JP6428275B2 - 樹脂成形体 - Google Patents
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封止面における非粗化面と粗化面との境界には、非粗化面と熱可塑性樹脂部材との界面に発生する剥離の粗化面側への進展を抑制するための溝(11d)が設けられていることを特徴とする。
本発明の第1実施形態にかかる樹脂成形体について、図1〜図3を参照して述べる。なお、図1、図3では、後述する熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aの凹凸形状、段差11c、および、溝11dについては、わかりやすくするために、大きくデフォルメして示してある。また、図2では、熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aについて、その表面に斜線ハッチングを施して示している。また、図3では、熱可塑性樹脂部材20中の添加剤20aを省略してある。
さらに、本実施形態では、図1に示されるように、封止面11における非粗化面11bと粗化面11aとの境界には、剥離抑制用の溝11dが設けられている。この溝11dは、非粗化面11bと粗化面11aとの間に位置することで、非粗化面11bと熱可塑性樹脂部材20との界面に発生する剥離が粗化面11a側へ進展するのを抑制するものである。この溝について、図3も参照して述べる。
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について、図4〜図7も参照して述べる。まず、図4に示される硬化モールド工程では、熱硬化性樹脂部材10の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、この熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、熱硬化性樹脂部材10を形成する。
[効果等]
ところで、本実施形態によれば、熱硬化性樹脂部材10における封止面11と当該封止面11を封止する熱可塑性樹脂部材20との界面では、封止面11上の汚染物が除去された新生面14としての粗化面11aが形成される。この粗化面11aにおいて上記官能基を介した熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との化学結合が実現される。
本発明の第2実施形態について、図8を参照して述べる。図8では、本実施形態の半導体装置における要部として、非粗化面11bと粗化面11aとの境界近傍部分を示している。本実施形態では、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本発明の第3実施形態について、図9を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本発明の第4実施形態について、図10を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本発明の第5実施形態について、図11を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。図11に示されるように、本実施形態は、上記第1実施形態のような溝11dを形成することに替えて、封止面11における非粗化面11bと粗化面11aとの間の段差11cにおける壁面11eに、凹凸処理を施したものとしている。
本発明の第6実施形態について、図12を参照して述べる。本実施形態は、上記第5実施形態と同様に、段差11cにおける壁面11eに、凹凸処理を施したものであるが、この凹凸処理による凹凸形状を変形したものである。
なお、上記図1に示した半導体装置においては、熱硬化性樹脂部材10の封止面11における粗化面11aと非粗化面11bとの境界は、2箇所存在していたが、封止面11における当該境界は少なくとも1箇所あればよく、さらには3箇所以上であってもよい。ここで、当該境界が1箇所である半導体装置の例を図13に示しておく。
11 熱硬化性樹脂部材の封止面
11a 封止面における粗化面
11b 封止面における非粗化面
11c 段差
11d 溝
11e 段差の壁面
12 熱硬化性樹脂部材の露出面
20 熱可塑性樹脂部材
20a 添加剤
Claims (5)
- 熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材(10)と、
前記熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面(11)を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材(20)と、を備え、
前記熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面(12)は、前記熱可塑性樹脂部材より露出している樹脂成形体であって、
前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面の一部は、粗化処理されていない非粗化面(11b)とされ、前記封止面の残部は、前記非粗化面よりも段差(11c)を有して凹み前記非粗化面よりも粗化された粗化面(11a)とされており、
前記熱可塑性樹脂部材には官能基を含有する添加剤(20a)が添加され、前記粗化面に存在する官能基と前記添加剤に存在する官能基とが化学結合されており、
前記封止面における前記非粗化面と前記粗化面との境界には、前記非粗化面と前記熱可塑性樹脂部材との界面に発生する剥離の前記粗化面側への進展を抑制するための溝(11d)が設けられていることを特徴とする樹脂成形体。 - 前記溝における前記非粗化面側の内壁面と前記非粗化面とのなす角度θが、45°よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の樹脂成形体。
- 前記角度θが90°よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の樹脂成形体。
- 前記溝は、深さ方向に幅が細くなる断面V字状の溝であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の樹脂成形体。
- 前記溝は、前記封止面において、前記粗化面の端部とは離れて設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の樹脂成形体。
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