WO2017119780A1 - 이송툴 - Google Patents

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WO2017119780A1
WO2017119780A1 PCT/KR2017/000223 KR2017000223W WO2017119780A1 WO 2017119780 A1 WO2017119780 A1 WO 2017119780A1 KR 2017000223 W KR2017000223 W KR 2017000223W WO 2017119780 A1 WO2017119780 A1 WO 2017119780A1
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WO
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pulleys
transfer tool
driven
driving
rotating member
Prior art date
Application number
PCT/KR2017/000223
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English (en)
French (fr)
Inventor
유홍준
Original Assignee
(주)제이티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by (주)제이티 filed Critical (주)제이티
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/04—Drums, rollers, or wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to a device handler, and more particularly to a transfer tool for performing the pickup and transfer of the device in the device handler for performing the inspection, classification, etc. of the device in more detail.
  • Semiconductor devices such as DRAM, flash lamp, LSI, LED, and WL-CSP devices (hereinafter referred to as 'devices') are generally shipped to the market after the sawing process and the packaging process after the semiconductor process.
  • the products of the good products are sorted and shipped to the market through the automatic inspection and classification according to the inspection result by the inspection device, the classification device, the inspection and the classification device.
  • the types of chips such as lead frames and BGAs, have diversified terminal structures.
  • the process is performed in the clean room, and the processing speed of the equipment that performs each process in the clean room is directly related to the productivity.
  • Handlers are also important to speed up equipment.
  • Patent Document 1 KR10-2010-0081277 A
  • Patent Document 2 KR10-0580816 B
  • Patent Document 3 KR10-0443039 B
  • Patent Document 4 KR10-2004-0096409 A
  • An object of the present invention is to solve the above problems, by installing the pickers on a plurality of rotating members such as wire or belt and by rotating the rotating member to adjust the pitch between the pickers, precise and rapid pitch between the pickers An adjustable transfer tool is provided.
  • the plurality of drive pulleys (110, 120, 130, 140) are rotationally driven by a drive motor for generating a rotation force and different in outer diameter
  • Rotating members (210, 220, 230, 240);
  • Disclosed is a transfer tool comprising at least one picker 400 coupled to a predetermined position on each of the rotating members 210, 220, 230, and 240.
  • Each of the driving pulleys 110, 120, 130, and 140 may include one or more fixing holes 111, 121, 131, and 141 into which both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 are inserted. Both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be inserted into and fixed to the fixing holes 111, 121, 131, and 141.
  • Both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be inserted into one fixing hole or inserted into each fixing hole.
  • Both ends of the rotating members 210, 220, 230, 240 are inserted into the fixing holes 111, 121, 131, 141, and then both ends of the rotating members 210, 220, 230, 240 are coupled. It can be coupled and fixed by the coupling member 510 to.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 are inserted into the fixing holes 111, 121, 131, and 141, one of the rotating members among the driving pulleys 110, 120, 130, and 140 may be used. Both ends of the ends 210, 220, 230, and 240 are pressed into the fixing holes 111, 121, 131, and 141 toward the driving pulleys 110, 120, 130, and 140 to rotate the rotating member ( Both ends of 210, 220, 230, and 240 may be fixed.
  • the rotating member 210, 220, 230, 240, a belt or a wire may be used.
  • the present invention also includes a drive pulley part 100 which is driven by a drive motor for generating a rotational force and including a plurality of drive pulleys 110, 120, 130, 140 having different outer diameters;
  • a driven pulley part 300 opposite to the driving pulley part 100 and installed to correspond to the driving pulley part 100 and including a plurality of driven pulleys 310, 320, 330, and 340 having different outer diameters;
  • One end is fixed to any one of each of the drive pulleys (110, 120, 130, 140) and each of the driven pulleys (310, 320, 330, 340), the other end of each of the drive pulleys (110, 120, 130, 140)
  • a plurality of rotating members (210, 220, 230, 240) fixed to any one of the driven pulleys (310, 320, 330, 340);
  • Disclosed is a transfer tool comprising at least one picker 400 coupled to a predetermined position on each
  • One end and the other end of the rotating member 210, 220, 230, 240 may be inserted into a fixing hole formed in the corresponding pulley and fixed.
  • Both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be inserted into one fixing hole or inserted into each fixing hole.
  • the coupling member 510 for coupling both ends of the rotating member (210, 220, 230, 240) Can be fixed.
  • the end of the rotating member (210, 220, 230, 240) is inserted into the fixing hole, the end of the rotating member (210, 220, 230, 240) of the pulley is inserted into the fixing hole
  • the ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be fixed by pressing toward the pulleys.
  • the rotating member 210, 220, 230, 240, a belt or a wire may be used.
  • the transfer tool according to the present invention has an advantage in that it is possible to quickly and precisely adjust the pitch of the pickers by combining the pickers with a plurality of wires and adjusting the pickers of each picker.
  • the transfer tool according to the present invention by fixing the wire to which the pickers are coupled to at least one of the driving pulley and the driven pulley enables a firm fixing of the wire to prevent damage due to breakage of the wire as well as to prevent malfunction of the device. There is an advantage to this.
  • the wire is fixed to any one of the drive pulley and driven pulley has the advantage that the configuration similar to the drive pulley and driven pulley timing belt for precise rotation of the wire is unnecessary.
  • FIG. 1 is a front view showing the configuration of the transfer tool according to the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged partial view of a portion of the driving pulley of the transfer tool of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a partially enlarged view in which a portion of the driven pulley part of the transfer tool of FIG. 1 is enlarged.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the III-III direction in FIG. 1.
  • the transfer tool includes a plurality of drive pulleys (110, 120, 130, 140) rotated by the drive motor for generating a rotational force and different in outer diameter
  • a driving pulley part 100 A driven pulley unit 300 opposite to the driving pulley unit 100 and installed to correspond to the driving pulley unit 100 and including a plurality of driven pulleys 310, 320, 330, and 340 having different outer diameters;
  • the transfer tool may be used in any device that requires device transfer, such as a sorter for classifying the inspected device, a handler for inspecting and classifying, and a die bonder.
  • the drive pulley unit 100 may be variously configured in a configuration in which the drive pulley unit 100 is directly coupled to a rotating shaft of a rotation driving device (not shown) for generating a rotation force such as an electric motor or connected by a coupler or the like.
  • the driving pulley part 100 corresponds to the number of the rotating members 210, 220, 230, and 240 to be described later, and the plurality of driving pulleys 110 and 120 coupled to the driving shaft 10 rotated by the rotation driving device. , 130, 140).
  • the plurality of driving pulleys 110, 120, 130, and 140 may have various pulley structures or may be integrally formed.
  • the plurality of driving pulleys 110, 120, 130, and 140 are grooves into which the rotation members 210, 220, 230, and 240 are inserted so that the rotation members 210, 220, 230, and 240 do not move in the axial direction.
  • 119, 129, 139, and 149 may be formed, respectively.
  • the plurality of driving pulleys 110, 120, 130, and 140 may be installed to sequentially increase or decrease an outer diameter along the longitudinal direction of the driving shaft 10.
  • the driven pulley unit 300 may include a plurality of driven pulleys 310, 320, 330, and 340 facing the driving pulley unit 100 and installed to correspond to the driving pulley unit 100 and having different outer diameters. .
  • the driven pulley 300 has a configuration similar to that of the drive pulley 100 except that the drive shaft 10 is rotationally driven.
  • the driven pulley unit 300 includes a plurality of driven pulleys 310, 320, 330, and 340 rotatably coupled to the driven shaft 20.
  • the plurality of driven pulleys 310, 320, 330, and 340 may have various pulley structures or may be integrally formed.
  • the plurality of driven pulleys 310, 320, 330, and 340 are grooves into which the rotation members 210, 220, 230, and 240 are inserted so that the rotation members 210, 220, 230, and 240 do not move in the axial direction. 219, 229, 239, and 249 may be formed, respectively.
  • driven pulleys 310, 320, 330, and 340 may be installed to sequentially increase or decrease the outer diameter along the longitudinal direction of the driven shaft 20.
  • the rotating members 210, 220, 230, and 240 have a configuration in which one or more pickers 400 are coupled to a predetermined position, and corresponding driven pulleys of the corresponding driving pulley and the driven pulley part 300 of the driving pulley part 100.
  • the distance between the pickers 40 adjacent to the pickers 40 that is, the pitch, is adjusted by moving the pickers 40 laterally coupled to each other and coupled by rotational driving of the driving pulley and the driven pulley.
  • the picker 400 may have any configuration as long as it can pick up a device.
  • the picker 400 may include a rod for vacuum transfer and a pick-up head coupled to a lower end of the rod to pick up the device so as to pick up the device by the formation of the vacuum pressure.
  • the picker 40 may include a rod directly coupled to the rotating members 210, 220, 230, and 240, or having a support member interposed therebetween.
  • the rotating members 210, 220, 230, 240 if the configuration can be directly or indirectly coupled with the picker 400, a variety of configurations, such as belts, wires are possible.
  • the belt and the wire may have a tooth structure formed at a portion in contact with the pulley for more precise rotation, that is, a timing belt or a timing wire may be used.
  • the drive pulley and the driven pulley may have a tooth structure corresponding to the tooth structure formed on the rotating member in the surface in contact with the rotating member.
  • the rotation members 210, 220, 230, and 240 may be deformed by supporting the pickers 400, thereby causing an error in the position of the picker 400.
  • the coupling state with the pulley may cause a movement error of the picker 400.
  • the rotating members 210, 220, 230, 240, both ends are preferably fixed to the drive pulley (110, 120, 130, 140).
  • the driving pulleys 110, 120, 130, and 140 to which the rotating members 210, 220, 230, and 240 are coupled are fixed to one or more ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240.
  • Holes 111, 121, 131, and 141 may be formed.
  • Both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be inserted into and fixed to the fixing holes 111, 121, 131, and 141.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, 240 may be inserted into one fixing hole or inserted into each fixing hole.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be fixed by being inserted into one fixing hole, or each of the ends may be fixed by being inserted into a separate fixing hole.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 are inserted into the fixing holes 111, 121, 131, and 141, and then rotated. It can be coupled and fixed by the coupling member 510 for coupling both ends of the members (210, 220, 230, 240).
  • both ends of the rotating member (210, 220, 230, 240) is inserted into the fixing holes (111, 121, 131, 141)
  • the rotating member of the driving pulleys (110, 120, 130, 140)
  • Both ends of the 210, 220, 230, and 240 are inserted into the fixing holes 111, 121, 131, and 141 to press the portions toward the driving pulleys 110, 120, 130, and 140 to rotate the rotating member 210, Both ends of 220, 230, 240 can be fixed.
  • the coupling member 510 is configured to fix the ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 inserted into the fixing holes 111, 121, 131, and 141.
  • the coupling member 510 may be installed to press only a portion where the fixing holes 111, 121, 131, and 141 are formed in the driving pulley part 100.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 are fixed to the driving pulley part 100.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 are fixed to the driving pulley part 100.
  • the driving pulley part 100 For example, but various modifications are possible.
  • both ends of the rotating members 210, 220, 230, and 240 may be fixed to the driven pulley 300 instead of the driving pulley 100.
  • one end of the rotating member 210, 220, 230, 240 may be fixed to the drive pulley 100, the other end may be fixed to the driven pulley 300.

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Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하는 소자의 검사, 분류 등을 수행하는 소자핸들러에서 소자의 픽업 및 이송을 수행하는 이송툴에 관한 것이다. 본 발명은, 회전력을 발생시키는 구동모터에 의하여 회전구동되며 외경이 서로 다른 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함하는 구동풀리부(100)와; 상기 구동풀리부(100)에 대향되고 상기 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함하는 종동풀리부(300)와; 상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340)에 감기며 양단이 상기 해당 구동풀리(110, 120, 130, 140)에 고정되는 복수의 회전부재(210, 220, 230, 240)들과; 상기 각 회전부재(210, 220, 230, 240)들에 미리 설정된 위치에 결합되는 하나 이상의 픽커(400)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.

Description

이송툴
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하는 소자의 검사, 분류 등을 수행하는 소자핸들러에서 소자의 픽업 및 이송을 수행하는 이송툴에 관한 것이다.
D 램, 프래쉬램, LSI, LED, WL-CSP 소자 등 반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정을 마친 후 소잉공정, 패키징공정 등을 마친 후 시장에 출하됨이 일반적이다.
그리고 시장에 출하된 제품에 대한 신뢰성을 확보하기 위하여 검사장치, 분류장치, 검사 및 분류장치 등에 의하여 자동검사 및 검사결과에 따른 분류를 통하여 양품의 제품들을 선별하여 시장에 출하하고 있다.
또한 소자는 리드프레임, BGA 등 단자구조가 다양해지는 등 칩의 종류가 다양해지고 있다.
최근에는 소자에 대한 소형화 및 고집적화 요구에 따라서 소자가 수지 등에 의한 몰딩공정을 거치지 않고 웨이퍼 레벨에서 최종 제품화되는 것이 확대되고 있는 추세이다.
한편 SD램, 모바일SD램, 모바일CPU와 같은 LSI와 같은 반도체 시장에서 경쟁이 격화되면서 소자제조비용의 절감될 필요가 있으며 궁극적으로 생산성을 높이는 것이 매우 절실하다.
그리고 반도체 생산은 클린룸 내에서 공정이 수행되는바 클린룸 내에서 각 공정을 수행하는 장비의 처리속도가 생산성에 직결되는바, 패키징 공정을 거치지 않거나 수행 전인 웨이퍼 수준에서의 소자를 언로딩하는 소자핸들러 또한 장비의 처리속도를 높이는 것이 중요하다.
특히 반도체 생산은 웨이퍼 수준에서 소자를 언로딩하는 소자핸들러 또한 장비의 처리속도를 높이는 것이 중요하며, 소자의 픽업 및 이송을 수행하는 이송툴의 성능이 소자핸들러의 처리속도의 중요한 요소이다.
또한 최근 핸들링 대상인 소자의 크기가 매우 작아짐에 따라, 극소형의 소자의 픽업 및 이송에 대한 이송툴의 정밀도가 크게 요구된다.
(특허문헌 1) KR10-2010-0081277 A
(특허문헌 2) KR10-0580816 B
(특허문헌 3) KR10-0443039 B
(특허문헌 4) KR10-2004-0096409 A
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 와이어 또는 벨트와 같은 복수의 회전부재들에 픽커들을 설치하고 회전부재를 회전시켜 각 픽커들 간의 피치를 조절함으로써, 픽커들 간의 정밀하고 신속한 피치조절이 가능한 이송툴을 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 회전력을 발생시키는 구동모터에 의하여 회전구동되며 외경이 서로 다른 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함하는 구동풀리부(100)와; 상기 구동풀리부(100)에 대향되고 상기 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함하는 종동풀리부(300)와; 상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340)에 감기며 양단이 상기 해당 구동풀리(110, 120, 130, 140)에 고정되는 복수의 회전부재(210, 220, 230, 240)들과; 상기 각 회전부재(210, 220, 230, 240)들에 미리 설정된 위치에 결합되는 하나 이상의 픽커(400)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.
상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140)는, 해당 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 삽입되는 하나 이상의 고정홀(111, 121, 131, 141)이 형성되며, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입되어 고정될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 하나의 고정홀에 삽입되거나, 각각의 고정홀에 삽입될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 후, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 결합시키는 결합부재(510)에 의하여 결합되어 고정될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 후, 상기 구동풀리(110, 120, 130, 140)들 중 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 부분을 상기 구동풀리(110, 120, 130, 140)들 쪽으로 가압하여 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 고정할 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)는, 벨트 또는 와이어가 사용될 수 있다.
본 발명은 또한 회전력을 발생시키는 구동모터에 의하여 회전구동되며 외경이 서로 다른 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함하는 구동푸리부(100)와; 상기 구동풀리부(100)에 대향되고 상기 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함하는 종동풀리부(300)와; 일단이 상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340) 중 어느 하나에 고정되고, 타단이 상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340) 중 어느 하나에 고정되는 복수의 회전부재(210, 220, 230, 240)들과; 상기 각 회전부재(210, 220, 230, 240)들에 미리 설정된 위치에 결합되는 하나 이상의 픽커(400)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 일단 및 타단은, 각각 해당 풀리에 형성된 고정홀에 삽입되어 고정될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 하나의 고정홀에 삽입되거나, 각각의 고정홀에 삽입될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀에 삽입된 후, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 결합시키는 결합부재(510)에 의하여 결합되어 고정될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단이 상기 고정홀에 삽입된 후, 해당 풀리들 중 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단이 상기 고정홀에 삽입된 부분을 상기 풀리들 쪽으로 가압하여 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단을 고정할 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)는, 벨트 또는 와이어가 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 이송툴은, 복수의 픽커들을 구비하고 각 픽커들의 픽치를 조절함에 있어서, 복수의 와이어에 픽커들을 결합시켜 픽커들의 픽치를 조절함으로써 신속하고 정밀한 피치조절이 가능한 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 이송툴은, 픽커들이 결합된 와이어를 구동풀리 및 종동풀리 중 적어도 어느 하나에 고정함으로써 와이어의 견고한 고정이 가능하여 와이어의 끊김에 의한 파손의 방지는 물론 장치의 오작동을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 이송툴은, 와이어가 구동풀리 및 종동풀리 중 어느 하나에 고정됨으로써 와이어의 정밀한 회전을 위하여 구동풀리 및 종동풀리에 타이밍벨트와 유사한 구성이 불필요한 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 이송툴의 구성을 보여주는 정면도이다.
도 2는, 도 1의 이송툴 중 구동풀리부의 부분을 확대한 일부 확대도이다.
도 3은, 도 1의 이송툴 중 종동풀리부의 부분을 확대한 일부 확대도이다.
도 4은, 도 1에서 Ⅲ-Ⅲ 방향의 단면도이다.
이하 본 발명에 따른 이송툴에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 이송툴은, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 회전력을 발생시키는 구동모터에 의하여 회전구동되며 외경이 서로 다른 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함하는 구동풀리부(100)와; 구동풀리부(100)에 대향되고 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함하는 종동풀리부(300)와; 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340)에 감기며 양단이 상기 해당 구동풀리(110, 120, 130, 140)에 고정되는 복수의 회전부재(210, 220, 230, 240)들과; 상기 각 회전부재(210, 220, 230, 240)들에 미리 설정된 위치에 결합되는 하나 이상의 픽커(400)들을 포함한다.
여기서 상기 이송툴은, 검사를 마친 소자의 분류를 수행하는 소터, 검사 및 분류를 수행하는 핸들러, 다이본더 등 소자이송이 필요한 장치이면 어디에든 사용될 수 있다.
상기 구동풀리부(100)는, 전기모터 등 회전력을 발생시키기 위한 회전구동장치(미도시)의 회전축과 직접 결합되거나 커플러 등에 의하여 연결되어 회전되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 구동풀리부(100)는, 후술하는 회전부재(210, 220, 230, 240)의 수에 대응되어 회전구동장치에 의하여 회전되는 구동축(10)에 결합되는 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함한다.
그리고 상기 복수개의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들은, 각각 별도의 풀리구조를 가지거나, 일체로 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들은, 회전부재(210, 220, 230, 240)가 축방향으로 이동되지 않도록 회전부재(210, 220, 230, 240)가 삽입되는 홈(119, 129, 139, 149)들이 각각 형성될 수 있다.
또한 상기 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들은, 구동축(10)을 기준으로 그 길이방향을 따라서 외경이 순차적으로 증가하거나 감소하도록 설치될 수 있다.
상기 종동풀리부(300)는, 구동풀리부(100)에 대향되고 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수개 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함할 수 있다.
상기 종동풀리부(300)는, 구동축(10)에 회전구동되는 것을 제외하고 구동풀리부(100)와 유사한 구성을 가진다.
특히 상기 종동풀리부(300)는, 종동축(20)에 회전가능하게 결합되는 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함한다.
그리고 상기 복수개의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들은, 별도의 풀리구조를 가지거나, 일체로 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들은, 회전부재(210, 220, 230, 240)가 축방향으로 이동되지 않도록 회전부재(210, 220, 230, 240)가 삽입되는 홈(219, 229, 239, 249)들이 각각 형성될 수 있다.
또한 상기 종동풀리(310, 320, 330, 340)들은, 종동축(20)을 기준으로 그 길이방향을 따라서 외경이 순차적으로 증가하거나 감소하도록 설치될 수 있다.
상기 회전부재(210, 220, 230, 240)들은, 미리 설정된 위치에 하나 이상의 픽커(400)들이 결합되는 구성으로서 구동풀리부(100)의 해당 구동풀리 및 종동풀리부(300)의 해당 종동풀리에 결합되고, 구동풀리 및 종동풀리의 회전구동에 의하여 결합된 픽커(40)들을 횡방향으로 이동시킴으로써 인접한 픽커(40)와의 간격, 즉 피치를 조절하게 된다.
여기서 상기 픽커(400)는, 소자를 픽업하기 위한 구성으로 소자를 픽업할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
예로서, 상기 픽커(400)는, 진공압의 형성에 의하여 소자를 픽업하도록 진공압 전달을 위한 로드 및 로드의 하단에 결합되어 소자를 픽업하는 픽업헤드로 구성될 수 있다.
그리고 상기 픽커(40)는, 로드가 회전부재(210, 220, 230, 240)에 직접 결합되거나 지지부재가 개재되어 설치될 수 있다.
한편 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)들은, 픽커(400)와 직접 또는 간접 결합될 수 있는 구성이면, 벨트, 와이어 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 상기 벨트 및 와이어는, 보다 정밀한 회전을 위하여 풀리와 접하는 부분에서 치형구조가 형성, 즉 타이밍 벨트 또는 타이밍 와이어가 사용될 수 있다.
이때 상기 구동풀리 및 종동풀리는, 회전부재에 접하는 면에서 회전부재에 형성된 치형구조에 대응되는 치형구조를 가질 수 있다.
한편 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)들은, 픽커(400)들을 지지하는 바 변형이 발생되어 픽커(400)의 위치에 오차가 발생되는 등 회전부재(210, 220, 230, 240)의 상태, 특히 풀리와의 결합상태에 따라서 픽커(400)의 이동오차가 발생될 수 있다.
이에, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)는, 양단이 해당 구동풀리(110, 120, 130, 140)에 고정되는 것이 바람직하다.
이때 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)가 결합되는 구동풀리(110, 120, 130, 140)는, 해당 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 삽입되는 하나 이상의 고정홀(111, 121, 131, 141)이 형성될 수 있다.
그리고, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입되어 고정될 수 있다.
이때, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 하나의 고정홀에 삽입되거나, 각각의 고정홀에 삽입될 수 있다.
구체적으로, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)는 양끝단이 하나의 고정홀에 삽입되어 고정되거나, 끝단 각각이 별도의 고정홀에 삽입되어 고정될 수 있다.
한편 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 고정에 있어서, 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 후, 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 결합시키는 결합부재(510)에 의하여 결합되어 고정될 수 있다.
구체적으로, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 후, 구동풀리(110, 120, 130, 140)들 중 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 부분을 구동풀리부(110, 120, 130, 140)들 쪽으로 가압하여 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 고정할 수 있다.
상기 결합부재(510)는, 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단을 고정하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 결합부재(510)는, 구동풀리부(100)에서 고정홀(111, 121, 131, 141)이 형성된 부분 만을 가압하도록 설치될 수 있다.
한편 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단 고정에 있어서, 본 발명의 실시예는, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 구동풀리부(100)에 고정되는 예를 들어 설명하였으나 다양한 변형례가 가능하다.
예로서, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 구동풀리부(100) 대신에 종동풀리부(300)에 고정될 수 있다.
또 다른 예로서, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 일단이 구동풀리부(100)에 고정되고, 타단이 종동풀리부(300)에 고정될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

Claims (12)

  1. 회전력을 발생시키는 구동모터에 의하여 회전구동되며 외경이 서로 다른 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함하는 구동풀리부(100)와;
    상기 구동풀리부(100)에 대향되고 상기 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함하는 종동풀리부(300)와;
    상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340)에 감기며 양단이 상기 해당 구동풀리(110, 120, 130, 140)에 고정되는 복수의 회전부재(210, 220, 230, 240)들과;
    상기 각 회전부재(210, 220, 230, 240)들에 미리 설정된 위치에 결합되는 하나 이상의 픽커(400)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140)는,
    해당 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 삽입되는 하나 이상의 고정홀(111, 121, 131, 141)이 형성되며,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입되어 고정되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 하나의 고정홀에 삽입되거나, 각각의 고정홀에 삽입되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 후, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 결합시키는 결합부재(510)에 의하여 결합되어 고정되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 후, 상기 구동풀리(110, 120, 130, 140)들 중 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀(111, 121, 131, 141)에 삽입된 부분을 상기 구동풀리(110, 120, 130, 140)들 쪽으로 가압하여 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 고정하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)는, 벨트 또는 와이어인 것을 특징으로 하는 이송툴.
  7. 회전력을 발생시키는 구동모터에 의하여 회전구동되며 외경이 서로 다른 복수의 구동풀리(110, 120, 130, 140)들을 포함하는 구동푸리부(100)와;
    상기 구동풀리부(100)에 대향되고 상기 구동풀리부(100)에 대응되어 설치되며 외경이 서로 다른 복수의 종동풀리(310, 320, 330, 340)들을 포함하는 종동풀리부(300)와;
    일단이 상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340) 중 어느 하나에 고정되고, 타단이 상기 각 구동풀리(110, 120, 130, 140) 및 상기 각 종동풀리(310, 320, 330, 340) 중 어느 하나에 고정되는 복수의 회전부재(210, 220, 230, 240)들과;
    상기 각 회전부재(210, 220, 230, 240)들에 미리 설정된 위치에 결합되는 하나 이상의 픽커(400)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 일단 및 타단은, 각각 해당 풀리에 형성된 고정홀에 삽입되어 고정되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단은, 하나의 고정홀에 삽입되거나, 각각의 고정홀에 삽입되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단이 상기 고정홀에 삽입된 후, 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 양끝단을 결합시키는 결합부재(510)에 의하여 결합되어 고정되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  11. 청구항 7에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단이 상기 고정홀에 삽입된 후, 해당 풀리들 중 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단이 상기 고정홀에 삽입된 부분을 상기 풀리들 쪽으로 가압하여 상기 회전부재(210, 220, 230, 240)의 끝단을 고정하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  12. 청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 회전부재(210, 220, 230, 240)는, 벨트 또는 와이어인 것을 특징으로 하는 이송툴.
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