WO2015098809A1 - 加工容器及びレーザ加工装置 - Google Patents

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WO2015098809A1
WO2015098809A1 PCT/JP2014/083856 JP2014083856W WO2015098809A1 WO 2015098809 A1 WO2015098809 A1 WO 2015098809A1 JP 2014083856 W JP2014083856 W JP 2014083856W WO 2015098809 A1 WO2015098809 A1 WO 2015098809A1
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WO
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plate
adjacent
front plate
processing container
side edge
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PCT/JP2014/083856
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English (en)
French (fr)
Inventor
耕佑 後田
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Brother Industries Ltd
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Brother Industries Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special environment or atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/127—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special environment or atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/035—Aligning the laser beam
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors

Definitions

  • the present invention relates to a processing container that supports a head portion that scans a processing surface of a processing object with laser light, and a laser processing apparatus that includes the head portion and the processing container.
  • the defect cause determination apparatus described in Patent Document 1 below includes an XY stage that can move in the X-axis direction and the Y-axis direction, a sample chamber that houses the XY stage, and the surface of the sample placed on the XY stage.
  • the defect cause determination apparatus includes a CCD video camera that photographs the sample surface on the XY stage, and the user confirms the position of the visible laser light photographed by the CCD camera on the sample surface on the monitor and displays the XY stage. It is configured to operate and align the sample.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and a small processing container and laser capable of safely and easily confirming the irradiation position of a visible laser beam on a processing object.
  • An object is to provide a processing apparatus.
  • a processing container includes an oscillator that emits laser light, a visible laser light source that emits visible laser light, a laser light emitted from the oscillator, and a laser beam emitted from the visible laser light source.
  • the processing container includes the condensing unit Formed on the emission direction side of the unit, and a processing table on which a workpiece is arranged, a hole that supports the head unit and through which the laser beam and the visible laser beam emitted from the light collecting unit pass are formed.
  • the front plate is configured to be openable and closable, and the adjacent side plate is oriented in a direction approaching the front plate from a perpendicular extending from the optical axis of the light collecting unit to the adjacent side plate.
  • the adjacent side plate When the front plate is opened, the adjacent side plate is visible from a portion through which a perpendicular extending from at least the optical axis of the adjacent side portion to the adjacent side portion passes. Light is passing through. It should be noted that the visible light is not limited to the case where the adjacent side plate is removed from the adjacent side surface portion and the visible light passes, but the visible light passes through the light shielding film that shields the laser light and transmits the visible light. The case of passing is also included.
  • the user can confirm the irradiation position of the visible laser beam on the workpiece from the direction facing the front plate of the processing table by opening the front plate. Further, the user can confirm the irradiation position of the visible laser beam on the object to be processed through the near side surface portion from the perpendicular direction extending from the optical axis of the light collecting portion to the adjacent side surface plate. In other words, the user can easily confirm the irradiation position of the visible laser beam on the workpiece placed on the machining table from the two-axis directions orthogonal to the optical axis of the light collecting unit by opening the front plate.
  • the alignment of the processing object with respect to the visible laser beam and the laser beam can be performed quickly.
  • the laser light reflected on the object to be processed can be blocked by the front plate and the adjacent side plate, and the user can perform the work safely.
  • the irradiation position of the visible laser beam on the workpiece placed on the processing table can be visually adjusted with a simple configuration without installing a camera or the like, and the processing container can be downsized. Can do.
  • the processing container may include a rotation support portion that rotatably supports the adjacent side plate with a side edge portion of the adjacent side plate opposite to the front plate as a rotation axis. Good.
  • the upper surface member includes an adjacent upper surface plate that covers a ceiling portion of the processing container in a direction approaching the front plate from a perpendicular extending from the optical axis of the light collecting unit to the adjacent side surface plate.
  • a side edge portion of the adjacent upper surface plate on the side of the front plate is fixed to a side edge portion of the front surface plate on the side of the adjacent upper surface plate, and is opposite to the front plate of the adjacent upper surface plate.
  • the side edge portion may be separated from the opposite side edge portion of the upper surface member.
  • the side edge portions on the front plate side of the adjacent side plates adjacent to both side edge portions of the front plate are respectively fixed to the side edge portions of the adjacent front plates.
  • the face plate and the adjacent upper surface plate are separated along a perpendicular extending from the optical axis of the light collecting portion to the front plate, and the rotation support portion is fixed to each side edge of the front plate.
  • the adjacent side plate may be rotatably supported using each side edge portion of the adjacent side plate opposite to the front plate as a rotation axis.
  • the processing container includes a cover member formed by the front plate and the adjacent side plate, a main body box having the processing base and the upper surface member, and the cover member being detachably provided.
  • One side edge of the adjacent side plate on the side of the front plate is fixed to a side edge of the front side plate on the side of the adjacent side plate, and the cover member is the front plate of the adjacent side plate
  • the main body box portion is formed on a side edge portion opposite to the other side edge portion of the adjacent side plate.
  • the engaging portion may be configured to be engageable with the engaging portion.
  • the cover member has an adjacent upper surface plate that covers the ceiling portion of the processing container in a direction approaching the front plate from the optical axis of the light collecting portion, and the adjacent upper surface plate faces the front plate.
  • the side edge portion to be fixed to the side edge portion on the adjacent upper surface plate side of the front plate, and the side edge portion on the side opposite to the front plate of the adjacent upper surface plate is opposed to the upper surface member. It may be separated from the side edge.
  • the processing container includes a cover member formed by the front plate and the adjacent side plate, a main body box portion having the processing base and the upper surface member, and the cover member being provided to be openable and closable.
  • One side edge portion of the adjacent side plate on the side of the front plate is fixed to a side edge portion of the front plate on the side of the adjacent side plate, and the main body box portion is connected to the front side plate of the adjacent side plate.
  • the cover member is formed along a side of the optical axis by sliding on the other side edge of the adjacent side plate. You may have the slide support part supported so that a slide movement is possible.
  • the adjacent side plate closes the through hole and transmits light, and is formed at a position where a perpendicular extending from the optical axis of the light collecting portion to the adjacent side plate passes.
  • a light-transmitting plate, and the light-transmitting plate may be provided with a light-shielding film that blocks the laser light and transmits the visible light.
  • the laser processing apparatus includes an oscillator that emits laser light, a visible laser light source that emits visible laser light, a laser light that is emitted from the oscillator, and a visible laser that is emitted from the visible laser light source.
  • a condensing unit that collects light and emits the light toward a workpiece, and a box-shaped processing container that supports the head unit, and the processing container includes: A processing base on which the processing target is placed and a head that supports the head unit and through which the laser beam and the visible laser beam emitted from the focusing unit pass, are provided on the emission direction side of the focusing unit.
  • the top member and the plurality of members are formed of a light shielding material that shields the laser beam reflected on the object to be processed, and the plurality of side members are a front plate that is one surface of the plurality of side surfaces, and the front plate.
  • the adjacent side plate is configured to be openable and closable, and the adjacent side plate approaches the front plate from a perpendicular extending from the optical axis of the light collecting unit to the adjacent side plate.
  • the adjacent side plate is a portion through which a perpendicular extending from at least the optical axis of the adjacent side plate to the adjacent side plate passes when the front plate is opened. Visible laser light is passed through.
  • FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of a laser head unit 2.
  • FIG. 2 is a side view showing a schematic configuration of a laser head unit 2.
  • FIG. 3 is a perspective view of a processing container 3.
  • FIG. 5 is a plan view of FIG. 4. It is a perspective view in the state where door 3A of processing container 3 was opened.
  • FIG. 7 is a plan view of FIG. 6. It is a perspective view explaining the alignment method of the process target object. It is a side view explaining the alignment method of the process target object. It is a perspective view which shows the state which slid the slide door 75 of the laser processing apparatus 71 which concerns on 2nd Embodiment upwards.
  • FIG. 14 is a side view of FIG. 13. It is a perspective view which shows the state which opened the front board 95 of the laser processing apparatus 111 which concerns on 4th Embodiment.
  • FIG. 16 is a side view of FIG. 15.
  • FIG. 1 a schematic configuration of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 7.
  • the double door 3 ⁇ / b> A side of the box-shaped processing container 3 is the front direction
  • the back side with respect to the door 3 ⁇ / b> A of the processing container 3 is the rear direction.
  • the optical axis 16A direction of the f ⁇ lens 16 is the vertical direction
  • the upper surface plate portion 36A side that supports the laser head portion 2 of the processing container 3 is the upper side.
  • the direction orthogonal to the up-down direction and the front-back direction of the laser processing apparatus 1 is the left-right direction of the laser processing apparatus 1.
  • the laser processing apparatus 1 includes a laser head portion 2 that emits laser light L and visible laser light M (see FIG. 2) coaxially from an f ⁇ lens 16, and the laser head portion 2 is an upper surface plate portion. It is comprised from the substantially box-shaped processing container 3 fixed on 36A.
  • the laser head unit 2 includes a main body base 5, a laser oscillation unit 6 that emits laser light L, an optical shutter unit 7, an optical damper 8, a half mirror 9, and a guide.
  • the optical unit 11, the reflection mirror 12, the optical sensor 13, the galvano scanner 15, the f ⁇ lens 16, and the like are covered with a substantially rectangular parallelepiped housing cover 17.
  • the laser oscillation unit 6 includes a laser oscillator 18, a beam expander 19, and a mounting base 21.
  • the laser oscillator 18 is configured by a CO 2 laser, a YAG laser, or the like, and outputs a laser beam L for performing marking (printing) processing on the processing surface 22A of the processing target 22.
  • the beam expander 19 changes (for example, enlarges) the beam diameter of the laser light L, and is provided coaxially with the laser oscillator 18.
  • the mounting base 21 is mounted so that the laser oscillator 18 can adjust the optical axis of the laser beam L, and is fixed to the upper surface on the rear side of the main body base 5 with respect to the center position in the front-rear direction by the mounting screws 23.
  • the optical shutter unit 7 includes a shutter motor 25 and a flat shutter 26.
  • the shutter motor 25 is composed of a stepping motor or the like.
  • the shutter 26 is attached to the motor shaft of the shutter motor 25 and rotates coaxially.
  • the shutter 26 is rotated to a position that blocks the optical path of the laser beam L emitted from the beam expander 19, the shutter 26 reflects the laser beam L to the optical damper 8 provided in the right direction with respect to the optical shutter unit 7.
  • the laser light L emitted from the beam expander 19 is on the front side of the optical shutter unit 7. The light is incident on the half mirror 9 disposed in the position.
  • the optical damper 8 absorbs the laser light L reflected by the shutter 26.
  • the heat generated by the optical damper 8 is thermally conducted to the main body base 5 and cooled by a cooling device (not shown).
  • the half mirror 9 is disposed so as to form an angle of 45 degrees obliquely in the lower left direction with respect to the optical path of the laser light L.
  • the half mirror 9 transmits almost all of the laser light L incident from the rear side. Further, the half mirror 9 reflects a part of the laser beam L incident from the rear side, for example, 1% of the laser beam L to the reflection mirror 12 at a reflection angle of 45 degrees.
  • the reflection mirror 12 is arranged in the left direction with respect to the approximate center position of the rear side surface on which the laser light L of the half mirror 9 is incident.
  • the guide light unit 11 includes a visible semiconductor laser 27 that emits visible laser light, for example, red laser light, and a lens group (not shown) that converges the visible laser light M emitted from the visible semiconductor laser 27 into parallel light.
  • the visible laser beam M has a wavelength different from that of the laser beam L emitted from the laser oscillator 18.
  • the guide light unit 11 is disposed in the right direction with respect to a substantially central position where the laser light L of the half mirror 9 is emitted.
  • the visible laser beam M is incident at a substantially central position where the laser beam L of the half mirror 9 is emitted at an incident angle of 45 degrees with respect to the front side surface of the half mirror 9, that is, the reflecting surface. Is reflected on the optical path of the laser beam L at a reflection angle of. That is, the visible semiconductor laser 27 emits the visible laser light M onto the optical path of the laser light L.
  • the reflectivity of the half mirror 9 has wavelength dependency. Specifically, the half mirror 9 is subjected to a surface treatment of a multilayer film structure of a dielectric layer and a metal layer, has a high reflectance with respect to the wavelength of the visible laser light M, and has a wavelength other than that. The light is configured to transmit almost (99%).
  • the reflection mirror 12 is disposed so as to form an angle of 45 degrees obliquely in the lower left direction with respect to the front-rear direction parallel to the optical path of the laser light L, and the reflection mirror 12 reflects the laser light L reflected on the rear side surface of the half mirror 9. A part of the light is incident at an incident angle of 45 degrees with respect to a substantially central position of the reflecting surface.
  • the reflection mirror 12 reflects the laser beam L incident on the reflection surface at an incident angle of 45 degrees toward the front side at a reflection angle of 45 degrees.
  • the optical sensor 13 is composed of a photodetector or the like that detects the emission intensity of the laser light L, and is arranged in the front direction in FIG. 2 with respect to the substantially central position where the laser light L of the reflection mirror 12 is reflected. As a result, the optical sensor 13 receives the laser beam L reflected by the reflection mirror 12 and detects the emission intensity of the incident laser beam L. Accordingly, it is possible to detect the emission intensity of the laser light L output from the laser oscillator 18 via the optical sensor 13.
  • the galvano scanner 15 is attached to the upper side of the through hole 28 formed at the front end of the main body base 5, and the laser beam L emitted from the laser oscillation unit 6 and the visible laser beam M reflected by the half mirror 9 Are two-dimensionally scanned downward.
  • the galvano scanner 15 includes a galvano X-axis motor 31 and a galvano Y-axis motor 32 that are fitted into the respective mounting holes 33 from the outside so that the respective motor shafts are orthogonal to each other. Scanning mirrors attached to the tip end face each other inside. Then, the rotation of each of the motors 31 and 32 is controlled to rotate each scanning mirror, whereby the laser beam L and the visible laser beam M are two-dimensionally scanned downward.
  • the two-dimensional scanning direction is a front-rear direction (X direction) and a left-right direction (Y direction).
  • the f ⁇ lens 16 coaxially collects the laser beam L and the visible laser beam M, which are two-dimensionally scanned by the galvano scanner 15, on the processing surface 22 ⁇ / b> A of the processing target 22 disposed below. Shine. Therefore, by controlling the rotation of the motors 31 and 32, the laser light L and the visible laser light M are formed in a desired print pattern on the processing surface 22A of the processing target 22 in the front-rear direction (X direction) and the left-right direction. Two-dimensional scanning is performed in the (Y direction).
  • the processing container 3 includes a substantially box-shaped main body box portion 36 whose front side is open, each door 3 ⁇ / b> A with double doors covering the front side of the main body box portion 36, and a processing object.
  • 22 includes a processing table 37 on which 22 is disposed.
  • the main body box portion 36 and each door 3A are formed of a material such as iron or stainless steel that shields the laser light L reflected on the workpiece 22.
  • the main body box portion 36 includes a substantially rectangular upper surface plate portion 36A that forms the ceiling portion 40, a rectangular rear surface plate portion 36B that forms the back side wall surface portion, and rectangular side surface plate portions that form the left and right side wall portions.
  • 36C and a bottom frame portion 36D which is formed in a square frame shape and has a predetermined length, for example, a length of about 30 cm, and protrudes forward from each side plate portion 36C. Therefore, an opening 36E having a predetermined length from the front surface side of the main body box portion 36D of the bottom surface portion 36D, for example, a length of about 30 cm, and an upper side opened from a portion protruding forward is formed.
  • the main body box portion 36 has leg members 38 fixed at four corners (three places are shown in FIG. 4) of the bottom surface portion 36D, and the laser processing apparatus 1 attaches these leg members 38 to each other. It is arranged on the floor or the like.
  • a holding member 39 that is open in a horizontally long rectangle and is recessed inward is fitted into the upper end portion of both side surface plate portions 36 ⁇ / b> C at a substantially central portion in the front-rear direction. Therefore, the user can carry the processing container 3 with the holding members 39.
  • Each door 3 ⁇ / b> A covering the opening 36 ⁇ / b> E is configured with double doors.
  • each door 3 ⁇ / b> A is composed of vertically rectangular front plates 41 ⁇ / b> A and 41 ⁇ / b> B, vertically rectangular adjacent side plates 42, and horizontally rectangular adjacent upper surface plates 43 ⁇ / b> A and 43 ⁇ / b> B.
  • Each of the front plates 41A and 41B has a width dimension that is about a half of the length in the left-right direction of the top plate portion 36A in a front view, and is formed in a vertical dimension that is substantially equal to the vertical length of the side plate portion 36C.
  • Each adjacent side plate 42 has a width dimension substantially equal to the protruding length protruding forward from the side plate part 36C of the bottom surface part 36D and a vertical dimension substantially equal to the vertical length of the side plate part 36C. Has been.
  • Each adjacent upper surface plate 43A, 43B has a width dimension in the left-right direction that is about 1 ⁇ 2 of the length in the left-right direction of the upper surface plate portion 36A in plan view, and protrudes forward from the side surface plate portion 36C of the bottom surface portion 36D. It is formed in a longitudinal dimension substantially equal to the length.
  • the rear side edge portions of the adjacent upper surface plates 43A and 43B are separated from the front side edge portion of the upper surface plate portion 36A. And the side edge part of the left-right direction outer side of each front board 41A and 41B and the side edge part of the front side of each adjacent side board 42 are being fixed by welding etc.
  • each front plate 41A, 41B and the front side edge of each adjacent upper surface plate 43A, 43B are fixed by welding or the like, and the upper side edge of each adjacent side plate 42
  • each door 3A covers the opening 36E in a bilaterally symmetrical manner, and via each hinge 45, the side edge portion on the rear side of the adjacent side plate 42 is used as a rotation axis to the outside in the left-right direction (FIG. 6).
  • Middle in the direction of arrows 46A and 46B.
  • each front plate 41A, 41B and each adjacent upper surface plate 43A, 43B of each door 3A are connected to each front plate from the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 via each hinge 45 as shown in FIGS. It divides along the perpendicular extended to 41A and 41B, and it is comprised so that it may become double opening.
  • a substantially circular through hole 47 into which the f ⁇ lens 16 of the laser head portion 2 is fitted is formed by the notches 47A to 47C formed at the rear corners on the inner side in the left-right direction of the face plates 43A and 43B.
  • the through-hole 47 is not limited to a circular shape, and may be formed in a polygonal shape such as a quadrangle, a pentagon, or a hexagon, or another shape such as a rhombus, an ellipse, or a trapezoid as long as the f ⁇ lens 16 can be inserted. Also good.
  • the center 48 of the substantially circular through-hole 47 is located on the front side of the upper side plate portion 36A of the main body box portion 36, that is, on the front plate 41A, 41B side.
  • a predetermined distance D1 for example, a position separated by a distance D1 of about 3 cm. Therefore, as shown in FIG. 9, the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 fitted in the through hole 47 passes through the center 48 of the substantially circular through hole 47 or a position near the center 48, so that the upper surface plate portion 36A and the front side edge part of the side plate part 36C are located on the front side by a predetermined distance D1.
  • a substantially U-shaped handle 51 is attached to the front upper end of the side edge on the inner side in the left-right direction of each of the front plates 41A and 41B.
  • a pair of quadrangular through holes 52 are formed adjacent to each other below the handle 51 of each front plate 41A, 41B.
  • Each pair of through-holes 52 is closed on the inner side, that is, the rear side in FIG. 4, by a transparent plate 53 that is formed of a transparent glass or acrylic plate and transmits visible light.
  • each of the transmission plates 53 shields the laser light L emitted from the laser oscillator 18 and reflected on the processing surface 22A of the workpiece 22 and shields the visible light from the light shielding film 55 (for example, “YLC-1” (manufactured by Sigma Koki Co., Ltd.) is pasted over the entire surface.
  • each front board 41A, 41B is attached to the front lower end part of the side edge on the inner side in the left-right direction, and a slide stopper 56 is attached to the front board 41A, 41B by sliding the slide lever 56A left and right. It is configured to be closed and locked.
  • the slide lever 56A is always urged to slide rightward by a spring (not shown) attached to the slide stopper 56.
  • a rectangular frame-like bottom plate 58 ⁇ / b> D of the main body box 36 has a horizontally long bottom plate 58 that protrudes forward from the side plate 36 ⁇ / b> C. Is mounted so as to cover the entire width in the left-right direction from the position in the vicinity of the portion to the position slightly behind the front side edge of the side plate portion 36C. Further, the bottom plate 58 is provided with a processing table 37 on which the processing object 22 is arranged at a portion facing the through hole 47 formed when each door 3A is closed.
  • the processing table 37 is horizontally disposed so as to face the through hole 47 of the bottom plate 58, and is placed on the left side of the mounting plate 59 and a mounting plate 59 having a rectangular shape in plan view on which the workpiece 22 is mounted. And a slide rail 61 that supports the mounting plate 59 so as to be slidable in the vertical direction. Further, the slide rail 61 is provided with a fixing screw 61A on the front side surface portion for fixing the mounting plate 59 at a desired height after sliding the mounting plate 59 in the vertical direction.
  • the visible semiconductor laser of the guide light unit 11 is stopped in a state where the laser light L emitted from the laser oscillator 18 is stopped via a controller (not shown). 27 is driven to emit visible laser light M. Then, the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to stop at predetermined positions, and the visible laser light M is emitted onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16.
  • the user moves the slide lever 56A of the slide stopper 56 of the processing container 3 to the left side to release the locking, and rotates each door 3A outward in the left-right direction so that the outer side surface of the adjacent side plate 42 is moved.
  • the front plates 41 ⁇ / b> A and 41 ⁇ / b> B approach each other from the perpendicular 63 extending from the optical axis 16 ⁇ / b> A to each adjacent side plate 42 covered with the adjacent side plate 42 of each door 3 ⁇ / b> A.
  • the side surface portion of the processing container 3 including the adjacent side surface portion 62 that is oriented is opened.
  • the front part of the processing container 3 covered with each front plate 41A, 41B of each door 3A is opened.
  • the user visually recognizes the irradiation position of the visible laser beam M emitted onto the workpiece 22 along the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 from the left and right directions and from the front, that is, from two orthogonal axis directions,
  • the position of the processing object 22 on the mounting plate 59 of the processing table 37 can be adjusted.
  • the driving of the visible semiconductor laser 27 is stopped and the laser beam L is emitted from the laser oscillator 18 via a controller (not shown).
  • a controller not shown
  • the user releases the slide stoppers 56 and rotates the doors 3A outward in the left-right direction so that the outside of the adjacent side plates 42 is removed.
  • the side surface is brought into contact with the side plate portion 36C.
  • the visible semiconductor laser 27 is driven via a controller (not shown), and the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to emit the visible laser light M onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16. .
  • the user can visually recognize the irradiation position of the visible laser beam M emitted on the workpiece 22 arranged on the mounting plate 59 of the processing table 37 from the left and right directions and from the front, that is, from two orthogonal axes.
  • the processing object 22 can be quickly positioned on the mounting plate 59.
  • the laser beam L and the visible laser beam M are emitted coaxially from the f ⁇ lens 16, the user quickly aligns the processing target 22 on the mounting plate 59 with respect to the irradiation position of the laser beam L. Can be done.
  • the laser beams L reflected on the workpiece 22 are reflected on the front plates 41A and 41B, the adjacent side plates 42, and the adjacent upper surface plates.
  • the light can be shielded by 43A and 43B, and the user can safely perform the work. Even if a camera or the like is not installed, the irradiation position of the visible laser beam M on the workpiece 22 placed on the processing table 37 can be visually adjusted with a simple configuration, and the processing container 3 can be downsized. Can be planned.
  • each door 3A is configured with double doors, it becomes possible to narrow the space around the front side of the processing container 3 necessary for opening each door 3A. The required space can be saved.
  • the schematic configuration of the laser processing apparatus 71 according to the second embodiment is substantially the same as that of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment. However, the difference is that a processing container 72 is provided instead of the processing container 3.
  • the processing container 72 has a processing box on which a substantially box-shaped main body box part 73 whose front side is open, a sliding door 75 that slides in the vertical direction, and the processing object 22 is arranged. 37 or the like.
  • the main body box 73 and the slide door 75 are formed of a material such as iron or stainless steel that shields the laser light L reflected on the workpiece 22.
  • the main body box 73 has substantially the same configuration as the main body box 36 of the processing container 3. However, the front side edge portion of the upper surface plate portion 73A extends horizontally to the front side of the front end portion of the laser head portion 2, and corresponds to the adjacent upper surface plates 43A and 43B of the doors 3A of the first embodiment. The part is formed continuously.
  • the upper surface plate portion 73A is formed with a substantially circular through hole 47 into which the f ⁇ lens 16 is inserted and inserted at a position corresponding to the f ⁇ lens 16 of the laser head portion 2 fixed on the upper surface plate portion 73A.
  • the center 48 of the through hole 47 is a predetermined distance D1, for example, a distance of about 3 cm, from the front side edge of each side plate 36C to the front side, that is, to the slide door 75 side. It is provided at a position away from D1. Therefore, as shown in FIG. 11, the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 fitted in the through hole 47 passes through the center 48 of the substantially circular through hole 47 or a position near the center 48, so that the side plate portion It is located on the front side by a predetermined distance D1 from the front side edge of 36C.
  • a slide rail 76 is provided at the front side edge of each side plate portion 36C to support the slide door 75 so as to be slidable in the vertical direction, that is, along the direction of the optical axis 16A.
  • a gripping member 39 that is opened in a horizontally long rectangle and recessed inward is fitted into the side plate portions 36C. Therefore, the user can carry the processing container 72 with the gripping member 39.
  • a slide lever 77 is provided at the front corner of the upper end portion of the left side plate portion 36C so as to be able to advance and retreat in the front-rear direction, and is urged forward by a spring (not shown).
  • the slide lever 77 is configured such that when the slide door 75 moves to the uppermost side, the shaft portion 77A protrudes in the front direction and comes into contact with the lower end portion of the adjacent side plate 78 on the left side of the slide door 75. ing. Further, when the slide door 75 moves to the uppermost side and the lower end portion is supported by the shaft portion 77 ⁇ / b> A of the slide lever 77, an opening 73 ⁇ / b> E is formed in the front surface portion of the processing container 72. Further, the slide door 75 is configured to be slidable downward by pushing the slide lever 77 rearward to house the shaft portion 77A inside.
  • the sliding door 75 that covers the opening 73E includes a rectangular front plate 79 that covers the front of the opening 73E, a pair of vertically adjacent side plates 78 that cover the left and right of the opening 73E, and an upper edge of the front plate 79. It is comprised from the adjacent upper surface board 81 fixed to.
  • the front plate 79 has a width dimension substantially equal to the length in the left-right direction of the upper surface plate portion 73A and a vertical dimension substantially equal to the length in the vertical direction of the side plate portion 36C.
  • Each adjacent side plate 78 has a width dimension substantially equal to a protruding length protruding forward from the side plate part 36C of the bottom surface part 36D, and a vertical dimension substantially equal to the vertical length of the side plate part 36C. Has been.
  • the adjacent upper surface plate 81 has a length substantially equal to the distance from the front side edge of the upper surface plate portion 73A to the front plate 79 in a plan view and is substantially equal to the length in the left-right direction of the upper surface plate portion 73A. Is formed.
  • the left and right side edges of the front plate 79 and the front side edges of the adjacent side plates 78 are fixed by welding or the like.
  • the upper side edge of the front plate 79 and the front side edge of the adjacent upper surface plate 81 are fixed by welding or the like, and the front end of the upper side edge of each adjacent side plate 78 and the adjacent upper surface plate 81.
  • the side edges in the left and right direction are fixed by welding or the like. Therefore, the slide door 75 is constituted by the front plate 79, each adjacent side plate 78, and the adjacent upper surface plate 81.
  • a slide rail 76 provided at the front side edge of each side plate 36C is provided on the side edge on the side opposite to the front plate 79 of each adjacent side plate 78, that is, on the side edge on the side plate 36C side.
  • a slide engagement portion 82 that engages with each other is formed over substantially the entire length.
  • three through holes 83 are formed adjacent to each other at the center portion of the front plate 79 so as to be arranged in two right and left rows.
  • Each through-hole 83 is formed of a transparent glass, an acrylic plate, or the like, and is closed on the inner side, that is, the rear side in FIG. 11, by a single transmission plate 84 that transmits visible light.
  • a light shielding film 55 that shields the laser light L emitted from the laser oscillator 18 and reflected on the processing surface of the processing target 22 and transmits visible light over the entire surface of the transmission plate 84. It is pasted.
  • the visible semiconductor laser 27 of the guide light unit 11 is driven by a visible laser by stopping the laser light L via a controller (not shown).
  • Light M is emitted.
  • the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to stop at predetermined positions, and the visible laser light M is emitted onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16.
  • the user moves the slide door 75 to the uppermost side, causes the shaft portion 77A of the slide lever 77 to protrude in the front direction, and contacts the lower end portion of the adjacent side plate 78 on the left side of the slide door 75.
  • the shaft portion 77A of the slide lever 77 to protrude in the front direction, and contacts the lower end portion of the adjacent side plate 78 on the left side of the slide door 75.
  • FIGS. 10 and 11 in a direction approaching the front plate 79 from the vertical line 86 that is covered with each adjacent side plate 78 of the slide door 75 and extends from the optical axis 16 ⁇ / b> A to each adjacent side plate 42.
  • the left and right side portions of the processing container 72 including the adjacent side surface portion 85 are opened.
  • the front portion of the processing container 72 covered with the front plate 79 of the slide door 75 is opened.
  • the user visually recognizes the irradiation position of the visible laser beam M emitted onto the workpiece 22 along the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 from the left and right directions and from the front, that is, from two orthogonal axis directions,
  • the position of the processing object 22 on the mounting plate 59 of the processing table 37 can be adjusted.
  • the user pushes the slide lever 77 in the rearward direction to house the shaft portion 77A inside, thereby sliding the slide door 75 downward and bringing it into contact with the bottom surface portion 36D to close the opening 73E.
  • the driving of the visible semiconductor laser 27 is stopped and a laser beam L is emitted from the laser oscillator 18 via a controller (not shown). Then, by controlling the rotation of the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 via a controller (not shown), it is possible to perform marking (printing) processing of a predetermined pattern on the processing surface 22A of the processing target 22.
  • the user moves the slide door 75 to the uppermost side to project the shaft portion 77A of the slide lever 77 in the front direction, thereby sliding the slide door 75. Is brought into contact with the lower end of the adjacent side plate 78 on the left side and stopped.
  • the visible semiconductor laser 27 is driven via a controller (not shown), and the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to emit the visible laser light M onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16. .
  • the user can visually recognize the irradiation position of the visible laser beam M emitted on the workpiece 22 arranged on the mounting plate 59 of the processing table 37 from the left and right directions and from the front, that is, from two orthogonal axes.
  • the processing object 22 can be quickly positioned on the mounting plate 59.
  • the laser beam L and the visible laser beam M are emitted coaxially from the f ⁇ lens 16, the user quickly aligns the processing target 22 on the mounting plate 59 with respect to the irradiation position of the laser beam L. Can be done.
  • the user pushes the slide lever 77 in the rearward direction and stores the shaft portion 77A inside, thereby moving the slide door 75 downward and contacting the bottom surface portion 36D to close the opening 73E.
  • the laser beam L reflected on the workpiece 22 can be shielded by the front plate 79, the adjacent side plates 78, and the adjacent upper surface plate 81, and the user can safely perform the work.
  • the irradiation position of the visible laser beam M on the workpiece 22 arranged on the processing table 37 can be visually adjusted with a simple configuration, and the processing container 72 can be downsized. Can be planned.
  • the sliding door 75 can be slid in the vertical direction, that is, in the direction of the optical axis 16 ⁇ / b> A and stopped at the uppermost position, and the front side and the left and right peripheral parts of the processing container 72 necessary for opening the sliding door 75.
  • the space required for installing the processing container 72 can be saved.
  • FIGS. 2, 3, 13, and 14 the same reference numerals as those of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment in FIGS. 1 to 9 denote the same or corresponding parts as those of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment. It is shown.
  • the schematic configuration of the laser processing apparatus 91 according to the third embodiment is substantially the same as the configuration of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment.
  • a processing container 92 is provided instead of the processing container 3.
  • the processing container 92 has substantially the same configuration as the processing container 3, but a removable cover that covers the opening 36 ⁇ / b> E on the front side of the main body box 36 instead of each door 3 ⁇ / b> A.
  • the member 93 is provided.
  • the cover member 93 is formed of a material such as iron or stainless steel that shields the laser light L reflected on the workpiece 22.
  • the cover member 93 includes a rectangular front plate 95 that covers the front of the opening 36E, a pair of adjacent rectangular side plates 96 that cover the left and right of the opening 36E, and a substantially horizontally long rectangle that covers the ceiling 102 of the opening 36E. And the adjacent upper surface plate 97.
  • the front plate 95 is formed with a width dimension substantially equal to the length in the left-right direction of the upper surface plate portion 36A in a front view and a vertical dimension substantially equal to the length in the vertical direction of the side plate portion 36C.
  • Each adjacent side plate 96 has substantially the same shape as the adjacent side plate 42 of the first embodiment, and has a width dimension substantially equal to the protruding length protruding forward from the side plate portion 36C of the bottom surface portion 36D.
  • the vertical dimension of the portion 36C is approximately equal to the vertical length.
  • the rear side edge 96A of each adjacent side plate 96 is separated from the front side edge of each side plate 36C.
  • the adjacent upper surface plate 97 has a width dimension substantially equal to the length in the left-right direction of the upper surface plate portion 36A in a plan view, and a longitudinal length in the front-rear direction substantially equal to the protruding length protruding forward from the side surface plate portion 36C of the bottom surface portion 36D. Dimension is formed.
  • the rear side edge portion 97B of the adjacent upper surface plate 97 is separated from the front side edge portion of the upper surface plate portion 36A.
  • An arc-shaped notch formed at the center in the left-right direction of the front side edge of the upper surface plate portion 36A is provided at the center in the left-right direction of the rear side edge portion 97B facing the upper surface plate portion 36A of the adjacent upper surface plate 97.
  • an arcuate notch 97A that forms a through hole 47 (see FIG. 4) having a diameter on the outer peripheral surface of the f ⁇ lens 16 is formed.
  • each side edge in the left-right direction of the front plate 95 and the front side edge of the adjacent side plate 96 are fixed by welding or the like. Further, the upper side edge of the front plate 95 and the front side edge of the adjacent upper surface plate 97 are fixed by welding or the like, and the upper side edge of each adjacent side surface plate 96 and the left and right direction of the adjacent upper surface plate 97 are fixed. Each side edge is fixed by welding or the like.
  • each through hole 95A is formed adjacent to each other at the center of the front plate 95 so as to be arranged in two rows on the left and right.
  • Each through hole 95 ⁇ / b> A is closed on the inner side, that is, the rear side in FIG. 14, by a single transmission plate 94 that is formed of a transparent glass or acrylic plate and transmits visible light.
  • a light-shielding film 55 that shields the laser light L emitted from the laser oscillator 18 and reflected on the processing surface of the workpiece 22 and transmits visible light over the entire surface of the transmission plate 94. It is pasted.
  • the main body box 36 has a predetermined height, for example, a height of about 1 cm, from the inner side to the front side over the entire length at each front side edge of the top plate 36A and each side plate 36C.
  • Protruding ribs 98A, 98B, and 98C that protrude in the above are formed.
  • a U-shaped upper surface portion of the bottom surface portion 36D protruding forward from the side surface plate portion 36C has a predetermined height, for example, a height of about 1 cm, from the inner surface to the upper side over the entire length.
  • a protruding rib 98D is formed to protrude.
  • step portions 99A and 99B having a width substantially equal to the plate thickness of the front plate 95, the adjacent side plates 96, and the adjacent upper surface plate 97 forming the cover member 93, 99C and 99D are formed.
  • the user lifts the cover member 93 and the protruding ribs 98D formed on the left and right side edge portions of the portion of the bottom surface portion 36D that protrudes forward from the lower rear corner portion of the left and right adjacent side plates 96. Is inserted from above and engaged, and brought into contact with the stepped portion 99D. Subsequently, in this state, the user pushes the cover member 93 rearward and slides it on the stepped portion 99D in the rearward direction along the protruding rib 98D.
  • the user inserts and engages the rear side edge portions 97B and 96A of the adjacent upper surface plate 97 and the adjacent side surface plates 96 with the projecting ribs 98A, 98B, and 98C, and each step portion 99A, 99B, It is made to contact 99C.
  • the rear side edge portions 97B and 96A of the adjacent upper surface plate 97 and the adjacent side surface plates 96 function as an example of an engaging portion.
  • Each protruding rib 98A to 98C functions as an example of an engaged portion.
  • the cover member 93 is detachably attached to the main body box portion 36, and the opening 36E of the main body box portion 36 is closed by the cover member 93. Further, the notch 97A of the adjacent upper surface plate 97 and the notch 47A of the upper surface plate portion 36A are connected to form a through hole 47 into which the f ⁇ lens 16 is inserted.
  • the center 48 of the substantially circular through-hole 47 has a predetermined distance D1, for example, about 3 cm, from the front side edge of the upper surface plate portion 36A of the main body box portion 36 to the front side, that is, the front plate 95 side. It is provided at a position separated by a distance D1. Therefore, as shown in FIG. 14, the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 in contact with the notch 47A that forms the through hole 47 is the center 48 (see FIG. 5) of the substantially circular through hole 47 or the center. Since it passes through a position near 48, it is located on the front side by a predetermined distance D1 with respect to the front side edge portions of the upper surface plate portion 36A and the side surface plate portion 36C.
  • the visible semiconductor laser 27 of the guide light unit 11 is driven via the controller (not shown) and the visible semiconductor laser 27 of the guide light unit 11 is driven.
  • Light M is emitted.
  • the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to stop at predetermined positions, and the visible laser light M is emitted onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16.
  • the user pulls out the cover member 93 covering the front side of the main body box portion 36 from the main body box portion 36 to the front side, and the rear side edge portions 97B and 96A of the adjacent upper surface plate 97 and the adjacent side surface plates 96, respectively.
  • the engagement with the projecting ribs 98A, 98B, 98C is released, and the cover member 93 is removed from the main body box 36.
  • the left and right side portions of the processing container 92 including the opening are opened. Further, the front portion of the processing container 92 covered with the front plate 95 of the cover member 93 is opened.
  • the user visually recognizes the irradiation position of the visible laser beam M emitted onto the workpiece 22 along the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 from the left and right directions and from the front, that is, from two orthogonal axis directions,
  • the position of the processing object 22 on the mounting plate 59 of the processing table 37 can be adjusted. Thereafter, the user lifts the cover member 93 and again closes the opening 36 ⁇ / b> E of the main body box 36 with the cover member 93.
  • the driving of the visible semiconductor laser 27 is stopped and a laser beam L is emitted from the laser oscillator 18 via a controller (not shown). Then, by controlling the rotation of the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 via a controller (not shown), it is possible to perform marking (printing) processing of a predetermined pattern on the processing surface 22A of the processing target 22.
  • the user pulls the cover member 93 that covers the front side of the main body box portion 36 from the main body box portion 36 to the front side, and from the main body box portion 36.
  • the visible semiconductor laser 27 is driven via a controller (not shown), and the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to emit the visible laser light M onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16. .
  • the user can visually recognize the irradiation position of the visible laser beam M emitted on the workpiece 22 arranged on the mounting plate 59 of the processing table 37 from the left and right directions and from the front, that is, from two orthogonal axes.
  • the processing object 22 can be quickly positioned on the mounting plate 59.
  • the laser beam L and the visible laser beam M are emitted coaxially from the f ⁇ lens 16, the user quickly aligns the processing target 22 on the mounting plate 59 with respect to the irradiation position of the laser beam L. Can be done.
  • the user lifts the cover member 93, and the protruding ribs 98D formed on the left and right side edge portions of the portion protruding forward from the side surface plate portion 36C of the bottom surface portion 36D with the lower rear corner portion of the left and right adjacent side surface plates 96. And is brought into contact with the stepped portion 99D. Then, in this state, the user pushes the cover member 93 rearward and slides it on the stepped portion 99D along the protruding rib 98D in the rearward direction, thereby closing the opening 36E of the main body box portion 36.
  • the laser beam L reflected on the workpiece 22 can be shielded by the cover member 93, and the user can safely perform the work. Even without installing a camera or the like, the irradiation position of the visible laser light M on the workpiece 22 placed on the processing table 37 can be visually adjusted with a simple configuration, and the processing container 92 can be downsized. Can be planned.
  • a laser processing apparatus 111 according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 3, 15, and 16.
  • the same reference numerals as those of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment shown in FIGS. 1 to 9 and the laser processing apparatus 91 according to the third embodiment shown in FIGS. This is the same as or equivalent to the configuration of the laser processing apparatus 1 according to the first embodiment and the laser processing apparatus 91 according to the third embodiment.
  • the schematic configuration of the laser processing apparatus 111 according to the fourth embodiment is substantially the same as that of the laser processing apparatus 1 according to the third embodiment. However, the difference is that a processing container 112 is provided instead of the processing container 92. As shown in FIGS. 15 and 16, the processing container 112 is substantially the same as the processing container 92, but a cover member 113 that covers the opening 36 ⁇ / b> E on the front side of the main body box 36 is provided in place of the cover member 93. Is different.
  • the cover member 113 is formed of a material such as iron or stainless steel that shields the laser light L reflected on the workpiece 22.
  • the cover member 113 includes a rectangular front plate 95 that covers the front surface of the opening 36E, a pair of vertically adjacent side plates 96 that cover the left and right of the opening 36E, and a ceiling portion of the opening 36E. And an adjacent upper surface plate 97 having a substantially horizontally long rectangular shape.
  • the side edges in the left-right direction of the adjacent upper surface plate 97 and the upper side edge of each adjacent side plate 96 are fixed by welding or the like so as to form a right angle, and further, the front side of the right adjacent side plate 96
  • the right edge of the front plate 95 is attached to the side edge so as to be rotatable outward by a pair of upper and lower hinges 114.
  • the front plate 95 is supported through the pair of upper and lower hinges 114 so as to be rotatable outwardly with the right side edge portion as the rotation axis.
  • a magnet 115 is attached to the inner upper end of the front side edge of the left adjacent side plate 96.
  • the inner upper end of the left side edge of the front plate 95 is formed of a ferromagnetic material such as iron that is attracted to the magnet 115 at a portion facing the magnet 115 when the front plate 95 is closed.
  • a flat suction plate 116 is attached so that the front plate 95 can be kept closed.
  • a vertically U-shaped handle 117 is attached to the outside at the center in the vertical direction of the left side edge of the front plate 95.
  • the cover member 113 is attached to the main body box portion 36 by first forming the lower rear corners of the left and right adjacent side plates 96 at the left and right side edge portions of the portion protruding forward from the side plate portions 36C of the bottom surface portion 36D.
  • the protruding rib 98D is inserted and engaged from above, and is brought into contact with the stepped portion 99D.
  • the cover member 113 is pushed rearward and slid in the rearward direction along the projecting rib 98D on the stepped portion 99D, and the rear side edge 97B of each of the adjacent upper surface plate 97 and each adjacent side surface plate 96, 96A is made to contact
  • the front and rear edge portions of the pair of upper and lower flat plates 118 are respectively disposed between the side edge portions of the cover member 113 adjacent to the left and right side plate 96 and the left and right side plate portions 36C of the main body box 36. Install and connect by screwing. As a result, the cover member 113 is attached to the main body box portion 36, and the opening 36 ⁇ / b> E of the main body box portion 36 is closed by the cover member 113. Further, the notch 97A of the adjacent upper surface plate 97 and the notch 47A of the upper surface plate portion 36A are connected to form a through hole 47 into which the f ⁇ lens 16 is inserted.
  • the center 48 of the substantially circular through-hole 47 has a predetermined distance D1, for example, about 3 cm, from the front side edge of the upper surface plate portion 36A of the main body box portion 36 to the front side, that is, the front plate 95 side. It is provided at a position separated by a distance D1. Accordingly, as shown in FIG. 16, the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 in contact with the notch 47A that forms the through hole 47 is the center 48 (see FIG. 5) of the substantially circular through hole 47, or the center Since it passes through a position near 48, it is located on the front side by a predetermined distance D1 with respect to the front side edge portions of the upper surface plate portion 36A and the side surface plate portion 36C.
  • a rectangular through-hole 121 is formed so as to include a position through which the perpendicular 119 extended to the adjacent side plate 96 passes.
  • the through-hole 121 is closed on the inside by a single transmission plate 122 that is formed of a transparent glass or acrylic plate and transmits visible light.
  • a light shielding film 55 that shields the laser beam L emitted from the laser oscillator 18 and reflected on the processing surface of the processing target 22 and transmits visible light over the entire surface of the transmission plate 122. It is pasted.
  • the visible semiconductor laser 27 of the guide light unit 11 is driven to emit the visible laser light M through the controller (not shown) while the laser light L is stopped.
  • the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to stop at predetermined positions, and the visible laser light M is emitted onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16.
  • the user holds the handle 117 of the cover member 113 that covers the front side of the main body box portion 36, rotates the front plate 95 outward in the right direction, and removes the front portion of the processing container 112 covered with the front plate 95. Open. Therefore, the user sets the irradiation position of the visible laser light M emitted onto the workpiece 22 along the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 from the front and the through hole 121 formed in the adjacent side plate 96 on the left side.
  • the workpiece 22 can be aligned on the mounting plate 59 of the processing table 37 from the left side, that is, from the two orthogonal directions.
  • a through hole 121 may be formed in the right side plate 96 on the right side, and the light shielding film 55 may be blocked by the transmission plate 122 attached over the entire surface.
  • the user can change the irradiation position of the visible laser beam M emitted onto the workpiece 22 along the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16 from the front and left and right through the through holes 121 provided on the left and right.
  • the object 22 can be positioned on the mounting plate 59 of the processing table 37 by visually recognizing from both sides, that is, from two orthogonal directions.
  • the user closes the front plate 95 and again closes the opening 36 ⁇ / b> E of the main body box 36 with the cover member 113.
  • the driving of the visible semiconductor laser 27 is stopped and a laser beam L is emitted from the laser oscillator 18 via a controller (not shown).
  • a controller not shown
  • the user rotates the front plate 95 of the cover member 113 covering the front side of the main body box portion 36 in the right outer direction, and the front plate 95 The front part of the processing container 112 that has been covered is opened.
  • the visible semiconductor laser 27 is driven via a controller (not shown), and the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to emit the visible laser light M onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16. .
  • the user can irradiate the irradiation position of the visible laser beam M emitted on the workpiece 22 arranged on the mounting plate 59 of the processing table 37 from the front and from the left through the through hole 121, that is, It is possible to quickly align the workpiece 22 on the mounting plate 59 by visually recognizing from two axial directions orthogonal to the optical axis 16A.
  • the user since the laser beam L and the visible laser beam M are emitted coaxially from the f ⁇ lens 16, the user quickly aligns the processing target 22 on the mounting plate 59 with respect to the irradiation position of the laser beam L. Can be done.
  • the user can shield the laser beam L reflected on the workpiece 22 by the cover member 113 by rotating the front plate 95 of the cover member 113 inward in the left direction and closing the cover plate 113, and the user can Work can be done safely. Even if a camera or the like is not installed, the irradiation position of the visible laser beam M on the workpiece 22 placed on the processing table 37 can be visually adjusted with a simple configuration, and the processing container 112 can be downsized. Can be planned.
  • the laser oscillator 18 functions as an example of an oscillator.
  • the visible semiconductor laser 27 functions as an example of a visible laser light source.
  • the f ⁇ lens 16 functions as an example of a light collecting unit.
  • the upper surface plate portion 36A and the adjacent upper surface plates 43A and 43B constitute an example of an upper surface member.
  • the upper surface plate portion 73A and the adjacent upper surface plate 81 constitute an example of an upper surface member.
  • the upper surface plate portion 36A and the adjacent upper surface plate 97 constitute an example of an upper surface member.
  • the back plate portion 36B, each side plate portion 36C, each adjacent side plate 42, and each front plate 41A, 41B constitute an example of a side member.
  • the back plate portion 36B, each side plate portion 36C, each adjacent side plate 78, and the front plate 79 constitute an example of a side member.
  • the back plate portion 36B, each side plate portion 36C, each adjacent side plate 96, and the front plate 95 constitute an example of a side member.
  • the hinge 45 and the hinge 114 function as an example of a rotation support part.
  • the slide door 75 functions as an example of a cover member.
  • the slide rail 76 functions as an example of a slide support part.
  • the adjacent upper surface plate 97 and each adjacent side surface plate 96 of the cover member 113 are formed of a transparent plate that is formed of a transparent glass, an acrylic plate, or the like and transmits visible light. You may do it. Then, the laser beam L emitted from the laser oscillator 18 and reflected on the processing surface of the workpiece 22 is shielded and visible on the adjacent upper surface plate 97 and each adjacent side surface plate 96 formed of a transmission plate. A light shielding film 55 that transmits light may be attached over the entire surface. In this case, it is not necessary to form the through hole 121 in the adjacent side plate 96.
  • the visible semiconductor laser 27 is driven via a controller (not shown), and the motors 31 and 32 of the galvano scanner 15 are rotationally controlled to emit the visible laser light M onto the optical axis 16A of the f ⁇ lens 16. .
  • the user sets the irradiation position of the visible laser beam M emitted onto the workpiece 22 arranged on the mounting plate 59 of the processing table 37 from the front, the adjacent upper surface plate 97 of the cover member 113 and each adjacent surface. It is possible to quickly align the workpiece 22 on the mounting plate 59 from the left and right directions via the side plate 96, that is, from the biaxial direction orthogonal to the optical axis 16A. As a result, since the laser beam L and the visible laser beam M are emitted coaxially from the f ⁇ lens 16, the user quickly aligns the processing target 22 on the mounting plate 59 with respect to the irradiation position of the laser beam L. Can be done.

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Abstract

可視レーザ光の加工対象物上の照射位置を安全且つ容易に確認することができる小型な加工容器及びレーザ加工装置を提供する。発振器から出射されたレーザ光と、可視レーザ光源から出射された可視レーザ光と、を集光して、加工対象物（２２）に向けて同軸に出射させる集光部（１６）を備えたヘッド部（２）を支持する箱体状の加工容器（３）において、加工容器は、加工対象物を配置する加工台（３７）と、ヘッド部を支持し、レーザ光及び可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材（４３Ｂ）と、集光部の出射方向に沿った正面板（４１Ｂ）と、正面板に隣接する隣接側面板（４２）と、を有し、正面板は、開閉可能に構成され、隣接側面板は、集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、正面板が開放された際に、近接側面部から可視光を通過させるように構成されている。

Description

加工容器及びレーザ加工装置
　本発明は、レーザ光を加工対象物の加工面に走査するヘッド部を支持する加工容器、及びヘッド部と加工容器を備えたレーザ加工装置に関するものである。
　従来より、レーザ加工装置に関し、種々、提案されている。
　例えば、下記特許文献１に記載される欠陥原因判定装置は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能なＸＹステージと、ＸＹステージを収納する試料室と、ＸＹステージ上に載置した試料の表面に位置合わせ用可視レーザ光を照射する位置合わせ用レーザ発振器と、欠陥部に照射するパルスレーザ光を出射するパルスレーザ発振器と、を備えている。また、欠陥原因判定装置は、ＸＹステージ上の試料表面を撮影するＣＣＤビデオカメラを備え、ユーザは、ＣＣＤカメラによって撮影された可視レーザ光の試料表面上の位置をモニターで確認し、ＸＹステージを操作して試料の位置合わせを行うように構成されている。
特開平１１－１０１７４６号公報
　しかしながら、前記した特許文献１に記載された欠陥原因判定装置では、試料室にＣＣＤビデオカメラを設置し、モニター上で試料表面の位置確認をする必要があるため、装置が大型化する虞がある。また、試料室を取り外して、可視レーザ光の試料表面上の位置を目視して試料の位置合わせを行った場合には、パルスレーザ光が試料表面からユーザに反射される虞がある。
　そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、可視レーザ光の加工対象物上の照射位置を安全、且つ、容易に確認することができる小型な加工容器及びレーザ加工装置を提供することを目的とする。
　前記目的を達成するために、本発明に係る加工容器は、レーザ光を出射する発振器と、可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、前記発振器から出射されたレーザ光と前記可視レーザ光源から出射された可視レーザ光と、を集光して、加工対象物に向けて出射させる集光部と、を備えたヘッド部を支持する箱体状の加工容器において、前記加工容器は、前記集光部の出射方向側に設けられて、加工対象物を配置する加工台と、前記ヘッド部を支持し、前記集光部から出射された前記レーザ光及び前記可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、前記孔を通過した前記レーザ光及び前記可視レーザ光を囲むように前記集光部の出射方向に沿って、且つ互いに交差する複数の側面部材と、を有し、前記上面部材及び前記複数の側面部材は、前記加工対象物上で反射された前記レーザ光を遮光する遮光材料で形成され、前記複数の側面部材は、前記複数の側面のうちの一面である正面板と、前記正面板に隣接する隣接側面板と、を含み、前記正面板は、開閉可能に構成され、前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、前記正面板が開放された際に、前記隣接側面板は、前記近接側面部の少なくとも前記光軸から該近接側面部に伸ばした垂線が通る部分から可視光を通過させている。尚、可視光の通過には、隣接側面板が近接側面部から取り除かれて、可視光が通過する場合に限らず、レーザ光を遮光し、且つ、可視光を透過する遮光膜を可視光が通過する場合も含まれる。
　これにより、ユーザは、正面板を開放することによって、加工台の正面板に対向する方向から、加工対象物上における可視レーザ光の照射位置を確認することができる。また、ユーザは、集光部の光軸から隣接側面板に伸ばした垂線方向から、近接側面部を介して加工対象物上における可視レーザ光の照射位置を確認することができる。つまり、ユーザは、正面板を開放することによって、加工台上に配置した加工対象物上における、可視レーザ光の照射位置を集光部の光軸に直交する２軸方向から容易に確認して、加工対象物の可視レーザ光及びレーザ光に対する位置合わせを迅速に行うことができる。
　また、正面板を閉じることによって、加工対象物上で反射したレーザ光を正面板及び隣接側面板で遮ることができ、ユーザは作業を安全に行うことができる。更に、カメラ等を設置しなくても、簡易な構成で、加工台上に配置した加工対象物上における、可視レーザ光の照射位置を目視により合わせることができ、加工容器の小型化を図ることができる。
　また、前記加工容器は、前記隣接側面板の前記正面板に対して反対側の側縁部を回動軸として該隣接側面板を回動自在に支持する回動支持部を有していてもよい。
　また、前記加工容器において、前記上面部材は、前記集光部の光軸から前記隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある前記加工容器の天井部を覆う隣接上面板を有し、前記隣接上面板の前記正面板側の側縁部は、該正面板の該隣接上面板側の側縁部に固定されると共に、前記隣接上面板の前記正面板に対して反対側の側縁部は、前記上面部材の相対向する側縁部と切離されていてもよい。
　また、前記加工容器において、前記正面板の両側縁部にそれぞれ隣接する前記隣接側面板の前記正面板側の側縁部は、隣接する該正面板の各側縁部にそれぞれ固定され、前記正面板と前記隣接上面板とは、前記集光部の光軸から前記正面板に伸ばした垂線に沿って切離され、前記回動支持部は、前記正面板の各側縁部に固定された前記隣接側面板の該正面板に対して反対側の各側縁部を回動軸として該隣接側面板を回動自在に支持していてもよい。
　また、前記加工容器は、前記正面板と前記隣接側面板とによって形成されるカバー部材と、前記加工台と前記上面部材を有して前記カバー部材が取り外し可能に設けられる本体箱部と、を有し、前記隣接側面板の前記正面板側の一方の側縁部は、該正面板の該隣接側面板側の側縁部に固定され、前記カバー部材は、該隣接側面板の前記正面板に対して反対側の他方の側縁部に形成される係合部を有し、前記本体箱部は、前記隣接側面板の前記他方の側縁部に相対向する側縁部に形成されて、前記係合部に係合可能に構成される被係合部を有していてもよい。
　また、前記カバー部材は、前記集光部の光軸から、前記正面板に近づく向きにある前記加工容器の天井部を覆う隣接上面板を有し、前記隣接上面板は、前記正面板に対向する側縁部が該正面板の該隣接上面板側の側縁部に固定されると共に、前記隣接上面板の前記正面板に対して反対側の側縁部は、前記上面部材の相対向する側縁部と切離されていてもよい。
　また、前記加工容器は、前記正面板と前記隣接側面板とによって形成されるカバー部材と、前記加工台と前記上面部材を有して前記カバー部材が開閉可能に設けられる本体箱部と、を有し、前記隣接側面板の前記正面板側の一方の側縁部は、該正面板の該隣接側面板側の側縁部に固定され、前記本体箱部は、前記隣接側面板の前記正面板に対して反対側の他方の側縁部に相対向する側縁部に形成され、該隣接側面板の前記他方の側縁部を摺動して前記カバー部材を前記光軸方向に沿ってスライド移動可能に支持するスライド支持部を有していてもよい。
　更に、前記加工容器において、前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から前記隣接側面板に伸ばした垂線が通る位置に形成された透孔と、前記透孔を塞ぐと共に光を透過する透過板と、を有し、前記透過板は、前記レーザ光を遮光し、且つ、前記可視光を透過する遮光膜が設けられていてもよい。
　また、本発明に係るレーザ加工装置は、レーザ光を出射する発振器と、可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、前記発振器から出射されたレーザ光と、前記可視レーザ光源から出射された可視レーザ光と、を集光して、加工対象物に向けて出射させる集光部と、を有するヘッド部と、前記ヘッド部を支持する箱体状の加工容器と、を備え、前記加工容器は、前記集光部の出射方向側に設けられて、加工対象物を配置する加工台と、前記ヘッド部を支持し、前記集光部から出射された前記レーザ光及び前記可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、前記孔を通過した前記レーザ光及び前記可視レーザ光を囲むように前記集光部の出射方向に沿って、且つ互いに交差する複数の側面部材と、を有し、前記上面部材及び前記複数の側面部材は、前記加工対象物上で反射された前記レーザ光を遮光する遮光材料で形成され、前記複数の側面部材は、前記複数の側面のうちの一面である正面板と、前記正面板に隣接する隣接側面板と、を含み、前記正面板は、開閉可能に構成され、前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、前記正面板が開放された際に、前記隣接側面板は、前記近接側面部の少なくとも前記光軸から該近接側面部に伸ばした垂線が通る部分から可視レーザ光を通過させている。
第１実施形態に係るレーザ加工装置１の斜視図である。 レーザヘッド部２の概略構成を示す平面図である。 レーザヘッド部２の概略構成を示す側面図である。 加工容器３の斜視図である。 図４の平面図である。 加工容器３の扉３Ａを開いた状態の斜視図である。 図６の平面図である。 加工対象物２２の位置合わせ方法を説明する斜視図である。 加工対象物２２の位置合わせ方法を説明する側面図である。 第２実施形態に係るレーザ加工装置７１のスライド扉７５を上方にスライドさせた状態を示す斜視図である。 図１０の側面図である。 図１０の平面図である。 第３実施形態に係るレーザ加工装置９１のカバー部材９３を取り外した状態を示す斜視図である。 図１３の側面図である。 第４実施形態に係るレーザ加工装置１１１の正面板９５を開いた状態を示す斜視図である。 図１５の側面図である。
　以下、本発明に係る加工容器及びレーザ加工装置について具体化した第１実施形態乃至第４実施形態に基づき図面を参照しつつ詳細に説明する。先ず、第１実施形態に係るレーザ加工装置１の概略構成について図１乃至図７に基づいて説明する。尚、以下の説明において、図１に示すように、箱体状の加工容器３の観音開きの扉３Ａ側が前方向で、加工容器３の扉３Ａに対して奥側が後方向である。また、図８に示すように、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ方向が上下方向で、加工容器３のレーザヘッド部２を支持する上面板部３６Ａ側が上側である。そして、レーザ加工装置１の上下方向及び前後方向に直交する方向が、レーザ加工装置１の左右方向である。
　［第１実施形態］
　［レーザ加工装置１の概略構成］
　図１に示すように、レーザ加工装置１は、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍ（図２参照）をｆθレンズ１６から同軸上に出射するレーザヘッド部２と、レーザヘッド部２が上面板部３６Ａ上に固定される略箱体状の加工容器３とから構成されている。
　図１乃至図３に示すように、レーザヘッド部２は、本体ベース５と、レーザ光Ｌを出射するレーザ発振ユニット６と、光シャッター部７と、光ダンパー８と、ハーフミラー９と、ガイド光部１１と、反射ミラー１２と、光センサ１３と、ガルバノスキャナ１５と、ｆθレンズ１６等から構成され、略直方体形状の筐体カバー１７で覆われている。
　レーザ発振ユニット６は、レーザ発振器１８と、ビームエキスパンダ１９と、取付台２１とから構成されている。レーザ発振器１８は、ＣＯ2レーザ、ＹＡＧレーザ等で構成され、加工対象物２２の加工面２２Ａにマーキング（印字）加工を行うためのレーザ光Ｌを出力する。ビームエキスパンダ１９は、レーザ光Ｌのビーム直径を変更（例えば、拡大）するものであり、レーザ発振器１８と同軸に設けられている。取付台２１は、レーザ発振器１８がレーザ光Ｌの光軸を調整可能に取り付けられ、各取付ネジ２３で本体ベース５の前後方向中央位置よりも後側の上面に固定されている。
　光シャッター部７は、シャッターモータ２５と、平板状のシャッター２６とから構成されている。シャッターモータ２５は、ステッピングモータ等で構成されている。シャッター２６は、シャッターモータ２５のモータ軸に取り付けられて同軸に回転する。シャッター２６は、ビームエキスパンダ１９から出射されたレーザ光Ｌの光路を遮る位置に回転された際には、レーザ光Ｌを光シャッター部７に対して右方向に設けられた光ダンパー８へ反射する。一方、シャッター２６がビームエキスパンダ１９から出射されたレーザ光Ｌの光路上に位置しないように回転された場合には、ビームエキスパンダ１９から出射されたレーザ光Ｌは、光シャッター部７の前側に配置されたハーフミラー９に入射する。
　光ダンパー８は、シャッター２６で反射されたレーザ光Ｌを吸収する。尚、光ダンパー８の発熱は、本体ベース５に熱伝導され、不図示の冷却装置によって冷却される。ハーフミラー９は、レーザ光Ｌの光路に対して斜め左下方向に４５度の角度を形成するように配置される。ハーフミラー９は、後側から入射されたレーザ光Ｌのほぼ全部を透過する。また、ハーフミラー９は、後側から入射されたレーザ光Ｌの一部、例えば、レーザ光Ｌの１％を、反射ミラー１２へ４５度の反射角で反射する。反射ミラー１２は、ハーフミラー９のレーザ光Ｌが入射される後側面の略中央位置に対して左方向に配置される。
　ガイド光部１１は、可視レーザ光、例えば、赤色レーザ光を出射する可視半導体レーザ２７と、可視半導体レーザ２７から出射された可視レーザ光Ｍを平行光に収束する不図示のレンズ群とから構成されている。可視レーザ光Ｍは、レーザ発振器１８から出射されるレーザ光Ｌと異なる波長である。ガイド光部１１は、ハーフミラー９のレーザ光Ｌが出射される略中央位置に対して右方向に配置されている。この結果、可視レーザ光Ｍは、ハーフミラー９のレーザ光Ｌが出射される略中央位置に、ハーフミラー９の前側面、つまり、反射面に対して４５度の入射角で入射され、４５度の反射角でレーザ光Ｌの光路上に反射される。つまり、可視半導体レーザ２７は、可視レーザ光Ｍをレーザ光Ｌの光路上に出射する。
　ここで、ハーフミラー９の反射率は、波長依存性を持っている。具体的には、ハーフミラー９は、誘電体層と金属層との多層膜構造の表面処理をされており、可視レーザ光Ｍの波長に対して高い反射率を有し、それ以外の波長の光はほとんど（９９％）透過するように構成されている。
　反射ミラー１２は、レーザ光Ｌの光路に対して平行な前後方向に対して斜め左下方向に４５度の角度を形成するように配置され、ハーフミラー９の後側面において反射されたレーザ光Ｌの一部が、反射面の略中央位置に対して４５度の入射角で入射される。そして、反射ミラー１２は、反射面に対して４５度の入射角で入射されたレーザ光Ｌを４５度の反射角で前側方向へ反射する。
　光センサ１３は、レーザ光Ｌの発光強度を検出するフォトディテクタ等で構成され、反射ミラー１２のレーザ光Ｌが反射される略中央位置に対して、図２中、前側方向に配置されている。この結果、光センサ１３は、反射ミラー１２で反射されたレーザ光Ｌが入射され、この入射されたレーザ光Ｌの発光強度を検出する。従って、光センサ１３を介してレーザ発振器１８から出力されるレーザ光Ｌの発光強度を検出することができる。
　ガルバノスキャナ１５は、本体ベース５の前側端部に形成された貫通孔２８の上側に取り付けられ、レーザ発振ユニット６から出射されたレーザ光Ｌと、ハーフミラー９で反射された可視レーザ光Ｍと、を下方へ２次元走査するものである。
　ガルバノスキャナ１５は、ガルバノＸ軸モータ３１とガルバノＹ軸モータ３２とが、それぞれのモータ軸が互いに直交するように外側からそれぞれの取付孔に嵌入されて本体部３３に取り付けられ、各モータ軸の先端部に取り付けられた走査ミラーが内側で互いに対向している。そして、各モータ３１、３２の回転をそれぞれ制御して、各走査ミラーを回転させることによって、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍと、を下方へ２次元走査する。この２次元走査方向は、前後方向（Ｘ方向）と左右方向（Ｙ方向）である。
　図３に示すように、ｆθレンズ１６は、ガルバノスキャナ１５によって２次元走査されたレーザ光Ｌと、可視レーザ光Ｍと、を下方に配置された加工対象物２２の加工面２２Ａに同軸に集光する。従って、各モータ３１、３２の回転を制御することによって、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍが、加工対象物２２の加工面２２Ａ上において、所望の印字パターンで前後方向（Ｘ方向）と左右方向（Ｙ方向）に２次元走査される。
　次に、加工容器３の概略構成について図４乃至図７に基づいて説明する。図４乃至図７に示すように、加工容器３は、前面側が開放された略箱体状の本体箱部３６と、本体箱部３６の前面側を覆う観音開きの各扉３Ａと、加工対象物２２を配置する加工台３７等から構成されている。本体箱部３６と各扉３Ａは、加工対象物２２上で反射されたレーザ光Ｌを遮光する鉄やステンレス等の材料で形成されている。
　本体箱部３６は、天井部４０を形成する略矩形状の上面板部３６Ａと、奥側壁面部を形成する矩形状の背面板部３６Ｂと、左右側壁部を形成する矩形状の各側面板部３６Ｃと、四角枠状に形成されて、所定長さ、例えば、約３０ｃｍの長さ、各側面板部３６Ｃよりも前方に突出する底面部３６Ｄとから構成されている。従って、底面部３６Ｄの本体箱部３６の前面側から所定長さ、例えば、約３０ｃｍの長さ、前方に突出した部分から上側が開放された開口部３６Ｅが形成されている。
　本体箱部３６は、底面部３６Ｄの下面の四隅（図４中では、３箇所が示されている。）において、脚部材３８が固定されており、レーザ加工装置１は、これら脚部材３８を介して床等の上に配置される。また、両側面板部３６Ｃの上端部には、横長四角形に開口されて内側に窪む把持部材３９が、前後方向略中央部に嵌め込まれている。従って、ユーザは、各把持部材３９を持って加工容器３を搬送することができる。
　開口部３６Ｅを覆う各扉３Ａは、観音開きに構成されている。具体的には、各扉３Ａは、縦長四角形の各正面板４１Ａ、４１Ｂと、縦長四角形の各隣接側面板４２と、横長四角形の各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂとから構成されている。各正面板４１Ａ、４１Ｂは、正面視、上面板部３６Ａの左右方向の長さの約１／２の幅寸法で、側面板部３６Ｃの上下方向の長さにほぼ等しい縦寸法に形成されている。各隣接側面板４２は、正面視、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する突出長さにほぼ等しい幅寸法で、側面板部３６Ｃの上下方向の長さにほぼ等しい縦寸法に形成されている。
　また、各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂは、平面視、上面板部３６Ａの左右方向長さの約１／２の左右方向の幅寸法で、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する突出長さにほぼ等しい前後方向の縦寸法に形成されている。各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂの後ろ側の側縁部は、上面板部３６Ａの前側の側縁部と切離されている。そして、各正面板４１Ａ、４１Ｂの左右方向外側の側縁部と、各隣接側面板４２の前側の側縁部とが溶接等によって固定されている。
　また、各正面板４１Ａ、４１Ｂの上側側縁部と各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂの前側の側縁部とが溶接等によって固定されると共に、隣接側面板４２の上側側縁部と各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂの左右方向外側の側縁部とが溶接等によって固定されている。従って、背面板部３６Ｂ、各側面板部３６Ｃ、各隣接側面板４２、及び、各正面板４１Ａ、４１Ｂは、ｆθレンズ１６から出射されたレーザ光Ｌ及び可視レーザ光Ｍを囲むように、ｆθレンズ１６の出射方向に沿って、且つ互いに交差する。
　そして、ユーザは、各扉３Ａの各正面板４１Ａ、４１Ｂの下端縁部を底面部３６Ｄの前側突出端縁部の上側に当接すると共に、各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂの後側の側縁部を上面板部３６Ａの前側の側縁部に当接させ、更に、各隣接側面板４２の後側の側縁部を各側面板部３６Ｃの前側の側縁部に当接させる。そして、ユーザは、この状態で、各扉３Ａの隣接側面板４２と本体箱部３６の各側面板部３６Ｃの相対向する各側縁部の間に、上下一対の蝶番４５をネジ止め等によって取り付ける。
　これにより、各扉３Ａは、開口部３６Ｅを左右対称に覆うと共に、各蝶番４５を介して、隣接側面板４２の後側の側縁部を回動軸として、それぞれ左右方向外側へ（図６中、各矢印４６Ａ、４６Ｂ方向である。）中心角度約１８０度回動する観音開きに取り付けられる。従って、図６及び図７に示すように、各扉３Ａは、隣接側面板４２の外側面が、側面板部３６Ｃの近傍位置で対向するまで、左右方向外側へ両開き可能に構成されている。つまり、各扉３Ａの各正面板４１Ａ、４１Ｂと各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂは、図５及び図７に示すように、各蝶番４５を介して、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａから各正面板４１Ａ、４１Ｂに伸ばした垂線に沿って分かれて、両開きとなるように構成されている。
　また、図４乃至図９に示すように、本体箱部３６の上面板部３６Ａの前側側縁部の左右方向中央部と、各扉３Ａの各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂの左右方向内側の後側角部には、それぞれｆθレンズ１６の外周面の曲率半径で円弧状の切欠部４７Ａ、４７Ｂ、４７Ｃが形成されている。
　そして、図４及び図５に示すように、各扉３Ａを閉じた場合には、本体箱部３６の上面板部３６Ａの前側側縁部の左右方向中央部と、各扉３Ａの各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂの左右方向内側の後側角部とに形成された各切欠部４７Ａ～４７Ｃによって、レーザヘッド部２のｆθレンズ１６が嵌挿される略円形の貫通孔４７が形成される。尚、貫通孔４７は、円形に限らず、ｆθレンズ１６が嵌挿可能であれば、四角形、五角形、六角形等の多角形状、又は、菱形、楕円、台形等の他の形状に形成されてもよい。
　ここで、図５に示すように、略円形の貫通孔４７の中心４８は、本体箱部３６の上面板部３６Ａの前側側縁部よりも、前側へ、つまり、各正面板４１Ａ、４１Ｂ側へ、所定距離Ｄ１、例えば、約３ｃｍの距離Ｄ１離れた位置に設けられている。従って、図９に示すように、貫通孔４７に嵌挿されたｆθレンズ１６の光軸１６Ａは、略円形の貫通孔４７の中心４８、若しくは、中心４８の近傍位置を通るため、上面板部３６Ａ及び側面板部３６Ｃの前側側縁部よりも所定距離Ｄ１だけ前側に位置している。
　また、図５乃至図７に示すように、各正面板４１Ａ、４１Ｂの左右方向内側の側縁部の前側上端部には、略コの字形の把手５１が取り付けられている。各正面板４１Ａ、４１Ｂの把手５１の下側には、それぞれ一対の四角形状の透孔５２が上下に隣接して形成されている。各一対の透孔５２は、透明なガラスやアクリル板等形成されて可視光を透過する透過板５３で内側、つまり、図４中、後側を閉塞されている。
　更に、各透過板５３には、レーザ発振器１８から出射されて、加工対象物２２の加工面２２Ａ上で反射されたレーザ光Ｌを遮光し、且つ、可視光を透過する遮光膜５５（例えば、「ＹＬＣ－１」、シグマ光機株式会社製）が全面に渡って貼り付けられている。そして、各正面板４１Ａ、４１Ｂは、左右方向内側の側縁部の前側下端部には、スライド止め金具５６が取り付けられ、スライドレバー５６Ａを左右にスライドすることによって、各正面板４１Ａ、４１Ｂを閉じて施錠できるように構成されている。尚、スライドレバー５６Ａは、スライド止め金具５６に装着された不図示のバネによって右側方向へスライドするように常に付勢されている。
　また、図６及び図７に示すように、本体箱部３６の四角枠状の底面部３６Ｄには、左右方向に長い横長四角形の底板５８が、側面板部３６Ｃから前方に突出する前側端縁部の近傍位置から、側面板部３６Ｃの前側側縁部よりも少し奥側の位置までを左右方向全幅に渡って覆うように架け渡されて取り付けられている。また、底板５８には、各扉３Ａを閉じた際に形成される貫通孔４７に対向する部分に、加工対象物２２が配置される加工台３７が設けられている。
　加工台３７は、底板５８の貫通孔４７に対向するように水平に配置されて、加工対象物２２が載置される平面視矩形状の載置板５９と、載置板５９の左側に立設されて、載置板５９を上下方向にスライド移動可能に支持するスライドレール６１とから構成されている。また、スライドレール６１には、載置板５９を上下方向にスライド移動した後、所望の高さで固定する固定ネジ６１Ａが前側の側面部に設けられている。
　次に、上記のように構成されたレーザ加工装置１の加工台３７に配置した加工対象物２２上における可視レーザ光Ｍの照射位置の位置合わせについて図２、図３、図８及び図９に基づいて説明する。
　図２、図３、図８及び図９に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ発振器１８から出射されるレーザ光Ｌを停止した状態で、ガイド光部１１の可視半導体レーザ２７を駆動して可視レーザ光Ｍを出射する。そして、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して所定位置で停止させ、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　一方、ユーザは、加工容器３のスライド止め金具５６のスライドレバー５６Ａを左側へ移動させて、施錠を解除し、各扉３Ａを左右方向外側へ回動して、隣接側面板４２の外側面を、側面板部３６Ｃの近傍位置で対向させる。これにより、図８及び図９に示すように、各扉３Ａの隣接側面板４２で覆われていた、光軸１６Ａから各隣接側面板４２に伸ばした垂線６３から各正面板４１Ａ、４１Ｂに近づく向きである近接側面部６２を含む加工容器３の側面部分が開放される。また、各扉３Ａの各正面板４１Ａ、４１Ｂで覆われていた加工容器３の正面部分が開放される。
　従って、ユーザは、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａに沿って加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を左右方向及び正面から、つまり、直交する２軸方向から視認して、加工台３７の載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを行うことができる。その後、各扉３Ａを閉じて、スライド止め金具５６を施錠した後、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７の駆動を停止すると共に、レーザ発振器１８からレーザ光Ｌを出射する。そして、不図示のコントローラを介して、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御することによって、加工対象物２２の加工面２２Ａに所定パターンのマーキング（印字）加工を行うことができる。
　以上詳細に説明した通り、第１実施形態に係るレーザ加工装置１では、ユーザは、スライド止め金具５６を解除して、各扉３Ａを左右方向外側へ回動して、隣接側面板４２の外側面を、側面板部３６Ｃに当接させる。そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７を駆動すると共に、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　これにより、ユーザは、加工台３７の載置板５９上に配置した加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を左右方向及び正面から、つまり、直交する２軸方向から視認して、載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを迅速に行うことができる。その結果、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍは、ｆθレンズ１６から同軸上に出射されるため、ユーザは、載置板５９上における加工対象物２２のレーザ光Ｌの照射位置に対する位置合わせを迅速に行うことができる。
　また、各扉３Ａを閉じて、スライド止め金具５６を施錠することによって、加工対象物２２上で反射したレーザ光Ｌを各正面板４１Ａ、４１Ｂ、各隣接側面板４２、及び、各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂで遮光することができ、ユーザは作業を安全に行うことができる。カメラ等を設置しなくても、簡易な構成で、加工台３７上に配置した加工対象物２２上における、可視レーザ光Ｍの照射位置を目視により合わせることができ、加工容器３の小型化を図ることができる。更に、各扉３Ａは、観音開きに構成されているため、各扉３Ａを開くために必要な、加工容器３の前側周辺部のスペースを狭くすることが可能となり、加工容器３を設置するために必要なスペースの省スペース化を図ることができる。
　［第２実施形態］
　次に、第２実施形態に係るレーザ加工装置７１について図２、図３、図１０乃至図１２に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記図１乃至図９の第１実施形態に係るレーザ加工装置１の構成等と同一符号は、第１実施形態に係るレーザ加工装置１の構成等と同一あるいは相当部分を示すものである。
　第２実施形態に係るレーザ加工装置７１の概略構成は、第１実施形態に係るレーザ加工装置１とほぼ同じ構成である。但し、加工容器３に替えて加工容器７２が設けられている点で異なっている。
　図１０乃至図１２に示すように、加工容器７２は、前面側が開放された略箱体状の本体箱部７３と、上下方向にスライド移動するスライド扉７５、加工対象物２２を配置する加工台３７等から構成されている。本体箱部７３とスライド扉７５は、加工対象物２２上で反射されたレーザ光Ｌを遮光する鉄やステンレス等の材料で形成されている。
　本体箱部７３は、加工容器３の本体箱部３６とほぼ同じ構成である。但し、上面板部７３Ａの前側の側縁部は、レーザヘッド部２の前側先端部の前側まで水平に延出され、第１実施形態の各扉３Ａの各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂに相当する部分が連続して形成されている。そして、上面板部７３Ａは、上面板部７３Ａ上に固定されたレーザヘッド部２のｆθレンズ１６に対応する位置に、ｆθレンズ１６が嵌挿される略円形の貫通孔４７が形成されている。
　図１１に示すように、この貫通孔４７の中心４８は、各側面板部３６Ｃの前側側縁部よりも、前側へ、つまり、スライド扉７５側へ、所定距離Ｄ１、例えば、約３ｃｍの距離Ｄ１離れた位置に設けられている。従って、図１１に示すように、貫通孔４７に嵌挿されたｆθレンズ１６の光軸１６Ａは、略円形の貫通孔４７の中心４８、若しくは、中心４８の近傍位置を通るため、側面板部３６Ｃの前側側縁部よりも所定距離Ｄ１だけ前側に位置している。
　また、各側面板部３６Ｃの前側側縁部には、スライド扉７５を上下方向に、つまり、光軸１６Ａ方向に沿ってスライド移動可能に支持するスライドレール７６が設けられている。また、両側面板部３６Ｃには、横長四角形に開口されて内側に窪む把持部材３９が嵌め込まれている。従って、ユーザは、この把持部材３９を持って加工容器７２を搬送することができる。また、左側の側面板部３６Ｃの上端部の前側角部には、スライドレバー７７が前後方向に進退可能に設けられ、不図示のバネによって前側方向へ付勢されている。
　そして、スライドレバー７７は、スライド扉７５が最も上側へ移動した場合に、前側方向に軸部７７Ａが突出して、このスライド扉７５の左側の隣接側面板７８の下端部に当接するように構成されている。また、スライド扉７５が最も上側へ移動して、スライドレバー７７の軸部７７Ａによって下端部を支持された場合には、加工容器７２の前面部に開口部７３Ｅが形成される。また、スライドレバー７７を後側方向へ押して、軸部７７Ａを内側に収納することによって、スライド扉７５が下方へスライド移動可能になるように構成されている。
　開口部７３Ｅを覆うスライド扉７５は、開口部７３Ｅの正面を覆う矩形状の正面板７９と、開口部７３Ｅの左右を覆う縦長四角形の一対の隣接側面板７８と、正面板７９の上端縁部に固定される隣接上面板８１とから構成されている。正面板７９は、上面板部７３Ａの左右方向の長さにほぼ等しい幅寸法で、側面板部３６Ｃの上下方向の長さにほぼ等しい縦寸法に形成されている。各隣接側面板７８は、正面視、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する突出長さにほぼ等しい幅寸法で、側面板部３６Ｃの上下方向の長さにほぼ等しい縦寸法に形成されている。
　また、隣接上面板８１は、平面視、上面板部７３Ａの左右方向の長さにほぼ等しい長さで、上面板部７３Ａの前側側縁部から正面板７９までの距離にほぼ等しい幅寸法に形成されている。そして、正面板７９の左右両側縁部と、各隣接側面板７８の前側の側縁部とがそれぞれ溶接等によって固定されている。また、正面板７９の上側側縁部と隣接上面板８１の前側の側縁部とが溶接等によって固定されると共に、各隣接側面板７８の上側側縁部の前側端部と隣接上面板８１の左右方向の各側縁部とが溶接等によって固定されている。従って、スライド扉７５は、正面板７９、各隣接側面板７８及び隣接上面板８１によって構成されている。
　各隣接側面板７８の正面板７９に対して反対側の側縁部、つまり、側面板部３６Ｃ側の側縁部には、各側面板部３６Ｃの前側側縁部に設けられたスライドレール７６に係合するスライド係合部８２がほぼ全長に渡って形成されている。また、正面板７９の中央部には、３個の透孔８３が左右２列に並ぶように隣接して形成されている。各透孔８３は、透明なガラスやアクリル板等形成されて可視光を透過する１枚の透過板８４で内側、つまり、図１１中、後側を閉塞されている。更に、透過板８４には、レーザ発振器１８から出射されて、加工対象物２２の加工面上で反射されたレーザ光Ｌを遮光し、且つ、可視光を透過する遮光膜５５が全面に渡って貼り付けられている。
　次に、上記のように構成されたレーザ加工装置７１の加工台３７に配置した加工対象物２２上における可視レーザ光Ｍの照射位置の位置合わせについて図２、図３、図１０乃至図１２に基づいて説明する。
　図２、図３、図１０乃至図１２に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ光Ｌを停止した状態で、ガイド光部１１の可視半導体レーザ２７を駆動して可視レーザ光Ｍを出射する。そして、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して所定位置で停止させ、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　一方、ユーザは、スライド扉７５を最も上側へ移動させて、スライドレバー７７の軸部７７Ａを前側方向へ突出させて、スライド扉７５の左側の隣接側面板７８の下端部に当接させる。これにより、図１０及び図１１に示すように、スライド扉７５の各隣接側面板７８で覆われていた、光軸１６Ａから各隣接側面板４２に伸ばした垂線８６から正面板７９に近づく向きである近接側面部８５を含む加工容器７２の左右の側面部分が開放される。また、スライド扉７５の正面板７９で覆われていた加工容器７２の正面部分が開放される。
　従って、ユーザは、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａに沿って加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を左右方向及び正面から、つまり、直交する２軸方向から視認して、加工台３７の載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを行うことができる。その後、ユーザは、スライドレバー７７を後側方向へ押して、軸部７７Ａを内側に収納することによって、スライド扉７５を下方へスライド移動させ、底面部３６Ｄに当接させて開口部７３Ｅを閉塞する。
　続いて、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７の駆動を停止すると共に、レーザ発振器１８からレーザ光Ｌを出射する。そして、不図示のコントローラを介して、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御することによって、加工対象物２２の加工面２２Ａに所定パターンのマーキング（印字）加工を行うことができる。
　以上詳細に説明した通り、第２実施形態に係るレーザ加工装置７１では、ユーザは、スライド扉７５を最も上側へ移動させて、スライドレバー７７の軸部７７Ａを前側方向へ突出させ、スライド扉７５の左側の隣接側面板７８の下端部に当接させて停止させる。そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７を駆動すると共に、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　これにより、ユーザは、加工台３７の載置板５９上に配置した加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を左右方向及び正面から、つまり、直交する２軸方向から視認して、載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを迅速に行うことができる。その結果、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍは、ｆθレンズ１６から同軸上に出射されるため、ユーザは、載置板５９上における加工対象物２２のレーザ光Ｌの照射位置に対する位置合わせを迅速に行うことができる。
　また、ユーザは、スライドレバー７７を後側方向へ押して、軸部７７Ａを内側に収納することによって、スライド扉７５を下方に移動させ、底面部３６Ｄに当接させて開口部７３Ｅを閉塞する。これにより、加工対象物２２上で反射したレーザ光Ｌを正面板７９、各隣接側面板７８、及び、隣接上面板８１で遮光することができ、ユーザは作業を安全に行うことができる。カメラ等を設置しなくても、簡易な構成で、加工台３７上に配置した加工対象物２２上における、可視レーザ光Ｍの照射位置を目視により合わせることができ、加工容器７２の小型化を図ることができる。
　更に、スライド扉７５を上下方向、つまり、光軸１６Ａ方向にスライド移動させて、最も上側の位置で停止させることができ、スライド扉７５を開くために必要な加工容器７２の前側及び左右周辺部のスペースを無くすることが可能となり、加工容器７２を設置するために必要なスペースの省スペース化を図ることができる。
　［第３実施形態］
　次に、第３実施形態に係るレーザ加工装置９１について図２、図３、図１３及び図１４に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記図１乃至図９の第１実施形態に係るレーザ加工装置１の構成等と同一符号は、第１実施形態に係るレーザ加工装置１の構成等と同一あるいは相当部分を示すものである。
　第３実施形態に係るレーザ加工装置９１の概略構成は、第１実施形態に係るレーザ加工装置１とほぼ同じ構成である。但し、加工容器３に替えて加工容器９２が設けられている点で異なっている。
　図１３及び図１４に示すように、加工容器９２は、加工容器３とほぼ同じ構成であるが、各扉３Ａに替えて、本体箱部３６の前面側の開口部３６Ｅを覆う取り外し可能なカバー部材９３が設けられている点で異なっている。カバー部材９３は、加工対象物２２上で反射されたレーザ光Ｌを遮光する鉄やステンレス等の材料で形成されている。
　カバー部材９３は、開口部３６Ｅの正面を覆う矩形状の正面板９５と、開口部３６Ｅの左右を覆う縦長四角形の一対の隣接側面板９６と、開口部３６Ｅの天井部１０２を覆う略横長四角形の隣接上面板９７とから構成されている。正面板９５は、正面視、上面板部３６Ａの左右方向の長さにほぼ等しい幅寸法で、側面板部３６Ｃの上下方向の長さにほぼ等しい縦寸法に形成されている。各隣接側面板９６は、第１実施形態の隣接側面板４２とほぼ同じ形状で、正面視、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する突出長さにほぼ等しい幅寸法で、側面板部３６Ｃの上下方向の長さにほぼ等しい縦寸法に形成されている。各隣接側面板９６の後側側縁部９６Ａは、各側面板部３６Ｃの前側側縁部と切離されている。
　また、隣接上面板９７は、平面視、上面板部３６Ａの左右方向長さにほぼ等しい幅寸法で、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する突出長さにほぼ等しい前後方向の縦寸法に形成されている。隣接上面板９７の後側側縁部９７Ｂは、上面板部３６Ａの前側の側縁部と切離されている。そして、隣接上面板９７の上面板部３６Ａに対向する後側側縁部９７Ｂの左右方向中央部には、上面板部３６Ａの前側側縁部の左右方向中央部に形成された円弧状の切欠部４７Ａ（図６参照）と共に、ｆθレンズ１６の外周面の直径の貫通孔４７（図４参照）を形成する円弧状の切欠部９７Ａが形成されている。
　そして、正面板９５の左右方向の各側縁部と、隣接側面板９６の前側の側縁部とが溶接等によって固定されている。また、正面板９５の上側側縁部と隣接上面板９７の前側の側縁部とが溶接等によって固定されると共に、各隣接側面板９６の上側側縁部と隣接上面板９７の左右方向の各側縁部とが溶接等によって固定されている。
　また、正面板９５の中央部には、３個の透孔９５Ａが左右２列に並ぶように隣接して形成されている。各透孔９５Ａは、透明なガラスやアクリル板等形成されて可視光を透過する１枚の透過板９４で内側、つまり、図１４中、後側を閉塞されている。更に、透過板９４には、レーザ発振器１８から出射されて、加工対象物２２の加工面上で反射されたレーザ光Ｌを遮光し、且つ、可視光を透過する遮光膜５５が全面に渡って貼り付けられている。
　一方、本体箱部３６は、上面板部３６Ａ及び各側面板部３６Ｃの各前側側縁部には、それぞれ全長に渡って、内側面から前側方向に所定高さ、例えば、約１ｃｍの高さで突出する各突出リブ９８Ａ、９８Ｂ、９８Ｃが形成されている。また、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する部分の平面視コの字型の上面部には、全長に渡って、内側面から上側方向に所定高さ、例えば、約１ｃｍの高さで突出する突出リブ９８Ｄが形成されている。また、各突出リブ９８Ａ～９８Ｄの基端部には、カバー部材９３を形成する正面板９５、各隣接側面板９６、及び隣接上面板９７の板厚にほぼ等しい幅の段差部９９Ａ、９９Ｂ、９９Ｃ、９９Ｄが形成されている。
　従って、ユーザは、カバー部材９３を持ち上げ、左右隣接側面板９６の下側後角部を、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する部分の左右側縁部に形成された突出リブ９８Ｄに上側から嵌入して係合させ、段差部９９Ｄ上に当接させる。続いて、ユーザは、その状態で、カバー部材９３を後側に押して、段差部９９Ｄ上を突出リブ９８Ｄに沿って後側方向へスライド移動させる。そして、ユーザは、隣接上面板９７と各隣接側面板９６のそれぞれの後側側縁部９７Ｂ、９６Ａを各突出リブ９８Ａ、９８Ｂ、９８Ｃに嵌入して係合させ、各段差部９９Ａ、９９Ｂ、９９Ｃに当接させる。従って、隣接上面板９７と各隣接側面板９６のそれぞれの後側側縁部９７Ｂ、９６Ａは、係合部の一例として機能する。また、各突出リブ９８Ａ～９８Ｃが被係合部の一例として機能する。
　これにより、カバー部材９３が着脱可能に本体箱部３６に取り付けられて、本体箱部３６の開口部３６Ｅが、カバー部材９３によって閉塞される。また、隣接上面板９７の切欠部９７Ａと上面板部３６Ａの切欠部４７Ａとが接続されて、ｆθレンズ１６が嵌挿される貫通孔４７が形成される。
　ここで、略円形の貫通孔４７の中心４８は、本体箱部３６の上面板部３６Ａの前側側縁部よりも、前側へ、つまり、正面板９５側へ、所定距離Ｄ１、例えば、約３ｃｍの距離Ｄ１離れた位置に設けられている。従って、図１４に示すように、貫通孔４７を形成する切欠部４７Ａに当接されたｆθレンズ１６の光軸１６Ａは、略円形の貫通孔４７の中心４８（図５参照）、若しくは、中心４８の近傍位置を通るため、上面板部３６Ａ及び側面板部３６Ｃの前側側縁部よりも所定距離Ｄ１だけ前側に位置している。
　次に、上記のように構成されたレーザ加工装置９１の加工台３７に配置した加工対象物２２上における可視レーザ光Ｍの照射位置の位置合わせについて図２、図３、図１３及び図１４に基づいて説明する。
　図２、図３、図１３及び図１４に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ光Ｌを停止した状態で、ガイド光部１１の可視半導体レーザ２７を駆動して可視レーザ光Ｍを出射する。そして、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して所定位置で停止させ、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　一方、ユーザは、本体箱部３６の前側を覆うカバー部材９３を、本体箱部３６から前側に引き出して、隣接上面板９７と各隣接側面板９６のそれぞれの後側側縁部９７Ｂ、９６Ａと各突出リブ９８Ａ、９８Ｂ、９８Ｃとの係合を解除し、カバー部材９３を本体箱部３６から取り外す。これにより、図１３及び図１４に示すように、カバー部材９３で覆われていた、光軸１６Ａから各隣接側面板９６に伸ばした垂線１０３から正面板９５に近づく向きである近接側面部１０１を含む加工容器９２の左右の側面部分が開放される。また、カバー部材９３の正面板９５で覆われていた加工容器９２の正面部分が開放される。
　従って、ユーザは、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａに沿って加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を左右方向及び正面から、つまり、直交する２軸方向から視認して、加工台３７の載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを行うことができる。その後、ユーザは、カバー部材９３を持ち上げ、再度、本体箱部３６の開口部３６Ｅを、カバー部材９３によって閉塞する。
　そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７の駆動を停止すると共に、レーザ発振器１８からレーザ光Ｌを出射する。そして、不図示のコントローラを介して、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御することによって、加工対象物２２の加工面２２Ａに所定パターンのマーキング（印字）加工を行うことができる。
　以上詳細に説明した通り、第３実施形態に係るレーザ加工装置９１では、ユーザは、本体箱部３６の前側を覆うカバー部材９３を、本体箱部３６から前側に引き出して、本体箱部３６から取り外す。そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７を駆動すると共に、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　これにより、ユーザは、加工台３７の載置板５９上に配置した加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を左右方向及び正面から、つまり、直交する２軸方向から視認して、載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを迅速に行うことができる。その結果、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍは、ｆθレンズ１６から同軸上に出射されるため、ユーザは、載置板５９上における加工対象物２２のレーザ光Ｌの照射位置に対する位置合わせを迅速に行うことができる。
　また、ユーザは、カバー部材９３を持ち上げ、左右隣接側面板９６の下側後角部を、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する部分の左右側縁部に形成された突出リブ９８Ｄに上側から嵌入して、段差部９９Ｄ上に当接させる。そして、ユーザは、その状態で、カバー部材９３を後側に押して、段差部９９Ｄ上を突出リブ９８Ｄに沿って後側方向へスライド移動させ、本体箱部３６の開口部３６Ｅを閉塞する。
　これにより、加工対象物２２上で反射したレーザ光Ｌをカバー部材９３で遮光することができ、ユーザは作業を安全に行うことができる。カメラ等を設置しなくても、簡易な構成で、加工台３７上に配置した加工対象物２２上における、可視レーザ光Ｍの照射位置を目視により合わせることができ、加工容器９２の小型化を図ることができる。
　［第４実施形態］
　次に、第４実施形態に係るレーザ加工装置１１１について図３、図１５及び図１６に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記図１乃至図９の第１実施形態に係るレーザ加工装置１、及び、図１３及び図１４の第３実施形態に係るレーザ加工装置９１の構成等と同一符号は、第１実施形態に係るレーザ加工装置１及び第３実施形態に係るレーザ加工装置９１の構成等と同一あるいは相当部分を示すものである。
　第４実施形態に係るレーザ加工装置１１１の概略構成は、第３実施形態に係るレーザ加工装置１とほぼ同じ構成である。但し、加工容器９２に替えて加工容器１１２が設けられている点で異なっている。
　図１５及び図１６に示すように、加工容器１１２は、加工容器９２とほぼ同じであるが、カバー部材９３に替えて、本体箱部３６の前面側の開口部３６Ｅを覆うカバー部材１１３が設けられている点で異なっている。カバー部材１１３は、加工対象物２２上で反射されたレーザ光Ｌを遮光する鉄やステンレス等の材料で形成されている。
　カバー部材１１３は、カバー部材９３と同じく、開口部３６Ｅの正面を覆う矩形状の正面板９５と、開口部３６Ｅの左右を覆う縦長四角形の一対の隣接側面板９６と、開口部３６Ｅの天井部を覆う略横長四角形の隣接上面板９７とから構成されている。但し、隣接上面板９７の左右方向の各側縁部と、各隣接側面板９６の上側側縁部とが、直角をなすように溶接等によって固定され、更に、右側の隣接側面板９６の前側側縁部に、正面板９５の右側縁部が、上下一対の蝶番１１４によって外側方向へ回動可能に取り付けられている。
　従って、正面板９５は、上下一対の蝶番１１４を介して、右側側縁部を回動軸として外側方向へ回動自在に支持されている。また、左側の隣接側面板９６の前側側縁部の内側上端部には、磁石１１５が取り付けられている。一方、正面板９５の左側側縁部の内側上端部には、正面板９５を閉じた際に、磁石１１５に対向する部分に、磁石１１５に吸着される鉄等の強磁性体で形成された平板状の吸着板１１６が取り付けられ、正面板９５を閉じた状態を維持できるように構成されている。また、正面板９５の左側側縁部の上下方向中央部には、外側に縦長コの字形の把手１１７が取り付けられている。
　カバー部材１１３の本体箱部３６への取り付けは、先ず、左右隣接側面板９６の下側後角部を、底面部３６Ｄの側面板部３６Ｃから前方に突出する部分の左右側縁部に形成された突出リブ９８Ｄに上側から嵌入して係合させ、段差部９９Ｄ上に当接させる。そして、カバー部材１１３を後側に押して、段差部９９Ｄ上を突出リブ９８Ｄに沿って後側方向へスライド移動させ、隣接上面板９７と各隣接側面板９６のそれぞれの後側側縁部９７Ｂ、９６Ａを、上面板部３６Ａと各側面板部３６Ｃの前側側縁部に当接させる。
　その後、カバー部材１１３の左右の隣接側面板９６と本体箱部３６の左右の側面板部３６Ｃの相対向する各側縁部の間に、それぞれ上下一対の平板１１８の前後方向の端縁部をネジ止めによって取り付けて連結する。これにより、カバー部材１１３が、本体箱部３６に取り付けられて、本体箱部３６の開口部３６Ｅが、カバー部材１１３によって閉塞される。また、隣接上面板９７の切欠部９７Ａと上面板部３６Ａの切欠部４７Ａとが接続されて、ｆθレンズ１６が嵌挿される貫通孔４７が形成される。
　ここで、略円形の貫通孔４７の中心４８は、本体箱部３６の上面板部３６Ａの前側側縁部よりも、前側へ、つまり、正面板９５側へ、所定距離Ｄ１、例えば、約３ｃｍの距離Ｄ１離れた位置に設けられている。従って、図１６に示すように、貫通孔４７を形成する切欠部４７Ａに当接されたｆθレンズ１６の光軸１６Ａは、略円形の貫通孔４７の中心４８（図５参照）、若しくは、中心４８の近傍位置を通るため、上面板部３６Ａ及び側面板部３６Ｃの前側側縁部よりも所定距離Ｄ１だけ前側に位置している。
　また、左側の隣接側面板９６の上下方向中央部よりも少し上側には、加工台３７の載置板５９上に配置された加工対象物２２を視認可能で、且つ、光軸１６Ａから左側の隣接側面板９６に伸ばした垂線１１９が通る位置を含むように開設された矩形状の透孔１２１が形成されている。透孔１２１は、透明なガラスやアクリル板等形成されて可視光を透過する１枚の透過板１２２で内側を閉塞されている。更に、透過板１２２には、レーザ発振器１８から出射されて、加工対象物２２の加工面上で反射されたレーザ光Ｌを遮光し、且つ、可視光を透過する遮光膜５５が全面に渡って貼り付けられている。
　次に、上記のように構成されたレーザ加工装置１１１の加工台３７に配置した加工対象物２２上における可視レーザ光Ｍの照射位置の位置合わせについて図３、図１５及び図１６に基づいて説明する。
　図３、図１５及び図１６に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ光Ｌを停止した状態で、ガイド光部１１の可視半導体レーザ２７を駆動して可視レーザ光Ｍを出射する。そして、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して所定位置で停止させ、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　一方、ユーザは、本体箱部３６の前側を覆うカバー部材１１３の把手１１７を持って、正面板９５を右方向外側へ回動させ、正面板９５で覆われていた加工容器１１２の正面部分を開放する。従って、ユーザは、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａに沿って加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を、正面からと、左側の隣接側面板９６に開設された透孔１２１を介して左側からと、つまり、直交する２軸方向から視認して、加工台３７の載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを行うことができる。
　尚、右側の隣接側面板９６にも透孔１２１を形成し、遮光膜５５が全面に渡って貼り付けられた透過板１２２で閉塞するようにしてもよい。これにより、ユーザは、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａに沿って加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を正面からと、左右に設けられた各透孔１２１を介して左右両側からと、つまり、直交する２軸方向から視認して、加工台３７の載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを行うことができる。
　その後、ユーザは、正面板９５を閉じて、再度、本体箱部３６の開口部３６Ｅを、カバー部材１１３によって閉塞する。そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７の駆動を停止すると共に、レーザ発振器１８からレーザ光Ｌを出射する。そして、不図示のコントローラを介して、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御することによって、加工対象物２２の加工面２２Ａに所定パターンのマーキング（印字）加工を行うことができる。
　以上詳細に説明した通り、第４実施形態に係るレーザ加工装置１１１では、ユーザは、本体箱部３６の前側を覆うカバー部材１１３の正面板９５を右外側方向へ回動させ、正面板９５で覆われていた加工容器１１２の正面部分を開放する。そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７を駆動すると共に、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　これにより、ユーザは、加工台３７の載置板５９上に配置した加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を正面からと、透孔１２１を介して左方向から、つまり、光軸１６Ａに直交する２軸方向から視認して、載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを迅速に行うことができる。その結果、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍは、ｆθレンズ１６から同軸上に出射されるため、ユーザは、載置板５９上における加工対象物２２のレーザ光Ｌの照射位置に対する位置合わせを迅速に行うことができる。
　また、ユーザは、カバー部材１１３の正面板９５を左方向内側へ回動して、閉じることによって、加工対象物２２上で反射したレーザ光Ｌをカバー部材１１３で遮光することができ、ユーザは作業を安全に行うことができる。カメラ等を設置しなくても、簡易な構成で、加工台３７上に配置した加工対象物２２上における、可視レーザ光Ｍの照射位置を目視により合わせることができ、加工容器１１２の小型化を図ることができる。
　ここで、レーザ発振器１８は、発振器の一例として機能する。可視半導体レーザ２７は、可視レーザ光源の一例として機能する。ｆθレンズ１６は、集光部の一例として機能する。上面板部３６Ａ、各隣接上面板４３Ａ、４３Ｂは、上面部材の一例を構成する。上面板部７３Ａ及び隣接上面板８１は、上面部材の一例を構成する。上面板部３６Ａ及び隣接上面板９７は、上面部材の一例を構成する。
　背面板部３６Ｂ、各側面板部３６Ｃ、各隣接側面板４２、及び、各正面板４１Ａ、４１Ｂは、側面部材の一例を構成する。背面板部３６Ｂ、各側面板部３６Ｃ、各隣接側面板７８、及び、正面板７９は、側面部材の一例を構成する。背面板部３６Ｂ、各側面板部３６Ｃ、各隣接側面板９６、及び、正面板９５は、側面部材の一例を構成する。蝶番４５及び蝶番１１４は、回動支持部の一例として機能する。スライド扉７５は、カバー部材の一例として機能する。スライドレール７６は、スライド支持部の一例として機能する。
　尚、本発明は前記第１実施形態乃至第４実施形態に限定されることはなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。
　例えば、前記第４実施形態のレーザ加工装置１１１において、カバー部材１１３の隣接上面板９７及び各隣接側面板９６を、透明なガラスやアクリル板等形成されて可視光を透過する透過板で形成するようにしてもよい。そして、透過板で形成された隣接上面板９７及び各隣接側面板９６に、レーザ発振器１８から出射されて、加工対象物２２の加工面上で反射されたレーザ光Ｌを遮光し、且つ、可視光を透過する遮光膜５５を全面に渡って貼り付けるようにしてもよい。この場合には、隣接側面板９６に透孔１２１を形成する必要は無い。
　そして、ユーザは、本体箱部３６の前側を覆うカバー部材１１３の正面板９５を右方向外側へ回動させ、正面板９５で覆われていた加工容器１１２の正面部分を開放する。そして、不図示のコントローラを介して、可視半導体レーザ２７を駆動すると共に、ガルバノスキャナ１５の各モータ３１、３２を回転制御して、ｆθレンズ１６の光軸１６Ａ上に可視レーザ光Ｍを出射する。
　これにより、ユーザは、加工台３７の載置板５９上に配置した加工対象物２２上に出射された可視レーザ光Ｍの照射位置を正面からと、カバー部材１１３の隣接上面板９７及び各隣接側面板９６を介して左右方向から、つまり、光軸１６Ａに直交する２軸方向から視認して、載置板５９上における加工対象物２２の位置合わせを迅速に行うことができる。その結果、レーザ光Ｌと可視レーザ光Ｍは、ｆθレンズ１６から同軸上に出射されるため、ユーザは、載置板５９上における加工対象物２２のレーザ光Ｌの照射位置に対する位置合わせを迅速に行うことができる。
　１、７１、９１、１１１　　　レーザ加工装置
　２　　　レーザヘッド部
　３、７２、９２、１１２　　　加工容器
　３Ａ　　　扉
　６　　　レーザ発振器
　１６　　　ｆθレンズ
　１６Ａ　　　光軸
　２２　　　加工対象物
　２７　　　可視半導体レーザ
　３７　　　加工台
　４７　　　貫通孔
　３６、７３　　　本体箱部
　３６Ａ　　　上面板部
　３６Ｃ　　　側面板部
　４１、７９、９５　　　正面板
　４２、７８、９６　　　隣接側面板
　４３、８１、９７　　　隣接上面板
　４５、１１４　　　蝶番
　５２、８３、９５Ａ、１２１　　　透孔
　５３、８４、９４、１２２　　　透過板
　５５　　　遮光膜
　６２、８５、１０１　　　近接側面部
　７６　　　スライドレール
　８２　　　スライド係合部
　９３、１１３　　　カバー部材
　９８Ａ～９８Ｄ　　　突出リブ
　９９Ａ～９９Ｄ　　　段差部

Claims (9)

  1. 　レーザ光を出射する発振器と、
    　可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
    　前記発振器から出射されたレーザ光と前記可視レーザ光源から出射された可視レーザ光とを集光して、加工対象物に向けて出射させる集光部と、
    　を備えたヘッド部を支持する箱体状の加工容器において、
    　前記加工容器は、
    　前記集光部の出射方向側に設けられて、加工対象物を配置する加工台と、
    　前記ヘッド部を支持し、前記集光部から出射された前記レーザ光及び前記可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、
    　前記孔を通過した前記レーザ光及び前記可視レーザ光を囲むように前記集光部の出射方向に沿って、且つ互いに交差する複数の側面部材と、
    　を有し、
    　前記上面部材及び前記複数の側面部材は、前記加工対象物上で反射された前記レーザ光を遮光する遮光材料で形成され、
    　前記複数の側面部材は、
    　前記複数の側面のうちの一面である正面板と、
    　前記正面板に隣接する隣接側面板と、
    　を含み、
    　前記正面板は、開閉可能に構成され、
    　前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、
    　前記正面板が開放された際に、前記隣接側面板は、前記近接側面部の少なくとも前記光軸から該近接側面部に伸ばした垂線が通る部分から可視光を通過させることを特徴とする加工容器。
  2. 　前記加工容器は、前記隣接側面板の前記正面板に対して反対側の側縁部を回動軸として該隣接側面板を回動自在に支持する回動支持部を有することを特徴とする請求項１に記載の加工容器。
  3. 　前記上面部材は、前記集光部の光軸から前記隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある前記加工容器の天井部を覆う隣接上面板を有し、
    　前記隣接上面板の前記正面板側の側縁部は、該正面板の該隣接上面板側の側縁部に固定されると共に、前記隣接上面板の前記正面板に対して反対側の側縁部は、前記上面部材の相対向する側縁部と切離されていることを特徴とする請求項２に記載の加工容器。
  4. 　前記正面板の両側縁部にそれぞれ隣接する前記隣接側面板の前記正面板側の側縁部は、隣接する該正面板の各側縁部にそれぞれ固定され、
    　前記正面板と前記隣接上面板とは、前記集光部の光軸から前記正面板に伸ばした垂線に沿って切離され、
    　前記回動支持部は、前記正面板の各側縁部に固定された前記隣接側面板の該正面板に対して反対側の各側縁部を回動軸として該隣接側面板を回動自在に支持することを特徴とする請求項３に記載の加工容器。
  5. 　前記加工容器は、
    　前記正面板と前記隣接側面板とによって形成されるカバー部材と、
    　前記加工台と前記上面部材を有して前記カバー部材が取り外し可能に設けられる本体箱部と、
    　を有し、
    　前記隣接側面板の前記正面板側の一方の側縁部は、該正面板の該隣接側面板側の側縁部に固定され、
    　前記カバー部材は、該隣接側面板の前記正面板に対して反対側の他方の側縁部に形成される係合部を有し、
    　前記本体箱部は、前記隣接側面板の前記他方の側縁部に相対向する側縁部に形成されて、前記係合部に係合可能に構成される被係合部を有することを特徴とする請求項１に記載の加工容器。
  6. 　前記カバー部材は、前記集光部の光軸から、前記正面板に近づく向きにある前記加工容器の天井部を覆う隣接上面板を有し、
    　前記隣接上面板は、前記正面板に対向する側縁部が該正面板の該隣接上面板側の側縁部に固定されると共に、前記隣接上面板の前記正面板に対して反対側の側縁部は、前記上面部材の相対向する側縁部と切離されていることを特徴とする請求項５に記載の加工容器。
  7. 　前記加工容器は、
    　前記正面板と前記隣接側面板とによって形成されるカバー部材と、
    　前記加工台と前記上面部材を有して前記カバー部材が開閉可能に設けられる本体箱部と、
    　を有し、
    　前記隣接側面板の前記正面板側の一方の側縁部は、該正面板の該隣接側面板側の側縁部に固定され、
    　前記本体箱部は、前記隣接側面板の前記正面板に対して反対側の他方の側縁部に相対向する側縁部に形成され、該隣接側面板の前記他方の側縁部を摺動して前記カバー部材を前記光軸方向に沿ってスライド移動可能に支持するスライド支持部を有することを特徴とする請求項１に記載の加工容器。
  8. 　前記隣接側面板は、
    　前記集光部の光軸から前記隣接側面板に伸ばした垂線が通る位置に形成された透孔と、
    　前記透孔を塞ぐと共に光を透過する透過板と、
    　を有し、
    　前記透過板は、前記レーザ光を遮光し、且つ、前記可視光を透過する遮光膜が設けられることを特徴とする請求項１に記載の加工容器。
  9. 　レーザ光を出射する発振器と、
    　可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
    　前記発振器から出射されたレーザ光と前記可視レーザ光源から出射された可視レーザ光とを集光して、加工対象物に向けて出射させる集光部と、
    　を有するヘッド部と、
    　前記ヘッド部を支持する箱体状の加工容器と、
    　を備え、
    　前記加工容器は、
    　前記集光部の出射方向側に設けられて、加工対象物を配置する加工台と、
    　前記ヘッド部を支持し、前記集光部から出射された前記レーザ光及び前記可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、
    　前記孔を通過した前記レーザ光及び前記可視レーザ光を囲むように前記集光部の出射方向に沿って、且つ互いに交差する複数の側面部材と、
    　を有し、
    　前記上面部材及び前記複数の側面部材は、前記加工対象物上で反射された前記レーザ光を遮光する遮光材料で形成され、
    　前記複数の側面部材は、
    　前記複数の側面のうちの一面である正面板と、
    　前記正面板に隣接する隣接側面板と、
    　を含み、
    　前記正面板は、開閉可能に構成され、
    　前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、
    　前記正面板が開放された際に、前記隣接側面板は、前記近接側面部の少なくとも前記光軸から該近接側面部に伸ばした垂線が通る部分から可視光を通過させることを特徴とするレーザ加工装置。
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