JP2014107478A - 基板処理装置及びその洗浄方法 - Google Patents
基板処理装置及びその洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014107478A JP2014107478A JP2012260926A JP2012260926A JP2014107478A JP 2014107478 A JP2014107478 A JP 2014107478A JP 2012260926 A JP2012260926 A JP 2012260926A JP 2012260926 A JP2012260926 A JP 2012260926A JP 2014107478 A JP2014107478 A JP 2014107478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- circulation
- liquid
- filter
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【解決手段】剥離処理が終了すると、純水供給源47から純水を循環フィルタ53,55に逆流させることにより、循環フィルタ53,55を洗浄するフィルタ洗浄処理を行わせる。したがって、循環フィルタ53,55に純水を逆流させるだけで循環フィルタ53,55に付着したフォトレジスト被膜の破片を除去することができるので、フォトレジスト被膜の破片に起因する循環フィルタ53,55のメンテナンスを容易に行うことができる。また、循環フィルタ53,55に目詰まりが生じてからフィルタ洗浄処理を行うのではなく、フィルタ洗浄処理を定期的に行うと、循環フィルタ53,55の目詰まりに起因して悪影響が生じることを未然に防止できる。
【選択図】図4
Description
すなわち、従来の装置は、基板から剥離したフォトレジスト被膜が細かく分断されることなく、大きめの破片となって剥がれるものがある。このようなフォトレジスト被膜の大きめの破片や小さめの破片は、内槽から外槽に溢れてフィルタ部材によって捕捉されるものの、フィルタ部材の交換頻度が高くなり、フィルタ部材の手動による洗浄が必要となってメンテナンスが煩雑になるという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に被着された被膜を剥離液により剥離処理する基板処理装置において、剥離液を貯留し、基板を浸漬して処理するための処理槽と、前記処理槽から溢れた剥離液を回収するオーバフロー槽と、前記処理槽と前記オーバフロー槽とを連通接続し、前記オーバフロー槽から前記処理槽へ剥離液を循環させる循環配管と、前記循環配管を流通する剥離液中の異物を捕捉する循環フィルタと、基板を処理する際に剥離液が流通する方向における前記循環フィルタの下流側に連通接続された洗浄液供給管と、前記処理槽で基板に対して剥離液による剥離処理を行わせ、その剥離処理が終了した後、前記洗浄液供給管から洗浄液を前記循環フィルタに逆流させて前記循環フィルタを洗浄するフィルタ洗浄処理を行わせる制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す全体図である。
1 … 処理部
3 … 処理槽
5 … オーバフロー槽
11 … リフタ
21 … 循環配管
17,23,29,37,49,51,61,63,65,67,69,71,81 … 制御弁
25 … フィルタユニット
27 … ベローズポンプ
38 … 第1の分岐配管
39 … 第2の分岐配管
41 … 第3の分岐配管
43 … 第4の分岐配管
45 … 排液部
47 … 純水供給源
53,55,57,59 … 循環フィルタ
73 … 制御部
75 … ストロークセンサ
79 … 処理槽排出管
83 … 液面レベルセンサ
Claims (14)
- 基板に被着された被膜を剥離液により剥離処理する基板処理装置において、
剥離液を貯留し、基板を浸漬して処理するための処理槽と、
前記処理槽から溢れた剥離液を回収するオーバフロー槽と、
前記処理槽と前記オーバフロー槽とを連通接続し、前記オーバフロー槽から前記処理槽へ剥離液を循環させる循環配管と、
前記循環配管を流通する剥離液中の異物を捕捉する循環フィルタと、
基板を処理する際に剥離液が流通する方向における前記循環フィルタの下流側に連通接続された洗浄液供給管と、
前記処理槽で基板に対して剥離液による剥離処理を行わせ、その剥離処理が終了した後、前記洗浄液供給管から洗浄液を前記循環フィルタに逆流させて前記循環フィルタを洗浄するフィルタ洗浄処理を行わせる制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記循環フィルタが各々に設けられ、前記循環配管から分岐した複数本の分岐配管と、
基板を処理する際に剥離液が流通する方向における前記循環フィルタの上流側に連通接続された排液管と、
前記複数本の分岐配管のいずれかを前記循環配管に連通接続または非連通接続する第1の制御弁と、
前記複数本の分岐配管のいずれかを前記洗浄液供給管及び前記排液管に連通接続または非連通接続する第2の制御弁と、
をさらに備え、
前記制御手段は、前記第1の制御弁及び前記第2の制御弁を操作して前記複数本の分岐配管のうちのいずれかの分岐配管を前記循環配管に連通接続させて、前記処理槽で基板に対して剥離処理を行わせ、その剥離処理が終了した後、剥離液が流通された前記分岐配管の循環フィルタを洗浄する際には、前記第1の制御弁及び前記第2の制御弁を操作して前記分岐配管を前記洗浄液供給管及び前記排液管に連通接続させて前記フィルタ洗浄処理を行わせることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記循環フィルタに目詰まりが生じた場合には、前記フィルタ洗浄処理を行わせることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記循環配管は、剥離液を圧送するポンプを備え、
前記制御手段は、前記ポンプの一定量の液送動作に要する液送時間を監視して前記循環フィルタの目詰まりを判断することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記オーバフロー槽の剥離液を排出する際に、前記循環配管に詰まりが生じた場合には、さらに前記循環配管に洗浄液を逆流させる配管洗浄処理を行わせることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記循環配管に連通接続され、前記処理槽から剥離液を排出する処理槽排出管をさらに備え、
前記制御手段は、前記処理槽の剥離液を排出する際に、前記循環配管及び前記処理槽排出管に詰まりが生じた場合には、さらに前記循環配管及び前記処理槽排出管に洗浄液を逆流させる配管洗浄処理を行わせることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置において、
前記循環配管は、剥離液を圧送するポンプを備え、
前記制御手段は、前記オーバフロー槽から前記循環配管を介して剥離液の排出を行う際に、前記ポンプの一定量の液送動作に要する液送時間を監視して前記循環配管の詰まりを判断することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置において、
前記循環配管は、剥離液を圧送するポンプを備え、
前記制御手段は、前記処理槽から前記処理槽排出管を介して剥離液の排出を行う際に、前記ポンプの一定量の液送動作に要する液送時間を監視して前記処理槽排出管の詰まりを判断することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置において、
前記オーバフロー槽の液面レベルを検出する液面レベルセンサをさらに備え、
前記制御手段は、前記オーバフロー槽から前記循環配管を介して剥離液の排出を行う際に、前記液面レベルセンサの液面低下速度を監視して前記循環配管の詰まりを判断することを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置において、
前記処理槽の液面レベルを検出する液面レベルセンサをさらに備え、
前記制御手段は、前記処理槽から前記処理槽排出管を介して剥離液の排出を行う際に、前記液面レベルセンサの液面低下速度を監視して前記処理槽排出管の詰まりを判断することを特徴とする基板洗浄装置。 - 基板に被着された被膜を剥離液により剥離処理する基板処理装置の洗浄方法において、
剥離液を貯留する処理槽と、前記処理槽から溢れた剥離液を回収するオーバフロー槽とを循環配管で連通接続し、循環配管を流通する剥離液中の異物を循環フィルタで捕捉させながら、前記処理槽の剥離液に基板を浸漬させて基板に対して剥離処理を行う過程と、
前記剥離処理を終えた後、前記循環配管における剥離液の流通方向とは逆方向に洗浄液を供給して、前記循環フィルタを洗浄するフィルタ洗浄処理を行う過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置の洗浄方法。 - 請求項11に記載の基板処理装置の洗浄方法において、
前記フィルタ洗浄処理を行う過程は、前記循環フィルタをそれぞれ備え、前記循環配管から分岐した複数本の分岐配管のうち、前記剥離処理を行う過程において使用した分岐配管の循環フィルタを対象に行うことを特徴とする基板処理装置の洗浄方法。 - 請求項11または12に記載の基板処理装置の洗浄方法において、
前記オーバフロー槽の剥離液を排出する過程をさらに備え、前記循環配管に詰まりが生じた場合には、さらに前記循環配管に洗浄液を逆流させる配管洗浄処理を行う過程を実施することを特徴とする基板処理装置の洗浄方法。 - 請求項11または12に記載の基板処理装置の洗浄方法において、
前記循環配管に連通接続され、前記処理槽の剥離液を排出する処理槽排出管から剥離液を排出する過程をさらに備え、前記処理槽排出管に詰まりが生じた場合には、さらに前記処理槽排出管に洗浄液を逆流させる配管洗浄処理も行うことを特徴とする基板処理装置の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012260926A JP6203489B2 (ja) | 2012-11-29 | 2012-11-29 | 基板処理装置及びその洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012260926A JP6203489B2 (ja) | 2012-11-29 | 2012-11-29 | 基板処理装置及びその洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014107478A true JP2014107478A (ja) | 2014-06-09 |
JP6203489B2 JP6203489B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=51028692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012260926A Active JP6203489B2 (ja) | 2012-11-29 | 2012-11-29 | 基板処理装置及びその洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6203489B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017063107A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 半導体基板処理装置、フォトレジストを剥離する方法、および半導体装置の製造方法 |
JP2018032688A (ja) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 |
KR20180003402U (ko) * | 2017-05-26 | 2018-12-05 | 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 | 레지스트층의 박막화 장치 |
CN109692843A (zh) * | 2019-02-18 | 2019-04-30 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种基板清洗装置和基板生产设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05285462A (ja) * | 1992-04-07 | 1993-11-02 | Tsutsumi Seisakusho:Kk | 洗浄用水溶性粒状体 |
JP2000106354A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Tokyo Electron Ltd | 供給装置及び補充方法 |
JP2002075957A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-15 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置 |
JP2003059884A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2007266477A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Kurita Water Ind Ltd | 半導体基板洗浄システム |
-
2012
- 2012-11-29 JP JP2012260926A patent/JP6203489B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05285462A (ja) * | 1992-04-07 | 1993-11-02 | Tsutsumi Seisakusho:Kk | 洗浄用水溶性粒状体 |
JP2000106354A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Tokyo Electron Ltd | 供給装置及び補充方法 |
JP2002075957A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-15 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置 |
JP2003059884A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2007266477A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Kurita Water Ind Ltd | 半導体基板洗浄システム |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017063107A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 半導体基板処理装置、フォトレジストを剥離する方法、および半導体装置の製造方法 |
CN106919014A (zh) * | 2015-09-24 | 2017-07-04 | 精工半导体有限公司 | 半导体基板处理装置、剥离方法和半导体装置的制造方法 |
US10504755B2 (en) | 2015-09-24 | 2019-12-10 | Ablic Inc. | Semiconductor-substrate processing apparatus, method of stripping a photoresist, and method of manufacturing a semiconductor device |
US10916454B2 (en) | 2015-09-24 | 2021-02-09 | Ablic Inc. | Method of stripping a photoresist, and method of manufacturing a semiconductor device |
CN106919014B (zh) * | 2015-09-24 | 2021-05-11 | 艾普凌科有限公司 | 半导体基板处理装置、剥离方法和半导体装置的制造方法 |
JP2018032688A (ja) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 |
KR20180003402U (ko) * | 2017-05-26 | 2018-12-05 | 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 | 레지스트층의 박막화 장치 |
KR200494122Y1 (ko) | 2017-05-26 | 2021-08-05 | 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 | 레지스트층의 박막화 장치 |
CN109692843A (zh) * | 2019-02-18 | 2019-04-30 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种基板清洗装置和基板生产设备 |
CN109692843B (zh) * | 2019-02-18 | 2020-12-01 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种基板清洗装置和基板生产设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6203489B2 (ja) | 2017-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6385714B2 (ja) | 基板液処理装置、基板液処理装置の洗浄方法及び記憶媒体 | |
JP5890198B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
US9278768B2 (en) | Process liquid changing method and substrate processing apparatus | |
JP2015220318A5 (ja) | ||
JP4828948B2 (ja) | 基板処理装置 | |
TWI690979B (zh) | 基板處理裝置、基板處理裝置的洗淨方法 | |
US20150020968A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP4668079B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6203489B2 (ja) | 基板処理装置及びその洗浄方法 | |
KR101042805B1 (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
US11664249B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and recording medium | |
JP5977058B2 (ja) | 処理液供給装置および処理液供給方法 | |
US10458010B2 (en) | Substrate liquid processing apparatus, substrate liquid processing method, and storage medium | |
TW201534381A (zh) | 過濾器洗淨方法、液處理裝置及記憶媒體 | |
US20210008588A1 (en) | Liquid processing device and liquid processing method | |
JP2013021232A (ja) | 基板処理装置及びその液交換方法 | |
JP7126927B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20080020031A (ko) | 반도체 세정 설비 및 그의 퀵 드레인 제어 방법 | |
JP6513004B2 (ja) | 基板処理装置及びその処理方法 | |
JP2016063204A (ja) | 基板処理装置の洗浄方法及び基板処理装置 | |
JP3891776B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH11226527A (ja) | 多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置 | |
JP2014120644A (ja) | 基板処理装置及びその自己診断方法 | |
KR19990081141A (ko) | 반도체 세정장비의 부품세척장치 | |
JPH10143255A (ja) | 液管理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150619 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161013 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170303 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20170315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6203489 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |