WO2017068962A1 - 光照射装置 - Google Patents

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和重 橋本
敏成 新井
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V Technology Co Ltd
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    • G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation

Definitions

  • the present invention relates to a light irradiation apparatus.
  • Patent Document 1 light irradiation units are arranged in multiple stages along the conveyance direction of the photo-alignment film with respect to the photo-alignment film conveyed continuously or intermittently linearly, and each light irradiation unit arranged in multiple stages
  • a polarized light irradiation apparatus that irradiates the photo-alignment film with polarized light to perform photo-alignment
  • the UV energy applied to the photo-alignment film from each light irradiation unit is several hundred mJ / cm 2 .
  • Patent Document 2 discloses a photo-alignment material capable of imparting liquid crystal alignment ability to an alignment film at a low exposure (about 1 mJ / cm 2 to 500 mJ / cm 2 for an alignment film having a thickness of 1 ⁇ m).
  • JP 2011-215639 A Japanese Patent Laying-Open No. 2015-031823
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a light irradiation apparatus capable of exposing an object that can be exposed with a low exposure amount with an appropriate exposure amount.
  • a light irradiation apparatus is, for example, a stage on which an object is placed, a light source, and a light guide member that guides light emitted from the light source, A light irradiating unit having a light incident part to which light from the light source is supplied and a light emitting part provided in a substantially band shape above the stage and irradiating the stage with light; and It is provided with.
  • the light guide member that guides the light emitted from the light source is provided in a substantially band shape above the stage from the light incident part to which the light of the light source is supplied, to the stage.
  • the light is guided to the light emitting unit that emits the light. Since the light from the light source spreads in a substantially band shape, the light emitted from the light emitting part to the stage becomes weak. Thereby, it can expose with the appropriate exposure amount with respect to the target object which can be exposed with a low exposure amount.
  • the light guide member is an optical fiber cable in which a plurality of optical fibers are bundled, a first end of the optical fiber cable is the light incident portion, and the first end of the optical fiber cable.
  • the second ends other than the above are arranged such that the plurality of optical fibers are not bundled, and the plurality of optical fibers are arranged in a substantially strip shape so that the longitudinal direction is along a direction substantially orthogonal to the scanning direction of the object.
  • a light emitting unit may be configured.
  • the optical fiber cable has a first optical fiber cable and a second optical fiber cable, and the light emitting part is a first light emitting part which is one end of the first optical fiber cable; A second light emitting portion that is one end of the second optical fiber cable, and the first light emitting portion and the second light emitting portion are spaced apart along the scanning direction.
  • the light that is arranged and is applied to the object from the first light emitting unit, and the light that is applied to the object from the second light emitting unit are the intensity of light, the direction of polarization, and At least one of the presence or absence of polarization may be different.
  • a plurality of light emitting portions are arranged at various positions, and the intensity of light irradiated from each light emitting portion, the direction of polarization, and the presence or absence of polarization are determined. At least one of them can be different. Therefore, various exposure processes can be performed at a time.
  • the heating unit is configured to heat the object, and includes a heating unit provided between the first light emitting unit and the second light emitting unit.
  • the light applied to the object may be polarized light, and the light applied to the object from the second light emitting unit may be unpolarized light.
  • the alignment treatment can be performed in a short time by heating after irradiation with polarized light and then irradiating with non-polarized light.
  • a moving unit that moves the light emitting unit along the scanning direction may be provided.
  • the portion provided above the stage can be lightened. Therefore, the light emitting part can be easily moved.
  • the light guide member is a substantially strip-shaped light guide plate provided so that a back surface that is the light emitting portion faces the stage, and the light source is a light guide plate of the light guide plate that is the light incident portion.
  • the light guide plate is provided adjacent to the first side surface so that light is emitted toward one side surface, and the light guide plate is provided along a direction in which the longitudinal direction is substantially orthogonal to the scanning direction of the object.
  • the surface of the light guide plate and the side surface other than the first side surface may be covered with a light shielding member or a light reflecting member. Thereby, the light of one light source can be spread over a wide range and irradiated with a simple configuration.
  • a light shielding member whose area decreases as the distance from the light source increases may be provided on the back surface. Thereby, the light of one light source can be uniformly spread over a wide range and irradiated with a simple configuration.
  • the light source may be provided adjacent to each of the first side surface and the second side surface facing the first side surface. As a result, the light from one light source can be uniformly spread over a wide range and irradiated.
  • the light source becomes small, so that the light irradiation unit can be easily moved.
  • an object that can be exposed with a low exposure amount can be exposed with an appropriate exposure amount.
  • FIG. 1 shows the outline of the polarized light irradiation apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment. It is a front view which shows the outline of the polarized light irradiation apparatus.
  • 2 is a perspective view showing an outline of a light guide member 12.
  • FIG. It is an example which showed typically the distribution state of the emission part 12c (end surface of the optical fiber strand 12a) in the irradiation surface 12e.
  • FIG. It is a top view which shows the outline of the polarized light irradiation apparatus 2 which concerns on 2nd Embodiment. It is a front view which shows the outline of the polarized light irradiation apparatus. It is a figure which shows the detail of the light irradiation part 40, and is AA sectional drawing of FIG. It is the figure which looked at the light irradiation part 40 from the back, and is a figure which shows the outline of the light-shielding plate 44.
  • FIG. It is a figure which shows the outline of 40 A of light irradiation parts. It is a figure which shows the outline of the light irradiation part 40B. It is a figure which shows the outline of the conventional polarized light irradiation apparatus.
  • FIG. 1 is a plan view showing an outline of a polarized light irradiation apparatus 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a front view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 1.
  • the polarized light irradiation device 1 performs, for example, a liquid crystal panel or the like by irradiating an exposed surface of an object W such as a glass substrate with light polarized through a polarizer (hereinafter referred to as polarized light).
  • polarized light a polarizer
  • This is an apparatus for producing an alignment film.
  • the photo-alignment treatment means that the film is made anisotropic by irradiating the polymer film with linearly polarized ultraviolet rays to induce rearrangement of molecules in the film and anisotropic chemical reaction. It is processing.
  • the conveyance direction (that is, the scanning direction) of the object W is the x direction
  • the direction orthogonal to the conveyance direction is the y direction
  • the vertical direction is the z direction.
  • FIG. 2 for the sake of explanation, a part of the front side (+ y side) is not shown.
  • FIG. 1 for the sake of explanation, the top surface (the surface on the + z side) of the device frame is not shown.
  • the polarized light irradiation apparatus 1 mainly includes a light irradiation unit 10, a drive unit 20, and a robot 30.
  • the light irradiation unit 10 irradiates the object W with light.
  • the light irradiation unit 10 will be described in detail later.
  • the drive unit 20 mainly includes a stage 21 and a stage guide rail 22.
  • the stage 21 is provided so as to be movable along the stage guide rail 22 by driving means (not shown) (see thick arrows in FIGS. 1 and 2).
  • the stage 21 is provided so as to be rotatable along the xy plane by a driving means and a rotating mechanism (not shown) (see the dotted line in FIG. 1).
  • An object W is placed on the upper surface of the stage 21.
  • the position of the stage 21 on the stage scan shaft 23 is detected by a position detector (not shown). Thereby, the position of the stage 21 in the x direction can be adjusted.
  • a position detector not shown.
  • the robot 30 carries the object W into and out of the stage 21.
  • the light irradiation unit 10 mainly includes a light source 11, a light guide member 12, and an optical member 13.
  • the light source 11 mainly includes a lamp 11a and an optical filter 11b.
  • the light source 11 is provided, for example, outside the frame of the polarized light irradiation device 1.
  • the position where the light source 11 is provided is not limited to the position shown in FIGS.
  • the lamp 11a emits unpolarized light (for example, ultraviolet light).
  • the lamp 11a is a short arc type lamp which is a high-intensity point light source having a short distance between electrodes of about 1 to 10 mm, for example.
  • the lamp 11a is not limited to a short arc type lamp, and various types of light emitting devices such as LEDs can be used.
  • the number of lamps 11a is not limited to one.
  • the optical filter 11b passes only light having a predetermined wavelength from the light irradiated from the lamp 11a.
  • a lamp 11a is provided on the back surface of the optical filter 11b, and an incident portion 12b (detailed later) of the light guide member 12 is provided on the front surface of the optical filter 11b.
  • the lamp 11 a is used as the light source 11.
  • the light source 11 may emit ultraviolet light, and for example, a laser oscillator that amplifies light may be used as the light source 11.
  • FIG. 3 is a perspective view schematically showing the light guide member 12.
  • the light guide member 12 guides the light emitted from the light source 11 to a place away from the light source.
  • the light guide member 12 is an optical fiber bundle formed by bundling a plurality of optical fiber strands 12a.
  • the optical fiber 12a guides the light supplied from the incident part 12b to the emission part 12c.
  • the light guide member 12 is partially bundled with optical fiber strands 12a. This bundled portion is referred to as a main body 12d.
  • the main body 12d is formed by bundling a plurality of optical fiber strands 12a and integrating them by a fusion process or the like.
  • the end surface on the side where the optical fiber strands 12a are bundled is an incident portion 12b.
  • the end faces of the plurality of optical fiber strands 12a are uniformly distributed and fixed.
  • the end surface on the side where the optical fiber strands 12a are not bundled is the emitting portion 12c.
  • the optical fiber 12a can be expanded.
  • the optical fiber strands 12a are spread and arranged so that the emission portion 12c has a substantially band shape.
  • the whole emission part 12c arranged in a substantially band shape is defined as an irradiation surface 12e for irradiating the object W with light.
  • FIG. 4 is an example schematically showing the distribution state of the emitting portion 12c (end surface of the optical fiber 12a) on the irradiation surface 12e.
  • the optical fiber 12a is partially shown.
  • the emission parts 12c are arranged in a staggered pattern. That is, the optical fiber 12a is arranged so that the center of the emission part 12c in the first row (row I) is located between the centers of the emission portions 12c in the row adjacent to the first row (row II). Thereby, the unevenness of the light irradiated from the irradiation surface 12e does not become a problem.
  • the arrangement of the emission part 12c is not limited to the form shown in FIG.
  • the optical fiber strands 12a arranged in the same row are in contact, but the optical fiber strands 12a arranged in the same row need not be in contact.
  • the optical fiber strands 12a are arranged in two rows (row I and row II), but the number of rows is not limited to this.
  • irradiation surface 12e and the optical member 13 are provided above the stage 21 (+ z direction).
  • the optical member 13 is a rectangular member having a long side substantially the same length as the irradiation surface 12e.
  • the optical member 13 is provided on the lower side ( ⁇ z side) of the light source 11 so that the longitudinal direction thereof substantially coincides with the longitudinal direction of the irradiation surface 12e.
  • the optical member 13 is, for example, a polarizer that polarizes non-polarized light emitted from the light source 11, but is not limited thereto.
  • the optical member 13 may be configured by a single member, or may be configured by arranging a plurality of parallelogram (including square and rectangular) pieces.
  • the polarized light irradiation apparatus 1 configured in this way moves the object W (stage 21) in the x direction that is the scanning direction, and converts the polarized light irradiated from the light irradiation unit 10 to the surface to be exposed of the object W. To produce an alignment film or the like for a liquid crystal panel.
  • the object W that can be exposed with a low exposure amount can be exposed with an appropriate exposure amount (low exposure amount).
  • a method of reducing the light applied to the object W by placing the light reducing plate 102 between the lamp 101 and the optical filter 103 and the polarizer 104 is also conceivable.
  • a method of installing the dimming plate 102 in an actual apparatus is applied. It is difficult.
  • the normal exposure amount is obtained. It is difficult to reduce the exposure amount from several hundred mJ / cm 2 to about 1 mJ / cm 2 to 500 mJ / cm 2 .
  • the exposure amount of the object W can be reduced to a low exposure amount of about 1 mJ / cm 2 to 500 mJ / cm 2 without using a dimming plate or the like.
  • the light guide member 12 which is an optical fiber bundle
  • the irradiation surface 12e and the optical member 13 can be provided above the stage 21, and the light source 11 can be provided at another position. Therefore, the part provided above the stage 21 can be lightened.
  • the irradiation surface 12e and the optical member 13 are provided above the stage 21, and the light source 11 is provided at another position, so that the portion provided above the stage 21 is lightened. Therefore, it is easy to move the irradiation surface 12e and the optical member 13.
  • the polarized light irradiation device 1A has a configuration in which the irradiation surface 12e and the optical member 13 of the polarized light irradiation device 1 are movable along the x direction.
  • FIG. 5 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 1A.
  • symbol is attached
  • the polarized light irradiation apparatus 1A mainly moves the light irradiation unit 10, the stage 21, the robot 30, the support unit 31 that supports the irradiation surface 12e and the optical member 13, and the support unit 31 in the scanning direction (x direction).
  • the support base moving unit 32 to be moved and the optical measuring device 33 are provided.
  • the support base moving unit 32 includes a drive unit (not shown) and a moving mechanism unit (not shown) that reciprocates the support unit 31 by the driving force of the drive unit.
  • a drive unit not shown
  • a moving mechanism unit not shown
  • the support base moving unit 32 is controlled by a control unit (not shown).
  • the optical measuring device 33 measures the illuminance of light irradiated from the light irradiation unit 10, the integrated exposure amount, the direction of the polarization axis, and the like.
  • the polarized light irradiation apparatus 1A configured in this way moves the irradiation surface 12e and the optical member 13 provided in the support portion 31 in the + x direction and passes over the optical measuring instrument 33. And the control part which is not illustrated determines the moving speed of the light irradiation part 10, etc. FIG.
  • control unit moves the light irradiation unit 10 in the ⁇ x direction and arranges the light irradiation unit 10 at the end on the ⁇ x side. Thereafter, while moving the light irradiation unit 10 in the + x direction at a moving speed obtained by a control unit (not shown), the light irradiated from the light irradiation unit 10 is irradiated onto the exposed surface of the object W, and the liquid crystal panel is used. An alignment film or the like is generated.
  • the portions to be moved (the irradiation surface 12e, the optical member 13, and the support portion 31) can be lightened. Therefore, the support part 31 and the support stand moving part 32 can be reduced in size.
  • the light source 11 can be provided at a position other than above the stage 21. Therefore, a plurality of irradiation surfaces 12e and optical members 13 can be provided at various positions.
  • the polarized light irradiation device 1B is a form in which two sets of the irradiation surface 12e and the optical member 13 of the polarized light irradiation device 1 are provided.
  • FIG. 6 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 1B.
  • symbol is attached
  • the polarized light irradiation apparatus 1B mainly includes light irradiation units 10A and 10B, a drive unit 20, a robot 30, and a heating unit 34.
  • the light irradiation unit 10 mainly includes two light sources 11A and 11B, two light guide members 12A and 12B, and one optical member 13.
  • the structure of the light guide members 12A and 12B is the same as that of the light guide member 12.
  • the light sources 11A and 11B have the same configuration as the light source 11, but the intensity of light emitted from the light source 11A is different from the intensity of light emitted from the light source 11B. In the present embodiment, the light emitted from the light source 11B is stronger than the light emitted from the light source 11A.
  • the irradiation surface 12e of the light guide member 12A and the irradiation surface 12e of the light guide member 12B are provided side by side with a gap in the x direction.
  • the optical member 13 is provided below the light guide member 12A. Therefore, the light irradiated from the irradiation surface 12e of the light guide member 12A is irradiated to the object W as polarized light, and the light irradiated from the irradiation surface 12e of the light guide member 12B is the object as unpolarized light. W is irradiated.
  • the heating unit 34 is an infrared heater, for example, and heats the object W.
  • the heating unit 34 is provided between the irradiation surface 12e of the light guide member 12A and the irradiation surface 12e of the light guide member 12A.
  • the object W moves from the ⁇ x direction toward the + x direction, the object W is exposed.
  • the object W is exposed by light irradiated from the irradiation surface 12e of the light guide member 12A.
  • the portion of the object W exposed by the irradiation surface 12e of the light guide member 12A is heated by the heating unit 34 and then exposed by light irradiated from the irradiation surface 12e of the light guide member 12B.
  • the alignment treatment can be performed in a short time by heating the portion oriented by polarized light and then irradiating it with strong non-polarized light.
  • the light applied to the object W from the light guide member 12A and the light applied to the object W from the light guide member 12B are different in light intensity and presence / absence of polarization.
  • the difference between the light irradiated from the light guide member 12A to the object W and the light irradiated from the light guide member 12B to the object W is not limited to the intensity of light and the presence or absence of polarization.
  • the light applied to the object W from the light guide member 12A and the light applied to the object W from the light guide member 12B are different in at least one of the light intensity, the direction of polarization, and the presence or absence of polarization. Good.
  • two optical members having different directions of polarization of light passing therethrough are used, and these are provided respectively below the irradiation surface 12e of the light guide member 12A and below the irradiation surface 12e of the light guide member 12B.
  • the object W can be separately irradiated with light having different directions. In this way, various exposure processes can be performed at one time.
  • the optical fiber bundle is used as the light guide member, but the light guide member is not limited to this.
  • a light guide plate is used as the light guide member.
  • the polarized light irradiation apparatus 2 according to the second embodiment will be described.
  • symbol is attached
  • FIG. 7 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 2 according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is a front view showing an outline of the polarized light irradiation device 2.
  • the polarized light irradiation apparatus 1 mainly includes a light irradiation unit 40, a drive unit 20, and a robot 30.
  • the light irradiation unit 40 irradiates the object W with polarized light.
  • the light irradiation unit 40 mainly includes the light source 11, the light guide member 41, and the optical member 13.
  • the light source 11 is provided adjacent to the side surface of the light guide member 41.
  • the light source 11 is provided adjacent to the + y side (short direction) side surface 41 a (see FIG. 9) of the light guide member 41.
  • the optical member 13 is provided below the light guide member 41.
  • FIG. 9 is a diagram showing details of the light irradiation unit 40, and is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
  • the light guide member 41 is provided on the front surface of the optical filter 11b. Therefore, the light emitted from the lamp 11a passes through the optical filter 11b and is guided to the light guide member 41 from the side surface 41a.
  • the light guide member 41 is a plate material made of a transparent material such as quartz, and is formed in a substantially strip shape.
  • a metal reflection diffusion plate 42 is provided on the surface 41 b (+ z side surface) of the light guide member 41.
  • the light incident from the side surface 41a of the light guide member 41 is scattered by the reflection diffusion plate 42 and guided to the entire light guide member 41, and the back surface 41c (the surface on the ⁇ z side) of the light guide member 41 is surface emitting. To do.
  • a light shielding plate 43 made of metal is provided on the side surface (here, the side surface other than the side surface 41a) where the light source 11 of the light guide member 41 is not provided adjacently. This prevents light incident from the end surface (side surface) of the light guide member 41 from escaping from the side surface.
  • the side surface 41a of the light guide member 41 is a light incident portion to which light from the light source 11 is supplied, and the back surface 41c of the light guide member 41 is a light emitting portion.
  • FIG. 10 is a diagram of the light irradiation unit 40 as viewed from the back, and is a diagram illustrating an outline of the light shielding plate 44.
  • the optical member 13 is omitted.
  • the position where the light shielding plate 44 is provided is indicated by hatching for the sake of explanation.
  • the light shielding plate 44 is formed so that the area decreases as the distance from the light source 11 increases. Thereby, the uniformity of the light emitted from the surface is ensured.
  • the shape of the light shielding plate 44 is not limited to the form shown in FIG. 10 as long as the area decreases as the distance from the light source 11 increases.
  • the polarized light irradiation apparatus 2 configured in this way moves the object W (stage 21) in the x direction that is the scanning direction, and applies the polarized light irradiated from the light irradiation unit 40 to the exposed surface of the object W. To produce an alignment film or the like for a liquid crystal panel.
  • the light emitted from one light source is spread over a wide range with a simple configuration, so that the light irradiated from the irradiation surface can be weakened. Therefore, the object W can be exposed with an appropriate exposure amount (low exposure amount).
  • the light source 11 is provided adjacent to the side surface 41a of the light guide member 41.
  • the position and number of the light sources 11 are not limited thereto.
  • a plurality of light sources 11 may be provided adjacent to the side surface 41d on the ⁇ x side (longitudinal direction) of the light guide member 41 as in the light irradiation section 40A shown in FIG. In FIG. 11, illustration of the optical member 13, the reflection diffusion plate 42, and the light shielding plate 43 is omitted.
  • the light shielding plate 44a is different only in shape from the light shielding plate 44, and is formed so that the area decreases as the distance from the light source 11 increases, as with the light shielding plate 44.
  • the plurality of light sources 11 are provided along the side surface 41 d of the light guide member 41, but only one light source having a length substantially the same as the length of the side surface 41 d is provided along the side surface 41 d of the light guide member 41. It may be provided.
  • the adjacent light sources 11 are in contact with each other, but a gap may be provided between the adjacent light sources 11.
  • a plurality of light sources 11 may be provided adjacent to each of the two opposing side surfaces 41a and 41e.
  • the optical member 13, the reflection diffusion plate 42, and the light shielding plate 43 are not shown.
  • the light shielding plate 44 b is different from the light shielding plate 44 only in shape, and is formed so that the area becomes smaller as the distance from the light source 11 becomes longer, like the light shielding plate 44.
  • the two opposing side surfaces are not limited to the side surfaces 41a and 41e, but may be the side surfaces 41d and 41f.
  • the light irradiation unit 40 of the polarized light irradiation device 2 can be moved along the x direction. Since the light source 11 of the light irradiation part 40 is small compared with the lamp
  • the polarized light irradiation apparatuses 1 and 2 that irradiate polarized light have been described as examples of the light irradiation apparatus.
  • the light irradiation apparatus is a polarizer (such as the polarized light irradiation apparatuses 1 and 2).
  • a mask instead of the optical member 13
  • the light irradiation apparatus of the present invention is a concept including a polarized light irradiation apparatus and an exposure apparatus. The exposure apparatus will be described below.
  • This exposure apparatus is the same as that of the polarized light irradiation apparatuses 1 and 2 except for the presence or absence of a polarizer (optical member 13).
  • This exposure apparatus can perform exposure processing of, for example, a pixel pattern of a color filter of a liquid crystal display device, an opaque black matrix serving as a frame of each pixel of the color filter, and a circuit pattern.
  • an exposure process of a pixel pattern of a color filter using this exposure apparatus will be described.
  • an R pixel resist is applied to a transparent substrate in which an opaque black matrix that serves as a frame of pixels is formed.
  • a mask formed with a pattern that allows light to pass through only the pixel portion is provided in the exposure apparatus, and light from the light source 11 is irradiated to form an R pixel on the substrate.
  • the pixel pattern of the color filter can be formed using this exposure apparatus.
  • substantially is a concept that includes not only a case where they are exactly the same but also errors and deformations that do not lose the identity.
  • the approximate center is not limited to the exact center.
  • the “neighborhood” is a concept indicating that when it is in the vicinity of A, for example, it is near A and may or may not include A.
  • Polarized light irradiation apparatus 10 Polarized light irradiation part 11, 11A, 11B: Light source 11a: Lamp 11b: Optical filter 12, 12A, 12B: Light guide member 12a: Optical fiber 12b: Incident part 12c : Emitting unit 12d: Main body 12e: Irradiation surface 13: Optical member 20: Drive unit 21: Stage 22: Stage guide rail 23: Stage scan shaft 30: Robot 31: Support unit 32: Support stage moving unit 33: Optical measuring instrument 34 : Heating unit 40, 40A, 40B: polarized light irradiation unit 41: light guide members 41a, 41d, 41e, 41f: side surface 41b: front surface 41c: back surface 42: reflection diffusion plate 43: light shielding plates 44, 44a, 44b: light shielding plate 100 : Polarized light irradiation device

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Abstract

低露光量で露光可能な対象物に対して適切な露光量で露光することができる。　光源１１から照射された光を導光する導光部材１２は、光源１１の光が供給される光入射部１１ｂから、ステージの上方に略帯状に設けられ、ステージへ光を照射する光出射部１１ｅへと光を導光する。光源１１からの光が略帯状に広がるため、光出射部１１ｅからステージ２１へ照射される光が弱くなる。

Description

光照射装置
　本発明は、光照射装置に関する。
　特許文献１には、連続または間歇的に直線状に搬送される光配向膜に対し、光配向膜の搬送方向に沿って光照射部が多段に配置され、多段に配置された各光照射部から光配向膜に偏光光を照射して光配向する偏光光照射装置において、各光照射部から光配向膜に照射されるＵＶエネルギーが数百ｍＪ／ｃｍ２であることが開示されている。
　特許文献２には、低露光量（１μｍの厚みの配向膜で約１ｍＪ／ｃｍ２～５００ｍＪ／ｃｍ２）で配向膜に液晶配向能を付与できる光配向材料が開示されている。
特開２０１１－２１５６３９号公報 特開２０１５－０３１８２３号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の発明を用いて、特許文献２に記載の光配向材料を露光する場合には、露光量が高すぎるという問題がある。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、低露光量で露光可能な対象物に対して、適切な露光量で露光することができる光照射装置を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、本発明に係る光照射装置は、例えば、対象物が載置されるステージと、光源と、前記光源から照射された光を導光する導光部材であって、前記光源の光が供給される光入射部と、前記ステージの上方に略帯状に設けられ、前記ステージへ光を照射する光出射部と、を有する導光部材と、を有する光照射部と、を備えたことを特徴とする。
　本発明に係る光照射装置によれば、光源から照射された光を導光する導光部材は、光源の光が供給される光入射部から、ステージの上方に略帯状に設けられ、ステージへ光を照射する光出射部へと光を導光する。光源からの光が略帯状に広がるため、光出射部からステージへ照射される光が弱くなる。これにより、低露光量で露光可能な対象物に対して、適切な露光量で露光することができる。
　ここで、前記導光部材は、複数の光ファイバーを束ねた光ファイバーケーブルであり、前記光ファイバーケーブルのうちの第１の端は、前記光入射部であり、前記光ファイバーケーブルのうちの前記第１の端以外の第２の端は、前記複数の光ファイバーが束ねられておらず、長手方向が前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿うように前記複数の光ファイバーを略帯状に並べることで、前記光出射部が構成されてもよい。このように、光ファイバーを用いて導光することにより、光源をステージの上方に設けることなく、光出射部をステージの上方に設けることができる。したがって、ステージの上方に設けられる部分を軽くすることができる。
　ここで、前記光ファイバーケーブルは、第１の光ファイバーケーブルと、第２の光ファイバーケーブルと、を有し、前記光出射部は、前記第１の光ファイバーケーブルの一端である第１の光出射部と、前記第２の光ファイバーケーブルの一端である第２の光出射部と、を有し、前記第１の光出射部と前記第２の光出射部とは、前記走査方向に沿って隙間をあけて並べられ、前記第１の光出射部から前記対象物に照射される光と、前記第２の光出射部から前記対象物に照射される光とは、光の強さ、偏光の向き、及び偏光の有無のうちの少なくとも１つが異なってもよい。このように、光ファイバーを用いて導光することにより、複数の光出射部を様々な位置に複数配置し、各光出射部から照射される光の強さ、偏光の向き、及び偏光の有無のうちの少なくとも１つを異なせることができる。したがって、様々な露光処理を一度に行うことができる。
　ここで、前記対象物を加熱する加熱部であって、前記第１の光出射部と前記第２の光出射部との間に設けられた加熱部を備え、前記第１の光出射部から前記対象物に照射される光は偏光光であり、前記第２の光出射部から前記対象物に照射される光は偏光されていない光であってもよい。このように、偏光光を照射したあとで加熱し、その後無偏光光を照射することで、短時間で配向処理を行うことができる。
　ここで、前記光出射部を前記走査方向に沿って移動させる移動部を備えてもよい。光ファイバーを用いて導光し、光源をステージの上方以外の位置に設けることで、ステージの上方に設けられる部分を軽くすることができる。したがって、光出射部を容易に移動させることができる。
　ここで、前記導光部材は、前記光出射部である裏面が前記ステージと対向するように設けられた略帯状の導光板であり、前記光源は、前記光入射部である前記導光板の第１の側面に向けて光が照射されるように、前記第１の側面に隣接して設けられ、前記導光板は、長手方向が前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿って設けられ、前記導光板の表面及び前記第１の側面以外の側面は、遮光部材又は光反射部材で覆われていてもよい。これにより、簡単な構成で１つの光源の光を広い範囲に広げて照射することができる。
　ここで、前記裏面には、前記光源からの距離が遠くなるにつれて面積が小さくなる遮光部材が設けられてもよい。これにより、簡単な構成で１つの光源の光を広い範囲に均一に広げて照射することができる。
　ここで、前記光源は、前記第１の側面及び前記第１の側面に対向する第２の側面のそれぞれに隣接して設けられてもよい。これにより、で１つの光源の光を広い範囲により均一に広げて照射することができる。
　ここで、前記光照射部を前記走査方向に沿って移動させる移動部を備えてもよい。導光板を用いて光を広げることで、光源が小さくなるため、光照射部を容易に移動させることができる。
　本発明によれば、低露光量で露光可能な対象物に対して適切な露光量で露光することができる。
第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１の概略を示す平面図である。 偏光光照射装置１の概略を示す正面図である。 導光部材１２の概略を示す斜視図である。 照射面１２ｅにおける、出射部１２ｃ（光ファイバー素線１２ａの端面）の分布状態を模式的に示した一例である。 偏光光照射装置１Ａの概略を示す平面図である。 偏光光照射装置１Ｂの概略を示す平面図である。 第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２の概略を示す平面図である。 偏光光照射装置２の概略を示す正面図である。 光照射部４０の詳細を示す図であり、図８のＡ－Ａ断面図である。 光照射部４０を裏から見た図であり、遮光板４４の概略を示す図である。 光照射部４０Ａの概略を示す図である。 光照射部４０Ｂの概略を示す図である。 従来の偏光光照射装置１００の概略を示す図である。
　以下、本発明の光照射装置を、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施の形態では、光照射装置として、偏光光を照射する偏光光照射装置を例に説明する。
　＜第１の実施の形態＞
　図１は、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１の概略を示す平面図である。図２は、偏光光照射装置１の概略を示す正面図である。偏光光照射装置１は、例えば、偏光子を通過させて偏光した光（以下、偏光光という）をガラス基板等の対象物Ｗの被露光面に照射して光配向処理を行い、液晶パネル等の配向膜を生成する装置である。ここで、光配向処理とは、直線偏光紫外線を高分子膜上に照射して、膜内の分子の再配列や異方的な化学反応を誘起することで、膜に異方性を持たせる処理である。
　以下、対象物Ｗの搬送方向（すなわち、走査方向）をｘ方向とし、搬送方向に直交する方向をｙ方向とし、鉛直方向をｚ方向とする。なお、図２においては、説明のため、装置手前側（＋ｙ側）の一部については図示を省略している。また、図１においては、説明のため、装置枠の天面（＋ｚ側の面）については図示を省略している。
　偏光光照射装置１は、主として、光照射部１０と、駆動部２０と、ロボット３０と、を備える。
　光照射部１０は、対象物Ｗに光を照射する。光照射部１０については、後に詳述する。
　駆動部２０は、主として、ステージ２１と、ステージガイドレール２２と、を有する。
　ステージ２１は、図示しない駆動手段により、ステージガイドレール２２に沿って移動可能に設けられる（図１、２の太矢印参照）。また、ステージ２１は、図示しない駆動手段及び回転機構により、ｘｙ平面に沿って回転可能に設けられる（図１点線参照）。ステージ２１の上面には、対象物Ｗが載置される。
　ステージ２１がステージガイドレール２２に沿ってｘ方向に移動する際には、図示しない位置検出部によりステージスキャン軸２３におけるステージ２１の位置が検出される。これにより、ステージ２１のｘ方向の位置が調整できる。なお、ステージ２１の移動及び位置決めは、すでに公知の技術であるため、説明を省略する。
　ロボット３０は、ステージ２１に対象物Ｗを搬入したり、搬出したりする。
　次に、光照射部１０について詳細に説明する。光照射部１０は、主として、光源１１と、導光部材１２と、光学部材１３と、を有する。
　光源１１は、主として、ランプ１１ａと、光学フィルタ１１ｂと、を有する。光源１１は、例えば偏光光照射装置１の枠の外側に設けられる。ただし、光源１１を設ける位置は、図１、２に示す位置に限られない。
　ランプ１１ａは、偏光していない光（例えば、紫外光）を出射する。ランプ１１ａは、例えば、電極間距離が１～１０ｍｍ程度と短い高輝度の点光源であるショートアークタイプのランプである。なお、ランプ１１ａは、ショートアークタイプのランプに限られず、ＬＥＤ等の様々な種類の発光装置を用いることができる。また、ランプ１１ａの背面に、ランプ１１ａの光を前方に反射させる反射鏡を設けてもよい。また、ランプ１１ａの数は、１つに限定されない。
　光学フィルタ１１ｂは、ランプ１１ａから照射された光の中から所定の波長の光のみを通過させる。光学フィルタ１１ｂの背面にはランプ１１ａが設けられ、光学フィルタ１１ｂの前面には導光部材１２の入射部１２ｂ（後に詳述）が設けられる。
　なお、本実施の形態では、光源１１にランプ１１ａを用いたが、光源１１は紫外線を出射すればよく、例えば光を増幅するレーザ発振器を光源１１に用いても良い。
　図３は、導光部材１２の概略を示す斜視図である。導光部材１２は、光源１１から照射された光を、光源から離れた場所に導くものである。本実施の形態では、導光部材１２は、複数本の光ファイバー素線１２ａが束ねられて束状に形成された光ファイバー束である。光ファイバー素線１２ａは、入射部１２ｂから供給された光を出射部１２ｃへ導光する。
　導光部材１２は、部分的に光ファイバー素線１２ａが束ねられている。この束ねられた部分を本体１２ｄとする。本体１２ｄは、複数の光ファイバー素線１２ａを束ねて束状にし、これを融着処理等により一体にすることで形成される。
　光ファイバー素線１２ａのうちの、光ファイバー素線１２ａが束ねられた側の端面は、入射部１２ｂである。入射部１２ｂにおいては、複数の光ファイバー素線１２ａの端面は、均一に分布して固定されている。
　光ファイバー素線１２ａのうちの、光ファイバー素線１２ａが束ねられていな側の端面は、出射部１２ｃである。出射部１２ｃの近傍では、光ファイバー素線１２ａを広げることができる。本実施の形態では、出射部１２ｃが略帯状となるように光ファイバー素線１２ａを広げて並べる。以下、略帯状に並べた出射部１２ｃ全体を、対象物Ｗに光を照射する照射面１２ｅと定義する。
　図４は、照射面１２ｅにおける、出射部１２ｃ（光ファイバー素線１２ａの端面）の分布状態を模式的に示した一例である。図４では、光ファイバー素線１２ａを部分的に表示している。
　出射部１２ｃは千鳥状に配置される。すなわち、第一列（列Ｉ）における出射部１２ｃの中心が、第一列に隣接する列（列ＩＩ）における出射部１２ｃの中心の間に位置するように、光ファイバー素線１２ａを配置する。これにより、照射面１２ｅから照射される光のムラが問題とならなくなる。
　ただし、照射面１２ｅが略帯状であれば、出射部１２ｃの配置は図４に示す形態に限られない。例えば、図４では、同じ列に配置された光ファイバー素線１２ａが当接しているが、同じ列に配置された光ファイバー素線１２ａは当接しなくてもよい。また、図４では、光ファイバー素線１２ａが２列（列Ｉ、列ＩＩ）に配置されているが、列数はこれに限られない。
　図１、２の説明に戻る。照射面１２ｅ及びの光学部材１３は、ステージ２１の上方（＋ｚ方向）に設けられる。
　光学部材１３は、照射面１２ｅと略同じ長さの長辺を持つ長方形の部材である。光学部材１３は、その長手方向が照射面１２ｅの長手方向に略一致するように、光源１１の下側（－ｚ側）に設けられる。光学部材１３は、例えば、光源１１から出射された無偏光の光を偏光する偏光子であるが、これに限定されるものではない。また、光学部材１３は、一個の部材で構成してもよいし、平行四辺形（正方形、長方形を含む）の小片を複数並べて構成してもよい。
　このように構成された偏光光照射装置１は、対象物Ｗ（ステージ２１）を走査方向であるｘ方向に移動させながら、光照射部１０から照射された偏光光を対象物Ｗの被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成する。
　本実施の形態によれば、１つの光源の光を広い範囲に広げて照射するため、照射面から照射される光を弱くすることができる。そのため、低露光量で露光可能な対象物Ｗに対して、適切な露光量（低露光量）で露光することができる。
　例えば、図１３に示す偏光光照射装置１００のように、光照射部としてロングアークタイプのランプ１０１を用いる従来の装置において、ランプ１０１の使用本数を減らし（例えば、通常３本使用するところを、１本だけ使用する）、ランプ１０１と、光学フィルタ１０３及び偏光子１０４との間に減光板１０２を置くことで、対象物Ｗに照射される光を減らす方法も考えられる。しかしながら、減光板１０２からランプ１０１へ光が戻ってしまったり、減光板１０２自体の熱対策や寿命対策等が必要となったりするため、実際の装置に減光板１０２を設置する方法を適用することは困難である。また、減光板１０２を設置したり、対象物Ｗの搬送速度を高くしたり（例えば、通常１００ｍｍ／秒程度のものを、１０００ｍｍ／秒程度まで早くする）しても、通常の露光量である数百ｍＪ／ｃｍ２から、約１ｍＪ／ｃｍ２～５００ｍＪ／ｃｍ２まで露光量を減らすことは困難である。
　それに対し、本実施の形態では、光源１１の光を広範囲に分散させるため、照射される光自体を弱くすることができる。そのため、減光板等を用いることなく、例えば約１ｍＪ／ｃｍ２～５００ｍＪ／ｃｍ２程度の低露光量まで対象物Ｗの露光量を減らすことができる。
　また、本実施の形態によれば、光ファイバー束である導光部材１２を用いるため、照射面１２ｅ及び光学部材１３のみをステージ２１の上方に設け、光源１１を別の位置に設けることができる。したがって、ステージ２１の上方に設けられる部分を軽くすることができる。
　＜第１の実施の形態の変形例１＞
　第１の実施の形態では、照射面１２ｅ及び光学部材１３のみをステージ２１の上方に設け、光源１１は別の位置に設けることで、ステージ２１の上方に設けられる部分が軽くなる。したがって、照射面１２ｅ及びの光学部材１３を移動させることが容易である。
　この変形例にかかる偏光光照射装置１Ａは、偏光光照射装置１の照射面１２ｅ及び光学部材１３をｘ方向に沿って移動可能にした形態である。図５は、偏光光照射装置１Ａの概略を示す平面図である。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　偏光光照射装置１Ａは、主として、光照射部１０と、ステージ２１と、ロボット３０と、照射面１２ｅ及び光学部材１３を支持する支持部３１と、支持部３１を走査方向（ｘ方向）に移動させる支持台移動部３２と、光学測定機３３と、を備える。
　支持台移動部３２は、駆動部（図示せず）と、駆動部の駆動力によって支持部３１を往復移動させる移動機構部（図示せず）と、を有する。駆動部及び移動機構部は、公知の様々な技術を用いることができる。支持台移動部３２は、図示しない制御部により制御される。
　光学測定機３３は、光照射部１０から照射される光の照度、積算露光量や、偏光の軸の向き等を測定する。
　このように構成された偏光光照射装置１Ａは、支持部３１に設けられた照射面１２ｅ及び光学部材１３を＋ｘ方向に移動させて、光学測定機３３の上を通過させる。そして、図示しない制御部は、光照射部１０の移動速度等を決定する。
　次に、制御部は、光照射部１０を－ｘ方向に移動させて、光照射部１０を－ｘ側の端に配置する。その後、図示しない制御部で求められた移動速度で光照射部１０を＋ｘ方向に移動させながら、光照射部１０から照射された光を対象物Ｗの被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成する。
　本実施の形態によれば、光源を移動させないため、移動させる部分（照射面１２ｅ、光学部材１３及び支持部３１）を軽くすることができる。したがって、支持部３１や支持台移動部３２を小型化することができる。
　＜第１の実施の形態の変形例２＞
　第１の実施の形態では、導光部材１２として光ファイバーを用いるため、光源１１をステージ２１の上方以外の位置に設けることができる。そのため、照射面１２ｅ及び光学部材１３を様々な位置に複数設けることもできる。
　この変形例にかかる偏光光照射装置１Ｂは、偏光光照射装置１の照射面１２ｅ及び光学部材１３を２組設けた形態である。図６は、偏光光照射装置１Ｂの概略を示す平面図である。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　偏光光照射装置１Ｂは、主として、光照射部１０Ａ、１０Ｂと、駆動部２０と、ロボット３０と、加熱部３４と、を備える。
　光照射部１０は、主として、２つの光源１１Ａ、１１Ｂと、２つの導光部材１２Ａ、１２Ｂと、１つの光学部材１３と、を有する。導光部材１２Ａ、１２Ｂの構成は導光部材１２と同一である。
　光源１１Ａ、１１Ｂは、光源１１と同様の構成であるが、光源１１Ａが照射する光の強さと、光源１１Ｂが照射する光の強さとが異なる。本実施の形態では、光源１１Ａが照射する光より、光源１１Ｂが照射する光のほうが強い。
　導光部材１２Ａの照射面１２ｅと、導光部材１２Ｂの照射面１２ｅとは、ｘ方向に隙間をあけて並んで設けられる。
　光学部材１３は、導光部材１２Ａの下方に設けられる。したがって、導光部材１２Ａの照射面１２ｅから照射される光は、偏光光として対象物Ｗに照射され、導光部材１２Ｂの照射面１２ｅから照射される光は、偏光されていない光として対象物Ｗに照射される。
　加熱部３４は、例えば赤外線ヒーターであり、対象物Ｗを加熱する。加熱部３４は、導光部材１２Ａの照射面１２ｅと、導光部材１２Ａの照射面１２ｅとの間に設けられる。
　対象物Ｗ（ステージ２１）が－ｘ方向から＋ｘ方向に向けて移動するときに、対象物Ｗが露光される。まず、対象物Ｗは、導光部材１２Ａの照射面１２ｅから照射される光により露光される。
　対象物Ｗの導光部材１２Ａの照射面１２ｅにより露光された部分は、加熱部３４により加熱され、その後、導光部材１２Ｂの照射面１２ｅから照射される光により露光される。
　本実施の形態によれば、偏光光により配向された部分に対して、加熱し、その後強い無偏光光を照射することで、短時間で配向処理を行うことができる。
　なお、本実施の形態では、導光部材１２Ａから対象物Ｗに照射される光と、導光部材１２Ｂから対象物Ｗに照射される光とは、光の強さ及び偏光の有無が異なるが、導光部材１２Ａから対象物Ｗに照射される光と、導光部材１２Ｂから対象物Ｗに照射される光とで異なるのは光の強さ及び偏光の有無に限られない。導光部材１２Ａから対象物Ｗに照射される光と、導光部材１２Ｂから対象物Ｗに照射される光とは、光の強さ、偏光の向き、及び偏光の有無の少なくとも１つが異なればよい。
　例えば、通過した光の偏光の向きが異なる２つの光学部材を用い、これらを導光部材１２Ａの照射面１２ｅの下方と導光部材１２Ｂの照射面１２ｅの下方とのそれぞれに設けることで、偏光の向きが異なる光を別々に対象物Ｗに照射することができる。このように、様々な露光処理を一度に行うことができる。
　＜第２の実施の形態＞
　第１の実施の形態では、導光部材として光ファイバー束を用いたが、導光部材はこれに限られない。
　第２の実施の形態は、導光部材として導光板を用いる形態である。以下、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２について説明する。第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　図７は、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２の概略を示す平面図である。図８は、偏光光照射装置２の概略を示す正面図である。偏光光照射装置１は、主として、光照射部４０と、駆動部２０と、ロボット３０と、を備える。
　光照射部４０は、対象物Ｗに偏光を照射する。光照射部４０は、主として、光源１１と、導光部材４１と、光学部材１３と、を有する。
　光源１１は、導光部材４１の側面に隣接して設けられる。図７においては、光源１１は、導光部材４１の＋ｙ側（短手方向）の側面４１ａ（図９参照）に隣接して設けられる。光学部材１３は、導光部材４１の下方に設けられる。
　図９は、光照射部４０の詳細を示す図であり、図８のＡ－Ａ断面図である。導光部材４１は、光学フィルタ１１ｂの前面に設けられる。そのため、ランプ１１ａから照射された光は、光学フィルタ１１ｂを通過して側面４１ａから導光部材４１に導かれる。
　導光部材４１は、石英等の透明な材料で形成された板材であり、略帯状に形成されている。導光部材４１の表面４１ｂ（＋ｚ側の面）には、金属製の反射拡散板４２が設けられる。これにより、導光部材４１の側面４１ａから入射した光が反射拡散板４２で散乱されて導光部材４１全体に導光され、導光部材４１の裏面４１ｃ（－ｚ側の面）が面発光する。
　導光部材４１の光源１１が隣接して設けられていない側面（ここでは、側面４１ａ以外の側面）には、金属製の遮光板４３が設けられる。これにより、導光部材４１の端面（側面）から入射した光が側面から逃げてしまうことを防止する。
　このように、導光部材４１の側面４１ａは、光源１１の光が供給される光入射部であり、導光部材４１の裏面４１ｃは、光出射部である。
　光出射部である導光部材４１の裏面４１ｃには、裏面４１ｃを部分的に覆う遮光板４４が設けられる。図１０は、光照射部４０を裏から見た図であり、遮光板４４の概略を示す図である。なお、図１０では、光学部材１３を省略している。また、図１０では、説明のため、遮光板４４が設けられている位置を網掛け表示している。
　遮光板４４は、光源１１からの距離が遠くなるにつれて面積が小さくなるように形成されている。これにより、面発光する光の均一性を確保している。なお、遮光板４４は、光源１１からの距離が遠くなるにつれて面積が小さくなるのであれば、形状は図１０に示す形態に限定されない。
　このように構成された偏光光照射装置２は、対象物Ｗ（ステージ２１）を走査方向であるｘ方向に移動させながら、光照射部４０から照射された偏光光を対象物Ｗの被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成する。
　本実施の形態によれば、簡単な構成で１つの光源の光を広い範囲に広げて照射するため、照射面から照射される光を弱くすることができる。そのため、適切な露光量（低露光量）で対象物Ｗを露光することができる。
　なお、第２の実施の形態では、光源１１を、導光部材４１の側面４１ａに隣接して設けたが、光源１１の位置及び数はこれに限られない。図１１に示す光照射部４０Ａのように、複数の光源１１を、導光部材４１の－ｘ側（長手方向）の側面４１ｄに隣接して設けてもよい。図１１では、光学部材１３、反射拡散板４２及び遮光板４３の図示を省略している。
　遮光板４４ａは、遮光板４４と形状のみが異なるものであり、遮光板４４と同様に、光源１１からの距離が遠くなるにつれて面積が小さくなるように形成されている。
　なお、図１１では、複数の光源１１を導光部材４１の側面４１ｄに沿って設けたが、側面４１ｄの長さと略同じ長さの光源を１つだけ導光部材４１の側面４１ｄに沿って設けてもよい。また、図１１では、隣接する光源１１が当接しているが、隣接する光源１１間にすき間を設けてもよい。
　また、図１２に示す光照射部４０Ｂのように、対向する２つの側面４１ａ、４１ｅのそれぞれに隣接して複数の光源１１を設けてもよい。図１２では、光学部材１３、反射拡散板４２及び遮光板４３の図示を省略している。遮光板４４ｂは、遮光板４４と形状のみが異なるものであり、遮光板４４と同様に、光源１１からの距離が遠くなるにつれて面積が小さくなるように形成されている。なお、対向する２つの側面は、側面４１ａ、４１ｅに限られず、側面４１ｄ、４１ｆでもよい。側面４１ｄ、４１ｆに隣接して光源１１を設ける場合には、側面４１ｄに隣接して設ける光源１１と、側面４１ｄに隣接して設ける光源１１とのｙ方向の位置を交互に（千鳥状に）配置してもよい。
　また、第２の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、偏光光照射装置２の光照射部４０をｘ方向に沿って移動可能にすることができる。光照射部４０の光源１１は、従来の偏光光照射装置１００（図１３参照）に用いられるランプ１０１と比べて小さいため、光照射部４０の移動も容易である。
　なお、上記実施の形態では、光照射装置として、偏光光を照射する偏光光照射装置１、２等を例に説明したが、光照射装置は、偏光光照射装置１、２等の偏光子（光学部材１３）の代わりにマスクを用いることで、露光装置として用いることもできる。本発明の光照射装置は、偏光光照射装置や露光装置を含む概念である。以下、この露光装置について説明する。
　この露光装置の構成は、偏光子（光学部材１３）の有無以外は偏光光照射装置１、２等の構成と同様である。この露光装置は、例えば、液晶表示装置のカラーフィルタの画素パターン、カラーフィルタの各画素の枠となる不透明なブラックマトリックス、回路パターン等の露光処理を行うことができる。
　一例として、この露光装置を用いたカラーフィルタの画素パターンの露光処理について説明する。まず、透明な基板に画素の枠となる不透明なブラックマトリックスを形成したものにＲの画素のレジストを塗布する。そして、画素の部分だけ光が透過するパターンが形成されたマスクを露光装置に設け、光源１１から光を照射することで、基板上にＲの画素を形成する。Ｇの画素、Ｂの画素に対しても同様の露光処理を行うことで、この露光装置を用いてカラーフィルタの画素パターンを形成することができる。
　以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。また、上述の各実施の形態を組み合わせることもできる。
　また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略中央とは、厳密に中央の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばＡの近傍であるときに、Ａの近くであって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
１、１Ａ、１Ｂ、２　：偏光光照射装置
１０　　　　　　　　：偏光照射部
１１、１１Ａ、１１Ｂ：光源
１１ａ　　　　　　　：ランプ
１１ｂ　　　　　　　：光学フィルタ
１２、１２Ａ、１２Ｂ：導光部材
１２ａ　　　　　　　：光ファイバー素線
１２ｂ　　　　　　　：入射部
１２ｃ　　　　　　　：出射部
１２ｄ　　　　　　　：本体
１２ｅ　　　　　　　：照射面
１３　　　　　　　　：光学部材
２０　　　　　　　　：駆動部
２１　　　　　　　　：ステージ
２２　　　　　　　　：ステージガイドレール
２３　　　　　　　　：ステージスキャン軸
３０　　　　　　　　：ロボット
３１　　　　　　　　：支持部
３２　　　　　　　　：支持台移動部
３３　　　　　　　　：光学測定機
３４　　　　　　　　：加熱部
４０、４０Ａ、４０Ｂ：偏光照射部
４１　　　　　　　　：導光部材
４１ａ、４１ｄ、４１ｅ、４１ｆ：側面
４１ｂ　　　　　　　　：表面
４１ｃ　　　　　　　　：裏面
４２　　　　　　　　：反射拡散板
４３　　　　　　　　：遮光板
４４、４４ａ、４４ｂ：遮光板
１００　　　　　　　：偏光光照射装置

Claims (9)

  1. 　対象物が載置されるステージと、
    　光源と、前記光源から照射された光を導光する導光部材であって、前記光源の光が供給される光入射部と、前記ステージの上方に略帯状に設けられ、前記ステージへ光を照射する光出射部と、を有する導光部材と、を有する光照射部と、
    　を備えたことを特徴とする光照射装置。
  2. 　前記導光部材は、複数の光ファイバーを束ねた光ファイバーケーブルであり、
    　前記光ファイバーケーブルのうちの第１の端は、前記光入射部であり、
    　前記光ファイバーケーブルのうちの前記第１の端以外の第２の端は、前記複数の光ファイバーが束ねられておらず、長手方向が前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿うように前記複数の光ファイバーを略帯状に並べることで、前記光出射部が構成される
    　ことを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
  3. 　前記光ファイバーケーブルは、第１の光ファイバーケーブルと、第２の光ファイバーケーブルと、を有し、
    　前記光出射部は、前記第１の光ファイバーケーブルの一端である第１の光出射部と、前記第２の光ファイバーケーブルの一端である第２の光出射部と、を有し、
    　前記第１の光出射部と前記第２の光出射部とは、前記走査方向に沿って隙間をあけて並べられ、
    　前記第１の光出射部から前記対象物に照射される光と、前記第２の光出射部から前記対象物に照射される光とは、光の強さ、偏光の向き、及び偏光の有無のうちの少なくとも１つが異なる
    　ことを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
  4. 　前記対象物を加熱する加熱部であって、前記第１の光出射部と前記第２の光出射部との間に設けられた加熱部を備え、
    　前記第１の光出射部から前記対象物に照射される光は偏光光であり、前記第２の光出射部から前記対象物に照射される光は偏光されていない光である
    　ことを特徴とする請求項３に記載の光照射装置。
  5. 　前記光出射部を前記走査方向に沿って移動させる移動部を備えた
    　ことを特徴とする請求項２から４のいずれか一つに記載の光照射装置。
  6. 　前記導光部材は、前記光出射部である裏面が前記ステージと対向するように設けられた略帯状の導光板であり、
    　前記光源は、前記光入射部である前記導光板の第１の側面に向けて光が照射されるように、前記第１の側面に隣接して設けられ、
    　前記導光板は、長手方向が前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿って設けられ、
    　前記導光板の表面及び前記第１の側面以外の側面は、遮光部材又は光反射部材で覆われている
    　ことを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
  7. 　前記裏面には、前記光源からの距離が遠くなるにつれて面積が小さくなる遮光部材が設けられる
    　ことを特徴とする請求項６に記載の光照射装置。
  8. 　前記光源は、前記第１の側面及び前記第１の側面に対向する第２の側面のそれぞれに隣接して設けられる
    　ことを特徴とする請求項６又は７に記載の光照射装置。
  9. 　前記光照射部を前記走査方向に沿って移動させる移動部を備えた
    　ことを特徴とする請求項６から８のいずれか一つに記載の光照射装置。
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