JP7076968B2 - 光導波路、光電気混載基板および光電気混載モジュール - Google Patents
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Description
本発明の光導波路の一実施形態を図1~図5を参照して説明する。
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例を適宜組み合わせることができる。さらに、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
光導波路1の用途は、特に限定されず、種々の装置、好ましくは、各種光学装置に適用される。
上記した光導波路で説明した各部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図1に記載のアンダークラッド層2、コア層3およびオーバークラッド層4を順次形成して、光導波路1を作製した。
ダミーコア7のダミー一側面73およびダミー他側面74を、いずれも、第1コア5に平行する直行面90(図3の仮想線参照)とした以外は、実施例1と同様に処理した。
光導波路1に、入射装置8および受光装置9を光学的に接続した。なお、入射装置8は、第1コア5に対して、幅方向にややずれるように配置して、意図的にクロストークを生じさせた。
2 アンダークラッド層
4 オーバークラッド層
5 第1コア
6 第2コア
7 ダミーコア
25 混合層
26 信号コア(第1コアおよび/または第2コアの一例)
30 光電気混載基板
31 電気回路基板
34 光素子
45 外部光回路
53 第1一側面(第1対向面の一例)
54 第1他側面(第1対向面の一例)
55 光電気混載モジュール
63 第2一側面(第2対向面の一例)
64 第2他側面(第2対向面の一例)
73 ダミー一側面(対向面の一例)
74 ダミー他側面(反対面の一例)
75 第2傾斜面
76 第1傾斜面(傾斜面の一例)
α1 傾斜角(ダミー一側面)
α2 傾斜角(ダミー他側面)
ε1 傾斜角(一方側第1コア傾斜面)
ε2 傾斜角(他方側第1コア傾斜面)
ε3 傾斜角(一方側第2コア傾斜面)
ε4 傾斜角(他方側第2コア傾斜面)
L0 第1コアの長さ
L1 ダミーコアの長さ
L2 ダミー一側面の長手方向他端縁と、第1コアとの間の距離
Zv 界面の最大谷深さ
Claims (19)
- 互いに間隔を隔てて隣接する第1コアおよび第2コアと、前記第1コアおよび前記第2コアの間に位置するダミーコアとを備える光導波路であって、
前記第1コアおよび前記第2コアは、前記隣接方向に直交する伝送方向において光を伝送し、
前記ダミーコアは、前記第1コアに対向する対向面と、前記対向面に対して前記第1コアの反対側に位置する反対面とを有し、
前記反対面は、前記伝送方向下流側に向かうに従って、前記第1コアから遠ざかるように傾斜する傾斜面を有し、
前記伝送方向における前記第1コアの上流側端縁と、前記伝送方向における前記第2コアの上流側端縁と、前記伝送方向における前記ダミーコアの上流側端縁とは、前記隣接方向において面一であり、
前記傾斜面は、前記伝送方向における前記第1コアの上流側端縁から傾斜していることを特徴とする、光導波路。 - 前記傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、0.005度以上、1度以下であることを特徴とする、請求項1に記載の光導波路。
- 前記ダミーコアの前記伝送方向における長さが、前記第1コアの前記伝送方向の全長に対して、75%以上であることを特徴とする、請求項1または2に記載の光導波路。
- 前記対向面の前記伝送方向上流側端縁の、前記第1コアに対する隣接方向距離が、5μm以上、40μm以下であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の光導波路。
- 前記反対面における前記伝送方向の全部が、前記傾斜面であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の光導波路。
- 前記対向面は、前記伝送方向下流側に向かうに従って、前記第1コアに近づくように傾斜する第2傾斜面を有することを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載の光導波路。
- 前記第2傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、0.005度以上、1度以下であることを特徴とする、請求項6に記載の光導波路。
- 前記反対面における前記伝送方向の全部が、前記第2傾斜面であることを特徴とする、請求項6または7に記載の光導波路。
- 前記ダミーコアが、前記隣接方向において、互いに間隔を隔てて複数設けられていることを特徴とする、請求項1~8のいずれか一項に記載の光導波路。
- 前記ダミーコアを被覆するクラッドをさらに備え、
前記ダミーコアと前記クラッドとの界面において、前記ダミーコアの材料および前記クラッドの材料を含有する混合層を有し、
前記混合層の厚みが、前記ダミーコアの前記クラッドとの前記界面の最大谷深さZvを超過することを特徴とする、請求項1~9のいずれか一項に記載の光導波路。 - 前記第1コアは、前記隣接方向において互いに対向する2つの第1対向面を有し、
前記2つの第1対向面の前記伝送方向上流側端縁の間の距離が、前記2つの第1対向面の前記伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長いことを特徴とする、請求項1~10のいずれか一項に記載の光導波路。 - 前記2つの第1対向面の少なく一方は、前記2つの第1対向面の間の距離が、前記伝送方向下流側に向かうに従って、短くなる第1コア傾斜面を有することを特徴とする、請求
項11に記載の光導波路。 - 前記第1コア傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、0.002度以上、0.1度以下であることを特徴とする、請求項12に記載の光導波路。
- 前記2つの第1対向面における伝送方向の全部が、前記第1コア傾斜面であることを特徴とする、請求項12または13に記載の光導波路。
- 前記第2コアは、前記隣接方向において互いに対向する2つの第2対向面を有し、
前記2つの第2対向面は、前記2つの第2対向面の前記伝送方向上流側端縁の間の距離が、前記2つの第2対向面の前記伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長くなるように、前記伝送方向に対して傾斜する、第2コア傾斜面であることを特徴とする、請求項11~14のいずれか一項に記載の光導波路。 - 前記第2コア傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、0.002度以上、0.1度以下であることを特徴とする、請求項15に記載の光導波路。
- 請求項1~16のいずれか一項に記載の光導波路と、電気回路基板とを備えることを特徴とする、光電気混載基板。
- 前記第1コアおよび前記第2コアの前記伝送方向上流側端縁と光学的に結合する光素子をさらに備えることを特徴とする、請求項17に記載の光電気混載基板。
- 請求項17または18に記載の光電気混載基板と、外部光回路とを備え、
前記外部光回路は、前記第1コアおよび前記第2コアの前記伝送方向下流側端縁と光学的に結合することを特徴とする、光電気混載モジュール。
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