JP7005691B2 - 液処理装置及び液処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板に流体を供給する技術に関する。

半導体ウエハ等の基板に薬液処理及びリンス処理などの液処理を施すため、水平姿勢に保持された基板を鉛直軸線周りに回転させ、基板の処理面にＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid）などの処理液やＤＩＷ（DeIonized Water）などのリンス液を供給する手法が一般に採用されている。この手法では、供給ラインを流れる液体の流量を流量調整機構により調整し、当該流量を予め設定された設定流量に近づけることによって、設定量の液体が基板に供給される。このような流量調整機構として様々な弁体を利用することができ、典型的にはニードルバルブと呼ばれる流量制御弁を好適に用いることができる（例えば特許文献１参照）。

流量計によって流量を計測しつつ、その計測結果に基づいて流量調整機構をフィードバック制御することで、基板に対して設定量の液体を安定的に供給できる。このような流量調整は、基板に液体が供給されている間は常時行われる。

一方、流量調整機構は機械的な動作を伴う弁体等を具備するため、動作回数が増えるに従って、各部品の劣化が進み、流量調整の精度が落ちて、液体流量を適切に調整できなくなる不具合が生じやすくなる。そのため、流量調整機構の寿命を予測し、流量調整機構が寿命に到達する前に流量調整機構を交換する必要がある。特に、半導体ウエハの液処理などのように非常に高度な流量調整が求められる場合には、非常に短い周期、例えば０．５秒周期で、流量調整機構の弁体の開閉動作が行われる。このため、流量調整機構の動作回数が増えるに従って流量調整機構の寿命が短くなる傾向があり、交換する頻度を少なくしたいという要求がある。

特開２０１５－２１３１４５号公報

本発明は、基板に供給する液体の流量を調整する流量調整機構の寿命を長くすることができる技術を提供するものである。

本発明の一態様は、基板に対して流体を供給する基板処理部と、基板処理部に流体を供給する供給ラインと、供給ラインを流れる流体の流量を計測する流量計と、供給ラインに設けられ、供給ラインを流れる流体の流量を調整する流量調整機構と、流量計の計測結果に基づいて流量調整機構を制御する制御部と、を備え、制御部は、流量計の計測結果を第１周期で受信し、供給ラインを流れる流体の流量が予め設定された範囲に含まれることを流量計の計測結果が示す場合、第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の第２周期で、供給ラインを流れる流体の流量を流量調整機構によって調整させる液処理装置に関する。

本発明の他の態様は、供給ラインを介して基板処理部に流体を供給し、当該流体を基板処理部から基板に対して供給する工程と、供給ラインを流れる流体の流量を流量計によって計測する工程と、流量計の計測結果が制御部によって第１周期で受信される工程と、流量計の計測結果に基づいて、制御部によって制御される流量調整機構により供給ラインを流れる流体の流量を調整する工程と、を備え、供給ラインを流れる流体の流量が予め設定された範囲に含まれることを流量計の計測結果が示す場合、第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の第２周期で、供給ラインを流れる流体の流量を流量調整機構によって調整させる液処理方法に関する。

本発明によれば、流量調整機構の寿命を長くすることができる。

図１は、液処理装置の一例の概要を示す図である。 図２は、処理ユニットの概要を示す縦断側面図である。 図３は、流量計、モータニードルバルブ及び制御部の構成例を示す概略図である。 図４は、時間Ｔの経過に対する、分岐ラインを流れる処理液の流量とモータニードルバルブの開度との関係例を示すグラフであり、処理液の流量の挙動とモータニードルバルブの開度の挙動とが相互に対応づけられている。 図５は、流量計による流量計測周期（すなわち第１周期）とモータニードルバルブによる流量調整周期（すなわち第２周期）との関係例を示す図である。 図６は、通常フィードバックプロセスにおいて、モータニードルバルブの流量調整周期を決定するフローを示す図である。 図７は、第１範囲、第２範囲及び第３範囲の大きさの関係の一例を示す概念図である。 図８は、第１範囲、第２範囲及び第３範囲の大きさの関係の他の例を示す概念図である。 図９は、処理液の流量の範囲が２つに区分される場合における、第１範囲及び第２範囲の大きさの関係の一例を示す概念図である。 図１０は、液処理工程のプロセスの概略を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。

まず本発明を適用可能な液処理装置の典型例について説明する。

図１に示すように、液処理装置は、基板に対して液処理を行う複数の処理ユニット（液処理ユニット）１６と、処理ユニット１６に処理液を供給する処理流体供給源７０を有している。

処理流体供給源７０は、処理液を貯留するタンク１０２と、タンク１０２から出てタンク１０２に戻る循環ライン１０４とを有している。循環ライン１０４にはポンプ１０６が設けられている。ポンプ１０６は、タンク１０２から出て循環ライン１０４を通りタンク１０２に戻る循環流を形成する。ポンプ１０６の下流側において循環ライン１０４には、処理液に含まれるパーティクル等の汚染物質を除去するフィルタ１０８が設けられている。必要に応じて、循環ライン１０４に補機類（例えばヒータ等）をさらに設けてもよい。

循環ライン１０４に設定された接続領域１１０に、１つまたは複数の分岐ライン１１２が接続されている。各分岐ライン１１２は、循環ライン１０４を流れる処理液を対応する処理ユニット１６に供給する。各分岐ライン１１２には、必要に応じて、流量制御弁等の流量調整機構、フィルタ等を設けることができる。

液処理装置は、タンク１０２に、処理液または処理液構成成分を補充するタンク液補充部１１６を有している。タンク１０２には、タンク１０２内の処理液を廃棄するためのドレン部１１８が設けられている。

次に、処理ユニット１６の典型例について図２を参照して説明する。図２では、位置関係を明確にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする。

図２に示すように、処理ユニット１６は、チャンバ２０と、基板保持機構３０と、処理流体供給部４０と、回収カップ５０とを備える。

チャンバ２０は、基板保持機構３０と処理流体供給部４０と回収カップ５０とを収容する。チャンバ２０の天井部には、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）２１が設けられる。ＦＦＵ２１は、チャンバ２０内にダウンフローを形成する。

基板保持機構３０は、保持部３１と、支柱部３２と、駆動部３３とを備える。保持部３１は、ウエハＷを水平に保持する。支柱部３２は、鉛直方向に延在する部材であり、基端部が駆動部３３によって回転可能に支持され、先端部において保持部３１を水平に支持する。駆動部３３は、支柱部３２を鉛直軸まわりに回転させる。かかる基板保持機構３０は、駆動部３３を用いて支柱部３２を回転させることによって支柱部３２に支持された保持部３１を回転させ、これにより、保持部３１に保持されたウエハＷを回転させる。

処理流体供給部４０は、ウエハＷに対して処理流体を供給する。処理流体供給部４０は、処理流体供給源７０に接続される。

回収カップ５０は、保持部３１を取り囲むように配置され、保持部３１の回転によってウエハＷから飛散する処理液を捕集する。回収カップ５０の底部には、排液口５１が形成されており、回収カップ５０によって捕集された処理液は、かかる排液口５１から処理ユニット１６の外部へ排出される。また、回収カップ５０の底部には、ＦＦＵ２１から供給される気体を処理ユニット１６の外部へ排出する排気口５２が形成される。

以上に概略構成を説明した液処理装置において、例えば処理ユニット１６は、ウエハＷに対して処理液を供給する基板処理部として機能し、循環ライン１０４及び分岐ライン１１２は、処理ユニット１６に処理液を供給する供給ラインとして機能する。本実施形態の液処理装置は、更に、供給ラインを流れる処理液の流量を計測する流量計と、供給ラインを流れる処理液の流量を調整する流量調整機構と、流量計の計測結果に基づいて流量調整機構を制御する制御部と、を備える。以下、流量調整機構としてモータニードルバルブを使用した場合の、流量計、モータニードルバルブ及び制御部の構成例について説明する。

図３は、流量計２２、モータニードルバルブ２３及び制御部２４の構成例を示す概略図である。図３では、処理ユニット１６を構成する要素の一部が簡略的に示されている。

図３に示す実施形態では、各処理流体供給部４０に接続され供給ラインとして機能する分岐ライン１１２に、流量計２２及びモータニードルバルブ２３が設けられている。図３では、流量計２２が上流側に配置され、モータニードルバルブ２３が下流側に配置されているが、流量計２２が下流側に配置され、モータニードルバルブ２３が上流側に配置されてもよい。

流量計２２は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を計測し、その計測結果を示す計測信号Ｓ１を制御部２４に送る。一方、モータニードルバルブ２３は、制御部２４から送られてくる制御信号Ｓ２に基づいて、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を調整する。制御部２４は、流量計２２からの計測信号Ｓ１に基づいて分岐ライン１１２を流れる処理液の流量に関する情報を取得し、処理液の流量を予め設定された設定流量に近づけるのに必要なモータニードルバルブ２３の駆動量に関する情報を取得し、その駆動量に基づく制御信号Ｓ２をモータニードルバルブ２３に送る。モータニードルバルブ２３のモータが制御部２４からの制御信号Ｓ２に基づいて駆動されることで、弁開度が調整され、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量がモータニードルバルブ２３によって増減される。

これらの流量計２２、モータニードルバルブ２３及び制御部２４によって、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量は設定流量に近づくように調整される。これにより、保持部３１に保持され支柱部３２によって回転させられるウエハＷに対し、所望量の処理液が処理流体供給部４０から供給される。

上述の液処理装置において、従来手法では、流量計２２の流量計測周期と、モータニードルバルブ２３の流量調整周期とは等しい。すなわち制御部２４は、流量計２２から計測信号Ｓ１を受信するたびに、モータニードルバルブ２３の最適な開度の情報を取得してモータニードルバルブ２３に制御信号Ｓ２を送信し、モータニードルバルブ２３は受信した制御信号Ｓ２に基づいて処理液の流量を調整する。この従来手法によれば、流量計２２の計測結果にかかわらず、比較的短い周期で、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整が行われる。したがってこの従来手法では、処理液の流量が短い周期で調整されるため、必然的にモータニードルバルブ２３の動作回数が増え、モータニードルバルブ２３の装置寿命が短くなってしまう。

これに対して本実施形態では、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が予め設定された範囲にあることを流量計２２の計測結果が示す場合には、流量計２２の計測間隔よりも長い時間間隔で、モータニードルバルブ２３による流量調整が行われる。すなわち制御部２４は、流量計２２の計測結果を示す計測信号Ｓ１を第１周期Ｐ１で受信し、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を第１周期Ｐ１で監視する。その一方で、制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が予め設定された範囲に含まれることを流量計２２の計測結果が示す場合には、第１周期Ｐ１の時間間隔よりも長い時間間隔の周期（すなわち第２周期Ｐ２）で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。第２周期Ｐ２でモータニードルバルブ２３が駆動される上述の「分岐ライン１１２を流れる処理液の流量の予め設定された範囲」は、流量計２２の計測間隔よりも長い時間間隔で処理液の流量を調整しても弊害が起きないことが期待される範囲である。したがって、設定流量に比較的近い範囲を、ここでいう「予め設定された範囲」に設定することが可能である。

図４は、時間Ｔの経過に対する、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量Ｈ１とモータニードルバルブ２３の開度Ｈ２との関係例を示すグラフであり、処理液の流量Ｈ１の挙動とモータニードルバルブ２３の開度Ｈ２の挙動とが相互に対応づけられている。図４において、横方向は時間Ｔの経過を示す。なお図４の符合「ｔ１」及び「ｔ２」等によって示される範囲は必ずしも厳密に正しい縮尺比で表されているとは限らず、理解を容易にするため各種符合で示される範囲等は概略的に示されている。また処理液の流量Ｈ１に関し、図４の縦方向は流量の大きさを示し、上側ほど流量が大きいことを示し、下側ほど流量が小さいことを示す。またモータニードルバルブ２３の開度Ｈ２に関し、図４の縦方向は開度の大きさを示し、上側ほどモータニードルバルブ２３が開かれて流路断面積が大きくなり、下側ほどモータニードルバルブ２３が閉じられて流路断面積が小さくなることを示す。

図４に示す実施形態では、まず初期開弁プロセスＴａが行われ、その後、通常フィードバックプロセスＴｂが行われる。

初期開弁プロセスＴａは、モータニードルバルブ２３が全閉されて分岐ライン１１２から処理流体供給部４０に処理液が流れていない状態から、モータニードルバルブ２３を開いて分岐ライン１１２から処理流体供給部４０に処理液を流すプロセスである。この初期開弁プロセスＴａでは、モータニードルバルブ２３の開度が予め設定された開度に固定される。なお、この初期開弁プロセスＴａは必須プロセスではなく、必要に応じて省略されてもよい。その場合、後述の通常フィードバックプロセスＴｂが最初から行われてもよい。

一方、通常フィードバックプロセスＴｂは、分岐ライン１１２から処理流体供給部４０への処理液の流量を、流量計２２の計測結果に応じて調整するプロセスである。この通常フィードバックプロセスＴｂにおいて、制御部２４は、流量計２２の計測結果に基づいて、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を設定流量Ｐに近づけるようにモータニードルバルブ２３を制御する。したがって通常フィードバックプロセスＴｂは、分岐ライン１１２を介して処理流体供給部４０に処理液を供給し、当該処理液を処理流体供給部４０からウエハＷに対して供給する工程に加え、処理液の流量を流量計２２によって計測する工程及び処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整する工程を更に含む。

本実施形態の通常フィードバックプロセスＴｂでは、具体的には、以下のようにしてモータニードルバルブ２３の開度の調整及び処理液の流量の調整が行われる。

図４に示す実施形態では、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量に関し、第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３が設定されている。第１範囲Ｒ１は、設定流量Ｐを基準にして定められる予め設定された範囲であり、設定流量Ｐを含み、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３よりも設定流量Ｐに近い範囲である。一方、第２範囲Ｒ２は、第１範囲Ｒ１よりも設定流量Ｐから離れた予め設定された範囲であり、第３範囲Ｒ３よりも設定流量Ｐに近い範囲である。また第３範囲Ｒ３は、第２範囲Ｒ２よりも設定流量Ｐから離れた予め設定された範囲であり、例えば分岐ライン１１２を処理液が流れない場合の処理液の流量、すなわち処理液の流量がゼロ（０）の状態が第３範囲Ｒ３に含まれる。

なお、ここでいう第１範囲Ｒ１及び第２範囲Ｒ２は、処理液を使ったウエハＷに対する液処理を適切に行う上で許容できる範囲であるのに対し、第３範囲Ｒ３は、処理液を使ったウエハＷに対する液処理を適切に行う上で許容できない範囲である。

このように、第１範囲Ｒ１～第３範囲Ｒ３を比べた場合、第１範囲Ｒ１は、設定流量Ｐに最も近い範囲の流量の処理液が分岐ライン１１２を流れている状態を示し、第３範囲Ｒ３は、設定流量Ｐから最も懸け離れた範囲の流量の処理液が分岐ライン１１２を流れている状態を示す。そして第２範囲Ｒ２は、中間的な範囲の流量の処理液が分岐ライン１１２を流れている状態を示す。したがって分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１に含まれている場合、処理液の流量は設定流量Ｐに近いため、処理液の流量調整の緊急度は相対的に低い。一方、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３に含まれている場合、処理液の流量は設定流量Ｐから懸け離れているため、処理液の流量調整の緊急度は相対的に高い。また分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２に含まれている場合、処理液の流量調整の緊急度は中間的になる。このように、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量調整の緊急度は、第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３の順に高くなる。

本実施形態の制御部２４は、このような処理液の流量調整の緊急度に応じて、モータニードルバルブ２３による流量調整の頻度を変える。これにより、モータニードルバルブ２３の動作回数の低減が図られている。すなわち制御部２４は、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が、第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３のうちのいずれの範囲に含まれるかに応じて、モータニードルバルブ２３の動作周期を変える。

例えば、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１に含まれる場合、制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量がモータニードルバルブ２３によって調整されないようにする。また流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２に含まれる場合、制御部２４は、上述の第２周期Ｐ２で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。また流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３に含まれる場合、制御部２４は、第２周期Ｐ２の時間間隔よりも短い時間間隔の第３周期Ｐ３で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。特に本実施形態では、この第３周期Ｐ３の時間間隔が第１周期Ｐ１の時間間隔と等しい。したがって、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３に含まれる場合、モータニードルバルブ２３は第１周期Ｐ１で分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を調整する。

次に、図４に示される分岐ライン１１２を流れる処理液の流量Ｈ１の挙動と、モータニードルバルブ２３の開度Ｈ２の挙動とついて、具体的に説明する。

まず初期開弁プロセスＴａが行われ、モータニードルバルブ２３は全閉状態から予め設定された開度まで開かれる。これにより、分岐ライン１１２から処理流体供給部４０に向かって流れる処理液の流量が急激に増大し、図４に示す例では、処理液の流量が第３範囲Ｒ３まで増大される（図４の符号「ｇ１」参照）。

この初期開弁プロセスＴａでは、流量計２２が第１周期Ｐ１で処理液の流量計測を行うのに対し、モータニードルバルブ２３は処理液の流量調整を周期的には行わない。すなわち初期開弁プロセスＴａでは、モータニードルバルブ２３のフィードバック制御は行われず、モータニードルバルブ２３の開度は、流量計２２の計測結果にかかわらず予め設定された開度に固定される。

そして、初期開弁プロセスＴａが終了して通常フィードバックプロセスＴｂが開始されると、モータニードルバルブ２３のフィードバック制御が行われ、処理液の流量に応じて処理液の流量調整が行われる。

図４に示す例では、初期開弁プロセスＴａが終了して通常フィードバックプロセスＴｂが開始される時点で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量Ｈ１が第３範囲Ｒ３にある。したがって制御部２４は、上述のように第１周期Ｐ１で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させて、処理液の流量を設定流量Ｐに近づける。具体的には、モータニードルバルブ２３は制御部２４からの制御信号Ｓ２に応じて開度を小さくして、流路を絞り、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を低減させる。

特に本実施形態の制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３に含まれていることを示す流量計２２の計測結果を受信したタイミングと実質的に同時に、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。図４に示す例では、通常フィードバックプロセスＴｂの開始時に、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３に含まれている。そのため制御部２４は、通常フィードバックプロセスＴｂが開始された直後に流量計２２から計測信号Ｓ１を受信したタイミングと実質的に同時に、モータニードルバルブ２３に制御信号Ｓ２を送信し、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を低減させる（図４の符号「ｇ２」参照）。

なお、ここでいう「実質的に同時」とは、厳密に同時であることは必要とされない意味である。制御部２４における計測信号Ｓ１の受信から制御信号Ｓ２の送信までに要する時間や、モータニードルバルブ２３における制御信号Ｓ２の受信から弁駆動までに要する時間は、実際には非常に短い時間である。したがって、「制御部２４が流量計２２の計測結果を受信したタイミング」と「モータニードルバルブ２３による流量調整が行われるタイミング」との間に、これらの時間に相当する程度の遅延があっても、そのような遅延は実質的に無視できる程度の短い時間である。したがって、そのような「制御部２４による流量計２２の計測結果の受信」と「モータニードルバルブ２３による流量調整」とは、実質的に同時に行われると言える。

図４に示す例では、上述の通常フィードバックプロセスＴｂにおけるモータニードルバルブ２３の最初の流量調整によって、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３（図４の符号「ｇ２」参照）から第２範囲Ｒ２（図４の符号「ｇ３」参照）に変化する。したがって制御部２４は、その後は上述の第２周期Ｐ２で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。すなわち制御部２４は、第１周期Ｐ１で流量計２２から計測信号Ｓ１を受信する一方で、第２周期Ｐ２でモータニードルバルブ２３に制御信号Ｓ２を送信する。

特に本実施形態の制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２に含まれていない状態から第２範囲Ｒ２に含まれている状態に移行したことを示す流量計２２の計測結果を受信したタイミング（符号「ｇ３」参照）を基準にして、モータニードルバルブ２３が処理液の流量を調整するタイミングを定める。そして制御部２４は、少なくとも、そのような計測結果を受信したタイミングと実質的に同時には、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させない。

図５は、流量計２２による流量計測周期（すなわち第１周期Ｐ１）とモータニードルバルブ２３による流量調整周期（すなわち第２周期Ｐ２）との関係例を示す図である。図５において横方向は時間Ｔの経過を示し、縦方向に延在する実線は、流量計２２による流量計測タイミング及びモータニードルバルブ２３による流量調整タイミングを示す。なお図５において符号「ｔ１」は第１周期Ｐ１の時間間隔を示し、符合「ｔ２」は第２周期Ｐ２の時間間隔を示し、図４に示す符合「ｔ１」及び「ｔ２」についても同様である。

本実施形態では、図５に示すように、処理液の流量が第２範囲Ｒ２に含まれていない状態から第２範囲Ｒ２に含まれている状態に移行したことを示す流量計２２の計測結果を制御部２４が受信したタイミング（符号「ｇ３」参照）では、処理液の流量調整は行われない。その一方で、そのような計測結果を制御部２４が受信したタイミングに基づいて、モータニードルバルブ２３によって処理液の流量調整を行うタイミングが決められる。すなわち、そのような計測結果を制御部２４が受信したタイミングが、第２周期Ｐ２の開始点となり、モータニードルバルブ２３による流量調整を次に行うタイミングがその開始点から時間ｔ２後に設定される。したがって、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２に含まれていない状態から第２範囲Ｒ２に含まれている状態に移行したことを制御部２４が検知しても、その検知タイミングではモータニードルバルブ２３による処理液の流量調整は行われない。ただし、その検知タイミングから時間ｔ２後にはモータニードルバルブ２３による処理液の流量調整が行われ、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐに近づけられる。

このように、流量計２２による計測周期（すなわち第１周期Ｐ１）よりも長い周期（すなわち第２周期Ｐ２）でモータニードルバルブ２３を動作させることによって、モータニードルバルブ２３の動作回数を効果的に低減できる。すなわち流量計２２の流量計測周期とモータニードルバルブ２３の流量調整周期とが等しい従来手法に比べ、本実施形態の制御手法では、モータニードルバルブ２３の流量調整周期が流量計２２の流量計測周期よりも長いため、流量調整頻度が抑制され、モータニードルバルブ２３の動作回数は低減される。例えば、図５では「ｔ２＝ｔ１×１０」の関係が満たされるため、処理液の流量が第２範囲Ｒ２にある間のモータニードルバルブ２３の動作回数は、従来手法に比べて１０分の１（すなわち１／１０）になる。また特に、処理液の流量が第２範囲Ｒ２に含まれていない状態から第２範囲Ｒ２に含まれている状態に移行したことを示す流量計２２の計測結果を制御部２４が受信したタイミングと実質的に同時にはモータニードルバルブ２３を動作させないことで、より効果的に、モータニードルバルブ２３の動作回数を低減できる。

なお本実施形態では、図５に示すように、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整のタイミングとほぼ同時に、流量計２２による処理液の流量計測が行われているが、モータニードルバルブ２３の流量調整タイミングと流量計２２の流量計測タイミングとはずれていてもよい。

そして図４に示すように、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２にあることを流量計２２の計測結果が示す間は、第２周期Ｐ２で、モータニードルバルブ２３の開度調整が繰り返し行われ、処理液の流量が設定流量Ｐに近づけられる（符合「ｇ４」及び「ｇ５」参照）。

その後、図４に示す例では、流量計２２の計測結果から、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐよりも過剰に小さくなって第３範囲Ｒ３にあることが、制御部２４によって検知される（符合「ｇ６」参照）。そのため制御部２４は、上述のように、そのような計測結果を受信したタイミングと実質的に同時に、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。具体的には、モータニードルバルブ２３が開かれ、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐに近づくように増大される。

このように、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第３範囲Ｒ３にあること検知したらすぐにモータニードルバルブ２３を動作させて処理液の流量を調整することにより、処理液の流量が設定流量Ｐから過剰に乖離することを迅速に防ぐことができる。

その後、図４に示す例では、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１にあることを、流量計２２の計測結果が示す（符合「ｇ７」参照）。上述のように、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１にある間は、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整は行われず、モータニードルバルブ２３は実質的に動作せずに開度が維持される。ただし、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１にある間も流量計２２による計測及び計測信号Ｓ１の送信は継続的に行われており、制御部２４は、第１周期Ｐ１で分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を監視し続けている。

その後、図４に示す例では、再び、流量計２２の計測結果から、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐよりも過剰に大きくなって第３範囲Ｒ３にあることが、制御部２４によって検知される（符合「ｇ８」参照）。そのため、上述のように、制御部２４は、そのような計測結果を受信したタイミングと実質的に同時に、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させて設定流量Ｐに近づける。

上述のように、制御部２４は、流量計２２の計測結果に基づいて、設定流量Ｐからの乖離の指標となる第１範囲Ｒ１～第３範囲Ｒ３のうちのいずれに分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が属するかに応じて、モータニードルバルブ２３の流量調整周期を調整する。処理液の流量が第１範囲Ｒ１に属する間は、モータニードルバルブ２３の開閉動作は行われず、モータニードルバルブ２３の動作回数の低減が図られている。一方、処理液の流量が第３範囲Ｒ３に属する間は、モータニードルバルブ２３の開閉動作を比較的短い周期で行って、処理液の流量の迅速な適正化が図られている。そして処理液の流量が第２範囲Ｒ２に属する間は、モータニードルバルブ２３の開閉動作を比較的長い周期で行って、モータニードルバルブ２３の動作回数の低減が図られるとともに、処理液の流量の適正化が図られている。

図６は、通常フィードバックプロセスＴｂにおいて、モータニードルバルブ２３の流量調整周期を決定するフローを示す図である。

図６に示す処理フローにおいて、制御部２４は、まず、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１内にあるかどうかを判定する（図６のＳ１１）。具体的には、制御部２４は、流量計２２からの計測信号Ｓ１に基づいて分岐ライン１１２を流れる処理液の流量に関する情報を取得し、当該情報に基づいて、処理液の流量が第１範囲Ｒ１内にあるかどうかを判定する。

分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１内にあると判定される場合（Ｓ１１のＹ）、制御部２４は、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整を行わない（Ｓ１２）。具体的な手法は特に限定されないが、例えば、制御部２４からモータニードルバルブ２３への制御信号Ｓ２の送信を止めることによって、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整が行われないようにできる。

一方、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１範囲Ｒ１内にはないと判定される場合（Ｓ１１のＮ）、制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２内にあるかどうかを判定する（Ｓ１３）。分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２内にあると判定される場合（Ｓ１３のＹ）、制御部２４は、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整を第２周期Ｐ２で行う（Ｓ１４）。具体的には、制御部２４からモータニードルバルブ２３に制御信号Ｓ２を第２周期Ｐ２で送ることにより、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整を第２周期Ｐ２で行うことができる。

一方、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２範囲Ｒ２内にはないと判定される場合（Ｓ１３のＮ）、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量は第３範囲Ｒ３にあるため、制御部２４は、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整を第１周期Ｐ１で行う（Ｓ１５）。具体的には、制御部２４からモータニードルバルブ２３に制御信号Ｓ２を第１周期Ｐ１で送ることにより、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整を第１周期Ｐ１で行うことができる。

そして制御部２４は、通常フィードバックプロセスＴｂの終了まで上述の処理ステップＳ１１～Ｓ１５を繰り返し（Ｓ１６のＮ）、通常フィードバックプロセスＴｂの終了によって図６に示す処理フローも終了する（Ｓ１６のＹ）。なお制御部２４は、通常フィードバックプロセスＴｂの終了の判定を任意の手法で行うことができる。例えば、通常フィードバックプロセスＴｂの終了を指示する信号が制御部２４に入力される場合、制御部２４は、そのような信号に基づいて通常フィードバックプロセスＴｂの終了の判定を行ってもよい。また、通常フィードバックプロセスＴｂの終了のタイミングが予め決められている場合、制御部２４は、そのようなタイミングに応じて通常フィードバックプロセスＴｂの終了の判定を行ってもよい。

以上説明したように本実施形態の液処理装置及び液処理方法によれば、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を緊急度に応じて調整することにより、処理液の流量の設定流量Ｐからの過大な乖離を防ぎつつ、モータニードルバルブ２３の動作回数を効果的に低減することができる。すなわち処理液の流量が緊急度の高い第３範囲Ｒ３にある場合には、設定流量Ｐからの乖離の低減を優先し、流量計２２の計測タイミングと同時的にモータニードルバルブ２３により処理液の流量調整を行って、処理液の流量を素早く設定流量Ｐに近づけることができる。一方、緊急度がそれ程高くない第２範囲Ｒ２に処理液の流量がある場合には、流量計２２の計測周期よりも長い時間間隔でモータニードルバルブ２３により処理液の流量調整を行って、設定流量Ｐからの乖離を防ぎつつモータニードルバルブ２３の動作回数を低減することができる。また緊急度が高くない第１範囲Ｒ１に処理液の流量がある場合には、モータニードルバルブ２３による処理液の流量調整が行われず、モータニードルバルブ２３の動作回数をより一層低減することができる。

例えば、従来手法では１０年間で１５０，０００，０００回もの多数回モータニードルバルブ２３を動作させる必要があるような上述のようなケースであっても、上述の本実施形態によればモータニードルバルブ２３の動作回数を１０年間で２０，０００，０００回程度にまで低減させることも可能である。すなわち本実施形態の液処理方法及び液処理装置によれば、従来手法に比べ、モータニードルバルブ２３の動作回数を７分の１（１／７）以下にまで低減することも可能であり、モータニードルバルブ２３の装置寿命を飛躍的に伸ばすことができる。

その一方で、制御部２４は、処理液の流量調整の緊急度にかかわらず、非常に短い時間間隔で、流量計２２から計測信号Ｓ１を受信し、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を監視し続ける。したがって、何らかの要因によって分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が過大又は過小になったとしても、制御部２４は、そのような処理液の流量の変化を迅速に検知し、モータニードルバルブ２３を制御して処理液の流量を素早く設定流量Ｐに近づけるように調整することができる。

なお処理液の流量に異常をもたらすそのような要因は様々な事象に基づいており、発生タイミングを予想可能な要因だけでなく、発生タイミングを予想できない突発的な要因によっても、処理液の流量は乱されうる。例えば、図４の符合「Ｄ１」で示されるように、モータニードルバルブ２３が閉じられている状態から予め設定された開度まで開かれる初期開弁プロセスＴａでは、設定流量Ｐから懸け離れた流量の処理液が分岐ライン１１２を流れやすい。また図１に示すように１つのタンク１０２に対して複数の処理ユニット１６が接続されている場合、各処理ユニット１６の液処理工程は他の処理ユニット１６の作動状態の影響を受ける。したがって例えば、ある処理ユニット１６の液処理工程の途中で他の処理ユニット１６の液処理工程が開始されると、当該ある処理ユニット１６に対する処理液の供給量が減り、図４の符合「Ｄ２」で示されるように処理液の流量が低減することがある。また図示は省略するが、１つの処理ユニット１６に対して複数のタンク１０２が接続されており、処理ユニット１６に対する処理液の供給源が、空になったタンク１０２から満タンの他のタンク１０２に切り換えられる際には、図４の符合「Ｄ３」で示されるように処理液の流量が突然増大することがある。本実施形態の液処理方法及び液処理装置によれば、上述のような予想可能な要因及び予想できない要因によって処理液の流量が乱されても、素早く処理液の流量を設定流量Ｐに近づけることができる。

なお本発明は、上述の実施形態及び変形例に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形が加えられた各種態様も本発明の範囲に含まれうるものであり、本発明によって奏される効果も上述の事項に限定されない。したがって、本発明の技術的思想及び趣旨を逸脱しない範囲で、特許請求の範囲及び明細書に記載される各要素に対して種々の追加、変更及び部分的削除が可能である。

例えば、上述の第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３は、必ずしも固定的に設定されている範囲である必要はなく、流量の計測及び調整の対象となる処理液の特性、ウエハＷの特性、及び要求される流量調整精度等に応じて、可変的に設定されてもよい。また１回の液処理工程（特に通常フィードバックプロセスＴｂ）の中で、上述の第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３は可変的に設定されてもよい。

図７は、第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３の大きさの関係の一例を示す概念図である。図８は、第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３の大きさの関係の他の例を示す概念図である。図７及び図８において、横軸は分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を示し、符合「Ｐ」は設定流量を示し、符合「Ｐ」よりも左側に離れるに従って処理液の流量が小さいことを示し、符合「Ｐ」よりも右側に離れるに従って処理液の流量が大きいことを示す。

上述のように、第１範囲Ｒ１では処理液の流量調整が行われず、第２範囲Ｒ２では第１周期Ｐ１よりも長い時間間隔の第２周期Ｐ２で処理液の流量調整が行われ、第３範囲Ｒ３では第１周期Ｐ１で処理液の流量調整が行われる。したがって、第３範囲Ｒ３が占める範囲が大きいほどモータニードルバルブ２３の動作回数は増え、第１範囲Ｒ１及び第２範囲Ｒ２（特に第１範囲Ｒ１）が占める範囲が大きくなるほどモータニードルバルブ２３の動作回数は減る傾向がある。一方、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３（特に第３範囲Ｒ３）が占める範囲が大きいほど、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐから乖離する可能性を低減でき、第１範囲Ｒ１が占める範囲が大きいほど処理液の流量が設定流量Ｐから乖離する可能性が高くなる。

したがって例えば、モータニードルバルブ２３の動作回数を低減することと、処理液の流量を精度良く調整することとの両者をバランス良く実施することが求められる場合には、図７に示すように、第２範囲Ｒ２を比較的広くし、第３範囲Ｒ３を比較的狭くすることが好ましい。一方、モータニードルバルブ２３の動作回数の低減よりも、処理液の流量調整を高精度に行うことの優先度が高い場合には、図８に示すように第２範囲Ｒ２を比較的狭くして第３範囲Ｒ３を比較的広くしたり、第１範囲Ｒ１を比較的狭くしたりすることが好ましい。また処理液の流量調整を高精度に行うことよりも、モータニードルバルブ２３の動作回数を低減させることの優先度が高い場合には、第１範囲Ｒ１及び／又は第２範囲Ｒ２を比較的広くし、第３範囲Ｒ３を比較的狭くすることが好ましい。

また上述の実施形態では、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量の範囲が３つに区分されているが、２つに区分されてもよいし、４つ以上に区分されてもよい。

図９は、処理液の流量の範囲が２つに区分される場合における、第１区分範囲Ａ１及び第２区分範囲Ａ２の大きさの関係の一例を示す概念図である。図９において、横軸は分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を示し、符合「Ｐ」は設定流量を示し、符合「Ｐ」よりも左側に離れるに従って処理液の流量が小さいことを示し、符合「Ｐ」よりも右側に離れるに従って処理液の流量が大きいことを示す。

図９に示すように処理液の流量の範囲が第１区分範囲Ａ１及び第２区分範囲Ａ２に区分される場合、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐに対して相対的に近い予め設定された第１区分範囲Ａ１にある場合には、モータニードルバルブ２３の流量調整周期の時間間隔を比較的長く設定できる。一方、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１区分範囲Ａ１よりも設定流量Ｐから離れた予め設定された第２区分範囲Ａ２にある場合には、モータニードルバルブ２３の流量調整周期の時間間隔を比較的短く設定できる。これにより、モータニードルバルブ２３の動作回数を低減することと、処理液の流量を精度良く制御することとの両者をバランス良く実施することが可能である。

なお、設定流量Ｐを基準にして定められる上述の第１区分範囲Ａ１及び第２区分範囲Ａ２には、上述の第１範囲Ｒ１、第２範囲Ｒ２及び第３範囲Ｒ３のいずれかを割り当てることが可能である。すなわち、第１区分範囲Ａ１を第１範囲Ｒ１とし且つ第２区分範囲Ａ２を第２範囲Ｒ２としたり、第１区分範囲Ａ１を第１範囲Ｒ１とし且つ第２区分範囲Ａ２を第３範囲Ｒ３としたり、第１区分範囲Ａ１を第２範囲Ｒ２とし且つ第２区分範囲Ａ２を第３範囲Ｒ３としたりすることが可能である。

例えば、第１区分範囲Ａ１を第１範囲Ｒ１とし且つ第２区分範囲Ａ２を第２範囲Ｒ２とする場合、制御部２４は、以下のようにして分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を調整する。すなわち、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１区分範囲Ａ１（すなわち第１範囲Ｒ１）に含まれる場合、制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量がモータニードルバルブ２３によって調整されないようにする。一方、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２区分範囲Ａ２（すなわち第２範囲Ｒ２）に含まれる場合、制御部２４は、上述の第２周期Ｐ２で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。

また第１区分範囲Ａ１を第１範囲Ｒ１とし且つ第２区分範囲Ａ２を第３範囲Ｒ３とする場合、制御部２４は、以下のようにして分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を調整する。すなわち、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１区分範囲Ａ１（すなわち第１範囲Ｒ１）に含まれる場合、制御部２４は、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量がモータニードルバルブ２３によって調整されないようにする。一方、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２区分範囲Ａ２（すなわち第３範囲Ｒ３）に含まれる場合、制御部２４は、上述の第３周期Ｐ３で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。この第３周期の時間間隔は、流量計２２の流量計測周期である第１周期Ｐ１の時間間隔と等しくてもよい。

また第１区分範囲Ａ１を第２範囲Ｒ２とし且つ第２区分範囲Ａ２を第３範囲Ｒ３とする場合、制御部２４は、以下のようにして分岐ライン１１２を流れる処理液の流量を調整する。すなわち、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第１区分範囲Ａ１（すなわち第２範囲Ｒ２）に含まれる場合、制御部２４は、上述の第２周期Ｐ２で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。一方、流量計２２の計測結果が示す分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が第２区分範囲Ａ２（すなわち第３範囲Ｒ３）に含まれる場合、制御部２４は、上述の第２周期Ｐ２の時間間隔よりも短い時間間隔の第３周期Ｐ３で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させる。この第３周期の時間間隔は、流量計２２の流量計測周期である第１周期Ｐ１の時間間隔と等しくてもよい。

上述のように、モータニードルバルブ２３による流量調整が行われない範囲（図４の第１範囲Ｒ１参照）は必須ではない。同様に、流量計２２による流量計測周期と同じ周期でモータニードルバルブ２３による流量調整が行われる範囲（図４の第３範囲Ｒ３参照）も必須ではない。

また、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量が設定流量Ｐから乖離しやすい動作モードが予め分かっている場合、その間は、流量計２２の計測結果にかかわらず、モータニードルバルブ２３による流量調整周期の時間間隔を短く設定し、処理液の流量の設定流量Ｐからの乖離を防いでもよい。具体的には、制御部２４は、少なくとも液処理装置の動作モードが予め設定された第１動作モードである期間は、流量計２２の計測結果にかかわらず、上記の第２周期Ｐ２の時間間隔よりも短い時間間隔の第４周期で、分岐ライン１１２を流れる処理液の流量をモータニードルバルブ２３によって調整させることが可能である。この第４周期の時間間隔は、流量計２２の流量計測周期である第１周期Ｐ１の時間間隔と等しくてもよい。

図１０は、液処理工程のプロセスの概略を示す図である。図１０に示す液処理工程は、液処理工程のスタートともに上述の初期開弁プロセスＴａが行われる。そして、制御モード切り換えタイミングで、初期開弁プロセスＴａから通常フィードバックプロセスＴｂに動作モードがシフトする。そして、通常フィードバックプロセスＴｂが液処理工程の最後まで続けられる。上述の実施形態では、初期開弁プロセスＴａの間は、モータニードルバルブ２３のフィードバック制御は行われず、モータニードルバルブ２３の開度は予め設定された開度に固定されているが、初期開弁プロセスＴａの間もモータニードルバルブ２３のフィードバック制御が行われもよい。特に、初期開弁プロセスＴａの実施タイミングに関する情報が制御部２４に入力されることによって、制御部２４は初期開弁プロセスＴａの実施タイミングを予め把握することが可能である。したがって初期開弁プロセスＴａを上述の第１動作モードの期間として設定し、制御部２４は、初期開弁プロセスＴａが行われている期間、流量計２２の計測結果にかかわらず、処理液の流量調整を上述の第４周期でモータニードルバルブ２３に実施させてもよい。これにより、処理液の流量が設定流量Ｐから乖離しやすい初期開弁プロセスＴａ（図４の符合「Ｄ１」参照）であっても、処理液の流量を設定流量Ｐに近づけて、液処理を適切に行うことができる。

なお上述の第１動作モードの期間は初期開弁プロセスＴａに限定されず、任意のプロセスを上述の第１動作モードの期間として設定することが可能である。例えば、図１に示すように１つのタンク１０２に対して複数の処理ユニット１６が接続されている場合に、ある処理ユニット１６の液処理工程の途中で他の処理ユニット１６の液処理工程が開始されるタイミング及びその前及び／又は後の予め設定された期間が、上述の第１動作モードの期間として設定されてもよい。また１つの処理ユニット１６に対して複数のタンク１０２が接続されている場合に、処理ユニット１６に対する処理液の実質的な供給源となるタンク１０２を切り換えるタイミング及びその前及び／又は後の予め設定された期間が、上述の第１動作モードの期間として設定されてもよい。

また上述の実施形態では、流量計２２による流量計測の対象及びモータニードルバルブ２３による流量調整の対象がＤＨＦなどの処理液の場合について説明したが、これらの対象は処理液以外の流体であってもよい。例えばＤＩＷなどのリンス液或いは他の流体の流量を、流量計２２によって計測し、モータニードルバルブ２３によって調整する場合にも、上述の実施形態及び変形例と同様の液処理装置及び液処理方法を利用することができる。

また上述の実施形態では、流量調整機構としてモータニードルバルブを使用する場合について説明したが、他の機構によって処理液等の流体の流量を調整する場合にも、上述の実施形態及び変形例と同様にして処理を行うことができる。

上述のように、上述の実施形態及び変形例では、供給ライン（分岐ライン１１２）を流れる流体（処理液等）の流量が予め設定された範囲に含まれることを流量計２２の計測結果が示す場合、第１周期Ｐ１の時間間隔よりも長い時間間隔の周期で、供給ラインを流れる流体の流量を流量調整機構（モータニードルバルブ２３）によって調整させる。ここでいう「第１周期Ｐ１の時間間隔よりも長い時間間隔の周期で供給ラインを流れる流体の流量を流量調整機構によって調整させる場合」には、上述の第２範囲Ｒ２のように流体の流量の調整が積極的に行われる場合だけではなく、上述の第１範囲Ｒ１のように流体の流量の調整が積極的に行われない場合（すなわち流量調整周期が無限大の時間間隔を有する場合）も含まれる。

１６ 処理ユニット
２２ 流量計
２３ モータニードルバルブ
２４ 制御部
１１２ 分岐ライン
Ｗ ウエハ

Claims (9)

1. 基板に対して流体を供給する基板処理部と、
   前記基板処理部に前記流体を供給する供給ラインと、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量を計測する流量計と、
   前記供給ラインに設けられ、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を調整する流量調整機構と、
   前記流量計の計測結果に基づいて前記流量調整機構を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記流量計の計測結果を第１周期で受信し、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量が予め設定された範囲に含まれることを前記流量計の計測結果が示す場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記制御部は、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、設定流量を基準にして定められる予め設定された第２範囲に含まれる場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の第２周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、前記第２範囲よりも前記設定流量から離れた予め設定された第３範囲に含まれる場合、前記第２周期の時間間隔よりも短い時間間隔の第３周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させる液処理装置。
2. 基板に対して流体を供給する基板処理部と、
   前記基板処理部に前記流体を供給する供給ラインと、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量を計測する流量計と、
   前記供給ラインに設けられ、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を調整する流量調整機構と、
   前記流量計の計測結果に基づいて前記流量調整機構を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記流量計の計測結果を第１周期で受信し、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量が予め設定された範囲に含まれることを前記流量計の計測結果が示す場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記制御部は、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、設定流量を基準にして定められる予め設定された第１範囲に含まれる場合、前記供給ラインを流れる前記流体の流量が前記流量調整機構によって調整されないようにし、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、前記第１範囲よりも前記設定流量から離れた予め設定された第２範囲に含まれる場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の第２周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記制御部は、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、前記第２範囲よりも前記設定流量から離れた予め設定された第３範囲に含まれる場合、前記第２周期の時間間隔よりも短い時間間隔の第３周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させる液処理装置。
3. 前記第３周期の時間間隔は、前記第１周期の時間間隔と等しい請求項１又は２に記載の液処理装置。
4. 前記制御部は、前記供給ラインを流れる前記流体の流量が前記第３範囲に含まれていることを示す前記流量計の計測結果を受信したタイミングと実質的に同時に、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させる請求項２に記載の液処理装置。
5. 前記制御部は、前記供給ラインを流れる前記流体の流量が前記第２範囲に含まれていない状態から前記第２範囲に含まれている状態に移行したことを示す前記流量計の計測結果を受信したタイミングを基準にして前記流量調整機構の調整タイミングを定め、少なくとも当該計測結果を受信したタイミングと実質的に同時には、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させない請求項２及び４のいずれか一項に記載の液処理装置。
6. 前記制御部は、少なくとも液処理装置の動作モードが予め設定された第１動作モードである期間は、前記流量計の計測結果に関わらず、前記第２周期の時間間隔よりも短い時間間隔の第４周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させる請求項１～５のいずれか一項に記載の液処理装置。
7. 前記第４周期の時間間隔は、前記第１周期の時間間隔と等しい請求項６に記載の液処理装置。
8. 供給ラインを介して基板処理部に流体を供給し、当該流体を前記基板処理部から基板に対して供給する工程と、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量を流量計によって計測する工程と、
   前記流量計の計測結果が制御部によって第１周期で受信される工程と、
   前記流量計の計測結果に基づいて、前記制御部によって制御される流量調整機構により前記供給ラインを流れる前記流体の流量を調整する工程と、を備え、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量が予め設定された範囲に含まれることを前記流量計の計測結果が示す場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記制御部は、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、設定流量を基準にして定められる予め設定された第２範囲に含まれる場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の第２周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記流量計の計測結果が示す前記供給ラインを流れる前記流体の流量が、前記第２範囲よりも前記設定流量から離れた予め設定された第３範囲に含まれる場合、前記第２周期の時間間隔よりも短い時間間隔の第３周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させる液処理方法。
9. 供給ラインを介して基板処理部に流体を供給し、当該流体を前記基板処理部から基板に対して供給する工程と、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量を流量計によって計測する工程と、
   前記流量計の計測結果が制御部によって第１周期で受信される工程と、
   前記流量計の計測結果に基づいて、前記制御部によって制御される流量調整機構により前記供給ラインを流れる前記流体の流量を調整する工程と、を備え、
   前記供給ラインを流れる前記流体の流量が予め設定された範囲に含まれることを前記流量計の計測結果が示す場合、前記第１周期の時間間隔よりも長い時間間隔の周期で、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を前記流量調整機構によって調整させ、
   前記制御部は、前記流量計の計測結果に基づいて、前記供給ラインを流れる前記流体の流量を設定流量に近づけるように、前記流量調整機構を制御する液処理方法。

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