JP6918600B2 - 処理液生成装置及びそれを用いた基板処理装置 - Google Patents
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Description
11a 第1供給タンク
11b 第2供給タンク
12a 上流側第1バルブ群
12b 上流側第2バルブ群
13a 下流側第1バルブ群
13b 下流側第2バルブ群
14a、14b、15a、15b 積算流量計
16a、16b、17a、17b 調整バルブ
18a 第1ポンプ
18b 第2ポンプ
19a、19b 開閉バルブ
20a 第1濃度計測部
20b 第2濃度計測部
21、22、23、24 三方バルブ
30 制御ユニット
31a、31b、32a、32b、33a、33b、34a、34b、35a、35b 駆動回路
100 スピン装置
120a、130a 第1バルブ機構
120b、130b 第2バルブ機構
122a、132a 第3バルブ機構
122b、132b 第4バルブ機構
201a 第1濃度計
201b 第2濃度計
P1 第1処理液路(第1循環液路)
P2 第2処理液路(第2循環液路)
Pc1 第1校正液路
Pc2 第2校正液路
Claims (11)
- 濃度計での測定濃度に基づいて濃度の調整がなされた処理液を生成する処理液生成装置であって、
前記処理液の濃度を調整する処理液調整部と、
処理液を、前記処理液調整部に流す第1処理液路と、
処理液を、前記処理液調整部に流す第2処理液路と、
前記第1処理液路を流れる前記処理液の濃度であって、前記処理液調整部での濃度調整に係る成分の濃度を測定する第1濃度計と、
前記第2処理液路を流れる前記処理液の濃度であって、前記第1濃度計により濃度測定されるべき、前記処理液調整部での濃度調整に係る成分の濃度を測定する第2濃度計と、
前記第1処理液路の開閉を行う第1バルブ機構と、
前記第2処理液路の開閉を行う第2バルブ機構と、を有し、
前記第1濃度計と前記第2濃度計とは、異なる測定原理によって前記処理液の濃度を測定する処理液生成装置。 - 前記第1処理液路は、前記処理液を、前記処理液調整部から前記第1濃度計を通って前記処理液調整部に戻す第1循環液路を含み、
前記第2処理液路は、前記処理液を、前記処理液調整部から前記第2濃度計を通って前記処理液調整部に戻す第2循環液路を含む請求項1記載の処理液生成装置。 - 前記第1濃度計に濃度が既知である校正液を流す第1校正液路と、
前記第2濃度計に濃度が既知である校正液を流す第2校正液路と、
前記第1校正液路を開閉する第3バルブ機構と、
前記第2校正液路を開閉する第4バルブ機構と、
を有する請求項1または2記載の処理液生成装置。 - 前記第1濃度計から得られた第1測定濃度と前記第2濃度計から得られた第2測定濃度とに基づいて前記第1バルブ機構及び前記第2バルブ機構の動作を制御する処理液用バルブ制御部を有する請求項1または2記載の処理液生成装置。
- 前記処理液用バルブ制御部は、前記第1測定濃度及び前記第2測定濃度のうちの少なくとも第1測定濃度に基づいて、前記第1濃度計が正常であるか否かを判定する第1判定部と、
前記第1判定部により前記第1濃度計が正常でないと判定されたときに、前記第1バルブ機構を前記第1処理液路が閉状態となるように制御する第1バルブ制御部と、
を有する請求項4記載の処理液生成装置。 - 前記処理液用バルブ制御部は、前記第1測定濃度及び前記第2測定濃度のうちの少なくとも第2測定濃度に基づいて、前記第2濃度計が正常であるか否かを判定する第2判定部と、
前記第2判定部により前記第2濃度計が正常でないと判定されたときに、前記第2バルブ機構を前記第2処理液路が閉状態となるように制御する第2バルブ制御部と、
を有する請求項4または5記載の処理液生成装置。 - 前記第1濃度計に濃度が既知である校正液を流す第1校正液路と、
前記第1校正液路を開閉する第3バルブ機構と、
前記第1判定部により前記第1濃度計が正常でないと判定されたときに、前記第3バルブ機構を、前記第1校正液路が開状態になるように制御する第1校正液用バルブ制御部と、
前記第1校正液路を流れる校正液が前記第1濃度計を通る際に前記第1濃度計の出力値に基づいて前記第1濃度計の校正を行う第1校正処理部と、
を有する請求項5記載の処理液生成装置。 - 前記第2濃度計に濃度が既知である校正液を流す第2校正液路と、
前記第2校正液路を開閉する第4バルブ機構と、
前記第2判定部により前記第2濃度計が正常でないと判定されたときに、前記第4バルブ機構を、前記第2校正液路が開状態にあるように制御する第2校正液用バルブ制御部と、
前記第2校正液路を流れる校正液が前記第2濃度計を通る際に前記第2濃度計の出力値に基づいて前記第2濃度計の校正を行う第2校正処理部と、
を有する請求項6記載の処理液生成装置。 - 前記第1校正処理部による前記第1濃度計の校正が終了した後に、前記第1処理液路を開状態に復帰させる第1バルブ復帰制御手段を有する請求項7記載の処理液生成装置。
- 前記第2校正処理部による前記第2濃度計の校正が終了した後に、前記第2処理液路を開状態に復帰させる第2バルブ復帰制御手段を有する請求項8記載の処理液生成装置。
- 濃度計での測定濃度に基づいて濃度の調整がなされた処理液を生成する処理液生成装置と、
基板を保持するテーブルと、
前記テーブルを回転させる駆動機構と、
前記テーブルとともに回転する前記基板の表面に前記処理液生成装置により生成される処理液を供給する処理液供給機構とを有し、
前記処理液生成装置は、
前記処理液の濃度を調整する処理液調整部と、
処理液を、前記処理液調整部に流す第1処理液路と、
処理液を、前記処理液調整部に流す第2処理液路と、
前記第1処理液路を流れる前記処理液の濃度であって、前記処理液調整部での濃度調整に係る成分の濃度を測定する第1濃度計と、
前記第2処理液路を流れる前記処理液の濃度であって、前記第1濃度計により濃度測定されるべき、前記処理液調整部での濃度調整に係る成分の濃度を測定する第2濃度計と、
前記第1処理液路の開閉を行う第1バルブ機構と、
前記第2処理液路の開閉を行う第2バルブ機構と、を有し、
前記第1濃度計と前記第2濃度計とは、異なる測定原理によって前記処理液の濃度を測定する基板処理装置。
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