JP6138332B1 - 吸着搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ところで、半導体チップを吸着する吸着ノズル(吸着ヘッド)は、先端径が徐々に細くなる円錐形状(ノズル形状)の物や先端径が徐々に拡がるカップ形状の物が存在するが、何れも先端は環状平面である。
ダイボンダ100は、実体顕微鏡10と、ステージ20と、部品ホルダとしてのワークホルダ30と、3軸マニュピレータ40とを備える。ダイボンダ100は、一般に、ワークとしての半導体チップ80を基板やパッケージに実装するものである。ここで、基板は、PCB(Print Circuit Board)基板やガラス基板等があり、実装は、フリップチップ実装や通常のダイボンディング等がある。このため、ダイボンダ100は、一般に、接着材(銀ペースト、エポキシ材、UV硬化樹脂等)のディスペンス、バンプのスタンピング及びチップピックアップを行う機能を有する。本実施形態では、ダイボンダ100は、実装された半導体チップ80の電極75(図6)に丸型リード線70(図5)の先端をワイヤ接続するために用いられる。
ヘッド部50は、吸着ノズルとしてのピックアップツール51と、該ピックアップツール51を回転させるベルト52と、ディスペンスニードル53と、バンプスタンプツール54とを備える。ヘッド部50は、操作者の操作により、ピックアップツール51と、ディスペンスニードル53と、荷重認識針54とを適宜切り替えることができるように構成されている。
吸着ノズルとしてのピックアップツール51は、先端部51aと軸部51bとを備える樹脂製の吸着ヘッドである。ピックアップツール51の中心は、空気を吸入(通流)する通流孔51cが形成されている。先端部51aは、二重円(径が異なる2つの円)の先端面51dを有する円錐台形状であり、両側の母線のなす角度は30°である。先端面51dの内径(ホール径)d1と外径(先端径)d2との比は、1:2であり、その比は、例えば、1:1.5から1:2.5の範囲でも構わない。また、先端部51aは、デルリン等の樹脂である必要はなく、金属製であっても構わない。なお、図3(b)において、2点鎖線は、先端部51aの外径が軸部51bの径と等しいものがあることを示している。
図4の工程は、予め、操作者がピックアップツール51に接続されている真空ポンプ(図示せず)を駆動し、真空ポンプが通流孔51c(図3)に空気を通流させた状態で実行される。
まず、作業者は、ピックアップツール51の先端面51dを半導体チップ80等の電子部品に接近させる。これにより、ピックアップツール51は、半導体チップ80等の電子部品を吸着する部品吸着工程を実行する(S11)。
S11の後、作業者は、コントロールノブ45(図1)をXYZ方向に操作して、ワークホルダ30まで電子部品を移動させる。つまり、ピックアップツール51は、ワークホルダ30まで電子部品を搬送させる部品搬送工程を実行する(S13)。このとき、操作者は、回転ノブ46を操作して、モータ55、及びベルト52(図2)を介して、ピックアップツール51を回転させることができる。
吸着ノズルとしてのピックアップツール51は、丸型リード線70の外周面を吸着している。つまり、丸型リード線70は、その外周面70aとピックアップツール51の先端面51dとが当接した状態で、ピックアップツール51に吸着される。
図6(a)(c)は、ピックアップツール51及び丸型リード線70の側面図であり、図6(b)(d)はピックアップツール51、丸型リード線70、及び半導体チップ80の平面図である。
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような種々の変形が可能である。
(1)前記実施形態のピックアップツール51は、先端が円錐台形状をしており、先端面51dが円環状であったが、先端面を矩形状にすることもできる。
20 ステージ
30 ワークホルダ(部品ホルダ)
40 3軸マニュピレータ
45 コントロールノブ
46 回転ノブ
50 ヘッド部
51,51y,51z ピックアップツール(吸着ノズル)
51a 先端部
51b 軸部
51c 通流孔(吸入孔)
51d 先端面
52 ベルト
53 ディスペンスニードル
54 荷重認識針
55 モータ
70,70a,70b,70c 丸型リード線
70a 外周面
75,75a,75b,75c,75d 電極
80 半導体チップ(電子部品)
90 本体筐体
100 ダイボンダ
Claims (3)
- 空気が通流する通流孔を有し、先端が平面の吸着ノズルを用いた吸着搬送方法であって、
前記吸着ノズルが電子部品を吸着する部品吸着工程と、
前記吸着された電子部品が部品ホルダまで搬送される部品搬送工程と、
前記吸着ノズルが丸型リード線の外周面を吸着するリード線吸着工程と、
前記丸型リード線を吸着した前記吸着ノズルが移動するリード線搬送工程とを備え、
前記リード線搬送工程は、前記電子部品まで前記丸型リード線の先端が移動する
ことを特徴とする吸着搬送方法。 - 請求項1に記載の吸着搬送方法であって、
前記部品ホルダまで吸着搬送された電子部品に導電性ペーストが塗布される導電性ペースト塗布工程をさらに備え、
前記リード線搬送工程は、前記丸型リード線の一端が前記塗布された導電性ペーストの内部まで挿入される工程である
ことを特徴とする吸着搬送方法。 - 請求項2に記載の吸着搬送方法であって、
前記吸着ノズルは、先端面が二重円の円錐台形状であり、
前記電子部品は、前記導電性ペーストが塗布される電極を複数有し、
隣接する前記電極同士の間隔は、前記先端面の内径以上である
ことを特徴とする吸着搬送方法。
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