WO2016153034A1 - 透明導電体及びタッチパネル - Google Patents

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WO2016153034A1
WO2016153034A1 PCT/JP2016/059600 JP2016059600W WO2016153034A1 WO 2016153034 A1 WO2016153034 A1 WO 2016153034A1 JP 2016059600 W JP2016059600 W JP 2016059600W WO 2016153034 A1 WO2016153034 A1 WO 2016153034A1
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metal oxide
oxide layer
metal
oxide
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新開　浩
祥久 玉川
元広 櫻井
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Tdk株式会社
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    • B32B2311/20—Zinc

Definitions

  • This disclosure relates to a transparent conductor and a touch panel using the same.
  • the transparent conductor is used as a transparent electrode for a display such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescence panel (organic EL, inorganic EL), and a solar cell. In addition to these, they are also used for electromagnetic wave shielding films and infrared ray prevention films.
  • a material for the metal oxide layer in the transparent conductor ITO in which tin (Sn) is added to indium oxide (In 2 O 3 ) is widely used.
  • the touch sensor unit is configured by bonding one or two glass films or a film base material on which one or both surfaces of an ITO film are formed by sputtering.
  • Patent Documents 1 and 2 a transparent conductive film having a laminated structure of a metal oxide layer mainly composed of indium oxide or zinc oxide and a metal layer has been proposed (for example, Patent Documents 1 and 2).
  • JP 2002-157929 A Japanese Patent Laid-Open No. 9-291355
  • a conductive part and an insulating part are formed by performing a patterning process so that the touched position can be detected.
  • a patterning process usually, after forming a resist pattern, etching with an acid is performed to form an electrode pattern, and finally the resist is peeled off using an alkaline solution.
  • the metal layer and the metal oxide layer can be collectively removed by etching and have excellent resistance to an alkaline solution.
  • the transparent conductor in a transparent conductor having a laminated structure of a metal oxide layer and a metal layer, the transparent conductor excellent in both solubility in an acid used for etching and resistance to an alkaline solution. Provide the body.
  • the present invention provides a touch panel that can be efficiently manufactured by using such a transparent conductor.
  • a transparent resin base material a first metal oxide layer, a metal layer containing a silver alloy, and a second metal oxide layer are laminated in this order, and the second metal
  • the oxide layer provides a transparent conductor containing zinc oxide, indium oxide, titanium oxide and tin oxide.
  • Such a transparent conductor has a laminated structure including a second metal oxide layer and a metal layer containing a silver alloy. Since the second metal oxide layer and the metal layer are excellent in solubility in the acid used for etching, they can be removed together during etching. The second metal oxide layer is also excellent in resistance to an alkaline solution (alkali resistance). Therefore, it can be suitably used for applications that require etching, such as touch panels.
  • alkaline solution alkali resistance
  • the second metal oxide layer of the transparent conductor comprises four components of zinc oxide, indium oxide, titanium oxide and tin oxide, respectively ZnO, In 2 O 3 , TiO 2 and SnO 2.
  • the content of zinc oxide is 20 to 68 mol%
  • the content of indium oxide is 15 to 35 mol%
  • the content of titanium oxide is 5 to 15 mol%
  • tin oxide The content of may be 5 to 40 mol%.
  • the metal layer of the transparent conductor may have a thickness of 4 to 11 nm in some embodiments. Thereby, the surface resistance can be lowered while sufficiently increasing the transparency of the transparent conductor.
  • the first metal oxide layer of the transparent conductor may contain the four components in some embodiments.
  • the first metal oxide layer when the four components of zinc oxide, indium oxide, titanium oxide and tin oxide are converted into ZnO, In 2 O 3 , TiO 2 and SnO 2 , respectively, the total of the four components In contrast, the zinc oxide content was 20 to 68 mol%, the indium oxide content was 15 to 35 mol%, the titanium oxide content was 5 to 15 mol%, and the tin oxide content was 5 to 40 mol%. May be.
  • the first metal oxide layer, the second metal oxide layer, and the metal layer can be collectively removed by etching.
  • the first metal oxide layer is also excellent in alkali resistance. Therefore, it can be suitably used for applications that require etching, such as touch panels.
  • the silver alloy in the metal layer of the transparent conductor may be an alloy of Ag and at least one metal selected from the group consisting of Pd, Cu, Nd, In, Sn, and Sb. Good. Thereby, it can be set as the transparent conductor which is further excellent in a total light transmittance and electroconductivity.
  • the present invention provides a touch panel having a sensor film on a panel plate, wherein the sensor film is composed of the above-described transparent conductor. Since such a touch panel has the sensor film comprised with the above-mentioned transparent conductor, it can pattern smoothly and can manufacture efficiently.
  • the present invention in a transparent conductor having a laminated structure of a metal oxide layer and a metal layer, it is possible to provide a transparent conductor excellent in both solubility in acid and resistance to an alkaline solution. Moreover, in this invention, the touch panel which can be manufactured efficiently can be provided by using such a transparent conductor.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing one embodiment of a transparent conductor.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing another embodiment of the transparent conductor.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an enlarged part of a cross section in one embodiment of the touch panel.
  • FIG. 4 is a plan view of a sensor film constituting one embodiment of the touch panel.
  • FIG. 5 is a plan view of a sensor film constituting one embodiment of the touch panel.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a transparent conductor.
  • the transparent conductor 100 has a laminated structure in which a film-like transparent resin base material 10, a first metal oxide layer 12, a metal layer 16, and a second metal oxide layer 14 are arranged in this order. .
  • Transparent in this specification means that visible light is transmitted, and the light may be scattered to some extent.
  • the required level varies depending on the use of the transparent conductor 100. What has light scattering generally referred to as translucent is also included in the concept of “transparency” in this specification.
  • the degree of light scattering is preferably small, and the transparency is preferably high.
  • the total light transmittance of the entire transparent conductor 100 is, for example, 80% or more, preferably 83% or more, and more preferably 85% or more. This total light transmittance is a transmittance including diffuse transmitted light obtained using an integrating sphere, and is measured using a commercially available haze meter.
  • the transparent resin substrate 10 is not particularly limited, and may be a flexible organic resin film.
  • the organic resin film may be an organic resin sheet.
  • organic resin films include polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyolefin films such as polyethylene and polypropylene, polycarbonate films, acrylic films, norbornene films, polyarylate films, and polyether sulfone films. , A diacetyl cellulose film, a triacetyl cellulose film, and the like.
  • polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN) are preferable.
  • the transparent resin base material 10 is preferably thicker from the viewpoint of rigidity.
  • the transparent resin substrate 10 is preferably thin from the viewpoint of thinning the transparent conductor 100. From such a viewpoint, the thickness of the transparent resin substrate 10 is, for example, 10 to 200 ⁇ m.
  • the refractive index of the transparent resin substrate is, for example, 1.50 to 1.70 from the viewpoint of a transparent conductor excellent in optical characteristics.
  • the transparent resin substrate 10 preferably has high dimensional stability during heating.
  • a flexible organic resin film undergoes dimensional changes due to expansion or contraction due to heating in the film production process.
  • uniaxial stretching or biaxial stretching the transparent resin substrate 10 having a small thickness can be produced at low cost.
  • a dimensional change occurs due to thermal contraction.
  • Such a dimensional change can be measured according to ASTM D1204-02 or JIS-C-2151.
  • the dimensional change rate of the biaxially stretched transparent resin substrate 10 can be measured in both the traveling direction (MD direction) and the lateral direction (TD direction) during stretching.
  • the dimensional change rate of the transparent resin substrate 10 is, for example, ⁇ 1.0 to ⁇ 0.3% in the MD direction and ⁇ 0.1 to + 0.1% in the TD direction.
  • the transparent resin substrate 10 may be subjected to at least one surface treatment selected from the group consisting of corona discharge treatment, glow discharge treatment, flame treatment, ultraviolet irradiation treatment, electron beam irradiation treatment, and ozone treatment. Good.
  • the transparent resin substrate may be a resin film.
  • the transparent conductor 100 can be made excellent in flexibility. Thereby, it can be used not only for transparent conductors for touch panel applications, but also for transparent electrodes such as flexible organic EL lighting, or as an electromagnetic wave shield.
  • the transparent resin substrate 10 is made of an organic resin film having flexibility so that it can be appropriately deformed with respect to external inputs such as a finger and a pen. It may be used.
  • the second metal oxide layer 14 is a transparent layer containing an oxide and contains four components of zinc oxide, indium oxide, titanium oxide and tin oxide as main components.
  • the 2nd metal oxide layer 14 can form the 2nd metal oxide layer 14 which has both electroconductivity and high transparency by including the said 4 component as a main component. For this reason, a low surface resistance can be obtained by combining the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16 without performing thermal annealing.
  • Zinc oxide is, for example, ZnO
  • indium oxide is, for example, In 2 O 3 .
  • Titanium oxide is, for example, TiO 2
  • tin oxide is, for example, SnO 2 .
  • the ratio of metal atoms to oxygen atoms in each of the metal oxides may deviate from the stoichiometric ratio.
  • the content of zinc oxide with respect to the total of the four components is, for example, 20 mol% or more from the viewpoint of sufficiently increasing the transmittance and conductivity.
  • the content of zinc oxide with respect to the total of the four components is, for example, 68 mol% or less from the viewpoint of sufficiently increasing the storage stability.
  • the content of indium oxide relative to the total of the four components is, for example, 35 mol% or less from the viewpoint of sufficiently increasing the transmittance while sufficiently reducing the surface resistance.
  • the content of indium oxide with respect to the total of the four components is, for example, 15 mol% or more from the viewpoint of sufficiently increasing the storage stability.
  • the content of titanium oxide relative to the total of the four components is, for example, 15 mol% or less from the viewpoint of sufficiently increasing the transmittance.
  • the content of titanium oxide with respect to the total of the four components is, for example, 5 mol% or more from the viewpoint of sufficiently increasing alkali resistance.
  • the content of tin oxide relative to the total of the four components is, for example, 40 mol% or less from the viewpoint of sufficiently increasing the transmittance.
  • the content of tin oxide with respect to the total of the four components is, for example, 5 mol% or more from the viewpoint of sufficiently increasing the storage stability.
  • the contents of the four components are values obtained by converting zinc oxide, indium oxide, titanium oxide, and tin oxide into ZnO, In 2 O 3 , TiO 2, and SnO 2 , respectively.
  • the second metal oxide layer 14 has the functions of adjusting optical characteristics, protecting the metal layer 16, and ensuring conductivity.
  • the second metal oxide layer 14 may contain a trace component or an unavoidable component in addition to the above four components as long as the function is not significantly impaired.
  • the total ratio of the four components in the second metal oxide layer 14 is high.
  • the ratio is 95 mol% or more, for example, Preferably it is 97 mol% or more.
  • the second metal oxide layer 14 may be composed of the above four components.
  • the first metal oxide layer 12 and the second metal oxide layer 14 may be the same or different in terms of thickness, structure, and composition.
  • the description relating to the composition of the second metal oxide layer 14 can be applied to the first metal oxide layer 12 as it is. Since the first metal oxide layer 12 has the same composition as the second metal oxide layer 14, the first metal oxide layer 12, the metal layer 16, and the second metal oxide layer 14 are formed. It can be removed all at once by etching. Moreover, transparency and alkali resistance can be further increased.
  • the first metal oxide layer 12 may have a composition different from that of the second metal oxide layer 14. In this case, only the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16 can be removed by etching, and the first metal oxide layer 12 can be left as it is.
  • the thickness of the first metal oxide layer 12 and the second metal oxide layer 14 is, for example, 10 to 70 nm from the viewpoint of making the thickness suitable for various touch panels.
  • the first metal oxide layer 12 and the second metal oxide layer 14 can be manufactured by a vacuum film forming method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or a CVD method.
  • a vacuum film forming method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or a CVD method.
  • the sputtering method is preferable in that the film forming chamber can be downsized and the film forming speed is high.
  • Examples of the sputtering method include DC magnetron sputtering.
  • As a target, an oxide target, a metal, or a metalloid target can be used.
  • a wiring electrode or the like may be provided on the second metal oxide layer 14.
  • a current that conducts through a metal layer 16 to be described later is guided from a wiring electrode or the like provided on the second metal oxide layer 14 via the second metal oxide layer 14.
  • the 2nd metal oxide layer 14 has high electroconductivity.
  • the metal layer 16 is a layer containing a silver alloy as a main component. Since the metal layer 16 has high conductivity, the surface resistance of the transparent conductor 100 can be sufficiently reduced.
  • the metal element constituting the silver alloy include Ag and at least one selected from Pd, Cu, Nd, In, Sn, and Sb.
  • silver alloys include Ag—Pd, Ag—Cu, Ag—Pd—Cu, Ag—Nd—Cu, Ag—In—Sn, and Ag—Sn—Sb.
  • the metal layer 16 may contain an additive in addition to the silver alloy.
  • the additive is preferably one that can be easily removed by an etching solution.
  • the content of the silver alloy in the metal layer 16 may be, for example, 90% by mass or more, or 95% by mass or more.
  • the metal layer 16 has a thickness of 1 to 30 nm, for example. From the viewpoint of sufficiently increasing the total light transmittance while sufficiently reducing the surface resistance of the transparent conductor 100, the thickness of the metal layer 16 is preferably 4 to 11 nm. If the thickness of the metal layer 16 is too large, the total light transmittance tends to decrease. On the other hand, if the thickness of the metal layer 16 is too small, the surface resistance tends to increase.
  • the metal layer 16 has a function of adjusting the total light transmittance and surface resistance of the transparent conductor 100.
  • the metal layer 16 can be produced by a vacuum film forming method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or a CVD method.
  • the sputtering method is preferable because the film forming chamber can be downsized and the film forming speed is high. Examples of the sputtering method include DC magnetron sputtering.
  • a metal target can be used as the target.
  • At least a part of the first metal oxide layer 12 and the second metal oxide layer 14 and at least a part of the metal layer 16 in the transparent conductor 100 may be removed by etching or the like.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of the transparent conductor.
  • the transparent conductor 101 is different from the transparent conductor 100 in that the transparent conductor 101 includes a pair of hard coat layers 20 so as to sandwich the transparent resin base material 10.
  • Other configurations are the same as those of the transparent conductor 100.
  • the transparent conductor 101 has a first hard coat layer 22 on the main surface on the first metal oxide layer 12 side of the transparent resin base material 10, and the first of the transparent resin base material 10.
  • a second hard coat layer 24 is provided on the main surface opposite to the one metal oxide layer 12 side. That is, the transparent conductor 101 includes the second hard coat layer 24, the transparent resin substrate 10, the first hard coat layer 22, the first metal oxide layer 12, the metal layer 16, and the second metal oxide layer. 14 has a laminated structure laminated in this order.
  • the thickness, structure, and composition of the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24 may be the same or different. Further, it is not always necessary to provide both the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24, and only one of them may be provided.
  • the hard coat layer 20 contains a cured resin obtained by curing the resin composition.
  • the resin composition preferably contains at least one selected from a thermosetting resin composition, an ultraviolet curable resin composition, and an electron beam curable resin composition.
  • the thermosetting resin composition may include at least one selected from an epoxy resin, a phenoxy resin, and a melamine resin.
  • the resin composition is, for example, a composition containing a curable compound having an energy ray reactive group such as a (meth) acryloyl group or a vinyl group.
  • a curable compound having an energy ray reactive group such as a (meth) acryloyl group or a vinyl group.
  • the notation of (meth) acryloyl group includes at least one of acryloyl group and methacryloyl group.
  • the curable compound preferably contains a polyfunctional monomer or oligomer containing 2 or more, preferably 3 or more energy ray reactive groups in one molecule.
  • the curable compound preferably contains an acrylic monomer.
  • acrylic monomers include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, ethylene oxide-modified bisphenol A di (meth) acrylate, and trimethylolpropane tri (meth).
  • a compound having a vinyl group may be used as the curable compound.
  • the compound having a vinyl group include ethylene glycol divinyl ether, pentaerythritol divinyl ether, 1,6-hexanediol divinyl ether, trimethylolpropane divinyl ether, ethylene oxide-modified hydroquinone divinyl ether, ethylene oxide-modified bisphenol A divinyl ether, Examples include pentaerythritol trivinyl ether, dipentaerythritol hexavinyl ether, and ditrimethylolpropane polyvinyl ether. However, it is not necessarily limited to these.
  • the resin composition contains a photopolymerization initiator when the curable compound is cured by ultraviolet rays.
  • Various photopolymerization initiators can be used.
  • it may be appropriately selected from known compounds such as acetophenone, benzoin, benzophenone, and thioxanthone. More specifically, Darocur 1173, Irgacure 651, Irgacure 184, Irgacure 907 (above trade name, manufactured by Ciba Specialty Chemicals), and KAYACURE DETX-S (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) can be mentioned. .
  • the photopolymerization initiator may be about 0.01 to 20% by mass, or about 0.5 to 5% by mass with respect to the mass of the curable compound.
  • the resin composition may be a known composition obtained by adding a photopolymerization initiator to an acrylic monomer.
  • acrylic monomer with a photopolymerization initiator added include, for example, UV-curable resin SD-318 (trade name, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals) and XNR5535 (trade name, Nagase Sangyo). Etc.).
  • the resin composition may contain organic fine particles and / or inorganic fine particles for increasing the strength of the coating film and / or adjusting the refractive index.
  • organic fine particles include organic silicon fine particles, crosslinked acrylic fine particles, and crosslinked polystyrene fine particles.
  • examples of the inorganic fine particles include silicon oxide fine particles, aluminum oxide fine particles, zirconium oxide fine particles, titanium oxide fine particles, and iron oxide fine particles. Of these, silicon oxide fine particles are preferred.
  • the fine particles have a surface treated with a silane coupling agent and energy ray reactive groups such as (meth) acryloyl groups and / or vinyl groups are present on the surface in a film form.
  • energy ray reactive groups such as (meth) acryloyl groups and / or vinyl groups are present on the surface in a film form.
  • the fine particles react with each other upon irradiation with energy rays, or the fine particles and polyfunctional monomers or oligomers react to increase the strength of the film.
  • Silicon oxide fine particles treated with a silane coupling agent containing a (meth) acryloyl group are preferably used.
  • the average particle diameter of the fine particles is smaller than the thickness of the hard coat layer 20, and may be 100 nm or less or 20 nm or less from the viewpoint of ensuring sufficient transparency. On the other hand, from the viewpoint of production of the colloidal solution, it may be 5 nm or more, or 10 nm or more.
  • the total amount of organic fine particles and inorganic fine particles may be, for example, 5 to 500 parts by mass, or 20 to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the curable compound. May be.
  • the resin composition can be cured by irradiation with energy rays such as ultraviolet rays. Accordingly, it is preferable to use such a resin composition from the viewpoint of the manufacturing process.
  • the first hard coat layer 22 can be produced by applying a solution or dispersion of the resin composition onto one surface of the transparent resin substrate 10 and drying it to cure the resin composition.
  • coating in this case can be performed by a well-known method. Examples of the coating method include an extrusion nozzle method, a blade method, a knife method, a bar coating method, a kiss coating method, a kiss reverse method, a gravure roll method, a dip method, a reverse roll method, a direct roll method, a curtain method, and a squeeze method. Etc.
  • the second hard coat layer 24 can also be produced on the other surface of the transparent resin substrate 10 in the same manner as the first hard coat layer 22.
  • the thickness of the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24 is, for example, 0.5 to 10 ⁇ m. If the thickness exceeds 10 ⁇ m, uneven thickness or wrinkles tend to occur. On the other hand, when the thickness is less than 0.5 ⁇ m, when the transparent resin substrate 10 contains a considerable amount of low molecular weight components such as plasticizers or oligomers, the bleeding out of these components can be sufficiently suppressed. It can be difficult. In addition, from the viewpoint of suppressing warpage, it is preferable that the thicknesses of the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24 be approximately the same.
  • the refractive indexes of the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24 are, for example, 1.40 to 1.60.
  • the absolute value of the difference in refractive index between the transparent resin substrate 10 and the first hard coat layer 22 is preferably 0.1 or less.
  • the absolute value of the difference in refractive index between the transparent resin substrate 10 and the second hard coat layer 24 is also preferably 0.1 or less.
  • the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 22 are reduced by reducing the absolute value of the difference in refractive index between the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24 and the transparent resin substrate 10. It is possible to suppress the intensity of interference unevenness generated by the thickness unevenness of 24.
  • each layer constituting the transparent conductors 100 and 101 can be measured by the following procedure.
  • the transparent conductors 100 and 101 are cut by a focused ion beam apparatus (FIB, Focused Ion Beam) to obtain a cross section.
  • the cross section is observed using a transmission electron microscope (TEM), and the thickness of each layer is measured.
  • the measurement is preferably performed at 10 or more arbitrarily selected positions, and the average value is obtained.
  • TEM transmission electron microscope
  • a microtome may be used as an apparatus other than the focused ion beam apparatus.
  • a scanning electron microscope (SEM) may be used as a method for measuring the thickness. It is also possible to measure the film thickness using a fluorescent X-ray apparatus.
  • the thickness of the transparent conductors 100 and 101 may be 200 ⁇ m or less, or 150 ⁇ m or less. Such a thickness can sufficiently satisfy the required level of thinning.
  • the total light transmittance of the transparent conductors 100 and 101 can be as high as 85% or more, for example.
  • the surface resistance value (four-terminal method) of the transparent conductors 100 and 101 is, for example, 30 ⁇ / ⁇ or less without thermal annealing of the first metal oxide layer 12 and the second metal oxide layer 14. And can be 25 ⁇ / ⁇ or less.
  • the transparent conductors 100 and 101 having the above-described configuration have a stacked structure in which the first metal oxide layer 12, the metal layer 16, and the second metal oxide layer 14 are stacked.
  • This laminated structure can be easily removed at once using a normal etching solution (acid). Moreover, it is excellent also in alkali tolerance. Therefore, patterning can be formed efficiently.
  • the transparent conductors 100 and 101 have high transmittance and high conductivity without performing thermal annealing. For this reason, it can use suitably for the sensor film use of a touch panel.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an enlarged part of a cross section of the touch panel 200 including a pair of sensor films.
  • 4 and 5 are plan views of the sensor films 100a and 100b using the transparent conductor 100 described above.
  • the touch panel 200 includes a pair of sensor films 100 a and 100 b that are disposed to face each other via the optical glue 18.
  • the touch panel 200 can calculate the touch position of the contact body as a coordinate position (horizontal position and vertical position) on a two-dimensional coordinate (XY coordinate) plane parallel to the panel board 70 serving as a screen. It is configured.
  • the touch panel 200 includes a sensor film 100a for longitudinal position detection (hereinafter referred to as “sensor film for Y”) and a sensor for position detection in the lateral direction, which are bonded together via the optical glue 18.
  • a film 100b (hereinafter referred to as “sensor film for X”).
  • a spacer 92 is provided between the X sensor film 100b and the panel plate 70 of the display device.
  • a cover glass 19 is provided on the upper surface side (the side opposite to the panel plate 70 side) of the Y sensor film 100 a via an optical glue 17. That is, the touch panel 200 has a structure in which the X sensor film 100b, the Y sensor film 100a, and the cover glass 19 are arranged in this order on the panel board 70 from the panel board 70 side.
  • the Y sensor film 100a for detecting the vertical position and the X sensor film 100b for detecting the horizontal position are constituted by the transparent conductor 100 described above.
  • the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b have a sensor electrode 15a and a sensor electrode 15b, which are conductive portions, so as to face the cover glass 19.
  • the sensor electrode 15a includes a first metal oxide layer 12, a second metal oxide layer 14, and a metal layer 16.
  • the sensor electrode 15 a may include a hard coat layer 20.
  • a plurality of sensor electrodes 15a extend in the vertical direction (y direction) so that the touch position in the vertical direction (y direction) can be detected.
  • the plurality of sensor electrodes 15a are arranged in parallel to each other along the vertical direction (y direction).
  • One end of the sensor electrode 15a is connected to the electrode 80 on the driving IC side via a conductor line 50 formed of silver paste.
  • the X sensor film 100b for detecting the lateral position has a sensor electrode 15b on the surface facing the Y sensor film 100a.
  • the sensor electrode 15 b includes a first metal oxide layer 12, a second metal oxide layer 14, and a metal layer 16.
  • the sensor electrode 15 b may include a hard coat layer 20.
  • a plurality of sensor electrodes 15b extend in the horizontal direction (x direction) so that the touch position in the horizontal direction (x direction) can be detected.
  • the plurality of sensor electrodes 15b are arranged in parallel to each other along the horizontal direction (x direction).
  • One end of the sensor electrode 15b is connected to an electrode 80 on the driving IC side through a conductor line 50 formed of silver paste.
  • the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b are optical glues so that the sensor electrodes 15a and 15b are orthogonal to each other when viewed from the stacking direction of the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b. 18 are superimposed.
  • a cover glass 19 is provided on the opposite side of the Y sensor film 100 a from the X sensor film 100 b side via an optical glue 17.
  • the optical glues 17, 18, the cover glass 19, and the panel plate 70 ordinary ones can be used.
  • the conductor line 50 and the electrode 80 are made of a conductive material such as metal (eg, Ag).
  • the conductor line 50 and the electrode 80 are patterned by, for example, screen printing.
  • the transparent resin base material 10 also has a function as a protective film that covers the surface of the touch panel 200.
  • the shape and number of the sensor electrodes 15a and 15b in the sensor films 100a and 100b are not limited to the forms shown in FIGS.
  • the detection accuracy of the touch position may be increased by increasing the number of sensor electrodes 15a and 15b.
  • a panel plate 70 is provided via a spacer 92 on the opposite side of the X sensor film 100b from the Y sensor film 100a side.
  • the spacer 92 can be provided at a position corresponding to the shape of the sensor electrodes 15a and 15b and a position surrounding the entire sensor electrodes 15a and 15b.
  • the spacer 92 may be formed of a light-transmitting material, for example, PET (polyethylene terephthalate) resin.
  • One end of the spacer 92 is bonded to the lower surface of the X sensor film 100b by an optical glue or an adhesive 90 having translucency such as acrylic or epoxy.
  • the other end of the spacer 92 is bonded to the panel plate 70 of the display device with an adhesive 90.
  • a control unit may be electrically connected to the electrode 80 shown in FIGS.
  • the capacitance changes of the sensor electrodes 15a and 15b caused by the capacitance change between the fingertip and the Y sensor film 100a of the touch panel 200 are measured.
  • the control unit can calculate the touch position of the contact body as a coordinate position (intersection of the position in the X-axis direction and the position in the Y-axis direction) based on the measurement result.
  • various known methods can be adopted as the sensor electrode driving method and the coordinate position calculation method.
  • the touch panel 200 can be manufactured by the following procedure. After preparing the transparent conductor 100, the first metal oxide layer 12, the metal layer 16, and the second metal oxide layer 14 are etched and patterned. Specifically, a resist material is applied to the surface of the second metal oxide layer 14 by spin coating using a photolithography technique. Thereafter, pre-baking may be performed to improve adhesion. Subsequently, a resist pattern is formed by arranging and exposing a mask pattern and developing with a developer. The formation of the resist pattern is not limited to photolithography, and can be formed by screen printing or the like.
  • the transparent conductor 100 on which the resist pattern is formed is immersed in an acidic etching solution, and the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16 in a portion where the resist pattern is not formed are dissolved and removed. If necessary, the first metal oxide layer 12 may be dissolved and removed.
  • the second metal oxide layer 14 is excellent in solubility in the acid used for etching. Therefore, the electrode pattern can be formed smoothly by removing the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16 at once. Thereafter, the resist is removed using an alkaline solution, and the Y sensor film 100a on which the sensor electrode 15a is formed and the X sensor film 100b on which the sensor electrode 15b is formed are obtained. Since the second metal oxide layer 14 is also excellent in alkali resistance, the resist can be removed smoothly, and the sensor electrodes 15a and 15b having excellent transparency and conductivity can be formed.
  • the metal layer 16 and the second metal oxide layer 14 have different compositions, and the first metal oxide layer 12 has a composition that is not removed by etching, the metal layer 16 and the second metal oxide layer It is also possible to etch the physical layer 14 together and leave the first metal oxide layer 12 as it is after etching.
  • an inorganic acid-based etchant can be used.
  • a phosphoric acid-based etching solution and a hydrochloric acid-based etching solution are suitable, but not limited thereto.
  • a metal paste such as a silver alloy paste is applied to form the conductor line 50 and the electrode 80.
  • the control unit and the sensor electrodes 15a and 15b are electrically connected.
  • the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b are bonded using the optical glue 18 so that the sensor electrodes 15a and 15b protrude in the same direction.
  • the sensor electrodes 15a and 15b are bonded so as to be orthogonal to each other when viewed from the stacking direction of the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b.
  • the cover glass 19 and the Y sensor film 100 a are bonded together using the optical glue 17. In this way, the touch panel 200 can be manufactured.
  • the touch panel 200 uses the transparent conductor 100 as the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b.
  • the transparent conductor 100 can remove the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16 and optionally the first metal oxide layer 12 in a batch by etching. For this reason, the manufacturing process of the touch panel 200 can be simplified and the touch panel 200 can be manufactured efficiently.
  • the transparent conductor 100 it is not necessary to use the transparent conductor 100 for both the Y sensor film 100a and the X sensor film 100b, and either one may use another transparent conductor. Even with such a touch panel, the display can be made sufficiently clear. Moreover, you may use the transparent conductor 101 instead of the transparent conductor 100 as a sensor film.
  • the transparent conductors 100 and 101 can be suitably used for touch panels.
  • the use is not limited to the touch panel.
  • the first metal oxide layer 12, the second metal oxide layer 14, and the metal layer 16 are processed into a predetermined shape by etching, and the first metal oxide layer 12, the second metal oxide layer 14, and the metal layer 16 are processed.
  • a portion (conductive portion) having the metal oxide layer 12, the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16, and the first metal oxide layer 12, the second metal oxide layer 14 and the metal layer 16 are provided.
  • LCD liquid crystal display
  • PDP plasma display panel
  • organic EL electroluminescence panel
  • electrochromic element electrochromic element
  • electronic paper It can be used for transparent electrodes, antistatics, and electromagnetic wave shields. It can also be used as an antenna.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments.
  • the above-described transparent conductor 101 has the pair of hard coat layers 20, but may include only one of the first hard coat layer 22 and the second hard coat layer 24.
  • a hard coat layer may be provided on one surface of the transparent resin base material 10, and a plurality of optical adjustment layers may be provided by coating on the other surface.
  • the first metal oxide layer 12, the metal layer 16, and the second metal oxide layer 14 may be provided on the optical adjustment layer.
  • the transparent conductors 100 and 101 may be provided with an arbitrary layer at an arbitrary position other than the above-described layers as long as the function is not greatly impaired.
  • Example 1 (Production of transparent conductor) A transparent conductor as shown in FIG. 2 was produced.
  • the transparent conductor has a laminated structure in which a transparent resin base material sandwiched between a pair of hard coat layers, a first metal oxide layer, a metal layer, and a second metal oxide layer are laminated in this order. It was.
  • the transparent conductor of each Example was produced as follows.
  • a polyethylene terephthalate film (manufactured by Toray Industries, Inc., product number: U48) having a thickness of 100 ⁇ m was prepared. This PET film was used as a transparent resin substrate.
  • a paint for preparing the first hard coat layer and the second hard coat layer was prepared by the following procedure.
  • Colloidal silica modified with reactive groups (dispersion medium: propylene glycol monomethyl ether acetate, nonvolatile content: 40% by mass): 100 parts by mass Dipentaerythritol hexaacrylate: 48 parts by mass 1,6-hexanediol diacrylate : 12 parts by mass-photopolymerization initiator (1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone): 2.5 parts by mass
  • the above-mentioned raw materials were diluted with a solvent (propylene glycol monomethyl ether (PGMA)) and mixed, and each component was dispersed in the solvent.
  • a paint having a nonvolatile content (NV) of 25.5% by mass was prepared.
  • the paint thus obtained was used as a paint for preparing the first hard coat layer and the second hard coat layer.
  • a coating material for preparing the first hard coat layer was applied to prepare a coating film. After removing the solvent in the coating film in a hot air drying oven set at 80 ° C., the coating film was cured by irradiating with an ultraviolet ray with an integrated light amount of 400 mJ / cm 2 using a UV processing apparatus. In this way, a first hard coat layer having a thickness of 2 ⁇ m was produced on one surface of the transparent resin substrate. Similarly, a second hard coat layer having a thickness of 2 ⁇ m was produced on the other surface of the transparent resin substrate.
  • a first metal oxide layer, a metal layer, and a second metal oxide layer were sequentially formed on the first hard coat layer by DC magnetron sputtering.
  • the first metal oxide layer and the second metal oxide layer were formed using a ZnO—In 2 O 3 —TiO 2 —SnO 2 target having the composition shown in Table 1.
  • the first metal oxide layer and the second metal oxide layer in each example were formed using targets having the same composition.
  • the compositions of the first metal oxide layer and the second metal oxide layer in each example were as shown in Table 1.
  • the thickness of the first metal oxide layer and the second metal oxide layer in each example was 50 nm.
  • the thickness of the metal layer 16 was 5 nm.
  • the total light transmittance measurement was performed and it was determined whether the 1st metal oxide layer, the metal layer, and the 2nd metal oxide layer were melt
  • the alkali resistance was evaluated by the following procedure.
  • a KOH aqueous solution having a KOH concentration of 3% by mass was prepared.
  • the transparent conductor of each example was immersed in this alkaline solution for 2 minutes at room temperature.
  • the total light transmittance measurement was performed and it was determined whether the 1st metal oxide layer, the metal layer, and the 2nd metal oxide layer were melt
  • the evaluation results are as shown in Table 2.
  • the surface resistance of the transparent conductor of each example was measured using a 4-terminal resistivity meter (trade name: Loresta GP, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). The results are shown in Table 2.
  • “Surface resistance (1)” is a surface resistance value before storing the transparent conductor in an environment of 85 ° C. and 85% RH (relative humidity 85%), and “Surface resistance (2)”. Is the surface resistance value after 50 hours storage in the above environment.
  • the transparent conductors of each example were stored in an environment of 85 ° C. and 85% RH for 50 hours, and then the storage stability was visually evaluated. When white turbidity was observed in the transparent conductor, it was determined as “B”, and when it was not observed as “A”. The results were as shown in Table 2.
  • the evaluation of acid solubility and alkali resistance was “A”. From this, it was confirmed that the metal oxide layer and the metal layer in the transparent conductors of Examples 1 to 11 can be collectively removed by etching. In addition, it was confirmed that the metal oxide layers in the transparent conductors of Examples 1 to 11 had excellent alkali resistance.
  • Example 12 to 22 Evaluation of the produced transparent conductors of Examples 12 to 22 was performed in the same manner as in Example 5. The evaluation results are as shown in Table 6. The composition and thickness of the metal oxide layers of Examples 12 to 22 are the same as those of Example 5.
  • Comparative Example 1 to Comparative Example 1 were carried out in the same manner as in Example 1 except that a target having the composition shown in Table 7 was used as the target for forming the first metal oxide layer and the second metal oxide layer. 4 transparent conductors were produced.
  • the first metal oxide layer and the second metal oxide layer were formed using a ZnO—TiO 2 —Nb 2 O 5 target.
  • a ZnO—In 2 O 3 —Cr 2 O 3 target was used.
  • a ZnO—SnO 2 —Cr 2 O 3 target was used.
  • a ZnO—In 2 O 3 —SnO 2 target was used.
  • the first metal oxide layer and the second metal oxide layer were formed using targets having the same composition.
  • the compositions of the first metal oxide layer and the second metal oxide layer in each comparative example were as shown in Table 7.
  • the solubility of the transparent conductor of each comparative example in acid and alkali resistance were evaluated in the same manner as in Example 1. The results were as shown in Table 7.
  • a transparent conductor capable of easily removing a metal oxide layer and a metal layer by etching is provided. Moreover, according to this indication, the touch panel which can be manufactured easily is provided by using such a transparent conductor.
  • SYMBOLS 10 Transparent resin base material, 12 ... 1st metal oxide layer, 14 ... 2nd metal oxide layer, 16 ... Metal layer, 15a, 15b ... Sensor electrode, 20 ... Hard-coat layer, 22 ... 1st Hard coat layer, 24 ... second hard coat layer, 50 ... conductor line, 70 ... panel plate, 80 ... electrode, 90 ... adhesive, 92 ... spacer, 100, 101 ... transparent conductor, 100a ... sensor film for Y , 100b ... Sensor film for X, 200 ... Touch panel.

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Abstract

　透明樹脂基材１０、第１の金属酸化物層１２、銀合金を含む金属層１６、及び第２の金属酸化物層１４がこの順で積層されており、第２の金属酸化物層１４は、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを含有する透明導電体１００を提供する。

Description

透明導電体及びタッチパネル
　本開示は、透明導電体及びこれを用いたタッチパネルに関する。
透明導電体は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、及びエレクトロルミネッセンスパネル（有機ＥＬ、無機ＥＬ）などのディスプレイ、並びに、太陽電池などの透明電極として使用されている。また、これらの他に、電磁波遮断膜及び赤外線防止膜等にも使用されている。透明導電体における金属酸化物層の材料としては、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）に錫（Ｓｎ）を添加したＩＴＯが広く用いられている。
　近年、スマートフォン及びタブレット端末等、タッチパネルを備えた端末が急速に普及している。これらは、液晶パネルの上にタッチセンサー部を設け、最表面にカバーガラスを備えた構成を有している。タッチセンサー部は、ガラス又はフィルム基材の片面、或いは両面にスパッタリングでＩＴＯ膜を成膜したものを、１枚又は２枚貼り合わせて構成される。
　タッチパネルの大型化とタッチセンサー機能の高精度化に伴い、高透過率を有するとともに低抵抗である透明導電体が求められている。ＩＴＯ膜を用いた透明導電体の抵抗を低くするためには、ＩＴＯ膜の膜厚を厚くする、又は、熱アニールによりＩＴＯ膜の結晶化を行う必要がある。しかし、ＩＴＯ膜を厚膜化すると透過率が低下してしまう。また、フィルム基材を高温で熱アニールすることは通常困難である。このため、フィルム基材上に設けたＩＴＯ膜の場合、高い透過率を維持しつつ抵抗を低くすることは難しい状況にあった。
　このような事情の下、酸化インジウム又は酸化亜鉛を主成分とする金属酸化物層と金属層との積層構造を有する透明導電膜が提案されている（例えば、特許文献１，２）。
特開２００２－１５７９２９号公報 特開平９－２９１３５５号公報
　タッチパネル等の用途では、タッチした位置の検出が行えるようにするため、パターニングプロセスを行って、導電部分と絶縁部分とを形成する。パターニングプロセスでは、通常、レジストパターンを形成した後、酸によるエッチングを行って電極パターンを形成し、最後にアルカリ溶液を用いてレジストの剥離を行う。このようなパターニングプロセスを円滑に行うため、金属層と金属酸化物層は、一括してエッチングで除去することが可能であるとともに、アルカリ溶液に対する耐性にも優れることが求められる。
　そこで、本発明では、一つの側面において、金属酸化物層と金属層との積層構造を有する透明導電体において、エッチングに用いられる酸への溶解性と、アルカリ溶液に対する耐性の両方に優れる透明導電体を提供する。また、本発明では、別の側面において、そのような透明導電体を用いることによって、効率よく製造することが可能なタッチパネルを提供する。
　本発明は、一つの側面において、透明樹脂基材、第１の金属酸化物層、銀合金を含む金属層、及び第２の金属酸化物層がこの順で積層されており、第２の金属酸化物層は、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを含有する透明導電体を提供する。
　このような透明導電体は、第２の金属酸化物層と、銀合金を含む金属層とを備える積層構造を有する。この第２の金属酸化物層と金属層は、エッチングに用いられる酸への溶解性に優れるため、エッチングの際に一括して除去することができる。また、第２の金属酸化物層は、アルカリ溶液に対する耐性（アルカリ耐性）にも優れる。したがって、タッチパネル等のエッチングが必要な用途に好適に用いることができる。
　上記透明導電体の第２の金属酸化物層は、幾つかの実施形態において、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズの４成分を、それぞれＺｎＯ、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２及びＳｎＯ２に換算したときに、４成分の合計に対し、酸化亜鉛の含有量が２０～６８ｍｏｌ％、酸化インジウムの含有量が１５～３５ｍｏｌ％、酸化チタンの含有量が５～１５ｍｏｌ％、及び、酸化スズの含有量が５～４０ｍｏｌ％であってもよい。上述の割合で酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを含有することによって、第２の金属酸化物層の酸への溶解性及びアルカリ耐性を一層優れたものとしつつ、透明性、導電性、及び高温高湿下における保存安定性を一層向上させることができる。
　上記透明導電体の金属層は、幾つかの実施形態において、４～１１ｎｍの厚みを有していてもよい。これによって、透明導電体の透明性を十分に高くしつつ、表面抵抗を低くすることができる。
　上記透明導電体の第１の金属酸化物層は、幾つかの実施形態において、上記４成分を含有していてもよい。また、第１の金属酸化物層では、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズの４成分を、それぞれＺｎＯ、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２及びＳｎＯ２に換算したときに、４成分の合計に対し、酸化亜鉛の含有量が２０～６８ｍｏｌ％、酸化インジウムの含有量が１５～３５ｍｏｌ％、酸化チタンの含有量が５～１５ｍｏｌ％、及び、酸化スズの含有量が５～４０ｍｏｌ％であってもよい。これによって、第１の金属酸化物層、第２の金属酸化物層及び金属層を、エッチングによって一括して除去することができる。また、第２の金属酸化物層のみならず、第１の金属酸化物層も、アルカリ耐性に優れる。したがって、タッチパネル等のエッチングが必要な用途に好適に用いることができる。
　上記透明導電体の金属層における銀合金は、幾つかの実施形態において、Ａｇと、Ｐｄ，Ｃｕ，Ｎｄ，Ｉｎ，Ｓｎ及びＳｂからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属との合金であってもよい。これによって、全光線透過率及び導電性に一層優れる透明導電体とすることができる。
　本発明は、別の側面において、パネル板の上にセンサフィルムを有するタッチパネルであって、センサフィルムが上述の透明導電体で構成されるタッチパネルを提供する。このようなタッチパネルは、上述の透明導電体で構成されるセンサフィルムを有することから、パターニングを円滑に行って、効率よく製造することができる。
　本発明によれば、金属酸化物層と金属層との積層構造を有する透明導電体において、酸への溶解性と、アルカリ溶液に対する耐性の両方に優れる透明導電体を提供することができる。また、本発明では、そのような透明導電体を用いることによって、効率よく製造することが可能なタッチパネルを提供することができる。
図１は、透明導電体の一実施形態を模式的に示す断面図である。 図２は、透明導電体の別の実施形態を模式的に示す断面図である。 図３は、タッチパネルの一実施形態における断面の一部を拡大して示す模式断面図である。 図４は、タッチパネルの一実施形態を構成するセンサフィルムの平面図である。 図５は、タッチパネルの一実施形態を構成するセンサフィルムの平面図である。
　本発明の実施形態を、図面を参照しながら以下に詳細に説明する。ただし、以下の実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用い、場合により重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。
　図１は、透明導電体の一実施形態を示す模式断面図である。透明導電体１００は、フィルム状の透明樹脂基材１０と、第１の金属酸化物層１２と、金属層１６と、第２の金属酸化物層１４とがこの順に配置された積層構造を有する。
　本明細書における「透明」とは、可視光が透過することを意味しており、光をある程度散乱してもよい。光の散乱度合いについては、透明導電体１００の用途によって要求されるレベルが異なる。一般に半透明といわれるような光の散乱があるものも、本明細書における「透明」の概念に含まれる。光の散乱度合いは小さい方が好ましく、透明性は高い方が好ましい。透明導電体１００全体の全光線透過率は、例えば８０％以上であり、好ましくは８３％以上であり、より好ましくは８５％以上である。この全光線透過率は、積分球を用いて求められる、拡散透過光を含む透過率であり、市販のヘイズメーターを用いて測定される。
　透明樹脂基材１０としては、特に限定されず、可撓性を有する有機樹脂フィルムであってもよい。有機樹脂フィルムは有機樹脂シートであってもよい。有機樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステルフィルム、ポリエチレン及びポリプロピレン等のポリオレフィンフィルム、ポリカーボネートフィルム、アクリルフィルム、ノルボルネンフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエーテルスルフォンフィルム、ジアセチルセルロースフィルム、並びにトリアセチルセルロースフィルム等が挙げられる。これらのうち、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）及びポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステルフィルムが好ましい。
　透明樹脂基材１０は、剛性の観点からは厚い方が好ましい。一方、透明樹脂基材１０は、透明導電体１００を薄膜化する観点からは薄い方が好ましい。このような観点から、透明樹脂基材１０の厚みは、例えば１０～２００μｍである。透明樹脂基材の屈折率は、光学特性に優れる透明導電体とする観点から、例えば１．５０～１．７０である。なお、本明細書における屈折率は、λ＝６３３ｎｍ、温度２０℃の条件下で測定される値である。
　透明樹脂基材１０は、加熱時の寸法安定性が高いことが好ましい。一般に、可撓性の有機樹脂フィルムはフィルム作製過程において、加熱によって膨張又は収縮による寸法変化を生じる。１軸延伸又は２軸延伸では、低コストで厚みが薄い透明樹脂基材１０を作製することができる。引出し電極を形成する際に、透明導電体１００を加熱すると、熱収縮することによって寸法変化が生じる。このような寸法変化は、ＡＳＴＭ　Ｄ１２０４－０２又はＪＩＳ－Ｃ－２１５１に準拠して測定することができる。加熱処理前後の寸法変化率は、加熱前の寸法をＬｏ、加熱後の寸法をＬとしたとき、以下の式で求められる。
　　寸法変化率（％）＝１００×（Ｌ－Ｌｏ）／Ｌｏ
　寸法変化率（％）がプラスの場合は、加熱処理によって膨張したことを表し、マイナスの場合は、加熱処理によって収縮したことを表す。２軸延伸された透明樹脂基材１０の寸法変化率は、延伸時の進行方向（ＭＤ方向）と横方向（ＴＤ方向）の両方において測定することができる。透明樹脂基材１０の寸法変化率は、例えばＭＤ方向にて－１．０～－０．３％、ＴＤ方向にて－０．１～＋０．１％である。
　透明樹脂基材１０は、コロナ放電処理、グロー放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、電子線照射処理、及びオゾン処理からなる群より選ばれる少なくとも一つの表面処理が施されたものであってもよい。透明樹脂基材は、樹脂フィルムであってもよい。樹脂フィルムを用いることによって、透明導電体１００を柔軟性に優れたものとすることができる。これによって、タッチパネル用途の透明導電体に限らず、フレキシブルな有機ＥＬ照明等の透明電極用、又は電磁波シールドとしても用いることできる。
　例えば、透明導電体１００を、タッチパネルを構成するセンサフィルムとして用いる場合、指及びペン等の外部入力に対して適度に変形できるように、透明樹脂基材１０は可撓性を有する有機樹脂フィルムを用いてもよい。
　第２の金属酸化物層１４は、酸化物を含む透明の層であり、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズの４成分を、主成分として含有する。第２の金属酸化物層１４は、主成分として上記４成分を含むことによって、導電性と高い透明性を兼ね備えた第２の金属酸化物層１４を形成することができる。このため、熱アニールを行わずとも、第２の金属酸化物層１４と金属層１６とを兼ね備えることによって、低い表面抵抗を得ることができる。酸化亜鉛は例えばＺｎＯであり、酸化インジウムは例えばＩｎ２Ｏ３である。酸化チタンは例えばＴｉＯ２であり、酸化スズは、例えばＳｎＯ２である。上記各金属酸化物における金属原子と酸素原子の比は、化学量論比からずれていてもよい。
　第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化亜鉛の含有量は、透過率と導電性とを十分に高くする観点から、例えば２０ｍｏｌ％以上である。第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化亜鉛の含有量は、保存安定性を十分に高くする観点から、例えば６８ｍｏｌ％以下である。
　第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化インジウムの含有量は、表面抵抗を十分に低くしつつ透過率を十分に高くする観点から、例えば３５ｍｏｌ％以下である。第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化インジウムの含有量は、保存安定性を十分に高くする観点から、例えば１５ｍｏｌ％以上である。
　第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化チタンの含有量は、透過率を十分に高くする観点から、例えば１５ｍｏｌ％以下である。第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化チタンの含有量は、アルカリ耐性を十分に高くする観点から、例えば５ｍｏｌ％以上である。
　第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化スズの含有量は、透過率を十分に高くする観点から、例えば４０ｍｏｌ％以下である。第２の金属酸化物層１４において、上記４成分の合計に対する酸化スズの含有量は、保存安定性を十分に高くする観点から、例えば５ｍｏｌ％以上である。なお、上記４成分のそれぞれの含有量は、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを、それぞれ、ＺｎＯ、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２及びＳｎＯ２に換算して求められる値である。
　第２の金属酸化物層１４は、光学特性の調整、金属層１６の保護、及び導電性の確保といった機能を兼ね備える。第２の金属酸化物層１４は、その機能を大きく損なわない範囲で、上記４成分の他に、微量成分又は不可避的成分を含んでいてもよい。ただし、十分に高い特性を有する透明導電体１００とする観点から、第２の金属酸化物層１４における該４成分の合計の割合は高い方が好ましい。その割合は、例えば９５ｍｏｌ％以上であり、好ましくは９７ｍｏｌ％以上である。第２の金属酸化物層１４は、上記４成分からなるものであってもよい。
　第１の金属酸化物層１２と、第２の金属酸化物層１４とは、厚み、構造及び組成の点で、同一であってもよく、異なっていてもよい。第２の金属酸化物層１４の組成に関する記載は、第１の金属酸化物層１２にも、そのまま適用することができる。第１の金属酸化物層１２が、第２の金属酸化物層１４と同一の組成を有することによって、第１の金属酸化物層１２、金属層１６、及び第２の金属酸化物層１４を、エッチングによって一括して除去することができる。また、透明性、及び、アルカリ耐性をさらに高くすることができる。
　第１の金属酸化物層１２は、第２の金属酸化物層１４とは異なる組成を有していてもよい。この場合、第２の金属酸化物層１４及び金属層１６のみをエッチングして除去し、第１の金属酸化物層１２をそのまま残存させることができる。第１の金属酸化物層１２及び第２の金属酸化物層１４の厚さは、種々のタッチパネルに適した厚さとする観点から、例えば１０～７０ｎｍである。
　第１の金属酸化物層１２及び第２の金属酸化物層１４は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、又はＣＶＤ法などの真空成膜法によって作製することができる。これらのうち、成膜室を小型化できる点、及び、成膜速度が速い点で、スパッタリング法が好ましい。スパッタリング法としては、ＤＣマグネトロンスパッタリングが挙げられる。ターゲットとしては、酸化物ターゲット、金属又は半金属ターゲットを用いることができる。
　第２の金属酸化物層１４の上には配線電極等が設けられてもよい。後述する金属層１６を導通する電流は、第２の金属酸化物層１４の上に設けられる配線電極等から、第２の金属酸化物層１４を経由して、導かれる。このため、第２の金属酸化物層１４は、高い導電性を有することが好ましい。このような観点から、第２の金属酸化物層１４単膜での表面抵抗値は、例えば１．０×１０＋７Ω／□（＝１．０Ｅ＋７Ω／ｓｑ．）以下であることが好ましく、５．０×１０＋６Ω／□以下であることがより好ましい。
　金属層１６は、主成分として銀合金を含む層である。金属層１６が高い導電性を有することによって、透明導電体１００の表面抵抗を十分に低くすることができる。銀合金を構成する金属元素としては、Ａｇと、Ｐｄ、Ｃｕ、Ｎｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、及びＳｂから選ばれる少なくとも１種と、が挙げられる。銀合金の例としては、Ａｇ－Ｐｄ、Ａｇ－Ｃｕ、Ａｇ－Ｐｄ－Ｃｕ、Ａｇ－Ｎｄ－Ｃｕ、Ａｇ－Ｉｎ－Ｓｎ、及びＡｇ－Ｓｎ－Ｓｂが挙げられる。
　金属層１６は、銀合金の他に、添加物を含有していてもよい。添加物は、エッチング液によって容易に除去されるものであることが好ましい。金属層１６における銀合金の含有量は、例えば９０質量％以上であってもよく、９５質量％以上であってもよい。金属層１６の厚さは、例えば１～３０ｎｍである。透明導電体１００の表面抵抗を十分に低くしつつ全光線透過率を十分に高くする観点から、金属層１６の厚さは好ましくは４～１１ｎｍである。金属層１６の厚さが大きすぎると全光線透過率が低下する傾向にある。一方、金属層１６の厚さが小さすぎると表面抵抗が高くなる傾向がある。
　金属層１６は、透明導電体１００の全光線透過率及び表面抵抗を調整する機能を有している。金属層１６は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、又はＣＶＤ法などの真空成膜法によって作製することができる。これらのうち、成膜室を小型化できる点、及び成膜速度が速い点で、スパッタリング法が好ましい。スパッタリング法としては、ＤＣマグネトロンスパッタリングが挙げられる。ターゲットとしては、金属ターゲットを用いることができる。
　透明導電体１００における第１の金属酸化物層１２及び第２の金属酸化物層１４の少なくとも一部、及び、金属層１６の少なくとも一部は、エッチング等によって除去されていてもよい。
　図２は、透明導電体の別の実施形態を示す模式断面図である。透明導電体１０１は、透明樹脂基材１０を挟むようにして一対のハードコート層２０を備える点で、透明導電体１００と異なっている。その他の構成は、透明導電体１００と同様である。
　透明導電体１０１は、一対のハードコート層２０として、透明樹脂基材１０の第１の金属酸化物層１２側の主面上に第１のハードコート層２２と、透明樹脂基材１０の第１の金属酸化物層１２側とは反対側の主面上に第２のハードコート層２４とを備える。すなわち、透明導電体１０１は、第２のハードコート層２４、透明樹脂基材１０、第１のハードコート層２２、第１の金属酸化物層１２、金属層１６及び第２の金属酸化物層１４がこの順に積層された積層構造を有している。第１のハードコート層２２と第２のハードコート層２４の厚み、構造及び組成は、同一であってもよく異なっていてもよい。また、必ずしも第１のハードコート層２２と第２のハードコート層２４の両方を備える必要はなく、どちらか一方のみを備えていてもよい。
　ハードコート層２０を設けることによって、透明樹脂基材１０に発生する傷を十分に抑制することができる。ハードコート層２０は、樹脂組成物を硬化させて得られる樹脂硬化物を含有する。樹脂組成物は、熱硬化性樹脂組成物、紫外線硬化性樹脂組成物、及び電子線硬化性樹脂組成物から選ばれる少なくとも一種を含むことが好ましい。熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ系樹脂、フェノキシ系樹脂、及びメラミン系樹脂から選ばれる少なくとも一種を含んでもよい。
　樹脂組成物は、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基等のエネルギー線反応性基を有する硬化性化合物を含む組成物である。なお、（メタ）アクリロイル基なる表記は、アクリロイル基及びメタクリロイル基の少なくとも一方を含む意味である。硬化性化合物は、１つの分子内に２つ以上、好ましくは３つ以上のエネルギー線反応性基を含む多官能モノマー又はオリゴマーを含んでいることが好ましい。
　硬化性化合物は、好ましくはアクリル系モノマーを含有する。アクリル系モノマーとしては、具体的には、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、及び３－（メタ）アクリロイルオキシグリセリンモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。ただし、必ずしもこれらに限定されるものではない。例えば、ウレタン変性アクリレート、及びエポキシ変性アクリレート等も挙げられる。
　硬化性化合物として、ビニル基を有する化合物を用いてもよい。ビニル基を有する化合物としては、例えば、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールジビニルエーテル、１，６－ヘキサンジオールジビニルエーテル、トリメチロールプロパンジビニルエーテル、エチレンオキサイド変性ヒドロキノンジビニルエーテル、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル、及び、ジトリメチロールプロパンポリビニルエーテル等が挙げられる。ただし、必ずしもこれらに限定されるものではない。
　樹脂組成物は、硬化性化合物を紫外線によって硬化させる場合、光重合開始剤を含む。光重合開始剤としては、種々のものを用いることができる。例えば、アセトフェノン系、ベンゾイン系、ベンゾフェノン系、及びチオキサントン系等の公知の化合物から適宜選択すればよい。より具体的には、ダロキュア１１７３、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア９０７（以上商品名、チバスペシャルティケミカルズ社製）、及び、ＫＡＹＡＣＵＲＥ　ＤＥＴＸ－Ｓ（商品名、日本化薬（株）製）が挙げられる。
　光重合開始剤は、硬化性化合物の質量に対して、０．０１～２０質量％、又は０．５～５質量％程度とすればよい。樹脂組成物は、アクリル系モノマーに光重合開始剤を加えた公知のものであってもよい。アクリル系モノマーに光重合開始剤を加えたものとしては、例えば、紫外線硬化型樹脂であるＳＤ－３１８（商品名、大日本インキ化学工業（株）製）、及び、ＸＮＲ５５３５（商品名、長瀬産業（株）製）等が挙げられる。
　樹脂組成物は、塗膜の強度を高めること、及び／又は、屈折率を調整すること等のために、有機微粒子及び／又は無機微粒子を含んでいてもよい。有機微粒子としては、例えば、有機珪素微粒子、架橋アクリル微粒子、及び架橋ポリスチレン微粒子等が挙げられる。無機微粒子としては、例えば、酸化珪素微粒子、酸化アルミニウム微粒子、酸化ジルコニウム微粒子、酸化チタン微粒子、及び酸化鉄微粒子等が挙げられる。これらのうち、酸化珪素微粒子が好ましい。
　微粒子は、その表面がシランカップリング剤で処理され、（メタ）アクリロイル基、及び／又はビニル基等のエネルギー線反応性基が表面に膜状に存在しているものも好ましい。このような反応性を有する微粒子を用いると、エネルギー線照射の際に、微粒子同士が反応したり、微粒子と多官能モノマー又はオリゴマーとが反応したりして、膜の強度を強くすることができる。（メタ）アクリロイル基を含有するシランカップリング剤で処理された酸化珪素微粒子が好ましく用いられる。
　微粒子の平均粒径は、ハードコート層２０の厚みよりも小さく、十分な透明性を確保する観点から、１００ｎｍ以下であってもよく、２０ｎｍ以下であってもよい。一方、コロイド溶液の製造上の観点から、５ｎｍ以上であってもよく、１０ｎｍ以上であってもよい。有機微粒子及び／又は無機微粒子を用いる場合、有機微粒子及び無機微粒子の合計量は、硬化性化合物１００質量部に対して、例えば５～５００質量部であってもよく、２０～２００質量部であってもよい。
　エネルギー線で硬化する樹脂組成物を用いると、紫外線等のエネルギー線を照射することによって、樹脂組成物を硬化させることができる。したがって、このような樹脂組成物を用いることが製造工程上の観点からも好ましい。
　第１のハードコート層２２は、樹脂組成物の溶液又は分散液を、透明樹脂基材１０の一方面上に塗布して乾燥し、樹脂組成物を硬化させて作製することができる。この際の塗布は、公知の方法により行うことができる。塗布方法としては、例えば、エクストルージョンノズル法、ブレード法、ナイフ法、バーコート法、キスコート法、キスリバース法、グラビアロール法、ディップ法、リバースロール法、ダイレクトロール法、カーテン法、及びスクイズ法などが挙げられる。第２のハードコート層２４も、第１のハードコート層２２と同様にして、透明樹脂基材１０の他方面上に作製することができる。
　第１のハードコート層２２及び第２のハードコート層２４の厚みは、例えば０．５～１０μｍである。厚みが１０μｍを超えると、厚みムラやシワなどが生じ易くなる傾向にある。一方、厚みが０．５μｍを下回ると、透明樹脂基材１０中に可塑剤又はオリゴマー等の低分子量成分が相当量含まれている場合に、これらの成分のブリードアウトを十分に抑制することが困難になる場合がある。なお、反りを抑制する観点から、第１のハードコート層２２及び第２のハードコート層２４の厚みは、同程度にすることが好ましい。
　第１のハードコート層２２及び第２のハードコート層２４の屈折率は、例えば１．４０～１．６０である。透明樹脂基材１０と第１のハードコート層２２の屈折率の差の絶対値が０．１以下であること好ましい。透明樹脂基材１０と第２のハードコート層２４の屈折率の差の絶対値も０．１以下であること好ましい。第１のハードコート層２２及び第２のハードコート層２４と透明樹脂基材１０との屈折率の差の絶対値を小さくすることで、第１のハードコート層２２及び第２のハードコート層２４の厚みのムラによって発生する干渉ムラの強度を抑制することができる。
　透明導電体１００，１０１を構成する各層の厚みは、以下の手順で測定することができる。集束イオンビーム装置（ＦＩＢ，Ｆｏｃｕｓｅｄ　Ｉｏｎ　Ｂｅａｍ）によって透明導電体１００，１０１を切断して断面を得る。透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて当該断面を観察し、各層の厚みを測定する。測定は、任意に選択された１０箇所以上の位置で測定を行い、その平均値を求めることが好ましい。断面を得る方法として、集束イオンビーム装置以外の装置としてミクロトームを用いてもよい。厚みを測定する方法としては、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いてもよい。また蛍光Ｘ線装置を用いても膜厚を測定することが可能である。
　透明導電体１００，１０１の厚みは、２００μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。このような厚みであれば、薄化の要求レベルを十分に満足することができる。透明導電体１００，１０１の全光線透過率は、例えば８５％以上もの高い値とすることができる。また、透明導電体１００，１０１の表面抵抗値（４端子法）は、第１の金属酸化物層１２及び第２の金属酸化物層１４の熱アニールをしなくても、例えば３０Ω／□以下にすることが可能であり、２５Ω／□以下にすることもできる。
　上述の構成を備える透明導電体１００，１０１は、第１の金属酸化物層１２、金属層１６及び第２の金属酸化物層１４が積層された積層構造を有する。この積層構造は、通常のエッチング液（酸）を用いて、容易に一括して除去することができる。また、アルカリ耐性にも優れている。したがって、パターニングを効率よく形成することができる。さらに、透明導電体１００，１０１は、高い透過率を有するとともに、熱アニールを行わなくても高い導電性を有する。このため、タッチパネルのセンサフィルム用として好適に用いることができる。
　図３は、一対のセンサフィルムを備えるタッチパネル２００の断面の一部を拡大して示す模式断面図である。図４及び図５は、上述の透明導電体１００を用いたセンサフィルム１００ａ及び１００ｂの平面図である。タッチパネル２００は、光学のり１８を介して対向配置される一対のセンサフィルム１００ａ，１００ｂを備える。タッチパネル２００は、接触体のタッチ位置を、画面となるパネル板７０に平行な二次元座標（Ｘ－Ｙ座標）平面における座標位置（横方向位置と縦方向位置）として算出することが可能なように構成されている。
　具体的には、タッチパネル２００は、光学のり１８を介して貼り合わせられた、縦方向位置検出用のセンサフィルム１００ａ（以下、「Ｙ用センサフィルム」と言う）と、横方向位置検出用のセンサフィルム１００ｂ（以下、「Ｘ用センサフィルム」と言う）とを備える。Ｘ用センサフィルム１００ｂの下面側には、Ｘ用センサフィルム１００ｂと、表示装置のパネル板７０との間に、スペーサ９２が設けられている。
　Ｙ用センサフィルム１００ａの上面側（パネル板７０側とは反対側）には、光学のり１７を介して、カバーグラス１９が設けられている。すなわち、タッチパネル２００は、パネル板７０の上に、パネル板７０側から、Ｘ用センサフィルム１００ｂ、Ｙ用センサフィルム１００ａ、及びカバーグラス１９がこの順に配置された構造を有する。
　縦方向位置を検出するＹ用センサフィルム１００ａと、横方向位置を検出するＸ用センサフィルム１００ｂは、上述の透明導電体１００で構成される。Ｙ用センサフィルム１００ａ及びＸ用センサフィルム１００ｂは、カバーグラス１９と対向するように、導電部であるセンサ電極１５ａ及びセンサ電極１５ｂを有する。
　このセンサ電極１５ａは、第１の金属酸化物層１２、第２の金属酸化物層１４及び金属層１６で構成される。センサ電極１５ａは、ハードコート層２０を備えていてもよい。図４に示すように、センサ電極１５ａは、縦方向（ｙ方向）のタッチ位置を検出できるように、縦方向（ｙ方向）に複数本延在している。複数本のセンサ電極１５ａは、縦方向（ｙ方向）に沿って、互いに平行に並んで配置されている。センサ電極１５ａの一端は、銀ペーストで形成される導体線路５０を介して、駆動用ＩＣ側の電極８０と接続されている。
　横方向位置を検出するＸ用センサフィルム１００ｂは、Ｙ用センサフィルム１００ａとの対向面に、センサ電極１５ｂを有する。このセンサ電極１５ｂは、第１の金属酸化物層１２、第２の金属酸化物層１４及び金属層１６で構成される。センサ電極１５ｂは、ハードコート層２０を備えていてもよい。図５に示すように、センサ電極１５ｂは、横方向（ｘ方向）のタッチ位置を検出できるように、横方向（ｘ方向）に複数本延在している。複数本のセンサ電極１５ｂは、横方向（ｘ方向）に沿って、互いに平行に並んで配置されている。センサ電極１５ｂの一端は、銀ペーストで形成される導体線路５０を介して、駆動用ＩＣ側の電極８０と接続されている。
　Ｙ用センサフィルム１００ａとＸ用センサフィルム１００ｂとは、Ｙ用センサフィルム１００ａとＸ用センサフィルム１００ｂとの積層方向からみたときに、それぞれのセンサ電極１５ａ，１５ｂが互いに直交するように、光学のり１８介して重ね合わせられている。Ｙ用センサフィルム１００ａのＸ用センサフィルム１００ｂ側とは反対側には、光学のり１７を介してカバーグラス１９が設けられている。光学のり１７，１８、カバーグラス１９、及びパネル板７０は、通常のものを用いることができる。
　図４及び図５における導体線路５０及び電極８０は、金属（例えばＡｇ）等の導電性材料によって構成される。導体線路５０及び電極８０は、例えば、スクリーン印刷によってパターン形成される。透明樹脂基材１０は、タッチパネル２００の表面を覆う保護フィルムとしての機能をも有する。
　各センサフィルム１００ａ，１００ｂにおけるセンサ電極１５ａ，１５ｂの形状及び数は、図３、図４及び図５に示す形態に限定されるものではない。例えば、センサ電極１５ａ，１５ｂの数を増やしてタッチ位置の検出精度を高めてもよい。
　図３に示すように、Ｘ用センサフィルム１００ｂのＹ用センサフィルム１００ａ側とは反対側には、スペーサ９２を介してパネル板７０が設けられる。スペーサ９２は、センサ電極１５ａ，１５ｂの形状に対応する位置と、センサ電極１５ａ，１５ｂの全体を取り囲む位置とに設けることができる。スペーサ９２は、透光性を有する材料、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂で形成されていてもよい。スペーサ９２の一端は、光学のり或いはアクリル系又はエポキシ系等の透光性を有する接着剤９０によって、Ｘ用センサフィルム１００ｂの下面に接着される。スペーサ９２の他端は、接着剤９０によって表示装置のパネル板７０に接着される。このように、スペーサ９２を介してＸ用センサフィルム１００ｂとパネル板７０とを対向配置することによって、Ｘ用センサフィルム１００ｂと表示装置のパネル板７０との間に隙間Ｓを設けることができる。
　図４及び図５に示す電極８０には、制御部（ＩＣ）が電気的に接続されていてもよい。指先とタッチパネル２００のＹ用センサフィルム１００ａとの間における静電容量の変化によって生じる各センサ電極１５ａ，１５ｂの容量変化がそれぞれ測定される。制御部は、測定結果に基づいて接触体のタッチ位置を座標位置（Ｘ軸方向の位置とＹ軸方向の位置の交点）として算出することができる。なお、センサ電極の駆動方法、及び、座標位置の算出方法は、上述の他に、公知の各種の方法を採用することが可能である。
　タッチパネル２００は以下の手順で製造することができる。透明導電体１００を準備した後、第１の金属酸化物層１２、金属層１６及び第２の金属酸化物層１４のエッチングを行って、パターニングを行う。具体的には、フォトリソグラフィーの技術を用いて第２の金属酸化物層１４の表面にスピンコーティングによりレジスト材料を塗布する。その後、密着性を向上させるためにプリベークを行ってもよい。続いて、マスクパターンを配置して露光し、現像液で現像することによって、レジストパターンを形成する。レジストパターンの形成は、フォトリソグラフィーに限定されず、スクリーン印刷等によって形成することも可能である。
　次に、酸性のエッチング液に、レジストパターンを形成した透明導電体１００を浸漬し、レジストパターンが形成されて無い部分における第２の金属酸化物層１４及び金属層１６を溶解除去する。必要に応じて、第１の金属酸化物層１２を溶解除去してもよい。第２の金属酸化物層１４は、エッチングに用いられる酸への溶解性に優れる。したがって、第２の金属酸化物層１４と金属層１６を一括して除去することによって、電極パターン形成を円滑に行うことができる。その後、アルカリ溶液を用いてレジストを除去して、センサ電極１５ａが形成されたＹ用センサフィルム１００ａと、センサ電極１５ｂが形成されたＸ用センサフィルム１００ｂが得られる。第２の金属酸化物層１４は、アルカリ耐性にも優れることから、レジストの円滑な除去処理が可能であり、透明性及び導電性に優れるセンサ電極１５ａ，１５ｂを形成することができる。
　第１の金属酸化物層１２と第２の金属酸化物層１４とを異なる組成とし、第１の金属酸化物層１２はエッチングで除去されない組成にすれば、金属層１６と第２の金属酸化物層１４とを一括エッチングし、第１の金属酸化物層１２をエッチング後もそのまま残存させることも可能である。エッチング液としては、無機酸系のエッチング液を用いることができる。例えば、リン酸系のエッチング液及び塩酸系エッチング液が好適であるが、これらに限定されない。
　続いて、例えば銀合金ペーストなどの金属ペーストを塗布して、導体線路５０及び電極８０を形成する。このようにして、制御部とセンサ電極１５ａ，１５ｂとが電気的に接続される。次に、Ｙ用センサフィルム１００ａとＸ用センサフィルム１００ｂを、光学のり１８を用いて、それぞれのセンサ電極１５ａ，１５ｂが同一方向に突出するようにして貼り合わせる。この場合、Ｙ用センサフィルム１００ａとＸ用センサフィルム１００ｂの積層方向からみたときに、センサ電極１５ａ，１５ｂが互いに直交するように貼り合わせる。そして、光学のり１７を用いてカバーグラス１９とＹ用センサフィルム１００ａとを貼り合わせる。このようにして、タッチパネル２００を製造することができる。
　タッチパネル２００は、Ｙ用センサフィルム１００ａ及びＸ用センサフィルム１００ｂとして、透明導電体１００を用いている。透明導電体１００は、エッチングによって第２の金属酸化物層１４及び金属層１６、並びに場合により第１の金属酸化物層１２を一括して除去することができる。このため、タッチパネル２００の製造プロセスを簡略化して、タッチパネル２００を効率よく製造することができる。
　なお、Ｙ用センサフィルム１００ａ及びＸ用センサフィルム１００ｂの双方に、透明導電体１００を用いる必要はなく、どちらか一方は、別の透明導電体を用いてもよい。このようなタッチパネルであっても、表示を十分に鮮明にすることができる。また、センサフィルムとして、透明導電体１００の代わりに透明導電体１０１を用いてもよい。
　このように、透明導電体１００，１０１は、タッチパネル用に好適に用いることができる。ただし、その用途はタッチパネルに限定されるものではなく、例えば、第１の金属酸化物層１２、第２の金属酸化物層１４及び金属層１６をエッチングによって所定形状に加工して、第１の金属酸化物層１２、第２の金属酸化物層１４及び金属層１６を有する部分（導電部）と、第１の金属酸化物層１２、第２の金属酸化物層１４及び金属層１６を有しない部分（非導電部）とを形成し、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスパネル（有機ＥＬ、無機ＥＬ）、エレクトロクロミック素子、及び電子ペーパーなどの各種表示装置において、透明電極用、帯電防止用、電磁波シールド用として用いることができる。また、アンテナとして用いることもできる。
　以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の透明導電体１０１は一対のハードコート層２０を有しているが、第１のハードコート層２２及び第２のハードコート層２４のどちらか一方のみを備えていてもよい。また、透明樹脂基材１０の一方面上にハードコート層を設け、他方面上に塗布により複数の光学調整層を設けてもよい。この場合、第１の金属酸化物層１２、金属層１６及び第２の金属酸化物層１４は、この光学調整層の上に設けてもよい。さらに、透明導電体１００，１０１には、その機能が大きく損なわれない範囲で、上述の層以外に任意の位置に任意の層を設けてもよい。
　以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
［実施例１～１１］
（透明導電体の作製）
　図２に示すような透明導電体を作製した。透明導電体は、一対のハードコート層に挟まれた透明樹脂基材、第１の金属酸化物層、金属層及び第２の金属酸化物層がこの順で積層された積層構造を有していた。各実施例の透明導電体を以下の要領で作製した。
　厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製、品番：Ｕ４８）を準備した。このＰＥＴフィルムを透明樹脂基材として用いた。第１のハードコート層、及び第２のハードコート層作製用の塗料を以下の手順で調製した。
　以下の原材料を準備した。
・反応性基で修飾されたコロイダルシリカ（分散媒：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、不揮発分：４０質量％）：１００質量部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：４８質量部
・１，６－ヘキサンジオールジアクリレート：１２質量部
・光重合開始剤（１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン）：２．５質量部
　上述の原材料を、溶剤（プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＡ））で希釈して混合し、各成分を溶剤中に分散させた。これによって、不揮発分（ＮＶ）が２５．５質量％の塗料を調整した。このようにして得られた塗料を、第１のハードコート層及び第２のハードコート層作製用の塗料として用いた。
　透明樹脂基材の一方面上に、第１のハードコート層作製用の塗料を塗布して、塗布膜を作製した。８０℃に設定した熱風乾燥炉において塗布膜中の溶剤を除去した後、ＵＶ処理装置を用いて積算光量４００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射して塗布膜を硬化させた。このようにして、透明樹脂基材の一方面上に、厚さ２μｍの第１のハードコート層を作製した。同様にして、透明樹脂基材の他方面上に、厚さ２μｍの第２のハードコート層を作製した。
　第１のハードコート層上に、ＤＣマグネトロンスパッタリングによって、第１の金属酸化物層、金属層及び第２の金属酸化物層を順次形成した。第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層は、表１に示す組成を有するＺｎＯ－Ｉｎ２Ｏ３－ＴｉＯ２－ＳｎＯ２ターゲットを用いて形成した。それぞれの実施例における第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層は、同一組成を有するターゲットを用いて形成した。各実施例における第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層の組成は、表１に示すとおりであった。各実施例における第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層の厚さは５０ｎｍとした。
　表１に示す全ての実施例において、金属層は、Ａｇ－Ｐｄ－Ｃｕ（Ａｇ：Ｐｄ：Ｃｕ＝９９．０：０．５：０．５（質量％））ターゲットを用いて形成した。金属層１６の厚さは５ｎｍとした。
（透明導電体の評価）
　ヘイズメーター（商品名：ＮＤＨ－７０００、日本電色工業社製）を用いて、各実施例の透明導電体の全光線透過率（透過率）を測定した。測定結果は表２に示すとおりであった。続いて、以下の手順でエッチングに用いられる酸への溶解性を評価した。まず、リン酸、酢酸、硝酸及び塩酸を含有するＰＡＮ系エッチング液を準備した。このエッチング液に各実施例の透明導電体を室温で１分間浸漬してエッチングを行った。その後、全光線透過率測定を行って、第１の金属酸化物層、金属層及び第２の金属酸化物層が溶解されているか否かを判定した。具体的には、エッチング後のサンプルの全光線透過率が、第１のハードコート層、透明樹脂基材及び第２のハードコート層の３層からなる積層体の全光線透過率と一致した場合は「Ａ」、一致しなかった場合は「Ｂ」と判定した。評価結果は表２に示すとおりであった。
　以下の手順で、アルカリ耐性を評価した。ＫＯＨの濃度が３質量％であるＫＯＨ水溶液を準備した。このアルカリ溶液に各実施例の透明導電体を室温で２分間浸漬した。その後、全光線透過率測定を行って、第１の金属酸化物層、金属層及び第２の金属酸化物層が溶解されているか否かを判定した。具体的には、アルカリ溶液浸漬後のサンプルの全光線透過率が、浸漬前の全光線透過率と一致した場合は「Ａ」、一致しなかった場合は「Ｂ」と判定した。評価結果は表２に示すとおりであった。
　各実施例の透明導電体の表面抵抗を、４端子抵抗率計（商品名：ロレスタＧＰ、三菱化学株式会社製）を用いて測定した。結果を表２に示す。表２中、「表面抵抗（１）」は、透明導電体を８５℃，８５％ＲＨ（相対湿度８５％）の環境下に保存する前の表面抵抗値であり、「表面抵抗（２）」は、上記環境下に５０時間保存した後の表面抵抗値である。
　各実施例の透明導電体を８５℃，８５％ＲＨの環境下に５０時間保存した後、目視にて、保存安定性の評価を行った。透明導電体に白濁が見られた場合は「Ｂ」、見られなかった場合は「Ａ」と判定した。結果は表２に示すとおりであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２に示すとおり、全ての実施例において、酸への溶解性及びアルカリ耐性の評価は「Ａ」であった。このことから、実施例１～１１の透明導電体における金属酸化物層及び金属層は、エッチングで一括して除去できることが確認された。また、実施例１～１１の透明導電体における金属酸化物層は、優れたアルカリ耐性を有することが確認された。
　金属酸化物層の特性を評価するため、上述の手順と同様にして、金属酸化物層のみ（単層）のサンプルを作製した。金属酸化物層の組成を表３に示す。これらのサンプルの評価を、上述の手順と同様にして行った。評価結果を表４に示す。なお、表４の吸収率は、分光器を用いて測定した透過率及び反射率の測定結果を用いて、「１００－透過率―反射率＝吸収率」の式で求めた値である。この吸収率は、波長３８０ｎｍにおける値である。表４における実施例１の表面抵抗（１），（２）の「３．６Ｅ＋０４（Ω／ｓｑ．）」は、「３．６×１０＋４（Ω／ｓｑ．）」を示す。その他の実施例も同様である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
　表４に示すとおり、各実施例の金属酸化物層は、吸収率が十分に低いことが確認された。また、酸への溶解性、アルカリ耐性及び保存安定性に十分に優れることが確認された。
［実施例１２～２２］
　金属層を作製する際のターゲットの組成を変えて、表５に示すとおり、金属層の組成を変更したこと、及び／又は、金属層の厚さを変更したこと以外は、実施例５と同様にして、透明導電体を作製した。実施例１２～１８では、金属層の厚みを変更した。実施例１９では、Ａｇ－Ｎｄ－Ｃｕ（Ａｇ：Ｎｄ：Ｃｕ＝９９．０：０．５：０．５（質量％））ターゲットを用いて金属層を形成した。実施例２０では、Ａｇ－Ｉｎ－Ｓｎ（Ａｇ：Ｉｎ：Ｓｎ＝９９．０：０．５：０．５（質量％））ターゲットを用いて金属層を形成した。実施例２１では、Ａｇ－Ｓｎ－Ｓｂ（Ａｇ：Ｓｎ：Ｓｂ＝９９．０：０．５：０．５（質量％））ターゲットを用いて金属層を形成した。実施例２２では、Ａｇ－Ｃｕ（Ａｇ：Ｃｕ＝９９．５：０．５（質量％））ターゲットを用いて金属層を形成した。
　作製した実施例１２～２２の透明導電体の評価を、実施例５と同様にして行った。評価結果は表６に示すとおりであった。なお、実施例１２～２２の金属酸化物層の組成及び厚みは、実施例５と同一である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
　表６に示す結果から、いずれの実施例においても、酸への溶解性及びアルカリ耐性の評価は「Ａ」であった。このことから、実施例１２～２２の透明導電体における金属酸化物層及び金属層は、エッチングによって一括して除去できることが確認された。金属層の厚みが大きくなると、表面抵抗が小さくなる傾向があり、金属層の厚みが過大になると、全光線透過率が低下する傾向が確認された。銀合金がＰｄを含有する場合、保存安定性に特に優れることが確認された。
［比較例１～４］
　第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層を形成する際のターゲットとして、表７に示す組成を有するターゲットを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、比較例１～４の透明導電体を作製した。比較例１では、ＺｎＯ－ＴｉＯ２－Ｎｂ２Ｏ５ターゲットを用いて、第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層を形成した。比較例２では、ＺｎＯ－Ｉｎ２Ｏ３－Ｃｒ２Ｏ３ターゲットを用いた。比較例３では、ＺｎＯ－ＳｎＯ２－Ｃｒ２Ｏ３ターゲットを用いた。比較例４では、ＺｎＯ－Ｉｎ２Ｏ３－ＳｎＯ２ターゲットを用いた。それぞれの比較例において、第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層は、同一組成を有するターゲットを用いて形成した。各比較例における第１の金属酸化物層及び第２の金属酸化物層の組成は、表７に示すとおりであった。各比較例の透明導電体の酸への溶解性及びアルカリ耐性を、実施例１と同様にして評価した。結果は、表７に示すとおりであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
　表７に示すとおり、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズの４成分を含有しない金属酸化物層を有する透明導電体は、優れた酸への溶解性と優れたアルカリ耐性とを両立できないことが確認された。
　本開示によれば、金属酸化物層と金属層をエッチングによって容易に除去することが可能な透明導電体が提供される。また、本開示によれば、そのような透明導電体を用いることによって、容易に製造することが可能なタッチパネルが提供される。
　１０…透明樹脂基材、１２…第１の金属酸化物層、１４…第２の金属酸化物層、１６…金属層、１５ａ，１５ｂ…センサ電極、２０…ハードコート層、２２…第１のハードコート層、２４…第２のハードコート層、５０…導体線路、７０…パネル板、８０…電極、９０…接着剤、９２…スペーサ、１００，１０１…透明導電体、１００ａ…Ｙ用センサフィルム、１００ｂ…Ｘ用センサフィルム、２００…タッチパネル。

Claims (6)

  1. 　透明樹脂基材、第１の金属酸化物層、銀合金を含む金属層、及び第２の金属酸化物層がこの順で積層されており、
    　前記第２の金属酸化物層は、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを含有する透明導電体。
  2. 　前記第２の金属酸化物層において、
    　前記酸化亜鉛、前記酸化インジウム、前記酸化チタン及び前記酸化スズの４成分を、それぞれＺｎＯ、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２及びＳｎＯ２に換算したときに、前記４成分の合計に対し、前記酸化亜鉛の含有量が２０～６８ｍｏｌ％、前記酸化インジウムの含有量が１５～３５ｍｏｌ％、前記酸化チタンの含有量が５～１５ｍｏｌ％、及び、前記酸化スズの含有量が５～４０ｍｏｌ％である、請求項１に記載の透明導電体。
  3. 　前記金属層の厚みが４～１１ｎｍである、請求項１又は２に記載の透明導電体。
  4. 　前記第１の金属酸化物層は、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを含有し、
    　前記第１の金属酸化物層では、前記酸化亜鉛、前記酸化インジウム、前記酸化チタン及び前記酸化スズの４成分を、それぞれＺｎＯ、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２及びＳｎＯ２に換算したときに、前記４成分の合計に対し、前記酸化亜鉛の含有量が２０～６８ｍｏｌ％、前記酸化インジウムの含有量が１５～３５ｍｏｌ％、前記酸化チタンの含有量が５～１５ｍｏｌ％、及び、前記酸化スズの含有量が５～４０ｍｏｌ％である、請求項１～３のいずれか一項に記載の透明導電体。
  5. 　前記銀合金が、Ａｇと、Ｐｄ，Ｃｕ，Ｎｄ，Ｉｎ，Ｓｎ及びＳｂからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属との合金である、請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電体。
  6. 　パネル板の上にセンサフィルムを有するタッチパネルであって、
    　前記センサフィルムが請求項１～５のいずれか一項に記載の透明導電体で構成されるタッチパネル。
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