WO2018037922A1 - インクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法 - Google Patents

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住友重機械工業株式会社
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    • B41J2002/16573—Cleaning process logic, e.g. for determining type or order of cleaning processes

Definitions

  • the present invention relates to an inkjet apparatus and a cleaning method for an inkjet apparatus.
  • Patent Document 1 An ink jet printer that forms a resist film for patterning a conductor formed on the surface of a substrate by discharging ink from an ink jet head is known (Patent Document 1).
  • the ink When using ink with high viscosity at room temperature, the ink must be heated in order to reduce the viscosity to such an extent that it can be ejected from the inkjet head.
  • the viscosity of the ink remaining in the ink jet head increases. A number of fine ink flow paths are formed in the inkjet head. The high-viscosity ink remaining in the ink-jet head causes clogging of the fine ink flow path.
  • the ink remaining in the ink jet head Before the operation of the apparatus is stopped, the ink remaining in the ink jet head can be sucked to reduce the residual amount of ink. However, it is difficult to completely discharge ink from the inkjet head by this method.
  • the ink in the inkjet head By cleaning the ink supply system from the ink tank to the inkjet head with the cleaning liquid, the ink in the inkjet head can be discharged.
  • the cleaning liquid remains in the ink supply system, it is necessary to wash (co-wash) the supply system with ink when the operation is resumed. For this reason, waste ink is generated.
  • An object of the present invention is to provide an inkjet apparatus and an inkjet apparatus cleaning method capable of efficiently cleaning the interior of the inkjet head and suppressing generation of waste ink.
  • An inkjet head that ejects ink; An ink tank for storing the ink; A forward path for transporting the ink from the ink tank to the inkjet head; A return path for transporting the ink from the inkjet head to the ink tank; A bypass flow path for transporting the ink from the forward path to the return path without passing through the inkjet head; A cleaning flow path for supplying a cleaning liquid to the inkjet head and collecting the cleaning liquid from the inkjet head; A circulation state in which the ink is circulated through the circulation path including the forward path, the inkjet head, the return path, and the ink tank, and the ink in the circulation path including the forward path, the bypass flow path, the return path, and the ink tank. And the cleaning state in which the inkjet head is cleaned can be switched by supplying the cleaning liquid to the inkjet head through the cleaning flow path and collecting the cleaning liquid from the inkjet head.
  • An ink jet device having a switching unit is provided.
  • a method of cleaning an ink jet apparatus that discharges the ink from the ink jet head while circulating ink between the ink tank and the ink jet head, A method for cleaning an ink jet apparatus, wherein the ink heading from the ink tank toward the ink jet head is turned back before flowing into the ink jet head and circulated without passing through the ink jet head, and a cleaning liquid is supplied to the ink jet head for cleaning.
  • the cleaning liquid does not flow in the flow path where the ink is circulated during cleaning, the cleaning liquid does not remain after cleaning.
  • the inside of the inkjet head can be cleaned efficiently and the generation of waste ink can be suppressed.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an inkjet apparatus according to an embodiment.
  • FIG. 2A is a schematic view of an ink jet apparatus when a film is formed on a substrate by ejecting ink from the ink jet head
  • FIG. 2B is a schematic view of the ink jet apparatus when the ink jet head is washed.
  • 3A and 3B are schematic views of a circulation state and a cleaning state of an ink jet apparatus according to another embodiment, respectively.
  • FIG. 4 is a schematic view of an inkjet apparatus according to still another embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic view of an inkjet apparatus according to still another embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic view of an inkjet apparatus according to still another embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic view of an inkjet apparatus according to still another embodiment.
  • FIG. 1 Referring to FIG. 1, FIG. 2A and FIG. 2B, an ink jet apparatus according to an embodiment and a cleaning method thereof will be described.
  • FIG. 1 is a schematic view of an ink jet apparatus according to an embodiment.
  • the inkjet head 10 and the ink tank 11 are connected by the forward path 12 and the return path 13.
  • the inkjet head 10 has a plurality of nozzle holes, and ejects ink droplets from the nozzle holes.
  • the ink tank 11 stores ink.
  • the forward path 12 transports ink from the ink tank 11 to the inkjet head 10.
  • the return path 13 transports ink from the inkjet head 10 to the ink tank 11.
  • a circulation path for circulating ink is formed by the ink tank 11, the forward path 12, the inkjet head 10, and the return path 13.
  • the heating device 40 heats the ink in the ink tank 11.
  • As the ink for example, a resist solution for forming a resist film for etching, a resist solution for forming a solder resist film, or the like can be used.
  • a supply pump 20 and a recovery pump 21 are inserted in the forward path 12 and the return path 13, respectively.
  • the supply pump 20 sends ink from the ink tank 11 to the inkjet head 10.
  • the recovery pump 21 sends ink from the inkjet head 10 to the ink tank 11.
  • a first flow path switching valve 31 is inserted in the forward path 12 between the supply pump 20 and the inkjet head 10.
  • a second flow path switching valve 32 is inserted in the return path 13 between the inkjet head 10 and the recovery pump 21.
  • the bypass flow path 18 connects the first flow path switching valve 31 and the second flow path switching valve 32.
  • the first cleaning liquid flow path 15 connects the cleaning liquid tank 14 and the first flow path switching valve 31.
  • the cleaning liquid tank 14 stores the cleaning liquid.
  • the second cleaning liquid channel 16 connects the second channel switching valve 32 and the waste liquid tank 17.
  • a cleaning liquid supply pump 22 is inserted into the first cleaning liquid channel 15.
  • the cleaning liquid supply pump 22 sends the cleaning liquid from the cleaning liquid tank 14 to the first flow path switching valve 31.
  • a cleaning liquid discharge pump 23 is inserted into the second cleaning liquid channel 16.
  • the cleaning liquid discharge pump 23 sends the cleaning liquid from the second flow path switching valve 32 to the waste liquid tank 17.
  • a dedicated cleaning liquid for ink can be used.
  • volatile solvents such as acetone, isopropyl alcohol, and ethanol can be used.
  • the warming device 41 warms the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 14.
  • the first flow path switching valve 31 and the second flow path switching valve 32 function as a switching unit 30 that switches between two states of a circulation state and a cleaning state, as will be described below.
  • the first flow path switching valve 31 causes the upstream path 12 and the downstream path 12 to be connected to the first flow path switching valve 31 so as to be electrically connected to each other. 15 and the bypass flow path 18 are blocked from the forward path 12.
  • the second flow path switching valve 32 connects the upstream return path 13 and the downstream return path 13 with respect to the second flow path switching valve 32, and connects the second cleaning liquid flow path 16 and the bypass flow path 18 to the return path 13. Shut off from.
  • the first flow path switching valve 31 allows the forward path 12 upstream of the first flow path switching valve 31 to be connected to the bypass flow path 18, and the first cleaning liquid flow path 15 is changed.
  • the first flow path switching valve 31 is connected to the forward path 12 on the downstream side.
  • the second flow path switching valve 32 allows the bypass flow path 18 to be connected to the return path 13 downstream of the second flow path switching valve 32, and the return path 13 upstream of the second flow path switching valve 32 is connected to the second flow path 13.
  • the first cleaning liquid channel 15 and the second cleaning liquid channel 16 function as a cleaning channel that supplies the cleaning liquid to the inkjet head 10 and collects the cleaning liquid from the inkjet head 10.
  • the ink can be circulated through the circulation path including the ink tank 11, the forward path 12, the bypass path 18, and the return path 13 by setting the switching unit 30 to the cleaning state.
  • the bypass flow path 18 can transport ink from the forward path 12 to the return path 13 without going through the inkjet head 10.
  • the inkjet head 10 is cleaned by supplying the cleaning liquid to the inkjet head 10 through the first cleaning liquid flow path 15 and collecting the cleaning liquid from the inkjet head 10 through the second cleaning liquid flow path 16. Can do.
  • a stage 45 for supporting the substrate is disposed below the inkjet head 10.
  • the stage 45 can move the substrate supported thereon in a horizontal two-dimensional direction.
  • Ink droplets ejected from the inkjet head 10 adhere to the substrate supported by the stage 45.
  • a film can be formed on the substrate by curing the ink attached to the substrate.
  • the control device 55 controls the movement of the substrate by the stage 45 and the ejection of ink from the nozzle holes of the inkjet head 10.
  • the control device 55 forms a film having a desired pattern on the substrate by controlling the movement of the stage 45 and the timing of ejecting ink from each nozzle hole based on the image data defining the pattern of the film to be formed. be able to.
  • a tray 46 is disposed below the inkjet head 10 in place of the stage 45.
  • the tray 46 receives the cleaning liquid dropped from the nozzle holes of the inkjet head 10 during cleaning.
  • FIG. 2A is a schematic view of an ink jet apparatus when ink is ejected from the ink jet head 10 to form a film on a substrate.
  • the substrate 50 Prior to film formation, the substrate 50 is transferred onto the stage 45 and supported by the stage 45.
  • the first flow path switching valve 31 and the second flow path switching valve 32 to circulate and operating the supply pump 20 and the recovery pump 21, the ink tank 11, the forward path 12, the inkjet head 10, and the return path 13 are operated. Ink is circulated through the circulation path.
  • the cleaning liquid supply pump 22 and the cleaning liquid discharge pump 23 are stopped.
  • a film can be formed on the substrate 50 by ejecting ink from each nozzle hole of the inkjet head 10 while moving the substrate 50 by the stage 45.
  • FIG. 2B is a schematic view of the ink jet apparatus when the ink jet head 10 is being washed.
  • the first flow path switching valve 31 and the second flow path switching valve 32 are brought into a cleaning state.
  • the ink is circulated through a circulation path including the ink tank 11, the forward path 12, the bypass flow path 18, and the return path 13.
  • the tray 46 is disposed below the inkjet head 10.
  • the cleaning liquid supply pump 22 and the cleaning liquid discharge pump 23 are operated. As a result, the cleaning liquid flows out from the cleaning liquid tank 14 and is collected in the waste liquid tank 17 via the first cleaning liquid flow path 15, the inkjet head 10, and the second cleaning liquid flow path 16. The cleaning liquid dropped from the nozzle holes of the inkjet head 10 is collected in the tray 46.
  • the inkjet head 10 Before the operation of the apparatus is stopped and the power is turned off, the inkjet head 10 can be cleaned by setting the switching unit 30 to the cleaning state (FIG. 2B). At this time, the cleaning liquid does not flow in the ink tank 11, the forward path 12 upstream of the first flow path switching valve 31, and the return path 13 downstream of the second flow path switching valve 32. Of the ink circulation path, the cleaning liquid flows only in the forward path 12 downstream of the first flow path switching valve 31, the inkjet head 10, and the return path 13 upstream of the second flow path switching valve 32. The cleaning liquid remaining in the circulation path through which the ink flows can be reduced as compared with the case where the entire circulation path through which the ink flows is washed with the cleaning liquid.
  • the cleaning liquid remaining in the ink circulation path is almost evaporated by the time when the operation of the apparatus is resumed. Even if a part of the cleaning liquid remains in the ink circulation path, the remaining cleaning liquid evaporates in a short time by contacting the heated ink. For this reason, it is not necessary to wash the ink circulation path with ink when the operation of the apparatus is resumed. As a result, almost no waste ink is generated.
  • the insertion positions of the first flow path switching valve 31 and the second flow path switching valve 32 be close to the inkjet head 10.
  • the first flow path switching valve 31 and the second flow path switching valve 32 may be directly connected to the ink inlet and the ink outlet of the inkjet head 10, respectively. At this time, the flow path lengths of the forward path 12 downstream of the first flow path switching valve 31 and the return path 13 upstream of the second flow path switching valve 32 are substantially zero.
  • the heating effect can be enhanced by heating the cleaning liquid with the heating device 41 (FIG. 2B).
  • the temperature of the ink remaining in the forward path 12 and the backward path 13 is lowered and the viscosity becomes high.
  • the ink circulation to the ink jet head 10 is resumed with the high viscosity ink remaining in the forward path 12 and the return path 13, the high viscosity ink flows into the ink jet head 10 and the fine flow path in the ink jet head 10 is clogged.
  • the first flow path switching valve 31, the bypass flow path 18, and the second flow path switching valve 32 before the ink heading from the ink tank 11 toward the inkjet head 10 flows into the inkjet head 10, the first flow path switching valve 31, the bypass flow path 18, and the second flow path switching valve 32.
  • the heated ink can be immediately supplied to the inkjet head 10 by switching the switching unit 30 to the circulating state. For this reason, the time from the end of cleaning of the inkjet head 10 to the start of ink ejection can be shortened.
  • the recovery pump 21 is operated by stopping the outflow of ink from the ink tank 11 to the forward path 12, whereby the ink in the forward path 12 is passed through the bypass flow path 18 to the ink tank 11. Can be recovered.
  • the switching unit 30 When the ink circulation via the bypass flow path 18 is also stopped after the inkjet head 10 is cleaned, high viscosity ink may remain in the circulation path.
  • the switching unit 30 When the operation is resumed, the switching unit 30 is brought into a cleaning state, and the ink is circulated through the bypass flow path 18 so that the high viscosity ink remaining in the circulation path can be heated.
  • the switching unit 30 By switching the switching unit 30 to the circulating state after the high-viscosity ink has been heated to a low viscosity, the high-viscosity ink can be prevented from flowing into the inkjet head 10. Thereby, clogging of the fine flow path in the inkjet head 10 can be suppressed. .
  • the cleaning liquid discharge pump 23 may be omitted.
  • the amount of cleaning liquid dropped from the inkjet head 10 can be adjusted by adjusting the discharge pressure of both.
  • the inkjet head 10 After the inkjet head 10 is washed, only the first flow path switching valve 31 may be circulated, and the ink may be supplied to the inkjet head 10 while the second flow path switching valve 32 is in the washed state. At this time, the cleaning liquid remaining in the inkjet head 10 is pushed out by the ink and collected in the waste liquid tank 17 together with the ink.
  • the ink can be circulated through the inkjet head 10 by setting the second flow path switching valve 32 in a circulating state.
  • FIGS. 3A and 3B an inkjet apparatus according to another embodiment will be described with reference to FIGS. 3A and 3B.
  • differences from the embodiment shown in FIG. 1, FIG. 2A and FIG. 2B will be described, and description of common configurations will be omitted.
  • FIG. 3A and FIG. 3B are schematic views of the ink jet apparatus in a circulation state and a cleaning state, respectively.
  • the function of the first flow path switching valve 31 of the ink jet apparatus shown in FIG. 1 is realized by two three-way valves 33a and 33b, and the function of the second flow path switching valve 32 is two three-way. This is realized by the valves 34a and 34b.
  • Two three-way valves 33a and 33b are inserted in series in the forward path 12, and two three-way valves 34a and 34b are inserted in series in the return path 13.
  • a three-way valve 33 a on the upstream side of the forward path 12 and a three-way valve 34 a on the downstream side of the return path 13 are connected by a bypass flow path 18.
  • the first cleaning liquid flow path 15 is connected to the three-way valve 33 b on the downstream side of the forward path 12, and the second cleaning liquid flow path 16 is connected to the three-way valve 34 b on the upstream side of the return path 13.
  • the four three-way valves 33a, 33b, 34a, and 34b have a function as the switching unit 30.
  • the three-way valves 33a and 33b connect the forward path 12 from the ink tank 11 to the inkjet head 10, and connect the bypass flow path 18 and the first cleaning liquid flow path 15 to each other. Shut off from forward path 12. Further, the three-way valves 34 a and 34 b conduct the return path 13 from the inkjet head 10 to the ink tank 11, and block the bypass flow path 18 and the second cleaning liquid flow path 16 from the return path 13.
  • the three-way valve 33a connects the forward path 12 upstream of the three-way valve 33a to the bypass flow path 18, and the three-way valve 33b is the first cleaning liquid flow path. 15 is connected to the inkjet head 10. Further, the three-way valve 34 a connects the bypass flow path 18 to the return path 13 downstream from the three-way valve 34 a, and the three-way valve 34 b connects the inkjet head 10 to the second cleaning liquid flow path 16.
  • FIG. 1 An inkjet apparatus according to another embodiment will be described with reference to FIG.
  • FIG. 2A and FIG. 2B will be described, and description of common configurations will be omitted.
  • FIG. 4 is a schematic view of the ink jet apparatus according to the present embodiment.
  • the inkjet head 10 is composed of a plurality of head blocks 10A.
  • Each of the plurality of head blocks 10 ⁇ / b> A includes an ink introduction port 36 and an ink discharge port 37.
  • the distribution unit 61 inserted in the forward path 12 branches one forward path 12 into a plurality of forward paths 12A.
  • the plurality of forward paths 12A after branching are respectively connected to the ink inlets 36 of the head block 10A.
  • the distribution unit 61 has a function of distributing the ink to the ink introduction ports 36 of the plurality of head blocks 10A.
  • a plurality of return paths 13A each connect the ink discharge port 37 of the head block 10A to the junction 62.
  • the merging unit 62 has a function of merging ink that has flowed out from the ink discharge ports 37 of the plurality of head blocks 10 ⁇ / b> A into the single return path 13 and returning it to the ink tank 11.
  • the first flow path switching valve 31 is inserted in the forward path 12 upstream of the distribution unit 61.
  • the second flow path switching valve 32 is inserted into the return path 13 on the downstream side of the junction 62.
  • the tray 46 collects the cleaning liquid dropped from the plurality of head blocks 10A.
  • the cleaning liquid that has flowed into the forward path 12 from the first cleaning liquid flow path 15 is divided into a plurality of parts in the distribution section 61.
  • the cleaning liquid distributed to the head block 10 ⁇ / b> A and discharged from the plurality of head blocks 10 ⁇ / b> A merges at the merge unit 62.
  • the cleaning liquid merged in the merging portion 62 flows out to the second cleaning liquid flow path 16 via the second flow path switching valve 32.
  • the inkjet head 10 is composed of a plurality of head blocks 10A, so that the film material can be applied to a wider area of the substrate by one scanning of the stage 45. Further, the plurality of head blocks 10A can be cleaned at the same time.
  • FIG. 5 is a schematic view of the ink jet apparatus according to the present embodiment.
  • the first flow path switching valve 31 is inserted into the forward path 12 upstream of the distribution section 61, and the second flow path switching valve is connected to the return path 13 downstream of the junction section 62. 32 was inserted.
  • the first flow path switching valve 31A is inserted into each of the plurality of forward paths 12A after being branched by the distributor 61.
  • the second flow path switching valve 32A is inserted into each of the plurality of return paths 13A before being merged at the merge section 62.
  • the bypass flow path 18A connects the first flow path switching valve 31A and the second flow path switching valve 32A corresponding to one head block 10A.
  • the first cleaning liquid flow path 15 branches into a plurality of first cleaning liquid flow paths 15A, and the plurality of first cleaning liquid flow paths 15A after branching are respectively connected to the first flow path switching valve 31A.
  • the second cleaning liquid flow path 16A is connected to each of the plurality of second flow path switching valves 32A, and the plurality of second cleaning liquid flow paths 16A merge into one second cleaning liquid flow path 16. .
  • a plurality of first on-off valves 66 are inserted into the plurality of first cleaning liquid flow paths 15A, respectively.
  • a plurality of second on-off valves 67 are inserted into the plurality of second cleaning liquid flow paths 16A, respectively.
  • the cleaning liquid supply pump 22 is inserted in one first cleaning liquid flow path 15 before branching, and the cleaning liquid discharge pump 23 is inserted in one second cleaning liquid flow path 16 after merging.
  • the plurality of first flow path switching valves 31A and the plurality of second flow path switching valves 32A have a function as the switching unit 30 shown in FIG.
  • the plurality of head blocks 10A can be cleaned by setting the switching unit 30 to the cleaning state.
  • the cleaning liquid flows preferentially to the head block 10A where no clogging has occurred. Further, even when all the head blocks 10A are clogged, the cleaning liquid flows preferentially to the head block 10A first clogged by cleaning. For this reason, it becomes difficult to proceed with cleaning of the head block 10A in which clogging has occurred.
  • One of the plurality of head blocks 10A is washed by selectively conducting one of the first on-off valves 66 and selectively conducting one of the second on-off valves 67. be able to. Thereby, the head block 10A in which clogging has occurred can be efficiently cleaned.
  • the first on-off valve 66 and the second on-off valve 67 function as a head block selection unit that selects one of the plurality of head blocks 10A and allows the cleaning liquid to flow through the selected head block 10A.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of the ink jet apparatus according to the present embodiment.
  • the switching unit 30 When the switching unit 30 is in a circulating state, the plurality of head blocks 10 ⁇ / b> A are connected in parallel to the distribution unit 61 and the junction unit 62.
  • the switching unit 30 When the switching unit 30 is in the cleaning state, the plurality of head blocks 10 ⁇ / b> A are inserted in series into the cleaning liquid flow path from the cleaning liquid tank 14 to the waste liquid tank 17.
  • the first flow path switching valve 31 ⁇ / b> A corresponding to the first-stage head block 10 ⁇ / b> A is connected to the cleaning liquid tank 14 via the first cleaning liquid flow path 15.
  • a second flow path switching valve 32A corresponding to one head block 10A is connected to the first flow path switching valve 31A of the head block 10A in the subsequent stage via a serial connection flow path 19.
  • a second flow path switching valve 32A corresponding to the final-stage head block 10A is connected to the waste liquid tank 17 via the second cleaning liquid flow path 16.
  • the cleaning liquid that has flowed out of the cleaning liquid tank 14 flows through the plurality of head blocks 10A in order and is collected in the waste liquid tank 17.
  • FIG. 7 is a schematic view of the ink jet apparatus according to the present embodiment.
  • the state of the switching unit 30 corresponding to the head block 10A can be switched between the circulation state and the cleaning state for each head block 10A of the inkjet head 10.
  • the first flow path switching valve 31A When the switching unit 30 is switched to the circulating state, the first flow path switching valve 31A is upstream of the first flow path switching valve 31A, as in the embodiment shown in FIG.
  • the second flow path switching valve 32A conducts the return path 13A upstream of the second flow path switching valve 32A and the downstream return path 13A. Further, when the switching unit 30 is set to the circulation state, the first flow path switching valve 31A and the second flow path switching valve 32A are connected to the first cleaning liquid flow path 15 or the preceding series connection flow path 19.
  • the bypass channel 18A is connected to the bypass channel 18A, and the bypass channel 18A is connected to the subsequent serial connection channel 19 or the second cleaning liquid channel 16.
  • the cleaning liquid can be flowed only to the head block 10A for cleaning.
  • the head block 10A corresponding to the other switching unit 30 in the circulation state can keep the ink circulated.
  • the bypass flow path 18A of the switching section 30 that is in a circulating state functions as a flow path for transporting the cleaning liquid to the subsequent switching section 30 without flowing the cleaning liquid into the head block 10A.
  • FIG. 7 shows an example in which the switching unit 30 corresponding to the second head block 10A from the left is in the cleaning state and the other switching units 30 are in the circulation state.
  • the switching unit 30 corresponding to the second head block 10A from the left is in the cleaning state and the other switching units 30 are in the circulation state.
  • only the second head block 10A from the left can be washed, and the other head block 10A can be maintained in a state where high-temperature ink is circulated.
  • only one specific or a part of the head block 10A can be cleaned.
  • the high temperature ink circulates in the other head block 10A, and the high temperature ink is supplied to the corresponding bypass flow path 18A also in the head block 10A to be cleaned, so the temperature of the ink supply path becomes high. Maintained. For this reason, after the specific head block 10A is washed, the film formation can be resumed in a short time.

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Abstract

往路（１２）が、インクタンク（１１）からインクジェットヘッド（１０）までインクを輸送し、復路（１３）が、その逆方向にインクを輸送する。バイパス流路（１８）が、往路（１２）から復路（１３）に、インクジェットヘッド（１０）を経由することなくインクを輸送する。洗浄流路（１５，１６）が、インクジェットヘッド（１０）に洗浄液を供給しインクジェットヘッド（１０）から洗浄液を回収する。切替部（３０）が、往路（１２）、インクジェットヘッド（１０）、復路（１３）、及びインクタンク（１１）を含む循環路にインクを循環させる循環状態と、往路（１２）、バイパス流路（１８）、復路（１３）、及びインクタンク（１１）を含む循環路にインクを循環させるとともに、洗浄流路（１５，１６）を通してインクジェットヘッド（１０）への洗浄液の供給とインクジェットヘッド（１０）からの洗浄液の回収とを行うことによりインクジェットヘッド（１０）の洗浄を行う洗浄状態とを切り替える。

Description

インクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法
　本発明は、インクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法に関する。
　基板の表面に形成された導電体をパターニングするためのレジスト膜をインクジェットヘッドからインクを吐出することにより形成するインクジェットプリンタが公知である（特許文献１）。
　常温において粘度の高いインクを用いる場合、インクジェットヘッドから吐出できる程度まで粘度を低下させるために、インクを加温しなければならない。インクジェットプリンタによる膜形成後に装置の運転を停止させると、インクジェットヘッド内に残っているインクの粘度が高くなる。インクジェットヘッド内には、微細なインクの流路が多数形成されている。インクジェットヘッド内に残った粘度の高いインクは、この微細なインクの流路の詰まりの原因になる。
特開２０１５－１３３４５３号公報
　装置の運転を停止させる前に、インクジェットヘッドに残ったインクを吸引してインクの残留量を減らすことができる。ところが、この方法でインクジェットヘッドからインクを完全に排出することは困難である。インクタンクからインクジェットヘッドまでのインクの供給系を洗浄液で洗浄することにより、インクジェットヘッド内のインクを排出ことができる。ところが、この方法では、インクの供給系に洗浄液が残留するため、運転再開時にインクで供給系を洗浄（共洗い）する必要がある。このため、廃インクが発生してしまう。
　本発明の目的は、インクジェットヘッド内を効率的に洗浄することができ、かつ廃インクの発生を抑制することができるインクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法を提供することである。
　本発明の一観点によると、
　インクを吐出するインクジェットヘッドと、
　前記インクを貯蔵するインクタンクと、
　前記インクタンクから前記インクジェットヘッドまで前記インクを輸送する往路と、
　前記インクジェットヘッドから前記インクタンクまで前記インクを輸送する復路と、
　前記往路から前記復路に、前記インクジェットヘッドを経由することなく前記インクを輸送するバイパス流路と、
　前記インクジェットヘッドに洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドから前記洗浄液を回収する洗浄流路と、
　前記往路、前記インクジェットヘッド、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させる循環状態と、前記往路、前記バイパス流路、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させるとともに、前記洗浄流路を通して前記インクジェットヘッドへの前記洗浄液の供給と前記インクジェットヘッドからの前記洗浄液の回収とを行うことにより前記インクジェットヘッドの洗浄を行う洗浄状態とを切り替え可能に構成された切替部と
を有するインクジェット装置が提供される。
　本発明の他の観点によると、
　インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインクを循環させながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出させるインクジェット装置の洗浄方法であって、
　前記インクタンクから前記インクジェットヘッドに向かう前記インクを、前記インクジェットヘッドに流入する前に折り返して前記インクジェットヘッドを経由することなく循環させながら、前記インクジェットヘッドに洗浄液を流して洗浄するインクジェット装置の洗浄方法が提供される。
　洗浄中にインクを循環させている流路には洗浄液が流れないため、洗浄後に洗浄液が残留しない。インクの流路の一部のみに洗浄液を流すことにより、インクジェットヘッド内を効率的に洗浄することができ、かつ廃インクの発生を抑制することができる
図１は、実施例によるインクジェット装置の概略図である。 図２Ａは、インクジェットヘッドからインクを吐出させて基板に膜形成を行っているときのインクジェット装置の概略図であり、図２Ｂは、インクジェットヘッドを洗浄しているときのインクジェット装置の概略図である。 図３Ａ及び図３Ｂは、それぞれ他の実施例によるインクジェット装置の循環状態及び洗浄状態の概略図である。 図４は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。 図５は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。 図６は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。 図７は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。
　図１、図２Ａ及び図２Ｂを参照して、実施例によるインクジェット装置及びその洗浄方法について説明する。
　図１は、実施例によるインクジェット装置の概略図である。インクジェットヘッド１０及びインクタンク１１が、往路１２及び復路１３により接続されている。インクジェットヘッド１０は複数のノズル孔を有し、各ノズル孔からインクの液滴を吐出する。インクタンク１１はインクを貯蔵する。往路１２は、インクタンク１１からインクジェットヘッド１０までインクを輸送する。復路１３は、インクジェットヘッド１０からインクタンク１１までインクを輸送する。インクタンク１１、往路１２、インクジェットヘッド１０、及び復路１３により、インクを循環させる循環路が形成される。加温装置４０が、インクタンク１１内のインクを加温する。インクとして、例えばエッチング用のレジスト膜を形成するためのレジスト液、ソルダーレジスト膜を形成するためのレジスト液等を用いることができる。
　往路１２及び復路１３に、それぞれ供給ポンプ２０及び回収ポンプ２１が挿入されている。供給ポンプ２０は、インクタンク１１からインクジェットヘッド１０にインクを送る。回収ポンプ２１は、インクジェットヘッド１０からインクタンク１１にインクを送る。
　供給ポンプ２０とインクジェットヘッド１０との間の往路１２に第１の流路切替弁３１が挿入されている。インクジェットヘッド１０と回収ポンプ２１との間の復路１３に第２の流路切替弁３２が挿入されている。バイパス流路１８が第１の流路切替弁３１と第２の流路切替弁３２とを接続する。
　第１の洗浄液流路１５が、洗浄液タンク１４と第１の流路切替弁３１とを接続する。洗浄液タンク１４は洗浄液を貯蔵する。第２の洗浄液流路１６が、第２の流路切替弁３２と廃液タンク１７とを接続する。第１の洗浄液流路１５に洗浄液供給ポンプ２２が挿入されている。洗浄液供給ポンプ２２は、洗浄液タンク１４から第１の流路切替弁３１に洗浄液を送る。第２の洗浄液流路１６に洗浄液排出ポンプ２３が挿入されている。洗浄液排出ポンプ２３は、第２の流路切替弁３２から廃液タンク１７に洗浄液を送る。洗浄液として、インク専用の洗浄液を用いることができる。その他に、例えばアセトン、イソプロピルアルコール、エタノール等の揮発性の溶剤を用いることができる。加温装置４１が、洗浄液タンク１４内の洗浄液を加温する。
　第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２は、以下に説明するように、循環状態と洗浄状態との２つの状態を切り替える切替部３０として機能する。
　切替部３０が循環状態のとき、第１の流路切替弁３１は、第１の流路切替弁３１より上流側の往路１２と下流側の往路１２とを導通させ、第１の洗浄液流路１５及びバイパス流路１８を往路１２から遮断する。第２の流路切替弁３２は、第２の流路切替弁３２より上流側の復路１３と下流側の復路１３とを導通させ、第２の洗浄液流路１６及びバイパス流路１８を復路１３から遮断する。切替部３０を循環状態にすることにより、インクを循環させながらインクジェットヘッド１０からインクを吐出させることができる。
　切替部３０が洗浄状態のとき、第１の流路切替弁３１は、第１の流路切替弁３１より上流側の往路１２をバイパス流路１８に導通させ、第１の洗浄液流路１５を第１の流路切替弁３１より下流側の往路１２に導通させる。第２の流路切替弁３２は、バイパス流路１８を第２の流路切替弁３２より下流側の復路１３に導通させ、第２の流路切替弁３２より上流側の復路１３を第２の洗浄液流路１６に導通させる。第１の洗浄液流路１５及び第２の洗浄液流路１６は、インクジェットヘッド１０に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１０から洗浄液を回収する洗浄流路として機能する。
　切替部３０を洗浄状態にすることにより、インクタンク１１、往路１２、バイパス流路１８、及び復路１３を含む循環路にインクを循環させることができる。このように、バイパス流路１８は、インクジェットヘッド１０を経由することなく往路１２から復路１３にインクを輸送することができる。さらに、第１の洗浄液流路１５を通してインクジェットヘッド１０への洗浄液の供給と、第２の洗浄液流路１６を通してインクジェットヘッド１０からの洗浄液の回収とを行うことにより、インクジェットヘッド１０の洗浄を行うことができる。
　インクジェットヘッド１０の下方に、基板を支持するステージ４５が配置されている。ステージ４５は、その上に支持した基板を水平な二次元方向に移動させることができる。インクジェットヘッド１０から吐出したインクの液滴がステージ４５に支持された基板に付着する。基板に付着したインクを硬化させることにより、基板に膜を形成することができる。
　制御装置５５が、ステージ４５による基板の移動、及びインクジェットヘッド１０のノズル孔からのインクの吐出を制御する。制御装置５５が、形成すべき膜のパターンを定義する画像データに基づいてステージ４５の移動、及び各ノズル孔からインクを吐出するタイミングを制御することにより、基板に所望のパターンの膜を形成することができる。
　インクジェットヘッド１０を洗浄するときは、インクジェットヘッド１０の下方にステージ４５に代えてトレイ４６を配置する。トレイ４６は、洗浄中にインクジェットヘッド１０ノズル孔から滴下した洗浄液を受け止める。
　図２Ａは、インクジェットヘッド１０からインクを吐出させて基板に膜形成を行っているときのインクジェット装置の概略図である。膜形成の前に、基板５０をステージ４５の上まで搬送し、ステージ４５に支持させる。第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２を循環状態にし、供給ポンプ２０及び回収ポンプ２１を動作させることにより、インクタンク１１、往路１２、インクジェットヘッド１０、及び復路１３からなる循環路にインクを循環させる。洗浄液供給ポンプ２２及び洗浄液排出ポンプ２３は停止状態とする。
　この状態で、ステージ４５により基板５０を移動させながら、インクジェットヘッド１０の各ノズル孔からインクを吐出させることにより、基板５０に膜を形成することができる。
　図２Ｂは、インクジェットヘッド１０を洗浄しているときのインクジェット装置の概略図である。第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２を洗浄状態にする。供給ポンプ２０及び回収ポンプ２１を動作させることにより、インクタンク１１、往路１２、バイパス流路１８、及び復路１３からなる循環路にインクを循環させる。トレイ４６をインクジェットヘッド１０の下方に配置する。
　さらに、洗浄液供給ポンプ２２及び洗浄液排出ポンプ２３を動作させる。これにより、洗浄液タンク１４から洗浄液が流出し、第１の洗浄液流路１５、インクジェットヘッド１０、第２の洗浄液流路１６を経由して、廃液タンク１７に回収される。インクジェットヘッド１０のノズル孔から滴下した洗浄液がトレイ４６に回収される。
　次に、上記実施例によるインクジェット装置の優れた効果について説明する。
　装置の運転を停止して電源をオフにする前に、切替部３０を洗浄状態にして、インクジェットヘッド１０の洗浄を行うことができる（図２Ｂ）。このとき、インクタンク１１、第１の流路切替弁３１より上流側の往路１２、及び第２の流路切替弁３２より下流側の復路１３には洗浄液が流れない。インクの循環路のうち洗浄液が流れるのは、第１の流路切替弁３１より下流側の往路１２、インクジェットヘッド１０、及び第２の流路切替弁３２より上流側の復路１３のみである。インクが流れる循環路の全体を洗浄液で洗浄する場合に比べて、インクが流れる循環路に残留する洗浄液を少なくすることができる。
　さらに、インク専用の洗浄液で洗浄した後、揮発性の溶剤で洗浄を行うと、インクの循環路に残留していた洗浄液は、装置の運転再開時までにほぼ蒸発する。一部の洗浄液がインクの循環路に残留していたとしても、残留していた洗浄液は加温されたインクに接触することにより短時間のうちに蒸発する。このため、装置の運転再開時にインクの循環路をインクで共洗いする必要が無い。その結果、廃インクがほとんど発生しない。
　インクの循環路に残留する洗浄液を少なくするために、第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２の挿入位置をインクジェットヘッド１０に近づけることが好ましい。インクジェットヘッド１０のインク流入口及びインク排出口にそれぞれ第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２を直接接続してもよい。このとき、第１の流路切替弁３１よりも下流側の往路１２及び第２の流路切替弁３２よりも上流側の復路１３の流路長は実質的に０になる。
　洗浄液を加温装置４１（図２Ｂ）で加温することにより、洗浄効果を高めることができる。
　インクジェットヘッド１０の洗浄中にインクの循環を停止させると、往路１２及び復路１３に残留するインクの温度が低下して高粘度になる。高粘度のインクが往路１２及び復路１３に残留した状態でインクジェットヘッド１０へのインクの循環を再開させると、高粘度のインクがインクジェットヘッド１０に流れ込み、インクジェットヘッド１０内の微細な流路が詰まってしまう危険性がある。本実施例においては、インクタンク１１からインクジェットヘッド１０に向かうインクを、インクジェットヘッド１０に流入する前に、第１の流路切替弁３１、バイパス流路１８、及び第２の流路切替弁３２で折り返してインクジェットヘッド１０を経由することなく循環させながら、インクジェットヘッド１０に洗浄液を流して洗浄することができる。洗浄中にもこの循環路をインクが循環しているため、高粘度のインクがインクの循環路に残留することを防止できる。
　インクジェットヘッド１０の洗浄が終了すると、切替部３０を循環状態に切り替えることにより、加温されたインクを直ちにインクジェットヘッド１０に供給することができる。このため、インクジェットヘッド１０の洗浄終了からインクの吐出開始までの時間を短縮することができる。
　インクジェットヘッド１０の洗浄中に、インクタンク１１から往路１２へのインクの流出を停止させて回収ポンプ２１を動作させることにより、往路１２内のインクを、バイパス流路１８を経由してインクタンク１１に回収することができる。
　インクジェットヘッド１０の洗浄後、バイパス流路１８を経由したインクの循環も停止させた場合、循環路内に高粘度のインクが残留する場合がある。運転再開時に、切替部３０を洗浄状態にして、バイパス流路１８を経由したインクの循環を行わせ、循環路に残留していた高粘度インクを加温することができる。高粘度のインクが加温されて低粘度になった後に、切替部３０を循環状態に切り替えることにより、高粘度のインクがインクジェットヘッド１０へ流入することを防止できる。これにより、インクジェットヘッド１０内の微細な流路の詰まりを抑制することができる。
。　
洗浄液供給ポンプ２２の吐出圧のみで洗浄液を廃液タンク１７まで流すことができる場合には、洗浄液排出ポンプ２３を省略してもよい。洗浄液供給ポンプ２２及び洗浄液排出ポンプ２３の両方を配置した場合には、両者の吐出圧を調整することにより、インクジェットヘッド１０からの洗浄液の滴下量を調整することができる。
　インクジェットヘッド１０を洗浄した後、第１の流路切替弁３１のみを循環状態にし、第２の流路切替弁３２は洗浄状態にしたまま、インクジェットヘッド１０にインクを供給してもよい。このとき、インクジェットヘッド１０に残留していた洗浄液は、インクによって押し出されて廃液タンク１７にインクとともに回収される。
　インクジェットヘッド１０から洗浄液を押し出した後、第２の流路切替弁３２も循環状態にすることにより、インクジェットヘッド１０にインクを循環させることができる。
　次に、図３Ａ及び図３Ｂを参照して、他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図１、図２Ａ及び図２Ｂに示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
　図３Ａ及び図３Ｂは、それぞれ循環状態及び洗浄状態のインクジェット装置の概略図である。本実施例においては、図１に示したインクジェット装置の第１の流路切替弁３１の機能が２つの三方弁３３ａ、３３ｂによって実現され、第２の流路切替弁３２の機能が２つの三方弁３４ａ、３４ｂによって実現される。
　２つの三方弁３３ａ、３３ｂが往路１２に直列に挿入されており、２つの三方弁３４ａ、３４ｂが復路１３に直列に挿入されている。往路１２の上流側の三方弁３３ａと、復路１３の下流側の三方弁３４ａとがバイパス流路１８で接続されている。往路１２の下流側の三方弁３３ｂに第１の洗浄液流路１５が接続されており、復路１３の上流側の三方弁３４ｂに第２の洗浄液流路１６が接続されている。４つの三方弁３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂが切替部３０としての機能を有する。
　図３Ａに示すように、切替部３０が循環状態のとき、三方弁３３ａ、３３ｂが、往路１２をインクタンク１１からインクジェットヘッド１０まで導通させ、バイパス流路１８及び第１の洗浄液流路１５を往路１２から遮断する。さらに、三方弁３４ａ、３４ｂが、復路１３をインクジェットヘッド１０からインクタンク１１まで導通させ、バイパス流路１８及び第２の洗浄液流路１６を復路１３から遮断する。
　図３Ｂに示すように、切替部３０が洗浄状態のとき、三方弁３３ａが、三方弁３３ａより上流側の往路１２をバイパス流路１８に接続し、三方弁３３ｂが、第１の洗浄液流路１５をインクジェットヘッド１０に接続する。さらに、三方弁３４ａが、バイパス流路１８を三方弁３４ａより下流側の復路１３に接続し、三方弁３４ｂがインクジェットヘッド１０を第２の洗浄液流路１６に接続する。
　図３Ａ及び図３Ｂに示した実施例によるインクジェット装置においても、図１に示した実施例によるインクジェット装置と同様の効果を得ることができる。
　次に、図４を参照してさらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図１、図２Ａ及び図２Ｂに示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
　図４は、本実施例によるインクジェット装置の概略図である。本実施例では、インクジェットヘッド１０が複数のヘッドブロック１０Ａで構成されている。複数のヘッドブロック１０Ａの各々は、インク導入口３６とインク排出口３７とを含む。
　往路１２に挿入された分配部６１が、１本の往路１２を複数の往路１２Ａに分岐させる。分岐後の複数の往路１２Ａは、それぞれヘッドブロック１０Ａのインク導入口３６に接続されている。分配部６１は、複数のヘッドブロック１０Ａのインク導入口３６に前記インクを分配する機能を有する。
　複数の復路１３Ａが、それぞれヘッドブロック１０Ａのインク排出口３７を合流部６２に接続する。合流部６２は、複数のヘッドブロック１０Ａのインク排出口３７から流出したインクを１本の復路１３に合流させてインクタンク１１に戻す機能を有する。
　第１の流路切替弁３１は、分配部６１よりも上流側の往路１２に挿入されている。第２の流路切替弁３２は、合流部６２より下流側の復路１３に挿入されている。トレイ４６は、複数のヘッドブロック１０Ａから滴下する洗浄液を回収する。
　第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２からなる切替部３０が洗浄状態のとき、第１の洗浄液流路１５から往路１２に流入した洗浄液は、分配部６１で複数のヘッドブロック１０Ａに分配され、複数のヘッドブロック１０Ａから排出された洗浄液は、合流部６２で合流する。合流部６２で合流した洗浄液は、第２の流路切替弁３２を経由して第２の洗浄液流路１６に流出する。
　本実施例においては、インクジェットヘッド１０を複数のヘッドブロック１０Ａで構成することにより、ステージ４５の１回の走査で基板のより広い領域に膜材料を塗布することができる。また、複数のヘッドブロック１０Ａを同時に洗浄することができる。
　次に、図５を参照して、さらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図４に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
　図５は、本実施例によるインクジェット装置の概略図を示す。図４に示した実施例では、分配部６１よりも上流側の往路１２に第１の流路切替弁３１が挿入され、合流部６２よりも下流側の復路１３に第２の流路切替弁３２が挿入されていた。本実施例では、分配部６１で分岐された後の複数の往路１２Ａにそれぞれ第１の流路切替弁３１Ａが挿入されている。さらに、合流部６２で合流される前の複数の復路１３Ａにそれぞれ第２の流路切替弁３２Ａが挿入されている。
　１つのヘッドブロック１０Ａに対応する第１の流路切替弁３１Ａと第２の流路切替弁３２Ａとを、バイパス流路１８Ａが接続している。
　第１の洗浄液流路１５が複数の第１の洗浄液流路１５Ａに分岐して、分岐後の複数の第１の洗浄液流路１５Ａがそれぞれ第１の流路切替弁３１Ａに接続されている。複数の第２の流路切替弁３２Ａにそれぞれ第２の洗浄液流路１６Ａが接続されており、複数の第２の洗浄液流路１６Ａが１本の第２の洗浄液流路１６に合流している。複数の第１の開閉弁６６が、それぞれ複数の第１の洗浄液流路１５Ａに挿入されている。複数の第２の開閉弁６７が、それぞれ複数の第２の洗浄液流路１６Ａに挿入されている。
　洗浄液供給ポンプ２２は分岐前の１本の第１の洗浄液流路１５に挿入されており、洗浄液排出ポンプ２３は、合流後の１本の第２の洗浄液流路１６に挿入されている。
　本実施例においては、複数の第１の流路切替弁３１Ａ及び複数の第２の流路切替弁３２Ａが、図４に示した切替部３０としての機能を有する。
　切替部３０を洗浄状態にすることにより、複数のヘッドブロック１０Ａを洗浄することができる。
　複数の第１の開閉弁６６をすべて導通させ、複数の第２の開閉弁６７をすべて導通させて洗浄を行うと、洗浄液が、詰まりの生じていないヘッドブロック１０Ａに優先的に流れる。また、すべてのヘッドブロック１０Ａに詰まりが生じている場合でも、洗浄によって最初に詰まりが解消したヘッドブロック１０Ａに優先的に洗浄液が流れてしまう。このため、詰まりが生じているヘッドブロック１０Ａの洗浄が進み難くなってしまう。
　第１の開閉弁６６のうち１つを選択的に導通させ、第２の開閉弁６７のうち対応する１つを選択的に導通させることにより、複数のヘッドブロック１０Ａのうち１つを洗浄することができる。これにより、詰まりが生じているヘッドブロック１０Ａを効率的に洗浄することができる。第１の開閉弁６６及び第２の開閉弁６７は、複数のヘッドブロック１０Ａから１つを選択して、選択されたヘッドブロック１０Ａに洗浄液を流すヘッドブロック選択部として機能する。
　次に、図６を参照してさらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図５に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
。　
図６は、本実施例によるインクジェット装置の概略図である。切替部３０が循環状態にされているとき、複数のヘッドブロック１０Ａが分配部６１及び合流部６２に並列に接続される。切替部３０が洗浄状態にされているとき、複数のヘッドブロック１０Ａは洗浄液タンク１４から廃液タンク１７までの洗浄液流路に直列に挿入される。例えば、１段目のヘッドブロック１０Ａに対応する第１の流路切替弁３１Ａが、第１の洗浄液流路１５を介して洗浄液タンク１４に接続されている。１つのヘッドブロック１０Ａに対応する第２の流路切替弁３２Ａが直列接続流路１９を介して後段のヘッドブロック１０Ａの第１の流路切替弁３１Ａに接続されている。最終段のヘッドブロック１０Ａに対応する第２の流路切替弁３２Ａが第２の洗浄液流路１６を介して廃液タンク１７に接続されている。
　切替部３０が洗浄状態にされているとき、洗浄液タンク１４から流出した洗浄液が、複数のヘッドブロック１０Ａを順番に流れて廃液タンク１７に回収される。
　本実施例では、ヘッドブロック１０Ａの個数が増えた場合に、図５に示した実施例と比べて洗浄液用の配管の本数を減らすことができる。
　次に、図７を参照してさらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図６に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
　図７は、本実施例によるインクジェット装置の概略図である。本実施例においては、インクジェットヘッド１０のヘッドブロック１０Ａごとに、ヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０の状態を循環状態と洗浄状態との間で切り替えることができる。
　切替部３０が循環状態に切り替えられているとき、図６に示した実施例の場合と同様に、第１の流路切替弁３１Ａは、第１の流路切替弁３１Ａより上流側の往路１２Ａと下流側の往路１２Ａとを導通させ、第２の流路切替弁３２Ａは、第２の流路切替弁３２Ａより上流側の復路１３Ａと下流側の復路１３Ａとを導通させる。さらに、切替部３０が循環状態に設定されているとき、第１の流路切替弁３１Ａ及び第２の流路切替弁３２Ａは、第１の洗浄液流路１５または前段の直列接続流路１９をバイパス流路１８Ａに接続し、バイパス流路１８Ａを後段の直列接続流路１９または第２の洗浄液流路１６に接続する。
　特定の一部のヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０を洗浄状態にすることにより、そのヘッドブロック１０Ａのみに洗浄液を流して洗浄することができる。循環状態にされている他の切替部３０に対応するヘッドブロック１０Ａは、インクを循環させたままにすることができる。循環状態にされている切替部３０のバイパス流路１８Ａは、洗浄液をヘッドブロック１０Ａに流入させることなく後段の切替部３０まで輸送するための流路として機能する。
　図７は、左から２番目のヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０が洗浄状態にされ、その他の切替部３０が循環状態にされている例を示している。図７に示した例では、左から２番目のヘッドブロック１０Ａのみを洗浄し、他のヘッドブロック１０Ａについては高温のインクを循環させた状態を維持することができる。なお、複数のヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０を洗浄状態にすることにより、複数のヘッドブロック１０Ａを洗浄することも可能である。
　図７に示した実施例では、特定の１つまたは一部のヘッドブロック１０Ａのみを洗浄することができる。他のヘッドブロック１０Ａには、高温のインクが循環し、洗浄対象のヘッドブロック１０Ａにおいても、対応するバイパス流路１８Ａまで高温のインクが供給されているため、インクの供給経路の温度が高温に維持される。このため、特定のヘッドブロック１０Ａを洗浄した後、短時間で膜の形成を再開することができる。
　上記各実施例は例示であり、異なる実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることは言うまでもない。複数の実施例の同様の構成による同様の作用効果については実施例ごとには逐次言及しない。さらに、本発明は上述の実施例に制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
１０　インクジェットヘッド
１０Ａ　ヘッドブロック
１１　インクタンク
１２　往路
１２Ａ　分岐後の往路
１３　復路
１３Ａ　合流前の復路
１４　洗浄液タンク
１５　第１の洗浄液流路
１５Ａ　分岐後の第１の洗浄液流路
１６　第２の洗浄液流路
１６Ａ　合流前の第２の洗浄液流路
１７　廃液タンク
１８、１８Ａ　バイパス流路
１９　直列接続流路
２０　供給ポンプ
２１　回収ポンプ
２２　洗浄液供給ポンプ
２３　洗浄液排出ポンプ
３０　切替部
３１、３１Ａ　第１の流路切替弁
３２、３２Ａ　第２の流路切替弁
３３ａ、３３ｂ　三方弁
３４ａ、３４ｂ　三方弁
３６　インク導入口
３７　インク排出口
４０、４１　加温装置
４５　ステージ
４６　トレイ
５０　基板
５５　制御装置
６１　分配部
６２　合流部
６６　第１の開閉弁
６７　第２の開閉弁

Claims (4)

  1. 　インクを吐出するインクジェットヘッドと、
    　前記インクを貯蔵するインクタンクと、
    　前記インクタンクから前記インクジェットヘッドまで前記インクを輸送する往路と、
    　前記インクジェットヘッドから前記インクタンクまで前記インクを輸送する復路と、
    　前記往路から前記復路に、前記インクジェットヘッドを経由することなく前記インクを輸送するバイパス流路と、
    　前記インクジェットヘッドに洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドから前記洗浄液を回収する洗浄流路と、
    　前記往路、前記インクジェットヘッド、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させる循環状態と、前記往路、前記バイパス流路、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させるとともに、前記洗浄流路を通して前記インクジェットヘッドへの前記洗浄液の供給と前記インクジェットヘッドからの前記洗浄液の回収とを行うことにより前記インクジェットヘッドの洗浄を行う洗浄状態とを切り替え可能に構成された切替部と
    を有するインクジェット装置。
  2. 　前記インクジェットヘッドは、各々がインク導入口とインク排出口とを含む複数のヘッドブロックで構成されており、
    　前記往路は、複数の前記ヘッドブロックの前記インク導入口に前記インクを分配する分配部を含み、
    　前記復路は、複数の前記ヘッドブロックの前記インク排出口から流出した前記インクを合流させて前記インクタンクに戻す合流部を含み、
    　前記バイパス流路は、前記分配部で分配された後の前記インクを輸送する前記往路と、前記合流部で合流される前の前記インクを輸送する前記復路とを接続し、
    　前記洗浄流路は、複数の前記ヘッドブロックから１つを選択して、選択された前記ヘッドブロックに前記洗浄液を流すヘッドブロック選択部を有する請求項１に記載のインクジェット装置。
  3. 　さらに、
    　前記洗浄液を貯蔵するとともに、前記洗浄流路に前記洗浄液を流出させる洗浄液タンクと、
    　前記洗浄液タンクに貯蔵されている前記洗浄液を加温する加温装置と
    を有する請求項１または２に記載のインクジェット装置。
  4. 　インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインクを循環させながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出させるインクジェット装置の洗浄方法であって、
    　前記インクタンクから前記インクジェットヘッドに向かう前記インクを、前記インクジェットヘッドに流入する前に折り返して前記インクジェットヘッドを経由することなく循環させながら、前記インクジェットヘッドに洗浄液を流して洗浄するインクジェット装置の洗浄方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020018955A (ja) * 2018-07-30 2020-02-06 株式会社神戸製鋼所 流体処理システム
JP2020116901A (ja) * 2019-01-28 2020-08-06 住友重機械工業株式会社 インク吐出装置及びインク吐出方法
US11052670B2 (en) 2018-11-13 2021-07-06 Ricoh Company, Ltd. Liquid circulation device and liquid discharge apparatus including the liquid circulation device

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111376589B (zh) * 2018-12-29 2021-08-06 Tcl科技集团股份有限公司 喷墨打印设备及其清洁方法
JP2020131689A (ja) * 2019-02-26 2020-08-31 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置の洗浄方法
JP7306068B2 (ja) * 2019-05-31 2023-07-11 ブラザー工業株式会社 洗浄液
CN110271295B (zh) * 2019-07-17 2021-01-15 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Oled喷墨打印装置及其控制方法
CN110978797B (zh) * 2019-11-27 2021-11-02 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 墨盒
JP7389672B2 (ja) * 2020-02-06 2023-11-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 錠剤印刷装置および錠剤印刷装置のメンテナンス方法
CN111300990B (zh) * 2020-02-19 2021-08-31 京东方科技集团股份有限公司 打印喷头的清洁装置及其控制方法
JP7469146B2 (ja) * 2020-06-01 2024-04-16 住友重機械工業株式会社 画像データ生成装置
JP7327331B2 (ja) * 2020-09-15 2023-08-16 株式会社村田製作所 インクジェット印刷装置
KR20220070106A (ko) * 2020-11-20 2022-05-30 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 장치 및 그의 미토출 해소 방법
CN112721457B (zh) * 2020-12-23 2022-04-22 惠州市迪日科技发展有限公司 循环供墨系统、喷墨打印装置以及喷墨打印设备
CN113071214B (zh) * 2021-03-29 2022-03-15 东莞市唯美陶瓷工业园有限公司 一种陶瓷喷墨机墨水循环系统的维护方法
KR102280950B1 (ko) * 2021-03-31 2021-07-26 주식회사 에스에프이 반도체 패키지 이송 장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003211687A (ja) * 2002-01-17 2003-07-29 Seiko Epson Corp インクジェット装置の洗浄方法および洗浄機構を有するインクジェット装置
JP2003275659A (ja) * 2002-01-17 2003-09-30 Shibaura Mechatronics Corp 塗付装置及び塗布装置の気泡抜き方法
WO2009157139A1 (ja) * 2008-06-24 2009-12-30 株式会社マスターマインド 印刷装置
US8915572B2 (en) * 2012-02-23 2014-12-23 Dip-Tech Ltd. Printhead adapter for pigmented ink
JP2015085660A (ja) * 2013-11-01 2015-05-07 富士フイルム株式会社 インクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6237081B2 (ja) * 2013-10-04 2017-11-29 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
JP2015133453A (ja) 2014-01-15 2015-07-23 株式会社ミマキエンジニアリング 回路基板の製造方法及びインクジェットプリンタ
JP6307912B2 (ja) * 2014-02-07 2018-04-11 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003211687A (ja) * 2002-01-17 2003-07-29 Seiko Epson Corp インクジェット装置の洗浄方法および洗浄機構を有するインクジェット装置
JP2003275659A (ja) * 2002-01-17 2003-09-30 Shibaura Mechatronics Corp 塗付装置及び塗布装置の気泡抜き方法
WO2009157139A1 (ja) * 2008-06-24 2009-12-30 株式会社マスターマインド 印刷装置
US8915572B2 (en) * 2012-02-23 2014-12-23 Dip-Tech Ltd. Printhead adapter for pigmented ink
JP2015085660A (ja) * 2013-11-01 2015-05-07 富士フイルム株式会社 インクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020018955A (ja) * 2018-07-30 2020-02-06 株式会社神戸製鋼所 流体処理システム
WO2020026724A1 (ja) * 2018-07-30 2020-02-06 株式会社神戸製鋼所 流体処理システム
US11052670B2 (en) 2018-11-13 2021-07-06 Ricoh Company, Ltd. Liquid circulation device and liquid discharge apparatus including the liquid circulation device
JP2020116901A (ja) * 2019-01-28 2020-08-06 住友重機械工業株式会社 インク吐出装置及びインク吐出方法
JP7258579B2 (ja) 2019-01-28 2023-04-17 住友重機械工業株式会社 インク吐出装置及びインク吐出方法

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