JP2020018955A - 流体処理システム - Google Patents
流体処理システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020018955A JP2020018955A JP2018142302A JP2018142302A JP2020018955A JP 2020018955 A JP2020018955 A JP 2020018955A JP 2018142302 A JP2018142302 A JP 2018142302A JP 2018142302 A JP2018142302 A JP 2018142302A JP 2020018955 A JP2020018955 A JP 2020018955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- flow path
- cleaning
- flow
- devices
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
- B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
- B08B9/0321—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing using pressurised, pulsating or purging fluid
- B08B9/0323—Arrangements specially designed for simultaneous and parallel cleaning of a plurality of conduits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0006—Controlling or regulating processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0046—Sequential or parallel reactions, e.g. for the synthesis of polypeptides or polynucleotides; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making molecular arrays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
- B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
- B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
- B08B9/0321—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing using pressurised, pulsating or purging fluid
- B08B9/0325—Control mechanisms therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00801—Means to assemble
- B01J2219/0081—Plurality of modules
- B01J2219/00813—Fluidic connections
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00851—Additional features
- B01J2219/00871—Modular assembly
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00891—Feeding or evacuation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/0099—Cleaning
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Description
図7を参照しながら、本発明の実施の形態の変形例に係る流体処理システムについて説明する。図7は、本発明の実施の形態の変形例に係る流体処理システムが備える制御装置80Aの概略構成を示す機能ブロック図である。
20 流体処理モジュール
211,212 流体流路装置
22 通常流路
23 流量制御弁
24 バイパス流路
251〜254 流路切替弁
26 流体情報取得装置
30 共通供給流路
40 被処理流体供給ポンプ
50 共通排出流路
60A 第1洗浄流路形成部
60B 第2洗浄流路形成部
61A 第1洗浄流体供給流路形成部
61B 第2洗浄流体供給流路形成部
62A 第1洗浄流体排出流路形成部
62B 第2洗浄流体排出流路形成部
70 洗浄流体供給ポンプ
80 制御装置
Claims (7)
- 流体処理システムであって、
互いに並列に配置され、各々が処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行うことで目的とする目標流体を生成する複数の流体処理モジュールを備え、
上記複数の流体処理モジュールは、それぞれ、
直列に配置され、各々が上記被処理流体を流通させながら当該被処理流体に上記所定の処理を行う複数の流体流路装置と、
上記被処理流体が上記複数の流体流路装置の全てを流れるように、上記複数の流体流路装置の各々がその途中に設けられた通常流路と、
上記通常流路の途中であって且つ上記被処理流体が流れる方向において上記複数の流体流路装置よりも上流側に設けられ、上記複数の流体流路装置の各々に対する上記被処理流体の流入量を調整する流量制御弁と、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置を迂回するように上記被処理流体が流れるのを許容する複数のバイパス流路と、
上記複数のバイパス流路の各々に対応して設けられ、各々が上記複数のバイパス流路のうち対応するバイパス流路において上記被処理流体が流れることを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる複数のバイパス切替弁と、を含む、流体処理システム。 - 請求項1記載の流体処理システムであって、上記通常流路と上記バイパス流路とが接続される位置またはそれよりも上記バイパス流路に対応する上記流体流路装置に近い位置にそれぞれ設けられ、上記通常流路における上記被処理流体の流通を許容する状態と阻止する状態とに切り替えられる複数の流通切替弁を、さらに備える、流体処理システム。
- 請求項2に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を上記被処理流体が流れる方向とは反対の方向に流れることを許容する複数の洗浄流路をさらに備え、
上記複数の洗浄流路のそれぞれは、
当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、
上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流通装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路と、を含む、流体処理システム。 - 請求項3記載の流体処理システムであって、
上記複数の洗浄流路は、洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、
上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁をさらに備える、流体処理システム。 - 請求項1または2に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、当該流体流路装置を流れる上記被処理流体についての情報であって当該流体流路装置が上記所定の処理を行うことができない異常な状態であるか否かを判断するために用いられる流体情報を取得する複数の流体情報取得装置と、
上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて、上記複数の流体処理モジュールの各々において行われる上記所定の処理を制御する制御装置をさらに備え、
上記制御装置は、
上記複数の流体処理モジュールのそれぞれについて、上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて上記複数の流体流路装置のうち上記異常な状態である流体流路装置を特定する異常特定部と、
上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるように上記複数のバイパス切替弁の状態を切り替えるバイパス流路制御部と、
上記複数の流体流路装置のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置である正常な流体流路装置に対する上記被処理流体の流入量が当該正常な流体流路装置において予め設定された上記所定の処理を行うための能力を示す処理可能容量を超えないように当該正常な流体流路装置の数及び当該正常な流体流路装置に設定された上記処理可能容量に応じて上記流量制御弁を制御し、当該正常な流体流路装置にて上記所定の処理が行われるようにする流量制御部と、を含む、流体処理システム。 - 請求項5に記載の流体処理システムであって、
上記制御装置は、
上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるようにする代わりに、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を含む上記複数の流体流路装置の各々によって上記所定の処理が行われるように、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置において上記所定の処理を行うための能力を示す処理容量であって上記異常な状態になったことで上記処理可能容量よりも低下した低下処理容量に応じて上記流量制御弁を制御する継続使用制御部をさらに含む、流体処理システム。 - 請求項5または6に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を上記被処理流体が流れる方向とは反対の方向に流れることを許容する複数の洗浄流路をさらに備え、
上記複数の洗浄流路のそれぞれは、
当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、
上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流通装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路と、を有し、
上記複数の洗浄流路は、洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、
上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁をさらに備え、
上記制御装置は、上記複数の洗浄流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置に対応する洗浄流路についてのみ上記洗浄流体の流通を許容するように上記複数の洗浄切替弁を操作する洗浄制御部をさらに含む、流体処理システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018142302A JP6967492B2 (ja) | 2018-07-30 | 2018-07-30 | 流体処理システム |
US17/257,179 US11266969B2 (en) | 2018-07-30 | 2019-07-09 | Fluid treatment system |
PCT/JP2019/027215 WO2020026724A1 (ja) | 2018-07-30 | 2019-07-09 | 流体処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018142302A JP6967492B2 (ja) | 2018-07-30 | 2018-07-30 | 流体処理システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020018955A true JP2020018955A (ja) | 2020-02-06 |
JP6967492B2 JP6967492B2 (ja) | 2021-11-17 |
Family
ID=69231485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018142302A Active JP6967492B2 (ja) | 2018-07-30 | 2018-07-30 | 流体処理システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11266969B2 (ja) |
JP (1) | JP6967492B2 (ja) |
WO (1) | WO2020026724A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220395768A1 (en) * | 2021-06-02 | 2022-12-15 | Donaldson Company, Inc. | Maintenance of hydrodynamic separators |
WO2024013323A1 (en) * | 2022-07-15 | 2024-01-18 | Lumicks Ca Holding B.V. | Systems and methods for cleaning microfluidic chips |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006527073A (ja) * | 2003-06-06 | 2006-11-30 | セルラー プロセス ケミストリー インコーポレイテッド | 拡張可能連続的生産システム |
JP2008080306A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Hitachi Ltd | 化学合成装置 |
JP2014161797A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 逆浸透膜装置及びその運転方法 |
JP2016087500A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 株式会社日立製作所 | 逆浸透処理システムおよび逆浸透処理方法 |
JP2017530096A (ja) * | 2014-08-15 | 2017-10-12 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | 有効医薬品原料を含む化学生成物を合成するためのシステムおよび方法 |
WO2018037922A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 住友重機械工業株式会社 | インクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008052168A2 (en) * | 2006-10-26 | 2008-05-02 | Symyx Technologies, Inc. | High pressure parallel fixed bed reactor and method |
EP3093054A1 (en) * | 2015-05-11 | 2016-11-16 | Pall Corporation | Fluid treatment module and assembly |
-
2018
- 2018-07-30 JP JP2018142302A patent/JP6967492B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-09 US US17/257,179 patent/US11266969B2/en active Active
- 2019-07-09 WO PCT/JP2019/027215 patent/WO2020026724A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006527073A (ja) * | 2003-06-06 | 2006-11-30 | セルラー プロセス ケミストリー インコーポレイテッド | 拡張可能連続的生産システム |
JP2008080306A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Hitachi Ltd | 化学合成装置 |
JP2014161797A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 逆浸透膜装置及びその運転方法 |
JP2017530096A (ja) * | 2014-08-15 | 2017-10-12 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | 有効医薬品原料を含む化学生成物を合成するためのシステムおよび方法 |
JP2016087500A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 株式会社日立製作所 | 逆浸透処理システムおよび逆浸透処理方法 |
WO2018037922A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 住友重機械工業株式会社 | インクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6967492B2 (ja) | 2021-11-17 |
US11266969B2 (en) | 2022-03-08 |
WO2020026724A1 (ja) | 2020-02-06 |
US20210121843A1 (en) | 2021-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6967492B2 (ja) | 流体処理システム | |
US20050067341A1 (en) | Continuous production membrane water treatment plant and method for operating same | |
KR102247220B1 (ko) | 직수식 정수기 | |
JP2009172459A (ja) | 処理液混合装置、基板処理装置および処理液混合方法並びに記憶媒体 | |
JP4739142B2 (ja) | 薬液処理装置及び薬液供給方法並びに薬液供給プログラム | |
US7527767B2 (en) | Micro-fluidic system with sensors respectively assigned to plural fluid paths | |
US20170001887A1 (en) | Fluid purification methods, devices, and systems | |
JP2011512917A (ja) | 流路制御用のバルブの制御方法及び装置 | |
CN111048437A (zh) | 温度控制系统和温度控制方法 | |
KR102601995B1 (ko) | 살균수를 공급하는 정수 장치 | |
JP6918600B2 (ja) | 処理液生成装置及びそれを用いた基板処理装置 | |
US11802062B2 (en) | Direct water purifier | |
JP2018026537A5 (ja) | ||
CN113013071B (zh) | 半导体工艺设备中的温度控制装置及方法 | |
KR20170133198A (ko) | 살균 기능을 지닌 정수 장치 | |
KR101169026B1 (ko) | 수질정보 기반 가압식 막의 운영모드 자동전환 장치 및 방법 | |
JP2007222849A (ja) | マイクロ化学反応システム | |
KR20100118323A (ko) | 자동역세척이 가능한 배관연결체 | |
US20200215491A1 (en) | Filtration device, filtration system, and filtration method | |
KR20170133199A (ko) | 살균수를 공급하는 정수 장치 | |
KR101049285B1 (ko) | 일정한 배출 유량을 갖는 여과 시스템 | |
JP7142963B2 (ja) | バルブユニット及び温度制御装置 | |
JP2015139734A (ja) | フィルター装置のフィルター交換方法、フィルター装置および多方向バルブ | |
JP4355867B2 (ja) | プール水の高度オゾン浄化装置 | |
KR101798325B1 (ko) | 공기스프링용 공기압 조정유닛 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190702 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211025 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6967492 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |