WO2018088398A1 - 空気調和装置 - Google Patents

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WO2018088398A1
WO2018088398A1 PCT/JP2017/040126 JP2017040126W WO2018088398A1 WO 2018088398 A1 WO2018088398 A1 WO 2018088398A1 JP 2017040126 W JP2017040126 W JP 2017040126W WO 2018088398 A1 WO2018088398 A1 WO 2018088398A1
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air
air passage
flow path
plate
passage hole
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PCT/JP2017/040126
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Inventor
佐々木　勇
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伸和コントロールズ株式会社
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    • F24F6/02—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by evaporation of water in the air
    • F24F6/04—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by evaporation of water in the air using stationary unheated wet elements
    • F24F6/043—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by evaporation of water in the air using stationary unheated wet elements with self-sucking action, e.g. wicks
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    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • F24F2006/008—Air-humidifier with water reservoir
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature

Definitions

  • the present invention relates to an air conditioner.
  • Photolithography may be used in the pattern formation process during semiconductor manufacturing.
  • photolithography first, a photosensitive resist is applied to a substrate, and then light according to a desired pattern is exposed to the resist.
  • the resist is a photocurable photosensitive material, A region where light is not exposed is removed by a solvent or the like. Thereby, a desired pattern can be formed (developed) on the resist.
  • the resist as described above can change the film thickness at the time of application and exposure according to temperature and humidity. For this reason, the dimensional accuracy of the pattern to be formed may be significantly lowered under the circumstances where the temperature and humidity of the air in the surrounding environment of the resist are greatly different from the desired temperature and humidity. Therefore, the temperature and humidity of an apparatus for performing photolithography and its surrounding environment are usually precisely controlled by an air conditioner.
  • Patent Document 1 discloses an apparatus that houses a mesh-like member in a pan in order to prevent shaking of water stored in the pan of a humidifier.
  • the accuracy of humidity control is improved by preventing the water stored in the pan from shaking.
  • an air flow path through which air flows, a cooler, a heater, and a humidifier housed in the air flow path
  • an air conditioner that controls the temperature and humidity of air in an air passage.
  • a metal plate having an air passage hole is attached to the downstream opening of the air passage, and the air in the air passage is passed downstream through the air passage hole of the plate.
  • the humidity spike is a phenomenon in which the air humidity deviates greatly from the target value instantaneously.
  • the present inventor has found that the main cause of the occurrence of such humidity spikes is that the steam from the humidifier is condensed on the wall surface around the passage hole of the plate, and the water generated on the wall surface is The knowledge that it is mixed with air and flows downstream is obtained.
  • the present invention has been made based on the above findings, and provides an air conditioner that can suppress water generated by condensation of steam from entering the air and can control the humidity of the air in a stable state.
  • the purpose is to do.
  • the present invention provides an air passage for allowing air to flow, a plate attached to a downstream opening of the air passage and having an air passage hole, the air passage, and the air
  • a humidifier capable of supplying steam into the flow path, wherein the air flow path has a horizontal flow path portion provided with the downstream side opening and extending in a horizontal direction, and the horizontal flow path
  • the humidifier is provided in a portion, and the humidifier opens to the inside of the horizontal flow path portion upward, and a heater for storing water and a heater for heating the water in the storage tank
  • an air conditioner further comprising a moisture absorbing member extending in the vertical direction above the wall of the storage tank on the plate side or obliquely above the plate side. .
  • a part of the steam from the storage tank can be held in the water state by the moisture absorbing member, and the condensation of steam around the air passage hole of the plate can be suppressed.
  • the vapor from the region on the plate side of the storage tank can be mixed with air and adhere to the periphery of the air passage hole of the plate, and can easily condense, but the moisture absorbing member is located on the plate side of the storage tank.
  • the occurrence of condensation can be effectively suppressed. Thereby, it can suppress that the water produced by dew condensation of vapor
  • the moisture absorbing member may cover a part of the air passage hole when viewed along the extending direction of the horizontal flow path portion.
  • the moisture absorbing member may cover a range from the lower end of the air passage hole to 1/3 or less of the maximum vertical length of the air passage hole.
  • the range in which the moisture absorbing member covers the air passage hole is from the lower end of the air passage hole to a range of 1/3 or less of the maximum length in the vertical direction of the air passage hole. It is possible to effectively suppress the condensed water from passing through the air passage hole while suppressing an excessive rise.
  • the moisture absorbing member may be a sponge.
  • the air conditioning apparatus may further include a support member that extends along the plate-side surface of the moisture-absorbing member and supports the plate-side surface of the moisture-absorbing member.
  • the hygroscopic member by supporting the hygroscopic member by the support member, even if the hygroscopic member is soft, the hygroscopic member can be prevented from fluttering due to the flow of air, and the hygroscopic effect can be suitably secured.
  • water generated by condensation of steam can be suppressed from entering the air, and the humidity of the air can be controlled in a stable state.
  • FIG. 1 It is a side view of the air harmony device concerning one embodiment of the present invention. It is sectional drawing of the periphery of the downstream opening of the air flow path of the air conditioning apparatus of FIG. It is the figure which looked at the periphery of the humidifier provided in the air flow path of the air conditioning apparatus of FIG. 1 along the direction of the arrow III of FIG. 1 parallel to a horizontal direction. It is a top view of the humidifier shown in FIG. It is the figure which looked at the humidifier shown in FIG. 3 along the direction of the arrow V of FIG. It is an enlarged view of the principal part of FIG. It is a figure explaining the flow of the air above the humidifier in the air conditioning apparatus shown in FIG. It is a figure explaining the flow of the air above the humidifier in the air conditioning apparatus shown in FIG. It is a figure explaining the flow of the air above the humidifier in the air conditioning apparatus shown in FIG. It is a figure explaining the flow of the air above the humidifier in the air conditioning apparatus shown in FIG.
  • FIG. 1 is a side view of an air conditioner 1 according to an embodiment of the present invention.
  • an air conditioner 1 according to the present embodiment includes an air passage 2 through which air flows, a cooler 3, a heater 4 and a humidifier provided in the air passage 2. 5 and a blower 6 that applies a driving force for allowing air to flow in the air passage 2.
  • the air flow path 2 includes a vertical flow path portion 21 that extends along the vertical direction, and a horizontal flow path section 22 that communicates with the upper portion of the vertical flow path portion 21 and extends from the upper portion along the horizontal direction.
  • the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1 along the horizontal direction is referred to as a first direction D1
  • the horizontal flow path portion 22 of FIG. 1 extends perpendicularly to the first direction D1 along the horizontal direction.
  • the direction indicated by the arrow is referred to as a second direction D2.
  • the vertical channel portion 21 is provided with an upstream side opening 21A that opens in the horizontal direction at the lower portion thereof, and in the present embodiment, the upstream side opening 21A extends from the inside of the vertical channel portion 21 in the second direction D2. It opens toward one side (right direction in FIG. 1).
  • the upstream opening 21 ⁇ / b> A is provided for taking air into the longitudinal flow path portion 21.
  • the filter device 23 provided outside the upstream opening 21A covers the upstream opening 21A. As a result, the air from which the particles have been removed through the filter device 23 is taken into the longitudinal flow path portion 21 from the upstream opening 21A.
  • the direction when referred to as one side of the second direction D2 means the right direction in FIG. 1, and the direction when referred to as the other side of the second direction D2 is the left direction in FIG. means.
  • the horizontal flow path portion 22 is provided with a downstream opening 22A at the end opposite to the vertical flow path portion 21 side, that is, at the other end in the second direction D2.
  • FIG. 2 shows a longitudinal sectional view of a plane along the second direction D2 around the downstream opening 22A of the horizontal flow path portion 22 in the air flow path 2.
  • a plate 24 in which an air passage hole 24A is formed is attached to the downstream opening 22A.
  • the plate 24 is attached so as to cover the downstream opening 22A in a region where the air passage hole 24A is not formed, and the air passage hole 24A is formed smaller than the downstream opening 22A.
  • the air taken into the air passage 2 from the upstream opening 21A is sent to the outside of the air passage 2 from the air passage hole 24A of the plate 24.
  • the plate 24 is formed of a plate material such as stainless steel. In the present embodiment, the plate 24 is attached to the horizontal flow path portion 22 with screws. However, the plate 24 may be integrated with the horizontal flow path portion 22 by welding or the like, or the plate 24 and the horizontal flow path may be integrated.
  • the part 22 may be formed as an integral body formed from one material.
  • the air passage hole 24A is a circular hole (see FIG. 3), but the shape of the air passage hole 24A may be other shapes such as a rectangle.
  • the blower 6 is arranged to face the plate 24 in the second direction D2, and communicates with the air passage hole 24A through the duct 25.
  • the blower 6 rotates a fan (not shown) to take in the air inside the air passage 2 and discharge the air from the discharge port 25A that opens upward.
  • a fan not shown
  • the blower 6 takes in the air inside the air passage 2
  • external air is taken into the air passage 2 from the upstream opening 21 ⁇ / b> A. Thereby, air flows in the air flow path 2.
  • the cooler 3 is provided in the lower portion of the vertical flow path portion 21, and the heater 4 is provided in the upper portion of the vertical flow path portion 21.
  • the cooler 3 may be an evaporator in a cooling circuit in which a compressor, a condenser, an expansion valve, and an evaporator are connected by piping in this order so that the heat medium is circulated.
  • the heater 4 may be an electric heater or the like, or may use a part of the heat medium that has become high temperature in the above-described cooling circuit.
  • the cooler 3 can cool the air inside the air passage 2 with a variable refrigerating capacity, and the heater 4 can heat the air inside the air passage 2 with a variable heating capacity. It has become.
  • the humidifier 5 is provided in the horizontal flow path portion 22 and can supply steam into the air flow path 2.
  • FIG. 3 is a view of the periphery of the humidifier 5 provided in the air passage 2 as seen along the direction of the arrow III in FIG. 1 parallel to the horizontal direction. It is the figure which looked at the periphery of the humidifier 5 toward the other side of the 2nd direction D2 from the inside.
  • FIG. 4 is a top view of the humidifier 5, in which the horizontal flow path portion 22 and the duct 25 described above are indicated by a two-dot chain line for convenience of explanation.
  • FIG. 5 is a view of the humidifier 5 taken along the direction of the arrow V in FIG. 3.
  • the horizontal flow path portion 22 and the duct 25 are shown by a two-dot chain line in FIG. ing.
  • FIG. 6 is an enlarged view of a main part of FIG.
  • the humidifier 5 in the present embodiment includes a storage tank 51 that stores water that opens upward in the horizontal flow path portion 22, and water in the storage tank 51. Is arranged above the storage tank 51 on each of one side and the other side with respect to the center of the storage tank 51 in the first direction D1 extending along the horizontal direction, and the upper part thereof is lower than the lower part thereof. And a pair of guide plates 53 extending obliquely so as to be positioned on the center side of the storage tank 51 in the first direction D1.
  • the pair of guide plates 53 are arranged so as to face each other in the first direction D1, and therefore the direction orthogonal to the direction in which the pair of guide plates 53 face each other on the horizontal plane is the second direction. D2. Therefore, the direction orthogonal to the direction in which the pair of guide plates 53 face each other is parallel to the extending direction of the horizontal flow path portion 22.
  • the direction when referred to as one side of the first direction D1 means the left direction in FIG. 3, and the direction when referred to as the other side of the first direction D1 is the right direction of FIG. means.
  • the direction in the case of saying one side of 2nd direction D2 means the downward direction in FIG. 4, and the direction in the case of saying the other side of 2nd direction D2 means the upward direction in FIG.
  • the storage tank 51 has a bottom wall 51A and a peripheral wall 51B that rises upward from the entire outer peripheral edge of the bottom wall 51A.
  • the bottom wall 51A and the peripheral wall 51B are made of a plate material such as stainless steel.
  • the shape of the storage tank 51 in a top view is a rectangular shape having a longitudinal direction in the first direction D1.
  • the peripheral wall 51B has a pair of wall portions located on one side and the other side of the first direction D1 corresponding to the pair of rectangular short sides, and one side of the second direction D2 corresponding to the pair of long sides of the rectangular shape. And a pair of wall portions located on the other side.
  • the positional relationship between the storage tank 51 and the air passage hole 24A of the plate 24 will be described. As shown in FIG. 3, the air passage hole 24A is located above the storage tank 51 when viewed along the second direction D2. positioned.
  • the storage tank 51 is provided so as to penetrate the lower wall of the horizontal flow path portion 22. More specifically, as shown in FIG. 6, the peripheral wall 51 ⁇ / b> B is provided with a flange 51 ⁇ / b> C extending outward, and the storage tank 51 has an outer peripheral edge of an opening formed on the lower wall of the horizontal flow path portion 22. And is held by the lower wall of the horizontal flow path portion 22.
  • a configuration in which a part of the storage tank 51 is exposed to the outside of the horizontal flow path portion 22 is adopted, but the entire humidifier 5 is accommodated inside the horizontal flow path portion 22. Also good.
  • the heater 52 is accommodated in the storage tank 51 and extends along the longitudinal direction of the storage tank 51. In the humidifier 5, the amount of steam generated from the water stored in the storage tank 51 is adjusted by adjusting the heating amount of the heater 52, whereby the humidity of the air flowing through the air passage 2 is set to a desired level. It can be adjusted to humidity.
  • Each of the pair of guide plates 53 is formed of a plate material such as stainless steel, and is supported by a support member that rises from the bottom wall 51A of the storage tank 51 (not shown), and maintains a posture inclined with respect to the horizontal direction. Yes.
  • the pair of guide plates 53 are configured symmetrically with respect to a vertical plane passing through the center of the storage tank 51 in the first direction D1 and extending along the second direction D2. Further, the upper portions of the pair of guide plates 53 are separated from each other in the first direction D1, and the steam from the storage tank 51 can pass between the upper portions of the pair of guide plates 53.
  • the pair of guide plates 53 extend linearly when viewed along the second direction D2, but may extend in a curved shape.
  • each of the pair of guide plates 53 has a central portion of the storage tank 51 in the first direction D ⁇ b> 1 in the first direction D ⁇ b> 2, with its end on one side in the second direction D ⁇ b> 2 in the top view.
  • An inclined side portion 54 that is located away from the other side, a second side portion 55 that faces the other side of the second direction D2, and a lower side portion that is positioned on the storage tank 51 side in the vertical direction and extends along the second direction D2.
  • Part 56 the inclined side portion 54, the other side portion 55, and the lower side portion 56 are connected to each other so as to form a triangular shape in a top view.
  • the other side portion 55 faces the plate 24 and the blower 6 side.
  • the inclined side portion 54 is connected to the end portion on the center side of the storage tank 51 in the first direction D1 of the other side portion 55 and is directed to the side opposite to the plate 24 and the blower 6 side. ing. As shown in FIG. 5, when viewed along the first direction D ⁇ b> 1, the inclined side portion 54 extends obliquely upward toward the plate 24 and the blower 6 side.
  • the other side portion 55 in the present embodiment extends along the first direction D1, and therefore the other side portion 55 is the storage tank 51 on the other side in the second direction D2. Parallel to the wall portion 51BB.
  • the other side portion 55 overlaps the wall portion 51BB of the storage tank 51 on the other side in the second direction D2 in a top view.
  • the other side portion 55 overlaps the wall portion 51BB of the storage tank 51 on the other side in the second direction D2 in the top view, but the other side portion 55 is the wall surface in the top view. It may be located outside the part 51BB.
  • the other side portion 55 is provided with a protrusion 57 that protrudes downward and extends along the other side portion 55.
  • the protrusion 57 and the guide plate 53 are an integrated body formed of one material, but the protrusion 57 may be attached to the guide plate 53 with screws, It may be attached to the guide plate 53 by welding or the like.
  • each of the lower side portions 56 is separated from the wall portion of the storage tank 51 on the side where the lower side portion 56 is located in the first direction D1. That is, in the present embodiment, the guide plate 53 is provided so as to form a clearance S between the guide plate 53 and the wall portion of the storage tank 51 on the side in which the guide plate 53 is located in the first direction D1. . In the present embodiment, the float switch (not shown) passes through the gap S between the guide plate 53 arranged on the other side of the first direction D1 and the wall portion of the storage tank 51. Such a gap S may not be formed.
  • a part of the guide plate 53 overlaps the air passage hole 24 ⁇ / b> A of the plate 24 when viewed along the second direction D ⁇ b> 2.
  • an extension line extending obliquely upward from the upper portion of the guide plate 53 passes through the center C1 of the air passage hole 24A.
  • the extension line of the guide plate 53 preferably forms an angle of 20 ° to 30 ° with respect to a straight line passing through the center C1 of the air passage hole 24A and along the first direction D1.
  • the guide plate 53 overlaps the air passage hole 24A of the plate 24 when viewed along the second direction D2, but the guide plate 53 may not overlap the air passage hole 24A.
  • the upper portion of the guide plate 53 may be positioned below the air passage hole 24A.
  • the distance L from which the guide plate 53 protrudes in the first direction D1 to the center side of the air passage hole 24A from the end point of the air passage hole 24A in the first direction D1 is the diameter of the air passage hole 24A. Is preferably 5/36 to 10/36. In particular, in the present embodiment, the distance is 6/36 (1/6). In earnest research by the present inventors, it has been found that the humidity control accuracy can be improved by setting the position of the guide plate 53 in such a size range.
  • the humidifier 5 in the present embodiment is in the vertical direction above the wall portion 51BB of the storage tank 51 on the other side (the plate 24 side) in the second direction D2 or obliquely above the other side in the second direction D2.
  • a moisture absorbing member 60 is provided. As shown in FIG. 3, the moisture absorbing member 60 has a rectangular shape having a longitudinal direction in the first direction D1, and extends outward beyond the pair of guide plates 53 in the first direction D1. Moreover, as shown in FIG.4 and FIG.5, the moisture absorption member 60 is formed in plate shape.
  • the moisture absorbing member 60 covers a part of the air passage hole 24A when viewed in the second direction D2, that is, the extending direction of the horizontal flow path portion 22, and in the illustrated example, The range from the lower end to the upper end covers up to 1/3 of the maximum vertical length of the air passage hole 24A.
  • the hygroscopic member 60 covers a part of the air passage hole 24A.
  • the moisture absorbing member 60 covers a part of the air passage hole 24 ⁇ / b> A and the wall surface of the plate 24 so as to straddle a part of the air passage hole 24 ⁇ / b> A and the wall surface of the plate 24.
  • the hygroscopic member 60 may not cover the air passage hole 24A, and may cover only the wall surface of the plate 24 below the lower end of the air passage hole 24A, for example. Further, the hygroscopic member 60 may cover the wall surface of the plate 24 obliquely below or on the side of the air passage hole 24A.
  • the hygroscopic member 60 is a sponge and is supported by a plate-like support member 61 made of stainless steel or the like shown in FIG.
  • the support member 61 extends along the surface of the moisture absorbing member 60 on the plate 24 side, and supports the surface.
  • the support member 61 is attached to a flange 51C that extends from the wall portion 51BB of the storage tank 51 to the plate 24 side, and extends upward.
  • the sponge constituting the hygroscopic member 60 is made of synthetic resin, and is particularly preferably polyurethane foam.
  • the sponge constituting the hygroscopic member 60 is preferably a flexible polyurethane foam of polyurethane foams, and more preferably a polyether-based flexible polyurethane foam.
  • the hygroscopic member 60 is a polyether-based flexible polyurethane foam, since the hygroscopic member 60 is prevented from adversely affecting the semiconductor manufacturing process, it is particularly useful in semiconductor manufacturing applications.
  • the hygroscopic member 60 may be made of a material different from the sponge as long as it has hygroscopicity.
  • the hygroscopic member 60 may be made of a fiber such as cloth or a porous material.
  • the blower 6 rotates the fan to take in the air inside the air passage 2 and discharges it from the discharge port 25A that opens upward. To do.
  • the air blower 6 takes in the air inside the air passage 2
  • external air is taken into the air passage 2 from the upstream opening 21 ⁇ / b> A of the air passage 2.
  • air flows in the air flow path 2.
  • the air taken into the air passage 2 is first cooled by the cooler 3 and then heated by the heater 4 to be adjusted to a desired temperature. Thereafter, the air passes above the humidifier 5 and its humidity is adjusted.
  • the humidifier 5 mixes the vapor from the storage tank 51 into the air passing above the storage tank 51 from the direction intersecting the first direction D1 on the horizontal plane in the horizontal flow path portion 22 of the air flow path 2. be able to.
  • the air mixed with the steam can be passed to the outside of the storage tank 51 while being guided to the center side of the storage tank 51 by the guide plate 53.
  • the humidifier 5 is placed so that the air passage hole 24A of the plate 24 is positioned on the extension line of the guide plate 53 when viewed in the direction orthogonal to the first direction D1 on the horizontal plane, that is, along the second direction D2.
  • air mixed with steam can be collected in the air passage hole 24A of the plate 24.
  • a part of the steam from the storage tank 51 can be held in the water state by the moisture absorbing member 60, and the condensation of the steam around the air passage hole 24A of the plate 24 can be suppressed.
  • the vapor from the region on the plate 24 side of the storage tank 51 may be mixed with air and adhere to the periphery of the air passage hole 24 ⁇ / b> A of the plate 24, so that dew condensation tends to occur. By being located on the 24 side, the occurrence of condensation can be effectively suppressed.
  • water generated by condensation of steam can be suppressed from entering the air, and the humidity of the air can be controlled in a stable state.
  • the moisture absorbing member 60 covers a part of the air passage hole 24A when viewed along the extending direction of the horizontal flow path portion 22.
  • the hygroscopic member 60 covers a range from the lower end of the air passage hole 24A to 1/3 or less (in this example, 1/3) of the maximum vertical length of the air passage hole 24A.
  • the moisture absorbing member 60 is a sponge. With this configuration, it is possible to configure the hygroscopic member 60 at a low cost while suppressing an excessive increase in pressure loss caused by the hygroscopic member 60.
  • the surface of the moisture absorbing member 60 is supported by the support member 61 extending along the surface of the moisture absorbing member 60 on the plate 24 side.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment.
  • the guide plates 53 are arranged on both sides with respect to the center of the storage tank 51 in the first direction D1, but the guide plates 53 are only one of the guide plates 53 with respect to the center of the storage tank 51. May be provided.

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Abstract

［課題］蒸気が結露して生じる水が空気に混入することを抑制でき、空気の湿度を安定した状態で制御することができる空気調和装置を提供する。 ［解決手段］本発明にかかる空気調和装置１は、空気を通流させる空気通流路２と、空気通流路２の下流側開口２２Ａに取り付けられ、且つ空気通過孔２４Ａが形成されたプレート２４と、空気通流路２に設けられ、空気通流路２内に蒸気を供給可能な加湿器５と、を備えている。空気通流路２は、下流側開口２２Ａを設けられ且つ水平方向に沿って延びる水平流路部２２を有し、水平流路部２２に、加湿器５が設けられている。加湿器５は、上方に向けて水平流路部２２の内部に開放した、水を貯留する貯留槽５１と、貯留槽５１内の水を加熱するヒータ５２と、を有する。そして空気調和装置１は、プレート２４側の貯留槽５１の壁部５１ＢＢの上方又はプレート２４側の斜め上方で、上下方向に延びる吸湿部材６０をさらに備えている。

Description

空気調和装置
　本発明は、空気調和装置に関する。
　半導体製造時のパターン形成工程においては、フォトリソグラフィが利用される場合がある。フォトリソグラフィでは、まず、基板に感光性のレジストが塗布された後、所望のパターンに応じた光がレジストに露光され、次いで、例えばレジストが光硬化型の感光材料である場合には、レジストにおける光が露光されていない領域が溶剤等により除去される。これにより、レジストに所望のパターンを形成（現像）することができる。
　上述のようなレジストは、温度及び湿度に応じて、塗布時及び露光時の膜厚が変化し得ることが知られている。そのため、レジストの周辺環境の空気の温度及び湿度が所望の温度及び湿度と大きく異なる状況下では、形成されるパターンの寸法精度が著しく低下する場合がある。したがって、フォトリソグラフィを実施するための装置及びその周辺環境は、通常、空気調和装置によって、その温度及び湿度を精密に制御されるようになっている。
　上述のように精密な温調及び湿調を実施するための空気調和装置の分野では、従来から種々の技術が提案されている。例えば特許文献１には、加湿器のパンに貯留された水の揺れを防止するべく、パン内にメッシュ状の部材を収容する装置が開示されている。この装置では、パンに貯留された水の揺れを防止することで、湿度制御の精度向上が図られている。
特開２００７－３３５５４４号公報
　ところで、精密な温調及び湿調を実施するための空気調和装置の一例として、空気を通流させる空気通流路と、当該空気通流路内に収容された冷却器、加熱器及び加湿器と、を備え、空気通流路内で空気の温度及び湿度を制御する空気調和装置が知られている。このような空気調和装置では、空気通過孔が形成された金属製のプレートを空気通流路の下流側開口に取り付けて、空気通流路内の空気をプレートの空気通過孔を通して下流側へ通流させる構成が採用される場合がある。
　しかしながら、上述のような構成が採用される空気調和装置においては、湿度スパイクが生じ易くなることを本件発明者は知見した。なお、湿度スパイクとは、空気の湿度が瞬間的に目標値から大きく外れる現象のことである。そして本件発明者は、鋭意研究の結果、このような湿度スパイクの発生の主な原因が、加湿器からの蒸気が上述のプレートの通過孔周囲の壁面で結露して、壁面に生じた水が空気に混入して下流側に流れることにある、という知見を得た。
　本発明は、上記知見に基づいてなされたものであり、蒸気が結露して生じる水が空気に混入することを抑制でき、空気の湿度を安定した状態で制御することができる空気調和装置を提供することを目的とする。
　本発明は、空気を通流させる空気通流路と、前記空気通流路の下流側開口に取り付けられ、且つ空気通過孔が形成されたプレートと、前記空気通流路に設けられ、前記空気通流路内に蒸気を供給可能な加湿器と、を備え、前記空気通流路は、前記下流側開口を設けられ且つ水平方向に沿って延びる水平流路部を有し、前記水平流路部に、前記加湿器が設けられており、前記加湿器は、上方に向けて前記水平流路部の内部に開放した、水を貯留する貯留槽と、前記貯留槽内の水を加熱するヒータと、を有し、前記プレート側の前記貯留槽の壁部の上方又は前記プレート側の斜め上方で、上下方向に延びる吸湿部材をさらに備えている、ことを特徴とする空気調和装置、である。
　本発明にかかる空気調和装置によれば、貯留槽からの蒸気の一部を、水の状態として吸湿部材によって保持することができ、プレートの空気通過孔の周囲で蒸気が結露することを抑制できる。とりわけ、貯留槽のプレート側の領域からの蒸気は、空気と混合してプレートの空気通過孔の周囲に付着して結露し易くなり得るが、吸湿部材が貯留槽のプレート側に位置することで、結露の発生を効果的に抑制できる。これにより、蒸気が結露して生じる水が空気に混入することを抑制でき、空気の湿度を安定した状態で制御することができる。
　本発明にかかる空気調和装置においては、前記水平流路部の延在方向に沿って見た場合に、前記吸湿部材が、前記空気通過孔の一部を覆っていてもよい。
　この場合、空気通過孔の一部を吸湿部材で覆うことによって、結露した水が空気通過孔の一部を通過することを抑制できる。これにより、蒸気が結露して生じる水が空気通過孔の下流側で空気に混入することを抑制でき、空気の湿度の制御精度を向上させることができる。
　また、本発明にかかる空気調和装置において、前記吸湿部材は、前記空気通過孔の下端から前記空気通過孔の上下方向の最大長さの１／３以下までの範囲を覆っていてもよい。
　この場合、吸湿部材が空気通過孔を覆う範囲が、空気通過孔の下端から空気通過孔の上下方向の最大長さの１／３以下の範囲までであることで、吸湿部材により生じる圧力損失の過度の上昇を抑制しつつ、結露した水が空気通過孔を通過することを効果的に抑制できる。
　また、本発明にかかる空気調和装置において、前記吸湿部材は、スポンジであってもよい。
　この場合、吸湿部材により生じる圧力損失の過度の上昇を抑制しつつ、且つ吸湿部材を安価に構成できる。
　また、本発明にかかる空気調和装置は、前記吸湿部材の前記プレート側の面に沿って延び、前記吸湿部材の前記プレート側の面を支持する支持部材をさらに備えていてもよい。
　この場合、支持部材によって吸湿部材を支持することで、吸湿部材が軟質であっても、空気の流れによって吸湿部材がばたつくことを抑制でき、吸湿効果を好適に確保することができる。
　本発明によれば、蒸気が結露して生じる水が空気に混入することを抑制でき、空気の湿度を安定した状態で制御することができる。
本発明の一実施の形態にかかる空気調和装置の側面図である。 図１の空気調和装置の空気通流路の下流側開口の周辺の断面図である。 図１の空気調和装置の空気通流路に設けられた加湿器の周辺を、水平方向と平行な図１の矢印ＩＩＩの方向に沿って見た図である。 図３に示す加湿器の上面図である。 図３に示す加湿器を図３の矢印Ｖの方向に沿って見た図である。 図５の要部の拡大図である。 図１に示す空気調和装置における加湿器の上方の空気の流れを説明する図である。 図１に示す空気調和装置における加湿器の上方の空気の流れを説明する図である。 図１に示す空気調和装置における加湿器の上方の空気の流れを説明する図である。
　以下に、添付の図面を参照して、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。
（空気調和装置の全体構成）
　図１は、本発明の一実施の形態にかかる空気調和装置１の側面図である。図１に示すように、本実施の形態にかかる空気調和装置１は、空気を通流させる空気通流路２と、空気通流路２に設けられた冷却器３、加熱器４及び加湿器５と、空気通流路２において空気を通流させるための駆動力を付与する送風機６と、を備えている。空気通流路２は、上下方向に沿って延びる縦流路部２１と、縦流路部２１の上部に連通し当該上部から水平方向に沿って延びる水平流路部２２と、を有している。以下の説明では、水平方向に沿って図１の紙面に直交する方向を、第１方向Ｄ１と呼び、水平方向に沿って第１方向Ｄ１と直交し且つ水平流路部２２が延びる図１の矢印で示される方向を、第２方向Ｄ２と呼ぶ。
　縦流路部２１は、その下部に、水平方向に沿って開口する上流側開口２１Ａを設けられ、本実施の形態では、上流側開口２１Ａが、縦流路部２１の内部から第２方向Ｄ２の一方側（図１の右方向）へ向けて開口している。上流側開口２１Ａは、縦流路部２１の内部に空気を取り込むために設けられている。本実施の形態では、上流側開口２１Ａの外側に設けられたフィルタ装置２３が、上流側開口２１Ａを覆っている。これにより、フィルタ装置２３を通ってパーティクルを除去された空気が、上流側開口２１Ａから縦流路部２１の内部に取り込まれることになる。なお、以下の説明では、第２方向Ｄ２の一方側と言う場合の方向は、図１における右方向を意味し、第２方向Ｄ２の他方側と言う場合の方向は、図１における左方向を意味する。
　水平流路部２２は、縦流路部２１側とは反対側の端部に、すなわち第２方向Ｄ２の他方側の端部に、下流側開口２２Ａを設けられている。ここで、図２は、空気通流路２における水平流路部２２の下流側開口２２Ａの周辺の第２方向Ｄ２に沿う面での縦断面図を示している。図２に示すように、本実施の形態では、下流側開口２２Ａに、空気通過孔２４Ａが形成されたプレート２４が取り付けられている。プレート２４は、空気通過孔２４Ａが形成されていない領域で下流側開口２２Ａを覆うように取り付けられており、空気通過孔２４Ａは、下流側開口２２Ａよりも小さく形成されている。これにより、本実施の形態では、上流側開口２１Ａから空気通流路２の内部に取り込まれた空気が、プレート２４の空気通過孔２４Ａから空気通流路２の外部に送られることになる。
　プレート２４は、例えばステンレス等の板材から形成される。本実施の形態では、プレート２４が水平流路部２２に対してネジによって取り付けられるが、プレート２４は、溶接等により水平流路部２２に一体化されてもよいし、プレート２４と水平流路部２２とが一つの材料から形成された一体物として形成されていてもよい。また、空気通過孔２４Ａは、円形の孔であるが（図３参照）、空気通過孔２４Ａの形状は、矩形等の他の形状であってもよい。
　図１及び図２に示すように、送風機６は、第２方向Ｄ２で、プレート２４と対向するように配置され、且つ、ダクト２５を介して空気通過孔２４Ａに連通している。送風機６が、図示省略したファンを回転させることにより、空気通流路２の内部の空気をその内部に取り込んで、上方に向けて開口する吐出口２５Ａから吐出する。送風機６が空気通流路２の内部の空気を取り込むことで、外部の空気が、上流側開口２１Ａから空気通流路２の内部に取り込まれる。これにより、空気通流路２において空気が通流することになる。
　図１に示すように、本実施の形態では、冷却器３が縦流路部２１の下部内に設けられ、加熱器４が、縦流路部２１の上部内に設けられている。冷却器３は、圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続された冷却回路における蒸発器であってもよい。また、加熱器４は、電気ヒータ等であってもよいし、上述の冷却回路において高温となった熱媒体の一部を利用するものであってもよい。冷却器３は、可変の冷凍能力で空気通流路２の内部の空気を冷却可能となっており、加熱器４は、可変の加熱能力で空気通流路２の内部の空気を加熱可能となっている。加湿器５は、水平流路部２２に設けられ、空気通流路２内に蒸気を供給可能となっている。
（加湿器）
　次に図３乃至図６を参照しつつ加湿器５について詳述する。図３は、空気通流路２に設けられた加湿器５の周辺を、水平方向と平行な図１の矢印ＩＩＩの方向に沿って見た図であり、より詳しくは空気通流路２の内部から第２方向Ｄ２の他方側に向けて加湿器５の周辺を見た図である。図４は、加湿器５の上面図であり、同図には、説明の便宜上、上述の水平流路部２２及びダクト２５が二点鎖線で示されている。図５は、加湿器５を図３の矢印Ｖの方向に沿って見た図であり、同図には、説明の便宜上、上述の水平流路部２２及びダクト２５が二点鎖線で示されている。また、図６は、図５の要部の拡大図である。
　図３乃至図６に示すように、本実施の形態における加湿器５は、上方に向けて水平流路部２２の内部に開放した、水を貯留する貯留槽５１と、貯留槽５１内の水を加熱するヒータ５２と、水平方向に沿って延びる第１方向Ｄ１で、貯留槽５１の中央に対し一方側及び他方側のそれぞれにおいて貯留槽５１の上方に配置され、その上部がその下部よりも第１方向Ｄ１における貯留槽５１の中央側に位置するように傾斜して延びる一対のガイド板５３と、を有している。本実施の形態における加湿器５では、一対のガイド板５３が第１方向Ｄ１で向き合うように配置されているため、一対のガイド板５３が向き合う方向と水平面上で直交する方向が、第２方向Ｄ２となっている。そのため、一対のガイド板５３が向き合う方向と直交する方向が、水平流路部２２の延在方向と平行となっている。
　なお、以下の説明では、第１方向Ｄ１の一方側と言う場合の方向は、図３における左方向を意味し、第１方向Ｄ１の他方側と言う場合の方向は、図３の右方向を意味する。また、第２方向Ｄ２の一方側と言う場合の方向は、図４における下方向を意味し、第２方向Ｄ２の他方側と言う場合の方向は、図４における上方向を意味する。
　貯留槽５１は、底壁５１Ａと、底壁５１Ａの外周縁の全域から上方に立ち上がる周壁５１Ｂと、を有しており、これら底壁５１Ａ及び周壁５１Ｂはステンレス等の板材から形成されている。上面視における貯留槽５１の形状は、第１方向Ｄ１に長手方向を有する長方形状となっている。周壁５１Ｂは、長方形状の一対の短辺に対応する第１方向Ｄ１の一方側及び他方側に位置する一対の壁部と、長方形状の一対の長辺に対応する第２方向Ｄ２の一方側及び他方側に位置する一対の壁部と、を有している。また貯留槽５１とプレート２４の空気通過孔２４Ａとの位置関係を説明すると、図３に示すように、第２方向Ｄ２に沿って見た場合に、貯留槽５１の上方に空気通過孔２４Ａが位置している。
　本実施の形態では、貯留槽５１が、水平流路部２２の下壁を貫通する状態で設けられている。詳しく説明すると、図６に示すように、周壁５１Ｂには、外側に延び出すフランジ５１Ｃが設けられ、貯留槽５１は、フランジ５１Ｃを水平流路部２２の下壁に形成された開口の外周縁に係止して、水平流路部２２の下壁に保持されている。なお、本実施の形態では、貯留槽５１の一部が水平流路部２２の外部に露出する構成が採用されているが、加湿器５の全体が水平流路部２２の内部に収容されてもよい。またヒータ５２は、図３に示すように、貯留槽５１の内部に収容されており、貯留槽５１の長手方向に沿って延びている。加湿器５では、ヒータ５２の加熱量を調節することにより、貯留槽５１に貯留された水から生じる蒸気の量を調節し、これにより空気通流路２を通流する空気の湿度を所望の湿度に調節することが可能となっている。
　一対のガイド板５３はそれぞれ、ステンレス等の板材から形成されており、図示省略する貯留槽５１の底壁５１Ａから立ち上がった支持部材によって支持されて、水平方向に対して傾斜する姿勢を保持している。本実施の形態では、一対のガイド板５３が、第１方向Ｄ１における貯留槽５１の中央を通り且つ第２方向Ｄ２に沿って延びる鉛直面を基準に対称に構成されている。また一対のガイド板５３の上部は、第１方向Ｄ１で互いに離れており、一対のガイド板５３の上部の間を貯留槽５１からの蒸気が通過可能となっている。なお、本実施の形態では、一対のガイド板５３が、第２方向Ｄ２に沿って見た場合に、直線的に延びているが、湾曲状に延びていてもよい。
　図４に示すように、一対のガイド板５３はそれぞれ、上面視で、第２方向Ｄ２の一方側のその端部が他方側のその端部よりも、第１方向Ｄ１における貯留槽５１の中央から離れるように位置する傾斜辺部５４と、第２方向Ｄ２の他方側を向く他方側辺部５５と、上下方向において貯留槽５１側に位置して第２方向Ｄ２に沿って延びる下側辺部５６と、を有している。図示の例において、傾斜辺部５４と他方側辺部５５と下側辺部５６とは、上面視で三角形状をなすように互いに連なっている。
　上述したプレート２４及び送風機６は、加湿器５に対して第２方向Ｄ２の他方側に位置するため、他方側辺部５５は、プレート２４及び送風機６の側を向いている。これに対し、傾斜辺部５４は、他方側辺部５５の第１方向Ｄ１における貯留槽５１の中央側の端部に連なり、プレート２４及び送風機６の側とは反対側を向いた状態となっている。図５に示すように、第１方向Ｄ１に沿って見た場合においては、傾斜辺部５４は、プレート２４及び送風機６の側に向けて、斜め上方に傾斜して延びている。
　図４に示すように、本実施の形態における他方側辺部５５は、第１方向Ｄ１に沿って延びており、したがって、他方側辺部５５は、第２方向Ｄ２の他方側の貯留槽５１の壁部５１ＢＢと平行となる。ここで、図４乃至図６に示すように、他方側辺部５５は、上面視で、第２方向Ｄ２の他方側の貯留槽５１の壁部５１ＢＢと重なっている。なお、本実施の形態では、他方側辺部５５が、上面視で、第２方向Ｄ２の他方側の貯留槽５１の壁部５１ＢＢと重なるが、他方側辺部５５は、上面視で、壁部５１ＢＢの外側に位置していてもよい。
　また他方側辺部５５には、図３に示すように、下方に突出し、且つ他方側辺部５５に沿って延びる突部５７が設けられている。本実施の形態では、突部５７とガイド板５３とが一つの材料から形成された一体物となっているが、突部５７は、ガイド板５３に対してネジによって取り付けられてもよいし、ガイド板５３に対して溶接等により取り付けられてもよい。
　一方で、下側辺部５６はそれぞれ、図３及び図４に示すように、第１方向Ｄ１で、自身が位置する側の貯留槽５１の壁部と離れている。すなわち、本実施の形態では、ガイド板５３が、上面視で、第１方向Ｄ１において自身が位置する側の貯留槽５１の壁部との間に隙間Ｓを形成するように、設けられている。本実施の形態では、第１方向Ｄ１の他方側に配置されたガイド板５３と貯留槽５１の壁部との間の隙間Ｓに、図示省略するフロートスイッチが通過するように配置される。なお、このような隙間Ｓは形成されなくてもよい。
　また本実施の形態では、図３に示すように、第２方向Ｄ２に沿って見た場合に、ガイド板５３の一部がプレート２４の空気通過孔２４Ａと重なっている。また、第２方向Ｄ２に沿って見た場合に、ガイド板５３の上部から斜め上方への延長線が、空気通過孔２４Ａの中心Ｃ１を通るようになっている。ここで、ガイド板５３の上記延長線は、空気通過孔２４Ａの中心Ｃ１を通り且つ第１方向Ｄ１に沿う直線に対して２０°～３０°の角度をなすことが好ましい。本件発明者の鋭意研究では、このような角度範囲にガイド板５３の角度を設定することで、湿度の制御精度を向上させることができることが知見されている。なお、本実施形態では、第２方向Ｄ２に沿って見た場合に、ガイド板５３がプレート２４の空気通過孔２４Ａと重なるが、ガイド板５３は、空気通過孔２４Ａと重ならなくてもよく、ガイド板５３の上部が空気通過孔２４Ａよりも下方に位置していてもよい。
　また図３に示すように、第１方向Ｄ１における空気通過孔２４Ａの端点から、ガイド板５３が空気通過孔２４Ａの中心側へ第１方向Ｄ１で突出する距離Ｌは、空気通過孔２４Ａの直径に対して５／３６～１０／３６である、ことが好ましい。特に、本実施の形態では、上記距離が６／３６（１／６）となっている。本件発明者の鋭意研究では、このような寸法範囲にガイド板５３の位置を設定することで、湿度の制御精度を向上させることができることが知見されている。
　一方で、本実施の形態における加湿器５は、第２方向Ｄ２の他方側（プレート２４側）の貯留槽５１の壁部５１ＢＢの上方又は第２方向Ｄ２の他方側の斜め上方で、上下方向に延びる吸湿部材６０をさらに備えている。図３に示すように、吸湿部材６０は、第１方向Ｄ１に長手方向を有する長方形状であり、第１方向Ｄ１で一対のガイド板５３を越えて外側に延びている。また図４及び図５に示すように、吸湿部材６０は板状に形成されている。
　吸湿部材６０は、第２方向Ｄ２、つまり水平流路部２２の延在方向に沿って見た場合に、空気通過孔２４Ａの一部を覆っており、図示の例では、空気通過孔２４Ａの下端から上端に向けて空気通過孔２４Ａの上下方向の最大長さの１／３までの範囲を覆っている。本実施の形態では、吸湿部材６０が空気通過孔２４Ａの一部を覆う。詳しくは、吸湿部材６０が空気通過孔２４Ａの一部とプレート２４の壁面とに跨がるようにして、これら空気通過孔２４Ａの一部とプレート２４の壁面とを覆う。しかしながら、吸湿部材６０は、空気通過孔２４Ａを覆っていなくてもよく、例えば、空気通過孔２４Ａの下端よりも下方のプレート２４の壁面のみを覆っていてもよい。また吸湿部材６０は、空気通過孔２４Ａの斜め下方や側方のプレート２４の壁面を覆っていてもよい。
　本実施の形態においては、吸湿部材６０がスポンジであり、図６に示すステンレス等からなる板状の支持部材６１によって支持されている。図示の例において、支持部材６１は、吸湿部材６０のプレート２４側の面に沿って延び、当該面を支持している。支持部材６１は、貯留槽５１の壁部５１ＢＢからプレート２４側に延び出すフランジ５１Ｃに取り付けられ、上方に延びている。吸湿部材６０を構成するスポンジは、合成樹脂からなり、とりわけポリウレタンフォームであることが好ましい。特に、吸湿部材６０を構成するスポンジは、ポリウレタンフォームのうちの軟質ポリウレタンフォームであることが好ましく、そのうちのポリエーテル系軟質ポリウレタンフォームであることがさらに好ましい。吸湿部材６０がポリエーテル系軟質ポリウレタンフォームである場合、吸湿部材６０が半導体製造工程において悪影響を及ぼすことが抑制されるため、特に半導体製造の用途において有用である。なお、吸湿部材６０は、吸湿性を有する限り、スポンジとは異なる材料から構成されてもよく、例えば、布等の繊維や、多孔質材料から構成されてもよい。
　次に、本実施の形態の作用について説明する。
　本実施の形態にかかる空気調和装置１では、送風機６が、ファンを回転させることにより、空気通流路２の内部の空気をその内部に取り込んで、上方に向けて開口する吐出口２５Ａから吐出する。送風機６が空気通流路２の内部の空気を取り込むことで、外部の空気が、空気通流路２の上流側開口２１Ａから空気通流路２の内部に取り込まれる。これにより、空気通流路２において空気が通流する。空気通流路２内に取り込まれた空気は、まず、冷却器３によって冷却され、次いで、加熱器４によって加熱され、所望の温度に調節される。その後、空気は、加湿器５の上方を通過し、その湿度が調節される。
　図７乃至図９は、加湿器５を通過する空気の流れを矢印で示している。加湿器５は、空気通流路２の水平流路部２２内において水平面上で第１方向Ｄ１に交差する方向から貯留槽５１の上方を通過する空気に、貯留槽５１からの蒸気を混入させることができる。そして、各図の矢印に示すように、この蒸気が混入した空気を、ガイド板５３によって貯留槽５１の中央側へガイドしつつ貯留槽５１の外側へ通過させることができる。
　これにより、水平面上で第１方向Ｄ１に直交する方向、つまり第２方向Ｄ２に沿って見た場合にガイド板５３の延長線上にプレート２４の空気通過孔２４Ａが位置するように加湿器５をセットする状態において、プレート２４の空気通過孔２４Ａに、蒸気が混入した空気を集めることができる。一方で、蒸気が混入した空気が広範囲に拡散して不所望な領域、具体的にはプレート２４の空気通過孔２４Ａの周囲の領域で結露することを抑制できる。
　また、貯留槽５１からの蒸気の一部を、水の状態として吸湿部材６０によって保持することができ、プレート２４の空気通過孔２４Ａの周囲で蒸気が結露することを抑制できる。とりわけ、貯留槽５１のプレート２４側の領域からの蒸気は、空気と混合してプレート２４の空気通過孔２４Ａの周囲に付着して結露し易くなり得るが、吸湿部材６０が貯留槽５１のプレート２４側に位置することで、結露の発生を効果的に抑制できる。
　したがって、以上に説明した本実施の形態によれば、蒸気が結露して生じる水が空気に混入することを抑制でき、空気の湿度を安定した状態で制御することができる。
　また本実施の形態では、水平流路部２２の延在方向に沿って見た場合に、吸湿部材６０が、空気通過孔２４Ａの一部を覆っている。この構成によって、結露した水が空気通過孔２４Ａの一部を通過することを抑制できる。これにより、蒸気が結露して生じる水が空気通過孔２４Ａの下流側で空気に混入することを抑制でき、空気の湿度の制御精度を向上させることができる。
　とりわけ、吸湿部材６０は、空気通過孔２４Ａの下端から空気通過孔２４Ａの上下方向の最大長さの１／３以下（本例では、１／３）までの範囲を覆っている。この構成によって、吸湿部材６０により生じる圧力損失の過度の上昇を抑制しつつ、結露した水が空気通過孔２４Ａを通過することを効果的に抑制できる。
　また、吸湿部材６０は、スポンジである。この構成によって、吸湿部材６０により生じる圧力損失の過度の上昇を抑制しつつ、且つ吸湿部材６０を安価に構成できる。
　また、吸湿部材６０は、吸湿部材６０のプレート２４側の面に沿って延びる支持部材６１によって、プレート２４側の面を支持されている。この構成によって、吸湿部材６０が軟質であっても、空気の流れによって吸湿部材６０がばたつくことを抑制でき、吸湿効果を好適に確保することができる。
　以上、本発明の一実施の形態を説明したが、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施の形態では、ガイド板５３が、第１方向Ｄ１で、貯留槽５１の中央に対し両側に配置されたが、ガイド板５３は、貯留槽５１の中央に対しいずれか一方のみに設けられてもよい。
　１…空気調和装置、２…空気通流路、３…冷却器、４…加熱器、５…加湿器、６…送風機、２１…縦流路部、２１Ａ…上流側開口、２２…水平流路部、２２Ａ…下流側開口、２４…プレート、２４Ａ…空気通過孔、５１…貯留槽、５１Ａ…底壁、５１Ｂ…周壁、５１Ｃ…フランジ、５２…ヒータ、５３…ガイド板、５４…傾斜辺部、５５…他方側辺部、５６…下側辺部、５７…突部、６０…吸湿部材、６１…支持部材。

Claims (6)

  1. 　空気を通流させる空気通流路と、
    　前記空気通流路の下流側開口に取り付けられ、且つ空気通過孔が形成されたプレートと、
    　前記空気通流路に設けられ、前記空気通流路内に蒸気を供給可能な加湿器と、を備え、
    　前記空気通流路は、前記下流側開口を設けられ且つ水平方向に沿って延びる水平流路部を有し、
    　前記水平流路部に、前記加湿器が設けられており、
    　前記加湿器は、上方に向けて前記水平流路部の内部に開放した、水を貯留する貯留槽と、前記貯留槽内の水を加熱するヒータと、を有し、
    　前記プレート側の前記貯留槽の壁部の上方又は前記プレート側の斜め上方で、上下方向に延びる吸湿部材をさらに備えている、ことを特徴とする空気調和装置。
  2. 　前記水平流路部の延在方向に沿って見た場合に、前記吸湿部材が、前記空気通過孔の一部を覆っている、ことを特徴とする請求項１に記載の空気調和装置。
  3. 　前記吸湿部材は、前記空気通過孔の下端から前記空気通過孔の上下方向の最大長さの１／３以下までの範囲を覆っている、ことを特徴とする請求項２に記載の空気調和装置。
  4. 　前記吸湿部材は、スポンジである、ことを特徴とする請求項１に記載の空気調和装置。
  5. 　前記吸湿部材の前記プレート側の面に沿って延び、前記吸湿部材の前記プレート側の面を支持する支持部材をさらに備えている、ことを特徴とする請求項４に記載の空気調和装置。
  6. 　前記吸湿部材は、前記空気通過孔の下端よりも下方に位置する前記プレートの壁面のみを覆っている、ことを特徴とする請求項１に記載の空気調和装置。
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