損耗については、マスの両側部の流動速度は前記（１）により内筒と固定槽の側壁からの摩擦抵抗を受けて遅くなる。また、マスの上層部の流動速度は前記（２）によりマスの上層部は回転盤からの距離が遠くなるためマスの上層部の流動速度は極めて遅くなるから、前記のように本発明は研磨力を増大させたにも関わらずメディアの損耗は、従来技術の研磨力の増大前と略同等である。

本発明において、ワークの研磨量に対するメディアの損耗が増大しない理由は、回転盤の回転中心上部に内筒を設けたことにより、前記（１）、（２）の作用によりマス全体の流動速度が遅くなったためである。すなわち、マス全体の流動速度が遅くなったことにより、メディアの損耗量が減少し、マスへの押圧力が増加したことによるメディアの損耗量の増加分が、流動速度が遅くなったことによる前記メディアの損耗量の減少分で相殺されていると考えられる。

以下に述べる実施例に示す通り、従来技術の内筒がない場合に比較してワークの研磨量は１.４〜２．４倍増加したのに対し、メディアの損耗量、損耗率は１．２〜１．４倍程度の増加であるため、ワークの研磨能率は１．２〜１．７倍前後となった。すなわち、一定数量のワークを研磨するために必要なメディアの損耗量を少なくして、メディアの損耗量に対する研磨力を増加させることができたことにより、メディアのランニングコストを低下させることができ、研磨時間が短縮でき生産性を向上することができた。

なおここで、ワークとは被研磨物を言い、メディアとは、ワークと相対摩擦によりワークのバリ取り、丸味付け、つや出し、スケール落とし等、ワークを研磨加工する研磨材を言う。

また、回転盤２の回転中心上部に、中心線が前記回転盤２の回転中心と略同心として立設した内筒４の内部の形態は問わない。すなわち円筒内部が充実していても、中空となっていてもよく、さらに中空部に補強等がなされていてもよい。また、その形状も円筒形状に限るものではなく、円錐形状、逆円錐形状でもよい。

以下、本発明に係る流動バレル研磨装置を実施例及び図面に基づき詳細に説明する。

本発明に係る流動バレル研磨装置は、図１に示すように、円筒状の固定槽１と、該固定槽１の底部に摺接部隙間３を形成して水平回転するようにした回転盤２と、回転盤２の回転中心上部に、中心線が前記回転盤２の回転中心と略同心となるように立設した内筒４とにより構成される。

ここで、固定槽１内に投入されたワークとメディアは、回転盤２の水平回転によって、回転中心から固定槽１の側壁に向けて遠心力が付与される。ワークとメディアに付与された前記遠心力は、固定槽１の側壁に到達して上昇力に変換され、この上昇力によりワークとメディアは押し上げられる。

そして、ワークとメディアからなるマスＭは、その外周面が固定槽１の内周面に接触するとともに、マスＭの内周面が内筒４の外周面に接触した状態で旋回流動をすることとなる。その結果、マスＭへの押圧力がマスＭの内側面からも作用し、マスＭを構成するワークとメディアの接触圧が増大して研磨力の増加をさせる。

ここで本発明に係る流動バレル研磨装置の効果を検証するために、まず、被研磨物（以下「ワーク」ともいう）として、材質が硬質、軟質の試験片を用いて、本発明の内筒の有無と内筒の回転速度の違いによるメディアの損耗量と損耗率、及び、軟質ワークと硬質ワークの各々についての研磨量と研削比についての検討を、実施例１、２、および比較例１で実施した。

次いで、被研磨物に実ワーク（自動車部品：ロッカーアーム）を用いて本発明の内筒の有無、内筒の回転速度の違い、及び、内筒の外径寸法の違いによるメディアの損耗量と損耗率、及び、実ワークの研磨量の研磨能率の検討を、実施例３、４、５、および比較例２で実施した。

これらの実施例は、コンパウンド、水を添加した湿式研磨の例を示すが、本発明は湿式研磨に限定されるものでなく、コンパウンド、水を添加しない乾式研磨にも適用できるものである。

なお、本実施の形態において内筒の装着方法には、「固定」式と「つれ回り」式と「回転可変」式の３種類が考えられる。ここで、「固定」式とは、内筒を回転盤の回転中心上部に立設して固定ボルト等で密着固定し、内筒が回転盤と同回転をするようにしたものであり図３Ａにその構成を示す。

また、「つれ回り」式とは内筒を回転盤の回転中心上部に立設してベアリング等で軸支し、内筒がマスの旋回流動につれて回るようにしたものであり図３Ｂにその構成を示す。さらに、「回転可変」式とは内筒を回転盤の回転中心上部に立設して回転盤とは別駆動の回転機構を設け、ワーク、メディアの仕様に応じて内筒に適切な回転速度を設定することができるようにしたものであり図３Ｃにその構成を示す。

〈実施例１及び２〉
表１に示すような流動バレル研磨装置において、回転盤２の回転中心上部に内筒４を設けた実施例１、２、および内筒を設けない比較例１についてテストを行った。この場合において、共通するテスト条件は、被研磨物（以下「ワーク」という）として材質がＳ４５Ｃの硬質試験片と、材質がＡ２０１７の軟質試験片とを用いたこと、研磨材（以下「メディア」という）として底辺が２０mmの円錐形状の樹脂製メディアと、コンパウンド、水、を用いたこと、および、回転盤２の回転速度を２５０ min-1とし、研磨時間を３０minとしたことである。

実施例１、２の内筒４については、その外径寸法をφ２２０mmとし、回転盤２への取付け方法は、図1に示すように回転盤２の回転中心上部に立設して密着固定し回転盤２と同回転速度（２５０min-１）となるようにした場合を実施例１とした。また、内筒４を回転盤２の回転中心上部に密着固定せずに「つれ回り」するように立設して軸支し回転速度を５０min-1となるようにした場合を実施例２とした。さらに、内筒を設けない従来技術を比較例１とした。

以上のようなテスト条件で各実施例、比較例毎に固定槽に前記のワーク、メディア、コンパウンド、水、を装入して回転盤を前記２５０ min-1の回転速度で回転させて研磨加工のテストを実施した結果、表２に示すテスト結果を得た。なお、テスト機・メディア・コンパウンドは、すべて新東ブレーター社製のものを使用した。

表２に示す結果から、被研磨物に軟質、硬質の試験片を用いた場合において、内筒４の有無、内筒４の回転速度の違い、による〔１〕メディアの損耗量、損耗率、〔２〕軟質、硬質試験片の研磨量、研削比、について以下のことがわかった。

〔１〕メディアの損耗量、損耗率、について、
本発明の内筒４を回転盤２の回転中心上部に設けた実施例１、２におけるメディアの損耗量及び損耗率は、内筒４を設けない従来技術の比較例１と比較して、実施例１がそれ以上、実施例２が略同等であった。

実施例１のメディアの損耗量及び損耗率が従来技術の比較例１より多くなったのは、図１に示す内筒４を設けたことにより、比較例１、すなわち従来技術に係る流動バレル研磨装置、の図２に示すマスＭの「開放域」を無くしてメディアと被研磨物（試験片）、或いはメディア同士の接触圧を向上させ、かつ内筒４の回転速度が回転盤２と同回転の２５０min-1（高回転）であったためのものと考えられる。この時のマスＭ全体の流動速度は、内筒が無い従来技術の比較例１と比較し遅くなっている。

実施例２のメディアの損耗量、損耗率が従来技術の比較例１と略同等であったのは、実施例１と同様に内筒４によりマスＭの「開放域」を無くしてメディアと被研磨物（試験片）、或いはメディア同士の接触圧を向上させたが、回転盤２への取付け方法を回転盤２と「つれ回り」するように変更し５０min-1に低回転にしたこと、およびマスＭ全体の流動速度が前記実施例１よりさらに遅くなったことが要因になっているものと考えられる。

ここで、前記実施例１、２のマスＭ全体の流動速度とは、内部の流動速度を直接測定する方法が無いので、マスＭの上面の速度を測定した結果から推測したものである。

以上のことから、メディアの損耗量、損耗率については、内筒４の回転速度を回転盤２の回転速度以下にすれば減少し、その回転速度は遅いほど好ましい状態となることが判明した。

〔２〕硬質、軟質試験片の研磨量、研削比、について、
実施例１、２における硬質、軟質試験片の研磨量、研削比は、従来技術の比較例１と比較して、被研磨物の材質が硬質、軟質に関係なく約２倍前後に増大した。これは、前記したように、図１に示す内筒４を設けたことにより、図２に示す従来技術（比較例１）にあったマスＭの「開放域」を無くし、マスＭへの内側からの押圧力が作用して研磨力を向上させたもので、本発明の内筒は、ワークの材質が硬質、軟質に関係なくその研磨量、研削比を向上させるものであることが判明した。

中でも実施例２は比較例１の従来技術と比較してその研磨量、研削比とも２倍超に増大している。これはマス全体の流動速度が実施例１よりもさらに遅いため、ワーク（試験片）が研磨槽底部を中心とした回転盤近傍の研磨力が最も強い領域を流動していたためのものと考えられる。

ここで、前記の研削比とは、一時間あたりに換算した試験片研磨量をメディアの損耗率で除した値であり、この研削比の値が大きいほどランニングコストが低いことを示唆するものである。

〈実施例３、４、５〉
表３に示すような流動バレル研磨装置において、回転盤２の回転中心上部に内筒４を設けた実施例３、４、５、および内筒４を設けない比較例２についてテストを行った。この場合において、共通するテスト条件は、被研磨物（ワーク）として材質がＳＣＭの自動車部品用ロッカーアームを実ワークとして使用すると共に、参考として材質が同じ試験片を装入したこと、また、メディアとして、硬質ワーク研磨用を用い、このメディアは前記実施例１、２で用いたメディアより硬質であり、サイズが比較的小さく、比重が比較的大きいセラミック系の焼成メディアと、コンパウンド、水、を用いたこと、さらに、回転盤の回転速度を２００ min-1とし、研磨時間を３０minとしたことである。なお、実ワークとして使用した自動車部品用ロッカーアームの形状を図４に示す。

実施例３、４、５の内筒４については、その外径寸法に関し、前記実施例１、２と同寸法のφ２２０mmとした場合を実施例３、４とし、それよりも大径のφ２６０mmとした場合を実施例５とした。また、回転盤２への取付け方法に関し、回転盤２の回転中心上部に立設して密着固定して回転盤２と同回転速度（２００min-１）となるようにした場合を実施例３、５とし、内筒４を回転盤２の回転中心上部に密着固定せずに「つれ回り」するように立設して軸支し回転速度を５０min-1となるようにした場合を実施例４とした。さらに、内筒４を設けない従来技術を比較例２とした。

以上のようなテスト条件で各実施例及び比較例毎に固定槽に前記のワーク、メディア、コンパウンド、水、を装入して回転盤を２００ min-1の回転速度で回転させて研磨加工のテストを実施した結果、表４に示すテスト結果を得た。なお、テスト機・メディア・コンパウンド、は、前記の実施例１、２と同様にすべて新東ブレーター社製のものを使用した。

〔１〕メディアの損耗量、損耗率、について、
本発明の内筒４を回転盤２の回転中心上部に設けた実施例３、４、５は、内筒４を設けない従来技術の比較例２と比較して、１．２〜１.４倍に増加した。

実施例３は従来技術の比較例２と比較して略１．２倍であるが、内筒４の外径寸法を実施例３（φ２２０mm）と同じくし回転速度を２００min-1から５０min-1に減速した実施例４と、内筒４の外径寸法をφ２２０mmからφ２６０mmに大きくし回転速度を実施例３（２００min-1）と同じくした実施例５のメディアの損耗量、損耗率が双方とも略１．４倍であった。また、内筒４の回転速度を同じくし外形寸法Ｄ２を異にした実施例３と実施例５において、内筒４の外径寸法Ｄ２が大である実施例５を実施例３と比較すると約１．２倍に増加した。これは、内筒4の外径寸法Ｄ２が大になるに連れて、「Ｄ１」を内径寸法とする固定槽１内を流動するマスＭの流動幅（Ｄ１−Ｄ２）が狭くなりマスＭの内側からの押圧力が増加すると共に、マスＭの高さＨ１、Ｈ２が高くなりマスＭの上方から押圧力も増加したことが要因と考えられる。

〔２〕実ワーク（自動車部品用ロッカーアーム）の研磨量、研磨能率、について、
実施例３、４、５における実ワークの研磨量、研磨能率は、従来技術の比較例２と比較していずれも増大していて、研磨量は比較例の１.４〜２.４倍、研磨能率は、比較例の１．１〜２．８倍となった。

これを内筒の回転速度の違いで検討すると、回転速度が比較例２（２００min-1）と同じ実施例３の研磨量は比較例の１.４倍、研磨能率は比較例の１.２倍となり、回転速度が比較例２より低速（５０min-1）とした実施例４の研磨量は比較例の１.６倍、研磨能率は比較例の１.１倍となり、研磨量は実施例４の方が多いが、研磨能率は実施例３の方が実施例４を上回った。

また、内筒の回転速度を比較例２（２００min-1）と同じにして、内筒の外径寸法を比較例２（φ２２０mm）より大径のφ２６０mmにした実施例５で検討すると、研磨量は比較例の２.４倍、研磨能率は比較例の２.８倍となった。

前記の結果より、回転速度の低速にしたことによる違いを示す実施例３、４と、外径寸法を大径にしたことによる違いを示す実施例３、５の効果を比較してその効果があったのは、実施例３と実施例５の要素である内筒４の外径寸法Ｄ２を大径にすることであって、これは、参考として同時に実施した試験片においても同様であった。

このことから、固定槽１の内径Ｄ１に対する内筒４の外径寸法Ｄ２の大きさまたは比率を大きくして、マスＭの内側からの押圧力が大きく作用するようにすれば研磨能率は高くなることがわかる。しかし、実際には研磨するワークの品質を重視する必要があり、特に 研磨傷、打痕を発生させてはならない。そのためマスＭのスムーズな流動状態を継続させながら研磨ができるようにマスＭの流動領域を決定する必要がある。したがって、そのメディアとワークの接触圧、およびマスＭの流動領域を決定する内筒４の外径寸法Ｄ２の最大値または固定槽１の内径Ｄ１に対する最大比率は、メディアの材質、サイズ、およびワークの形状、サイズ、材質や加工品質等を考慮して決定しなければならない。一般的には、ワーク、メディアのサイズが小さいときは外径寸法Ｄ２の大きい内筒４、ワーク、メディアのサイズが大きいときは外径寸法Ｄ２の小さい内筒４が望ましい。

なお、ワークの研磨能率とは、前記実施例１、２、比較例１で説明をした試験片の研削比に相当するもので、一時間あたりに換算したワークの研磨量をメディアの損耗量で除した値であり、この研磨能率の値が大きいほどランニングコストが低いことを示唆するものである。

以上に述べた各実施例１〜５の説明において、表２における被研磨物（ワーク）として使用した軟質の試験片の装入量を少量（３個）にした理由は、その目的がワークの加工表面に打痕や研磨傷を無くして研磨を行う場合の確認テストだからであり、加工品質が厳しく打痕傷等がついてはいけないワークは装入量を少なくする必要があり、表２における例がこれに相当する。また、表４における被研磨物（ワーク）として使用した自動車部品用ロッカーアーム（実ワーク）の装入量を表２と比較して多量にした理由は、その目的が硬質ワークの研磨能率の評価をする量産・研磨加工の場合の確認テストだからである。

また、表５に示すようなメディアの種類により、ワークへの接触圧が異なる。すなわち、表４（実施例３〜５及び比較例２）で使用した焼成メディアは、表２（実施例１、２及び比較例１）で使用した合成樹脂メディアより重いために、表４で使用した焼成メディアのほうがワークへの接触圧も大きくなる。

なお、メディアの損耗量、損耗率については、表２に示した結果によれば、「内筒の有無」に関する実施例１、２と比較例１、および「内筒の回転速度の違い」に関する実施例１と実施例２、の夫々の間に有意差が無かった。

その理由は、内筒４を装入したことで（１）マスＭへの押圧力が増しメディアの損耗が増大する割合と、内筒４を装入したことで（２）メディアの流動が遅くなりメディアの損耗が減少する割合とが相殺されたものと考えられる。

一方、表４に示した結果によれば表２とは異なり、「内筒４の有無」に関する実施例３、４、５と比較例２、および「内筒４の回転速度の違い」に関する実施例３と実施例４、の夫々の間に有意差があった。

その理由は、上記表２の場合とは逆に、メディアのベースがセラミックで硬く、なおかつ摩擦抵抗が大きいために、本発明の内筒４を設けてマスＭの流動領域を狭めてメディアとワークおよびメディア同士の接触圧が上がったこと、及び、硬質ワーク（自動車部品用ロッカーアーム）の装入量を２リットル（前記表２の場合より多く）としたために、そのワークは固定槽１の底部（回転盤）の近傍に留まらずにマスＭ全体に流動して研磨が行なわれ、メディア全体に対するワークの接触割合が均等となったこと、が要因であるものと考えられる。

参考のため、表２、表４のデーター比較を更に分かり易くするために、内筒／無（比較例１、比較例２）を１００として各データーを夫々換算したものを表６として示す。

図１は、本発明の一実施の形態による流動バレル研磨装置の断面図である。 図２は、従来の流動バレル研磨装置の断面図である。 図３Ａは、本発明の実施例において、内筒を回転盤の回転中心上部に立設して固定ボルト等で密着固定し、内筒が回転盤と同回転をするようにした「固定」式を示す。 図３Ｂは、本発明の実施例において、内筒を回転盤の回転中心上部に立設してベアリング等で軸支し、内筒がマスの旋回流動速度につれて回るようにした「つれ回り」式を示す。 図３Ｃは、内筒を回転盤の回転中心上部に立設して回転盤とは別駆動の回転機構を設け、ワーク、メディアの仕様に応じて内筒に適切な回転速度を設定することができる「回転可変」式を示す。 図４（ａ）は、実施例で用いた実ワーク（自動車部品：ロッカーアーム）の平面図である。 図４（ｂ）は、実施例で用いた実ワーク（自動車部品：ロッカーアーム）の正面図である。 図４（ｃ）は、実施例で用いた実ワーク（自動車部品：ロッカーアーム）の側面図である。

Claims (6)

1. 円筒状の固定槽（１）と、該固定槽（１）の底部に摺接部隙間（３）を形成して水平回転するようにした回転盤（２）とからなり、前記固定槽（１）内にワークとメディアを装入し回転盤（２）を水平回転させることにより、前記ワークとメディアが旋回流動してマス（Ｍ）を形成してワークを研磨する流動型バレル研磨装置において、
   前記回転盤(2)の回転中心上部に、固定または回転可能に軸支した内筒（４）を設けたことを特徴とする流動型バレル研磨装置。
2. 前記内筒（４）の回転速度を、前記回転盤（２）の回転速度に対して同回転速度、または変更可能にしたことを特徴とする請求項１に記載の流動型バレル研磨装置。
3. 前記内筒（４）の上端部をマス（Ｍ）の上面より上方に突出させ、該マス（Ｍ）の上面を開放したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流動型バレル研磨装置。
4. 前記内筒（４）の形状が、円柱状、もしくは円筒状、またはこれらの逆錐体状からなることを特徴とした請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の流動型バレル研磨装置。
5. 円筒状の固定槽（１）と該固定槽（１）の底部に摺接部隙間（３）を形成して水平回転するようにした回転盤（２）とからなり、前記固定槽（１）内にワークとメディアを装入し回転盤（２）を水平回転させることにより、前記ワークとメディアが旋回流動してマス（Ｍ）を形成してワークが研磨される流動型バレル研磨装置において、
   前記回転盤（２）の回転中心上部に、固定または回転可能に軸支した内筒（４）を設けることにより、前記マス（Ｍ）の外周面を固定槽（１）の内周面に接触させると共に、マス（Ｍ）の内周面を前記内筒（４）の外周面に接触させながらマス（Ｍ）中のワークを研磨することを特徴とした流動型バレル研磨方法。
6. 前記内筒（４）の外周面に接触するマス（Ｍ）の高さ（Ｈ２）を、該マス（Ｍ）の上面高さ（Ｈ１）の１／２以上にして研磨することを特徴とした請求項５に記載の研磨方法。

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