WO2018216767A1 - 気流発生装置及びその製造方法 - Google Patents

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dielectric substrate
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dielectric
vinylsilyl
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延由 渡辺
英昭 佐藤
豊 渡邊
顕一 山崎
雅弘 浅山
田中　元史
安井　祐之
俊樹 大迫
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株式会社朝日ラバー
東芝エネルギーシステムズ株式会社
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    • H01T19/00—Devices providing for corona discharge

Definitions

  • the present invention relates to an airflow generator that generates airflow by the action of discharge plasma, and a manufacturing method thereof, which are used for wind power blades that rotate by receiving wind, vehicles that move at high speed, and the like.
  • an airflow generator is used.
  • an airflow generator is also used for these vehicles and buildings.
  • Such air flow control by the discharge plasma is called an ion wind due to the action of the discharge plasma generated by applying a high voltage between electrodes facing each other with an insulator sandwiched between objects such as blades and vehicles.
  • a thin jet of air current is induced, and the air current acts on the boundary layer part of the flow, accelerating the flow of the boundary layer part and giving a disturbance to suppress separation, thereby reducing the flow around the object. It is to make it smooth.
  • Patent Document 1 provides a dielectric base material having a main surface, a first electrode disposed on the main surface, and a first electrode in the first direction along the main surface.
  • a second electrode disposed in the dielectric substrate and at least one position in the dielectric substrate between the first electrode and the second electrode in the first direction and deeper than the second electrode.
  • An airflow generation device is disclosed that includes a third electrode in which a portion is disposed, and a power source that applies a voltage for discharging to the first electrode, the second electrode, and the third electrode.
  • dielectric substrate As such a dielectric substrate, conventionally, inorganic insulators such as alumina, glass, mica, and ceramics, and organic insulators such as polyimide, glass epoxy material, and rubber have been used. Conventionally, these dielectric base materials and electrodes have been joined by vulcanization adhesion or adhesion with an adhesive.
  • inorganic insulators such as alumina, glass, mica, and ceramics
  • organic insulators such as polyimide, glass epoxy material, and rubber
  • An airflow generator using a hard, non-extensible material, such as an inorganic insulator, as a dielectric, is attached to a blade of a wind turbine of wind power generation. ⁇ It cannot follow the dent resulting from the collision with birds and insects, causing disconnection or damage.
  • Airflow generators using resins such as polyimide and glass epoxy materials as dielectrics are inferior in electric resistance and weather resistance, and gradually deteriorate and decay due to repeated discharge plasma or wind and rain or temperature fluctuations. The object cannot be used for a long time.
  • An airflow generator using a general synthetic rubber as a dielectric has relatively good followability to an object to be bent such as a blade.
  • the synthetic rubber shrinks due to the difference in thermal expansion coefficient between each other and undulates in the thickness direction, and adheres to the electrode while becoming a non-uniform uneven surface. Smooth electrodes cannot be obtained, and the accuracy of the interelectrode distance and the dielectric thickness is lowered.
  • plasma discharge preferentially occurs at a portion where the distance between the electrodes is short or a portion where the dielectric is thin, and the uniformity in the longitudinal direction of the plasma is impaired.
  • the uniformity of the air flow generated by the plasma is also lost, the effect of controlling the flow around the blade by the air flow is also lost, and the use efficiency of the wind is reduced, or the noise is increased due to the unevenness of the plasma air flow.
  • the adhesive is chemically deteriorated and easily peeled off because it is exposed to wind and rain on the blade of a windmill, vehicle, and building where centrifugal force continues to be applied.
  • the reliability and stability of the discharge plasma airflow control at the electrode cannot be ensured.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and is a plasma discharge between electrodes sandwiching a dielectric base material by firmly joining the dielectric base material and the electrode by chemical crosslinking with a chemical bond.
  • Airflow can be generated efficiently and uniformly with excellent flexibility, heat resistance, weather resistance, and light resistance, and it will not peel off or break even under harsh conditions such as outdoor wind and rain, sunlight, or temperature changes.
  • An object of the present invention is to provide an airflow generation device and a method for manufacturing the same.
  • An airflow generation device of the present invention made to achieve the above object includes a dielectric base material made of a rubber elastic material, and a plurality of electrodes provided on the dielectric base material.
  • An airflow generating device that generates an airflow by converting a part of the gas in the vicinity of the dielectric base material into a plasma by an applied voltage, wherein a bonding site between the electrode and the dielectric base material is an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group In other words, they are chemically cross-linked and bonded by a chemical bond via a group.
  • the air flow generation device includes a first dielectric substrate made of the rubber elastic material, and a first electrode provided on or near the first surface of the first dielectric substrate.
  • a second electrode made of a second electrode provided on a second surface, which is a surface different from the first surface, and a rubber elastic material provided so as to cover the second electrode.
  • An airflow generation device for generating the first electrode and the second electrode and the second dielectric base material, and the second electrode and the second dielectric base material.
  • the bonding site is chemically cross-linked by a chemical bond via the unsaturated group or the vinylsilyl-containing silyl group
  • the bonding site between the first dielectric substrate and the second dielectric substrate is bonded to the surface of the substrate and / or chemistry via an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group existing on the surface. It is bonded by chemically cross-linking with bonds.
  • the first dielectric base material and the second dielectric base material of the airflow generation device are the rubber elastic material in which the rubber component-containing composition is crosslinked in a three-dimensional network shape, respectively.
  • the three-dimensionally crosslinked silicone rubber or the three-dimensionally crosslinked ethylene / propylene / diene rubber formed into a sheet having elasticity is preferable.
  • the rubber elastic material has an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group, so that the bonding portion between the second electrode and the first dielectric substrate, and the The bonding portion between the second electrode and the second dielectric base material may be bonded by chemically crosslinking with a chemical bond.
  • the chemical bond is preferably a covalent bond via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group.
  • the unsaturated group or the vinylsilyl-containing silyl group is present in the molecule and / or on the surface of the rubber elastic material.
  • the first electrode or the second electrode, the first dielectric base material, the first dielectric base material, and the second dielectric base material are on the surface.
  • the existing unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group may be bonded by being chemically crosslinked by the chemical bond by supporting a platinum catalyst or a rhodium catalyst.
  • the air flow generation device includes a joint portion between the first electrode, the second electrode, and the first dielectric base material, and the first electrode, the second electrode, and the first electrode.
  • the unsaturated group or the vinylsilyl-containing silyl group is covalently bonded to a dehydrogenation residue of a hydroxyl group on at least one surface of the dielectric substrate, and the first dielectric substrate and the second dielectric.
  • the hydroxyl group dehydrogenation residue on the surface of the first dielectric substrate or bonded to the surface thereof and / or the unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group present on the surface is covalently bonded at the bonding site with the body substrate It is what you are doing.
  • At least any one of the first electrode, the second electrode, and the first dielectric substrate has a corona discharge treatment surface, a plasma treatment surface, an ultraviolet treatment surface, and / or Or it may be an excimer-treated surface.
  • the first electrode is protected by a coating film or a film film.
  • This airflow generation device is preferably such that the coating film or the film film is a film formed of a conductive rubber material.
  • the second electrode is composed of a metal film or a metal plate, and a conductive rubber layer or a conductive resin layer that is in contact with the second electrode and extends further to the first electrode side. It may be.
  • the second electrode may be composed of a conductive rubber layer or a conductive resin layer extending to the first electrode side.
  • This airflow generation device is, for example, attached to an object moving relatively in the air on the second surface side of the second dielectric substrate.
  • the manufacturing method of the airflow generation device of the present invention made to achieve the above object comprises a dielectric base material made of a rubber elastic material, and a plurality of electrodes provided on the dielectric base material, The junction part of the electrode and the dielectric substrate is joined by chemically cross-linking with a chemical bond via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group, and the dielectric group by the voltage applied to the electrode
  • the method for manufacturing the airflow generation device includes a first dielectric base material made of the rubber elastic material, and a first surface provided near or in the vicinity of the first surface of the first dielectric base material.
  • the second electrode provided on the second surface which is a surface different from the first surface, and the rubber elastic material provided so as to cover the second electrode.
  • a second dielectric substrate, and a voltage is applied between the first electrode and the second electrode to plasma a part of the gas in the vicinity of the first surface of the first dielectric.
  • a method of manufacturing the air flow generation device that generates an air flow by converting the first electrode and the second electrode to the bonding surface side with the first dielectric substrate.
  • the material and the first dielectric substrate and the second dielectric substrate have a step of bonding by chemical bonding with an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group at the bonding site of the second dielectric substrate.
  • the first and second electrodes have unsaturated groups or vinylsilyl-containing silyl groups on different surfaces of the first dielectric substrate made of an insulating rubber elastic dielectric substrate. It is firmly and evenly joined by a homogeneous covalent bond.
  • This air flow generation device is a molecular adhesion which is a compound containing a vinylsilyl-containing silyl group and a first dielectric base material, which has been previously polymerized or vulcanized and cured, and the first and second electrodes. Since it is bonded by a covalent bond with an agent, there is no need to consider different thermal expansion and steric contraction based on the difference in material between the first dielectric substrate and the first and second electrodes. Precise dimensional accuracy can be exhibited even at a short length of ⁇ 100 mm or as long as 10 cm ⁇ 100 m.
  • this air flow generation device is configured such that the second electrode, the first dielectric base material, and the second dielectric base material are bonded by molecular bonding with a homogeneous chemical bond via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group. Since it is chemically cross-linked, it is firmly bonded.
  • this airflow generation device uses the sheet-like first dielectric base material, and joins the first and second electrodes with the first dielectric base material and the second dielectric base material. Since the first dielectric substrate and the second dielectric substrate only need to use a molecular adhesion technique for surface treatment and do not require high pressure / high temperature, a uniform thickness is maintained, Bonding can be performed without causing swell due to the difference in shrinkage rate, and the thickness accuracy is extremely strictly improved.
  • plasma discharge can be generated uniformly and evenly between the electrodes sandwiching the dielectric base material, and airflow can be generated efficiently and uniformly.
  • the control effect of the flow around the object to which the airflow generation device is attached can be maximized.
  • separation of wind power generation blades can be suppressed to increase the use efficiency of the wind, or frictional noise generated when the blades rotate to cut off the atmosphere can be reduced.
  • smooth the flow of wind received by moving vehicles such as trains, vehicles, and elevators, and smooth the flow of wind received by household appliances, decompression / pressurization air pumps, decompression compressor fins and fans. Can be quiet.
  • the electrode, the first dielectric substrate, and the first dielectric substrate and the second dielectric substrate are bonded by a homogeneous covalent bond via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group. It is a much stronger bond than the bonding due to the intermolecular force of the adhesive.
  • the electrode and the first dielectric base material are chemically strongly cross-linked and joined by a chemical bond via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group. ⁇ It has excellent light resistance and water resistance, shows high mechanical strength, does not peel off even under severe conditions such as outdoor wind and rain, sunlight and temperature changes, and is a dent caused by collision with moths, moths, birds, insects Can be tracked without disconnection or damage.
  • the second dielectric substrate is a cured product of a rubber component-containing composition such as liquid, plastic or millable, voids are generated between the electrode and the electrode during the curing.
  • the plasma discharge efficiency is extremely high.
  • This airflow generator satisfies the function as an airflow control electrode.
  • the electrode is bonded to the first dielectric substrate or the second dielectric substrate by chemically cross-linking with a homogeneous chemical bond via an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group, Combined with the fact that the first dielectric base material and the second dielectric base material do not generate voids between the electrodes, they can be formed into a uniform sheet, and even if they are rolled into a single roll, they do not peel off. It is an airflow control electrode that makes it easy to store, transport and install the product until it is attached to the object.
  • this airflow generator can prevent the generation of dents and electrode breakage caused by collisions with moths, moths, birds and insects. This can be further prevented.
  • the coating film or the film film is a film formed of a conductive rubber material, the disconnection of the electrode can be compensated for by the conductive rubber material even if the electrode is disconnected.
  • the second electrode when the second electrode is composed of a metal film or a metal plate and a conductive rubber layer or a conductive resin layer extending in contact with the metal film or metal plate and closer to the first electrode,
  • the conductive rubber layer is extended to the vicinity of the electrode 1, the flexibility is improved, so even if the airflow generator is bent or bent, the electrode does not peel off and can follow the bending and bending. Wide range of use for flexible applications.
  • an airflow generation device of the present invention it is generally 0 to 250 ° C., preferably room temperature to a relatively low heating temperature of about 50 to 200 ° C., and does not require high pressure or pressing, and is simple and short.
  • Chemical bonding of the electrode to the first dielectric substrate or the second dielectric substrate, and the first dielectric substrate and the second dielectric substrate via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group Can be cross-linked and bonded chemically, so that production efficiency is good.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view in which one aspect of a long shape is cut out.
  • a conductive material foil or a conductive material plate such as metal or conductive
  • a first electrode 16 having a uniform thickness and a second electrode 14 having a uniform thickness made of resin or a resin containing a metal mesh are respectively a first surface 15 up which is the front surface side and a first surface which is the back surface side.
  • a first dielectric substrate 15 is a first dielectric substrate uniformly thick in each assigned the insulating properties and the second surface 15 down, the second electrode 14 at its second surface 15 down It has the 2nd dielectric base material 13 which is an insulating rubber elastic coating base material which covers the 1st dielectric base material 15 together.
  • a first electrode 16 is attached to a part of the first surface 15 up of the first dielectric substrate 15 via a chemical bond, and a second electrode 14 is attached to a part of the second surface 15 down. It is attached via a chemical bond.
  • the first dielectric substrate 15 is a rubber sheet formed in advance.
  • the first electrode 16 and the second electrode 14 are directly above the inner end surface (the left end surface in the figure) of the second electrode 14 along the longitudinal direction (the front-rear direction in the drawing) (in the thickness direction in the figure). It is arranged so that the inner end face (the right end face in the figure) of the first electrode 16 that also extends along the longitudinal direction comes in the upward direction.
  • the extended surfaces of the joint surfaces of the first electrode 16 and the second electrode 14 and the first dielectric substrate 15 are parallel to each other. As a result, the first electrode 16 and the second electrode 14 are in parallel steps.
  • the first electrode 16 and the second electrode 14 are conductive material foils having a uniform thickness T 1 and T 3 of 1 ⁇ m or more and less than 1000 ⁇ m, respectively, 1 to 10 mm, preferably 0.1 to It is a conductive material plate of 5 mm, for example 1 mm.
  • the first electrode 16 and the second electrode 14 have equal widths W 1 and W 2.
  • the width is 1 mm to 10 cm, for example, 3 to 6 mm
  • the length L in each longitudinal direction is 10 mm to 100 m, for example, 10 cm to 30 m, preferably 1 to 10 m.
  • Both electrodes 14 and 16 may have the same or different widths W 1 and W 2 and different thicknesses T 1 and T 3, but the lengths L are substantially the same. Is preferred. If the lengths are different, the plasma discharge becomes inhomogeneous between the middle and the end, and the generation of the air current becomes uneven in the longitudinal direction.
  • the first dielectric substrate 15, the second thickness T 2 is equal.
  • the second thickness T 2 of, for example, 0.05 ⁇ 10 mm, preferably 0.1 ⁇ 2.0 mm, more preferably 0.5 ⁇ 1.5 mm.
  • a second electrode 14 is attached to a part of the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 via a chemical bond.
  • the second dielectric substrate 15 covers the second electrode 14 together with the first dielectric substrate 15 on the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15.
  • the second dielectric substrate 13 is a cured product obtained by subsequently curing the rubber component-containing composition so as to cover the second dielectric substrate 13 together with the first dielectric substrate 15.
  • the second dielectric substrate 13 is cured by post-curing the rubber component-containing composition on the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 so as to cover the second electrode 14. Since it is a product, there is no void between the corners and edges of the second electrode 14 and the first dielectric substrate 15 which is a cured product during curing.
  • the second electrode 14 and the second dielectric substrate 13 and the first dielectric substrate 15 have a thickness T total of, for example, 0.1 to 30 mm, preferably 1 to 3 mm, more specifically 2 mm.
  • connection wire 12a that is metal-bonded extends from the vicinity of one end of the first electrode 16, and the connection wire 12b that is metal-bonded extends from the vicinity of one end of the second electrode 14.
  • the connection wires 12a and 12b are connected to a power supply unit 11 including a power supply circuit and a power supply control circuit.
  • the airflow generation device 1 is used, for example, by being attached to an object moving relatively in the air on the second surface side of the second dielectric substrate.
  • Wind power generator blades that rotate by receiving wind, objects that move at high speed, such as passenger cars, freight cars, and racing cars; railway vehicles such as trains, bullet trains, and linear motor cars
  • Aircrafts and air transports such as jet airplanes, propeller airplanes, helicopters and drones; rockets; pressure regulators such as decompression pumps, vacuum pumps and air compressors; fins and fans of air flow controllers; elevators such as elevators Is mentioned.
  • objects such as bridges, steel towers, and buildings are examples of objects to which the air moves without being moved by itself.
  • the material of the first electrode 16 and the second electrode 14 is not limited as long as it is a conductive material. Examples thereof include those made of metal, conductive resin, conductive rubber, conductive elastomer, and those made of conductive substance-containing resin and conductive resin.
  • the metal is made of a normal metal, a functional metal, an amorofas metal, a fiber reinforced metal block, a shape memory alloy, a superelastic alloy, or the like in terms of metal classification.
  • the material is exemplified by a conductive material foil such as a metal foil or a conductive material plate such as a metal plate, but on the metal shape classification, a plate, sheet, film, square bar, round bar, sphere, hemisphere, fiber , Nets, mesh wire cloths, and complex circuit shapes, stamped and cut molded products thereof.
  • the second electrode may be composed of a metal film or a metal plate and a conductive rubber layer or a conductive resin layer that is in contact with the second electrode and extends further to the first electrode side than the first electrode. It may be composed of a conductive rubber layer or a conductive resin layer extending to the electrode side.
  • the material of the first electrode 16 and the second electrode 14 may be a conductive flexible rubber or a conductive hard resin other than a metal, for example, a resin or rubber containing or dispersing a conductive substance. More specifically, it is a natural resin or a synthetic resin, and more specifically, a synthetic resin containing and / or dispersing conductive inorganic powder or conductive fiber, a synthetic resin containing and / or dispersing conductive organic matter, a conductive polymer (electrical Conductive polymer compound).
  • the synthetic resin containing conductive inorganic powder or conductive fiber as filler which is conductive inorganic powder or conductive fiber, silicon; carbon, carbon black, graphite, carbon fiber; first electrode 16 and second electrode 14 metals mentioned above, preferably gold, silver, copper, titanium, nickel, tin, aluminum, stainless steel, zinc, bismuth, cadmium, indium, lead, or palladium metal powder or metal fiber; Alloys containing two or more kinds of metals, such as alloy powders or alloy fibers such as Sn—Pb, Sn—Cu, Sn—Zn, Sn—Al, Sn—Ag, Pd—Ag; conductive whiskers; metals of these metals Mesh.
  • alloy powders or alloy fibers such as Sn—Pb, Sn—Cu, Sn—Zn, Sn—Al, Sn—Ag, Pd—Ag
  • conductive whiskers metals of these metals Mesh.
  • examples of the conductive organic compound include an ionic conductive agent, for example, an organic compound containing a quaternary ammonium group and / or a sulfonic acid group.
  • a conductive organic substance-containing synthetic resin is obtained by mixing the resin raw material main component, a curing agent, and an ionic conductive agent in a solvent and curing.
  • the conductive polymer is a resin composed of an organic compound having conductivity, for example, polyacetylene; polypyrrole; polythiophene; polyparaphenylene; polymetaphenylene; poly (p-phenylene vinylene); polyaniline; poly (p-phenylene). Sulfide); anionic polymers or latexes.
  • a conductive substance-containing resin or conductive resin has a volume resistivity of 1 ⁇ 10 0 ⁇ ⁇ cm or less, preferably a volume resistivity of 1 ⁇ 10 ⁇ 3 ⁇ ⁇ cm or less. preferable.
  • the first electrode is preferably a conductive metal.
  • the material for the first dielectric base material 15 is not particularly limited as long as it is rubber.
  • addition-crosslinking type silicone rubber more specifically vinylmethylsiloxane / polydimethylsiloxane copolymer synthesized in the presence of Pt catalyst, vinyl-terminated polydimethylsiloxane, vinyl-terminated diphenylsiloxane / polydimethylsiloxane copolymer, vinyl-terminated diethylsiloxane / Polydimethylsiloxane copolymer, vinyl-terminated trifluoropropylmethylsiloxane / polydimethylsiloxane copolymer, vinyl-terminated polyphenylmethylsiloxane, vinylmethylsiloxane / dimethylsiloxane copolymer, trimethylsiloxane-terminated dimethylsiloxane / vinylmethylsiloxane / diphenylsiloxane copolymer,
  • the first dielectric base material 15 is a three-dimensional cross-linked silicone rubber elastic covering base material formed into a sheet shape having elasticity by cross-linking in a three-dimensional network, It is preferably a propylene-diene rubber elastic coated substrate.
  • the raw material composition forming the first dielectric substrate 15 may be a millable type or a liquid type.
  • the silicone rubber and ethylene / propylene / diene rubber constituting the first dielectric substrate 15 preferably have an unsaturated group such as a polymerizable vinyl group.
  • an unsaturated group of the cured product in the second dielectric substrate 13 such as a vinyl group or a hydrosilyl group, Or it becomes easy to couple
  • the unsaturated group for example, vinyl group
  • the first dielectric base material 15 is easily cross-linked with the second dielectric base material 13 by a chemical bond so as to be easily joined.
  • a platinum (Pt) catalyst or a rhodium (Rh) catalyst may be retained.
  • the first dielectric base material 15 is silicone rubber
  • its dielectric breakdown strength is 25 kV / mm or more, preferably 30 kV / mm or more, for example, by a measuring method according to JIS C2110-1.
  • the tracking value is 35 kV or more, preferably 45 kV or more.
  • the first dielectric substrate 15 includes a second electrode 14 on a part of the second surface 15 down, a first electrode 16 on a part of the first surface 15 up , and a chemical bond formed by chemical bonding. It is attached by cross-linking.
  • the bonding portion between the first electrode 16 and the second electrode 14 and the first dielectric substrate 15 and the bonding portion between the second electrode 14 and the second dielectric substrate 13 are unsaturated groups or vinylsilyl. It is chemically cross-linked and bonded via a chemical bond via the contained silyl group, and the bonding site between the first dielectric substrate 15 and the second dielectric substrate 13 is on the surface of these substrates. They are bonded and / or chemically cross-linked by a chemical bond via an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group present on the surface thereof.
  • the bonding of the first dielectric substrate 15 to the first electrode 16 and the second electrode 14 includes, for example, an unsaturated group or vinylsilyl-containing group that binds to at least one of the surface exposed reactive groups such as a hydroxyl group.
  • an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing siloxy group By having an amplification site amplified by an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group-containing siloxy group bonded to a modification site surface-modified by a silyl group-containing alkoxysiloxane, the other group is introduced via the amplification site. Bonded to the surface of the material or electrode.
  • the bonding-side surface of the first electrode 16 and the second electrode 14 may be subjected to corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, or excimer treatment in advance before and / or after amplification portion formation.
  • Surface activation treatment is performed, and the surface on the bonding side of the first dielectric substrate 15 is pre-adjusted before formation of amplification sites and / or after formation of amplification sites, if necessary, corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, Alternatively, by performing a surface activation treatment such as an excimer treatment, for example, a hydroxyl group, a carboxyl group, and / or a carbonyl group are newly generated on the surfaces as surface exposed reactive groups.
  • a surface activation treatment such as an excimer treatment, for example, a hydroxyl group, a carboxyl group, and / or a carbonyl group are newly generated on the surfaces as surface exposed reactive groups.
  • a hydroxyl group, a carboxyl group, or a carbonyl group that is a surface-exposed reactive group having a sufficient concentration on the surface on the bonding side of the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14. It is preferable to amplify the concentration of the reactive group with the other surface exposed reactive group using a surface exposed reactive group such as a slightly generated hydroxyl group. In particular, it is preferable that a surface-exposed reactive group is newly introduced into both the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14.
  • a surface activation process such as a corona discharge process, a plasma process, an ultraviolet irradiation process, or an excimer process
  • a highly reactive surface-exposed reactive group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, or a carbonyl group is formed on an organic or inorganic material to form a hydroxyl group, a carboxyl group, or a carbonyl group that is newly formed with the original hydroxyl group.
  • Interspersed surface-exposed reactive groups that are exposed and interspersed with the group are present on the bonding surface.
  • vinylsilyl-containing alkoxysiloxane is treated by dipping, coating, spraying, and the like. Bonded to a surface exposed reactive group such as a hydroxyl group, a carboxyl group or a carbonyl group via a covalent bond such as an ether bond or an ester bond, and the surface exposed reactive group having a low reactivity is a surface of a vinylsilyl group-containing alkoxysiloxane.
  • the vinyl silyl group derived from the vinyl silyl-containing alkoxysiloxane is exposed and the surface is modified.
  • the alkoxysilyl group of another vinyl group-containing alkoxysiloxane reacts with the alkoxysilyl group at the modified site, and is bonded via a new siloxy bond by an alcohol reaction.
  • one of the surface exposed reactive groups with low reactivity is originally further amplified with a plurality of highly reactive vinyl groups derived from a plurality of vinyl group-containing alkoxysiloxanes to form, for example, a monomolecular film.
  • both surfaces of the first dielectric substrate 15 and the bonding side of the first electrode 16 and the second electrode 14 are surface-modified with an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group-containing alkoxysiloxane. Amplification with a plurality of vinyl group-containing alkoxysiloxanes is preferred.
  • an amplification site in which the vinyl group is exposed from one or both of the first dielectric base material 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 is formed. If necessary, if the surface where the amplification site is exposed is subjected to corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment, and / or excimer treatment, at least a part or all of the vinyl group is oxidatively cleaved to expose silanol. It becomes an amplification site where a group or a silyl group is generated.
  • first dielectric base material 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 When the first dielectric base material 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 are simply brought into contact with each other or further overlapped under pressure or reduced pressure, one of the bonding surfaces is an unsaturated group. Alternatively, it is bonded via a covalent bond with the other bonding surface side via a vinylsilyl-containing silyl group. At this time, the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 react with each other by vinyl groups, silanol groups, silyl groups, or combinations thereof in the amplification sites.
  • the molecular adhesive contains a single molecule unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group.
  • the alkoxysiloxane reacts, it becomes a monomolecular film, and if necessary, another molecular adhesive, a vinyl group-containing alkoxysiloxane, reacts to form a monomolecular film. Contributes to joining.
  • the unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing alkoxysiloxane contains an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group having at least one kind selected from a vinylsilyl-containing silyl group and an unsaturated group-containing silyl group bonded to the surface exposed reactive group. If it does, it will not specifically limit.
  • a silane coupling agent may be used.
  • examples of the unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing alkoxysiloxane include vinyltrimethoxysilane (KBM-1003) and vinyltriethoxysilane (KBE-1003).
  • vinyl group-containing silane compounds such as vinyltriacetoxysilane (Z-6075) (all of which are manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; trade names) can be mentioned.
  • the unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing alkoxysiloxane is, among others, an amino group and alkoxy group-containing silane compound such as aminoalkyltrialkoxysiloxane or aminoalkylaminoalkyltrialkoxysiloxane, and a plurality of vinyl group-containing alkoxysiloxanes. Since the amino group is more likely to react with the surface exposed reactive groups of the first dielectric substrate 15, the first electrode 16, and the second electrode 14 than the alkoxy group, surface modification has a competitive priority.
  • the unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing alkoxysiloxane and the vinyl group-containing alkoxysiloxane may be used separately as a molecular adhesive in two liquids or in a single liquid mixture.
  • the use ratio or mixing ratio is preferably 1 to 0.1: 1 by weight.
  • a silane coupling agent such as H 7 ) 3 .
  • - ⁇ O-Si (-A 1 ) (-B 1 ) ⁇ - The repeating unit of- ⁇ O-Ti (-A 2 ) (-B 2 ) ⁇ -is q units, R units of repeating units of- ⁇ O-Al (-A 3 ) ⁇ -(wherein p and q are 0 or a number of 2 to 200 and r is a number of 0 or 2 to 100; p + q + r> 2, and —A 1 , —A 2 and —A 3 are —CH 3 , —C 2 H 5 , —CH ⁇ CH 2 , —CH (CH 3 ) 2, —CH 2 CH (CH 3 ) 2 , —C (CH 3 ) 3 , —C 6 H 5 or —C 6 H 12 , —OCH 3 , —OC 2 H 5 , —OCH ⁇ CH 2 , —OCH (CH 3 ) 2 ,
  • the repeating unit may be one obtained by block copolymerization or random copolymerization.
  • An aluminate coupling agent such as organic aluminate or inorganic aluminate, or a titanate coupling agent such as organic titanate or inorganic titanate may be used.
  • triazine ring-containing compound Amino group-containing compounds such as triethoxysilylpropylamino-1,3,5-triazine-2,4-dithiol (TES), aminoethylaminopropyltrimethoxysilane; trialkoxysilyl such as triethoxysilylpropylamino group
  • W may be a spacer group, for example, an alkylene group which may have a substituent, an aminoalkylene group, or a direct bond.
  • Y may be a hydroxyl group or a hydrolysis group.
  • a reactive functional group that generates a hydroxyl group upon elimination such as a trialkoxyalkyl group
  • -Z is -N 3 or -NR 1 R 2 (provided that R 1 and R 2 are the same or different and H or An alkyl group, —R 3 Si (R 4 ) m (OR 5 ) 3-m
  • R 3 and R 4 are alkyl groups, R 5 is H or an alkyl group, and m is 0 to 2.
  • the alkyl group is a linear, branched and / or cyclic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms which may have a substituent.), For example, 2,6- Diazido-4- ⁇ 3- (triethoxysilyl) propyl Amino ⁇ -1,3,5-triazine (P-TES);
  • the second dielectric substrate 13 is a cured product of a rubber component-containing composition.
  • the rubber component of the rubber component-containing composition forming the second dielectric substrate 13 has an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group. As a result, these reactive cross-linking groups exist on the surface of the second dielectric substrate 13.
  • the rubber component-containing composition forming the second dielectric substrate 13 is a rubber or resin exemplified in the first dielectric substrate 15 in which the rubber component does not have those crosslinkable functional groups.
  • the reactive dielectric groups may be provided on the surface of the second dielectric substrate 13 in the same manner as modified or further amplified by the first dielectric substrate 15.
  • the bonding site between the first dielectric substrate 15 or the second electrode 14 and the second dielectric substrate 13 is bonded to the surface of the substrate and / or by a reactive crosslinking group existing on the surface,
  • the first dielectric substrate 15 is joined by being chemically cross-linked by a chemical bond.
  • a functional group such as an unsaturated group that the first dielectric base material 15 originally has, an unsaturated group bonded to the first dielectric base material 15 or the second electrode 14, or a vinylsilyl-containing silyl group
  • the reactive crosslinking group of one dielectric substrate 15 and the reactive crosslinking group in the rubber component of the first dielectric substrate 15 are chemically crosslinked and bonded together. Any combination of addition crosslinking to a saturated functional group, condensation crosslinking, and ring-opening addition crosslinking may be used.
  • a combination in which a catalyst such as a platinum catalyst or a rhodium catalyst is supported and cross-linked may be used.
  • the reactive crosslinking group of the dielectric substrate 15 and the reactive crosslinking group in the rubber component of the first dielectric substrate 15 are combinations in which one is an unsaturated group such as a vinyl group and the other is a hydrosilyl group. Can be mentioned.
  • the first electrode 16 and second electrode 14 an example not barely overlapped, as shown in FIG. 3, a width W 3 You may arrange
  • the width W 3 superimposed is preferably 50% or less of the length of the electrode 16, 14 Width . If this range is exceeded, the airflow S (see FIG. 1) is substantially generated on the electrode as a contrast, and the effect of attracting the wind is diminished.
  • the first electrode 16 and the second electrode 14 may be arranged with a width of W 4 in a direction orthogonal to the step direction.
  • the distance between the first electrode 16 and the second electrode 14 becomes too large, it becomes difficult to cause plasma discharge.
  • the first electrode 16 may be protected with a coating film, or may be protected with a film film 17.
  • a coating film When protected by these, when used outdoors, it suppresses the formation of dents caused by collision with moths, moths, birds, and insects, making it difficult to break or break. It is more preferable that the coating film or the film film 17 exposes the side end of the first electrode 16 facing the second electrode because plasma discharge is likely to occur.
  • the airflow generation device 1 protects the first electrode 16 with a conductive rubber material coating layer 18 formed of the conductive rubber material that also serves as the coating film or the film film. May be.
  • the conductive rubber material coating layer 18 protects the first electrode 16, which is a conductive material such as a metal foil, is dented or cut off due to collision with a moth, moth, bird, or insect. Even if the first electrode 16, which is a conductive material such as a metal plate, is cut or broken due to metal fatigue due to breakage or bending, the conductive rubber material coating layer 18 can compensate for conductivity.
  • the airflow generation device 1 includes a second electrode 14, a metal electrode layer 14 a made of a metal film or a metal plate separated from the first electrode, and a first dielectric.
  • a conductive rubber layer or a conductive layer attached to the body substrate 15 on the back surface 15 down side and attached to the metal electrode layer 14a on the opposite side and extending to the first electrode 16 side with respect to the metal electrode layer 14a. It may consist of a conductive synthetic resin material electrode layer 14b made of a conductive resin layer.
  • the first electrode 16 and the second electrode 14 are formed on the inner end surface (left end surface in the figure) of the conductive synthetic resin material electrode layer 14b along the longitudinal direction (the front-rear direction in the drawing). It is arranged so that the inner end face (right end face in the figure) of the first electrode 16 along the longitudinal direction is located directly above (in the thickness direction in the figure).
  • the conductive synthetic resin material electrode layer 14b of the first electrode 16 and the second electrode 14 may partially overlap or be separated as in FIGS.
  • the second electrode 14 is composed of the metal electrode layer 14a and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b
  • the second electrode 14 is a conductive material such as a metal foil or a metal plate due to bending or bending. Even if the electrode 14 is cut or broken due to metal fatigue, the conductive synthetic resin material electrode layer 14b can compensate the conductivity without cutting off the current from the power supply unit 11.
  • the second electrode 14 may be composed of a conductive synthetic resin material electrode layer 14 b.
  • the conductive synthetic resin material electrode layer 14b partially overlaps the first electrode 16 is shown in FIG. 8, it may partially overlap or be separated as in FIGS.
  • the second electrode 14 is composed of the metal electrode layer 14a and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b, or the conductive synthetic resin material electrode layer 14b and the second electrode 14 are bonded by molecular adhesion in the same manner as described above. .
  • the airflow generation device 1 is used as shown in FIG. 9 by being attached to a blade of the wind power generation device 40, for example.
  • a nacelle 43 is provided at the upper end of a tower 44 installed on the ground, and three blades 41 are provided on a hub 42 that protrudes from the nacelle 43 and is rotatable.
  • the nacelle 43 or the hub 42 accommodates a power supply unit 11 (see FIG. 1) incorporating a power supply circuit and a power supply control circuit.
  • the angle adjuster of the blade 41 and the shaft of the hub 42 are connected to a speed increaser, a brake device,
  • a generator (not shown) to which the power transmission shaft is connected is housed.
  • the airflow generation device 1 has a length L that is substantially the same as the blade 41 and is attached to the vicinity of the leading edge of the blade 41.
  • the wind 31 flows as a separated wind away from the vicinity of the front edge of the blade 41 as indicated by a two-dot broken line arrow.
  • the airflow 32 caused by the plasma discharge is generated, the wind is drawn, and the airflow flows along the surface of the blade 41 as indicated by a solid line arrow.
  • the airflow generator 1 as shown in FIGS. 1 to 5 is manufactured, for example, as follows.
  • the first dielectric base material 15 is formed into a sheet shape from an unsaturated group-containing silicone rubber or ethylene / propylene / diene rubber.
  • surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment or excimer treatment is performed on one surface of the first electrode 16 in advance
  • the hydroxyl group, carboxyl group and / or carbonyl group are reactive.
  • Surface exposed reactive groups are newly generated as functional groups and are scattered and exposed while being amplified.
  • an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group-containing compound is added to the surface exposed reactive group generated on the first electrode 16.
  • Reaction is performed to bond an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group.
  • the first electrode 16 and the first dielectric base material 15 are previously subjected to surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment on the joint surface side thereof. .
  • surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment on the joint surface side thereof.
  • the first electrode 16 and the first dielectric substrate 15 are simply brought into contact with each other or further superimposed under increased pressure or reduced pressure, they are chemically bonded to each other via an unsaturated group or a vinylsilyl-containing silyl group. To join.
  • surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment is performed on both surfaces of the second electrode 14 in advance to generate surface exposed reactive groups such as hydroxyl groups.
  • surface exposed reactive group generated on the second electrode 14 reacts with an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing compound.
  • the second electrode 14 and the first dielectric substrate 15 are subjected to surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment in advance on the bonding surface side thereof.
  • surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment in advance on the bonding surface side thereof.
  • the second electrode 14 and the first dielectric substrate 15 are subjected to surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment on the second surface 15 down side.
  • surface activation treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment on the second surface 15 down side.
  • the surface exposed reactive group generated on the surface is reacted with the reactive crosslinkable group-containing compound, bonded with the reactive crosslinkable group, or further immersed in a solution or suspension containing a platinum catalyst or a rhodium catalyst as necessary. Apply and load catalyst.
  • a rubber component-containing composition is prepared, in which the second electrode 14 and the first dielectric substrate 15 are vulcanized and cured while molecularly adhering on the second surface 15 down side.
  • the rubber component-containing composition is coated or molded so as to cover the second electrode 14 together with the first dielectric base material 15 and cured to obtain a cured product. To obtain an air flow generation device.
  • the second dielectric base material 13 At the exposed surface side of the second dielectric base material 13, it is bonded to an object moving relatively in the air by an adhesive or molecular adhesion similar to the above.
  • first dielectric substrate 15 When the first dielectric substrate 15 is bonded to the first electrode 16 and the second electrode 14, their bonding surfaces are surfaces such as corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, and excimer treatment. After being activated and overlaid at normal pressure, it may be covalently bonded under normal pressure, but may be covalently bonded under reduced pressure or under pressure.
  • the approach between the surface exposed reactive group such as a hydroxyl group and the reactive group of an unsaturated group or vinylsilyl-containing silyl group-containing alkoxysiloxane or a plurality of vinyl group-containing alkoxysiloxanes is more specifically 50 torr or less under reduced pressure or vacuum conditions.
  • stress eg 10-200 kgf
  • an atmospheric pressure corona surface modification apparatus manufactured by Shinko Electric Measurement Co., Ltd. (Product name: Corona Master), for example, power supply: AC 100 V, output voltage: 0 to 20 kV, oscillation frequency: 0 to 40 kHz, 0.1 to 60 seconds, temperature 0 to 60 ° C.
  • a corona discharge treatment may be performed in a state of being wet with water, alcohols, acetones, esters, or the like.
  • atmospheric pressure plasma treatment and / or ultraviolet irradiation treatment ozone by UV irradiation
  • General UV processing or excimer UV processing that generates the
  • the atmospheric pressure plasma treatment for example, using an atmospheric pressure plasma generator (manufactured by Panasonic Corporation, product name: Aiplasma), for example, a plasma treatment speed of 10 to 100 mm / s, a power source: 200 or 220 V AC (30 A), Compressed air: 0.5 MPa (1 NL / min), 10 kHz / 300 W to 5 GHz, power: 100 W to 400 W, irradiation time: 0.1 to 60 seconds.
  • an atmospheric pressure plasma generator manufactured by Panasonic Corporation, product name: Aiplasma
  • a plasma treatment speed 10 to 100 mm / s
  • a power source 200 or 220 V AC (30 A)
  • Compressed air 0.5 MPa (1 NL / min)
  • 10 kHz / 300 W to 5 GHz power: 100 W to 400 W
  • irradiation time 0.1 to 60 seconds.
  • the ultraviolet irradiation treatment is performed using an excimer lamp light source (manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd., product name: L11751-01), for example, with an integrated light amount of 50 to 1500 mJ / cm 2 .
  • an excimer lamp light source manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd., product name: L11751-01
  • a molecular adhesive by processing may be used.
  • a reactive functional group-containing alkoxysiloxane containing an unsaturated group is first bonded to a surface exposed reactive group such as a hydroxyl group, a carboxyl group or a carbonyl group via a covalent bond such as an ether bond or an ester bond.
  • the surface-reactive reactive group having low reactivity is surface-modified with these reactive functional group-containing alkoxysiloxanes having high reactivity, and the alkoxysilyl group derived from the reactive functional group-containing alkoxysiloxane is exposed.
  • a molecular film is formed, and the surfaces of the first dielectric substrate 15, the first electrode 16, and the second electrode 14 are modified.
  • the alkoxysilyl group of the vinyl group-containing alkoxysiloxane reacts with the alkoxysilyl group at the modified site, and is bonded via a new siloxy bond by an alcohol reaction.
  • amplification is performed from one of the surface exposed reactive groups having low reactivity with a plurality of highly reactive vinyl groups derived from vinyl group-containing alkoxysiloxane, for example, to form a monomolecular film.
  • an amplification site where a plurality of vinyl groups are exposed is formed from the first dielectric substrate 15, the first electrode 16, and the second electrode 14. If necessary, if the surface where the amplification site is exposed is subjected to corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment, and / or excimer treatment, at least a part or all of the vinyl group is oxidatively cleaved to expose silanol. It becomes an amplification site where a group or a silyl group is generated. Further, a platinum catalyst or a rhodium catalyst may be supported.
  • the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 are brought into contact with each other, or the first dielectric substrate 15 and the first dielectric substrate together with the second electrode 14.
  • the airflow generating device 1 may be manufactured by bringing the rubber component-containing composition 15 formed by vulcanization and curing with molecular adhesion 15 into contact with each other.
  • the airflow generation device 1 as shown in FIGS. 6 to 8 can be manufactured in the same manner as the airflow generation device 1 shown in FIGS.
  • the airflow generation device 1 of the example to which the present invention is applied was manufactured as in Examples 1 to 3 below, and the physical properties thereof were evaluated.
  • the first electrode 16, the first dielectric substrate 15, and the second electrode 14 are stacked in that order from the top, pressed at 80 ° C. for 5 minutes at 70 kgf, thermocompression-bonded, and the first dielectric substrate 15 and the adhesive of the 1st electrode 16 and the 2nd electrode 14 was obtained.
  • the exposed surface of the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 and the second electrode 14 of the adhesive between the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 The exposed surface of the platinum-containing catalyst, specifically, a platinum complex such as a platinum-tetramethyldivinyldisiloxane complex is dipped in a hexane solution and dried to provide a first platinum-containing catalyst on the surface. An adhesive material between the dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 was obtained. Although the chemical structure is not necessarily clear, it is presumed that the platinum atom of the platinum complex is coordinated to a plurality of vinyl-containing silyl groups formed on the surface of the object to be bonded.
  • the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 is bonded to the adhesive between the first dielectric substrate 15 having the platinum-containing catalyst attached to the surface, the first electrode 16 and the second electrode 14.
  • an addition-crosslinked silicone rubber raw material composition two-component liquid silicone rubber: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; product number KE-1950-50
  • the vinyl group-containing silicone rubber on the exposed surface of the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 is preferentially added to the hydrosilyl group of the hydrosilyl group-containing polysiloxane over the addition-crosslinking polymerization of the vinyl-containing silyl group.
  • the first dielectric base material having a high molecular weight by a hydrosilylation reaction to a double bond of a vinyl-containing silyl group on the exposed surface of the double electrode and the second electrode 14 and having a platinum-containing catalyst on the surface 15 and the first electrode 16 and the second electrode 14 on the exposed portion of the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 and the second electrode 14.
  • an airflow control electrode as the airflow generator 1 was obtained in which the addition-crosslinked silicone rubber was coated and adhered as the second dielectric substrate 13.
  • the hydroxyl group was reacted with a vinyl-containing silyl compound.
  • the surface was activated.
  • the first electrode 16 and the first dielectric base material 15 are stacked in this order from the top, pressed at 80 ° C. for 5 minutes at 70 kgf, thermocompression-bonded, and the first electrode 16 and the first dielectric base material are stacked. Adhesive with 15 was obtained.
  • the second surface 15 down of the adhesive between the first electrode 16 and the first dielectric substrate 15, and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b (vinyl group) formed of silicone rubber which is a conductive rubber sheet Contained conductive silicone rubber: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; product number KE-3711-U) was subjected to corona discharge treatment under the same conditions as in Example 1 to activate the surface. From the top, the first electrode 16 and the first dielectric base material 15 are bonded in this order, and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b is stacked in this order, pressed at 80 ° C.
  • the adhesive of the 1st dielectric base material 15, the 1st electrode 16, and the electroconductive synthetic resin material electrode layer 14b was obtained.
  • First dielectric base material 15, first electrode 16, and first dielectric base material 15 of conductive synthetic resin material electrode layer 14b, and metal electrode layer obtained by reacting a hydroxyl group with a vinyl-containing silyl compound 14a was subjected to corona discharge treatment under the same conditions to activate the surface.
  • the metal electrode layer 14a is overlaid on the first dielectric base material 15, which is an adhesive material of the first dielectric base material 15, the first electrode 16, and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b, and then at 80 ° C. for 5 minutes.
  • the first dielectric base material 15, the first electrode 16, and the second electrode of the first dielectric base material 15, which is an adhesive, with the second electrode comprising the conductive synthetic resin material electrode layer 14 b and the metal electrode layer 14 a A platinum-containing catalyst, specifically platinum such as a platinum-tetramethyldivinyldisiloxane complex, is exposed on the exposed surface 15 down, the exposed surface of the conductive synthetic resin material electrode layer 14b, and the exposed surface of the metal electrode layer 14a.
  • the first electrode 16 From the first dielectric base material 15, the first electrode 16, the conductive synthetic resin material electrode layer 14b, and the metal electrode layer 14a, each of which is immersed in a hexane solution of the complex and dried to have a platinum-containing catalyst on the surface.
  • An adhesive with the second electrode was obtained.
  • the platinum atom of the platinum complex is coordinated to a plurality of vinyl-containing silyl groups generated on the surface of the adhesive.
  • the same kind of addition-crosslinked silicone rubber as in Example 1 is applied to the adhesive between the first electrode 16 having a platinum-containing catalyst attached to the surface and the second electrode composed of the conductive synthetic resin material electrode layer 14b and the metal electrode layer 14a. And cured by pressurization and heating.
  • the hydrosilyl group of the hydrosilyl group-containing polysiloxane undergoes a hydrosilylation reaction to the double bond of the vinyl-containing silyl group preferentially over the cross-linking polymerization of the vinyl-containing silyl groups, thereby increasing the molecular weight and containing platinum on the surface.
  • the second surface 15 down of the first dielectric substrate 15 is bonded to the first electrode 16 to which the catalyst is attached and the second electrode composed of the conductive synthetic resin material electrode layer 14b and the metal electrode layer 14a.
  • an air-flow generating device in which addition-crosslinked silicone rubber is coated and adhered as the second dielectric base material 13 on the exposed portions of the conductive synthetic resin material electrode layer 14b and the metal electrode layer 14a.
  • An airflow control electrode as 1 was obtained.
  • the surface was activated.
  • the first electrode 16 and the first dielectric base material 15 are stacked in this order from the top, pressed at 70 ° C. for 5 minutes at 80 ° C., thermocompression bonded, and an adhesive between the rubber sheet 15 and the first electrode 16.
  • the second surface 15 down of the adhesive between the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 is the same as the second electrode 14 which is the same type of conductive synthetic resin material electrode layer 14b as in Example 1.
  • Corona discharge treatment was performed under the conditions, and the surface was activated.
  • first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b are stacked in this order, pressed at 80 ° C. for 5 minutes at 70 kgf, thermocompression bonded, Adhesives between the first dielectric base material 15 and the first electrode 16 / conductive synthetic resin material electrode layer 14b (second electrode 14) were obtained.
  • the exposed surface of the resin material electrode layer 14b is dipped in a hexane solution of a platinum-containing catalyst, specifically, a platinum complex such as a platinum-tetramethyldivinyldisiloxane complex, and dried, and the platinum-containing catalyst is attached to the surface.
  • a platinum-containing catalyst specifically, a platinum complex such as a platinum-tetramethyldivinyldisiloxane complex
  • an adhesive between the first dielectric substrate 15 and the first electrode 16 / conductive synthetic resin material electrode layer 14b was obtained.
  • Example 2 The same kind of addition-crosslinked silicone rubber as in Example 1 is applied to the adhesive between the first dielectric substrate 15 having a platinum-containing catalyst attached to the surface, the first electrode 16 and the conductive synthetic resin material electrode layer 14b. And cured by pressurization and heating. Then, the hydrosilyl group of the hydrosilyl group-containing polysiloxane undergoes a hydrosilylation reaction to the double bond of the vinyl-containing silyl group preferentially over the cross-linking polymerization of the vinyl-containing silyl groups, thereby increasing the molecular weight and containing platinum on the surface.
  • These air flow generators 1 are excellent in light resistance and weather resistance, and even if they are used for a long time, the dielectric base material and the electrode are firmly bonded by molecular adhesion by chemical bonding, so they do not peel off and are durable. Is excellent.
  • the wind flow is smoother than that of the wind power generator not using the air generator, and the use efficiency of the wind is greatly improved by suppressing the separation of the air current in the blade. In addition, the frictional noise generated when the blade rotates and cuts the atmosphere is reduced.
  • the airflow generation device of the present invention can be applied to a large product such as a blade of a wind power generator, a vehicle, a train, an elevator, a rocket, or a building from a fin or fan of a small product such as a home appliance, a decompression / pressure air pump or a decompression compressor. Used to attach to a wide range of objects up to the product and smooth the flow of wind.
  • This air flow generation device is used to efficiently guide wind to a blade, a fan, or a fin, or to reduce noise by reducing friction noise with air.
  • 1 is an airflow generator
  • 11 is a power supply unit
  • 12a and 12b are connection wires
  • 13 is a second dielectric substrate
  • 14 is a second electrode
  • 14a is a metal electrode layer
  • 14b is a conductive synthetic resin material electrode layer.
  • 15 is the first dielectric substrate
  • 15 up is the first surface
  • 15 down is the second surface
  • 16 is the first electrode
  • 17 is the film film
  • 18 is the conductive material rubber coating layer
  • 20 is Object
  • 31 is wind
  • 32 is airflow
  • 33 is wind
  • 40 is wind power generator
  • 41 is blade
  • 42 is hub
  • 43 is nacelle
  • S is airflow
  • T 1 to T 3 ⁇ T total is thickness
  • W 1 to W 4 are widths
  • L is a length.

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Abstract

誘電体基材と電極を化学結合で化学的に架橋して強固に接合し、誘電体基材を挟む電極間でのプラズマ放電により効率的で均一に気流を発生でき、柔軟性・耐熱性・耐候性・耐光性に優れ、剥がれず断線や破損を生じない気流発生装置を提供する。　気流発生装置1は、ゴム弾性体材料からなる第１の誘電体基材15とそれの第１の面15up又はその近傍に設けられた第１の電極16と第２の面15downに設けられた第２の電極14と第２の電極14を覆うゴム弾性体材料からなる第２の誘電体基材13とを備え、第１の電極16と第２の電極14との間への印加電圧による第１の面15up近傍の気体の一部のプラズマ化により気流を発生させるもので、第１の電極16及び第２の電極14と第１の誘電体基材15との接合部位、及び第２の電極14と第２の誘電体基材13との接合部位、並びに第１の誘電体基材15と第２の誘電体基材13との接合部位が、化学結合で化学的に架橋して接合している。

Description

気流発生装置及びその製造方法
　本発明は，風を受けて回転する風力発電のブレード、高速で移動する乗物等に使用されるもので、放電プラズマの作用により気流を発生させる気流発生装置、及びその製造方法に関するものである。
　風を動力源にしてブレードを回転させる風力発電での回転効率を上げつつブレードが風を切る時の騒音を低減するため、放電プラズマ気流制御によって気流を発生させブレードで発生する流れの剥離を抑制する気流発生装置が用いられている。また高速で移動する乗物と大気との摩擦音や建造物の所謂ビル風による騒音を低減するため、これら乗物や建造物にも気流発生装置が用いられる。
　このような放電プラズマによる気流制御は、ブレードや乗物のような被対象物上で、絶縁体を挟んで対向する電極間に高電圧を印加することにより生じる放電プラズマの作用で、イオン風と呼ばれる薄い噴流の気流が誘起され、その気流が流れの境界層部分に作用して、境界層部分の流れを加速したり擾乱を与えたりすることにより剥離が抑制されて、被対象物まわりの流れをスムーズにするというものである。
　気流発生装置として、特許文献１に、主面を有する誘電体基材と、主面上に配置される第１の電極と、主面に沿う第１の方向に第１の電極と間隔を設け、誘電体基材内に配置される第２の電極と、第１の方向において第１の電極と第２の電極の間でかつ第２の電極より深い誘電体基材内の位置に少なくとも一部が配置される第３の電極と、第１の電極と第２、第３の電極とに放電のための電圧を印加する電源とを有する気流発生装置が開示されている。
　このような誘電体基材として、従来、アルミナ、ガラス、マイカ、セラミックスのような無機絶縁体や、ポリイミド、ガラスエポキシ材料、ゴムのような有機絶縁物が用いられてきた。これらの誘電体基材と電極とは、従来、加硫接着や接着剤による接着で接合されていた。
　無機絶縁体のように硬くて伸び性の無い材料を誘電体として用いた気流発生装置は、風力発電の風車のブレードに取り付けた際に、ブレードの撓りや温度変化に起因する伸縮、雹・霰・鳥・虫との衝突に起因する凹みに追従できず、断線や破損の原因となる。
　ポリイミドやガラスエポキシ材料などの樹脂を誘電体として用いた気流発生装置は、これら樹脂が耐電性や耐候性に劣り、繰り返される放電プラズマにより又は風雨や気温変動により次第に劣化し朽ちてしまうため、屋外で長期間の被対象物の使用ができない。
　一般的な合成ゴムを誘電体として用いた気流発生装置は、ブレード等の撓る被対象物への追従性が比較的良い。しかし、金属電極と誘電体とを加硫接着する際、互いの熱膨張係数の相違によって合成ゴムが縮み厚み方向に緩く曲がってうねり、不均一な凹凸面になりながら電極と接着する所為で、平滑な電極が得られず、電極間距離や誘電体厚さの精度が低くなる。その結果、電極間距離の短い部位や誘電体厚さの薄い部位で優先的にプラズマ放電が起こってプラズマの長手方向の均一性が損なわれる。すると、プラズマによって発生する気流の均一性も損なわれるため、その気流によるブレードまわり流の制御効果も損なわれ、風の利用効率を低下させたり、プラズマ気流のむらで騒音を増大させたりしてしまう。
　一方、電極と誘電体とを接着剤で接合すると、遠心力が掛かり続ける風車のブレード上や乗物・建造物上で風雨や灼熱に晒される所為で、接着剤が化学的に劣化して剥がれ易く、電極での放電プラズマ気流制御の信頼性・安定性が確保できない。
特開２０１６－１４０８５７号公報
　本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、誘電体基材と電極を化学結合で化学的に架橋することによって強固に接合し、誘電体基材を挟む電極間でのプラズマ放電により効率的かつ均一に気流を発生でき、柔軟性・耐熱性・耐候性・耐光性に優れ、屋外での風雨や太陽光や温度変化等の過酷な条件下でも剥がれず断線や破損を生じない気流発生装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
　前記の目的を達成するためになされた本発明の気流発生装置は、ゴム弾性体材料からなる誘電体基材と、前記誘電体基材に設けられた複数の電極とを備え、前記電極への印加電圧による前記誘電体基材近傍の気体の一部のプラズマ化により気流を発生させる気流発生装置であって、前記電極と前記誘電体基材との接合部位が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合しているというものである。
　この気流発生装置は、前記ゴム弾性体材料からなる第１の誘電体基材と、前記第１の誘電体基材の第１の面又は第１の面近傍に設けられた第１の電極と、前記第１の面とは異なる側の面である第２の面に設けられた第２の電極と、前記第２の電極を覆うように設けられた前記ゴム弾性体材料からなる第２の誘電体基材とを備え、前記第１の電極と前記第２の電極との間への印加電圧による前記第１の誘電体の第１の面近傍の気体の一部のプラズマ化により前記気流を発生させる気流発生装置であって、前記第１の電極及び前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位、及び前記第２の電極と前記第２の誘電体基材との接合部位が、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合しており、前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材との接合部位が、それら基材の表面に結合し及び／又はその表面に存する不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した化学結合で化学的に架橋して接合しているというものである。
　この気流発生装置の前記第１の誘電体基材及び前記第２の誘電体基材は、夫々ゴム成分含有組成物が三次元的な網目状に架橋している前記ゴム弾性体材料であって、弾性を有するシート状に成形された三次元架橋シリコーンゴム又は三次元架橋エチレン・プロピレン・ジエンゴムであることが好ましい。
　この気流発生装置は、前記ゴム弾性体材料が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を有していることによって、前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位、及び前記第２の電極と前記第２の誘電体基材との接合部位が、化学結合で化学的に架橋して接合しているものであってもよい。
　この気流発生装置は、前記化学結合が不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した共有結合であることが好ましい。
　この気流発生装置は、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が夫々、前記ゴム弾性体材料の分子中及び／又は表面上に存するものであると一層好ましい。
　この気流発生装置は、前記第１の電極又は前記第２の電極と前記第１の誘電体基材及び前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材とが、その表面に存する前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が白金触媒又はロジウム触媒を担持させることによって、前記化学結合で化学的に架橋して接合しているというものであってもよい。
　この気流発生装置は、例えば、前記第１の電極及び前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位で、これら前記第１の電極及び前記第２の電極及び前記第１の誘電体基材との少なくとも何れかの表面の水酸基の脱水素残基へ前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が共有結合しており、前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材との接合部位で、前記第１の誘電体基材の表面の水酸基の脱水素残基若しくはその表面に結合し及び／又はその表面に存する不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が共有結合しているというものである。
　この気流発生装置は、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記第１の誘電体基材の少なくとも何れかの表面が、コロナ放電処理表面、プラズマ処理表面、紫外線処理表面、及び／又はエキシマ処理表面であるというものであってもよい。
　この気流発生装置は、前記第１の電極の少なくとも一部が、コーティング膜又はフィルム膜で保護されていることが好ましい。
　この気流発生装置は、前記コーティング膜、又は前記フィルム膜が、導電性ゴム材料で形成された膜であると、好ましい。
　この気流発生装置は、前記第２の電極が、金属膜又は金属板と、それに接触しつつそれよりも前記第１の電極側にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層とからなるものであってもよい。
　この気流発生装置は、前記第２の電極が、前記第１の電極側にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層からなるものであってもよい。
　この気流発生装置は、例えば、相対的に空中を移動する被対象物に、前記第２の誘電体基材の第２の面側で付されるというものである。
　前記の目的を達成するためになされた本発明の気流発生装置の製造方法は、ゴム弾性体材料からなる誘電体基材と、前記誘電体基材に設けられた複数の電極とを備え、前記電極と前記誘電体基材との接合部位が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合しており、前記電極への印加電圧による前記誘電体基材近傍の気体の一部のプラズマ化により気流を発生させる気流発生装置を製造する方法であって、前記電極と前記誘電体基材との接合部位にて、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基によって、化学結合で接合させる工程を有するというものである。
　この気流発生装置の製造方法は、前記ゴム弾性体材料からなる第１の誘電体基材と、前記第１の誘電体基材の第１の面又は第１の面近傍に設けられた第１の電極と、前記第１の面とは異なる側の面である第２の面に設けられた第２の電極と、前記第２の電極を覆うように設けられた前記ゴム弾性体材料からなる第２の誘電体基材とを備え、前記第１の電極と前記第２の電極の間に電圧を印加して、前記第１の誘電体の第１の面近傍の気体の一部をプラズマ化することにより気流を発生させる前記気流発生装置を製造する方法であって、前記第１の電極及び前記第２の電極に、前記第１の誘電体基材との接合面側に、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を反応させる工程、第１の電極及び前記第２の電極を、前記接合面側で、前記第１の誘電体基材に付けて、前記第１の電極及び前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位にて、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基によって、化学結合で接合させる工程、前記ゴム弾性体材料を、前記第２の面で前記第２の電極を前記第１の誘電体基材ごと覆いつつ硬化させて、前記第２の電極と前記第２の誘電体基材及び前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材の接合部位にて、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基によって、化学結合にて接合させる工程を有するというものである。
　本発明の気流発生装置は、第１及び第２の電極が、絶縁性のゴム弾性誘電体基材からなる第１の誘電体基材の異なる両表面に、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した均質な共有結合で、強固かつ均等に接合しているものである。
　この気流発生装置は、予め高分子量化されたり加硫されたりして硬化した第１の誘電体基材と第１及び第２の電極とを、ビニルシリル含有シリル基を含有した化合物である分子接着剤による共有結合で接合されたものであるから、第１の誘電体基材と第１及び第２の電極との素材の違いに基づく、異なる熱膨張や立体収縮を考慮する必要がなく、１ｍｍ～１００ｍｍの短尺でも１０ｃｍ～１００ｍもの長尺でも精密な寸法精度を発現することができる。
　さらに、この気流発生装置は、第２の電極や第１の誘電体基材と第２の誘電体基材とが、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した均質な化学結合で分子接着により化学的に架橋しているので、強固に接合しているものである。
　従って、この気流発生装置は、シート状の第１の誘電体基材を使用しつつ、第１及び第２の電極と第１の誘電体基材や第２の誘電体基材との接合や、第１の誘電体基材と第２の誘電体基材との接合に、表面処理する分子接着技術を用いるだけで済み高圧・高温を必要としないので、均一な厚みを維持して、線収縮率の違いによるうねりを生じることなく接合することができ、厚み精度が極めて厳密に向上している。
　そのため、誘電基材を挟む電極間で万遍なく均等にプラズマ放電を起こすことができ、効率的かつ均一に気流を発生できる。その結果、気流発生装置が付された被対象物まわりの流れの制御効果を最大化することができる。例えば、風力発電のブレードにおける剥離を抑制して風の利用効率を増大させたり、ブレードが回転して大気を切る際の摩擦音を軽減させたりすることができる。また、電車や車両やエレベータのような乗物の移動によって受ける風の流れをスムーズにしたり、家電製品や減圧・加圧エアーポンプや減圧コンプレッサのフィンやファンの受ける風の流れをスムーズにしたりして、静音にすることができる。
　この気流発生装置は、電極と第１の誘電体基材及び第１の誘電体基材と第２の誘電体基材とが不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した均質な共有結合によって、接着剤の分子間力による接着よりも、遥かに強固に接合したものである。
　この気流発生装置は、電極と第１の誘電体基材とが不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した化学結合で化学的に強固に架橋して接合しているので、耐熱性・耐候性・耐光性・耐水性に優れ、高い機械的強度を示し、屋外での風雨や太陽光や温度変化等の過酷な条件下でも剥がれず、雹・霰・鳥・虫との衝突に起因する凹みに追従でき、断線や破損を生じない。
　この気流発生装置は、第２の誘電体基材が、液状、塑性又はミラブル状のようなゴム成分含有組成物の硬化物であるため、その硬化の際に電極との間にボイドを発生しておらず、プラズマ放電の効率が極めて高い。
　この気流発生装置は、気流制御電極としての機能を満足している。しかも、電極が第１の誘電体基材や第２の誘電体基材に不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した均質な化学結合で化学的に架橋して接合していることと、第１の誘電体基材及び第２の誘電体基材が電極との間にボイドを発生させないことと相俟って、均一なシート状に形成でき、単独でロール状に丸めても剥離しないので、被対象物に付すまでの保管・輸送・施工が簡便になる気流制御電極となっている。
　この気流発生装置は、第１の電極がコーティング膜で保護され、又はフィルム膜で保護されたものであると、雹・霰・鳥・虫との衝突に起因する凹みの発生や電極の断線を一層防止することができる。コーティング膜、又はフィルム膜が、導電性ゴム材料で形成された膜であると、万が一、電極の断線が発生した時でも、導電性ゴム材料によって断線を補償することができる。
　この気流発生装置は、第２の電極が、金属膜又は金属板とそれに接触しつつそれよりも第１の電極の近傍にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層とからなると、又は第１の電極の近傍まで伸びた導電性ゴム層からなると、可撓性が向上するので気流発生装置を曲げたり撓ませたりして使用しても電極が剥がれず曲げや撓みに追従できるものとなり、可撓用途への使用の幅が広がる。
　本発明の気流発生装置の製造方法によれば、一般には０～２５０℃、好ましくは室温乃至比較的低い５０～２００℃程度の加熱温度で、高圧や押圧を必要とせず、簡易かつ短時間で、電極と第１の誘電体基材又は第２の誘電体基材、及び第１の誘電体基材と第２の誘電体基材とを不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した化学結合によって化学的に架橋して接合できるので、生産効率が良い。しかも、この製造方法によれば、数ｍｍ四方から横が１ｍｍ乃至１０ｃｍで縦が最大１００ｍ程度の長尺のものでも、均質に製造できるので、家電製品や減圧・加圧エアーポンプ又は減圧コンプレッサのような小型製品のフィンやファンから、風力発電のブレードや車両・電車・エレベータ・ロケット・建造物のような大型製品までの広範な被対象物に使用できる気流発生装置を製造することが可能である。
本発明を適用する気流発生装置の一部切欠の模式斜視図である。 本発明を適用する気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する別な気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する別な気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する別な気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する別な気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する別な気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する別な気流発生装置の模式断面図である。 本発明を適用する気流発生装置を被対象物に付して用いている斜視図である。 本発明を適用する気流発生装置を被対象物に付して用いている模式断面図である。
　以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。
　本発明の気流発生装置１は、長尺形状の一態様について一部を切欠いた模式斜視図である図１を参照して説明すると、導電性材料箔乃至導電性材料板例えば金属製や導電性樹脂製や金属メッシュ入り樹脂製である均等厚の第１の電極１６と均等厚の第２の電極１４とが夫々おもて面側である第１の面１５upとうら面側である第２の面１５downとに夫々付された絶縁性で均等厚の第１の誘電体基材である第１の誘電体基材１５と、その第２の面１５downで第２の電極１４を第１の誘電体基材１５ごと覆う絶縁性のゴム弾性被覆基材である第２の誘電体基材１３とを有している。
　第１の誘電体基材１５の第１の面１５upの一部に第１の電極１６が化学結合を介して付され、その第２の面１５downの一部に第２の電極１４が化学結合を介して付されている。第１の誘電体基材１５は、予め形成されているゴムシートである。
　第１の電極１６及び第２の電極１４は、長手方向（紙面前後方向）に沿う第２の電極１４の内側端面（同図中の左側の端面）の真上（同図中の厚み方向の上方向）に、同じく長手方向に沿う第１の電極１６の内側端面（同図中の右側の端面）が来るように、配置されている。第１の電極１６及び第２の電極１４と第１の誘電体基材１５との各接合面の延長面同士が平行になっている。それによって、第１の電極１６及び第２の電極１４が、平行な段違いになっている。
　気流発生装置１中、第１の電極１６及び第２の電極１４は夫々、厚さＴ1及びＴ３が均等で１μｍ以上１０００μｍ未満の導電性材料箔、１～１０ｍｍ、好ましくは０．１～５ｍｍ、例えば１ｍｍの導電性材料板である。
　気流発生装置１の長手方向との垂直面断面を表す模式断面図である図２に示すように、第１の電極１６及び第２の電極１４は、夫々の幅Ｗ１及びＷ２が均等な幅１ｍｍ～１０ｃｍ例えば３～６ｍｍであり、夫々の長手方向における長さＬ（図９参照）が１０ｍｍ～１００ｍ、例えば１０ｃｍ～３０ｍ、好ましくは１～１０ｍである。両電極１４・１６は、幅Ｗ１及びＷ２同士と、厚さＴ１及びＴ３同士とが互いに同じであっても異なっていてもよいが、長さＬが実質的に同一であることが好ましい。長さが異なるとプラズマ放電が中程と端程とで不均質となってしまい気流の発生が長手方向で不均一となってしまう。
　第１の誘電体基材１５は、厚さＴ２が均等である。厚さＴ２が例えば０．０５～１０ｍｍ、好ましくは０．１～２．０ｍｍ、一層好ましくは０．５～１．５ｍｍである。第１の電極１６及び第２の電極１４の間に電圧が印加され閾値以上の電位差になると、直接放電しないように絶縁体である第１の誘電体基材１５の第１の面１５up付近で放電が起こり、放電によって放電プラズマが生じるようになっている。このような放電は、誘電体バリア放電とも呼ばれ、第１の誘電体基材１５の第１の面１５upに沿って形成される沿面放電である。この放電によって、第１の面１５upに気流Ｓを発生させるように、第１の誘電体基材１５の厚さＴ２が調整されている。
　第１の誘電体基材１５の第２の面１５downの一部に第２の電極１４が化学結合を介して付されている。第１の誘電体基材１５の第２の面１５downで、その第２の電極１４を第１の誘電体基材１５ごと第２の誘電体基材１３が覆っている。第２の誘電体基材１３は、第１の誘電体基材１５ごと第２の誘電体基材１３を覆うように、ゴム成分含有組成物を事後的に硬化させた硬化物である。
　第２の誘電体基材１３は、第２の電極１４を覆うようにして第１の誘電体基材１５の第２の面１５downにてゴム成分含有組成物を事後的に硬化させた硬化物であるから、硬化の際に、第２の電極１４の角や縁と硬化物たる第１の誘電体基材１５との間にボイドを有しない。
　第２の誘電体基材１３及び第１の誘電体基材１５の合計厚さＴtotal、又は厚み方向に第２の電極１４が存する時は第２の電極１４、第２の誘電体基材１３及び第１の誘電体基材１５の厚さＴtotalが例えば０．１～３０ｍｍ、好ましくは１～３ｍｍ、一層具体的には２ｍｍとするものである。
　第１の電極１６の一端部近傍から金属接合された接続電線１２ａが延び、第２の電極１４の一端部近傍から金属接合された接続電線１２ｂが延びている。接続電線１２ａ・１２ｂは、電源回路と電源制御回路とを内蔵した電源ユニット１１に接続されている。
　この気流発生装置１は、例えば、相対的に空中を移動する被対象物に、前記第２の誘電体基材の第２の面側で付されて用いられる。自ら空中を動く被対象物として、風を受けて回転する風力発電のブレード、高速で移動する乗物例えば乗用車や貨物車やレーシングカーのような自動車；電車、新幹線、リニアモーターカーのような鉄道車両；ジェット飛行機、プロペラ飛行機、ヘリコプター、ドローンのような航空機や航空輸送機；ロケット；減圧ポンプ、真空ポンプ、空気圧縮機のような気圧調整機や気流制御機のフィンやファン；エレベータのような昇降機が挙げられる。一方、自ら動かず空気が動いて当たる被対象物として、橋梁、鉄塔、ビルのような建造物が挙げられる。
　この気流発生装置１中、第１の電極１６及び第２の電極１４の素材は、導電性材料であれば種類は問わない。例えば、金属製や、導電性樹脂、導電性ゴム、導電性エラストマーで例示されるもので導電性物質含有樹脂製や導電性樹脂製のものが挙げられる。
　第１の電極１６及び第２の電極１４の素材として、金属は、金属分類上は通常の金属、機能性金属、アモロファス金属、繊維強化金属ブロック、形状記憶合金、超弾性合金などからなる。周期律表上はベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、ラジウム、スカンジウム、イットリウム、チタン、ジルコニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、鉄、コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、プラチナ、銅、銀、金、亜鉛、カドミウム、水銀、アルミニウム、ゲルマニウム、スズ、鉛、アンチモン、ビスマス、ネオジムの何れかであり、合金組成上は鉄合金（鋼（スチール）、炭素鋼、鋳鉄）、銅合金（りん青銅、黄銅、二プロニッケル、ベリリウム銅、チタン銅）、アルミニウム合金（銅、マンガン、珪素、マグネシウム、亜鉛、ニッケル合金など）、マグネシウム合金（Ｍｇ／Ｚｎ合金、Ｍｇ／Ｃａ合金など）、亜鉛合金、鈴及び鈴合金、ニッケル合金、金合金、銀合金、白金合金、パラジウム合金、鉛合金、チタン合金（α型、β型及びα＋β型合金）、カドミウム、ジルコニウム合金、コバルト合金、クロム合金、モリブデン合金、タングステン合金、マンガン合金、フェライト系ステンレス、マルテンサイト系ステンレス、オースチナイト系ステンレス、析出強化型ステンレス、ニッケル－チタン合金、鉄－マンガン－チタン合金、超弾性合金（ニッケル－チタン合金）などの材料が、挙げられる。その素材は、金属箔のような導電性材料箔又は金属板のような導電性材料板を例示したが、金属形状分類上は板、シート、フィルム、角棒、丸棒、球、半球、繊維、網、網線布、及びこれらの複雑回路形状、打抜き及び切削加工成形品を含む。
　第２の電極が、金属膜又は金属板と、それに接触しつつそれよりも第１の電極側にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層とからなるものであってもよく、第１の電極側にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層からなるものであってもよい。
　第１の電極１６及び第２の電極１４の素材は、金属以外では、導電性の柔軟性ゴム又は導電性の硬質樹脂が挙げられ、例えば導電性物質が含有又は分散された樹脂又はゴムとする天然樹脂又は合成樹脂であり、より具体的には、導電性無機粉末又は導電性繊維を含有及び／又は分散した合成樹脂、導電性有機物を含有及び／又は分散した合成樹脂、導電性ポリマー（電気伝導性高分子化合物）が挙げられる。
　導電性無機粉末又は導電性繊維を含有する合成樹脂中、導電性無機粉末又は導電性繊維であるフィラーとして、珪素；カーボン、カーボンブラック、グラファイト、カーボン繊維；第１の電極１６及び第２の電極１４の素材として例示した前記金属、好ましくは金、銀、銅、チタン、ニッケル、錫、アルミニウム、ステンレス、亜鉛、ビスマス、カドミウム、インジウム、鉛、又はパラジウムのような金属粉若しくは金属繊維；これらの金属の２種以上を含む合金、例えばＳｎ－Ｐｂ、Ｓｎ－Ｃｕ、Ｓｎ－Ｚｎ、Ｓｎ－Ａｌ、Ｓｎ－Ａｇ、Ｐｄ－Ａｇのような合金粉若しくは合金繊維；導電ウィスカー；これらの金属の金属メッシュが挙げられる。
　導電性有機物を含有する合成樹脂中、導電性有機化合物として、イオン導電剤、例えば四級アンモニウム基及び／又はスルホン酸基含有有機化合物が挙げられる。この樹脂原料主剤、硬化剤、イオン導電剤を溶媒中で混合し、硬化させることによって、導電性有機物含有合成樹脂が得られる。
　導電性無機粉末又は導電性繊維を含有する合成樹脂や導電性有機物を含有する合成樹脂又は天然樹脂中、合成樹脂として、エポキシ系樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン系樹脂；エチレン・エチルアクリレート共重合体；ポリ塩化ビニル；エチレン－酢酸ビニル共重合樹脂；フッ素樹脂；アクリル樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートのようなポリエステル樹脂；ウレタン樹脂；フェノール樹脂；シアネート樹脂；アクリロニトリル・ブタジエン・スチレンゴムやアクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂；ポリカーボネート；ポリアミド；シリコーンゴムやシリコーン樹脂のようなシリコーン；天然ゴム；イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、エチレン・プロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、多硫化ゴムのような合成ゴムが挙げられ、天然樹脂として天然ゴムが挙げられる。
　導電性ポリマーは、例えば導電性を有する有機化合物から構成される樹脂であり、例えばポリアセチレン；ポリピロール；ポリチオフェン；ポリパラフェニレン；ポリメタフェニレン；ポリ（ｐ－フェニレンビニレン）；ポリアニリン；ポリ（ｐ－フェニレンスルフィド）；アニオン性ポリマーまたはラテックスが挙げられる。
　第１の電極１６及び第２の電極１４の素材として、金属であれば、抵抗値は非常に低い。一方、導電性物質含有樹脂や導電性樹脂であれば、体積抵抗率が１×１００Ω・ｃｍ以下、好ましくは体積抵抗率が１×１０－３Ω・ｃｍ以下の導電性を持つものが好ましい。
　中でも、第１の電極は導電性の金属が望ましい。
　この気流発生装置１中、第１の誘電体基材１５の素材として、ゴムであれば特に限定されない。例えば、付加架橋型シリコーンゴム、より具体的にはＰｔ触媒存在下で合成したビニルメチルシロキサン／ポリジメチルシロキサンコポリマー、ビニル末端ポリジメチルシロキサン、ビニル末端ジフェニルシロキサン／ポリジメチルシロキサンコポリマー、ビニル末端ジエチルシロキサン／ポリジメチルシロキサンコポリマー、ビニル末端トリフロロプロピルメチルシロキサン／ポリジメチルシロキサンコポリマー、ビニル末端ポリフェニルメチルシロキサン、ビニルメチルシロキサン／ジメチルシロキサンコポリマー、トリメチルシロキサン基末端ジメチルシロキサン／ビニルメチルシロキサン／ジフェニルシロキサンコポリマー、トリメチルシロキサン基末端ジメチルシロキサン／ビニルメチルシロキサン／ジトリフロロプロピルメチルシロキサンコポリマー、トリメチルシロキサン基末端ポリビニルメチルシロキサンなどのビニル基含有ポリシロキサンと、Ｈ末端ポリシロキサン、メチルＨシロキサン／ジメチルシロキサンコポリマー、ポリメチルＨシロキサン、ポリエチルＨシロキサン、Ｈ末端ポリフェニル（ジメチルＨシロキシ）シロキサン、メチルＨシロキサン／フェニルメチルシロキサンコポリマー、メチルＨシロキサン／オクチルメチルシロキサンコポリマーで例示されるＨ基含有ポリシロキサンの組成物；アミノプロピル末端ポリジメチルシロキサン、アミノプロピルメチルシロキサン／ジメチルシロキサンコポリマー、アミノエチルアミノイソブチルメチルシロキサン／ジメチルシロキサンコポリマー、アミノエチルアミノプロピルメトキシシロキサン／ジメチルシロキサンコポリマー、ジメチルアミノ末端ポリジメチルシロキサンで例示されるアミノ基含有ポリシロキサンと、エポキシプロピル末端ポリジメチルシロキサン、（エポキシシクロヘキシルエチル）メチルシロキサン／ジメチルシロキサンコポリマーで例示されるエポキシ基含有ポリシロキサン、琥珀酸無水物末端ポリジメチルシロキサンで例示される酸無水物基含有ポリシロキサン及びトルイルジイソシアナート、１，６－ヘキサメチレンジイソシアナートなどのイソシアナート基含有化合物との組成物から得られるゴム；ビニルメチルシリコーン（ＶＭＱ）、メチルフェニルシリコーン（ＰＶＭＱ）、フルオロメチルシリコーン（ＦＶＭＱ）、及びジメチルシリコーン（ＭＱ）のようなシリコーンゴム；パーオキサイド架橋型シリコーンゴム：縮合架橋型シリコーンゴム：紫外線架橋型シリコーンゴム：放射線架橋型シリコーンゴム；これらのシリコーンとオレフィンとの共ブレンド物を成形金型等に入れて、架橋させることにより製造された立体的な架橋構造を有する三次元化シリコーン；エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、フッ化ビニリデン系（ＦＫＭ）やテトラフルオロエチレン－プロピレン系（ＦＥＰＭ）やテトラフルオロエチレン－パープルオロビニルエーテル系（ＦＦＫＭ）のようなフッ素ゴム、ブタジエンゴム（ＢＲ)、イソプレンゴム（ＩＲ)、イソブチレン－イソプレンゴム（ＩＩＲ）、天然ゴム（ＮＲ)、ウレタンゴム（Ｕ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、これらの架橋ゴムとオレフィンとの共ブレンド物；非結晶性樹脂、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリスチレン（ＰＳ）；アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体（ＡＢＳ）；ポリアミド（ＰＡ）；ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）；ポリカーボネート（ＰＣ）；ポリブタジエンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリエステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、およびシリコーン（メタ）アクリレート、及びペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートのような(メタ)アクリル樹脂；が挙げられる。
　中でも、第１の誘電体基材１５が、三次元的な網目状に架橋していることによって弾性を有するシート状に成形された三次元架橋シリコーンゴム製弾性被覆基材や三次元架橋エチレン・プロピレン・ジエンゴム製弾性被覆基材であることが好ましい。
　具体的には、第１の誘電体基材１５を形成する原料組成物は、ミラブルタイプでも液状タイプでもよい。これら第１の誘電体基材１５を成すシリコーンゴムやエチレン・プロピレン・ジエンゴムは、不飽和基例えば重合性のビニル基を有していることが好ましい。ビニル基を有していると、第１の誘電体基材１５の表面にそのビニル基が露出し、第２の誘電体基材１３中の硬化物の不飽和基例えばビニル基やヒドロシリル基、又はその原料組成物中のゴム形成成分中の不飽和基例えばビニル基やヒドロシリル基と結合し易くなる。
　第１の誘電体基材１５の素材は、表面から不飽和基例えばビニル基が露出している場合、第２の誘電体基材１３と化学結合で化学的に架橋して接合し易いように、白金（Ｐｔ）触媒又はロジウム（Ｒｈ）触媒を保持していてもよい。
　第１の誘電体基材１５は、シリコーンゴムである場合、その絶縁破壊強さが、例えばＪＩＳ　Ｃ２１１０－１に準じた測定方法で、２５ｋＶ／ｍｍ以上、好ましくは３０ｋＶ／ｍｍ以上であり、耐トラッキングの値が３５ｋＶ以上、好ましくは４５ｋＶ以上である。
　第１の誘電体基材１５は、第２の面１５downの一部に第２の電極１４、第１の面１５upの一部に第１の電極１６が、夫々が、化学結合で化学的に架橋して接合して、付されている。第１の電極１６及び第２の電極１４と第１の誘電体基材１５との接合部位、第２の電極１４と第２の誘電体基材１３との接合部位が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合しており、第１の誘電体基材１５と第２の誘電体基材１３との接合部位が、それら基材の表面に結合し及び／又はその表面に存する不飽和基又ビニルシリル含有シリル基を介した化学結合で化学的に架橋して接合しているというものである。
　この第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接合は、例えば、それらの少なくとも何れかの表面露出反応性基例えば水酸基に結合する不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンにより表面改質された改質部位に結合した不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有シロキシ基により増幅された増幅部位を有していることによって、増幅部位を介して他方の基材又は電極の表面に、接合されている。
　例えば、第１の電極１６及び第２の電極１４の接合側の面は、増幅部位形成前に予め及び／又は増幅部位形成後に、コロナ放電処理、プラズマ処理、紫外線照射処理、又はエキシマ処理のような表面活性化処理が施され、第１の誘電体基材１５の接合側の面は必要に応じ増幅部位形成前に予め及び／又は増幅部位形成後コロナ放電処理、プラズマ処理、紫外線照射処理、又はエキシマ処理のような表面活性化処理が施されることによって、それらの表面に、表面露出反応性基として例えば水酸基、カルボキシル基及び／又はカルボニル基がさらに新たに生成されている。
　このように、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接合側の面上に十分な濃度の表面露出反応性基である水酸基、カルボキシル基又はカルボニル基を生成させたり、僅かに生成した水酸基等の表面露出反応性基を利用して他方の表面露出反応性基との反応性基濃度を増幅させたりするのが好ましい。特に、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との両方に、表面露出反応性基が新たに導入されていることが好ましい。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接合側の面上に十分な濃度の表面露出反応性基を生成させるために、例えば、接合し合う第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４の少なくとも一方に、コロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理を施すと、その接合側の面で、有機又は無機材料上に、高反応性の表面露出反応性基、例えば水酸基、カルボキシル基又はカルボニル基を生成して、元来の水酸基と新たに形成された水酸基、カルボキシル基又はカルボニル基とが露出して点在する点在表面露出反応性基を、接合面に有することとなる。
　そこへ、例えばビニルシリル含有アルコキシシロキサンを浸漬、塗布、噴霧等の処理を行う。エーテル結合、エステル結合のような共有結合を介して水酸基、カルボキシル基又はカルボニル基のような表面露出反応性基に結合し、反応性の低い表面露出反応性基が、ビニルシリル基含有アルコキシシロキサンで表面改質され、ビニルシリル含有アルコキシシロキサンに由来するビニルシリル基が露出し、表面が改質される。
　次いで、必要に応じ、その改質部位でのアルコキシシリル基に、別なビニル基含有アルコキシシロキサンのアルコキシシリル基が反応しアルコール反応によって新たなシロキシ結合を介して結合する。すると、元々、反応性の低い表面露出反応性基の一つの基から、複数ビニル基含有アルコキシシロキサン由来の反応性の高い複数のビニル基でより一層増幅され、例えば単分子膜を形成する。第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接合側の両方の面に、同様に、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンで表面改質され、複数ビニル基含有アルコキシシロキサンで増幅されることが好ましい。
　すると、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との片方又は両方からビニル基が露出した増幅部位が形成される。必要に応じて、増幅部位が露出した表面を、コロナ放電処理、プラズマ処理、紫外線処理、及び／又はエキシマ処理を施すと、ビニル基の少なくとも一部乃至全部が酸化的に開裂して露出したシラノール基又はシリル基を生じた増幅部位となる。
　この第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４とは、単に接触させて、又はさらに加圧下又は減圧下で、重ね合わせると、一方の接合面側が不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介して他方の接合面側と共有結合を介して、接合される。このとき、この第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４の増幅部位のビニル基同士やシラノール基同士やシリル基同士やそれらの組み合わせで反応し合う。
　このように、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との表面露出反応性基から、分子接着剤である一分子の不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンが反応しいわば単分子膜状となり、必要に応じそこへ別な分子接着剤である一分子のビニル基含有アルコキシシロキサンが反応して更に単分子膜状を形成して、両基材の接合に寄与する。不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンの単分子膜と、別な分子接着剤であるビニル基含有アルコキシシロキサンの単分子膜とを介した共有結合により、夫々のビニル基同士の付加反応及び／又はアルコキシシロキシ基同士の縮合反応により、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４は、化学的に接合している。
　不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンは、表面露出反応性基に結合するビニルシリル含有シリル基、不飽和基含有シリル基から選ばれる少なくとも１種類を有する不飽和基又ビニルシリル含有シリル基を含有するものであれば、特に限定されない。シランカップリング剤であってもよい。例えば不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンとして、ビニルトリメトキシシラン(KBM-1003)、ビニルトリエトキシシラン(KBE-1003)などが挙げられる。
　さらに、ビニルトリアセトキシシラン(Z-6075)のようなビニル基含有シラン化合物（以上、何れも東レ・ダウコーニング株式会社製；商品名）が挙げられる。
　不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンは、中でも、アミノアルキルトリアルコキシシロキサン、又はアミノアルキルアミノアルキルトリアルコキシシロキサンのようなアミノ基及びアルコキシ基含有シラン化合物であると、複数ビニル基含有アルコキシシロキサンのアルコキシ基よりもアミノ基が第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４の表面露出反応性基と反応し易いため、表面改質が競合的に優先する。
　アミノ基及びアルコキシ基含有シラン化合物は、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４の表面露出反応性基と反応して表面改質するものであれば、特に限定されないが、具体的には、アミノアルキルアミノアルキルトリアルコキシシロキサン、より具体的には、H2N-(CpH2p)-NH-(CqH2q)-Si(-OCrH2r+1)3 （p,q,rは夫々独立して１～6の数）で示されるもので、好ましくはアミノエチルアミノプロピルトリメトキシシラン（p=2,q=3,r=1）が挙げられる。
　ビニル基含有アルコキシシロキサンは、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンによる改質部位を増幅できるものであれば、特に限定されないが、化学式
　R2(OR1-)2-Si-O-[(CH2=CH-)(OR1-)Si-O]n-Si(-OR1)2R3
（式中、nは１～20の数、R1はCaH2a+1でありそのaは１～3の数、R2及びR3はCH3又はCH2=CH）で表されるものであり、より具体的には、式中nは１～5の数、aは1～3の数、R2＝CH3、R3＝CH2=CHで表されるビニル含有シランカップリング剤が挙げられる。
　不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンとビニル基含有アルコキシシロキサンとは、分子接着剤として、別々に２液で使用してもよく、１液に混合して使用してもよい。その使用比率又は混合比率は、重量比で1～0.1：1の組成であることが好ましい。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４の接合側の面の一方が、これらビニル基含有アルコキシシロキサンで増幅されている場合、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４の接合側の面との他方は、これらビニル基含有アルコキシシロキサンで増幅されていてもよく、有機アルミネート、無機アルミネート、有機チタネート、無機チタネート、トリアジン環含有化合物、CH2=CH-Si(-OCH3)3（ビニルメトキシシロキサン：VMS）、CH2=CH-Si(-OC2H5)3、CH2=CH-Si(-OC3H7)3のようなシランカップリング剤で反応性が高められていてもよい。
　有機アルミネート及び／又は有機チタネートとして、
-{Ｏ-Ｓｉ(-Ａ１)(-Ｂ１)}-の繰返単位をｐ単位と、
-{Ｏ-Ｔｉ(-Ａ２)(-Ｂ２)}-の繰返単位をｑ単位と、
-{Ｏ-Ａｌ(-Ａ３)}-の繰返し単位のｒ単位
（但し、各繰返し単位中、ｐ及びｑは０又は２～２００の数でｒは０又は２～１００の数であってｐ＋ｑ＋ｒ＞２であり、-Ａ１，-Ａ２及び-Ａ３は、-ＣＨ３、-Ｃ２Ｈ５、-ＣＨ＝ＣＨ２、-ＣＨ(ＣＨ３)２、-ＣＨ２ＣＨ(ＣＨ３)２、-Ｃ(ＣＨ３)３、-Ｃ６Ｈ５又は-Ｃ６Ｈ１２と、-ＯＣＨ３、-ＯＣ２Ｈ５、-ＯＣＨ＝ＣＨ２、-ＯＣＨ(ＣＨ３)２、-ＯＣＨ２ＣＨ(ＣＨ３)２、-ＯＣ(ＣＨ３)３、-ＯＣ６Ｈ５及び-ＯＣ６Ｈ１２から選ばれ前記共有結合を形成する反応性基との何れかであり、-Ｂ１及び-Ｂ２は、-Ｎ(ＣＨ３)ＣＯＣＨ３又は-Ｎ(Ｃ２Ｈ５)ＣＯＣＨ３と、-ＯＣＨ３、-ＯＣ２Ｈ５、-ＯＣＨ＝ＣＨ２、-ＯＣＨ(ＣＨ３)２、-ＯＣＨ２ＣＨ(ＣＨ３)２、-ＯＣ(ＣＨ３)３、-ＯＣ６Ｈ５、-ＯＣ６Ｈ１２、-ＯＣＯＣＨ３、-ＯＣＯＣＨ(Ｃ２Ｈ５)Ｃ４Ｈ９、-ＯＣＯＣ６Ｈ５、-ＯＮ＝Ｃ(ＣＨ３)２及び-ＯＣ(ＣＨ３)＝ＣＨ２から選ばれ前記共有結合を形成する反応性基との何れかであって、ｐ，ｑ及びｒを正数とする前記繰返単位中の-Ａ１，-Ａ２，-Ａ３，-Ｂ１及び-Ｂ２の少なくとも何れかが前記反応性基である）で模式的に示される化合物が挙げられる。この化合物は、繰返単位が、ブロック共重合、又はランダム共重合したものであってもよい。有機アルミネートや無機アルミネートのようなアルミネートカップリング剤、有機チタネートや無機チタネートのようなチタネートカップリング剤であってもよい。
　トリアジン環含有化合物として、より具体的には、
トリエトキシシリルプロピルアミノ－１，３，５－トリアジン－２，４－ジチオール（ＴＥＳ）、アミノエチルアミノプロピルトリメトキシシランのようなアミノ基含有化合物；トリエトキシシリルプロピルアミノ基のようなトリアルコキシシリルアルキルアミノ基とメルカプト基又はアジド基とを有するトリアジン化合物、下記化学式(Ｉ)
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
 （式(Ｉ)中、Ｗは、スペーサ基、例えば置換基を有していてもよいアルキレン基、アミノアルキレン基であってもよく、直接結合であってもよい。Ｙは、水酸基又は加水分解や脱離により水酸基を生成する反応性官能基、例えばトリアルコキシアルキル基である。－Ｚは、－Ｎ３又は－ＮＲ１Ｒ２である（但し、Ｒ１，Ｒ２は同一又は異なりＨ又はアルキル基、－Ｒ３Ｓｉ（Ｒ４）ｍ（ＯＲ５）３－ｍ[Ｒ３，Ｒ４はアルキル基、Ｒ５はＨ又はアルキル基、ｍは０～２]。なお、アルキレン基、アルコキシ、アルキル基は、置換基を有していてもよい炭素数１～１２の直鎖状、分岐鎖状及び／又は環状の炭化水素基である。）で表わされるトリアジン化合物、例えば２，６－ジアジド－４－｛３－（トリエトキシシリル）プロピルアミノ｝－１，３，５－トリアジン（Ｐ－ＴＥＳ）；
アルコキシシリル基を有するチオール化合物、具体的にはトリアルコキシシリルアルキル基を有するチオール化合物；
アルコキシシリル基を有するエポキシ化合物、具体的にはトリアルキルオキシシリルアルキル基を有するエポキシ化合物；
アルコキシシリル基とメルカプト基とアジド基との少なくとも何れかを有するトリアジン化合物；
アルコキシシリル基を有するアミン化合物、具体的にはＮ－（３－（トリメトキシシリル）プロピル）エチレンジアミン；
が挙げられる。
　第２の誘電体基材１３は、ゴム成分含有組成物の硬化物である。
　第２の誘電体基材１３を形成するゴム成分含有組成物のゴム成分は、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を有している。それによって、第２の誘電体基材１３の表面にそれら反応性架橋基が存している。
　または、第２の誘電体基材１３を形成するゴム成分含有組成物は、ゴム成分がそれら架橋性官能基を有しないもので前記の第１の誘電体基材１５で例示したゴム又は樹脂である場合、第１の誘電体基材１５で改質又はさらに増幅したのと同様にして第２の誘電体基材１３の表面にそれら反応性架橋基を有するようにしてもよい。
　第１の誘電体基材１５や第２の電極１４と第２の誘電体基材１３との接合部位が、それら基材の表面に結合し及び／又はその表面に存する反応性架橋基によって、第１の誘電体基材１５に化学結合で化学的に架橋して接合している。
　例えば、第１の誘電体基材１５が元々有する不飽和基のような官能基や第１の誘電体基材１５又は第２の電極１４に結合した不飽和基又ビニルシリル含有シリル基と、第１の誘電体基材１５の反応性架橋基や第１の誘電体基材１５のゴム成分中の反応性架橋基とが、化学結合で化学的に架橋して接合するものであれば、不飽和官能基への付加架橋、縮合架橋、開環付加架橋の何れの組合せであってもよい。触媒例えば白金触媒やロジウム触媒を担持してこれら架橋をする組合せであってもよい。
　より具体的には、第１の誘電体基材１５の元々有する官能基、第１の誘電体基材１５や第２の電極１４の表面の不飽和基又ビニルシリル含有シリル基と、第１の誘電体基材１５の反応性架橋基や第１の誘電体基材１５のゴム成分中の反応性架橋基とは、一方がビニル基のような不飽和基で他方がヒドロシリル基である組合せが挙げられる。
　第２の電極１４を第１の誘電体基材１５ごと覆うゴム成分含有組成物の硬化物である第２の誘電体基材１３は、分子接着と架橋硬化とを同時に行って硬化したものである。
　気流発生装置１として、図１及び図２に示すように、第１の電極１６と第２の電極１４とが、ぎりぎり重畳しない例を示したが、図３に示すように、幅Ｗ３で均等に重畳するように配置されていてもよい。その場合、第１の電極１６及び第２の電極１４の幅Ｗ１及びＷ２の夫々に対し、重畳した幅Ｗ３は、電極１６・１４幅の５割以下の長さであることが好ましい。この範囲を超えて重畳してしまうと、気流Ｓ（図１参照）が電極上にほぼ対照に生じてしまい風を呼び込む効果が薄れてしまう。
　気流発生装置１は、図４に示すように、第１の電極１６と第２の電極１４とが、段差方向に対する直交方向でＷ４の幅を開けて配置されていてもよい。第１の電極１６と第２の電極１４との距離が大きくなり過ぎた場合、プラズマ放電を引き起こし難くなる。
　気流発生装置１は、図５に示すように、第１の電極１６をコーティング膜で保護され、又はフィルム膜１７で保護されていてもよい。これらで保護されていると、屋外で使用する場合に、雹・霰・鳥・虫との衝突に起因する凹みの発生を抑制し、断線や破損を起こし難くする。コーティング膜やフィルム膜１７は、第１の電極１６の第２の電極向きの側面端部を、露出させていると、プラズマ放電を引き起こしやすいから一層好ましい。
　別な態様の気流発生装置１は、図６に示すように、第１の電極１６を、前記のコーティング膜又はフィルム膜を兼ねる導電性ゴム材料で形成された導電性ゴム材料被覆層１８で保護されていてもよい。導電性ゴム材料被覆層１８で保護されていると、雹・霰・鳥・虫との衝突に起因して金属箔のような導電性材料である第１の電極１６が凹んだり切れたりして断線し、又は撓みや撓りに起因して金属板のような導電性材料である第１の電極１６が切断されたり金属疲労で破断されたりして断線しても、導電性ゴム材料被覆層１８で導電性を補償できる。
　また、別な態様の気流発生装置１は、図７に示すように、第２の電極１４が、第１の電極から離れた金属膜又は金属板からなる金属電極層１４ａと、第１の誘電体基材１５に裏面１５down側に付されその反対面側で金属電極層１４ａに付されて接触しつつ金属電極層１４ａよりも第１の電極１６側にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層からなる導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとからなるものであってもよい。図１・２と同様に、第１の電極１６及び第２の電極１４は、長手方向（紙面前後方向）に沿う導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの内側端面（同図中の左側の端面）の真上（同図中の厚み方向の上方向）に、同じく長手方向に沿う第１の電極１６の内側端面（同図中の右側の端面）が来るように、配置されている。第１の電極１６及び第２の電極１４の導電性合成樹脂材料電極層１４ｂは、図２・３と同様に、一部重なり又は離れていてもよい。第２の電極１４が金属電極層１４ａと導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとからなるものであると、撓みや撓りに起因して金属箔や金属板のような導電性材料である第２の電極１４が切断されたり金属疲労で破断されたりして断線しても、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂで電源ユニット１１からの電流を絶やすことなく導電性を補償できる。
　さらに別な態様の気流発生装置１は、図８に示すように、第２の電極１４が、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂからなるものであってもよい。図８中、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂが第１の電極１６と一部重なっている例を示したが、図２・３と同様に、一部重なり又は離れていてもよい。
　第２の電極１４が金属電極層１４ａと導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとからなる場合、又は導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ、第２の電極１４は前記同様に分子接着によって接合されている。
　気流発生装置１は、例えば風力発電装置４０のブレードに取り付けて、図９のようにして使用される。地上に設置されたタワー４４の上端にナセル４３が設けられ、ナセル４３から突き出て回転可能なハブ４２に３本のブレード４１が設けられている。ナセル４３またはハブ４２には、電源回路と電源制御回路とを内蔵した電源ユニット１１（図１参照）が収納され、さらにブレード４１の角度調整器とハブ４２の軸に増速器・ブレーキ装置・動力伝達軸が接続された発電機と（不図示）が収納されている。気流発生装置１は、長さＬでほぼブレード４１と同じ長さであり、ブレード４１前縁近傍に取り付けられている。
　気流発生装置１は、図１０の風力発電装置におけるＡ－Ａを示す図９の矢視図の通り、ブレード４１が被対象物２０となっている。気流発生装置１が無ければ、風３１は、二点破線矢印のように、ブレード４１前縁近傍から離れるように、剥離した風となって流れる。しかし、気流発生装置１があると、プラズマ放電に起因する気流３２を発生し、風を引き込んで、実線矢印のように、ブレード４１の表面に沿って流れるようになる。
　図１～図５に示すような気流発生装置１は、例えば以下のようにして製造される。
　先ず、不飽和基を有するシリコーンゴム又はエチレン・プロピレン・ジエンゴムで第１の誘電体基材１５をシート状に形成する。次に、第１の電極１６の片面に対し予めコロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理を施すと、水酸基、カルボキシル基及び／又はカルボニル基が反応性の官能基として表面露出反応性基が新たに生成されて増幅されつつ点在して露出する。第１の誘電体基材１５との接合面側（第１の面１５up側）にて、第１の電極１６に生じた表面露出反応性基に不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有化合物と反応させ、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基を結合させる。必要に応じて第１の電極１６と第１の誘電体基材１５とを、それらの接合面側で予めコロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理を施す。第１の電極１６と第１の誘電体基材１５とを、単に接触させて、若しくはさらに加圧下又は減圧下で、重ね合わせると、互いに、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基を介して化学的に接合する。
　次いで、第２の電極１４の両面に対し予めコロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理を施し、水酸基等の表面露出反応性基を生成させる。第１の誘電体基材１５との接合面側（第２の面１５down）にて、第２の電極１４に生じた表面露出反応性基に不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有化合物と反応させ、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基を結合させる。必要に応じて第２の電極１４と第１の誘電体基材１５とを、それらの接合面側で予めコロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理を施す。第２の電極１４と第１の誘電体基材１５とを、単に接触させて、若しくはさらに加圧下又は減圧下で、重ね合わせると、互いに、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基を介して化学的に接合する。
　さらに、第２の電極１４と第１の誘電体基材１５とを第２の面１５down側で、コロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理を施しそれら表面に生じた表面露出反応性基に反応性架橋基含有化合物と反応させ、反応性架橋基を結合させ、若しくはさらに必要に応じて白金触媒又はロジウム触媒を含有する溶液又は懸濁液で浸漬又は塗工し触媒を担持させる。
　その後、第２の電極１４と第１の誘電体基材１５とを第２の面１５down側で分子接着させつつ加硫硬化させるゴム成分含有組成物を、調製する。第２の電極１４を第１の誘電体基材１５ごと覆うように、そのゴム成分含有組成物を塗工加工又は成型加工して硬化させ、硬化物にして、第２の誘電体基材１３を形成し、気流発生装置を得る。
　第２の誘電体基材１３の露出面側で、相対的に空中を移動する被対象物に、接着剤、又は前記と同様な分子接着によって接合する。
　なお、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４とを接合する際、それらの接合面がコロナ放電処理やプラズマ処理や紫外線照射処理やエキシマ処理のような表面活性化処理されて、常圧で重ねられた後、常圧下のまま共有結合させてもよいが、減圧下又は加圧下で共有結合させてもよい。水酸基のような表面露出反応性基と不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有アルコキシシロキサンや複数ビニル基含有アルコキシシロキサンの反応基との接近は、減圧乃至真空条件下、例えば５０ｔｏｒｒ以下、より具体的には５０～１０ｔｏｒｒの減圧条件、又は１０ｔｏｒｒ未満、より具体的には、１０ｔｏｒｒ未満～１×１０－３ｔｏｒｒ、好ましくは１０ｔｏｒｒ未満～１×１０－２ｔｏｒｒの真空条件下で、その接触界面の気体媒体を除去することによって、又はその接触界面に応力（荷重）、例えば１０～２００ｋｇｆを加えることによって、さらに接触界面を加熱することによって、促進される。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接合側の面に施すコロナ放電処理としては、例えば大気圧コロナ表面改質装置（信光電気計測株式会社製、製品名：コロナマスター）を用いて、例えば、電源：ＡＣ１００Ｖ、出力電圧：０～２０ｋＶ、発振周波数：０～４０ｋＨｚで０．１～６０秒、温度０～６０℃の条件で行われる。このようなコロナ放電処理は、水、アルコール類、アセトン類、エステル類等で濡れている状態で、行われてもよい。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接合側の面に施す表面活性化処理としては、大気圧プラズマ処理及び／又は紫外線照射処理（ＵＶ照射によりオゾンを生成させるような一般的なＵＶ処理やエキシマＵＶ処理）であってもよい。
　大気圧プラズマ処理としては、例えば、大気圧プラズマ発生装置（パナソニック株式会社製、製品名：Ａｉｐｌａｓｕｍａ）を用いて、例えば、プラズマ処理速度１０～１００ｍｍ／ｓ，電源：２００又は２２０Ｖ　ＡＣ（３０Ａ）、圧縮エア：０．５ＭＰａ（１ＮＬ／ｍｉｎ）、１０ｋＨｚ／３００Ｗ～５ＧＨｚ、電力：１００Ｗ～４００Ｗ、照射時間：０．１～６０秒の条件で行われる。
　紫外線照射処理としては、エキシマランプ光源（浜松ホトニクス株式会社製、製品名：Ｌ１１７５１－０１）を用いて、例えば、積算光量：５０～１５００ｍJ／ｃｍ２で行われる。
　なお、分子接着技術として、不飽和基又ビニルシリル含有シリル基含有化合物や反応性架橋基含有化合物を用いた例を示したが、さらに共存するビニル基含有アルコキシシロキサンと共に浸漬、塗布、噴霧等の塗工処理による分子接着剤が用いられてもよい。この処理により、先ず不飽和基を含有する反応性官能基含有アルコキシシロキサンが、エーテル結合、エステル結合のような共有結合を介して水酸基、カルボキシル基又はカルボニル基のような表面露出反応性基に結合し、反応性の低い表面露出反応性基が、反応性の高いこれら反応性官能基含有アルコキシシロキサンで表面改質され、反応性官能基含有アルコキシシロキサンに由来するアルコキシシリル基が露出し、例えば単分子膜を形成し、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との表面が改質される。次いで、その改質部位でのアルコキシシリル基に、ビニル基含有アルコキシシロキサンのアルコキシシリル基が反応しアルコール反応によって新たなシロキシ結合を介して結合する。すると、元々、反応性の低い表面露出反応性基の一つの基から、ビニル基含有アルコキシシロキサン由来の反応性の高い複数のビニル基で増幅され、例えば単分子膜を形成する。
　すると、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４から複数のビニル基が露出した増幅部位が形成される。必要に応じて、増幅部位が露出した表面を、コロナ放電処理、プラズマ処理、紫外線処理、及び／又はエキシマ処理を施すと、ビニル基の少なくとも一部乃至全部が酸化的に開裂して露出したシラノール基又はシリル基を生じた増幅部位となる。さらに白金触媒又はロジウム触媒を担持させてもよい。
　この第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４とを夫々接触させ、又は第２の電極１４ごと第１の誘電体基材１５と第１の誘電体基材１５を分子接着させつつ加硫硬化させて形成するゴム成分含有組成物とを夫々接触させ、気流発生装置１を製造してもよい。
　なお、図６～８に示すような気流発生装置１も、図１～図５に示した気流発生装置１と同様にして製造できる。
　本発明を適用する実施例の気流発生装置１を、以下の実施例１～３のようにして作製し、その物性について評価した。
（実施例１）
　図１及び図２で示した気流発生装置１を以下のようにして、作製した。
　電極として脱脂されたチタン製の第１の電極１６及び第２の電極１４を用いて、表面処理としてコロナ放電処理を施し、第１の電極１６及び第２の電極１４上に水酸基を生成させ、(CH2=CH-)(CH3O-)2Si-O-[(CH2=CH-)(CH3O-)Si-O]n1-Si(-OCH3)2(-CH=CH2)(n1=1～30)のようなビニル含有シリル化合物の溶液に浸漬させて熱処理することにより、第１の電極１６及び第２の電極１４上の水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた。
　水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた第１の電極１６及び第２の電極１４と、ゴムシートである第１の誘電体基材１５（ビニル基含有シリコーンゴム：東レ・ダウコーニング社製；製品番号ＳＨ８５１ＵＳ）とを同条件でコロナ放電処理し、表面を活性化処理した。上から順に第１の電極１６、第１の誘電体基材１５、第２の電極１４の順で重ね、８０℃で５分間、７０ｋｇｆでプレスし、熱圧着し、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接着物を得た。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接着物の第１の誘電体基材１５の第２の面１５downの露出面と第２の電極１４との露出面とに、白金含有触媒、具体的には白金－テトラメチルジビニルジシロキサン錯体のような白金錯体のヘキサン液に浸漬させ、乾燥させて、表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接着物を得た。その化学的構造は必ずしも明らかではないが、接着すべき対象物の表面で生成した複数のビニル含有シリル基に、白金錯体の白金原子が配位しているものと推察される。
　表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接着物に、第１の誘電体基材１５の第２の面１５downの露出面と第２の電極１４との露出面で、付加架橋シリコーンゴム原料組成物（２成分液状シリコーンゴム：信越化学工業株式会社製；製品番号ＫＥ－１９５０－５０）を塗布し、加圧加熱して硬化させた。すると、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンのヒドロシリル基が、ビニル含有シリル基の付加架橋重合よりも優先的に、第１の誘電体基材１５の第２の面１５downの露出面のビニル基含有シリコーンゴムの二重結合と第２の電極１４との露出面のビニル含有シリル基の二重結合へヒドロシリル化反応して、高分子量化し、表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び第２の電極１４との接着物に、第１の誘電体基材１５の第２の面１５downと第２の電極１４との露出していた部位の上で、付加架橋シリコーンゴムが第２の誘電体基材１３として被覆して接着した、気流発生装置１としての気流制御電極を得た。
（実施例２）
　図７で示した気流発生装置１を以下のようにして、作製した。
　電極として脱脂されたチタン製の第１の電極１６及び第２の電極１４用の金属電極層１４ａを用いて、表面処理として実施例１と同条件でコロナ放電処理を施し、第１の電極１６及び金属電極層１４ａ上に水酸基を生成させ、(CH2=CH-)(CH3O-)2Si-O-[(CH2=CH-)(CH3O-)Si-O]n1-Si(-OCH3)2(-CH=CH2)(n1=1～30)のようなビニル含有シリル化合物の溶液に浸漬させて熱処理することにより、第１の電極１６及び金属電極層１４ａ上の水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた。
　水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた第１の電極１６と実施例１で用いたものと同種のゴムシートである第１の誘電体基材１５とを実施例１と同条件でコロナ放電処理し、表面を活性化処理した。上から順に第１の電極１６、第１の誘電体基材１５の順で重ね、８０℃で５分間、７０ｋｇｆでプレスし、熱圧着し、第１の電極１６と第１の誘電体基材１５との接着物を得た。
　第１の電極１６と第１の誘電体基材１５との接着物の第２の面１５downと、導電性ゴムシートであるシリコーンゴムで形成された導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ（ビニル基含有導電シリコーンゴム：信越化学工業社製；製品番号ＫＥ－３７１１－Ｕ）とを、実施例１と同条件でコロナ放電処理し、表面を活性化処理した。上から順に第１の電極１６と第１の誘電体基材１５との接着物、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの順で重ね、８０℃で５分間、７０ｋｇｆでプレスし、熱圧着し、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの接着物を得た。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの接着物の第１の誘電体基材１５と、水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた金属電極層１４ａとを同条件でコロナ放電処理し、表面を活性化処理した。第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの接着物の第１の誘電体基材１５に、金属電極層１４ａを重ね合せ、８０℃で５分間、７０ｋｇｆでプレスし、熱圧着し、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ・金属電極層１４ａからなる第２の電極との接着物を得た。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ・金属電極層１４ａからなる第２電極との接着物の第１の誘電体基材１５の第２の面１５downの露出面と、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの露出面と、金属電極層１４ａの露出面とに、白金含有触媒、具体的に白金－テトラメチルジビニルジシロキサン錯体のような白金錯体のヘキサン液に浸漬させ、乾燥させて、表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ・金属電極層１４ａからなる第２電極との接着物を得た。その化学的構造は必ずしも明らかではないが、接着物の表面で生成した複数のビニル含有シリル基に、白金錯体の白金原子が配位しているものと推察される。
　表面に白金含有触媒が付された第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ・金属電極層１４ａからなる第２電極との接着物に実施例１と同種の付加架橋シリコーンゴムを塗布し、加圧加熱して硬化させた。すると、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンのヒドロシリル基が、ビニル含有シリル基同士の架橋重合よりも優先的に、そのビニル含有シリル基の二重結合へヒドロシリル化反応して、高分子量化し、表面に白金含有触媒が付された第１の電極１６及び導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ・金属電極層１４ａからなる第２電極との接着物に、第１の誘電体基材１５の第２の面１５downと、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂと、金属電極層１４ａとの露出していた部位の上で、付加架橋シリコーンゴムが第２の誘電体基材１３として被覆して接着した、気流発生装置１としての気流制御電極を得た。
（実施例３）
　図８で示した気流発生装置１を以下のようにして、作製した。
　電極として脱脂されたチタン製の第１の電極１６を用いて、表面処理として実施例１と同条件でコロナ放電処理を施し、第１の電極１６上に水酸基を生成させ、
(CH2=CH-)(CH3O-)2Si-O-[(CH2=CH-)(CH3O-)Si-O]n1-Si(-OCH3)2(-CH=CH2)(n1=1～30)のようなビニル含有シリル化合物の溶液に浸漬させて熱処理することにより、第１の電極１６上の水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた。
　水酸基にビニル含有シリル化合物を反応させた第１の電極１６と実施例１で用いたものと同種のゴムシートである第１の誘電体基材１５とを実施例１と同条件でコロナ放電処理し、表面を活性化処理した。上から順に第１の電極１６、第１の誘電体基材１５の順で重ね、８０℃で５分間、７０ｋｇｆでプレスし、熱圧着し、ゴムシート１５と第１の電極１６との接着物を得た。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６との接着物の第２の面１５downと実施例１と同種の導電性合成樹脂材料電極層１４ｂである第２の電極１４とを同条件でコロナ放電処理し、表面を活性化処理した。上から順に第１の誘電体基材１５と第１の電極１６との接着物、導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの順で重ね、８０℃で５分間、７０ｋｇｆでプレスし、熱圧着し、第１の誘電体基材１５と第１の電極１６・導電性合成樹脂材料電極層１４ｂ（第２の電極１４）との接着物を得た。
　第１の誘電体基材１５と第１の電極１６・導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとの接着物の第１の誘電体基材１５の第２の面１５downの露出面と導電性合成樹脂材料電極層１４ｂの露出面とに、白金含有触媒、具体的に白金－テトラメチルジビニルジシロキサン錯体のような白金錯体のヘキサン液に浸漬させ、乾燥させて、表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６・導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとの接着物を得た。その化学的構造は必ずしも明らかではないが、接着物の表面で生成した複数のビニル含有シリル基に、白金錯体の白金原子が配位しているものと推察される。
　表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６・導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとの接着物に、実施例１と同種の付加架橋シリコーンゴムを塗布し、加圧加熱して硬化させた。すると、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンのヒドロシリル基が、ビニル含有シリル基同士の架橋重合よりも優先的に、そのビニル含有シリル基の二重結合へヒドロシリル化反応して、高分子量化し、表面に白金含有触媒が付された第１の誘電体基材１５と第１の電極１６・導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとの接着物に、第１の誘電体基材１５の第２の面１５downと導電性合成樹脂材料電極層１４ｂとの露出していた部位の上で、付加架橋シリコーンゴムが第２の誘電体基材１３として被覆して接着した、気流発生装置１としての気流制御電極を得た。
　これらの気流発生装置１は、耐光性、耐候性に優れ、長期間使用しても誘電体基材と電極とが化学結合による分子接着により強固に接合しているから、剥離せず、耐久性に優れている。この気流発生装置１を用いた図１０の風力発電装置では、それを用いない風力発電装置に比べ、風の流れがスムーズであり、ブレードにおける気流の剥離を抑制して風の利用効率が大きく向上しており、ブレードが回転して大気を切る際の摩擦音が軽減され静かであった。
　本発明の気流発生装置は、家電製品や減圧・加圧エアーポンプ又は減圧コンプレッサのような小型製品のフィンやファンから、風力発電のブレードや車両・電車・エレベータ・ロケット・建造物のような大型製品までの広範な被対象物に取り付けて、風の流れをスムーズにするのに、用いられる。この気流発生装置は、ブレードやファンやフィンへの風を効率的に誘導したり、空気との摩擦音を低減して騒音を少なくしたりするのに、用いられる。
　１は気流発生装置、１１は電源ユニット、１２ａ・１２ｂは接続電線、１３は第２の誘電体基材、１４は第２の電極、１４ａは金属電極層、１４ｂは導電性合成樹脂材料電極層、１５は第１の誘電体基材、１５upは第１の面、１５downは第２の面、１６は第１の電極、１７はフィルム膜、１８は導電性材料ゴム被覆層、２０は被対象物、３１は風、３２は気流、３３は風、４０は風力発電装置、４１はブレード、４２はハブ、４３はナセル、Ｓは気流、Ｔ１～Ｔ３・Ｔtotalは厚さ、Ｗ１～Ｗ４は幅、Ｌは長さである。

Claims (15)

  1. 　ゴム弾性体材料からなる誘電体基材と、
    　前記誘電体基材に設けられた複数の電極と、
    を備え、
    　前記電極への印加電圧による前記誘電体基材近傍の気体の一部のプラズマ化により気流を発生させる気流発生装置であって、
    　前記電極と前記誘電体基材との接合部位が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合している
    ことを特徴とする気流発生装置。
  2. 　前記ゴム弾性体材料からなる第１の誘電体基材と、前記第１の誘電体基材の第１の面又は第１の面近傍に設けられた第１の電極と、前記第１の面とは異なる側の面である第２の面に設けられた第２の電極と、前記第２の電極を覆うように設けられた前記ゴム弾性体材料からなる第２の誘電体基材とを備え、前記第１の電極と前記第２の電極との間への印加電圧による前記第１の誘電体の第１の面近傍の気体の一部のプラズマ化により前記気流を発生させる前記気流発生装置であって、
    　前記第１の電極及び前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位、及び前記第２の電極と前記第２の誘電体基材との接合部位が、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合しており、前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材との接合部位が、それら基材の表面に結合し及び／又はその表面に存する不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した化学結合で化学的に架橋して接合していることを特徴とする請求項１に記載の気流発生装置。
  3. 　前記第１の誘電体基材及び前記第２の誘電体基材は、夫々ゴム成分含有組成物が三次元的な網目状に架橋している前記ゴム弾性体材料であって、弾性を有するシート状に成形された三次元架橋シリコーンゴム又は三次元架橋エチレン・プロピレン・ジエンゴムであることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  4. 　前記ゴム弾性体材料が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を有していることによって、前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位、及び前記第２の電極と前記第２の誘電体基材との接合部位が、化学結合で化学的に架橋して接合していることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  5. 　前記化学結合が前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した共有結合であることを特徴とする請求項１に記載の気流発生装置。
  6. 　前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が夫々、前記ゴム弾性体材料の分子中及び／又は表面上に存するものであることを特徴とする請求項１に記載の気流発生装置。
  7. 　前記第１の電極又は前記第２の電極と前記第１の誘電体基材及び前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材とが、その表面に存する前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が白金触媒又はロジウム触媒を担持させることによって、前記化学結合で化学的に架橋して接合していることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  8. 　前記第１の電極及び前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位で、これら前記第１の電極及び前記第２の電極及び前記第１の誘電体基材との少なくとも何れかの表面の水酸基の脱水素残基へ前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が共有結合しており、前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材との接合部位で、前記第１の誘電体基材の表面の水酸基の脱水素残基若しくはその表面に結合し及び／又はその表面に存する不飽和基又はビニルシリル含有シリル基が共有結合していることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  9. 　前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記第１の誘電体基材の少なくとも何れかの表面が、コロナ放電処理表面、プラズマ処理表面、紫外線処理表面、及び／又はエキシマ処理表面であることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  10. 　前記第１の電極の少なくとも一部が、コーティング膜又はフィルム膜で保護されていることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  11. 　前記コーティング膜、又は前記フィルム膜が、導電性ゴム材料で形成された膜であることを特徴とする請求項１０に記載の気流発生装置。
  12. 　前記第２の電極が、前記第１の電極側にまで伸びた導電性ゴム層又は導電性樹脂層からなることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  13. 　相対的に空中を移動する被対象物に、前記第２の誘電体基材の第２の面側で付されることを特徴とする請求項２に記載の気流発生装置。
  14. 　ゴム弾性体材料からなる誘電体基材と、前記誘電体基材に設けられた複数の電極とを備え、前記電極と前記誘電体基材との接合部位が、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を介した、化学結合で化学的に架橋して接合しており、前記電極への印加電圧による前記誘電体基材近傍の気体の一部のプラズマ化により気流を発生させる気流発生装置を製造する方法であって、
    　前記電極と前記誘電体基材との接合部位にて、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基によって、化学結合で接合させる工程
    を有することを特徴とする気流発生装置の製造方法。
  15. 　前記ゴム弾性体材料からなる第１の誘電体基材と、前記第１の誘電体基材の第１の面又は第１の面近傍に設けられた第１の電極と、前記第１の面とは異なる側の面である第２の面に設けられた第２の電極と、前記第２の電極を覆うように設けられた前記ゴム弾性体材料からなる第２の誘電体基材とを備え、前記第１の電極と前記第２の電極の間に電圧を印加して、前記第１の誘電体の第１の面近傍の気体の一部をプラズマ化することにより気流を発生させる前記気流発生装置を製造する方法であって、
    　前記第１の電極及び前記第２の電極に、前記第１の誘電体基材との接合面側に、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基を反応させる工程、
    　第１の電極及び前記第２の電極を、前記接合面側で、前記第１の誘電体基材に付けて、前記第１の電極及び前記第２の電極と前記第１の誘電体基材との接合部位にて、前記不飽和基又はビニルシリル含有シリル基によって、化学結合で接合させる工程、
    　前記ゴム弾性体材料を、前記第２の面で前記第２の電極を前記第１の誘電体基材ごと覆いつつ硬化させて、前記第２の電極と前記第２の誘電体基材及び前記第１の誘電体基材と前記第２の誘電体基材の接合部位にて、不飽和基又はビニルシリル含有シリル基によって、化学結合にて接合させる工程
    を有することを特徴とする請求項１４に記載の気流発生装置の製造方法。
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