KR20190000479A - 이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법 - Google Patents

이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들을 포함하는 이송툴에 관한 것이다.
본 발명은, 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(110)들과; 상기 복수의 픽커(110)들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 상기 복수의 픽커들이 각각 결합되며, X축, Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이동가능하게 설치되는 픽커지지부(120)와; 상기 복수의 픽커(110)들에 의해 픽업된 소자(10)의 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 상기 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 회전수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100)을 개시한다.

Description

이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법 {Device transfer tool and device transfer method using the same}
본 발명은 이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들을 포함하는 이송툴에 관한 것이다.
반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.
소자에 대한 검사는 메모리소자, CPU, GPU 등과 같은 비메모리소자, LED소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.
또한 소자에 대한 검사는 패키징 공정을 마친 후에 수행되는 것이 일반적이나, 반도체 공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼 수준에서 검사되는 경우도 있다.
상기와 같이 소자의 검사, 분류는 소자핸들러에 의하여 수행되며, 소자핸들러는 일반적으로 웨이퍼, 트레이 등에 적재되어 복수의 소자들을 로딩하고, 로딩된 소자들을 이송툴에 의하여 픽업하여 이송하면서 검사, 분류공정 등을 수행한다.
한편 이송툴은, 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들을 구비하여, X축방향 선형이동, X-Y축 선형이동, 회전이동 등 다양한 이동에 의하여 소자를 이송하며 소자의 이송효율을 고려하여 복수개의 픽커들을 포함함이 일반적이다.
그리고 픽커는 일반적으로 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되는 로드와, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위한 액추에이터가 구비된다.
액추에이터는 공압으로 작동하는 구성으로서, 공압이 작용되는 공간을 제공하는 실린더와, 공압에 의하여 실린더의 내부에서 슬라이드 이동되는 피스톤으로 구성된다. 그리고, 이와 같은 액추에이터의 피스톤과 로드가 링크 등을 통하여 연결되며, 이에 따라, 실린더의 내부에서 피스톤이 슬라이드 이동되는 것에 의하여 로드가 상하방향으로 이동된다.
한편, 최근 이송툴의 픽업대상이 되는 소자의 크기가 작아지면서 소자를 픽업한 후 적재할 때 소자가 적재되는 위치를 정밀하게 제어하는 것이 매우 중요해지고 있다.
크기의 소자가 검사공정을 위해 번인보드 등에 적재될 때 안착위치에 안착되지 않거나 틀어짐이 발생하는 경우 소자에 형성되는 볼그리드와 같은 단자의 전기적인 접속 등이 정확히 이루어지지 않아 검사공정의 정확도가 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 소자에 대한 픽업플레이스에 있어서 소자를 정확한 위치에 틀어짐 없이 적재할 수 있는 이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(110)들과; 상기 복수의 픽커(110)들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 상기 복수의 픽커들이 각각 결합되며, X축, Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이동가능하게 설치되는 픽커지지부(120)와; 상기 복수의 픽커(110)들에 의해 픽업된 소자(10)의 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 상기 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 회전수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100)을 개시한다.
상기 회전수단은, 상기 복수의 픽커(110)들 각각에 설치되며 대응된 픽커(110)를 Θ축 방향으로 회전시키는 복수의 개별픽커회전부(130)를 포함할 수 있다.
상기 개별픽커회전부(130)는, 상기 픽커(110)에 설치되는 구동풀리부(132)와, 상기 픽커(110)의 끝단에서 소자(10)를 흡착하는 노즐부(111)의 둘레에 설치되는 종동풀리부(131)와, 상기 구동풀리부(132) 및 종동풀리부(131)에 감겨 구동풀리부(132)의 회전에 의해 회전되는 벨트부(133)를 포함할 수 있다.
상기 이송툴(100)은, 상기 복수의 픽커(110)들을 Z축 방향으로 순차적으로 이동시키는 Z축이동부(140)와, 상기 복수의 픽커(110)들을 일체로 Θ축 방향으로 회전시키기 위한 통합픽커회전부(150)를 포함할 수 있다.
상기 Z축이동부(140)는, 상기 복수의 픽커(110)들 상측에서 상기 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 가이드부(141)와, Z축 방향으로 상하이동하며, 상기 가이드부(141)를 따라 상기 픽커지지부(120)에 대해 상대이동가능 하게 설치되어 대응되는 픽커(110)를 하측으로 가압하는 가압부재(143)를 포함할 수 있다.
상기 Z축이동부(140)는, 상기 복수의 픽커(110)들 상측에서 상기 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 가이드부(141)와, 상기 가이드부(141)를 따라 상기 픽커지지부(120)에 대해 상대이동가능 하게 설치되는 캠부재(CAM, 145)를 포함할 수 있다.
상기 통합픽커회전부(150)는, 상기 복수의 픽커(110)들을 사이에 두고 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 한 쌍의 지지풀리부(151)와, 상기 복수의 픽커(110)들의 로드(113) 둘레에 각각 설치되어 대응되는 로드(113)와 함께 회전되는 복수의 픽커풀리부(153)와, 상기 복수의 픽커(110)들 사이에 설치되는 하나 이상의 서브풀리부(152)와, 상기 한 쌍의 지지풀리부(151), 복수의 픽커풀리부(153) 및 서브풀리부(152)에 감겨 회전하는 벨트부(154)를 포함하며, 상기 한 쌍의 지지풀리부(151) 중 하나는 모터에 의해 회전되는 구동풀리일 수 있다.
본 발명은 이송툴(100)의 소자이송방법으로서, 복수의 픽커(110)들을 통해 진공압에 의하여 복수의 소자(10)들을 픽업하는 소자픽업단계와; 상기 픽업된 복수의 소자(10)들에 대한 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 상기 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 Θ축정렬단계와; 상기 Θ축정렬단계에서 Θ축에 대해 회전된 픽커(110)에 흡착된 소자(10)를 적재하는 소자적재단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자이송방법을 개시한다.
상기 Θ축정렬단계는, 상기 복수의 픽커(110)들을 Θ축에 대해 동일한 각도만큼 일체로 회전시키며, 상기 소자적재단계는, 상기 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들 중 상기 Θ축정렬단계를 통해 Θ축방향 틀어짐이 보상된 소자(10)를 순차적으로 적재할 수 있다.
상기 Θ축정렬단계는, Θ축에 대해 상기 복수의 픽커(110)들 각각을 독립적으로 회전시킬 수 있다.
상기 소자이송방법은, 상기 Θ축정렬단계 전에 상기 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들에 대해 획득된 상면 및 저면 중 어느 하나의 이미지를 기초로 각 소자(10)들의 Θ축방향 틀어짐정도를 산출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 이송툴 및 이를 이용한 소자이송방법은, 소자에 대한 픽업플레이스에 있어서 소자를 정확한 위치에 틀어짐 없이 적재할 수 있는 이점이 있다.
구체적으로 본 발명은 소자를 흡착한 픽커를 Θ축에 대해 회전시키는 회전수단을 구비함으로써, 흡착된 소자에 Θ축방향 틀어짐이 있는 경우에도 적재되는 소자는 Θ축방향 틀어짐을 보상할 수 있다.
그리고, 본 발명은 픽커의 Θ축방향 회전을 복수의 픽커들 마다 독립적으로 수행하는 경우, 픽커의 하부의 소자흡착을 위한 노즐만을 로드와 별도로 회전시키는 풀리와 벨트 구조를 적용함으로써 소자의 미세한 각도의 틀어짐도 정밀하게 보상할 수 있으며 복수의 픽커들에 대한 Z축 방향 구동을 통합하여 일체로 수행하여 장치의 소자처리속도를 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 픽커의 Θ축방향 회전을 복수의 픽커들을 통합하여 일체로 수행하는 경우, 복수의 픽커들에 대한 Z축 방향 구동을 복수의 픽커들 마다 독립적으로 수행함으로써, 다수의 소자를 픽업한 때에도 여러 번의 적재과정을 통해 소자를 정확한 위치에 안착시키면서 장치의 소자처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송툴이 사용되는 소자핸들러를 보여주는 개념도이다.
도 2a, 도 2b 및 도 2c는, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 이송툴의 소자픽업 및 적재과정을 보여주는 평면도이다.
도 3은, 본 발명의 이송툴에 의해 픽업된 소자들의 Θ축방향 틀어짐을 보여주는 개념도이다.
도 4는, 본 발명의 이송툴에 의해 픽업된 소자들의 Θ축방향 틀어짐을 보상하는 과정을 보여주는 개념도이다.
도 5는, 본 발명의 제1실시예에 따른 이송툴을 보여주는 측단면도이다.
도 6은, 본 발명의 제2실시예에 따른 이송툴을 보여주는 측단면도이다.
도 7a 및 도 7b는, 본 발명 제3실시예에 따른 이송툴을 보여주는 정면도 및 측단면도이다.
도 8은, 본 발명의 제4실시예에 따른 이송툴을 보여주는 정면도이다.
도 9는, 도 7a 및 도 8의 이송툴의 구성 일부를 개념적으로 보여주는 도면이다.
이하 본 발명에 따른 이송툴에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시예에 따른 이송툴(100)은 도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(110)들과; 복수의 픽커(110)들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 복수의 픽커(110)들이 각각 결합되며, X축, Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이동가능하게 설치되는 픽커지지부(120)를 포함한다.
본 발명에 따른 이송툴(100)은, 소자(10)를 픽업앤플레이스 하기 위한 구성으로, 도 1에 도시된 소자핸들러를 포함한 다양한 소자핸들러에 적용될 수 있으며, 특정 소자핸들러에 한정되는 것은 아니다.
도 1에 도시된 소자핸들러는, 번인테스트(Burn-in Test)를 위하여 번인보드(20)에 소자(10)를 적재하거나 번인보드로부터 소자(10)를 인출하기 위한 소자핸들러로서, 한국공개특허 제10-2016-0133125호에 개시된 소자핸들러와 동일하게 구성될 수 있다.
예로서, 본 발명에 따른 이송툴(100)은, 소자(10)들이 안착된 로딩트레이(30)에서 다수의 소자(10)들을 흡착하여 번인보드(40)의 빈 자리로 적재하기 위한 소자이송툴일 수 있다.
상기 복수의 픽커(100)들은, 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 픽커(100)는, 끝단에서 소자(10)를 흡착고정하기 위한 노즐부(111) 및 노즐부(111)와 결합된 로드(113)를 포함하여 구성될 수 있다.
구체적으로 상기 픽커(110)는 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 노즐부(111)가 결합되는 로드(113)와, 로드(113)를 상하방향으로 이동시키기 위한 액추에이터가 구비될 수 있다.
상기 흡입통로는 픽커(110)의 구성에 따라 노즐부(111) 및 로드(113) 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있다.
상기 픽커지지부(120)는, 복수의 픽커(110)들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 복수의 픽커(110)들이 각각 결합되며, X축, Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.
한편, 본 발명은, 이송툴(100)을 이용한 소자의 픽업앤플레이스 과정에서 소자를 정확한 위지에 적재하기 위하여 픽커(110)가 픽커지지부(120)에 대해 Z축 방향 선형이동 및 Θ축 방향 회전이동 중 적어도 하나의 이동이 가능하도록 이송툴(100)을 구성할 수 있다.
구체적으로, 도 2a의 과정을 통해 이송툴(100)이 소자(10)를 픽업하면 픽업된 소자(10)들은, 도 3에 도시된 바와 같이, X-Y평면에서 Θ축에 대해 각각 일정부분 틀어진 상태로 흡착고정된다. 이는, 픽커(110)에 의한 흡착과정의 진동이나 소자(10)의 안착상태 등에 의해 발생될 수 있다.
즉, 도 2a와 같이 픽커지지부(120)에 결합된 4개의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들 각각은, 도 3에 도시된 바와 같이, X-Y평면에서 Θ1, Θ2,Θ3 및 Θ4 만큼의 각도로 틀어진 상태일 수 있다.
본 발명에 따른 이송툴(100)의 픽커(110)가 도 2b에 도시된 바와 같이 Θ축 방향 회전이동 가능하게 구성되는 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 픽커(110)의 Θ축 방향 회전에 의해 픽커(110)에 흡착된 소자(10)의 X-Y평면에서의 틀어짐이 보상될 수 있다.
상기 이송툴(100)은, 도 2c에 도시된 바와 같이, 픽커(110)의 회전에 의해 픽커(110)에 흡착된 소자(10)의 틀어짐이 보상된 상태로 번인보드(40) 등의 적재부재에 적재될 수 있으므로, 소자(10)를 정밀한 위치에 적재하는 것이 가능한 이점이 있다.
이에 본 발명은, 복수의 픽커(110)들에 의해 픽업된 소자(10)의 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 회전수단과, 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축이동수단을 포함할 수 있다.
상기 회전수단은, 복수의 픽커(110)들에 의해 픽업된 소자(10)의 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 이송툴(100)에서 회전수단은, 복수의 픽커(110)들 각각에 설치되며 대응된 픽커(110)를 Θ축 방향으로 회전시키는 복수의 개별픽커회전부(130)를 포함할 수 있다.
상기 개별픽커회전부(130)는, 복수의 픽커(110)들 마다 각각 구비된다. 즉, 도 2a와 같이 이송툴(100)이 4개의 픽커(110)들을 포함하는 경우 이송툴(100)은 4개의 개별픽커회전부(130)를 포함할 수 있다.
이러한 경우, 복수의 픽커(110)들에 대해 동시에 각각 서로 다른 각도만큼(예로서, 도 4의 틀어짐각도 만큼) 방향 회전이 수행될 수 있다.
제1실시예 및 제2실시예로서, 상기 개별픽커회전부(130)는, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 픽커(110)에 설치되는 구동풀리부(132)와, 픽커(110)의 끝단에서 소자(10)를 흡착하는 노즐부(111)의 둘레에 설치되는 종동풀리부(131)와, 구동풀리부(132) 및 종동풀리부(131)에 감겨 구동풀리부(132)의 회전에 의해 회전되는 벨트부(133)를 포함할 수 있다.
상기 구동풀리부(132)는, 픽커(110)의 로드(113) 또는 로드(113)의 하우징(114)에 고정설치되며, 모터(134)의 회전에 의해 회전되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 모터(134)는, 서보모터 등으로 구성되어 소자(10)의 틀어짐을 보상하기 위해 미리 설정된 Θ축 각도 만큼 구동풀리부(132)를 회전시킬 수 있다.
상기 구동풀리부(132)는, 외주면에 회전각도측정을 위한 치형구조가 형성될 수 있다.
상기 종동풀리부(131)는, 픽커(110)의 끝단에서 소자(10)를 흡착하는 노즐부(111)의 둘레에 설치되어 구동풀리부(132)의 회전에 따라 함께 회전될 수 있다.
상기 종동풀리부(131)는, 외주면에 회전각도측정을 위한 치형구조가 형성될 수 있다.
상기 벨트부(133)는, 구동풀리부(132) 및 종동풀리부(131)에 감겨 구동풀리부(132)의 회전에 의해 회전되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 벨트부(133)는, 풀리와 함께 타이밍벨트로 구성될 수 있다.
제1실시예 및 제2실시예에서, 상기 픽커(110)의 노즐부(110)는, 로드(113)에 대하여 회전가능하게 결합되어 종동풀리부(131)의 회전에 따라 로드(113)에 대해 회전될 수 있고, 매우 미세한 각도의 회전이 가능한 이점이 있다.
상기 이송부(100)가 개별픽커회전부(130)를 포함하는 경우 각 소자(10) 마다 미리 산출된 틀어짐 정도에 따라 각 픽커(110)에 대해 각각 Θ축 회전이 가능하므로, Z축이동수단은 복수의 픽커(110)들 전체를 일체로 상하이동 하도록 구성됨이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니고, 각 픽커(110)에 독립적으로 구비된 Z축 방향 리니어구동장치(리니어모터)를 통해 독립적인 Z축 구동이 가능함은 물론이다.
다른 예로서, 상기 이송툴(100)에서 회전수단은, 복수의 픽커(110)들을 일체로 Θ축 방향으로 회전시키기 위한 통합픽커회전부(150)를 포함할 수 있다.
상기 통합픽커회전부(150)는, 복수의 픽커(110)들을 상호 결합하여 일체로 회전되도록 픽커지지부(120)에 구비된다. 즉, 도 2a와 같이 이송툴(100)이 4개의 픽커(110)들을 포함하는 경우 이송툴(100)은 단일한 하나의 통합회전부(150)를 포함할 수 있다.
이러한 경우, 복수의 픽커(110)들에 대해 동시에 동일한 각도만큼(예로서, 도 4의 제1픽커에 흡착된 소자(10)의 틀어짐각도 Θ1 만큼) 방향 회전이 수행될 수 있다.
상기 통합픽커회전부(150)는, 도 7a 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 픽커(110)들을 사이에 두고 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 한 쌍의 지지풀리부(151)와, 복수의 픽커(110)들의 로드(113) 둘레에 각각 설치되어 대응되는 로드(113)와 함께 회전되는 복수의 픽커풀리부(153)와, 복수의 픽커(110)들 사이에 설치되는 하나 이상의 서브풀리부(152)와, 한 쌍의 지지풀리부(151), 복수의 픽커풀리부(153) 및 서브풀리부(152)에 감겨 회전하는 벨트부(154)를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 지지풀리부(151) 중 하나는 모터와 결합되어 모터에 의해 회전되는 구동풀리로 구성될 수 있다.
상기 한 쌍의 지지풀리부(151)는, 복수의 픽커(110)들 전체에 대해 동일한 각도만큼 Θ축 회전을 수행하기 위하여 복수의 픽커(110)들을 사이에 두고 상기 픽커지지부(120)에 설치될 수 있다.
상기 한 쌍의 지지풀리부(151)는, 외주면에 회전각도측정을 위한 치형구조가 형성될 수 있다.
상기 복수의 픽커풀리부(153)는, 복수의 픽커(110)들의 로드(113) 둘레에 각각 설치되어 대응되는 로드(113)와 함께 회전되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 픽커풀리부(153)는, 픽커(110)의 픽커지지부(120)에 대한 상하이동이 가능하도록 픽커(110)의 로드(113)에 대해 상대상하이동 가능하게 결합됨이 바람직하다.
그리고, 상기 픽커풀리부(153)는, 픽커풀리부(153)의 회전에 따라 로드(113)가 회전될 수 있도록 픽커(110)의 로드(113)의 외주면에 형성되는 요철부(115)와 대응되는 노치가 내측면에 형성될 수 있다.
상기 픽커풀리부(153)는, 외주면에 회전각도측정을 위한 치형구조가 형성될 수 있다.
상기 서브풀리부(152)는, 복수의 픽커(110)들 사이에서 픽커지지부(120)에 하나 이상으로 설치될 수 있다.
상기 서브풀리부(152)가 픽커풀리부(152) 사이에 구비되지 않는 경우, 벨트부(154)의 회전에 의한 회전력이 픽커풀리부(152)에 원활히 전달되기 어려우므로, 벨트부(154)가 픽커풀리부(152)에 감기는 면적을 크게하기 위하여 서브풀리부(152)는 픽커풀리부(152)의 사이마다 구비됨이 바람직하다.
즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 이송툴(100)이 4개의 픽커(110)를 구비하는 경우, 4개의 픽커(110) 사이에 3개의 서브풀리부(152)가 구비될 수 있다.
상기 벨트부(154)는, 한 쌍의 지지풀리부(151), 복수의 픽커풀리부(153) 및 서브풀리부(152)에 감겨 구동풀리부(132)의 회전에 의해 회전되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 벨트부(154)는, 풀리와 함께 타이밍벨트로 구성될 수 있다.
한편, 복수의 픽커(110)들이 통합픽커회전부(150)에 의해 동일한 각도만큼 한번에 회전되는 경우, 복수의 픽커(110)들이 동시에 소자(10)를 적재할 수 없기 때문에, Z축이동수단은 복수의 픽커(110)들 각각을 독립적으로 Z축 방향으로 이동시키도록 구성됨이 바람직하다.
이하, 도 7a 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 이송툴(100)의 Z축이동수단을 자세히 설명한다.
상기 Z축이동수단은, 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 픽커지지부(120)에 대해 Z축 방향으로 이동시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 이송툴(100)은, Z축이동수단으로서, 복수의 픽커(110)들을 Z축 방향으로 순차적으로 이동시키는 Z축이동부(140)를 포함할 수 있다.
제3실시예로서, 상기 Z축이동부(140)는, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 복수의 픽커(110)들 상측에서 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 픽커지지부(120)에 설치되는 가이드부(141)와, Z축 방향으로 상하이동하며, 가이드부(141)를 따라 픽커지지부(120)에 대해 상대이동가능 하게 설치되어 대응되는 픽커(110)를 하측으로 가압하는 가압부재(143)를 포함할 수 있다.
상기 가이드부(141)는, Z축이동부(140)가 픽커지지부(120)에 대해 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 상대이동 가능하게 하는 구성으로, 배치방향을 따라 형성되는 레일 또는 리니어가이드(LM) 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 가이드부(141)는, 픽커지지부(120) 중 복수의 픽커(110)들의 상측에 설치된다.
상기 가압부재(143)는, 복수의 픽커(110)들 중 하나를 Z축방향 이동시키기 위한 구성으로 가이드부(141)를 따라 이동가능하게 결합되며, 상픽커(110)의 상부를 가압하여 하측방향으로 이동시키는 구성으로 다양한 형상 및 구조가 가능하다.
이때, 상기 가압부재(143)는, 가이드부(141)에 대해 Z축 방향으로 이동가능하게 설치된다.
상기 가압부재(143) 중 픽커(110)와 접촉되는 부분은 픽커(110)와의 접촉에 의한 충격을 완화하기 위해 탄성이 있는 재질 또는 탄성 구조로 이루어질 수 있다.
상기 가압부재(143)는, Z축 방향 선형이동을 위하여 리니어모터(미도시) 등과 결합될 수 있으며, 픽커(110) 구조에 따라 다양한 리니어구동 시스템이 적용될 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 Z축이동부(140)는, 가압부재(143)에 의해 하강이동된 픽커(110)의 원위치로의 복원을 위한 복원부(149)를 더 포함할 수 있다.
상기 복원부(149)는, 픽커(110)의 Z축위치 복원을 위해 상방복원력을 발생시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 복원부(149)는, 픽커(110)의 로드(113) 및 픽커지지부(120)를 연결하며, 로드(113)와 상대이동가능하게 결합되는 지지부재(121, 122)와, 로드(113)의 일단과 지지부재(121, 122) 사이에 개재되는 탄성부재를 포함할 수 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐 이에 한정되는 것은 아니다.
제4실시예로서, 상기 Z축이동부(140)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 복수의 픽커(110)들 상측에서 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 픽커지지부(120)에 설치되는 가이드부(141)와, 가이드부(141)를 따라 픽커지지부(120)에 대해 상대이동가능 하게 설치되는 캠부재(CAM, 145)를 포함할 수 있다.
이하, 제3실시예와의 차이점을 중심으로 제4실시예를 자세히 설명한다.
제4실시예에서, 상기 Z축이동부(140)는, Z축방향으로 상하선형이동하는 가압부재(143) 대신 회전하는 캠부재(145)를 포함한다.
상기 캠부재(145)는, 비원형, 즉 장반경과 단반경이 서로 다른 타원형상의 평면캠으로서, 하측에 대응된 픽커(110)를 캠축으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
또한, 상기 캠부재(145)는, 가압부재(143)와 마찬가지로, 가이드부(141)를 따라 픽커지지부(120)에 대해 상대선형이동 가능하게 구성될 수 있다.
상술한 Z축이동부(140)에 의해, 복수의 픽커(110)를 일체로 동기화 하여 Θ축 회전시키는 경우에도, 복수의 소자(10) 들을 순차적으로 번인보드(40) 등의 적재부재에 적재할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 이송툴(100)은, 픽커지지부재(120)에 결합된 복수의 픽커(110)들 사이의 피치(Pitch)를 조절하는 피치조절부를 추가로 포함할 수 있다.
상기 피치조절부는, 한국출원특허 제10-2016-0113500호에 개시된 구동풀리부, 종동풀리부 및 회전부재들과 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
본 발명은 피치조절부를 포함함으로써 로딩트레이(30)의 소자간 피치와 적재부재(40)의 소자간 피치가 상이한 경우에도 복수의 픽커(110)들 사이의 피치를 조절하여 피치변화에 대응할 수 있는 이점이 있다.
한편, 상술한 구성을 가지는 이송툴에 의해 수행되는 소자이송방법은, 복수의 픽커(110)들을 통해 진공압에 의하여 복수의 소자(10)들을 픽업하는 소자픽업단계와; 픽업된 복수의 소자(10)들에 대한 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 Θ축정렬단계와; Θ축정렬단계에서 Θ축에 대해 회전된 픽커(110)에 흡착된 소자(10)를 적재하는 소자적재단계를 포함할 수 있다.
상기 소자픽업단계에서 픽커(110)에 흡착된 소자(10)를 X축, Y축 및 Z축의 조합을 통한 이송툴(100)의 이동만으로 적재부재(40)에 적재하는 경우, 소자(10)의 X-Y평면에 대한 Θ방향 틀어짐이 그대로 적재부재(40)의 안착지점에 영향을 주므로, 소자(10)에 대한 정확하고 정밀한 이송이 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제점은, 특히 작은 소자(0.5mm 이하의 FINE PITCH QFP)에 대해 소자검사를 수행하기 위한 소자핸들러에서 더 크게 나타난다.
이에, 본 발명에 따른 소자이송방법은, 픽커(110)에 흡착된 소자(10)를 적재부재(40)에 적재하기 전에 픽커(110)의 Θ축에 대한 회전을 통해 소자(10)의 Θ축방향 틀어짐을 보상한 후에 소자(10)에 대한 적재를 수행하는 것을 기본으로 한다.
상기 소자픽업단계는, 이송툴(100)에 구비된 복수의 픽커(110)들을 통해 복수의 소자(10)를 동시에 픽업한다.
상기 Θ축정렬단계는, 픽업된 복수의 소자(10)들에 대한 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시킬 수 있다.
예로서, 상기 Θ축정렬단계는, 복수의 픽커(110)들을 일체로 동시에 동일한 Θ방향 각도 만큼 회전시켜 복수의 픽커(110)들의 회전을 동기화할 수 있다.
이 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 각 픽커(110)에 흡착된 소자(10)들 마다 틀어짐 정도가 다르므로, 소자적재단계는 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들 중 Θ축정렬단계를 통해 Θ축방향 틀어짐이 보상된 소자(10)를 순차적으로 적재함이 바람직하다.
즉, 상기 Θ축정렬단계에서 제1픽커(110)에 흡착된 소자(10)의 틀어짐을 보상하기 위해 Θ1 각도 만큼 복수의 픽커(110)들을 회전시킨 경우, 소자적재단계에서 제1픽커(110)에 대한 Z축이동을 통해 제1픽커(110)에 흡착된 소자(10)에 대한 소자적재를 수행할 수 있다.
상술한 과정은, 복수의 픽커(110)들에 대해 각각 수행되며, 모든 소자(10)의 적재가 완료되면 이송툴(100)은 다시 로딩트레이(30)로 이동되어 소자(10)를 픽업한다.
다른 예로서, 상기 Θ축정렬단계는, 복수의 픽커(110)들 각각을 Θ축에 대해 독립적으로 회전시킬 수 있다.
이때, 복수의 픽커(110)들에 대한 회전은 동시에 수행되거나 또는 미리 설정된 시간간격을 두고 미리 설정된 순서에 따라 수행될 수 있음은 물론이다.
또한, 복수의 픽커(110)들이 회전되는 각도 또한 각 픽커(110) 마다 상이하게 설정될 수 있다.
예를들어, 도 2b에서, 제1픽커(110)에 대한 회전각도는 Θ1, 제2픽커(110)에 대한 회전각도는 Θ2, 제2픽커(110)에 대한 회전각도는 Θ3, 제4픽커(110)에 대한 회전각도는 Θ4로 설정될 수 있다.
이 경우, 상기 Θ축정렬단계에서 각 픽커(110)에 흡착된 소자(10)들 별로 각각 틀어짐정도를 보상할 수 있으므로, 복수의 픽커(110)들의 Z축방향 이동을 동기화 하여 복수의 소자(10)에 대한 적재를 동시에 수행함이 바람직하다.
한편, 상기 소자이송방법은, Θ축정렬단계 전에 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들에 대해 획득된 상면 및 저면 중 어느 하나의 이미지를 기초로 각 소자(10)들의 Θ축방향 틀어짐정도를 산출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 산출된 각 소자(10)의 틀어짐정도는 Θ축정렬단계의 픽커(110) 회전각도를 결정하는 데이터로 활용될 수 있다.
예를 들어, 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들에 대해 획득된 상면 및 저면 중 어느 하나의 이미지를 기초로 어느 하나의 소자(10)가 Y축 방향을 기준으로 우측으로 10°만큼 틀어진 것으로 산출되는 경우, 본 발명에 따른 소자이송방법은 Θ축정렬단계에서 해당 소자(10)를 흡착하고 있는 픽커(110)를 Y축 방향을 기준으로 좌측으로 10°만큼 회전시킬 수 있다.
여기서, 상기 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들에 대해 획득된 상면 및 저면 중 어느 하나의 이미지는, 이송툴(100)이 적용된 소자핸들러에 설치되는 비전카메라를 통해 획득될 수 있다.
예로서, 상기 비전카메라는 이송툴(100)의 소자이송경로 하측에 설치되어 흡착된 소자(10)의 저면이미지를 획득하기 위한 조명계, 광학계 및 수광부 등으로 장치 구성에 따라 다양한 비전시스템이 적용될 수 있다.
여기서, 소자(10)의 상면이란 픽커(110)에 흡착된 면이고, 저면이란 상면의 대향면으로 정의될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
100: 이송툴 110: 픽커
120: 픽커지지부 111: 노즐부
113: 로드

Claims (11)

  1. 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(110)들과;
    상기 복수의 픽커(110)들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 상기 복수의 픽커들이 각각 결합되며, X축, Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이동가능하게 설치되는 픽커지지부(120)와;
    상기 복수의 픽커(110)들에 의해 픽업된 소자(10)의 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 상기 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 회전수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전수단은, 상기 복수의 픽커(110)들 각각에 설치되며 대응된 픽커(110)를 Θ축 방향으로 회전시키는 복수의 개별픽커회전부(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 개별픽커회전부(130)는,
    상기 픽커(110)에 설치되는 구동풀리부(132)와,
    상기 픽커(110)의 끝단에서 소자(10)를 흡착하는 노즐부(111)의 둘레에 설치되는 종동풀리부(131)와,
    상기 구동풀리부(132) 및 종동풀리부(131)에 감겨 구동풀리부(132)의 회전에 의해 회전되는 벨트부(133)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송툴(100)은,
    상기 복수의 픽커(110)들을 Z축 방향으로 순차적으로 이동시키는 Z축이동부(140)와,
    상기 복수의 픽커(110)들을 일체로 Θ축 방향으로 회전시키기 위한 통합픽커회전부(150)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 Z축이동부(140)는,
    상기 복수의 픽커(110)들 상측에서 상기 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 가이드부(141)와,
    Z축 방향으로 상하이동하며, 상기 가이드부(141)를 따라 상기 픽커지지부(120)에 대해 상대이동가능 하게 설치되어 대응되는 픽커(110)를 하측으로 가압하는 가압부재(143)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 Z축이동부(140)는,
    상기 복수의 픽커(110)들 상측에서 상기 복수의 픽커(110)들의 배치방향을 따라 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 가이드부(141)와,
    상기 가이드부(141)를 따라 상기 픽커지지부(120)에 대해 상대이동가능 하게 설치되는 캠부재(CAM, 145)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 통합픽커회전부(150)는,
    상기 복수의 픽커(110)들을 사이에 두고 상기 픽커지지부(120)에 설치되는 한 쌍의 지지풀리부(151)와,
    상기 복수의 픽커(110)들의 로드(113) 둘레에 각각 설치되어 대응되는 로드(113)와 함께 회전되는 복수의 픽커풀리부(153)와,
    상기 복수의 픽커(110)들 사이에 설치되는 하나 이상의 서브풀리부(152)와,
    상기 한 쌍의 지지풀리부(151), 복수의 픽커풀리부(153) 및 서브풀리부(152)에 감겨 회전하는 벨트부(154)를 포함하며,
    상기 한 쌍의 지지풀리부(151) 중 하나는 모터에 의해 회전되는 구동풀리인 것을 특징으로 하는 이송툴(100).
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 따른 이송툴(100)의 소자이송방법으로서,
    복수의 픽커(110)들을 통해 진공압에 의하여 복수의 소자(10)들을 픽업하는 소자픽업단계와;
    상기 픽업된 복수의 소자(10)들에 대한 Θ축방향 틀어짐을 보상하기 위하여 상기 복수의 픽커(110)들 중 적어도 하나를 Θ축에 대해 회전시키는 Θ축정렬단계와;
    상기 Θ축정렬단계에서 Θ축에 대해 회전된 픽커(110)에 흡착된 소자(10)를 적재하는 소자적재단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자이송방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 Θ축정렬단계는, 상기 복수의 픽커(110)들을 Θ축에 대해 동일한 각도만큼 일체로 회전시키며,
    상기 소자적재단계는, 상기 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들 중 상기 Θ축정렬단계를 통해 Θ축방향 틀어짐이 보상된 소자(10)를 순차적으로 적재하는 것을 특징으로 하는 소자이송방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 Θ축정렬단계는, Θ축에 대해 상기 복수의 픽커(110)들 각각을 독립적으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 소자이송방법.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 소자이송방법은,
    상기 Θ축정렬단계 전에 상기 복수의 픽커(110)들에 흡착된 소자(10)들에 대해 획득된 상면 및 저면 중 어느 하나의 이미지를 기초로 각 소자(10)들의 Θ축방향 틀어짐정도를 산출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자이송방법.
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WO2021010593A1 (en) * 2019-07-12 2021-01-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Led transfer method and display module manufactured thereby
KR102437270B1 (ko) * 2021-03-23 2022-08-26 조윤기 회전식 픽커 장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200114577A (ko) 2019-03-29 2020-10-07 (주)포인트엔지니어링 미소 소자 흡착 픽커
WO2021010593A1 (en) * 2019-07-12 2021-01-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Led transfer method and display module manufactured thereby
US11515294B2 (en) 2019-07-12 2022-11-29 Samsung Electronics Co., Ltd. LED transfer method and display module manufactured thereby
KR102437270B1 (ko) * 2021-03-23 2022-08-26 조윤기 회전식 픽커 장치

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