WO2017018101A1 - 光照射装置 - Google Patents

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一乃大 八木
篤史 宮武
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シーシーエス株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a light irradiation apparatus used for irradiating a workpiece such as a product with light and inspecting the presence or absence of a scratch or reading a mark.
  • Patent Document 1 a device that is arranged between a workpiece and an imaging device that images the workpiece and is configured to emit light from a light emitting surface facing the workpiece. is there.
  • this includes a light-emitting plate having the light-emitting surface, and a plurality of slits are formed in the light-emitting plate, so that the imaging device images the workpiece surface from different directions through these slits. It is configured to be able to.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a light irradiation apparatus that can image the workpiece surface from a plurality of directions without reducing the amount of light irradiated onto the workpiece. Is the main issue.
  • the light irradiating device is a light irradiating device having a light emitting surface facing a workpiece and having a slit that allows light reflected by the workpiece to pass from the light emitting surface side toward the opposite side.
  • the slit has a shape in which the width gradually increases from the light emitting surface side toward the opposite side.
  • the slit that allows the light reflected by the workpiece to pass from the light emitting surface side to the opposite side is shaped to gradually widen from the light emitting surface side to the opposite side, The reduction of the light emitting surface due to the formation of the slit can be suppressed as much as possible, and the direction in which the workpiece surface is imaged can be changed according to the expansion of the slit without reducing the amount of light irradiated to the workpiece.
  • the imaging device is directly opposed to the workpiece, the regular reflection component of the light reflected on the workpiece surface is removed, or the imaging device is tilted, An image can be taken using the regular reflection component.
  • the slit may have any shape as long as the opening width on the light emitting surface side is gradually narrower than the opening width on the opposite surface side. The taper shape which spreads in (1) is mentioned.
  • a specific embodiment of the light emitting surface is a flat surface. If the surface is flat, the light emitting surface can be brought close to the workpiece, and the illuminance of light applied to the workpiece can be increased.
  • a light emitting plate on which the light emitting surface is formed, and an opening closed by the light emitting plate, and a plurality of portions provided facing the opening are provided.
  • a configuration in which the LED light source is accommodated and a pair of casings provided to face each other is further provided, and the slits are formed by facing surfaces of the pair of casings facing each other.
  • the reflective member on the slit side has a larger area of the reflective surface than the reflective member on the anti-slit side.
  • the plurality of LED light sources are provided on both sides of the slit, and the slit side is arranged more densely than the anti-slit side.
  • the LED board is further provided on both sides of the slit so as to be opposed to the light emitting plate, and the plurality of LED light sources are mounted on the LED board.
  • Is also arranged so as to be inclined from the light emitting plate.
  • the light from the LED light source reaches the entire surface uniformly from the slit side to the anti-slit side of the light emitting plate, so that, for example, a part of the light emitting surface on the slit side is darker than the other parts. Can be prevented.
  • the bottom wall of the casing facing the light emitting plate is inclined so that the slit side is separated from the light emitting plate than the anti-slit side, and the LED substrate is provided on the inner surface of the bottom wall.
  • a heat radiating member is provided on the outer surface of the bottom wall.
  • the image forming apparatus further includes a connecting member that connects the pair of casings, and the connecting member changes a separation distance between the pair of casings to change the width of the slit. It is preferable to have a slit width changing mechanism.
  • the workpiece surface can be imaged from a plurality of directions without reducing the amount of light applied to the workpiece.
  • the side view which shows the structure of the light irradiation apparatus of this embodiment The perspective view which shows the structure of the light irradiation apparatus of the embodiment.
  • Sectional drawing which shows the structure of the light irradiation apparatus of the embodiment.
  • the schematic diagram which shows the structure of the slit width change mechanism of the embodiment. Schematic which shows the structure of the light irradiation apparatus in other embodiment. Schematic which shows the structure of the light irradiation apparatus in other embodiment.
  • the light irradiation apparatus 100 irradiates a work W (inspection object) with light.
  • the light irradiation apparatus 100 of the work W is picked up by an imaging device C called a line sensor camera. It is used in a product inspection system X or the like that takes a predetermined area and captures the obtained image data with an image processing apparatus (not shown) to inspect the surface for the presence or absence of scratches.
  • the work W in this embodiment is, for example, a continuous material such as paper or film that flows at a constant speed in a predetermined direction, or an individual such as cut film or glass that is placed on a conveyor and continuously conveyed. It is a product.
  • the light irradiation device 100 is disposed between the workpiece W and the imaging device C. Specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, the light emitting device 100 has a light emitting surface 11 facing the workpiece W. A plate 10, a casing 20 having an opening 21 closed by the light emitting plate 10, and a light source unit 30 accommodated in the casing 20 are provided.
  • the light emitting plate 10 irradiates light from a light source unit 30 to be described later onto the back surface 12 (surface opposite to the light emitting surface 11) and travels from the light emitting surface 11 toward the workpiece W. It emits light.
  • the light-emitting plate 10 of this embodiment is a light-transmitting, for example, rectangular flat plate-shaped diffusion plate, and the light-emitting surface 11 is a flat surface and is composed of a pair of light-emitting plate elements 14.
  • the light emitting plate elements 14 are arranged on the same plane and spaced apart from each other, and a part of the light reflected by the work W between them is from the light emitting surface 11 side to the opposite side. It forms a space that passes toward it, and here it has the same shape as each other.
  • one side surface 141 of each light emitting plate element 14 is inclined so that the area of the light emitting surface 11 is larger than the area of the back surface 12, and each light emission is performed so that these one side surfaces 141 face each other.
  • a plate element 14 is arranged.
  • the casing 20 has an opening 21 closed by the light emitting plate 10, and the light emitting plate 10 is disposed so as to face the workpiece W.
  • a pair of casings 20 having a long shape are arranged apart from each other, one light emitting plate element 14 is provided in the opening 21 of one casing 20, and the opening of the other casing 20 is provided. 21 is provided with the other light emitting plate element 14.
  • a metal plate M1 for fixing each light emitting plate element 14 to the casing 20 is provided on the outer peripheral portion of the light emitting surface 11 of each light emitting plate element 14.
  • a slit S through which light reflected by the workpiece W passes from the light emitting surface 11 side toward the opposite side is formed between the pair of casings 20.
  • the imaging device C can image a predetermined area of the workpiece W.
  • each casing 20 includes a substantially rectangular bottom wall 22 extending in the longitudinal direction, side walls (hereinafter also referred to as short side walls 23) provided on both sides in the longitudinal direction of the bottom wall 22, and the width of the bottom wall 22.
  • Side walls (hereinafter also referred to as long side walls 24) provided on both sides in the direction, and a substantially rectangular opening 21 is formed to face the bottom wall 22 by these side walls 23, 24.
  • the bottom wall 22 is provided with a light source unit 30 to be described later on the inner surface thereof, and a heat radiating member 50 such as a heat sink is attached to the outer surface thereof using, for example, screws or the like. It inclines so that it may space apart from the light emission plate element 14 rather than the non-slit side.
  • the short side wall 23 provided on one end side in the longitudinal direction of one casing 20 and the short side wall 23 provided on one end side in the longitudinal direction of the other casing 20 are common connecting members. 40 is fixed and connected. Further, the short side wall 23 provided on the other end side in the longitudinal direction of one casing 20 and the short side wall 23 provided on the other end side in the longitudinal direction of the other casing 20 are fixed to a common connecting member 40. Being connected.
  • the connecting member 40 has, for example, a flat plate shape and includes a plurality of through holes 41 formed so as to penetrate in the thickness direction, and the short member is fastened by a fastener B such as a bolt inserted into the through holes 41.
  • the side wall 23 is fixed.
  • the long side walls 24 on the slit S side are opposed to each other, as shown in FIG.
  • a tapered slit S whose width gradually increases toward the side is formed.
  • each of the slit side walls 24a is inclined so that the separation distance gradually increases from the workpiece W side toward the imaging device C side, whereby the opposing surfaces 25 of the pair of casings 20 are It spreads from the light emitting surface 11 side toward the opposite side.
  • the spread angle of the facing surface 25 is set to be approximately equal to the spread angle of the one side surface 141 of the pair of light emitting plate elements 14 described above, and the imaging of the imaging device C is performed within the range of the spread angle.
  • the slit side wall 24a of the present embodiment includes a reflecting member 241 (hereinafter also referred to as a first reflecting plate 241) and a sheet metal M2 that fixes the first reflecting plate 241 to the casing 20.
  • the sheet metal M2 is screwed to the bottom wall 22.
  • a long side wall 24 (hereinafter also referred to as an anti-slit side wall 24b) opposite to the slit side wall 24a is provided in parallel with the slit side wall 24a, and a reflection member is provided on the inner surface thereof.
  • 242 (hereinafter also referred to as a second reflecting plate 242) is provided.
  • the second reflecting plate 242 is provided so as to cover a part of the inner surface of the anti-slit side wall 24b, and has a smaller area than the first reflecting plate 241.
  • the light source unit 30 irradiates the back surface 12 of the light emitting plate 10 with light. As shown in FIG. It is provided on the opposite side. Each light source unit 30 is dimmed and controlled based on a control signal such as an ON / OFF signal or a light amount signal transmitted from a control unit (not shown). Here, each light source unit 30 can be controlled independently. It is configured.
  • each light source unit 30 includes an LED substrate 31 provided facing the light emitting plate element 14 and a plurality of LED light sources 32 mounted on the LED substrate 31.
  • the LED substrate 31 is, for example, screwed to the bottom wall 22, so that, like the bottom wall 22, the slit S side is inclined so as to be farther from the light emitting plate element 14 than the anti-slit side.
  • a large number of the LED light sources 32 are laid along the longitudinal direction and the width direction of the LED substrate 31.
  • the slit S side is arranged more densely than the anti-slit side.
  • densely arranging for example, an aspect in which the separation distance of each LED light source 32 provided along the width direction is shorter on the slit S side than on the anti-slit side, A mode in which a plurality of LED light sources 32 arranged at equal intervals is brought close to the slit S side of the LED substrate 31 and the like can be mentioned.
  • the light irradiation apparatus 100 of the present embodiment includes a slit width changing mechanism 60 that changes the width dimension of the slit S described above.
  • the slit width changing mechanism 60 includes a slide groove 61 extending along the width direction of the slit S formed on one of the short side wall 23 or the connecting member 40 described above, and the short side wall 23 or the connecting member 40.
  • the sliding member 62 is fixed to the other and slides in the slide groove 61.
  • the slide groove 61 is a through hole 41 formed in the connecting member 40
  • the sliding body 62 is a fastener B such as a bolt. As shown in FIG. By sliding B along the through hole 41, the slit width can be changed within a predetermined range.
  • the slit S that allows the light reflected by the workpiece W to pass from the light emitting surface 11 side toward the opposite side is provided from the light emitting surface 11 side to the opposite side. Since the taper shape gradually increases in width toward the surface, the reduction of the light emitting surface 11 due to the formation of the slit S can be suppressed as much as possible, and the slit S can be expanded without reducing the amount of light applied to the workpiece W.
  • the direction in which the surface of the workpiece W is imaged can be changed according to As a result, for example, the imaging device C is directly opposed to the workpiece W in accordance with the rough state of the workpiece W surface, the type of scratches, etc., thereby removing the regular reflection component from the light reflected on the workpiece W surface and imaging. Or, by tilting the imaging device C, it is possible to take an image using the regular reflection component.
  • the imaging device C is glossy, the imaging device C is reflected when the imaging device C is directly opposed to the workpiece W. Therefore, it is preferable to tilt the imaging device C to image the surface of the workpiece W. .
  • the light emitting surface 11 is a flat surface, the light emitting surface 11 can be brought close to the workpiece W, and the workpiece W can be irradiated with light with high illuminance.
  • the LED substrate 31 is inclined so that the slit S side is farther from the light emitting plate element 14 than the anti-slit side, and a plurality of LED light sources 32 mounted on the LED substrate 31 are arranged on the slit S side. Since the direction is more densely arranged than the anti-slit side, the light from the LED light source 32 reaches the entire surface uniformly from the slit S side to the anti-slit side of the light emitting plate 10. Thereby, for example, it is possible to prevent a part of the light emitting surface 11 on the slit S side from becoming darker than the other part, and light with no unevenness can be emitted from the light emitting surface 11.
  • Such an operational effect is an operational effect that can be achieved because the first reflector 241 is larger than the second reflector 242.
  • the heat radiating member 50 provided on the outer surface of the bottom wall 22 is formed in the slit S. They can be arranged so as not to overlap, and the light passing through the slits S is not blocked by the heat dissipation member 50. Thereby, it can prevent that the thermal radiation member 50 obstructs the imaging of the workpiece
  • the manufacturing cost can be reduced.
  • the slit width can be changed by the slit width changing mechanism 60, the imageable area on the surface of the workpiece W can be changed, and inspection can be performed corresponding to various scratches and defects.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the light emitting plate 10 has a flat plate shape and the light emitting surface 11 is a flat surface.
  • the light emitting plate 10 has, for example, a semicylindrical shape, and the light emitting surface. 11 may be a curved surface that is curved in the direction opposite to the workpiece W when viewed from the extending direction of the slit S.
  • the slit S of the said embodiment was formed by the opposing surface 25 of a pair of casing 20, as shown in FIG. 6, the slit S penetrates the center part of the one light emission plate 10 in the thickness direction. It may be formed as described above.
  • the light emitting plate 10 may have, for example, a substantially square shape in a plan view and may have a plurality of LED light sources 32 inside.
  • the casing 20 in the above embodiment can be eliminated, and the entire apparatus can be made more compact in the thickness direction.
  • the shape of the light emitting plate 10 may be variously changed, such as a substantially rectangular shape in plan view and a disk shape in plan view.
  • the slit S has an unsymmetrical shape when viewed from the extending direction of the slit S as shown in the upper part of FIG. 7, or from the light emitting surface 11 side to the opposite side as shown in the lower part of FIG.
  • it may be a stepped shape as viewed from the extending direction of the slit S, although not shown.
  • each light emitting plate element 14 constituting the light emitting plate 10 may have a step portion 15 formed on one side surface 141 as shown in FIG. If it is such, the 1st reflecting plate 241 can be pressed and fixed to the said step part 15 via adhesive members, such as a double-sided tape, for example, and the 1st reflecting plate 241 is attached easily. be able to.
  • the light emitting surface side end portion P of the sheet metal M ⁇ b> 2 is farther from the light emitting surface 11 than the light emitting surface side end portion Q of the first reflecting plate 241, and the light emitting surface of the first reflecting plate 241. The side end Q is exposed.
  • the light emitting plate element 14 of the above embodiment has a configuration in which the one side surface 141 is inclined.
  • the one side surface 141 of the light emitting plate element 14 is not necessarily inclined. There is no need.
  • the workpiece surface can be imaged from a plurality of directions without reducing the amount of light applied to the workpiece.

Abstract

ワークＷに照射する光量を低減させることなく、複数の方向からワークＷ表面を撮像できるようにするべく、ワークＷに対向する発光面１１を有し、前記ワークＷで反射した光を発光面側からその反対側に向かって通過させるスリットＳが形成された光照射装置１００であって、スリットＳが、発光面１１側からその反対側に向かって徐々に幅が広がるテーパ状をなすようにした。

Description

光照射装置
　本発明は、例えば製品等のワークに光を照射し、傷の有無やマーク読み取り等の検査を行うために用いられる光照射装置に関するものである。
　この種の光照射装置としては、特許文献１に示すように、ワークとワークを撮像する撮像装置との間に配置され、ワークに対向する発光面から光を射出するように構成されたものがある。
　より具体的にこのものは、前記発光面を有した発光板を具備し、この発光板に複数のスリットを形成することで、これらのスリットを介して前記撮像装置が異なる方向からワーク表面を撮像できるように構成されている。
　しかしながら、上述した構成では、発光板に複数のスリットが形成されているので、単一のスリットが形成されている構成に比べて発光面の面積が小さくなり、ワークに照射される光の光量が低減してしまい、検査精度や検査速度の低下を招来するという問題が生じる。
特開２０１１－６９６５１号公報
　そこで、本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、ワークに照射する光量を低減させることなく、複数の方向からワーク表面を撮像することを可能とする光照射装置を提供することをその主たる課題とするものである。
　すなわち本発明にかかる光照射装置は、ワークに対向する発光面を具備し、前記ワークで反射した光を発光面側からその反対側に向かって通過させるスリットが形成された光照射装置であって、前記スリットが、発光面側からその反対側に向かって徐々に幅が広がる形状であることを特徴とするものである。
　このような光照射装置であれば、ワークで反射した光を発光面側からその反対側に向かって通過させるスリットが発光面側からその反対側に向かって徐々に幅が広がる形状であるので、スリットの形成による発光面の減少を可及的に抑えることができ、ワークに照射する光量を低減させることなく、スリットの拡がりに応じてワーク表面を撮像する方向を変更することができる。
　これにより、例えばワーク表面の荒れ状態や傷の種類などにより、撮像装置をワークに正対させて、ワーク表面で反射した光の正反射成分を除去して撮像したり、撮像装置を傾けて、前記正反射成分を利用して撮像したりすることができる。
　なお、スリットの形状としては、発光面側の開口幅がその反対面側の開口幅よりも徐々に狭くなる形状であればどのような形状でも良く、その一例としては、発光面側と反対側に拡開したテーパ形状が挙げられる。
　発光面の具体的な実施態様としては、平面が挙げられ、平面であれば、発光面をワークに近づけることができ、ワークに照射する光の照度を上げることができる。
　発光面に照射する光の光量を増加させるためには、前記発光面に対して前記ワークと反対側に設けられた複数のＬＥＤ光源をさらに具備することが好ましい。
　上述したスリットを形成するための具体的な実施態様としては、前記発光面が形成された発光板と、前記発光板により閉塞された開口を有し、該開口に対向して設けられた複数のＬＥＤ光源を収容するとともに、互いに対向して設けられた一対のケーシングとをさらに具備し、前記一対のケーシングの互いに対向する対向面によって前記スリットが形成されている構成が挙げられる。
　また、発光面からムラのない光を射出するためには、以下の構成が好ましい。
　前記開口が概略矩形状をなし、前記開口を形成する前記ケーシングの側壁のうち、スリット側の側壁及び反スリット側の側壁の内面に、前記ＬＥＤ光源の光を前記開口に向けて反射する反射部材が設けられており、スリット側の前記反射部材が、反スリット側の前記反射部材よりも反射面の面積が大きい構成。
　前記複数のＬＥＤ光源が、スリットを間に挟んでその両側に設けられるとともに、スリット側の方が反スリット側よりも密に配置されている構成。
　スリットを間に挟んでその両側に前記発光板に対向して設けられるとともに、前記複数のＬＥＤ光源が搭載されたＬＥＤ基板をさらに具備し、前記ＬＥＤ基板が、スリット側の方が反スリット側よりも前記発光板から離間するように傾斜して配置されている構成。
　これらの構成であれば、ＬＥＤ光源からの光が発光板のスリット側から反スリット側に亘って全体に均一に行き届くので、例えば発光面におけるスリット側の一部がその他の部分に比べて暗くなることを防ぐことができる。
　また、前記発光板に対向する前記ケーシングの底壁が、スリット側の方が反スリット側よりも前記発光板から離間するように傾いており、前記底壁の内面に前記ＬＥＤ基板が設けられるとともに、前記底壁の外面に放熱部材が設けられていることが好ましい。
　このような構成であれば、底壁をスリット側の方が反スリット側よりも前記発光板から離間するように傾けているので、放熱部材をスリットと重ならないように配置することができ、放熱部材が光の妨げとなることを防ぐことができる。
　撮像可能な領域を変更できるようにするためには、前記一対のケーシングを連結する連結部材をさらに具備し、前記連結部材が、前記一対のケーシングの離間距離を変更して前記スリットの幅を変更するスリット幅変更機構を有していることが好ましい。
　このように構成した本発明によれば、ワークに照射する光量を低減させることなく、複数の方向からワーク表面を撮像することができる。
本実施形態の光照射装置の構成を示す側面図。 同実施形態の光照射装置の構成を示す斜視図。 同実施形態の光照射装置の構成を示す断面図。 同実施形態のスリット幅変更機構の構成を示す模式図。 その他の実施形態における光照射装置の構成を示す概略図。 その他の実施形態における光照射装置の構成を示す概略図。 その他の実施形態におけるスリットの形状を示す模式図。 その他の実施形態における発光板の構成を示す断面図。
１００・・・光照射装置
Ｓ　　・・・スリット
１０　・・・発光板
１１　・・・発光面
１４　・・・発光板要素
２０　・・・ケーシング
２１　・・・開口
２５　・・・対向面
３２　・・・ＬＥＤ光源
Ｃ　　・・・撮像装置
Ｗ　　・・・ワーク
　以下に本発明に係る光照射装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
　本実施形態に係る光照射装置１００は、図１に示すように、ワークＷ（検査物）に光を照射するものであり、例えば、ラインセンサカメラと称される撮像装置Ｃによって前記ワークＷの所定領域を撮影し、得られた画像データを画像処理装置（図示しない）で取り込んで傷等の有無の表面検査を行う製品検査システムＸ等に用いられる。
　なお、本実施形態におけるワークＷは、例えば、所定方向に一定速度で流れていく紙やフィルム等の連続物や、コンベアに載置されて連続して搬送されるカットフィルムやカット硝子等の個別品である。
　この光照射装置１００は、ワークＷと撮像装置Ｃとの間に配置されるものであり、具体的には図１～図３に示すように、ワークＷに対向する発光面１１を有した発光板１０と、発光板１０により閉塞された開口２１を有するケーシング２０と、ケーシング２０内に収容された光源ユニット３０とを具備する。
　発光板１０は、図１～図３に示すように、後述する光源ユニット３０からの光が裏面１２（発光面１１と反対側の面）に照射されるとともに、発光面１１からワークＷに向かって光を射出するものである。
　本実施形態の発光板１０は、透光性を有する例えば矩形平板状の拡散板で、前記発光面１１は平面であり、一対の発光板要素１４から構成されている。
　前記各発光板要素１４は、特に図３に示すように、同一平面状に互いに離間して配置され、これらの間にワークＷで反射した光の一部が発光面１１側からその反対側に向かって通過する空間を形成するものであり、ここでは、互いに同一形状である。本実施形態では、各発光板要素１４における一側面１４１が、発光面１１の面積が裏面１２の面積よりも大きくなるように傾斜しており、これらの一側面１４１が互いに対向するように各発光板要素１４が配置されている。
　ケーシング２０は、図１～図３に示すように、前記発光板１０に閉塞される開口２１を有し、前記発光板１０がワークＷに対向するように配置されている。本実施形態では、長尺状をなす一対のケーシング２０が、互いに離間して並設されており、一方のケーシング２０の開口２１に一方の発光板要素１４が設けられ、他方のケーシング２０の開口２１に他方の発光板要素１４が設けられている。
　なお、各発光板要素１４の発光面１１における外周部には、当該各発光板要素１４をケーシング２０に固定する板金Ｍ１が設けられている。
　上述した構成により、前記一対のケーシング２０の間には、ワークＷで反射した光が発光面１１側からその反対側に向かって通過するスリットＳが形成されており、このスリットＳを介して、前記撮像装置ＣがワークＷの所定領域を撮像することができる。
　より具体的に各ケーシング２０は、長手方向に延びる概略矩形状の底壁２２と、底壁２２の長手方向両辺に設けられた側壁（以下、短側壁２３ともいう）と、底壁２２の幅方向両辺に設けられた側壁（以下、長側壁２４ともいう）とを有し、これらの各側壁２３、２４によって概略矩形状の開口２１が前記底壁２２に対向して形成されている。
　前記底壁２２は、その内面に後述する光源ユニット３０が設けられるとともに、外面にヒートシンクなどの放熱部材５０が例えばネジ等を用いて取り付けられており、本実施形態では、スリットＳ側の方が反スリット側よりも発光板要素１４から離間するように傾いている。
　前記短側壁２３のうち、一方のケーシング２０における長手方向の一端側に設けられた短側壁２３と、他方のケーシング２０における長手方向の一端側に設けられた短側壁２３とは、共通の連結部材４０に固定されて連結されている。また、一方のケーシング２０における長手方向の他端側に設けられた短側壁２３と、他方のケーシング２０における長手方向の他端側に設けられた短側壁２３とは、共通の連結部材４０に固定されて連結されている。
　前記連結部材４０は、例えば平板状をなし、厚み方向に貫通して形成された複数の貫通孔４１を有するものであり、これらの貫通孔４１に挿通されたボルト等の締結具Ｂによって前記短側壁２３が固定されている。
　前記長側壁２４のうちスリットＳ側の長側壁２４（以下、スリット側側壁２４ａともいう）は、特に図３に示すように、互いに対向するとともに、これらの間に、発光面１１側からその反対側に向かって徐々に幅が広がるテーパ状のスリットＳを形成するものである。
　より詳細には、前記各スリット側側壁２４ａは、ワークＷ側から撮像装置Ｃ側に向かって徐々に離間距離が長くなるように傾斜しており、これにより一対のケーシング２０の対向面２５が、発光面１１側からその反対側に向かって拡開している。
　ここでは、前記対向面２５の拡がり角度は、上述した一対の発光板要素１４の一側面１４１の拡がり角度と略等しくなるように設定されており、この拡がり角度の範囲内で撮像装置Ｃの撮像方向を変更できるようにしている。
　具体的に本実施形態の前記スリット側側壁２４ａは、反射部材２４１（以下、第１反射板２４１ともいう）と、前記第１反射板２４１をケーシング２０に固定する板金Ｍ２とから構成されており、前記板金Ｍ２が底壁２２にネジ止めされている。
　前記長側壁２４のうち前記スリット側側壁２４ａの反対側の長側壁２４（以下、反スリット側側壁２４ｂともいう）は、前記スリット側側壁２４ａと平行に設けられており、その内面には反射部材２４２（以下、第２反射板２４２ともいう）が設けられている。前記第２反射板２４２は、前記反スリット側側壁２４ｂの内面の一部を覆うように設けられており、前記第１反射板２４１よりも面積の小さいものである。
　光源ユニット３０は、発光板１０の裏面１２に光を照射するものであり、図３に示すように、上述した各ケーシング２０内それぞれに収容されるとともに、前記発光面１１に対してワークＷの反対側に設けられている。
　なお、各光源ユニット３０は、図示しない制御部から送信されるＯＮ／ＯＦＦ信号や光量信号などの制御信号に基づいて調光制御されるものであり、ここでは、それぞれを独立して制御できるように構成されている。
　具体的に各光源ユニット３０は、発光板要素１４に対向して設けられたＬＥＤ基板３１と、ＬＥＤ基板３１に搭載された複数のＬＥＤ光源３２とを有するものである。
　前記ＬＥＤ基板３１は、前記底壁２２に例えばネジ止めされており、これにより底壁２２と同様、スリットＳ側の方が反スリット側よりも発光板要素１４から離間するように傾いている。
　前記ＬＥＤ光源３２は、前記ＬＥＤ基板３１の長手方向及び幅方向に沿って多数敷設されており、ここでは、スリットＳ側の方が反スリット側よりも密に配置されている。
　なお、密に配置するための具体的な実施態様としては、例えば前記幅方向に沿って設けられた各ＬＥＤ光源３２の離間距離をスリットＳ側の方が反スリット側よりも短くする態様や、等間隔に配列された複数のＬＥＤ光源３２を全体的にＬＥＤ基板３１のスリットＳ側に寄せる態様などが挙げられる。
　さらに、本実施形態の光照射装置１００は、上述したスリットＳの幅寸法を変更するスリット幅変更機構６０を具備している。
　具体的にこのスリット幅変更機構６０は、上述した短側壁２３又は連結部材４０の一方に形成された前記スリットＳの幅方向に沿って延びるスライド溝６１と、前記短側壁２３又は連結部材４０の他方に固定されて前記スライド溝６１内をスライド移動する摺動体６２とから構成されている。
　本実施形態では、前記スライド溝６１は、前記連結部材４０に形成された貫通孔４１であり、前記摺動体６２は、ボルトなどの締結具Ｂであり、図４に示すように、前記締結具Ｂを貫通孔４１に沿ってスライド移動させることにより、スリット幅を所定範囲内において変更することができる。
　このように構成された本実施形態の光照射装置１００によれば、ワークＷで反射した光を発光面１１側からその反対側に向かって通過させるスリットＳが、発光面１１側からその反対側に向かって徐々に幅が拡がるテーパ状をなすので、スリットＳの形成による発光面１１の減少を可及的に抑えることができ、ワークＷに照射する光量を低減させることなく、スリットＳの拡がりに応じてワークＷ表面を撮像する方向を変更することができる。
　これにより、例えばワークＷ表面の荒れ状態や傷の種類などに応じて、撮像装置ＣをワークＷに正対させることで、ワークＷ表面で反射した光のうち正反射成分を除去して撮像したり、撮像装置Ｃを傾けることで、前記正反射成分を利用して撮像したりすることができる。なお、ワークＷ表面に光沢がある場合は、撮像装置ＣをワークＷに正対させると撮像装置Ｃ自身が写りこんでしまうことから、撮像装置Ｃを傾けてワークＷ表面を撮像することが好ましい。
　また、発光面１１が平面であるので、発光面１１をワークＷに近づけることができ、ワークＷに高い照度の光を照射することができる。
　さらに、ＬＥＤ基板３１が、スリットＳ側の方が反スリット側よりも発光板要素１４から離間するように傾いており、このＬＥＤ基板３１に搭載された複数のＬＥＤ光源３２が、スリットＳ側の方が反スリット側よりも密に配置されているので、ＬＥＤ光源３２からの光が発光板１０のスリットＳ側から反スリット側に亘って全体に均一に行き届く。これにより、例えば発光面１１のスリットＳ側の一部が他の部分に比べて暗くなることなどを防ぐことができ、発光面１１からムラのない光を射出することができる。
　かかる作用効果は、第１反射板２４１が、第２反射板２４２よりも大きいことからも奏し得る作用効果である。
　加えて、底壁２２が、スリットＳ側の方が反スリット側よりも発光板要素１４から離間するように傾いているので、この底壁２２の外面に設けられた放熱部材５０をスリットＳに重ならないように配置させることができ、スリットＳを通過する光は放熱部材５０によって遮られない。これにより、放熱部材５０がワークＷの撮像を阻害することを防ぐことができる。
　さらに加えて、一対の発光板要素１４が互いに同一形状であるので、製造コストを低減することができる。
　そのうえ、スリット幅変更機構６０によりスリット幅を変更することができるので、ワークＷ表面における撮像可能な領域を変更することができ、種々の傷や欠陥に対応して検査を行うことができる。
　なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
　例えば、前記実施形態では、発光板１０が平板状をなすものであり、その発光面１１が平面であったが、図５に示すように、発光板１０が例えば半円筒形状をなし、発光面１１がスリットＳの延伸方向から視てワークＷと反対方向に湾曲した曲面であっても良い。
　また、前記実施形態のスリットＳは、一対のケーシング２０の対向面２５によって形成されていたが、図６に示すように、スリットＳは、１枚の発光板１０の中央部に厚み方向に貫通して形成されたものであっても構わない。
　さらに、発光板１０は、図６に示すように、例えば平面視概略正方形状をなし、内部に複数のＬＥＤ光源３２を有したものであっても良い。このような構成であれば、前記実施形態におけるケーシング２０を不要にすることができ、装置全体を厚み方向によりコンパクト化することができる。
　なお、発光板１０の形状は、例えば平面視概略長方形状や平面視円盤形状など、種々変更して構わない。
　加えて、スリットＳは、図７の上段に示すように、スリットＳの延伸方向から視て左右非対象な形状や、図７の下段に示すように、発光面１１側からその反対側に向かって湾曲しながら徐々に幅が広がる形状であっても構わないし、図示していないが、スリットＳの延伸方向から視て階段状のものであっても構わない。
　さらに加えて、発光板１０を構成する各発光板要素１４は、図８に示すように、一側面１４１に段部１５が形成されたものであっても良い。
　このようなものであれば、第１反射板２４１を、例えば両面テープなどの接着部材を介して前記段部１５に押し当てて固定することができ、第１反射板２４１の取り付けを容易に行うことができる。
　なお、図８に示す構成では、板金Ｍ２の発光面側端部Ｐは、第１反射板２４１の発光面側端部Ｑよりも発光面１１から離れており、第１反射板２４１の発光面側端部Ｑが露出している。
　そのうえ、前記実施形態の発光板要素１４は、一側面１４１が傾斜した構成であったが、特に発光板要素１４の厚み寸法が小さい場合など、発光板要素１４の一側面１４１は、必ずしも傾斜させる必要はない。
　その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
　このように構成した本発明によれば、ワークに照射する光量を低減させることなく、複数の方向からワーク表面を撮像することができる。

Claims (9)

  1. 　ワークに対向する発光面を具備し、前記ワークで反射した光を発光面側からその反対側に向かって通過させるスリットが形成された光照射装置であって、
    　前記スリットが、発光面側からその反対側に向かって徐々に幅が広がる形状であることを特徴とする光照射装置。
  2. 　前記発光面が平面であることを特徴とする請求項１記載の光照射装置。
  3. 　前記発光面に対して前記ワークと反対側に設けられた複数のＬＥＤ光源をさらに具備することを特徴とする請求項２記載の光照射装置。
  4. 　前記発光面が形成された発光板と、
    　前記発光板により閉塞された開口を有し、該開口に対向して設けられた複数のＬＥＤ光源を収容するとともに、互いに対向して設けられた一対のケーシングとをさらに具備し、
    　前記一対のケーシングの互いに対向する対向面によって前記スリットが形成されていることを特徴とする請求項２記載の光照射装置。
  5. 　前記開口が概略矩形状をなし、
    　前記開口を形成する前記ケーシングの側壁のうち、スリット側の側壁及び反スリット側の側壁の内面に、前記ＬＥＤ光源の光を前記開口に向けて反射する反射部材が設けられており、
    　スリット側の前記反射部材が、反スリット側の前記反射部材よりも反射面の面積が大きいことを特徴とする請求項４記載の光照射装置。
  6. 　前記複数のＬＥＤ光源が、前記スリットを間に挟んでその両側に設けられるとともに、スリット側の方が反スリット側よりも密に配置されていることを特徴とする請求項３記載の光照射装置。
  7. 　前記スリットを間に挟んでその両側に前記発光板に対向して設けられるとともに、前記複数のＬＥＤ光源が搭載されたＬＥＤ基板をさらに具備し、
    　前記ＬＥＤ基板が、スリット側の方が反スリット側よりも前記発光板から離間するように傾斜して配置されていることを特徴とする請求項４記載の光照射装置。
  8. 　前記発光板に対向する前記ケーシングの底壁が、スリット側の方が反スリット側よりも前記発光板から離間するように傾いており、
    　前記底壁の内面に前記ＬＥＤ基板が設けられるとともに、前記底壁の外面に放熱部材が設けられていることを特徴とする請求項７記載の光照射装置。
  9. 　前記一対のケーシングを連結する連結部材をさらに具備し、
    　前記連結部材が、前記一対のケーシングの離間距離を変更して前記スリットの幅を変更するスリット幅変更機構を有していることを特徴とする請求項４記載の光照射装置。
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