WO2016152297A1 - 蛍光光源装置 - Google Patents

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政治 北村
井上　正樹
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Ushio Denki KK
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Definitions

  • the present invention relates to a fluorescent light source device that uses fluorescence generated by exciting a phosphor with laser light.
  • Patent Document 1 describes that a fluorescent light source device has a structure in which a fluorescent plate constituting a phosphor and a heat dissipation substrate are bonded by a bonding material.
  • the bonding material for example, an organic adhesive, an inorganic adhesive, a low melting glass, a metal braze or the like can be used, and among these, a high reflectance and a high heat transfer characteristic can be obtained. It is described that it is desirable to use wax.
  • the luminous efficiency of the fluorescent plate may decrease because it is necessary to process at a high temperature. There was a problem.
  • voids are generated in the solder layer due to vaporization of the flux used at the time of bonding or due to the wettability of the solder material, for example.
  • voids may occur because the air that has entered the gaps of the solder material cannot be completely expelled.
  • the solder layer to be formed has a large void longest diameter, for example, as shown in FIG. 3, the heat GH generated from the region located directly above the void 55 in the fluorescent plate 40 is simulated by the void 55.
  • the exhaust heat path of the heat GH generated in the fluorescent plate 40 is formed so as to be transmitted to the heat radiating substrate 45 through the side of the void 55, for example, and the heat GH generated in the fluorescent plate 40 is transferred to the heat radiating substrate 45 side. Heat cannot be transferred efficiently. For this reason, there has been a problem that temperature quenching occurs due to a local increase in the temperature of the region located directly above the void 55 in the fluorescent plate 40, and the luminous efficiency is reduced.
  • the presence of the void 55 in the solder layer 50 causes a problem that the fluorescence reflectance of the solder layer 50 by the metal solder is lowered, so that the fluorescence intensity emitted from the fluorescent plate 40 is lowered. Furthermore, when the temperature of the fluorescent plate 40 rises, the solder material constituting the solder layer 50 is melted, and there is a problem that the adhesion between the fluorescent plate 40 and the heat dissipation substrate 45 is lowered. It has been found that such a problem becomes prominent when the void ratio in the solder layer 50 is larger than 75% and the longest void diameter L is larger than 0.4 mm.
  • the present invention has been made based on the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a fluorescent light source device that can obtain a high luminous efficiency and a sufficiently high fluorescence intensity in a fluorescent plate.
  • the fluorescent light source device of the present invention includes a fluorescent plate that receives excitation light and emits fluorescence, and a heat radiating substrate that exhausts heat generated in the fluorescent plate, and the fluorescent plate and the heat radiating substrate are joined via a solder layer.
  • the void ratio in the solder layer is 75% or less, and the longest void diameter is 0.4 mm or less.
  • the void ratio in the solder layer is preferably 50% or less, and the longest void diameter is preferably 0.2 mm or less.
  • the fluorescent light source device of the present invention when the void ratio and the longest void diameter in the solder layer are equal to or smaller than a certain size, a good bonding state can be obtained between the fluorescent plate and the heat dissipation substrate. For this reason, it is possible to avoid the separation of the fluorescent plate and the heat dissipation substrate, and it is possible to suppress the extent to which the exhaust heat of the heat generated in the fluorescent plate is inhibited by the void. Therefore, since heat generated in the fluorescent plate can be efficiently exhausted, a local temperature rise of the fluorescent plate can be suppressed, and high luminous efficiency and high fluorescence intensity can be obtained in the fluorescent plate.
  • FIG. 1 is an explanatory view schematically showing a configuration example of a fluorescent light emitting member in a fluorescent light source device of the present invention.
  • This fluorescent light source apparatus includes a fluorescent light emitting member 10 constituted by a rectangular flat plate-like fluorescent plate 11 that receives excitation light and emits fluorescence, and a rectangular flat plate-shaped heat dissipation substrate 20 that exhausts heat generated in the fluorescent plate 11. I have.
  • the back surface of the fluorescent plate 11 whose surface is the excitation light receiving surface 12 is joined to the surface of the heat dissipation substrate 20 via the solder layer 30.
  • fluorescence is emitted from the surface of the fluorescent plate 11.
  • the excitation light source for example, a laser light source including a semiconductor laser element (LD element) that emits laser light in a blue region having an oscillation wavelength of 455 nm can be used.
  • the irradiation condition of the excitation light on the fluorescent plate 11 is, for example, a condition where the excitation light density is 15 to 200 W / mm 2 .
  • the fluorescent plate 11 for example, it is preferable to use one having a thermal conductivity of 6 to 35 W / (m ⁇ K).
  • a material made of a YAG phosphor doped (activated) with a rare earth compound can be used.
  • rare earth compounds include cerium (Ce), praseodymium (Pr), and samarium (Sm).
  • the fluorescent plate in which the phosphor contains a metal compound may be used.
  • the thickness of the fluorescent plate 11 is, for example, 0.05 to 1 mm.
  • a light reflection film 13 made of a metal with high reflectance is formed on the back surface of the fluorescent plate 11.
  • the light reflecting film 13 include metal films such as an aluminum (Al) film and a silver (Ag) film, and a reflection enhancing film in which a dielectric multilayer film is formed on the metal film.
  • Ni / platinum / gold Ni / Pt / Au
  • Ni / Pt / Au nickel / platinum / gold
  • a metal film (not shown) made of a nickel / gold (Ni / Au) film is formed.
  • a material having a thermal conductivity of 90 W / (m ⁇ K) or more, specifically, for example, 230 to 400 W / (m ⁇ K) is preferably used as the material constituting the heat dissipation substrate 20.
  • a material for example, copper, a copper compound (MoCu, CuW, etc.), aluminum, or the like can be used.
  • the thickness of the heat dissipation substrate 20 is, for example, 0.5 to 5 mm. Further, from the viewpoint of heat exhaustion and the like, the area of the surface of the heat dissipation substrate 20 is preferably larger than the area of the back surface of the fluorescent plate 11.
  • a metal film 21 made of a nickel / gold (Ni / Au) film, for example, formed by a plating method from the viewpoint of bondability with the solder layer 30 is formed.
  • solder material constituting the solder layer 30 for example, a material having a thermal conductivity of 40 W / (m ⁇ K) or more, for example, 40 to 70 W / (m ⁇ K) is preferably used.
  • a solder material for example, solder such as Sn, Pb or the like mixed with flux or other impurities to form a cream (paste) form, for example, Sn—Ag—Cu solder, Au— Sn-based solder or the like can be used.
  • the thickness of the solder layer 30 is, for example, 20 to 200 ⁇ m.
  • the void ratio in the solder layer 30 is 75% or less, and the longest void diameter L is 0.4 mm or less.
  • the “void ratio” is the ratio of the area of the projected image of the void 35 in plan view (the total area when there are many voids 35) to the total area of the solder layer 30 (the void 35 in the solder layer 30).
  • the “void longest diameter” is a size that maximizes the interval between parallel lines when a projected image of the void 35 is sandwiched between two parallel lines in plan view.
  • the void ratio and the longest void diameter L in the solder layer 30 can be measured by, for example, an X-ray transmission device.
  • the void ratio in the solder layer 30 is 50% or less and the longest void diameter L is 0.2 mm or less.
  • the propagation distance to the side of the void 35 can be shortened in the exhaust heat path of the heat GH generated in the region of the fluorescent screen 11 located immediately above the void 35. And the temperature rise of the fluorescent screen 11 can be suppressed reliably.
  • the heat GH generated in the fluorescent screen 11 cannot be efficiently exhausted, and the temperature rise in the region located directly above the void 35 in the fluorescent screen 11 is suppressed. Can not do it.
  • the longest void length L in the solder layer 30 is larger than 0.4 mm, the heat GH generated in the fluorescent plate 11 cannot be efficiently exhausted, and is located immediately above the void 35 in the fluorescent plate 11. It is impossible to suppress the temperature rise in the area.
  • the heat dissipation substrate 20 and the fluorescent plate 11 can be joined as follows.
  • the fluorescent plate 11 is disposed on the surface of the heat dissipation substrate 20 via the solder material, and soldering is performed, for example, under reduced pressure in an air atmosphere or a nitrogen gas atmosphere.
  • the material is melted by heating to a temperature above its melting point.
  • the fluorescent material 11 is joined via the solder layer 30 on the surface of the thermal radiation board
  • the solder material when a solder material that does not use a flux is used, the solder material is removed under reduced pressure in an inert gas atmosphere such as a nitrogen gas atmosphere or a mixed gas atmosphere of nitrogen gas and hydrogen gas. It melts by heating to a temperature above its melting point. Then, the fluorescent material 11 is joined via the solder layer 30 on the surface of the thermal radiation board
  • the above joining process is performed in the state which pressed the fluorescent plate 11, the solder material, and the thermal radiation board
  • the pressure applied to the fluorescent plate 11 during the bonding process is preferably 0 to 2.4 gf / cm 2 , for example.
  • the void ratio in the solder layer 30 to be formed can be 75% or less and the longest void diameter L can be 0.4 mm or less.
  • the void ratio and the length of the longest void diameter L in the solder layer 30 to be formed can be controlled by adjusting the pressure condition, for example.
  • the void ratio and the longest void diameter L in the solder layer 30 constituting the fluorescent light emitting member 10 are equal to or less than a certain size. Since a good bonded state is obtained in the meantime, the degree to which the exhaust heat of the heat generated in the fluorescent screen 11 is inhibited by the void 35 can be suppressed to a small level. For this reason, since heat generated in the fluorescent screen 11 can be efficiently exhausted, a local temperature rise of the fluorescent screen 11 can be suppressed. Therefore, it is possible to avoid the occurrence of temperature quenching associated with the temperature rise of the fluorescent plate 11, so that the fluorescent plate can have high luminous efficiency and sufficiently high emission intensity.
  • the heat generated in the fluorescent plate 11 is reliably transferred to the heat dissipation substrate 20. Therefore, the local temperature rise of the fluorescent screen 11 can be reliably suppressed.
  • a fluorescent plate (11) having a light reflecting film (13) formed on the back surface is disposed through a ribbon-like solder material having a thermal conductivity of 64.2 W / (m ⁇ K), and the fluorescent plate (11).
  • the solder material and its heat-dissipating substrate (20) were pressed with spring-loaded pins while appropriately changing the pressure applied to the fluorescent plate (11) within the range of 0 to 2.4 gf / cm 2 , and the solder material was melted at its melting point. It melted by heating to the above temperature of 218 ° C. After that, the solder material was cooled and solidified to join the fluorescent plate (11) on the surface of the heat dissipation substrate (20) via the solder layer (30).
  • a plurality of fluorescent light emitting members (1 ) was prepared.
  • the thickness of the solder layer (30) in these fluorescent light emitting members (10) is in the range of 20 to 30 ⁇ m, and the void ratio and the longest void diameter (L) in the solder layer (30) are measured by an X-ray transmission device.
  • the void ratio was in the range of 0 to 75%, and the longest void diameter (L) was in the range of 0 to 0.62 mm.
  • the excitation light receiving surface (12) of the fluorescent plate (11) is irradiated with laser light having an oscillation wavelength of 445 nm from the laser light source.
  • the maximum temperature of (11) was measured.
  • FIG. 2 a curve indicated by a cross mark, a curve indicated by a cross mark, a curve indicated by a circle mark plot, a curve indicated by a rhombus mark plot, a curve indicated by a triangle mark plot, and a square mark plot
  • the curves show the results of the fluorescent light-emitting member (10) in which the void ratio in the solder layer (30) was 75%, 65%, 50%, 35%, 20% and 10%, respectively.
  • the maximum temperature of the fluorescent plate (11) is about 200 ° C. It was confirmed that when the longest void diameter (L) was larger than 0.4 mm, the maximum temperature of the fluorescent screen (11) reached 500 ° C. or higher regardless of the void ratio. This is presumably because the void (35) in the solder layer (30) hinders the exhaust of heat generated in the fluorescent screen (11). Further, when the maximum temperature of the fluorescent plate (11) is, for example, 500 ° C. or higher, the maximum temperature of the solder layer (30) is about 400 ° C. or higher, which exceeds the melting point of the solder material. It was confirmed that the adhesion between (20) and the fluorescent screen (11) was lost, causing a problem of detachment.

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Abstract

　本発明は、蛍光体に高い発光効率が得られると共に十分に高い蛍光強度が得られる蛍光光源装置を提供することを目的とする。　本発明においては、励起光を受けて蛍光を放射する蛍光板と、当該蛍光板に発生する熱を排熱する放熱基板とを備えており、当該蛍光板と当該放熱基板とが半田層を介して接合されてなる蛍光光源装置において、前記半田層におけるボイド率が７５％以下とされ、ボイド最長径が０．４ｍｍ以下とされている。また、半田層におけるボイド率が５０％以下とされ、ボイド最長径が０．２ｍｍ以下とされていることが好ましい。

Description

蛍光光源装置
　本発明は、レーザ光で蛍光体を励起することにより発生させた蛍光を利用する蛍光光源装置に関する。
　現在、蛍光体をレーザ光で励起し当該蛍光体から発せられる蛍光を放射する蛍光光源装置が知られている。例えば特許文献１には、蛍光光源装置において、蛍光体を構成する蛍光板と放熱基板とが接合材により接合された構造とされることが記載されている。また、接合材としては、例えば有機接着剤、無機接着剤、低融点ガラス、金属ロウなどを用いることができ、これらのうちでも、高い反射率と高い伝熱特性とが得られることから、金属ロウを用いることが望ましいことが記載されている。
特開２０１１－１２９３５４号公報
　而して、蛍光板を放熱基板に対して例えば金属ロウによってロウ付けすることにより接合する場合には、高い温度で処理することが必要とされるため、蛍光板の発光効率が低下する場合がある、といった問題があった。また、接合時に放熱基板と蛍光板との間で熱膨張差が生じ、蛍光板と放熱基板との間の接合部で剥離が発生する、といった不具合もあった。
　一方、半田材として比較的低温で接合できる金属半田を用いた半田付けでは、例えば接合時に用いられるフラックスが気化すること、あるいは半田材の濡れ性が原因となって、半田層においてボイドが発生する場合がある。また、例えばリボン状（帯状、シート状）の半田材を用いた場合には、半田材の隙間等に入り込んだ空気を完全に追い出すことができないため、ボイドが発生する場合がある。形成される半田層が、例えばボイド最長径が大きいものである場合には、図３に示すように、蛍光板４０におけるボイド５５の直上に位置される領域から発生した熱ＧＨは、ボイド５５によって擬似的に断熱されて垂直方向への熱抵抗が大きくなる。このため、蛍光板４０で生じた熱ＧＨの排熱経路は、例えばボイド５５の側方を経由して放熱基板４５へ伝わるよう形成されることとなり、蛍光板４０で発生した熱ＧＨを放熱基板４５側に効率よく伝熱することができない。このため、蛍光板４０におけるボイド５５の直上に位置される領域の温度が局所的に上昇することによって温度消光が生じ、発光効率が低下する、といった問題があった。また、半田層５０におけるボイド５５の存在によって、金属半田による半田層５０の蛍光反射率が低下するため、蛍光板４０から発せられる蛍光強度が低下する、といった問題があった。さらにまた、蛍光板４０の温度が上昇することによって半田層５０を構成する半田材が融解し、蛍光板４０と放熱基板４５との密着性が低下するという問題がある。
　このような問題は、半田層５０におけるボイド率が７５％より大きく、また、ボイド最長径Ｌが０．４ｍｍより大きい場合に顕著に生じるようになることが判明した。
　本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、蛍光板に高い発光効率が得られると共に十分に高い蛍光強度が得られる蛍光光源装置を提供することを目的とする。
　本発明の蛍光光源装置は、励起光を受けて蛍光を放射する蛍光板と、当該蛍光板に発生する熱を排熱する放熱基板とを備え、当該蛍光板と当該放熱基板とが半田層を介して接合されてなる蛍光光源装置において、
　前記半田層におけるボイド率が７５％以下であり、ボイド最長径が０．４ｍｍ以下であることを特徴とする。
　本発明の蛍光光源装置においては、前記半田層におけるボイド率が５０％以下であり、ボイド最長径が０．２ｍｍ以下であることが好ましい。
　本発明の蛍光光源装置によれば、半田層におけるボイド率およびボイド最長径が一定の大きさ以下であることにより、蛍光板と放熱基板との間に良好な接合状態が得られる。このため、蛍光板と放熱基板とが剥離することを回避することができると共に、蛍光板に生じた熱の排熱がボイドによって阻害される程度を小さく抑制することができる。従って、蛍光板に生じた熱を効率よく排熱することができるため、蛍光板の局所的な温度上昇を抑制することができ、蛍光板に高い発光効率が得られると共に高い蛍光強度が得られる。
本発明の蛍光光源装置における蛍光発光部材の一構成例を概略的に示す説明図である。 ボイド最長径と蛍光板の最高温度との関係を示すグラフである。 従来の蛍光光源装置における蛍光発光部材の一構成例を概略的に示す説明図である。
　以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
　図１は、本発明の蛍光光源装置における蛍光発光部材の一構成例を概略的に示す説明図である。
　この蛍光光源装置は、励起光を受けて蛍光を放射する矩形平板状の蛍光板１１と、蛍光板１１に発生する熱を排熱する矩形平板状の放熱基板２０とにより構成された蛍光発光部材１０を備えている。この蛍光発光部材１０においては、表面が励起光受光面１２とされた蛍光板１１の裏面が、放熱基板２０の表面に対して半田層３０を介して接合されている。この蛍光発光部材１０においては、蛍光板１１の表面から蛍光が放射される。
　励起光源としては、例えば、発振波長が４５５ｎｍである青色領域のレーザ光を放射する半導体レーザ素子（ＬＤ素子）を備えたレーザ光源を用いることができる。
　励起光の蛍光板１１に対する照射条件としては、例えば、励起光密度が１５～２００Ｗ／ｍｍ2 となる条件である。
　蛍光板１１としては、例えば熱伝導率が６～３５Ｗ／（ｍ・Ｋ）であるものを用いることが好ましい。具体的には、例えば、希土類化合物がドープ（賦活）されたＹＡＧ蛍光体よりなるものを用いることができる。希土類化合物としては、例えばセリウム（Ｃｅ）、プラセオジム（Ｐｒ）およびサマリウム（Ｓｍ）などを挙げることができる。また、蛍光体に金属化合物が含まれる蛍光板であってもよい。
　蛍光板１１の厚みは、例えば０．０５～１ｍｍである。
　蛍光板１１の裏面には、光取り出し効率の観点から、反射率の高い金属よりなる光反射膜１３が形成されていることが好ましい。
　光反射膜１３としては、具体的には、アルミニウム（Ａｌ）膜および銀（Ａｇ）膜等の金属膜や前記金属膜上に誘電体多層膜を形成した増反射膜などがあげられる。
　また、蛍光板１１の裏面、具体的には光反射膜１３の裏面には、半田層３０との接合性の観点から、例えば蒸着によって形成された、ニッケル／白金／金（Ｎｉ／Ｐｔ／Ａｕ）膜、ニッケル／金（Ｎｉ／Ａｕ）膜よりなる金属膜（図示せず）が形成されていることが好ましい。
　金属膜の厚みは、例えばＮｉ／Ｐｔ／Ａｕ＝３０ｎｍ／５００ｎｍ／５００ｎｍである。
　放熱基板２０を構成する材料としては、例えば熱伝導率が９０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、具体的には例えば２３０～４００Ｗ／（ｍ・Ｋ）であるものが用いられることが好ましい。このような材料としては、例えば銅、銅化合物（ＭｏＣｕ、ＣｕＷなど）、アルミニウムなどを用いることができる。
　放熱基板２０の厚みは、例えば０．５～５ｍｍである。
　また、排熱性などの観点から、放熱基板２０の表面における面積は、蛍光板１１の裏面の面積よりも大きいことが好ましい。
　また、放熱基板２０の表面には、半田層３０との接合性の観点から、例えばめっき法によって形成された、ニッケル／金（Ｎｉ／Ａｕ）膜よりなる金属膜２１が形成されていることが好ましい。この金属膜２１の厚みは、例えばＮｉ／Ａｕ＝５０００～１０００ｎｍ／１０００～３０ｎｍである。
　半田層３０を構成する半田材としては、例えば熱伝導率が４０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、例えば４０～７０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であるものが用いられることが好ましい。このような半田材としては、例えば、Ｓｎ、Ｐｂなどの材料にフラックスやその他の不純物を混ぜてクリーム状（ペースト状）の形態としたクリーム半田や、例えばＳｎ－Ａｇ－Ｃｕ系半田、Ａｕ－Ｓｎ系半田などを用いることができる。
　半田層３０の厚みは、例えば２０～２００μｍである。
　而して、上記の蛍光光源装置においては、半田層３０におけるボイド率が７５％以下であり、ボイド最長径Ｌが０．４ｍｍ以下とされている。
　ここに、「ボイド率」とは、平面視におけるボイド３５の投影像の面積（多数のボイド３５がある場合には総面積）の、半田層３０の総面積に対する比率（半田層３０におけるボイド３５の占める面積割合である。また、「ボイド最長径」とは、平面視におけるボイド３５の投影像を２本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔が最大となる大きさである。
　半田層３０におけるボイド率およびボイド最長径Ｌは、例えばＸ線透過装置により測定することができる。
　また、半田層３０におけるボイド率が５０％以下とされ、ボイド最長径Ｌが０．２ｍｍ以下とされていることが好ましい。
　このような半田層３０であることにより、蛍光板１１におけるボイド３５の直上に位置される領域で発生した熱ＧＨの排熱経路においては、ボイド３５側方への伝搬距離を短くすることができるため、蛍光板１１の温度上昇を確実に抑制することができる。
　半田層３０におけるボイド率が７５％より大きい場合には、蛍光板１１で生じた熱ＧＨを効率よく排熱することができず、蛍光板１１におけるボイド３５の直上に位置される領域の温度上昇を抑制することができない。
　また、半田層３０におけるボイド最長径Ｌが０．４ｍｍより大きい場合においても同様に、蛍光板１１で生じた熱ＧＨを効率よく排熱することができず、蛍光板１１におけるボイド３５の直上に位置される領域の温度上昇を抑制することができない。
　放熱基板２０と蛍光板１１とは、次のようにして接合することができる。
　例えば半田材としてクリーム半田（フラックスを含有）を用いる場合には、放熱基板２０の表面上に半田材を介して蛍光板１１を配置し、例えば大気雰囲気または窒素ガス雰囲気とされた減圧下において、半田材をその融点以上の温度に加熱して溶融する。その後、当該半田材を冷却して固化することにより、放熱基板２０の表面上に半田層３０を介して蛍光板１１が接合される。
　また、例えば半田材としてフラックスを用いないものを用いる場合には、例えば窒素ガス雰囲気などの不活性ガス雰囲気、もしくは窒素ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気とされた減圧下において、半田材をその融点以上の温度に加熱して溶融する。その後、当該半田材を冷却して固化することにより、放熱基板２０の表面上に半田層３０を介して蛍光板１１が接合される。
　以上の接合処理は、蛍光板１１、半田材および放熱基板２０を厚み方向に押圧した状態で行われる。接合処理時における蛍光板１１に加えられる圧力は、例えば０～２．４ｇｆ／ｃｍ2 であることが好ましい。これにより、形成される半田層３０におけるボイド率を７５％以下、ボイド最長径Ｌを０．４ｍｍ以下とすることができる。形成される半田層３０におけるボイド率およびボイド最長径Ｌの大きさは、例えばこの圧力条件を調整することにより、制御することができる。
　而して、上記の蛍光光源装置によれば、蛍光発光部材１０を構成する半田層３０におけるボイド率およびボイド最長径Ｌが一定の大きさ以下であることにより、蛍光板１１と放熱基板２０との間に良好な接合状態が得られるので、蛍光板１１に生じた熱の排熱がボイド３５によって阻害される程度を小さく抑制することができる。このため、蛍光板１１に生じた熱を効率よく排熱することができるため、蛍光板１１の局所的な温度上昇を抑制することができる。従って、当該蛍光板１１の温度上昇に伴う温度消光が生じることを回避することができて蛍光板に高い発光効率が得られると共に十分に高い発光強度が得られる。また、半田層３０を構成する半田材の溶解が生じて蛍光板１１と放熱基板２０とが剥離することを回避することができるので、蛍光板１１に生じた熱を放熱基板２０に確実に伝熱することができて蛍光板１１の局所的な温度上昇を確実に抑制することができる。
　以下、本発明の効果を確認するために行った実施例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
＜実施例１＞
　３０Ｍｏ７０Ｃｕ合金基板よりなる寸法１７ｍｍ（縦）×１７ｍｍ（横）×０．４７ｍｍ（厚み）の放熱基板（２０）の表面上に、ニッケル／金（Ｎｉ／Ａｕ＝２５００ｎｍ／３０ｎｍ）膜よりなる金属膜（２１）を形成した。
　処理用チャンバ内において、金属膜（２１）が形成された放熱基板（２０）の表面上に、Ｓｎ（９６．５％）Ａｇ（３％）Ｃｕ（０．５％）半田（融点＝２１８℃，熱伝導率＝６４．２Ｗ／（ｍ・Ｋ）よりなるリボン状の半田材を介して裏面に光反射膜（１３）が形成された蛍光板（１１）を配置した。そして、蛍光板（１１）、半田材および放熱基板（２０）を、蛍光板（１１）にかける圧力を０～２．４ｇｆ／ｃｍ2 の範囲内で適宜変更しながらバネ付きのピンによって押圧した状態で、半田材をその融点以上の温度である２１８℃に加熱して溶融した。その後、半田材を冷却して固化することにより、放熱基板（２０）の表面上に半田層（３０）を介して蛍光板（１１）を接合し、以って、図１に示す構成の複数個の蛍光発光部材（１０）を作製した。
　これらの蛍光発光部材（１０）における半田層（３０）の厚みは２０～３０μｍの範囲内であり、半田層（３０）におけるボイド率およびボイド最長径（Ｌ）をＸ線透過装置により測定したところ、ボイド率が０～７５％の範囲内であり、ボイド最長径（Ｌ）が０～０．６２ｍｍの範囲内であった。
　上記のようにして得られた複数個の蛍光発光部材（１０）の各々について、レーザ光源から発振波長が４４５ｎｍであるレーザ光を蛍光板（１１）における励起光受光面（１２）に照射し、蛍光板（１１）の最高温度を測定した。結果を図２に示す。図２において、バツ印のプロットで示す曲線、十字印のプロットで示す曲線、丸印のプロットで示す曲線、菱形印のプロットで示す曲線、三角印のプロットで示す曲線および四角印のプロットで示す曲線は、それぞれ、半田層（３０）におけるボイド率が７５％、６５％、５０％、３５％、２０％および１０％であった蛍光発光部材（１０）の結果を示している。
　図２に示す結果から明らかなように、ボイド最長径（Ｌ）が０．２ｍｍ以下である蛍光発光部材（１０）においては、蛍光板（１１）の最高温度は２００℃程度であるのに対し、ボイド最長径（Ｌ）が０．４ｍｍより大きくなると、ボイド率の大きさに拘わらず、蛍光板（１１）の最高温度は５００℃以上にまで達することが確認された。このことは、半田層（３０）におけるボイド（３５）が蛍光板（１１）に生じた熱の排熱を阻害しているためであると考えられる。また、蛍光板（１１）の最高温度が例えば５００℃以上になると半田層（３０）の最高温度は半田材の融点を超える約４００℃以上にもなることから、半田材の融解が起こり、放熱基板（２０）と蛍光板（１１）との密着性がなくなり、脱離する不具合が起こることが確認された。
　１０　蛍光発光部材
　１１　蛍光板
　１２　励起光受光面
　１３　光反射膜
　２０　放熱基板
　２１　金属膜
　３０　半田層
　３５　ボイド
　４０　蛍光板
　４５　放熱基板
　５０　半田層
　５５　ボイド
                                                                                

Claims (2)

  1. 　励起光を受けて蛍光を放射する蛍光板と、当該蛍光板に発生する熱を排熱する放熱基板とを備え、当該蛍光板と当該放熱基板とが半田層を介して接合されてなる蛍光光源装置において、
    　前記半田層におけるボイド率が７５％以下であり、ボイド最長径が０．４ｍｍ以下であることを特徴とする蛍光光源装置。
  2. 　前記半田層におけるボイド率が５０％以下であり、ボイド最長径が０．２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の蛍光光源装置。
                                                                                    
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