WO2017089420A3 - Vorrichtung und verfahren zum behandeln von substraten - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Behandeln von Substraten mit einer Trenneinrichtung. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Behandeln von Substraten zu schaffen, mit der eine Trennung von bearbeiteten Substraten in ein oder mehrere Abfallteile und mindestens einen Nutzen ermöglicht wird. Insbesondere liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Behandeln von Substraten zu schaffen, die eine verbesserte Flexibilität aufweist. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Trenneinrichtung (2) einen Transportzylinder (3) und einen diesem zugeordneten Ausbrechzylinder (4) umfasst und der Transportzylinder (3) erste Öffnungen (12) und einen lösbar fixierten Aufzug (5) mit Vertiefungen aufweist, in denen Durchbrechungen ausgebildet sind und mindestens eine Durchbrechung mindestens eine erste Öffnungen (12) überdeckt, und der Ausbrechzylinder (4) einen lösbar fixierten Aufzug (5) mit erhabenen Bereichen aufweist, die mit den Vertiefungen korrespondieren.
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