WO2017126347A1 - 樹脂成形体 - Google Patents

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WO2017126347A1
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thermoplastic resin
sealing surface
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PCT/JP2017/000352
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山川 裕之
龍介 泉
素美 石川
吉田 典史
穂高 森
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株式会社デンソー
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Definitions

  • This disclosure relates to a resin molded body in which a part of the surface of a thermosetting resin member is sealed with a thermoplastic resin member, and the remaining part of the surface of the thermosetting resin member is exposed from the thermoplastic resin member.
  • this type of resin molded body includes a thermosetting resin member made of a thermosetting resin and a thermoplastic resin member made of a thermoplastic resin, and is a part of the surface of the thermosetting resin member. It has been proposed that the sealing surface is sealed with a thermoplastic resin member and the remaining part of the surface is an exposed surface (see Patent Document 1).
  • a part of sealing surface in a thermosetting resin member is made into the non-roughening surface which is not roughened, and the remainder of a sealing surface has a level
  • the roughening process for forming such a roughened surface is a process of removing the surface by laser irradiation or the like. Therefore, the roughened surface becomes a concave surface with a step more than the non-roughened surface. The surface is more excellent in adhesion to the thermoplastic resin member than the non-roughened surface.
  • an additive containing a functional group is added to the thermoplastic resin member, and the functional group present on the roughened surface and the functional group present in the additive are in a chemically bonded state.
  • the roughened surface is formed on the sealing surface which is a part of the surface of the thermosetting resin member, and this sealing surface is sealed with the thermoplastic resin member, the roughened surface
  • the two resin members are mechanically bonded to each other and further chemically bonded to improve adhesion.
  • the roughened surface is formed as one continuous region in a part of the sealing surface of the thermosetting resin member, and the roughened surface and the non-roughened surface are formed.
  • the step between them that is, the boundary between the roughened surface and the non-roughened surface is sealed with the thermoplastic resin member.
  • the present disclosure has been made in view of the above problems, and forms a roughened surface on a part of a sealing surface of a thermosetting resin member, and mechanically bonds with the thermoplastic resin member on the roughened surface.
  • Another object of the present invention is to suppress the progress of peeling at the joint interface between both resin members in a resin molded body that is sealed by chemical bonding.
  • the present inventor has intensively studied.
  • the direction from the boundary side with the exposed surface toward the inner side of the thermoplastic resin member on the sealing surface of the thermosetting resin member was defined as the first direction.
  • the sealing surface has a boundary side with the exposed surface as one end, and extends from the one end in the first direction to the other end.
  • the stress due to thermal expansion and contraction generated on the sealing surface is higher at one end side and the other end side along the first direction in the sealing surface than at the center side. Therefore, the progress of peeling at the bonding interface tends to progress from one end side or the other end side of the sealing surface toward the center side along the first direction.
  • the present disclosure has been created in consideration of the difference in level of stress generated on such a sealing surface.
  • thermosetting resin member made of a thermosetting resin
  • thermoplastic resin member made of a thermoplastic resin that seals a sealing surface that is a part of the surface of the thermosetting resin member.
  • the exposed surface which is the remainder of the surface of the thermosetting resin member is a resin molded body exposed from the thermoplastic resin member and has the following characteristics.
  • a part of the sealing surface in the thermosetting resin member is a non-roughened surface that is not roughened, and the remainder of the sealing surface is less than the non-roughened surface.
  • a roughened surface that has a step and is roughened rather than a non-roughened surface, and an additive containing a functional group is added to the thermoplastic resin member, and the functional group present on the roughened surface.
  • the functional group present in the additive are chemically bonded, and when the first direction is the direction from the boundary side of the exposed surface to the inner side of the thermoplastic resin member on the sealing surface, the roughened surface is
  • the ring-shaped shape formed around the entire circumference of the sealing surface around an axis parallel to the first direction has a closed surface, and the roughened surface forming the closed shape is spaced from the non-roughened surface. As a result, three or more are arranged along the first direction.
  • a roughened surface is formed on a part of the sealing surface of the thermosetting resin member, and the roughened surface is sealed by mechanical bonding and chemical bonding with the thermoplastic resin member.
  • the drawing It is a schematic sectional drawing which shows the semiconductor device as a resin molding concerning 1st Embodiment. It is the external appearance perspective view which showed typically the thermosetting resin member in the semiconductor device in FIG. It is the figure which expanded the area
  • thermosetting resin member in the semiconductor device concerning 2nd Embodiment.
  • thermosetting resin member and thermoplastic resin member in the semiconductor device concerning 3rd Embodiment.
  • FIG. 1 the uneven shape of the roughened surface 11a and the step 11c formed on the surface of the thermosetting resin member 10 to be described later are greatly deformed for easy understanding.
  • FIG. 2 the roughened surface 11 a formed on the surface of the thermosetting resin member 10 is shown by hatching the surface.
  • This resin molded body is mounted on a vehicle such as an automobile, and is applied as a semiconductor device for driving various electronic devices for the vehicle.
  • the semiconductor device as the resin molded body of the present embodiment includes a thermosetting resin member 10 and a thermoplastic resin member 20 that seals a part of the surface of the thermosetting resin member 10.
  • the thermosetting resin member 10 is made of a thermosetting resin such as an epoxy resin, and a filler made of an insulating material such as silica or alumina may be contained in the resin as necessary. Such a thermosetting resin member 10 is formed by performing transfer molding, compression molding, molding by a potting method, and thermosetting treatment.
  • the thermoplastic resin member 20 is made of a thermoplastic resin such as PPS (polyphenylene sulfide) or PBT (polyphenylene terephthalate), and injection molding is performed so as to seal a part of the thermosetting resin member 10. Is formed. In this thermoplastic resin member 20, an additive 20a containing a functional group is added.
  • PPS polyphenylene sulfide
  • PBT polyphenylene terephthalate
  • the additive 20a is made of a polymer having any one or a plurality of functional groups such as a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, and a carbonyl group. This additive 20a chemically reacts with a functional group present on the roughened surface 11a of the thermosetting resin member 10 to enable highly adhesive thermosetting resin-thermoplastic resin bonding.
  • thermoplastic resin member 20 to which the additive 20a is added seals a part of the surface of the thermosetting resin member 10, so that a part of the surface of the thermosetting resin member 10 becomes a thermoplastic resin.
  • the sealing surface 11 is sealed with the member 20.
  • the remainder which is parts other than the sealing surface 11 among the surfaces of the thermosetting resin member 10 is the exposed surface 12 exposed from the thermoplastic resin member 20.
  • thermosetting resin member 10 is configured to have a prismatic shape, specifically, a rectangular parallelepiped shape. A part of the surface of the thermosetting resin member 10 on the one end 10a side in the longitudinal direction of the thermosetting resin member 10 is used as a sealing surface 11, and the thermosetting resin on the other end 10b side in the longitudinal direction. The remainder of the surface of the member is an exposed surface 12.
  • thermosetting resin member 10 shown in FIG. 1 and FIG. 2 is a square having one end surface in the longitudinal direction, the other end surface facing the one end surface, and four side surfaces extending in the longitudinal direction. It is columnar.
  • the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 is a portion on the one end 10a side in the longitudinal direction among the one end surface in the longitudinal direction and the four side surfaces.
  • the exposed surface 12 of the thermosetting resin member 10 is a portion on the other end 10b side in the longitudinal direction among the other end surface in the longitudinal direction and the four side surfaces.
  • thermosetting resin member 10 includes therein a semiconductor element 30 as a first sealed component sealed by the thermosetting resin member 10 and an electrical connection member 40 as a second sealed component. Have.
  • the semiconductor element 30 as the first sealed component is a sensor chip made of a silicon semiconductor or the like used for a magnetic sensor, an optical sensor, a pressure sensor, or the like. Such a semiconductor element 30 is formed by a normal semiconductor process.
  • the entire semiconductor element 30 is sealed with the thermosetting resin member 10, and the semiconductor element 30 detects external magnetism via the thermosetting resin member 10. Like to do.
  • an opening for opening a part of the semiconductor element 30 is formed in the thermosetting resin member 10, and the semiconductor element 30 is interposed through the opening. It detects light and pressure.
  • thermosetting resin member 10 that seals the semiconductor element 30 is exposed from the thermoplastic resin member 20, for example, with respect to the semiconductor element 30. So that no stress is applied.
  • the electrical connection member 40 as the second sealed component is for electrically connecting the semiconductor element 30 and a wiring member (not shown) outside the semiconductor device.
  • a part 41 of the electrical connection member 40 is covered with the thermosetting resin member 10, and the remaining part 42 protrudes from the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10. Further, the remaining part 42 of the electrical connection member 40 is sealed by the thermoplastic resin member 20 outside the thermosetting resin member 10, and the tip portion thereof is exposed from the thermoplastic resin member 20.
  • connection method with this semiconductor element 30 is not specifically limited, Here, it connects with the bonding wires 50, such as Al and Au.
  • thermoplastic resin member 20 seals the remaining part 42 of the electrical connection member 40, but the thermoplastic resin member 20 has an opening 21. In the opening 21, a part of the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 is exposed to the outside of the thermoplastic resin member 20.
  • the opening 21 of the thermoplastic resin member 20 is a portion to which an external wiring member (not shown) such as a connector member is inserted and connected, whereby the external wiring member and the electrical connection member 40 are connected to each other. It is designed to be electrically connected.
  • the electrical connection member 40 functions as a device for detecting and outputting the semiconductor element 30, and the semiconductor element 30 can be electrically exchanged with the outside of the apparatus via the electrical connection member 40.
  • a terminal terminal made of a rod-shaped member such as Cu or Al is used as such an electrical connection member 40, but a circuit board or the like may be used as the electrical connection member 40.
  • a part of the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10 is a roughened surface 11 a that has been subjected to a roughening treatment, and the sealing surface The remainder of 11 is a non-roughened surface 11b that has not been roughened.
  • the roughened surface 11a has a step 11c more than the non-roughened surface 11b and is a surface roughened more than the concave non-roughened surface 11b.
  • the non-roughened surface 11b is a surface that has not been roughened, but the exposed surface 12 of the thermosetting resin member 10 is also a surface that has not been roughened, like the non-roughened surface 11b. That is, the non-roughened surface 11b and the exposed surface 12 are the same continuous surfaces, although they are different in that the former is sealed with the thermoplastic resin member 20 and the latter is exposed.
  • the entire sealing surface 11 is not a roughened surface 11a, but a part of the sealing surface 11 is a non-roughened surface 11b and the rest of the sealing surface 11 is a roughened surface 11a. This is due to the cost of the roughening treatment, the restriction of the shape of the thermosetting resin member 10 to be roughened, and the like.
  • the roughened surface 11a is formed by a surface layer removing step as a roughening process in the manufacturing method described later.
  • the roughening degree of the roughened surface 11a that is, the surface roughness Ra is not roughened. It is made larger than the surface 11b and the exposed surface 12.
  • the surface roughness Ra of the roughened surface 11a is several ⁇ m or more (for example, 3 ⁇ m or more).
  • the non-roughened surface 11b and the exposed surface 12 correspond to surfaces on which a surface layer 13 shown in FIG.
  • the surface roughness Ra is an arithmetic average roughness Ra defined in JIS (abbreviation for Japanese Industrial Standards).
  • the surface of the thermosetting resin member 10 has a portion other than the roughened surface 11a.
  • the step 11c described above is formed between the roughened surface 11a so as to be recessed.
  • the height of the step 11c that is, the difference in height between the non-roughened surface and the roughened surface is several ⁇ m or more (for example, 5 ⁇ m or more).
  • the direction from the boundary side with the exposed surface 12 to the inner side of the thermoplastic resin member 20 in the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10. Is the first direction Y1.
  • the roughened surface 11a has a closed ring shape formed around the entire circumference of the sealing surface 11 around an axis parallel to the first direction Y1.
  • the axis parallel to the first direction Y1 corresponds to a column axis in the thermosetting resin member 10 having a prismatic shape.
  • Three roughened surfaces 11a having a closed ring shape on the sealing surface 11 are arranged along the first direction Y1 with the non-roughened surface 11b as an interval.
  • the thermosetting resin member has a quadrangular prism shape with the longitudinal axis as the axis parallel to the first direction Y1.
  • Each of the roughened surfaces 11a is a closed ring that continues over the four side surfaces of the thermosetting resin member 10, and the three roughened surfaces 11a are spaced along the first direction Y1. It is the form that was opened and arranged.
  • interval of the adjacent roughening surface 11a is made into the non-roughening surface 11b naturally.
  • FIG. 1 shows, the three roughening surfaces 11a are only in the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10, ie, the inner side of the thermoplastic resin member 20. It is formed only on. For this reason, for each of the three roughened surfaces 11 a, the step 11 c that is a boundary with the non-roughened surface 11 b is sealed with the thermoplastic resin member 20.
  • thermosetting resin material that is a raw material of the thermosetting resin member 10 is used, and the thermosetting resin material is heated to complete the curing.
  • the member 10 is formed.
  • thermosetting resin member 10 is completed.
  • the surface layer 13 made of contaminants exists on the outermost surface of the thermosetting resin member 10 formed in this curing mold process. Contaminants are present in the constituent material of the thermosetting resin member 10, but are raised on the outermost surface at the time of thermoforming, and are not so much present inside.
  • the contaminant is, for example, a release agent or a foreign matter attached to the surface of the thermosetting resin member 10 during the process.
  • the mold release agent is provided on the mold surface or mixed with the thermosetting resin material itself in order to ensure mold release in the molding, and is made of, for example, siloxane or fatty acid.
  • thermosetting resin member 10 a surface layer removing process is performed on the thermosetting resin member 10.
  • a part of the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10, that is, a portion of the sealing surface 11 where the roughened surface 11 a is formed is removed by removing the surface layer 13 positioned at the outermost surface. This part is defined as a new surface 14.
  • the surface layer 13 is removed by using a method such as laser irradiation or shot blasting on the position where the roughened surface 11a of the sealing surface 11 is to be formed.
  • a method such as laser irradiation or shot blasting on the position where the roughened surface 11a of the sealing surface 11 is to be formed.
  • the processing surface is cut to form irregularities, and laser irradiation is the most desirable method.
  • the removal depth of the sealing surface 11 when forming the roughened surface 11a may be such that the surface layer 13 can be removed, and may be several ⁇ m or more (for example, 5 ⁇ m or more).
  • the surface layer 13 as a contaminant is removed, and the new surface 14 as a base of the surface layer 13 is roughened.
  • the new surface 14 is provided with a roughened surface 11a to which an anchor effect is imparted and which has excellent adhesion to the thermoplastic resin member 20.
  • the new surface 14 as the roughened surface 11a is actually one or a plurality of hydroxyl groups, epoxy groups, etc. in the thermosetting resin constituting the thermosetting resin member 10, as shown in FIG. Exists as a functional group.
  • the functional group present in the portion where the new surface 14 is burned and oxidized can further promote the chemical reaction and achieve high adhesion.
  • this laser include, but are not limited to, a YAG laser.
  • this laser irradiation is performed by irradiating one side of the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 having a rectangular parallelepiped shape from the vertical direction.
  • a region having a constant width is processed along the first direction Y1.
  • this laser irradiation is performed on three regions arranged along the first direction on the one side surface.
  • the laser L1 scans one side surface of the thermosetting resin member 10 from one end side to the other end side in the width direction of the side surface.
  • processing by laser irradiation is performed.
  • thermosetting resin member 10 is rotated by 90 °, and the second side surface is processed in the same manner as the first side surface. Thereafter, the thermosetting resin member 10 is rotated 90 ° to similarly process the third side surface, and the thermosetting resin member 10 is rotated 90 ° to similarly process the fourth side surface. Do. Thereby, the thermosetting resin member 10 having the three roughened surfaces 11a having a closed ring shape is completed.
  • thermoplastic resin material in which an additive 20a that is a raw material of the thermoplastic resin member 20 is added to the roughened surface 11a as the new surface 14 of the thermosetting resin member 10 in which a functional group exists is injection-molded. To do.
  • thermoplastic resin material to which the additive 20a is added can be obtained by kneading a polymer having a functional group that becomes the additive 20a into a thermoplastic resin material as a base material. Thereby, the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10 is sealed with the thermoplastic resin member 20 while the functional group existing on the roughened surface 11a and the functional group existing on the additive 20a are chemically bonded. .
  • thermosetting resin member 10 is an epoxy resin, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, a carbonyl group in which the hydroxyl group or epoxy group in the epoxy resin is present in the additive 20a It will be chemically bonded.
  • the covalent bond can be realized by using a material containing at least one functional group that is the same as the functional group contained in the constituent material of the thermosetting resin member 10 as the constituent material of the additive 20a.
  • thermosetting resin member 10 thermosetting resin member 10
  • thermoplastic resin member 20 thermoplastic resin member 20
  • each process after said surface layer formation process processes selectively with respect to a part of surface of the thermosetting resin member 10, masking etc. are suitably performed on the surface which does not process. After applying, each step is performed.
  • the roughened surface 11a which makes the three closed rings along the 1st direction Y1 which is a peeling progress direction in the sealing surface 11 is arranged by the non-roughened surface 11b as an interval. It has become.
  • sequence end among the three roughening surfaces 11a arranged along the 1st direction Y1 is along the 1st direction Y1 in the sealing surface 11.
  • the roughening surface 11a located in the both ends side along the 1st direction Y1 in the sealing surface 11 is compared with the roughening surface 11a located in the center side of the sealing surface 11 among sealing surfaces 11 It is located at a site where the stress increases.
  • thermoplastic resin member 20 Even if peeling with the thermoplastic resin member 20 occurs on the roughened surface 11a located at the site where the stress increases, the peeled roughened surface 11a and the roughened surface 11a on the center side Since there is a step 11c between the non-roughened surface 11b, the progress of peeling is suppressed. For this reason, according to the present embodiment, it is possible to suppress the progress of peeling at the bonding interface between both the thermosetting resin member 10 and the thermoplastic resin member 20.
  • the roughened surface corresponding to the both ends of the start and end of the array among the three roughened surfaces 11a sequentially arranged along the first direction Y1 is located in the middle. It can be said that it functions as a sacrificial region for preventing peeling of 11a.
  • FIG. 9 the roughened surface 11 a formed on the surface of the thermosetting resin member 10 is shown by hatching the surface, and the electrical connection member 40 is omitted.
  • the width W1 along the first direction Y1 of the roughened surfaces 11a at both ends of the first direction Y1 that is the arrangement direction of the three roughened surfaces 11a is between the both ends. It is made larger than the width W2 along the 1st direction Y1 in the roughening surface 11a located in this.
  • the height D1 of the step 11c on the roughened surface 11a at both ends of the first direction Y1 that is the arrangement direction among the three roughened surfaces 11a is a rough position located between the two ends. It is made larger than height D2 of the level
  • the two roughened surfaces 11a serving as both ends in the arrangement direction are the two roughened surfaces. It is located at a portion where the stress is higher than the roughened surface 11a located in the middle of the surface 11a. That is, the two roughened surfaces 11a are more likely to be peeled off at the bonding interface than the roughened surface 11a located in the middle.
  • the length of the bonding interface between the two roughened surfaces 11a can be increased if the example of FIG. 9 is used, and peeling occurs on the entire two roughened surfaces 11a. It becomes easy to suppress it. Further, in the case of the example of FIG. 10 described above, the step 11c between the two roughened surfaces 11a is increased, and therefore it is easy to suppress the occurrence of peeling on the two roughened surfaces 11a. Become.
  • thermosetting resin member 10 has a quadrangular prism shape whose longitudinal axis is parallel to the first direction Y1, and the roughened surface 11a is formed by the thermosetting resin member 10. It forms a closed ring shape continuous over all four side surfaces.
  • the roughened surface 11a is formed in the corner
  • thermosetting resin member 10 may be a polygonal column such as a triangular column, a pentagonal column, or a hexagonal column. Even in that case, the same effect can be expected by adopting a shape in which the corner 13 is rounded.
  • the number of roughened surfaces 11a is three, but the number of roughened surfaces 11a may be three or more, for example, four, five, or five or more. In these cases as well, it is only necessary that the roughened surfaces 11a having a plurality of closed rings are sequentially arranged along the first direction. And the roughening surface 11a corresponding to the both ends of the arrangement
  • sequence end of a plurality of roughening surfaces 11a functions as a sacrificial area
  • thermosetting resin member 10 may be a cylinder.
  • the roughened surface 11a having a closed ring shape constituting the joining interface does not have the side corners 13 like the above-mentioned prismatic thermosetting resin member 10 in the first place.
  • the occurrence of stress concentration can be avoided, which is preferable.
  • thermosetting resin member 10 is not limited to the above-described columnar body such as a prism or cylinder, and may be other shapes.
  • the thermoplastic resin member 20 may be sealed as long as a part of the surface of the thermosetting resin member 10 is sealed and the remaining part is exposed.
  • the one end 10a side is not limited to the sealing surface 11 and the other end 10b side is an exposed surface.
  • first sealed component and the second sealed component may be anything as long as they can be sealed with the thermosetting resin member 10, and the semiconductor element 30 and the electrical connection member described above. It is not limited to 40 or a circuit board.
  • the resin molding is a semiconductor device
  • the semiconductor element 30 etc. which become the to-be-sealed components sealed with the thermosetting resin member 10 etc. are provided in the thermosetting resin member 10 inside. It was what was done.
  • the resin molded body is not limited to such a semiconductor device.
  • the thermosetting resin member 10 may have a configuration without a sealed component.

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Abstract

熱硬化性樹脂部材(10)における封止面(11)の一部は、粗化処理されていない非粗化面(11b)とされ、封止面の残部は、非粗化面よりも段差(11c)を有して凹み非粗化面よりも粗化された粗化面(11a)とされており、熱可塑性樹脂部材には官能基を含有する添加剤(20a)が添加され、粗化面に存在する官能基と添加剤に存在する官能基とが化学結合されており、封止面において露出面との境界側から熱可塑性樹脂部材の内部側へ向かう方向を第1の方向(Y1)としたとき、粗化面は、第1の方向に平行な軸まわりに封止面の全周に形成された閉環形状をなすものであり、封止面においては、閉環形状をなす粗化面が、非粗化面を間隔として第1の方向に沿って3個以上、配列されている。

Description

樹脂成形体 関連出願の相互参照
 本出願は、2016年1月22日に出願された日本特許出願番号2016-10823号に基づくもので、ここにその記載内容を援用する。
 本開示は、熱硬化性樹脂部材の表面の一部を熱可塑性樹脂部材で封止し、熱硬化性樹脂部材の表面の残部を熱可塑性樹脂部材より露出させてなる樹脂成形体に関する。
 従来、この種の樹脂成形体としては、熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材と、熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材と、を備え、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面は熱可塑性樹脂部材で封止し、当該表面の残部は露出面としたものが提案されている(特許文献1参照)。
 そして、このものでは、熱硬化性樹脂部材における封止面の一部は、粗化処理されていない非粗化面とされ、封止面の残部は、非粗化面よりも段差を有して凹み非粗化面よりも粗化された粗化面とされている。このような粗化面を形成する粗化処理は、レーザ照射等で表面除去の加工を行うものであり、そのため、粗化面は、非粗化面よりも段差を有して凹んだ面となり、非粗化面よりも熱可塑性樹脂部材との密着性に優れた面となる。
 さらに、このものでは、熱可塑性樹脂部材には官能基を含有する添加剤が添加され、粗化面に存在する官能基と添加剤に存在する官能基とが化学結合された状態とされている。このように、従来のものでは、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面に粗化面を形成し、この封止面を熱可塑性樹脂部材で封止するにあたって、粗化面にて両樹脂部材を機械的結合させ、さらに化学的結合を付与することにより、密着性の向上を図っている。
特開2015-162594号公報
 ところで、上記従来のものでは、粗化面は、熱硬化性樹脂部材の封止面の一部において連続した1個の領域として形成されたものであり、粗化面と非粗化面との間の段差すなわち粗化面と非粗化面との境界は、熱可塑性樹脂部材に封止されている。
 この場合、熱可塑性樹脂部材で封止されている封止面において、比較的密着性に劣る非粗化面で発生した剥離が、粗化面と非粗化面との境界まで進展すると、粗化面における熱可塑性樹脂部材との接合界面にて剥離を誘発するおそれがある。
 本開示は、上記問題に鑑みてなされたものであり、熱硬化性樹脂部材の封止面の一部に粗化面を形成し、この粗化面にて熱可塑性樹脂部材との機械的結合および化学的結合による封止を行ってなる樹脂成形体において、両樹脂部材の接合界面における剥離の進展を抑制することを目的とする。
 上記目的を達成するため、本発明者は鋭意検討を行った。まず、熱硬化性樹脂部材の封止面において露出面との境界側から熱可塑性樹脂部材の内部側へ向かう方向を第1の方向とした。ここで、封止面は、露出面との境界側を一端とし、当該一端から第1の方向へ延びて他端に至る面となる。
 このとき、封止面に発生する熱膨張および熱収縮による応力は、封止面における第1の方向に沿った一端側と他端側とが、中央側に比べて高いものとなる。そのため、上記接合界面における剥離の進展は、この第1の方向に沿って、封止面の一端側もしくは他端側から中央側に向かって進展しやすい。本開示は、このような封止面において発生する応力の高低差を考慮して、創出されたものである。
 本開示の1つの態様は、熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材と、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材と、を備え、熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面は、熱可塑性樹脂部材より露出している樹脂成形体であって、次のような特徴を有するものである。
 すなわち、本態様の樹脂成形体においては、熱硬化性樹脂部材における封止面の一部は、粗化処理されていない非粗化面とされ、封止面の残部は、非粗化面よりも段差を有して凹み非粗化面よりも粗化された粗化面とされており、熱可塑性樹脂部材には官能基を含有する添加剤が添加され、粗化面に存在する官能基と添加剤に存在する官能基とが化学結合されており、封止面において露出面との境界側から熱可塑性樹脂部材の内部側へ向かう方向を第1の方向としたとき、粗化面は、第1の方向に平行な軸まわりに封止面の全周に形成された閉環形状をなすものであり、封止面においては、閉環形状をなす粗化面が、非粗化面を間隔として第1の方向に沿って3個以上、配列されている。
 それによれば、封止面において剥離進展方向である第1の方向に沿って3個以上の閉環状をなす粗化面を配列した構成となる。これにより、封止面における第1の方向に沿った両端側に位置する粗化面、つまり、封止面のうち応力が高くなる部位に位置する粗化面において、剥離が発生したとしても、当該剥離した粗化面と封止面の中央側に位置する粗化面との間には、非粗化面による段差があるので、剥離の進展が抑制される。
 そのため、本態様によれば、熱硬化性樹脂部材の封止面の一部に粗化面を形成し、この粗化面にて熱可塑性樹脂部材との機械的結合および化学的結合による封止を行ってなる樹脂成形体において、両樹脂部材の接合界面における剥離の進展を抑制することができる。
 本開示についての上記目的およびその他の目的、特徴や利点は、添付の図面を参照しながら下記の詳細な記述により、より明確になる。その図面は、
第1実施形態にかかる樹脂成形体としての半導体装置を示す概略断面図である。 図1中の半導体装置における熱硬化性樹脂部材を模式的に示した外観斜視図である。 図1に示される半導体装置の製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。 図3に続く製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。 図4に続く製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。 図5に続く製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。 図1に示される半導体装置の製造工程の断面のうちレーザ照射による粗化処理方法を示す概略斜視図である。 図7に示される粗化処理におけるレーザ照射の走査方法を示す概略断面図である。 第2実施形態にかかる半導体装置における熱硬化性樹脂部材を模式的に示した外観斜視図である。 第2実施形態における熱硬化性樹脂部材の他の例を示す概略断面図である。 第3実施形態にかかる半導体装置における熱硬化性樹脂部材および熱可塑性樹脂部材の概略断面図である。
 以下、実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
 第1実施形態にかかる樹脂成形体について、図1、図2を参照して述べる。なお、図1では、後述する熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aの凹凸形状、段差11cについては、わかりやすくするために、大きくデフォルメして示してある。また、図2では、熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aについて、その表面に斜線ハッチングを施して示している。
 この樹脂成形体は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための半導体装置として適用されるものである。本実施形態の樹脂成形体としての半導体装置は、熱硬化性樹脂部材10と熱硬化性樹脂部材10の表面の一部を封止する熱可塑性樹脂部材20とを備えて構成されている。
 熱硬化性樹脂部材10は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂よりなるもので、必要に応じて、当該樹脂中にシリカやアルミナ等の絶縁性材料よりなるフィラーが含有されていてもよい。このような熱硬化性樹脂部材10は、トランスファー成形、コンプレッション成形、あるいは、ポッティング法等による成形および熱硬化処理を行うことで、形成されたものである。
 また、熱可塑性樹脂部材20は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリフェニレンテレフタレート)等の熱可塑性樹脂よりなるもので、熱硬化性樹脂部材10の一部を封止するように射出成形を行うことにより、形成されたものである。この熱可塑性樹脂部材20内には、官能基を含有する添加剤20aが添加されている。
 添加剤20aは、水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基などのいずれか1つもしくは複数の官能基を有するポリマーよりなるものである。この添加剤20aが熱硬化性樹脂部材10の粗化面11aに存在する官能基と化学反応して、高密着性な熱硬化性樹脂-熱可塑性樹脂接合を可能としている。
 このような添加剤20aが添加された熱可塑性樹脂部材20が熱硬化性樹脂部材10の表面の一部を封止することにより、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部は、熱可塑性樹脂部材20により封止された封止面11とされている。そして、熱硬化性樹脂部材10の表面のうち封止面11以外の部分である残部は、熱可塑性樹脂部材20より露出する露出面12とされている。
 ここでは、図1および図2に示されるように、熱硬化性樹脂部材10は、角柱状、具体的には直方体状をなすものとして構成されている。そして、この熱硬化性樹脂部材10の長手方向の一端10a側における熱硬化性樹脂部材10の表面の一部が、封止面11とされ、当該長手方向の他端10b側における熱硬化性樹脂部材の表面の残部が、露出面12とされている。
 さらに具体的に言うならば、図1、図2に示される熱硬化性樹脂部材10は、長手方向の一端面とこれに対向する他端面、および、長手方向に延びる4個の側面を有する四角柱状をなしている。
 そして、熱硬化性樹脂部材10の封止面11は、当該長手方向の一端面と4個の側面のうちの当該長手方向の一端10a側の部位とされている。一方、熱硬化性樹脂部材10の露出面12は、当該長手方向の他端面と4個の側面のうちの当該長手方向の他端10b側の部位とされている。
 熱硬化性樹脂部材10は、その内部に、熱硬化性樹脂部材10により封止された第1の被封止部品としての半導体素子30、第2の被封止部品としての電気接続部材40を有している。
 第1の被封止部品である半導体素子30は、磁気センサや光センサ、あるいは、圧力センサ等に用いられるシリコン半導体等よりなるセンサチップである。このような半導体素子30は、通常の半導体プロセスにより形成されるものである。
 たとえば、磁気センサ用の半導体素子30の場合、半導体素子30の全体が熱硬化性樹脂部材10により封止されており、半導体素子30は、熱硬化性樹脂部材10を介して外部の磁気を検出するようにしている。
 また、光センサや圧力センサ用の半導体素子30の場合、半導体素子30の一部を開口させる図示しない開口部が、熱硬化性樹脂部材10に形成され、半導体素子30は、当該開口部を介して光や圧力を検出するようになっている。
 ここで、本実施形態では、熱硬化性樹脂部材10のうち半導体素子30を封止している部分の一部を、熱可塑性樹脂部材20より露出させることで、たとえば半導体素子30に対して余分な応力が加わらないようにしている。
 一方、第2の被封止部品である電気接続部材40は、半導体素子30と半導体装置の外部の図示しない配線部材とを電気的に接続するためのものである。ここでは、電気接続部材40の一部41は熱硬化性樹脂部材10に被覆されて、残部42は熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出する。また、電気接続部材40の残部42は、熱硬化性樹脂部材10の外部にて熱可塑性樹脂部材20により封止され、かつ、その先端部が熱可塑性樹脂部材20から露出させられている。
 ここで、電気接続部材40の一部41は、熱硬化性樹脂部材10内にて、半導体素子30と電気接続されている。この半導体素子30との接続手法は特に限定するものではないが、ここでは、AlやAu等のボンディングワイヤ50により接続されている。
 一方、熱可塑性樹脂部材20は、電気接続部材40の残部42を封止しているが、熱可塑性樹脂部材20には開口部21が形成されている。そして、この開口部21において、電気接続部材40の残部42のうちのさらに一部が、熱可塑性樹脂部材20の外部に露出している。
 この熱可塑性樹脂部材20の開口部21は、図示しない外部の配線部材、たとえばコネクタ部材等が挿入されて接続される部位であり、それにより、この外部の配線部材と電気接続部材40とが、電気的に接続されるようになっている。
 つまり、電気接続部材40は、半導体素子30の検出や出力等の用をなすものとして機能し、半導体素子30は、電気接続部材40を介して、装置の外部との電気的なやり取りを可能としている。このような電気接続部材40として、本実施形態では、CuやAl等の棒状部材よりなるターミナル端子を用いているが、その他、回路基板などを電気接続部材40として用いてもよい。
 そして、図1、図2に示されるように、本実施形態においては、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部は、粗化処理された粗化面11aとされ、封止面11の残部は粗化処理されていない非粗化面11bとされている。この粗化面11aは、非粗化面11bよりも段差11cを有して凹み非粗化面11bよりも粗化された面である。
 また、非粗化面11bは、粗化処理されていない面であるが、熱硬化性樹脂部材10における露出面12も、非粗化面11bと同様、粗化処理されていない面である。つまり、非粗化面11bと露出面12とは、前者が熱可塑性樹脂部材20で封止され、後者が露出しているという点では相違するものの、性状は同一の連続した面である。
 なお、封止面11の全体を粗化面11aとするのではなく、封止面11の一部を非粗化面11bとし、封止面11の残部を粗化面11aとしたのは、粗化処理のコストや粗化処理される熱硬化性樹脂部材10の形状の制約等によるものである。
 粗化面11aは、後述する製造方法のうちの粗化処理としての表面層除去工程により形成されるものであり、この粗化面11aの粗化度合、つまり表面粗さRaは、非粗化面11bおよび露出面12よりも大きくされている。
 具体的には、この粗化面11aの表面粗さRaは、数μm以上(たとえば3μm以上)とされている。逆に言えば、非粗化面11bおよび露出面12は、後述の図3に示す表面層13が存在する面に相当する。なお、表面粗さRaは、JIS(日本工業規格の略称)に定義されている算術平均粗さRaである。
 また、粗化面11aは封止面11の表面層13(図3参照)を全面除去した面であることから、熱硬化性樹脂部材10の表面のうち粗化面11a以外の部分に対して粗化面11aが凹むように、これらの間には上記した段差11cが形成されている。この段差11cの高さ、すなわち、非粗化面と粗化面との高さの差は、数μm以上(たとえば5μm以上)である。
 ここで、図1、図2に示されるように、本実施形態では、熱硬化性樹脂部材10の封止面11において露出面12との境界側から熱可塑性樹脂部材20の内部側へ向かう方向を第1の方向Y1とする。
 このとき、粗化面11aは、第1の方向Y1に平行な軸まわりに封止面11の全周に形成された閉環形状をなすものである。たとえば、第1の方向Y1に平行な軸とは、角柱状をなす熱硬化性樹脂部材10における柱軸に相当する。そして、封止面11において閉環形状をなす粗化面11aが、非粗化面11bを間隔として第1の方向Y1に沿って3個、配列されている。
 ここでは、図1、図2に示されるように、熱硬化性樹脂部材は、長手方向の軸を第1の方向Y1に平行な軸とする四角柱状をなすものである。そして、個々の粗化面11aは、この熱硬化性樹脂部材10における4個の側面に渡って連続する閉環状とされ、第1の方向Y1に沿って、3個の粗化面11aが間隔を開けて配列された形となっている。なお、隣り合う粗化面11aの間隔は、当然ながら非粗化面11bとされている。
 また、本実施形態では、図1、図2に示されるように、3個の粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11内にのみ、つまり熱可塑性樹脂部材20の内側にのみ形成されている。このため、3個の粗化面11aのそれぞれについて、非粗化面11bとの境界である段差11cは、熱可塑性樹脂部材20で封止されている。
 次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について、図3~図6に示される工程図および図7、図8に示されるレーザ照射方法の図も参照して述べる。なお、図7では、電気接続部材40は省略してある。
 まず、図3に示される硬化モールド工程では、熱硬化性樹脂部材10の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、この熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、熱硬化性樹脂部材10を形成する。
 具体的に、この硬化モールド工程では、半導体素子30と電気接続部材40とをボンディングワイヤ50で接続したものを、トランスファー成形、コンプレッション成形あるいはポッティング等により封止し、さらに、このものを加熱、硬化する。こうして、熱硬化性樹脂部材10ができあがる。
 この硬化モールド工程で形成された熱硬化性樹脂部材10の最表面には、汚染物よりなる表面層13が存在する。汚染物は、熱硬化性樹脂部材10の構成材料中に存在するが、加熱成形時に最表面に浮き出てきて、それよりも内側にはあまり存在しない状態となる。ここで、汚染物とは、たとえば離型剤や工程中に熱硬化性樹脂部材10の表面に付着した異物等である。離型剤とは、上記成形において型離れ性を確保するために、金型表面に設けられたり、熱硬化性樹脂材料自身に混合されたりするもので、たとえばシロキサンや脂肪酸等よりなる。
 次に、図4に示されるように、熱硬化性樹脂部材10に対して表面層除去工程を行う。この工程では、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部、すなわち封止面11のうちの粗化面11aを形成する部位において、最表面に位置する表面層13を除去することで当該部位を新生面14とする。
 具体的には、封止面11のうちの粗化面11aの形成予定位置に対して、レーザ照射、ショットブラスト等の手法を用い、表面層13を除去する。これら手法は、処理表面を削って凹凸を形成するものであり、レーザ照射が最も望ましい手法である。粗化面11aを形成する際の封止面11の除去深さは、表面層13を除去できる程度で良く、数μm以上(たとえば5μm以上)とされていれば良い。
 これら手法により、汚染物としての表面層13が除去されるとともに、表面層13の下地としての新生面14が粗化される。それによって、新生面14は、アンカー効果が付与されて熱可塑性樹脂部材20との密着性に優れた粗化面11aとされる。また、この粗化面11aとしての新生面14には、実際には図5に示すように、熱硬化性樹脂部材10を構成する熱硬化性樹脂における水酸基やエポキシ基等のいずれか1つもしくは複数が官能基として存在している。
 なお、表面層除去工程においては、特にレーザ照射を用いると、新生面14が焼けて酸化された部分に存在する官能基がさらに化学反応を促進して高密着性を実現することが可能となるため好ましい。このレーザとしては、限定するものではないが、たとえばYAGレーザ等が挙げられる。また、OH基などの官能基をより新生面14に多く存在させるために、さらに、熱硬化性樹脂部材10の新生面14に、コロナ放電処理を施すことも望ましい。
 このように、本実施形態の表面層除去工程では、熱硬化性樹脂部材10に対して処理表面の表面層13を除去することで、上述したような第1の方向に沿って配列する3個の粗化面11aを形成する。この場合について、レーザ照射を用いた例を、図7、図8を参照して具体的に述べる。
 このレーザ照射は、図7に示されるように、直方体状をなす熱硬化性樹脂部材10の封止面11のうち1個の側面に対して垂直方向からレーザL1を照射するものである。このレーザL1を第1の方向Y1に走査することで、第1の方向Y1に沿って一定幅の領域が加工される。本実施形態では、このレーザ照射を、当該1個の側面において第1の方向に沿って並ぶ3個の領域に対して行う。
 ここで、レーザL1は、図8に示されるように、熱硬化性樹脂部材10における1個の側面について、当該側面の幅方向の一端側から他端側に向けて走査する。この幅方向の走査と、第1の方向Y1への走査とを組み合わせることで、レーザ照射による加工が行われる。
 こうして、当該1個の側面に対する加工を行った後、熱硬化性樹脂部材10を90°回転させ、2個目の側面に対して、1個目の側面と同様に加工を施す。その後、熱硬化性樹脂部材10を90°回転させて3個目の側面の加工を同様に行い、さらに、熱硬化性樹脂部材10を90°回転させて4個目の側面の加工を同様に行う。これにより閉環形状をなす3個の粗化面11aを有する熱硬化性樹脂部材10ができあがる。
 そして、表面層除去工程の後、図6に示される可塑モールド工程を行う。この工程では、官能基が存在する熱硬化性樹脂部材10の新生面14としての粗化面11aに対して、熱可塑性樹脂部材20の原料である添加剤20aを添加した熱可塑性樹脂材料を射出成形する。
 たとえば、添加剤20aとなる官能基を有するポリマーを母材となる熱可塑性樹脂材料に混練することにより、添加剤20aを添加した熱可塑性樹脂材料を得ることができる。これにより、粗化面11aに存在する官能基と添加剤20aに存在する官能基とが化学結合しつつ、熱硬化性樹脂部材10における封止面11が熱可塑性樹脂部材20で封止される。
 この可塑モールド工程における化学結合としては、たとえば熱硬化性樹脂部材10がエポキシ樹脂である場合、エポキシ樹脂中の水酸基やエポキシ基が添加剤20aに存在する水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基と化学結合することになる。
 そして、水酸基同士の結合やエポキシ基同士の結合などとされる場合、共有結合となるため、より強度の高い化学結合となる。つまり、添加剤20aの構成材料として、熱硬化性樹脂部材10の構成材料に含まれる官能基と同じ官能基を少なくとも1つ含む材料を用いることで共有結合を実現できる。
 そして、この化学結合により、熱硬化性樹脂部材10における新生面14としての粗化面11aと熱可塑性樹脂部材20との間の高密着性を得ることができるのである。こうして、本実施形態の樹脂成形体としての半導体装置ができあがる。
 なお、上記の表面層形成工程以降の各工程は、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部に対して選択的に処理を行うものであるため、処理を行わない表面には適宜マスキング等を施したうえで、当該各工程を行うようにする。
 第1実施形態の効果について述べる。本実施形態によれば、封止面11において剥離進展方向である第1の方向Y1に沿って3個の閉環状をなす粗化面11aが、非粗化面11bを間隔として配列された構成となっている。
 これにより、第1の方向Y1に沿って配列された3個の粗化面11aのうち配列の始端と終端の両端となる粗化面11aは、封止面11における第1の方向Y1に沿った両端寄りに位置する。そして、封止面11における第1の方向Y1に沿った両端側に位置する粗化面11aは、封止面11の中央側に位置する粗化面11aに比べて、封止面11のうち応力が高くなる部位に位置するものである。
 そのため、この応力が高くなる部位に位置する粗化面11aにて、熱可塑性樹脂部材20との剥離が発生したとしても、当該剥離した粗化面11aと当該中央側の粗化面11aとの間には、非粗化面11bによる段差11cがあるので、剥離の進展が抑制される。このようなことから、本実施形態によれば、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との両樹脂部材の接合界面における剥離の進展を抑制することができる。
 さらに言えば、本実施形態では、第1の方向Y1に沿って順次配列された3個の粗化面11aのうち配列の始端と終端の両端に相当するものが、中間に位置する粗化面11aの剥離防止のための犠牲領域として機能するものであると言える。
(第2実施形態)
 第2実施形態にかかる半導体装置について、図9、図10を参照し、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。なお、図9では、熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aについて、その表面に斜線ハッチングを施して示し、また、電気接続部材40は省略してある。
 まず、図9の例では、3個の粗化面11aのうち配列方向である第1の方向Y1の両端の粗化面11aにおける第1の方向Y1に沿った幅W1は、当該両端の間に位置する粗化面11aにおける第1の方向Y1に沿った幅W2よりも、大きくされている。
 また、図10の例では、3個の粗化面11aのうち配列方向である第1の方向Y1の両端の粗化面11aにおける段差11cの高さD1は、当該両端の間に位置する粗化面11aにおける段差11cの高さD2よりも、大きくされている。
 上述のように、第1の方向Y1に沿って配列された3個の閉環形状をなす粗化面11aのうち配列方向の両端となる2個の粗化面11aは、これら2個の粗化面11aの中間に位置する粗化面11aよりも応力が高くなる部位に位置するものである。つまり、当該2個の粗化面11aは、当該中間に位置する粗化面11aよりも、接合界面における剥離が発生しやすい。
 その点を考慮して、上記図9の例のようにすれば、当該2個の粗化面11aにおける接合界面の長さを大きくでき、当該2個の粗化面11a全体にて剥離が発生してしまうことを抑制しやすくなる。また、上記図10の例のようにした場合、当該2個の粗化面11aの段差11cが高くなるから、当該2個の粗化面11aにて剥離が発生してしまうことを抑制しやすくなる。
 さらには、この効果をより高レベルで実現するために、図9の例と図10の例との両方を組み合わせた構成、つまり、W1>W2且つD1>D2の関係を採用してもよいことはもちろんである。
(第3実施形態)
 第3実施形態にかかる半導体装置について、図11を参照し、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。なお、図11では、熱可塑性樹脂部材20中の添加剤20aは省略してある。
 上述のように、熱硬化性樹脂部材10は、長手方向の軸を第1の方向Y1に平行な軸とする四角柱形状をなすものであり、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における4個の側面のすべてに渡って連続する閉環形状をなすものである。ここで、本実施形態では、当該側面間に位置する角部13では、この角部13を丸めた形状となるように粗化面11aが形成されている。
 このように四角柱状の熱硬化性樹脂部材10において、閉環形状の粗化面11aを設けた場合、側面間に位置する角部13が角張っていると、角部13に大きな応力集中が発生しやすく、接合界面における剥離が生じやすい。その点を鑑みて、角部13を丸めた形状とすれば、応力集中を比較的小さくすることができ、好ましい。
 なお、ここでは、四角柱の熱硬化性樹脂部材10について述べたが、四角柱以外にも、たとえば三角柱、五角柱、六角柱等の多角柱の熱硬化性樹脂部材10であってもよく、その場合にも、角部13を丸めた形状を採用すれば、同様の効果が期待できる。
 また、本実施形態は、上記第1実施形態だけでなく、上記第2実施形態とも組み合わせが可能であることはもちろんである。
 上記実施形態の変形例について述べる。なお、上記各実施形態では、粗化面11aは3個であったが、粗化面11aは3個以上の複数個であればよく、たとえば4個、5個あるいは5個以上でもよい。そして、これら場合も、複数個の閉環形状をなす粗化面11aが、第1の方向に沿って順次配列されていればよい。そして、複数個の粗化面11aのうち配列の始端と終端の両端に相当する粗化面11aが上記同様、剥離の犠牲領域として機能し、上記同様の剥離抑制の効果を発揮する。
 また、熱硬化性樹脂部材10は円柱でもよい。円柱の場合、接合界面を構成する閉環形状をなす粗化面11aには、上記の角柱状の熱硬化性樹脂部材10のような側面の角部13がそもそも存在しないので、当該角部13における応力集中の発生を回避でき、好ましい。
 さらには、熱硬化性樹脂部材10の立体形状は、上記した角柱や円柱等の柱状体をなすものに限定されるものではなく、その他の形状などであってもよい。また、熱可塑性樹脂部材20の封止形態は、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部が封止され残部が露出するものであればよく、上記図示例のような熱硬化性樹脂部材10の一端10a側が封止面11、他端10b側が露出面とされたものに限定するものではない。
 また、第1の被封止部品および第2の被封止部品としては、熱硬化性樹脂部材10で封止されることが可能なものであればよく、上記した半導体素子30や電気接続部材40あるいは回路基板に限定されるものではない。
 また、上記実施形態では、樹脂成形体は半導体装置であり、熱硬化性樹脂部材10の内部には、熱硬化性樹脂部材10で封止された被封止部品となる半導体素子30などが設けられたものであった。しかし、樹脂成形体としては、このような半導体装置に限定されるものではなく、たとえば熱硬化性樹脂部材10として被封止部品を持たない構成のものであってもよい。
 また、本開示は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。
 本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。

Claims (4)

  1.  熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材(10)と、
     前記熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面(11)を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材(20)と、を備え、
     前記熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面(12)は、前記熱可塑性樹脂部材より露出している樹脂成形体であって、
     前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面の一部は、粗化処理されていない非粗化面(11b)とされ、前記封止面の残部は、前記非粗化面よりも段差(11c)を有して凹み前記非粗化面よりも粗化された粗化面(11a)とされており、
     前記熱可塑性樹脂部材には官能基を含有する添加剤(20a)が添加され、前記粗化面に存在する官能基と前記添加剤に存在する官能基とが化学結合されており、
     前記封止面において前記露出面との境界側から前記熱可塑性樹脂部材の内部側へ向かう方向を第1の方向(Y1)としたとき、
     前記粗化面は、前記第1の方向に平行な軸まわりに前記封止面の全周に形成された閉環形状をなすものであり、
     前記封止面においては、前記閉環形状をなす粗化面が、前記非粗化面を間隔として前記第1の方向に沿って3個以上、配列されている樹脂成形体。
  2.  前記3個以上の粗化面のうち配列方向の両端のものは、当該両端の間に位置するものよりも、前記第1の方向に沿った幅が大きい請求項1に記載の樹脂成形体。
  3.  前記3個以上の粗化面のうち配列方向の両端のものは、当該両端の間に位置するものよりも、前記段差の高さが大きい請求項1または2に記載の樹脂成形体。
  4.  前記熱硬化性樹脂部材は、長手方向の軸を前記第1の方向に平行な軸とする角柱状をなすものであり、
     前記粗化面は、前記熱硬化性樹脂部材の全ての側面に渡って連続する閉環形状をなすものであり、当該側面間に位置する角部(13)では、当該角部を丸めた形状となるように前記粗化面が形成されている請求項1ないし3のいずれか1つに記載の樹脂成形体。
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