WO2019009065A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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    • H10P72/1921—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by substrate supports

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container for storing a substrate.
  • the substrate storage container comprises a container body for storing a substrate, a lid for closing the opening of the container body, and an annular packing provided between the container body and the lid, and the substrate is airtight. It is stored by.
  • the packing is provided on at least one of the container body or the lid.
  • the inside of the substrate storage container is a negative pressure, in other words, when the external pressure is high, the extension piece 42 of the packing 40 is deformed in a direction to be pressed against the sealing surface 12 and the seal portion Since 43 contacts the sealing surface 12, a good sealing performance is exhibited, and the approach of dust from the outside is prevented (see FIG. 8).
  • Patent Document 2 the packing is provided on both the container main body and the lid, and similarly to the substrate storage container of Patent Document 1, not only prevents entry of dust from the outside, but also further Also, it prevents the gas from flowing out (leakage) from the inside (see paragraphs 0041 and 0051).
  • the present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate storage container that improves the sealing performance against the internal negative pressure and the positive pressure, and the internal cleanliness. .
  • One aspect according to the present invention is provided on a container body for storing a substrate, a lid for closing the opening of the container body, and the lid, and is engaged with the engaged portion of the container body And a packing interposed between the container body and the lid, wherein the packing is a first packing attached to the container body, and the lid The first packing and the second packing, when viewed from a direction orthogonal to the closing direction of the lid, the container main body than the position of the locked portion Located inside the (2)
  • the container body is formed with a first mounting groove for attaching the first packing and a second sealing surface for contacting the second packing
  • the lid is A second mounting groove for attaching the second packing and a first sealing surface for contacting the first packing are formed, and the first sealing surface and the second sealing surface are orthogonal to the closing direction of the lid.
  • the first packing and the second packing may be disposed so as to overlap each other when viewed from the closing direction of the lid.
  • the first packing and the second packing may be formed of the same material.
  • the first packing and the second packing may be formed of different materials.
  • FIG. 1 is an exploded schematic perspective view showing a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • the substrate storage container 1 is provided between a container body 10 for storing a substrate W, a lid 20 for closing the opening 11 of the container body 10, and the container body 10 and the lid 20.
  • an annular packing P (interposed).
  • the 1st packing 30 attached to the container main body 10 and the 2nd packing 40 attached to the lid 20 are included so that it may mention later.
  • the container main body 10 is a box-like body, and is a front open type in which the opening 11 is formed in the front.
  • the container body 10 is preferably a front open type, since it is easy to insert the substrate W with a diameter of 300 mm or 450 mm, but it may be a bottom open type in which the opening 11 is formed on the lower surface.
  • the opening 11 is formed by bending two steps so as to spread outward, and the surface of the step is annularly formed on the inner peripheral edge of the opening 11 as a second seal surface 12 with which the second packing 40 contacts.
  • the second sealing surface 12 is formed to include a surface substantially orthogonal to the closing direction H of the lid 20.
  • a first attachment groove 18 for attaching the first packing 30 is formed in an annular shape with a substantially U-shaped cross section.
  • the locked portion 19 is a locking hole (hereinafter referred to as a "locking hole 19"), and when viewed from a direction perpendicular to the closing direction H, the locked portion 19 is outside the container body 10 than the first mounting groove 18. positioned.
  • Supports 13 are disposed on the left and right sides of the inside of the container body 10.
  • the support 13 has a function of placing and positioning the substrate W.
  • a plurality of grooves are formed in the height direction, and so-called groove teeth are configured.
  • the substrate W is placed on the two groove teeth at the same height.
  • the material of the support 13 may be the same as that of the container body 10, but different materials may be used to enhance the cleaning property and the slidability.
  • a rear retainer (not shown) is disposed at the rear (rear side) of the inside of the container body 10.
  • the rear retainer is paired with a front retainer described later when the lid 20 is closed, and holds the substrate W.
  • the support 13 has, for example, a “V” -shaped or linear substrate holding portion on the back side of the groove teeth, the front retainer and the substrate The substrate W may be held by the holding unit.
  • the support 13 and the rear retainer are provided on the container body 10 by insert molding, fitting, or the like.
  • the substrate W is supported by the support 13 and stored in the container body 10.
  • a silicon wafer is mentioned as an example of the board
  • a robotic flange 14 is detachably provided at the center of the ceiling of the container body 10.
  • the substrate storage container 1 in a clean state is transported by the transport robot in the factory to the processing apparatus for each process of processing the substrate W with the robotic flange 14 held.
  • an air supply unit 16 and an exhaust unit 17 having a check valve function are provided on the bottom surface of the container body 10. These are provided by supplying an inert gas such as nitrogen gas or dry air from the air supply unit 16 to the inside of the substrate storage container 1 closed by the lid 20 and discharging it from the exhaust unit 17 as necessary. The gas inside the substrate storage container 1 is replaced or the airtight state is maintained. It is preferable that the air supply unit 16 and the exhaust unit 17 be located at a position deviated from the position where the substrate W is projected to the bottom, but the numbers and positions of the air supply unit 16 and the exhaust unit 17 are limited to those illustrated. Absent. Moreover, the air supply part 16 and the exhaust part 17 have a filter which filters gas.
  • the replacement of the internal gas is performed for the purpose of blowing off the impurities on the stored substrate W, reducing the internal humidity, etc., and maintaining the cleanliness of the inside of the substrate storage container 1 being transported. To be done. Then, by detecting the gas on the exhaust unit 17 side, it is possible to confirm whether the gas replacement has been performed reliably.
  • the inside of the substrate storage container 1 becomes positive pressure, and conversely, the lid 20 is removed from the container body 10 At times, the inside of the substrate storage container 1 is under negative pressure.
  • the lid 20 is a substantially rectangular shape attached to the front of the opening 11 of the container body 10. Further, one surface of the lid 20 is formed as a first seal surface 22 with which the first packing 30 contacts. That is, the first seal surface 22 is formed to include a surface substantially orthogonal to the closing direction H of the lid 20. Furthermore, an elastic front retainer (not shown) for horizontally holding the front peripheral edge of the substrate W is detachably mounted or integrally formed at the central portion on the first seal surface 22 side of the lid 20.
  • the front retainer is a portion directly in contact with the substrate W, and therefore, a material having good cleaning property and slidability is used.
  • the front retainer can also be provided on the lid 20 by insert molding, fitting, or the like.
  • the 2nd attachment groove 28 which attaches the 2nd packing 40 is formed in lid 20 (also refer to Drawing 4). Specifically, a convex portion 29 smaller than the step portion of the opening 11 is annularly formed on the surface of the lid 20 on the container main body 10 side, so that the second attachment groove 28 has a substantially U-shaped cross section, and is annular. Is formed. When the lid 20 is attached to the container body 10, the convex portion 29 penetrates deeper than the step portion of the opening 11.
  • locking mechanisms 23 for locking the lid 20 to the container main body 10 are provided at four places above and below the lid 20.
  • the locking mechanism 23 has a locking claw 24 which can be retracted into and out of the locking hole 19.
  • the locking claw 24 is inserted into the locking hole 19.
  • the lid 20 is configured to be locked while being pressed against the container body 10 via the first packing 30 and the second packing 40.
  • the locking mechanism 23 is located outside the second mounting groove 28 when viewed from the direction orthogonal to the closing direction H.
  • thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyether imide, polyether sulfone, polyether ether ketone, liquid crystal polymer and the like.
  • thermoplastic resin a conductive agent composed of conductive carbon, conductive fibers, metal fibers, conductive polymers, etc., various antistatic agents, ultraviolet absorbers and the like may be further appropriately added.
  • FIG. 2 is a (a) rear view of the first packing 30, and (b) a sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 3 is a (a) rear view of the second packing 40 and (b) a sectional view taken along the line B-B.
  • the 1st packing 30 and the 2nd packing 40 have a rectangular frame shape corresponding to the shape of opening 11 of lid 20 or container main part 10, as shown in Drawing 2 (a) and Drawing 3 (a).
  • the present invention is not limited to this, and may be, for example, annular.
  • the first packing 30 is positioned at the first body portion 31 fitted in the first mounting groove 18, the first extending piece 32 extended from the first body portion 31, and the tip of the first extending piece 32. , And the first seal portion 33 extending in a curved manner.
  • the first main body portion 31 is formed in a frame shape similar to that of the first mounting groove 18, and has a substantially rectangular shape so that the cross section thereof substantially corresponds to the cross sectional shape of the first mounting groove 18. Further, the first fitting protrusion 311 and the second fitting protrusion 312 are respectively formed in the first main body portion 31 in a tapered manner, and at positions corresponding to the back side of the first attachment groove 18 The second fitting projections 312 are formed side by side at positions corresponding to the opening sides of the first attachment grooves 18.
  • the first extension piece 32 is extended toward the inside of the rectangular frame so as to make a substantially right angle with the first main body portion 31.
  • the first seal portion 33 reliably contacts the first seal surface 22, the first extension piece 32 is at the first main body portion at an angle other than a right angle. It may be extended from 31.
  • the first seal portion 33 is bent and extended so as to be convex toward the lid 20 (see also FIG. 4).
  • the first seal portion 33 preferably has a thickness of about 0.6 mm, but is not particularly limited as long as there is no problem in molding.
  • the second packing 40 is provided at the tip of the second main body 41 fitted in the second mounting groove 28, the second extension piece 42 extending from the second main body 41, and the second extension piece 42. It is formed of a second seal portion 43 which is positioned and bent.
  • the second main body portion 41 is formed in a frame shape similar to that of the second mounting groove 28, and has a substantially rectangular shape so that the cross section thereof substantially corresponds to the cross sectional shape of the second mounting groove 28.
  • the first fitting projection 411 and the second fitting projection 412 are respectively formed in the second main body portion 41 in a tapered manner, and at a position corresponding to the back side of the second attachment groove 28.
  • the second fitting projections 412 are formed side by side at positions corresponding to the opening sides of the second attachment grooves 28.
  • the second extending pieces 42 extend outward in a rectangular frame shape substantially in parallel with the second main body portion 41. However, when the lid 20 is attached to the container main body 10, the second extending piece 42 is not parallel to the second main portion 41 if the second seal portion 43 reliably contacts the second sealing surface 12 It may be extended outside.
  • the second seal portion 43 bends and extends so as to be convex toward the container body 10 (see also FIG. 4).
  • the second seal portion 43 preferably has a thickness of about 0.6 mm, but is not particularly limited as long as there is no problem in molding.
  • the heights of the first seal portion 33 and the second seal portion 43 can be obtained. So that the inner peripheral side of the first main body portion 31 is slightly smaller (approximately 1% to 5%) than the annular peripheral surface on the inner side of the first attachment groove 18, and the second main body The inner peripheral side of the portion 41 is formed to be slightly smaller (about 1 to 5%) than the annular peripheral surface of the bottom of the second mounting groove 28.
  • thermoplastic elastomers composed of polyester-based elastomers, polyolefin-based elastomers, fluorine-based elastomers, urethane-based elastomers, fluororubbers, ethylene-propylene rubbers, silicone-baseds
  • An elastic body such as rubber
  • these materials include fillers such as carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluorocarbon resin, silicone resin, etc. A predetermined amount may be selectively added.
  • the hardness of the first packing 30 and the second packing 40 is preferably 40 degrees to 90 degrees in Shore A hardness, and more preferably 60 degrees to 90 degrees.
  • the first packing 30 and the second packing 40 may be formed of the same material or may be formed of different materials.
  • the sealing performance as the packing P can be improved to about twice.
  • the function of the packing P can be improved by utilizing the characteristics possessed by the respective materials.
  • Table 1 shows an example of the material.
  • the packing P does not transmit water. And sealability can be improved.
  • the second packing 40 is made of an olefin-based or styrene-based elastomer, even if the first packing 30 is made of a polyester-based elastomer, the inside of the substrate storage container 1 is cleaned as the packing P.
  • the degree of deterioration may be a little worse as long as no problems occur, but the sealing performance can be improved without the permeation of water.
  • FIG. 4 is an enlarged sectional view showing (a) a state immediately before closing and (b) a closed state in the vicinity of the opening 11 in the substrate storage container 1 of the embodiment.
  • FIG. 5 is an enlarged sectional view showing (a) a state immediately before closing and (b) a closed state in the vicinity of the opening 11 in the conventional substrate storage container 1.
  • the white arrows indicate the flow of gas when the inside of the substrate storage container 1 is positive pressure
  • the solid arrows indicate the flow of gas when the inside is negative pressure.
  • the lid 20 is attached so as to close the opening 11 of the container main body 10, and in the state of FIG. 4 (b), the first seal portion 33 of the first packing 30
  • the first seal portion 33 is pressed against the first seal surface 22 while being in contact with the first seal surface 22 of the lid 20 and being deformed together with the first extending piece 32.
  • the second seal portion 43 of the second packing 40 contacts the second seal surface 12 of the container main body 10 and deforms together with the second extension piece 42. It is pressed.
  • the 2nd seal part 43 of the 2nd packing 40 is the 1st seal face which the 1st seal part 33 contacts.
  • the first packing 30 and the second packing 40 are arranged so as to overlap each other.
  • the first seal portion 33 of the first packing 30 is further pressed against the first seal surface 22 and closely adhered, so that the gas leaks from the inside. Can be reduced.
  • the second seal portion 43 of the second packing 40 is further pressed against the second seal surface 12 and closely attached, so that dust, moisture, etc. from the outside Intrusion can be reduced.
  • the sealing property of the substrate storage container 1 (the container main body 10 and the lid 20) can be maintained.
  • first seal portion 33 and the second seal portion 43 are respectively displaced along the closing direction H of the lid 20 and come into contact with the first seal surface 22 or the second seal surface 12, the first seal portion 33 And the second seal portion 43 does not move substantially in the direction substantially orthogonal to the closing direction H, and the first packing 30 and the second packing 40 slide on the first sealing surface 22 or the second sealing surface 12 It is possible to reduce the generation of particles due to the phenomenon.
  • the substrate storage container 1 includes the container body 10 for storing the substrate W, the lid 20 for closing the opening 11 of the container body 10, and the lid 20.
  • the substrate storage container 1 includes the locking mechanism 23 locked to the locked portion 19 of the main body 10, and the packing P interposed between the container main body 10 and the lid 20, wherein the packing P is
  • the first packing 30 and the second packing 40 include a first packing 30 attached to the container body 10 and a second packing 40 attached to the lid 20.
  • the first packing 30 and the second packing 40 are perpendicular to the closing direction H of the lid 20. When viewed, it is located more inside the container body 10 than the position of the locked portion 19.
  • the first seal portion 33 closely contacts the first seal surface 22 against the positive pressure inside the substrate storage container 1 to ensure the airtightness of the substrate storage container 1 from the inside. Gas leakage can be reduced.
  • the second seal portion 43 against negative pressure inside the substrate storage container 1, the second seal portion 43 is in close contact with the second seal surface 12 to ensure the airtightness of the substrate storage container 1, and dust and moisture from the outside can be secured. Etc. can be reduced.
  • the packing P is provided with the first packing 30 and the second packing 40, the function of the packing P, for example, the sealability and cleanliness against positive pressure or negative pressure, can be obtained by combining them taking advantage of the respective material characteristics.
  • the adhesion of the packing P to the contact surface, the low permeability of water, and the like can be improved.
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a closed state in the vicinity of the opening in the substrate storage container 1 of the modification 1.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a closed state in the vicinity of the opening in the substrate storage container 1 of the second modification.
  • FIG. 7 is an enlarged sectional view showing a closed state in the vicinity of the opening in the substrate storage container 1 of the third modification.
  • the first extension piece 132 and the first seal portion 133 of the first packing 130 and the second extension piece 142 and the second seal portion 143 of the second packing 140 are the above-described ones. It differs from the first packing 30 and the second packing 40 of the embodiment.
  • the first extension piece 132 is extended toward the inside of the rectangular frame so as to make a substantially right angle with the first main body portion 131, and the first seal portion 133 is substantially perpendicular to the lid 20 ( That is, it is formed at the tip bent in the closing direction H) (see FIG. 5). Further, the second extending piece 142 extends outward substantially in parallel with the second main body portion 141, and the second seal portion 143 is substantially perpendicular to the lid 20 (that is, in the closing direction H). It is formed with a bent tip.
  • the first seal portion 133 and the second seal portion 143 are respectively displaced along the closing direction H of the lid 20 and contact the first seal surface 22 or the second seal surface 12. Therefore, the first seal portion 133 and the second seal portion 143 do not move substantially in the direction substantially orthogonal to the closing direction H. Therefore, generation of particles due to the first packing 130 and the second packing 140 sliding on the first sealing surface 22 or the second sealing surface 12 can be reduced.
  • the first extension piece 232 and the first seal portion 233 of the first packing 230, and the second extension piece 242 and the second seal portion 243 of the second packing 240 differs from the 1st packing 30 and the 2nd packing 40 of the above-mentioned embodiment, and also the 1st seal side 22 and the 2nd seal side 12 are formed in the tip of a projection, respectively.
  • the first extending piece 232 is extended toward the inside of the rectangular frame so as to make a substantially right angle with the first main body portion 231, and the first seal portion contacts the second seal surface 12 at the tip thereof 233 are formed (see FIG. 6).
  • the second extending piece 242 extends outward substantially in parallel with the second main body portion 241, and a second seal portion 143 contacting the first seal surface 22 is formed at the tip thereof. .
  • the first seal portion 233 and the second seal portion 243 are respectively displaced along the closing direction H of the lid 20 and contact the first seal surface 22 or the second seal surface 12 Therefore, the first seal portion 233 and the second seal portion 243 do not move substantially in the direction substantially orthogonal to the closing direction H. Therefore, generation of particles due to the first packing 230 and the second packing 240 sliding on the first sealing surface 22 or the second sealing surface 12 can be reduced.
  • the first packing 530 is attached to the first attachment groove 18 formed in the direction substantially orthogonal to the closing direction H of the lid 20, according to the above embodiment and the embodiment. It is different.
  • the container body 10 of the third modification has a frame-shaped door flange 10A forming the opening 11 as a separate member, and a first attachment groove 18A is formed between the container body 10 and the door flange 10A. .
  • a flange portion 18Fb which is partially recessed is formed on the front side of the container main body 10
  • a flange portion 18Fa is formed on the back side of the door flange 10A.
  • the front side of the flange portion 18Fa of the door flange 10A is formed as a second sealing surface 12A.
  • the container body 10 and the door flange 10A are connected and fixed by a fitting unit, a locking unit, a fixing unit, and the like not shown.
  • the first packing 530 is attached to a first mounting groove 18A formed between the flanges 18Fa and 18Fb, and also acts as a seal between the container body 10 and the door flange 10A.
  • substrate storage container 1 of the modification 3 can arrange
  • the second seal surface 12 and the first seal surface 22 may be subjected to embossing in order to prevent sticking of the first packing 30 and the second packing 40.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本発明は、基板（Ｗ）を収納する容器本体（１０）と、容器本体（１０）の開口（１１）を閉止する蓋体（２０）と、蓋体（２０）に設けられ、容器本体（１０）の被係止部に係止される施錠機構と、容器本体（１０）及び蓋体（２０）との間に介在されるパッキン（Ｐ）と、を備える基板収納容器（１）であって、パッキン（Ｐ）は、容器本体（１０）に取り付けられる第１パッキン（３０）と、蓋体（２０）に取り付けられる第２パッキン（４０）と、を含み、第１パッキン（３０）及び第２パッキン（４０）は、蓋体（２０）の閉止方向（Ｈ）に直交する方向から見たとき、被係止部の位置よりも、容器本体（１０）の内側に位置するものである。これにより、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することができる。

Description

基板収納容器
　本発明は、基板を収納する基板収納容器に関する。
　基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体と蓋体との間に設けられる環状のパッキンと、を備えものであり、基板を気密状態で収納している。
　この種の基板収納容器では、パッキンは、容器本体又は蓋体の少なくとも一方に設けられている。例えば、特許文献１では、基板収納容器の内部が陰圧の場合、言い換えると、外部の圧力が高い場合に、パッキン４０の延出片４２がシール面１２に押し付けられる方向に変形し、シール部４３がシール面１２に接触するため、良好なシール性を奏するようになっており、外部からの塵埃の進入を防止している（図８参照）。
　一方、特許文献２では、パッキンは、容器本体及び蓋体の両方に設けられており、特許文献１の基板収納容器と同様に、外部からの塵埃の進入を防止しているだけでなく、さらに、内部からの気体の流出（漏洩）も防止している（段落００４１，００５１参照）。
特開２００２－０６８３６４号公報 特開２０１０－００３９４８号公報
　しかしながら、特許文献２に記載の２つのパッキンは、蓋体を容器本体に着脱可能に取り付け固定する施錠機構を挟んだ位置に設けられるため、基板収納容器の内部圧力が陰圧になった場合、施錠機構で発生したパーティクルが、一方のパッキンを通過し基板収納容器の内部に移動することがあるため、基板収納容器の内部圧力を一定に維持することが困難になっている。
　そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することを目的とする。
　（１）本発明に係る一つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記蓋体に設けられ、前記容器本体の被係止部に係止される施錠機構と、前記容器本体及び前記蓋体との間に介在されるパッキンと、を備える基板収納容器であって、前記パッキンは、前記容器本体に取り付けられる第１パッキンと、前記蓋体に取り付けられる第２パッキンと、を含み、前記第１パッキン及び前記第２パッキンは、前記蓋体の閉止方向に直交する方向から見たとき、前記被係止部の位置よりも、前記容器本体の内側に位置するものである。
　（２）上記（１）の態様において、前記容器本体は、前記第１パッキンを取り付ける第１取付溝と、前記第２パッキンを接触させる第２シール面と、が形成され、前記蓋体は、前記第２パッキンを取り付ける第２取付溝と、前記第１パッキンを接触させる第１シール面と、が形成され、前記第１シール面及び前記第２シール面は、前記蓋体の閉止方向に直交する面で形成されてもよい。
　（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記第１パッキン及び前記第２パッキンは、前記蓋体の閉止方向から見たとき、互いに重なるように配置されてもよい。
　（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記第１パッキンと前記第２パッキンとは、同じ材料で形成されてもよい。
　（５）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記第１パッキンと前記第２パッキンとは、異なる材料で形成されてもよい。
　本発明によれば、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することができる。
本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解概略斜視図である。 第１パッキンの（ａ）背面図、（ｂ）Ａ－Ａ断面図である。 第２パッキンの（ａ）背面図、（ｂ）Ｂ－Ｂ断面図である。 実施形態の基板収納容器における開口付近の、（ａ）閉止直前の状態、（ｂ）閉止状態、を示す拡大断面図である。 変形例１の基板収納容器における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。 変形例２の基板収納容器における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。 変形例３の基板収納容器における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。 従来の基板収納容器における開口付近の、（ａ）閉止直前の状態、（ｂ）閉止状態、を示す拡大断面図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
　図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。
　図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる（介在される）環状のパッキンＰと、を備えている。なお、パッキンＰについては、後述するように、容器本体１０に取り付けられる第１パッキン３０と、蓋体２０に取り付けられる第２パッキン４０と、を含んでいる。
　容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
　開口１１は、外側に広がるように２段の段差をつけて屈曲形成され、その段差の面が、第２パッキン４０が接触する第２シール面１２として、開口１１の内周縁に環状に形成されている（図４も参照）。つまり、第２シール面１２は、蓋体２０の閉止方向Ｈに略直交する面を含んで形成されている。また、第２シール面１２の更に内側には、第１パッキン３０を取り付ける第１取付溝１８が断面略Ｕ字状で、環状に形成されている。
　また、開口１１の内周縁の上下の４か所には、蓋体２０の施錠機構２３が係止される被係止部１９が形成されている。この被係止部１９は、係止穴（以後「係止穴１９」という。）であり、閉止方向Ｈに直交する方向から見たとき、第１取付溝１８よりも容器本体１０の外側に位置している。
　容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同じものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
　また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
　基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。
　容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４が把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
　また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
　そして、容器本体１０の底面には、例えば、チェックバルブ機能を有する給気部１６と排気部１７とが設けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、気密状態を維持したりする。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らない。また、給気部１６及び排気部１７は、気体を濾過するフィルタを有している。
　内部の気体の置換は、収納した基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたり、内部の湿度を低くしたりするなどの目的で行われ、搬送中の基板収納容器１の内部の清浄性を保つように行われる。そして、気体の置換は、排気部１７側においてガスを検知することで、確実に行われているか確認することができる。また、内部の気体を置換する時や、蓋体２０を容器本体１０に取り付けて、閉止する時に、基板収納容器１の内部は陽圧になり、逆に、蓋体２０を容器本体１０から取り外す時に、基板収納容器１の内部は陰圧となる。
　一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。また、蓋体２０の一方の面は、第１パッキン３０が接触する第１シール面２２として形成れている。つまり、この第１シール面２２は、蓋体２０の閉止方向Ｈに略直交する面を含んで形成されている。さらに、蓋体２０の第１シール面２２側の中央部には、基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。
　このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、基板Ｗが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
　そして、蓋体２０には、第２パッキン４０を取り付ける第２取付溝２８が形成されている（図４も参照）。具体的には、蓋体２０の容器本体１０側の面に、開口１１の段差部より小さい凸部２９が環状に形成されることで、第２取付溝２８が断面略Ｕ字状で、環状に形成されている。この凸部２９は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。
　また、蓋体２０の上下の４か所には、蓋体２０を容器本体１０に係止する施錠機構２３が設けられている。この施錠機構２３は、係止穴１９に対して出没自在な係止爪２４を有しており、蓋体２０を容器本体１０に対して施錠する時に、係止爪２４が係止穴１９に係止されることで、蓋体２０は第１パッキン３０及び第２パッキン４０を介して容器本体１０に押し付けられた状態のまま施錠されるように構成されている。なお、この施錠機構２３は、閉止方向Ｈに直交する方向から見たとき、第２取付溝２８よりも外側に位置している。
　これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
　つぎに、第１パッキン３０及び第２パッキン４０について、説明する。図２は、第１パッキン３０の（ａ）背面図、（ｂ）Ａ－Ａ断面図である。図３は、第２パッキン４０の（ａ）背面図、（ｂ）Ｂ－Ｂ断面図である。
　第１パッキン３０及び第２パッキン４０は、図２（ａ）及び図３（ａ）に示すように、蓋体２０又は容器本体１０の開口１１の形状に対応した矩形枠状を有しているが、これに限定されず、例えば、円環状であってもよい。
　第１パッキン３０は、第１取付溝１８に嵌められる第１本体部３１と、第１本体部３１から延出された第１延出片３２と、第１延出片３２の先端に位置し、曲がりながら延びた第１シール部３３と、で形成されている。
　第１本体部３１は、第１取付溝１８と同様の枠形に形成され、その断面が第１取付溝１８の断面形状に略対応するよう略矩形とされている。また、第１本体部３１には、第１の嵌合突起３１１及び第２の嵌合突起３１２が、それぞれ先細りに形成されているとともに、第１取付溝１８の奥側に対応する位置に第１の嵌合突起３１１が、第１取付溝１８の開口側に対応する位置に第２の嵌合突起３１２が並べて形成されている。
　第１延出片３２は、第１本体部３１と略直角をなすように矩形枠状の内側に向かって延出されている。ただし、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、第１シール部３３が第１シール面２２に確実に接触すれば、第１延出片３２は、直角以外の角度で第１本体部３１から延出されてもよい。
　第１シール部３３は、蓋体２０に向かって凸になるように曲がりながら延びている（図４も参照）。この第１シール部３３は、０．６ｍｍ程度の厚みが好ましいが、成形上の問題がなければ特に限定されない。
　一方、第２パッキン４０は、第２取付溝２８に嵌められる第２本体部４１と、第２本体部４１から延出された第２延出片４２と、第２延出片４２の先端に位置し、曲がりながら延びた第２シール部４３と、で形成されている。
　第２本体部４１は、第２取付溝２８と同様の枠形に形成され、その断面が第２取付溝２８の断面形状に略対応するよう略矩形とされている。また、第２本体部４１には、第１の嵌合突起４１１及び第２の嵌合突起４１２が、それぞれ先細りに形成されているとともに、第２取付溝２８の奥側に対応する位置に第１の嵌合突起４１１が、第２取付溝２８の開口側に対応する位置に第２の嵌合突起４１２が並べて形成されている。
　第２延出片４２は、第２本体部４１と略平行に矩形枠状の外側に向かって延出されている。ただし、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、第２シール部４３が第２シール面１２に確実に接触すれば、第２延出片４２は、第２本体部４１と平行でない状態で外延出されてもよい。
　第２シール部４３は、容器本体１０に向かって凸になるように曲がりながら延びている（図４も参照）。この第２シール部４３は、０．６ｍｍ程度の厚みが好ましいが、成形上の問題がなければ特に限定されない。
　ところで、第１パッキン３０及び第２パッキン４０は、第１取付溝１８及び第２取付溝２８に嵌め込んで取り付けた際に緩みがあると、第１シール部３３及び第２シール部４３の高さにバラツキを生じるため、第１本体部３１の内周側は、第１取付溝１８の内側の環状周面よりも若干（１％から５％程度）小さくなるように、また、第２本体部４１の内周側は、第２取付溝２８の底の環状周面よりも若干（１％から５％程度）小さくなるように、それぞれ形成されている。
　第１パッキン３０及び第２パッキン４０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。なお、第１パッキン３０及び第２パッキン４０の硬度は、ショアＡ硬度で４０度から９０度が好ましく、６０度から９０度がより好ましい。
　また、第１パッキン３０と第２パッキン４０とは、同じ材料で形成されていてもよいし、異なる材料で形成されていてもよい。同じ材料で形成された第１パッキン３０及び第２パッキン４０を用いると、パッキンＰとしてのシール性を２倍程度に向上させることができる。一方、異なる材料で形成された第１パッキン３０及び第２パッキン４０を用いると、それぞれの材料が持っている特性を活かして、パッキンＰとしての機能を向上させることができる。
　表１に材料の例を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　例えば、第２パッキン４０にフッ素ゴム製のものを用いる場合、第１パッキン３０に水分透過性が良好でないポリエステル系エラストマー製のものを用いても、パッキンＰとしては、水分を透過させることがなく、シール性を向上させることができる。
　また、第２パッキン４０にオレフィン系又はスチレン系のエラストマー製のものを用いる場合、第１パッキン３０にポリエステル系エラストマー製のものを用いても、パッキンＰとしては、基板収納容器１の内部の清浄度について問題が起きない範囲で多少悪化することもあるが、水分を透過させることがなく、シール性を向上させることができる。
　最後に、本発明に係る実施形態の基板収納容器１の効果について説明する。
　図４は、実施形態の基板収納容器１における開口１１付近の、（ａ）閉止直前の状態、（ｂ）閉止状態、を示す拡大断面図である。図５は、従来の基板収納容器１における開口１１付近の、（ａ）閉止直前の状態、（ｂ）閉止状態、を示す拡大断面図である。なお、白抜き矢印は、基板収納容器１の内部が陽圧であるときの気体の流れを示し、実線矢印は、内部が陰圧であるときの気体の流れを示している。
　図４（ａ）に示すように、蓋体２０を、容器本体１０の開口１１を閉止するように取り付け、図４（ｂ）の状態になると、第１パッキン３０の第１シール部３３は、蓋体２０の第１シール面２２に接触し、第１延出片３２とともに変形しながら、第１シール部３３が第１シール面２２に押し付けられる。一方、第２パッキン４０の第２シール部４３は、容器本体１０の第２シール面１２に接触し、第２延出片４２とともに変形しながら、第２シール部４３が第２シール面１２に押し付けられる。
　このように、第１パッキン３０の第１シール部３３は、第１シール面２２に接触するとともに、第２パッキン４０の第２シール部４３は、第１シール部３３が接触する第１シール面２２よりも外側で第２シール面１２に接触する。このとき、第１パッキン３０及び第２パッキン４０は、蓋体２０の閉止方向Ｈから見たとき、互いに重なるように配置されている。
　このため、基板収納容器１の内部が陽圧になると、第１パッキン３０の第１シール部３３は、第１シール面２２に更に押し付けられ、密着することになるから、内部からの気体の漏れを低減させることができる。
　一方、基板収納容器１の内部が陰圧になると、第２パッキン４０の第２シール部４３は、第２シール面１２に更に押し付けられ、密着することになるから、外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させることができる。
　つまり、基板収納容器１の内部が陽圧又は陰圧になったとしても、基板収納容器１（容器本体１０と蓋体２０との）のシール性を維持することができる。
　さらに、第１シール部３３及び第２シール部４３は、蓋体２０の閉止方向Ｈに沿ってそれぞれ変位し、第１シール面２２又は第２シール面１２に接触するため、第１シール部３３及び第２シール部４３が、閉止方向Ｈと略直交する方向にはほぼ移動することがなく、第１パッキン３０及び第２パッキン４０が第１シール面２２又は第２シール面１２を摺動することによる、パーティクルの発生を低減させることができる。
　以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、蓋体２０に設けられ、容器本体１０の被係止部１９に係止される施錠機構２３と、容器本体１０及び蓋体２０との間に介在されるパッキンＰと、を備える基板収納容器１であって、パッキンＰは、容器本体１０に取り付けられる第１パッキン３０と、蓋体２０に取り付けられる第２パッキン４０と、を含み、第１パッキン３０及び第２パッキン４０は、蓋体２０の閉止方向Ｈに直交する方向から見たとき、被係止部１９の位置よりも、容器本体１０の内側に位置するものである。
　実施形態によれば、基板収納容器１の内部の陽圧に対しては、第１シール部３３が第１シール面２２により密着することで、基板収納容器１の気密性を確保し、内部からの気体の漏れを低減させることができる。一方、基板収納容器１の内部の陰圧に対しては、第２シール部４３が第２シール面１２により密着することで、基板収納容器１の気密性を確保し、外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させることができる。
　また、基板収納容器１の内部圧力が陰圧になった場合でも、施錠機構２３で発生したパーティクルは、第２パッキン４０で通過が阻止されるため、基板収納容器１の内部の清浄性を維持することができる。
　また、パッキンＰが第１パッキン３０及び第２パッキン４０を備えているため、それぞれの材料特性を生かして組合せることで、パッキンＰの機能、例えば、陽圧又は陰圧に対するシール性や清浄度、パッキンＰの接触面への貼り付き性、水分の低透過性などを向上させることができる。
　以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
　（変形例）
　ここで、各種の変形例１から３について説明する、図５は、変形例１の基板収納容器１における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。図６は、変形例２の基板収納容器１における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。図７は、変形例３の基板収納容器１における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。
　変形例１の基板収納容器１は、第１パッキン１３０の第１延出片１３２及び第１シール部１３３と、第２パッキン１４０の第２延出片１４２及び第２シール部１４３とが、上記実施形態の第１パッキン３０及び第２パッキン４０に対して異なっている。
　第１延出片１３２は、第１本体部１３１と略直角をなすように矩形枠状の内側に向かって延出されており、第１シール部１３３は、蓋体２０に向かって略直角（すなわち閉止方向Ｈ）に曲がった先端に形成されている（図５参照）。また、第２延出片１４２は、第２本体部１４１と略平行に外側に向かって延出されており、第２シール部１４３は、蓋体２０に向かって略直角（すなわち閉止方向Ｈ）に曲がった先端に形成されている。
　変形例１の基板収納容器１では、第１シール部１３３及び第２シール部１４３は、蓋体２０の閉止方向Ｈに沿ってそれぞれ変位し、第１シール面２２又は第２シール面１２に接触するため、第１シール部１３３及び第２シール部１４３が、閉止方向Ｈと略直交する方向にはほぼ移動することがない。そのため、第１パッキン１３０及び第２パッキン１４０が第１シール面２２又は第２シール面１２を摺動することによる、パーティクルの発生を低減させることができる。
　つぎに、変形例２の基板収納容器１は、第１パッキン２３０の第１延出片２３２及び第１シール部２３３と、第２パッキン２４０の第２延出片２４２及び第２シール部２４３とが、上記実施形態の第１パッキン３０及び第２パッキン４０に対して異なっており、さらに、第１シール面２２及び第２シール面１２が、それぞれ突部の先端に形成されている。
　第１延出片２３２は、第１本体部２３１と略直角をなすように矩形枠状の内側に向かって延出されており、その先端に、第２シール面１２に接触する第１シール部２３３が形成されている（図６参照）。また、第２延出片２４２は、第２本体部２４１と略平行に外側に向かって延出されており、その先端に第１シール面２２に接触する第２シール部１４３が形成されている。
　変形例２の基板収納容器１でも、第１シール部２３３及び第２シール部２４３は、蓋体２０の閉止方向Ｈに沿ってそれぞれ変位し、第１シール面２２又は第２シール面１２に接触するため、第１シール部２３３及び第２シール部２４３が、閉止方向Ｈと略直交する方向にはほぼ移動することがない。そのため、第１パッキン２３０及び第２パッキン２４０が第１シール面２２又は第２シール面１２を摺動することによる、パーティクルの発生を低減させることができる。
　最後に、変形例３の基板収納容器１は、第１パッキン５３０が、蓋体２０の閉止方向Ｈと略直交する方向に形成された第１取付溝１８に取り付けられる点で、上記実施形態と異なっている。
　変形例３の容器本体１０は、開口１１を形成する枠状のドアフランジ１０Ａを別部材として有しており、容器本体１０とドアフランジ１０Ａとの間に第１取付溝１８Ａが形成されている。具体的には、容器本体１０の正面側には、一部が窪んだフランジ部１８Ｆｂが形成されており、また、ドアフランジ１０Ａの奥側には、フランジ部１８Ｆａが形成されている。ドアフランジ１０Ａのフランジ部１８Ｆａの正面側は、第２シール面１２Ａとして形成されている。なお、容器本体１０とドアフランジ１０Ａは、図示しない嵌合手段、係止手段、固定手段などにより連結されて固定されている。
　第１パッキン５３０は、フランジ部１８Ｆａ，１８Ｆｂ同士の間に形成された第１取付溝１８Ａに取り付けられており、容器本体１０とドアフランジ１０Ａとの間のシールとしても作用する。
　変形例３の基板収納容器１は、上記実施形態と比較すると、２つのパッキンＰを、閉止方向Ｈに狭い領域に配置することができる。
　また、上記実施形態などにおいて、第２シール面１２及び第１シール面２２に、第１パッキン３０及び第２パッキン４０の貼り付きを防止するために、シボ加工を施してもよい。
１　　　基板収納容器
１０　　容器本体
　１１　開口、１２　第２シール面、１３　支持体、１４　ロボティックフランジ、１５　マニュアルハンドル、１６　給気部、１７　排気部、１８　第１取付溝、１９　係止穴（被係止部）
２０　　　蓋体、２２　第１シール面、２３　施錠機構、２４　係止爪、２８　第２取付溝、２９　凸部
Ｐ　　　パッキン、
　３０，１３０，２３０，３０Ａ　第１パッキン、３１，１３１，２３１，５３１　第１本体部、３２，１３２，２３２，５３２　第１延出片、３３，１３３，２３３，５３３　第１シール部、３１１　第１の嵌合突起、３１２　第２の嵌合突起
　４０，１４０，２４０　第２パッキン、４１，１４１，２４１，５４１　第２本体部、４２，１４２，２４２，５４２　第２延出片、４３，１４３，２４３，５４３　第２シール部、４１１　第１の嵌合突起、４１２　第２の嵌合突起
Ｗ　　　基板
Ｈ　　　閉止方向

Claims (5)

  1. 　基板を収納する容器本体と、
    　前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    　前記蓋体に設けられ、前記容器本体の被係止部に係止される施錠機構と、
    　前記容器本体及び前記蓋体との間に介在されるパッキンと、
    を備える基板収納容器であって、
    　前記パッキンは、前記容器本体に取り付けられる第１パッキンと、前記蓋体に取り付けられる第２パッキンと、を含み、
    　前記第１パッキン及び前記第２パッキンは、前記蓋体の閉止方向に直交する方向から見たとき、前記被係止部の位置よりも、前記容器本体の内側に位置する
    　ことを特徴とする基板収納容器。
  2. 　前記容器本体は、前記第１パッキンを取り付ける第１取付溝と、前記第２パッキンを接触させる第２シール面と、が形成され、
    　前記蓋体は、前記第２パッキンを取り付ける第２取付溝と、前記第１パッキンを接触させる第１シール面と、が形成され、
    　前記第１シール面及び前記第２シール面は、前記蓋体の閉止方向に直交する面で形成されている
    　ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記第１パッキン及び前記第２パッキンは、前記蓋体の閉止方向から見たとき、互いに重なるように配置されている
    　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記第１パッキンと前記第２パッキンとは、同じ材料で形成されている
    　ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
  5. 　前記第１パッキンと前記第２パッキンとは、異なる材料で形成されている
    　ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
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