WO2016167100A1 - 流体継手用ガスケットおよび流体継手 - Google Patents

流体継手用ガスケットおよび流体継手 Download PDF

Info

Publication number
WO2016167100A1
WO2016167100A1 PCT/JP2016/059651 JP2016059651W WO2016167100A1 WO 2016167100 A1 WO2016167100 A1 WO 2016167100A1 JP 2016059651 W JP2016059651 W JP 2016059651W WO 2016167100 A1 WO2016167100 A1 WO 2016167100A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gasket
fluid coupling
fluid
recess
members
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/059651
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
石橋　圭介
薬師神　忠幸
谷川　毅
山路　道雄
庸之 岡部
Original Assignee
株式会社フジキン
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社フジキン, 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 株式会社フジキン
Priority to US15/566,367 priority Critical patent/US11255468B2/en
Priority to KR1020177031856A priority patent/KR102502375B1/ko
Priority to CN201680029266.6A priority patent/CN107850245A/zh
Publication of WO2016167100A1 publication Critical patent/WO2016167100A1/ja

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
    • F16J15/022—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material
    • F16J15/024—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material the packing being locally weakened in order to increase elasticity
    • F16J15/025—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material the packing being locally weakened in order to increase elasticity and with at least one flexible lip
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L15/00—Screw-threaded joints; Forms of screw-threads for such joints
    • F16L15/04—Screw-threaded joints; Forms of screw-threads for such joints with additional sealings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/08—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
    • F16J15/0818—Flat gaskets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F16J15/104—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing characterised by structure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L19/00—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts
    • F16L19/02—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member
    • F16L19/0212—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member using specially adapted sealing means
    • F16L19/0218—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member using specially adapted sealing means comprising only sealing rings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/02—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/02—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially
    • F16L23/024—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially characterised by how the flanges are joined to, or form an extension of, the pipes
    • F16L23/028—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially characterised by how the flanges are joined to, or form an extension of, the pipes the flanges being held against a shoulder
    • F16L23/0283—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially characterised by how the flanges are joined to, or form an extension of, the pipes the flanges being held against a shoulder the collar being integral with the pipe
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
    • F16L23/18—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L41/00—Branching pipes; Joining pipes to walls
    • F16L41/08—Joining pipes to walls or pipes, the joined pipe axis being perpendicular to the plane of the wall or to the axis of another pipe
    • F16L41/14—Joining pipes to walls or pipes, the joined pipe axis being perpendicular to the plane of the wall or to the axis of another pipe by screwing an intermediate part against the inside or outside of the wall

Definitions

  • This invention relates to a gasket for fluid coupling and a fluid coupling, and more particularly to a gasket for performing face seal in a fluid coupling such as a pipe coupling and various fluid couplings using such a gasket.
  • Patent Document 1 As a fluid coupling, Patent Document 1 includes first and second tubular joint members, a gasket interposed between the butted portions of both joint members, and screw means for coupling both joint members. Each of the butted end faces of the member is provided with an annular recess for forming a gasket housing portion in which the gasket is housed when the joint members are butted together.
  • the entire inner surface of the recess of the member is in close contact with the gasket, the surface of the gasket exposed from the recess is in close contact with the entire inner surface of the recess of the second joint member, and the butt end surface of the first joint member
  • the portion radially inward of the recess and the portion radially inward of the recess of the butted end surface of the second joint member are in close contact with each other, and have a diameter larger than that of the recess of the butted end surface of the first joint member.
  • Radially outside portion of the recess of the abutting end faces of the direction outer portion and the second joint member is also a pipe joint in close contact with substantially the entire surface is disclosed.
  • the gasket of Patent Document 1 has an annular shape with a square cross section, and the gasket housing recess formed by the first and second tubular joint members also has a square cross section.
  • An object of the present invention is to provide a fluid coupling gasket and a fluid coupling with improved sealing performance.
  • a gasket for a fluid coupling according to the present invention is a gasket that performs surface sealing by being fitted into an annular recess provided in the fluid coupling, and includes a thick portion that performs first surface sealing, and a second surface. And a thin portion that performs sealing.
  • the thick part is provided in the radially outer part and the thin part is provided in the radially inner part.
  • the thick part may be provided in the radially inner part, and the thin part may be provided in the radially outer part.
  • both the thick part and the thin part perform face sealing, so that the sealing performance can be improved.
  • the gasket is pressed outward when pressurizing, and is pressed inward in the case of vacuum.
  • conventional gaskets O-rings
  • the outer diameter of the gasket is used as a reference.
  • the design was made based on the inner diameter of the gasket, and basically only one of them was used.
  • the pressurization or the vacuum can be used by setting the radially outer portion for pressurization and the radially inner portion for vacuum.
  • the target value of the seal performance is optimally set according to the application. can do.
  • the gasket may be made of metal such as stainless steel (for example, SUS316L), or may be made of fluorine-based synthetic resin such as perfluoroelastomer (for example, registered Kalrez).
  • At least one drop prevention protrusion is provided on the outer peripheral surface of the gasket. By doing so, it is possible to prevent the gasket from dropping from the annular recess (the gasket storing recess) when the gasket is attached to the fluid coupling.
  • Either the thick part or the thin part may be made of metal, and the other part may be made of synthetic resin. If it does in this way, both a metal sealing structure and a synthetic resin sealing structure will be provided, and extremely high sealing performance will be obtained.
  • the first and second members are preferably made of metal.
  • the fluid coupling according to the present invention includes a first member having a first fluid passage, a second member having a second fluid passage and fluidly connected to the first member, and a butt of both members. It has a gasket interposed in the part and screw means for connecting both members, and an annular gasket storage recess is provided on the end face of each member to store the gasket when the members are butted together
  • the recess for accommodating the gasket includes a wide portion for accommodating the thick portion of the gasket and a narrow portion for accommodating the thin portion of the gasket. It is set as the gasket for fluid couplings as described in above.
  • the thick part of the gasket is inserted into the wide part of the recess for storing the gasket with the first crushing margin, and the thin part of the gasket has the second crushing part in the narrow part of the recess for storing the gasket. It is inserted.
  • the first squashing allowance and the second squashing allowance may be the same value, but are preferably different values.
  • the crushing margin is different, it is more preferable to reduce the crushing margin (crushing rate) on the inner side in order to suppress the occurrence of cracks in the radially inner portion at high temperatures.
  • the first and second members may be made of a metal such as stainless steel in response to the gasket being made of metal, and the PFA ( It may be made of a synthetic resin such as a tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer).
  • Stainless steel fluid couplings may not be able to secure sufficient durability against those that corrode metals, such as acid ammonium fluoride, used in the semiconductor manufacturing process.
  • synthetic resin durability is improved.
  • the change with time (stress relaxation, cold flow, etc.) of the shape is larger than that of metal, and the surface pressure generated between the members at the butt portion gradually decreases.
  • first member and the second member may both be tubular joint members, and the first member is a tubular joint member provided with a flange portion having a bolt insertion hole.
  • the second member may be a member provided with a connection portion having a female screw portion.
  • the fluid flowing through the fluid coupling may be a gas or a liquid.
  • the second member may be, for example, an aluminum gas chamber, may be a fluid control device such as a valve, and may be a passage block used in an integrated fluid control device. .
  • both the thick part and the thin part perform surface sealing, so that the sealing performance can be improved, and either pressure or vacuum can be used. be able to.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the overall configuration of a first embodiment of a fluid coupling gasket and fluid coupling according to the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged longitudinal sectional view showing a shape of the fluid coupling gasket and fluid coupling according to the first embodiment before tightening.
  • FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of the fluid coupling gasket according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing the overall configuration of the second embodiment of the gasket for fluid coupling and the fluid coupling according to the present invention.
  • FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing the overall configuration of a third embodiment of the fluid coupling gasket and fluid coupling according to the present invention.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the overall configuration of a first embodiment of a fluid coupling gasket and fluid coupling according to the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged longitudinal sectional view showing a shape of the fluid coupling gasket and fluid coupling according to the first embodiment before tightening
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing the overall configuration of a fluid coupling gasket and a fluid coupling according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing the overall configuration of a fifth embodiment of a gasket for fluid coupling and a fluid coupling according to the present invention.
  • FIGS. 1 to 3 show a first embodiment of a fluid coupling according to the present invention. 1 shows a state after the fluid coupling is tightened, and FIGS. 2 and 3 show a shape before the fluid coupling is tightened.
  • the fluid coupling (1) is a pipe coupling, and includes first and second tubular coupling members (2) and (3) having fluid passages communicating with each other, and both coupling members ( 2) An annular gasket (4) interposed between (3), a substantially cylindrical male screw member (5) fitted to the first joint member (2), and a second joint member (3 ) And a substantially cylindrical female screw member (6).
  • joint members (2) (3), gasket (4), male thread member (5) and female thread member (6) are all made of synthetic resin.
  • Each joint member (2) (3) is composed of a cylindrical sleeve body (11) (13) having an inner periphery serving as a fluid passage, and a flange (12) (14) integrally provided at the abutting end portion thereof. And have the same shape.
  • the gasket (4) is designed to obtain a sealing property by forming a face seal between the butted end faces of the joint members (2) and (3).
  • Both joint members (2) and (3) are formed so as to be symmetrical with each other on the abutting surface, and the gasket (4) is also formed so as to be symmetrical with respect to the center plane.
  • the inner diameter of the gasket (4) is made equal to the inner diameter of each joint member (2) (3).
  • An annular recess (7) for accommodating the gasket (4) is formed on the butt end face of the joint member (2) (3).
  • the butted ends of the joint members (2) and (3) are abutted against each other on both the radially inner side and the radially outer side of the recess (7), and the annular recess (7) It is made into the shape which does not open to any of the direction outer side.
  • the annular recess (7) may have a shape opened radially inward.
  • the male thread member (5) has a cylindrical main body (15) and a butted portion of both joint members (2) and (3) protruding from the right end face (butt end face) of the main body (15) to the right (axial direction).
  • a hexagonal engagement portion (18) provided on the outer periphery of the portion.
  • the female thread member (6) is called a cap nut and is fitted to the second joint member (3) from the right side.
  • the female thread member (6) has a main body (19) and an inward flange (20) provided at the right end of the main body (19).
  • the inward flange (20) is fitted around the sleeve body (13) of the second joint member (3) and is brought into contact with the right surface of the flange (12) of the second joint member (3) from the right side. ing.
  • the inner diameter of the cover (16) of the male thread member (5) is slightly larger than the outer diameter of the flanges (12) and (14) of the first and second joint members (2) and (3).
  • the internal thread member (6) is slightly smaller than the inner diameter.
  • a thrust washer (8) is interposed between the flange (14) of the second joint member (3) and the inward flange (20) of the female thread member (6) as a means for preventing co-rotation.
  • the thrust washer (8) may be made of a synthetic resin, such that a Ni (nickel) -P (phosphorus) + PTFE (polytetrafluoroethylene) composite film is formed on a stainless steel surface and heat treated, etc. It may be said.
  • the gasket (4) has a T-shaped cross section, and has a substantially rectangular thick section (21) on the radially outer side that performs the first face seal, and a radially inner section that performs the second face seal.
  • the recess (7) for storing the gasket has a wide part (23) having a substantially square cross section on the radially outer side and a narrow part (24) having a substantially square cross section on the radially inner side. And.
  • the thick part (21) of the gasket (4) is in close contact with the inner surface of the wide part (23) of the recess (7) for storing the gasket, and the thin part (22) of the gasket (4) Almost the entire surface is in close contact with the inner surface of the narrow portion (24) of the gasket housing recess (7).
  • the thick portion (21), the thin portion (22) of the gasket (4) and the corner portions formed at the boundary between them are rounded.
  • the wide portion (23) and the narrow portion (24) of the gasket housing recess (7) and the corner portions formed at the boundaries thereof are also rounded.
  • a curved surface portion (22a) that protrudes radially outward is formed on the radially inner side surface of the thin wall portion (22) of the gasket (4).
  • the height of the lip (25) is, for example, 0.1 to 0.2 mm.
  • the thick portion (21) on the radially outer side of the gasket (4) is designed in consideration of the case where the fluid is pressurized, and the diameter of the gasket (4) is
  • the thin portion (22) on the inner side in the direction is designed in consideration of the case where the fluid is vacuumed.
  • the crushing margin (or crushing rate) of the first face seal by the thick wall portion (21) and the crushing margin (or crushing rate) of the second surface seal by the thin wall portion (22) are separately preferable values. (Usually a different value).
  • both the thick part (21) and the thin part (22) of the gasket (4) perform surface sealing, whereby excellent sealing performance can be obtained.
  • FIG. 4 shows a second embodiment of the fluid coupling according to the present invention.
  • FIG. 4 shows a state after the fluid coupling is tightened.
  • the fluid coupling (31) is a pipe coupling, and includes first and second tubular coupling members (32) (33) having fluid passages communicating with each other, and both coupling members ( 32)
  • the joint members (32) and (33), the gasket (34), the male screw member (35) and the female screw member (36) are all made of metal.
  • Each joint member (32) (33) is composed of a cylindrical sleeve body (41) (43) having an inner periphery serving as a fluid passage, and a flange (42) (44) integrally provided at the abutting end portion thereof. And have the same shape.
  • the gasket (34) is designed to obtain a sealing property by forming a face seal between the butted end faces of the joint members (32) and (33). Both joint members (32) and (33) are formed so as to be symmetrical with each other on the abutting surface, and the gasket (34) is also formed so as to be symmetrical with respect to the center plane.
  • the inner diameter of the gasket (34) is equal to the inner diameter of each joint member (32) (33).
  • An annular recess (37) for accommodating the gasket (34) is formed on the end face of the joint member (32) (33).
  • the butted ends of the joint members (32) and (33) are butted against each other on the radially outer side of the recess (37), and the annular recess (37) is shaped to open radially inward. .
  • a thrust washer (38) as a means for preventing co-rotation is interposed between the flange (44) of the second joint member (33) and the inward flange of the female thread member (36).
  • the shapes of the male screw member (35), the female screw member (36), and the thrust washer (38) are the same as those in the first embodiment. Detailed description thereof will be omitted.
  • the gasket (34) has a T-shaped cross section, a radially thick section (51) on the outer side in the radial direction that performs the first face seal, and a radially inner section that performs the second face seal.
  • the recess (37) for storing the gasket includes a wide part (53) having a substantially square cross section on the radially outer side and a narrow part (54) having a substantially square cross section on the radially inner side. And.
  • the thick part (51) of the gasket (34) is in close contact with the inner surface of the wide part (53) of the gasket storage recess (37) over almost the entire surface, and the thin part (52) of the gasket (34) is Almost the entire surface is in close contact with the inner surface of the narrow portion (54) of the gasket housing recess (37).
  • the joint members (32), (33) and the gasket (34) are made of metal, so that the thick portion (51), the thin portion (52) of the gasket (34).
  • each corner portion formed at the boundary thereof has no large roundness, and correspondingly, the wide portion (53), the narrow portion (54) of the gasket storage recess (37), and the boundary thereof. No large roundness is provided in each corner portion formed in the above.
  • the curved surface portion of the radially inner side surface of the thin wall portion (52) of the gasket (34) and the lip of the outer peripheral surface of the thick wall portion (51) of the gasket (34) are also omitted.
  • the thick portion (51) on the radially outer side of the gasket (34) is designed in consideration of the case where the fluid is pressurized, and the diameter of the gasket (34) is
  • the thin portion (52) on the inner side in the direction is designed in consideration of the case where the fluid is vacuumed.
  • the crushing margin (or crushing rate) of the first face seal by the thick wall portion (51) and the crushing margin (or crushing rate) of the second surface seal by the thin wall portion (52) are separately preferable values. (Usually a different value).
  • both the thick part (51) and the thin part (52) of the gasket (34) perform surface sealing, whereby excellent sealing properties can be obtained.
  • the butted end faces of the joint members (32) and (33) of the second embodiment may be provided with annular protrusions that hold the gasket (34).
  • FIG. 5 shows a third embodiment of the fluid coupling according to the present invention.
  • FIG. 5 shows a state after the fluid coupling is tightened.
  • the fluid coupling (61) is a pipe coupling, and includes first and second tubular coupling members (62) (63) having fluid passages communicating with each other, and both coupling members ( 62) First and second annular gaskets (64) (65) interposed between (63) and a substantially cylindrical male screw member (66) fitted to the first joint member (62) And a substantially cylindrical female screw member (67) fitted to the second joint member (63).
  • the joint members (62) (63), the first gasket (64), the male thread member (66) and the female thread member (67) are all made of metal, and the second gasket (65) It is made of synthetic resin.
  • Each joint member (62) (63) is composed of a cylindrical sleeve body (71) (73) whose inner periphery is a fluid passage, and a flange (72) (74) integrally provided at the abutting end portion thereof. And have the same shape.
  • the first and second gaskets (64) and (65) have a sealing property by forming a face seal between the butted end faces of both joint members (62) and (63). Both joint members (62) (63) are formed so as to be symmetrical with each other at the abutting surface, and the first and second gaskets (64) (65) are also formed so as to be symmetrical with respect to the center plane. ing.
  • the inner diameter of the first gasket (64) is made equal to the inner diameter of each joint member (62) (63).
  • An annular recess (68) for accommodating the first and second gaskets (64) (65) is formed on the end face of the joint member (62) (63).
  • the butted ends of the joint members (62) and (63) are abutted against each other on the radially outer side of the recess (68), and the annular recess (68) is shaped to open radially inward. .
  • a thrust washer (69) as a means for preventing co-rotation is interposed between the flange (74) of the second joint member (63) and the inward flange of the female screw member (67).
  • the shapes of the male screw member (66), the female screw member (67), and the thrust washer (69) are the same as those in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.
  • the first and second gaskets (64) and (65) have a combined thick T-shaped cross section, and a thick portion (81) having a substantially rectangular cross section on the radially outer side for performing the first face seal; A thin portion (82) having a substantially square cross section on the radially inner side for performing the second face seal is formed.
  • the first gasket (64) constitutes a thin portion (82), an annular recess (64a) having a semicircular cross section is formed on the outer peripheral surface thereof, and the second gasket (65) has a thick wall. Part (81) is formed, and an annular convex part (65a) is formed on the inner peripheral surface thereof. Then, by fitting the concave portion (64a) and the convex portion (65a), the first and second gaskets (64) and (65) constitute an annular gasket having a T-shaped cross section as a whole. Yes.
  • the recess for storing the gasket (68) has a substantially rectangular wide section (83) in the radial outer cross section and a cross section in the radial inner section. And a substantially rectangular narrow portion (84).
  • the second gasket (65) constituting the thick wall portion (81) is in close contact with the inner surface of the wide portion (83) of the gasket housing recess (68) over almost the entire exposed surface.
  • the first gasket (64) constituting the portion (52) is in close contact with the inner surface of the narrow portion (84) of the gasket housing recess (68) over almost the entire exposed surface.
  • Annular projections (71a) (73a) for holding down the first gasket (64) are provided on the butted end surfaces of the sleeve bodies (71) (73) of the joint members (62) (63).
  • the radially inner gasket (64) is designed in consideration of the case where the fluid is vacuumed.
  • the crushing margin (or crushing rate) of the first face seal by the thick wall portion (81) and the crushing margin (or crushing rate) of the second surface seal by the thin wall portion (82) are separately preferable values. (Usually a different value).
  • the metal gasket (64) the disadvantage of the synthetic resin gasket (65) that the change with time of the shape is larger than that of the metal is compensated, and according to the synthetic resin gasket (65), The shortcomings of the metal gasket (64) against fluids that corrode metals such as acid ammonium fluoride are compensated.
  • both the metal gasket (64) and the synthetic resin gasket (65) perform surface sealing, whereby excellent sealing performance can be obtained.
  • FIG. 6 shows a fluid coupling according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the fluid coupling (91) includes first and second coupling members (92) and (93) having fluid passages communicating with each other. And an annular gasket (4) interposed between the joint members (92) and (93), and a plurality (one or more) of bolts (94) for joining the joint members (92) and (93). I have.
  • the gasket (4) is the same as that of the first embodiment.
  • Each joint member (92) (93) is composed of a cylindrical sleeve (95) whose inner periphery is a fluid passage and a flange (96) which is a separate member. Both flanges (96) have the same shape.
  • Each bolt (94) is composed of a head (97) having a hexagonal hole and a shaft (98), and the shaft (98) is formed with a screw (98a) at the tip and the remaining portion.
  • the part (98b) is not formed with male threads.
  • the sleeves (95) of the joint members (92) and (93) are abutted against each other, a flange portion (95a) is provided on the outer periphery of the abutting end portion, and a gasket (4) is provided on the abutting end surface.
  • a recess (7) for accommodating is formed.
  • the recess (7) for accommodating the gasket (4) is the same as that of the first embodiment because the gasket (4) is the same as that of the first embodiment. Yes.
  • the gasket (4) has a T-shaped cross section, and has a substantially square-shaped thick section (21) on the outer side in the radial direction for performing the first face seal and the inner side in the radial direction for performing the second face seal. And a thin-walled portion (22) having a substantially square cross section.
  • the recess (7) for storing the gasket has a wide part (23) having a substantially square cross section on the radially outer side and a narrow part (24) having a substantially square cross section on the radially inner side. And.
  • the thick part (21) of the gasket (4) is in close contact with the inner surface of the wide part (23) of the gasket housing recess (7) over the entire surface, and the thin part (22) of the gasket (4) is The entire surface is in close contact with the inner surface of the narrow portion (24) of the recess (7) for storing the gasket.
  • each joint member (92) (93) has a through hole (96a) inserted through the sleeve (95) and is abutted against each other in a state of being fitted to the sleeve (95).
  • a recess (96b) into which the flange portion (95a) of the sleeve (95) is fitted is formed on the inner periphery of the butt end portion of the flange (96).
  • the flange (96) is formed with a shaft insertion hole (99) on the butt end face side and a screw hole (100) extending to the anti-butt end face as a hole into which the bolt (94) is inserted.
  • the pair of flanges (96) are arranged so as to face each other with the shaft insertion hole (99) on the end face side and the screw hole (100) on the opposite end face side.
  • each joint member (92) (93) is composed of a sleeve (95) and a flange (96), but the structure of the joint member is limited to this. is not.
  • Each joint member may be, for example, one member or may be composed of three or more members, and the shape of each member can be variously changed.
  • Each of the first to fourth embodiments is a pipe joint, but the seal configuration using the gaskets (4), (34), (64), and (65) is a fluid other than the pipe joint.
  • a joint it is applicable to the joint part of various apparatuses.
  • FIG. 7 shows a fifth embodiment of a fluid coupling.
  • the fluid coupling (101) is interposed between the first and second members (92) (102) having fluid passages communicating with each other, and both members (92) (102).
  • An annular gasket (4) and a plurality (one or a plurality) of bolts (94) for joining the joint members (92) and (102) are provided.
  • the first member (92) is the same tubular joint member as one joint member (92) of the fourth embodiment, and the second member (102) is aluminum used in the gas supply unit of the semiconductor manufacturing apparatus. Part of the chamber.
  • the second member (102) is provided with a connecting portion (103) having a female screw portion (103a).
  • the gasket (4) and the recess (7) for accommodating the gasket are substantially the same as those in the fourth embodiment.
  • the gasket (4) has a T-shaped cross section, and has a substantially square-shaped thick section (21) on the outer side in the radial direction for performing the first face seal and the inner side in the radial direction for performing the second face seal. And a thin-walled portion (22) having a substantially square cross section.
  • the recess (7) for storing the gasket has a wide part (23) having a substantially square cross section on the radially outer side and a narrow part (24) having a substantially square cross section on the radially inner side. And.
  • the thick part (21) of the gasket (4) is in close contact with the inner surface of the wide part (23) of the gasket housing recess (7) over the entire surface, and the thin part (22) of the gasket (4) is The entire surface is in close contact with the inner surface of the narrow portion (24) of the recess (7) for storing the gasket.
  • the recess (7) has a shape opened radially inward.
  • the sealing performance can be improved in the fluid coupling gasket and the fluid coupling in which improvement of the sealing performance has always been a problem, it is possible to contribute to the performance improvement of the fluid coupling gasket and the fluid coupling.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Joints With Pressure Members (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)
  • Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)

Abstract

ガスケット4は、第１の面シールを行う厚肉部21と、第２の面シールを行う薄肉部22とを備えている。流体継手1の環状のガスケット収納用凹所7は、ガスケット4の厚肉部21を収容するための幅広部23と、ガスケット4の薄肉部22を収容するための幅狭部24とを備えている。

Description

流体継手用ガスケットおよび流体継手
  この発明は、流体継手用ガスケットおよび流体継手に関し、特に、管継手などの流体継手において面シールを行うガスケットおよびこのようなガスケットを用いた種々の流体継手に関する。
　流体継手として、特許文献１には、第１および第２の管状継手部材と、両継手部材の突き合わせ部分に介在されるガスケットと、両継手部材を連結するねじ手段とを備えており、各継手部材の突き合わせ端面に、継手部材同士が突き合わされた際にガスケットが収納されるガスケット収納部を形成するための環状の凹所がそれぞれ設けられており、管継手の適正締め付け状態では、第１継手部材の凹所内面のほぼ全面がガスケットに密着し、同凹所から露出しているガスケットの面が第２継手部材の凹所内面のほぼ全面に密着するとともに、第１継手部材の突き合わせ端面の凹所よりも径方向内側の部分と第２継手部材の突き合わせ端面の凹所よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第１継手部材の突き合わせ端面の凹所よりも径方向外側の部分と第２継手部材の突き合わせ端面の凹所よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着する管継手が開示されている。
　特許文献１のガスケットは、断面が方形の環状のもので、第１および第２の管状継手部材によって形成されるガスケット収納用凹所も断面が方形のものとされている。
特許第３５３８７３７号公報
　流体継手用ガスケットおよび流体継手において、特許文献１に示されているように、すべての材料を合成樹脂とすることがあり、この場合には、金属製に比べて、長期にわたってのシール性の維持が特に重要な課題となる。また、金属製の流体継手用ガスケットおよび流体継手においても、より一層のシール性の向上が求められている。
  この発明の目的は、シール性を向上した流体継手用ガスケットおよび流体継手を提供することにある。
  この発明による流体継手用ガスケットは、流体継手に設けられた環状の凹所に嵌め入れられることで面シールを行うガスケットであって、第１の面シールを行う厚肉部と、第２の面シールを行う薄肉部とを備えていることを特徴とするものである。
　例えば、厚肉部は、径方向の外側部分に、薄肉部は、径方向の内側部分に設けられる。厚肉部は、径方向の内側部分に、薄肉部は、径方向の外側部分に設けられているようにしてもよい。
　面シールを行う従来のガスケットは、通常、断面方形とされており、断面方形ではないものであっても、厚肉部および薄肉部の両方が面シールを行うようにはなされていなかった。
　この発明によると、厚肉部および薄肉部の両方が面シールを行うことで、シール性を向上させることができる。
　また、ガスケットは、加圧を行う場合は外側に押し付けられ、真空の場合は内側に押し付けられることから、従来のガスケット（Ｏリング）では、加圧の場合は、ガスケットの外径を基準に、真空の場合は、ガスケットの内径を基準に設計が行われて、基本的にいずれか片方での使用のみとされていた。これに対し、この発明によると、径方向の外側部分を加圧用に、径方向の内側部分を真空用に設定することで、加圧、真空のどちらでも使用することができる。
　さらにまた、この発明によると、第１の面シールのつぶし代と第２の面シールのつぶし代とを違う値に設定することができるので、シール性能の目標値を用途に応じて最適に設定することができる。
　ガスケットは、ステンレス鋼（例えばＳＵＳ３１６Ｌ）などの金属製であってもよく、パーフロロエラストマー（例えば登録商標カルレッツ）などのフッ素系の合成樹脂製であってもよい。
　ガスケットの外周面には、落下防止用突起が少なくとも１つ設けられていることが好ましい。このようにすることで、流体継手にガスケットを装着した際における環状の凹所（ガスケット収納用凹所）からのガスケットの脱落を防止することができる。
　厚肉部および薄肉部のうちのいずれか一方が金属で形成され、同他方が合成樹脂で形成されていることがある。このようにすると、金属製シール構造と合成樹脂製シール構造の両方が設けられることになり、極めて高いシール性が得られる。この場合における第１および第２の部材は、金属製であることが好ましい。
　この発明による流体継手は、第１の流体通路を有する第１の部材と、第２の流体通路を有し、第１の部材に流体密に接続される第２の部材と、両部材の突き合わせ部分に介在されるガスケットと、両部材を連結するねじ手段とを備えており、各部材の突き合わせ端面に、部材同士が突き合わされた際にガスケットが収納される環状のガスケット収納用凹所が設けられている流体継手において、ガスケット収納用凹所は、ガスケットの厚肉部を収容するための幅広部と、ガスケットの薄肉部を収容するための幅狭部とを備え、ガスケットが上記のいずれかに記載の流体継手用ガスケットとされていることを特徴とするものである。
　ガスケットの厚肉部がガスケット収納用凹所の幅広部に第１のつぶし代を持って嵌め入れられ、ガスケットの薄肉部がガスケット収納用凹所の幅狭部に第２のつぶし代を持って嵌め入れられる。
　第１のつぶし代と第２のつぶし代とは同じ値であってもよいが、違う値であることがより好ましい。つぶし代が異なるものとする場合、高温時における径方向内側部分の亀裂の発生を抑えるために、内側のつぶし代（つぶし率）を減らすことがより好ましい。
　第１および第２の部材は、ガスケットが金属製とされることに対応して、ステンレス鋼などの金属製であってもよく、ガスケットが合成樹脂製とされることに対応して、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）などの合成樹脂製であってもよい。
  ステンレス鋼製の流体継手では、半導体製造過程で使用される例えば酸性フッ化アンモンなどのように金属を腐食させる性質が高いものに対して、十分な耐久性を確保できない場合があり、ステンレス鋼製に代えて、合成樹脂製とすることで、耐久性が向上する。合成樹脂の場合には、金属製のものに比べて、形状の経時変化（応力緩和、コールドフローなど）が大きく、突き合わせ部分での部材間に生じている面圧が徐々に低下し、これによって流体の漏れが起こるおそれがあるが、厚肉部および薄肉部の両方が面シールを行うことで、合成樹脂製であっても十分なシール性が確保される。
　上記の流体継手において、第１の部材および第２の部材は、いずれも管状継手部材であってもよく、また、第１の部材は、ボルト挿通孔を有するフランジ部が設けられた管状継手部材であり、第２の部材は、めねじ部を有する接続部が設けられた部材であってもよい。
　流体継手に流される流体は、気体であってもよく、液体であってもよい。第２の部材は、例えば、アルミニウム製のガスチャンバーであってもよく、また、バルブなどの流体制御機器であってもよく、集積化流体制御装置で使用される通路ブロックなどであってもよい。
　この発明の流体継手用ガスケットおよび流体継手によると、厚肉部および薄肉部の両方が面シールを行うことで、シール性を向上させることができるとともに、加圧、真空のどちらでも使用可能とすることができる。
図１は、この発明による流体継手用ガスケットおよび流体継手の第１実施形態の全体構成を示す縦断面図である。 図２は、第１実施形態の流体継手用ガスケットおよび流体継手の要部の締付け前の形状を示す拡大縦断面図である。 図３は、第１実施形態の流体継手用ガスケットの拡大縦断面図である。 図４は、この発明による流体継手用ガスケットおよび流体継手の第２実施形態の全体構成を示す縦断面図である。 図５は、この発明による流体継手用ガスケットおよび流体継手の第３実施形態の全体構成を示す縦断面図である。 図６は、この発明による流体継手用ガスケットおよび流体継手の第４実施形態の全体構成を示す縦断面図である。 図７は、この発明による流体継手用ガスケットおよび流体継手の第５実施形態の全体構成を示す縦断面図である。
(1)(31)(61)(91)(101)   流体継手
(2)(32)(62)(92)   継手部材（第１の部材）
(3)(33)(63)(93)   継手部材（第２の部材）
(4)(34)(64)(65) 　ガスケット
(5)(35)(66) 　おねじ部材（ねじ手段）
(6)(36)(67) 　めねじ部材（ねじ手段）
(7)(37)(68) 　ガスケット収納用凹所
(21)(51)(81)　厚肉部
(22)(52)(82)　薄肉部
(23)(53)(83)　幅広部
(24)(54)(84)　幅狭部
(25)　　リップ（環状の突起）
(94)　　ボルト（ねじ手段）
(96)　　フランジ
(99)　　軸挿通孔（ボルト挿通孔）
(100) 　ねじ孔  （ボルト挿通孔）
(102) 　第２の部材
(103a)　めねじ部（ねじ手段）
(103) 　接続部
  この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
　図１から図３までは、この発明による流体継手の第１実施形態を示している。なお、図１は、流体継手を締め付けた後の状態を示し、図２および図３は、流体継手を締め付ける前における形状を示している。
　図１に示すように、流体継手(1)は、管継手であり、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材(2)(3)と、両継手部材(2)(3)間に介在させられた円環状ガスケット(4)と、第１の継手部材(2)に嵌められた略円筒状のおねじ部材(5)と、第２の継手部材(3)に嵌められた略円筒状のめねじ部材(6)とを備えている。
　継手部材(2)(3)、ガスケット(4)、おねじ部材(5)およびめねじ部材(6)は、全て、合成樹脂製とされている。
　各継手部材(2)(3)は、内周が流体通路となる円筒状のスリーブ本体(11)(13)と、その突き合わせ端部に一体に設けられたフランジ(12)(14)とからなり、同一形状とされている。
　ガスケット(4)は、両継手部材(2)(3)の突き合わせ端面間で面シールを形成することでシール性を得るようになっている。両継手部材(2)(3)は、突き合わせ面において互いに対称となるように形成されており、ガスケット(4)も、中心面において対称となるように形成されている。ガスケット(4)の内径は、各継手部材(2)(3)の内径に等しくなされている。
　継手部材(2)(3)の突き合わせ端面には、ガスケット(4)を収めるための環状の凹所(7)が形成されている。継手部材(2)(3)の突き合わせ端部は、凹所(7)の径方向内側および径方向外側の両方において互いに突き合わされており、環状の凹所(7)は、径方向内側および径方向外側のいずれにも開口しない形状とされている。環状の凹所(7)は、径方向内側に開口した形状とされていてもよい。
　おねじ部材(5)は、円筒状の本体(15)と、本体(15)の右端面（突き合わせ端面）から右方（軸方向）に突出して両継手部材(2)(3)の突き合わせ部外周面を覆う円筒状カバー部(16)と、本体(15)の右端部（突き合わせ端部）の外周に設けられたおねじ部(17)と、本体(15)の左端部（反突き合わせ端部）の外周に設けられた六角係合部(18)とを有している。おねじ部材(5)は、第１継手部材(2)に左方から嵌められて、その本体(15)右面が第１継手部材(2)のフランジ(12)の左面に左方から当接させられている。
　めねじ部材(6)は、袋ナットと称されるもので、第２継手部材(3)に右方から嵌められている。めねじ部材(6)は、本体(19)と、本体(19)の右端部に設けられた内向きフランジ(20)とを有している。本体(19)の左端部の内周には、おねじ部材(5)のおねじ部(17)にねじ合わされているめねじ部(19a)が形成されている。内向きフランジ(20)は、第２継手部材(3)のスリーブ本体(13)の周囲にはめられて、第２継手部材(3)のフランジ(12)の右面に右方から当接させられている。
　おねじ部材(5)のカバー部(16)の内径は、第１および第２継手部材(2)(3)のフランジ(12)(14)の外径よりわずかに大きくされ、外径は、めねじ部材(6)の内径よりもわずかに小さくなされている。
　第２継手部材(3)のフランジ(14)とめねじ部材(6)の内向きフランジ(20)との間に共回り防止手段としてのスラストワッシャ(8)が介在させられている。
　スラストワッシャ(8)は、合成樹脂製とされてもよく、ステンレス鋼表面にＮｉ（ニッケル）－Ｐ（リン）＋ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）複合皮膜が形成されてかつ熱処理が施されたものなどとされてもよい。
　ガスケット(4)は、断面がＴ字形とされており、第１の面シールを行う径方向外側の断面略方形の厚肉部(21)と、第２の面シールを行う径方向内側の断面略方形の薄肉部(22)とを備えている。
　ガスケット(4)の形状に対応して、ガスケット収納用凹所(7)は、径方向外側の断面略方形の幅広部(23)と、径方向内側の断面略方形の幅狭部(24)とを備えている。
　ガスケット(4)の厚肉部(21)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(7)の幅広部(23)の内面に密着し、ガスケット(4)の薄肉部(22)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(7)の幅狭部(24)の内面に密着している。
　図２および図３に示すように、ガスケット(4)の厚肉部(21)、薄肉部(22)およびそれらの境界に形成される各コーナー部分には、丸みが付けられており、これに対応して、ガスケット収納用凹所(7)の幅広部(23)、幅狭部(24)およびそれらの境界に形成される各コーナー部分にも、丸みが付けられている。
　ガスケット(4)の薄肉部(22)の径方向内側面には、径方向外側に向かって凸となる曲面部(22a)が形成されている。この曲面部(22a)が設けられていることにより、高温時においても、薄肉部(22)の径方向内側面が径方向内側にはみ出す（径方向内側に向かって凸となる）ことが防止されている。
　ガスケット(4)の厚肉部(21)の径方向外側面には、径方向外側に向かって突出する２つのリップ（断面半円状の環状の突起）(25)が対称状に形成されている。このリップ(25)が設けられていることにより、流体継手(1)にガスケット(4)を装着した際におけるガスケット収納用凹所(7)からのガスケット(4)の脱落を防止することができる。リップ(25)の高さは、例えば、０．１～０．２ｍｍとされる。
　上記第１実施形態の流体継手(1)において、ガスケット(4)の径方向外側の厚肉部(21)は、流体の加圧を行う場合を考慮して設計され、ガスケット(4)の径方向内側の薄肉部(22)は、流体の真空を行う場合を考慮して設計される。また、厚肉部(21)による第１の面シールのつぶし代（またはつぶし率）と薄肉部(22)による第２の面シールのつぶし代（またはつぶし率）とは、それぞれ別個に好ましい値（通常は異なる値）に設定される。こうして、ガスケット(4)の厚肉部(21)および薄肉部(22)の両方がそれぞれ面シールを行うことで、優れたシール性を得ることができる。
　図４は、この発明による流体継手の第２実施形態を示している。なお、図４は、流体継手を締め付けた後の状態を示している。
　図４に示すように、流体継手(31)は、管継手であり、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材(32)(33)と、両継手部材(32)(33)間に介在させられた円環状ガスケット(34)と、第１の継手部材(32)に嵌められた略円筒状のおねじ部材(35)と、第２の継手部材(33)に嵌められた略円筒状のめねじ部材(36)とを備えている。
　継手部材(32)(33)、ガスケット(34)、おねじ部材(35)およびめねじ部材(36)は、全て、金属製とされている。
　各継手部材(32)(33)は、内周が流体通路となる円筒状のスリーブ本体(41)(43)と、その突き合わせ端部に一体に設けられたフランジ(42)(44)とからなり、同一形状とされている。
　ガスケット(34)は、両継手部材(32)(33)の突き合わせ端面間で面シールを形成することでシール性を得るようになっている。両継手部材(32)(33)は、突き合わせ面において互いに対称となるように形成されており、ガスケット(34)も、中心面において対称となるように形成されている。ガスケット(34)の内径は、各継手部材(32)(33)の内径に等しくなされている。
　継手部材(32)(33)の突き合わせ端面には、ガスケット(34)を収めるための環状の凹所(37)が形成されている。継手部材(32)(33)の突き合わせ端部は、凹所(37)の径方向外側において互いに突き合わされており、環状の凹所(37)は、径方向内側に開口した形状とされている。
　第２継手部材(33)のフランジ(44)とめねじ部材(36)の内向きフランジとの間に共回り防止手段としてのスラストワッシャ(38)が介在させられている。
　おねじ部材(35)、めねじ部材(36)およびスラストワッシャ(38)の形状は、第１実施形態と同じとされている。これらについての詳細な説明は省略する。
　ガスケット(34)は、断面がＴ字形とされており、第１の面シールを行う径方向外側の断面略方形の厚肉部(51)と、第２の面シールを行う径方向内側の断面略方形の薄肉部(52)とを備えている。
　ガスケット(34)の形状に対応して、ガスケット収納用凹所(37)は、径方向外側の断面略方形の幅広部(53)と、径方向内側の断面略方形の幅狭部(54)とを備えている。
　ガスケット(34)の厚肉部(51)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(37)の幅広部(53)の内面に密着し、ガスケット(34)の薄肉部(52)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(37)の幅狭部(54)の内面に密着している。
　第１実施形態のものに対し、継手部材(32)(33)およびガスケット(34)が金属製とされていることに伴い、ガスケット(34)の厚肉部(51)、薄肉部(52)およびそれらの境界に形成される各コーナー部分には、大きな丸みはなく、これに対応して、ガスケット収納用凹所(37)の幅広部(53)、幅狭部(54)およびそれらの境界に形成される各コーナー部分にも、大きな丸みは設けられていない。また、ガスケット(34)の薄肉部(52)の径方向内側面の曲面部およびガスケット(34)の厚肉部(51)の外周面のリップも省略されている。
　上記第２実施形態の流体継手(31)において、ガスケット(34)の径方向外側の厚肉部(51)は、流体の加圧を行う場合を考慮して設計され、ガスケット(34)の径方向内側の薄肉部(52)は、流体の真空を行う場合を考慮して設計される。また、厚肉部(51)による第１の面シールのつぶし代（またはつぶし率）と薄肉部(52)による第２の面シールのつぶし代（またはつぶし率）とは、それぞれ別個に好ましい値（通常は異なる値）に設定される。こうして、ガスケット(34)の厚肉部(51)および薄肉部(52)の両方がそれぞれ面シールを行うことで、優れたシール性を得ることができる。
　なお、第２実施形態の各継手部材(32)(33)の突き合わせ端面には、図示省略しているが、ガスケット(34)を押さえる環状突起が設けられているようにしてもよい。
　図５は、この発明による流体継手の第３実施形態を示している。なお、図５は、流体継手を締め付けた後の状態を示している。
　図５に示すように、流体継手(61)は、管継手であり、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材(62)(63)と、両継手部材(62)(63)間に介在させられた第１および第２の円環状ガスケット(64)(65)と、第１の継手部材(62)に嵌められた略円筒状のおねじ部材(66)と、第２の継手部材(63)に嵌められた略円筒状のめねじ部材(67)とを備えている。
　継手部材(62)(63)、第１のガスケット(64)、おねじ部材(66)およびめねじ部材(67)は、全て、金属製とされており、第２のガスケット(65)は、合成樹脂製とされている。
　各継手部材(62)(63)は、内周が流体通路となる円筒状のスリーブ本体(71)(73)と、その突き合わせ端部に一体に設けられたフランジ(72)(74)とからなり、同一形状とされている。
　第１および第２のガスケット(64)(65)は、両継手部材(62)(63)の突き合わせ端面間で面シールを形成することでシール性を得るようになっている。両継手部材(62)(63)は、突き合わせ面において互いに対称となるように形成されており、第１および第２のガスケット(64)(65)も、中心面において対称となるように形成されている。第１のガスケット(64)の内径は、各継手部材(62)(63)の内径に等しくなされている。
　継手部材(62)(63)の突き合わせ端面には、第１および第２のガスケット(64)(65)を収めるための環状の凹所(68)が形成されている。継手部材(62)(63)の突き合わせ端部は、凹所(68)の径方向外側において互いに突き合わされており、環状の凹所(68)は、径方向内側に開口した形状とされている。
　第２継手部材(63)のフランジ(74)とめねじ部材(67)の内向きフランジとの間に共回り防止手段としてのスラストワッシャ(69)が介在させられている。
　おねじ部材(66)、めねじ部材(67)およびスラストワッシャ(69)の形状は、第１実施形態と同じとされており、これらについての詳細な説明は省略する。
　第１および第２のガスケット(64)(65)は、その合わせた形状が断面Ｔ字形とされて、第１の面シールを行う径方向外側の断面略方形の厚肉部(81)と、第２の面シールを行う径方向内側の断面略方形の薄肉部(82)とを形成している。
　第１のガスケット(64)は、薄肉部(82)を構成しており、その外周面に断面半円形の環状の凹所(64a)が形成され、第２のガスケット(65)は、厚肉部(81)を構成しており、その内周面に環状の凸部(65a)が形成されている。そして、凹所(64a)と凸部(65a)とが嵌め合わされることにより、第１および第２のガスケット(64)(65)は、全体として、断面Ｔ字形の環状のガスケットを構成している。
　第１および第２のガスケット(64)(65)の形状に対応して、ガスケット収納用凹所(68)は、径方向外側の断面略方形の幅広部(83)と、径方向内側の断面略方形の幅狭部(84)とを備えている。
　厚肉部(81)を構成している第２のガスケット(65)は、その露出している面ほぼ全面でガスケット収納用凹所(68)の幅広部(83)の内面に密着し、薄肉部(52)を構成している第１のガスケット(64)は、その露出している面ほぼ全面でガスケット収納用凹所(68)の幅狭部(84)の内面に密着している。
　継手部材(62)(63)のスリーブ本体(71)(73)の突き合わせ端面には、第１のガスケット(64)を押さえる環状突起(71a)(73a)が設けられている
　上記第３実施形態の流体継手(61)において、厚肉部(81)を形成している径方向外側のガスケット(65)は、流体の加圧を行う場合を考慮して設計され、薄肉部(82)を形成している径方向内側のガスケット(64)は、流体の真空を行う場合を考慮して設計される。また、厚肉部(81)による第１の面シールのつぶし代（またはつぶし率）と薄肉部(82)による第２の面シールのつぶし代（またはつぶし率）とは、それぞれ別個に好ましい値（通常は異なる値）に設定される。そして、金属製ガスケット(64)によると、形状の経時変化が金属製のものに比べて大きいという合成樹脂製のガスケット(65)の短所が補われ、合成樹脂製のガスケット(65)によると、酸性フッ化アンモンなどのような金属を腐食させる流体に対する金属製ガスケット(64)の短所が補われる。こうして、金属製ガスケット(64)および合成樹脂製ガスケット(65)の両方がそれぞれ面シールを行うことで、優れたシール性を得ることができる。
　図６は、この発明による流体継手の第４実施形態を示しており、流体継手(91)は、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の継手部材(92)(93)と、両継手部材(92)(93)間に介在させられた円環状ガスケット(4)と、両継手部材(92)(93)を結合する複数（１または複数）のボルト(94)とを備えている。
　ガスケット(4)は、第１実施形態のものと同じものとされている。
　各継手部材(92)(93)は、内周が流体通路となる円筒状のスリーブ(95)と、これとは別部材のフランジ(96)とからなり、突き合わされるスリーブ(95)同士およびフランジ(96)同士がいずれも同一形状とされている。
　各ボルト(94)は、六角孔が形成された頭部(97)と、軸部(98)とからなり、軸部(98)は、先端部分におねじ(98a)が形成されて残りの部分(98b)にはおねじが形成されていないものとされている。
　各継手部材(92)(93)のスリーブ(95)は、互いに突き合わされており、その突き合わせ端部の外周には、フランジ部(95a)が設けられ、突き合わせ端面には、ガスケット(4)を収容するための凹所(7)が形成されている。
　ガスケット(4)を収容するための凹所(7)は、ガスケット(4)が第１実施形態のものと同じものとされていることに伴い、第１実施形態のものと同じものとされている。
　すなわち、ガスケット(4)は、断面がＴ字形とされており、第１の面シールを行う径方向外側の断面略方形の厚肉部(21)と、第２の面シールを行う径方向内側の断面略方形の薄肉部(22)とを備えている。ガスケット(4)の形状に対応して、ガスケット収納用凹所(7)は、径方向外側の断面略方形の幅広部(23)と、径方向内側の断面略方形の幅狭部(24)とを備えている。そして、ガスケット(4)の厚肉部(21)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(7)の幅広部(23)の内面に密着し、ガスケット(4)の薄肉部(22)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(7)の幅狭部(24)の内面に密着している。
　各継手部材(92)(93)のフランジ(96)は、スリーブ(95)に挿通される貫通孔(96a)を有し、スリーブ(95)に嵌め合わされた状態で互いに突き合わされている。フランジ(96)の突き合わせ端部の内周には、スリーブ(95)のフランジ部(95a)が嵌め入れられている凹所(96b)が形成されている。
　フランジ(96)には、ボルト(94)が挿入される孔として、突き合わせ端面側の軸挿通孔(99)およびこれに連なって反突き合わせ端面までのびるねじ孔(100)が形成されている。
　１対のフランジ(96)は、突き合わせ端面側に軸挿通孔(99)が反突き合わせ端面側にねじ孔(100)がある対向状の配置とされている。
　上記第４実施形態の流体継手(91)によると、シール部分が第１実施形態の流体継手(1)と同じにされているので、第１実施形態のものと同様に、優れたシール性を得ることができる。
　なお、上記第４実施形態において、各継手部材(92)(93)は、スリーブ(95)およびフランジ(96)からなるものとされているが、継手部材の構成は、これに限定されるものではない。各継手部材は、例えば、１つの部材とされてもよく、３以上の部材から構成されてもよく、各部材の形状についても、種々変更が可能である。
　また、上記第１から第４までの各実施形態は、管継手とされているが、上記のガスケット(4)(34)(64)(65)を使用したシール構成は、管継手以外の流体継手として、各種装置の継手部分に適用することができる。その１例として、図７に流体継手の第５実施形態を示す。
　図７において、流体継手(101)は、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の部材(92)(102)と、両部材(92)(102)間に介在させられた円環状ガスケット(4)と、両継手部材(92)(102)を結合する複数（１または複数）のボルト(94)とを備えている。第１の部材(92)は、第４実施形態の一方の継手部材(92)と同じ管状継手部材であり、第２の部材(102)は、半導体製造装置のガス供給部において使用されるアルミニウム製のチャンバの部分である。
　第１の部材(92)については、第４実施形態のものと同じ符号を付し、その説明を省略する。第２の部材(102)には、めねじ部(103a)を有する接続部(103)が設けられている。
　ガスケット(4)およびこれを収容するための凹所(7)は、第４実施形態のものとほぼ同じとされている。
　すなわち、ガスケット(4)は、断面がＴ字形とされており、第１の面シールを行う径方向外側の断面略方形の厚肉部(21)と、第２の面シールを行う径方向内側の断面略方形の薄肉部(22)とを備えている。ガスケット(4)の形状に対応して、ガスケット収納用凹所(7)は、径方向外側の断面略方形の幅広部(23)と、径方向内側の断面略方形の幅狭部(24)とを備えている。そして、ガスケット(4)の厚肉部(21)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(7)の幅広部(23)の内面に密着し、ガスケット(4)の薄肉部(22)は、そのほぼ全面でガスケット収納用凹所(7)の幅狭部(24)の内面に密着している。
　なお、図７に示す実施形態では、凹所(7)は、径方向内側に開口した形状とされている。
　上記第５実施形態の流体継手(101)によると、シール部分が第１実施形態の流体継手(1)と同じにされているので、第１実施形態のものと同様に、優れたシール性を得ることができる。
  この発明によると、シール性の向上が常に課題となっている流体継手用ガスケットおよび流体継手において、そのシール性を向上させることができるので、流体継手用ガスケットおよび流体継手の性能向上に寄与できる。

Claims (6)

  1. 　流体継手に設けられた環状の凹所に嵌め入れられることで面シールを行うガスケットであって、第１の面シールを行う厚肉部と、第２の面シールを行う薄肉部とを備えていることを特徴とする流体継手用ガスケット。
  2. 　外周面に、落下防止用突起が少なくとも１つ設けられていることを特徴とする請求項１の流体継手用ガスケット。
  3. 　厚肉部および薄肉部のうちのいずれか一方が金属で形成され、同他方が合成樹脂で形成されている請求項１の流体継手用ガスケット。
  4.   第１の流体通路を有する第１の部材と、第２の流体通路を有し、第１の部材に流体密に接続される第２の部材と、両部材の突き合わせ部分に介在されるガスケットと、両部材を連結するねじ手段とを備えており、各部材の突き合わせ端面に、部材同士が突き合わされた際にガスケットが収納される環状のガスケット収納用凹所が設けられている流体継手において、
    　ガスケット収納用凹所は、ガスケットの厚肉部を収容するための幅広部と、ガスケットの薄肉部を収容するための幅狭部とを備え、ガスケットが請求項１から３までのいずれかに記載の流体継手用ガスケットとされていることを特徴とする流体継手。
  5. 　第１の部材および第２の部材は、いずれも管状継手部材である請求項４の流体継手。
  6. 　第１の部材は、ボルト挿通孔を有するフランジが設けられた管状継手部材であり、第２の部材は、めねじ部を有する接続部が設けられた部材である請求項４の流体継手。
PCT/JP2016/059651 2015-04-15 2016-03-25 流体継手用ガスケットおよび流体継手 WO2016167100A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/566,367 US11255468B2 (en) 2015-04-15 2016-03-25 Gasket for fluid coupling, and fluid coupling
KR1020177031856A KR102502375B1 (ko) 2015-04-15 2016-03-25 유체 커플링용 개스킷 및 유체 커플링
CN201680029266.6A CN107850245A (zh) 2015-04-15 2016-03-25 液力联轴器用垫圈和液力联轴器

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-082996 2015-04-15
JP2015082996A JP6699992B2 (ja) 2015-04-15 2015-04-15 流体継手用ガスケットおよび流体継手

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016167100A1 true WO2016167100A1 (ja) 2016-10-20

Family

ID=57127237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/059651 WO2016167100A1 (ja) 2015-04-15 2016-03-25 流体継手用ガスケットおよび流体継手

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11255468B2 (ja)
JP (1) JP6699992B2 (ja)
KR (1) KR102502375B1 (ja)
CN (1) CN107850245A (ja)
TW (1) TWI725965B (ja)
WO (1) WO2016167100A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107013773A (zh) * 2017-05-10 2017-08-04 宁波天生密封件有限公司 密封连接装置
JP2019183693A (ja) * 2018-04-04 2019-10-24 トヨタ自動車株式会社 ダクト
EP3650737A4 (en) * 2017-07-04 2021-04-14 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. CONNECTION STRUCTURE FOR A FLUID DEVICE
US11236851B1 (en) 2021-04-06 2022-02-01 Trinity Bay Equipment Holdings, LLC Quick connect pipe fitting systems and methods
US20220243846A1 (en) * 2021-02-04 2022-08-04 Ng7 Llc Rotational fitting for low purity, high purity, and ultra high purity gas lines or process cooling and critical process cooling water systems

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202016103361U1 (de) * 2016-06-24 2017-09-26 Heico Befestigungstechnik Gmbh Befestiger sowie Scheibe dafür
CN107143708A (zh) * 2017-06-01 2017-09-08 宁波天生密封件有限公司 密封连接装置
KR101950739B1 (ko) * 2017-05-29 2019-04-29 (주)필택산업 관이음 커플러
CN107830276B (zh) * 2017-11-27 2023-10-24 重庆优特模具有限公司 喷砂管道
US11320050B2 (en) * 2018-02-23 2022-05-03 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. Structure for mounting gasket on block
JP6488035B1 (ja) * 2018-03-08 2019-03-20 大基産業株式会社 管接続構造
CN108612930A (zh) * 2018-06-29 2018-10-02 鞍钢建设集团有限公司 一种螺纹装配式管道连接装置
CN112888893A (zh) * 2018-10-26 2021-06-01 株式会社富士金 流体供给系统、流体控制装置以及半导体制造装置
CN110583306A (zh) * 2019-10-17 2019-12-20 广西顺来茶业有限公司 一种银丝茉莉专用多功能攀藤架
US11774015B2 (en) 2020-03-10 2023-10-03 Fujikin Incorporated Pipe joint
CN111654149B (zh) * 2020-05-19 2021-09-28 格力电器（杭州）有限公司 一种轴连接结构及电机
US11655921B2 (en) * 2021-03-11 2023-05-23 Pratt & Whitney Canada Corp. Multi-seal coupling for a hydrogen fuel system of a gas turbine engine

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1194436A (en) * 1968-05-08 1970-06-10 Nat Res Dev Unions between Tubular Members
JPS6360788U (ja) * 1986-10-09 1988-04-22
JPH02127882U (ja) * 1989-03-28 1990-10-22
JPH0646054U (ja) * 1992-11-26 1994-06-24 株式会社竹村製作所 水道用ユニオン装置
JPH10318460A (ja) * 1997-05-14 1998-12-04 Furon Co 流体輸送カップリング
JP2006313006A (ja) * 2005-07-12 2006-11-16 Nippon Pillar Packing Co Ltd 集積パネルと流体デバイスとの接続構造
JP2013068270A (ja) * 2011-09-22 2013-04-18 Tokyo Electron Ltd 継手用シール装置
JP2013124681A (ja) * 2011-12-13 2013-06-24 Musashi Eng Co Ltd 流路接続部のシール構造

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US535236A (en) * 1895-03-05 Pipe-coupling
US1426724A (en) * 1920-05-05 1922-08-22 Fyffe Thomas Lillie Collar or the like for joining hard-metal pipes
US2070291A (en) * 1934-11-26 1937-02-09 Raybestos Manhattan Inc Rubber lined pipe coupling
US2287142A (en) * 1939-12-21 1942-06-23 Simmonds Dev Corp Ltd Pipe coupling
US2699344A (en) * 1952-08-04 1955-01-11 Walter E Bissell Repair coupling with temporary and permanent seals
US2761707A (en) * 1954-12-16 1956-09-04 Aeroquip Corp Tube coupling with impressionable metallic seal
US3189371A (en) * 1961-12-22 1965-06-15 Shell Oil Co Joint for lined pipe sections with gasket compression limiting means
US3521892A (en) * 1968-01-03 1970-07-28 Res Eng Co Seal
US3679237A (en) * 1970-06-23 1972-07-25 Technicon Instr Coupling for joining glass pipe sections and the like
JPS52134671A (en) 1976-05-07 1977-11-11 Kogyo Gijutsuin Method of producing composite molded article
DE2854662C2 (de) * 1978-12-18 1983-08-25 WOCO Franz-Josef Wolf & Co, 6483 Bad Soden-Salmünster Dichtungsring für Rippenrohre
DE3149833C2 (de) * 1981-12-16 1983-11-03 Karl Dipl.-Ing.(FH) 4040 Neuss Weinhold Vorrichtung zum Verbinden von Bundrohren
DE3567950D1 (en) * 1984-12-11 1989-03-02 Agintec Ag Tube coupling
DE3508287A1 (de) * 1985-03-08 1986-09-11 Agintec AG, Pfäffikon Rohranschluss fuer armaturen oder maschinen
WO1989003495A1 (fr) * 1987-10-09 1989-04-20 Eferel S.A. Raccord a joint metallique annulaire interchangeable
US5222747A (en) * 1991-05-01 1993-06-29 General Components, Inc. Fitting with overtightening prevention gasket
CA2127957A1 (en) * 1993-09-29 1995-03-30 Gerald A. Babuder Clamped flange fitting and assembly
CN1131953C (zh) * 1997-02-24 2003-12-24 斯瓦戈洛克公司 法兰接头和垫圈组件与密封垫圈和密封法兰接头的方法
JP4431940B2 (ja) * 2003-04-10 2010-03-17 旭有機材工業株式会社 配管部材の接続構造
US7350833B2 (en) * 2004-03-15 2008-04-01 Bongiorno Louis C Self-aligning aseptic flanged joint
JP4680910B2 (ja) * 2004-07-16 2011-05-11 シーケーディ株式会社 シール構造、流体機器、集積弁及びシール部材
US7942165B2 (en) 2005-07-12 2011-05-17 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. Connection structure between integrated panel and fluid device
US7686351B2 (en) * 2007-07-27 2010-03-30 Air Products And Chemicals, Inc. Soft insert gasket
US8468849B2 (en) * 2010-03-05 2013-06-25 Visteon Global Technologies, Inc. Double metal seal fitting
JP5941643B2 (ja) 2011-09-22 2016-06-29 株式会社フジキン 継手
WO2013153672A1 (ja) * 2012-04-13 2013-10-17 株式会社ウェステックフィールド 着脱式シールリング

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1194436A (en) * 1968-05-08 1970-06-10 Nat Res Dev Unions between Tubular Members
JPS6360788U (ja) * 1986-10-09 1988-04-22
JPH02127882U (ja) * 1989-03-28 1990-10-22
JPH0646054U (ja) * 1992-11-26 1994-06-24 株式会社竹村製作所 水道用ユニオン装置
JPH10318460A (ja) * 1997-05-14 1998-12-04 Furon Co 流体輸送カップリング
JP2006313006A (ja) * 2005-07-12 2006-11-16 Nippon Pillar Packing Co Ltd 集積パネルと流体デバイスとの接続構造
JP2013068270A (ja) * 2011-09-22 2013-04-18 Tokyo Electron Ltd 継手用シール装置
JP2013124681A (ja) * 2011-12-13 2013-06-24 Musashi Eng Co Ltd 流路接続部のシール構造

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107013773A (zh) * 2017-05-10 2017-08-04 宁波天生密封件有限公司 密封连接装置
EP3650737A4 (en) * 2017-07-04 2021-04-14 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. CONNECTION STRUCTURE FOR A FLUID DEVICE
US11953135B2 (en) 2017-07-04 2024-04-09 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. Fitting assembly for fluid device
JP2019183693A (ja) * 2018-04-04 2019-10-24 トヨタ自動車株式会社 ダクト
JP7010752B2 (ja) 2018-04-04 2022-01-26 トヨタ自動車株式会社 ダクト
US20220243846A1 (en) * 2021-02-04 2022-08-04 Ng7 Llc Rotational fitting for low purity, high purity, and ultra high purity gas lines or process cooling and critical process cooling water systems
US11236851B1 (en) 2021-04-06 2022-02-01 Trinity Bay Equipment Holdings, LLC Quick connect pipe fitting systems and methods

Also Published As

Publication number Publication date
CN107850245A (zh) 2018-03-27
JP2016205408A (ja) 2016-12-08
KR20170137134A (ko) 2017-12-12
TW201700893A (zh) 2017-01-01
US20180299042A1 (en) 2018-10-18
JP6699992B2 (ja) 2020-05-27
TWI725965B (zh) 2021-05-01
KR102502375B1 (ko) 2023-02-21
US11255468B2 (en) 2022-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016167100A1 (ja) 流体継手用ガスケットおよび流体継手
US11353118B2 (en) Leak resistant and serviceable receptacle
TWI718324B (zh) 管接頭
US8888139B2 (en) Metal hose end fitting
TWI614436B (zh) 管連接裝置
US20110163540A1 (en) O-ringless seal couplings
TW201502407A (zh) 管連接裝置
KR20220019064A (ko) 고순도 유체 통로를 접합하기 위한 초밀봉 가스켓
US20150090916A1 (en) Ball Valve Having Conically Shaped Stem Seal
JP5895330B2 (ja) 高圧パイプ用継手のシーリング構造
JP4268913B2 (ja) 流体機器どうしの接続構造
JP4221348B2 (ja) フランジ配管どうしの接続構造及びフランジ配管と流体機器との接続構造
JP2849345B2 (ja) 管継手
JP4848467B2 (ja) フランジ配管と流体機器との接続構造
JP4779153B2 (ja) 配管用継手
JP2019178689A (ja) 管継手
JP2006161830A (ja) フランジ配管どうしの接続構造及びフランジ配管と流体機器との接続構造
JP2007146880A (ja) 管継手
JP7281175B2 (ja) バルブ
US20230341070A1 (en) Tapered thread connection sealing arrangements
JP2020180695A (ja) 管継手
JPH1089556A (ja) 配管用ステンレス鋼管と継手との接続機構
JPH04132290U (ja) 樹脂製管継手
JP2004218755A (ja) 絶縁継手構造および絶縁継手構造を備えた弁
JPH0620986U (ja) 樹脂製管継手

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16779891

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15566367

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20177031856

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16779891

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1