TWI643798B - 移送工具 - Google Patents

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TWI643798B
TWI643798B TW105144198A TW105144198A TWI643798B TW I643798 B TWI643798 B TW I643798B TW 105144198 A TW105144198 A TW 105144198A TW 105144198 A TW105144198 A TW 105144198A TW I643798 B TWI643798 B TW I643798B
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柳弘俊
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Abstract

本發明涉及元件處理器，詳言之，係涉及移送工具，在執行元件的檢查、分類等的元件處理器中執行拾取及移送元件。
本發明揭露一種移送工具，包括：驅動輪部(100)，包含多個驅動輪(110、120、130、140)，所述驅動輪(110、120、130、140)外徑相互不同，且通過產生旋轉力的驅動馬達旋轉驅動；從動輪部(300)，包含多個從動輪(310、320、330、340)，所述從動輪(310、320、330、340)外徑相互不同，且與驅動輪部(100)相對並對應於驅動輪部(100)；多個旋轉部件(210、220、230、240)，纏繞於各個驅動輪(110、120、130、140)和各個從動輪(310、320、330、340)，且兩端固定在相應的驅動輪(110、120、130、140)；一個以上的拾取器(400)，在預先設定的位置結合於各個旋轉部件(210、220、230、240)。

Description

移送工具
本發明涉及元件處理器，詳言之，係涉及移送工具，在執行元件的檢查、分類等的元件處理器中執行拾取以及移送元件。
一般地說，SD記憶體、快閃記憶體、LSI、LED、WL-CSP元件等半導體元件(以下，稱為「元件」)，在完成半導體製程之後完成鋸切製程、包裝製程等之後上市。
然後，為了確保已上市產品的可靠性，通過檢查裝置、分類裝置、檢查以及分類裝置等進行自動檢查以及根據檢查結果進行分類，據此篩選合格品之後投放到市場上。
另外，隨著元件的引線框、BGA等終端結構的多樣化，晶片的種類也變得多樣化。
最近，根據對元件的小型化以及高集成度的要求，元件不經過樹脂等成型製程，而是最終在晶圓水平上商品化，對此呈現正在放大的趨勢。
另一方面，在諸如LSI(諸如，SD記憶體、手機SD記憶體、收集CPU)的半導體市場中，隨著競爭加劇，非常迫切需要節省元件製造成本並最終提高生產率。
另外，對於半導體的生產是在無塵室內執行製程，而在無塵室內執行各個製程的裝置的處理速度與生產率有直接聯繫，因此對於未經過包裝製程或者在之前的晶圓水平卸載元件的元件處理器提高裝置處理速度也非常重要。
尤其是，在生產半導體時，對於在晶圓水平卸載元件的元件處理器提高裝置處理速度非常重要，並且執行拾取以及移送元件的移送工具的性能是元件處理器的處理速度的重要因素。
另外，最近作為處理對象的元件尺寸非常小，據此對超小型元件的拾取以及移送的移送工具要求非常高的精確度。
(專利文獻1)KR10-2010-0081277A
(專利文獻2)KR10-0580816B
(專利文獻3)KR10-0443039B
(專利文獻4)KR10-2004-0096409A
為了解決如上所述的問題，本發明的目的在於提供如下的移送工具：在諸如線或帶的多個旋轉部件設置拾取器，旋轉該旋轉部件來調節各個拾取器之間的間距，進而可精確且迅速地調節拾取器之間的間距。
為了達成如上所述的本發明目的，本發明揭露一種如下移送工具，包括：驅動輪部100，包括多個驅動輪110、120、130、140，所述多個驅動輪110、120、130、140外徑相互不同，並且通過產生旋轉力的驅動馬達旋轉驅動；從動輪部300，包括多個從動輪310、320、330、340，所述從動輪310、320、330、340外徑相互不同，並且與所述驅動輪部100相對並對應於所述驅動輪部100；多個旋轉部件210、220、230、240，纏繞於所述各個驅動輪110、120、130、140以及所述各個從動輪310、320、330、340，並且兩端固定在相應的所述驅動輪110、120、130、140；一個以上的拾取器400，在預先設定的位置結合於所述各個旋轉部件210、220、230、240。
所述各個驅動輪110、120、130、140形成插入相應的旋轉部件210、220、230、240的兩個末端的一個以上的固定孔111、121、131、141，所述旋轉部件210、220、230、240兩個末端可插入並固定於所述固定孔111、121、131、141。
所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端可插入於一個固定孔或者分別插入於各個固定孔。
所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於所述固定孔111、121、131、141，之後可通過結合旋轉部件210、220、230、240的兩個末端的結合部件510結合並固定。
所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於所述固定孔111、121、131、141，之後在所述驅動輪110、120、130、140中將所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於所述固定孔111、121、131、141的部分向所述驅動輪110、120、130、140側加壓，進而可固定所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端。
所述旋轉部件210、220、230、240可使用帶或線。
本發明揭露一種如下移送工具，包括：驅動輪部100，包括多個驅動輪110、120、130、140，所述多個驅動輪110、120、130、140具有相互不同的外徑，並且通過產生旋轉力的驅動馬達旋轉驅動；從動輪部300，包括多個從動輪310、320、330、340，所述多個從動輪310、320、330、340外徑相互不同，並且與所述驅動輪部100相對並對應於所述驅動輪部100；多個旋轉部件210、220、230、240，一端固定在所述各個驅動輪110、120、130、140以及所述各個從動輪310、320、330、340中的一個，而另一端固定於所述各個驅動輪110、120、130、140以及所述各個從動輪310、320、330、340中一個；一個以上的拾取器400，在預先設定的位置結合於所述各個旋轉部件210、220、230、240。
所述旋轉部件210、220、230、240的一端以及另一端則可插入並固定於分別形成在相應的輪的固定孔。
所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端可插入於一個固定孔或者分別插入於各個固定孔。
所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於所述固定孔，之後可通過結合所述旋轉部件210、220、230、240的兩個末端的結合部件510結合並固定。
所述旋轉部件210、220、230、240的末端插入於所述固定孔，之後在相應的輪中將所述旋轉部件210、220、230、240的末端插入於所述固定 孔的部分向所述輪側加壓，進而可固定所述旋轉部件210、220、230、240的末端。
所述旋轉部件210、220、230、240可使用帶或者線。
根據本發明的移送工具具有如下的優點：具有多個拾取器並且調節各個拾取器的間距，將拾取器結合於多個線來調節拾取器的間距，進而能夠迅速並精確地調節間距。
另外，根據本發明的移送工具具有如下優點：將結合拾取器的線固定在驅動輪以及從動輪中的至少一個，進而能夠堅固地固定線，因此具有不僅能夠防止因線斷開而引起的破損，還能夠防止裝置故障。
另外，根據本發明的移送工具，線固定在驅動輪以及從動輪中的一個，進而無需在驅動輪以及從動輪設置與同步帶類似的結構以使線精確地旋轉。
10‧‧‧驅動軸
100‧‧‧驅動輪部
110、120、130、140‧‧‧驅動輪
111、121、131、141‧‧‧固定孔
119、129、139、149‧‧‧槽
20‧‧‧從動軸
210、220、230、240‧‧‧旋轉部件
219、229、239、249‧‧‧槽
300‧‧‧從動輪部
310、320、330、340‧‧‧從動輪
400‧‧‧拾取器
510‧‧‧結合部件
圖1是示出根據本發明的移送工具結構的正面圖；圖2是放大圖1的移送工具中驅動輪部部分的部分放大圖；圖3是放大圖1的移送工具中從動輪部部分的部分放大圖；以及圖4是圖1中沿Ⅲ-Ⅲ方向的剖面圖。
以下，對於根據本發明的移送工具參照圖式進行說明。
如圖1至圖4所示，根據本發明的移送工具包括：驅動輪部100，包括多個驅動輪110、120、130、140，所述多個驅動輪110、120、130、140外徑相互不同，並且通過產生旋轉力的驅動馬達旋轉驅動；從動輪部300，包括多個從動輪310、320、330、340，所述從動輪310、320、330、340外徑相互不同，並且與驅動輪部100相對並對應於驅動輪部100；多個旋轉部件210、220、230、240，纏繞於各個驅動輪110、120、130、140以及各個從動輪310、320、330、 340，並且兩端固定在相應的驅動輪110、120、130、140；一個以上的拾取器400，在預先設定的位置結合於各個旋轉部件210、220、230、240。
在此，所述移送工具可使用於對完成檢查的元件執行分類的分揀機、執行檢查以及分類的處理器、黏片機等，只要是需要移送元件的裝置，在任何裝置都可以使用。
驅動輪部100是與用於產生旋轉力的旋轉驅動裝置(未示出；諸如馬達等)的旋轉軸直接結合或者通過連接器等連接而旋轉的結構，可具有多種結構。
尤其是，驅動輪部100包括多個驅動輪110、120、130、140，該多個驅動輪110、120、130、140對應於後述的旋轉部件210、220、230、240的數量，並結合於通過旋轉驅動裝置旋轉的驅動軸10。
再者，多個驅動輪110、120、130、140分別具有另外的輪結構或者形成一體等，可具有多種結構。
另外，多個驅動輪110、120、130、140可分別形成槽119、129、139、149，所述槽119、129、139、149插入旋轉部件210、220、230、240，進而不使旋轉部件210、220、230、240向軸方向移動。
另外，多個驅動輪110、120、130、140以驅動軸10為基準使外徑沿長度方向逐漸增大或縮小。
從動輪部300可包括多個從動輪310、320、330、340，該多個從動輪310、320、330、340外徑相互不同，並且與驅動輪部100相對並對應於驅動輪部100。
從動輪部300除了被驅動軸10旋轉驅動以外具有與驅動輪部100類似的結構。
尤其是，從動輪部300包括可旋轉地結合於從動軸20的多個從動輪310、320、330、340。
另外，多個從動輪310、320、330、340具有另外的輪結構或者形成一體等多種結構等，可具有多種結構。
另外，多個從動輪310、320、330、340可分別形成槽219、229、239、249，所述槽219、229、239、249插入旋轉部件210、220、230、240，進而不使旋轉部件210、220、230、240向軸方向移動。
另外，從動輪310、320、330、340以從動軸20為基準使外徑沿長度方向逐漸增大或者縮小。
旋轉部件210、220、230、240作為在預先設定的位置結合一個以上拾取器400的結構，結合於驅動輪部100的相應驅動輪以及從動輪部300的相應從動輪，並且通過驅動輪以及從動輪的旋轉驅動所結合的拾取器400橫向移動，進而調節與鄰接的拾取器400的間隔，即調節間距。
在此，拾取器400作為拾取元件的結構，只要是能夠拾取元件的任何結構都可以使用。
作為一示例，拾取器400可由桿以及拾取頭構成，其中桿用於傳導真空壓以通過真空壓拾取元件，而拾取頭結合於桿下端來拾取元件。
另外，對於拾取器400，桿直接結合於旋轉部件210、220、230、240或者可介入支撐部件來設置拾取器400。
另一方面，旋轉部件210、220、230、240只要是能夠與拾取器400直接或者間接結合的結構，可以是帶、線等的各種結構。
另外，所述帶以及線在與輪接觸的部分形成齒形結構，進而能夠更加精確地旋轉所述帶以及線，即可使用同步齒形帶或同步線。
此時，所述驅動輪以及從動輪可具有齒形結構，以在接觸於旋轉部件的面中對應於形成在旋轉部件的齒形結構。
另一方面，旋轉部件210、220、230、240支撐拾取器400，從而發生變形導致拾取器400的位置誤差等，根據旋轉部件210、220、230、240的狀態，尤其是與輪結合的狀態，可能發生拾取器400移動誤差。
據此，旋轉部件210、220、230、240較佳為兩端固定在相應的驅動輪110、120、130、140。
此時，結合旋轉部件210、220、230、240的驅動輪110、120、130、140可形成插入相應的旋轉部件210、220、230、240的兩個末端的一個以上的固定孔111、121、131、141。
另外，旋轉部件210、220、230、240的兩個末端可插入並固定於固定孔111、121、131、141。
此時，旋轉部件210、220、230、240的兩個末端可插入一個固定孔或者可分別插入各個固定孔。
具體地說，旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入並固定於一個固定孔，或者末端可分別插入並固定於另外的固定孔。
另一方面，在固定旋轉部件210、220、230、240時，旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於固定孔111、121、131、141，之後可通過結合旋轉部件210、220、230、240的兩個末端的結合部件510結合並固定。
具體地說，旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於固定孔111、121、131、141，之後驅動輪110、120、130、140向驅動輪110、120、130、140側加壓旋轉部件210、220、230、240的兩個末端插入於固定孔111、121、131、141的部分，進而可固定旋轉部件210、220、230、240。
結合部件510作為固定插入於固定孔111、121、131、141的旋轉部件210、220、230、240的末端的結構，可具有多種結構。
作為一示例，結合部件510可設置為只加壓在驅動輪部100中形成有固定孔111、121、131、141的部分。
另一方面，在固定旋轉部件210、220、230、240的末端時，本發明的實施例舉例說明了旋轉部件210、220、230、240的兩個末端固定在驅動輪部100的示例，但是也可實施各種變化例。
作為一示例，旋轉部件210、220、230、240的兩個末端可固定在從動輪部300來代替驅動輪部100。
另外，作為另一示例，旋轉部件210、220、230、240的一端可固定在驅動輪部100，而另一端可固定在從動輪部300。
以上不過是說明了能夠由本發明實現的較佳實施例的一部分，因此眾所周知本發明的範圍不得被上述實施例限定並解釋，在以上說明的本發明的技術思想與其根本的技術思想應全部包括於本發明的範圍。

Claims (10)

  1. 一種移送工具，包括：驅動輪部(100)，包括多個驅動輪(110、120、130、140)，所述多個驅動輪(110、120、130、140)外徑相互不同，並且通過產生旋轉力的驅動馬達旋轉驅動；從動輪部(300)，包括多個從動輪(310、320、330、340)，所述從動輪(310、320、330、340)外徑相互不同，並且與所述驅動輪部(100)相對並對應於所述驅動輪部(100)；多個旋轉部件(210、220、230、240)，纏繞於所述各個驅動輪(110、120、130、140)以及所述各個從動輪(310、320、330、340)，並且兩端固定在相應的所述驅動輪(110、120、130、140)；一個以上的拾取器(400)，在預先設定的位置結合於所述各個旋轉部件(210、220、230、240)；在所述各個驅動輪(110、120、130、140)中纏繞所述驅動輪(110、120、130、140)的所述旋轉部件(210、220、230、240)的面形成插入相應的旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端的一個以上的固定孔(111、121、131、141)；以及所述多個旋轉部件(210、220、230、240)分別插入並固定於所述固定孔(111、121、131、141)。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端插入於一個固定孔或者分別插入於各個固定孔。
  3. 根據申請專利範圍第1項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端插入於所述固定孔(111、121、131、141)，之後通過結合旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端的結合部件(510)結合並固定。
  4. 根據申請專利範圍第1項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端插入於所述固定孔(111、121、131、141)， 之後在所述驅動輪(110、120、130、140)中將所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端插入於所述固定孔(111、121、131、141)的部分向所述驅動輪(110、120、130、140)側加壓，進而固定所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端。
  5. 根據申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)為帶或線。
  6. 一種移送工具，包括：驅動輪部(100)，包括多個驅動輪(110、120、130、140)，所述多個驅動輪(110、120、130、140)具有相互不同的外徑，並且通過產生旋轉力的驅動馬達旋轉驅動；從動輪部(300)，包括多個從動輪(310、320、330、340)，所述多個從動輪(310、320、330、340)外徑相互不同，並且與所述驅動輪部(100)相對並對應於所述驅動輪部(100)；多個旋轉部件(210、220、230、240)，一端固定在所述各個驅動輪(110、120、130、140)以及所述各個從動輪(310、320、330、340)中的一個，而另一端固定於所述各個驅動輪(110、120、130、140)以及所述各個從動輪(310、320、330、340)中一個；一個以上的拾取器(400)，在預先設定的位置結合於所述各個旋轉部件(210、220、230、240)；在各個相應的輪中，在纏繞所述旋轉部件(210、220、230、240)的面形成插入相應的旋轉部件(210、220、230、240)的一端或者另一端的一個以上的固定孔(111、121、131、141以及311、321、331、341)；以及所述旋轉部件(210、220、230、240)一端以及另一端分別插入並固定於形成在各個相應的所述輪的固定孔。
  7. 根據申請專利範圍第6項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端插入於一個固定孔或者分別插入於各個固定孔。
  8. 根據申請專利範圍第6項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端插入於所述固定孔，之後通過結合所述旋轉部件(210、220、230、240)的兩個末端的結合部件(510)結合並固定。
  9. 根據申請專利範圍第6項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)的末端插入於所述固定孔，之後在相應的輪中將所述旋轉部件(210、220、230、240)的末端插入於所述固定孔的部分向所述輪側加壓，進而固定所述旋轉部件(210、220、230、240)的末端。
  10. 根據申請專利範圍第6項至第9項中任一項所述的移送工具，其中，所述旋轉部件(210、220、230、240)為帶或者線。
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