JP2014226621A - 気流発生装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコーン樹脂と電極とを確実に接合し、電気的な信頼性を維持することができる気流発生装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態の気流発生装置の製造方法は、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体20を下型100に配置する工程と、第1の誘電体20上に第1の電極30を配置する工程と、第1の電極30を介して第1の誘電体上に、第1の誘電体20よりもゴム硬度が高く、かつ加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体40を配置して、積層体60を構成する工程とを備える。さらに、第2の誘電体側の上型110と下型100とによって、積層体60を加熱加圧して一体化し、第1の誘電体20に第1の電極30を埋入させるとともに、第1の誘電体20および第2の誘電体40を加硫する工程と、第2の誘電体40上に、第2の電極50を接合する工程とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】実施形態の気流発生装置の製造方法は、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体20を下型100に配置する工程と、第1の誘電体20上に第1の電極30を配置する工程と、第1の電極30を介して第1の誘電体上に、第1の誘電体20よりもゴム硬度が高く、かつ加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体40を配置して、積層体60を構成する工程とを備える。さらに、第2の誘電体側の上型110と下型100とによって、積層体60を加熱加圧して一体化し、第1の誘電体20に第1の電極30を埋入させるとともに、第1の誘電体20および第2の誘電体40を加硫する工程と、第2の誘電体40上に、第2の電極50を接合する工程とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、気流発生装置の製造方法に関する。
近年、省エネルギの観点から、流体機器や流体機器システムなどにおける動力を低減する重要性が高まっている。また、動力の低減とともに、流体機器や流体機器システムにおける振動や騒音を抑制することも、安全性確保や作業環境向上の観点から重要である。
現在、流体機器や流体機器システムなどにおける動力を低減する方法として、気流発生装置を用いて、流体機器における空気力学的特性を制御することが検討されている。この気流発生装置は、例えば、流体機器の構成部品の表面に備えられ、構成部品の表面に誘電体バリア放電によって気流を発生させる。また、流体機器における空気力学的特性を制御することで、流体機器や流体機器システムにおける振動や騒音を抑制することもできる。
従来の気流発生装置では、誘電体内に第1の電極が埋設され、この第1の電極と離間して、誘電体の表面に第2の電極が配置されている。第1の電極は、例えば、誘電体と誘電体との間に配設され、これらの誘電体を接着することで、誘電体内に埋設された状態となる。
誘電体としては、様々な材料を使用することができるが、気流発生装置が配置される環境、材料の柔軟性や靭性などを考慮して、シリコーン樹脂が使用させることがある。
従来の気流発生装置の製造工程において、未加硫のシリコーン樹脂を使用する場合、第1の電極と第2の電極との離間距離をばらつきなく一定の距離になるように製造することが困難であった。そのため、シリコーン樹脂においては、主として加硫済みのシリコーン樹脂が使用されていた。
しかしながら、加硫済みのシリコーン樹脂と金属である第1の電極との接着性は悪く、シリコーン樹脂と第1の電極との間に気泡などが存在し、シリコーン樹脂と第1の電極とが剥離することがある。このような気泡の存在や剥離が生じると、絶縁破壊が発生し、電気的な信頼性を維持することができない。また、第1の電極は、シリコーン樹脂内に埋設されているため、容易に気泡や剥離を補修することはできない。
そのため、気泡などが存在することなく、シリコーン樹脂間に第1の電極を接着することが重要となる。
本発明が解決しようとする課題は、シリコーン樹脂と電極とを確実に接合し、電気的な信頼性を維持することができる気流発生装置の製造方法を提供するものである。
実施形態の気流発生装置の製造方法は、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体を第1のプレス用金型に配置する工程と、前記第1の誘電体上に第1の電極を配置する工程と、前記第1の電極を介して前記第1の誘電体上に、前記第1の誘電体よりもゴム硬度が高く、かつ加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体を配置して、積層体を構成する工程とを備える。
さらに、気流発生装置の製造方法は、前記第2の誘電体側の第2のプレス用金型と前記第1のプレス用金型とによって、前記積層体を加熱加圧して一体化し、前記第1の誘電体に前記第1の電極を埋入させるとともに、前記第1の誘電体および前記第2の誘電体を加硫する工程と、前記第2の誘電体上に、第2の電極を接合する工程とを備える。
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態の気流発生装置の製造方法によって製造された気流発生装置10を模式的に示した斜視図である。また、図2は、図1のA−A断面を示す図である。
図1は、第1の実施の形態の気流発生装置の製造方法によって製造された気流発生装置10を模式的に示した斜視図である。また、図2は、図1のA−A断面を示す図である。
図1および図2に示すように、気流発生装置10は、第1の誘電体20と、この第1の誘電体20の一方の表面20aに埋入された第1の電極30を備える。また、気流発生装置10は、第1の誘電体20の表面20aに面して、第2の誘電体40が設けられ、第2の誘電体40の一方の表面40aには、第2の電極50が備えられている。
第1の誘電体20は、加硫剤が添加された、例えば、シート状やブロック状のシリコーン樹脂で構成されている。オルガノポリシロキサンをベースとしたポリマーの重合度は、1000以上のものが好ましい。シリコーン樹脂として、例えば、いわゆるミラブル形のシリコーン樹脂を使用することが好ましい。ここで、ミラブル形とは、シリコーンゴムコンパウンドのうちで、硬化前の状態が天然ゴムまたは通常の合成ゴムの未加硫配合ゴムに類似し、例えば、練りロール機、密閉式混合機などで可塑化や混合を行なうことができる状態のものをいう。ミラブル形の状態として、例えば、粘土状の状態などが挙げられる。
ここで、気流発生装置10の製造工程において加熱加圧工程を経る前は、第1の誘電体20を構成するシリコーン樹脂は、ミラブル形であり、練りロール機、密閉式混合機などで可塑化や混合が可能な状態である。一方、加熱加圧工程後は、加硫(架橋)され、弾性や強度が増加される。なお、この状態は、ミラブル形の状態ではない。
第1の誘電体20を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度は、例えば、A30〜A70であることが好ましい。ここで示されたゴム硬度は、JIS K 6253に基づく、デュロメータ タイプAにおけるものである(以下、同じ)。A30〜A70のゴム硬度の範囲が好ましいのは、入手性、引張強度や引き裂き強度などの機械的強度に優れているからである。
第1の誘電体20を構成するミラブル形のシリコーン樹脂としては、例えば、TSE221−5U、TSE260−5U、TSE270−5U(モメンティブ社製)、KE−951(信越シリコーン社製)などを使用することができる。そして、これらのシリコーン樹脂に加硫剤を添加している。加硫剤は、ミラブル形のシリコーン樹脂に例えば混練され、シリコーン樹脂中に均一に分散して添加されている。
加硫剤としては、例えば、過酸化物、白金触媒のいずれかもしくはその両方を使用することができる。過酸化物としては、例えば、TC−8(モメンティブ社製)、C−8(信越シリコーン社製)などを使用することができる。白金触媒としては、例えば、TC−25(モメンティブ社製)、C−25(信越シリコーン社製)などを使用することができる。
第2の誘電体40は、第1の誘電体20と同様に、加硫剤が添加された、例えば、シート状やブロック状のシリコーン樹脂で構成されている。オルガノポリシロキサンをベースとしたポリマーの重合度は、1000以上のものが好ましい。シリコーン樹脂として、例えば、いわゆるミラブル形のシリコーン樹脂を使用することが好ましい。
ここで、気流発生装置10の製造工程において加熱加圧工程を経る前は、第2の誘電体40を構成するシリコーン樹脂は、ミラブル形であり、練りロール機、密閉式混合機などで可塑化や混合が可能な状態である。一方、加熱加圧工程後は、加硫(架橋)され、弾性や強度が増加される。なお、この状態は、ミラブル形の状態ではない。
第2の誘電体40を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度は、第1の誘電体20を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度よりも高い。第2の誘電体40を構成するシリコーン樹脂のゴム硬度を、第1の誘電体20を構成するシリコーン樹脂のゴム硬度よりも高くすることで、気流発生装置10の製造工程の加熱加圧工程において、第1の電極30を第1の誘電体20に埋入させることができる。第2の誘電体40を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度は、例えば、A50〜A90であることが好ましい。
第2の誘電体40を構成するミラブル形のシリコーン樹脂としては、例えば、TSE221−8U、TSE260−7U、TSE270−8U(モメンティブ社製)、KE−981−U、KE−9810−U(信越シリコーン社製)などを使用することができる。そして、これらのシリコーン樹脂に加硫剤を添加している。加硫剤は、ミラブル形のシリコーン樹脂に例えば混練され、シリコーン樹脂中に均一に分散して添加されている。
加硫剤としては、例えば、前述した、第1の誘電体20を構成するシリコーン樹脂に添加される加硫剤と同様のものが使用される。ここで、第2の誘電体40に添加される加硫剤は、第1の誘電体20に添加される加硫剤と同一であっても異なるものであってもよい。なお、第1の誘電体20と第2の誘電体40との接着性を向上させる観点からは、双方に添加される加硫剤は同じものを使用することが好ましい。
第1の電極30は、例えば、棒状の導電体で構成される。図1および図2には、長手方向に垂直な断面が四角形の平板状の電極を例示している。なお、第1の電極30の断面形状は、特に限定されるものではない。第1の電極30の断面形状を、例えば、半円形、半楕円形、円形、楕円形などとしてもよい。第1の電極30を構成する導電体は、公知な導電性の材料で構成され、気流発生装置10が使用される環境に応じて、公知な導電性の材料から適宜に選択される。
第1の電極30の長手方向に延びる側面30a、30bおよび表面30c、30dは、図2に示すように、第1の誘電体20または第2の誘電体40に接合(接着)している。その接合強度を向上させるために、第1の電極30の側面30a、30bおよび表面30c、30dのうち、少なくとも1つの面は、粗面化処理または化学的処理が施されていることが好ましい。第1の電極30の側面30a、30bおよび表面30c、30dのすべての面に粗面化処理または化学的処理を施すことがより好ましい。
粗面化処理としては、例えば、ブラスト処理やエッチング処理などが挙げられる。化学的処理としては、例えば、プラズマ処理やリン酸塩処理などが挙げられる。また、シリコーン樹脂と金属との間の接着をより強固にするために、上記処理の後、シランカップリング剤やチタンカップリング剤を使ったカップリング処理を施してもよい。
第2の電極50は、図1および図2に示すように、第1の電極30よりも気流Fが発生する方向と逆方向にずらして、第1の電極30とほぼ平行に配置され、第2の誘電体40を介して第1の電極30と離間されている。第2の電極50は、第1の電極30と同様に、例えば、棒状の導電体で構成される。第2の電極50の長手方向に垂直な断面形状は、第1の電極30のそれと同一であっても、異なっていてもよい。
ここで、第2の電極50は、気流が発生する側の電極であり、外部に露出されて備えられている。そのため、耐酸化性や耐放電性を有する導電性材料で構成されることが好ましい。第2の電極50は、具体的には、例えば、ニッケル、ステンレス、チタン、モリブデン、タングステン、またはこれらの合金などで構成されることが好ましい。
第2の電極50は、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体が作製された後に、第2の誘電体40の一方の表面40aに接合(接着)される。この場合、例えば、第2の電極50の接合面および第2の誘電体40の表面40aの接合面をアルコキシシラン化合物などで修飾して加熱することにより、第2の電極50は、表面40aに化学的に結合される。アルコキシシラン化合物としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシランなどが挙げられる。
ここで、図1および図2には示していないが、第1の電極30と第2の電極50との間に電圧を印加する放電用電源が備えられている。この放電用電源は、第1の電極30と第2の電極50との間に、ケーブルを介して電圧を印加するものである。放電用電源からの出力電圧は、例えば、パルス状(正極性、負極性、正負の両極性(交番電圧))や交流状(正弦波、断続正弦波)の波形を有する出力電圧などである。
次に、気流発生装置10の作用について説明する。
放電用電源(図示しない)から第1の電極30と第2の電極50との間に電圧が印加され、一定の閾値以上の電位差となると、第1の電極30と第2の電極50との間に誘電体バリア放電が起こり、この誘電体バリア放電に伴って放電プラズマが生成される。図2に示すように、この誘電体バリア放電によって、第1の電極30および第2の電極50の長手方向に垂直な一方の方向に、第2の誘電体40の表面40aに沿って気流Fが発生する。なお、ここでは、第2の電極50から第1の電極30に向かう方向に気流Fが発生する。
次に、第1の実施の形態の気流発生装置の製造方法について説明する。
図3および図4は、第1の実施の形態の気流発生装置の製造方法の工程を説明するための、図1のA−A断面に相当する断面を模式的に示した図である。ここで、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体の厚さをT0とし、第2の誘電体40の厚さをT1とする(図2参照)。
図3に示すように、金型の下型100の、第1の誘電体20の形状に合わせて形成された溝101に、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体20を配置する。この溝101は、気流発生装置10の長手方向(図2では紙面に垂直な方向)に延設されている。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。また、金型の下型100は、第1のプレス用金型として機能する。
続いて、第1の誘電体20の表面20a上に第1の電極30を配置する。
続いて、第1の電極30を介して第1の誘電体20の表面20a上に、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体40を配置して、積層体60を構成する。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。ここで、第2の誘電体40は、第1の誘電体20よりもゴム硬度が高い。
続いて、図4に示すように、第2の誘電体40の形状に合わせて形成された溝111を有する金型の上型110と、下型100とによって、積層体60をプレスし、所定時間、積層体60を加熱加圧して一体化する。
ここで、溝111は、気流発生装置10の長手方向(図2では紙面に垂直な方向)に延設されている。また、溝101および溝111は、それぞれの溝の深さを合算した値が、例えば、構造体の厚さT0と同じになるように形成されている。例えば、図3に示すように、溝101の深さを「T0−T1」とし、溝111の深さを「T1」としてもよい。
ここで、溝101に配置される第1の誘電体20の厚さは、例えば、構造体の厚さT0から第2の誘電体40の厚さT1を減算した値(T0−T1)よりも若干厚く構成されてもよい。これによって、積層体60の全面に均一に圧力をかけることができる。この際、上型110と下型100との合わせ面に、余分なシリコーン樹脂を逃がすためのスリットや樹脂溜まりを設けることが好ましい。なお、金型の上型110は、第2のプレス用金型として機能する。
積層体60の加熱加圧工程において、第1の誘電体20と第2の誘電体40との間の第1の電極30は、第2の誘電体40が第1の誘電体20よりもゴム硬度が高いため、第1の誘電体20に埋入される。そして、例えば、第1の誘電体20の表面20aと第1の電極30の表面30dとが同一平面となる。また、第1の誘電体20および第2の誘電体40は、加硫(架橋)する。
加熱加圧工程において積層体60を一体化する際、第1の誘電体20と第1の電極30、第1の誘電体20と第2の誘電体40、および第1の電極30と第2の誘電体40が接合される。
ここで、加熱加圧工程における加熱温度は、100〜250℃であり、加圧する圧力は、5〜50MPaである。加熱温度が100℃よりも低いと、第1の誘電体20および第2の誘電体40加硫せず、加熱温度が250℃よりも高いとシリコーン樹脂が劣化する。圧力が5MPaより低いと、ボイドの排出が不完全でシリコーン樹脂中にボイドが残存する。圧力が50MPaより高いと、内挿している電極の座屈が生じやすくなる。また、加熱加圧する時間は、10分〜60分である。時間が10分より短いと、加硫が不十分で所定の特性を発揮せず、時間が60分より長いと、加硫戻りが起き加硫ゴムの軟化が起こる。
続いて、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体における第2の誘電体40の一方の表面40aの所定の位置に、第2の電極50を接合する。第2の電極50の接合方法は、前述したとおりである。
このような工程を経て、図2に示す気流発生装置10が製造される。
ここで、構造体を金型から離型後、未加硫成分を加硫するために、2次加硫を行ってもよい。2次加硫は、例えば、150〜300℃で1時間〜12時間の条件で行われる。
上記したように、第1の実施の形態の気流発生装置の製造方法によれば、第1の電極30と、第1の誘電体20および第2の誘電体40との接合、第1の誘電体20と第2の誘電体40との接合を確実に行い、電気的な信頼性を維持することができる。
(第2の実施の形態)
第1の実施の形態においては、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体を作製した後に、第2の誘電体40の表面40aに第2の電極50を接着する場合について説明したが、第2の電極50は、気流発生装置10の製造工程の加熱加圧工程において、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40とともに一体的に形成されてもよい。
第1の実施の形態においては、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体を作製した後に、第2の誘電体40の表面40aに第2の電極50を接着する場合について説明したが、第2の電極50は、気流発生装置10の製造工程の加熱加圧工程において、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40とともに一体的に形成されてもよい。
第2の実施の形態の気流発生装置の製造方法では、気流発生装置10の製造工程の加熱加圧工程において、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40とともに第2の電極50を一体的に形成する場合について説明する。なお、ここでは、第1の実施の形態における気流発生装置の製造工程と異なる工程について主に説明する。
なお、第1の誘電体20、第1の電極30、第2の誘電体40および第2の電極50の形状や材料などは、第1の実施の形態におけるものと同じである。
図5および図6は、第2の実施の形態の気流発生装置の製造方法の工程を説明するための、図1のA−A断面に相当する断面を模式的に示した図である。なお、第1の実施の形態の構成と同一部分には、同一の符号を付して重複する説明を省略または簡略する。
ここで、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体の厚さをT0とし、第2の誘電体40の厚さをT1とし、第2の電極50の厚さをT2とする(図2参照)。
図5に示すように、金型の下型100の、第1の誘電体20の形状に合わせて形成された溝101に、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体20を配置する。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。
続いて、第1の誘電体20の表面20a上に第1の電極30を配置する。
続いて、第1の電極30を介して第1の誘電体20の表面20a上に、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体40を配置する。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。ここで、第2の誘電体40は、第1の誘電体20よりもゴム硬度が高い。
続いて、第2の誘電体40の一方の表面40a上の所定の位置に第2の電極50を配置して、積層体70を構成する。
続いて、図6に示すように、第2の誘電体40の形状に合わせて形成された溝121および第2の電極50の形状に合わせて形成された溝122を有する金型の上型120と、下型100とによってプレスし、所定時間、積層体70を加熱加圧して一体化する。
ここで、溝121および溝122は、気流発生装置10の長手方向(図2では紙面に垂直な方向)に延設されている。また、溝101および溝121は、それぞれの溝の深さを合算した値が、例えば、図2に示す第1の誘電体20の厚さと第2の誘電体40の厚さを合算した厚さT0と同じになるように形成されている。例えば、図5に示すように、溝101の深さを「T0−T1」とし、溝121の深さを「T1」としてもよい。また、溝122の深さは、第2の電極50の厚さT2となるように形成されている。
なお、溝101に配置される第1の誘電体20の厚さは、例えば、構造体の厚さT0から第2の誘電体40の厚さT1を減算した値(T0−T1)よりも若干厚く構成されてもよい。これによって、積層体70の全面に均一に圧力をかけることができる。この際、上型120と下型100との合わせ面に、余分なシリコーン樹脂を逃がすためのスリットや樹脂溜まりを設けることが好ましい。
積層体70の加熱加圧工程において、第1の誘電体20と第2の誘電体40との間の第1の電極30は、第2の誘電体40が第1の誘電体20よりもゴム硬度が高いため、第1の誘電体20に埋入される。そして、例えば、第1の誘電体20の表面20aと第1の電極30の表面30dとが同一平面となる。また、第1の誘電体20および第2の誘電体40は、加硫(架橋)する。
加熱加圧工程において積層体70を一体化する際、第1の誘電体20と第1の電極30、第1の誘電体20と第2の誘電体40、第1の電極30と第2の誘電体40および第2の誘電体40と第2の電極50が接合される。
なお、加熱加圧工程における、加熱温度、圧力および時間は、前述したとおりである。
このような工程を経て、図2に示す気流発生装置10が製造される。
ここで、一体化された積層体70を金型から離型後、未加硫成分を加硫するために、2次加硫を行ってもよい。
上記したように、第2の実施の形態の気流発生装置の製造方法によれば、第1の電極30と、第1の誘電体20および第2の誘電体40との接合、第1の誘電体20と第2の誘電体40との接合を確実に行い、電気的な信頼性を維持することができる。
ここで、第2の実施の形態の気流発生装置の製造方法において、また、上型120の溝122の深さを、第2の電極50の厚さT2よりも小さくしてもよい。図7は、第2の実施の形態の、他の、気流発生装置の製造方法によって製造された気流発生装置10の図1のA−A断面に相当する断面を示す図である。
上型120の溝122の深さを、第2の電極50の厚さT2よりも小さくすることで、加熱加圧工程において、図7に示すように、第2の電極50の一部が、第2の誘電体40に埋入する。これによって、第2の電極50と第2の誘電体40との接合面積が増加し、第2の電極50の第2の誘電体40との接合力を向上することができる。
(第3の実施の形態)
図8は、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法によって製造された気流発生装置11を模式的に示した斜視図である。また、図9は、図8のB−B断面を示す図である。
図8は、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法によって製造された気流発生装置11を模式的に示した斜視図である。また、図9は、図8のB−B断面を示す図である。
気流発生装置11において、第3の誘電体80以外の構成は、第2の実施の形態の気流発生装置の製造方法によって製造された気流発生装置10と同じ構成である。そのため、ここでは、異なる構成について主に説明する。
図8および図9に示すように、気流発生装置11は、第1の誘電体20と、この第1の誘電体20の一方の表面20aに埋入された第1の電極30を備える。また、気流発生装置11は、第1の誘電体20の表面20aに面して、第2の誘電体40が設けられ、第2の誘電体40の一方の表面40aには、第2の電極50が備えられている。気流Fが発生する方向の第2の電極50の端部を除いて、第2の電極50は第3の誘電体80で覆われている。
第3の誘電体80は、第1の誘電体20および第2の誘電体40と同様に、加硫剤が添加された、例えば、シート状やブロック状のシリコーン樹脂で構成されている。オルガノポリシロキサンをベースとしたポリマーの重合度は、1000以上のものが好ましい。シリコーン樹脂として、例えば、いわゆるミラブル形のシリコーン樹脂を使用することが好ましい。
ここで、気流発生装置11の製造工程において加熱加圧工程を経る前は、第3の誘電体80を構成するシリコーン樹脂は、ミラブル形であり、練りロール機、密閉式混合機などで可塑化や混合が可能な状態である。一方、加熱加圧工程後は、加硫(架橋)され、弾性や強度が増加される。なお、この状態は、ミラブル形の状態ではない。
第3の誘電体80を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度は、第2の誘電体40を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度以下である。第3の誘電体80を構成する、加硫前のミラブル形のシリコーン樹脂のゴム硬度の下限値は、例えば、A30程度であることが好ましい。ゴム硬度がA30を下回ると、引張強度や引き裂き強度などの機械的強度が低下する。
第3の誘電体80を構成するミラブル形のシリコーン樹脂としては、例えば、前述した第2の誘電体40を構成するものと同じシリコーン樹脂、TSE221−5U、TSE260−5U、TSE270−5U(モメンティブ社製)、KE−951(信越シリコーン社製)などを使用することができる。そして、これらのシリコーン樹脂に加硫剤を添加している。加硫剤は、ミラブル形のシリコーン樹脂に例えば混練され、シリコーン樹脂中に均一に分散して添加されている。
加硫剤としては、第1の誘電体20または第2の誘電体40を構成するシリコーン樹脂に添加される加硫剤と同様のものが使用される。ここで、第3の誘電体80に添加される加硫剤は、第1の誘電体20または第2の誘電体40に添加される加硫剤と同一であっても異なるものであってもよい。なお、第2の誘電体40と第3の誘電体80との接着性を向上させる観点からは、双方に添加される加硫剤は同じものを使用することが好ましい。
次に、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法の工程を説明する。
図10および図11は、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法の工程を説明するための、図8のB−B断面に相当する断面を模式的に示した図である。
ここで、第1の誘電体20、第1の電極30および第2の誘電体40からなる構造体の厚さをT0とし、第2の誘電体40の厚さをT1とし、第2の電極50の厚さをT2とし、第2の電極50上の第3の誘電体80の厚さをT3とする(図9参照)。
図10に示すように、金型の下型100の、第1の誘電体20の形状に合わせて形成された溝101に、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体20を配置する。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。
続いて、第1の誘電体20の表面20a上に第1の電極30を配置する。
続いて、第1の電極30を介して第1の誘電体20の表面20a上に、加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体40を配置する。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。ここで、第2の誘電体40は、第1の誘電体20よりもゴム硬度が高い。
続いて、第2の誘電体40の一方の表面40a上の所定の位置に第2の電極50を配置する。
続いて、第2の電極50上に加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第3の誘電体80を配置して、積層体90を構成する。第3の誘電体80は、気流Fが発生する方向の第2の電極50の端部上を除いた部分に配置される。なお、この時のシリコーン樹脂は、ミラブル形である。ここでは、第3の誘電体80のゴム硬度は、第2の誘電体40のゴム硬度よりも低い。
ここで、第2の電極50上に配置される第3の誘電体80の厚さは、図9に示した製造後の第2の電極50上に配置される第3の誘電体80の厚さT3よりも厚い。後述する加熱加圧工程において、第3の誘電体80の一部が、図9に示した、第2の電極50上以外の一方の側部を覆う側面被覆部80aに利用される。このように、第3の誘電体80の厚さをT3よりも厚くすることで、側面被覆部80aを構成することができる。
続いて、図11に示すように、第2の誘電体40の形状に合わせて形成された溝131、第2の電極50および第3の誘電体80の形状に合わせて形成された溝132および第3の誘電体80の形状に合わせて形成された溝133を有する金型の上型130と、下型100とによってプレスし、積層体90を所定時間、加熱加圧して一体化する。
ここで、溝131、溝132および溝133は、気流発生装置11の長手方向(図9では紙面に垂直な方向)に延設されている。また、溝101および溝131は、それぞれの溝の深さを合算した値が、例えば、図9に示す第1の誘電体20の厚さと第2の誘電体40の厚さを合算した厚さT0と同じになるように形成されている。例えば、図10に示すように、溝101の深さを「T0−T1」とし、溝131の深さを「T1」としてもよい。また、溝132の深さは、第2の電極50の厚さT2となるように形成され、溝133の深さは、第2の電極50上の第3の誘電体80の厚さT3となるように形成されている。
なお、溝101に配置される第1の誘電体20の厚さは、例えば、構造体の厚さT0から第2の誘電体40の厚さT1を減算した値(T0−T1)よりも若干厚く構成されてもよい。これによって、積層体90の全面に均一に圧力をかけることができる。この際、上型130と下型100との合わせ面に、余分なシリコーン樹脂を逃がすためのスリットや樹脂溜まりを設けることが好ましい。
積層体90の加熱加圧工程において、第1の誘電体20と第2の誘電体40との間の第1の電極30は、第2の誘電体40が第1の誘電体20よりもゴム硬度が高いため、第1の誘電体20に埋入される。そして、例えば、第1の誘電体20の表面20aと第1の電極30の表面30dとが同一平面となる。
また、加熱加圧工程において、第2の誘電体40と第3の誘電体80との間の第2の電極50は、第3の誘電体80が第2の誘電体40よりもゴム硬度が低いため、第3の誘電体80に埋入する。また、第3の誘電体80の一部が、溝132および溝133の空隙部に充填され、側面被覆部80aを構成する。
さらに、加熱加圧工程において、第1の誘電体20、第2の誘電体40および第3の誘電体80は、加硫(架橋)する。
加熱加圧工程において積層体90を一体化する際、第1の誘電体20と第1の電極30、第1の誘電体20と第2の誘電体40、第1の電極30と第2の誘電体40、第2の誘電体40と第2の電極50、第2の電極50と第3の誘電体80および第2の誘電体40と第3の誘電体80が接合される。
なお、加熱加圧工程における、加熱温度、圧力および時間は、前述したとおりである。
このような工程を経て、図9に示す気流発生装置11が製造される。
ここで、一体化された積層体90を金型から離型後、未加硫成分を加硫するために、2次加硫を行ってもよい。
上記したように、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法によれば、第1の電極30と、第1の誘電体20および第2の誘電体40との接合、第1の誘電体20と第2の誘電体40との接合、第2の電極50と第3の誘電体80との接合を確実に行い、電気的な信頼性を維持することができる。
また、第2の電極50の大部分を第3の誘電体80で覆うことで、外部環境に曝される第2の電極50の侵食、汚損、剥離を抑制することができる。
ここで、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法において、第3の誘電体80のゴム硬度を、第2の誘電体40のゴム硬度と同じとすることもできる。図12は、第3の実施の形態の気流発生装置の製造方法において、第3の誘電体80のゴム硬度を第2の誘電体40のゴム硬度と同じとしたときの、図8のB−B断面に相当する断面を示す図である。
第3の誘電体80のゴム硬度を第2の誘電体40のゴム硬度と同じとすることで、加熱加圧工程において、図12に示すように、第2の電極50が、第2の誘電体40および第3の誘電体80の双方に埋入する。これによって、第2の電極50と第2の誘電体40との接合面積が増加し、第2の電極50の第2の誘電体40との接合力を向上することができる。
以上説明した実施形態によれば、シリコーン樹脂と電極とを確実に接合し、電気的な信頼性を維持することが可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10,11…気流発生装置、20…第1の誘電体、20a,30c,30d、40a…表面、30…第1の電極、30a,30b…側面、40…第2の誘電体、50…第2の電極、60,70,90…積層体、80…第3の誘電体、80a…側面被覆部、100…下型、101,111,121,122,131,132,133…溝、110,120,130…上型。
Claims (6)
- 加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体を第1のプレス用金型に配置する工程と、
前記第1の誘電体上に第1の電極を配置する工程と、
前記第1の電極を介して前記第1の誘電体上に、前記第1の誘電体よりもゴム硬度が高く、かつ加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体を配置して、積層体を構成する工程と、
前記第2の誘電体側の第2のプレス用金型と前記第1のプレス用金型とによって、前記積層体を加熱加圧して一体化し、前記第1の誘電体に前記第1の電極を埋入させるとともに、前記第1の誘電体および前記第2の誘電体を加硫する工程と、
前記第2の誘電体上に、第2の電極を接合する工程と
を具備することを特徴とする気流発生装置の製造方法。 - 加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第1の誘電体を第1のプレス用金型に配置する工程と、
前記第1の誘電体上に第1の電極を配置する工程と、
前記第1の電極を介して前記第1の誘電体上に、前記第1の誘電体よりもゴム硬度が高く、かつ加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第2の誘電体を配置する工程と、
前記第2の誘電体上に第2の電極を配置して、積層体を構成する工程と、
前記第2の電極側の第2のプレス用金型と前記第1のプレス用金型とによって、前記積層体を加熱加圧して一体化し、前記第1の誘電体に前記第1の電極を埋入させるとともに、前記第1の誘電体および前記第2の誘電体を加硫する工程と
を具備することを特徴とする気流発生装置の製造方法。 - 前記第2の電極を配置した後、加熱加圧工程前に、前記第2の誘電体のゴム硬度以下のゴム硬度を有し、かつ加硫剤が添加されたシリコーン樹脂からなる第3の誘電体を前記第2の電極上に配置する工程をさらに備え、
前記第3の誘電体を有する積層体を加熱加圧して一体化する際、気流が発生する方向の前記第2の電極の端部を除いて、前記第2の電極は前記第3の誘電体で覆われ、前記第3の誘電体は加硫されることを特徴とする請求項2記載の気流発生装置の製造方法。 - 前記第1の誘電体または前記第2の誘電体に接合される前記第1の電極の少なくとも一つの面が、粗面化処理または化学的処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の気流発生装置の製造方法。
- 前記第2の誘電体に接合される前記第2の電極の少なくとも一つの面が、粗面化処理または化学的処理が施されていることを特徴とする請求項1記載の気流発生装置の製造方法。
- 前記第2の誘電体または前記第3の誘電体に接合される前記第2の電極の少なくとも一つの面が、粗面化処理または化学的処理が施されていることを特徴とする請求項2または3記載の気流発生装置の製造方法。
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