WO2017110507A1 - 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法 - Google Patents

放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2017110507A1
WO2017110507A1 PCT/JP2016/086585 JP2016086585W WO2017110507A1 WO 2017110507 A1 WO2017110507 A1 WO 2017110507A1 JP 2016086585 W JP2016086585 W JP 2016086585W WO 2017110507 A1 WO2017110507 A1 WO 2017110507A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
filter
radiation
detection apparatus
housing
radiation detection
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/086585
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
達也 大西
Original Assignee
浜松ホトニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 浜松ホトニクス株式会社 filed Critical 浜松ホトニクス株式会社
Priority to CN201680074884.2A priority Critical patent/CN108474754B/zh
Priority to EP16878399.1A priority patent/EP3396362B1/en
Priority to US16/062,369 priority patent/US10677938B2/en
Priority to ES16878399T priority patent/ES2857577T3/es
Publication of WO2017110507A1 publication Critical patent/WO2017110507A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16—Measuring radiation intensity
    • G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
    • G01T1/2002—Optical details, e.g. reflecting or diffusing layers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16—Measuring radiation intensity
    • G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
    • G01T1/244—Auxiliary details, e.g. casings, cooling, damping or insulation against damage by, e.g. heat, pressure or the like

Definitions

  • the present invention relates to a radiation detection apparatus, a radiation inspection system, and a method for adjusting the radiation detection apparatus.
  • an X-ray detection apparatus including a line sensor that detects a transmission image of X-rays irradiated to an object from an X-ray source is used.
  • a line sensor that detects a transmission image of X-rays irradiated to an object from an X-ray source.
  • two line sensors are arranged in parallel so that X-rays having different energy ranges can be detected when the detected foreign matter is different (for example, whether the foreign matter is bone or metal contained in meat).
  • Patent Document 1 a variable quality body is provided on one sensor in order to make the quality of each X-ray reaching each line sensor different.
  • the detection sensitivity can be flexibly changed so that X-rays in various energy ranges can be detected in consideration of the SN ratio depending on the application. Adjust by changing the scintillator or adding a filter. However, it is difficult to change the scintillator at every adjustment.
  • the filter if the filter is arranged on the upper surface of the scintillator as in Patent Document 1, the filter may damage the scintillator during adjustment.
  • the camera height may be changed according to the type (thickness) of the filter.
  • An object of the present invention is to provide a radiation inspection system including the radiation detection apparatus and a method for adjusting the radiation detection apparatus.
  • a radiation detection apparatus is a radiation detection apparatus that irradiates an inspection target with radiation from a radiation source and detects radiation transmitted through the inspection target, and at least a part of the incident radiation is detected.
  • a filter member having a filter to be attenuated; a detection unit that detects radiation at least partially attenuated by the filter; and a housing that houses the detection unit.
  • the housing has a main surface including a portion through which radiation can pass, and a side surface including an opening extending in a direction intersecting the main surface and into which a filter can be inserted. It arrange
  • an opening into which a filter can be inserted is provided on the side surface of the housing that houses the detection unit, and the filter is attached to the housing so that the filter covers at least a part of the detection unit in a state of being separated from the detection unit.
  • a filter that changes (attenuates) the radiation quality of the incident radiation is arranged inside the housing of the radiation detection apparatus, so that it is not necessary to change the height of the radiation detection apparatus every time the filter is adjusted. It can be easily rearranged into various energy bands.
  • the filter is disposed inside the housing so as to be separated from the detection unit, when the filter is replaced with a filter having another attenuation function, the filter hits the detection unit (for example, a scintillator) and is damaged. It is possible to reduce the risk of being lost.
  • the filter and the detection unit can be disposed close to each other, so that the occurrence of artifacts can be suppressed.
  • the opening of the housing may have a larger area than the end face of the filter.
  • the filter since the filter can be easily inserted into the housing, the detection sensitivity of the radiation detection apparatus can be easily changed to various energy bands.
  • the filter member may include a holding member that holds the filter, and the holding member may be made of a material that transmits radiation more than the filter.
  • the holding member can surely arrange the filter at a predetermined position, and the holding member can prevent the incident radiation from being attenuated and the detection of appropriate radiation from being inhibited.
  • the filter member may have a stopper portion having a surface area larger than the opening, and the stopper portion may be attached to a side surface of the housing.
  • the filter of the filter member can be reliably arranged at a predetermined position.
  • the filter member may have a substantially rectangular outer shape when viewed in plan, and the filter may be disposed in a side end region thereof. In this case, it becomes easy to arrange the filter at an appropriate position with respect to the detection unit that is usually arranged near the center of the apparatus.
  • the radiation detection apparatus described above may further include a positioning member for positioning the filter member in the housing so that the filter covers a predetermined region of the detection unit.
  • a positioning member for positioning the filter member in the housing so that the filter covers a predetermined region of the detection unit.
  • the positioning member may be in contact with the whole or a part of the side end of the filter member to position the filter.
  • the detection unit includes a first line sensor in which pixels having a first pixel width are arranged one-dimensionally, and a pixel having a second pixel width arranged in a one-dimensional manner. And a second line sensor arranged in parallel with the first line sensor at an interval narrower than the second pixel width.
  • the radiation detection apparatus can be further downsized, and radiation in different energy ranges can be detected.
  • the detection unit may further include a first scintillator disposed on the first line sensor and a second scintillator disposed on the second line sensor.
  • the filter may cover one of the first and second line sensors, or the filter covers both the first and second line sensors, and the filter covers the first line sensor. 1 region and a second region covering the second line sensor, and the thickness of the first region and the thickness of the second region may be the same or different.
  • the first line sensor and the second line sensor may be direct conversion type radiation detectors. In this case, it is not necessary to provide a separate scintillator, so the number of parts can be reduced.
  • the distance between the filter and the detection unit may be 0.1 mm or more and 10 mm or less. In this case, the occurrence of artifacts can be further suppressed.
  • the main surface of the casing may include a slit through which radiation incident on the casing can pass, and the radiation detection apparatus may further include a light shielding film that covers the slit.
  • the radiation detection apparatus may further include a light shielding film that covers the slit.
  • the present invention also relates to a radiation inspection system as another aspect, and the radiation inspection system includes a radiation source that irradiates an object to be inspected, any of the radiation detection devices described above, and a radiation direction of radiation from the radiation source. And a transport mechanism for transporting the inspection object in a direction intersecting with.
  • the height of the radiation detection device does not need to be changed every time the filter is adjusted, and the type of filter that attenuates radiation can be easily changed. Therefore, the detection sensitivity can be easily changed to various energy bands. Thus, various types of inspection objects can be inspected.
  • the present invention relates to an adjustment method for any of the above-described radiation detection apparatuses.
  • the adjustment method includes a step of preparing a plurality of filters having different attenuation functions as the filter member, The filter members are sequentially inserted from the opening of the housing into the interior and held at a predetermined position to detect radiation, and the optimum filter member is selected from a plurality of filters according to the result of the detected radiation. And.
  • the optimum filter can be easily selected from filters having different attenuation functions, the adjustment method of the radiation detection apparatus can be easily performed, and the detection sensitivity in the radiation detection apparatus can be easily recombined into various energy bands. Can do.
  • the step of inserting the optimum filter member selected in the selecting step into the inside from the opening of the housing and holding and fixing the filter member at a predetermined position is further performed.
  • a radiation detection apparatus may be manufactured. With such a manufacturing method, it is possible to easily manufacture a radiation detection apparatus capable of easily rearranging the detection sensitivity to various energy bands.
  • the present invention also relates to a filter member that can be used in such an adjustment method as another aspect, and the filter member is a filter member having an outer shape that is substantially rectangular when viewed from above.
  • the present invention it is possible to easily rearrange the detection sensitivity to various energy bands without changing the height of the radiation detection device every time the filter is adjusted.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing an X-ray inspection system according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a table showing the relationship between the half-value layer and the tube voltage when copper and aluminum are used as a filter, and FIG. (B) shows the comparison between the case where there is no filter, the case where 0.1 mm thick copper is used as a filter, and the case where 0.1 mm thick aluminum is used as a filter, (C) shows a comparison between the case where there is no filter, the case where 0.1 mm thick copper is used as a filter, and the case where 0.5 mm thick copper is used as a filter.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the third embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the fourth embodiment.
  • FIGS. 7A and 7B are cross-sectional views schematically showing an X-ray detection apparatus according to the fifth embodiment.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the sixth embodiment.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing an X-ray detection apparatus according to the seventh embodiment.
  • FIG. 10 is a perspective view of an example of the X-ray detection apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 10 is a perspective view of an example of the X-ray detection apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 11 is a perspective view showing a state in which the filter member is inserted into the opening on the side surface of the X-ray detection apparatus shown in FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII of an example of the X-ray detection apparatus shown in FIG.
  • FIG. 13 is a plan view showing the positioning of the filter member by the positioning member in the X-ray detection apparatus shown in FIG. 10, wherein (a) shows an example of the positioning member and the filter member, and (b) is (a). (C) shows another example of the positioning member and the filter member, and (d) shows the state where the filter member of (c) is positioned by the positioning member. Show. FIG.
  • FIG. 14 is a plan view showing the positioning of the filter member by the positioning member in the X-ray detection apparatus shown in FIG. 10, wherein (a) shows still another example of the positioning member and the filter member, and (b) (A) shows the state where the filter member is positioned by the positioning member, (c) shows another example of the positioning member and the filter member, and (d) shows that the filter member of (c) is positioned by the positioning member. Indicates the state.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating a modification of the filter member used in the X-ray detection apparatus.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing an X-ray inspection system according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the present embodiment.
  • the X-ray inspection system 1 (radiation inspection system) includes a belt conveyor 3 (conveyance mechanism), an X-ray irradiator 5 (radiation source), and an X-ray detection apparatus 10 (radiation detection apparatus).
  • the X-ray inspection system 1 includes a belt conveyor 3 (conveyance mechanism), an X-ray irradiator 5 (radiation source), and an X-ray detection apparatus 10 (radiation detection apparatus).
  • the X-ray inspection system 1 irradiates the inspection object S with X-rays from the X-ray irradiator 5 in the irradiation direction Z, and a plurality of transmitted X-rays transmitted through the inspection object S among the irradiated X-rays. It detects in the energy range.
  • the X-ray inspection system 1 performs inspection of foreign matters contained in the inspection object S, baggage inspection, and the like using an image obtained by transmission X-rays.
  • Examples of the inspection object S by the X-ray inspection system 1 include, for example, food such as meat and retort, rubber products such as tires, baggage for baggage inspection, resin products, metal products such as wires, and resource materials such as minerals, separation And waste for resource recovery, electronic parts, etc.
  • food such as meat and retort
  • rubber products such as tires
  • baggage for baggage inspection resin products
  • metal products such as wires
  • resource materials such as minerals, separation And waste for resource recovery, electronic parts, etc.
  • the detection sensitivity of each X-ray detection apparatus 10 can be flexibly changed in accordance with the physical properties of the inspection object S and the type of foreign matter to be detected.
  • the belt conveyor 3 has a belt portion 7 on which the inspection object S is placed.
  • the belt conveyor 3 transports the inspection object S in the transport direction Y at a predetermined speed by moving the belt portion 7 in the transport direction Y.
  • the X-ray irradiator 5 (radiation source) is a device that irradiates X-rays in the irradiation direction Z toward the inspection object S, for example, an X-ray source.
  • the X-ray irradiator 5 is, for example, a point light source, and performs irradiation that diffuses X-rays in a predetermined angle range in the detection direction X orthogonal to the irradiation direction Z and the transport direction Y.
  • the X-ray irradiator 5 is configured so that the X-ray irradiation direction Z is directed toward the belt portion 7 and the diffusing X-rays extend over substantially the entire width direction (detection direction X) of the inspection object S.
  • a predetermined division range in the length direction is set as a single irradiation range, and the inspection object S is conveyed in the belt conveyor 3.
  • Y X-rays are irradiated to the entire length direction of the inspection object S.
  • the X-ray detection apparatus 10 (radiation detector) is an apparatus that detects X-rays that are irradiated from the X-ray irradiator 5 onto the inspection object S and transmitted through the inspection object S, and is, for example, an X-ray detection camera.
  • the X-ray detection device 10 is disposed, for example, below the belt portion 7 so as to be positioned downstream of the inspection object S in the irradiation direction by the X-ray irradiator 5 in order to detect X-rays transmitted through the inspection object S.
  • Such an X-ray detection apparatus 10 includes a detection unit 20 that detects transmitted X-rays, a housing 30 that houses the detection unit 20 therein, as shown in FIG.
  • a filter member 40 having a filter 42 that is inserted from the side into the housing 30 and attenuates part of the X-rays that have passed through the inspection object S.
  • the filter 42 is disposed so as to cover a part of the detection unit 20 in a state of being separated from the detection unit 20.
  • the detection unit 20 includes two line sensors 21 and 22, a substrate 23, and two scintillators 24 and 25, and X-rays that are irradiated from the X-ray irradiator 5 and transmitted through the inspection object S (to the detection device). Incident X-rays) are detected in different energy ranges.
  • the line sensors 21 and 22 are formed adjacent to each other in a substrate 23 made of, for example, silicon, and the line sensor 21 has a one-dimensional pixel width LW pixel (in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 2, X in FIG. 1).
  • the line sensor 22 is a linear sensor in which pixels having a pixel width HW are arranged one-dimensionally.
  • the line sensor 22 is arranged in parallel with the line sensor 21 at an interval NW narrower than the pixel widths LW and HW.
  • the pixel widths LW and HW may be, for example, about 0.6 mm and may be the same width as each other, or may be different widths, and the interval NW between the sensors may be, for example, about 0.2 mm. .
  • a low energy scintillator 24 is disposed on the line sensor 21, and a high energy scintillator 25 is disposed on the line sensor 22.
  • the scintillators 24 and 25 are made of different materials or different thicknesses, so that the detection unit 20 can detect X-rays in different energy bands.
  • the housing 30 has a main surface 32 including a slit 31 for allowing X-rays to pass therethrough and a shielding member 33 made of lead or the like on the side irradiated with X-rays.
  • the detection unit 20 is housed in the interior so that the line can pass through.
  • the main body portion other than the shielding member 33 of the housing 30 is made of, for example, aluminum.
  • a light shielding film 50 may be provided above the slit 31 so that particles or the like do not enter the inside of the housing 30.
  • the light shielding film 50 may have a performance of attenuating a part of the X-rays transmitted through the inspection object S.
  • the housing 30 has a side surface 34 extending in a direction orthogonal to the main surface 32, and the filter 42 so that the filter 42 of the filter member 40 and the like can be inserted into the side surface 34.
  • An opening 35 having an area larger than that of the end face is formed.
  • the filter member 40 is, for example, a sheet-like member having a substantially rectangular outer shape in plan view, and includes a filter 42 that attenuates a part of X-rays (incident radiation) that has passed through the inspection object S, and a filter 42.
  • the filter 42 is a thin plate-like member formed of a material different from the inspection object S.
  • a material different from the inspection object S for example, polystyrene, polyethylene, polyurethane, polypropylene, Teflon (registered trademark), ABS resin, AS resin, acrylic, polyamide, PET Resins such as GF-PET, PBT, polycarbonate, PPS, PTFE, PSF, PI; carbon fiber materials such as amorphous carbon, graphite; beryllium, aluminum, titanium, iron, zinc, molybdenum, tin, gold, silver, copper, It is composed of metals such as platinum, lead, tantalum, gadolinium, holmium, and ytterbium.
  • the filter 42 is appropriately selected from the materials described above according to the desired attenuation, that is, the energy difference between the X-rays received by both line sensors and the SN ratio.
  • the filter 42 is preferably selected from copper and aluminum. Since copper and aluminum have a high X-ray shielding power and are easy to process, the filter thickness can be easily adjusted by selecting these materials.
  • 3A to 3C the tube voltage (kV) and half when copper (thickness 0.1 mm, 0.5 mm), aluminum (0.1 mm), or the like is used as the filter 42 are shown. The relationship with a valence layer (mm) is shown.
  • the half-value layer is the thickness of a material when the amount of radiation is reduced by half due to absorption when a specific material is placed in the X-ray beam bundle, and is used to evaluate the energy characteristics of X-rays. It is an indicator. Specifically, when the half-value layer is thick, the energy becomes high.
  • the holding member 44 is a sheet-like member for holding the filter 42 in a predetermined position.
  • the filter 42 is disposed on the upper surface of one end side (side end region) of the holding member 44. It is fixed.
  • the holding member 44 is made of a material that transmits X-rays more easily than the filter 42, such as carbon, and is configured not to interfere with detection of X-rays by the detection unit 20 without attenuating the transmitted X-rays so much. ing.
  • the filter 42 is held by the holding member 44 so that the distance from the line sensors 21 and 22 is 0.1 mm or more and 10 mm or less in order to suppress the occurrence of artifacts.
  • the stopper member 46 is a fixing member provided at one end of the holding member 44 and is a member for fixing the holding member 44 on which the filter 42 is placed to the side surface 34 of the housing 30.
  • the stopper member 46 has a larger surface area than the opening 35 provided in the side surface 34 of the housing 30, and the entire filter member 40 does not enter the housing 30 when the filter member 40 is replaced. It is like that.
  • the stopper member 46 may be formed integrally with the holding member 44 or may be formed as a separate body.
  • the fixing to the housing 30 is realized by fastening the stopper member 46 with, for example, a screw.
  • the filter 42 covers a region corresponding to a part of the slit 31 (for example, a half region in the width direction) and attenuates a part (half) of the transmitted X-ray.
  • the filter 42 can be positioned in the housing 30. More specifically, the filter member 40 is configured such that one end (right end in the drawing) of the filter 42 formed of a narrow sheet extending linearly has the line sensor 21 of the detection unit 20 in the traveling direction of transmitted X-rays.
  • the filter 42 can be positioned and held so as to correspond to the area between the two.
  • the filter member 40 is a filter having different attenuation functions (for example, different thicknesses and materials)
  • the filter member 40 is designed to be disposed at the same position as long as the filter member has the same shape (outer shape). Even if the filter member is replaced with a filter member having a type (thickness or material), the relative position with respect to the line sensors 21 and 22 does not change, and the filter 42 (filter member 40) can be easily replaced. be able to.
  • the line sensor 21 in which the low energy scintillator 24 is arranged transmits the inspection object S among the X-rays irradiated from the X-ray irradiator 5 with the above-described configuration.
  • Low energy image data can be generated by detecting X-rays in the low energy range as they are (without passing through the filter 42).
  • the line sensor 22 on which the scintillator 25 for high energy is arranged transmits X-rays from the X-ray irradiator 5 through the inspection object S and attenuates by the filter 42 in the high energy range. Can be detected to generate high energy image data.
  • the filter can be used without changing the arrangement or configuration outside the housing 30.
  • the type of the filter 42 can be easily changed without damaging the scintillators 24 and 25 at the time of replacement, and the X-ray detection apparatus 10 in which the line sensors are arranged in close proximity to each other has different detection sensitivities. Can be easily rearranged.
  • the opening 35 of the housing 30 has an area larger than the total area of the end face of the filter 42 and the end face of the holding member 44. For this reason, since the filter 42 etc. can be easily inserted in the inside of the housing
  • the filter member 40 has a holding member 44 that holds the filter 42, and the holding member 44 is made of a material that transmits X-rays more than the filter 42, for example, carbon.
  • the filter 42 can be reliably disposed at a predetermined position in the housing 30, and the holding member 44 can suppress the incident X-rays from being attenuated and prevent the detection of appropriate X-rays. You can also.
  • the filter member 40 has a stopper member 46 having a surface area larger than the opening 35, and the stopper member 46 is attached to the side surface 34 of the housing 30. For this reason, the filter 42 of the filter member 40 can be surely arranged at a predetermined position by the stopper member 46, and when the filter member 40 of a different type is exchanged, the entire filter member 40 is a casing. Therefore, it is possible to prevent the replacement from being made difficult. Furthermore, since the stopper member 46 has a larger area than the opening 35, the opening 35 can be covered with the stopper member 46 when the filter member 40 is installed in the housing 30. It is possible to prevent powder, dust, etc.) from entering the inside of the housing 30.
  • the filter member 40 has a substantially rectangular outer shape when viewed in plan, and the filter 42 is disposed on the end side thereof. For this reason, it becomes easy to arrange
  • the detection unit 20 includes a first line sensor in which pixels having a first pixel width are arranged one-dimensionally and pixels having a second pixel width arranged in a one-dimensional manner. And a second line sensor arranged in parallel with the first line sensor at an interval narrower than the first and second pixel widths.
  • the X-ray detection apparatus 10 can be further reduced in size, and radiation in different energy ranges can be detected.
  • the distance between the filter 42 and the detection unit 20 is 0.1 mm or more and 10 mm or less. For this reason, generation
  • the main surface 32 of the housing 30 includes a slit 31 through which X-rays incident on the housing 30 can pass.
  • the X-ray detection device 10 includes a light shielding film 50 that covers the slit 31. In addition. For this reason, attenuation when X-rays enter the X-ray detection apparatus 10 can be suppressed, and foreign matter (dust, dust, etc.) can enter the housing 30 from the slit 31. Can be prevented.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the third embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the fourth embodiment.
  • FIGS. 7A and 7B are cross-sectional views schematically showing an X-ray detection apparatus according to the fifth embodiment.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing the X-ray detection apparatus according to the sixth embodiment.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing an X-ray detection apparatus according to the seventh embodiment.
  • the X-ray detection apparatus 10a is different from the X-ray detection apparatus 10 of the first embodiment in the arrangement location of the filter 42 in the filter member 40a.
  • Other configurations are the same as those of the X-ray detection apparatus 10.
  • the filter 42 of the filter member 40a is disposed so as to cover the line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is disposed.
  • the line sensor 22 in which the high-energy scintillator 25 is arranged transmits the high energy transmitted through the inspection object S among the X-rays irradiated from the X-ray irradiator 5.
  • the range of X-rays can be detected as is (without the filter 42) to generate high energy image data.
  • the line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is disposed is an X-ray in a low energy range that is transmitted through the inspection object S out of the X-rays irradiated from the X-ray irradiator 5 and attenuated by the filter 42. Can be detected to generate low energy image data.
  • the low energy side is saturated when the X-ray output is increased in order to secure SN on the high energy side.
  • the above-described configuration can be adopted.
  • an X-ray detection apparatus 10b according to the third embodiment will be described with reference to FIG.
  • the X-ray detection device 10 b is different from the X-ray detection device 10 of the first embodiment in the width of the filter 42 b (the horizontal direction in the drawing) in the filter member 40 b.
  • Other configurations are the same as those of the X-ray detection apparatus 10.
  • the filter 42b of the filter member 40b covers both the line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is disposed and the line sensor 22 in which the high-energy scintillator 25 is disposed. Has been placed.
  • the line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is arranged and the line sensor 22 in which the high-energy scintillator 25 is arranged have the X-ray irradiator.
  • the X-rays in each energy range transmitted through the inspection object S and attenuated by the filter 42b among the X-rays irradiated from 5 can be detected, and high and low energy image data can be generated.
  • the inside inspection of a relatively heavy substance for example, when detecting a metal foreign object in 20 kg of wheat and the low energy side is to be detected with a certain amount of energy, for example, the above-described configuration is adopted. can do.
  • the X-ray detection apparatus 10c is different from the X-ray detection apparatus 10 b of the third embodiment in the shape (change in thickness) of the filter 42 c in the filter member 40 c.
  • Other configurations are the same as those of the X-ray detection apparatus 10b.
  • the filter 42c of the filter member 40c includes a line sensor 21 in which the low energy scintillator 24 is arranged, and a line in which the high energy scintillator 25 is arranged. It arrange
  • the filter 42c includes two regions 43a and 43b, and the thickness in the first region 43a is larger than the thickness in the second region 43b.
  • both the line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is arranged and the line sensor 22 in which the high-energy scintillator 25 is arranged are used as an X-ray irradiator. 5 can detect X-rays in each energy range that pass through the inspection object S and attenuated by the filter 42c among the X-rays irradiated from 5, and can generate high and low energy image data.
  • the line sensor 22 in which the energy scintillator 25 is arranged detects X-rays in a high energy range that is attenuated more than the line sensor 21 in which the low energy scintillator 24 is arranged, thereby obtaining high energy image data. Can be generated. With such a configuration, image data with an energy difference can be obtained.
  • the X-ray detection apparatus 10d has the X-ray detection of the third embodiment in that the filter member 40d does not have an independent holding member but the filter 42d also serves as a holding member. This is different from the apparatus 10b.
  • Other configurations are the same as those of the X-ray detection apparatus 10b.
  • the filter 42d of the filter member 40d includes a line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is disposed and a line in which the high-energy scintillator 25 is disposed.
  • the sensor 22 is configured to cover both.
  • both the line sensor 21 in which the low energy scintillator 24 is arranged and the line sensor 22 in which the high energy scintillator 25 is arranged are irradiated from the X-ray irradiator 5.
  • the X-rays in each energy range transmitted through the inspection object S and attenuated by the filter 42d can be detected, and high and low energy image data can be generated.
  • the thickness of the filter member 40d (filter 42d) is increased and the stopper member 46 is omitted, and an opening provided on the side surface 34 of the housing 30 is provided.
  • the X-ray detection device 10e is a dual line type X-ray detection device, and includes two components for the same energy band.
  • the scintillator 26 is arranged in parallel so as to be positioned on the line sensors 21 and 22.
  • the width of the filter 42e in the filter member 40e is the same as that of the X-ray detection apparatus 10b of the third embodiment. It is arranged to cover both.
  • the line sensors 21 and 22 each having the same energy scintillator 26 are transmitted through the inspection object S among the X-rays irradiated from the X-ray irradiator 5 with such a configuration. Then, X-rays in a predetermined energy range attenuated by the filter 42e can be detected, and two energy image data can be generated.
  • the X-ray detection device 10f is a so-called single-line X-ray camera as shown in FIG.
  • the X-ray detection apparatus 10f includes a single line sensor 21f in the substrate 23f as the detection unit 20, and a configuration in which one scintillator 26f is disposed on the line sensor 21f. It has become.
  • the filter 42f of the filter member 40f is disposed so as to cover the entire line sensor 21f.
  • the detection sensitivity is adjusted using the filter member 40f disposed in the housing 30 as in the above-described embodiment.
  • the type of the filter 42f can be easily changed without changing the arrangement and configuration outside the 30 and without damaging the scintillator 26f when replacing the filter, and the X-ray detection device 10f also has various detection sensitivities. Can be easily rearranged into a new energy band.
  • FIG. 10 is a perspective view of an example of the X-ray detection apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 11 is a perspective view showing a state in which the filter member is inserted into the opening on the side surface of the X-ray detection apparatus shown in FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII of an example of the X-ray detection apparatus shown in FIG.
  • the X-ray detection apparatus 10 includes the detection unit 20, the casing 30, the filter member 40, and the light shielding film 50.
  • the casing 30 is composed of a box-shaped upper casing 37 having a space inside, and a lower casing 38 which is plate-shaped and has a protruding portion 38a at the center thereof. Yes.
  • the protrusion 38 a of the lower housing 38 is fitted into the upper housing 37, the upper housing 37 and the lower housing 38 are fitted so that particles or the like do not enter the housing 30.
  • the upper housing 37 and the lower housing 38 are made of, for example, aluminum.
  • the substrate 23 of the detection unit 20 is disposed on the upper surface of the protruding portion 38 a of the lower housing 38, and line sensors 21 and 22 (see FIG. 2) are formed on the substrate 23.
  • a scintillator 24 is bonded and disposed on the line sensor 21, and a scintillator 25 is bonded and disposed on the line sensor 22.
  • the arrangement of the line sensors 21 and 22 is opposite to the example shown in FIG. 2, but these arrangements can be changed as appropriate.
  • a plate-shaped shielding member 33 for preventing the X-rays emitted from the X-ray irradiator 5 from entering the inside as it is is provided above the detection unit 20.
  • the shielding member 33 is provided with a slit 33 a at the center thereof, and the slit 33 a has a length and a width corresponding to the slit 31 of the housing 30 and is irradiated from the X-ray irradiator 5.
  • the line is formed so as to reach the detection unit 20.
  • a support plate 39 for supporting the shielding member 33 is disposed below the shielding member 33, and the support plate 39 is attached to a recess on the inner peripheral surface of the upper housing 37 of the housing 30.
  • the support plate 39 is made of, for example, stainless steel, and the support plate 39 is also provided with a slit similar to the slit 33a.
  • a thin plate-like filter member 40 is disposed inside the housing 30 in a state of being separated from the detection unit 20, and a filter 42 is formed on the upper surface of the distal end region of the holding member 44. Yes.
  • a plate-like positioning member 60 is installed inside the housing 30 to accurately position the filter member 40 so that the filter member 40 does not enter the inside of the housing 30 by contacting the tip of the filter member 40. (See FIGS. 13A and 13B).
  • the positioning member 60 is disposed so as to cover one scintillator 24 (line sensor 21) of the detection unit 20 when viewed from the upper surface side.
  • the filter 42 of the filter member 40 is positioned so as to cover only the other scintillator 25 (line sensor 22). X-rays transmitted through the inspection object S with such a configuration are divided into transmitted X-rays attenuated by the filter 42 and transmitted X-rays not attenuated by the filter 42, and the transmitted X-rays not attenuated are low energy. The incident X-rays are incident on the high-energy scintillator 25.
  • the positioning member 60 is made of a material that transmits X-rays more easily than the filter 42 or the like, such as carbon, resin, or metal.
  • a slide member 65 is further provided inside the housing 30.
  • the slide member 65 is a member that guides the filter member 40 when the filter member 40 is inserted into the housing 30.
  • the slide member 65 is installed below a region where the filter member 40 is inserted.
  • the slide member 65 prevents the filter member 40 from being bent when the thin plate-like filter member 40 is inserted and removed, and the filter member 40 comes into contact with the scintillators 24, 25, and the like. Is prevented.
  • the slide member 65 supports most of the thin plate-like filter member 40 excluding the region corresponding to the filter 42 from below, and the filter member 40 is To avoid bending. Thereby, the filter 42 of the filter member 40 is positioned more reliably without deviating from a predetermined position, for example, a position covering the scintillator 25.
  • the stopper member 46 is formed separately from the holding member 44, and after the filter 42 and the like are inserted into the housing 30, the opening 35 on the side surface 34 is closed. It is fixed to the side surface 34 of the housing 30 by screws 48.
  • the shape of the opening 35 formed in the side surface 34 is not particularly limited as long as the opening 35 has an area slightly larger than the end surfaces of the filter 42 and the holding member 44. For example, as shown in FIG. By forming wide circular end portions 35b and 35b at both ends, the filter member 40 can be easily inserted into and removed from the housing 30.
  • the filter 42 is detected by inserting the filter member 40 into the inside through the opening 35 of the side surface 34 of the housing 30 and advancing to the position positioned by the positioning member 60. Positioning is automatically performed so as to be positioned only above the line sensor 22 (scintillator 25) of the unit 20. Therefore, first, a plurality of filter members 40 having the same shape and different attenuation amounts (different thicknesses and materials) are prepared. The plurality of filter members 40 are sequentially inserted into the housing 30 and held at predetermined positions by the positioning member 60, the slide member 65, and the like, and transmitted X-rays in each case are detected.
  • the inspection object S to be inspected and the foreign matter can be detected more accurately from the plurality of filter members 40, that is, the optimum energy difference and SN ratio can be obtained.
  • Select the appropriate filter member By such a method, it becomes possible to easily select and recombine the filter member (filter 42) that matches the detection in the specific inspection object S.
  • the X-ray detection apparatus 10 having the optimum detection sensitivity can be easily manufactured by using the filter member selected in this way as it is in the X-ray detection apparatus 10 while being held and fixed at a predetermined position in the housing 30. It is also possible to do.
  • the line sensor 21 in which the low-energy scintillator 24 is arranged is the X-ray irradiated from the X-ray irradiator 5.
  • the X-ray in the low energy range that has passed through the inspection object S can be detected as it is to generate low energy image data, and the line sensor 22 in which the scintillator 25 for high energy is arranged is provided from the X-ray irradiator 5.
  • High energy image data can be generated by detecting X-rays in the high energy range that have been transmitted through the inspection object S and attenuated by the filter 42 among the irradiated X-rays.
  • the detection sensitivity is adjusted using the filter member 40 disposed in the housing 30, and therefore the arrangement and configuration outside the housing 30 (for example, on the main surface 32). Since the slide member 65 and the like are also arranged without changing the filter, the type of the filter 42 can be easily changed without damaging the scintillators 24 and 25 when replacing the filter. As a result, according to the X-ray detection apparatus 10, the detection sensitivity can be easily changed to various energy bands even in the X-ray detection apparatus 10 in which the line sensors are arranged close to each other.
  • the X-ray detection apparatus 10 further includes a positioning member 60 for positioning the filter member 40 in the housing 30 so that the filter 42 covers a predetermined region (for example, the line sensor 22) of the detection unit 20. ing. For this reason, even if the detection unit 20 is formed from a very small configuration, the filter 42 can be accurately and surely disposed at an appropriate position with respect to such a detection unit 20.
  • a positioning member 60 various forms can be adopted. For example, as shown in FIGS. 13C and 13D, a recess 61a is provided in part and both ends 61b and 61b are filters.
  • the positioning member 61 may be in contact with the side end of the member 40. Even in such a positioning member 61, the filter member 40 can be positioned reliably by the both ends 61b and 61b.
  • FIG. 14 a form as shown in FIG. 14 can be adopted.
  • the holding member 44 of the filter member 41 has the recess 44a.
  • the both ends 44b and 44b and the side end of the filter member 40 are in contact with the positioning member 60 so that the filter 42 is positioned. Also good.
  • the holding member 44 of the filter member 40 has a recess 44a, and at the same time, the positioning member 61 also has a recess 61a. 61b and 61b may contact and position.
  • a scintillator is used to convert radiation into visible light or the like, but a direct conversion type radiation detector (eg, silicon semiconductor, amorphous selenium (a-Se) is used as a line sensor without using the scintillator.
  • a direct conversion type radiation detector eg, silicon semiconductor, amorphous selenium (a-Se) is used as a line sensor without using the scintillator.
  • the number of parts can be reduced.
  • the stopper member 46 of the filter member 40 is a separate member, and the stopper member 46 is attached to the side surface 34 of the housing 30 by the screw 48.
  • the present invention is not limited to this.
  • the holding member 44 and the stopper member 46 are integrally formed, and may be a filter member 40g having an L-shaped cross section as a whole, or FIG. ),
  • the holding member 44 and the stopper member 46 may be integrated linearly, and the filter member 40h may be configured such that the stopper member 46 is fixed to the housing 30 with a screw 48.
  • FIG. 15C the holding member 44 and the stopper member 46 are integrally formed, and the filter member 40 having a T-shaped cross section as a whole may be used.
  • the present invention can be used in a radiation detection apparatus, a radiation inspection system, and a method for adjusting a radiation detection apparatus that detect radiation transmitted through an inspection object.
  • SYMBOLS 1 ... X-ray inspection system (radiation inspection system), 3 ... Belt conveyor (conveyance mechanism), 5 ... X-ray irradiator (radiation source), 10, 10a-10f ... X-ray detection apparatus (radiation detection apparatus), 20 ... Detection unit, 21, 21f, 22 ... line sensor, 24-26 ... scintillator, 30 ... housing, 31 ... slit, 32 ... main surface, 34 ... side surface, 35 ... opening, 40, 40a to 40i, 41 ... filter member 42, 42b to 42f, filter, 43a, 43b, region, 44, holding member, 46, stopper member, 50, light shielding film, 60, 61, positioning member.

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Ｘ線検出装置１０は、検査対象物を透過したＸ線を検出する装置であって、Ｘ線の一部を減衰させるフィルタ４２を有するフィルタ部材４０と、フィルタ４２により一部が減衰されたＸ線を検出する検出部２０と、検出部２０を内部に収納する筐体３０とを備えている。筐体３０は、Ｘ線が通過可能なスリット３１を含む主面３２と、主面３２と直交する方向に延在しフィルタ４２を横から挿入可能な開口３５を含む側面３４とを有する。フィルタ部材４０のフィルタ４２は、検出部２０から離れた状態で検出部２０のラインセンサ２２及びシンチレータ２５を覆うように筐体３０の内部に配置されている。

Description

放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法
　本発明は、放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法に関する。
　食品や医薬品等の検査対象物にＸ線を照射し、その透過Ｘ線画像から対象物中の異物の有無を検査することが広く行われている。この検査には、Ｘ線源から対象物に照射されたＸ線の透過画像を検出するラインセンサを備えたＸ線検出装置が用いられている。Ｘ線検出装置では、検出する異物が異なる場合（例えば異物が食肉に含まれる骨なのか若しくは金属なのかといった場合）、異なるエネルギ範囲のＸ線をそれぞれ検出できるように例えば２つのラインセンサを並列に配置する構成を採用している（例えば特許文献１参照）。そして、特許文献１に記載のＸ線検出装置では、各ラインセンサに至るそれぞれのＸ線の線質を異ならせるため、線質可変体を一方のセンサの上に設けるようにしている。
特開２００２－１６８８０３号公報
　このように異なる異物を検出できるＸ線検出装置では、用途に応じて様々なエネルギ範囲のＸ線をＳＮ比を考慮した上で検出できるように検出感度を柔軟に変更できることが好ましく、変更する場合、シンチレータを変えるか、またはフィルタを追加したりして調整を行う。しかしながら、調整の都度、シンチレータを交換することは困難である。また、フィルタを変える場合、特許文献１のようにシンチレータの上面にフィルタを配置する構成にすると、調整の際、フィルタによりシンチレータを傷つけてしまう虞がある。一方、Ｘ線センサを収容する金属箱の上面に設けたスリットを覆うようにフィルタを配置した場合、その分、カメラ高さをフィルタの種類（厚み）に応じて変えてしまう可能性があり、放射線検査システム全体の設計を行う際、これらの可能性を考慮しなければならず、設計を行いづらかった。
　本発明は、かかる問題点に鑑みて為されたものであり、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更しなくも検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能な放射線検出装置、当該放射線検出装置を備える放射線検査システム、及び、当該放射線検出装置の調整方法を提供することを目的とする。
　本発明の一形態に係る放射線検出装置は、放射線源から検査対象物に放射線を照射し、該検査対象物を透過した放射線を検出する放射線検出装置であって、入射する放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタを有するフィルタ部材と、フィルタにより少なくとも一部が減衰された放射線を検出する検出部と、検出部を内部に収納する筐体と、を備えている。この放射線検出装置では、筐体は、放射線が通過可能な部分を含む主面と、主面と交差する方向に延在しフィルタを挿入可能な開口を含む側面とを有し、フィルタは、検出部から離れた状態で検出部の少なくとも一部を覆うように筐体の内部に配置されている。
　この放射線検出装置では、検出部を収納する筐体の側面にフィルタを挿入可能な開口を設け、フィルタが検出部から離れた状態で検出部の少なくとも一部を覆うように当該フィルタを筐体の内部に配置している。この場合、入射放射線の線質を変える（減衰する）フィルタが放射線検出装置の筐体内部に配置される構成となり、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更する必要がなくなり、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能となる。また、フィルタが検出部から離れた状態となるように筐体内部に配置されるので、フィルタを他の減衰機能を有するフィルタに交換する場合、検出部（例えばシンチレータ等）にフィルタがぶつかって傷つけてしまう虞を低減することができる。しかも、この放射線検出装置によれば、フィルタと検出部とを近接して配置することが可能となるため、アーチファクトの発生を抑えることも可能となる。
　上述した放射線検出装置において、筐体の開口は、フィルタの端面よりも大きい面積を有していてもよい。この場合、筐体の内部にフィルタを容易に挿入することができるので、放射線検出装置の検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能となる。
　上述した放射線検出装置において、フィルタ部材は、フィルタを保持する保持部材を有し、当該保持部材は、フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成されていてもよい。この場合、保持部材により、フィルタを所定の位置に確実に配置させることができると共に、その保持部材により入射放射線が減衰して適切な放射線の検出が阻害されるといったことを抑制することができる。
　上述した放射線検出装置において、フィルタ部材は、開口よりも大きい表面積を有するストッパ部を有し、当該ストッパ部が筐体の側面に取り付けられていてもよい。この場合、フィルタ部材のフィルタを所定の位置により確実に配置させることが可能となる。
　上述した放射線検出装置において、フィルタ部材は、平面視した際の外形が略矩形であり、フィルタはその側端領域に配置されていてもよい。この場合、通常は装置の中央付近に配置される検出部に対して、フィルタを適正な位置に配置しやすくなる。
　上述した放射線検出装置は、フィルタが検出部の所定の領域を覆うようにフィルタ部材を筐体内において位置決めするための位置決め部材を更に備えていてもよい。この場合、検出部が微小な構成から形成されていても、そのような検出部に対してフィルタをより確実に適正な位置に配置させることが可能となる。なお、この位置決め部材は、フィルタ部材の側端の全体又は一部と当接してフィルタの位置決めを行うようにしてもよい。
　上述した放射線検出装置において、検出部は、第１の画素幅を有する画素が一次元に配列された第１のラインセンサと、第２の画素幅を有する画素が一次元に配列され且つ第１及び第２の画素幅よりも狭い間隔で第１のラインセンサと並列に配置される第２のラインセンサと、を有していてもよい。この場合、放射線検出装置をより小型化できると共に、異なるエネルギ範囲の放射線をそれぞれ検出できるようになる。
　上述した放射線検出装置において、検出部は、第１のラインセンサ上に配置された第１のシンチレータと、第２のラインセンサ上に配置された第２のシンチレータとを更に有してもよい。また、フィルタが第１及び第２のラインセンサの一方を覆うようにしてもよいし、フィルタが第１及び第２のラインセンサの両方を覆い、当該フィルタは、第１のラインセンサを覆う第１の領域と第２のラインセンサを覆う第２の領域とを有し、第１の領域の厚みと第２の領域の厚みとが同じ又は異なるようにしてもよい。
　また、上述した放射線検出装置において、第１のラインセンサ及び第２のラインセンサは、直接変換型放射線検出器であってもよい。この場合、別途、シンチレータを設ける必要がなくなるため、部品点数を削減することができる。
　上述した放射線検出装置において、フィルタと検出部との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよい。この場合、アーチファクトの発生をより一層抑えることが可能となる。
　上述した放射線検出装置において、筐体の主面は、当該筐体に入射する放射線が通過可能なスリットを含み、放射線検出装置は、当該スリットを覆う遮光フィルムを更に備えていてもよい。この場合、検出装置内に放射線が入射する際の減衰を抑制できると共に、このスリットから異物（紛体、ごみ等）が筐体内部に浸入してしまうことを防止できる。
　また、本発明は別の側面として放射線検査システムに係り、この放射線検査システムは、検査対象物に放射線を照射する放射線源と、上述した何れかの放射線検出装置と、放射線源による放射線の照射方向と交差する方向に検査対象物を搬送する搬送機構とを備えている。この検査システムでは、上記同様に、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更する必要がなく放射線を減衰させるフィルタの種類を容易に変更できるので、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えて、様々な種類の検査対象物の検査を行うことが可能となる。
　また、本発明は、更に別の側面として、上述した何れかの放射線検出装置の調整方法に係り、この調整方法は、異なる減衰機能を有する複数のフィルタを上記フィルタ部材として準備する工程と、複数のフィルタ部材を順に筐体の開口から内部に挿入して所定の位置に保持させ、放射線を検出する工程と、検出した放射線の結果に応じて複数のフィルタのうち最適なフィルタ部材を選択する工程とを備えている。この場合、異なる減衰機能を有するフィルタから最適なフィルタを容易に選択することができるため、放射線検出装置の調整方法が容易に行え、放射線検出装置における検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができる。なお、本発明では、この調整方法によって調整された放射線検出装置において、選択する工程で選択された最適なフィルタ部材を筐体の開口から内部に挿入して所定の位置に保持固定する工程を更に備えて、放射線検出装置を製造するようにしてもよい。このような製造方法により、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能な放射線検出装置を容易に製造することが可能となる。
　また、本発明は、更に別の側面として、このような調整方法等に用いることが可能なフィルタ部材の発明に係り、このフィルタ部材は、平面視した際の外形が略矩形であるフィルタ部材であって、放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタと、フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成され、フィルタを保持する保持部材と、を備え、フィルタは当該フィルタ部材の側端領域に配置されている。このような簡易な構成のフィルタ部材であれば、より多くの異なる減衰機能を有するフィルタ部材を容易に準備することができ、上述した放射線検出装置でのフィルタ調整をより行い易くなる。
　本発明によれば、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更することなく、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能となる。
図１は、本実施形態に係るＸ線検査システムを模式的に示す斜視図である。 図２は、第１実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図３は、銅及びアルミをフィルタとして用いた場合の半価層と管電圧との関係を示す表であり、（ａ）は、フィルタがない場合と０．１ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合との比較を示し、（ｂ）は、フィルタがない場合と、０．１ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合と、０．１ｍｍ厚のアルミをフィルタとして用いた場合との比較を示し、（ｃ）は、フィルタがない場合と、０．１ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合と、０．５ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合との比較を示す。 図４は、第２実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図５は、第３実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図６は、第４実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図７（ａ）及び（ｂ）は、第５実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図８は、第６実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図９は、第７実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。 図１０は、本実施形態に係るＸ線検出装置の一例の斜視図である。 図１１は、図１０に示すＸ線検出装置の側面の開口にフィルタ部材を挿入する状態を示す斜視図である。 図１２は、図１０に示すＸ線検出装置の一例のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。 図１３は、図１０に示すＸ線検出装置での位置決め部材によるフィルタ部材の位置決めを示す平面図であり、（ａ）は位置決め部材とフィルタ部材との一例を示し、（ｂ）は（ａ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示し、（ｃ）は位置決め部材とフィルタ部材との別の例を示し、（ｄ）は（ｃ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示す。 図１４は、図１０に示すＸ線検出装置での位置決め部材によるフィルタ部材の位置決めを示す平面図であり、（ａ）は位置決め部材とフィルタ部材との更に別の例を示し、（ｂ）は（ａ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示し、（ｃ）は位置決め部材とフィルタ部材との別の例を示し、（ｄ）は（ｃ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示す。 図１５は、Ｘ線検出装置で用いられるフィルタ部材の変形例を示す図である。
　以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
　図１は、本実施形態に係るＸ線検査システムを模式的に示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。Ｘ線検査システム１（放射線検査システム）は、図１に示すように、ベルトコンベア３（搬送機構）、Ｘ線照射器５（放射線源）、及び、Ｘ線検出装置１０（放射線検出装置）を備える。Ｘ線検査システム１は、Ｘ線照射器５からのＸ線を照射方向Ｚへ向けて検査対象物Ｓに照射し、照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した透過Ｘ線を複数のエネルギ範囲で検出する。Ｘ線検査システム１は、透過Ｘ線による画像を用いて検査対象物Ｓに含まれる異物検査や手荷物検査などを行う。Ｘ線検査システム１による検査対象物Ｓとしては、例えば、食肉やレトルト等の食品、タイヤなどのゴム製品、手荷物検査のための手荷物、樹脂製品、ワイヤなどの金属製品、鉱物など資源材料、分別や資源回収のための廃棄物、電子部品等など広くあげることができる。また、検査対象物Ｓ中の検出すべき異物としても各種のものがある。このため、Ｘ線検査システム１では、検査対象物Ｓの物性や検出すべき異物の種類に応じて、各Ｘ線検出装置１０の検出感度を柔軟に変更できることが好ましい。
　ベルトコンベア３は、検査対象物Ｓが載置されるベルト部７を有する。ベルトコンベア３は、ベルト部７を搬送方向Ｙに移動させることで、検査対象物Ｓを所定の速度で搬送方向Ｙに搬送する。
　Ｘ線照射器５（放射線源）は、検査対象物Ｓに向けて、Ｘ線を照射方向Ｚに照射する装置であり、例えばＸ線源である。Ｘ線照射器５は、例えば点光源であり、照射方向Ｚ及び搬送方向Ｙに直交する検出方向Ｘに所定の角度範囲でＸ線を拡散させる照射を行う。Ｘ線照射器５は、Ｘ線の照射方向Ｚがベルト部７に向けられると共に、拡散するＸ線が検査対象物Ｓの幅方向（検出方向Ｘ）の略全体に及ぶように、ベルト部７から所定の距離を離れてベルト部７の上方に配置される。Ｘ線照射器５は、検査対象物Ｓの長さ方向（搬送方向Ｙ）においては、長さ方向における所定の分割範囲が一度の照射範囲とされ、検査対象物Ｓがベルトコンベア３で搬送方向Ｙに搬送されることにより、検査対象物Ｓの長さ方向全体に対してＸ線が照射されるようになっている。
　Ｘ線検出装置１０（放射線検出器）は、Ｘ線照射器５から検査対象物Ｓに照射され、検査対象物Ｓを透過したＸ線を検出する装置であり、例えばＸ線検出カメラである。Ｘ線検出装置１０は、検査対象物Ｓを透過したＸ線を検出するため、Ｘ線照射器５による照射方向において検査対象物Ｓの下流側に位置するように例えばベルト部７の下方に配置されている。このようなＸ線検出装置１０は、短手方向に沿った断面である図２に示すように、透過Ｘ線を検出する検出部２０と、検出部２０を内部に収納する筐体３０と、筐体３０内に側部から挿入され、検査対象物Ｓを透過したＸ線の一部を減衰させるフィルタ４２を有するフィルタ部材４０と、を備えている。なお、フィルタ４２は、検出部２０から離れた状態で検出部２０の一部を覆うように配置されている。
　検出部２０は、２つのラインセンサ２１，２２と、基板２３と、２つのシンチレータ２４，２５とから構成され、Ｘ線照射器５から照射され検査対象物Ｓを透過したＸ線（検出装置に入射するＸ線）を異なるエネルギ範囲で検出する。ラインセンサ２１，２２は、例えばシリコンからなる基板２３内に隣接して形成されており、ラインセンサ２１は、画素幅ＬＷの画素が一次元（図２の紙面と直交する方向、図１のＸ方向）に配列された直線状のセンサであり、ラインセンサ２２は、画素幅ＨＷの画素が一次元に配列された直線状のセンサである。ラインセンサ２２は、画素幅ＬＷ，ＨＷよりも狭い間隔ＮＷでラインセンサ２１と並列になるように配置されている。画素幅ＬＷ，ＨＷは例えばそれぞれが０．６ｍｍ程度で互いに同じ幅であってもよいし、異なった幅であってもよく、各センサ間の間隔ＮＷは例えば０．２ｍｍ程度であってもよい。ラインセンサ２１の上には、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置され、ラインセンサ２２の上には、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されている。図２の例では、例えばシンチレータ２４、２５は、異なる材料あるいは異なる厚みからなり、これにより異なるエネルギ帯のＸ線を検出部２０が検出できるようになっている。
　筐体３０は、Ｘ線を通過させるためのスリット３１を含む主面３２と、鉛などからなる遮蔽部材３３とをＸ線が照射される側に有しており、このスリット３１に対応しＸ線が通過可能な領域に位置するように検出部２０をその内部に収納している。筐体３０の遮蔽部材３３以外の本体部分は例えばアルミなどから構成されている。スリット３１の上部には遮光フィルム５０を設けて筐体３０の内部に粒子等が浸入しない構成としてもよい。遮光フィルム５０は、検査対象物Ｓを透過したＸ線の一部を減衰させる性能を有していてもよい。また、筐体３０は、主面３２に対して直交する方向に延在する側面３４を有しており、この側面３４には、フィルタ部材４０のフィルタ４２等を挿入可能なように、フィルタ４２の端面よりも大きい面積を有する開口３５が形成されている。
　フィルタ部材４０は、例えば平面視した際の外形が略矩形のシート状の部材であり、検査対象物Ｓを透過したＸ線（入射する放射線）の一部を減衰させるフィルタ４２と、フィルタ４２を保持するシート状の保持部材４４と、フィルタ４２が筐体３０内において所定の位置に配置されるように保持部材４４の端部を筐体３０の側面３４に取り付けるためのストッパ部材４６と、を備えている。
　フィルタ４２は、検査対象物Ｓとは異なる材料から形成される薄板状の部材であり、例えば、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリウレタン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、アクリル、ポリアミド、ＰＥＴ、ＧＦ－ＰＥＴ、ＰＢＴ、ポリカーボネート、ＰＰＳ、ＰＴＦＥ、ＰＳＦ、ＰＩ等の樹脂；アモルファスカーボン、グラファイト等の炭素繊維素材；ベリリウム、アルミ、チタン、鉄、亜鉛、モリブデン、スズ、金、銀、銅、白金、鉛、タンタル、ガドリニウム、ホルミウム、イッテリビウム等の金属、から構成される。フィルタ４２は、希望する減衰量、つまり両ラインセンサで受けるＸ線のエネルギ差とＳＮ比に応じて、上述した材料などから適宜選択されるが、例えば銅やアルミから選択されることが好ましい。銅やアルミはＸ線遮蔽力が高く且つ加工しやすいため、これら材料を選択することで、フィルタ厚みの調整が容易になる。なお、図３の（ａ）～（ｃ）に、例えば銅（厚さ０．１ｍｍ、０．５ｍｍ）やアルミ（０．１ｍｍ）などをフィルタ４２として用いた場合の管電圧（ｋＶ）と半価層（ｍｍ）との関係を示す。半価層とは、Ｘ線の線束中に特定の物質を置いた際の吸収によって放射線の量が半分に減る場合の物質の厚さであり、Ｘ線のエネルギ特性を評価するために用いられる指標である。具体的には、半価層が厚い場合、エネルギが高くなる。
　保持部材４４は、フィルタ４２を所定の位置に保持するためのシート状の部材であり、図２に示す例では、保持部材４４の一端側（側端領域）の上面にフィルタ４２が配置されて固定されている。保持部材４４は、フィルタ４２よりもＸ線を透過させやすい材料、例えばカーボンなどから構成されており、透過Ｘ線をあまり減衰させずに検出部２０によるＸ線の検出を妨げないように構成されている。なお、フィルタ４２は、アーチファクトの発生を抑制するため、保持部材４４により、ラインセンサ２１,２２との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下となるように保持されている。
　ストッパ部材４６は、保持部材４４の一端に設けられた固定部材であり、フィルタ４２が載置される保持部材４４を筐体３０の側面３４に固定させるための部材である。ストッパ部材４６は、筐体３０の側面３４に設けられた開口３５よりも大きな表面積を有しており、フィルタ部材４０を交換した際にフィルタ部材４０の全体が筐体３０内に入り込んでしまわないようになっている。ストッパ部材４６は、保持部材４４と一体に形成されてもよいし、別体として形成されてもよい。なお、筐体３０への固定は、このストッパ部材４６を例えばネジ等により止め付けることにより実現される。
　このような構成のフィルタ部材４０は、例えばフィルタ４２がスリット３１の一部（例えば幅方向における半分の領域）に対応する領域を覆って透過Ｘ線の一部（半分）を減衰させるように、筐体３０内において、フィルタ４２を位置決めさせることができる。より具体的には、フィルタ部材４０は、直線状に延びる幅狭のシートから構成されるフィルタ４２の幅方向の一端（図示右端）が透過Ｘ線の進行方向において検出部２０のラインセンサ２１，２２間の領域に対応するように、フィルタ４２を位置決めして保持することが可能である。なお、フィルタ部材４０は、減衰機能が異なる（例えば厚さや材料が異なる）フィルタであっても、同じ形状（外形）のフィルタ部材であれば同じ位置に配置されるように設計されており、異なる種類（厚さや材料）からなるフィルタを有するフィルタ部材に交換しても、ラインセンサ２１，２２との相対位置が変わらないようになっており、フィルタ４２（フィルタ部材４０）の交換を容易に行うことができる。
　このようにＸ線検出装置１０では、上述した構成により、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した低エネルギ範囲のＸ線をそのまま（フィルタ４２を介さずに）検出して、低エネルギ画像データを生成することができる。一方、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２により減衰された高エネルギ範囲のＸ線を検出して、高エネルギ画像データを生成することができる。しかも、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０内に配置されるフィルタ部材４０を用いて検出感度の調整を行っているため、筐体３０の外の配置や構成を変更することなく、またフィルタ交換の際にシンチレータ２４，２５を傷つけることなく、フィルタ４２の種類を容易に変更することができ、ラインセンサが互いに近接して配置されるＸ線検出装置１０においても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができるようになっている。
　また、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０の開口３５は、フィルタ４２の端面及び保持部材４４の端面を合計した面積よりも大きい面積を有している。このため、筐体３０の内部にフィルタ４２等を容易に挿入することができるので、Ｘ線検出装置１０の検出感度を様々なエネルギ帯に組み替える際、異なる種類のフィルタ部材４０の交換を容易に行うことができる。
　また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ部材４０は、フィルタ４２を保持する保持部材４４を有し、保持部材４４は、フィルタ４２よりもＸ線を透過させる材料、例えばカーボンから構成されている。このため、フィルタ４２を筐体３０内において所定の位置に確実に配置させることができると共に、保持部材４４により入射Ｘ線が減衰して適切なＸ線の検出が阻害されることを抑制することもできる。
　また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ部材４０は、開口３５よりも大きい表面積を有するストッパ部材４６を有し、ストッパ部材４６が筐体３０の側面３４に取り付けられるようになっている。このため、フィルタ部材４０のフィルタ４２をこのストッパ部材４６により所定の位置により確実に配置させることが可能となり、また、異なる種類のフィルタ部材４０の交換を行った際にフィルタ部材４０全体を筐体３０内に挿入してしまい交換が難しなるといったことを防止することができる。更に、開口３５よりも大きい面積をストッパ部材４６が有していることにより、フィルタ部材４０を筐体３０に設置した際、開口３５をストッパ部材４６で覆うことができるので、開口３５から異物（紛体、ごみ等）が筐体３０の内部に浸入してしまうことを防止できる。
　また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ部材４０は、平面視した際の外形が略矩形であり、フィルタ４２はその端部側に配置されている。このため、通常、装置の中央側に配置される検出部２０に対して、フィルタ４２を適正な位置に配置しやすくなる。
　また、Ｘ線検出装置１０では、検出部２０は、第１の画素幅を有する画素が一次元に配列された第１のラインセンサと、第２の画素幅を有する画素が一次元に配列され且つ第１及び第２の画素幅よりも狭い間隔で第１のラインセンサと並列に配置される第２のラインセンサと、を有している。この場合、Ｘ線検出装置１０をより小型化できると共に、異なるエネルギ範囲の放射線をそれぞれ検出することができる。
　また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ４２と検出部２０との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下となっている。このため、アーチファクトの発生をより一層抑えることが可能となる。
　また、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０の主面３２は、筐体３０に入射するＸ線が通過可能なスリット３１を含み、Ｘ線検出装置１０は、スリット３１を覆う遮光フィルム５０を更に備えている。このため、Ｘ線検出装置１０内にＸ線が入射する際の減衰を抑制することができると共に、このスリット３１から異物（紛体、ごみ等）が筐体３０の内部に浸入してしまうことを防止することができる。
　次に、図４～図９を参照して、Ｘ線検出装置１０の他の実施形態（第２～第６実施形態）について説明する。図４は、第２実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図５は、第３実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図６は、第４実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図７（ａ）及び（ｂ）は、第５実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図８は、第６実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図９は、第７実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
　まず、図４を参照して、第２実施形態に係るＸ線検出装置１０ａについて説明する。Ｘ線検出装置１０ａは、図４に示すように、フィルタ部材４０ａにおけるフィルタ４２の配置箇所が第１実施形態のＸ線検出装置１０と相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０と同様である。Ｘ線検出装置１０ａでは、フィルタ部材４０ａのフィルタ４２が、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１を覆うように配置されている。Ｘ線検出装置１０ａでは、このような構成により、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した高エネルギ範囲のＸ線をそのまま（フィルタ４２を介さずに）検出して、高エネルギ画像データを生成することができる。一方、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２により減衰された低エネルギ範囲のＸ線を検出して、低エネルギ画像データを生成することができる。なお、低エネルギ側のラインセンサ２１の出力が飽和してしまうような場合、具体的には、高エネルギ側でＳＮを確保するためにＸ線の出力を上げた際に低エネルギ側が飽和してしまうような場合に、例えば、上述した構成を採用することができる。
　続いて、図５を参照して、第３実施形態に係るＸ線検出装置１０ｂについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｂは、図５に示すように、フィルタ部材４０ｂにおけるフィルタ４２ｂの幅（図示左右方向）が第１実施形態のＸ線検出装置１０と相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０と同様である。Ｘ線検出装置１０ｂでは、フィルタ部材４０ｂのフィルタ４２ｂが、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方を覆うように配置されている。Ｘ線検出装置１０ｂでは、このような構成により、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｂにより減衰された各エネルギ範囲のＸ線を検出して、高低の各エネルギ画像データを生成することができる。なお、比較的重量のある物質の内部検査をする場合、例えば小麦２０ｋｇの中の金属の異物などを検出させる場合で低エネルギ側もある程度高いエネルギで検出したい場合に、例えば、上述した構成を採用することができる。
　続いて、図６を参照して、第４実施形態に係るＸ線検出装置１０ｃについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｃは、図６に示すように、フィルタ部材４０ｃにおけるフィルタ４２ｃの形状（厚みの変化）が第３実施形態のＸ線検出装置１０ｂと相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０ｂと同様である。Ｘ線検出装置１０ｃでは、Ｘ線検出装置１０ｂと同様に、フィルタ部材４０ｃのフィルタ４２ｃが、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方を覆うように配置されている。しかしながら、Ｘ線検出装置１０ｃでは、フィルタ４２ｃが２つの領域４３ａ，４３ｂからなり、第１の領域４３ａでの厚みが第２の領域４３ｂでの厚みよりも厚くなっている。Ｘ線検出装置１０ｃでは、このような構成により、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｃにより減衰された各エネルギ範囲のＸ線を検出して、高低の各エネルギ画像データを生成することができ、しかも、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２の方が、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１よりもより減衰された高エネルギ範囲のＸ線を検出して、高エネルギ画像データを生成することができる。このような構成により、エネルギ差をつけた画像データを得ることができる。
　続いて、図７（ａ）及び（ｂ）を参照して、第５実施形態に係るＸ線検出装置１０ｄについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｄは、図７（ａ）に示すように、フィルタ部材４０ｄが独立した保持部材を有さずに、フィルタ４２ｄが保持部材も兼ねている点で第３実施形態のＸ線検出装置１０ｂと相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０ｂと同様である。Ｘ線検出装置１０ｄでは、Ｘ線検出装置１０ｂと同様に、フィルタ部材４０ｄのフィルタ４２ｄが、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方を覆うように構成されている。そして、Ｘ線検出装置１０ｄでは、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｄにより減衰された各エネルギ範囲のＸ線を検出して、高低の各エネルギ画像データを生成することができる。なお、Ｘ線検出装置１０ｄでは、図７（ｂ）に示すように、フィルタ部材４０ｄ（フィルタ４２ｄ）の厚みを厚くすると共にストッパ部材４６を省略し、筐体３０の側面３４に設けられた開口３５ａにフィルタ部材４０ｄの端部が嵌め込まれて固定される構成を採用してもよい。この場合の開口３５ａの面積は、フィルタ４２ｄの端面と略一致する大きさとなっている。
　続いて、図８を参照して、第６実施形態に係るＸ線検出装置１０ｅについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｅは、第１～第５実施形態に係るデュアルエナジータイプのＸ線検出装置１０，１０ａ～１０ｄと異なり、デュアルラインタイプのＸ線検出装置であり、同じエネルギ帯用の２つのシンチレータ２６が各ラインセンサ２１，２２の上に位置するように並列に配置されている。このＸ線検出装置１０ｅでは、図８に示すように、フィルタ部材４０ｅにおけるフィルタ４２ｅの幅（図示左右方向）が第３実施形態のＸ線検出装置１０ｂと同様に、２つのラインセンサ２１，２２の両方を覆うように配置されている。Ｘ線検出装置１０ｅでは、このような構成により、同じエネルギ用のシンチレータ２６がそれぞれ配置されたラインセンサ２１，２２が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｅにより減衰された所定のエネルギ範囲のＸ線を検出して、２つのエネルギ画像データを生成することができる。
　続いて、図９を参照して、第７実施形態に係るＸ線検出装置１０ｆについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｆは、第１～第６実施形態に係るＸ線検出装置１０，１０ａ～１０ｅと異なり、図９に示すように、いわゆるシングルラインのＸ線カメラである。このＸ線検出装置１０ｆは、図９に示すように、検出部２０として１つのラインセンサ２１ｆを基板２３ｆ内に有しており、ラインセンサ２１ｆの上に１つのシンチレータ２６ｆが配置される構成となっている。Ｘ線検出装置１０ｆでは、フィルタ部材４０ｆのフィルタ４２ｆがこのラインセンサ２１ｆの全体を覆うように配置されている。このような構成により、シングルタイプのＸ線カメラにおいても、上記した実施形態と同様に、筐体３０内に配置されるフィルタ部材４０ｆを用いて検出感度の調整を行うことになるため、筐体３０の外の配置や構成を変更することなく、またフィルタ交換の際にシンチレータ２６ｆを傷つけることなく、フィルタ４２ｆの種類を容易に変更することができ、Ｘ線検出装置１０ｆにおいても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができる。
　ここで、図１０～図１２を参照して、Ｘ線検出装置１０の一例について説明する。図１０は、本実施形態に係るＸ線検出装置の一例の斜視図である。図１１は、図１０に示すＸ線検出装置の側面の開口にフィルタ部材を挿入する状態を示す斜視図である。図１２は、図１０に示すＸ線検出装置の一例のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。
　Ｘ線検出装置１０は、上述したように、検出部２０、筐体３０、フィルタ部材４０及び遮光フィルム５０を備えている。図１０～図１２に示すように、筐体３０は、内部に空間を有する箱状の上筐体３７と、板状でありその中央に突出部３８ａを有する下筐体３８とから構成されている。下筐体３８の突出部３８ａが上筐体３７の内部に嵌り込むことにより、筐体３０の内部に粒子等が入り込まないように上筐体３７と下筐体３８とが嵌め合されている。上筐体３７及び下筐体３８は例えばアルミ等から構成されている。また、下筐体３８の突出部３８ａの上面には、検出部２０の基板２３が配置されており、基板２３にラインセンサ２１，２２（図２参照）が形成されている。ラインセンサ２１の上にはシンチレータ２４が接着されて配置され、ラインセンサ２２の上にシンチレータ２５が接着されて配置されている。なお、図１２に示す例では、ラインセンサ２１，２２（シンチレータ２４,２５）の配置が図２に示す例と逆になっているが、これらの配置は適宜変更することが可能である。
　筐体３０内において検出部２０の上方には、Ｘ線照射器５から照射されるＸ線が内部にそのまま入射するのを防止するための板状の遮蔽部材３３が設けられている。遮蔽部材３３には、その中央部にスリット３３ａが設けられており、スリット３３ａは、筐体３０のスリット３１に対応した長さや幅を有しており、Ｘ線照射器５から照射されるＸ線が検出部２０まで届くように形成されている。また、遮蔽部材３３を支えるための支持板３９が遮蔽部材３３の下方に配置されており、支持板３９が筐体３０の上筐体３７の内周面の凹部に取り付けられている。支持板３９は例えばステンレス等から構成されており、支持板３９にもスリット３３ａと同様のスリットが設けられている。
　筐体３０の内部には、図１２に示すように、検出部２０から離れた状態で薄板状のフィルタ部材４０が配置されており、保持部材４４の先端領域の上面にフィルタ４２が形成されている。また、筐体３０の内部には、フィルタ部材４０の先端と当接してフィルタ部材４０がそれ以上、筐体３０の内側に入り込まないように精度よく位置決めを行う板状の位置決め部材６０が設置されている（図１３（ａ）及び（ｂ）参照）。図１２及び図１３（ａ）及び（ｂ）に示す例では、位置決め部材６０が上面側から視た際に検出部２０の一方のシンチレータ２４（ラインセンサ２１）を覆うように配置されており、フィルタ部材４０のフィルタ４２が他方のシンチレータ２５（ラインセンサ２２）のみを覆うように位置決めする。このような構成により検査対象物Ｓを透過したＸ線は、フィルタ４２により減衰される透過Ｘ線と、フィルタ４２により減衰されない透過Ｘ線とに分けられ、減衰されていない透過Ｘ線が低エネルギ用のシンチレータ２４に入射し、減衰された透過Ｘ線が高エネルギ用のシンチレータ２５に入射する。なお、位置決め部材６０は、フィルタ４２等よりもＸ線が透過しやすい材料、例えばカーボン、樹脂又は金属などから構成されている。
　また、筐体３０の内部には、位置決め部材６０に加えて、スライド部材６５が更に設けられている。スライド部材６５は、フィルタ部材４０を筐体３０内に挿入する際にフィルタ部材４０を案内する部材であり、例えばフィルタ部材４０が挿入される領域の下方に設置されている。このスライド部材６５により、薄板状のフィルタ部材４０を挿抜する際にフィルタ部材４０が曲がってしまったりすることが防止され、また、フィルタ部材４０がシンチレータ２４，２５等に接触してしまったりすることが防止される。スライド部材６５は、フィルタ部材４０が筐体３０内に挿入された後は、薄板状のフィルタ部材４０のうちフィルタ４２に対応する領域を除く大部分を下方から支持して、フィルタ部材４０が下方に撓まないようにする。これにより、フィルタ部材４０のフィルタ４２がより一層確実に所定の位置、例えばシンチレータ２５を覆う位置からずれることなく位置決めされる。
　また、図１２に示す例では、ストッパ部材４６は、保持部材４４とは別体として形成されており、フィルタ４２等が筐体３０の内部に挿入された後、側面３４の開口３５を塞ぎ、ネジ４８により筐体３０の側面３４に固定される。なお、側面３４に形成される開口３５は、フィルタ４２と保持部材４４との端面よりやや大きい面積を有する開口であれば特に形状が限定されることはないが、例えば図１１に示すようにその両端により広い略円形の端部３５ｂ，３５ｂを形成することにより、フィルタ部材４０の筐体３０内への挿入や取り出しを容易に行うことができる。
　ここで、上述したＸ線検出装置１０における調整方法について簡単に説明する。上述したようにＸ線検出装置１０では、フィルタ４２はフィルタ部材４０を筐体３０の側面３４の開口３５から内部に挿入して、位置決め部材６０で位置決めされる位置まで進めることでフィルタ４２が検出部２０のラインセンサ２２（シンチレータ２５）の上方にのみ位置するように自動的に位置決めがされるようになっている。そこで、まずは、同じ形状からなり且つ減衰量が異なる（厚みや材料が異なる）複数のフィルタ部材４０を準備する。そして、これら複数のフィルタ部材４０を順に筐体３０内に挿入して位置決め部材６０やスライド部材６５等により所定の位置に保持させ、それぞれの場合における透過Ｘ線を検出する。そして、検出したＸ線の結果に応じて、複数のフィルタ部材４０の中から、検査する検査対象物Ｓと異物とをより正確に検出できる、即ち望ましいエネルギ差とＳＮ比とを得ることできる最適なフィルタ部材を選択する。このような方法により、特定の検査対象物Ｓにおける検出にマッチしたフィルタ部材（フィルタ４２）を容易に選択して組み替えることが可能となる。なお、このようにして選択したフィルタ部材をそのまま筐体３０内の所定の位置に保持固定してＸ線検出装置１０に用いることにより、最適な検出感度を有するＸ線検出装置１０を容易に製造することも可能となる。
　以上、図１０～図１２に示すＸ線検出装置１０でも上述したのと同様に、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した低エネルギ範囲のＸ線をそのまま検出して低エネルギ画像データを生成することができ、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２により減衰された高エネルギ範囲のＸ線を検出して高エネルギ画像データを生成することができる。しかも、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０内に配置されるフィルタ部材４０を用いて検出感度の調整を行っているため、筐体３０の外の配置（例えば主面３２の上）や構成を変更することなく、またスライド部材６５等も配置されていることから、フィルタ交換の際にシンチレータ２４，２５を傷つけることなく、フィルタ４２の種類を容易に変更することができる。その結果、このＸ線検出装置１０によれば、ラインセンサが互いに近接して配置されるＸ線検出装置１０においても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができる。
　また、上記のＸ線検出装置１０は、フィルタ４２が検出部２０の所定の領域（例えばラインセンサ２２）を覆うようにフィルタ部材４０を筐体３０内において位置決めするための位置決め部材６０を更に備えている。このため、検出部２０が微小な構成から形成されていても、そのような検出部２０に対してフィルタ４２をより精度よく確実に適正な位置に配置させることが可能となる。なお、このような位置決め部材６０としては、様々な形態を採用することができ、例えば図１３の（ｃ）及び（ｄ）に示すように、一部に凹部６１ａを設け両端６１ｂ，６１ｂがフィルタ部材４０の側端と接するような位置決め部材６１としてもよい。このような位置決め部材６１でも、その両端６１ｂ，６１ｂにより、フィルタ部材４０の位置決めを確実に行うことができる。
　また、位置決めの形態としては、図１４に示すような形態を採用することもでき、例えば、図１４の（ａ）及び（ｂ）に示すように、フィルタ部材４１の保持部材４４が凹部４４ａを有しその両端４４ｂ，４４ｂのみでフィルタ４２を保持する構成とした場合に、その両端４４ｂ，４４ｂ及びフィルタ部材４０の側端が位置決め部材６０と当接してフィルタ４２の位置決めが行われるようにしてもよい。更に、図１４の（ｃ）及び（ｄ）に示すように、フィルタ部材４０の保持部材４４が凹部４４ａを有すると同時に、位置決め部材６１も凹部６１ａを有し、それぞれの両端部４４ｂ，４４ｂと６１ｂ，６１ｂとが当接して位置決めするようにしてもよい。
　以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、放射線を可視光等に変換するのにシンチレータを用いていたが、シンチレータを用いずにラインセンサとして直接変換型の放射線検出器（例えばシリコン半導体、アモルファスセレン（ａ－Ｓｅ）半導体、テルル化カドニウム（ＣｄＴｅ）半導体、テルル化亜鉛カドニウム（ＣｄＺｎＴｅ）半導体等）を用いてもよい。この場合には、別途、シンチレータを設ける必要がなくなるため、部品点数を削減することができる。
　また、図１０～図１２に示す例では、フィルタ部材４０のストッパ部材４６は別体であり、ネジ４８によりストッパ部材４６が筐体３０の側面３４に取り付けられる形態を例示したが、これに限定されない。例えば、図１５（ａ）に示すように、保持部材４４とストッパ部材４６とが一体に形成されており、全体として断面Ｌ字状を呈するフィルタ部材４０ｇであってもよいし、図１５（ｂ）に示すように、保持部材４４とストッパ部材４６とが直線状に一体となっており、このストッパ部材４６をネジ４８で筐体３０に固定するようにしたフィルタ部材４０ｈであってもよい。更に、図１５（ｃ）に示すように、保持部材４４とストッパ部材４６とが一体に形成されており、全体として断面Ｔ字状を呈するフィルタ部材４０としてもよい。
　本発明は、検査対象物を透過した放射線を検出する放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法に利用できる。
　１…Ｘ線検査システム（放射線検査システム）、３…ベルトコンベア（搬送機構）、５…Ｘ線照射器（放射線源）、１０，１０ａ～１０ｆ…Ｘ線検出装置（放射線検出装置）、２０…検出部、２１，２１ｆ，２２…ラインセンサ、２４～２６…シンチレータ、３０…筐体、３１…スリット、３２…主面、３４…側面、３５…開口、４０，４０ａ～４０ｉ，４１…フィルタ部材、４２，４２ｂ～４２ｆ…フィルタ、４３ａ，４３ｂ…領域、４４…保持部材、４６…ストッパ部材、５０…遮光フィルム、６０，６１…位置決め部材。

Claims (18)

  1. 　放射線源から検査対象物に放射線を照射し、該検査対象物を透過した放射線を検出する放射線検出装置であって、
    　入射する放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタを有するフィルタ部材と、
    　前記フィルタにより少なくとも一部が減衰された前記放射線を検出する検出部と、
    　前記検出部を内部に収納する筐体と、を備え、
    　前記筐体は、前記放射線が通過可能な部分を含む主面と、前記主面と交差する方向に延在し前記フィルタを挿入可能な開口を含む側面とを有し、
    　前記フィルタは、前記検出部から離れた状態で前記検出部の少なくとも一部を覆うように前記筐体の内部に配置されている、放射線検出装置。
  2. 　前記筐体の前記開口は、前記フィルタの端面よりも大きい面積を有する、請求項１に記載の放射線検出装置。
  3. 　前記フィルタ部材は、前記フィルタを保持する保持部材を有し、当該保持部材は、前記フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成される、請求項１又は２に記載の放射線検出装置。
  4. 　前記フィルタ部材は、前記開口よりも大きい表面積を有するストッパ部を有し、当該ストッパ部が前記筐体の前記側面に取り付けられる、請求項１～３の何れか一項に記載の放射線検出装置。
  5. 　前記フィルタ部材は、平面視した際の外形が略矩形であり、前記フィルタはその側端領域に配置されている、請求項１～４の何れか一項に記載の放射線検出装置。
  6. 　前記フィルタが前記検出部の所定の領域を覆うように前記フィルタ部材を前記筐体内において位置決めするための位置決め部材を更に備える、請求項１～５の何れか一項に記載の放射線検出装置。
  7. 　前記位置決め部材は、前記フィルタ部材の側端の全体又は一部と当接して前記フィルタの位置決めを行う、請求項６に記載の放射線検出装置。
  8. 　前記検出部は、第１の画素幅を有する画素が一次元に配列された第１のラインセンサと、第２の画素幅を有する画素が一次元に配列され且つ前記第１及び第２の画素幅よりも狭い間隔で前記第１のラインセンサと並列に配置される第２のラインセンサと、を有する、請求項１～７の何れか一項に記載の放射線検出装置。
  9. 　前記検出部は、前記第１のラインセンサ上に配置された第１のシンチレータと、前記第２のラインセンサ上に配置された第２のシンチレータとを更に有する、請求項８に記載の放射線検出装置。
  10. 　前記フィルタが前記第１及び第２のラインセンサの一方を覆う、請求項８又は９に記載の放射線検出装置。
  11. 　前記フィルタが前記第１及び第２のラインセンサの両方を覆い、当該フィルタは、前記第１のラインセンサを覆う第１の領域と前記第２のラインセンサを覆う第２の領域とを有し、前記第１の領域の厚みと前記第２の領域の厚みとが同じ又は異なる、請求項８又は９に記載の放射線検出装置。
  12. 　前記第１のラインセンサ及び第２のラインセンサは、直接変換型放射線検出器である、請求項８に記載の放射線検出装置。
  13. 　前記フィルタと前記検出部との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項１～１２のいずれか一項に記載の放射線検出装置。
  14. 　前記筐体の前記主面は、当該筐体に入射する放射線が通過可能なスリットを含み、
    　前記放射線検出装置は、当該スリットを覆う遮光フィルムを更に備える、請求項１～１３の何れか一項に記載の放射線検出装置。
  15. 　前記検査対象物に放射線を照射する放射線源と、
    　請求項１～１４の何れか一項に記載の放射線検出装置と、
    　前記放射線源による前記放射線の照射方向と交差する方向に前記検査対象物を搬送する搬送機構と、を備える放射線検査システム。
  16. 　請求項１～１４のいずれか一項に記載の放射線検出装置の調整方法であって、
    　異なる減衰機能を有する複数のフィルタを含む部材を前記フィルタ部材として準備する工程と、
    　前記複数のフィルタを順に前記筐体の前記開口から内部に挿入して所定の位置に保持させ、放射線を検出する工程と、
    　前記検出した放射線の結果に応じて前記複数のフィルタのうち最適なフィルタ部材を選択する工程と、を備える放射線検出装置の調整方法。
  17. 　請求項１６に記載の調整方法による放射線検出装置の製造方法であって、
    　前記選択する工程で選択された前記最適なフィルタ部材を前記筐体の前記開口から内部に挿入して所定の位置に保持固定する工程を更に備える、放射線検出装置の製造方法。
  18. 　平面視した際の外形が略矩形であるフィルタ部材であって、
    　放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタと、
    　前記フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成され、前記フィルタを保持する保持部材と、を備え、
    　前記フィルタは当該フィルタ部材の側端領域に配置されている、フィルタ部材。
PCT/JP2016/086585 2015-12-21 2016-12-08 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法 WO2017110507A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201680074884.2A CN108474754B (zh) 2015-12-21 2016-12-08 放射线检测装置、放射线检查系统及放射线检测装置的调节方法
EP16878399.1A EP3396362B1 (en) 2015-12-21 2016-12-08 Radiation detection device, radiation testing system, and method for adjusting radiation detection device
US16/062,369 US10677938B2 (en) 2015-12-21 2016-12-08 Radiation detection device, radiation inspection system, and method for adjusting radiation detection device
ES16878399T ES2857577T3 (es) 2015-12-21 2016-12-08 Dispositivo de detección de radiación, sistema de inspección de radiación y método para ajustar el dispositivo de detección de radiación

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-248650 2015-12-21
JP2015248650A JP6799917B2 (ja) 2015-12-21 2015-12-21 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2017110507A1 true WO2017110507A1 (ja) 2017-06-29

Family

ID=59090105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/086585 WO2017110507A1 (ja) 2015-12-21 2016-12-08 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10677938B2 (ja)
EP (1) EP3396362B1 (ja)
JP (1) JP6799917B2 (ja)
CN (1) CN108474754B (ja)
ES (1) ES2857577T3 (ja)
WO (1) WO2017110507A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019117276A1 (ja) * 2017-12-15 2019-06-20 株式会社堀場製作所 放射線検出器及び放射線検出装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3594561B1 (en) 2017-03-08 2022-06-29 Koito Manufacturing Co., Ltd. Lamp for vehicle
CN110582708A (zh) * 2017-05-01 2019-12-17 皇家飞利浦有限公司 多层辐射探测器
KR102009870B1 (ko) * 2018-02-13 2019-08-12 한국원자력연구원 비파괴검사설비의 영상교정장치
CN112068178B (zh) * 2019-06-10 2023-08-29 睿生光电股份有限公司 放射线感测装置
CN114210594A (zh) * 2021-12-09 2022-03-22 合肥泰禾卓海智能科技有限公司 一种智能干选机x射线探测器安装及容纳装置
CN114280082B (zh) * 2021-12-28 2024-04-30 北矿机电科技有限责任公司 一种x射线线阵探测器结构
KR20240024614A (ko) * 2022-08-17 2024-02-26 주식회사 이레이 X선 감쇄 필터를 포함하는 원통형 배터리 비파괴 검사 장치 및 비파괴 검사 장치 방법

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0694900A (ja) * 1992-09-10 1994-04-08 Olympus Optical Co Ltd 真空光学系
JP2002168803A (ja) 2000-11-30 2002-06-14 Anritsu Corp Ｘ線異物検出装置
JP2010122103A (ja) * 2008-11-20 2010-06-03 Shimadzu Corp Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置
JP2011064643A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Hamamatsu Photonics Kk 放射線検出装置
JP2013156172A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 X-Ray Precision Inc Ｘ線検査装置
JP2014139555A (ja) * 2012-12-17 2014-07-31 Japan Shield Technical Research Co Ltd 放射線検知器
JP2015121563A (ja) * 2015-03-31 2015-07-02 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3827072A (en) 1969-11-07 1974-07-30 Xerox Corp Cassette
US4189645A (en) * 1978-06-28 1980-02-19 Advanced Instrument Development, Inc. X-ray measuring system
JPH0833596B2 (ja) 1988-06-02 1996-03-29 富士写真フイルム株式会社 エネルギーサブトラクション用カセッテ
DE69104756T2 (de) * 1990-03-22 1995-06-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Verfahren zur Feststellung des Massenanteils eines Target- materials mit Hilfe eines mehrkanaligen Röntgen-Bildsensors.
JPH0694899A (ja) 1992-09-14 1994-04-08 Olympus Optical Co Ltd 軟ｘ線顕微鏡
JP2001311704A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Ricoh Co Ltd 反射率測定装置およびその使用方法および反射率測定方法
WO2004096048A1 (en) * 2003-03-27 2004-11-11 Wright State University Osteoporosis screening using radiographic absorptiometry of the mandible
JP2008170347A (ja) * 2007-01-12 2008-07-24 Horiba Ltd Ｘ線分析装置
JP5559471B2 (ja) 2008-11-11 2014-07-23 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法
JP5649872B2 (ja) 2010-08-24 2015-01-07 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器の製造方法
JP2013253887A (ja) * 2012-06-07 2013-12-19 Canon Inc 放射線撮影装置、放射線撮影システム
EP2896959B1 (en) * 2012-09-12 2018-05-09 System Square Inc. X-ray testing device
JP5894657B1 (ja) 2014-11-14 2016-03-30 株式会社イシダ Ｘ線検査装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0694900A (ja) * 1992-09-10 1994-04-08 Olympus Optical Co Ltd 真空光学系
JP2002168803A (ja) 2000-11-30 2002-06-14 Anritsu Corp Ｘ線異物検出装置
JP2010122103A (ja) * 2008-11-20 2010-06-03 Shimadzu Corp Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置
JP2011064643A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Hamamatsu Photonics Kk 放射線検出装置
JP2013156172A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 X-Ray Precision Inc Ｘ線検査装置
JP2014139555A (ja) * 2012-12-17 2014-07-31 Japan Shield Technical Research Co Ltd 放射線検知器
JP2015121563A (ja) * 2015-03-31 2015-07-02 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3396362A4

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019117276A1 (ja) * 2017-12-15 2019-06-20 株式会社堀場製作所 放射線検出器及び放射線検出装置
JPWO2019117276A1 (ja) * 2017-12-15 2020-12-17 株式会社堀場製作所 放射線検出器及び放射線検出装置
JP7132946B2 (ja) 2017-12-15 2022-09-07 株式会社堀場製作所 放射線検出器及び放射線検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
ES2857577T3 (es) 2021-09-29
EP3396362A4 (en) 2019-10-16
JP2017116282A (ja) 2017-06-29
CN108474754B (zh) 2020-12-25
CN108474754A (zh) 2018-08-31
EP3396362B1 (en) 2021-01-27
EP3396362A1 (en) 2018-10-31
JP6799917B2 (ja) 2020-12-16
US20180364370A1 (en) 2018-12-20
US10677938B2 (en) 2020-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017110507A1 (ja) 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法
JP6621657B2 (ja) 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法
CN110072459B (zh) 用于自校准的自校准ct检测器、系统和方法
US20130075618A1 (en) Radiation detector
JP5302238B2 (ja) Ｘ線検査装置
JP2010286469A5 (ja)
WO2007116333A2 (en) Production of x-ray images containing a reduced proportion of scattered radiation
US8081732B2 (en) Correcting transverse scattering in a multi-emitter CT scanner
WO2010064287A1 (ja) 放射線撮像装置
JP6781323B2 (ja) 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法
JP2008275451A (ja) Ｘ線異物検出装置
JP6506629B2 (ja) Ｘ線受光装置およびこれを備えたｘ線検査装置
JP2010122103A (ja) Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置
Schumacher et al. Scatter and beam hardening reduction in industrial computed tomography using photon counting detectors
WO2018012282A1 (ja) 検査装置
JP2006329822A (ja) 電磁波検出器およびこれを備えた検査装置
JP6199151B2 (ja) Ｘ線検査装置
JP2009109227A (ja) 検査装置
JP7153525B2 (ja) Ｘ線検査装置
WO2023017664A1 (ja) 放射線検出器
US10839972B2 (en) High resolution X-Ray imaging system

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16878399

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE