WO2016166980A1 - １軸回転アクチュエーター - Google Patents

１軸回転アクチュエーター Download PDF

Info

Publication number
WO2016166980A1
WO2016166980A1 PCT/JP2016/002016 JP2016002016W WO2016166980A1 WO 2016166980 A1 WO2016166980 A1 WO 2016166980A1 JP 2016002016 W JP2016002016 W JP 2016002016W WO 2016166980 A1 WO2016166980 A1 WO 2016166980A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
holder
diffraction grating
coil
actuator
yoke
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2016/002016
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
政大 齊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsumi Electric Co Ltd
Original Assignee
Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsumi Electric Co Ltd filed Critical Mitsumi Electric Co Ltd
Publication of WO2016166980A1 publication Critical patent/WO2016166980A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/18—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets

Definitions

  • the present invention relates to a uniaxial rotary actuator for rotationally driving an optical element such as a diffraction grating in a uniaxial direction, for example.
  • the wavelength of light reaching the slit is changed by rotationally driving the diffraction grating by an actuator.
  • an actuator a stepping motor, a sign bar mechanism, etc. are often used.
  • Patent Document 1 discloses a small-sized mirror tilt actuator capable of driving a mirror with high accuracy by magnetically driving a mirror held on a base via a leaf spring using a coil, a magnet and a yoke. .
  • the conventional monochromator using a stepping motor, a sign bar mechanism, etc. was not suitable for miniaturization. That is, the stepping motor is relatively large, and further, if the rotational resolution of the stepping motor does not satisfy the spectral performance of the monochromator, a reduction gear (gear) is required, and the size is further increased. Similarly, the sine bar mechanism needs a lead screw and thus is large and not suitable for miniaturization.
  • the actuator of Patent Document 1 since the actuator of Patent Document 1 has a large number of parts to be assembled, the assembly becomes complicated accordingly, and further the driving accuracy is deteriorated if the assembly accuracy is poor, so high assembly accuracy is required. Conceivable. That is, labor and time are required to assemble many parts with high accuracy. Furthermore, although the actuator of Patent Document 1 can also be driven in one axial direction, basically, it has a configuration in which driving in two axial directions is also assumed. Is considered to be likely to occur.
  • the present invention has been made in consideration of the above points, and provides a small-sized, high-precision, single-axis rotary actuator suitable for rotationally driving an optical element such as a diffraction grating in the direction of one axis.
  • a holder having a mounting surface on which the optical element is mounted, and a rotation axis;
  • a fixing portion having a bearing for holding the rotary shaft of the holder;
  • An elastic member comprising an outer peripheral portion fixed to the fixing portion, an inner peripheral portion fixed to the holder, and an elastic arm portion connecting the outer peripheral portion and the inner peripheral portion;
  • a drive unit having a coil provided in the holder and a magnet provided in the fixed unit; Equipped with
  • FIG. 1 The perspective view which shows the whole structure of the 1 axis rotation actuator which concerns on embodiment Exploded perspective view of the actuator
  • A-A 'sectional view of FIG. 1 and FIG. 2 Diagram for explaining the direction of the magnetic force generated by the actuator, the direction of the current, the direction of the Lorentz force, and the rotational moment
  • FIG. 1 The perspective view which shows the attachment state of the magnet to a yoke
  • FIG. 9A is a diagram showing a state of rotation of the holder (diffraction grating)
  • FIG. 9A is a diagram showing no current flow through the coil
  • FIG. 9B is a diagram showing a current flow in the direction shown in FIG. 9C shows a state in which a current is applied to the coil in the direction opposite to the direction shown in FIG. 7
  • FIG. 10A, FIG. 10B, and FIG. 10C are diagrams for explaining the rotational position detection using the optical sensor and the reflection plate.
  • FIG. 11A is a view showing an example of the configuration of the optical sensor
  • FIG. 11B is a graph showing the relationship between the distance from the optical sensor to the reflector and the output current ratio
  • FIG. 1 is a perspective view showing the entire configuration of a single-axis rotary actuator 100 (hereinafter simply referred to as “actuator”) according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator 100.
  • the actuator 100 rotates the diffraction grating 1 in one axial direction to change the wavelength of light reaching the slit (not shown) through the diffraction grating 1 according to the rotation angle of the diffraction grating 1 It has become.
  • an application example of the actuator 100 shown in FIG. 1 to a spectroscope will be described later with reference to FIG.
  • the direction of the reflection surface of the diffraction grating 1 is referred to as the front surface direction
  • the direction opposite to the reflection surface is referred to as the back surface direction.
  • the actuator 100 includes the fixed angle 2, the base 3, the magnet 10, the fixing portion 20, the plate spring 30, the coil 40, the holder 50, the spacer 60, and the cover 70. It has an optical sensor 80 and a flexible printed circuit board 90.
  • the fixed angle 2 has a substantially L-shaped cross-sectional shape, and the components of the actuator 100 are attached to the front surface, and the lower surface is fixed to a predetermined fixing surface. Thus, the actuator 100 is attached to a predetermined surface via the fixed angle 2.
  • the fixing portion 20 is composed of a frame 21 and a yoke 22 for holding the magnet 10.
  • the frame 21 is formed with a recessed bearing 21 a that holds the rotation shaft 52 of the holder 50.
  • the yoke 22 has a U-shaped cross-sectional shape, and is fitted to the frame 21 while holding the magnet 10.
  • the fixing portion 20 is attached to the fixed angle 2 through the base 3.
  • the magnet 10 includes two magnets 11 and 12 attached to the bottom of the yoke 22 at a predetermined distance, and two magnets 13 and 14 attached to face the side of the yoke 22.
  • the attachment of the magnet 10 to the yoke 22 is shown in FIG.
  • the magnets 11 and 12 are attached to the yoke 22 such that the S pole is directed to the yoke 22 side and the N pole is directed to the surface side.
  • the magnets 13 and 14 are attached to the yoke 22 such that the N pole is directed to the yoke side and the S pole is directed to the surface side, that is, the S poles face each other.
  • the N pole and the S pole may all be reversed from those in FIG.
  • the magnets 11 and 12 are attached to the yoke 22 so that the N pole is directed to the yoke 22 side and the S pole is directed to the surface side, and the S poles are oriented to the yoke side and the magnets 13 and 14 are N It may be attached to the yoke 22 so that the poles are oriented, that is, the N poles face each other.
  • the frame 21 has a substantially square outer shape, and a leaf spring 30 is attached to the edge of the frame 21. Further, the holder 50 and the coil 40 fixed to the holder 50 are disposed in the hollow portion of the frame 21.
  • the plate spring 30 has an outer peripheral portion 31 fixed to the frame 21 of the fixed portion 20, an inner peripheral portion 32 fixed to the holder 50, an outer peripheral portion 31 and an inner peripheral portion 32 as is apparent from FIG. And an arm portion 33 having elasticity to connect with each other.
  • the holder 50 has a holder main body 51 having a substantially square outer shape, a rotary shaft 52 protruding in the vertical direction from the holder main body 51, and a reflection plate 53 attached to the rotary shaft 52.
  • a mounting surface for mounting the diffraction grating 1 is formed on the surface side of the holder main body 51, and the diffraction grating 1 is fixed to the mounting surface by adhesion.
  • the diffraction grating 1 is bonded to the mounting surface of the holder body 51 together with the spacer 60 in a state of being positioned by being fitted into the opening 61 of the spacer 60.
  • the reflection plate 53 is disposed such that the main surface is present on the surface of the holder main body 51 extended from the main surface.
  • FIG. 4 The state which attached the leaf
  • the outer peripheral portion 31 of the plate spring 30 is fixed to the edge of the frame 21.
  • the holder main body 51 is disposed in the hollow portion of the frame 21.
  • the holder 50 is rotatable around the rotation shaft 52 by the rotation shaft 52 being axially supported by the bearing 21 a of the frame 21.
  • the protrusion 54 of the holder 50 is fitted to the inner circumferential portion 32 of the plate spring 30.
  • the holder 50 is rotatable about the rotation shaft 52 and is biased by the plate spring 30 so as to return to the neutral position as shown in FIG. 4.
  • the coil 40 is attached to the back surface side of the holder main body 51.
  • the state is shown in FIG.
  • the two air core coils 41 and 42 are fixed to the back surface of the holder body 51 at a predetermined distance.
  • currents in opposite directions flow in the respective coils 41 and 42. Specifically, in FIG. 5, a clockwise current flows in the coil 41, and a counterclockwise current flows in the coil 42.
  • the plate spring 30 is made of a material with good conductivity such as metal, and the coil 40 is supplied with electricity via the plate spring 30.
  • a feed portion (not shown) of the flexible printed circuit board 90 is connected to the outer peripheral portion 31 of the plate spring 30, and a coil 41 is formed on the inner peripheral portion 32 of the plate spring 30.
  • the 42 terminals 40a and 40b are connected.
  • the inner circumferential portion 32 and the terminals 40a and 40b are soldered.
  • power can be supplied from the flexible printed circuit board 90 to the coil 40 which is a movable portion through the plate spring 30.
  • the plate spring 30 also has a feeding function, the feeding system can be simplified, and the miniaturization of the apparatus can be promoted.
  • FIG. 6 is an A-A ′ cross section of FIG. 1 and FIG. 2 (at the time of assembly) cut by a line passing through the center of the diffraction grating 1.
  • the air core coil 41 is disposed above the rectangular magnet 11, and the air core coil 42 is disposed above the rectangular magnet 12. Further, the magnet 13 is disposed on the side of the coil 41, and the magnet 14 is disposed on the side of the coil 42.
  • the magnets 11 and 12 alternately enter the air core portions of the air core coils 41 and 42.
  • the magnets 11 and 12 are at the air core portions of the air core coils 41 and 42 in the state of a rotation angle of 0 ° shown in FIG. It is disposed slightly shifted from the center toward the rotating shaft.
  • FIG. 7 shows the direction of the magnetic force M0, the direction of the current, the direction of the Lorentz force L0, and the rotational moment M1 generated by the actuator 100.
  • a magnetic force M0 is generated from the magnet 11 on the bottom of the yoke 22 toward the magnet 13 on the side of the yoke 22, and a magnetic force M0 is generated from the magnet 12 on the bottom of the yoke 22 to the magnet 14 on the side of the yoke 22.
  • a magnetic force M0 is generated from each of the magnets 11 and 12 in the central direction of the yoke 22.
  • Lorentz force L0 is generated in the coils 41, 42.
  • FIG. 8 shows the relationship between the current value flowing through each of the coils 41 and 42 and the rotation angle of the holder 50 (diffraction grating 1).
  • the holder 50 (diffraction grating 1) rotates to a position where the rotational moment according to the value of the current flowing through the coils 41 and 42 and the biasing force of the plate spring 30 are balanced. Then, at a certain rotation angle (6.5 ° in the example of FIG. 8), the protrusion 55 of the holder 50 abuts on the back surface of the cover 70, and the rotation of the holder 50 is stopped.
  • a certain rotation angle 6.5 ° in the example of FIG. 8
  • FIG. 9 is a view showing a rotation state of the holder 50 (diffraction grating 1).
  • FIG. 9A shows a state in which no current flows through the coils 41 and 42, and the holder 50 (diffraction grating 1) is brought into a neutral (ie, rotation angle 0 °) state by the biasing force of the plate spring 30.
  • FIG. 9B shows a state in which current flows in the direction shown in FIG. 7 in each of the coils 41 and 42, and the holder 50 (diffraction grating 1) is rotated in the clockwise direction in the drawing.
  • FIG. 9C shows a state in which current flows in the direction opposite to the direction shown in FIG.
  • the holder 50 (diffraction grating 1) can be rotationally driven clockwise and counterclockwise about the neutral position of FIG. 9A by changing the direction of the current supplied by the coils 41 and 42. ing.
  • the rotational position of the holder 50 (diffraction grating 1) is detected by the optical sensor 80 attached to the fixed angle 2, and the detection result is sent to the control unit (not shown) via the flexible printed circuit board 90.
  • the control unit controls the rotation of the holder 50 (diffraction grating 1) by supplying current values corresponding to the detection result to the coils 41 and 42 through the flexible printed circuit board 90.
  • the optical sensor 80 emits light toward the reflecting plate 53 and detects the amount of reflected light to detect the rotational position. It has become. That is, the amount of light of the reflected light increases as the distance from the optical sensor 80 to the reflection plate 53 decreases, so the rotational position can be determined based on the amount of light.
  • FIG. 11A shows a configuration example of the optical sensor 80.
  • the optical sensor 80 emits light by the light emitting diode 81, receives the reflected light from the reflecting plate by the phototransistor 82, and obtains an output current according to the amount of reflected light.
  • FIG. 11B is a graph showing the relationship between the distance from the optical sensor 80 to the reflection plate 53 and the output current ratio (the output current when the maximum light amount is obtained is 100%).
  • the rotational position is detected by one optical sensor 80.
  • 180 may be provided. Then, as shown in FIG. 13, by taking the difference between the sensor outputs L80 and L180 obtained by these optical sensors 80 and 180, it is possible to obtain a linear sensor output L1.
  • FIG. 14 is a graph showing the torque generated by the actuator 100 of the present embodiment.
  • FIG. 14 shows the torque that is generated particularly when the current in the direction as shown in FIG. 7 is supplied.
  • the torque of the coil 41 rotating away from the magnet 11 decreases as the rotation angle increases, while the torque of the coil 42 rotating closer to the magnet 12 increases as the rotation angle increases.
  • the decrease in torque of the coil 41 rotating away from the magnet 11 is compensated by the increase in torque of the coil 42 rotating closer to the magnet 12.
  • the total torque does not decrease extremely as the rotation angle increases but becomes substantially flat.
  • the rotatable range of the holder 50 (diffraction grating 1) is set to -6.5 ° to + 6.5 °, and substantially flat torque is generated in this rotatable range. It can be done.
  • the rotatable range is not limited to this, and may be configured to rotate by ⁇ 6.5 ° or more. For example, the lower the protrusion 55 of the holder 50, the larger the rotation.
  • FIG. 15 shows a spectrum when white light is split by rotating the diffraction grating 1 with a grating pitch of 1.5 ⁇ m. It can be seen from FIG. 15 that if the diffraction grating 1 can be rotated by 10.3 ° or more, it is possible to diffract the entire visible light range.
  • the actuator 100 according to the present embodiment can rotate the diffraction grating 1 in the range of -6.5 ° to + 6.5 °, that is, 13 °, so that it is possible to diffract the entire visible light range. It is.
  • the holder 50 having the mounting surface to which the diffraction grating 1 is attached and the rotation shaft 52, and the fixing portion 20 having the bearing 21a for holding the rotation shaft 52 of the holder 50.
  • an elastic member a leaf spring comprising an outer peripheral portion 31 fixed to the fixed portion 20, an inner peripheral portion 32 fixed to the holder 50, and an elastic arm portion 33 connecting the outer peripheral portion 31 and the inner peripheral portion 32
  • a drive unit having a coil 40 provided in the holder 50 and a magnet 10 provided in the fixed unit 20, to rotationally drive an optical element such as the diffraction grating 1 in one axial direction
  • a suitable, small-sized, high-precision single-axis rotary actuator 100 can be realized.
  • any wavelength component in incident light can be extracted. That is, if the incident light is white, components such as blue, green and red can be taken out according to the angle at which the diffraction grating 1 is stopped, so it can also be used as a wavelength variable light source.
  • the air core dual coil 41, 42 is disposed to be accommodated on the back surface of the holder 50, and the magnets 11, 12 enter the air core portion of the coils 41, 42, so the magnetic efficiency is high and the XY size is high. Can realize a small one-axis rotary actuator 100.
  • the diffraction grating 1 can be performed only by attaching it to the mounting surface of the holder 50, the diffraction grating 1 of various shapes can be applied easily.
  • the spacer 60 in which the opening 61 corresponding to the shape of the diffraction grating 1 is formed the diffraction grating 1 of various sizes and shapes can be easily coped with.
  • the device can be miniaturized as compared with the case of using a rotary encoder or the like.
  • the configuration for detecting the angle is not limited to this.
  • a rotary encoder may be used, a Hall element may be used, and the angle may be detected by detecting the drive current with a shunt resistor.
  • the angle may be detected by measuring the inductance of the coils 41 and 42. That is, when the rotation angle changes, the magnetic flux passing through the coils 41 and 42 changes and the inductance changes, so that the angle can be detected by measuring this inductance.
  • a detection coil may be provided in addition to the drive coil, and the rotation angle may be detected by measuring the induced electromotive force generated in the detection coil.
  • the optical sensor may be stored and arranged inside the actuator.
  • the shape of the yoke is not limited to this.
  • the shape of the yoke may be, for example, as shown in FIG. That is, the yoke 122 may have a shape having a convex portion at the central portion. As a result, the magnetic flux in the vicinity of the convex portion can be strengthened, so that a larger rotational torque can be generated.
  • the configuration of the coil, the yoke and the magnet is not limited to the configuration of the above embodiment, and may be, for example, a configuration as shown in FIG.
  • one air core coil 140 is provided on the back surface side of the holder 50, and first and second yokes 222-1 and 222-2 are provided to sandwich the air core coil 140. It is done.
  • Magnets 13 and 14 are provided on the first and second yokes 222-1 and 222-2, respectively.
  • the holder 50 (diffraction grating 1) can be rotated by supplying a current to the coil 140.
  • the shape of the grating grooves of the diffraction grating 1 attached to the holder 50 may be a rectangular shape, a sawtooth shape, a sine wave shape, or the like. Further, the diffraction grating 1 attached to the holder 50 may have a concave reflection surface. By using such a diffraction grating, light diffracted by the diffraction grating can be made to enter the slit without providing a condenser lens system.
  • a transmission type may be used as the diffraction grating 1.
  • an opening or a notch may be formed in the holder 50 or the yoke 22 for the light transmitted through the diffraction grating 1 to pass.
  • a fulcrum member 152 is provided on the lower side (back side) of the position to be the rotational axis of the holder 50, and the fulcrum member 152 resists the holder 50 against the biasing force of the plate spring 30. You may hold it so that it may lift. In this way, the holder 50 can be rotated with the fulcrum member 152 as the rotation axis.
  • FIG. 19 is a plan view showing the configuration of a spectroscope 200 using the actuator 100 according to the above-described embodiment.
  • the light L 1 emitted from an optical unit (not shown) is incident on the diffraction grating 1 attached to the actuator 100 via the reflection mirror 201.
  • the light diffracted by the diffraction grating 1 is directed to a slit portion 203 provided with a slit (not shown) via a reflection mirror 202.
  • the light separated by passing through the slit is emitted from the light outlet 204.
  • the dispersed light can be used as light for measuring biological information such as urine components and blood components, for example.
  • the actuator 100 can rotationally drive the diffraction grating 1 without resonating at 70 to 80 Hz, so that biological information such as urine components and blood components can be measured in a short time. It is possible to realize spectral performance suitable for
  • the optical element attached to the holder 50 is not limited to the diffraction grating 1, and for example, a mirror or the like may be attached.
  • actuator 100 of the above-mentioned embodiment can also be used not only as an actuator of a spectroscope, for example as actuators, such as a rotation mechanism for changing light distribution of a headlight for cars.
  • the single-axis rotary actuator of the present invention can be used, for example, as an actuator that rotationally drives a diffraction grating of a spectroscope.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

アクチュエーター１００は、回折格子１が取り付けられる載置面と回転軸５２とを有するホルダ５０と、ホルダ５０の回転軸５２を保持する軸受２１ａを有する固定部２０と、固定部２０に固定される外周部３１とホルダ５０に固定される内周部３２と外周部３１と内周部３２とを接続する弾性を有する腕部３３とからなる弾性部材（板バネ３０）と、ホルダ５０に設けられるコイル４０と固定部２０に設けられる磁石１０とを有する駆動部と、を備える。

Description

１軸回転アクチュエーター
　本発明は、例えば回折格子などの光学素子を１軸方向に回転駆動するための１軸回転アクチュエーターに関する。
　モノクロメーターにおいては、回折格子をアクチュエーターによって回転駆動することにより、スリットに到達する光の波長を変化させるようになっている。このアクチュエーターとしては、ステッピングモーターやサインバー機構などが多く用いられている。
　また、光学素子を駆動するアクチュエーターとして、例えば特許文献１で開示されたものがある。特許文献１には、板バネを介してベースに保持されたミラーを、コイル、磁石およびヨークを用いて磁気駆動することにより、ミラーを高精度に駆動できる小型のミラーチルトアクチュエーターが開示されている。
国際公開第２０１１／００７６２８号
　ところで、ステッピングモーターやサインバー機構などを用いた従来のモノクロメーターは、小型化には適していなかった。すなわち、ステッピングモーターは比較的大型であり、さらにステッピングモーターの回転分解能がモノクロメーターの分光性能を満たさない場合は減速器（ギア）が必要となるのでさらに大型化する。同様に、サインバー機構は、リードスクリューが必要なので大型化し、小型化には適さない。
　一方で、特許文献１のアクチュエーターは、組み立てる部品点数の数が多いので、その分だけ組み立てが煩雑化し、さらに組み立て精度が悪いと駆動精度も悪くなるので、高精度の組み立て精度が要求されると考えられる。つまり、多くの部品を高精度で組み立てるための手間と時間が要求される。さらに、特許文献１のアクチュエーターは、１軸方向に駆動することもできるが、基本的には２軸方向の駆動も想定した構成となっているので、１軸方向専用のアクチュエーターに比べると、ブレなどが生じ易いと考えられる。
　本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、回折格子などの光学素子を１軸方向に回転駆動するのに適した、小型で高精度の１軸回転アクチュエーターを提供する。
　本発明の１軸回転アクチュエーターの一つの態様は、
　光学素子が取り付けられる載置面と、回転軸と、を有するホルダと、
　前記ホルダの前記回転軸を保持する軸受を有する固定部と、
　前記固定部に固定される外周部と、前記ホルダに固定される内周部と、前記外周部と前記内周部とを接続する弾性を有する腕部と、からなる弾性部材と、
　前記ホルダに設けられるコイルと、前記固定部に設けられる磁石と、を有する駆動部と、
　を具備する。
　本発明によれば、回折格子などの光学素子を１軸方向に回転駆動するのに適した、小型で高精度の１軸回転アクチュエーターを実現できる。
実施の形態に係る１軸回転アクチュエーターの全体構成を示す斜視図 アクチュエーターの分解斜視図 ヨークへの磁石の取り付け状態を示す斜視図 枠体に板バネおよびホルダを取り付けた状態を示す斜視図 ホルダ裏面側へのコイルの取り付け状態を示す斜視図 図１および図２のＡ－Ａ’断面図 アクチュエーターで発生する磁力の向き、電流の向き、ローレンツ力の向き、回転モーメントの説明に供する図 各コイルに流す電流値と、ホルダ（回折格子）の回転角との関係を示す図 ホルダ（回折格子）の回転状態を示す図であり、図９Ａはコイルに電流を流さない状態を示す図、図９Ｂはコイルに図７に示した方向の電流を流した状態を示す図、図９Ｃはコイルに図７に示した方向と逆方向の電流を流した状態を示す図 図１０Ａ、図１０Ｂ、図１０Ｃは、光学センサーと反射板を用いた回転位置検出の説明に供する図 図１１Ａは光学センサーの構成例を示す図、図１１Ｂは光学センサーから反射板までの距離と出力電流比との関係を示すグラフ 図１２Ａ、図１２Ｂ、図１２Ｃは、光学センサーを２つ設けた場合の、光学センサーと反射板を用いた回転位置検出の説明に供する図 光学センサーを２つ設けた場合の回転角とセンサー出力との関係を示す図 実施の形態のアクチュエーターによって発生するトルクを示したグラフ 白色光を、格子ピッチが１．５μｍの回折格子を回転させて分光した場合のスペクトルを示す図 他の実施の形態によるヨークの形状例を示す斜視図 他の実施の形態によるコイル、ヨークおよび磁石の構成例を示す断面図 他の実施の形態による軸受の構成例を示す断面図 実施の形態のアクチュエーターを用いた分光器の構成例を示す平面図
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
　図１は本発明の実施の形態に係る１軸回転アクチュエーター１００（以下、単に「アクチュエーター」と呼ぶ）の全体構成を示す斜視図であり、図２はアクチュエーター１００の分解斜視図である。アクチュエーター１００は、回折格子１を１軸方向に回転駆動することにより、回折格子１を介してスリット（図示せず）に到達する光の波長を回折格子１の回転角度に応じて変化させるようになっている。因みに、図１に示したアクチュエーター１００の分光器への応用例については、図１９を用いて後述する。なお、以下の説明では、回折格子１の反射面の方向を表面方向とし、反射面と反対側の方向を裏面方向とする。
　図２から分かるように、アクチュエーター１００は、固定アングル２と、ベース３と、磁石１０と、固定部２０と、板バネ３０と、コイル４０と、ホルダ５０と、スペーサ６０と、カバー７０と、光学センサー８０と、フレキシブルプリント基板９０と、を有する。
　固定アングル２は、略Ｌ字状の断面形状でなり、前面にアクチュエーター１００の各部品が取り付けられるとともに、下面が所定の固定面に固定されるようになっている。これにより、アクチュエーター１００は固定アングル２を介して所定の面に取り付けられる。
　固定部２０は、枠体２１と、磁石１０を保持するヨーク２２と、から構成されている。枠体２１には、ホルダ５０の回転軸５２を保持する凹み形状の軸受２１ａが形成されている。ヨーク２２は、コ字状の断面形状でなり、磁石１０を保持した状態で枠体２１に嵌め合わされる。固定部２０は、ベース３を介して固定アングル２に取り付けられる。
　磁石１０は、ヨーク２２の底面に所定の間隔をおいて取り付けられる２つの磁石１１、１２と、ヨーク２２の側面に向かい合うように取り付けられる２つの磁石１３、１４とからなる。磁石１０のヨーク２２への取り付け状態を、図３に示す。磁石１１、１２は、ヨーク２２側にＳ極が向き、表面側にＮ極が向くようにヨーク２２に取り付けられている。磁石１３、１４は、ヨーク側にＮ極が向き、表面側にＳ極が向くように、つまりＳ極同士が向かい合うようにヨーク２２に取り付けられている。なお、図３とはＮ極およびＳ極が全て逆になっていてもよい。つまり、磁石１１、１２は、ヨーク２２側にＮ極が向き、表面側にＳ極が向くようにヨーク２２に取り付けられ、磁石１３、１４は、ヨーク側にＳ極が向き、表面側にＮ極が向くように、つまりＮ極同士が向かい合うようにヨーク２２に取り付けられていてもよい。
　枠体２１は外形が略正方形状でなり、枠体２１の縁部には板バネ３０が取り付けられる。また、枠体２１の中空部分には、ホルダ５０およびホルダ５０に固定されたコイル４０が配置される。
　板バネ３０は、図４からも明らかなように、固定部２０の枠体２１に固定される外周部３１と、ホルダ５０に固定される内周部３２と、外周部３１と内周部３２とを接続する弾性を有する腕部３３と、から構成されている。
　ホルダ５０は、外形が略正方形状でなるホルダ本体５１と、ホルダ本体５１から上下方向に突出した回転軸５２と、回転軸５２に取り付けられた反射板５３と、を有する。ホルダ本体５１の表面側には回折格子１を載置するための載置面が形成されており、回折格子１はこの載置面に接着により固定される。実際には、回折格子１は、スペーサ６０の開口６１に嵌め込まれることによって位置決めされた状態で、スペーサ６０とともにホルダ本体５１の載置面に接着される。反射板５３は、主面がホルダ本体５１の主面を延長した面に存在するように配置されている。
　枠体２１に板バネ３０およびホルダ５０を取り付けた状態を、図４に示す。図からも分かるように、枠体２１の縁部には板バネ３０の外周部３１が固定される。ホルダ本体５１は枠体２１の中空部分に配置される。この状態で、回転軸５２が枠体２１の軸受２１ａによって軸支されることにより、ホルダ５０は回転軸５２を中心にして回転自在とされている。また、ホルダ５０の突起５４が板バネ３０の内周部３２に嵌合されている。これにより、ホルダ５０は、回転軸５２を回転中心として回転自在とされているとともに、板バネ３０によって図４に示すような中立位置に復帰するように付勢されている。
　ホルダ本体５１の裏面側には、コイル４０が取り付けられている。その状態を、図５に示す。ホルダ本体５１の裏面には、２つの空芯コイル４１、４２が所定の間隔をもって固定される。図中の矢印で示したように、各コイル４１、４２には互いに反対向きの電流が流れるようになっている。具体的には、図５においては、コイル４１には時計方向の電流が流れており、コイル４２には反時計方向の電流が流れている。
　板バネ３０は金属などの良導電性の材料からなり、コイル４０への給電は板バネ３０を介して行われる。具体的には、図４に示すように、板バネ３０の外周部３１にフレキシブルプリント基板９０の給電部（図示せず）が接続されるとともに、板バネ３０の内周部３２にコイル４１、４２の端子４０ａ、４０ｂが接続される。実際には、内周部３２と端子４０ａ、４０ｂは半田付けされる。これにより、フレキシブルプリント基板９０から板バネ３０を介して、可動部であるコイル４０に対して給電を行うことができる。このように、板バネ３０が給電機能も兼ね備えることにより、給電系統を簡素化でき、装置の小型化を促進できる。
　図６は、回折格子１の中心を通る線で切った、図１および図２（組立時）のＡ－Ａ’断面である。図６からも分かるように、直方形状の磁石１１の上方には空芯コイル４１が配置されるとともに、直方形状の磁石１２の上方には空芯コイル４２が配置される。また、コイル４１の側方には磁石１３が配置されるとともに、コイル４２の側方には磁石１４が配置される。ここで、後述する図９からも分かるように、ホルダ５０が回転すると、磁石１１、１２は交互に空芯コイル４１、４２の空芯部分に入り込むようになる。このとき、磁石１１、１２とコイル４１、４２がぶつからないようにするために、図６に示す回転角０°の状態において、各磁石１１、１２は空芯コイル４１、４２の空芯部分の中央から若干回転軸側にシフトして配置されている。
　図７は、アクチュエーター１００で発生する、磁力Ｍ０の向き、電流の向き、ローレンツ力Ｌ０の向き、回転モーメントＭ１を示すものである。ヨーク２２底面の磁石１１からヨーク２２側面の磁石１３に向かって磁力Ｍ０が発生するとともに、ヨーク２２底面の磁石１２からヨーク２２側面の磁石１４に向かって磁力Ｍ０が発生する。また、各磁石１１、１２からヨーク２２の中央方向に向かって磁力Ｍ０が発生する。これらの磁力Ｍ０とコイル４１、４２に流れる電流の向きに応じて、コイル４１、４２にはローレンツ力Ｌ０が発生する。具体的には、各コイル４１、４２に図に示した向きの電流を流すと、コイル４１には上向きのローレンツ力Ｌ０が発生し、コイル４２には下向きのローレンツ力Ｌ０が発生する。この結果、ホルダ本体５１には矢印で示す回転モーメントＭ１が付与され、ホルダ５０およびそれに固定された回折格子１が回転する。なお、各コイル４１、４２に図に示した向きと逆の電流を流すと、コイル４１には下向きのローレンツ力Ｌ０が発生し、コイル４２には上向きのローレンツ力Ｌ０が発生する。この結果、ホルダ本体５１には矢印と逆向きの回転モーメントＭ１が付与され、ホルダ５０およびそれに固定された回折格子１が矢印と逆向きに回転する。
　ここで、ヨーク２２側面に磁石１３、１４を設けたことにより、コイル４１、４２に磁束を集中させることができ、この結果、トルクの向上および消費電力の低減を実現できる。また、ヨーク２２側面に磁石１３、１４を設けたことにより、特に回転軸から遠い位置で強い磁力を発生させることができ、これにより、コイル４１、４２は回転軸から遠い位置で強いローレンツ力Ｌ０を得ることができる。この結果、効率的に大きな回転モーメントＭ１を得ることができるようになる。ただし、磁石１３、１４を設けない構成を採用してもよい。このようにすると、磁石１３、１４を設けた場合と比較して、トルクが下がり消費電力が大きくなるというデメリットがあるが、サイズが小さくなるので小型化できるというメリットがある。
　図８は、各コイル４１、４２に流す電流値と、ホルダ５０（回折格子１）の回転角との関係を示す。ホルダ５０（回折格子１）は、コイル４１、４２に流れる電流値に応じた回転モーメントと、板バネ３０の付勢力とがつり合う位置まで回転する。そして、ある回転角になると（図８の例では６．５°）、ホルダ５０の突起５５がカバー７０の裏面に突き当たってホルダ５０の回転が停止する。このように、カバー７０によってホルダ５０の回転を規制するようにしたことにより、電気的な回転制御だけでなく機械的にも回転を規制することができるので、所定範囲を超えるような回転を確実に防止でき。また、回転軸５２がカバー７０によって覆われているので（図１）、ホルダ５０の脱輪なども防止できる。
　図９は、ホルダ５０（回折格子１）の回転状態を示す図である。図９Ａは、コイル４１、４２に電流を流さない状態を示すものであり、ホルダ５０（回折格子１）は板バネ３０の付勢力によって中立（すなわち回転角度０°）の状態とされる。図９Ｂは、各コイル４１、４２に図７に示した方向の電流を流した状態を示すものであり、ホルダ５０（回折格子１）は図の時計方向に回転された状態とされる。図９Ｃは、各コイル４１、４２に図７に示した方向と逆方向の電流を流した状態を示すものであり、ホルダ５０（回折格子１）は図の反時計方向に回転された状態とされる。このように、ホルダ５０（回折格子１）は、コイル４１、４２の供給する電流の向きを変えることにより、図９Ａの中立位置を回転中心として時計方向および反時計方向に回転駆動できるようになっている。
　ホルダ５０（回折格子１）の回転位置は、固定アングル２に取り付けられた光学センサー８０によって検知され、検知結果がフレキシブルプリント基板９０を介して制御部（図示せず）に送出される。制御部は、検知結果に応じた電流値をフレキシブルプリント基板９０を介してコイル４１、４２に供給することにより、ホルダ５０（回折格子１）の回転を制御する。
　実際には、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１０Ｃに示すように、光学センサー８０は、反射板５３に向けて光を照射し、反射光の光量を検出することにより、回転位置を検知するようになっている。つまり、光学センサー８０から反射板５３までの距離が近いほど、反射光の光量が大きくなるので、その光量に基づいて回転位置を求めることができる。
　図１１Ａは、光学センサー８０の構成例を示す。光学センサー８０は、発光ダイオード８１によって光を出射し、フォトトランジスタ８２によって反射板からの反射光を受光して反射光量に応じた出力電流を得るようになっている。図１１Ｂは、光学センサー８０から反射板５３までの距離と出力電流比（最大光量が得られたときの出力電流を１００％としたもの）との関係を示すグラフである。
　なお、実施の形態では、１つの光学センサー８０によって回転位置を検出しているが、図１２Ａ、図１２Ｂ、図１２Ｃに示すように、回転軸５２を中心とした左右両側の位置に光学センサー８０、１８０を設けてもよい。そして、図１３に示すように、これらの光学センサー８０、１８０によって得られたセンサー出力Ｌ８０、Ｌ１８０の差分をとることにより、線形なセンサー出力Ｌ１を得ることができるようになる。
　図１４は、本実施の形態のアクチュエーター１００によって発生するトルクを示したグラフである。図１４は、特に図７に示したような向きの電流を供給した場合に発生するトルクを示している。磁石１１から離れる方に回転するコイル４１のトルクは、回転角が大きくなるほど減少していく一方で、磁石１２に近づく方に回転するコイル４２のトルクは回転角が大きくなるほど大きくなる。よって、磁石１１から離れる方に回転するコイル４１のトルクの減少分は、磁石１２に近づく方に回転するコイル４２のトルクの増加によって補われる。この結果、合計トルクは、回転角が大きくなっても極端に減少せず、ほぼフラットなものとなる。特に、本実施の形態のアクチュエーター１００では、ホルダ５０（回折格子１）の回転可能範囲は－６．５°～＋６．５°とされており、この回転可能範囲においてはほぼフラットなトルクを発生させることができる。勿論、回転可能範囲はこれに限らず、±６．５°以上回転する構成としてもよい。例えばホルダ５０の突起５５を低くすると、より大きく回転するようになる。
　図１５は、白色光を、格子ピッチが１．５μｍの回折格子１を回転させて分光した場合のスペクトルを示す。図１５から、回折格子１を１０．３°以上回転させることができれば、可視光域全てを回折することが可能であることが分かる。本実施の形態のアクチュエーター１００は、回折格子１を、－６．５°～＋６．５°の範囲すなわち１３°回転させることが可能となっているので、可視光域全てを回折することが可能である。
　以上説明したように、本実施の形態によれば、回折格子１が取り付けられる載置面と回転軸５２とを有するホルダ５０と、ホルダ５０の回転軸５２を保持する軸受２１ａを有する固定部２０と、固定部２０に固定される外周部３１とホルダ５０に固定される内周部３２と外周部３１と内周部３２とを接続する弾性を有する腕部３３とからなる弾性部材（板バネ３０）と、ホルダ５０に設けられるコイル４０と固定部２０に設けられる磁石１０とを有する駆動部と、を設けたことにより、回折格子１などの光学素子を１軸方向に回転駆動するのに適した、小型で高精度の１軸回転アクチュエーター１００を実現できる。
　また、回折格子１を任意の角度で停止させることができるので、入射光の中の任意の波長成分を取り出すことができる。つまり、入射光が白色ならば、回折格子１を停止させる角度に応じて、青、緑、赤などの成分を取り出すことができるので、波長可変光源としても使用できる。
　また、ホルダ５０の裏面に収まるように空芯２連コイル４１、４２を配置し、さらにコイル４１、４２の空芯部分に磁石１１、１２が入り込む構成としたので、磁気効率が高くかつＸＹサイズが小さい１軸回転アクチュエーター１００を実現できる。
　また、回折格子１の取り付けは、ホルダ５０の載置面に取り付けるだけで行うことができるので、種々の形状の回折格子１を容易に適用できる。実際には、回折格子１の形状に応じた開口６１が形成されたスペーサ６０を用いることによって、様々なサイズおよび形状の回折格子１に容易に対応できる。
　また、重量の重い磁石１０は回転せず、重量の軽いコイル４１、４２が回転する、いわゆるムービングコイル方式を採用したことにより、小さいトルクで応答性の良い回転動作を行うことができる。さらに、回転軸５２の樹脂材料と、その軸受２１ａの樹脂材料とを異なる材料とすれば、摺動性を改善できるので、より小さいトルクで応答性の良い回転動作を行うことができるようになる。
　また、光学センサー８０と反射板５３とを用いて回転角を検知したことにより、ロータリーエンコーダなどを用いる場合と比較して、装置を小型化できる。ただし、角度を検出するための構成は、これに限らない。例えばロータリーエンコーダを用いてもよく、ホール素子を用いてもよく、駆動電流をシャント抵抗で検出することで角度を検出してもよい。さらにコイル４１、４２のインダクタンスを測ることで角度を検出してもよい。つまり、回転角度が変化するとコイル４１、４２を貫く磁束が変化してインダクタンスが変動するので、このインダクタンスを測定することで角度を検出することができる。さらに、駆動用コイルの他に検出用コイルを設け、この検出用コイルに発生する誘導起電力を測定することで回転角度を検出してもよい。さらに、光学センサーはアクチュエーターの内部に格納して配置してもよい。
　なお上述の実施の形態では、例えば図３に示したように、ヨーク２２を断面がコ字状の形状とした場合について述べたが、ヨークの形状はこれに限らない。ヨークの形状は、例えば図１６に示すようなものであってもよい。つまり、ヨーク１２２は、中央部に凸部を有する形状としてもよい。これにより、凸部付近の磁束を強くできるので、より大きな回転トルクを発生させることができるようになる。
　またコイル、ヨークおよび磁石の構成は、上述の実施の形態の構成に限らず、例えば図１７に示すような構成でもよい。図１７の構成においては、ホルダ５０の裏面側に１つの空芯コイル１４０が設けられており、この空芯コイル１４０を挟むように第１および第２のヨーク２２２－１、２２２－２が設けられている。第１および第２のヨーク２２２－１、２２２－２にはそれぞれ磁石１３、１４が設けられている。これにより、コイル１４０に電流を流すことでホルダ５０（回折格子１）を回転させることができる。
　なお、ホルダ５０に取り付けられる回折格子１の格子溝の形状は、矩形形状、鋸歯形状、正弦波形状などであり得る。また、ホルダ５０に取り付けられる回折格子１は、反射面が凹面形状のものであってもよい。このような回折格子を用いることにより、集光レンズ系を設けなくても、回折格子によって回折された光をスリットに入射させることができるようになる。
　さらに、回折格子１として透過型のものを用いてもよい。この場合には、ホルダ５０やヨーク２２に、回折格子１を透過した光が通過するための開口や切欠きを形成すればよい。
　また上述の実施の形態では、ホルダ５０の回転軸５２を、固定部２０の凹み形状の軸受２１ａに保持させることで１軸の回転を実現した場合について述べたが、軸受の構成はこれに限らず、例えば図１８に示すように、ホルダ５０の回転軸となる位置の下側（裏面側）に支点部材１５２を設け、この支点部材１５２によってホルダ５０を板バネ３０の付勢力に抗して持ち上げるように保持するようにしてもよい。このようにすれば、ホルダ５０を支点部材１５２を回転軸として回転させることができるようになる。
　図１９は、上述の実施の形態のアクチュエーター１００を用いた分光器２００の構成を示す平面図である。図示しない光学ユニットから出射された光Ｌ１は、反射ミラー２０１を介してアクチュエーター１００に取り付けられた回折格子１に入射する。回折格子１によって回折された光は、反射ミラー２０２を介して、図示しないスリットが設けられたスリット部２０３へと向けられる。そして、スリットを通過することで分光された光が、光出口２０４から出射される。この分光された光は、例えば尿中成分や血液成分などの生体情報を測定するための光として利用することができる。実験によれば、上述の実施の形態のアクチュエーター１００は、７０～８０Ｈｚにおいて共振することなく回折格子１を回転駆動することができるので、尿中成分や血液成分などの生体情報を短時間で測定するのに適した分光性能を実現できる。
　さらに、ホルダ５０に取り付けられる光学素子は回折格子１に限らず、例えばミラーなどを取り付けてもよい。そして、上述の実施の形態のアクチュエーター１００は、分光器のアクチュエーターに限らず、例えば自動車用ヘッドライトの配光を変化させるための回転機構などのアクチュエーターとして用いることもできる。
　上述の実施の形態は、本発明を実施するにあたっての具体化の一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその要旨、またはその主要な特徴から逸脱することの無い範囲で、様々な形で実施することができる。
　２０１５年４月１７日出願の特願２０１５－０８５０５６の日本出願に含まれる明細書、図面および要約書の開示内容は、すべて本願に援用される。
　本発明の１軸回転アクチュエーターは、例えば分光器の回折格子を回転駆動するアクチュエーターとして用いることができる。
　１　回折格子
　１０、１１、１２、１３、１４　磁石
　２０　固定部
　２１　枠体
　２１ａ　軸受
　２２、１２２、２２２－１、２２２－２　ヨーク
　３０　板バネ
　３１　外周部
　３２　内周部
　３３　腕部
　４０、４１、４２、１４０　空芯コイル
　４０ａ、４０ｂ　端子
　５０　ホルダ
　５１　ホルダ本体
　５２　回転軸
　５３　反射板
　５４、５５　突起
　６０　スペーサ
　７０　カバー
　８０、１８０　光学センサー
　９０　フレキシブルプリント基板
　１００　アクチュエーター
　１５２　支点部材
　２００　分光器
 

Claims (4)

  1. 　光学素子が取り付けられる載置面と、回転軸と、を有するホルダと、
    　前記ホルダの前記回転軸を保持する軸受を有する固定部と、
    　前記固定部に固定される外周部と、前記ホルダに固定される内周部と、前記外周部と前記内周部とを接続する弾性を有する腕部と、からなる弾性部材と、
    　前記ホルダに設けられるコイルと、前記固定部に設けられる磁石と、を有する駆動部と、
    　を具備する１軸回転アクチュエーター。
  2. 　前記コイルは、前記光学素子の前記載置面の裏面側に設けられている、
    　請求項１に記載の１軸回転アクチュエーター。
  3. 　前記弾性部材は導電性を有する材料からなり、前記コイルは前記弾性部材を介して給電される、
    　請求項１に記載の１軸回転アクチュエーター。
  4. 　前記固定部は、前記軸受を有する枠体と、前記磁石を保持するヨークと、を有する、
    　請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の１軸回転アクチュエーター。
PCT/JP2016/002016 2015-04-17 2016-04-14 １軸回転アクチュエーター Ceased WO2016166980A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015085056A JP5900682B1 (ja) 2015-04-17 2015-04-17 １軸回転アクチュエーター
JP2015-085056 2015-04-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016166980A1 true WO2016166980A1 (ja) 2016-10-20

Family

ID=55648293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/002016 Ceased WO2016166980A1 (ja) 2015-04-17 2016-04-14 １軸回転アクチュエーター

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5900682B1 (ja)
TW (1) TWI709764B (ja)
WO (1) WO2016166980A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112867960A (zh) * 2018-08-20 2021-05-28 奥普托图尼股份公司 用于增强图像分辨率或减少散斑噪声的光学设备

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6934319B2 (ja) * 2017-05-08 2021-09-15 日本電産サンキョー株式会社 ローリング用磁気駆動ユニットおよび振れ補正機能付き光学ユニット

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010146621A (ja) * 2008-12-17 2010-07-01 Mitsubishi Electric Corp 光ピックアップ装置
JP2014075171A (ja) * 2012-07-12 2014-04-24 Funai Electric Co Ltd レンズ駆動装置及び光ディスク装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05135391A (ja) * 1991-04-22 1993-06-01 Seiko Epson Corp 光学式記録再生装置の精密角度変位機構及びその組立方法
JP3505282B2 (ja) * 1995-07-31 2004-03-08 株式会社東芝 光ヘッド装置および情報処理装置
WO2007029643A1 (ja) * 2005-09-07 2007-03-15 Alps Electric Co., Ltd. アクチュエータ及びこれを用いたホログラフィー装置
CN101458383A (zh) * 2007-12-11 2009-06-17 台达电子工业股份有限公司 投影系统及其光学致动器
JP5564471B2 (ja) * 2011-07-25 2014-07-30 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 焦点が可変なミラーおよび光ピックアップ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010146621A (ja) * 2008-12-17 2010-07-01 Mitsubishi Electric Corp 光ピックアップ装置
JP2014075171A (ja) * 2012-07-12 2014-04-24 Funai Electric Co Ltd レンズ駆動装置及び光ディスク装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112867960A (zh) * 2018-08-20 2021-05-28 奥普托图尼股份公司 用于增强图像分辨率或减少散斑噪声的光学设备
US11880044B2 (en) 2018-08-20 2024-01-23 Optotune Ag Optical device for enhancing resolution of an image or for reducing speckle noise
US12411349B2 (en) 2018-08-20 2025-09-09 Optotune Switzerland Ag Optical device for enhancing resolution of an image or for reducing speckle noise

Also Published As

Publication number Publication date
TWI709764B (zh) 2020-11-11
JP2016206298A (ja) 2016-12-08
TW201638629A (zh) 2016-11-01
JP5900682B1 (ja) 2016-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11650400B2 (en) Rotational ball-guided voice coil motor
US11131846B2 (en) Single-axis rotary actuator
KR102178093B1 (ko) 스텝 모터 및 차량용 지침 계기
JP5900682B1 (ja) １軸回転アクチュエーター
JP2005275375A (ja) 光学モジュール及びカメラモジュール
JP6561878B2 (ja) １軸回転アクチュエーター
CN110870181B (zh) 电机定位装置、电机及云台
JP6414267B2 (ja) モータ
JP7113631B2 (ja) アクチュエータ、羽根駆動装置、撮像装置及び電子機器
JP2020126243A (ja) １軸回転アクチュエーター
JP5117315B2 (ja) プロジェクタ用絞り装置
JP2017194319A (ja) 分光器および測定装置
JP5201935B2 (ja) モータ及びこれを備えた装置
JP2006337918A (ja) レンズ駆動装置
JP5090286B2 (ja) プロジェクタ用絞り装置
JP2006044510A (ja) ミラー及び角度検出装置
JP2006337917A (ja) レンズ駆動装置
JP2001153606A (ja) フォトセンサ、移動検出装置およびこれを備えた機器、カメラ
WO2019102752A1 (ja) アクチュエータ、羽根駆動装置、撮像装置及び電子機器
JP4057026B2 (ja) 駆動装置及びその組立装置
JP2006337919A (ja) レンズ駆動装置
CN117411273A (zh) 旋转往复驱动促动器
CN117411271A (zh) 旋转往复驱动促动器
JP2001339910A (ja) 位置センサ付き有限回転型電動機
WO2011118397A1 (ja) テラヘルツ光受発光モジュールおよびテラヘルツ光の偏光制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16779774

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16779774

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1