WO2016021505A1 - 導波路 - Google Patents

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WO2016021505A1
WO2016021505A1 PCT/JP2015/071828 JP2015071828W WO2016021505A1 WO 2016021505 A1 WO2016021505 A1 WO 2016021505A1 JP 2015071828 W JP2015071828 W JP 2015071828W WO 2016021505 A1 WO2016021505 A1 WO 2016021505A1
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WO
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core
region
waveguide
dummy
light shielding
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Application number
PCT/JP2015/071828
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English (en)
French (fr)
Inventor
雄眞 北添
匠 久保田
加藤　正明
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住友ベークライト株式会社
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Publication date
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Priority to CN201580041438.7A priority patent/CN106575015A/zh
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
    • G—PHYSICS
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    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/132—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by deposition of thin films

Definitions

  • the present invention relates to a waveguide.
  • the waveguide has a core, and an optical signal is transmitted through the core.
  • a plurality of cores may be arranged.
  • crosstalk may occur between adjacent cores.
  • a dummy core may be provided between adjacent cores.
  • the dummy core is a core that is not used for transmission of an optical signal, and functions to block crosstalk between the cores.
  • Patent Document 2 a light source device including a light source and a light guide plate is described.
  • the light source is provided in the vicinity of the end face of the light guide plate.
  • the light guide plate may have an excessive amount of light in the vicinity of the light source, resulting in uneven brightness. Therefore, in Patent Document 2, a light reduction unit that reduces the amount of light is provided in the vicinity of the light source in the light guide plate.
  • an optical signal may be transmitted not only by the core but also by the dummy core itself.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a waveguide in which transmission of an optical signal through a dummy core (second core portion) is suppressed.
  • a first core portion extending along a first direction; At least one second core portion provided alongside the first core portion and extending along the first direction; A clad portion separating the first core portion and the second core portion; The second core portion includes a first region having a substantially constant cross-sectional area and a second region continuously provided at at least one end of the first region, and the cross-sectional area decreases as the distance from the first region increases.
  • a waveguide characterized by having:
  • FIG. 1 is a plan view showing a waveguide according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining a waveguide manufacturing method.
  • FIG. 7 is a plan view showing a waveguide according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line CC ′ of FIG.
  • FIG. 10 is a plan view showing a waveguide according to the third embodiment.
  • FIG. 11 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 13 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating another configuration example of FIG.
  • FIG. 18 is a plan view showing a waveguide according to the fourth embodiment.
  • FIG. 19 is a plan view showing a waveguide according to a comparative example.
  • FIG. 20 is a graph showing the relationship between the number of light shielding regions and the amount of light attenuation.
  • FIG. 1 is a plan view showing a waveguide 10 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG.
  • the waveguide 10 has a clad layer 100, a core layer 200, and a clad layer 300.
  • the clad layer 100, the core layer 200, and the clad layer 300 are laminated in this order.
  • the core layer 200 includes a core 210, a dummy core 220, and a clad portion 230.
  • the core 210 is a core used for transmission of optical signals.
  • the dummy core 220 is a core that is not used for transmission of optical signals.
  • the length direction of the core 210 and the dummy core 220 which is the first direction in which the core 210 and the dummy core 220 extend, is “x-axis direction”, and the core 210 and the dummy core are the second direction orthogonal to the first direction.
  • the width direction of 220 is the “y-axis direction” and the thickness direction of the core layer 200 which is a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, in other words, the cladding layer 100, the core layer 200, and the cladding layer
  • the stacking direction of 300 will be described as “z-axis direction”.
  • the core 210 and the dummy core 220 each have a linear shape extending in the x-axis direction as a whole.
  • the shapes of the core 210 and the dummy core 220 are not limited to the examples shown in FIGS. 1 to 5, and may be curved, for example, in a part of the x-axis direction.
  • an example in which the core 210 and the dummy core 220 each have a linear shape along the x-axis direction as a whole will be described.
  • the core 210 and the dummy core 220 are sandwiched between two clad portions 230 in the y-axis direction in the core layer 200, respectively. Furthermore, the core 210 and the dummy core 220 are sandwiched between the cladding layer 100 and the cladding layer 300 in the z-axis direction.
  • the refractive index of the core 210 and the dummy core 220 is higher than the refractive index of the cladding part 230 and the cladding layers 100 and 300. For this reason, light can be confined in the core 210 and the dummy core 220.
  • the refractive index distribution from the core 210 or the dummy core 220 to the cladding 230 and the cladding layers 100 and 300 is not particularly limited.
  • a step index (SI) type distribution or a graded index (GI) type is used. Distribution.
  • the difference between the refractive index ncore of the core 210 and the dummy core 220 and the refractive index nlad of the clad part 230 and the clad layers 100 and 300 (
  • the clad layer 100, the core layer 200, and the clad layer 300 have substantially the same planar shape.
  • the planar shape is substantially a rectangle, and the rectangle has sides 502, 504, 506, and 508.
  • the sides 502 and 504 face each other.
  • the sides 506 and 508 face each other and are longer than the sides 502 and 504. Therefore, the direction along the sides 502 and 504 of the core layer 200 corresponds to the “y-axis direction”, and the direction orthogonal to the sides 502 and 504 corresponds to the “x-axis direction”.
  • the planar shapes of the cladding layer 100, the core layer 200, and the cladding layer 300 are not limited to rectangles.
  • the core 210 (also referred to as “first core portion”) extends along the x-axis direction, and both ends thereof reach the sides 502 and 504.
  • the cross-sectional area of the core 210 is substantially constant from one end to the other end. In the example shown in FIGS. 1 to 5, the thickness and width of the core 210 are substantially constant from one end to the other end.
  • each core 210 facing each other in the y-axis direction is substantially parallel to each other along the z-axis direction. Further, each core 210 is formed from the lower surface to the upper surface of the core layer 200 and reaches the lower surface and the upper surface of the core layer 200. For this reason, each core 210 is substantially rectangular in a cross section (transverse cross section) perpendicular to the x-axis direction. The core 210 may not reach the lower surface and the upper surface of the core layer 200.
  • a plurality of cores 210 are repeatedly arranged at substantially equal intervals along the y-axis direction. These cores 210 have substantially the same length and substantially the same thickness and width.
  • the core layer 200 may include only two cores 210. In this case, the two cores 210 are arranged along the y-axis direction at an appropriate interval.
  • the dummy cores 220 are provided in the gap region 602 and the outer region 604 so as to be separated from each other along the y-axis direction.
  • the gap region 602 is a region between the cores 210 adjacent to each other.
  • the outer region 604 is a region located outside of any core 210 in the direction in which the plurality of cores 210 corresponding to the y-axis direction are arranged.
  • the dummy core 220 is provided side by side with the core 210, and extends along the x-axis direction from the side 502 to the side 504 of the core layer 200.
  • Each dummy core 220 is formed from the lower surface to the upper surface of the core layer 200 and reaches the lower surface and the upper surface of the core layer 200.
  • the side surfaces of the dummy cores 220 facing each other in the y-axis direction are substantially parallel to each other along the z-axis direction.
  • each dummy core 220 is substantially rectangular in a cross section (transverse cross section) perpendicular to the x-axis direction. Note that the dummy core 220 may not reach the lower surface and the upper surface of the core layer 200.
  • a plurality of dummy cores 220 are located in the gap region 602.
  • the number of dummy cores 220 included in the gap region 602 is not limited to a plurality, and may be only one.
  • the dummy cores 220 in the gap region 602 have substantially the same length, and both ends of these dummy cores 220 reach the sides 502 and 504 of the core layer 200. . However, both ends of these dummy cores 220 may not reach the sides 502 and 504. That is, the length of the dummy core 220 in the gap region 602 may be shorter than the length of the core 210.
  • a plurality of dummy cores 220 are also located in the outer region 604.
  • the lengths of some of the dummy cores 220 are shorter than those of the other dummy cores 220.
  • the core 210 is positioned inside the short dummy core 220. That is, the short dummy core 220 functions as a mark indicating the position of the core 210.
  • Each dummy core 220 includes a waveguide region 240 and a light shielding region 250 provided continuously to the waveguide region 240.
  • its thickness and width W (x) are substantially constant.
  • the thickness of the light shielding region 250 is substantially constant, but the width W (x) changes as it goes from the side 502 to the side 504 of the core layer 200.
  • the light shielding region 250 includes a first light shielding region 252 and a second light shielding region 254 (each also referred to as a “second region”) that are respectively provided continuously to the waveguide region 240 (also referred to as a “first region”). Contains.
  • the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 are arranged in this order from the side 502 to the side 504 of the core layer 200.
  • the thickness of the first light shielding region 252 is substantially constant, but the width W (x) becomes narrower from the side 502 toward the side 504.
  • the thickness of the second light shielding region 254 is substantially constant, but the width W (x) increases from the side 502 toward the side 504.
  • first light-shielding region 252 and the second light-shielding region 254 both have a substantially constant thickness, but the width W (x) decreases as the distance from the waveguide region 240 increases.
  • W (x) can be represented by, for example, a continuous function related to x (for example, a trigonometric function or a polynomial), but is not limited thereto.
  • the first light shielding region 252 is connected to the waveguide region 240 located on the opposite side of the second light shielding region 254 via the first light shielding region 252.
  • the second light shielding region 254 is connected to the waveguide region 240 located on the opposite side of the first light shielding region 252 via the second light shielding region 254.
  • each dummy core 220 includes a plurality of dummy core units (also referred to as “second core portions”) that are provided alongside the core 210 and extend along the x-axis direction.
  • each of the plurality of dummy core units includes one first dummy core unit, one second dummy core unit, and a plurality (four in this embodiment) of third dummy core units provided along the x-axis direction. Is included.
  • the first dummy core unit is positioned closest to the side 502
  • the second dummy core unit is positioned closest to the side 504
  • each third dummy core unit is between the first dummy core unit and the second dummy core unit. positioned.
  • the shapes of the first dummy core unit, the second dummy core unit, and the third dummy core unit are different from each other when viewed from the z-axis direction (in plan view of the waveguide 10).
  • the first dummy core unit includes a waveguide region 240 and a first light shielding region 252 provided continuously at one end of the waveguide region 240 on the side 504 side.
  • the second dummy core unit includes a waveguide region 240 and a second light shielding region 254 provided continuously at one end of the waveguide region 240 on the side 502 side.
  • Each third dummy core unit includes a waveguide region 240 and a first light shielding region 252 and a second light shielding region that are provided continuously at both ends of the waveguide region 240 (one end on the side 504 side and one end on the side 502 side). 254.
  • each side surface of the first light shielding region 252 When viewed from the z-axis direction, each side surface of the first light shielding region 252 has a linear shape. Each side surface of the first light shielding region 252 is inclined toward the inner side of the dummy core 220 as viewed from the z-axis direction toward the second light shielding region 254, that is, toward the center line of the dummy core 220. Yes.
  • the angle formed between each side surface of the first light shielding region 252 and the y-axis direction is an angle ⁇
  • the light propagated through the dummy core 220 from the side 502 side of the core layer 200 along the x-axis direction.
  • the light enters the clad portion 230 from the side surface of the first light shielding region 252 at an angle ⁇ .
  • the angle ⁇ is preferably 5 ° or more and less than 90 °, more preferably 5 ° or more and 45 ° or less, and further preferably 8 ° or more and 20 ° or less.
  • each side surface of the second light shielding region 254 is also linear.
  • Each side surface of the second light shielding region 254 is inclined toward the inner side of the dummy core 220 as viewed from the waveguide region 240 toward the first light shielding region 252 as viewed from the z-axis direction, that is, toward the center line of the dummy core 220.
  • the planar shape of the second light shielding region 254 is the first light shielding region with respect to a straight line passing between the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 along the y-axis direction. It is substantially symmetrical with the planar shape of 252.
  • both side surfaces of the first light shielding region 252 intersect at an acute angle on the second light shielding region 254 side, and form an end 262 at the intersection.
  • both side surfaces of the second light shielding region 254 intersect at an acute angle on the first light shielding region 252 side, and form an end 264 at the intersection.
  • the ends 262 and 264 are connected to (in contact with) each other at approximately the center of the dummy core 220 in the y-axis direction (substantially on the center line of the dummy core 220).
  • first dummy core unit, the second dummy core unit, and the third dummy core unit are all substantially symmetrical with respect to the center line when viewed from the z-axis direction (in plan view of the waveguide 10).
  • the shapes of the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 are not limited to this.
  • the ends 262 and 264 may be curved (rounded) so as to be convex toward the second light shielding region 254 and the first light shielding region 252 when viewed from the z-axis direction.
  • each dummy core 220 includes a plurality of light shielding regions 250.
  • the plurality of light shielding regions 250 are repeatedly provided at substantially equal intervals along the x-axis direction via the waveguide region 240. Further, in the plurality of dummy cores 220, the arrangement positions and the arrangement intervals of the light shielding regions 250 are set to be substantially equal. For this reason, the light shielding regions 250 provided at substantially the same arrangement positions are located substantially in a straight line along the y-axis direction.
  • the number of light shielding regions 250 included in the dummy core 220 is not limited to the example shown in FIGS. 1 to 5, and may be only one, for example.
  • the region (waveguide region 240) excluding the light shielding region 250 of the dummy core 220 has a width substantially equal to the width of the core 210.
  • a plurality of cores 210 and a plurality of dummy cores 220 are arranged at substantially equal intervals along the y-axis direction.
  • the width of the dummy core 220 is not limited to the examples shown in FIGS.
  • the width of the dummy core 220 may be narrower than the width of the core 210. In this case, the width of the region occupied by the dummy core 220 of the core layer 200 can be reduced. For this reason, more cores 210 can be arranged in the core layer 200 with higher density.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the waveguide 10.
  • FIG. 6 corresponds to the AA ′ cross-sectional view of FIG.
  • the manufacturing method of the waveguide 10 is not limited to the example shown in FIG.
  • the clad layer 100 is prepared.
  • the clad layer 100 can be formed of, for example, a (meth) acrylic resin, an epoxy resin, a silicone resin, a polyimide resin, a fluorine resin, or a polyolefin resin. More specifically, the cladding layer 100 is preferably formed of, for example, polynorbornene. However, the material of the clad layer 100 is not limited to these.
  • the core layer 200 can be formed of a polymer in which a photopolymerizable monomer is dispersed. This polymer of monomers has a lower refractive index than the polymer.
  • the polymer of the core layer 200 for example, (meth) acrylic resin, epoxy resin, silicone resin, polyimide resin, fluorine resin, or polyolefin resin can be used. More specifically, for example, polynorbornene is preferably used for the polymer of the core layer 200.
  • the monomer of the core layer 200 for example, a norbornene monomer, an acrylic acid (methacrylic acid) monomer, an epoxy monomer, or a styrene monomer can be used. More specifically, for example, an oxetane monomer is preferably used as the monomer of the core layer 200.
  • the polymer and monomer materials are not limited to these.
  • a mask 400 is disposed at a position facing the cladding layer 100 with the core layer 200 interposed therebetween.
  • the mask 400 has a shape that covers a region of the core layer 200 where the core 210 and the dummy core 220 are formed.
  • the core layer 200 is irradiated with light (for example, visible light, infrared light, or ultraviolet light) through the mask 400.
  • light for example, visible light, infrared light, or ultraviolet light
  • the polymerization reaction of the monomer occurs in the exposed region of the core layer 200. This reduces the monomer concentration in the exposed area. For this reason, the monomer in the non-exposed area diffuses into the exposed area. The diffused monomer further causes a polymerization reaction in the exposed area.
  • the above-mentioned polymer is mainly present in the non-exposed area, so that the non-exposed area becomes a high refractive index area, and the exposed area is mainly low because the polymer of the monomer is mainly present in the exposed area. It becomes a refractive index region.
  • the core 210 and the dummy core 220 are formed in the non-exposed area, and the clad portion 230 is formed in the exposed area.
  • the clad layer 300 can be formed of, for example, a (meth) acrylic resin, an epoxy resin, a silicone resin, a polyimide resin, a fluorine resin, or a polyolefin resin. More specifically, the cladding layer 300 is preferably formed of, for example, polynorbornene.
  • the core layer 200 has a planar shape including sides 502 and 504 that are substantially parallel to each other.
  • a plurality of cores 210 are arranged apart from each other along the y-axis direction.
  • Each core 210 extends from the side 502 to the side 504 along the x-axis direction.
  • the thickness and width of each core 210 are substantially constant from one end to the other end. Therefore, an optical signal can be transmitted from the side 502 to the side 504 by the plurality of cores 210.
  • a plurality of dummy cores 220 are formed in the core layer 200 so as to be separated from each other along the y-axis direction. Each dummy core 220 extends along the x-axis direction from the side 502 to the side 504.
  • the dummy core 220 is located between the adjacent cores 210. Between the dummy core 220 and the core 210 and between the dummy cores 220, a clad portion 230 that separates them from each other is located. In this case, light leaking from the core 210 due to crosstalk may be diffusely reflected at the interface between the dummy core 220 and the clad portion 230. For this reason, the crosstalk between the adjacent cores 210 can be prevented by the dummy core 220.
  • the dummy core 220 is a core that is not used for transmission of optical signals.
  • Each dummy core 220 includes a first light shielding region 252 and a second light shielding region 254.
  • the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 are arranged in this order from the side 502 toward the side 504.
  • the thickness of the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 is substantially constant.
  • the width is narrowed from the side 502 toward the side 504.
  • the width of the second light-shielding region 254 increases from the side 502 toward the side 504.
  • the side surfaces of the first light-shielding region 252 and the second light-shielding region 254 are inclined with respect to the sides 502 and 504 and the x-axis direction. From this, it is considered that the light guided along the x-axis direction through the dummy core 220 is diffusely reflected on the side surfaces of the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254. In this way, it is possible to suppress the light input to the dummy core 220 from the side 502 side from propagating to the side 504.
  • each side surface of the first light shielding region 252 is inclined at an angle ⁇ with respect to the y-axis direction when viewed from the z-axis direction.
  • light propagating from the side 502 side of the core layer 200 along the x-axis direction of the dummy core 220 enters the clad portion 230 from the side surface of the first light shielding region 252 at an angle ⁇ .
  • the light propagating through the dummy core 220 along the x-axis direction from the side 502 side is incident on the cladding part 230 without being totally reflected at the interface between the side surface of the first light shielding region 252 and the cladding part 230. Become. For this reason, it can suppress more effectively that the light inputted into the dummy core 220 from the side 502 side is propagated to the side 504.
  • FIG. 7 is a plan view showing the waveguide 10 according to the second embodiment, and corresponds to FIG. 2 of the first embodiment.
  • FIG. 8 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG. 7, and corresponds to FIG. 3 of the first embodiment.
  • 9 is a cross-sectional view taken along the line CC ′ of FIG.
  • the waveguide 10 according to the present embodiment is the same as the waveguide 10 according to the first embodiment except that the end 262 of the first light shielding region 252 and the end 264 of the second light shielding region 254 are separated from each other. It is a configuration.
  • the waveguide 10 includes a dummy core 220 in the core layer 200.
  • Each dummy core 220 includes a first light shielding region 252 and a second light shielding region 254.
  • the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 are arranged in this order along the x-axis direction of each dummy core 220.
  • the first light shielding region 252 is connected to the waveguide region 240 located on the opposite side of the second light shielding region 254 via the first light shielding region 252.
  • the second light shielding region 254 is connected to the waveguide region 240 located on the opposite side of the first light shielding region 252 via the second light shielding region 254.
  • the thickness and width are substantially constant.
  • the thickness of the first light shielding region 252 is substantially constant, but the width increases from the waveguide region 240 connected to the first light shielding region 252 toward the second light shielding region 254. Is narrower.
  • the thickness of the second light shielding region 254 is substantially constant, but the width increases from the first light shielding region 252 toward the waveguide region 240 connected to the second light shielding region 254. .
  • both side surfaces of the first light shielding region 252 intersect at an acute angle on the second light shielding region 254 side, and form an end 262 at the intersection.
  • both side surfaces of the second light shielding region 254 intersect at an acute angle on the first light shielding region 252 side, and form an end 264 at the intersection.
  • the shapes of the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 are not limited to this.
  • the ends 262 and 264 may be curved (rounded) so as to be convex toward the second light shielding region 254 and the first light shielding region 252 when viewed from the z-axis direction.
  • the mutually adjacent end 262 and end 264 are separated by a distance D in the x-axis direction. That is, two adjacent dummy core units are separated from each other by a distance D in the x-axis direction.
  • the cladding 230 is positioned between the end 262 (first light shielding region 252) and the end 264 (second light shielding region 254), that is, between the dummy core units.
  • the distance D is preferably set to 5 ⁇ m or more and 1000 ⁇ m or less.
  • the ends 262 and 264 are located on a straight line substantially along the x-axis direction. Specifically, the ends 262 and 264 are located approximately in the center of the dummy core 220 in the y-axis direction (substantially on the center line of the dummy core 220). However, the positions of the ends 262 and 264 are not limited to the examples shown in FIGS. For example, the ends 262 and 264 may be shifted from each other in the y-axis direction.
  • FIG. 10 is a plan view showing the waveguide 10 according to the third embodiment, and corresponds to FIG. 2 of the first embodiment.
  • FIG. 11 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG. 10 and corresponds to FIG. 3 of the first embodiment.
  • the waveguide 10 according to the present embodiment has the same configuration as the waveguide 10 according to the first embodiment except for the following points.
  • the waveguide 10 includes a dummy core 220 in the core layer 200.
  • Each dummy core 220 includes the waveguide region 240 and the first light shielding region 252, but does not include the second light shielding region 254 as illustrated in FIG. 3. That is, in this embodiment, each dummy core 220 includes a plurality of first dummy core units, but does not include a second dummy core unit and a third dummy core unit.
  • the waveguide region 240 and the first light shielding region 252 are arranged in this order along the x-axis direction of the dummy core 220.
  • the waveguide region 240 and the first light shielding region 252 are connected to each other.
  • the thickness and width are substantially constant.
  • the thickness of the first light-shielding region 252 is substantially constant, but the width becomes narrower from the waveguide region 240 on the side 502 side toward the waveguide region 240 on the side 504 side. It has become.
  • the waveguide region 240 has an end face opposite to the first light-shielding region 252 connected to the waveguide region 240 substantially parallel to the y-axis direction.
  • both side surfaces of the first light shielding region 252 intersect at an acute angle on the opposite side to the waveguide region 240 connected to the first light shielding region 252 and form an end 262 at the intersection.
  • the shape of the first light shielding region 252 is not limited to this.
  • the end 262 is curved so as to protrude toward the adjacent waveguide region 240 (on the side opposite to the waveguide region 240 connected to the first light shielding region 252) (rounded). It may be tinged).
  • the end 262 is in contact with the adjacent waveguide region 240. That is, in two first dummy core units (second core portions) adjacent to each other in the x-axis direction, one first dummy core unit waveguide region 240 (first region) and the other first dummy core unit first light shielding.
  • the region 252 (second region) is in contact.
  • the end 262 may be separated from the adjacent waveguide region 240.
  • the separation distance is preferably set to, for example, 5 ⁇ m or more and 1000 ⁇ m or less in the x-axis direction.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 13 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line ⁇ in FIG. 12, and corresponds to FIG. 2 of the first embodiment.
  • This configuration example is the same as that of the first embodiment except that, in the dummy cores 220 adjacent to each other, the arrangement positions of the light shielding regions 250 are shifted from each other in the x-axis direction.
  • each of the first dummy core 220 and the second dummy core 220 adjacent to each other is provided with a plurality of light shielding regions 250 repeatedly at substantially equal intervals along the x-axis direction.
  • the light shielding regions 250 are alternately arranged between the first dummy core 220 and the second dummy core 220 along the x-axis direction.
  • one light shielding region 250 of the first dummy core 220 connects the arrangement points of the two light shielding regions 250 adjacent to each other in the second dummy core 220. It is located at approximately the center of the minute (approximately the center of the waveguide region 240 of the second dummy core 220).
  • FIG. 14 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment. This configuration example is the same as that of the first embodiment except that the cladding layer 300 is not formed.
  • the core layer 200 includes the core 210 and the dummy core 220.
  • the surface of the core layer 200 opposite to the cladding layer 100 is in contact with a gas (for example, air) or a liquid (for example, water) having a lower refractive index than the core 210 and the dummy core 220.
  • a gas for example, air
  • a liquid for example, water
  • a protective layer may be formed on the surface of the core layer 200 opposite to the cladding layer 100.
  • the protective layer is, for example, polyimide (PI), polyetheretherketone (PEEK), polyamideimide (PAI), polyamide (PA), polyethylene terephthalate (PET), polyethersulfone (PES), polyethylene naphthalate (PEN). Can be formed.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment. This configuration example is the same as that of the first embodiment except that the clad layers 100 and 300 are not formed.
  • the core layer 200 includes the core 210 and the dummy core 220.
  • the upper and lower surfaces of the core layer 200 are in contact with a gas (for example, air) or a liquid (for example, water) having a lower refractive index than the core 210 and the dummy core 220.
  • a gas for example, air
  • a liquid for example, water
  • a protective layer may be formed on the upper surface and the lower surface of the core layer 200 in the same manner as in the configuration example 2.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment. This configuration example is the same as that of the first embodiment except for the following points.
  • a core 210 and a dummy core 220 are formed on the cladding layer 100.
  • the core 210 and the dummy core 220 are separated from each other via a gap in the y-axis direction.
  • a clad layer 300 is formed to cover the core 210 and the dummy core 220.
  • a part of the cladding layer 300 is located in the gap and becomes the cladding part 230.
  • the clad layer 100 and the clad layer 300 (cladding portion 230) surround each core in a cross section (cross section) substantially perpendicular to the x-axis direction of the core. Thereby, light is confined in the core 210 and the dummy core 220.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating another configuration example of FIG. 4 according to the first embodiment. This configuration example is the same as that of the first embodiment except for the following points.
  • a plurality of grooves are formed on the surface of the cladding layer 100 so as to be separated from each other with a gap.
  • the core 210 and the dummy core 220 are embedded in the groove.
  • a part of the clad layer 100 is located in the gap and becomes the clad portion 230.
  • a clad layer 300 is formed on the surface where the groove is formed.
  • the clad layer 100 (cladding portion 230) and the clad layer 300 surround each core in a cross section (cross section) perpendicular to the x-axis direction of the core. Thereby, light is confined in the core 210 and the dummy core 220.
  • FIG. 18 is a plan view showing the waveguide 10 according to the fourth embodiment, and corresponds to FIG. 2 of the first embodiment.
  • the waveguide 10 according to the present embodiment has the same configuration as that of the waveguide 10 according to the first embodiment, except that the dummy core 220 has a cladding portion 270 in the light shielding region 250.
  • the clad portion 270 is a clad portion having a circular planar shape.
  • the refractive index of the cladding part 270 may be equal to or different from the refractive index of the cladding part 230, but is preferably equal.
  • the cladding part 270 is formed from the upper surface to the lower surface of the core layer 200.
  • the clad portion 270 has an upper surface reaching the upper surface of the core layer 200 and a lower surface reaching the lower surface of the core layer 200.
  • each of the first light shielding region 252 and the second light shielding region 254 has a groove having a semicircular planar shape on the end surface opposite to the waveguide region 240.
  • the groove is located substantially in the center in the y-axis direction of the first light shielding region 252 or the second light shielding region 254 and reaches the upper surface and the lower surface of the core layer 200.
  • the first light-shielding region 252 and the second light-shielding region 254 that are adjacent to each other are in contact with each other, and the clad portion 270 is located in a hole having a circular planar shape defined by the two grooves.
  • the waveguide 10 having the configuration shown in FIGS. 1 to 5 of the first embodiment was manufactured. Specific conditions are as follows.
  • Material of the clad layer 100 Polymer material of the polynorbornene core layer 200: Monomer material of the polynorbornene core layer 200: Oxetane monomer Material of the clad layer 300: Width of the polynorbornene core 210: 50 ⁇ m
  • Arrangement interval of the core 210 and the dummy core 220 12.5 ⁇ m
  • Angle ⁇ 11.5 ° Arrangement interval of light shielding regions 250: 1000 ⁇ m
  • Example 2 A waveguide 10 having the configuration shown in FIG. 18 was manufactured. Specific conditions are as follows. Material of the clad layer 100: Polymer material of the polynorbornene core layer 200: Monomer material of the polynorbornene core layer 200: Oxetane monomer Material of the clad layer 300: Width of the polynorbornene core 210: 50 ⁇ m The length of the core 210: 100 mm Width of dummy core 220: 50 ⁇ m Length of dummy core 220: 100mm Arrangement interval of the core 210 and the dummy core 220: 12.5 ⁇ m The diameter of the cladding part 270: 30 ⁇ m Arrangement interval of the clad portion 270 (light shielding region 250): 250 ⁇ m
  • FIG. 19 is a plan view showing a waveguide 10 according to a comparative example, and corresponds to FIG. 2 of the first embodiment.
  • the waveguide 10 according to the comparative example is the waveguide according to the second embodiment except that the dummy core units adjacent to each other in the x-axis direction are arranged with a gap and the dummy core 220 is divided in the x-axis direction. 10 is the same configuration. That is, in the waveguide 10 according to the comparative example, each dummy core unit does not have a light shielding region, and the planar shape is rectangular.
  • the waveguide 10 having the configuration shown in FIG. 19 was manufactured. Specific conditions are as follows.
  • Length of dummy core 220 100mm
  • FIG. 20 is a graph showing the relationship between the number of light shielding regions and the amount of light attenuation in Examples 1 and 2.
  • Attenuation [dB] ⁇ 10 log (A504 / A502)
  • A502 indicates the light intensity of the dummy core 220 at the side 502
  • A504 indicates the light intensity of the dummy core 220 at the side 504.
  • Example 2 As shown in FIG. 20, in both Example 1 and Example 2, the amount of attenuation increases as the number of light shielding regions (light shielding regions 250) increases. Although not shown, the attenuation of the comparative example was lower than that of Example 2.
  • the attenuation amount in the first embodiment is higher than that in the second embodiment. Further, in the first embodiment, even when the number of light shielding regions 250 is half that of the second embodiment, the same amount of attenuation as that of the second embodiment can be realized. Furthermore, as described above, the arrangement interval of the light shielding regions 250 is larger in Example 1 (1000 ⁇ m) than in Example 2 (250 ⁇ m). Nevertheless, the first embodiment can achieve a larger attenuation than the second embodiment. Further, the length of the light shielding region 250 in the x-axis direction is smaller in Example 1 (about 10 ⁇ m) than in Example 2 (about 30 ⁇ m). Nevertheless, the first embodiment can achieve a larger attenuation than the second embodiment.
  • the result shown in FIG. 20 is that the light of the dummy core 220 has a circular clad portion 270 in the middle of the dummy core 220 in the x-axis direction when a tapered (triangular) light shielding region 250 is provided (Example 1). This suggests that the attenuation is more efficient than the case where it is simply provided (Example 2).
  • the thickness of the first light shielding region 252 and / or the second light shielding region 254 is substantially constant, but the width decreases as the distance from the waveguide region 240 increases.
  • the first light-shielding region 252 and / or the second light-shielding region 254 decreases as the cross-sectional area (the area of the cross section in the direction orthogonal to the length direction) increases from the waveguide region 240. Just do it.
  • the width of the first light shielding region 252 and / or the second light shielding region 254 is substantially constant, but the thickness may decrease as the distance from the waveguide region 240 increases. Both thicknesses may decrease as the distance from the waveguide region 240 increases.
  • the cross-sectional area (width) of the first light-shielding region 252 and / or the second light-shielding region 254 is continuously (at a constant rate) as the distance from the waveguide region 240 increases. Although it is decreasing, you may reduce in steps.
  • each dummy core 220 has a plurality of dummy core units provided along the x-axis direction (first direction), but the length is substantially the same as the length of the core 210. Alternatively, only one dummy core unit having a length slightly shorter than the length of the core 210 may be included. As the dummy core unit, a first dummy core unit, a second dummy core unit, or a third dummy core unit can be used.
  • the waveguide of the present invention includes a first core portion extending along a first direction, at least one second core portion provided along with the first core portion and extending along the first direction, A clad portion separating the first core portion and the second core portion, wherein the second core portion is continuous with at least one end of the first region having a substantially constant cross-sectional area and the first region. And a second region whose cross-sectional area decreases as the distance from the first region increases.

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Abstract

　導波路１０は、第１方向（ｘ軸方向）に沿って延在する第１コア部（コア２１０）と、前記第１コア部（コア２１０）に併設され、前記第１方向（ｘ軸方向）に沿って延在する少なくとも１つの第２コア部（ダミーコア２２０）と、前記第１コア部（コア２１０）と前記第２コア部（ダミーコア２２０）とを分離するクラッド部２３０とを備え、前記第２コア部（ダミーコア２２０）は、横断面積が実質的に一定の第１領域（導波領域２４０）と、前記第１領域（導波領域２４０）の少なくとも一端に連続して設けられ、横断面積が前記第１領域（導波領域２４０）から遠ざかるにしたがって減少する第２領域（第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４）とを有する。これにより、第２コア部（ダミーコア）での光信号の伝送を抑制する。

Description

導波路
　本発明は、導波路に関する。
　導波路を利用した光通信技術が現在開発されている。導波路はコアを有しており、光信号がコアを介して伝送される。そして導波路を用いて高容量の光信号を伝送するために、複数のコアを並べることがある。一方で複数のコアを並べると互いに隣り合うコア同士の間でクロストークが生じる場合がある。このようなクロストークを防止するために、例えば特許文献１に記載されているように、互いに隣り合うコア同士の間に、ダミーコアを設けることがある。ダミーコアは、光信号の伝送に供しないコアであり、コア同士の間でのクロストークを遮断するよう機能する。
　なお、特許文献２には、光源及び導光板を備える光源装置が記載されている。光源は導光板の端面の近傍に設けられている。この場合、導光板では光源の近傍において光量が過多となり、輝度ムラが生じることがある。そこで特許文献２では、導光板のうち光源の近傍部分に、光量を減少させる減光部を設けている。
特開２００１－２４２３３２号公報 国際公開第２０１３／１６１９４１号
　しかしながら、特許文献１に記載されたようなダミーコアを設けると、光信号が、コアだけでなくダミーコア自体でも伝送されてしまう場合がある。
　本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ダミーコア（第２コア部）での光信号の伝送が抑制された導波路を提供することにある。
　本発明によれば、
　第１方向に沿って延在する第１コア部と、
　前記第１コア部に併設され、前記第１方向に沿って延在する少なくとも１つの第２コア部と、
　前記第１コア部と前記第２コア部とを分離するクラッド部とを備え、
　前記第２コア部は、横断面積が実質的に一定の第１領域と、前記第１領域の少なくとも一端に連続して設けられ、横断面積が前記第１領域から遠ざかるにしたがって減少する第２領域とを有することを特徴とする導波路が提供される。
　本発明によれば、第２コア部（ダミーコア）での光信号の伝送が抑制される。
図１は、第１の実施形態に係る導波路を示す平面図である。 図２は、図１において点線αで囲まれた領域を拡大した図である。 図３は、図２において点線βで囲まれた領域を拡大した図である。 図４は、図２のＡ－Ａ´断面図である。 図５は、図２のＢ－Ｂ´断面図である。 図６は、導波路の製造方法を説明するための断面図である。 図７は、第２の実施形態に係る導波路を示す平面図である。 図８は、図７において点線βで囲まれた領域を拡大した図である。 図９は、図７のＣ－Ｃ´断面図である。 図１０は、第３の実施形態に係る導波路を示す平面図である。 図１１は、図１０において点線βで囲まれた領域を拡大した図である。 図１２は、第１の実施形態の図１の他の構成例を示す図である。 図１３は、図１２において点線αで囲まれた領域を拡大した図である。 図１４は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。 図１５は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。 図１６は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。 図１７は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。 図１８は、第４の実施形態に係る導波路を示す平面図である。 図１９は、比較例に係る導波路を示す平面図である。 図２０は、遮光領域の数と光の減衰量の関係を示すグラフである。
　以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
（第１の実施形態）
　図１は、第１の実施形態に係る導波路１０を示す平面図である。図２は、図１において点線αで囲まれた領域を拡大した図である。図３は、図２において点線βで囲まれた領域を拡大した図である。図４は、図２のＡ－Ａ´断面図である。図５は、図２のＢ－Ｂ´断面図である。
　導波路１０は、クラッド層１００、コア層２００、及びクラッド層３００を有している。クラッド層１００、コア層２００、及びクラッド層３００はこの順で積層されている。コア層２００は、コア２１０、ダミーコア２２０、及びクラッド部２３０を含んでいる。コア２１０は、光信号の伝送に供されるコアである。これに対してダミーコア２２０は光信号の伝送に供されないコアである。
　なお、以下では、コア２１０及びダミーコア２２０が延在する第１方向であるコア２１０及びダミーコア２２０の長さ方向を「ｘ軸方向」、第１方向と直交する第２方向であるコア２１０及びダミーコア２２０の幅方向を「ｙ軸方向」、第１方向および第２方向の双方と直交する第３方向であるコア層２００の厚さ方向、換言すれば、クラッド層１００、コア層２００及びクラッド層３００の積層方向を「ｚ軸方向」として説明する。
　図１～図５に示す例において、コア２１０及びダミーコア２２０は、それぞれ全体としてｘ軸方向に延在した線状の形状を有している。ただしコア２１０及びダミーコア２２０の形状は図１～図５に示す例に限定されるものではなく、例えばそのｘ軸方向の一部において湾曲していてもよい。以下、コア２１０及びダミーコア２２０が、それぞれ全体としてｘ軸方向に沿った線状の形状を有する例について説明する。
　コア２１０及びダミーコア２２０は、コア層２００において、それぞれｙ軸方向に２つのクラッド部２３０によって挟まれている。さらに、コア２１０及びダミーコア２２０は、ｚ軸方向にクラッド層１００及びクラッド層３００によって挟まれている。コア２１０及びダミーコア２２０の屈折率は、クラッド部２３０及びクラッド層１００，３００の屈折率よりも高い。このため、コア２１０及びダミーコア２２０に光を閉じ込めることができる。
　なお、コア２１０又はダミーコア２２０からクラッド部２３０及びクラッド層１００，３００にかけての屈折率分布は特に限定されるものではないが、例えば、ステップインデックス（ＳＩ）型の分布又はグレーテッドインデックス（ＧＩ）型の分布とすることができる。またコア２１０及びダミーコア２２０の屈折率ｎｃｏｒｅとクラッド部２３０及びクラッド層１００，３００の屈折率ｎｃｌａｄの差（｜ｎｃｏｒｅ／ｎｃｌａｄ－１｜×１００（％））は、０．３％以上５．５％以下とするのが好ましい。
　図１～図５に示す例において、クラッド層１００、コア層２００、及びクラッド層３００は、実質的に同一の平面形状を有している。そしてこの平面形状は実質的に矩形であり、この矩形は辺５０２，５０４，５０６，５０８を有している。辺５０２，５０４は互いに対向している。辺５０６，５０８は互いに対向しており、辺５０２，５０４よりも長い。したがって、コア層２００の辺５０２，５０４に沿った方向が「ｙ軸方向」に相当し、辺５０２，５０４と直交する方向が「ｘ軸方向」に相当する。ただし、クラッド層１００、コア層２００、及びクラッド層３００の平面形状は矩形に限定されるものではない。
　コア２１０（「第１コア部」とも言う。）は、ｘ軸方向に沿って延在しており、その両端が辺５０２，５０４に達している。そしてコア２１０の横断面積は、その一端から他端にかけて実質的に一定である。図１～図５に示す例では、コア２１０の厚さ及び幅は、その一端から他端にかけて実質的に一定である。
　各コア２１０は、そのｙ軸方向において互いに対向する側面が、ｚ軸方向に沿って互いに実質的に平行になっている。さらに各コア２１０は、コア層２００の下面から上面にかけて形成され、コア層２００の下面及び上面に達している。このため、各コア２１０は、そのｘ軸方向に垂直な断面（横断面）において、実質的に矩形となっている。なお、コア２１０はコア層２００の下面及び上面に達していなくてもよい。
　コア層２００には、複数のコア２１０がｙ軸方向に沿って実質的に等間隔に繰り返し並べられている。これらのコア２１０は、実質的に同一の長さを有するとともに、実質的に同一の厚さ及び幅を有している。なお、コア層２００は、コア２１０を２つのみ含んでいてもよい。この場合、２つのコア２１０が適当な間隔を置いてｙ軸方向に沿って並ぶことになる。
　ダミーコア２２０は、間隙領域６０２及び外側領域６０４のそれぞれに、ｙ軸方向に沿って、互いに離間して設けられている。間隙領域６０２は、互いに隣り合うコア２１０同士の間の領域である。外側領域６０４は、ｙ軸方向に相当する複数のコア２１０が並んでいる方向において、いずれのコア２１０よりも外側に位置する領域である。間隙領域６０２及び外側領域６０４のいずれにおいても、ダミーコア２２０は、コア２１０に併設され、コア層２００の辺５０２から辺５０４にかけてｘ軸方向に沿って延在している。
　各ダミーコア２２０はコア層２００の下面から上面にかけて形成されており、コア層２００の下面及び上面に達している。そして各ダミーコア２２０は、そのｙ軸方向において互いに対向する側面が、ｚ軸方向に沿って互いに実質的に平行になっている。このため、各ダミーコア２２０は、そのｘ軸方向に垂直な断面（横断面）において、実質的に矩形となっている。なお、ダミーコア２２０はコア層２００の下面及び上面に達していなくてもよい。
　図１～図５に示す例では、間隙領域６０２に複数のダミーコア２２０が位置している。ただし間隙領域６０２に含まれるダミーコア２２０の数は複数に限定されるものではなく、１つのみであってもよい。
　さらに図１～図５に示す例では、間隙領域６０２におけるダミーコア２２０は実質的に同じ長さを有しており、これらのダミーコア２２０の両端は、コア層２００の辺５０２，５０４に達している。ただし、これらのダミーコア２２０の両端は、辺５０２，５０４に達していなくてもよい。すなわち、間隙領域６０２におけるダミーコア２２０の長さは、コア２１０の長さよりも短くてもよい。
　さらに図１～図５に示す例では、外側領域６０４にも複数のダミーコア２２０が位置している。そしてこれらの複数のダミーコア２２０のうち一部のダミーコア２２０の長さが他のダミーコア２２０と比べて短くなっている。この場合、この短いダミーコア２２０よりも内側にコア２１０が位置することになる。すなわち、上記の短いダミーコア２２０がコア２１０の位置を示す目印として機能する。
　各ダミーコア２２０は、導波領域２４０及び導波領域２４０に連続して設けられた遮光領域２５０を含んでいる。導波領域２４０では、その厚さ及び幅Ｗ（ｘ）が実質的に一定となっている。これに対して遮光領域２５０では、その厚さが実質的に一定であるが、その幅Ｗ（ｘ）がコア層２００の辺５０２から辺５０４に向かうにしたがって変化している。
　遮光領域２５０は、導波領域２４０（「第１領域」とも言う。）にそれぞれ連続して設けられた第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４（それぞれ「第２領域」とも言う。）を含んでいる。第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４は、コア層２００の辺５０２から辺５０４に向かってこの順に並んでいる。第１遮光領域２５２では、その厚さが実質的に一定であるが、辺５０２から辺５０４に向かうにしたがって、その幅Ｗ（ｘ）が狭くなっている。これに対して第２遮光領域２５４では、その厚さが実質的に一定であるが、辺５０２から辺５０４に向かうにしたがって、その幅Ｗ（ｘ）が広がっている。すなわち、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４は、いずれも、その厚さが実質的に一定であるが、その幅Ｗ（ｘ）が導波領域２４０から遠ざかるにしたがって減少している。なお、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４において、Ｗ（ｘ）は、例えばｘに関する連続関数（例えば、三角関数又は多項式）によって示すことができるが、これに限定されるものではない。
　第１遮光領域２５２は、この第１遮光領域２５２を介して第２遮光領域２５４の反対側に位置する導波領域２４０と繋がっている。同様に第２遮光領域２５４は、この第２遮光領域２５４を介して第１遮光領域２５２の反対側に位置する導波領域２４０と繋がっている。
　換言すれば、各ダミーコア２２０は、コア２１０に併設され、ｘ軸方向に沿って延在する複数のダミーコア単位（「第２コア部」とも言う。）を含んでいる。具体的には、複数のダミーコア単位は、それぞれｘ軸方向に沿って設けられた１つの第１ダミーコア単位、１つの第２ダミーコア単位及び複数（本実施形態では、４つ）の第３ダミーコア単位を含んでいる。第１ダミーコア単位は、辺５０２の最も近傍に位置し、第２ダミーコア単位は、辺５０４の最も近傍に位置し、各第３ダミーコア単位は、第１ダミーコア単位と第２ダミーコア単位との間に位置している。
　第１ダミーコア単位、第２ダミーコア単位及び第３ダミーコア単位は、ｚ軸方向から見て（導波路１０の平面視で）、それぞれ形状が異なっている。具体的には、第１ダミーコア単位は、導波領域２４０と、導波領域２４０の辺５０４側の一端に連続して設けられた第１遮光領域２５２とを含む。第２ダミーコア単位は、導波領域２４０と、導波領域２４０の辺５０２側の一端に連続して設けられた第２遮光領域２５４とを含む。各第３ダミーコア単位は、導波領域２４０と、導波領域２４０の両端（辺５０４側の一端及び辺５０２側の一端）にそれぞれ連続して設けられた第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４とを含む。
　ｚ軸方向から見て、第１遮光領域２５２の各側面は、直線形状となっている。そして第１遮光領域２５２の各側面は、ｚ軸方向から見て、導波領域２４０から第２遮光領域２５４に向かうにしたがってダミーコア２２０の内側に、すなわち、ダミーコア２２０の中心線に向かって傾いている。
　図３に示すように、第１遮光領域２５２の各側面とｙ軸方向とのなす角度を角度θとした場合、コア層２００の辺５０２側からｘ軸方向に沿ってダミーコア２２０を伝搬した光が、第１遮光領域２５２の側面からクラッド部２３０に角度θで入射することになる。角度θは、例えば、ダミーコア２２０及びクラッド部２３０の開口数（ＮＡ＝ｓｉｎθｍａｘ）の受入角度（θｍａｘ）よりも大きく設定するのが好ましい。具体的には、角度θは、５°以上９０°未満であるのが好ましく、５°以上４５°以下であるのがより好ましく、８°以上２０°以下であるのがさらに好ましい。
　ｚ軸方向から見て、第２遮光領域２５４の各側面も、直線形状となっている。そして第２遮光領域２５４の各側面は、ｚ軸方向から見て、導波領域２４０から第１遮光領域２５２に向かうにしたがってダミーコア２２０の内側に、すなわち、ダミーコア２２０の中心線に向かって傾いている。図１～図５に示す例において、第２遮光領域２５４の平面形状は、ｙ軸方向に沿って第１遮光領域２５２と第２遮光領域２５４との間を通過する直線に関して、第１遮光領域２５２の平面形状と実質的に対称となっている。
　ｚ軸方向から見て、第１遮光領域２５２の両側面は、第２遮光領域２５４側で鋭角に交わり、その交点において端２６２を形成している。同様に、ｚ軸方向から見て、第２遮光領域２５４の両側面は、第１遮光領域２５２側で鋭角に交わり、その交点において端２６４を形成している。そして端２６２，２６４は、ダミーコア２２０のｙ軸方向のおおよそ中央（実質的にダミーコア２２０の中心線上）において互いに繋がって（接触して）いる。すなわち、ｚ軸方向から見て（導波路１０の平面視において）、第１ダミーコア単位、第２ダミーコア単位及び第３ダミーコア単位は、いずれもその中心線に対して実質的に線対称な形状を有している。ただし、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４の形状はこれに限定されるものではない。例えば、端２６２，２６４は、ｚ軸方向から見て、第２遮光領域２５４及び第１遮光領域２５２側にそれぞれ凸となるように湾曲して（丸みを帯びて）いてもよい。
　図１～図５に示す例において、各ダミーコア２２０は、複数の遮光領域２５０を含んでいる。そしてこれらの複数の遮光領域２５０が導波領域２４０を介してｘ軸方向に沿って実質的に等間隔に繰り返し設けられている。さらに複数のダミーコア２２０において、遮光領域２５０の配置位置及び配置間隔は、実質的に等しく設定されている。このため、実質的に等しい配置位置に設けられた遮光領域２５０は、ｙ軸方向に沿って実質的に一直線上に位置している。ただし、ダミーコア２２０に含まれる遮光領域２５０の数は図１～図５に示す例に限定されるものではなく、例えば１つのみであってもよい。
　さらに図１～図５に示す例では、ダミーコア２２０の遮光領域２５０を除いた領域（導波領域２４０）は、コア２１０の幅と実質的に等しい幅を有している。そして複数のコア２１０及び複数のダミーコア２２０がｙ軸方向に沿って実質的に等間隔に並んでいる。なお、ダミーコア２２０の幅は図１～図５に示す例に限定されるものではない。例えば、ダミーコア２２０の幅は、コア２１０の幅よりも狭くてもよい。この場合、コア層２００のダミーコア２２０が占める領域の幅を小さくすることができる。このため、コア層２００中により多くのコア２１０を高密度に配置することができる。
　図６は、導波路１０の製造方法を説明するための断面図である。図６は、図２のＡ－Ａ´断面図に相当する。なお、導波路１０の製造方法は、図６に示す例に限定されるものではない。
　まず、クラッド層１００を準備する。クラッド層１００は、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、又はポリオレフィン系樹脂により形成することができる。より詳細には、クラッド層１００は、例えば、ポリノルボルネンで形成するのが好ましい。ただし、クラッド層１００の材料は、これらに限定されるものではない。
　次に、図６（ａ）に示すように、クラッド層１００の上にコア層２００を形成する。コア層２００は、光重合性モノマーが分散されたポリマーにより形成することができる。このモノマーの重合体は、上記ポリマーよりも低い屈折率を有する。コア層２００のポリマーには、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、又はポリオレフィン系樹脂を用いることができる。より詳細には、コア層２００のポリマーには、例えば、ポリノルボルネンを用いるのが好ましい。コア層２００のモノマーには、例えば、ノルボルネン系モノマー、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、又はスチレン系モノマーを用いることができる。より詳細には、コア層２００のモノマーには、例えば、オキセタンモノマーを用いるのが好ましい。ただし、上記のポリマー及びモノマーの材料はこれらに限定されるものではない。
　次に、図６（ｂ）に示すように、コア層２００を介してクラッド層１００と対向する位置にマスク４００を配置する。図６（ｂ）に示す例において、マスク４００は、コア層２００のうちコア２１０及びダミーコア２２０が形成される領域を覆う形状を有している。
　次に、マスク４００を介してコア層２００に光（例えば、可視光、赤外線又は紫外線）を照射する。この場合、コア層２００の露光領域では、上記モノマーの重合反応が生じる。これにより露光領域のモノマー濃度が減少する。このため、非露光領域におけるモノマーが露光領域に拡散する。拡散したモノマーによって、露光領域では重合反応がさらに生じる。このようにして非露光領域には主に上記ポリマーが存在することで、非露光領域が高屈折率領域となり、露光領域には主に上記モノマーの重合体が存在することで、露光領域が低屈折率領域となる。結果、非露光領域にはコア２１０及びダミーコア２２０が形成され、露光領域にはクラッド部２３０が形成される。
　次に、コア層２００の上にクラッド層３００を形成する。これにより、導波路１０が得られる。クラッド層３００は、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、又はポリオレフィン系樹脂により形成することができる。より詳細には、クラッド層３００は、例えば、ポリノルボルネンで形成するのが好ましい。
　次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。本実施形態では、コア層２００は、互いに実質的に平行な辺５０２，５０４を含む平面形状を有している。そしてコア層２００には、複数のコア２１０がｙ軸方向に沿って互いに離間して並べられている。各コア２１０は、辺５０２から辺５０４にかけてｘ軸方向に沿って延在している。そして各コア２１０の厚さ及び幅は、その一端から他端にかけて実質的に一定である。このため、これらの複数のコア２１０によって、光信号を辺５０２から辺５０４に伝送することができる。
　コア層２００には、複数のダミーコア２２０がｙ軸方向に沿って互いに離間して形成されている。各ダミーコア２２０は、辺５０２から辺５０４にかけてｘ軸方向に沿って延在している。そしてダミーコア２２０は、互いに隣り合うコア２１０同士の間に位置している。そしてダミーコア２２０とコア２１０との間及びダミーコア２２０同士の間には、これらを互いに分離するクラッド部２３０が位置している。この場合クロストークによってコア２１０から漏れ出た光が、ダミーコア２２０とクラッド部２３０との界面において拡散反射することが考えられる。このため、互いに隣り合うコア２１０同士の間のクロストークをダミーコア２２０によって防止することができる。なお、ダミーコア２２０は光信号の伝送に供されないコアである。
　各ダミーコア２２０は、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４を含んでいる。第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４は、辺５０２から辺５０４に向かってこの順に並んでいる。第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４の厚さは実質的に一定である。第１遮光領域２５２では、辺５０２から辺５０４に向かうにしたがって、その幅が狭くなっている。これに対して第２遮光領域２５４では、辺５０２から辺５０４に向かうにしたがって、その幅が広がっている。
　ｚ軸方向から見て、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４の各側面は、辺５０２，５０４とｘ軸方向に対して傾いている。これより、ダミーコア２２０をｘ軸方向に沿って導波される光は、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４の側面で拡散反射することが考えられる。このようにして、辺５０２側からダミーコア２２０に入力された光が辺５０４まで伝搬することを抑制することができる。
　さらに図１～図５に示す例では、ｚ軸方向から見て、第１遮光領域２５２の各側面がｙ軸方向に対して角度θ傾いている。この場合、コア層２００の辺５０２側からダミーコア２２０のｘ軸方向に沿って伝搬した光は、第１遮光領域２５２の側面からクラッド部２３０に角度θで入射することになる。角度θは、ダミーコア２２０及びクラッド部２３０の開口数（ＮＡ＝ｓｉｎθｍａｘ）の受入角度（θｍａｘ）よりも大きく設定するのが好ましい。この場合、辺５０２側からｘ軸方向に沿ってダミーコア２２０を伝搬した光は、第１遮光領域２５２の側面とクラッド部２３０との界面で全反射することなく、クラッド部２３０に入射することになる。このため、辺５０２側からダミーコア２２０に入力した光を辺５０４までに伝搬することをさらに効果的に抑制することができる。
（第２の実施形態）
　図７は、第２の実施形態に係る導波路１０を示す平面図であり、第１の実施形態の図２に対応する。図８は、図７において点線βで囲まれた領域を拡大した図であり、第１の実施形態の図３に対応する。図９は、図７のＣ－Ｃ´断面図である。本実施形態に係る導波路１０は、第１遮光領域２５２の端２６２と第２遮光領域２５４の端２６４が離間している点を除いて、第１の実施形態に係る導波路１０と同様の構成である。
　詳細には、導波路１０は、コア層２００にダミーコア２２０を含んでいる。各ダミーコア２２０は、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４を含んでいる。第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４は、各ダミーコア２２０のｘ軸方向に沿って、この順に並んでいる。
　第１遮光領域２５２は、この第１遮光領域２５２を介して第２遮光領域２５４の反対側に位置する導波領域２４０と繋がっている。同様に第２遮光領域２５４は、この第２遮光領域２５４を介して第１遮光領域２５２の反対側に位置する導波領域２４０と繋がっている。
　導波領域２４０では、その厚さ及び幅が実質的に一定となっている。これに対して、第１遮光領域２５２では、その厚さが実質的に一定であるが、第１遮光領域２５２に繋がっている導波領域２４０から第２遮光領域２５４に向かうにしたがって、その幅が狭くなっている。さらに第２遮光領域２５４では、その厚さが実質的に一定であるが、第１遮光領域２５２から第２遮光領域２５４に繋がっている導波領域２４０に向かうにしたがって、その幅が広がっている。
　ｚ軸方向から見て、第１遮光領域２５２の両側面は、第２遮光領域２５４側で鋭角に交わり、その交点において端２６２を形成している。同様に、ｚ軸方向から見て、第２遮光領域２５４の両側面は、第１遮光領域２５２側で鋭角に交わり、その交点において端２６４を形成している。ただし、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４の形状はこれに限定されるものではない。例えば、端２６２，２６４は、ｚ軸方向から見て、第２遮光領域２５４及び第１遮光領域２５２側にそれぞれ凸となるように湾曲して（丸みを帯びて）いてもよい。
　互いに隣り合う端２６２と端２６４とは、ｘ軸方向において距離Ｄ離間している。すなわち、互いに隣り合う２つのダミーコア単位同士が、ｘ軸方向において距離Ｄ離間している。そして端２６２（第１遮光領域２５２）と端２６４（第２遮光領域２５４）との間、すなわち、ダミーコア単位同士の間には、クラッド部２３０が位置している。距離Ｄは、５μｍ以上１０００μｍ以下に設定するのが好ましい。
　図７及び図８に示す例では、端２６２，２６４は、実質的にｘ軸方向に沿った一直線上に位置している。具体的には、端２６２，２６４は、ダミーコア２２０のｙ軸方向のおおよそ中央（実質的にダミーコア２２０の中心線上）に位置している。ただし、端２６２，２６４の位置は図７及び図８に示す例に限定されるものではない。例えば、端２６２，２６４は、ｙ軸方向に互いにずれていてもよい。
　本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（第３の実施形態）
　図１０は、第３の実施形態に係る導波路１０を示す平面図であり、第１の実施形態の図２に対応する。図１１は、図１０において点線βで囲まれた領域を拡大した図であり、第１の実施形態の図３に対応する。本実施形態に係る導波路１０は、以下の点を除いて、第１の実施形態に係る導波路１０と同様の構成である。
　導波路１０は、コア層２００にダミーコア２２０を含んでいる。各ダミーコア２２０は、導波領域２４０及び第１遮光領域２５２を含む一方で、図３に示すような第２遮光領域２５４を含んでいない。すなわち、本実施形態では、各ダミーコア２２０は、複数の第１ダミーコア単位を含むが、第２ダミーコア単位及び第３ダミーコア単位を含んでいない。
　詳細には、導波領域２４０及び第１遮光領域２５２は、ダミーコア２２０のｘ軸方向に沿って、この順に並んでいる。導波領域２４０と第１遮光領域２５２とは互いに繋がっている。
　導波領域２４０では、その厚さ及び幅が実質的に一定となっている。これに対して、第１遮光領域２５２では、その厚さが実質的に一定であるが、辺５０２側の導波領域２４０から辺５０４側の導波領域２４０に向かうにしたがって、その幅が狭くなっている。このため、ｚ軸方向から見て、導波領域２４０は、これに繋がっている第１遮光領域２５２と反対側の端面がｙ軸方向と実質的に平行となっている。
　ｚ軸方向から見て、第１遮光領域２５２の両側面は、第１遮光領域２５２に繋がっている導波領域２４０と反対側で鋭角に交わり、その交点において端２６２を形成している。ただし、第１遮光領域２５２の形状はこれに限定されるものではない。例えば、端２６２は、ｚ軸方向から見て、隣り合う導波領域２４０側（第１遮光領域２５２に繋がっている導波領域２４０と反対側）に凸となるように湾曲して（丸みを帯びて）いてもよい。
　図１０及び図１１に示す例において、端２６２は、隣り合う導波領域２４０と接触している。すなわち、ｘ軸方向において互いに隣り合う２つの第１ダミーコア単位（第２コア部）において、一方の第１ダミーコア単位の導波領域２４０（第１領域）と他方の第１ダミーコア単位の第１遮光領域２５２（第２領域）とが接触している。ただし、端２６２は隣り合う導波領域２４０から離間していてもよい。端２６２と隣り合う導波領域２４０とが離間している場合、その離間距離は、ｘ軸方向に、例えば、５μｍ以上１０００μｍ以下に設定するのが好ましい。
　本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、本実施形態では、例えば、辺５０２（図１）から光を入力し、辺５０４（図１）から光が出力される。
（他の構成例１）
　図１２は、第１の実施形態の図１の他の構成例を示す図である。図１３は、図１２において点線αで囲まれた領域を拡大した図であり、第１の実施形態の図２に対応する。本構成例は、互いに隣り合うダミーコア２２０において、遮光領域２５０の配置位置がｘ軸方向に互いにずれている点を除いて、第１の実施形態と同様である。
　詳細には、互いに隣り合う第１のダミーコア２２０及び第２のダミーコア２２０の各々には、複数の遮光領域２５０がｘ軸方向に沿って実質的に等間隔に繰り返し設けられている。そして遮光領域２５０は、ｘ軸方向に沿って、第１のダミーコア２２０及び第２のダミーコア２２０の間で互い違いに配置されている。図１２及び図１３に示す例では、ｙ軸方向から見て、第１のダミーコア２２０の１つの遮光領域２５０が、第２のダミーコア２２０において互いに隣り合う２つの遮光領域２５０の配置点を結ぶ線分のおおよそ中心（第２のダミーコア２２０の導波領域２４０のおおよそ中心）に位置している。
　本構成例においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（他の構成例２）
　図１４は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。本構成例は、クラッド層３００が形成されていない点を除いて、第１の実施形態と同様である。
　本構成例においても、コア層２００は、コア２１０及びダミーコア２２０を含んでいる。そして、コア層２００のクラッド層１００と反対側の面がコア２１０及びダミーコア２２０よりも低い屈折率を有する気体（例えば、空気）又は液体（例えば、水）に接している。この場合、クラッド層３００が形成されていなくても、光をコア２１０及びダミーコア２２０に閉じ込めることができる。
　なお、コア層２００のクラッド層１００と反対側の面には、保護層（不図示）を形成してもよい。保護層は、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）により形成することができる。
　本構成例においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（他の構成例３）
　図１５は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。本構成例は、クラッド層１００，３００が形成されていない点を除いて、第１の実施形態と同様である。
　本構成例においても、コア層２００は、コア２１０及びダミーコア２２０を含んでいる。そして、コア層２００の上面及び下面がコア２１０及びダミーコア２２０よりも低い屈折率を有する気体（例えば、空気）又は液体（例えば、水）に接している。この場合、クラッド層１００，３００が形成されていなくても、光をコア２１０及びダミーコア２２０に閉じ込めることができる。なお、コア層２００の上面及び下面には、構成例２と同様に保護層を形成してもよい。
　本構成例においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（他の構成例４）
　図１６は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。本構成例は、以下の点を除いて、第１の実施形態と同様である。
　クラッド層１００の上には、コア２１０及びダミーコア２２０が形成されている。コア２１０及びダミーコア２２０は、ｙ軸方向において間隙を介して互いに離間している。そしてコア２１０及びダミーコア２２０を覆うクラッド層３００が形成されている。この場合、クラッド層３００の一部は、上記の間隙に位置してクラッド部２３０となる。このようにして、上記のコアのｘ軸方向に実質的に垂直な断面（横断面）において、クラッド層１００及びクラッド層３００（クラッド部２３０）が各コアを囲むことになる。これにより、コア２１０及びダミーコア２２０に光が閉じ込められる。
　本構成例においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（他の構成例５）
　図１７は、第１の実施形態の図４の他の構成例を示す図である。本構成例は、以下の点を除いて、第１の実施形態と同様である。
　クラッド層１００の表面には、複数の溝が間隙を介して互いに離間して形成されている。そしてこの溝には、コア２１０及びダミーコア２２０が埋め込まれている。この場合、クラッド層１００の一部は、上記の間隙に位置してクラッド部２３０となる。上記の溝が形成された面には、クラッド層３００が形成されている。このようにして、上記のコアのｘ軸方向に垂直な断面（横断面）において、クラッド層１００（クラッド部２３０）及びクラッド層３００が各コアを囲むことになる。これにより、コア２１０及びダミーコア２２０に光が閉じ込められる。
　本構成例においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（第４の実施形態）
　図１８は、第４の実施形態に係る導波路１０を示す平面図であり、第１の実施形態の図２に対応する。本実施形態に係る導波路１０は、ダミーコア２２０が遮光領域２５０にクラッド部２７０を有している点を除いて、第１の実施形態に係る導波路１０と同様の構成である。
　クラッド部２７０は、平面形状が円形のクラッド部である。クラッド部２７０の屈折率は、クラッド部２３０の屈折率と等しくても、異なっていてもよいが、等しいのが好ましい。クラッド部２７０は、例えば図４又は図５に示すように、コア層２００の上面から下面にかけて形成されている。この場合、クラッド部２７０は、上面がコア層２００の上面に達し、下面がコア層２００の下面に達している。
　詳細には、第１遮光領域２５２及び第２遮光領域２５４の各々は、その導波領域２４０と反対側の端面に、平面形状が半円形の溝部を有している。この溝部は、第１遮光領域２５２又は第２遮光領域２５４のｙ軸方向において実質的に中央に位置し、コア層２００の上面及び下面に達している。互いに隣り合う第１遮光領域２５２と第２遮光領域２５４とは接触しており、２つの溝部で画成される平面形状が円形の孔部にクラッド部２７０が位置している。
　本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
（実施例１）
　第１の実施形態の図１～図５に示す構成の導波路１０を製造した。具体的な条件は下記のとおりである。
　　クラッド層１００の材料：ポリノルボルネン
　　コア層２００のポリマー材料：ポリノルボルネン
　　コア層２００のモノマー材料：オキセタンモノマー
　　クラッド層３００の材料：ポリノルボルネン
　　コア２１０の幅：５０μｍ
　　コア２１０の長さ：１００ｍｍ
　　ダミーコア２２０の幅：５０μｍ
　　ダミーコア２２０の長さ：１００ｍｍ
　　コア２１０及びダミーコア２２０の配置間隔：１２．５μｍ
　　角度θ：１１．５°
　　遮光領域２５０の配置間隔：１０００μｍ
（実施例２）
　図１８に示す構成の導波路１０を製造した。具体的な条件は、下記のとおりである。
　　クラッド層１００の材料：ポリノルボルネン
　　コア層２００のポリマー材料：ポリノルボルネン
　　コア層２００のモノマー材料：オキセタンモノマー
　　クラッド層３００の材料：ポリノルボルネン
　　コア２１０の幅：５０μｍ
　　コア２１０の長さ：１００ｍｍ
　　ダミーコア２２０の幅：５０μｍ
　　ダミーコア２２０の長さ：１００ｍｍ
　　コア２１０及びダミーコア２２０の配置間隔：１２．５μｍ
　　クラッド部２７０の直径：３０μｍ
　　クラッド部２７０（遮光領域２５０）の配置間隔：２５０μｍ
（比較例）
　図１９は、比較例に係る導波路１０を示す平面図であり、第１の実施形態の図２に対応する。比較例に係る導波路１０は、ｘ軸方向に互いに隣り合うダミーコア単位同士が隙間をおいて配置され、ダミーコア２２０がｘ軸方向において分断されている点を除いて、実施例２に係る導波路１０と同様の構成である。すなわち、比較例に係る導波路１０では、各ダミーコア単位は、遮光領域を有さず、平面形状が長方形をなしている。
　比較例では、図１９に示す構成の導波路１０を製造した。具体的な条件は、下記のとおりである。
　　クラッド層１００の材料：ポリノルボルネン
　　コア層２００のポリマー材料：ポリノルボルネン
　　コア層２００のモノマー材料：オキセタンモノマー
　　クラッド層３００の材料：ポリノルボルネン
　　コア２１０の幅：５０μｍ
　　コア２１０の長さ：１００ｍｍ
　　ダミーコア２２０の幅：５０μｍ
　　ダミーコア２２０の長さ：１００ｍｍ
　　コア２１０及びダミーコア２２０の配置間隔：１２．５μｍ
　　互いに隣り合うダミーコア単位同士の離間距離：３０μｍ
　　互いに隣り合うダミーコア単位同士の隙間の配置間隔：２５０μｍ
　各実施例及び比較例の導波路１０について、コア層２００の辺５０２からすべてのコア２１０及びダミーコア２２０に同強度の光を入力した。そしてコア層２００の辺５０４でのダミーコア２２０の光の強度を測定した。このようにして、遮光領域２５０又は互いに隣り合うダミーコア単位同士の隙間の数が０，５，１０，１５，２０，４０個の場合それぞれについて、ダミーコア２２０での光の減衰量を測定した。なお、遮光領域２５０又は互いに隣り合うダミーコア単位同士の隙間は、ダミーコア２２０のｘ軸方向の中央部に偏在するように形成した。図２０は、実施例１及び２における遮光領域の数と光の減衰量の関係を示すグラフである。
　なお、光の減衰量は、下記の式によって定義される。
　　減衰量［ｄＢ］＝－１０ｌｏｇ（Ａ５０４／Ａ５０２）
　ただし、Ａ５０２は辺５０２でのダミーコア２２０の光の強度を示し、Ａ５０４は辺５０４でのダミーコア２２０の光の強度を示す。
　図２０に示すように、実施例１及び実施例２のいずれにおいても、遮光領域（遮光領域２５０）の数の増加にともない、減衰量が増加している。なお、図示していないが、比較例の減衰量は、実施例２の減衰量よりも低かった。
　さらに図２０に示す例では、遮光領域２５０の数が同一である場合、減衰量は、実施例１の方が実施例２よりも高い。また、実施例１では、遮光領域２５０の数を実施例２の半分にしても、実施例２と同程度の減衰量を実現することができている。さらに上記したように、遮光領域２５０の配置間隔は、実施例１（１０００μｍ）の方が実施例２（２５０μｍ）よりも大きい。それにもかかわらず、実施例１では、実施例２に比して大きな減衰量を実現することができている。また、遮光領域２５０のｘ軸方向の長さは、実施例１（約１０μｍ）の方が実施例２（約３０μｍ）よりも小さい。それにもかかわらず、実施例１では、実施例２に比して大きな減衰量を実現することができている。
　図２０に示す結果は、ダミーコア２２０の光は、テーパ状（三角形状）の遮光領域２５０を設けた場合（実施例１）において、ダミーコア２２０のｘ軸方向の途中に円形状のクラッド部２７０を単に設けた場合（実施例２）よりも効率的に減衰することを示唆している。
　以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。また、前記第１～第４の実施形態の任意の構成を組み合わせるようにしてもよい。
　各前記実施形態では、第１遮光領域２５２及び／又は第２遮光領域２５４は、その厚さが実質的に一定であるが、その幅が導波領域２４０から遠ざかるにしたがって減少している。しかしながら、本発明において、第１遮光領域２５２及び／又は第２遮光領域２５４は、その横断面積（長さ方向と直交する方向での断面の面積）が導波領域２４０から遠ざかるにしたがって減少していればよい。したがって、第１遮光領域２５２及び／又は第２遮光領域２５４は、その幅が実質的に一定であるが、その厚さが導波領域２４０から遠ざかるにしたがって減少していてもよく、その幅及び厚さの双方が導波領域２４０から遠ざかるにしたがって減少していてもよい。
　また、前記第１～第３の実施形態では、第１遮光領域２５２及び／又は第２遮光領域２５４の横断面積（幅）が導波領域２４０から遠ざかるにしたがって連続的に（一定の割合で）減少しているが、段階的に減少していてもよい。
　また、各前記実施形態では、各ダミーコア２２０が、そのｘ軸方向（第１方向）に沿って設けられた複数のダミーコア単位を有しているが、コア２１０の長さと実質的に同じ長さ又はコア２１０の長さより若干短い長さのダミーコア単位を１つのみ含んでいてもよい。かかるダミーコア単位には、第１ダミーコア単位、第２ダミーコア単位又は第３ダミーコア単位を用いることができる。
　本発明の導波路は、第１方向に沿って延在する第１コア部と、前記第１コア部に併設され、前記第１方向に沿って延在する少なくとも１つの第２コア部と、前記第１コア部と前記第２コア部とを分離するクラッド部とを備え、前記第２コア部は、横断面積が実質的に一定の第１領域と、前記第１領域の少なくとも一端に連続して設けられ、横断面積が前記第１領域から遠ざかるにしたがって減少する第２領域とを有することを特徴とする。これにより、ダミーコア（第２コア部）での光信号の伝送が抑制された導波路を提供することができる。したがって、本発明は、産業上の利用可能性を有する。
１０ 導波路
１００ クラッド層
２００ コア層
２１０ コア
２２０ ダミーコア
２３０ クラッド部
２４０ 導波領域（第１領域）
２５０ 遮光領域
２５２ 第１遮光領域（第２領域）
２５４ 第２遮光領域（第２領域）
２６２ 端
２６４ 端
２７０ クラッド部
３００ クラッド層
５０２ 辺
５０４ 辺
５０６ 辺
５０８ 辺

Claims (9)

  1. 　第１方向に沿って延在する第１コア部と、
    　前記第１コア部に併設され、前記第１方向に沿って延在する少なくとも１つの第２コア部と、
    　前記第１コア部と前記第２コア部とを分離するクラッド部とを備え、
    　前記第２コア部は、横断面積が実質的に一定の第１領域と、前記第１領域の少なくとも一端に連続して設けられ、横断面積が前記第１領域から遠ざかるにしたがって減少する第２領域とを有することを特徴とする導波路。
  2. 　前記少なくとも１つの第２コア部は、前記第１方向に沿って設けられ、互いに接触する複数の第２コア部を含む請求項１に記載の導波路。
  3. 　互いに隣接する２つの前記第２コア部において、一方の前記第２コア部の前記第１領域と他方の前記第２コア部の前記第２領域とが接触している請求項２に記載の導波路。
  4. 　前記少なくとも１つの第２コア部は、前記第１方向に沿って設けられ、互いに離間する複数の第２コア部を含む請求項１ないし３のいずれか一項に記載の導波路。
  5. 　前記少なくとも１つの第２コア部は、前記第１方向と直交する第２方向に沿って設けられ、互いに離間する複数の第２コア部を含む請求項１ないし４のいずれか一項に記載の導波路。
  6. 　前記少なくとも１つの第２コア部は、前記第１領域と、前記第１領域の両端に連続して設けられた２つの前記第２領域とを有する第２コア部を含む請求項１ないし５のいずれか一項に記載の導波路。
  7. 　前記第２領域の厚さが実質的に一定であり、前記第２領域の幅が前記第１領域から遠ざかるにしたがって減少している請求項１ないし６のいずれか一項に記載の導波路。
  8. 　当該導波路の平面視において、前記第２領域の側面と前記第１方向と直交する第２方向とのなす角度が５°以上９０°未満である請求項７に記載の導波路。
  9. 　当該導波路の平面視において、前記第２コア部は、その中心線に対して実質的に線対称な形状を有する請求項１ないし８のいずれか一項に記載の導波路。
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