KR20180052507A - 공기 조화 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 증기가 결로하여 생기는 물이 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도를 안정된 상태로 제어할 수 있는 가습기를 제공한다.
[해결 수단] 본 발명에 관한 공기 조화 장치(1)는, 공기를 통류시키는 공기 통유로(2)와, 공기 통유로(2)의 하류측 개구(22A)에 장착되고, 또한 공기 통과 구멍(24A)이 형성된 플레이트(24)와, 공기 통유로(2)에 마련되고, 공기 통유로(2) 내에 증기를 공급할 수 있는 가습기(5)를 구비하고 있다. 공기 통유로(2)는, 하류측 개구(22A)가 마련되고, 또한 수평 방향을 따라서 연장되는 수평 유로부(22)를 가지며, 수평 유로부(22)에, 가습기(5)가 마련되어 있다. 가습기(5)는, 상부를 향해서 수평 유로부(22)의 내부에 개방된, 물을 저류하는 저류조(51)와, 저류조(51) 내의 물을 가열하는 히터(52)를 가진다. 그리고 공기 조화 장치(1)는, 플레이트(24)측의 저류조(51)의 벽부(51BB)의 상부 또는 플레이트(24)측의 경사진 상부에서, 상하 방향으로 연장되는 흡습 부재(60)를 더 구비하고 있다. 수평 유로부(22)의 연장 방향을 따라서 본 경우에, 흡습 부재(60)가, 공기 통과 구멍(24A)의 하단으로부터 공기 통과 구멍(24A)의 상하 방향의 최대 길이의 1/3 이하까지의 범위를 덮고 있다.

Description

공기 조화 장치{AIR CONDITIONER}

본 발명은, 공기 조화 장치에 관한 것이다.

반도체 제조시의 패턴 형성 공정에서는, 포토리소그래피(photolithography)가 이용되는 경우가 있다. 포토리소그래피에서는, 먼저, 기판에 감광성(感光性)의 레지스트(resist)가 도포된 후, 소망의 패턴에 따른 광이 레지스트에 노광되고, 다음으로, 예를 들면 레지스트가 광경화형의 감광 재료인 경우에는, 레지스트에서의 광이 노광되어 있지 않은 영역이 용제(溶劑) 등에 의해 제거된다. 이것에 의해, 레지스트에 소망의 패턴을 형성(현상(現像))할 수 있다.

상술한 바와 같은 레지스트는, 온도 및 습도에 따라서, 도포시 및 노광시의 막 두께가 변화할 수 있는 것이 알려져 있다. 그 때문에, 레지스트의 주변 환경의 공기의 온도 및 습도가 소망의 온도 및 습도와 크게 다른 상황하에서는, 형성되는 패턴의 치수 정밀도가 현저하게 저하되는 경우가 있다. 따라서, 포토리소그래피를 실시하기 위한 장치 및 그 주변 환경은, 통상, 공기 조화 장치에 의해서, 그 온도 및 습도를 정밀하게 제어되도록 되어 있다.

상술한 바와 같이 정밀한 온조(溫調, 온도 조절) 및 습조(濕調, 습도 조절)를 실시하기 위한 공기 조화 장치의 분야에서는, 종래부터 여러 가지의 기술이 제안되어 있다. 예를 들면 특허 문헌 1에는, 가습기의 팬(pan)에 저류(貯留)된 물의 흔들림을 방지할 수 있도록, 팬 내에 메쉬 모양의 부재를 수용하는 장치가 개시되어 있다. 이 장치에서는, 팬에 저류된 물의 흔들림을 방지함으로써, 습도 제어의 정밀도 향상이 도모되어 있다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2007－335544호 공보

그런데, 정밀한 온조 및 습조를 실시하기 위한 공기 조화 장치의 일례로서, 공기를 통류시키는 공기 통유로와, 당해 공기 통유로 내에 수용된 냉각기, 가열기 및 가습기를 구비하며, 공기 통유로 내에서 공기의 온도 및 습도를 제어하는 공기 조화 장치가 알려져 있다. 이러한 공기 조화 장치에서는, 공기 통과 구멍이 형성된 금속제의 플레이트를 공기 통유로의 하류측 개구에 장착하여, 공기 통유로 내의 공기를 플레이트의 공기 통과 구멍을 통과시켜 하류측으로 통류시키는 구성이 채용되는 경우가 있다.

그렇지만, 상술한 바와 같은 구성이 채용되는 공기 조화 장치에서는, 습도 스파이크(spike)가 생기기 쉬워지는 것을 본 건 발명자는 지견(知見)했다. 또, 습도 스파이크란, 공기의 습도가 순간적으로 목표치로부터 크게 벗어나는 현상인 것이다. 그리고 본 건 발명자는, 예의(銳意) 연구의 결과, 이러한 습도 스파이크의 발생의 주된 원인이, 가습기로부터의 증기가 상술의 플레이트의 통과 구멍 주위의 벽면에서 결로하여, 벽면에 생긴 물이 공기에 혼입하여 하류측으로 흐르는 것에 있다는 지견(知見)을 얻었다.

본 발명은, 상기 지견에 근거하여 이루어진 것이며, 증기가 결로하여 생기는 물이 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도를 안정된 상태로 제어할 수 있는 공기 조화 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 공기를 통류(通流)시키는 공기 통유로(通流路)와, 상기 공기 통유로의 하류측 개구에 장착되고, 또한 공기 통과 구멍이 형성된 플레이트와, 상기 공기 통유로에 마련되고, 상기 공기 통유로 내에 증기를 공급할 수 있는 가습기를 구비하며, 상기 공기 통유로는, 상기 하류측 개구가 마련되고 또한 수평 방향을 따라서 연장되는 수평 유로부를 가지고, 상기 수평 유로부에, 상기 가습기가 마련되어 있고, 상기 가습기는, 상부를 향해서 상기 수평 유로부의 내부에 개방된, 물을 저류(貯留)하는 저류조(貯留措)와, 상기 저류조 내의 물을 가열하는 히터를 가지며, 상기 플레이트측의 상기 저류조의 벽부의 상부 또는 상기 플레이트측의 경사진 상부에서, 상하 방향으로 연장되는 흡습 부재를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 공기 조화 장치이다.

본 발명에 관한 공기 조화 장치에 의하면, 저류조로부터의 증기의 일부를, 물의 상태로 하여 흡습 부재에 의해서 유지할 수 있어, 플레이트의 공기 통과 구멍의 주위에서 증기가 결로하는 것을 억제할 수 있다. 특히, 저류조의 플레이트측의 영역으로부터의 증기는, 공기와 혼합하여 플레이트의 공기 통과 구멍의 주위에 부착하여 결로하기 쉬워질 수 있지만, 흡습 부재가 저류조의 플레이트측에 위치함으로써, 결로의 발생을 효과적으로 억제할 수 있다. 이것에 의해, 증기가 결로하여 생기는 물이 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도를 안정된 상태로 제어할 수 있다.

특히 본 발명에 관한 공기 조화 장치에서는, 상기 수평 유로부의 연장 방향을 따라서 본 경우에, 상기 흡습 부재가, 상기 공기 통과 구멍의 일부를 덮고 있다.

이 경우, 공기 통과 구멍의 일부를 흡습 부재에 의해 덮는 것에 의해서, 결로한 물이 공기 통과 구멍의 일부를 통과하는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 증기가 결로하여 생기는 물이 공기 통과 구멍의 하류측에서 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도의 제어 정밀도를 향상시킬 수 있다.

보다 상세하게는, 본 발명에 관한 공기 조화 장치에서, 상기 흡습 부재는, 상기 공기 통과 구멍의 하단으로부터 상기 공기 통과 구멍의 상하 방향의 최대 길이의 1/3 이하까지의 범위를 덮고 있다.

이 경우, 흡습 부재가 공기 통과 구멍을 덮는 범위가, 공기 통과 구멍의 하단으로부터 공기 통과 구멍의 상하 방향의 최대 길이의 1/3 이하의 범위까지임으로써, 흡습 부재에 의해 생기는 압력 손실의 과도한 상승을 억제하면서, 결로한 물이 공기 통과 구멍을 통과하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또, 본 발명에 관한 공기 조화 장치에서, 상기 흡습 부재는, 스펀지라도 좋다.

이 경우, 흡습 부재에 의해 생기는 압력 손실의 과도한 상승을 억제하면서, 또한 흡습 부재를 염가로 구성할 수 있다.

또, 본 발명에 관한 공기 조화 장치는, 상기 흡습 부재의 상기 플레이트측의 면(面)을 따라서 연장되고, 상기 흡습 부재의 상기 플레이트측의 면을 지지하는 지지 부재를 더 구비하고 있어도 괜찮다.

이 경우, 지지 부재에 의해서 흡습 부재를 지지함으로써, 흡습 부재가 연질이라도, 공기의 흐름에 의해서 흡습 부재가 덜걱거리는 것을 억제할 수 있어, 흡습 효과를 바람직하게 확보할 수 있다.

본 발명에 의하면, 증기가 결로하여 생기는 물이 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도를 안정된 상태로 제어할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 공기 조화 장치의 측면도이다.
도 2는 도 1의 공기 조화 장치의 공기 통유로의 하류측 개구의 주변의 단면도이다.
도 3은 도 1의 공기 조화 장치의 공기 통유로에 마련된 가습기의 주변을, 수평 방향과 평행한 도 1의 화살표 III의 방향을 따라서 본 도면이다.
도 4는 도 3에 나타내는 가습기의 상면도이다.
도 5는 도 3에 나타내는 가습기를 도 3의 화살표 V의 방향을 따라서 본 도면이다.
도 6은 도 5의 요부의 확대도이다.
도 7은 도 1에 나타내는 공기 조화 장치에서의 가습기의 상부의 공기의 흐름을 설명하는 도면이다.
도 8은 도 1에 나타내는 공기 조화 장치에서의 가습기의 상부의 공기의 흐름을 설명하는 도면이다.
도 9는 도 1에 나타내는 공기 조화 장치에서의 가습기의 상부의 공기의 흐름을 설명하는 도면이다.

이하에, 첨부의 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태를 상세하게 설명한다.

(공기 조화 장치의 전체 구성)

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 공기 조화 장치(1)의 측면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 공기 조화 장치(1)는, 공기를 통류(通流)시키는 공기 통유로(通流路)(2)와, 공기 통유로(2)에 마련된 냉각기(3), 가열기(4) 및 가습기(5)와, 공기 통유로(2)에서 공기를 통류시키기 위한 구동력을 부여하는 송풍기(6)를 구비하고 있다. 공기 통유로(2)는, 상하 방향을 따라서 연장되는 세로 유로부(21)와, 세로 유로부(21)의 상부에 연통하고 당해 상부로부터 수평 방향을 따라서 연장되는 수평 유로부(22)를 가지고 있다. 이하의 설명에서는, 수평 방향을 따라서 도 1의 지면에 직교하는 방향을, 제1 방향(D1)이라고 하고, 수평 방향을 따라서 제1 방향(D1)과 직교하고 또한 수평 유로부(22)가 연장되는 도 1의 화살표로 나타내어지는 방향을, 제2 방향(D2)이라고 한다.

세로 유로부(21)는, 그 하부에, 수평 방향을 따라서 개구되는 상류측 개구(21A)가 마련되고, 본 실시 형태에서는, 상류측 개구(21A)가, 세로 유로부(21)의 내부로부터 제2 방향(D2)의 일방측(도 1의 우측 방향)으로 향하여 개구되어 있다. 상류측 개구(21A)는, 세로 유로부(21)의 내부에 공기를 넣기 위해서 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 상류측 개구(21A)의 외측에 마련된 필터 장치(23)가, 상류측 개구(21A)를 덮고 있다. 이것에 의해, 필터 장치(23)를 통과하여 파티클(particle)이 제거된 공기가, 상류측 개구(21A)로부터 세로 유로부(21)의 내부에 넣어지게 된다. 또, 이하의 설명에서는, 제2 방향(D2)의 일방측이라고 하는 경우의 방향은, 도 1에서의 우측 방향을 의미하고, 제2 방향(D2)의 타방측이라고 하는 경우의 방향은, 도 1에서의 좌측 방향을 의미한다.

수평 유로부(22)는, 세로 유로부(21)측과는 반대측의 단부에, 즉 제2 방향(D2)의 타방측의 단부에, 하류측 개구(22A)가 마련되어 있다. 여기서, 도 2는, 공기 통유로(2)에서의 수평 유로부(22)의 하류측 개구(22A)의 주변의 제2 방향(D2)을 따르는 면에서의 종단면도를 나타내고 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 하류측 개구(22A)에, 공기 통과 구멍(24A)이 형성된 플레이트(24)가 장착되어 있다. 플레이트(24)는, 공기 통과 구멍(24A)이 형성되어 있지 않은 영역에서 하류측 개구(22A)를 덮도록 장착되어 있고, 공기 통과 구멍(24A)은, 하류측 개구(22A) 보다도 작게 형성되어 있다. 이것에 의해, 본 실시 형태에서는, 상류측 개구(21A)로부터 공기 통유로(2)의 내부에 넣어진 공기가, 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)으로부터 공기 통유로(2)의 외부로 보내어지게 된다.

플레이트(24)는, 예를 들면 스테인리스 등의 판재(板材)로 형성된다. 본 실시 형태에서는, 플레이트(24)가 수평 유로부(22)에 대해서 나사에 의해서 장착되어 있지만, 플레이트(24)는, 용접 등에 의해 수평 유로부(22)에 일체화되어도 괜찮고, 플레이트(24)와 수평 유로부(22)가 하나의 재료로 형성된 일체물로서 형성되어 있어도 괜찮다. 또, 공기 통과 구멍(24A)은, 원형의 구멍이지만(도 3 참조), 공기 통과 구멍(24A)의 형상은, 직사각형 등의 다른 형상이라도 좋다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 송풍기(6)는, 제2 방향(D2)에서, 플레이트(24)와 대향하도록 배치되고, 또한, 덕트(25)를 매개로 하여 공기 통과 구멍(24A)에 연통되어 있다. 송풍기(6)가, 도시를 생략한 팬(fan)을 회전시키는 것에 의해, 공기 통유로(2)의 내부의 공기를 그 내부에 넣고, 상부를 향해서 개구되는 토출구(25A)로부터 토출시킨다. 송풍기(6)가 공기 통유로(2)의 내부의 공기를 넣음으로써, 외부의 공기가, 상류측 개구(21A)로부터 공기 통유로(2)의 내부에 넣어진다. 이것에 의해, 공기 통유로(2)에서 공기가 통류하게 된다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 냉각기(3)가 세로 유로부(21)의 하부 내에 마련되고, 가열기(4)가, 세로 유로부(21)의 상부 내에 마련되어 있다. 냉각기(3)는, 압축기, 응축기, 팽창 밸브 및 증발기가 열(熱) 매체를 순환시키도록 당해 순서로 배관에 의해 접속된 냉각 회로에서의 증발기라도 좋다. 또, 가열기(4)는, 전기 히터 등이라도 좋고, 상술의 냉각 회로에서 고온이 된 열 매체의 일부를 이용하는 것이라도 좋다. 냉각기(3)는, 가변의 냉동 능력으로 공기 통유로(2)의 내부의 공기를 냉각 가능하게 되어 있으며, 가열기(4)는, 가변의 가열 능력으로 공기 통유로(2)의 내부의 공기를 가열 가능하게 되어 있다. 가습기(5)는, 수평 유로부(22)에 마련되고, 공기 통유로(2) 내에 증기를 공급 가능하게 되어 있다.

(가습기)

다음으로 도 3 내지 도 6을 참조하면서 가습기(5)에 대해 상술한다. 도 3은, 공기 통유로(2)에 마련된 가습기(5)의 주변을, 수평 방향과 평행한 도 1의 화살표 III의 방향을 따라서 본 도면이며, 보다 상세하게는 공기 통유로(2)의 내부로부터 제2 방향(D2)의 타방측을 향하여 가습기(5)의 주변을 본 도면이다. 도 4는, 가습기(5)의 상면도이며, 도 4에는, 설명의 편의상, 상술의 수평 유로부(22) 및 덕트(25)가 2점 쇄선으로 나타내어져 있다. 도 5는, 가습기(5)를 도 3의 화살표 V의 방향을 따라서 본 도면이며, 도 5에는, 설명의 편의상, 상술의 수평 유로부(22) 및 덕트(25)가 2점 쇄선으로 나타내어져 있다. 또, 도 6은, 도 5의 요부의 확대도이다.

도 3 내지 도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서의 가습기(5)는, 상부를 향해서 수평 유로부(22)의 내부에 개방된, 물을 저류하는 저류조(51)와, 저류조(51) 내의 물을 가열하는 히터(52)와, 수평 방향을 따라서 연장되는 제1 방향(D1)에서, 저류조(51)의 중앙에 대해 일방측 및 타방측의 각각에서 저류조(51)의 상부에 배치되고, 그 상부가 그 하부 보다도 제1 방향(D1)에서의 저류조(51)의 중앙측에 위치하도록 경사지게 연장되는 한 쌍의 가이드판(53)을 가지고 있다. 본 실시 형태에서의 가습기(5)에서는, 한 쌍의 가이드판(53)이 제1 방향(D1)에서 마주 향하도록 배치되어 있기 때문에, 한 쌍의 가이드판(53)이 마주 향하는 방향과 수평면 상에서 직교하는 방향이, 제2 방향(D2)으로 되어 있다. 그 때문에, 한 쌍의 가이드판(53)이 마주 향하는 방향과 직교하는 방향이, 수평 유로부(22)의 연장 방향과 평행하게 되어 있다.

또, 이하의 설명에서는, 제1 방향(D1)의 일방측이라고 하는 경우의 방향은, 도 3에서의 좌측 방향을 의미하고, 제1 방향(D1)의 타방측이라고 하는 경우의 방향은, 도 3의 우측 방향을 의미한다. 또, 제2 방향(D2)의 일방측이라고 하는 경우의 방향은, 도 4에서의 아래 방향을 의미하고, 제2 방향(D2)의 타방측이라고 하는 경우의 방향은, 도 4에서의 윗 방향을 의미한다.

저류조(51)는, 저벽(51A)과, 저벽(51A)의 외주 가장자리의 전역(全域)으로부터 상부로 세워지는 주벽(周壁)(51B)을 가지고 있으며, 이들 저벽(51A) 및 주벽(51B)은 스테인리스 등의 판재로 형성되어 있다. 상면에서 볼 때 저류조(51)의 형상은, 제1 방향(D1)으로 길이 방향을 가지는 장방형 모양으로 되어 있다. 주벽(51B)은, 장방형 모양의 한 쌍의 단변에 대응하는 제1 방향(D1)의 일방측 및 타방측에 위치하는 한 쌍의 벽부와, 장방형 모양의 한 쌍의 장변에 대응하는 제2 방향(D2)의 일방측 및 타방측에 위치하는 한 쌍의 벽부를 가지고 있다. 또 저류조(51)와 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)과의 위치 관계를 설명하면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 방향(D2)을 따라서 본 경우에, 저류조(51)의 상부에 공기 통과 구멍(24A)이 위치하고 있다.

본 실시 형태에서는, 저류조(51)가, 수평 유로부(22)의 하벽을 관통하는 상태로 마련되어 있다. 자세하게 설명하면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 주벽(51B)에는, 외측으로 연장되는 플랜지(51C)가 마련되고, 저류조(51)는, 플랜지(51C)를 수평 유로부(22)의 하벽(下壁)에 형성된 개구의 외주 가장자리에 걸려, 수평 유로부(22) 하벽에 유지되어 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 저류조(51)의 일부가 수평 유로부(22)의 외부로 노출되는 구성이 채용되어 있지만, 가습기(5) 전체가 수평 유로부(22)의 내부에 수용되어도 괜찮다. 또 히터(52)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 저류조(51)의 내부에 수용되어 있고, 저류조(51)의 길이 방향을 따라서 연장되어 있다. 가습기(5)에서는, 히터(52)의 가열량을 조절하는 것에 의해, 저류조(51)에 저류된 물로부터 생기는 증기의 양을 조절하고, 이것에 의해 공기 통유로(2)를 통류하는 공기의 습도를 원하는 습도로 조절하는 것이 가능하게 되어 있다.

한 쌍의 가이드판(53)은 각각, 스테인리스 등의 판재로 형성되어 있고, 도시를 생략하는 저류조(51)의 저벽(51A)으로부터 세워진 지지 부재에 의해서 지지되어, 수평 방향에 대해 경사지는 자세를 유지하고 있다. 본 실시 형태에서는, 한 쌍의 가이드판(53)이, 제1 방향(D1)에서의 저류조(51)의 중앙을 통과하고 또한 제2 방향(D2)을 따라서 연장되는 연직면을 기준으로 대칭으로 구성되어 있다. 또 한 쌍의 가이드판(53)의 상부는, 제1 방향(D1)에서 서로 떨어져 있고, 한 쌍의 가이드판(53)의 상부의 사이부터 저류조(51)가 상부를 향해서 개방되어 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 한 쌍의 가이드판(53)이, 제2 방향(D2)을 따라서 본 경우에, 직선적으로 연장되어 있지만, 만곡(灣曲) 모양으로 연장되어 있어도 괜찮다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 가이드판(53)은 각각, 상면에서 보아, 제2 방향(D2)의 일방측의 그 단부가 타방측의 그 단부 보다도, 제1 방향(D1)에서의 저류조(51)의 중앙으로부터 멀어지도록 위치하는 경사변부(54)와, 제2 방향(D2)의 타방측을 향하는 타방측 변부(55)와, 상하 방향에서 저류조(51) 측에 위치하여 제2 방향(D2)을 따라서 연장되는 하측변부(56)를 가지고 있다. 도시한 예에서, 경사변부(54)와 타방측 변부(55)와 하측변부(56)는, 상면에서 보아 삼각형 모양을 이루도록 서로 이어져 있다.

상술한 플레이트(24) 및 송풍기(6)는, 가습기(5)에 대해서 제2 방향(D2)의 타방측에 위치하기 때문에, 타방측 변부(55)는, 플레이트(24) 및 송풍기(6)측을 향하고 있다. 이것에 대해, 경사변부(54)는, 타방측 변부(55)의 제1 방향(D1)에서의 저류조(51)의 중앙측의 단부에 이어지고, 플레이트(24) 및 송풍기(6)측과는 반대측을 향한 상태로 되어 있다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 방향(D1)을 따라서 본 경우에는, 경사변부(54)는, 플레이트(24) 및 송풍기(6)측을 향하여, 기울어져 상부로 경사지게 연장되어 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서의 타방측 변부(55)는, 제1 방향(D1)을 따라서 연장되어 있고, 따라서, 타방측 변부(55)는, 제2 방향(D2)의 타방측의 저류조(51)의 벽부(51BB)와 평행하게 된다. 여기서, 도 4 내지 도 6에 나타내는 바와 같이, 타방측 변부(55)는, 상면에서 보아, 제2 방향(D2)의 타방측의 저류조(51)의 벽부(51BB)와 겹쳐져 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 타방측 변부(55)가, 상면에서 보아, 제2 방향(D2)의 타방측의 저류조(51)의 벽부(51BB)와 겹치지만, 타방측 변부(55)는, 상면에서 보아, 벽부(51BB)의 외측에 위치하고 있어도 괜찮다.

또 타방측 변부(55)에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 하부로 돌출되고, 또한 타방측 변부(55)를 따라서 연장되는 돌기부(57)가 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 돌기부(57)와 가이드판(53)이 하나의 재료로 형성된 일체물로 되어 있지만, 돌기부(57)는, 가이드판(53)에 대해서 나사에 의해서 장착되어 있어도 괜찮고, 가이드판(53)에 대해서 용접 등에 의해 장착되어도 괜찮다.

한편으로, 하측변부(56)는 각각, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 방향(D1)에서, 자신이 위치하는 측의 저류조(51)의 벽부와 떨어져 있다. 즉, 본 실시 형태에서는, 가이드판(53)이, 상면에서 보아, 제1 방향(D1)에서 자신이 위치하는 측의 저류조(51)의 벽부와의 사이에 간극(S)을 형성하도록 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 방향(D1)의 타방측에 배치된 가이드판(53)과 저류조(51)의 벽부와의 사이의 간극(S)에, 도시를 생략하는 플로트 스위치가 통과하도록 배치된다. 또, 이러한 간극(S)은 형성되어 있지 않아도 좋다.

또 본 실시 형태에서는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 방향(D2)을 따라서 본 경우에, 가이드판(53)의 일부가 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)과 겹쳐져 있다. 또, 제2 방향(D2)을 따라서 본 경우에, 가이드판(53)의 상부로부터 경사진 상부로의 연장선이, 공기 통과 구멍(24A)의 중심(C1)을 통과하도록 되어 있다. 여기서, 가이드판(53)의 상기 연장선은, 공기 통과 구멍(24A)의 중심(C1)을 통과하고 또한 제1 방향(D1)을 따르는 직선에 대해서 20°~30°의 각도를 이루는 것이 바람직하다. 본 건 발명자의 예의(銳意) 연구에서는, 이러한 각도 범위로 가이드판(53)의 각도를 설정함으로써, 습도의 제어 정밀도를 향상시킬 수 있는 것이 지견(知見)되어 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 제2 방향(D2)을 따라서 본 경우에, 가이드판(53)이 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)과 겹쳐지지만, 가이드판(53)은, 공기 통과 구멍(24A)과 겹치지 않아도 좋고, 가이드판(53)의 상부가 공기 통과 구멍(24A) 보다도 하부에 위치하고 있어도 괜찮다.

또 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 방향(D1)에서의 공기 통과 구멍(24A)의 단부점으로부터, 가이드판(53)이 공기 통과 구멍(24A)의 중심측으로 제1 방향(D1)에서 돌출하는 거리 L은, 공기 통과 구멍(24A)의 직경에 대해서 5/36~10/36인 것이 바람직하다. 특히, 본 실시 형태에서는, 상기 거리가 6/36(1/6)으로 되어 있다. 본 건 발명자의 예의 연구에서는, 이러한 치수 범위로 가이드판(53)의 위치를 설정함으로써, 습도의 제어 정밀도를 향상시킬 수 있는 것이 지견되어 있다.

한편으로, 본 실시 형태에서의 가습기(5)는, 제2 방향(D2)의 타방측(플레이트(24)측)의 저류조(51)의 벽부(51BB)의 상부 또는 제2 방향(D2)의 타방측의 경사진 상부에서, 상하 방향으로 연장되는 흡습 부재(60)를 더 구비하고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡습 부재(60)는, 제1 방향(D1)으로 길이 방향을 가지는 장방형 모양이며, 제1 방향(D1)에서 한 쌍의 가이드판(53)을 넘어 외측으로 연장되어 있다. 또 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 흡습 부재(60)는 판 모양으로 형성되어 있다.

흡습 부재(60)는, 제2 방향(D2), 즉 수평 유로부(22)의 연장 방향을 따라서 본 경우에, 공기 통과 구멍(24A)의 일부를 덮고 있고, 도시한 예에서는, 공기 통과 구멍(24A)의 하단으로부터 상단을 향해서 공기 통과 구멍(24A)의 상하 방향의 최대 길이의 1/3까지의 범위를 덮고 있다. 본 실시 형태에서는, 흡습 부재(60)가 공기 통과 구멍(24A)의 일부와 플레이트(24)의 벽면에 걸치도록 하여, 이들 공기 통과 구멍(24A)의 일부와 플레이트(24)의 벽면을 덮지만, 흡습 부재(60)는, 공기 통과 구멍(24A)을 덮지 않아도 괜찮으며, 예를 들면, 공기 통과 구멍(24A)의 하단 보다도 하부의 플레이트(24)의 벽면만을 덮고 있어도 괜찮다. 또 흡습 부재(60)는, 공기 통과 구멍(24A)의 경사진 하부나 측부의 플레이트(24)의 벽면을 덮고 있어도 괜찮다.

본 실시 형태에서는, 흡습 부재(60)가 스펀지이며, 도 6에 나타내는 스테인리스 등으로 이루어지는 판 모양의 지지 부재(61)에 의해서 지지되어 있다. 도시한 예에서, 지지 부재(61)는, 흡습 부재(60)의 플레이트(24)측의 면(面)을 따라서 연장되어, 당해 면을 지지하고 있다. 지지 부재(61)는, 저류조(51)의 벽부(51BB)로부터 플레이트(24)측으로 연장되는 플랜지(51C)에 장착되어, 상부로 연장되어 있다. 흡습 부재(60)를 구성하는 스펀지는, 합성 수지로 이루어지고, 특히 폴리우레탄 폼인 것이 바람직하다. 특히, 흡습 부재(60)를 구성하는 스펀지는, 폴리우레탄 폼 중 연질 폴리우레탄 폼인 것이 바람직하고, 그 중의 폴리에테르계 연질 폴리우레탄 폼인 것이 더 바람직하다. 흡습 부재(60)가 폴리 에테르계 연질 폴리우레탄 폼인 경우, 흡습 부재(60)가 반도체 제조 공정에서 악영향을 미치는 것이 억제되기 때문에, 특히 반도체 제조의 용도에 유용하다. 또, 흡습 부재(60)는, 흡습성을 가지는 한, 스펀지와는 다른 재료로 구성되어도 좋고, 예를 들면, 천 등의 섬유나, 다공질 재료로 구성되어도 괜찮다.

다음으로, 본 실시 형태의 작용에 대해 설명한다.

본 실시 형태에 관한 공기 조화 장치(1)에서는, 송풍기(6)가, 팬을 회전시키는 것에 의해, 공기 통유로(2)의 내부의 공기를 그 내부에 넣고, 상부를 향해서 개구되는 토출구(25A)로부터 토출시킨다. 송풍기(6)가 공기 통유로(2)의 내부의 공기를 넣음으로써, 외부의 공기가, 공기 통유로(2)의 상류측 개구(21A)로부터 공기 통유로(2)의 내부에 넣어진다. 이것에 의해, 공기 통유로(2)에서 공기가 통류한다. 공기 통유로(2) 내에 넣어진 공기는, 먼저, 냉각기(3)에 의해서 냉각되고, 다음으로, 가열기(4)에 의해서 가열되어, 소망의 온도로 조절된다. 그 후, 공기는, 가습기(5)의 상부를 통과하여, 그 습도가 조절된다.

도 7 내지 도 9는, 가습기(5)를 통과하는 공기의 흐름을 화살표로 나타내고 있다. 가습기(5)는, 공기 통유로(2)의 수평 유로부(22) 내에서 수평면 상에서 제1 방향(D1)에 교차하는 방향으로부터 저류조(51)의 상부를 통과하는 공기에, 저류조(51)로부터의 증기를 혼입시킬 수 있다. 그리고, 각 도면의 화살표에 나타내는 바와 같이, 이 증기가 혼입된 공기를, 가이드판(53)에 의해서 저류조(51)의 중앙측으로 가이드하면서 저류조(51)의 외측으로 통과시킬 수 있다.

이것에 의해, 수평면 상에서 제1 방향(D1)에 직교하는 방향, 즉 제2 방향(D2)을 따라서 본 경우에 가이드판(53)의 연장선 상에 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)이 위치하도록 가습기(5)를 셋팅하는 상태에서, 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)에, 증기가 혼입된 공기를 모을 수 있다. 한편으로, 증기가 혼입된 공기가 광범위하게 확산하여 원하지 않은 영역, 구체적으로는 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)의 주위의 영역에서 결로되는 것을 억제할 수 있다.

또, 저류조(51)로부터의 증기의 일부를, 물의 상태로 하여 흡습 부재(60)에 의해서 유지할 수 있고, 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)의 주위에서 증기가 결로되는 것을 억제할 수 있다. 특히, 저류조(51)의 플레이트(24)측의 영역으로부터의 증기는, 공기와 혼합하여 플레이트(24)의 공기 통과 구멍(24A)의 주위에 부착하여 결로하기 쉬워질 수 있지만, 흡습 부재(60)가 저류조(51)의 플레이트(24)측에 위치함으로써, 결로의 발생을 효과적으로 억제할 수 있다.

따라서, 이상에 설명한 본 실시 형태에 의하면, 증기가 결로하여 생기는 물이 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도를 안정된 상태로 제어할 수 있다.

또 본 실시 형태에서는, 수평 유로부(22)의 연장 방향을 따라서 본 경우에, 흡습 부재(60)가, 공기 통과 구멍(24A)의 일부를 덮고 있다. 이 구성에 의해서, 결로한 물이 공기 통과 구멍(24A)의 일부를 통과하는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 증기가 결로하여 생기는 물이 공기 통과 구멍(24A)의 하류측에서 공기에 혼입되는 것을 억제할 수 있어, 공기의 습도의 제어 정밀도를 향상시킬 수 있다.

특히, 흡습 부재(60)는, 공기 통과 구멍(24A)의 하단으로부터 공기 통과 구멍(24A)의 상하 방향의 최대 길이의 1/3 이하(본 예에서는, 1/3)까지의 범위를 덮고 있다. 이 구성에 의해서, 흡습 부재(60)에 의해 생기는 압력 손실의 과도한 상승을 억제하면서, 결로한 물이 공기 통과 구멍(24A)을 통과하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또, 흡습 부재(60)는, 스펀지이다. 이 구성에 의해서, 흡습 부재(60)에 의해 생기는 압력 손실의 과도한 상승을 억제하면서, 또한 흡습 부재(60)를 염가로 구성할 수 있다.

또, 흡습 부재(60)는, 흡습 부재(60)의 플레이트(24)측의 면(面)을 따라서 연장되는 지지 부재(61)에 의해서, 플레이트(24)측의 면이 지지되어 있다. 이 구성에 의해서, 흡습 부재(60)가 연질이라도, 공기의 흐름에 의해서 흡습 부재(60)가 덜걱거리는 것을 억제할 수 있어, 흡습 효과를 바람직하게 확보할 수 있다.

이상, 본 발명의 일 실시 형태를 설명했지만, 본 발명은, 상술의 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상술의 실시 형태에서는, 가이드판(53)이, 제1 방향(D1)에서, 저류조(51)의 중앙에 대해 양측에 배치되었지만, 가이드판(53)은, 저류조(51)의 중앙에 대해 어느 일방에만 마련되어도 괜찮다.

1 - 공기 조화 장치 2 - 공기 통유로
3 - 냉각기 4 - 가열기
5 - 가습기 6 - 송풍기
21 - 세로 유로부 21A - 상류측 개구
22 - 수평 유로부 22A - 하류측 개구
24 - 플레이트 24A - 공기 통과 구멍
51 - 저류조 51A - 저벽
51B - 주벽 51C - 플랜지
52 - 히터 53 - 가이드판
54 - 경사변부 55 - 타방측 변부
56 - 하측변부 57 - 돌기부
60 - 흡습 부재 61 - 지지 부재

Claims (3)

1. 공기를 통류(通流)시키는 공기 통유로(通流路)와,
   상기 공기 통유로의 하류측 개구에 장착되고, 또한 공기 통과 구멍이 형성된 플레이트와,
   상기 공기 통유로에 마련되고, 상기 공기 통유로 내에 증기를 공급할 수 있는 가습기를 구비한 공기 조화 장치로서,
   상기 공기 통유로는, 상기 하류측 개구가 마련되고 또한 수평 방향을 따라서 연장되는 수평 유로부를 가지고,
   상기 수평 유로부에, 상기 가습기가 마련되어 있고,
   상기 가습기는, 상부를 향해서 상기 수평 유로부의 내부에 개방된, 물을 저류(貯留)하는 저류조(貯留措)와, 상기 저류조 내의 물을 가열하는 히터를 가지고,
   상기 공기 조화 장치는, 상기 플레이트측의 상기 저류조의 벽부의 상부 또는 상기 플레이트측의 경사진 상부에서, 상하 방향으로 연장되는 흡습 부재를 더 구비하고 있으며,
   상기 수평 유로부의 연장 방향을 따라서 본 경우에, 상기 흡습 부재가, 상기 공기 통과 구멍의 하단으로부터 상기 공기 통과 구멍의 상하 방향의 최대 길이의 1/3 이하까지의 범위를 덮고 있는 것을 특징으로 하는 공기 조화 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 흡습 부재는, 스펀지인 것을 특징으로 하는 공기 조화 장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 흡습 부재의 상기 플레이트측의 면(面)을 따라서 연장되고, 상기 흡습 부재의 상기 플레이트측의 면을 지지하는 지지 부재를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 공기 조화 장치.
   

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