CN108139619A - 光照射装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供光照射装置，能够以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光。对从光源(11)照射出的光进行导光的导光构件(12)从被供给光源(11)的光的光入射部(11b)朝光射出部(11e)引导光，该光射出部(11e)呈大致带状地设置于工作台的上方且朝工作台照射光。来自光源(11)的光呈大致带状地扩展，因此，从光射出部(11e)朝工作台(21)照射的光变弱。

Description

光照射装置
技术领域
本发明涉及光照射装置。
背景技术
在专利文献1中公开了如下内容：在偏振光照射装置中，针对连续或者间歇地呈直线状地搬运的光取向膜，沿着光取向膜的搬运方向多级地配置光照射部，从多级地配置的各光照射部朝光取向膜照射偏振光而进行光取向，其中，从各光照射部朝光取向膜照射的UV能量为几百mJ/cm2。
在专利文献2中公开了能够以低曝光量(对1μm的厚度的取向膜照射约1mJ/cm2～500mJ/cm2)对取向膜赋予液晶取向性能的光取向材料。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-215639号公报
专利文献2：日本特开2015-031823号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在使用专利文献1所记载的发明来对专利文献2所记载的光取向材料进行曝光的情况下，存在曝光量过高这样的问题。
本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光的光照射装置。
为了解决上述课题，本发明所涉及的光照射装置的特征在于，例如具备：工作台，其供对象物载置；以及光照射部，其具有光源和导光构件，所述导光构件对从所述光源照射出的光进行导光，且具有被供给所述光源的光的光入射部、以及呈大致带状地设置于所述工作台的上方且朝所述工作台照射光的光射出部。
根据本发明所涉及的光照射装置，对从光源照射出的光进行导光的导光构件从被供给光源的光的光入射部朝呈大致带状地设置于工作台的上方且朝工作台照射光的光射出部引导光。来自光源的光呈大致带状地扩展，因此，从光射出部朝工作台照射的光变弱。由此，能够以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光。
此处，也可以是，所述导光构件是捆扎多个光纤而成的光纤线缆，所述光纤线缆中的第一端是所述光入射部，所述光纤线缆中的除所述第一端以外的第二端未将所述多个光纤捆扎，而以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式将所述多个光纤呈大致带状地排列，由此构成所述光射出部。这样，通过使用光纤进行导光，能够不将光源设置于工作台的上方而将光射出部设置于工作台的上方。因而，能够减轻设置于工作台的上方的部分。
此处，也可以是，所述光纤线缆具有第一光纤线缆以及第二光纤线缆，所述光射出部具有作为所述第一光纤线缆的一端的第一光射出部、以及作为所述第二光纤线缆的一端的第二光射出部，所述第一光射出部与所述第二光射出部沿着所述扫描方向隔开间隙地排列，在从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光与从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光中，光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同。这样，通过使用光纤进行导光，能够在各种位置配置多个光射出部，能够使从各光射出部照射的光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同。因而，能够一次进行各种曝光处理。
此处，也可以是，所述光照射装置具备加热部，该加热部对所述对象物进行加热，且设置于所述第一光射出部与所述第二光射出部之间，从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光是偏振光，从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光是未被偏振的光。这样，在照射偏振光后进行加热，之后照射非偏振光，由此能够在短时间内进行取向处理。
此处，也可以是，所述光照射装置具备移动部，该移动部使所述光射出部沿着所述扫描方向移动。通过使用光纤进行导光，将光源设置于工作台的上方以外的位置，能够减轻设置于工作台的上方的部分。因而，能够使光射出部容易移动。
此处，也可以是，所述导光构件是以作为所述光射出部的背面与所述工作台对置的方式设置的大致带状的导光板，所述光源以朝向作为所述光入射部的所述导光板的第一侧面照射光的方式与所述第一侧面相邻地设置，所述导光板以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式设置，所述导光板的表面以及除所述第一侧面以外的侧面由遮光构件或者光反射构件覆盖。由此，能够以简单的结构将一个光源的光扩展到宽的范围地照射。
此处，也可以是，在所述背面设置有随着距所述光源的距离变远而面积变小的遮光构件。由此，能够以简单的结构将一个光源的光均匀地扩展到宽的范围地照射。
此处，也可以是，所述光源与所述第一侧面以及第二侧面分别相邻地设置，所述第二侧面与所述第一侧面对置。由此，能够将一个光源的光更均匀地扩展到宽的范围地照射。
此处，也可以是，所述光照射装置具备移动部，该移动部使所述光照射部沿着所述扫描方向移动。通过使用导光板扩展光，从而光源变小，因此，能够使光照射部容易移动。
发明效果
根据本发明，能够以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光。
附图说明
图1是示出第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1的概要的俯视图。
图2是示出偏振光照射装置1的概要的主视图。
图3是示出导光构件12的概要的立体图。
图4是示意性地示出照射面12e处的射出部12c(光纤芯线12a的端面)的分布状态的一例。
图5是示出偏振光照射装置1A的概要的俯视图。
图6是示出偏振光照射装置1B的概要的俯视图。
图7是示出第二实施方式所涉及的偏振光照射装置2的概要的俯视图。
图8是示出偏振光照射装置2的概要的主视图。
图9是示出光照射部40的详细情况的图，是图8的A-A剖视图。
图10是从背面观察光照射部40的图，是示出遮光板44的概要的图。
图11是示出光照射部40A的概要的图。
图12是示出光照射部40B的概要的图。
图13是示出以往的偏振光照射装置100的概要的图。
具体实施方式
以下，参照附图来对本发明的光照射装置进行详细说明。需要说明的是，在以下的实施方式中，作为光照射装置，以照射偏振光的偏振光照射装置为例进行说明。
<第一实施方式>
图1是示出第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1的概要的俯视图。图2是示出偏振光照射装置1的概要的主视图。偏振光照射装置1例如是将通过偏振片而偏振的光(以下，称作偏振光)朝玻璃基板等对象物W的被曝光面照射来进行光取向处理，从而生成液晶面板等的取向膜的装置。此处，光取向处理是将直线偏振紫外线照射到高分子膜上而引起膜内的分子的重新排列、各向异性的化学反应，由此使膜具有各向异性的处理。
以下，将对象物W的搬运方向(即，扫描方向)设为x方向，与搬运方向正交的方向设为y方向，铅垂方向设为z方向。需要说明的是，在图2中，为了便于说明而省略装置近前侧(-y侧)的一部分的图示。另外，在图1中，为了便于说明而省略装置框的顶面(+z侧的面)的图示。
偏振光照射装置1主要具备光照射部10、驱动部20以及机械手30。
光照射部10朝对象物W照射光。对于光照射部10，详细情况将后述。
驱动部20主要具有工作台21以及工作台导轨22。
工作台21设置成能够通过未图示的驱动单元而沿着工作台导轨22移动(参照图1、2的粗箭头)。另外，工作台21设置成能够通过未图示的驱动单元以及旋转机构而沿着xy平面旋转(参照图1虚线)。在工作台21的上表面载置对象物W。
当工作台21沿着工作台导轨22在x方向上移动时，利用未图示的位置检测部对工作台扫描轴23上的工作台21的位置进行检测。由此，能够调整工作台21的x方向的位置。需要说明的是，工作台21的移动以及定位是已经公知的技术，因此省略说明。
机械手30相对于工作台21搬入或者搬出对象物W。
接着，对光照射部10进行详细说明。光照射部10主要具有光源11、导光构件12以及光学构件13。
光源11主要具有灯11a以及光学滤光器11b。光源11例如设置于偏振光照射装置1的框的外侧。但是，设置光源11的位置并不限定于图1、2所示的位置。
灯11a射出未偏振的光(例如，紫外光)。灯11a例如是电极间距离短到1～10mm程度的高亮度的点光源即短弧型的灯。需要说明的是，灯11a并不限定于短弧型的灯，可以使用LED等各种种类的发光装置。另外，也可以在灯11a的背面设置使灯11a的光朝前方反射的反射鏡。另外，灯11a的数量并不限定于一个。
光学滤光器11b仅使从灯11a照射出的光中的规定的波长的光通过。在光学滤光器11b的背面设置有灯11a，在光学滤光器11b的前面设置有导光构件12的入射部12b(详细情况将后述)。
需要说明的是，在本实施方式中，作为光源11使用灯11a，但只要光源11射出紫外线即可，例如作为光源11也可以使用放大光的激光振荡器。
图3是示出导光构件12的概要的立体图。导光构件12将从光源11照射出的光朝远离光源的场所引导。在本实施方式中，导光构件12是捆扎多根光纤芯线12a而形成为束状的光纤束。光纤芯线12a将从入射部12b供给的光导向射出部12c。
导光构件12局部地捆扎光纤芯线12a。将该捆扎的部分设为主体12d。主体12d通过如下方式形成：将多个光纤芯线12a捆扎而形成为束状，并将其通过熔接处理等而形成为一体。
光纤芯线12a中的捆扎光纤芯线12a的一侧的端面为入射部12b。在入射部12b中，多个光纤芯线12a的端面均匀地分布并被固定。
光纤芯线12a中的未捆扎光纤芯线12a的一侧的端面为射出部12c。在射出部12c的附近，能够扩展光纤芯线12a。在本实施方式中，以射出部12c成为大致带状的方式扩展排列光纤芯线12a。以下，将呈大致带状地排列的射出部12c整体定义为朝对象物W照射光的照射面12e。
图4是示意性地示出照射面12e处的射出部12c(光纤芯线12a的端面)的分布状态的一例。在图4中局部地示出光纤芯线12a。
射出部12c配置成锯齿状。即，将光纤芯线12a配置成使第一列(列I)中的射出部12c的中心位于与第一列相邻的列(列II)中的射出部12c的中心之间。由此，从照射面12e照射的光的不均不会成为问题。
但是，只要照射面12e为大致带状，射出部12c的配置便不限定于图4所示的方式。例如，在图4中，配置于相同列的光纤芯线12a抵接，但配置于相同列的光纤芯线12a也可以不抵接。另外，在图4中，光纤芯线12a呈2列(列I、列II)配置，但列数并不限定于此。
返回到图1、2的说明。照射面12e以及光学构件13设置于工作台21的上方(+z方向)。
光学构件13是具有与照射面12e大致相同的长度的长边的长方形的构件。光学构件13以其长边方向与照射面12e的长边方向大致一致的方式设置于光源11的下侧(-z侧)。光学构件13例如是使从光源11射出的无偏振的光进行偏振的偏振片，但并不限定于此。另外，光学构件13可以由一个构件构成，也可以将平行四边形(包括正方形、长方形)的小片排列多个而构成。
如此构成的偏振光照射装置1一边使对象物W(工作台21)沿着扫描方向即x方向移动，一边将从光照射部10照射出的偏振光照射到对象物W的被曝光面，从而生成液晶面板用的取向膜等。
根据本实施方式，将一个光源的光扩展到宽的范围地照射，因此，能够减弱从照射面照射的光。因此，对于能够以低曝光量曝光的对象物W，能够以适当的曝光量(低曝光量)进行曝光。
例如，也考虑如下方法：如图13所示的偏振光照射装置100那样，在作为光照射部使用长弧型的灯101的以往的装置中，减少灯101的使用个数(例如，在通常使用三个的地方仅使用一个)，在灯101与光学滤光器103以及偏振片104之间设置减光板102，由此减少朝对象物W照射的光。但是，光从减光板102返回到灯101，或者需要减光板102本身的热对策、寿命对策等，因此，难以应用在实际的装置设置减光板102的方法。另外，即便设置减光板102或者提高对象物W的搬运速度(例如，将通常100mm/秒左右的搬运速度加快至1000mm/秒左右)，也难以将曝光量从通常的曝光量即几百mJ/cm2减少至约1mJ/cm2～500mJ/cm2。
与此相对，在本实施方式中，使光源11的光分散到宽范围，因此能够使所照射的光本身减弱。因此，无需使用减光板等便能够将对象物W的曝光量减少至例如约1mJ/cm2～500mJ/cm2程度的低曝光量。
另外，根据本实施方式，使用作为光纤束的导光构件12，因此，能够仅将照射面12e以及光学构件13设置于工作台21的上方，而将光源11设置于其他的位置。因而，能够减轻设置于工作台21的上方的部分。
<第一实施方式的变形例1>
在第一实施方式中，通过仅将照射面12e以及光学构件13设置于工作台21的上方，而将光源11设置于其他的位置，从而设置于工作台21的上方的部分变轻。因而，容易使照射面12e以及光学构件13移动。
该变形例所涉及的偏振光照射装置1A是能够使偏振光照射装置1的照射面12e以及光学构件13沿着x方向移动的方式。图5是示出偏振光照射装置1A的概要的俯视图。需要说明的是，对与第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。
偏振光照射装置1A主要具备光照射部10、工作台21、机械手30、支承照射面12e以及光学构件13的支承部31、使支承部31沿着扫描方向(x方向)移动的支承台移动部32、以及光学测定器33。
支承台移动部32具有驱动部(未图示)、以及借助驱动部的驱动力而使支承部31往复移动的移动机构部(未图示)。驱动部以及移动机构部可以使用公知的各种技术。支承台移动部32由未图示的控制部控制。
光学测定器33对从光照射部10照射的光的照度、累计曝光量、偏振的轴的方向等进行测定。
如此构成的偏振光照射装置1A使设置于支承部31的照射面12e以及光学构件13朝+x方向移动而通过光学测定器33的上方。并且，未图示的控制部决定光照射部10的移动速度等。
接着，控制部使光照射部10朝-x方向移动而将光照射部10配置于-x侧的端部。之后，一边使光照射部10以由未图示的控制部求出的移动速度朝+x方向移动，一边将从光照射部10照射出的光照射到对象物W的被曝光面，从而生成液晶面板用的取向膜等。
根据本实施方式，由于不使光源移动，因此能够减轻所移动的部分(照射面12e、光学构件13以及支承部31)。因而，能够使支承部31、支承台移动部32小型化。
<第一实施方式的变形例2>
在第一实施方式中，作为导光构件12而使用光纤，因此，能够将光源11设置于工作台21的上方以外的位置。因此，也能够在各种位置设置多个照射面12e以及光学构件13。
该变形例所涉及的偏振光照射装置1B是设置有两组偏振光照射装置1的照射面12e以及光学构件13的方式。图6是示出偏振光照射装置1B的概要的俯视图。需要说明的是，对与第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。
偏振光照射装置1B主要具备光照射部10A、10B、驱动部20、机械手30以及加热部34。
光照射部10主要具有两个光源11A、11B、两个导光构件12A、12B以及一个光学构件13。导光构件12A、12B的结构与导光构件12相同。
光源11A、11B为与光源11相同的结构，但光源11A照射的光的强度与光源11B照射的光的强度不同。在本实施方式中，光源11B照射的光比光源11A照射的光强。
导光构件12A的照射面12e与导光构件12B的照射面12e在x方向上隔开间隙地排列设置。
光学构件13设置于导光构件12A的下方。因而，从导光构件12A的照射面12e照射的光作为偏振光照射至对象物W，从导光构件12B的照射面12e照射的光作为未偏振的光照射至对象物W。
加热部34例如是红外线加热器，对对象物W进行加热。加热部34设置于导光构件12A的照射面12e与导光构件12A的照射面12e之间。
当对象物W(工作台21)从-x方向朝向+x方向移动时，对象物W被曝光。首先，对象物W被从导光构件12A的照射面12e照射的光曝光。
对象物W的被导光构件12A的照射面12e曝光的部分由加热部34加热，之后，被从导光构件12B的照射面12e照射的光曝光。
根据本实施方式，对通过偏振光而取向后的部分进行加热，之后照射强的非偏振光，由此能够在短时间内进行取向处理。
需要说明的是，在本实施方式中，对于从导光构件12A朝对象物W照射的光与从导光构件12B朝对象物W照射的光，光的强度以及偏振的有无不同，但从导光构件12A朝对象物W照射的光与从导光构件12B朝对象物W照射的光不同之处并不限定于光的强度以及偏振的有无。从导光构件12A朝对象物W照射的光与从导光构件12B朝对象物W照射的光只要光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同即可。
例如，使用所通过的光的偏振的方向不同的两个光学构件，将这两个光学构件分别设置于导光构件12A的照射面12e的下方与导光构件12B的照射面12e的下方，由此能够将偏振的方向不同的光分别朝对象物W照射。这样，能够一次进行各种曝光处理。
<第二实施方式>
在第一实施方式中，作为导光构件而使用光纤束，但导光构件并不限定于此。
第二实施方式是作为导光构件使用导光板的方式。以下，对第二实施方式所涉及的偏振光照射装置2进行说明。对与第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。
图7是示出第二实施方式所涉及的偏振光照射装置2的概要的俯视图。图8是示出偏振光照射装置2的概要的主视图。偏振光照射装置1主要具备光照射部40、驱动部20以及机械手30。
光照射部40朝对象物W照射偏振光。光照射部40主要具有光源11、导光构件41以及光学构件13。
光源11与导光构件41的侧面相邻地设置。在图7中，光源11与导光构件41的+y侧(短边方向)的侧面41a(参照图9)相邻地设置。光学构件13设置于导光构件41的下方。
图9是示出光照射部40的详细情况的图，是图8的A-A剖视图。导光构件41设置于光学滤光器11b的前面。因此，从灯11a照射出的光通过光学滤光器11b而从侧面41a被导入导光构件41。
导光构件41是由石英等透明的材料形成的板材，形成为大致带状。在导光构件41的表面41b(+z侧的面)设置有金属制的反射扩散板42。由此，从导光构件41的侧面41a入射的光被反射扩散板42散射并被导向导光构件41整体，导光构件41的背面41c(-z侧的面)进行面发光。
在导光构件41的不与光源11相邻地设置的侧面(此处，侧面41a以外的侧面)设置有金属制的遮光板43。由此，防止从导光构件41的端面(侧面)入射的光从侧面逃出。
这样，导光构件41的侧面41a是被供给光源11的光的光入射部，导光构件41的背面41c是光射出部。
在作为光射出部的导光构件41的背面41c设置有局部地覆盖背面41c的遮光板44。图10是从背面观察光照射部40的图，是示出遮光板44的概要的图。需要说明的是，在图10中，省略光学构件13。另外，在图10中，为了便于说明而影线表示设置有遮光板44的位置。
遮光板44形成为随着距光源11的距离变远而面积变小。由此，确保面发光的光的均匀性。需要说明的是，遮光板44只要随着相距光源11的距离变远而面积变小即可，形状并不限定于图10所示的方式。
如此构成的偏振光照射装置2一边使对象物W(工作台21)沿着扫描方向即x方向移动，一边将从光照射部40照射出的偏振光照射到对象物W的被曝光面，从而生成液晶面板用的取向膜等。
根据本实施方式，以简单的结构将一个光源的光扩展到宽范围地照射，因此能够减弱从照射面照射的光。因此，能够以适当的曝光量(低曝光量)对对象物W进行曝光。
需要说明的是，在第二实施方式中，将光源11与导光构件41的侧面41a相邻地设置，但光源11的位置以及数量并不限定于此。也可以如图11所示的光照射部40A那样，将多个光源11设置为与导光构件41的-x侧(长边方向)的侧面41d相邻。在图11中，省略光学构件13、反射扩散板42以及遮光板43的图示。
遮光板44a与遮光板44仅形状不同，与遮光板44同样地，形成为随着距光源11的距离变远而面积变小。
需要说明的是，在图11中，将多个光源11沿着导光构件41的侧面41d设置，但也可以将与侧面41d的长度大致相同的长度的光源单个地沿着导光构件41的侧面41d设置。另外，在图11中，相邻的光源11抵接，但也可以在相邻的光源11间设置间隙。
另外，也可以如图12所示的光照射部40B那样，与对置的两个侧面41a、41e分别相邻地设置多个光源11。在图12中，省略光学构件13、反射扩散板42以及遮光板43的图示。遮光板44b与遮光板44仅形状不同，与遮光板44同样地，形成为随着距光源11的距离变远而面积变小。需要说明的是，对置的两个侧面并不限定于侧面41a、41e，也可以是侧面41d、41f。在与侧面41d、41f相邻地设置光源11的情况下，也可以将与侧面41d相邻地设置的光源11和与侧面41d相邻地设置的光源11的y方向的位置交替地(呈锯齿状)配置。
另外，在第二实施方式中，也与第一实施方式同样地，能够使偏振光照射装置2的光照射部40沿着x方向移动。光照射部40的光源11比以往的偏振光照射装置100(参照图13)所使用的灯101小，因此光照射部40的移动也容易。
需要说明的是，在上述实施方式中，作为光照射装置，以照射偏振光的偏振光照射装置1、2等为例进行了说明，但光照射装置也可以使用掩模作为曝光装置，而代替偏振光照射装置1、2等的偏振片(光学构件13)。本发明的光照射装置是包括偏振光照射装置、曝光装置的概念。以下，对该曝光装置进行说明。
该曝光装置的结构除了偏振片(光学构件13)的有无以外其他与偏振光照射装置1、2等的结构相同。该曝光装置例如能够进行液晶显示装置的滤色器的像素图案、作为滤色器的各像素的框的不透明的黑矩阵、电路图案等的曝光处理。
作为一例，对使用了该曝光装置的滤色器的像素图案的曝光处理进行说明。首先，在透明的基板形成有作为像素的框的不透明的黑矩阵的结构上涂布R的像素的抗蚀剂。然后，将形成有仅像素的部分透光的图案的掩模设置于曝光装置，从光源11照射光，由此，在基板上形成R的像素。对G的像素、B的像素也进行相同的曝光处理，由此能够使用该曝光装置形成滤色器的像素图案。
以上，参照附图详细叙述了本发明的实施方式，但具体结构并不限定于该实施方式，也包含不脱离本发明的主旨的范围的设计变更等。另外，也可以组合上述的各实施方式。
另外，在本发明中，“大致”是不仅包括严格地相同的情况，还包括不丧失统一性的程度的误差、变形的概念。例如，大致中央并不严格地限定于中央的情况。另外，例如，在仅表现为平行、正交等的情况下，不仅包括严格地平行、正交等的情况，还包括大致平行、大致正交等的情况。另外，在本发明中，“附近”是指如下概念：例如当是A的附近时为A的近处，既可以包括A也可以不包括A。
附图标记说明：
1、1A、1B、2：偏振光照射装置；
10：偏振光照射部；
11、11A、11B：光源；
11a：灯；
11b：光学滤光器；
12，12A、12B：导光构件；
12a：光纤芯线；
12b：入射部；
12c：射出部；
12d：主体；
12e：照射面；
13：光学构件；
20：驱动部；
21：工作台；
22：工作台导轨；
23：工作台扫描轴；
30：机械手；
31：支承部；
32：支承台移动部；
33：光学测定器；
34：加热部；
40、40A、40B：偏振光照射部；
41：导光构件；
41a、41d、41e、41f：侧面；
41b：表面；
41c：背面；
42：反射扩散板；
43：遮光板；
44、44a、44b：遮光板；
100：偏振光照射装置。

Claims (9)

1.一种光照射装置，其特征在于，具备：
工作台，其供对象物载置；以及
光照射部，其具有光源和导光构件，该导光构件对从所述光源照射出的光进行导光，且具有被供给所述光源的光的光入射部、以及呈大致带状地设置于所述工作台的上方且朝所述工作台照射光的光射出部。
2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，
所述导光构件是捆扎多个光纤而成的光纤线缆，
所述光纤线缆中的第一端是所述光入射部，
所述光纤线缆中的除所述第一端以外的第二端未将所述多个光纤捆扎，而以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式将所述多个光纤呈大致带状地排列，由此构成所述光射出部。
3.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，
所述光纤线缆具有第一光纤线缆以及第二光纤线缆，
所述光射出部具有作为所述第一光纤线缆的一端的第一光射出部、以及作为所述第二光纤线缆的一端的第二光射出部，
所述第一光射出部与所述第二光射出部沿着所述扫描方向隔开间隙地排列，
在从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光与从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光中，光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同。
4.根据权利要求3所述的光照射装置，其特征在于，
所述光照射装置具备加热部，该加热部对所述对象物进行加热，且设置于所述第一光射出部与所述第二光射出部之间，
从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光是偏振光，从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光是未被偏振的光。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的光照射装置，其特征在于，
所述光照射装置具备移动部，该移动部使所述光射出部沿着所述扫描方向移动。
6.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，
所述导光构件是以作为所述光射出部的背面与所述工作台对置的方式设置的大致带状的导光板，
所述光源以朝向作为所述光入射部的所述导光板的第一侧面照射光的方式与所述第一侧面相邻地设置，
所述导光板以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式设置，
所述导光板的表面以及除所述第一侧面以外的侧面由遮光构件或者光反射构件覆盖。
7.根据权利要求6所述的光照射装置，其特征在于，
在所述背面设置有随着距所述光源的距离变远而面积变小的遮光构件。
8.根据权利要求6或7所述的光照射装置，其特征在于，
所述光源与所述第一侧面以及第二侧面分别相邻地设置，所述第二侧面与所述第一侧面对置。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的光照射装置，其特征在于，
所述光照射装置具备移动部，该移动部使所述光照射部沿着所述扫描方向移动。
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