WO2019039325A1 - 光導波路、光電気混載基板および光電気混載モジュール - Google Patents

Abstract

光導波路は、互いに間隔を隔てて隣接する第１コアおよび第２コアと、第１コアおよび第２コアの間に位置するダミーコアとを備える。第１コアおよび第２コアは、隣接方向に直交する伝送方向において光を伝送し、ダミーコアは、第１コアに対向する対向面と、対向面に対して第１コアの反対側に位置する反対面とを有し、反対面は、伝送方向下流側に向かうに従って、第１コアから遠ざかるように傾斜する傾斜面を有する。

Description

光導波路、光電気混載基板および光電気混載モジュール

　本発明は、光導波路、光電気混載基板および光電気混載モジュール、詳しくは、光導波路、それを備える光電気混載基板、および、それを備える光電気混載モジュールに関する。

　従来、複数のコアと、それらを被覆するクラッドとを備える光導波路が知られている。

　例えば、並列する第１コアおよび第２コアと、それらの間に配置されるダミーコアと、それらを被覆するクラッド部とを備える光導波路が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の光導波路では、第１コアおよび第２コアは、平行しており、ダミーコアの２つの側面は、第１コアおよび第２コアに平行な直行面である。

　特許文献１では、第１コアと第２コアとの間のクロストークを抑制している。クロストークは、第１コアにおいて伝送される光、および／または、第１コアの入射部に対応する入射装置からの光が、意図せずに、第１コアに留まらず、第２コアに至り、その後、意図しない光が第２コア内において伝送され、第２コアの出射部に対応する受光装置に受光される現象である。従って、クロストークの発生は、光導波路では不適である。

　特許文献１の光導波路では、ダミーコアによって、第１コアおよび／または入射装置からの第２コアに至るような光を捕捉することによって、クロストークを抑制している。

特開２０１５－１０８８１９号公報

　近年、クロストークのより一層の抑制が要求されている。

　本発明は、クロストークの抑制効果に優れる、光導波路、それを備える光電気混載基板、および、それを備える光電気混載モジュールを提供する。

　本発明（１）は、互いに間隔を隔てて隣接する第１コアおよび第２コアと、前記第１コアおよび前記第２コアの間に位置するダミーコアとを備える光導波路であって、前記第１コアおよび前記第２コアは、前記隣接方向に直交する伝送方向において光を伝送し、前記ダミーコアは、前記第１コアに対向する対向面と、前記対向面に対して前記第１コアの反対側に位置する反対面とを有し、前記反対面は、前記伝送方向下流側に向かうに従って、前記第１コアから遠ざかるように傾斜する傾斜面を有する、光導波路を含む。

　この光導波路では、第１コアに対応する入力装置から漏れ出た光の伝送方向上流側端縁（図３参照）、および／または、第１コアから漏れ出た光（図４および図５参照）は、ダミーコアの対向面からダミーコアの内部に進入する。

　続いて、ダミーコアの内部に進入した光は、反対面に至るが、反対面は、伝送方向下流側に向かうに従って、第１コアから遠ざかるように傾斜する傾斜面を有する。そのため、かかる光の進行方向と、傾斜面の法線との成す角、つまり、光の入射角β（図３のβ１、図４のβ２、図５のβ３参照）を、特許文献１に記載されるような直行面に対する光の入射角（図３のγ１、図４のγ２、図５のγ３参照）に比べて、大きくすることができる。
そのため、臨界角以上で傾斜面に至る光の割合を、特許文献１の光導波路に比べて、多くすることができる。

　その結果、反対面において、全反射する光の割合を多くすることができる。換言すれば、反対面を透過して、第２コアに向かう光の割合を少なくすることができる。

　従って、この光導波路は、クロストークの抑制効果に優れる。そのため、この光導波路は、伝送信頼性に優れる。

　本発明（２）は、前記傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００５度以上、１度以下である、（１）に記載の光導波路を含む。

　本発明（３）は、前記ダミーコアの前記伝送方向における長さが、前記第１コアの前記伝送方向の全長に対して、７５％以上である、（１）または（２）に記載の光導波路を含む。

　本発明（４）は、前記対向面の前記伝送方向上流側端縁の、前記第１コアに対する隣接方向距離が、５μｍ以上、４０μｍ以下である、（１）～（３）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　本発明（５）は、前記反対面における前記伝送方向の全部が、前記傾斜面である、（１）～（４）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　本発明（６）は、前記対向面は、前記伝送方向下流側に向かうに従って、前記第１コアに近づくように傾斜する第２傾斜面を有する、（１）～（５）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　本発明（６）の光導波路では、反対面において反射した光は、再度、対向面に至るが、対向面は、伝送方向下流側に向かうに従って、前記第１コアに近づくように傾斜する第２傾斜面を有する。そのため、かかる光の進行方向と、第２傾斜面の法線との成す角、つまり、光の入射角を、特許文献１に記載されるような直行面に対する光の入射角に比べて、大きくすることができる。そのため、臨界角以上で第２傾斜面に至る光の割合を、特許文献１の光導波路に比べて、多くすることができる。

　そのため、この光導波路では、ダミーコアの内部に進入した光を、ダミーコアの内部に有効に閉じ込めることができる。

　なお、第１コアから漏れた後、ダミーコアに一旦取り込まれた光が、第１コアに再び戻ることは、かかる光の光学特性（例えば、位相など）がすでに変動していることから、好ましくない。

　従って、この光導波路は、上記した光をダミーコアの内部に有効に閉じ込めるので、光の伝送信頼性により一層優れる。

　本発明（７）は、前記第２傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００５度以上、１度以下である、（６）に記載の光導波路を含む。

　本発明（８）は、前記反対面における前記伝送方向の全部が、前記第２傾斜面である、（６）または（７）に記載の光導波路を含む。

　本発明（９）は、前記ダミーコアが、前記隣接方向において、互いに間隔を隔てて複数設けられている、（１）～（８）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　この光導波路では、ダミーコアが複数設けられているので、クロストークをより一層有効に抑制することができる。

　本発明（１０）は、前記ダミーコアを被覆するクラッドをさらに備え、前記ダミーコアと前記クラッドとの界面において、前記ダミーコアの材料および前記クラッドの材料を含有する混合層を有し、前記混合層の厚みが、前記コアの前記クラッドとの前記界面の最大谷深さＺｖを超過する、（１）～（９）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　上記した界面が、微細な凹凸を有する場合には、かかる界面において、光が散乱してしまい、そのため、ダミーコアによるクロストークの抑制効果が低減する傾向にある。

　この光導波路では、混合層の厚みが、界面の最大谷深さＺｖを超過するので、ダミーコアの内部における光が、上記した界面に至る前に、コアの材料およびクラッドの材料を含有し、コア層の屈折率より高い屈折率を有する混合層によって、閉じ込めることができる。そのため、この光導波路では、依然として、クロストークの抑制効果に優れる。

　本発明（１１）は、前記第１コアは、前記隣接方向において互いに対向する２つの第１対向面を有し、前記２つの第１対向面の前記伝送方向上流側端縁の間の距離が、前記２つの第１対向面の前記伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長い、（１）～（１０）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　入射装置を、第１コアにおける伝送方向上流側端縁に配置すれば、２つの第１対向面の伝送方向上流側端縁の距離が、２つの第１対向面の伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長いので、入射装置からの光が、第１コアの伝送方向上流側端縁から漏れにくく、第１コアの伝送方向上流側端縁に効率的に入射させることができる。そのため、第１コアの伝送方向上流側端縁からの漏れに起因するクロストークを予め抑制することができる。

　２つの第１対向面の少なく一方が第１コア傾斜面を有すれば、かかる第１コア傾斜面から第１コアの外部に漏れ易い。

　しかし、この光導波路では、上記したダミーコアを有するので、かかる光をダミーコアに進入させ、ダミーコア内に閉じ込めて、第２コアに向かう光の割合を少なくすることができる。

　本発明（１３）は、前記第１コア傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００２度以上、０．１度以下である、（１２）に記載の光導波路を含む。

　本発明（１４）は、前記２つの第１対向面における伝送方向の全部が、前記第１コア傾斜面である、（１２）または（１３）に記載の光導波路を含む。

　本発明（１５）は、前記第２コアは、前記隣接方向において互いに対向する２つの第２対向面を有し、前記２つの第２対向面は、前記２つの第２対向面の前記伝送方向上流側端縁の間の距離が、前記２つの第１対向面の前記伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長くなるように、前記伝送方向に対して傾斜する、第２コア傾斜面である、（１１）～（１４）のいずれか一項に記載の光導波路を含む。

　本発明（１６）は、前記第２コア傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００２度以上、０．１度以下である、（１５）に記載の光導波路を含む。

　本発明（１７）は、（１）～（１６）のいずれか一項に記載の光導波路と、電気回路基板とを備える、光電気混載基板を含む。

　この光電気混載基板は、伝送信頼性に優れる光導波路を備えるので、光の伝送信頼性に優れる。

　本発明（１８）は、前記第１コアおよび前記第２コアの前記伝送方向上流側端縁と光学的に結合する光素子をさらに備える（１７）に記載の光電気混載基板を含む。

　本発明（１９）は、（１７）または（１８）に記載の光電気混載基板と、外部光回路とを備え、前記外部光回路は、前記第１コアおよび前記第２コアの前記伝送方向下流側端縁と光学的に結合する、光電気混載モジュールを含む。

　この光電気混載モジュールは、光の伝送信頼性に優れる光電気混載基板を備えるので、信頼性に優れる。

　本発明の光導波路は、クロストークの抑制効果に優れ、そのため、伝送信頼性に優れる。

　本発明の光電気混載基板および光電気混載モジュールは、光の伝送信頼性に優れる。

図１は、本発明の光導波路の一実施形態の平面図を示す。 図２は、図１に示す光導波路の幅方向に沿い、Ａ－Ａ線の断面図を示す。 図３は、図１に示す光導波路のダミーコアによるクロストークの抑制（入射装置から出射された光の一部が漏れる態様）を説明する図である。 図４は、図１に示す光導波路のダミーコアによるクロストークの抑制（第１コアに取り込まれた光が、第１コアの第１他側面から漏れる態様）を説明する図である。 図５は、図１に示す光導波路のダミーコアによるクロストークの抑制（第１コアに取り込まれた光が、第１コアの第１一側面で反射した後、第１コアの第１他側面から漏れる態様）を説明する図である。 図６Ａ～図６Ｄは、図１に示す光導波路の変形例であり、図６Ａが、ダミーコアが、第１コアおよび第２コアに比べて、短い変形例（ダミーコアの長手方向一方面が長手方向他方側に退避する態様）、図６Ｂが、ダミーコアが、第１コアおよび第２コアに比べて、短い変形例（ダミーコアの長手方向他方面が長手方向一方側に退避する態様）、図６Ｃが、ダミーコアが、第１コアおよび第２コアに比べて、長い変形例（ダミーコアの長手方向他方面が長手方向他方側に進出する態様）、図６Ｄが、ダミーコアが、第１コアおよび第２コアに比べて、長い変形例（ダミーコアの長手方向一方面が長手方向一方側に進出する態様）を示す。 図７Ｅ～図７Ｈは、図６Ｄに引き続き、図１に示す光導波路の変形例であり、図７Ｅが、ダミー一側面が直行面である変形例、図７Ｆが、ダミー一側面およびダミー他側面のそれぞれでは、長手方向一端部および他端部が、直行面である変形例、図７Ｇが、ダミー一側面およびダミー他側面において、長手方向他方側半分が、直行面である変形例、図７Ｈが、ダミー一側面およびダミー他側面において、長手方向一方側半分が、直行面である変形例を示す。 図８Ｉ～図８Ｍは、図７Ｈに引き続き、図１に示す光導波路の変形例であり、図８Ｉが、ダミー一側面およびダミー他側面のそれぞれが、湾曲面である変形例、図８Ｊが、ダミー一側面およびダミー他側面のそれぞれが、直行面および２種類の傾斜面を有する変形例、図８Ｋが、ダミー一側面およびダミー他側面のそれぞれが、２種類の傾斜面を有する変形例、図８Ｌが、ダミー一側面およびダミー他側面のそれぞれが、直行面、傾斜面および湾曲面を有する変形例、図８Ｍが、ダミーコアが複数設けられる変形例を示す。 図９は、光導波路におけるダミーコアおよびオーバークラッド層の界面が凹凸面であり、混合層が設けられる変形例を示す。 変形例の光導波路の平面図を示す。 図１０に示す光導波路のダミーコアによるクロストークの抑制を説明する図である。 図１２は、図１に示す光導波路を備える光電気混載基板の一実施形態を示す。 図１３は、図１２に示す光電気混載基板の拡大平面図を示す。 図１４Ａおよび図１４Ｂは、図１２および図１３に示す光電気混載基板の幅方向に沿う断面図であり、図１４Ａが、Ａ－Ａ線に沿う断面図、図１４Ｂが、Ｂ－Ｂ線に沿う断面図を示す。

　（光導波路）
　本発明の光導波路の一実施形態を図１～図５を参照して説明する。

　図１において、紙面左右方向は、後述する光導波路１の長手方向（光の伝送方向、第１方向）である。紙面右側は、長手方向一方側（伝送方向下流側、第１方向一方側）であり、紙面左側は、長手方向他方側（伝送方向上流側、第１方向他方側）である。

　図１において、紙面上下方向は、光導波路の幅方向（伝送方向に直交する方向、後述する第１コア５および第２コア６の隣接方向の一例、第１方向に直交する第２方向）である。紙面上側は、幅方向一方側（第２方向一方側）であり、紙面下側は、幅方向他方側（第２方向他方側）である。

　具体的には、方向は、各図の方向矢印に準拠する。

　これらの方向の定義により、光導波路１、光電気混載基板３０、光電気混載モジュール５５（後述）の製造時および使用時の向きを限定する意図はない。

　また、以降の各図は、各部材の角度、寸法などが、本願発明を容易に理解するために誇張して描画され、正確に表されていない場合を含む。

　なお、図１、図３～図５において、オーバークラッド層４（後述）は、第１コア５、第２コア６およびダミーコア７（後述）の相対配置を明確に示すため、省略している。

　図１および図２に示すように、この光導波路１は、長手方向に延びる平面視（「厚み方向に投影したときに」と同義）略矩形平板形状を有する。光導波路１は、光を長手方向一方側から他方側に伝送する。

　光導波路１は、例えば、ストリップ型光導波路である。また、光導波路１は、クラッドの一例としてのアンダークラッド層２と、コア層３と、クラッドの一例としてのオーバークラッド層４とを上側に向かって順に備える。詳しくは、光導波路１は、アンダークラッド層２と、アンダークラッド層２の上面に配置されるコア層３と、アンダークラッド層２の上面に、コア層３を被覆するように配置されるオーバークラッド層４とを備える。光導波路１は、好ましくは、アンダークラッド層２と、コア層３と、オーバークラッド層４とのみからなる。

　アンダークラッド層２は、長手方向に延びる略矩形板形状を有する。具体的には、アンダークラッド層２は、長手方向に互いに間隔を隔てて対向するアンダー側長手方向一方面２２およびアンダー側長手方向他方面２１と、アンダー側長手方向他方面２２およびアンダー側長手方向一方面２１の幅方向一端縁を連結するアンダー側幅方向一方面２３と、アンダー側長手方向他方面２２およびアンダー側長手方向一方面２１の幅方向他端縁を連結するアンダー側幅方向他方面２４とを有する。

　アンダークラッド層２の材料としては、例えば、透明性を有する樹脂、好ましくは、絶縁性および透明性を有する樹脂が挙げられ、具体的には、エポキシ樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン樹脂などが挙げられる。アンダークラッド層２の厚みは、例えば、２μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、６００μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。

　コア層３は、アンダークラッド層２の上面に接触している。コア層３は、幅方向（長手方向および厚み方向に直交する方向）に互いに間隔を隔てて複数並列配置されている。具体的には、コア層３は、幅方向に互いに間隔を隔てて隣接する第１コア５および第２コア６と、第１コア５および第２コア６の間に位置するダミーコア７とを備える。

　第１コア５は、第１コア５および第２コア６のうち、幅方向一方側に位置する。第１コア５は、正断面視（長手方向に直交する面で切断した断面視）略矩形状を有する。また、第１コア５は、長手方向に沿う平面視略直線形状（より具体的には、矩形状）を有する。

　具体的には、第１コア５は、第１下面５１と、第１上面５２と、第１対向面の一例としての第１一側面５３と、第１対向面の一例としての第１他側面５４とを連続して有する。

　第１下面５１は、第１コア５の下面であって、平面である。第１下面５１は、アンダークラッド層２の上面に接触する。

　第１上面５２は、第１コア５の上面であって、平面である。第１上面５２は、第１下面５１の上側に間隔を隔てて対向配置されている。第１上面５２は、第１下面５１に平行する。

　第１一側面５３は、第１下面５１および第１上面５２の幅方向一端縁を連結する。第１一側面５３は、長手方向に沿う平面である。

　第１他側面５４は、第１下面５１および第１上面５２の幅方向他端縁を連結する。第１他側面５４は、第１一側面５３に平行し、長手方向に沿う平面である。第１他側面５４は、第１一側面５３に対して対向配置される。

　第２コア６は、第１コア５の幅方向他方側に、少なくともダミーコア７が配置される領域を隔てて配置される。第２コア６は、第１コア５と同一の正断面視形状を有する。また、第２コア６は、第１コア５に変更する平面視略直線形状（より具体的には、矩形状）を有する。具体的には、第２コア６は、第２下面６１と、第２上面６２と、第２対向面の一例としての第２一側面６３と、第２対向面の一例としての第２他側面６４とを連続して有する。第２下面６１は、第１下面５１と同一平面上にある。第２上面６２は、幅方向に投影したときに、第１上面５２と重複する。第２一側面６３は、幅方向において、第１他側面５４に面する。第２他側面６４は、第２一側面６３に対向配置される。

　また、第１コア５および第２コア６のそれぞれの長手方向一方面は、アンダークラッド層２のアンダー側長手方向一方面２２と面一である。また、第１コア５および第２コア６のそれぞれの長手方向他方面は、アンダークラッド層２のアンダー側長手方向他方面２１と面一である。

　ダミーコア７は、第１コア５および第２コア６の間に位置する。具体的には、ダミーコア７は、第１コア５および第２コア６の間において、それらと幅方向（第１コア５および第２コア６の隣接方向）に間隔を隔てて配置されている。ダミーコア７は、正断面視略矩形状を有する。ダミーコア７は、平面視において、長手方向他方側から一方側に向かって次第に幅方向長さが増大するテーパ形状を有する。

　ダミーコア７は、ダミー下面７１と、ダミー上面７２と、対向面の一例としてのダミー一側面７３と、反対面の一例としてのダミー他側面７４とを連続して有する。

　ダミー下面７１は、第１下面５１および第２下面６１と同一平面上にある。ダミー下面７１は、ダミーコア７の下面であって、平面である。ダミー下面７１は、アンダークラッド層２の上面に接触する。

　ダミー上面７２は、幅方向に投影したときに、第１上面５２および第２上面６２と重複する。ダミー上面７２は、ダミーコア７の上面であって、平面である。ダミー上面７２は、ダミー下面７１の上側に間隔を隔てて対向配置されている。ダミー上面７２は、ダミー下面７１に平行する。

　ダミー一側面７３は、ダミー下面７１およびダミー上面７２の幅方向一端縁を連結する。ダミー一側面７３は、第１コア５に対向する。より具体的には、ダミー一側面７３は、第１他側面５４に面する。ダミー一側面７３は、長手方向一方側に向かうに従って、幅方向一方側に傾斜する第２傾斜面７５である。つまり、ダミー一側面７３は、長手方向一方側に向かうに従って、第１コア５に近づく。ダミー一側面７３は、平面である。

　ダミー一側面７３の長手方向に対する傾斜角α１は、例えば、０．００５度以上、好ましくは、０．００７度以上であり、また、例えば、１度以下、好ましくは、０．０５度以下である。傾斜角α１は、ダミー一側面７３の長手方向一端縁から他方側に直行する（第１他側面５４と平行する）仮想平面Ｉ１とダミー一側面７３とが成す角であり、また、ダミー一側面７３の長手方向他端縁から一方側に直行する（第１他側面５４と平行する）仮想平面Ｉ２とダミー一側面７３とが成す角である。

　ダミー一側面７３の傾斜角α１が上記した下限以上であれば、ダミー一側面７３における光の入射角（後述）を確実に大きくすることができる。

　ダミー一側面７３の傾斜角α１が上記した上限以下であれば、ダミーコア７および第１コア５の幅方向における間隔を確実に確保することができる。

　なお、ダミー一側面７３は、その延長仮想面（図示せず）が、第１他側面５４および第２一側面６３の両方の延長仮想面（図示せず）に交差する。

　ダミー他側面７４は、ダミー下面７１およびダミー上面７２の幅方向他端縁を連結する。ダミー他側面７４は、第２コア６に対向する。また、ダミー他側面７４は、ダミー一側面７３に対して第１コア５の反対側に位置する。ダミー他側面７４は、長手方向一方側に向かうに従って、幅方向他方側に傾斜する傾斜面の一例としての第１傾斜面７６である。
つまり、ダミー他側面７４は、長手方向一方側に向かうに従って、第１コア５から遠ざかる。換言すれば、ダミー他側面７４は、長手方向一方側に向かうに従って、第２コア６に近づく。ダミー他側面７４は、平面である。なお、ダミー他側面７４は、その延長仮想面（図示せず）が、第１他側面５４および第２一側面６３の両方の延長仮想面（図示せず）に交差する。

　ダミー他側面７４の長手方向に対する傾斜角α２は、例えば、０．００５度以上、好ましくは、０．００７度以上であり、また、例えば、１度以下、好ましくは、０．０５度以下である。傾斜角α２は、ダミー他側面７４の長手方向一端縁から他方側に直行する（第２一側面６３に平行する）仮想平面Ｉ３とダミー他側面７４とが成す角であり、また、ダミー他側面７４の長手方向他端縁から一方側に直行する（第２一側面６３に平行する）仮想平面Ｉ４とダミー他側面７４とが成す角である。

　ダミー他側面７４の傾斜角α２が上記した下限以上であれば、ダミー他側面７４における入射角β（後述する臨界角β１（図３参照）、β２（図４参照）、β３（図５参照）など）を確実に大きくすることができる。

　ダミー他側面７４の傾斜角α２が上記した上限以下であれば、ダミーコア７および第２コア６の幅方向における間隔を確実に確保することができる。

　また、ダミーコア７の長手方向一方面は、第１コア５および第２コア６の長手方向一方面と幅方向において面一である。また、ダミーコア７の長手方向他方面は、第１コア５および第２コア６の長手方向他方面と幅方向において面一である。そのため、ダミーコア７の長手方向長さＬ１は、第１コア５および第２コア６の長手方向長さＬ０と同一である。

　コア層３の厚みは、第１コア５における第１下面５１および第１上面５２間の距離であり、また、第２コア６における第２下面６１および第２上面６２間の距離であり、さらに、ダミーコア７におけるダミー下面７１およびダミー上面７２間の距離Ｔである。

　また、ダミー下面７１およびダミー上面７２間の距離Ｔは、ダミー一側面７３の上端縁および下端縁間の長さＴ、および、ダミー他側面７４の上端縁および下端縁間の長さＴであって、要するに、ダミーコア７の厚みＴである。ダミーコア７の厚みＴは、例えば、長手方向にわたって、同一である。

　コア層３の厚みは、例えば、５μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、７０μｍ以下である。

　ダミー一側面７３およびダミー他側面７４の長手方向他端縁間の距離Ｌ６（対向長さ）は、ダミー上面７２（ダミー下面７１）の長手方向他端縁の幅方向長さであって、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。

　ダミー一側面７３およびダミー他側面７４の長手方向一端縁間の距離Ｌ７（対向長さ）は、ダミー上面７２（ダミー下面７１）の長手方向一端縁の幅方向長さであって、ダミー上面７２（ダミー下面７１）の長手方向他端縁の幅方向長さＬ６に比べて長く、ダミー上面７２（ダミー下面７１）の長手方向他端縁の幅方向長さＬ６に対して、例えば、１０１％以上、好ましくは、１０３％以上であり、また、例えば、１２５％以下、好ましくは、１１０％以下である。

　ダミー一側面７３の長手方向他端縁と、第１コア５との距離（最短距離）（対向面の伝送方向上流側端縁の、第１コアに対する隣接方向距離の一例）Ｌ２は、例えば、５μｍ以上であり、また、例えば、４０μｍ以下である。Ｌ２が上記した下限以上であれば、ダミー一側面７３の長手方向他端縁が、第１コア５が過度に近づくことを防止できる。Ｌ２が上記した上限以下であれば、第１コア５から漏れる光をダミー一側面７３を介してダミーコア７の内部に効率的に迎え入れることができる。

　ダミー他側面７４の長手方向他端縁と、第２コア６との距離（最短距離）Ｌ３は、上記したＬ２と同一である。

　ダミー一側面７３の長手方向一端縁と、第１コア５との距離（最短距離）Ｌ４は、上記したＬ２および傾斜角α１に応じて適宜設定される。ダミー他側面７４の長手方向一端縁と、第２コア６との距離（最短距離）Ｌ５は、上記したＬ３および傾斜角α２に応じて適宜設定される。

　コア層３の屈折率は、アンダークラッド層２の屈折率に対して高く設定されている。コア層３の材料は、上記した屈折率を満足する材料から選択され、具体的には高い屈折率と、優れた絶縁性および透明性を有する樹脂が選択され、具体的には、アンダークラッド層２で例示した樹脂から選択される。

　オーバークラッド層４は、コア層３を被覆する。具体的には、オーバークラッド層４は、第１コア５の第１上面５２、第１一側面５３および第１他側面５４と、第２コア６の第２上面６２、第２一側面６３および第２他側面６４と、ダミーコア７のダミー上面７２、ダミー一側面７３およびダミー他側面７４とを被覆する。また、オーバークラッド層４は、平面視において、コア層３と重複しないアンダークラッド層２の上面を被覆する。さらに、オーバークラッド層４は、第１コア５およびダミーコア７と、ダミーコア７および第２コア６の間に充填されている。

　オーバークラッド層４は、平面視において、アンダークラッド層２の外形形状と同一の外形形状を有する。オーバークラッド層４は、先後方向に延びる略シート（平板）形状を有する。具体的には、オーバークラッド層４は、長手方向に互いに間隔を隔てて対向するオーバー側長手方向一方面４２およびオーバー側長手方向他方面４１を有する。

　オーバークラッド層４の屈折率は、コア層３の屈折率に対して低く設定されている。好ましくは、オーバークラッド層４の屈折率は、アンダークラッド層２の屈折率と同一である。オーバークラッド層４の材料は、上記した屈折率を満足する材料から選択され、具体的には低い屈折率と、優れた絶縁性および透明性とを有する樹脂が選択され、具体的には、アンダークラッド層２と同一の樹脂が選択される。オーバークラッド層４の厚みは、例えば、２μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、６００μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。

　次に、この光導波路１を製造する方法を説明する。光導波路１を製造するには、例えば、上記した樹脂を含む感光性樹脂組成物を、図示しない剥離シートの表面に塗布し、その後、フォトリソグラフィ法によって、アンダークラッド層２を形成する。

　続いて、上記した樹脂を含む感光性樹脂組成物を、アンダークラッド層２の上面に塗布し、その後、フォトリソグラフィ法によって、第１コア５、第２コア６およびダミーコア７を備えるコア層３を形成する。

　その後、上記した樹脂を含む感光性樹脂組成物を、アンダークラッド層２の上面に、コア層３を被覆するように塗布し、その後、フォトリソグラフィ法によって、オーバークラッド層４を形成する。

　その後、剥離シートをアンダークラッド層２から剥離する。

　これによって、光導波路１を製造する。

　図１の仮想線で示されるように、この光導波路１は、光素子の一例としての入射装置８、および、受光装置９と光学的に接続される。

　入射装置８は、第１コア５および第２コア６の長手方向他端面に対向するように配置される。受光装置９は、第１コア５および第２コア６の長手方向一端面と対向するように配置される。

　入射装置８から出た光は、第１コア５および第２コア６の長手方向他端面から、第１コア５および第２コア６内に進入し、第１コア５および第２コア６のそれぞれを長手方向他方側から一方側に向かって伝送され、第１コア５および第２コア６の長手方向一端面から出射され、受光装置９に受光される。

　詳しくは、第１コア５の屈折率は、アンダークラッド層２およびオーバークラッド層４の屈折率に比べて高いことから、第１下面５１、第１上面５２、第１一側面５３および第１他側面５４で全反射し易く、そのため、光は、第１コア５の内部を長手方向一方側に向かって進み、受光装置９に至る。このことは、第２コア６についても同様である。

　一方、図３に示すように、入射装置８から出射された光の一部は、第１コア５に至ることなく、オーバークラッド層４を、長手方向一方側斜め幅方向他方に向かう場合がある。
そのような光は、オーバークラッド層４からダミーコア７内に進入する。

　具体的には、入射装置８から出射された光は、第１コア５およびダミーコア７の間のオーバークラッド層４を透過し、続いて、ダミーコア７のダミー一側面７３を透過して、ダミーコア７の内部に至る。続いて、かかる光は、ダミー他側面７４に至るが、ダミー他側面７４は、長手方向一方側に向かうに従って、第１コア５から遠ざかるように傾斜する第１傾斜面７６である。そのため、かかる光の進行方向（破線）と、第１傾斜面７６の法線（一点破線）との成す角β１、つまり、光の入射角β１を、特許文献１に記載されるような平行面９０（仮想線）の法線と光の進行方向との成す角γ１に比べて、大きくすることができる。そのため、臨界角以上でダミー他側面７４に至る光の割合を、特許文献１の光導波路に比べて、多くすることができる。

　また、図４に示すように、入射装置８から出射され、第１コア５に進入したものの、第１他側面５４を透過して、長手方向一方側斜め幅方向他方に向かう場合がある。そのような光も、上記と同様にして、オーバークラッド層４からダミーコア７内に取り込まれる。
詳しくは、第１他側面５４を透過した光の進行方向（破線）と、傾斜面の法線（１点破線）との成す角β２、つまり、光の入射角β２を、特許文献１に記載されるような平行面９０（仮想線）の法線と光の進行方向との成す角γ２に比べて、大きくすることができる。
そのため、臨界角以上で傾斜面（ダミー他側面７４）に至る光の割合を、特許文献１の光導波路に比べて、多くすることができる。

　さらには、図５に示すように、入射装置８から出射され、第１コア５において、第１一側面５３で反射しても、その後、第１他側面５４を透過して、第１コア５を長手方向一方側斜め幅方向他方に向かう場合もある。そのような光も、上記と同様にして、ダミーコア７内に取り込まれる。詳しくは、第１一側面５３で反射し、その後、第１他側面５４を透過した光の進行方向（破線）と、傾斜面の法線（１点破線）との成す角β３、つまり、光の入射角β３を、特許文献１に記載されるような平行面９０（仮想線）の法線と光の進行方向との成す角γ３に比べて、大きくすることができる。そのため、臨界角以上で傾斜面（ダミー他側面７４）に至る光の割合を、特許文献１の光導波路に比べて、多くすることができる。

　その結果、ダミー他側面７４において、全反射する光の割合を多くすることができる。換言すれば、ダミー他側面７４を透過して、第２コア６に向かう光の割合を少なくすることができる。

　従って、この光導波路１は、クロストークの抑制効果に優れる。そのため、この光導波路１は、伝送信頼性に優れる。

　さらに、ダミー他側面７４において反射した光は、再度、ダミー一側面７３に至るが、ダミー一側面７３は、長手方向一方側に向かうに従って、第１コア５に近づくように傾斜する第２傾斜面７５である。そのため、かかる光の進行方向と、第２傾斜面７５の法線との成す角、つまり、光の入射角を、特許文献１に記載されるような平行面に比べて、大きくすることができる。そのため、臨界角以上でダミー一側面７３に至る光の割合を、特許文献１の光導波路に比べて、多くすることができる。

　そのため、この光導波路１では、ダミーコア７の内部に進入した光を、ダミーコア７の内部に有効に閉じ込めることができる。

　なお、第１コア５や入射装置８から漏れた後、ダミーコア７に一旦取り込まれた光が、第１コア５に再び戻ることは、かかる光は、光学特性（例えば、位相など）が変動していることから、好ましくない。

　従って、この光導波路１では、上記した光が第１コア５に戻らず、ダミーコア７に閉じ込めるので、光学特性に優れる。

　（光導波路の変形例）
　以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例を適宜組み合わせることができる。さらに、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

　図６Ａ～図８Ｍおよび図１０～図１３において、オーバークラッド層４は、第１コア５、第２コア６およびダミーコア７の相対配置を明確に示すため、省略している。

　なお、図７Ｆ～図７Ｈおよび図８Ｊ～図８Ｌに示される黒丸（黒点）は、種類の異なる２面の境界を示すものであり、黒丸自体がその形状を表すものではない。

　ダミーコア７は、第１傾斜面７６を有していれば、その形状、寸法および数は、特に限定されず、例えば、図６Ａ～図８Ｍに示す形状、寸法および数を有することができる。

　図６Ａおよび図６Ｂに示すように、ダミーコア７の長さ（長手方向長さ）Ｌ１は、第１コア５および第２コア６の長さ（長手方向長さ）Ｌ０に比べて、短い。

　図６Ａに示すように、ダミーコア７の長手方向一方面は、第１コア５および第２コア６の長手方向一方面に比べて、長手方向他方側に後退（退避）している。

　図６Ｂに示すように、ダミーコア７の長手方向他方面は、第１コア５および第２コア６の長手方向他方面に比べて、長手方向一方側に後退（退避）している。

　ダミーコア７の長さＬ１の、第１コア５および第２コア６の長さＬ０に対する（割合）百分率は、例えば、５０％超過、好ましくは、７５％以上、より好ましくは、９０％以上であり、また、例えば、１００％未満である。Ｌ１のＬ０に対する割合が上記した下限を上回れば、ダミーコア７によるクロストークの抑制効果をより一層向上させることができる。

　なお、図６Ａおよび図６Ｂでは、ダミーコア７の長さＬ１が、第１コア５および第２コア６の長さＬ０に比べて短い例を示すが、例えば、図６Ｃおよび図６Ｄに示す変形例では、第１コア５および第２コア６の長さＬ０より長い。

　図６Ｃに示すように、例えば、ダミーコア７の長手方向他方面を、第１コア５および第２コア６の長手方向他方面に対して、長手方向他方側に進出させる。一方、第１コア５および第２コア６の長手方向他方面は、オーバークラッド層４に被覆されている。つまり、第１コア５および第２コア６の長手方向他方面は、オーバークラッド層４のアンダー側長手方向他方面２１に対して、長手方向一方側に配置される。なお、第１コア５および第２コア６の長手方向他方面は、ミラー面２７（後述）である。

　一方、図６Ｄに示すように、ダミーコア７の長手方向一方面を、第１コア５および第２コア６の長手方向一方面に対して、長手方向一方側に進出させる。一方、第１コア５および第２コア６の長手方向一方面は、オーバークラッド層４に被覆されている。つまり、第１コア５および第２コア６の長手方向一方面は、オーバークラッド層４のアンダー側長手方向他方面２２に対して、長手方向他方側に配置される。なお、第１コア５および第２コア６の長手方向一方面は、ミラー面２７（後述）である。

　図６Ｃおよび図６Ｄに示す変形例において、ダミーコア７の長さＬ１の、第１コア５および第２コア６の長さＬ０に対する百分率は、例えば、１５０％以下、好ましくは、１２５％以下、より好ましくは、１１０％以下であり、また、例えば、１００％超過である。

　図７Ｅに示すように、ダミーコア７において、ダミー一側面７３は、第２傾斜面７５（図１参照）ではなく、第１コア５に平行する直行面７７である。

　一方、図１に示す一実施形態は、図７Ｅに示す変形例に比べて、好適である。図１に示す一実施形態は、ダミーコア７の内部において伝送方向下流側に進行する光において、第２傾斜面７５であるダミー一側面７３における全反射する光の割合を、ダミー一側面７３が直行面７７である図７Ｅの変形例に比べて、高めることができる。

　そのため、図１に示す一実施形態は、図７Ｅに示す変形例に比べて、光がダミーコア７から第１コア５に戻ることによる光学特性（位相など）の変動を抑制して、光学信頼性に優れる。

　図７Ｆ～図７Ｈに示すように、ダミー一側面７３およびダミー他側面７４のそれぞれは、第２傾斜面７５および第１傾斜面７６のそれぞれを部分的に有する。

　図７Ｆに示すように、ダミー他側面７４の長手方向中央部が、第１傾斜面７６である。ダミー他側面７４の長手方向一端部および他端部のそれぞれは、第１傾斜面７６の長手方向一端および他端に連続し、第２コア６に平行する直行面７７である。

　また、ダミー一側面７３の長手方向中央部が、第２傾斜面７５である。ダミー一側面７３の長手方向一端部および他端部のそれぞれは、第２傾斜面７５の長手方向一端および他端に連続し、第１コア５に平行する直行面７７である。

　図７Ｇに示すように、ダミー他側面７４において、長手方向他方側半分は、直行面７７であり、長手方向一方側半分は、第１傾斜面７６である。ダミー一側面７３において、長手方向他方側半分は、直行面７７であり、長手方向一方側半分は、第２傾斜面７５である。

　図７Ｈに示すように、ダミー他側面７４において、長手方向他方側半分は、第１傾斜面７６であり、長手方向一方側半分は、直行面７７である。ダミー一側面７３において、長手方向他方側半分は、第２傾斜面７５であり、長手方向一方側半分は、直行面７７である。

　図７Ｇおよび図７Ｈでは、ダミー他側面７４において、直行面７７および第１傾斜面７６の交線は、１つである。一方、図７Ｆでは、ダミー他側面７４において、直行面７７および第２傾斜面７５の交線は、２つである。

　図７Ｇおよび図７Ｈでは、ダミー一側面７３において、直行面７７および第２傾斜面７５の交線は、１つである。一方、図７Ｆでは、ダミー一側面７３において、直行面７７および第２傾斜面７５の交線は、２つである。

　図１に示す一実施形態は、図７Ｆ～図７Ｈに示す変形例に比べて好適である。図１に示す一実施形態のダミー他側面７４では、長手方向の全部が第１傾斜面７６であり、また、ダミー一側面７３では、長手方向の全部が第２傾斜面７５である。さらに、図１のダミーコア７では、ダミー他側面７４およびダミー一側面７３のそれぞれにおいて交線がない一方、図７Ｆ～図７Ｈでは、交線がある。

　そのため、図１に示す一実施形態は、図７Ｆ～図７Ｈに示す変形例に比べて、ダミーコア７の構成が簡単であり、製造方法が簡便である。

　図８Ｉに示すように、ダミー一側面７３およびダミー他側面７４のそれぞれは、湾曲面７８である。

　なお、湾曲面７８は、長手方向に対する傾斜度が長手方向において連続的に変化する面である。例えば、湾曲面７８は、長手方向一方側に進むに従って傾斜度が増大する。なお、ダミー他側面７４の湾曲面７８、および、ダミー一側面７３の湾曲面７８のそれぞれは、本発明の「傾斜面」および「第２傾斜面」に含まれる。

　図８Ｊに示すように、ダミー他側面７４は、直行面７７と、２種類の第１傾斜面７６とを、長手方向一方側に向かって順に有する。２種類の第１傾斜面７６は、直行面７７に連結し、長手方向他方側に位置する他方側第１傾斜面８１と、その長手方向一方側に位置する一方側第１傾斜面８２とを有する。一方側第１傾斜面８２の長手方向に対する傾斜角は、他方側第１傾斜面８１の長手方向に対する傾斜角に比べて、例えば、大きい。

　ダミー一側面７３は、直行面７７と、２種類の第２傾斜面７５とを、長手方向一方側に向かって順に有する。２種類の第２傾斜面７５は、直行面７７に連結し、長手方向他方側に位置する他方側第２傾斜面７９と、その長手方向一方側に位置する一方側第２傾斜面８０とを有する。一方側第２傾斜面８０の長手方向に対する傾斜角は、他方側第２傾斜面７９の長手方向に対する傾斜角に比べて、例えば、大きい。

　図８Ｋに示すように、ダミー他側面７４は、２種類の第１傾斜面７６（他方側第１傾斜面８１および一方側第１傾斜面８２）のみからなる。ダミー一側面７３は、直行面７７（図８Ｊ参照）を有さず、２種類の第２傾斜面７５（他方側第２傾斜面７９および一方側第２傾斜面８０）のみからなる。

　図８Ｋの変形例は、図８Ｊの変形例に比べて、好適である。図８Ｋの変形例のダミー他側面７４では、長手方向の全部が第１傾斜面７６である。さらに、図８Ｋのダミーコア７では、ダミー他側面７４およびダミー一側面７３のそれぞれにおいて交線が１つである一方、図８Ｊでは、交線が２つである。

　そのため、図８Ｋの変形例は、図８Ｊの変形例に比べて、ダミーコア７の構成が簡単であり、製造方法が簡便である。

　図８Ｌに示すように、ダミー他側面７４は、直行面７７、第１傾斜面７６および湾曲面７８を長手方向一方側に向かって順に有する。ダミー一側面７３は、直行面７７、第２傾斜面７５および湾曲面７８を長手方向一方側に向かって順に有する。

　図８Ｍに示すように、ダミーコア７を複数（例えば、２つ）設けることもできる。

　複数のダミーコア７のそれぞれは、第１コア５および第２コア６の間に位置する。複数のダミーコア７は、幅方向（第１コア５および第２コア６の隣接方向）に互いに間隔を隔てて配置されている。

　図８Ｍに示す変形例では、第１コア５および第２コア６の間隔が広い場合、具体的には、上記したＬ２～Ｌ５が大きい場合であり、この場合には、第１コア５から漏れ出た光に起因するクロストークを、複数のダミーコア７によって、より一層有効に抑制することができる。

　図２に示すように、一実施形態では、ダミーコア７のオーバークラッド層４に対する界面（具体的には、ダミー上面７２、ダミー一側面７３、ダミー他側面７４）は、平面である。しかし、図９に示すように、この変形例では、ダミーコア７において、オーバークラッド層４に対する界面が微細な凹凸を有する（凹凸面である）。界面の最大谷深さＺｖ（ＪＩＳ　Ｂ　０６０１）は、適宜設定される。

　そして、この場合には、ダミーコア７は、コア層３の材料とオーバークラッド層４の材料とを含有する混合層２５を備える。

　そして、混合層２５は、ダミーコア７のオーバークラッド層４に対する界面において設けられている。具体的には、混合層２５は、ダミー上面７２、ダミー一側面７３およびダミー他側面７４の内側に薄層として形成されている。混合層２５の材料は、ダミーコア７の材料とオーバークラッド層４の材料との混合物である。混合層２５の屈折率は、コア層３の内部の屈折率と、オーバークラッド層４の屈折率との間の範囲にある。なお、ダミーコア７の内部（混合層２５より内部）の屈折率は、オーバークラッド層４の屈折率より高く、具体的には、オーバークラッド層４の屈折率１００％に対して、例えば、１００．１％以上、好ましくは、１０１％以上である。

　そして、混合層２５の厚みは、上記した界面の最大谷深さＺｖを超過する。

　上記した界面が、微細な凹凸を有する場合には、かかる界面において、光が散乱してしまい、そのため、ダミーコア７によるクロストークの抑制効果が低減する傾向にある。

　しかし、図９に示す光導波路１では、混合層２５の厚みが、界面の最大谷深さＺｖを超過する。そのため、ダミーコア７の内部における光が、上記した界面に至る前に、アンダークラッド層２の材料およびオーバークラッド層４の材料を含有し、コア層３の屈折率より高い屈折率を有する混合層２５によって、閉じ込めることができる。そのため、この光導波路１では、依然として、クロストークの抑制効果に優れる。

　また、図１に示すように、一実施形態では、第１コア５は、２つの対向面の一例である第１一側面５３および第１他側面５４が平行する平面視略矩形状を有し、第２コア６は、２つの対向面の一例である第２一側面６３および第２他側面６４が平行する平面視略矩形状を有する。

　一方、図１０に示すように、このの変形例では、第１コア５は、平面視において、長手方向他方側から一方側に向かって次第に幅方向長さが短くなるテーパ形状を有する。

　第１コア５において、第１一側面５３および第１他側面５４のそれぞれが、第１コア傾斜面の一例である一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７のそれぞれを有する。

　具体的には、第１一側面５３の全部は、一方側第１コア傾斜面５６である。一方側第１コア傾斜面５６は、長手方向一方側に向かうに従って、アンダー側幅方向一方面２３から遠ざかるように傾斜する。

　第１他側面５４の全部は、他方側第１コア傾斜面５７である。他方側第１コア傾斜面５７は、長手方向一方側に向かうに従って、アンダー側幅方向一方面２３に近づくように傾斜する。

　これによって、一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７のそれぞれの延長仮想面（図示せず）は、光導波路１の長手方向一方側において交差する。

　一方側第１コア傾斜面５６の長手方向に対する傾斜角ε１は、例えば、０．００２度以上、好ましくは、０．００５度以上であり、また、例えば、０．１度以下、好ましくは、０．０５度以下である。傾斜角ε１は、一方側第１コア傾斜面５６の長手方向一端縁から他方側に直行する仮想平面Ｉ５と一方側第１コア傾斜面５６との成す角であり、また、一方側第１コア傾斜面５６の長手方向他端縁から一方側に直行する仮想平面Ｉ６と一方側第１コア傾斜面５６との成す角である。

　他方側第１コア傾斜面５７の長手方向に対する傾斜角ε２は、一方側第１コア傾斜面５６の長手方向に対する傾斜角ε１と同一または相異なっていてもよい。他方側第１コア傾斜面５７の長手方向に対する傾斜角ε２は、例えば、０．００２度以上、好ましくは、０．００５度以上であり、また、例えば、０．１度以下、好ましくは、０．０５度以下である。傾斜角ε２は、他方側第１コア傾斜面５７の長手方向一端縁から他方側に直行する仮想平面Ｉ７と他方側第１コア傾斜面５７との成す角であり、また、他方側第１コア傾斜面５７の長手方向他端縁から一方側に直行する仮想平面Ｉ８と他方側第１コア傾斜面５７との成す角である。

　一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７の長手方向他端縁間の距離Ｌ８（対向長さ）は、一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７の長手方向一端縁間の距離Ｌ９（対向長さ）に対して、長い。Ｌ８のＬ９に対する百分率は、例えば、１０１％以上、好ましくは、１０３％以上であり、また、例えば、１０００％以下、好ましくは、５００％以下である。

　第２コア６は、第１コア５と同一の形状、面、寸法を有する。第２コア６において、第２対向面の一例としての第２一側面６３および第２他側面６４のそれぞれは、第２コア傾斜面の一例としての一方側第２コア傾斜面６６および他方側第２コア傾斜面６７のそれぞれである。

　他方側第２コア傾斜面６７は、長手方向一方側に向かうに従って、アンダー側幅方向他方面２４から遠ざかるように傾斜する。一方側第２コア傾斜面６６は、長手方向一方側に向かうに従って、アンダー側幅方向他方面２４に近づくように傾斜する。

　一方側第２コア傾斜面６６の長手方向に対する傾斜角ε３は、一方側第１コア傾斜面５６の長手方向に対する傾斜角ε１と同一または同一または相異なっていてもよい。一方側第２コア傾斜面６６の長手方向に対する傾斜角ε３は、例えば、０．００２度以上、好ましくは、０．００５度以上であり、また、例えば、０．１度以下、好ましくは、０．０５度以下である。傾斜角ε３は、一方側第２コア傾斜面６６の長手方向一端縁から他方側に直行する仮想平面Ｉ９と一方側第２コア傾斜面６６との成す角であり、また、一方側第２コア傾斜面６６の長手方向他端縁から一方側に直行する仮想平面Ｉ１０と一方側第２コア傾斜面６６との成す角である。

　他方側第２コア傾斜面６７の長手方向に対する傾斜角ε４は、一方側第２コア傾斜面６６の長手方向に対する傾斜角ε３と同一または相異なっていてもよい。また、他方側第２コア傾斜面６７の長手方向に対する傾斜角ε４は、他方側第１コア傾斜面５７の長手方向に対する傾斜角ε２と同一または相異なっていてもよい。他方側第２コア傾斜面６７の長手方向に対する傾斜角ε４は、例えば、０．００２度以上、好ましくは、０．００５度以上であり、また、例えば、０．１度以下、好ましくは、０．０５度以下である。傾斜角ε４は、他方側第２コア傾斜面６７の長手方向一端縁から他方側に直行する仮想平面Ｉ１１と他方側第２コア傾斜面６７との成す角であり、また、他方側第２コア傾斜面６７の長手方向他端縁から一方側に直行する仮想平面Ｉ１２と他方側第２コア傾斜面６７との成す角である。

　一方側第２コア傾斜面６６および他方側第２コア傾斜面６７の長手方向他端縁間の距離Ｌ１０（対向長さ）は、一方側第２コア傾斜面６６および他方側第２コア傾斜面６７の長手方向一端縁間の距離Ｌ１１（対向長さ）に対して、長い。Ｌ１０のＬ１１に対する百分率は、例えば、１０１％以上、好ましくは、１０３％以上であり、また、例えば、１０００％以下、好ましくは、５００％以下である。Ｌ１０のＬ１１に対する百分率は、Ｌ８のＬ９に対する百分率と、同一または相異なっていてもよい。

　図１０に示す光導波路１では、入射装置８を第１コア５における長手方向他端縁に配置し、一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７の長手方向他端縁間の距離Ｌ８（対向長さ）が、一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７の長手方向一端縁間の距離Ｌ９（対向長さ）に対して、長い。要するに、光の入口が、光の出口に対して、広い。そのため、図１１に示すように、入射装置８からの光が、第１コア５の長手方向他端縁から漏れにくく、第１コア５の長手方向他端縁に効率的に入射させることができる。そのため、第１コア５の長手方向他端縁からの漏れに起因するクロストークを予め抑制することができる。

　一方、第１他側面５４が他方側第１コア傾斜面５７であるので、かかる他方側第１コア傾斜面５７から第１コア５の外部に漏れ易い。

　しかし、この光導波路１では、上記したダミーコア７を有するので、かかる光をダミーコア７に進入させ、ダミーコア７内に閉じ込めて、第２コア６に向かう光の割合を少なくすることができる。

　図１０の変形例では、第１一側面５３の全部および第１他側面５４の全部のそれぞれが、一方側第１コア傾斜面５６および他方側第１コア傾斜面５７のそれぞれである。また、第２一側面６３の全部および第２他側面６４の全部のそれぞれが、一方側第２コア傾斜面６６および他方側第２コア傾斜面６７のそれぞれである。

　しかし、図示しないが、第１一側面５３が、一方側第１コア傾斜面５６を部分的に有することができる。第１他側面５４が、他方側第１コア傾斜面５７を部分的に有することができる。第２一側面６３が、一方側第２コア傾斜面６６を部分的に有することができる。
第２他側面６４が、他方側第２コア傾斜面６７を部分的に有することができる。

　さらに、第１一側面５３および第１他側面５４のうち、いずれか一方を直行面にすることができる。また、第２一側面６３および第２他側面６４のうち、いずれか一方を直行面にすることができる。

　さらには、第１コア５を平面視テーパ形状にする一方、第２コア６を平面視略矩形状にすることもできる。

　（光導波路の用途）
　光導波路１の用途は、特に限定されず、種々の装置、好ましくは、各種光学装置に適用される。

　（光電気混載基板および光電気混載モジュール）
　上記した光導波路で説明した各部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

　次に、光導波路１を電気回路基板３１に適用した光電気混載基板３０について図１２～図１４Ｂを参照して説明する。

　図１２および図１３において、オーバークラッド層４は、第１コア５、第２コア６およびダミーコア７の相対配置を明確に示すため、省略している。

　図１２～図１４Ｂに示すように、光電気混載基板１は、先後方向に延びる略平板形状を有する。また、光電気混載基板３０は、光を先後方向に伝送する。光電気混載基板１は、平面視において、略Ｔ字形状を有する。光電気混載基板１は、光素子実装部３２と、光伝送部３３とを連続して備える。

　光素子実装部３２は、光電気混載基板１における後側に位置する。光素子実装部３２は、幅方向に延びる略矩形平板形状を有する。光素子実装部３２には、仮想線で示す光素子３４が実装される。

　光伝送部３３は、光電気混載基板１において、光素子実装部３２の先側に連続して形成されている。具体的には、光伝送部３３は、光素子実装部３２の先端縁の略中央部から先側に向かって延びる略矩形平板（ストリップ）形状を有する。

　光電気混載基板３０は、電気回路基板３１と、光導波路１とを上側に向かって順に備える。

　電気回路基板３１は、光電気混載基板３０の下層を形成する。電気回路基板３１は、光素子実装部３２および光伝送部３３の全てにおいて設けられている。

　電気回路基板３１は、金属支持層３５と、ベース絶縁層３６と、導体層３７と、カバー絶縁層３８とを下側に向かって順に備える。具体的には、電気回路基板４０は、金属支持層３５と、金属支持層３５の下面に配置されるベース絶縁層３６と、ベース絶縁層３６の下面に配置される導体層３７と、ベース絶縁層３６の下面に、導体層３７の一部を被覆するように配置されるカバー絶縁層３８とを備える。金属支持層３５と、ベース絶縁層３６と、導体層３７と、カバー絶縁層３８との材料、厚みなどは、例えば、特開２０１６－１０５１６０号公報、特開２０１５－８７６３４号公報などに記載される。

　なお、金属支持層３５は、光素子実装部３２のみに位置する。金属支持層３５は、複数の開口部３９を有する。複数のそれぞれの開口部３９は、平面視において、後述するミラー面２７を含む。

　光導波路１は、光電気混載基板３０における上層を形成する。光導波路１は、電気回路基板３１の上面全面に配置されている。光導波路１は、図１における長手方向が、図１２に示す先後方向に沿うように、光電気混載基板３０に設けられている。詳しくは、光導波路１は、その長手方向一方側が先側に向き、長手方向他方側が後側に向くように、光電気混載基板３０に配置される。

　光導波路１には、アンダークラッド層２、コア層３およびオーバークラッド層４が、上側に向かって順に配置されている。

　アンダークラッド層２は、金属支持層３５およびベース絶縁層３６の上面を被覆する。アンダークラッド層２の下面は、金属支持層３５およびベース絶縁層３６の上面に追従する形状を有する。

　コア層３は、複数（４つ）の信号コア２６と、それらの間に位置する複数（３つ）のダミーコア７とを独立して備える。

　複数の信号コア２６は、左右方向に間隔を隔てて並列配置されている。複数の信号コア２６のそれぞれの後端面（光の伝送方向上流側端縁の一例）は、ミラー面２７である。

　ミラー面２７は、アンダークラッド層３１の上面に対して４５度の角度を成す斜面（図１３において傾斜が図示されず）である。また、ミラー面２７は、光素子３４から入射する光（光信号）の伝送方向を上下方向から先後方向に変更する光伝送方向変換部材（あるいは光路変換部材）である。つまり、ミラー面２７は、仮想線で示す光素子３４から上側に出射される光を受光する。

　複数の信号コア２６は、上記した第１コア５および第２コア６に対応する。具体的には、複数の信号コア２６のうち、例えば、最も右側に位置する信号コア２６Ａが、第１コア５に対応し、その左側に隣接する信号コア２６Ｂが、第２コア６に対応する。この関係は、右から２番目に位置する信号コア２６Ｂと、右から３番目に位置する信号コア２６Ｃとに適用される。また、上記の関係は、右から３番目に位置する信号コア２６Ｃと、右から４番目に位置する信号コア２６Ｄとにも適用される。

　さらに、第１コア５および第２コア６の対応関係を逆転させることもできる。

　複数のダミーコア７は、信号コア２６とダミーコア７とが、交互に配置されるように、複数の信号コア２６の間に配置される。

　但し、ダミーコア７は、複数の信号コア２６の外側に配置されず、信号コア２６の内側に配置される。つまり、コア層３のうち幅方向最外側（最左側および最右側）には、信号コア２６が配置される。

　ダミーコア７におけるダミー他側面７４は、先側に向かうに従って、第１コア５（例えば、右側から一番目に位置する信号コア２６Ａ）から遠ざかる第１傾斜面７６である。また、ダミーコア７におけるダミー一側面７３は、先側に向かうに従って、第１コア５（例えば、信号コア２６Ａ）に近づく第２傾斜面７５である。

　この光電気混載基板３０を製造するには、例えば、まず、電気回路基板３１を製造する。次いで、電気回路基板３１の上に、例えば、光導波路１を作り込む。具体的には、アンダークラッド層２を、金属支持層３５およびベース絶縁層３６の上面に設け、続いて、複数の信号コア２６および複数のダミーコア７を有するコア層３をアンダークラッド層２の上面に設け、続いて、オーバークラッド層４を、コア層３を被覆するように、設ける。その後、信号コア２６の後端部に対して、レーザ加工または切削加工を施して、ミラー面２７を形成する。

　その後、光電気混載基板３０に光素子３４を実装する。

　複数の光素子３４のそれぞれの出射口が、厚み方向において、複数のミラー面２７と対向するように、複数の光素子３４を光素子実装部３２に実装する。これにより、光素子３４と信号コア２６とが光学的に結合する。

　これにより、電気回路基板３１と、光導波路１と、光素子３４とを備える光電気混載基板３０を得る。

　この光電気混載基板３０は、伝送信頼性に優れる光導波路１を備えるので、光の伝送信頼性に優れる。

　この光電気混載基板３０は、さらに、外部光回路４５と光学的にすることができる。光電気混載基板３０は、外部光回路４５とともに、光電気混載モジュール５５に備えられる。つまり、光電気混載モジュール５５は、光電気混載基板３０と、外部光回路４５とを備える。

　外部光回路４５は、光電気混載基板３０における複数の信号コア２６の先端縁と、光学的に結合する。外部光回路４５は、例えば、上記したアンダークラッド層２、信号コア２６およびオーバークラッド層４と同じ部材を有する。

　この光電気混載モジュール５５は、光の伝送信頼性に優れる光電気混載基板３０を備えるので、信頼性に優れる。

　以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限値（「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限値（「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。

　　実施例１
　図１に記載のアンダークラッド層２、コア層３およびオーバークラッド層４を順次形成して、光導波路１を作製した。

　第１コア５および第２コア６の長さＬ０と、ダミーコア７の長さＬ１は、いずれも５０ｍｍであった。

　また、ダミー一側面７３の傾斜角α１と、ダミー他側面７４の傾斜角α２とは、いずれも０．０１度であった。

　　比較例１
　ダミーコア７のダミー一側面７３およびダミー他側面７４を、いずれも、第１コア５に平行する直行面９０（図３の仮想線参照）とした以外は、実施例１と同様に処理した。

　　（評価）
　光導波路１に、入射装置８および受光装置９を光学的に接続した。なお、入射装置８は、第１コア５に対して、幅方向にややずれるように配置して、意図的にクロストークを生じさせた。

　そして、入射装置８からの光が第２コア６に至り、第２コア６を介して受光装置９で受光される光量から、クロストークを評価した。

　その結果、実施例１で、－４３ｄＢであり、比較例１で、－３５ｄＢであった。

　上記測定により得られた数字（単位：ｄＢ）は、その値が小さい場合には、クロスコークの抑制が大きいことを示す。つまり、実施例１の方が、比較例１に比べて、クロスコークの抑制が大きいことが分かる。

　なお、上記発明は、本発明の例示の実施形態として提供したが、これは単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。当該技術分野の当業者によって明らかな本発明の変形例は、後記請求の範囲に含まれる。

光導波路は、光電気混載モジュールに用いられる。

１ 光導波路
２ アンダークラッド層
４ オーバークラッド層
５ 第１コア
６ 第２コア
７ ダミーコア
２５ 混合層
２６ 信号コア（第１コアおよび／または第２コアの一例）
３０ 光電気混載基板
３１ 電気回路基板
３４ 光素子
４５ 外部光回路
５３ 第１一側面（第１対向面の一例）
５４ 第１他側面（第１対向面の一例）
５５ 光電気混載モジュール
６３ 第２一側面（第２対向面の一例）
６４ 第２他側面（第２対向面の一例）
７３ ダミー一側面（対向面の一例）
７４ ダミー他側面（反対面の一例）
７５ 第２傾斜面
７６ 第１傾斜面（傾斜面の一例）
α１ 傾斜角（ダミー一側面）
α２ 傾斜角（ダミー他側面）
ε１ 傾斜角（一方側第１コア傾斜面）
ε２ 傾斜角（他方側第１コア傾斜面）
ε３ 傾斜角（一方側第２コア傾斜面）
ε４ 傾斜角（他方側第２コア傾斜面）
Ｌ０ 第１コアの長さ
Ｌ１ ダミーコアの長さ
Ｌ２ ダミー一側面の長手方向他端縁と、第１コアとの間の距離
Ｚｖ 界面の最大谷深さ

Claims (19)

1. 　互いに間隔を隔てて隣接する第１コアおよび第２コアと、前記第１コアおよび前記第２コアの間に位置するダミーコアとを備える光導波路であって、
   　前記第１コアおよび前記第２コアは、前記隣接方向に直交する伝送方向において光を伝送し、
   　前記ダミーコアは、前記第１コアに対向する対向面と、前記対向面に対して前記第１コアの反対側に位置する反対面とを有し、
   　前記反対面は、前記伝送方向下流側に向かうに従って、前記第１コアから遠ざかるように傾斜する傾斜面を有することを特徴とする、光導波路。
2. 　前記傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００５度以上、１度以下であることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
3. 　前記ダミーコアの前記伝送方向における長さが、前記第１コアの前記伝送方向の全長に対して、７５％以上であることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
4. 　前記対向面の前記伝送方向上流側端縁の、前記第１コアに対する隣接方向距離が、５μｍ以上、４０μｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
5. 　前記反対面における前記伝送方向の全部が、前記傾斜面であることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
6. 　前記対向面は、前記伝送方向下流側に向かうに従って、前記第１コアに近づくように傾斜する第２傾斜面を有することを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
7. 　前記第２傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００５度以上、１度以下であることを特徴とする、請求項６に記載の光導波路。
8. 　前記反対面における前記伝送方向の全部が、前記第２傾斜面であることを特徴とする、
   請求項６に記載の光導波路。
9. 　前記ダミーコアが、前記隣接方向において、互いに間隔を隔てて複数設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
10. 　前記ダミーコアを被覆するクラッドをさらに備え、
    　前記ダミーコアと前記クラッドとの界面において、前記ダミーコアの材料および前記クラッドの材料を含有する混合層を有し、
    　前記混合層の厚みが、前記コアの前記クラッドとの前記界面の最大谷深さＺｖを超過することを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
11. 　前記第１コアは、前記隣接方向において互いに対向する２つの第１対向面を有し、
    　前記２つの第１対向面の前記伝送方向上流側端縁の間の距離が、前記２つの第１対向面の前記伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長いことを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
12. 　前記２つの第１対向面の少なく一方は、前記２つの第１対向面の間の距離が、前記伝送方向下流側に向かうに従って、短くなる第１コア傾斜面を有することを特徴とする、請求項１１に記載の光導波路。
13. 　前記第１コア傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００２度以上、０．１度以下であることを特徴とする、請求項１２に記載の光導波路。
14. 　前記２つの第１対向面における伝送方向の全部が、前記第１コア傾斜面であることを特徴とする、請求項１２に記載の光導波路。
15. 　前記第２コアは、前記隣接方向において互いに対向する２つの第２対向面を有し、
    　前記２つの第２対向面は、前記２つの第２対向面の前記伝送方向上流側端縁の間の距離が、前記２つの第１対向面の前記伝送方向下流側端縁の間の距離に対して、長くなるように、前記伝送方向に対して傾斜する、第２コア傾斜面であることを特徴とする、請求項１１に記載の光導波路。
16. 　前記第２コア傾斜面の前記伝送方向に対する傾斜角が、０．００２度以上、０．１度以下であることを特徴とする、請求項１５に記載の光導波路。
17. 　請求項１に記載の光導波路と、電気回路基板とを備えることを特徴とする、光電気混載基板。
18. 　前記第１コアおよび前記第２コアの前記伝送方向上流側端縁と光学的に結合する光素子をさらに備えることを特徴とする、請求項１７に記載の光電気混載基板。
19. 　請求項１７に記載の光電気混載基板と、外部光回路とを備え、
    　前記外部光回路は、前記第１コアおよび前記第２コアの前記伝送方向下流側端縁と光学的に結合することを特徴とする、光電気混載モジュール。

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