TW201806677A - 噴墨裝置及噴墨裝置之洗淨方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠有效地洗淨噴墨頭內部且能夠抑制廢油墨的產生之噴墨裝置。去程是從油墨槽將油墨輸送至噴墨頭，回程是向其反方向輸送油墨。旁通流路是不經由噴墨頭而從去程向回程輸送油墨。洗淨流路是向噴墨頭供給洗淨液並從噴墨頭回收洗淨液。切換部可切換成循環狀態和洗淨狀態，循環狀態是在包括去程、噴墨頭、回程及油墨槽之循環路徑中使油墨循環；洗淨狀態，是在包括去程、旁通流路、回程及油墨槽之循環路徑中使油墨循環，並且通過洗淨流路進行朝向噴墨頭的洗淨液的供給與來自噴墨頭的洗淨液的回收，藉此進行噴墨頭的洗淨。

Description

噴墨裝置及噴墨裝置之洗淨方法

本申請主張基於2016年8月22日於日本申請之日本專利申請第2016-161616號之優先權。該日本申請之全部內容藉由參閱援用於本說明書中。 　　本發明係有關一種噴墨裝置及噴墨裝置之洗淨方法。

藉由從噴墨頭噴出油墨，而形成用以將形成於基板的表面之導電體進行圖案化之抗蝕膜之噴墨印刷機是已知的（專利文獻1）。 　　在常溫下使用黏度高之油墨之情況下，為了使黏度降低至能夠從噴墨頭噴出之程度，必須對油墨進行加溫。若在噴墨印刷機所進行之膜形成之後停止裝置的運轉，則殘留於噴墨頭內之油墨的黏度變高。在噴墨頭內形成有複數個微細的油墨的流路。殘留於噴墨頭內之黏度高之油墨成為該微細的油墨的流路堵塞的原因。 （先前技術文獻） （專利文獻） 　　專利文獻1：日本特開2015-133453號公報

（本發明所欲解決之課題） 　　在停止裝置的運轉之前，能夠對殘留於噴墨頭之油墨進行抽吸而減少油墨的殘留量。然而，利用該方法，難以從噴墨頭完全地排出油墨。利用洗淨液來對從油墨槽至噴墨頭為止的油墨的供給系統進行洗淨，藉此可排出噴墨頭內的油墨。然而，利用該方法會在油墨的供給系統中殘留洗淨液，因此在重新運轉時，必須利用油墨來對供給系統進行洗淨（預洗）。因此，導致產生廢油墨。 　　本發明的目的在於提供一種能夠有效地洗淨噴墨頭內且能夠抑制廢油墨的產生之噴墨裝置及噴墨裝置之洗淨方法。 （用以解決課題之手段） 　　依本發明的一觀點，提供一種噴墨裝置，係具有： 　　噴墨頭，噴出油墨； 　　油墨槽，儲存前述油墨； 　　去程，從前述油墨槽將前述油墨輸送至前述噴墨頭； 　　回程，從前述噴墨頭將前述油墨輸送至前述油墨槽； 　　旁通流路，不經由前述噴墨頭而從前述去程向前述回程輸送前述油墨； 　　洗淨流路，向前述噴墨頭供給洗淨液，並從前述噴墨頭回收前述洗淨液；及 　　切換部，構成為能夠切換成循環狀態和洗淨狀態，循環狀態是在包括前述去程、前述噴墨頭、前述回程及前述油墨槽之循環路徑中使前述油墨循環；洗淨狀態，是在包括前述去程、前述旁通流路、前述回程及前述油墨槽之循環路徑中使前述油墨循環，並且通過前述洗淨流路進行朝向前述噴墨頭的前述洗淨液的供給與來自前述噴墨頭的前述洗淨液的回收，藉此進行前述噴墨頭的洗淨。 　　依本發明的另一觀點，提供一種噴墨裝置之洗淨方法，該噴墨裝置是一邊在油墨槽與噴墨頭之間使油墨循環一邊從前述噴墨頭噴出前述油墨，在該洗淨方法， 　　是一邊使從前述油墨槽朝向前述噴墨頭之前述油墨在流入前述噴墨頭之前折返而不經由前述噴墨頭進行循環，一邊使洗淨液流過前述噴墨頭而進行洗淨。 （發明之效果） 　　由於洗淨中在使油墨循環之流路中沒有洗淨液流過，在洗淨之後不會殘留洗淨液。使洗淨液僅流過油墨的流路的局部，藉此能夠有效地洗淨噴墨頭內部，且能夠抑制廢油墨的產生。

參閱圖1、圖2A及圖2B，對基於實施例之噴墨裝置及其洗淨方法進行說明。 　　圖1係基於實施例之噴墨裝置的概略圖。噴墨頭10及油墨槽11藉由去程12及回程13而被連接。噴墨頭10具有複數個噴嘴孔，並從各噴嘴孔噴出油墨的液滴。油墨槽11儲存油墨。去程12從油墨槽11將油墨輸送至噴墨頭10。回程13從噴墨頭10將油墨輸送至油墨槽11。藉由油墨槽11、去程12、噴墨頭10及回程13而形成使油墨循環之循環路徑。加溫裝置40對油墨槽11內的油墨進行加溫。作為油墨，例如能夠使用用以形成蝕刻用的抗蝕膜之抗蝕液、用以形成防焊膜之抗蝕液等。 　　在去程12及回程13中分別插入有供给泵20及回收泵21。供给泵20從油墨槽11向噴墨頭10輸送油墨。回收泵21從噴墨頭10向油墨槽11輸送油墨。 　　在供给泵20與噴墨頭10之間的去程12中插入有第1流路切換閥31。在噴墨頭10與回收泵21之間的回程13中插入有第2流路切換閥32。藉由旁通流路18連接第1流路切換閥31與第2流路切換閥32。 　　藉由第1洗淨液流路15連接洗淨液槽14與第1流路切換閥31。洗淨液槽14儲存洗淨液。藉由第2洗淨液流路16連接第2流路切換閥32與廢液槽17。在第1洗淨液流路15中插入有洗淨液供给泵22。洗淨液供给泵22從洗淨液槽14向第1流路切換閥31輸送洗淨液。在第2洗淨液流路16中插入有洗淨液排出泵23。洗淨液排出泵23從第2流路切換閥32向廢液槽17輸送洗淨液。作為洗淨液，能夠使用油墨專用的洗淨液。除此之外，例如能夠使用丙酮、異丙醇、乙醇等揮發性的溶劑。加溫裝置41對洗淨液槽14內的洗淨液進行加溫。 　　如以下說明，第1流路切換閥31及第2流路切換閥32可發揮切換循環狀態與洗淨狀態這2個狀態之切換部30之功能。 　　切換部30為循環狀態時，第1流路切換閥31使比第1流路切換閥31更靠上游側的去程12與下游側的去程12連通，並從去程12將第1洗淨液流路15及旁通流路18隔斷。第2流路切換閥32使比第2流路切換閥32更靠上游側的回程13與下游側的回程13連通，並從回程13將第2洗淨液流路16及旁通流路18隔斷。藉由將切換部30設為循環狀態，能夠一邊使油墨循環一邊從噴墨頭10噴出油墨。 　　切換部30為洗淨狀態時，第1流路切換閥31使比第1流路切換閥31更靠上游側的去程12與旁通流路18連通，並使第1洗淨液流路15與比第1流路切換閥31更靠下游側的去程12連通。第2流路切換閥32使旁通流路18與比第2流路切換閥32更靠下游側的回程13連通，並使比第2流路切換閥32更靠上游側的回程13與第2洗淨液流路16連通。第1洗淨液流路15及第2洗淨液流路16可發揮：向噴墨頭10供給洗淨液並從噴墨頭10回收洗淨液之洗淨流路之功能。 　　藉由將切換部30設為洗淨狀態，能夠在包括油墨槽11、去程12、旁通流路18及回程13之循環路徑中使油墨循環。如此，旁通流路18能夠不經由噴墨頭10而從去程12向回程13輸送油墨。而且，通過第1洗淨液流路15進行對噴墨頭10的洗淨液的供給，並且通過第2洗淨液流路16進行自噴墨頭10的洗淨液的回收，藉此能夠進行噴墨頭10的洗淨。 　　在噴墨頭10的下方配置有支撐基板之載台45。載台45能夠使被支撐於其上之基板沿水平的二維方向移動。從噴墨頭10噴出之油墨的液滴附著於被支撐於載台45之基板。使附著於基板之油墨硬化，藉此能夠在基板上形成膜。 　　控制裝置55控制載台45所進行之基板的移動以及從噴墨頭10的噴嘴孔的油墨的噴出。控制裝置55根據用於定義應形成之膜的圖案之圖像資料，對載台45的移動及從各噴嘴孔噴出油墨之時刻進行控制，藉此能夠在基板上形成所期望的圖案的膜。 　　洗淨噴墨頭10時，在噴墨頭10的下方，代替載台45而配置托盤46。托盤46在洗淨之過程中接收從噴墨頭10的噴嘴孔滴下之洗淨液。 　　圖2A係從噴墨頭10噴出油墨而在基板上進行膜形成時的噴墨裝置的概略圖。在膜形成之前，將基板50搬運至載台45之上，藉由載台45支撐。將第1流路切換閥31及第2流路切換閥32設為循環狀態，使供给泵20及回收泵21動作，藉此在由油墨槽11、去程12、噴墨頭10及回程13構成之循環路徑中使油墨循環。洗淨液供给泵22及洗淨液排出泵23設為停止狀態。 　　該狀態下，一邊藉由載台45使基板50移動，一邊從噴墨頭10的各噴嘴孔噴出油墨，藉此能夠在基板50上形成膜。 　　圖2B係洗淨噴墨頭10時的噴墨裝置的概略圖。將第1流路切換閥31及第2流路切換閥32設為洗淨狀態。使供给泵20及回收泵21動作，藉此在由油墨槽11、去程12、旁通流路18及回程13構成之循環路徑中使油墨循環。在噴墨頭10的下方配置托盤46。 　　而且，使洗淨液供给泵22及洗淨液排出泵23動作。藉此，洗淨液從洗淨液槽14流出，並經由第1洗淨液流路15、噴墨頭10、第2洗淨液流路16而被回收至廢液槽17。從噴墨頭10的噴嘴孔滴下之洗淨液被回收至托盤46。 　　接著，對基於上述實施例之噴墨裝置優異之效果進行說明。 　　在停止裝置的運轉而關閉電源之前，能夠將切換部30設為洗淨狀態而進行噴墨頭10的洗淨（圖2B）。此時，在油墨槽11、比第1流路切換閥31更靠上游側的去程12以及比第2流路切換閥32更靠下游側的回程13中沒有洗淨液流過。在油墨的循環路徑中洗淨液僅流過比第1流路切換閥31更靠下游側的去程12、噴墨頭10及比第2流路切換閥32更靠上游側的回程13。與利用洗淨液對油墨流經之循環路徑的整體進行洗淨之情況相比，能夠減少殘留於油墨流經之循環路徑之洗淨液。 　　而且，利用油墨專用的洗淨液進行洗淨之後，若利用揮發性的溶劑來進行洗淨，則殘留於油墨的循環路徑之洗淨液在重新開始運轉裝置之前會大致蒸發。即使一部分的洗淨液殘留於油墨的循環路徑，殘留之洗淨液會與被加溫之油墨接觸，藉此在短時間內蒸發。因此，在重新開始運轉裝置時，無需利用油墨將油墨的循環路徑行預洗。其結果，幾乎不會產生廢油墨。 　　為了減少殘留於油墨的循環路徑之洗淨液，將第1流路切換閥31及第2流路切換閥32的插入位置靠近噴墨頭10為較佳。可以在噴墨頭10的油墨流入口及油墨排出口分別直接連接第1流路切換閥31及第2流路切換閥32。此時，比第1流路切換閥31更靠下游側的去程12及比第2流路切換閥32更靠上游側的回程13的流路長度實質上成為0。 　　利用加溫裝置41（圖2B）來對洗淨液進行加溫，藉此能夠提高洗淨效果。 　　若在洗淨噴墨頭10之過程中使油墨的循環停止，則殘留於去程12及回程13之油墨的溫度降低而成為高黏度。若在高黏度的油墨殘留於去程12及回程13之狀態下，重新開始對噴墨頭10的油墨的循環，則高黏度的油墨會流入噴墨頭10中，從而有可能存在導致噴墨頭10內的微細的流路堵塞之危險性。在本實施例中，使從油墨槽11朝向噴墨頭10之油墨在流入噴墨頭10之前藉由第1流路切換閥31、旁通流路18及第2流路切換閥32折返，能夠不經由噴墨頭10進行循環，且在噴墨頭10使洗淨液流過而進行洗淨。由於在洗淨之過程中，油墨亦在其循環路徑中循環，因此能夠防止高黏度的油墨殘留於油墨的循環路徑之情況。 　　若噴墨頭10的洗淨結束，則將切換部30切換為循環狀態，藉此能夠立刻向噴墨頭10供給被加溫之油墨。因此，能夠縮短從結束噴墨頭10的洗淨至開始噴出油墨為止的時間。 　　在洗淨噴墨頭10之過程中，停止油墨從油墨槽11向去程12的流出而使回收泵21動作，藉此能夠經由旁通流路18而將去程12內的油墨回收至回收槽11。 　　洗淨噴墨頭10之後，亦使經由旁通流路18之油墨的循環停止之情況下，會有高黏度的油墨殘留於循環路徑內之情況。在重新開始運轉時，能夠將切換部30設為洗淨狀態進行經由旁通流路18之油墨的循環，並對殘留於循環路徑之高黏度油墨進行加溫。高黏度的油墨被加溫而成為低黏度之後，將切換部30切換為循環狀態，藉此能夠防止高黏度的油墨流入噴墨頭10之情況。藉此，能夠抑制噴墨頭10內的微細的流路的堵塞。 　　僅利用洗淨液供给泵22的噴出壓力就能使洗淨液流到廢液槽17之情況下，亦可以省略洗淨液排出泵23。配置洗淨液供给泵22及洗淨液排出泵23這兩者之情況下，調整兩者的噴出壓力，藉此能夠調整自噴墨頭10的洗淨液的滴下量。 　　洗淨噴墨頭10之後，可以僅將第1流路切換閥31設為循環狀態，在第2流路切換閥32保持洗淨狀態之狀態下，向噴墨頭10供給油墨。此時，殘留於噴墨頭10之洗淨液被油墨擠出而與油墨一起被回收至廢液槽17。 　　從噴墨頭10擠出洗淨液之後，亦將第2流路切換閥32設為循環狀態，藉此使油墨在噴墨頭10中循環。 　　接著，參閱圖3A及圖3B，對另一實施例之噴墨裝置進行說明。以下，對與圖1、圖2A及圖2B中示出之實施例的不同點進行說明，並省略說明共同的結構。 　　圖3A及圖3B分別係循環狀態及洗淨狀態的噴墨裝置的概略圖。在本實施例中，圖1中示出之噴墨裝置的第1流路切換閥31的功能藉由2個三通閥33a、33b而實現，第2流路切換閥32的功能藉由2個三通閥34a、34b而實現。 　　2個三通閥33a、33b串列插入於去程12，且2個三通閥34a、34b串列插入於回程13。去程12的上游側的三通閥33a與回程13的下游側的三通閥34a經由旁通流路18連接。在去程12的下游側的三通閥33b連接第1洗淨液流路15，在回程13的上游側的三通閥34b連接第2洗淨液流路16。4個三通閥33a、33b、34a、34b具有作為切換部30的功能。 　　如圖3A所示，切換部30為循環狀態時，三通閥33a、33b使去程12從油墨槽11連通至噴墨頭10，並從去程12將旁通流路18及第1洗淨液流路15隔斷。而且，三通閥34a、34b使回程13從噴墨頭10連通至油墨槽11，並從回程13將旁通流路18及第2洗淨液流路16隔斷。 　　如圖3B所示，切換部30為洗淨狀態時，三通閥33a將比三通閥33a更靠上游側的去程12連接於旁通流路18，三通閥33b將第1洗淨液流路15連接於噴墨頭10。而且，三通閥34a將旁通流路18連接於比三通閥34a更靠下游側的回程13，三通閥34b將噴墨頭10連接於第2洗淨液流路16。 　　在基於圖3A及圖3B中示出之實施例之噴墨裝置中，亦能夠得到與基於圖1中示出之實施例之噴墨裝置相同的效果。 　　接著，參閱圖4，對基於又一實施例之噴墨裝置進行說明。以下，對與圖1、圖2A及圖2B中示出之實施例的不同點進行說明，並省略說明相同的結構。 　　圖4係基於本實施例之噴墨裝置的概略圖。本實施例中，噴墨頭10由複數個頭塊10A構成。複數個頭塊10A各個包括油墨導入口36與油墨排出口37。 　　插入於去程12之分配部61將1條去程12分支成複數個去程12A。分支後的複數個去程12A分別連接於頭塊10A的油墨導入口36。分配部61具有向複數個頭塊10A的油墨導入口36分配前述油墨之功能。 　　複數個回程13A分別將頭塊10A的油墨排出口37連接於合流部62。合流部62具有使從複數個頭塊10A的油墨排出口37流出之油墨在1條回程13中合流而返回至油墨槽11之功能。 　　第1流路切換閥31插入於比分配部61更靠上游側的去程12。第2流路切換閥32插入於比合流部62更靠下游側的回程13。托盤46回收從複數個頭塊10A滴下之洗淨液。 　　由第1流路切換閥31及第2流路切換閥32構成之切換部30為洗淨狀態時，從第1洗淨液流路15流入至去程12之洗淨液在分配部61被分配至複數個頭塊10A，從複數個頭塊10A排出之洗淨液在合流部62進行合流。在合流部62合流後之洗淨液經由第2流路切換閥32而向第2洗淨液流路16流出。 　　在本實施例中，由複數個頭塊10A構成噴墨頭10，藉此能夠利用載台45的1次掃描而在基板之更寬之區域塗佈膜材料。並且，能夠同時洗淨複數個頭塊10A。 　　接著，參閱圖5，對基於又一實施例之噴墨裝置進行說明。以下，對與圖4中示出之實施例的不同點進行說明，並省略說明相同的結構。 　　圖5表示基於本實施例之噴墨裝置的概略圖。圖4中示出之實施例中，在比分配部61更靠上游側的去程12中插入有第1流路切換閥31，並在比合流部62更靠下游側的回程13中插入有第2流路切換閥32。本實施例中，在由分配部61進行分支後的複數個去程12A中分別插入有第1流路切換閥31A。而且，在由合流部62合流前的複數個回程13A中分別插入有第2流路切換閥32A。 　　藉由旁通流路18A連接與1個頭塊10A對應之第1流路切換閥31A與第2流路切換閥32A。 　　第1洗淨液流路15分支為複數個第1洗淨液流路15A，分支後的複數個第1洗淨液流路15A分別連接於第1流路切換閥31A。在複數個第2流路切換閥32A分別連接第2洗淨液流路16A，複數個第2洗淨液流路16A合流為1條第2洗淨液流路16。複數個第1開閉閥66分別插入於複數個第1洗淨液流路15A。複數個第2開閉閥67分別插入於複數個第2洗淨液流路16A。 　　洗淨液供给泵22插入於分支前的1條第1洗淨液流路15，洗淨液排出泵23插入於合流後的1條第2洗淨液流路16。 　　在本實施例中，複數個第1流路切換閥31A及複數個第2流路切換閥32A具有作為圖4中示出之切換部30的功能。 　　將切換部30設為洗淨狀態，藉此能夠洗淨複數個頭塊10A。 　　若使複數個第1開閉閥66全部開啟，並使複數個第2開閉閥67全部開啟而進行洗淨，則洗淨液優先流過沒有產生堵塞之頭塊10A。並且，即使在所有的頭塊10A都產生堵塞之情況下，亦會導致洗淨液優先流過最初藉由洗淨而消除堵塞之頭塊10A。因此，導致產生堵塞之頭塊10A的洗淨變得難以進行。 　　選擇性地啟開第1開閉閥66中之1個，並選擇性地開啟第2開閉閥67中對應之1個，藉此能夠洗淨複數個頭塊10A中之1個。藉此，能夠有效地洗淨產生堵塞之頭塊10A。第1開閉閥66及第2開閉閥67發揮頭塊選擇部之功能，該頭塊選擇部是從複數個頭塊10A選擇1個並使洗淨液流過所選擇之頭塊10A。 　　接著，參閱圖6，對基於又一實施例之噴墨裝置進行說明。以下，對與圖5中示出之實施例的不同點進行說明，並省略說明共同的結構。 　　圖6係基本實施例之噴墨裝置的概略圖。切換部30被設為循環狀態時，複數個頭塊10A並列連接於分配部61及合流部62。切換部30被設為洗淨狀態時，複數個頭塊10A串列插入於從洗淨液槽14至廢液槽17的洗淨液流路中。例如，與第1段的頭塊10A對應之第1流路切換閥31A經由第1洗淨液流路15而連接於洗淨液槽14。與1個頭塊10A對應之第2流路切換閥32A經由串列連接流路19而連接於後段的頭塊10A的第1流路切換閥31A。與最終段的頭塊10A對應之第2流路切換閥32A經由第2洗淨液流路16而連接於廢液槽17。 　　切換部30被設為洗淨狀態時，從洗淨液槽14流出之洗淨液輪流流過複數個頭塊10A而被回收至廢液槽17。 　　本實施例中，增加頭塊10A的個數之情況下，與圖5中示出之實施例相比，能夠減少洗淨液用的配管的個數。 　　接著，參閱圖7，對基於又一實施例之噴墨裝置進行說明。以下，對與圖6中示出之實施例的不同點進行說明，並省略說明相同的結構。 　　圖7係基於本實施例之噴墨裝置的概略圖。在本實施例中，對每個噴墨頭10的頭塊10A，能夠使與頭塊10A對應之切換部30的狀態在循環狀態與洗淨狀態之間進行切換。 　　切換部30被切換為循環狀態時，與圖6中示出之實施例的情況同樣地，第1流路切換閥31A使比第1流路切換閥31A更靠上游側的去程12A與下游側的去程12A連通，第2流路切換閥32A使比第2流路切換閥32A更靠上游側的回程13A與下游側的回程13A連通。而且，切換部30被設為循環狀態時，第1流路切換閥31A及第2流路切換閥32A將第1洗淨液流路15或前段的串列連接流路19連接於旁通流路18A，並將旁通流路18A連接於後段的串列連接流路19或第2洗淨液流路16。 　　藉由將與特定的一部分的頭塊10A對應之切換部30設為洗淨狀態，能夠僅使洗淨液流向該頭塊10A並進行洗淨。與被設為循環狀態之其他切換部30對應之頭塊10A能夠保持使油墨循環之狀態。被設為循環狀態之切換部30的旁通流路18A可發揮：用以使洗淨液不流入頭塊10A而輸送至後段的切換部30之流路之功能。 　　圖7表示與從左數第2個頭塊10A對應之切換部30被設為洗淨狀態，且其他切換部30被設為循環狀態之例子。圖7中示出之例子中，僅洗淨從左數第2個頭塊10A，關於其他頭塊10A，能夠維持使高溫的油墨循環之狀態。另外，將與複數個頭塊10A對應之切換部30設為洗淨狀態，藉此亦能夠洗淨複數個頭塊10A。 　　圖7中示出之實施例中，能夠僅洗淨特定的1個或一部分頭塊10A。在其他頭塊10A中，讓高溫的油墨循環，並在洗淨對象的頭塊10A中，有高溫的油墨供給到對應之旁通流路18A，因此油墨的供給路徑的溫度被維持在高溫。因此，洗淨特定的頭塊10A之後，能夠在短時間內重新開始膜的形成。 　　上述的各實施例係例示，當然亦能夠進行不同之實施例中示出之結構的局部替換或者組合。複數個實施例的基於相同結構之相同的作用效果，並未於每個實施例逐一提及。而且，本發明並非係限制於上述實施例者。例如，本領域具有通常知識者顯然能夠進行各種變更、改良以及組合等。

10‧‧‧噴墨頭
10A‧‧‧頭塊
11‧‧‧油墨槽
12‧‧‧去程
12A‧‧‧分支後的去程
13‧‧‧回程
13A‧‧‧合流前的回程
14‧‧‧洗淨液槽
15‧‧‧第1洗淨液流路
15A‧‧‧分支後的第1洗淨液流路
16‧‧‧第2洗淨液流路
16A‧‧‧合流前的第2洗淨液流路
17‧‧‧廢液槽
18、18A‧‧‧旁通流路
19‧‧‧串列連接流路
20‧‧‧供给泵
21‧‧‧回收泵
22‧‧‧洗淨液供给泵
23‧‧‧洗淨液排出泵
30‧‧‧切換部
31、31A‧‧‧第1流路切換閥
32、32A‧‧‧第2流路切換閥
33a、33b‧‧‧三通閥
34a、34b‧‧‧三通閥
36‧‧‧油墨導入口
37‧‧‧油墨排出口
40、41‧‧‧加溫裝置
45‧‧‧載台
46‧‧‧托盤
50‧‧‧基板
55‧‧‧控制裝置
61‧‧‧分配部
62‧‧‧合流部
66‧‧‧第1開閉閥
67‧‧‧第2開閉閥

圖1係基於實施例之噴墨裝置的概略圖。 　　圖2A係從噴墨頭噴出油墨而在基板上進行膜形成時的噴墨裝置的概略圖，圖2B係洗淨噴墨頭時的噴墨裝置的概略圖。 　　圖3A及圖3B分別係基於另一實施例之噴墨裝置的循環狀態及洗淨狀態的概略圖。 　　圖4係基於又一實施例之噴墨裝置的概略圖。 　　圖5係基於又一實施例之噴墨裝置的概略圖。 　　圖6係基於又一實施例之噴墨裝置的概略圖。 　　圖7係基於又一實施例之噴墨裝置的概略圖。

11‧‧‧油墨槽

40‧‧‧加溫裝置

21‧‧‧回收泵

20‧‧‧供給泵

22‧‧‧洗淨液供給泵

14‧‧‧洗淨液槽

41‧‧‧加溫裝置

13‧‧‧回程

12‧‧‧去程

15‧‧‧第1洗淨液流路

10‧‧‧噴墨頭

45‧‧‧載台

18‧‧‧旁通流路

31‧‧‧第1流路切換閥

32‧‧‧第2流路切換閥

30‧‧‧切換部

46‧‧‧托盤

23‧‧‧洗淨液排出泵

16‧‧‧第2洗淨液流路

17‧‧‧廢液槽

Claims (4)

1. 一種噴墨裝置，係具有： 　　噴墨頭，噴出油墨； 　　油墨槽，儲存前述油墨； 　　去程，從前述油墨槽將前述油墨輸送至前述噴墨頭； 　　回程，從前述噴墨頭將前述油墨輸送至前述油墨槽； 　　旁通流路，不經由前述噴墨頭而從前述去程向前述回程輸送前述油墨； 　　洗淨流路，向前述噴墨頭供給洗淨液，並從前述噴墨頭回收前述洗淨液；及 　　切換部，構成為能夠切換成循環狀態和洗淨狀態，該循環狀態是在包括前述去程、前述噴墨頭、前述回程及前述油墨槽之循環路徑中使前述油墨循環；該洗淨狀態，是在包括前述去程、前述旁通流路、前述回程及前述油墨槽之循環路徑中使前述油墨循環，並且通過前述洗淨流路進行朝向前述噴墨頭的前述洗淨液的供給與來自前述噴墨頭的前述洗淨液的回收，藉此進行前述噴墨頭的洗淨。
2. 如申請專利範圍第1項所述之噴墨裝置，其中， 　　前述噴墨頭是由分別包括油墨導入口與油墨排出口之複數個頭塊構成， 　　前述去程包括分配部，該分配部是向複數個前述頭塊的前述油墨導入口分配前述油墨， 　　前述回程包括合流部，該合流部是使從複數個前述頭塊的前述油墨排出口流出之前述油墨合流而返回至前述油墨槽， 　　前述旁通流路，是將輸送被前述分配部分配之後的前述油墨之前述去程和輸送被前述合流部合流之前的前述油墨之前述回程予以連接， 　　前述洗淨流路具有頭塊選擇部，該頭塊選擇部是從複數個前述頭塊選擇1個並使前述洗淨液流向所選擇之前述頭塊。
3. 申請專利範圍第1或2項所述之噴墨裝置，進一步具有： 　　洗淨液槽，儲存前述洗淨液，並且使前述洗淨液向前述洗淨流路流出；及 　　加溫裝置，對儲存於前述洗淨液槽之前述洗淨液進行加溫。
4. 一種噴墨裝置之洗淨方法，該噴墨裝置是一邊在油墨槽與噴墨頭之間使油墨循環一邊從前述噴墨頭噴出前述油墨，在該洗淨方法， 　　是一邊使從前述油墨槽朝向前述噴墨頭之前述油墨在流入前述噴墨頭之前折返而不經由前述噴墨頭進行循環，一邊使洗淨液流過前述噴墨頭而進行洗淨。