JP2015139734A - フィルター装置のフィルター交換方法、フィルター装置および多方向バルブ - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明はフィルター交換作業による時間ロスと通液作業の実施による薬液ロスが無いフィルター装置を提供することを課題とする。【解決手段】ウェットプロセスで使用される薬液や洗浄水などの液体の清浄化のために使用されるフィルター装置のフィルター交換方法であって、使用中のフィルターを新しいフィルターに交換する際に、前記フィルター装置に備えられているバルブの操作によって、使用中のフィルターと直列または並列に接続可能な配管系に、使用中のフィルターとは分離された形で新しいフィルターを装着する工程と、バルブの操作によって使用中のフィルターの上流部に直列に新しいフィルターを接続して通液する工程と、下流にある使用中のフィルターをバルブの操作によって配管系から分離することで、新しいフィルターだけに切り替える工程と、を備えてなることを特徴とするフィルター装置のフィルター交換方法。【選択図】図2
Description
半導体製造などの精密工業分野で使用されるウェットプロセスにて多用されている薬液などの清浄化のためのフィルター装置に関する。
ウェットプロセスで使用される薬液や洗浄水中の異物であるパーティクルなどを除去し清浄化するために、フィルターによる濾過が行われるが、フィルターは目詰まりや劣化により清浄化能力が低下するため、定期的に新しいものに交換し、清浄化能力を維持する必要がある。
また、フィルターは、使用初期に異物の除去能力が弱かったり、異物を通過させてしまう場合があり、高い清浄能力が求められる工程においては、新しく取り付けられたフィルターに実際に使用する薬液や純水などを異物が通過通しなくなるまで通す通液作業を行うのが一般的である。
この通液を行う際に通す薬液は異物によって汚れてしまうため、実際の製造時には使用できず無駄(薬液ロス)となる。薬液が高価であるほどコストアップの要因となる。
またフィルター交換作業と通液を行っている間は、装置を使用することができず時間ロスとなる。薬液ロスと時間ロスを低減するため通液専用のユニットを使用する場合も、通液用ユニットの薬液更新やメンテナンスのコストがかかり、またフィルターの着脱回数が増えるため作業負荷が大きくなるという問題がある。
開示されている技術の中には、上記の問題を同時に解決するための技術を見出すことはできなかった。例えば、特許文献1には、薬液槽の他に、薬液注入口または第2の薬液槽を薬液槽と並列に設けることで、フィルター交換時に薬液槽の薬液を純水に置換してからフィルター交換作業を行うという手間を必要としない薬液循環フィルターリングシステムが開示されているが、新しいフィルターの通液処理に要する薬液ロスの問題を解決していない。またフィルター交換時にはこの装置を停止しなければならないため、時間ロスの問題も残っている。特許文献2には、半導体ウェハのウェット洗浄装置に付随するフィルトレーション装置のフィルターとその上流側の配管系に廃液弁や薬液と純水の切替え弁を設置することで、薬液の交換後に異物密度増加する問題を解決する技術が開示されているが、薬液ロスや時間ロスとは課題が異なる。特許文献3には、半導体ウェハのウェット洗浄装置にフィルターとポンプを備えたラインを2系統保有することで、フィルター交換による時間ロスを無くす技術が開示されているが、薬液ロスの問題が残されている。特許文献4には、フィルターと熱交換器がユニット化された半導体処理用薬液循環装置が開示されているが、時間ロスや薬液ロスを解決する課題とは異なる。
上記の問題点に鑑み、本発明はフィルター交換作業による時間ロスと通液作業の実施による薬液ロスが無いフィルター装置を提供することを課題とする。
上記の課題を解決する手段として、請求項1に記載の発明は、液体の清浄化のために使用されるフィルター装置のフィルター交換方法であって、
使用中のフィルターを新しいフィルターに交換する際に、前記フィルター装置に備えられているバルブの操作によって、使用中のフィルターと接続可能な配管系に、使用中のフィルターとは分離された形で新しいフィルターを装着する工程と、
バルブの操作によって使用中のフィルターの上流部に直列に新しいフィルターを接続して通液処理する工程と、
下流にある使用中のフィルターをバルブの操作によって配管系から分離することで、新しいフィルターのみに切り替える工程と、を備えてなることを特徴とするフィルター装置のフィルター交換方法である。
使用中のフィルターを新しいフィルターに交換する際に、前記フィルター装置に備えられているバルブの操作によって、使用中のフィルターと接続可能な配管系に、使用中のフィルターとは分離された形で新しいフィルターを装着する工程と、
バルブの操作によって使用中のフィルターの上流部に直列に新しいフィルターを接続して通液処理する工程と、
下流にある使用中のフィルターをバルブの操作によって配管系から分離することで、新しいフィルターのみに切り替える工程と、を備えてなることを特徴とするフィルター装置のフィルター交換方法である。
また請求項2に記載の発明は、2つのストップバルブを順方向に直列に接続した構成を単位Aとして、単位Aを2つ並列接続した構成を単位Bとした時に、2つの単位Bを直列に接続した構成を具備したフィルター装置において、
一方の単位Bを構成する単位Aの2つのストップバルブの中間接続部と他方の単位Bを構成する単位Aの2つのストップバルブの中間接続部に渡って、前者の中間接続部から後者の中間接続部に向かって順方向にフィルターを接続し、
前記一方の単位Bを構成するもう一方の単位Aの2つのストップバルブの中間接続部と前記他方の単位Bを構成するもう一方の単位Aの2つのストップバルブ中間接続部に渡って、前者の中間接続部から後者の中間接続部に向かって順方向にもう1つのフィルターを接続したことを特徴とするフィルター装置である。
一方の単位Bを構成する単位Aの2つのストップバルブの中間接続部と他方の単位Bを構成する単位Aの2つのストップバルブの中間接続部に渡って、前者の中間接続部から後者の中間接続部に向かって順方向にフィルターを接続し、
前記一方の単位Bを構成するもう一方の単位Aの2つのストップバルブの中間接続部と前記他方の単位Bを構成するもう一方の単位Aの2つのストップバルブ中間接続部に渡って、前者の中間接続部から後者の中間接続部に向かって順方向にもう1つのフィルターを接続したことを特徴とするフィルター装置である。
また請求項3に記載の発明は、4回対称の位置に外部配管との接続部を備えた2つの多方向バルブa、bと2つのフィルターを備えてなり、
前記多方向バルブは、その回転軸を中心に、液体が流入する外部配管が接続される位置を0度とした時に、反時計回りまたは時計回りに0度と90度および180度と270度の位置にある前記外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接しており、
前記外部配管との接続部は、0度と90度と180度と270度の位置でのみ外部配管と接続可能であり、それ以外の位置では遮断され、
多方向バルブaの前記0度の位置にある外部配管との接続部が、液体が流入する外部配管と接続される場合は、多方向バルブbは、前記多方向バルブaが0度の位置から反時計回りに90度の位置に調整され、且つ180度の位置にある接続部が、液体が流出する外部配管に接続され、
前記多方向バルブaが反時計回りまたは時計回りに90度の位置で、液体が流入する外部配管に接続される場合は、前記多方向バルブbは0度の位置から反時計回りまたは時計回りに90度の位置を維持し、
前記多方向バルブbが反時計回りまたは時計回りに90度の位置で液体が流出する外部配管に接続される場合は、前記多方向バルブaは0度の位置から反時計回りまたは時計回りに90度の位置を維持する機構を備えており、
一方のフィルターは反時計回りまたは時計回りに多方向バルブaの0度と多方向バルブbの90度の位置にある外部配管との接続部に、多方向バルブaから多方向バルブbに向かう方向が順方向になるようにその外部配管との接続部が配置されてなり、
もう一方のフィルターは反時計回りまたは時計回りに多方向バルブaの270度と多方向バルブbの270度の位置にある外部配管との接続部に、多方向バルブaから多方向バ
ルブbに向かう方向が順方向になるようにその外部配管との接続部が配置されていることを特徴とするフィルター装置である。
前記多方向バルブは、その回転軸を中心に、液体が流入する外部配管が接続される位置を0度とした時に、反時計回りまたは時計回りに0度と90度および180度と270度の位置にある前記外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接しており、
前記外部配管との接続部は、0度と90度と180度と270度の位置でのみ外部配管と接続可能であり、それ以外の位置では遮断され、
多方向バルブaの前記0度の位置にある外部配管との接続部が、液体が流入する外部配管と接続される場合は、多方向バルブbは、前記多方向バルブaが0度の位置から反時計回りに90度の位置に調整され、且つ180度の位置にある接続部が、液体が流出する外部配管に接続され、
前記多方向バルブaが反時計回りまたは時計回りに90度の位置で、液体が流入する外部配管に接続される場合は、前記多方向バルブbは0度の位置から反時計回りまたは時計回りに90度の位置を維持し、
前記多方向バルブbが反時計回りまたは時計回りに90度の位置で液体が流出する外部配管に接続される場合は、前記多方向バルブaは0度の位置から反時計回りまたは時計回りに90度の位置を維持する機構を備えており、
一方のフィルターは反時計回りまたは時計回りに多方向バルブaの0度と多方向バルブbの90度の位置にある外部配管との接続部に、多方向バルブaから多方向バルブbに向かう方向が順方向になるようにその外部配管との接続部が配置されてなり、
もう一方のフィルターは反時計回りまたは時計回りに多方向バルブaの270度と多方向バルブbの270度の位置にある外部配管との接続部に、多方向バルブaから多方向バ
ルブbに向かう方向が順方向になるようにその外部配管との接続部が配置されていることを特徴とするフィルター装置である。
また請求項4に記載の発明は、10個の外部配管との接続部を備えた多方向バルブと2つのフィルターを備えてなり、
前記多方向バルブは、その回転軸を中心に、液体が流入する配管が前記多方向バルブと接続する位置を0度とした場合、反時計回りに0度と30度と60度と330度および120度と270度および210度と240度の位置にある前記多方向バルブの接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接しており、
前記外部配管との接続部は、0度と60度と150度と180度と300度の位置でのみ接続可能であり、それら以外では遮断されており、
前記2つのフィルターの一方は、前記多方向バルブの反時計回りに60度と150度の位置に、60度から150度の方向が順方向になるようにフィルターが接続されており、
もう一方のフィルターは、前記多方向バルブの反時計回りに210度と300度の位置に、300度から210度の方向が順方向になるようにフィルターが接続されてなり、
液体が流出する外部配管は、前記多方向バルブの反時計回りに180度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部と接続されていることを特徴とするフィルター装置である。
前記多方向バルブは、その回転軸を中心に、液体が流入する配管が前記多方向バルブと接続する位置を0度とした場合、反時計回りに0度と30度と60度と330度および120度と270度および210度と240度の位置にある前記多方向バルブの接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接しており、
前記外部配管との接続部は、0度と60度と150度と180度と300度の位置でのみ接続可能であり、それら以外では遮断されており、
前記2つのフィルターの一方は、前記多方向バルブの反時計回りに60度と150度の位置に、60度から150度の方向が順方向になるようにフィルターが接続されており、
もう一方のフィルターは、前記多方向バルブの反時計回りに210度と300度の位置に、300度から210度の方向が順方向になるようにフィルターが接続されてなり、
液体が流出する外部配管は、前記多方向バルブの反時計回りに180度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部と接続されていることを特徴とするフィルター装置である。
また請求項5に記載の発明は、請求項3に記載のフィルター装置で使用される多方向バルブであって、4回対称の位置に外部配管との接続部を備えてなり、
その回転軸を中心に、前記液が流入する外部配管と接続する位置を0度とした時に、反時計回りまたは時計回りに0度と90度および180度と270度の位置にある外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接していることを特徴とする多方向バルブである。
その回転軸を中心に、前記液が流入する外部配管と接続する位置を0度とした時に、反時計回りまたは時計回りに0度と90度および180度と270度の位置にある外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接していることを特徴とする多方向バルブである。
また請求項6に記載の発明は、請求項4に記載のフィルター装置で使用される多方向バルブであって、10個の外部配管との接続部を備えてなり、
前記液体が流入する外部配管が接続する位置を0度とした場合、反時計回りに0度と30度と60度と330度および120度と270度および210度と240度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接していることを特徴とする多方向バルブである。
前記液体が流入する外部配管が接続する位置を0度とした場合、反時計回りに0度と30度と60度と330度および120度と270度および210度と240度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接していることを特徴とする多方向バルブである。
新しいフィルターを取り付けた後に行う通液作業を、使用中のフィルターの上流でメインラインとして使用しながら行うことで、通液作業による薬液ロス、メインライン稼働時間ロスが発生しない。
また新しいフィルターの取り付け作業は、使用中のメインラインとつながっていない状態で実施し、使用済の古いフィルターの取り外し作業はメインラインから切り離した後に行うため、フィルターの交換作業によるメインラインの稼働時間ロスが発生しない。
図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。
本発明は、ウェとプロセスで使用される各種の薬液や洗浄水などの液体の清浄化のために使用されるフィルター装置において、使用中のフィルターを新しいフィルターに交換する方法およびその方法を実施するフィルター装置とそのフィルター装置に使用されるフィルター装置の配管を流れる液体を止めたり、流したりするバルブについてのものである。
本発明は、ウェとプロセスで使用される各種の薬液や洗浄水などの液体の清浄化のために使用されるフィルター装置において、使用中のフィルターを新しいフィルターに交換する方法およびその方法を実施するフィルター装置とそのフィルター装置に使用されるフィルター装置の配管を流れる液体を止めたり、流したりするバルブについてのものである。
具体的には、先ず使用中のフィルターを使用したまま、新しいフィルターを、バルブ操作によって、使用中のフィルターと分離した配管系に取り付け、次に、バルブ操作によって使用中のフィルターの配管系の上流部に、直列に、新しいフィルターを接続する。
このことにより、新しいフィルターの使用開始時にフィルターから発生する各種の異物を、下流にある使用中のフィルターが全て捕捉することが可能となる。このように、使用中のフィルターの上流部に新しいフィルターを直列に接続し、通液することによって、新しいフィルターから発生する異物を出し切る処理(通液処理)が終了し、正常にフィルター機能を果たすフィルターとして新しいフィルターが使用可能となる。
次に、バルブ操作によって、使用中だったフィルターを分離させると同時に、新しいフィルターだけでフィルターを行う形に液体の流れるルートを変更する。
以上の一連の操作によって、使用中のフィルターを新しいフィルターに、新しいフィルターからの異物発生や異物を通過してしまう不具合を引き起こすことなく、交換することが可能となる。
以上の一連の操作によって、使用中のフィルターを新しいフィルターに、新しいフィルターからの異物発生や異物を通過してしまう不具合を引き起こすことなく、交換することが可能となる。
以上の一連の操作を可能とする2つのフィルターと8個のストップバルブからなるフィルター装置を図1に示す。
ここで2個のストップバルブをフィルターの順方向に直列に接続した構成を単位Aとする。この単位Aを順方向に揃えて、並列接続した構成を単位Bとする。この単位Bを順方向に、直列接続した構成において、液体が流入する外部配管20に近い単位Bを構成する1つの単位Aはストップバルブ1とストップバルブ3が、液体が流れる方向に順方向に直列に接続されている。もう一方の単位Aはストップバルブ2とストップバルブ4が、液体が流れる方向に順方向に接続されている。
ここで2個のストップバルブをフィルターの順方向に直列に接続した構成を単位Aとする。この単位Aを順方向に揃えて、並列接続した構成を単位Bとする。この単位Bを順方向に、直列接続した構成において、液体が流入する外部配管20に近い単位Bを構成する1つの単位Aはストップバルブ1とストップバルブ3が、液体が流れる方向に順方向に直列に接続されている。もう一方の単位Aはストップバルブ2とストップバルブ4が、液体が流れる方向に順方向に接続されている。
一方、液体が流出する外部配管21に近い単位Bを構成する1つの単位Aは、ストップバルブ5とストップバルブ7が直列に接続されている。またもう一方の単位Aは、ストップバルブ6とストップバルブ8が、液体が流れる方向に順方向に接続されている。
このような構成の中で、1つのフィルターは、ストップバルブ1とストップバルブ3の中間部と、ストップバルブ5とストップバルブ7の中間部をまたぐ形で、液体が流れる方向を順方向にして接続されている。
また、もう一方のフィルターは、ストップバルブ2とストップバルブ4の中間部とストップバルブ6とストップバルブ8の中間部をまたぐ形で、液体が流れる方向を順方向にして接続されている。
また、液体が流入する外部配管20は、ストップバルブ1とストップバルブ2をつなぐ配管の中間部に接続されている。
また、ストップバルブ3とストップバルブ4をつなぐ配管の中間部とストップバルブと5ストップバルブ6をつなぐ配管の中間部は、両者をつなぐ配管によって接続されている。
この構成の中で、フィルターF1は、ストップバルブ1とストップバルブ3をつなぐ配管の中間部とストップバルブ5とストップバルブ7をつなぐ配管の中間部をまたぐ形で、ストップバルブ3側からストップバルブ5側に向かう方向を順方向にして接続されている。また、フィルターF2は、ストップバルブ2とストップバルブ4をつなぐ配管の中間部とストップバルブ6とストップバルブ8をつなぐ配管の中間部をまたぐ形で、ストップバルブ4側からストップバルブ6側に向かう方向を順方向にして、接続されている。
次に、この構成のフィルター装置におけるフィルターの交換方法について図2を用いて説明する。
図2(1)は、フィルターF1が使用されている状況を示している。液体が流入する外部配管20から液体が流入してくると、ストップバルブ1が開いており、ストップバルブ2とストップバルブ3が閉じているため、フィルターF1に液体が到達する。液体がフィルターF1を通り抜けると、ストップバルブ5とストップバルブ8が閉じており、ストップバルブ7が開いているため、液体は液体が流出する外部配管21に到達し、フィルター装置10から出て行く。これがフィルターF1のみを使用中の構成である。この構成では、ストップバルブ2、3、5、8が閉じているため、フィルターF2はフィルターF1が接続されている配管系から分離される。ストップバルブ4、6は開いている場合を示したが、閉じていても良い。この状態でフィルターF2に新しいフィルターを取り付けることができる。
図2(1)は、フィルターF1が使用されている状況を示している。液体が流入する外部配管20から液体が流入してくると、ストップバルブ1が開いており、ストップバルブ2とストップバルブ3が閉じているため、フィルターF1に液体が到達する。液体がフィルターF1を通り抜けると、ストップバルブ5とストップバルブ8が閉じており、ストップバルブ7が開いているため、液体は液体が流出する外部配管21に到達し、フィルター装置10から出て行く。これがフィルターF1のみを使用中の構成である。この構成では、ストップバルブ2、3、5、8が閉じているため、フィルターF2はフィルターF1が接続されている配管系から分離される。ストップバルブ4、6は開いている場合を示したが、閉じていても良い。この状態でフィルターF2に新しいフィルターを取り付けることができる。
次に、図2(2)は、フィルターF2を取り付けた後、フィルターF1と直列に接続し、且つフィルターF1の上流部にフィルターF2を配置するために、ストップバルブ1、4を閉じ、ストップバルブ2、3を開いた状態を示している。この構成によって、液体が流入する外部配管20から流入した液体は、ストップバルブ2を通り、フィルターF2を通ってストップバルブ6、3を通り、フィルターF1に到達し、ストップバルブ7を通って液体が流出する外部配管21へと至る。
この構成では、新しく取り付けたフィルターF2からは、当初、異物が発生するが、配管を通ってフィルターF1に至り、そこで捕捉されるため、フィルター装置10の外部に異物が流出することは無い。この状態を、新しいフィルターに液体を通すという意味で、通液または通液処理と称する。通液処理によりフィルターF2からの異物が発生しなくなったら、フィルターF2のみに切り替えることが可能となる。例えば、フィルターを通った液体の流量や使用時間の積算量がある設定値に到達すると、アラームを発してフィルターの交換を行う方法を採用することが可能である。またフィルターの汚れ具合を各種のセンサーでモニターし、フィルターの交換時期を知らせることも可能である。いずれの方法も、経験的または実験的に得たデータに基づいて、安全係数を考慮してアラームを発する設定値を決めることが可能である。
図2(3)は、フィルターF2の通液処理が完了し、フィルターF2のみでフィルター装置を稼動させている状態を示している。ストップバルブ6、7を閉じることで、フィルターF1はフィルターF2と分離され独立した状態となっている。この状態で、フィルターF1を取り外し、新しいフィルターに交換可能である。ここでストップバルブ3、5は開いた構成としているが、閉じていても良い。
以上の繰り返しにより、新しいフィルターに交換する際に、フィルター装置10を止める必要が無く、且つ新しく取り付けたフィルターをそれまで使用していたフィルターの上流部に接続して通液処理することにより、時間的なロスや薬液のロスを低減することが可能である。
以上の繰り返しにより、新しいフィルターに交換する際に、フィルター装置10を止める必要が無く、且つ新しく取り付けたフィルターをそれまで使用していたフィルターの上流部に接続して通液処理することにより、時間的なロスや薬液のロスを低減することが可能である。
次に、フィルター装置としての機能は同じであるが、多方向バルブを用いてバルブの数を低減した構成について図3と図4を用いて説明する。ここで、多方向バルブについて説明する。前記のストップバルブは、入口側と出口側にそれぞれ外部配管が接続され、そこを流れる液体などを流したり、止めたりすることができるバルブを指している。これに対して、多方向バルブは、3つ以上の外部配管との接続部を持ち、予め任意に設定した位置にある外部配管との接続状態を、一斉に変えることができるバルブを指している。
図3は、2つのフィルターと2つの多方向バルブを用いたフィルター装置30を示している。図3で示した多方向バルブは、4回対称の位置に外部配管との接続部を備えたもので、それ以外の位置には外部配管との接続部を持たず、その位置では外部配管を遮断する機能を持つものである。図3に示した多方向バルブaは、液体が流入する外部配管20と接続する外部配管との接続部を基準(0度)にして、反時計回りに、90度と180度と270度の位置に外部配管との接続部を持つ。これら以外の位置では、外部配管は遮断される。この多方向バルブaは図3においては、0度と270度および90度と180度の位置にある外部配管との接続部は、多方向バルブaの内部でそれぞれ連接している例を示している。図3に示した構成は、液体が流入する外部配管20が多方向バルブaの0度の位置にある外部配管との接続部と接続し、且つフィルターF2は多方向バルブaの270度の位置にある外部配管との接続部と接続している状態を示している。また、フィルターF1は、多方向バルブaの90度の位置にある外部配管との接続部と多方向バルブbの90度の位置にある外部配管との接続部と接続している。
図3は、2つのフィルターと2つの多方向バルブを用いたフィルター装置30を示している。図3で示した多方向バルブは、4回対称の位置に外部配管との接続部を備えたもので、それ以外の位置には外部配管との接続部を持たず、その位置では外部配管を遮断する機能を持つものである。図3に示した多方向バルブaは、液体が流入する外部配管20と接続する外部配管との接続部を基準(0度)にして、反時計回りに、90度と180度と270度の位置に外部配管との接続部を持つ。これら以外の位置では、外部配管は遮断される。この多方向バルブaは図3においては、0度と270度および90度と180度の位置にある外部配管との接続部は、多方向バルブaの内部でそれぞれ連接している例を示している。図3に示した構成は、液体が流入する外部配管20が多方向バルブaの0度の位置にある外部配管との接続部と接続し、且つフィルターF2は多方向バルブaの270度の位置にある外部配管との接続部と接続している状態を示している。また、フィルターF1は、多方向バルブaの90度の位置にある外部配管との接続部と多方向バルブbの90度の位置にある外部配管との接続部と接続している。
また、多方向バルブaの180度の位置にある外部配管との接続部と多方向バルブbの0度の位置にある外部配管との接続部は、配管により接続された状態である。この状態は、フィルターF1とフィルターF2が直列に接続され、且つフィルターF2はフィルターF1の上流部に配置されている状態を例として示している。これらの多方向バルブa、bは自在に回転可能であり、また、相互にある角度をもって連動させることが可能である。また、回転の位置が0度、90度、180度、270度以外の位置では、液体は流れることはできず、遮断される。また、回転によって、外部配管と多方向バルブa、bの相対的な位置関係は変化するが、多方向バルブa、bの外部配管との接続部の相対的な位置関係は変わらない。
次に図4を用いて、この多方向バルブa、bと2つのフィルターF1、F2から構成されるフィルター装置30の動作について説明する。
図4(1)は、フィルターF1のみに液体が流れている構成である。この構成にするために、多方向バルブaは、図3で示した位置から反時計回りに90度回転した状態で、外部配管との接続部が配置されている。すなわち、外部配管との接続部が0度、90度、180度、270度の位置にあり、液体が流入する外部配管20の位置にある外部配管との接続部a1を基準とし、0度の位置にあるとする。0度と90度の位置にある外部配管との接続部a1、a2は、多方向バルブaの内部で連接しており、且つ180度と270度の位置にある外部配管との接続部a3、a4が、多方向バルブaの内部で連接しており、それらは互いに独立している。
図4(1)は、フィルターF1のみに液体が流れている構成である。この構成にするために、多方向バルブaは、図3で示した位置から反時計回りに90度回転した状態で、外部配管との接続部が配置されている。すなわち、外部配管との接続部が0度、90度、180度、270度の位置にあり、液体が流入する外部配管20の位置にある外部配管との接続部a1を基準とし、0度の位置にあるとする。0度と90度の位置にある外部配管との接続部a1、a2は、多方向バルブaの内部で連接しており、且つ180度と270度の位置にある外部配管との接続部a3、a4が、多方向バルブaの内部で連接しており、それらは互いに独立している。
また、多方向バルブbは、多方向バルブaが反時計回りに90度回転した状態にある。多方向バルブaとbを区別するために、多方向バルブaでは、0度の位置にある外部配管との接続部をa1、90度の位置にある外部配管との接続部をa2、180度の位置にある外部配管との接続部をa3、270度の位置にある外部配管との接続部をa4とすると、図4(1)に示すように、多方向バルブbは、多方向バルブaを反時計回りに90度回転した配置関係となる。ここで多方向バルブbの外部配管との接続部b1、b2、b3、b4は、多方向バルブaの外部配管との接続部a1、a2、a3、a4と同じ配置関係にあるとする。なお、この4回対称の位置に外部配管との接続部を持つ多方向バルブでは、90度刻みの反時計回りと時計回りは、同じ状況になる。
フィルターF1は、多方向バルブaの90度の位置にある外部配管との接続部a2と接続しており、もう一方は、多方向バルブbの外部配管との接続部b1と接続している。フィルターF2は、多方向バルブaとは外部配管との接続部a4と、多方向バルブbとは外部配管との接続部b3と接続されているが、フィルターF1が接続されている配管系とは分離され、独立している。
ここで、フィルターF1については、外部配管との接続部a2から外部配管との接続部b1に向かう方向が順方向になるようにフィルターF1を接続する。フィルターF2は、外部配管との接続部a4から外部配管との接続部b3に向かう方向が順方向になるようにフィルターF2を接続する。図4(1)の状態で、フィルターF2に新しいフィルターを取り付けることができる。
次に図4(2)は、フィルターF2とフィルターF1を直列に接続し、且つフィルターF2がフィルターF1の上流に配置した構成を示している。この構成は、多方向バルブbを図4(1)のままにして、多方向バルブaを反時計回りに90度回転させた状態である。こうすることにより、液体が流入する外部配管20と外部配管との接続部a4が接続し、外部配管との接続部a3が多方向バルブaの内部で外部配管との接続部a4と連接しているため、液体はフィルターF2の上流側に流れ込む。外部配管との接続部b3はフィルターF2の下流側に接続されたままであり、外部配管との接続部b4に液体が流れ、外部配管との接続部a2とa1を通って、フィルターF1に液体が流れる。最後に液体は外部配管との接続部b1からb2を通って、液体が流出する外部配管21から流出する。
この操作を通液または通液処理と称する。新しく取り付けられた当初は、フィルターF2からは異物などが液体中に出てくるが、下流にあるフィルターF1によって捕捉される。こうして新しく取り付けたフィルターF2にある時間、液体を通すことによって、異物が次第に発生しなくなり、本来のフィルターとして機能するようになる。フィルターを使用する際には、この通液処理を必ず実施しなければならず、本発明によって、薬液のロスと時間ロスを著しく低減することが可能となる。
次に、図4(3)は、フィルターF2のみに液体が流れている構成である。この構成にするために、多方向バルブaは図4(2)の状態を維持し、多方向バルブbは、図4(2)の状態から時計回りに90度回転した状態に配置されている。この様にすることで、フィルターF1は、フィルターF2が接続された配管系から分離され、独立した状態になり、新しいフィルターに交換可能となる。
このようにして、本発明のフィルター装置30に取り付けられた新しいフィルターであったフィルターF2は、通液処理を実施後、フィルターF1と直列接続していた状態から、フィルターF1が分離され、フィルターF2だけがフィルターとして稼動する状態に移行することができ、新しいフィルターへの交換が完了する。
また同時に、今度はフィルターF1を取り外し、新しいフィルターに交換することができる状態となる。このことを繰り返すことにより、フィルター装置30を止めることなく、また薬液の損失も最低限に抑制しながら、新しいフィルターの通液処理を実施し、新しいフィルターへの切り替えが可能となる。
次に図5を用いて、1つの多方向バルブcと2つのフィルターF1、F2から構成されるフィルター装置40について説明する。
多方向バルブcは、10個の外部配管との接続部を備えている。図5は、液体が流入する外部配管20から液体が流入し、フィルターF2を通ってからフィルターF1を通り、液体が流出する外部配管21に至り、流出する構成を示している。この構成における多方向バルブcの10個の外部配管との接続部の配置と構成について説明する。
多方向バルブcは、10個の外部配管との接続部を備えている。図5は、液体が流入する外部配管20から液体が流入し、フィルターF2を通ってからフィルターF1を通り、液体が流出する外部配管21に至り、流出する構成を示している。この構成における多方向バルブcの10個の外部配管との接続部の配置と構成について説明する。
まず、液体が流入する外部配管20の位置を基準(0度)とし、そこに接続する多方向バルブcの外部配管との接続部をc1とすると、c1から反時計回りに60度の位置にc2、90度の位置にc3、120度の位置にc4、150度の位置にc5、180度の位置にc6、210度の位置にc7、270度の位置にc8、300度の位置にc9、330度の位置にc10、がそれぞれ設けられている。
また、c1とc8とc9とc10は多方向バルブcの内部で連接されている。また、c2とc7が多方向バルブcの内部で連接されている。またc3とc4が多方向バルブcの内部で連接されている。またc5とc6が多方向バルブcの内部で連接されている。これらの位置以外では、フィルターF1、F2および液体が流入する外部配管20および液体が流出する外部配管21は、多方向バルブcによって遮断される。またこれらの外部配管との接続部は、多方向バルブcの回転によって、外部配管との接続部と外部配管との位置関係は変化するが、各外部配管との接続部の相互の位置関係は変わらない。
このことから、多方向バルブcにおいて、液体が流入する外部配管20と多方向バルブcの外部配管との接続部c1が接続されている時は、フィルターF2の上流側が外部配管との接続部c9と接合され、外部配管との接続部c7がフィルターF2の下流側と接合され、フィルターF1の下流側が外部配管との接続部c5と接合され、フィルターF1の上流側が外部配管との接続部c2と接合される。また、外部配管との接続部c2とc7は多方向バルブcの内部で連接され、直結している。この場合は、フィルターF2とF1は直列に接続され、且つフィルターF2がF1の上流に配置された構成となる。
次に、図6(1)〜(3)を用いてフィルター装置40の動作について説明する。
図6(1)は、フィルターF1にのみ液体を流す構成を示している。多方向バルブcの外部配管との接続部c9が、液体が流入する外部配管20に接続されており、液体は内部で連接されている外部配管との接続部c1を通ってフィルターF1に至り、外部配管との接続部c3を通って、内部で連接されている外部配管との接続部c4を経由して、液体が流出する外部配管21に至り、フィルター装置40から排出される。この時、フィルターF2は多方向バルブc7とc5に接続しており、フィルターF1が接続されている配管系とは分離し、独立した状態にある。そのため、フィルターF2は新しいフィルターと交換することができる。
図6(1)は、フィルターF1にのみ液体を流す構成を示している。多方向バルブcの外部配管との接続部c9が、液体が流入する外部配管20に接続されており、液体は内部で連接されている外部配管との接続部c1を通ってフィルターF1に至り、外部配管との接続部c3を通って、内部で連接されている外部配管との接続部c4を経由して、液体が流出する外部配管21に至り、フィルター装置40から排出される。この時、フィルターF2は多方向バルブc7とc5に接続しており、フィルターF1が接続されている配管系とは分離し、独立した状態にある。そのため、フィルターF2は新しいフィルターと交換することができる。
なお、この状態では、多方向バルブcの外部配管との接続部c23F、c7、c8、c
10はどの外部配管とも接続されておらず、遮断されている。また、フィルターF2の上流側も多方向バルブcによって遮断され、異物などが入り込まないようになっている。
10はどの外部配管とも接続されておらず、遮断されている。また、フィルターF2の上流側も多方向バルブcによって遮断され、異物などが入り込まないようになっている。
次に、図6(2)は、図5で説明したのと同じ構成である。新しいフィルターが取り付けられたフィルターF2とフィルターとして稼動中のフィルターF1を直列に接続し、且つフィルターF2を上流に設置するため、多方向バルブcを時計回りに60度回転することにより、外部配管との接続部c1は液体が流入する外部配管20に接続し、外部配管との接続部c9はフィルターF2の上流側に接続し、外部配管との接続部c7はフィルターF2の下流側に接続し、外部配管との接続部c7と内部で連接している外部配管との接続部c2はフィルターF1の上流側と接続し、フィルターF1の下流側は外部配管との接続部c5と接続し、外部配管との接続部c5と内部で連接している外部配管との接続部c6は液体が流出する外部配管21と接続している。この構成では、外部配管との接続部c3、c4、c7、c8、c10はどの外部配管とも接続しておらず、遮断されている。
この状態で、新しく接続されたフィルターF2からは、当初、異物などが発生し、配管系の下流に流れて行くが、下流に設置されているフィルターF1によって濾過される結果、フィルター装置40の外部に異物などが出て行くことは無い。ある時間以上、この通液処理を行うと、フィルターF2から異物などの発生は無くなり、通液処理が完了する。
次に、図6(3)は、フィルターF2のみに液体を流す構成を示している。通液処理が終わったフィルターF2を単独で稼動させ、フィルターF1を配管系から分離し、独立させることによって、新しいフィルターに交換可能とするため、図6(2)の状態から、多方向バルブcを反時計回りに30度回転した状態である。
この構成では、液体が流入する外部配管20と多方向バルブcの外部配管との接続部c10が接続し、外部配管との接続部c10が内部で連接している外部配管との接続部c8がフィルターF2の上流側と接続し、フィルターF2の下流側と外部配管との接続部c6が接続し、外部配管との接続部c6と内部で連接している外部配管との接続部c5が、液体が流出する外部配管21と接続している。
こうすることで、フィルターF2のみに液体が流れる状態となり、フィルターF1からフィルターF2への交換が完了する。なお、外部配管との接続部のうち、どの外部配管とも接続していない外部配管との接続部c1、c2、c3、c7、c9は遮断されている。また、フィルターF1の上流側も多方向バルブcによって遮断され、外部から異物などが入り込まない様になっている。
以上に説明したように、本発明のフィルター装置は、フィルター装置を停止することなく、稼動させたまま、使用中のフィルターから新しいフィルターの通液処理も実施して、交換が可能である。
図7は、本発明のフィルター装置の動作の一例を示すフロー図である。まずフィルターF2ラインを閉めた状態で、フィルターF1のみを使用している状態からスタートし、フィルターF2における積算流量が積算流量1に到達した時点で、アラームを発し、フィルターF2の交換指示を出す。この交換指示に従って、フィルターF2を交換する。交換しない場合は、アラームを出し続ける。積算流量が積算流量2に到達した時点で、ラインを停止する。一方、フィルターF1の積算流量が積算流量2に到達した場合、フィルターF2の通液処理を開始する。設定した通液積算量に到達した場合、フィルターF1ラインを閉め、フィルターF2のみを使用する状態に切り替える。
図8は、従来のフィルター装置の稼動ロス時間、薬液ロスの一例を示す説明図である。
この例は、フィルター装置がフィルターを1つ備えている場合である。フィルターが1つしかない場合は、フィルターを使用し、積算流量がある値に達した時点で、フィルター装置を停止し、新しいフィルターに交換する。この交換作業にかかる時間が稼動ロス時間となる。その後、通液処理を行う。通液処理にかかる時間も稼動ロス時間となる。また通液処理に使用する薬液は生産に使用できないため、薬液ロスとなる。
この例は、フィルター装置がフィルターを1つ備えている場合である。フィルターが1つしかない場合は、フィルターを使用し、積算流量がある値に達した時点で、フィルター装置を停止し、新しいフィルターに交換する。この交換作業にかかる時間が稼動ロス時間となる。その後、通液処理を行う。通液処理にかかる時間も稼動ロス時間となる。また通液処理に使用する薬液は生産に使用できないため、薬液ロスとなる。
図9は、本発明のフィルター装置の稼動ロス時間、薬液ロスの一例を示す説明図である。この例は、フィルター装置が2つのフィルターF1、F2を備えている例である。フィルターF1を使用している間に、フィルターF2を新しいフィルターに交換する。またフィルターF1の稼動時間の中で、フィルターF2の通液処理を実施し、フィルターF2に切り替える。通液処理は、フィルターF1の上流に直列にフィルターF2を接続して実施する。また、切り替えたフィルターF2を使用中に、フィルターF1を新しいフィルターに交換し、通液処理を行う。以上のことで、稼動ロス時間と薬液ロスを無くすことが可能となる。
1〜8・・・ストップバルブ
10、30、40・・・フィルター装置
20・・・液体が流入する外部配管
21・・・液体が流出する外部配管
a、b・・・多方向バルブ
a1・・・多方向バルブaの基準とする外部配管との接続部
a2・・・外部配管との接続部a1から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部a1と多方向バルブaの内部で連接している。
a3・・・外部配管との接続部a1から反時計回りに180度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部a4と多方向バルブaの内部で連接している。
a4・・・外部配管との接続部a1から反時計回りに270度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部a3と多方向バルブaの内部で連接している。
b1・・・多方向バルブbの基準とする外部配管との接続部
b2・・・外部配管との接続部b1から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部b1と多方向バルブbの内部で連接している。
b3・・・外部配管との接続部b2から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部b4と多方向バルブbの内部で連接している。
b4・・・外部配管との接続部b3から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部b3と多方向バルブbの内部で連接している。
c・・・多方向バルブ
c1・・・多方向バルブcの基準とする外部配管との接続部で、外部配管との接続部c8、c9、c10と多方向バルブcの内部で連接している。
c2・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに60度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c7と多方向バルブcの内部で連接している。
c3・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c4と多方向バルブcの内部で連接している。
c4・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに120度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c3と多方向バルブcの内部で連接している。
c5・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに150度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c6と多方向バルブcの内部で連接している。
c6・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに180度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c5と多方向バルブcの内部で連接している。
c7・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに210度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c2と多方向バルブcの内部で連接している。
c8・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに270度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c9、c10、c1と多方向バルブcの内部で連接している。
c9・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに300度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c9、c10、c1と多方向バルブcの内部で連接している。
c10・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに330度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c9、c10、c1と多方向バルブcの内部で連接している。
F1、F2・・・フィルター
10、30、40・・・フィルター装置
20・・・液体が流入する外部配管
21・・・液体が流出する外部配管
a、b・・・多方向バルブ
a1・・・多方向バルブaの基準とする外部配管との接続部
a2・・・外部配管との接続部a1から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部a1と多方向バルブaの内部で連接している。
a3・・・外部配管との接続部a1から反時計回りに180度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部a4と多方向バルブaの内部で連接している。
a4・・・外部配管との接続部a1から反時計回りに270度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部a3と多方向バルブaの内部で連接している。
b1・・・多方向バルブbの基準とする外部配管との接続部
b2・・・外部配管との接続部b1から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部b1と多方向バルブbの内部で連接している。
b3・・・外部配管との接続部b2から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部b4と多方向バルブbの内部で連接している。
b4・・・外部配管との接続部b3から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部b3と多方向バルブbの内部で連接している。
c・・・多方向バルブ
c1・・・多方向バルブcの基準とする外部配管との接続部で、外部配管との接続部c8、c9、c10と多方向バルブcの内部で連接している。
c2・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに60度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c7と多方向バルブcの内部で連接している。
c3・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに90度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c4と多方向バルブcの内部で連接している。
c4・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに120度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c3と多方向バルブcの内部で連接している。
c5・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに150度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c6と多方向バルブcの内部で連接している。
c6・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに180度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c5と多方向バルブcの内部で連接している。
c7・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに210度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c2と多方向バルブcの内部で連接している。
c8・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに270度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c9、c10、c1と多方向バルブcの内部で連接している。
c9・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに300度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c9、c10、c1と多方向バルブcの内部で連接している。
c10・・・外部配管との接続部c1から反時計回りに330度の位置にある外部配管との接続部で、外部配管との接続部c9、c10、c1と多方向バルブcの内部で連接している。
F1、F2・・・フィルター
Claims (6)
- 液体の清浄化のために使用されるフィルター装置のフィルター交換方法であって、
使用中のフィルターを新しいフィルターに交換する際に、前記フィルター装置に備えられているバルブの操作によって、使用中のフィルターと接続可能な配管系に、使用中のフィルターとは分離された形で新しいフィルターを装着する工程と、
バルブの操作によって使用中のフィルターの上流部に直列に新しいフィルターを接続して通液処理する工程と、
下流にある使用中のフィルターをバルブの操作によって配管系から分離することで、新しいフィルターのみに切り替える工程と、を備えてなることを特徴とするフィルター装置のフィルター交換方法。 - 2つのストップバルブを順方向に直列に接続した構成を単位Aとして、単位Aを2つ並列接続した構成を単位Bとした時に、2つの単位Bを直列に接続した構成を具備したフィルター装置において、
一方の単位Bを構成する単位Aの2つのストップバルブの中間接続部と他方の単位Bを構成する単位Aの2つのストップバルブの中間接続部に渡って、前者の中間接続部から後者の中間接続部に向かって順方向にフィルターを接続し、
前記一方の単位Bを構成するもう一方の単位Aの2つのストップバルブの中間接続部と前記他方の単位Bを構成するもう一方の単位Aの2つのストップバルブ中間接続部に渡って、前者の中間接続部から後者の中間接続部に向かって順方向にもう1つのフィルターを接続したことを特徴とするフィルター装置。 - 4回対称の位置に外部配管との接続部を備えた2つの多方向バルブa、bと2つのフィルターを備えてなり、
前記多方向バルブは、その回転軸を中心に、液体が流入する外部配管が接続される位置を0度とした時に、反時計回りまたは時計回りに0度と90度および180度と270度の位置にある前記外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接しており、
前記外部配管との接続部は、0度と90度と180度と270度の位置でのみ外部配管と接続可能であり、それ以外の位置では遮断され、
多方向バルブaの前記0度の位置にある外部配管との接続部が、液体が流入する外部配管と接続される場合は、多方向バルブbは、前記多方向バルブaが0度の位置から反時計回りに90度の位置に調整され、且つ180度の位置にある外部配管との接続部が、液体が流出する外部配管に接続され、
前記多方向バルブaが反時計回りまたは時計回りに90度の位置で、液体が流入する外部配管に接続される場合は、前記多方向バルブbは0度の位置から反時計回りまたは時計回りに90度の位置を維持し、
前記多方向バルブbが反時計回りまたは時計回りに90度の位置で液体が流出する外部配管に接続される場合は、前記多方向バルブaは0度の位置から反時計回りまたは時計回りに90度の位置を維持する機構を備えており、
一方のフィルターは反時計回りまたは時計回りに多方向バルブaの0度と多方向バルブbの90度の位置にある外部配管との接続部に、多方向バルブaから多方向バルブbに向かう方向が順方向になるようにその外部配管との接続部が配置されてなり、
もう一方のフィルターは反時計回りまたは時計回りに多方向バルブaの270度と多方向バルブbの270度の位置にある外部配管との接続部に、多方向バルブaから多方向バルブbに向かう方向が順方向になるようにその外部配管との接続部が配置されていることを特徴とするフィルター装置。 - 10個の外部配管との接続部を備えた多方向バルブと2つのフィルターを備えてなり、
前記多方向バルブは、その回転軸を中心に、液体が流入する配管が前記多方向バルブと接続する位置を0度とした場合、反時計回りに0度と30度と60度と330度および120度と270度および210度と240度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接しており、
前記外部配管との接続部は、0度と60度と150度と180度と300度の位置でのみ接続可能であり、それら以外では遮断されており、
前記2つのフィルターの一方は、前記多方向バルブの反時計回りに60度と150度の位置に、60度から150度の方向が順方向になるようにフィルターが接続されており、
もう一方のフィルターは、前記多方向バルブの反時計回りに210度と300度の位置に、300度から210度の方向が順方向になるようにフィルターが接続されてなり、
液体が流出する外部配管は、前記多方向バルブの反時計回りに180度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部と接続されていることを特徴とするフィルター装置。 - 請求項3に記載のフィルター装置で使用される多方向バルブであって、4回対称の位置に外部配管との接続部を備えてなり、
その回転軸を中心に、前記液が流入する外部配管と接続する位置を0度とした時に、反時計回りまたは時計回りに0度と90度および180度と270度の位置にある外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接していることを特徴とする多方向バルブ。 - 請求項4に記載のフィルター装置で使用される多方向バルブであって、10個の外部配管との接続部を備えてなり、
その回転軸を中心に、前記液体が流入する外部配管が接続する位置を0度とした場合、反時計回りに0度と30度と60度と330度および120度と270度および210度と240度の位置にある前記多方向バルブの外部配管との接続部が、それぞれ前記多方向バルブの内部で連接していることを特徴とする多方向バルブ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017144427A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 王子ホールディングス株式会社 | 水処理装置、水処理方法、廃棄物固形燃料の生産方法および処理水の製造方法 |
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-
2014
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