WO2015133129A1 - 物理量検出装置 - Google Patents

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WO2015133129A1
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circuit unit
strain gauge
signal
unit
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PCT/JP2015/001114
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長谷川　直樹
大野　和幸
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Denso Corp
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Denso Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
    • G01L9/045—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges with electric temperature compensating means

Definitions

  • This disclosure relates to a physical quantity detection device configured to detect a physical quantity.
  • Patent Document 1 proposes a detection apparatus configured to detect a physical quantity.
  • the detection device includes a thin-walled diaphragm that can be deformed by applying a physical quantity, and a plurality of strain gauges that change in resistance value by being distorted in accordance with the distortion of the diaphragm.
  • Each strain gauge is connected so as to constitute a bridge circuit section.
  • Detecting device has two bridge circuit parts. As a result, when the difference between the physical quantities based on the output signals of the two bridge circuit units exceeds the normal range, it is possible to determine that any one of the bridge circuit units has a failure or characteristic variation. ing.
  • This disclosure is intended to provide a physical quantity detection device capable of determining an abnormality of the bridge circuit unit even in a configuration with one bridge circuit unit.
  • the physical quantity detection device includes a bridge circuit unit, a temperature characteristic adjustment unit, a first signal processing circuit unit, and a second signal processing circuit unit.
  • the bridge circuit unit includes a first strain gauge, a second strain gauge, a third strain gauge, and a fourth strain gauge that change in resistance value according to application of a physical quantity and change in resistance value according to temperature.
  • the first voltage at the first midpoint between the first strain gauge and the second strain gauge is output as the first detection signal based on the input voltage applied to the bridge circuit, and the third strain gauge and the fourth strain gauge
  • the second voltage at the second midpoint with the strain gauge is output as the second detection signal.
  • the temperature characteristic adjusting unit is connected in parallel to the bridge circuit unit, and more than the first strain gauge, the second strain gauge, the third strain gauge, and the fourth strain gauge are applied with physical quantities and the resistance value changes with temperature. And a third voltage corresponding to the input voltage applied to the bridge circuit section is output as a third detection signal.
  • the first signal processing circuit unit receives the first detection signal and the second detection signal, and a first difference voltage signal obtained by amplifying a difference voltage between the first voltage and the second voltage with a first amplification factor. Output as.
  • the second signal processing circuit unit receives the second detection signal and the third detection signal, and a second difference obtained by amplifying the difference voltage between the second voltage and the third voltage at a second amplification factor different from the first amplification factor.
  • the voltage is output as a second differential voltage signal.
  • the first signal processing circuit unit acquires the first differential voltage that is likely to depend on the state of the bridge circuit unit.
  • a stable or constant third voltage is generated by the temperature characteristic adjusting unit regardless of the abnormality of the bridge circuit unit, so that the second differential voltage that is less dependent on the state of the bridge circuit unit by the second signal processing circuit unit. Is acquired.
  • the first differential voltage can be varied with respect to the second differential voltage. Therefore, it is possible to determine whether or not there is an abnormality in the bridge circuit unit by comparing the first difference voltage and the second difference voltage. Even in a configuration in which one bridge circuit unit is provided, it is possible to determine abnormality of the bridge circuit unit.
  • FIG. 1 is an overall configuration diagram of a physical quantity detection device according to the first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating changes in the first differential voltage (V1) and the second differential voltage (V2) with respect to pressure when the bridge circuit unit is normal.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a circuit configuration of a temperature characteristic adjustment unit according to the second embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a circuit configuration of the temperature characteristic adjustment unit according to the third embodiment of the present disclosure.
  • the inventors of the present application have found the following. In the conventional technique, since the detection device includes two bridge circuit units, there is a possibility that the size and cost of the detection device may increase. The inventors of the present application have examined whether it is possible to determine whether or not an abnormality of the bridge circuit unit can be determined even with a single bridge circuit unit.
  • One bridge circuit unit is connected between the power supply and the ground, and an adjustment resistor is connected in parallel to the bridge circuit unit.
  • Each strain gauge constituting the bridge circuit portion has a temperature characteristic, but the adjustment resistor has almost no temperature characteristic.
  • a constant current is supplied to the bridge circuit unit and the adjustment resistor.
  • two middle points of the bridge circuit unit are connected to the first signal processing circuit unit and the second signal processing circuit unit, respectively.
  • Each signal processing circuit unit is configured to amplify the input signal with the same amplification factor.
  • the second signal processing circuit unit is connected to each midpoint of the bridge circuit unit so that the polarity is inverted with respect to the first signal processing circuit unit.
  • the outputs of the signal processing circuit units have values whose polarities are inverted from each other, the sum of the outputs of the signal processing circuit units is constant. Furthermore, it is possible to determine the abnormality of any one of the signal processing circuit units by comparing the outputs of the signal processing circuit units.
  • the physical quantity detection device is configured as a pressure sensor device that detects the pressure of a pressure medium, for example.
  • a physical quantity detection device includes a constant current circuit unit 10, a bridge circuit unit 20, a temperature characteristic adjustment unit 30, a first signal processing circuit unit 40, a second signal processing circuit unit 50, an interruption.
  • the circuit unit 60 and the determination circuit unit 70 are provided.
  • the constant current circuit unit 10 the bridge circuit unit 20, the temperature characteristic adjustment unit 30, the first signal processing circuit unit 40, the second signal processing circuit unit 50, and the cutoff circuit unit 60 are configured as a sensor device 80.
  • the determination circuit unit 70 is provided in the ECU 90 (Electrical Control Unit).
  • the constant current circuit unit 10 is configured to generate a constant current.
  • the constant current circuit unit 10 supplies the generated constant current to the bridge circuit unit 20 and the temperature characteristic adjustment unit 30.
  • the bridge circuit unit 20 is a sensing means (also called a sensing unit) that outputs a detection signal corresponding to the pressure of the pressure medium.
  • the bridge circuit unit 20 includes a first strain gauge 21, a second strain gauge 22, a third strain gauge 23, and a fourth strain gauge 24.
  • Each of the strain gauges 21 to 24 is a resistor whose resistance value changes according to application of a physical quantity and whose resistance value changes according to temperature.
  • each strain gauge 21 to 24 has a series connection portion of the first strain gauge 21 and the second strain gauge 22 and a series connection portion of the third strain gauge 23 and the fourth strain gauge 24 connected in parallel.
  • a Wheatstone bridge circuit is configured.
  • Each strain gauge 21 to 24 is, for example, a diffusion resistor formed on a semiconductor substrate (not shown).
  • the bridge circuit unit 20 is supplied with a constant current from the constant current circuit unit 10 and an input voltage. Therefore, the bridge circuit unit 20 outputs the first voltage at the first midpoint 25 of the first strain gauge 21 and the second strain gauge 22 as the first detection signal based on the input voltage applied to the Wheatstone bridge circuit. .
  • the bridge circuit unit 20 outputs the second voltage at the second midpoint 26 between the third strain gauge 23 and the fourth strain gauge 24 as the second detection signal. For example, when the input voltage is V, the outputs of the midpoints 25 and 26 when no pressure is applied to the strain gauges 21 to 24 are V / 2.
  • the temperature characteristic adjusting unit 30 is connected to the bridge circuit unit 20 in parallel. Specifically, the temperature characteristic adjusting unit 30 is configured by connecting a first resistor 31 and a second resistor 32 in series.
  • the first resistor 31 and the second resistor 32 have a smaller change in resistance value with respect to application of pressure and temperature than the strain gauges 21 to 24 of the bridge circuit unit 20.
  • the first resistor 31 and the second resistor 32 are thin film resistors such as CrSi formed on a semiconductor substrate, for example.
  • the first resistor 31 and the second resistor 32 have the same resistance value.
  • the temperature characteristic adjusting unit 30 outputs a third voltage corresponding to the input voltage applied to the bridge circuit unit 20 as a third detection signal.
  • the voltage at the third middle point 33 between the first resistor 31 and the second resistor 32 is the third voltage.
  • the resistance values of the first resistor 31 and the second resistor 32 are adjusted so that the third voltage is the same as the difference voltage between the first voltage and the second voltage of the bridge circuit unit 20. For example, if the input voltage is V, the third voltage at the third midpoint 33 is V / 2. That is, the first resistor 31 and the second resistor 32 have the same resistance value.
  • the first signal processing circuit unit 40 generates a first difference voltage obtained by amplifying the difference voltage between the first voltage and the second voltage of the bridge circuit unit 20 with a first amplification factor, and the first difference voltage is converted into the first difference voltage. It is output as a voltage signal.
  • the first signal processing circuit unit 40 includes a first amplification unit 41, a first adjustment unit 42, and a first output unit 43.
  • the first amplifying unit 41 receives the first detection signal and the second detection signal from the bridge circuit unit 20 and amplifies the difference voltage between the first voltage and the second voltage with a predetermined amplification factor. It is a dynamic amplifier.
  • the first adjustment unit 42 is a signal adjustment unit (also referred to as a signal adjustment unit) that performs offset correction or correction based on temperature characteristics on the output of the first amplification unit 41.
  • the first output unit 43 constitutes a voltage follower as a current booster.
  • the first output unit 43 amplifies the first differential voltage signal adjusted by the first amplification unit 41 and the first adjustment unit 42 with a first amplification factor, and outputs the amplified signal. Since the first differential voltage signal is a signal generated based on the first voltage and the second voltage of the bridge circuit unit 20, the first differential voltage signal is a signal depending on temperature.
  • the second signal processing circuit unit 50 amplifies the difference voltage between the second voltage of the bridge circuit unit 20 and the third voltage of the temperature characteristic adjustment unit 30 with a second amplification factor different from the first amplification factor. And the second differential voltage is output as a second differential voltage signal.
  • the second signal processing circuit unit 50 includes a second amplification unit 51, a second adjustment unit 52, and a second output unit 53.
  • the second amplifying unit 51 receives the second detection signal from the bridge circuit unit 20 and the third detection signal from the temperature characteristic adjusting unit 30, and calculates a difference voltage between the second voltage and the third voltage to a predetermined amplification factor. It is the differential amplifier comprised so that it may amplify.
  • the second adjustment unit 52 is a signal adjustment unit (also referred to as a signal adjustment unit) that performs offset correction or correction based on temperature characteristics on the output of the second amplification unit 51.
  • the second output unit 53 constitutes a voltage follower as a current booster.
  • the second output unit 53 amplifies the second differential voltage signal that has been signal-adjusted by the second amplification unit 51 and the second adjustment unit 52 with a second amplification factor, and outputs the amplified signal.
  • the second amplification factor is set to twice the first amplification factor. Since the second differential voltage signal is a signal generated based on the third voltage of the temperature characteristic adjusting unit 30, the second differential voltage signal is a signal having a sensitivity different from that of the first differential voltage signal.
  • the interruption circuit unit 60 controls the output of signals from the sensor device 80 to the ECU 90.
  • the cutoff circuit unit 60 includes a first switch unit 61, a second switch unit 62, and a switching unit 63.
  • the first switch unit 61 is switch means (also referred to as a switch unit) that electrically connects or disconnects the first output unit 43 and the first output terminal 81 (Vout1) of the sensor device 80.
  • the second switch unit 62 is switch means (also referred to as a switch unit) that electrically connects or disconnects the second output unit 53 and the second output terminal 82 (Vout2) of the sensor device 80.
  • the switching unit 63 controls connection or disconnection of the first switch unit 61 and the second switch unit 62.
  • the switching unit 63 switches the first switch unit 61 and the second switch unit 62 so as to block the output of the signal determined to be abnormal by the determination circuit unit 70 among the first difference voltage signal and the second difference voltage signal. Control.
  • the determination circuit unit 70 determines whether or not the bridge circuit unit 20 is abnormal.
  • the determination circuit unit 70 receives the first difference voltage signal and the second difference voltage signal from the sensor device 80, and determines whether or not the first difference voltage and the second difference voltage are within the normal range. For example, the determination circuit unit 70 determines whether or not the sum of the first difference voltage and the second difference voltage is within a normal range. The determination circuit unit 70 may determine whether or not the difference between the first difference voltage and the second difference voltage is within a normal range.
  • the determination circuit unit 70 issues a command to the switching unit 63 of the cutoff circuit unit 60 of the sensor device 80 according to the determination result.
  • the determination circuit unit 70 can determine whether the bridge circuit unit 20 is abnormal in the physical quantity detection device.
  • the normal range is, for example, a preset range.
  • the ECU 90 is configured to perform control using a pressure value in addition to the determination circuit unit 70. Further, the sensor device 80 is configured to be supplied with power from the ECU 90 via a power terminal 83 (VCC) and a ground terminal 84 (GND).
  • VCC power terminal 83
  • GND ground terminal 84
  • each initial potential of the first middle point 25 and the second middle point 26 of the bridge circuit unit 20 is set to Vg.
  • the offset component of the bridge circuit unit 20 is ⁇ .
  • ⁇ is a parameter proportional to the constant current.
  • An offset component due to the first resistor 31 and the second resistor 32 of the temperature characteristic adjusting unit 30 is ⁇ .
  • a change in voltage at each of the midpoints 25 and 26 due to application of pressure to the bridge circuit unit 20 is assumed to be ⁇ V.
  • A be the amplification factor of the first amplification unit 41 of the first signal processing circuit unit 40 and the second amplification unit 51 of the second signal processing circuit unit 50. Further, the first amplification factor of the first output unit 43 of the first signal processing circuit unit 40 is B, and the second amplification factor of the second output unit 53 of the second signal processing circuit unit 50 is 2B.
  • Vs Vg + ⁇ Therefore, when the first differential voltage generated by the first signal processing circuit unit 40 is V1, V1 is expressed by Equation 4.
  • the offset component adjusted by the first adjustment unit 42 is Vz1, and the temperature characteristic component is Vt1.
  • Vz1 + Vt1 is set to be ⁇ 2A ⁇ , for example.
  • C is an initial offset value of V1 when the pressure is zero.
  • Vz2 + Vt2 is adjusted by the second adjusting unit 52.
  • this signal becomes D by being multiplied by 2B at the second output unit 53.
  • Vz2 + Vt2 is set to be, for example, A ( ⁇ + ⁇ ).
  • D is an initial offset value of V2 when the pressure is zero.
  • Vsp Vg + ⁇ + ⁇ V
  • Vsm Vg ⁇ V
  • the third voltage (Vs) at the third middle point 33 of the temperature characteristic adjusting unit 30 is expressed by Expression 8.
  • Vs Vg + ⁇ Therefore, the first differential voltage (V1) generated by the first signal processing circuit unit 40 is expressed by Equation 9.
  • Equation 9 when pressure is applied, values that are mutually inverted are calculated as shown in Equation 9 and Equation 10. Therefore, as shown in FIG. 2, the first differential voltage (V1) generated by the first signal processing circuit unit 40 increases with a constant slope as the pressure increases, while the second signal processing circuit unit The second differential voltage (V2) generated at 50 decreases with the same slope as the first differential voltage (V1). Therefore, the sum of the first differential voltage (V1) and the second differential voltage (V2) is constant.
  • the determination circuit unit 70 of the ECU 90 acquires a sum value of the first difference voltage (V1) and the second difference voltage (V2). Then, the determination circuit unit 70 determines that the sum of the first difference voltage (V1) and the second difference voltage (V2) is within the normal range.
  • Vsp ⁇ Vsm 2 ⁇ + 2 ⁇ V + ⁇
  • Vz1 + Vt1 ⁇ 2A ⁇
  • this signal is further output by the first output unit 43. It means that the fluctuation of + 2AB ⁇ V + 2AB ⁇ occurs when multiplied by B.
  • the determination circuit unit 70 determines that the total value of the first difference voltage (V1) and the second difference voltage (V2) exceeds the normal range. Further, the determination circuit unit 70 determines that the first voltage (Vsp) is abnormal based on the value of 2AB ⁇ , and issues a command to the cutoff circuit unit 60 to shut off the first switch unit 61.
  • Vsp Vg + ⁇ + ⁇ V
  • Vsm Vg + ⁇ + ⁇ V
  • Vsp ⁇ Vsm 2 ⁇ + 2 ⁇ V ⁇
  • Vz1 + Vt1 ⁇ 2A ⁇
  • this signal is multiplied by B at the first output unit 43, which means that a variation of + 2AB ⁇ V + AB occurs.
  • the determination circuit unit 70 determines that the total value of the first difference voltage (V1) and the second difference voltage (V2) exceeds the normal range. Further, the determination circuit unit 70 determines that the second differential voltage (V2) is abnormal based on the value of AB ⁇ , and issues a command to the cutoff circuit unit 60 to shut off the second switch unit 62.
  • ⁇ is a component due to an abnormality of the constant current circuit unit 10.
  • the first voltage (Vsp) of the bridge circuit unit 20 is expressed by Equation 21.
  • Vsp ⁇ (Vg + ⁇ + ⁇ V)
  • the second voltage (Vsm) of the bridge circuit unit 20 is expressed by Expression 22.
  • Vsm ⁇ (Vg ⁇ V)
  • the third voltage (Vs) at the third middle point 33 of the temperature characteristic adjusting unit 30 is expressed by Expression 23.
  • Vs ⁇ (Vg + ⁇ ) Since the abnormality of the constant current circuit unit 10 is applied to the entire bridge circuit unit 20 and the temperature characteristic adjustment unit 30, the first voltage (Vsp), the second voltage (Vsm), and the third voltage (Vs) are Dominated by ⁇ .
  • the first differential voltage (V1) generated by the first signal processing circuit unit 40 is expressed by Expression 24.
  • V2 the second difference voltage (V2) generated by the second signal processing circuit unit 50 is expressed by Expression 25.
  • the determination circuit unit 70 determines that the total value of the first difference voltage (V1) and the second difference voltage (V2) exceeds the normal range.
  • the determination circuit unit 70 determines that the constant current circuit unit 10 is abnormal based on the total value, and instructs the cutoff circuit unit 60 to shut off the first switch unit 61 and the second switch unit 62. Put out.
  • the first signal processing circuit unit 40 of the sensor device 80 acquires the first differential voltage (V1) that is likely to depend on the state of the bridge circuit unit 20.
  • the second difference is less likely to depend on the state of the bridge circuit unit 20 by the second signal processing circuit unit 50 by generating the constant third voltage by the temperature characteristic adjusting unit 30.
  • the voltage (V2) is obtained.
  • the first difference voltage (V1) can be changed with respect to the second difference voltage (V2).
  • the first differential voltage (V1) and the second differential voltage (V2) can be varied even when the constant current circuit unit 10 is abnormal.
  • the bridge circuit unit 20 is one, it is possible to determine whether or not the bridge circuit unit 20 is abnormal based on the first differential voltage (V1) and the second differential voltage (V2).
  • the temperature characteristic adjusting unit 30 is configured by one third resistor 34.
  • the voltage on the low side of the third resistor 34, that is, the ground voltage is set as the third voltage (Vs).
  • the third voltage (Vs) corresponding to the input voltage (V) applied to the bridge circuit unit 20 may be the ground voltage.
  • the third resistor 34 of the present embodiment corresponds to the “resistance” of the present disclosure.
  • the high-side voltage of the third resistor 34 that is, the input voltage is set to the third voltage (Vs).
  • the third voltage (Vs) corresponding to the input voltage (V) applied to the bridge circuit unit 20 may be the input voltage (V) itself.
  • the configuration of the physical quantity detection device according to the present embodiment is the same as the configuration shown in FIG.
  • the first to fourth strain gauges 21 to 24 of the bridge circuit unit 20 according to each of the above embodiments are configured as a Wheatstone bridge circuit that satisfies the equilibrium condition.
  • the first to fourth strain gauges 21 to 24 of the bridge circuit unit 20 according to the present embodiment are configured as bridge circuits that do not satisfy the equilibrium condition. That is, the resistance values of the first to fourth strain gauges 21 to 24 are set so as not to satisfy the equilibrium condition. In other words, the gauge balance of the first to fourth strain gauges 21 to 24 is broken in advance. Thereby, the bridge circuit unit 20 outputs the first detection signal and the second detection signal including the offset component.
  • the first signal processing circuit unit 40 has a first offset correction value for correcting an offset component included in the first detection signal and the second detection signal. Then, the first signal processing circuit unit 40 corrects the first difference voltage with the first offset correction value and outputs the first difference voltage signal.
  • the first adjustment unit 42 performs correction using the first offset correction value.
  • the second signal processing circuit unit 50 has a second offset correction value for correcting an offset component included in the second detection signal. Then, the second signal processing circuit unit 50 corrects the second differential voltage with the second offset correction value and outputs a second differential voltage signal. Note that the second adjustment unit 52 performs correction using the second offset correction value.
  • the determination circuit unit 70 of the ECU 90 has not only a function of determining whether or not the bridge circuit unit 20 is abnormal, but also a function of determining whether or not the constant current circuit unit 10 is abnormal.
  • the determination circuit unit 70 receives the first difference voltage signal from the first signal processing circuit unit 40 and the second difference voltage signal from the second signal processing circuit unit 50, and the first difference voltage, the second difference voltage, and the like. It is determined whether or not there is an abnormality in the constant current circuit unit 10 by determining whether or not the sum of the currents is within a normal range.
  • the above is the configuration of the physical quantity detection device according to the present embodiment.
  • Vsm ⁇ R4 / (R3 + R4) ⁇ ⁇ I
  • Vs the third voltage at the third middle point 33 of the temperature characteristic adjusting unit 30.
  • Vsp ⁇ Vsm Rg1 ⁇ I
  • Vt1 + Vt1 Vt1 + Vt1
  • the first signal processing circuit unit 40 is included in the first detection signal by the first offset correction value ( ⁇ E). Correct the offset component.
  • the second signal processing circuit unit 50 uses the second offset correction value (+ (1/2) ⁇ ⁇ E) to The offset component included in one detection signal is corrected.
  • Rg2 is represented by Formula 32.
  • Rg2 (R4R5-R3R6) / ⁇ (R3 + R4) ⁇ (R5 + R6) ⁇
  • the determination circuit part 70 of ECU90 acquires the total value of a 1st difference voltage (V1) and a 2nd difference voltage (V2). The total value is expressed by Equation 33.
  • V1 + V2 0
  • the determination circuit unit 70 determines that the sum of the first difference voltage (V1) and the second difference voltage (V2) is within a normal range, and determines that the constant current circuit unit 10 is not abnormal.
  • (Vsm ⁇ Vs) ⁇ 2AB is doubled
  • ⁇ (1/2) ⁇ ⁇ E) changes. Therefore, it is shown that ⁇ (1/2) ⁇ ⁇ E remains as a calculation result.
  • the determination circuit part 70 of ECU90 acquires the total value of a 1st difference voltage (V1) and a 2nd difference voltage (V2).
  • the total value is expressed by Expression 36.
  • the determination circuit unit 70 determines that an abnormality has occurred in the constant current circuit unit 10
  • the determination circuit unit 70 operates the cutoff circuit unit 60 to cut off the signal output from the sensor device 80 to the ECU 90. You can also.
  • the offset component of the bridge circuit unit 20 changes.
  • the first signal processing circuit unit 40 processes the output of the bridge circuit unit 20
  • the second signal processing circuit unit 50 processes not only the output of the bridge circuit unit 20 but also the output of the temperature characteristic adjustment unit 30. For this reason, a difference can be produced in the outputs of the first signal processing circuit unit 40 and the second signal processing circuit unit 50. Therefore, since the sum of the first differential voltage (V1) acquired by the first signal processing circuit unit 40 and the second differential voltage (V2) acquired by the second signal processing circuit unit 50 changes, the constant current circuit An abnormality of the unit 10 can be detected.
  • the configuration of the physical quantity detection device described in each of the above embodiments is an example, and the present disclosure is not limited to the configuration described above, and may be other configurations that can realize the present disclosure.
  • the physical quantity to be detected by the physical quantity detection device is not limited to the pressure, and the detection target may be another physical quantity that can be detected by the bridge circuit unit 20.
  • the configuration of the temperature characteristic adjustment unit 30 is not limited to the configuration shown in the above embodiments.
  • the temperature characteristic adjusting unit 30 is configured by a resistor whose resistance value is adjusted such that the third voltage (Vs) is the same as the difference voltage between the first voltage (Vsp) and the second voltage (Vsm). May be.
  • the second amplification factor of the second amplification unit 51 of the second signal processing circuit unit 50 is set to twice the first amplification factor of the first output unit 43 of the first signal processing circuit unit 40.
  • this is an example of the amplification factor. Therefore, the second amplification factor is not limited to twice the first amplification factor.
  • the determination circuit unit 70 is provided in the ECU 90 constituting the physical quantity detection device, but the determination circuit unit 70 may be provided in the sensor device 80.
  • the determination circuit unit 70 is provided in the ECU 90 constituting the physical quantity detection device. However, the determination circuit unit 70 may not be provided in the physical quantity detection device. Since the physical quantity detection device according to each of the above embodiments is configured to output a signal capable of determining an abnormality of the bridge circuit unit 20, it is only necessary to determine whether there is an abnormality at the output destination of the physical quantity detection device. .
  • the cutoff circuit unit 60 is provided in the physical quantity detection device, but this is an example of the configuration. Therefore, if the configuration for permitting or prohibiting the output of the signal is unnecessary, the cutoff circuit unit 60 may not be provided in the physical quantity detection device.
  • the first resistor 31 and the second resistor 32 have the same resistance value, but this is an example. Therefore, the first resistor 31 and the second resistor 32 may have different resistance values.
  • the circuit unit 70 may be applied.

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Abstract

　物理量検出装置は、第１歪みゲージ（２１）、第２歪みゲージ（２２）、第３歪みゲージ（２３）、及び第４歪みゲージ（２４）を含むブリッジ回路を備え、第１歪みゲージ（２１）と第２歪みゲージ（２２）との第１中点（２５）の第１電圧を第１検出信号として出力すると共に、第３歪みゲージ（２３）と第４歪みゲージ（２４）との第２中点（２６）の第２電圧を第２検出信号として出力するブリッジ回路部（２０）と、第３電圧を第３検出信号として出力する温度特性調整部（３０）と、第１電圧と第２電圧との差電圧を第１増幅率で増幅した第１差電圧を第１差電圧信号として出力する第１信号処理回路部（４０）と、第２電圧と第３電圧との差電圧を第２増幅率で増幅した第２差電圧を第２差電圧信号として出力する第２信号処理回路部（５０）と、を備えている。

Description

物理量検出装置 関連出願の相互参照
　本出願は、２０１４年３月５日に出願された日本国特許出願２０１４－４２４６９号および２０１４年５月９日に出願された日本国特許出願２０１４－９７４８０号、に基づくものであり、ここにその記載内容を参照により援用する。
　本開示は、物理量を検出するように構成された物理量検出装置に関する。
　従来より、物理量を検出するように構成された検出装置が、例えば特許文献１で提案されている。検出装置は、物理量が印加されることで変形可能な薄肉状のダイヤフラムと、ダイヤフラムの歪みに応じて歪むことで抵抗値が変化する複数の歪みゲージと、を備えている。各歪みゲージはブリッジ回路部を構成するように接続されている。
　検出装置は上記のブリッジ回路部を２つ備えている。これにより、２つのブリッジ回路部の出力信号に基づく物理量の差が正常範囲を超える場合、各ブリッジ回路部のうちのいずれか一方が故障や特性変動を起こしていると判定することが可能となっている。
日本国公開特許公報２００８－１１６２８７号
　本開示は、ブリッジ回路部を１つとした構成でも当該ブリッジ回路部の異常を判定可能にすることができる物理量検出装置を提供することを目的とする。
　本開示の一態様によれば、物理量検出装置はブリッジ回路部と、温度特性調整部と、第１信号処理回路部と、第２信号処理回路部とを備える。ブリッジ回路部は、物理量の印加に応じて抵抗値が変化すると共に抵抗値が温度に応じて変化する第１歪みゲージ、第２歪みゲージ、第３歪みゲージ、及び第４歪みゲージによって構成されており、当該ブリッジ回路に印加される入力電圧に基づいて第１歪みゲージと第２歪みゲージとの第１中点の第１電圧を第１検出信号として出力すると共に、第３歪みゲージと第４歪みゲージとの第２中点の第２電圧を第２検出信号として出力する。
　温度特性調整部は、ブリッジ回路部に対して並列に接続されており、第１歪みゲージ、第２歪みゲージ、第３歪みゲージ、第４歪みゲージよりも物理量の印加及び温度に対する抵抗値の変化が小さく、ブリッジ回路部に印加される入力電圧に対応する第３電圧を第３検出信号として出力する。
　第１信号処理回路部は、第１検出信号及び第２検出信号を入力し、第１電圧と第２電圧との差電圧を第１増幅率で増幅した第１差電圧を第１差電圧信号として出力する。
　第２信号処理回路部は、第２検出信号及び第３検出信号を入力し、第２電圧と第３電圧との差電圧を第１増幅率とは異なる第２増幅率で増幅した第２差電圧を第２差電圧信号として出力する。
　本開示の物理量検出装置によれば、第１信号処理回路部によってブリッジ回路部の状態に依存しやすい第１差電圧が取得される。一方、ブリッジ回路部の異常に関わらず、温度特性調整部によって安定したすなわち一定の第３電圧が生成されるので、第２信号処理回路部によってブリッジ回路部の状態に依存しにくい第２差電圧が取得される。このため、ブリッジ回路部で異常が発生した場合、第２差電圧に対して第１差電圧を変動させることができる。したがって、第１差電圧と第２差電圧との比較によってブリッジ回路部の異常の有無の判定が可能となる。ブリッジ回路部を１つとした構成でも当該ブリッジ回路部の異常を判定可能になる。
　本開示についての上記および他の目的、特徴や利点は、添付の図面を参照した下記の詳細な説明から、より明確になる。添付図面において
図１は、本開示の第１実施形態に係る物理量検出装置の全体構成図であり、 図２は、ブリッジ回路部が正常である場合において、圧力に対する第１差電圧（Ｖ１）及び第２差電圧（Ｖ２）の変化を示した図であり、 図３は、本開示の第２実施形態に係る温度特性調整部の回路構成を示した図であり、 図４は、本開示の第３実施形態に係る温度特性調整部の回路構成を示した図である。
　本願発明者らは以下を見出した。従来の技術では、検出装置にブリッジ回路部が２つ備えられているので、検出装置のサイズもコストも大きくなる虞がある。本願発明者らは、ブリッジ回路部を１つとした構成でも当該ブリッジ回路部の異常を判定可能にすることができないか検討を行った。
　発明者らは以下の回路構成を発案した。電源とグランドとの間に１つのブリッジ回路部が接続され、このブリッジ回路部に並列に調整抵抗が接続される。ブリッジ回路部を構成する各歪みゲージは温度特性を有するが、調整抵抗は温度特性がほぼ無い。ブリッジ回路部及び調整抵抗に対しては定電流が供給される。
　また、ブリッジ回路部の２つの中点がそれぞれ第１信号処理回路部及び第２信号処理回路部に接続される。各信号処理回路部は入力した信号をそれぞれ同じ増幅率で増幅するように構成されている。そして、第２信号処理回路部は第１信号処理回路部に対して極性が反転するようにブリッジ回路部の各中点に接続される。
　このような構成によると、ブリッジ回路部が受ける温度が高い場合には各歪みゲージの抵抗値が大きくなるので、調整抵抗にはブリッジ回路部よりも大きな電流が流れる。一方、ブリッジ回路部が受ける温度が低い場合には各歪みゲージの抵抗値が小さくなるので、ブリッジ回路部には調整抵抗よりも大きな電流が流れる。このため、ブリッジ回路部の各中点の差電圧は温度に依存しないので、ブリッジ回路部の感度を一定に維持することができる。
　また、各信号処理回路部の出力は互いに極性が反転した値となるので、各信号処理回路部の出力の合算値は一定となる。さらに、各信号処理回路部の出力を比較することで各信号処理回路部のいずれか一方の異常を判定することが可能である。
　しかし、ブリッジ回路部に異常が発生したとしても各信号処理回路部の出力は互いに反転した値になるので、ブリッジ回路部の異常に関わらず各信号処理部の合算値は一定となる。すなわち、ブリッジ回路部の異常に基づく成分が各信号処理部の合算値に反映されないので、各信号処理回路部の出力に基づいてブリッジ回路部の異常を判定することができない。
　以下、本開示の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
　（第１実施形態）
　以下、本開示の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る物理量検出装置は、例えば圧力媒体の圧力を検出する圧力センサ装置として構成されている。このような物理量検出装置は、図１に示されるように、定電流回路部１０、ブリッジ回路部２０、温度特性調整部３０、第１信号処理回路部４０、第２信号処理回路部５０、遮断回路部６０、及び判定回路部７０を備えて構成されている。
　物理量検出装置のうち、定電流回路部１０、ブリッジ回路部２０、温度特性調整部３０、第１信号処理回路部４０、第２信号処理回路部５０、及び遮断回路部６０はセンサ装置８０として構成されている。また、判定回路部７０はＥＣＵ９０（Electrical Control Unit）に設けられている。
　定電流回路部１０は、一定の電流を生成するように構成されている。定電流回路部１０は、生成した定電流をブリッジ回路部２０及び温度特性調整部３０に供給する。
　ブリッジ回路部２０は、圧力媒体の圧力に応じた検出信号を出力するセンシング手段（センシング部とも呼ぶ）である。ブリッジ回路部２０は、第１歪みゲージ２１、第２歪みゲージ２２、第３歪みゲージ２３、及び第４歪みゲージ２４を備えて構成されている。各歪みゲージ２１～２４は、物理量の印加に応じて抵抗値が変化すると共に抵抗値が温度に応じて変化する抵抗体である。
　また、各歪みゲージ２１～２４は、第１歪みゲージ２１及び第２歪みゲージ２２の直列接続部と第３歪みゲージ２３及び第４歪みゲージ２４の直列接続部とが並列に接続されることでホイートストンブリッジ回路を構成している。各歪みゲージ２１～２４は、例えば図示しない半導体基板に形成された拡散抵抗である。
　そして、ブリッジ回路部２０は、定電流回路部１０から定電流が供給されると共に入力電圧が印加される。したがって、ブリッジ回路部２０は、ホイートストンブリッジ回路に印加される入力電圧に基づいて第１歪みゲージ２１と第２歪みゲージ２２との第１中点２５の第１電圧を第１検出信号として出力する。また、ブリッジ回路部２０は、第３歪みゲージ２３と第４歪みゲージ２４との第２中点２６の第２電圧を第２検出信号として出力する。例えば、入力電圧をＶとすると、各歪みゲージ２１～２４に圧力が印加されていないときの各中点２５、２６の出力はＶ／２となる。
　温度特性調整部３０は、ブリッジ回路部２０に対して並列に接続されている。具体的に、温度特性調整部３０は、第１抵抗３１と第２抵抗３２とが直列接続されて構成されている。第１抵抗３１及び第２抵抗３２は、ブリッジ回路部２０の各歪みゲージ２１～２４よりも圧力の印加及び温度に対する抵抗値の変化が小さいものである。第１抵抗３１及び第２抵抗３２は、例えば半導体基板の上に形成されたＣｒＳｉ等の薄膜抵抗である。例えば、第１抵抗３１及び第２抵抗３２は抵抗値が同じである。
　また、温度特性調整部３０は、ブリッジ回路部２０に印加される入力電圧に対応する第３電圧を第３検出信号として出力する。本実施形態では、第１抵抗３１と第２抵抗３２との第３中点３３の電圧が第３電圧とされる。第１抵抗３１および第２抵抗３２は、第３電圧がブリッジ回路部２０の第１電圧と第２電圧との差電圧と同じになるように、それぞれ抵抗値が調整されている。例えば、入力電圧をＶとすると、第３中点３３の第３電圧はＶ／２となる。すなわち、第１抵抗３１及び第２抵抗３２は同じ抵抗値になっている。
　第１信号処理回路部４０は、ブリッジ回路部２０の第１電圧と第２電圧との差電圧を第１増幅率で増幅した第１差電圧を生成し、この第１差電圧を第１差電圧信号として出力するものである。第１信号処理回路部４０は、第１増幅部４１、第１調整部４２、及び第１出力部４３を備えて構成されている。
　第１増幅部４１は、ブリッジ回路部２０から第１検出信号及び第２検出信号を入力し、第１電圧と第２電圧との差電圧を所定の増幅率で増幅するように構成された差動増幅器である。第１調整部４２は、第１増幅部４１の出力に対してオフセット補正や温度特性に基づく補正を行う信号調整手段（信号調整部とも呼ぶ）である。
　第１出力部４３は、電流ブースタとしてのボルテージホロワを構成するものである。第１出力部４３は、第１増幅部４１及び第１調整部４２によって信号調整された第１差電圧信号を第１増幅率で増幅して出力する。第１差電圧信号はブリッジ回路部２０の第１電圧及び第２電圧に基づいて生成された信号であるので、第１差電圧信号は温度に依存した信号となる。
　第２信号処理回路部５０は、ブリッジ回路部２０の第２電圧と温度特性調整部３０の第３電圧との差電圧を第１増幅率とは異なる第２増幅率で増幅した第２差電圧を生成し、この第２差電圧を第２差電圧信号として出力するものである。第２信号処理回路部５０は、第２増幅部５１、第２調整部５２、及び第２出力部５３を備えて構成されている。
　第２増幅部５１は、ブリッジ回路部２０から第２検出信号を入力すると共に温度特性調整部３０から第３検出信号を入力し、第２電圧と第３電圧との差電圧を所定の増幅率で増幅するように構成された差動増幅器である。第２調整部５２は、第２増幅部５１の出力に対してオフセット補正や温度特性に基づく補正を行う信号調整手段（信号調整部とも呼ぶ）である。
　第２出力部５３は、電流ブースタとしてのボルテージホロワを構成するものである。第２出力部５３は、第２増幅部５１及び第２調整部５２によって信号調整された第２差電圧信号を第２増幅率で増幅して出力する。本実施形態では、第２増幅率は第１増幅率の２倍に設定されている。第２差電圧信号は温度特性調整部３０の第３電圧に基づいて生成された信号であるので、第２差電圧信号は第１差電圧信号とは異なる感度の信号となる。
　遮断回路部６０は、センサ装置８０からＥＣＵ９０への信号の出力を制御するものである。遮断回路部６０は、第１スイッチ部６１、第２スイッチ部６２、及び切替部６３を備えて構成されている。
　第１スイッチ部６１は、第１出力部４３とセンサ装置８０の第１出力端子８１（Ｖｏｕｔ１）とを電気的に接続または切断するスイッチ手段（スイッチ部とも呼ぶ）である。第２スイッチ部６２は、第２出力部５３とセンサ装置８０の第２出力端子８２（Ｖｏｕｔ２）とを電気的に接続または切断するスイッチ手段（スイッチ部とも呼ぶ）である。
　切替部６３は、第１スイッチ部６１及び第２スイッチ部６２の接続または切断を制御するものである。切替部６３は、第１差電圧信号及び第２差電圧信号のうち判定回路部７０によって異常であると判定された信号の出力を遮断するように第１スイッチ部６１及び第２スイッチ部６２を制御する。
　判定回路部７０は、ブリッジ回路部２０の異常の有無を判定するものである。判定回路部７０は、センサ装置８０から第１差電圧信号及び第２差電圧信号を入力し、第１差電圧と第２差電圧とが正常範囲内であるか否かを判定する。例えば、判定回路部７０は、第１差電圧と第２差電圧との合算値が正常範囲内であるか否かを判定する。判定回路部７０は、第１差電圧と第２差電圧との差分が正常範囲内であるか否かを判定しても良い。また、判定回路部７０は判定結果に応じてセンサ装置８０の遮断回路部６０の切替部６３に指令を出す。この判定回路部７０により、物理量検出装置において、ブリッジ回路部２０の異常の有無を判定することができる。なお、正常範囲とは、例えば、予め設定された範囲である。
　なお、ＥＣＵ９０は、判定回路部７０の他に圧力値を用いた制御を行うように構成されている。また、センサ装置８０は電源端子８３（ＶＣＣ）及びグランド端子８４（ＧＮＤ）を介してＥＣＵ９０から電源供給される構成となっている。以上が、本実施形態に係る物理量検出装置の全体構成である。
　次に、物理量検出装置の作動について説明する。ここで、ブリッジ回路部２０の第１中点２５及び第２中点２６の各初期電位をＶｇとする。また、ブリッジ回路部２０のオフセット成分をαとする。αは定電流に比例するパラメータである。温度特性調整部３０の第１抵抗３１及び第２抵抗３２によるオフセット成分をβとする。さらに、ブリッジ回路部２０への圧力印加による各中点２５、２６の電圧の変動分をΔＶとする。
　上記に加え、第１信号処理回路部４０の第１増幅部４１及び第２信号処理回路部５０の第２増幅部５１の増幅率をＡとする。また、第１信号処理回路部４０の第１出力部４３の第１増幅率をＢとし、第２信号処理回路部５０の第２出力部５３の第２増幅率を２Ｂとする。
　まず、ブリッジ回路部２０が正常に動作している場合について説明する。
（正常時：圧力が０（ＭＰａ）の場合）
　ブリッジ回路部２０に圧力が印加されていない場合、ブリッジ回路部２０の第１中点２５の第１電圧をＶｓｐとすると、Ｖｓｐは式１で表される。
（式１）
Ｖｓｐ＝Ｖｇ＋α
同様に、ブリッジ回路部２０の第２中点２６の第２電圧をＶｓｍとすると、Ｖｓｍは式２で表される。
（式２）
Ｖｓｍ＝Ｖｇ－α
さらに、温度特性調整部３０の第３中点３３の第３電圧をＶｓとすると、Ｖｓは式３で表される。
（式３）
Ｖｓ＝Ｖｇ＋β
　したがって、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧をＶ１とすると、Ｖ１は式４で表される。ここで、第１調整部４２において調整されるオフセット成分をＶｚ１とし、温度特性成分をＶｔ１とする。
（式４）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝Ｃ
これは、第１電圧と第２電圧との差電圧であるＶｓｐ－Ｖｓｍ（＝２α）が第１増幅部４１でＡ倍されると共に第１調整部４２でＶｚ１＋Ｖｔ１の調整が行われ、さらにこの信号が第１出力部４３でＢ倍されることでＣとなることを意味している。Ｖｚ１＋Ｖｔ１は例えば－２Ａαとなるように設定される。ここで、Ｃは圧力が０の場合のＶ１の初期オフセット値である。
　また、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧をＶ２とすると、Ｖ２は式５で表される。ここで、第２調整部５２において調整されるオフセット成分をＶｚ２とし、温度特性成分をＶｔ２とする。
（式５）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝Ｄ
これは、第２電圧と第３電圧との差電圧であるＶｓｍ－Ｖｓ（＝－α－β）が第２増幅部５１でＡ倍されると共に第２調整部５２でＶｚ２＋Ｖｔ２の調整が行われ、さらにこの信号が第２出力部５３で２Ｂ倍されることでＤとなることを意味している。Ｖｚ２＋Ｖｔ２は例えばＡ（α＋β）となるように設定される。ここで、Ｄは圧力が０の場合のＶ２の初期オフセット値である。
（正常時：圧力がＰ（ＭＰａ）の場合）
　ブリッジ回路部２０にＰの圧力が印加されている場合、ブリッジ回路部２０の第１中点２５の第１電圧（Ｖｓｐ）は式６で表される。なお、Ｖｇは圧力により変動しないとする。
（式６）
Ｖｓｐ＝Ｖｇ＋α＋ΔＶ
同様に、ブリッジ回路部２０の第２中点２６の第２電圧（Ｖｓｍ）は式７で表される。
（式７）
Ｖｓｍ＝Ｖｇ－α－ΔＶ
さらに、温度特性調整部３０の第３中点３３の第３電圧（Ｖｓ）は式８で表される。
（式８）
Ｖｓ＝Ｖｇ＋β
　したがって、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧（Ｖ１）は式９で表される。
（式９）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝Ｃ＋２ＡＢΔＶ
これは、Ｖｓｐ－Ｖｓｍ（＝２α＋２ΔＶ）が第１増幅部４１でＡ倍されると共に第１調整部４２でＶｚ１＋Ｖｔ１（＝－２Ａα）の調整が行われ、さらにこの信号が第１出力部４３でＢ倍されることで＋２ＡＢΔＶの変動が生じることを意味している。２ＡＢΔＶの成分は圧力値に応じた大きさとなる。
　また、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧（Ｖ２）は式１０で表される。
（式１０）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝Ｄ－２ＡＢΔＶ
これは、Ｖｓｍ－Ｖｓ（＝－α－β－ΔＶ）が第２増幅部５１でＡ倍されると共に第２調整部５２でＶｚ２＋Ｖｔ２（＝Ａ（α＋β））の調整が行われ、さらにこの信号が第２出力部５３で２Ｂ倍されることで－２ＡＢΔＶの変動が生じることを意味している。
　このように、圧力印加時では式９及び式１０に示されるように互いに反転した値が算出される。このため、図２に示されるように、圧力の増加に伴って第１信号処理回路部４０で生成された第１差電圧（Ｖ１）が一定の傾きで増加する一方、第２信号処理回路部５０で生成された第２差電圧（Ｖ２）は第１差電圧（Ｖ１）と同じ傾きで減少する。したがって、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値は一定になる。
　ＥＣＵ９０の判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値を取得する。そして、判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値が正常範囲内であると判定する。
　続いて、ブリッジ回路部２０において、第１電圧（Ｖｓｐ）に異常が発生した場合と第２電圧（Ｖｓｍ）に異常が発生した場合とについて説明する。ここで、「異常」とは、耐久変動やその他の異常を意味している。この異常を表す成分をγとする。
（異常時；第１電圧（Ｖｓｐ）の場合）
　ブリッジ回路部２０にＰ（ＭＰａ）の圧力が印加されている場合、ブリッジ回路部２０の第１中点２５の第１電圧（Ｖｓｐ）は式１１で表される。
（式１１）
Ｖｓｐ＝Ｖｇ＋α＋ΔＶ＋γ
同様に、ブリッジ回路部２０の第２中点２６の第２電圧（Ｖｓｍ）は式１２で表される。
（式１２）
Ｖｓｍ＝Ｖｇ－α－ΔＶ
さらに、温度特性調整部３０の第３中点３３の第３電圧（Ｖｓ）は式１３で表される。
（式１３）
Ｖｓ＝Ｖｇ＋β
　したがって、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧（Ｖ１）は式１４で表される。
（式１４）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝Ｃ＋２ＡＢΔＶ＋２ＡＢγ
これは、Ｖｓｐ－Ｖｓｍ（＝２α＋２ΔＶ＋γ）が第１増幅部４１でＡ倍されると共に第１調整部４２でＶｚ１＋Ｖｔ１（＝－２Ａα）の調整が行われ、さらにこの信号が第１出力部４３でＢ倍されることで＋２ＡＢΔＶ＋２ＡＢγの変動が発生することを意味している。
　また、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧（Ｖ２）は式１５で表される。
（式１５）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝Ｄ－２ＡＢΔＶ
これは、Ｖｓｍ－Ｖｓ（＝－α－β－ΔＶ）が第２増幅部５１でＡ倍されると共に第２調整部５２でＶｚ２＋Ｖｔ２（＝Ａ（α＋β））の調整が行われ、さらにこの信号が第２出力部５３で２Ｂ倍されることで－２ＡＢΔＶの変動が生じることを意味している。
　このように、第１電圧（Ｖｓｐ）の異常時では式１４及び式１５に示されるように「２ＡＢγ」の成分の差が生じる。この差は、ブリッジ回路部２０の第１電圧（Ｖｓｐ）が異常によって変化する一方、温度特性調整部３０の第３電圧（Ｖｓ）は一定値で安定していることから生じる。つまり、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）とで異常に対する影響度を異ならせているので、異常に基づく成分を発生させることができる。
　したがって、判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値が正常範囲を超えると判定する。また、判定回路部７０は、２ＡＢγの値に基づいて第１電圧（Ｖｓｐ）の異常であると判定し、遮断回路部６０に対して第１スイッチ部６１を遮断する旨の指令を出す。
（異常時；第２差電圧（Ｖ２）の場合）
　ブリッジ回路部２０にＰ（ＭＰａ）の圧力が印加されている場合、ブリッジ回路部２０の第１中点２５の第１電圧（Ｖｓｐ）は式１６で表される。
（式１６）
Ｖｓｐ＝Ｖｇ＋α＋ΔＶ
同様に、ブリッジ回路部２０の第２中点２６の第２電圧（Ｖｓｍ）は式１７で表される。
（式１７）
Ｖｓｍ＝Ｖｇ－α－ΔＶ＋γ
さらに、温度特性調整部３０の第３中点３３の第３電圧（Ｖｓ）は式１８で表される。
（式１８）
Ｖｓ＝Ｖｇ＋β
　したがって、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧（Ｖ１）は式１９で表される。
（式１９）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝Ｃ＋２ＡＢΔＶ＋ＡＢγこれは、Ｖｓｐ－Ｖｓｍ（＝２α＋２ΔＶ－γ）が第１増幅部４１でＡ倍されると共に第１調整部４２でＶｚ１＋Ｖｔ１（＝－２Ａα）の調整が行われ、さらにこの信号が第１出力部４３でＢ倍されることで＋２ＡＢΔＶ＋ＡＢの変動が発生することを意味している。
　また、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧（Ｖ２）は式２０で表される。
（式２０）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝Ｄ－２ＡＢΔＶ＋２ＡＢγ
これは、Ｖｓｍ－Ｖｓ（＝－α－β－ΔＶ＋γ）が第２増幅部５１でＡ倍されると共に第２調整部５２でＶｚ２＋Ｖｔ２（＝Ａ（α＋β））の調整が行われ、さらにこの信号が第２出力部５３で２Ｂ倍されることで－２ＡＢΔＶ＋２ＡＢγの変動が生じることを意味している。
　このように、第２差電圧（Ｖ２）の異常時では式１９及び式２０に示されるように「ＡＢγ」の成分の差が生じる。したがって、判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値が正常範囲を超えると判定する。また、判定回路部７０は、ＡＢγの値に基づいて第２差電圧（Ｖ２）の異常であると判定し、遮断回路部６０に対して第２スイッチ部６２を遮断する旨の指令を出す。
　続いて、ブリッジ回路部２０にＰの圧力が印加されているときに、定電流回路部１０に異常が発生した場合について説明する。ここで、定電流回路部１０の異常による成分をδとする。
　この場合、ブリッジ回路部２０の第１電圧（Ｖｓｐ）は式２１で表される。
（式２１）
Ｖｓｐ＝δ（Ｖｇ＋α＋ΔＶ）
同様に、ブリッジ回路部２０の第２電圧（Ｖｓｍ）は式２２で表される。
（式２２）
Ｖｓｍ＝δ（Ｖｇ－α－ΔＶ）
さらに、温度特性調整部３０の第３中点３３の第３電圧（Ｖｓ）は式２３で表される。
（式２３）
Ｖｓ＝δ（Ｖｇ＋β）
定電流回路部１０の異常は、ブリッジ回路部２０及び温度特性調整部３０の全体に掛かるものであるので、第１電圧（Ｖｓｐ）、第２電圧（Ｖｓｍ）、及び第３電圧（Ｖｓ）はδによって支配される。
　そして、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧（Ｖ１）は式２４で表される。
（式２４）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝Ｃ＋｛δＡ（２α＋２ΔＶ）－２Ａα｝×Ｂ
また、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧（Ｖ２）は式２５で表される。
（式２５）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝Ｄ＋｛δＡ（－α－β－ΔＶ）＋Ａ（α＋β）｝×２Ｂ
　このように、定電流回路部１０の異常時では式２４及び式２５に示されるように第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）とは全く異なる値となる。したがって、判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値が正常範囲を超えると判定する。また、判定回路部７０は、合算値に基づいて定電流回路部１０の異常であると判定し、遮断回路部６０に対して第１スイッチ部６１及び第２スイッチ部６２を遮断する旨の指令を出す。
　以上説明したように、本実施形態では、センサ装置８０の第１信号処理回路部４０によってブリッジ回路部２０の状態に依存しやすい第１差電圧（Ｖ１）を取得する構成となっている。一方、ブリッジ回路部２０の異常に関わらず、温度特性調整部３０によって一定の第３電圧を生成することにより、第２信号処理回路部５０によってブリッジ回路部２０の状態に依存しにくい第２差電圧（Ｖ２）を取得する構成となっている。これにより、ブリッジ回路部２０で異常が発生した場合、第２差電圧（Ｖ２）に対して第１差電圧（Ｖ１）を変動させることができる。また、定電流回路部１０の異常時にも第１差電圧（Ｖ１）及び第２差電圧（Ｖ２）を変動させることができる。
　以上により、ブリッジ回路部２０を１つとした構成でも、第１差電圧（Ｖ１）及び第２差電圧（Ｖ２）に基づいてブリッジ回路部２０の異常の有無の判定を可能とすることができる。
　（第２実施形態）
　本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図３に示されるように、温度特性調整部３０は１つの第３抵抗３４によって構成されている。そして、第３抵抗３４のローサイドの電圧すなわちグランド電圧が第３電圧（Ｖｓ）とされる。このように、ブリッジ回路部２０に印加される入力電圧（Ｖ）に対応する第３電圧（Ｖｓ）をグランド電圧としても良い。
　なお、本実施形態の第３抵抗３４が本開示の「抵抗」に対応する。
　（第３実施形態）
　本実施形態では、第１、第２実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図４に示されるように、第３抵抗３４のハイサイドの電圧すなわち入力電圧が第３電圧（Ｖｓ）とされる。このように、ブリッジ回路部２０に印加される入力電圧（Ｖ）に対応する第３電圧（Ｖｓ）を入力電圧（Ｖ）そのものとしても良い。
　（第４実施形態）
　本実施形態に係る物理量検出装置の構成は、図１に示された構成と同じである。但し、上記各実施形態に係るブリッジ回路部２０の第１～第４歪みゲージ２１～２４は平衡条件を満たすホイートストンブリッジ回路として構成されていた。しかしながら、本実施形態に係るブリッジ回路部２０の第１～第４歪みゲージ２１～２４は平衡条件を満たさないブリッジ回路として構成されている。すなわち、第１～第４歪みゲージ２１～２４は平衡条件を満たさないように各抵抗値がそれぞれ設定されている。つまり、第１～第４歪みゲージ２１～２４のゲージバランスが予め崩されている。これにより、ブリッジ回路部２０は、オフセット成分を含んだ第１検出信号及び第２検出信号を出力する。
　第１信号処理回路部４０は、第１検出信号及び第２検出信号に含まれるオフセット成分を補正するための第１オフセット補正値を有している。そして、第１信号処理回路部４０は、第１オフセット補正値によって第１差電圧を補正し、第１差電圧信号を出力する。なお、第１調整部４２が第１オフセット補正値を用いた補正を行う。
　一方、第２信号処理回路部５０は、第２検出信号に含まれるオフセット成分を補正するための第２オフセット補正値を有している。そして、第２信号処理回路部５０は、第２オフセット補正値によって第２差電圧を補正し、第２差電圧信号を出力する。なお、第２調整部５２が第２オフセット補正値を用いた補正を行う。
　ＥＣＵ９０の判定回路部７０は、上記のブリッジ回路部２０の異常の有無を判定する機能だけでなく、定電流回路部１０の異常の有無を判定する機能も備えている。判定回路部７０は、第１信号処理回路部４０から第１差電圧信号を入力すると共に第２信号処理回路部５０から第２差電圧信号を入力し、第１差電圧と第２差電圧との和が正常範囲内であるか否かを判定することにより定電流回路部１０の異常の有無を判定する。以上が、本実施形態に係る物理量検出装置の構成である。
　次に、判定回路部７０における定電流回路部１０の異常判定の作動について説明する。
　まず、定電流回路部１０が正常に動作している場合について説明する。定電流回路部１０が正常動作している場合、定電流回路部１０はブリッジ回路部２０にＩの定電流を流すとする。
　そして、第１歪みゲージ２１の抵抗値をＲ１、第２歪みゲージ２２の抵抗値をＲ２とすると、第１中点２５の第１電圧（Ｖｓｐ）は式２６で表される。
（式２６）
Ｖｓｐ＝｛Ｒ２／（Ｒ１＋Ｒ２）｝×Ｉ
　また、第３歪みゲージ２３の抵抗値をＲ３、第４歪みゲージ２４の抵抗値をＲ４とすると、第２中点２６の第２電圧（Ｖｓｍ）は式２７で表される。
（式２７）
Ｖｓｍ＝｛Ｒ４／（Ｒ３＋Ｒ４）｝×Ｉ
　さらに、温度特性調節部３０の第１抵抗３１の抵抗値をＲ５とし、第２抵抗３２の抵抗値をＲ６とすると、温度特性調整部３０の第３中点３３の第３電圧をＶｓは式２８で表される。
（式２８）
Ｖｓ＝｛Ｒ６／（Ｒ５＋Ｒ６）｝×Ｉ
　したがって、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧（Ｖ１）は、式２９で表される。
（式２９）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝ΔＥ－ΔＥ＝０
　これは、第１電圧と第２電圧との差電圧であるＶｓｐ－Ｖｓｍ（＝Ｒｇ１×Ｉ）が第１増幅部４１でＡＢ倍されるとΔＥとなり、さらに第１調整部４２で（Ｖｚ１＋Ｖｔ１）×Ｂ（＝－ΔＥ）のオフセット調整が行われることを意味している。すなわち、第１信号処理回路部４０は第１オフセット補正値として－ΔＥを有している。上述のように、第１～第４歪みゲージ２１～２４のゲージバランスが崩されているので、第１信号処理回路部４０は第１オフセット補正値（－ΔＥ）によって第１検出信号に含まれるオフセット成分を補正する。なお、Ｒｇ１は式３０で表される。
（式３０）
Ｒｇ１＝（Ｒ２Ｒ３－Ｒ１Ｒ４）／｛（Ｒ１＋Ｒ２）×（Ｒ３＋Ｒ４）｝
　また、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧（Ｖ２）は、式３１で表される。
（式３１）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝－（１／２）×ΔＥ＋（１／２）×ΔＥ＝０
　これは、第２電圧と第３電圧との差電圧であるＶｓｍ－Ｖｓ（＝Ｒｇ２×Ｉ）が第２増幅部５１で２ＡＢ倍されると－（１／２）×ΔＥとなり、さらに第２調整部５２で（Ｖｚ２＋Ｖｔ２）×２Ｂ（＝＋（１／２）×ΔＥ）のオフセット調整が行われることを意味している。すなわち、第２信号処理回路部５０は第２オフセット補正値として＋（１／２）×ΔＥを有している。上述のように、第１～第４歪みゲージ２１～２４のゲージバランスが崩されているので、第２信号処理回路部５０は第２オフセット補正値（＋（１／２）×ΔＥ）によって第１検出信号に含まれるオフセット成分を補正する。なお、Ｒｇ２は式３２で表される。
（式３２）
Ｒｇ２＝（Ｒ４Ｒ５－Ｒ３Ｒ６）／｛（Ｒ３＋Ｒ４）×（Ｒ５＋Ｒ６）｝
　そして、ＥＣＵ９０の判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値を取得する。合算値は式３３で表される。
（式３３）
Ｖ１＋Ｖ２＝０
　判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値が正常範囲内であると判定し、定電流回路部１０に異常が無いと判定する。
　続いて、定電流回路部１０において異常が発生した場合について説明する。この場合、定電流回路部１０はブリッジ回路部２０に例えば２Ｉの異常な電流を流す。したがって、Ｖｓｐ－Ｖｓｍ＝Ｒｇ１×２Ｉとなるので、第１信号処理回路部４０で生成される第１差電圧（Ｖ１）は式３４で表される。
（式３４）
Ｖ１＝｛（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ＋Ｖｚ１＋Ｖｔ１｝×Ｂ＝２ΔＥ－ΔＥ＝ΔＥ
　これは、（Ｖｓｐ－Ｖｓｍ）×Ａ×Ｂ（＝２ΔＥ）が２倍の値になるのに対し、第１オフセット補正値である（Ｖｚ１＋Ｖｔ１）×Ｂ（＝－ΔＥ）の値には変化がないため、演算結果としてΔＥが残ることを示している。
　一方、Ｖｓｍ－Ｖｓ＝Ｒｇ２×２Ｉとなるので、第２信号処理回路部５０で生成される第２差電圧（Ｖ２）は式３５で表される。
（式３５）
Ｖ２＝｛（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×Ａ＋Ｖｚ２＋Ｖｔ２｝×２Ｂ＝－ΔＥ＋（１／２）×ΔＥ＝－（１／２）×ΔＥ
　これは、（Ｖｓｍ－Ｖｓ）×２ＡＢが２倍の値になるのに対し、第２オフセット補正値である（Ｖｚ２＋Ｖｔ２）×２Ｂ（＝＋（１／２）×ΔＥ）の値には変化がないため、演算結果として－（１／２）×ΔＥが残ることを示している。
　そして、ＥＣＵ９０の判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値を取得する。合算値は式３６で表される。
（式３６）
Ｖ１＋Ｖ２＝（１／２）×ΔＥ
　このように、定電流回路部１０に異常が発生している場合は第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値に異常成分が生じる。すなわち、定電流回路部１０からブリッジ回路部２０に供給される電流値に変化が生じると、第１電位差（Ｖ１）のＶｓｐ－Ｖｓｍと第２電位差（Ｖ２）のＶｓｍ－Ｖｓとに差が生じる。したがって、判定回路部７０は、第１差電圧（Ｖ１）と第２差電圧（Ｖ２）との合算値が正常範囲を超えると判定し、定電流回路部１０に異常が発生していると判定する。
　なお、判定回路部７０が定電流回路部１０に異常が発生していると判定した場合、判定回路部７０は遮断回路部６０を動作させてセンサ装置８０からＥＣＵ９０への信号出力を遮断することもできる。
　以上説明したように、定電流回路部１０に異常が発生して定電流の電流値が変化した場合、ブリッジ回路部２０のオフセット成分が変化する。この場合、第１信号処理回路部４０はブリッジ回路部２０の出力を処理する一方、第２信号処理回路部５０はブリッジ回路部２０の出力だけでなく温度特性調整部３０の出力も処理する。このため、第１信号処理回路部４０及び第２信号処理回路部５０の出力に差を生じさせることができる。したがって、第１信号処理回路部４０で取得された第１差電圧（Ｖ１）と第２信号処理回路部５０で取得された第２差電圧（Ｖ２）との和が変化するので、定電流回路部１０の異常を検出することができる。
　（他の実施形態）
　上記各実施形態で示された物理量検出装置の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本開示を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、物理量検出装置が検出すべき物理量は圧力に限られず、検出対象はブリッジ回路部２０によって検出可能な他の物理量でも良い。
　温度特性調整部３０の構成は、上記各実施形態で示された構成に限られない。例えば、温度特性調整部３０は、第３電圧（Ｖｓ）が第１電圧（Ｖｓｐ）と第２電圧（Ｖｓｍ）との差電圧と同じになるように、抵抗値が調整された抵抗によって構成されていても良い。
　上記各実施形態では、第２信号処理回路部５０の第２増幅部５１の第２増幅率は、第１信号処理回路部４０の第１出力部４３の第１増幅率の２倍に設定されていたが、これは増幅率の一例である。したがって、第２増幅率は第１増幅率の２倍に限られない。
　上記各実施形態では、判定回路部７０は物理量検出装置を構成するＥＣＵ９０に設けられていたが、判定回路部７０はセンサ装置８０に設けられていても良い。
　上記各実施形態では、判定回路部７０は物理量検出装置を構成するＥＣＵ９０に設けられていたが、物理量検出装置に判定回路部７０が設けられていなくても良い。上記各実施形態に係る物理量検出装置は、ブリッジ回路部２０の異常判定が可能な信号を出力するように構成されているので、物理量検出装置の出力先で異常の有無の判定が行われれば良い。
　上記各実施形態では、物理量検出装置に遮断回路部６０が設けられていたが、これは構成の一例である。したがって、信号の出力の許可または禁止についての構成が不要であれば、物理量検出装置に遮断回路部６０を設けなくても良い。
　第１、第４実施形態では、第１抵抗３１及び第２抵抗３２は抵抗値が同じであったがこれは一例である。したがって、第１抵抗３１及び第２抵抗３２は抵抗値が異なっていても良い。
　図３及び図４に示された温度特性調整部３０の構成に対して第４実施形態で示されたブリッジ回路部２０、第１信号処理回路部４０、第２信号処理回路部５０、及び判定回路部７０を適用しても良い。
　以上、本開示の実施形態、構成、態様を例示したが、本開示に係わる実施形態、構成、態様は、上述した各実施形態、各構成、各態様に限定されるものではない。例えば、異なる実施形態、構成、態様にそれぞれ開示された技術的部を適宜組み合わせて得られる実施形態、構成、態様についても本開示に係わる実施形態、構成、態様の範囲に含まれる。

Claims (7)

  1. 　物理量の印加に応じて抵抗値が変化すると共に前記抵抗値が温度に応じて変化する、第１歪みゲージ（２１）、第２歪みゲージ（２２）、第３歪みゲージ（２３）、及び第４歪みゲージ（２４）を含むブリッジ回路を備え、当該ブリッジ回路に印加される入力電圧に基づいて前記第１歪みゲージ（２１）と前記第２歪みゲージ（２２）との第１中点（２５）の第１電圧を第１検出信号として出力すると共に、前記第３歪みゲージ（２３）と前記第４歪みゲージ（２４）との第２中点（２６）の第２電圧を第２検出信号として出力するブリッジ回路部（２０）と、
    　前記ブリッジ回路部（２０）に対して並列に接続されており、前記第１歪みゲージ（２１）、前記第２歪みゲージ（２２）、前記第３歪みゲージ（２３）、及び前記第４歪みゲージ（２４）よりも前記物理量の印加及び前記温度に対する抵抗値の変化が小さく、前記ブリッジ回路部（２０）に印加される前記入力電圧に対応する第３電圧を第３検出信号として出力する温度特性調整部（３０）と、
    　前記第１検出信号及び前記第２検出信号を入力し、前記第１電圧と前記第２電圧との差電圧を第１増幅率で増幅した第１差電圧を第１差電圧信号として出力する第１信号処理回路部（４０）と、
    　前記第２検出信号及び前記第３検出信号を入力し、前記第２電圧と前記第３電圧との差電圧を前記第１増幅率とは異なる第２増幅率で増幅した第２差電圧を第２差電圧信号として出力する第２信号処理回路部（５０）と、
    　を備えている物理量検出装置。
  2. 　前記第１差電圧信号及び前記第２差電圧信号を入力し、前記第１差電圧と前記第２差電圧とが所定の正常範囲内であるか否かを判定することにより前記ブリッジ回路部（２０）の異常を判定する判定回路部（７０）を備えている請求項１に記載の物理量検出装置。
  3. 　前記第１信号処理回路部（４０）から出力される前記第１差電圧信号と、前記第２信号処理回路部（５０）から出力される前記第２差電圧信号と、のうち前記判定回路部（７０）によって異常であると判定された信号の出力を遮断する遮断回路部（６０）を備えている請求項２に記載の物理量検出装置。
  4. 　前記ブリッジ回路部（２０）は、前記第１歪みゲージ（２１）、前記第２歪みゲージ（２２）、前記第３歪みゲージ（２３）、及び前記第４歪みゲージ（２４）が平衡条件を満たさないように前記第１歪みゲージ（２１）、前記第２歪みゲージ（２２）、前記第３歪みゲージ（２３）、及び前記第４歪みゲージ（２４）の各抵抗値がそれぞれ設定されており、前記第１検出信号及び前記第２検出信号としてオフセット成分を含んだ信号を出力し、
    　前記第１信号処理回路部（４０）は、前記オフセット成分を補正するための第１オフセット補正値を有し、当該第１オフセット補正値によって前記第１差電圧を補正し、
    　前記第２信号処理回路部（５０）は、前記オフセット成分を補正するための第２オフセット補正値を有し、当該第２オフセット補正値によって前記第２差電圧を補正し、
    　前記ブリッジ回路部（２０）及び前記温度特性調整部（３０）に定電流を供給する定電流回路部（１０）と、
    　前記第１差電圧信号及び前記第２差電圧信号を入力し、前記第１差電圧と前記第２差電圧との和が所定の正常範囲内であるか否かを判定することにより前記定電流回路部（１０）の異常を判定する判定回路部（７０）と、を備えている請求項１ないし３のいずれか１つに記載の物理量検出装置。
  5. 　前記温度特性調整部（３０）は、第１抵抗（３１）と当該第１抵抗（３１）と同じ抵抗値の第２抵抗（３２）とが直列接続されて構成されており、前記第１抵抗（３１）と前記第２抵抗（３２）との第３中点（３３）の電圧が前記第３電圧とされ、当該第３電圧を前記第３検出信号として出力する請求項１ないし４のいずれか１つに記載の物理量検出装置。
  6. 　前記温度特性調整部（３０）は、１つの抵抗（３４）を含み、前記１つの抵抗（３４）のローサイドがグランドに電気的に接続されており、当該１つの抵抗（３４）のローサイドの電圧が前記第３電圧とされ、当該第３電圧を前記第３検出信号として出力する請求項１ないし４のいずれか１つに記載の物理量検出装置。
  7. 　前記温度特性調整部（３０）は、１つの抵抗（３４）を含み、前記１つの抵抗（３４）のハイサイドに前記入力電圧が印加されており、当該１つの抵抗（３４）のハイサイドの入力電圧が前記第３電圧とされ、当該第３電圧を前記第３検出信号として出力する請求項１ないし４のいずれか１つに記載の物理量検出装置。
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